JP5680125B2 - Manufacturing method of glass plate - Google Patents
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Description
本発明は、ガラス板を製造するガラス板の製造方法に関する。 The present invention relates to a glass plate manufacturing method for manufacturing a glass plate.
従来より、ガラス板を製造する際、オーバーダウンドロー法を用いてガラス板を成形することが行われている。オーバーダウンドロー法では、ガラス原料を熔解槽で熔融して熔融ガラスをつくり、この熔融ガラスに清澄処理、均質化処理を施した後、熔融ガラスは移送管を通して長尺状の成形体に供給される。
長尺状の成形体では、成形体の上部に長手方向に延びる溝部が設けられており、この溝部の一端に熔融ガラスが供給される。この溝部は、熔融ガラスの供給側から長手方向の反対側に進むほど溝深さが浅くなっているため、熔融ガラスは、成形体の溝部からあふれ出し、成形体の両側の側壁を伝って下方に流下する。成形体の両側の側壁を下方に流下する熔融ガラスは成形体の下端で合流して1つに張り合わせられシートガラスとなる。
Conventionally, when a glass plate is produced, the glass plate is formed using an overdown draw method. In the overdown draw method, a glass raw material is melted in a melting tank to produce a molten glass, and after the molten glass is subjected to clarification and homogenization treatment, the molten glass is supplied to a long shaped body through a transfer tube. The
In the long molded body, a groove portion extending in the longitudinal direction is provided on the upper portion of the molded body, and molten glass is supplied to one end of the groove portion. Since the groove depth becomes shallower as the groove portion proceeds from the molten glass supply side to the opposite side in the longitudinal direction, the molten glass overflows from the groove portion of the molded body and passes down the side walls on both sides of the molded body. To flow down. The molten glass flowing down the side walls on both sides of the molded body merges at the lower end of the molded body and is bonded together to form a sheet glass.
ところで、熔融ガラスを成形体に供給する移送管の流路断面形状は一般的に円形状であり、成形体の溝部の流路断面形状は、矩形あるいは多角形形状である。移送管の流路断面形状を円形状とするのは、移送管内に高温の熔融ガラスを充填しても屈曲する部分がなく、強度が維持できることが好ましいからである。一方、成形体の溝部の流路断面形状を矩形あるいは多角形形状とするのは、溝部の加工の容易性のためである。
例えば、下記特許文献1の図1、図3には、流路断面形状が円形状の移送管と、流路断面形状が矩形形状の溝部を有する成形体が開示されている。この場合、円形形状の移送管から、成形体の溝部に熔融ガラスが供給されるとき、熔融ガラスの流路断面が段差を持って急激に拡大する。
By the way, the flow path cross-sectional shape of the transfer pipe that supplies the molten glass to the molded body is generally circular, and the flow path cross-sectional shape of the groove portion of the molded body is rectangular or polygonal. The reason why the cross-sectional shape of the flow path of the transfer pipe is circular is that it is preferable that the transfer pipe has no bent portion even when it is filled with high-temperature molten glass, and the strength can be maintained. On the other hand, the reason why the cross-sectional shape of the flow path of the groove portion of the molded body is rectangular or polygonal is to facilitate the processing of the groove portion.
For example, FIG. 1 and FIG. 3 of Patent Document 1 below disclose a molded body having a transfer pipe having a circular channel cross-sectional shape and a groove having a rectangular channel cross-sectional shape. In this case, when molten glass is supplied from the circular shaped transfer pipe to the groove of the molded body, the flow passage cross section of the molten glass rapidly expands with a step.
このように、一般的に、熔融ガラスを成形体に供給する移送管の流路断面形状は円形状であり、成形体の溝部の流路断面形状は矩形あるいは多角形形状であるため、移送管から、成形体の溝部に熔融ガラスが供給されるとき、熔融ガラスの流路断面が段差を持って急激に拡大する。このため、熔融ガラスの流路の急激な拡大により、成形体の溝部内で熔融ガラスの流れが部分的に停留し易くなる場合がある。熔融ガラスの流れの停留は、熔融ガラスの失透に繋がり易い。また、熔融ガラスの流れの停留は異質素地を生じさせ易く、脈理の発生にも繋がりやすい。より詳細に説明すると、熔融ガラスの流れが停留すると、他の部分の熔融ガラスに比べて成形体と接触する時間が長くなるため、成形体の表面から成形体の成分が溶出し、熔融ガラスのガラス組成が部分的に変化し易い。また、成形体の温度の影響を受けて、熔融ガラスの粘度が部分的に変化し易い。すなわち、溶融ガラス中に異質素地が生じ易くなり、この結果、最終製品のガラス板に、脈理が発生し易くなり、またガラス板の厚さが不均一になり易い。 Thus, in general, the flow path cross-sectional shape of the transfer pipe that supplies molten glass to the molded body is circular, and the flow path cross-sectional shape of the groove portion of the molded body is rectangular or polygonal. When the molten glass is supplied to the groove portion of the molded body, the flow passage cross section of the molten glass rapidly expands with a step. For this reason, the flow of the molten glass is likely to partially stop in the groove portion of the formed body due to the rapid expansion of the flow path of the molten glass. Stoppage of the flow of the molten glass tends to lead to devitrification of the molten glass. In addition, the stagnation of the flow of the molten glass is liable to cause a heterogeneous substrate and easily causes striae. More specifically, when the flow of the molten glass is stopped, the contact time with the molded body is longer than that of the molten glass in other parts, so the components of the molded body are eluted from the surface of the molded body, The glass composition tends to change partially. In addition, the viscosity of the molten glass tends to change partially under the influence of the temperature of the molded body. That is, a heterogeneous substrate is likely to occur in the molten glass. As a result, striae are likely to occur in the glass plate of the final product, and the thickness of the glass plate is likely to be uneven.
また、フラットパネルディスプレイ用ガラス板には、TFT(Thin Film Transistor)等の半導体素子が、ガラス板上に形成される。近年、ディスプレイ表示のさらなる高精細化を実現するために、従来から用いられてきたα-Si・TFTに替わって、p-Si(低温ポリシリコン)・TFTや酸化物半導体をガラス板に形成することが求められている。p-Si・TFTや酸化物半導体の形成工程では、α−Si・TFTの形成工程よりも高温な熱処理工程が存在する。そのため、p−Si(低温ポリシリコン)TFTや酸化物半導体が形成されるガラス板には、熱収縮率が小さいことが求められている。熱収縮率を小さくするためには、ガラスの歪点を高くすることが好ましいが、歪点が高いガラスは、液相温度が高くなる傾向があり、液相粘度(液相温度における粘度)が低くなる傾向にある。このため、シートガラスの成形に必要な熔融ガラスの粘度(成形粘度)と、液相粘度との差が少なくなり、あるいは、成形粘度が液相粘度より大きくなる場合もあり、その結果ガラスが失透し易くなる。したがって、p−Si(低温ポリシリコン)・TFT形成用あるいは酸化物半導体形成用などの特に液相粘度が低いガラスでシートガラスを製造する場合、成形体の表面から成形体の成分が溶出し、液相粘度の上昇(失透の生成)の虞があるような成形体の溝部内で熔融ガラスの一部の流れが停留し易くなることは極力避けなければならない。 In addition, a semiconductor element such as a TFT (Thin Film Transistor) is formed on a glass plate for a flat panel display. In recent years, p-Si (low-temperature polysilicon) TFTs and oxide semiconductors are formed on glass plates in place of α-Si TFTs that have been used in the past in order to achieve even higher definition display display. It is demanded. In the process of forming the p-Si • TFT and the oxide semiconductor, there is a heat treatment process at a higher temperature than that of the α-Si • TFT. Therefore, a glass plate on which a p-Si (low temperature polysilicon) TFT or an oxide semiconductor is formed is required to have a low thermal contraction rate. In order to reduce the heat shrinkage rate, it is preferable to increase the strain point of the glass. However, a glass having a high strain point tends to increase the liquidus temperature, and the liquidus viscosity (viscosity at the liquidus temperature) is high. It tends to be lower. For this reason, the difference between the viscosity (molding viscosity) of the molten glass necessary for forming the sheet glass and the liquid phase viscosity is reduced, or the forming viscosity may be larger than the liquid phase viscosity, resulting in loss of the glass. It becomes easy to see through. Therefore, when manufacturing sheet glass with glass having a particularly low liquid phase viscosity such as p-Si (low temperature polysilicon) / TFT formation or oxide semiconductor formation, the components of the molded body are eluted from the surface of the molded body, It must be avoided as much as possible that the flow of a part of the molten glass tends to be retained in the groove portion of the molded body that may increase the liquid phase viscosity (devitrification).
そこで、本発明は、従来の問題点を解決するために、成形体を用いた熔融ガラスの成形時、成形体の溝部を通過する熔融ガラスの流れが停留し難く、熔融ガラスに失透及び異質素地が生じることがなく、脈理がなく、均一な板厚の高品質なガラス板を製造することができるガラス板の製造方法を提供することを目的とする。 Therefore, in order to solve the conventional problems, the present invention makes it difficult for the flow of the molten glass passing through the groove portion of the molded body to stop during molding of the molten glass using the molded body. An object of the present invention is to provide a glass plate production method capable of producing a high-quality glass plate having a uniform thickness and having no substrate, having no striae.
本発明の一態様は、ガラス板を製造するガラス板の製造方法である。当該製造方法は、
ガラス原料を熔解して溶融ガラスをつくる工程と、
前記熔融ガラスを、移送管を通して成形体に供給する供給工程と、
前記熔融ガラスを、前記成形体を用いて成形して、シートガラスをつくる成形工程と、を含む。
前記移送管の、前記成形体の溝部との接続位置において、前記移送管は、熔融ガラスの流路断面が拡張する管拡張部を有し、前記管拡張部の一端が前記成形体の前記溝部と接続する。
前記供給工程において前記熔融ガラスを前記移送管から前記成形体の溝部に供給するとき、前記移送管を流れる熔融ガラスの流路断面の幅が、前記移送管の開口端と前記成形体の前記溝部の開口端の接続位置に近づくにつれて徐々に広がり、前記接続位置で溝部の溝幅になり、かつ、前記接続位置において、前記移送管の開口端の縁は、前記成形体の前記溝部の開口端における少なくとも底面の縁形状に一致する形状を有し、前記移送管の壁面は前記溝部の前記底面と段差なく接続されている。
このため、前記移送管から前記成形体の前記溝部への熔融ガラスの流れを滑らかにすることができ、熔融ガラスの前記溝部における滞在時間を一定範囲内に揃えて前記溝部から熔融ガラスを溢れ出させることができる。このため、ガラスの失透や異質素地が生じ難く、脈理がなく均一な板厚の高品質なガラス板を製造することができる。
One embodiment of the present invention is a glass plate manufacturing method for manufacturing a glass plate. The manufacturing method is
A process of melting glass raw materials to make molten glass;
Supplying the molten glass to the molded body through a transfer tube;
Forming a sheet glass by forming the molten glass using the formed body.
At the connection position of the transfer tube with the groove portion of the molded body, the transfer tube has a tube expansion portion in which a flow passage section of molten glass expands, and one end of the tube expansion portion is the groove portion of the molded body. Connect with.
When the molten glass is supplied from the transfer tube to the groove of the molded body in the supplying step, the width of the cross section of the flow path of the molten glass flowing through the transfer tube is such that the opening end of the transfer tube and the groove of the molded body And gradually widens as it approaches the connection position of the open end of the groove, becomes the groove width of the groove at the connection position, and the edge of the open end of the transfer pipe at the connection position is the open end of the groove of the molded body The wall surface of the transfer pipe is connected to the bottom surface of the groove portion without a step.
For this reason, the flow of the molten glass from the transfer pipe to the groove portion of the molded body can be smoothed, and the staying time of the molten glass in the groove portion is aligned within a certain range to overflow the molten glass from the groove portion. Can be made. For this reason, it is hard to produce devitrification and a heterogeneous base material of glass, and it is possible to manufacture a high-quality glass plate having a uniform thickness without striae.
さらに、前記移送管の開口端の縁は、前記溝部の開口端における側面の縁形状の一部に一致する形状を有することが好ましい。
前記移送管の開口端の縁は、前記成形体の前記溝部の開口端における少なくとも底面の縁形状に一致する形状を有し、さらに、前記溝部の開口端における側面の縁形状の一部に一致する形状を有するので、前記移送管から前記成形体の前記溝部への熔融ガラスの流れをより滑らかにすることができる。
Furthermore, it is preferable that the edge of the opening end of the transfer pipe has a shape that matches a part of the edge shape of the side surface at the opening end of the groove.
The edge of the opening end of the transfer pipe has a shape that matches at least the edge shape of the bottom surface at the opening end of the groove portion of the molded body, and further matches a part of the edge shape of the side surface at the opening end of the groove portion. Therefore, the flow of the molten glass from the transfer tube to the groove of the molded body can be made smoother.
前記移送管は、前記流路断面の幅が前記接続位置まで連続的に広がる端部を有することが好ましい。
これにより、熔融ガラスの流れはより停留し難くなる。
It is preferable that the transfer pipe has an end portion in which the width of the cross section of the flow path continuously extends to the connection position.
Thereby, the flow of the molten glass becomes more difficult to stop.
前記成形体の前記溝部における熔融ガラスの流路断面が、前記成形体の前記溝部が前記接続位置に近づくにしたがって徐々に小さくなっていることが好ましい。
これにより、前記移送管の流路断面が前記成形体の前記溝部の流路断面に比べて極めて小さい場合であっても、前記移送管から前記溝部への熔融ガラスの流れを滑らかにすることができる。
It is preferable that the flow path cross section of the molten glass in the groove portion of the molded body is gradually reduced as the groove portion of the molded body approaches the connection position.
Thereby, even if the flow path cross section of the transfer pipe is extremely small compared to the flow path cross section of the groove portion of the molded body, the flow of molten glass from the transfer pipe to the groove portion can be made smooth. it can.
前記溝部は、前記底面を含む溝下部において、溝幅が前記溝部の深さ方向に進むにつれて狭くなり、前記接続位置に近づくにつれて、前記溝幅が狭くなる前記深さ方向の開始位置が浅くなる部分を有することが好ましい。
これにより、前記溝下部における熔融ガラスの流れをより滑らかにすることができる。
The groove portion narrows as the groove width proceeds in the depth direction of the groove portion at the groove lower portion including the bottom surface, and the start position in the depth direction becomes narrower as the groove width becomes narrower as the connection position is approached. It is preferable to have a portion.
Thereby, the flow of the molten glass in the said groove lower part can be made smoother.
前記熔融ガラスの歪点は655℃以上であっても、前記ガラス板の製造方法に適用することができる。
このようなガラスは、歪点が高いガラスであり、液相温度(失透温度)が高くなる傾向にある。この歪点が655℃以上であるガラスを用いた場合、成形工程における熔融ガラスの適正な粘度(例えば、40000poise以上)と、ガラスの液相粘度が近づくので失透し易くなる。特に、溶融ガラスが成形時に停留すると、成形体の表面から成形体の成分が溶出し、さらに失透し易くなる。上記製造方法では、前記成形体の前記溝部において熔融ガラスの流れを停留させ難いので、ガラスの失透を抑制することができる。
前記熔融ガラスの歪点が675℃以上のガラスであっても、前記ガラス板の製造方法に適用することができ、失透が生じ難い。また、前記熔融ガラスの歪点が680℃以上のガラスであっても、前記ガラス板の製造方法に適用することができ失透が生じ難い。さらに、前記熔融ガラスの歪点が690℃以上のガラスであっても、前記ガラス板の製造方法に適用することができ、失透が生じ難い。
Even if the strain point of the molten glass is 655 ° C. or higher, it can be applied to the method for producing the glass plate.
Such a glass is a glass having a high strain point and tends to have a high liquidus temperature (devitrification temperature). When glass having a strain point of 655 ° C. or higher is used, devitrification tends to occur because the appropriate viscosity (for example, 40000 poise or higher) of the molten glass in the forming step and the liquid phase viscosity of the glass approach each other. In particular, if the molten glass stays at the time of molding, the components of the molded body are eluted from the surface of the molded body and are more easily devitrified. In the said manufacturing method, since the flow of a molten glass is hard to be stopped in the said groove part of the said molded object, devitrification of glass can be suppressed.
Even if the molten glass has a strain point of 675 ° C. or higher, it can be applied to the method for producing the glass plate, and devitrification hardly occurs. Moreover, even if the strain point of the said molten glass is 680 degreeC or more glass, it can apply to the manufacturing method of the said glass plate, and devitrification does not arise easily. Furthermore, even if the strain point of the molten glass is 690 ° C. or higher, it can be applied to the method for producing the glass plate, and devitrification hardly occurs.
前記熔融ガラスの液相粘度は60000poise以下とすることができ、50000poise以下とすることもできる。さらに、液相粘度は45000poise以下とすることもできる。このようなガラスは、成形工程における必要な熔融ガラスの粘度に近いので失透し易いガラスである。特に、成形体において溶融ガラスが停留すると、さらに失透しやすくなるガラスである。しかし、上記ガラス板の製造方法では、前記成形体の前記溝部において熔融ガラスの流れを停留させ難いので、液相粘度は60000poise以下、50000poise以下、さらには45000poise以下としても、ガラスの失透を抑制し、ガラスシートを製造することができる。 The liquid phase viscosity of the molten glass can be 60000 poise or less, and can be 50000 poise or less. Furthermore, the liquid phase viscosity may be 45000 poise or less. Such a glass is easy to devitrify because it is close to the viscosity of the molten glass required in the molding process. In particular, it is a glass that is more easily devitrified when the molten glass is retained in the formed body. However, in the glass plate manufacturing method, it is difficult to stop the flow of the molten glass in the groove portion of the molded body. And a glass sheet can be manufactured.
前記ガラス板は、例えばフラットパネルディスプレイ用ガラス板であり、例えばp−Si(低温ポリシリコン)TFT形成用あるいは酸化物半導体形成用のガラス板である。
p−Si(低温ポリシリコン)TFT形成用あるいは酸化物半導体形成用のガラス板は、歪点が高い。歪点が高いと液相温度は高くなる傾向があり、液相粘度(液相温度における粘度)が低くなる傾向にある。このため、シートガラスの成形に必要な熔融ガラスの粘度(成形粘度)と、液相粘度との差が少なくなり、あるいは、成形粘度が液相粘度より大きくなる場合もあり、その結果ガラスが失透し易くなる。特に、成形体で溶融ガラスが停留すると、さらに失透しやすい。したがって、成形体の溝部において停留し難く滑らかに熔融ガラスを流すことができる上述の態様のガラス板の製造方法を、フラットパネルディスプレイ用ガラス板、特に、p−Si(低温ポリシリコン)TFT形成用あるいは酸化物半導体形成用のガラス板に適用しても、失透は生じ難くなる。
The glass plate is, for example, a flat panel display glass plate, for example, a p-Si (low temperature polysilicon) TFT forming glass plate or an oxide semiconductor forming glass plate.
A glass plate for forming a p-Si (low temperature polysilicon) TFT or an oxide semiconductor has a high strain point. When the strain point is high, the liquidus temperature tends to be high, and the liquidus viscosity (viscosity at the liquidus temperature) tends to be low. For this reason, the difference between the viscosity (molding viscosity) of the molten glass necessary for forming the sheet glass and the liquid phase viscosity is reduced, or the forming viscosity may be larger than the liquid phase viscosity, resulting in loss of the glass. It becomes easy to see through. In particular, when the molten glass is retained in the formed body, it is more easily devitrified. Therefore, the method for producing a glass plate of the above-described aspect that can flow the molten glass smoothly without being retained in the groove portion of the molded body is used for forming a glass plate for flat panel display, in particular, p-Si (low temperature polysilicon) TFT. Or even if it applies to the glass plate for oxide semiconductor formation, devitrification becomes difficult to occur.
上記態様のガラス板の製造方法によれば、成形体を用いた熔融ガラスの成形時、成形体の溝部を通過する熔融ガラスの流れが停留し難く、熔融ガラスに失透及び異質素地が生じることがなく、脈理がなく、均一な板厚の高品質なガラス板を製造することができる。 According to the method for producing a glass plate of the above aspect, the flow of the molten glass that passes through the groove portion of the molded body is difficult to stop during the molding of the molten glass using the molded body, and devitrification and a heterogeneous substrate are generated in the molten glass. It is possible to produce a high-quality glass plate having no uniform and uniform thickness.
以下、本実施形態のガラス板の製造方法について説明する。図1は、本実施形態のガラス板の製造方法の工程の一例を示す図である。 Hereinafter, the manufacturing method of the glass plate of this embodiment is demonstrated. Drawing 1 is a figure showing an example of a process of a manufacturing method of a glass plate of this embodiment.
(ガラス板の製造方法の全体概要)
ガラス板の製造方法は、熔解工程(ST1)と、清澄工程(ST2)と、均質化工程(ST3)と、供給工程(ST4)と、成形工程(ST5)と、徐冷工程(ST6)と、切断工程(ST7)と、を主に有する。この他に、研削工程、研磨工程、洗浄工程、検査工程、梱包工程等を有し、梱包工程で積層された複数のガラス板は、納入先の業者に搬送される。
(Overall overview of glass plate manufacturing method)
The glass plate manufacturing method includes a melting step (ST1), a refining step (ST2), a homogenizing step (ST3), a supplying step (ST4), a forming step (ST5), and a slow cooling step (ST6). And a cutting step (ST7). In addition, a plurality of glass plates that have a grinding process, a polishing process, a cleaning process, an inspection process, a packing process, and the like and are stacked in the packing process are conveyed to a supplier.
熔解工程(ST1)は熔解槽で行われる。熔解槽では、ガラス原料を、熔解槽に蓄えられた熔融ガラスの液面に投入し、加熱することにより熔融ガラスを作る。さらに、熔解槽の内側側壁の1つの底部に設けられた流出口から下流工程に向けて熔融ガラスを流す。
熔解槽の熔融ガラスの加熱は、熔融ガラス自身に電気が流れて自ら発熱し加熱する方法に加えて、バーナーによる火焔を補助的に与えてガラス原料を熔解することもできる。なお、ガラス原料には清澄剤が添加される。清澄剤として、SnO2,As2O3,Sb2O3等が知られているが、特に制限されない。しかし、環境負荷低減の点から、清澄剤としてSnO2(酸化錫)を用いることができる。
The melting step (ST1) is performed in a melting tank. In the melting tank, a glass raw material is poured into the liquid surface of the molten glass stored in the melting tank and heated to make molten glass. Furthermore, molten glass is poured toward the downstream process from the outlet provided in one bottom part of the inner side wall of the melting tank.
In addition to the method in which electricity flows through the molten glass itself and heats itself by heating, the glass raw material can be melted by supplementing a flame with a burner. A clarifier is added to the glass raw material. SnO 2 , As 2 O 3 , Sb 2 O 3 and the like are known as fining agents, but are not particularly limited. However, SnO 2 (tin oxide) can be used as a clarifying agent from the viewpoint of reducing environmental burden.
清澄工程(ST2)は、少なくとも清澄槽において行われる。清澄工程では、清澄槽内の熔融ガラスが昇温されることにより、熔融ガラス中に含まれるO2、CO2あるいはSO2を含んだ泡が、清澄剤の還元反応により生じたO2を吸収して成長し、熔融ガラスの液面に泡は浮上して放出される。さらに、清澄工程では、熔融ガラスの温度を低下させることにより、清澄剤の還元反応により得られた還元物質が酸化反応をする。これにより、熔融ガラスに残存する泡中のO2等のガス成分が熔融ガラス中に再吸収されて、泡が消滅する。清澄剤による酸化反応及び還元反応は、熔融ガラスの温度を制御することにより行われる。なお、清澄工程は、減圧雰囲気の空間を清澄槽につくり、熔融ガラスに存在する泡を減圧雰囲気で成長させて脱泡させる減圧脱泡方式を用いることもできる。この場合、清澄剤を用いない点で有効である。なお、清澄工程では、酸化錫を清澄剤として用いた清澄方法を用いる。 The clarification step (ST2) is performed at least in the clarification tank. In the clarification process, when the molten glass in the clarification tank is heated, the bubbles containing O 2 , CO 2 or SO 2 contained in the molten glass absorb O 2 generated by the reductive reaction of the clarifier. As a result, the bubbles rise to the liquid surface of the molten glass and are discharged. Furthermore, in the clarification step, the reducing substance obtained by the reduction reaction of the clarifier undergoes an oxidation reaction by lowering the temperature of the molten glass. Thereby, gas components such as O 2 in the foam remaining in the molten glass are reabsorbed in the molten glass, and the foam disappears. The oxidation reaction and reduction reaction by the fining agent are performed by controlling the temperature of the molten glass. In the clarification step, a reduced-pressure defoaming method can be used in which a reduced-pressure atmosphere space is created in the clarification tank, and bubbles existing in the molten glass are grown in a reduced-pressure atmosphere for defoaming. In this case, it is effective in that no clarifier is used. In the clarification step, a clarification method using tin oxide as a clarifier is used.
均質化工程(ST3)では、清澄槽から延びる配管を通って供給された攪拌槽内の熔融ガラスを、スターラを用いて攪拌することにより、ガラス成分の均質化を行う。これにより、脈理等の原因であるガラスの組成ムラを低減することができる。
供給工程(ST4)では、攪拌槽から延びる配管を通して熔融ガラスが成形装置に供給される。
In the homogenization step (ST3), the glass components are homogenized by stirring the molten glass in the stirring tank supplied through the pipe extending from the clarification tank using a stirrer. Thereby, the composition unevenness of the glass which is a cause of striae or the like can be reduced.
In the supply step (ST4), the molten glass is supplied to the molding apparatus through a pipe extending from the stirring tank.
成形装置では、成形工程(ST5)及び徐冷工程(ST6)が行われる。
成形工程(ST5)では、熔融ガラスをシートガラスに成形し、シートガラスの流れを作る。成形は、オーバーフローダウンドロー法が用いられる。
徐冷工程(ST6)では、成形されて流れるシートガラスが所望の厚さになり、内部歪が生じないように、さらに、反りが生じないように冷却される。
切断工程(ST7)では、切断装置において、成形装置から供給されたシートガラスを所定の長さに切断することで、板状のガラス板を得る。切断されたガラス板はさらに、所定のサイズに切断され、目標サイズのガラス板が作られる。この後、ガラス板の端面の研削、研磨が行われ、ガラス板の洗浄が行われ、さらに、気泡や脈理等の異常欠陥の有無が検査された後、検査合格品のガラス板が最終製品として梱包される。
In the molding apparatus, a molding step (ST5) and a slow cooling step (ST6) are performed.
In the forming step (ST5), the molten glass is formed into a sheet glass to make a flow of the sheet glass. For forming, an overflow downdraw method is used.
In the slow cooling step (ST6), the sheet glass that has been formed and flowed is cooled to a desired thickness, so that internal distortion does not occur and warpage does not occur.
In a cutting process (ST7), a plate-shaped glass plate is obtained by cutting the sheet glass supplied from the forming device into a predetermined length in the cutting device. The cut glass plate is further cut into a predetermined size to produce a target size glass plate. After this, the end face of the glass plate is ground and polished, the glass plate is cleaned, and further, the presence of abnormal defects such as bubbles and striae is inspected. Will be packed as.
図2は、本実施形態における熔解工程(ST1)〜切断工程(ST7)を行う装置の一例を模式的に示す図である。当該装置は、図2に示すように、主に熔解装置100と、成形装置200と、切断装置300と、を有する。熔解装置100は、熔解槽101と、清澄槽102と、攪拌槽103と、ガラス供給管104,105,106と、を有する。
図2に示す熔解装置101では、ガラス原料の投入がバケット101dを用いて行われる。清澄槽102では、熔融ガラスMGの温度を調整して、清澄剤の酸化還元反応を利用して熔融ガラスMGの清澄が行われる。さらに、攪拌槽103では、スターラ103aによって熔融ガラスMGが攪拌されて均質化される。成形装置200では、成形体210を用いたオーバーフローダウンドロー法により、熔融ガラスMGからシートガラスSGが成形される。
FIG. 2 is a diagram schematically illustrating an example of an apparatus that performs the melting step (ST1) to the cutting step (ST7) in the present embodiment. As shown in FIG. 2, the apparatus mainly includes a
In the
(ガラス供給管と成形体の接続)
図3(a)は、成形体210とガラス供給管106との接続部分を示す分解斜視図である。
成形体210は、その上部に溝部210aが形成された一方向(図中X方向)に延びる長尺状の構造体である。溝部210aは、X方向に進むにつれて溝深さが浅くなっている。このため、溝部210aに供給された熔融ガラスMGは、溝部210aから溢れ出して、成形体210の両側に設けられた側壁210bを鉛直下方に流れる。両側の側壁210bを流下する熔融ガラスMGは、成形体210の鉛直下方に設けられた下方先端210cで合流し、1つに張り合わされてシートガラスSGとなる。
このような成形体210の溝部210aには、熔融ガラスMGが円滑に供給される(熔融ガラスMGの流れが停留し難い)ことが、失透や脈理を生じさせない点で好ましい。特に、液相温度が高く、液相粘度が成形工程時の熔融ガラスの粘度(成形粘度)に近づき、あるいは、液相粘度が成形粘度より小さくなるような失透し易いガラスでは、ガラス供給管106から溝部210aに供給される熔融ガラスMGの流れが停留することを避けなければならない。
(Connection between glass supply tube and molded body)
FIG. 3A is an exploded perspective view showing a connection portion between the molded
The molded
It is preferable that the molten glass MG is smoothly supplied to the
成形体210の溝部210aの流路断面は矩形形状を成している。一方、成形体210の溝部210aと接続するガラス供給管106は移送管であって、一定の流路断面を有するガラス供給管本体106aと、ガラス供給管本体106aの端部に設けられた管拡張部106bを含む。ガラス供給管本体106aの流路断面は円形状を成している。また、ガラス供給管本体106aの流路断面形状である円の直径は、溝部210aの溝幅に比べて小さい。
熔融ガラスMGをガラス供給管本体106aから管拡張部106bを通して成形体210の溝部210aに供給するとき、ガラス供給管106を流れる熔融ガラスMGの流路断面の横幅は、ガラス供給管106の開口端と成形体210の溝部210aの開口端の接続位置に近づくにつれて徐々に広がり、接続位置で溝部210aの溝幅になっている。しかも、この接続位置において、ガラス供給管106の開口端の縁は、溝部210aの開口端における少なくとも底面の縁形状(図3(a)の場合直線形状)に一致する形状を有し、ガラス供給管106(管拡張部106b)の壁面は溝部210aの底面と段差なく接続されている。ここで、熔融ガラスMGの流路断面の横幅とは、溝部210aの溝幅方向における幅をいう。
具体的には、管拡張部106bの断面形状は、ガラス供給管本体106aの円形状の流路断面形状から、その断面形状の一部が溝部210aの底面の縁形状である直線形状に一致する形状に変化する。ここで、溝部210aの底面とは、溝部210aの断面形状が矩形形状の場合の溝底に当たる平面の部分の他に、一定の溝幅で深さ方向に延びる部分より下方であって、溝幅が段階的にあるいは連続的に狭くなり溝が終了する部分の面も含まれる。後述する図6(a),(b)に示す例では、傾斜面210b,210cによって作られるV字形状や円弧形状の部分も底面の縁形状に該当する。
さらに、管拡張部106bの開口端における断面形状は、溝部210aの開口端における側面(側壁面)の縁形状(直線形状)の一部に一致する形状を有している。
なお、ガラス供給管106における熔融ガラスMGの流路断面の幅の変化は、連続的にあるいは段階的に行われてもよいが、連続的な幅の変化が、熔融ガラスMGの流れを可能な限り停留させない点で好ましい。
The channel cross section of the
When the molten glass MG is supplied from the glass supply tube
Specifically, the cross-sectional shape of the
Furthermore, the cross-sectional shape at the opening end of the
Note that the change in the width of the cross section of the flow path of the molten glass MG in the
図3(b)は、管拡張部106bの開口端が溝部210aの開口端と接続するときの接続領域Z1と溝部210aとの間の相対位置を示す図である。上述したように、管拡張部106bは、溝210aと接続するとき、溝部210aの溝幅と同じ幅を持って溝部210aと接続される。図3(b)に示されるように、管拡張部106bの開口端の縁は、溝部210aの底面を含む溝下部の縁と一致するように管拡張部106bは設けられる。これにより、管拡張部106bから溝部210aに流れ込む熔融ガラスMGは、管拡張部106bから溝210aに滑らかに流れるので、熔融ガラスMGの流れは滞留し難くなる。管拡張部106bがない場合、ガラス供給管本体から溝部に進むとき、流路断面が急拡大するので、熔融ガラスMGの流れの停留が起こる場合がある。この場合、熔融ガラスMGは特に底面に停留し易く、失透の原因、異質素地の生成の原因となり易い。このため、ガラス供給管106の開口部の縁は、溝部210aの底面を含む溝下部の縁の形状と一致するように管拡張部106bが設けられる。
なお、図3(b)に示すように、成形体210の溝部210aには、熔融ガラスMGが溝部210aの底面を含む溝下部から供給され、接続位置において、溝部210aのうち溝下部の上方に位置する溝上部は、図3に示すように板状部材を用いて閉塞されている。このため、熔融ガラスMGは溝部210aの溝下部から供給され、しかも、底面において熔融ガラスMGが停留することなく滑らかに流れるので溝部210aから熔融ガラスMGは滑らかに溢れ出す。
3 (b) is a diagram showing the relative position between the connection region Z 1 and the
As shown in FIG. 3B, molten glass MG is supplied to the
図4は、ガラス供給管106、管拡張部106b、及び成形体210の接続位置周辺を上方からみたときの熔融ガラスMGの流れを説明する図である。図4に示すように、熔融ガラスMGをガラス供給管106から成形体210に供給するとき、ガラス供給管106を流れる熔融ガラスMGの流路断面の幅が、ガラス供給管106と成形体210に近づくにつれて、ガラス供給管106における流路断面の横幅が、ガラス供給管本体106bの流路断面の幅W1から成形体210の溝部210aの流路断面の幅W2に向かって徐々に変化するので、熔融ガラスMGは、滞留が抑制され、滑らかに成形体210の溝部210aに流れ込む。
FIG. 4 is a diagram for explaining the flow of the molten glass MG when the periphery of the connection position of the
図5(a),(b)は、従来の成形体210の溝部210aとガラス供給管106との接続状態を説明する図である。図5(a),(b)に示すように、ガラス供給管106の接続位置における流路断面は、溝部210aの流路断面に比べて小さいので、熔融ガラスMGの流路断面は接続位置で急拡大する。このため、図5(b)に示すように、溝部210aの延びる方向(X方向)に対して傾斜した方向に速度成分を有する熔融ガラスMGの流れが発生し、熔融ガラスMGは、溝部210a内でX方向に滑らかに流れない。特に、溝部210aの底面は、ガラス供給管106の壁面と段差を持って接するので、底面近傍を流れる熔融ガラスMGの流れの停留の程度は大きい。
このように、本実施形態では、ガラス供給管106は、その端部に管拡張部106bを含む。このとき、ガラス供給管106を流れる熔融ガラスMGの流路断面の幅が、ガラス供給管106の開口端と成形体210の溝部210aの開口端の接続位置に近づくにつれて徐々に広がって、接続位置で溝部210aの溝幅になっている。しかも、この接続位置において、ガラス供給管106(管拡張部106b)の開口端の縁は、成形体210の溝部210aの開口端における少なくとも底面の縁形状に一致する形状を有し、ガラス供給管106の壁面は溝部210aの底面と段差なく接続されている。このため、本実施形態は、ガラス供給管106から成形体210の溝部210aへの熔融ガラスMGの流れを滑らかにすることができ、熔融ガラスMGの溝部210aにおける滞在時間を比較的一定範囲内に揃えて溝部210aから熔融ガラスMGを溢れ出させることができる。このため、ガラスの失透や異質素地が生じ難く、脈理がなく、均一な板厚の高品質なガラス板を製造することができる。
FIGS. 5A and 5B are views for explaining a connection state between the
Thus, in the present embodiment, the
(変形例1)
図6(a)は、成形体210の溝部210aと管拡張部106bとの接続を説明する変形例1の図である。溝部210aの流路断面は図示されるように溝部210aの底面が傾斜した2つの溝底傾斜面210b、210cを用いて形成されている。この場合においても、ガラス供給管106を流れる熔融ガラスMGの流路断面の幅が、管拡張部106bにより、ガラス供給管106の開口端と成形体210の溝部210aの開口端の接続位置に近づくにつれて徐々に広がって、接続位置で溝部210aの溝幅になっている。しかも、この接続位置において、ガラス供給管106(管拡張部106b)の開口端の縁は、成形体210の溝部210aの開口端における少なくとも底面の縁形状に一致する形状を有し、ガラス供給管106の壁面は溝部210aの底面と段差なく接続されている。さらに、管拡張部106bの開口端における断面形状は、溝部210aの開口端における側面(側壁面)の縁形状(直線形状)の一部に一致する形状を有している。このため、成形体210の溝部210aへの熔融ガラスMGの流れを滑らかにすることができ、熔融ガラスMGの溝部210aにおける滞在時間を比較的一定の範囲内に揃えて溝部210aから熔融ガラスMGを溢れ出させることができる。このため、ガラスの失透や異質素地が生じ難く、脈理がなく均一な板厚の高品質なガラス板を製造することができる。
(Modification 1)
FIG. 6A is a diagram of Modification 1 illustrating the connection between the
(変形例2)
図6(b)は、成形体210の溝部210aと管拡張部106bとの接続を説明する変形例2の図である。
溝部210aの流路断面は図示されるように溝底面が円形状の曲面を成した底面210dで形成されている。この場合においても、ガラス供給管106を流れる熔融ガラスMGの流路断面の幅(直径)が、管拡張部106bにより、ガラス供給管106の開口端と成形体210の溝部210aの開口端の接続位置に近づくにつれて徐々に広がって、接続位置で溝部210aの溝幅になっている。しかも、この接続位置において、ガラス供給管106(管拡張部106b)の開口端の縁は、成形体210の溝部210aの開口端における少なくとも半円形状の底面210dの縁形状に一致する形状を有し、ガラス供給管106の壁面は溝部210aの底面と段差なく接続されている。すなわち、管拡張部106bは、流路断面形状が円形状のガラス供給管106から円形状を維持しつつ流路断面を拡張し、接続位置において、底面210dに対応した大きさの円形状になっている。このため、成形体210の溝部210aへの熔融ガラスMGの流れを滑らかにすることができ、熔融ガラスMGの溝部210aにおける滞在時間を比較的一定の範囲内に揃えて溝部210aから熔融ガラスMGを溢れ出させることができる。このため、変形例2では、ガラスの失透や異質素地が生じ難く、脈理がなく均一な板厚の高品質なガラス板を製造することができる。
(Modification 2)
FIG. 6B is a diagram of Modification 2 for explaining the connection between the
The cross section of the flow path of the
(変形例3)
図7(a),(b)は、変形例3の形態を示す図である。変形例3は、成形体210の溝部210aにおける熔融ガラスMGの流路断面が、成形体210の溝部210aがガラス供給管106と接続する接続位置に近づくにしたがって徐々に小さくなっている構成である。すなわち、成形体210の溝部210aにおける熔融ガラスMGの流路断面は、成形体210の溝部210aがガラス供給管106と接続する接続位置に近づくにしたがって徐々に小さくなるように熔融ガラスMGが流れる。
溝部210aの下方には溝傾斜面210eが設けられている。この溝傾斜面210eは、図7(a),(b)に示す例では、一定の溝幅で深さ方向に延びる部分より下方であって、溝幅が連続的に狭くなり溝底で終了する面であり、底面の一部である。溝傾斜面210eの幅W(図7(b)参照)は、溝部210aがガラス供給管106と接続する接続位置に近づくにしたがって大きくなる(ガラス供給管106から離れるにしたがって小さくなる)。すなわち、溝部210aは、底面を含む溝下部において、溝幅が溝部210aの深さ方向に進むにつれて狭くなり、ガラス供給管106との接続位置に近づくにつれて、溝幅が狭くなる溝部210aの深さ方向の開始位置が浅くなる部分を有する。この部分により、溝部210aの流路断面は、上記接続位置に近づくにしたがって徐々に小さくなる。特に、溝部210aの溝下部の流路断面が接続位置に近づく程小さくなるので、ガラス供給管106から熔融ガラスMGが供給されたとき、溝部210aの底面近傍に位置する熔融ガラスMGは停留が抑えられ滑らかに流れる。
(Modification 3)
FIGS. 7A and 7B are diagrams illustrating a modification 3. FIG. Modification 3 is a configuration in which the flow path cross section of the molten glass MG in the
A groove inclined
なお、ガラス供給管本体106aにおける流路断面が溝部210aに比べて極めて小さい場合、管拡張部106bの流路断面の拡張率は大きくなる。この場合、拡張率の大きな管拡張部106bでは、熔融ガラスMGの滑らかな流れ(熔融ガラスMGの流れが停留しない流れ)を保つことができない場合がある。このため、変形例3は、熔融ガラスMGの滑らかな流れを保つために、溝部210aの接続位置近傍で流路断面を小さくし、この接続位置から離れるにしたがって流路断面を徐々に拡大する構成とする。この溝部210aの流路断面の拡大は、連続的な拡大であっても段階的な拡大であってもよい。勿論、管拡張部106bの溝部210aとの接続位置では、管拡張部106bは、溝部210aの底面や溝傾斜面210eに対応した縁を持った形状で、溝部210aと接続される。したがって、変形例3では、溝部210aにおいて、熔融ガラスMGは停留し難いので、ガラスの失透や異質素地が生じ難く、脈理がなく均一な板厚の高品質なガラス板を製造することができる。
In addition, when the flow path cross section in the glass supply pipe
以上のように、本実施形態及び変形例1〜3では、ガラス供給管106は、その端部に管拡張部106bを含む。このとき、ガラス供給管106を流れる熔融ガラスMGの流路断面の幅が、ガラス供給管106の開口端と成形体210の溝部210aの開口端の接続位置に近づくにつれて徐々に広がって、接続位置で溝部210aの溝幅になっている。しかも、この接続位置において、ガラス供給管106(管拡張部106b)の開口端の縁は、成形体210の溝部210aの開口端における少なくとも底面の縁形状に一致する形状を有し、ガラス供給管106の壁面は溝部210aの底面と段差なく接続されている。このため、本実施形態は、ガラス供給管106から成形体210の溝部210aへの熔融ガラスMGの流れを滑らかにすることができ、熔融ガラスMGの溝部210aにおける滞在時間を比較的一定範囲内に揃えて溝部210aから熔融ガラスMGを溢れ出させることができる。このため、ガラスの失透や異質素地が生じ難い。
ガラス供給管106の流路断面形状がガラス供給管106の一部である管拡張部106bにより連続的に変化するが、この流路断面形状は、段階的に変化してもよい。しかし、熔融ガラスMGの円滑な流れの点で、熔融ガラスMGの流路断面の横幅が、ガラス供給管106の横幅から溝部210aの溝幅に連続的に変化することが好ましい。
As described above, in this embodiment and Modifications 1 to 3, the
Although the flow path cross-sectional shape of the
(ガラス板の特性、適用)
本実施形態のガラス板をフラットパネルディスプレイ用ガラス板に用いる場合、以下のガラス組成を有するようにガラス原料を混合するものが例示される。
SiO2:50〜70質量%、
Al2O3:0〜25質量%、
B2O3:1〜15質量%、
MgO:0〜10質量%、
CaO:0〜20質量%、
SrO:0〜20質量%、
BaO:0〜10質量%、
RO:5〜30質量%(ただし、RはMg、Ca、Sr及びBaの合量)、
を含有する無アルカリガラス。
なお、本実施形態では無アルカリガラスとしたが、ガラス板はアルカリ金属を微量含んだアルカリ微量含有ガラスであってもよい。アルカリ金属を含有させる場合、R’2Oの合計が0.10質量%以上0.5質量%以下、好ましくは0.20質量%以上0.5質量%以下(ただし、R’はLi、Na及びKから選ばれる少なくとも1種であり、ガラス板が含有するものである)含むことが好ましい。勿論、R’2Oの合計が0.10質量%より低くてもよい。
また、本発明のガラス板の製造方法を適用する場合は、ガラス組成物が、上記各成分に加えて、SnO2:0.01〜1質量%(好ましくは0.01〜0.5質量%)、Fe2O3:0〜0.2質量%(好ましくは0.01〜0.08質量%)を含有し、環境負荷を考慮して、As2O3、Sb2O3及びPbOを実質的に含有しないようにガラス原料を調製しても良い。
(Characteristics of glass plate, application)
When using the glass plate of this embodiment for the glass plate for flat panel displays, what mixes a glass raw material so that it may have the following glass compositions is illustrated.
SiO 2 : 50 to 70% by mass,
Al 2 O 3 : 0 to 25% by mass,
B 2 O 3 : 1 to 15% by mass,
MgO: 0 to 10% by mass,
CaO: 0 to 20% by mass,
SrO: 0 to 20% by mass,
BaO: 0 to 10% by mass,
RO: 5 to 30% by mass (where R is the total amount of Mg, Ca, Sr and Ba),
Alkali-free glass containing
Although the alkali-free glass is used in this embodiment, the glass plate may be a glass containing a trace amount of alkali containing a trace amount of alkali metal. When an alkali metal is contained, the total of R ′ 2 O is 0.10% by mass to 0.5% by mass, preferably 0.20% by mass to 0.5% by mass (where R ′ is Li, Na And at least one selected from K and contained in the glass plate). Of course, the total of R ′ 2 O may be lower than 0.10% by mass.
Also, when applying the method for producing a glass plate of the present invention, the glass composition, in addition to the above components, SnO 2: 0.01 to 1 mass% (preferably 0.01 to 0.5 wt% ), Fe 2 O 3 : 0 to 0.2% by mass (preferably 0.01 to 0.08% by mass), and considering the environmental load, As 2 O 3 , Sb 2 O 3 and PbO You may prepare a glass raw material so that it may not contain substantially.
また、近年フラットパネルディスプレイの画面表示のさらなる高精細化を実現するために、α−Si(アモルファスシリコン)・TFTではなく、p−Si(低温ポリシリコン)・TFTや酸化物半導体を用いたディスプレイが求められている。ここで、p−Si(低温ポリシリコン)TFTや酸化物半導体の形成工程では、α−Si・TFTの形成工程よりも高温な熱処理工程が存在する。このため、p−Si・TFTや酸化物半導体が形成されるガラス板には、熱収縮率が小さいことが求められている。熱収縮率を小さくするためには、歪点を高くすることが好ましいが、歪点が高いガラスは、上述したように液相温度が高く、液相粘度が低くなる傾向にある。すなわち、上記液相粘度は、成形工程における熔融ガラスの適正な粘度に近づく。このため、失透を抑制するためには、成形体210の溝部210aにおいて熔融ガラスMGの流れを停留させないことがより強く求められる。本実施形態及び変形例1〜3では、熔融ガラスMGの流れが停留し難い。したがって、本発明のガラス板の製造方法は、例えば歪点が655℃以上のガラスを用いたガラス板にも適用できる。特に、p−Si・TFTや酸化物半導体に好適な歪点が655℃以上、歪点が680℃以上、さらには、歪点が690℃以上のガラスを用いたガラス板にも、本発明のガラス板の製造方法は適用でき、失透は生じ難い。
また、液相粘度が60000poise以下のガラス、さらには、液相粘度が50000poise以下のガラス、特に、液相粘度が45000poise以下のガラスを用いたガラス板にも本発明のガラス板の製造法を適用でき、失透は生じ難い。
In recent years, displays using p-Si (low-temperature polysilicon) TFTs and oxide semiconductors instead of α-Si (amorphous silicon) TFTs to realize higher definition of screen display of flat panel displays. Is required. Here, in the process of forming the p-Si (low-temperature polysilicon) TFT and the oxide semiconductor, there is a heat treatment process at a higher temperature than the process of forming the α-Si · TFT. For this reason, a glass plate on which p-Si • TFT and an oxide semiconductor are formed is required to have a low thermal shrinkage rate. In order to reduce the heat shrinkage rate, it is preferable to increase the strain point. However, a glass having a high strain point tends to have a high liquidus temperature and a low liquidus viscosity as described above. That is, the liquid phase viscosity approaches the appropriate viscosity of the molten glass in the molding process. For this reason, in order to suppress devitrification, it is more strongly required not to stop the flow of the molten glass MG in the
Further, the glass plate production method of the present invention is applied to a glass plate using a glass having a liquidus viscosity of 60000 poise or less, further a glass having a liquidus viscosity of 50000 poise or less, particularly a glass having a liquidus viscosity of 45000 poise or less. Devitrification is unlikely to occur.
歪点が655℃以上あるいは液相粘度が45000poise以下のガラスをガラス板に用いる場合、ガラス組成としては、例えば、ガラス板が質量%表示で、以下の成分を含むものが例示される。
SiO2 52〜78質量%、
Al2O3 3〜25質量%、
B2O3 3〜15質量%、
RO(但し、RはMg、Ca,Sr及びBaから選ばれる、ガラス板が含有する全ての成分であって、少なくとも1種である) 3〜20質量%、
を含み、
質量比(SiO2+Al2O3)/B2O3は7〜20の範囲にある無アルカリガラスまたはアルカリ微量含有ガラスであることが、好ましい。
さらに、歪点をより上昇するために、質量比(SiO2+Al2O3)/ROは7.5以上であることが好ましい。さらに、歪点を上昇させるために、β−OH値を0.1〜0.3mm-1とすることが好ましい。さらに、高い歪点を実現しつつ液相粘度の低下を防止するためにCaO/ROは0.65以上とすることが好ましい。環境負荷を考慮して、As2O3、Sb2O3及びPbOを実質的に含有しないようにガラス原料を調製してもよい。
When glass having a strain point of 655 ° C. or higher or a liquid phase viscosity of 45000 poise or less is used for the glass plate, examples of the glass composition include those in which the glass plate is expressed by mass% and contains the following components.
SiO 2 52~78% by weight,
Al 2 O 3 3-25% by mass,
B 2 O 3 3-15% by mass,
RO (however, R is selected from Mg, Ca, Sr and Ba, and is all components contained in the glass plate and is at least one) 3 to 20% by mass,
Including
The mass ratio (SiO 2 + Al 2 O 3 ) / B 2 O 3 is preferably an alkali-free glass or a glass containing a trace amount of alkali in the range of 7-20.
Furthermore, in order to further increase the strain point, the mass ratio (SiO 2 + Al 2 O 3 ) / RO is preferably 7.5 or more. Furthermore, in order to raise a strain point, it is preferable to make (beta) -OH value into 0.1-0.3 mm < -1 >. Furthermore, in order to prevent a decrease in liquid phase viscosity while realizing a high strain point, CaO / RO is preferably 0.65 or more. In consideration of environmental load, the glass raw material may be prepared so as not to substantially contain As 2 O 3 , Sb 2 O 3 and PbO.
さらに、上述した成分に加え、本実施形態のガラス板に用いるガラスは、ガラスの様々な物理的、溶融、清澄、および、成形の特性を調節するために、様々な他の酸化物を含有しても差し支えない。そのような他の酸化物の例としては、以下に限られないが、SnO2、TiO2、MnO、ZnO、Nb2O5、MoO3、Ta2O5、WO3、Y2O3、および、La2O3が挙げられる。ここで、液晶ディスプレイや有機ELディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ用ガラス板は、泡に対する要求が特に厳しいので、上記酸化物の中では清澄効果が大きいSnO2を少なくとも含有することが好ましい。 Furthermore, in addition to the components described above, the glass used in the glass plate of this embodiment contains various other oxides to adjust various physical, melting, fining, and forming properties of the glass. There is no problem. Examples of such other oxides include, but are not limited to, SnO 2 , TiO 2 , MnO, ZnO, Nb 2 O 5 , MoO 3 , Ta 2 O 5 , WO 3 , Y 2 O 3 , and it includes La 2 O 3. Here, glass plates for flat panel displays such as liquid crystal displays and organic EL displays, since demand for the foam is particularly severe, the in the oxide preferably contains at least SnO 2 refining effect is large.
上記ROの供給源には、硝酸塩や炭酸塩を用いることができる。なお、溶融ガラスの酸化性を高めるには、ROの供給源として硝酸塩を工程に適した割合で用いることがより望ましい。 Nitrate and carbonate can be used as the RO supply source. In order to increase the oxidizability of the molten glass, it is more desirable to use nitrate as a supply source of RO at a ratio suitable for the process.
以上、本発明のガラス板の製造方法について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。 As mentioned above, although the manufacturing method of the glass plate of this invention was demonstrated in detail, this invention is not limited to the said embodiment, In the range which does not deviate from the main point of this invention, what may be variously improved and changed. Of course.
100 熔解装置
101 熔解槽
101d バケット
102 清澄槽
103 攪拌槽
103a スターラ
104,105,106 ガラス供給管
106a ガラス供給管本体
106b 管拡張部
200 成形装置
210 成形体
210a 溝部
210b 側壁
210c 下方先端
210d 底面
210e 溝傾斜面
300 切断装置
DESCRIPTION OF
Claims (7)
ガラス原料を熔解して溶融ガラスをつくる工程と、
前記熔融ガラスを、移送管を通して成形体に供給する供給工程と、
前記熔融ガラスを、前記成形体を用いて成形して、シートガラスをつくる成形工程と、を含み、
前記移送管は、熔融ガラスの流路断面が拡張する管拡張部を有し、前記管拡張部の一端が前記成形体の前記溝部と接続し、
前記供給工程において前記熔融ガラスを前記移送管から前記成形体の溝部に供給するとき、前記移送管を流れる熔融ガラスの流路断面の幅が、前記移送管の開口端と前記成形体の前記溝部の開口端の接続位置に近づくにつれて徐々に広がり、前記接続位置で溝部の溝幅になり、かつ、前記接続位置において、前記移送管の開口端の縁は、前記成形体の前記溝部の開口端における少なくとも底面の縁形状に一致する形状を有し、前記移送管の壁面は前記溝部の前記底面と段差なく接続されている、ことを特徴とするガラス板の製造方法。 A glass plate manufacturing method for manufacturing a glass plate,
A process of melting glass raw materials to make molten glass;
Supplying the molten glass to the molded body through a transfer tube;
Forming the molten glass using the molded body, and forming a sheet glass,
The transfer tube has a tube expansion portion in which a flow passage cross section of the molten glass expands, and one end of the tube expansion portion is connected to the groove portion of the molded body,
When the molten glass is supplied from the transfer tube to the groove of the molded body in the supplying step, the width of the cross section of the flow path of the molten glass flowing through the transfer tube is such that the opening end of the transfer tube and the groove of the molded body And gradually widens as it approaches the connection position of the open end of the groove, becomes the groove width of the groove at the connection position, and the edge of the open end of the transfer pipe at the connection position is the open end of the groove of the molded body And a wall surface of the transfer pipe is connected to the bottom surface of the groove portion without a step difference.
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