JP5673119B2 - Light source device and projector - Google Patents

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本発明は、光源装置及びプロジェクターに関するものである。   The present invention relates to a light source device and a projector.

近年、レーザー光源を用いた光源装置として、レーザー光を直接照明光として用いるのではなく、蛍光体に照射して得られる蛍光を照明光として利用する光源装置が提案されている(例えば特許文献1参照)。   In recent years, as a light source device using a laser light source, there has been proposed a light source device that uses, as illumination light, fluorescence obtained by irradiating a phosphor instead of directly using laser light as illumination light (for example, Patent Document 1). reference).

特許文献1の光源装置は、励起光(青色光)を射出する光源と、モーターにより回転される円板上に2種類の蛍光体の層(赤色蛍光体の層と緑色蛍光体の層)を形成してなる蛍光板と、を備えている。円板上には、回転方向に沿って3つのセグメント領域が形成されている。3つのセグメント領域のうち2つには、互いに異なる色光(赤色光と緑色光)を放射する2種類の蛍光体の層が形成され、残りのセグメント領域には、励起光(青色光)を散乱する散乱体が形成されている。   The light source device of Patent Document 1 includes a light source that emits excitation light (blue light) and two types of phosphor layers (a red phosphor layer and a green phosphor layer) on a disk that is rotated by a motor. And a fluorescent plate formed. On the disk, three segment regions are formed along the rotation direction. Two of the three segment areas are formed with two types of phosphor layers that emit different colored light (red light and green light), and the remaining segment areas scatter excitation light (blue light). A scatterer is formed.

このような光源装置によれば、励起光と2種類の蛍光体の層とを用いて時間分割で3つの色光を順次放射するため、時間積分することにより白色光を得ることを可能とする光源装置となる。   According to such a light source device, since the three colored lights are sequentially emitted in time division using the excitation light and the two types of phosphor layers, the light source capable of obtaining white light by time integration. It becomes a device.

また、特許文献1の図6では、蛍光体の層の射出面に面して、蛍光体の層で波長変換されずに透過した励起光を選択的に反射し蛍光体の層に再度導く励起光反射層を備える構成が提案されている。このような構成によれば、波長変換されなかった励起光を再度蛍光体の層での発光に利用できるため、変換効率(入射する励起光の光量に対する、得られる蛍光の光量の割合)が向上する。   Further, in FIG. 6 of Patent Document 1, the excitation light that faces the emission surface of the phosphor layer and selectively reflects the excitation light transmitted through the phosphor layer without being wavelength-converted and re-directs it to the phosphor layer. A configuration including a light reflection layer has been proposed. According to such a configuration, since the excitation light that has not been wavelength-converted can be used again for light emission in the phosphor layer, the conversion efficiency (ratio of the amount of fluorescent light obtained to the amount of incident excitation light) is improved. To do.

特開2009−277516号公報JP 2009-277516 A

上記特許文献の光源装置では、蛍光体の層から射出される励起光は、蛍光体で拡散した拡散光となっている。そのため、励起光反射層で反射された励起光によって蛍光体の層が照射される領域の面積は、蛍光体の層が励起光源から射出された励起光によって直接照射される領域の面積よりも大きくなる。すると、蛍光の発光面積が大きくなることになり、蛍光のエテンデュ(Etendue:光線束の断面積と光源からの放射立体角の積)が増大することになる。   In the light source device of the above patent document, the excitation light emitted from the phosphor layer is diffused light diffused by the phosphor. Therefore, the area of the region where the phosphor layer is irradiated by the excitation light reflected by the excitation light reflecting layer is larger than the area of the region where the phosphor layer is directly irradiated by the excitation light emitted from the excitation light source. Become. As a result, the emission area of the fluorescence increases, and the fluorescence etendue (Etendue: product of the cross-sectional area of the beam bundle and the solid solid angle emitted from the light source) increases.

エテンデュが大きい光源では、射出される光が光路内を伝播する際に、光学系の飲み込み角を超えてしまい損失する成分が増加しやすい。そのため、結果として励起光反射層で反射させた励起光の再利用の効果が低下してしまう。   In a light source having a large etendue, when the emitted light propagates in the optical path, the loss component easily exceeds the swallowing angle of the optical system. Therefore, as a result, the effect of reusing the excitation light reflected by the excitation light reflecting layer is reduced.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、励起光の利用効率を向上させるとともに、エテンデュの小さい光源装置を提供することを目的とする。また、このような光源装置を有し、高品質な画像表示が可能なプロジェクターを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and it is an object of the present invention to improve the utilization efficiency of excitation light and provide a light source device with a small etendue. It is another object of the present invention to provide a projector having such a light source device and capable of displaying a high-quality image.

上記の課題を解決するため、本発明の光源装置は、基板と、前記基板上に設けられた蛍光体層と、前記蛍光体を励起する第1の光を含む光を射出する光源と、前記蛍光体層から射出される蛍光の波長帯域にあたる光を透過するとともに、前記第1の光のうち前記蛍光体層を透過した透過光のピーク波長にあたる光を反射する波長選択ミラーと、前記波長選択ミラーと前記蛍光体層との間の前記透過光の光路上に設けられた集光光学系と、を備え、前記基板は、少なくとも前記第1の光のピーク波長にあたる光を透過させる材料で形成されていることを特徴とする。
この構成によれば、蛍光体層を透過した励起光を波長選択ミラーで反射し、再度蛍光体層に照射して蛍光に変換することができるため、励起光の利用効率を向上させることができる。また、波長選択ミラーで反射した励起光を、集光光学系により集光した後に照射することとなるため、励起光の照射面積の増大を低減することができ、蛍光の発光面積の増大を抑制することができる。したがって、エテンデュの小さい蛍光光源とすることができる。
In order to solve the above problems, a light source device according to the present invention includes a substrate, a phosphor layer provided on the substrate, a light source that emits light including first light that excites the phosphor, A wavelength selection mirror that transmits light corresponding to a wavelength band of fluorescence emitted from the phosphor layer and reflects light corresponding to a peak wavelength of transmitted light that has passed through the phosphor layer among the first light, and the wavelength selection A condensing optical system provided on an optical path of the transmitted light between a mirror and the phosphor layer, and the substrate is formed of a material that transmits at least light corresponding to the peak wavelength of the first light It is characterized by being.
According to this configuration, the excitation light that has passed through the phosphor layer can be reflected by the wavelength selection mirror and irradiated again to the phosphor layer to be converted into fluorescence, so that the use efficiency of the excitation light can be improved. . In addition, since the excitation light reflected by the wavelength selection mirror is irradiated after being condensed by the condensing optical system, the increase in the irradiation area of the excitation light can be reduced, and the increase in the fluorescence emission area is suppressed. can do. Therefore, a fluorescent light source with a small etendue can be obtained.

本発明においては、前記基板は、少なくとも前記第1の光のピーク波長にあたる光を透過させる材料で形成され、前記蛍光体層は、前記基板に対して前記第1の光が入射する側とは反対側の面に設けられていることが望ましい。
蛍光体層では、励起光が入射する側で多く蛍光を発し、且つ励起光及び蛍光発光による発熱を生じる。しかし、この構成によれば、蛍光体層で生じた熱を、効率的に基板を介して放熱することができ、蛍光体層の温度上昇を防ぎ、蛍光体層の形成材料の温度消光を抑制することができる。
In the present invention, the substrate is formed of a material that transmits at least light corresponding to the peak wavelength of the first light, and the phosphor layer is a side on which the first light is incident on the substrate. It is desirable to be provided on the opposite surface.
The phosphor layer emits a lot of fluorescence on the side where the excitation light is incident, and generates heat due to the excitation light and fluorescence emission. However, according to this configuration, the heat generated in the phosphor layer can be efficiently dissipated through the substrate, preventing the temperature rise of the phosphor layer and suppressing the temperature quenching of the material forming the phosphor layer. can do.

本発明においては、前記基板は、所定の回転軸の周りを回転可能に設けられ、前記蛍光体層は、前記基板上において、前記回転軸の周りの環状領域に設けられていることが望ましい。
この構成によれば、励起光が蛍光体層上の同一の位置を照射し続けることがないため、蛍光体層の熱劣化を防止し、装置を長寿命化することができる。
In the present invention, it is preferable that the substrate is provided to be rotatable around a predetermined rotation axis, and the phosphor layer is provided in an annular region around the rotation axis on the substrate.
According to this configuration, since the excitation light does not continue to irradiate the same position on the phosphor layer, thermal degradation of the phosphor layer can be prevented and the life of the apparatus can be extended.

本発明においては、前記光源から射出される光から前記第1の光と第2の光とを分割する導光光学系を有し、前記蛍光と前記第2の光とを射出することが望ましい。
この構成によれば、同一の光源から射出される光を用いて蛍光と第2の光とを形成することができる。そのため、光源の装置構成を簡略化することができる。
In the present invention, it is desirable to have a light guide optical system that splits the first light and the second light from the light emitted from the light source, and emits the fluorescence and the second light. .
According to this configuration, it is possible to form fluorescence and second light using light emitted from the same light source. Therefore, the device configuration of the light source can be simplified.

本発明においては、前記蛍光と前記第2の光とを合成する合成光学系を有していることが望ましい。
この構成によれば、同一の光路から幅広い波長帯域の光を射出することができる。
In the present invention, it is desirable to have a synthesis optical system that synthesizes the fluorescence and the second light.
According to this configuration, light having a wide wavelength band can be emitted from the same optical path.

本発明においては、前記第1の光は、前記蛍光の補色の色光であることが望ましい。
この構成によれば、白色光を射出する光源装置とすることができる。
In the present invention, it is preferable that the first light is a color light of a complementary color of the fluorescence.
According to this configuration, a light source device that emits white light can be obtained.

本発明においては、前記蛍光体層と、前記基板の前記第1の光が入射する側の表面と、の間において、前記蛍光体層と平面視で重なり、前記第1の光のピーク波長にあたる光を透過させるとともに、前記蛍光の波長帯域にあたる光を反射する波長選択膜が設けられていることが望ましい。
この構成によれば、蛍光体層で生じた蛍光が、励起光の入射側に戻ることを防ぎ、効果的に射出方向に向かわせることが可能となる。
In the present invention, the phosphor layer overlaps the phosphor layer in plan view between the phosphor layer and the surface of the substrate on which the first light is incident, and corresponds to the peak wavelength of the first light. It is desirable to provide a wavelength selection film that transmits light and reflects light in the fluorescence wavelength band.
According to this configuration, the fluorescence generated in the phosphor layer is prevented from returning to the incident side of the excitation light, and can be effectively directed in the emission direction.

本発明においては、前記光源は、前記第1の光として青色の波長帯域の光を射出することが望ましい。
この構成によれば、カラー表示における青色領域において明るい表示が可能となる。
In the present invention, it is desirable that the light source emits light in a blue wavelength band as the first light.
According to this configuration, bright display is possible in a blue region in color display.

本発明においては、前記光源は、固体光源であることが望ましい。
この構成によれば、光源装置を小型化し、光源の長寿命化が可能となる。
In the present invention, the light source is preferably a solid light source.
According to this configuration, the light source device can be downsized and the life of the light source can be extended.

本発明においては、前記光源は、半導体レーザーであることが望ましい。
この構成によれば、高出力の励起光を射出することができる。
In the present invention, the light source is preferably a semiconductor laser.
According to this configuration, high-output excitation light can be emitted.

また、本発明のプロジェクターは、上述の光源装置と、前記光源装置から射出される光を変調する光変調素子と、前記光変調素子によって変調された光を投写する投写光学系と、を備えることを特徴とする。
この構成によれば、上述の光源装置を有するため、高品質な画像表示が可能となる。
According to another aspect of the invention, there is provided a projector comprising: the light source device described above; a light modulation element that modulates light emitted from the light source apparatus; and a projection optical system that projects light modulated by the light modulation element. It is characterized by.
According to this configuration, since the above-described light source device is provided, high-quality image display is possible.

本実施形態の光源装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the light source device of this embodiment. 光源装置および蛍光体層の発光特性を示すグラフである。It is a graph which shows the light emission characteristic of a light source device and a fluorescent substance layer. 本実施形態の光源装置が備える発光素子を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the light emitting element with which the light source device of this embodiment is provided. 発光素子が備える蛍光体層の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the fluorescent substance layer with which a light emitting element is provided. 蛍光体層を透過する励起光の挙動を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the behavior of the excitation light which permeate | transmits a fluorescent substance layer. 光拡散部材の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of a light-diffusion member. 本実施形態のプロジェクターを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the projector of this embodiment. 偏光変換素子の説明図である。It is explanatory drawing of a polarization conversion element.

以下、図1〜図8を参照しながら、本発明の実施形態に係る光源装置およびプロジェクターについて説明する。なお、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の寸法や比率などは適宜異ならせてある。   Hereinafter, a light source device and a projector according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In all the drawings below, the dimensions and ratios of the constituent elements are appropriately changed in order to make the drawings easy to see.

図1は、本実施形態の光源装置100の構成を示す模式図である。図1に示すように、光源装置100は、光源部(光源)10、コリメート光学系20、導光光学系30、発光素子40、ピックアップレンズ(集光光学系)50、ダイクロイックミラー(波長選択ミラー)60、光拡散部材70、合成光学系80を有している。   FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration of a light source device 100 according to the present embodiment. As shown in FIG. 1, a light source device 100 includes a light source unit (light source) 10, a collimating optical system 20, a light guiding optical system 30, a light emitting element 40, a pickup lens (condensing optical system) 50, a dichroic mirror (wavelength selection mirror). ) 60, a light diffusion member 70, and a synthetic optical system 80.

光源装置100では、光源部10から射出されるレーザー光Bの一部を第1の光として発光素子40に照射することにより、発光素子40で黄色の蛍光を生じさせる。レーザー光は青色光であり、蛍光とは補色の関係にある。また、レーザー光Bの残部は第2の光として光拡散部材70に入射し、拡散される。光源装置100は、蛍光と、光拡散部材70を透過して拡散された青色のレーザー光と、を合成することにより、白色光Lを射出する。   In the light source device 100, yellow fluorescence is generated in the light emitting element 40 by irradiating the light emitting element 40 with a part of the laser beam B emitted from the light source unit 10 as the first light. The laser light is blue light and has a complementary color relationship with fluorescence. Further, the remaining part of the laser beam B enters the light diffusion member 70 as the second light and is diffused. The light source device 100 emits white light L by combining the fluorescence and the blue laser light that has been diffused through the light diffusion member 70.

本実施形態の光源装置100は、プロジェクターの照明光として好適に用いることができる。以下、光源装置100の構成を順に説明する。   The light source device 100 of this embodiment can be suitably used as illumination light for a projector. Hereinafter, the configuration of the light source device 100 will be described in order.

光源部10は、複数(図では3つ)のレーザー光源11を有し、青色(発光強度のピーク:約445nm、図2(a)参照)のレーザー光Bを射出するレーザー光源アレイである。光源部10では、例えば、半導体レーザー光源(固体光源)11を2次元状に配列することにより、高出力の励起光源とすることができる。図2(a)において、符号Bで示すのは、光源部10が射出する色光(青色光)成分である。   The light source unit 10 includes a plurality of (three in the drawing) laser light sources 11 and is a laser light source array that emits a blue (light emission intensity peak: about 445 nm, see FIG. 2A) laser light B. In the light source unit 10, for example, a semiconductor laser light source (solid light source) 11 can be two-dimensionally arranged to provide a high-output excitation light source. In FIG. 2A, reference numeral B denotes a color light (blue light) component emitted from the light source unit 10.

なお、光源部10は、レーザー光源アレイではなく、1つのレーザー光源だけを用いることとしてもよい。また、レーザー光源ではなくLED等の他の固体光源を用いることも可能である。さらには、後述する蛍光物質を励起させることができる波長の光であれば、445nm以外のピーク波長を有する色光を射出する固体光源以外の光源であっても構わない。   The light source unit 10 may use only one laser light source instead of the laser light source array. It is also possible to use other solid light sources such as LEDs instead of laser light sources. Furthermore, a light source other than a solid light source that emits colored light having a peak wavelength other than 445 nm may be used as long as the light has a wavelength that can excite a fluorescent material to be described later.

コリメート光学系20では、コリメーターレンズアレイ21と、集光レンズ23と、平行化レンズ25と、が光路上にこの順で配置されている。光源部10から出射されたレーザー光Bは、光源部10のレーザー光源に1体1で対応して設けられたコリメーターレンズアレイ21の小レンズに入射して平行化され、集光レンズ23で集光された後に平行化レンズ25を透過することにより、レーザー光全体として光線束が細められる。   In the collimating optical system 20, a collimator lens array 21, a condenser lens 23, and a collimating lens 25 are arranged in this order on the optical path. The laser beam B emitted from the light source unit 10 is incident on a small lens of a collimator lens array 21 provided corresponding to the laser light source of the light source unit 10 as one body 1 and is collimated. By passing through the collimating lens 25 after being condensed, the beam bundle as a whole is reduced.

導光光学系30は、第1ミラー31、第2ミラー32を含んでいる。これらのうち、第1ミラー31は、入射するレーザー光Bの一部を反射するとともに、残部を透過させるビームスプリッターである。また第2ミラー32は、レーザー光Bを反射する反射ミラーである。   The light guide optical system 30 includes a first mirror 31 and a second mirror 32. Among these, the first mirror 31 is a beam splitter that reflects a part of the incident laser beam B and transmits the remaining part. The second mirror 32 is a reflection mirror that reflects the laser beam B.

第1ミラー31は、透明基板上に誘電体多層膜のような光分離膜が形成された構成を有している。用いる第1ミラー31の反射光と透過光との比率は、光分離膜の構成(屈折率、厚さ等)を制御することにより任意に制御可能である。   The first mirror 31 has a configuration in which a light separation film such as a dielectric multilayer film is formed on a transparent substrate. The ratio of the reflected light and transmitted light of the first mirror 31 to be used can be arbitrarily controlled by controlling the configuration (refractive index, thickness, etc.) of the light separation film.

コリメート光学系20から射出されたレーザー光Bは、第1ミラー31に入射し、一部が透過して第1励起光B1として射出される。また、第1ミラー31で反射するレーザー光Bの残部は、第2ミラー32で反射し、第2励起光B2として発光素子40に入射する。このようにして、レーザー光Bは、第1励起光B1,第2励起光B2の2つの光線束に分割される。ただし、第1励起光B1は、光拡散部材70を励起させる光ではない。第1励起光B1は光拡散部材70によって拡散され、配光性が変更された青色光として光拡散部材70から射出される。第2励起光B2が本発明における第1の光であり、第1励起光B1が本発明における第2の光である。   The laser light B emitted from the collimating optical system 20 is incident on the first mirror 31, and part of the laser light B is transmitted and emitted as the first excitation light B1. The remaining part of the laser beam B reflected by the first mirror 31 is reflected by the second mirror 32 and enters the light emitting element 40 as the second excitation light B2. In this way, the laser beam B is divided into two beam bundles of the first excitation light B1 and the second excitation light B2. However, the first excitation light B <b> 1 is not light that excites the light diffusion member 70. The first excitation light B1 is diffused by the light diffusing member 70 and emitted from the light diffusing member 70 as blue light whose light distribution is changed. The second excitation light B2 is the first light in the present invention, and the first excitation light B1 is the second light in the present invention.

発光素子40は、発光素子40に設けられた蛍光体層45を用いて、第2励起光B2を第2励起光B2とは異なる波長の蛍光に変換する。   The light emitting element 40 uses the phosphor layer 45 provided in the light emitting element 40 to convert the second excitation light B2 into fluorescence having a wavelength different from that of the second excitation light B2.

発光素子40については、図1、3、4を合わせて参照しながら説明する。図3は、発光素子40の平面図、図4は、発光素子40に設けられた蛍光体層45の一部断面図である。   The light emitting element 40 will be described with reference to FIGS. FIG. 3 is a plan view of the light emitting element 40, and FIG. 4 is a partial cross-sectional view of the phosphor layer 45 provided in the light emitting element 40.

図1および図3に示すように、発光素子40は、平面視円形の基板41と、基板41の第1主面41a上において設定された環状領域ARに設けられた蛍光体層45と、を有している。発光素子40は、基板41の中心を通る第1主面41aの法線と平行に設けられた回転軸48がモーター49に接続され、回転可能に設けられている。蛍光体層45は、図3に示すように、基板41の回転中心(すなわち回転軸48と基板41との交点)に対して略同心に設けられている。   As shown in FIGS. 1 and 3, the light emitting element 40 includes a substrate 41 having a circular shape in plan view, and a phosphor layer 45 provided in an annular region AR set on the first main surface 41 a of the substrate 41. Have. The light emitting element 40 is rotatably provided with a rotation shaft 48 provided in parallel with the normal line of the first main surface 41 a passing through the center of the substrate 41 and connected to a motor 49. As shown in FIG. 3, the phosphor layer 45 is provided substantially concentrically with respect to the rotation center of the substrate 41 (that is, the intersection between the rotation shaft 48 and the substrate 41).

このような発光素子40では、蛍光体層45が形成されていない第2主面41bが導光光学系30側に面し、第2主面41b側から第2励起光B2が入射するように配置されている。   In such a light emitting element 40, the second main surface 41b on which the phosphor layer 45 is not formed faces the light guide optical system 30 side, and the second excitation light B2 is incident from the second main surface 41b side. Has been placed.

蛍光体層45は、蛍光を発する蛍光体粒子を有しており、第2励起光B2(青色光)を吸収し黄色(発光強度のピーク:約550nm、図2(b)参照)の蛍光に変換する機能を有する。図2(b)において符号Rで示した成分は、蛍光体層45が射出する黄色光のうち赤色光として利用可能な色光成分であり、符号Gで示した成分は、同様に緑色光として利用可能な色光成分である。図1では、赤色光Rと緑色光Gとを含む蛍光を符号RGで示している。蛍光体層45の構成については、後に詳述する。   The phosphor layer 45 has phosphor particles that emit fluorescence, and absorbs the second excitation light B2 (blue light) to produce yellow fluorescence (peak of emission intensity: about 550 nm, see FIG. 2B). Has a function to convert. In FIG. 2B, the component indicated by R is a color light component that can be used as red light among the yellow light emitted from the phosphor layer 45, and the component indicated by G is also used as green light. Possible color light component. In FIG. 1, fluorescence including red light R and green light G is indicated by reference numeral RG. The configuration of the phosphor layer 45 will be described in detail later.

通常、蛍光体層45では、励起光が入射する側で多く蛍光を発すると共に発熱も生じる。そのため、第2主面41b側から蛍光体層45に励起光を照射すると、蛍光体層45においては、基板41に近い側での発熱量が多くなる。しかしこのとき、蛍光体層45で生じた熱は、効率的に基板41を介して放熱されるため、蛍光体層45の温度上昇を防ぎ、蛍光体層45の形成材料の温度消光を抑制することができる。   Normally, the phosphor layer 45 emits a lot of fluorescence and generates heat on the side where the excitation light is incident. Therefore, when the phosphor layer 45 is irradiated with excitation light from the second main surface 41b side, the amount of heat generated on the phosphor layer 45 on the side close to the substrate 41 increases. However, at this time, the heat generated in the phosphor layer 45 is efficiently dissipated through the substrate 41, so that the temperature of the phosphor layer 45 is prevented from rising and the temperature quenching of the forming material of the phosphor layer 45 is suppressed. be able to.

基板41は、基板本体42と、基板本体42と蛍光体層45との間に設けられた波長選択膜43と、基板本体42の波長選択膜43とは反対側の面に設けられた反射防止膜44と、を有している。   The substrate 41 includes a substrate body 42, a wavelength selection film 43 provided between the substrate body 42 and the phosphor layer 45, and an antireflection coating provided on the surface of the substrate body 42 opposite to the wavelength selection film 43. And a film 44.

基板本体42は、励起光である青色光を透過させる物質を形成材料としており、例えば、石英ガラス、水晶、サファイア(単結晶コランダム)、透明樹脂などを用いることができる。これらの中では、励起光による加熱で変形しないように無機物である石英ガラス、水晶、サファイアが好適に用いられる。さらには、基板41に、蛍光体層45において発光する際に生じる発熱を放熱させる場合には、伝熱性等を考慮して水晶を形成材料として用いることが好ましい。   The substrate body 42 uses a material that transmits blue light, which is excitation light, as a forming material. For example, quartz glass, crystal, sapphire (single crystal corundum), transparent resin, or the like can be used. Among these, quartz glass, quartz, and sapphire, which are inorganic materials, are preferably used so as not to be deformed by heating with excitation light. Further, when the substrate 41 is made to dissipate heat generated when light is emitted from the phosphor layer 45, it is preferable to use quartz as a forming material in consideration of heat transfer and the like.

波長選択膜43は、基板本体42の表面に積層された誘電体多層膜のような光分離膜である。波長選択膜43は、第2励起光B2の波長帯域の色光を選択的に透過させ、それ以外の波長帯域の色光を反射させる波長選択性を有している。具体的には、波長選択膜43は青色光(例えば、波長が約445nmの光)を透過させ、青色光よりも長波長の光(例えば、480nmよりも長波長の光)を反射させる。これにより、青色光である第2励起光B2は波長選択膜43を透過し、蛍光体層45に入射する。また、蛍光体層45で生じる蛍光RGが導光光学系30の方向に戻ることを防ぎ、射出方向(合成光学系80の方向)に向かわせることが可能となる。   The wavelength selection film 43 is a light separation film such as a dielectric multilayer film laminated on the surface of the substrate body 42. The wavelength selection film 43 has wavelength selectivity that selectively transmits color light in the wavelength band of the second excitation light B2 and reflects color light in other wavelength bands. Specifically, the wavelength selection film 43 transmits blue light (for example, light having a wavelength of about 445 nm) and reflects light having a longer wavelength than blue light (for example, light having a longer wavelength than 480 nm). As a result, the second excitation light B <b> 2 that is blue light is transmitted through the wavelength selection film 43 and is incident on the phosphor layer 45. Further, it is possible to prevent the fluorescence RG generated in the phosphor layer 45 from returning in the direction of the light guide optical system 30 and to direct it in the emission direction (the direction of the synthesis optical system 80).

反射防止膜44は、通常知られた誘電体多層膜で構成されるものを用いることができる。反射防止膜44を構成する複数の層は、それぞれ第2励起光B2の反射を防止するように屈折率が調整されている。これにより、第2主面41bにおける第2励起光B2の損失を抑えることができる。   As the antireflection film 44, a film composed of a generally known dielectric multilayer film can be used. The plurality of layers constituting the antireflection film 44 are adjusted in refractive index so as to prevent reflection of the second excitation light B2. Thereby, the loss of the 2nd excitation light B2 in the 2nd main surface 41b can be suppressed.

図4に示すように、蛍光体層45は、蛍光を発する複数の蛍光体粒子451と、光透過性を有する基材452と、を有している。第2励起光B2は、蛍光体層45に入射して、一部が蛍光RGに変換される。また、第2励起光B2のうち蛍光体層45で蛍光RGに変換されなかった成分は、蛍光体粒子451で屈折し拡散しながら射出される。   As shown in FIG. 4, the phosphor layer 45 includes a plurality of phosphor particles 451 that emit fluorescence, and a base material 452 having optical transparency. The second excitation light B2 is incident on the phosphor layer 45 and part thereof is converted into fluorescence RG. Further, the component of the second excitation light B2 that has not been converted into the fluorescence RG by the phosphor layer 45 is refracted and diffused by the phosphor particles 451 and emitted.

蛍光体粒子451は、第2励起光B2を吸収し、蛍光RGを発する粒子状の蛍光物質である。例えば、蛍光体粒子451には、波長が約445nmの青色光によって励起されて蛍光を発する物質が含まれており、第2励起光B2の一部を、赤色の波長帯域から緑色の波長帯域までを含む光に変換して射出する。このような蛍光体粒子451として、平均粒径が1μmから数十μm程度のものが高い発光効率を示すことが知られている。   The phosphor particles 451 are particulate fluorescent materials that absorb the second excitation light B2 and emit fluorescence RG. For example, the phosphor particles 451 include a substance that emits fluorescence when excited by blue light having a wavelength of about 445 nm, and a part of the second excitation light B2 is transferred from the red wavelength band to the green wavelength band. Converted into light containing As such phosphor particles 451, those having an average particle diameter of about 1 μm to several tens of μm are known to exhibit high luminous efficiency.

蛍光体粒子451としては、通常知られたYAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット)系蛍光体を用いることができる。例えば、平均粒径が10μmの(Y,Gd)(Al,Ga)12:Ceで示される組成のYAG系蛍光体(屈折率:約1.8)を用いることができる。 As the phosphor particles 451, a commonly known YAG (yttrium, aluminum, garnet) phosphor can be used. For example, a YAG phosphor having a composition represented by (Y, Gd) 3 (Al, Ga) 5 O 12 : Ce having an average particle diameter of 10 μm (refractive index: about 1.8) can be used.

なお、蛍光体粒子451の形成材料は、1種であっても良く、2種以上の形成材料を用いて形成されている粒子を混合したものを蛍光体粒子451として用いることとしてもよい。例えば、赤色の蛍光を発する(Sr,Ca)AlSiN:Euで示される組成の蛍光体等の材料と、緑色の蛍光を発する(YGd)Al12:Ceで示される組成の蛍光体等の材料と、を混合して、用いることで、蛍光RGが得られる蛍光体粒子を調整することとしてもかまわない。 Note that the phosphor particles 451 may be formed of a single material, or a mixture of particles formed using two or more materials may be used as the phosphor particles 451. For example, a material such as a phosphor having a composition represented by (Sr, Ca) AlSiN 3 : Eu that emits red fluorescence, and a phosphor having a composition represented by (YGd) 3 Al 5 O 12 : Ce that emits green fluorescence. It is also possible to adjust phosphor particles from which fluorescent RG can be obtained by mixing and using such materials.

ここで、蛍光体粒子451の平均粒径は、レーザー回折散乱方式を測定原理とした粒度分布測定装置(例えば、SALD2200(島津製作所社製))を用いて測定することができる。本実施形態では、平均粒径としてメジアン粒径(Median Size:粒径分布の中央値)を採用した。   Here, the average particle diameter of the phosphor particles 451 can be measured using a particle size distribution measuring apparatus (for example, SALD 2200 (manufactured by Shimadzu Corporation)) based on the laser diffraction scattering method. In this embodiment, the median particle size (Median Size: median of particle size distribution) is adopted as the average particle size.

基材452は、蛍光体粒子451のバインダーとして機能する。基材452の形成材料としては、光透過性を有する樹脂材料を用いることができ、中でも高い耐熱性を有するシリコーン樹脂を好適に用いることができる。   The base material 452 functions as a binder for the phosphor particles 451. As a material for forming the base material 452, a resin material having optical transparency can be used, and among them, a silicone resin having high heat resistance can be preferably used.

モーター49は、発光素子40を使用時において例えば7500rpmで回転させる。この場合、発光素子40において第2励起光B2が照射される領域(ビームスポット)は、周方向に移動する。すなわち、モーター49は、発光素子40におけるビームスポットの位置を変位させる位置変位手段として機能する。これにより、励起光が発光素子40上の同一の位置を照射し続けないため、照射位置の熱劣化を防止し、装置を長寿命化することができる。また、蛍光体45が基板41の回転中心に対して略同心に設けられているため、第2励起光B2のビームスポットが描く軌跡と、蛍光体層45の形状とを一致させることができ、蛍光体層45を最小限の幅で形成することができる。そのため、材料の無駄を抑制することができる。   The motor 49 rotates the light emitting element 40 at 7500 rpm, for example. In this case, the region (beam spot) irradiated with the second excitation light B2 in the light emitting element 40 moves in the circumferential direction. That is, the motor 49 functions as a position displacement unit that displaces the position of the beam spot in the light emitting element 40. Thereby, since excitation light does not continue irradiating the same position on the light emitting element 40, the thermal deterioration of an irradiation position can be prevented and a lifetime of an apparatus can be extended. Further, since the phosphor 45 is provided substantially concentrically with respect to the rotation center of the substrate 41, the locus drawn by the beam spot of the second excitation light B2 and the shape of the phosphor layer 45 can be matched. The phosphor layer 45 can be formed with a minimum width. Therefore, waste of material can be suppressed.

ピックアップレンズ50は、蛍光体層45と後述するダイクロイックミラー60との間の、第2励起光B2の残部(蛍光体層45を透過した光)の光路上に設けられている。蛍光体層45から射出される蛍光RG、および蛍光体層45で蛍光RGに変換されなかった第2励起光B2の残部は、蛍光体層45に面して設けられているピックアップレンズ50に入射する。ピックアップレンズ50では、蛍光体層45から拡散しながら射出される光を平行化する。   The pickup lens 50 is provided on the optical path of the remaining portion of the second excitation light B2 (light transmitted through the phosphor layer 45) between the phosphor layer 45 and a dichroic mirror 60 described later. The fluorescence RG emitted from the phosphor layer 45 and the remaining portion of the second excitation light B2 that has not been converted into the fluorescence RG by the phosphor layer 45 are incident on the pickup lens 50 provided facing the phosphor layer 45. To do. The pickup lens 50 collimates the light emitted while diffusing from the phosphor layer 45.

ピックアップレンズ50を透過した光は、ダイクロイックミラー(波長選択ミラー)60に入射する。ダイクロイックミラー60は、第2励起光B2の波長帯域の色光を選択的に反射させ、それ以外の波長帯域の色光を透過させる波長選択性を有している。具体的には、青色光(例えば、波長が約445nmの光)を反射させ、青色光よりも長波長の光(例えば、480nmよりも長波長の光)を透過させる。ダイクロイックミラー60は、誘電体多層膜を有して構成されている。   The light transmitted through the pickup lens 50 enters a dichroic mirror (wavelength selection mirror) 60. The dichroic mirror 60 has wavelength selectivity that selectively reflects color light in the wavelength band of the second excitation light B2 and transmits color light in other wavelength bands. Specifically, blue light (for example, light having a wavelength of about 445 nm) is reflected, and light having a longer wavelength than blue light (for example, light having a longer wavelength than 480 nm) is transmitted. The dichroic mirror 60 has a dielectric multilayer film.

そのため、このようなダイクロイックミラー60では、青色光よりも長波長の光である黄色の蛍光RGは透過し、色純度が高い蛍光となって合成光学系80の方向に射出される。一方で、青色光である第2励起光B2は蛍光体層45に向けて反射される。   Therefore, in such a dichroic mirror 60, yellow fluorescence RG that is light having a wavelength longer than that of blue light is transmitted, and is emitted in the direction of the synthesis optical system 80 as fluorescence with high color purity. On the other hand, the second excitation light B <b> 2 that is blue light is reflected toward the phosphor layer 45.

この際、ダイクロイックミラー60から蛍光体層45に向かう第2励起光B2は、集光レンズとして機能するピックアップレンズ50を透過することで、蛍光体層45上に集光する。これにより、以下のような効果を奏する。   At this time, the second excitation light B2 traveling from the dichroic mirror 60 toward the phosphor layer 45 is condensed on the phosphor layer 45 by passing through the pickup lens 50 functioning as a condensing lens. Thereby, there exist the following effects.

ここで、図5を用いて本発明の効果を説明する。ただし、図5では、第1主面41aから射出される第2励起光B2の射出領域を点に近似している。図5は、蛍光体層45から射出される第2励起光B2の挙動を示す説明図である。図5(a)は従来のようにピックアップレンズ50が無い場合、図5(b)は本実施例のようにピックアップレンズ50がある場合を示す。   Here, the effect of the present invention will be described with reference to FIG. However, in FIG. 5, the emission region of the second excitation light B2 emitted from the first main surface 41a is approximated to a point. FIG. 5 is an explanatory diagram showing the behavior of the second excitation light B <b> 2 emitted from the phosphor layer 45. FIG. 5A shows the case where there is no pickup lens 50 as in the prior art, and FIG. 5B shows the case where there is a pickup lens 50 as in this embodiment.

従来技術では、図5(a)に示すように、蛍光体層45から射出される第2励起光B2は、拡散したままダイクロイックミラー60で反射される。そのため、第2励起光B2のうち、一部の成分(図では、符号B2aで示す)は反射しても蛍光体層45に向かうことなく迷光となり、蛍光発光に利用することができない。   In the prior art, as shown in FIG. 5A, the second excitation light B2 emitted from the phosphor layer 45 is reflected by the dichroic mirror 60 while being diffused. Therefore, a part of the second excitation light B2 (indicated by reference sign B2a in the figure) is reflected and becomes stray light without going to the phosphor layer 45 and cannot be used for fluorescence emission.

また、蛍光体層45に入射する成分(図では、符号B2bで示す)は、第2励起光B2の射出領域よりも広い照射領域を形成する。図5(a)では、ダイクロイックミラー60で反射した第2励起光B2bの照射領域の幅を符号Wとして示している。このように、ダイクロイックミラー60で反射された第2励起光B2による照射領域は、第1主面41a側から照射される第2励起光B2による照射領域よりも広くなる。すなわち、第2励起光B2のうち蛍光の生成に寄与せずに蛍光体層45を透過した成分を再利用しようとすると、蛍光の発光面積が広がることになり、蛍光のエテンデュが増大してしまう。   In addition, the component (indicated by symbol B2b in the figure) incident on the phosphor layer 45 forms an irradiation region wider than the emission region of the second excitation light B2. In FIG. 5A, the width of the irradiation region of the second excitation light B <b> 2 b reflected by the dichroic mirror 60 is indicated as W. Thus, the irradiation area by the 2nd excitation light B2 reflected by the dichroic mirror 60 becomes wider than the irradiation area by the 2nd excitation light B2 irradiated from the 1st main surface 41a side. That is, if an attempt is made to reuse the component of the second excitation light B2 that has transmitted through the phosphor layer 45 without contributing to the generation of fluorescence, the emission area of the fluorescence increases, and the etendue of the fluorescence increases. .

対して、本発明によれば、図5(b)に示すように、蛍光体層45からダイクロイックミラー60に向かう第2励起光B2はピックアップレンズ50によって平行化される。また、ピックアップレンズ50は、ダイクロイックミラー60で反射して蛍光体層45に向かう第2励起光B2に対しては集光レンズとして働く。そのためダイクロイックミラー60で反射した第2励起光B2は蛍光体層45上に集光され、図5(a)と比べて照射領域が狭くなる。そのため、ダイクロイックミラー60で反射した第2励起光B2による蛍光の発光面積の増大を抑制し、蛍光のエテンデュを小さく保つことができる。   On the other hand, according to the present invention, as shown in FIG. 5B, the second excitation light B <b> 2 from the phosphor layer 45 toward the dichroic mirror 60 is collimated by the pickup lens 50. The pickup lens 50 functions as a condensing lens for the second excitation light B <b> 2 reflected by the dichroic mirror 60 and traveling toward the phosphor layer 45. Therefore, the second excitation light B2 reflected by the dichroic mirror 60 is collected on the phosphor layer 45, and the irradiation area becomes narrower than that in FIG. Therefore, it is possible to suppress an increase in the fluorescence emission area due to the second excitation light B2 reflected by the dichroic mirror 60, and to keep the fluorescence etendue small.

このようにして、蛍光体層45から射出された第2励起光B2は、蛍光体層45に再度入射し、効果的に蛍光発光に用いられることとなる。   In this way, the second excitation light B2 emitted from the phosphor layer 45 is incident again on the phosphor layer 45 and effectively used for fluorescence emission.

図6には、光拡散部材70の構成を例示した一部断面図を示している。
まず、図6(a)に示すように、光拡散部材70Aは、TiO等の高屈折な透光性を有するフィラー701を、光透過性を有する基材702に分散させた構成を採用することができる。基材702としては、上述の基材452と同様の樹脂材料を用いることができる。このような光拡散部材70Aは、フィラー701を分散した基材702の前駆体を塗布し、硬化することにより形成することができる。
FIG. 6 is a partial cross-sectional view illustrating the configuration of the light diffusing member 70.
First, as shown in FIG. 6A, the light diffusing member 70A employs a configuration in which a filler 701 having a high refractive property such as TiO 2 is dispersed in a base material 702 having a light transmission property. be able to. As the base material 702, a resin material similar to that of the above-described base material 452 can be used. Such a light diffusing member 70A can be formed by applying and curing a precursor of a base material 702 in which a filler 701 is dispersed.

図6(a)に示すように、このような光拡散部材70Aでは、第1励起光B1は、光拡散部材70Aに入射し、フィラー701で屈折・散乱することにより、配光性が変更された青色拡散光として射出される。   As shown in FIG. 6A, in such a light diffusing member 70A, the first excitation light B1 enters the light diffusing member 70A and is refracted and scattered by the filler 701, so that the light distribution is changed. Emitted as blue diffused light.

また他にも、図6(b)に示すように、光拡散部材70Bは、光透過性を有する基材703の表面に、複数の凹凸を設けた構成を採用することができる。図6(b)では、基材703の表面に複数の凹部704を設けることとして図示している。このような光拡散部材70Bは、基材703の前駆体を塗布した後、凹部704に対応する凸型を用いて型押しした状態で基材703を硬化させ、硬化後に凸型を取り除くことにより形成することができる。   In addition, as shown in FIG. 6B, the light diffusing member 70 </ b> B can employ a configuration in which a plurality of projections and depressions are provided on the surface of a light-transmitting base material 703. In FIG. 6B, a plurality of recesses 704 are provided on the surface of the base material 703. Such a light diffusing member 70B is obtained by applying the precursor of the base material 703, curing the base material 703 in a state of being embossed using a convex mold corresponding to the concave portion 704, and removing the convex mold after curing. Can be formed.

図6(b)に示すように、このような光拡散部材70Bでは、第1励起光B1は、光拡散部材70に入射し、凹部704で屈折・散乱することにより、配光性が変更された青色拡散光として射出される。   As shown in FIG. 6B, in such a light diffusing member 70 </ b> B, the first excitation light B <b> 1 enters the light diffusing member 70 and is refracted / scattered by the recess 704, thereby changing the light distribution. Emitted as blue diffused light.

また、本実施形態の光源装置100をプロジェクターの光源として採用した場合、第1励起光B1はレーザー光であるため、第1励起光B1によって形成される画像にはスペックルノイズが発生する。しかし、光拡散部材70をたとえば所定の回転軸の周りに回転させる等によって、第1励起光B1が光拡散部材70に入射する位置を時間的に変化させれば、スペックルノイズを低減することができる。   Further, when the light source device 100 according to the present embodiment is employed as a light source of a projector, the first excitation light B1 is laser light, and thus speckle noise is generated in an image formed by the first excitation light B1. However, speckle noise can be reduced if the position where the first excitation light B1 is incident on the light diffusing member 70 is changed with time, for example, by rotating the light diffusing member 70 around a predetermined rotation axis. Can do.

合成光学系80は、第1合成ミラー81、第2合成ミラー82を含んでいる。これらのうち、第1合成ミラー81は、光を反射する反射ミラーである。また、第2合成ミラー82は、青色光(例えば、波長が約445nmの光)を透過させ、青色光よりも長波長の光(例えば、480nmよりも長波長の光)を反射させるダイクロイックミラーである。第2合成ミラー82は、透明基板上に誘電体多層膜のような光分離膜が形成された構成を有している。   The combining optical system 80 includes a first combining mirror 81 and a second combining mirror 82. Among these, the 1st synthetic | combination mirror 81 is a reflective mirror which reflects light. The second synthesis mirror 82 is a dichroic mirror that transmits blue light (for example, light having a wavelength of about 445 nm) and reflects light having a longer wavelength than blue light (for example, light having a longer wavelength than 480 nm). is there. The second composite mirror 82 has a configuration in which a light separation film such as a dielectric multilayer film is formed on a transparent substrate.

発光素子40から射出される蛍光RGは、第1合成ミラー81で反射され、第2合成ミラー82で反射され、外部に射出される。また、光散乱部材70から射出される第1励起光B1は、光散乱部材70の光射出面に対向して設けられたピックアップレンズ51を透過して平行化された後、第2合成ミラー82を透過し、外部に射出される。   The fluorescence RG emitted from the light emitting element 40 is reflected by the first synthesis mirror 81, reflected by the second synthesis mirror 82, and emitted outside. Further, the first excitation light B <b> 1 emitted from the light scattering member 70 passes through the pickup lens 51 provided to face the light emission surface of the light scattering member 70 and is collimated, and then the second synthesis mirror 82. And is ejected to the outside.

このようにして、蛍光RG、第1励起光B1は、光路上で合成され混色され、黄色、青色の幅広い波長帯域の光(すなわち白色光L)として射出される。
本実施形態の光源装置100は、以上のようにして機能する。
In this way, the fluorescence RG and the first excitation light B1 are synthesized and mixed on the optical path, and emitted as light in a wide wavelength band of yellow and blue (that is, white light L).
The light source device 100 of this embodiment functions as described above.

図7は、本実施形態のプロジェクターPJを示す模式図である。図に示すようにプロジェクターPJは、光源装置100、色分離光学系200、液晶ライトバルブ(光変調素子)400R,液晶ライトバルブ400G,液晶ライトバルブ400B、色合成素子500、投写光学系600を含んでいる。   FIG. 7 is a schematic diagram showing the projector PJ of this embodiment. As shown in the figure, the projector PJ includes a light source device 100, a color separation optical system 200, a liquid crystal light valve (light modulation element) 400R, a liquid crystal light valve 400G, a liquid crystal light valve 400B, a color composition element 500, and a projection optical system 600. It is out.

プロジェクターPJは、概略すると以下のように動作する。光源装置100から射出された光は、色分離光学系200により複数の色光に分離される。色分離光学系200により分離された複数の色光は、それぞれ対応する液晶ライトバルブ400R,液晶ライトバルブ400G,液晶ライトバルブ400Bに入射して変調される。液晶ライトバルブ400R,液晶ライトバルブ400G,液晶ライトバルブ400Bにより変調された複数の色光は、色合成素子500に入射して合成される。色合成素子500により合成された光は、投写光学系600により壁やスクリーン等のスクリーンSCRに拡大投写され、フルカラーの投写画像が表示される。
以下、プロジェクターPJの各構成要素について説明する。
The projector PJ generally operates as follows. The light emitted from the light source device 100 is separated into a plurality of color lights by the color separation optical system 200. The plurality of color lights separated by the color separation optical system 200 are incident on the corresponding liquid crystal light valve 400R, liquid crystal light valve 400G, and liquid crystal light valve 400B and modulated. A plurality of color lights modulated by the liquid crystal light valve 400R, the liquid crystal light valve 400G, and the liquid crystal light valve 400B are incident on the color synthesis element 500 and synthesized. The light synthesized by the color synthesizing element 500 is enlarged and projected by a projection optical system 600 onto a screen SCR such as a wall or a screen, and a full-color projection image is displayed.
Hereinafter, each component of the projector PJ will be described.

コリメート光学系110は、光源装置100から射出された光の広がりを抑える第1レンズ112と、第1レンズ112から入射される光を略平行化する第2レンズ114とを備え、全体として光源装置100から射出された光を平行化するものである。本実施形態においては、第1レンズ112と第2レンズ114とは凸レンズで構成されている。   The collimating optical system 110 includes a first lens 112 that suppresses the spread of light emitted from the light source device 100 and a second lens 114 that substantially collimates light incident from the first lens 112, and as a whole, the light source device. The light emitted from 100 is collimated. In the present embodiment, the first lens 112 and the second lens 114 are configured as convex lenses.

レンズアレイ120,レンズアレイ130は、コリメート光学系110から射出された光の輝度分布を均一化するものである。レンズアレイ120は、複数の第1小レンズ122を含んでおり、レンズアレイ130は複数の第2小レンズ132を含んでいる。第1小レンズ122は、第2小レンズ132と1対1で対応している。コリメート光学系110から射出された光は、複数の第1小レンズ122に空間的に分かれて入射する。第1小レンズ122は、入射した光を対応する第2小レンズ132に結像させる。これにより、複数の第2小レンズ132の各々に、二次光源像が形成される。なお、第1小レンズ122,第2小レンズ132の外形形状は、液晶ライトバルブ400R,液晶ライトバルブ400G,液晶ライトバルブ400Bの画像形成領域の外形形状と略相似形となっている。   The lens array 120 and the lens array 130 make the luminance distribution of the light emitted from the collimating optical system 110 uniform. The lens array 120 includes a plurality of first small lenses 122, and the lens array 130 includes a plurality of second small lenses 132. The first small lens 122 has a one-to-one correspondence with the second small lens 132. Light emitted from the collimating optical system 110 is spatially divided and incident on the plurality of first small lenses 122. The first small lens 122 causes the incident light to form an image on the corresponding second small lens 132. Thereby, a secondary light source image is formed on each of the plurality of second small lenses 132. Note that the outer shapes of the first small lens 122 and the second small lens 132 are substantially similar to the outer shapes of the image forming regions of the liquid crystal light valve 400R, the liquid crystal light valve 400G, and the liquid crystal light valve 400B.

偏光変換素子140は、レンズアレイ120,レンズアレイ130から射出された光Lの偏光状態を揃えるものである。図8に示すように、偏光変換素子140は、複数の偏光変換セル141を含んでいる。偏光変換セル141は、第2小レンズ132と1対1で対応している。第2小レンズ132に形成された二次光源像からの光Lは、この第2小レンズ132に対応する偏光変換セル141の入射領域142に入射する。   The polarization conversion element 140 aligns the polarization state of the light L emitted from the lens array 120 and the lens array 130. As shown in FIG. 8, the polarization conversion element 140 includes a plurality of polarization conversion cells 141. The polarization conversion cell 141 has a one-to-one correspondence with the second small lens 132. The light L from the secondary light source image formed on the second small lens 132 enters the incident region 142 of the polarization conversion cell 141 corresponding to the second small lens 132.

偏光変換セル141の各々には、入射領域142に対応させて、偏光ビームスプリッター膜143(以下、PBS膜143と称する)及び位相差板145が設けられている。入射領域142に入射した光Lは、PBS膜143によりPBS膜143に対するP偏光L1とS偏光L2とに分離される。P偏光L1、S偏光L2の一方の偏光(ここではS偏光L2)は、反射部材144で反射した後、位相差板145に入射する。位相差板145に入射したS偏光L2は、位相差板145により偏光状態が他方の偏光(ここではP偏光L1)の偏光状態に変換されてP偏光L3になり、P偏光L1とともに射出される。   Each polarization conversion cell 141 is provided with a polarization beam splitter film 143 (hereinafter referred to as a PBS film 143) and a phase difference plate 145 corresponding to the incident region 142. The light L incident on the incident region 142 is separated by the PBS film 143 into P-polarized light L1 and S-polarized light L2 with respect to the PBS film 143. One of the P-polarized light L1 and the S-polarized light L2 (here, S-polarized light L2) is reflected by the reflecting member 144 and then enters the phase difference plate 145. The S-polarized light L2 incident on the phase difference plate 145 is converted into the polarization state of the other polarization (here, P-polarized light L1) by the phase difference plate 145 to become the P-polarized light L3, and is emitted together with the P-polarized light L1. .

重畳レンズ150は、偏光変換素子140から射出された光を被照明領域にて重畳させるものである。光源装置100から射出された光は、空間的に分割された後、重畳されることにより輝度分布が均一化されて光線軸100ax周りの軸対称性が高められる。   The superimposing lens 150 superimposes the light emitted from the polarization conversion element 140 in the illuminated area. The light emitted from the light source device 100 is spatially divided and then superimposed, whereby the luminance distribution is made uniform and the axial symmetry around the light axis 100ax is enhanced.

色分離光学系200は、ダイクロイックミラー210、ダイクロイックミラー220、ミラー230、ミラー240、ミラー250、フィールドレンズ300R、フィールドレンズ300G,フィールドレンズ300B、リレーレンズ260、リレーレンズ270を含んでいる。ダイクロイックミラー210、ダイクロイックミラー220は、例えばガラス表面に誘電体多層膜を積層したものである。ダイクロイックミラー210、ダイクロイックミラー220は、所定の波長帯域の色光を選択的に反射させ、それ以外の波長帯域の色光を透過させる特性を有している。ここでは、ダイクロイックミラー210が緑色光と青色光とを反射させ、ダイクロイックミラー220が緑色光を反射させる。   The color separation optical system 200 includes a dichroic mirror 210, a dichroic mirror 220, a mirror 230, a mirror 240, a mirror 250, a field lens 300R, a field lens 300G, a field lens 300B, a relay lens 260, and a relay lens 270. The dichroic mirror 210 and the dichroic mirror 220 are obtained by, for example, laminating a dielectric multilayer film on a glass surface. The dichroic mirror 210 and the dichroic mirror 220 have a characteristic of selectively reflecting color light in a predetermined wavelength band and transmitting color light in other wavelength bands. Here, the dichroic mirror 210 reflects green light and blue light, and the dichroic mirror 220 reflects green light.

光源装置100から射出された光Lは、ダイクロイックミラー210に入射する。光Lのうちの赤色光Rは、ダイクロイックミラー210を通ってミラー230に入射し、ミラー230で反射してフィールドレンズ300Rに入射する。赤色光Rは、フィールドレンズ300Rにより平行化された後に、液晶ライトバルブ400Rに入射する。   The light L emitted from the light source device 100 enters the dichroic mirror 210. The red light R of the light L enters the mirror 230 through the dichroic mirror 210, is reflected by the mirror 230, and enters the field lens 300R. The red light R is collimated by the field lens 300R and then enters the liquid crystal light valve 400R.

光Lのうちの緑色光Gと青色光Bとは、ダイクロイックミラー210で反射して、ダイクロイックミラー220に入射する。緑色光Gは、ダイクロイックミラー220で反射してフィールドレンズ300Gに入射する。緑色光Gは、フィールドレンズ300Gにより平行化された後に、液晶ライトバルブ400Gに入射する。   Green light G and blue light B in the light L are reflected by the dichroic mirror 210 and enter the dichroic mirror 220. The green light G is reflected by the dichroic mirror 220 and enters the field lens 300G. The green light G is collimated by the field lens 300G and then enters the liquid crystal light valve 400G.

ダイクロイックミラー220を通った青色光Bは、リレーレンズ260を通りミラー240で反射した後、リレーレンズ270を通りミラー250で反射してフィールドレンズ300Bに入射する。青色光Bは、フィールドレンズ300Bにより平行化された後に、液晶ライトバルブ400Bに入射する。   The blue light B that has passed through the dichroic mirror 220 passes through the relay lens 260 and is reflected by the mirror 240, then passes through the relay lens 270, is reflected by the mirror 250, and enters the field lens 300B. The blue light B is collimated by the field lens 300B and then enters the liquid crystal light valve 400B.

液晶ライトバルブ400R,液晶ライトバルブ400G,液晶ライトバルブ400Bは、例えば透過型の液晶ライトバルブ等の光変調装置により構成される。液晶ライトバルブ400R,液晶ライトバルブ400G,液晶ライトバルブ400Bは、画像情報を含んだ画像信号を供給するPC等の信号源(図示略)と電気的に接続されている。液晶ライトバルブ400R,液晶ライトバルブ400G,液晶ライトバルブ400Bは、供給された画像信号に基づいて、入射光を画素ごとに変調して画像を形成する。液晶ライトバルブ400R,液晶ライトバルブ400G,液晶ライトバルブ400Bは、それぞれ赤色画像、緑色画像、青色画像を形成する。液晶ライトバルブ400R,液晶ライトバルブ400G,液晶ライトバルブ400Bにより変調された光(形成された画像)は、色合成素子500に入射する。   The liquid crystal light valve 400R, the liquid crystal light valve 400G, and the liquid crystal light valve 400B are configured by a light modulation device such as a transmissive liquid crystal light valve. The liquid crystal light valve 400R, the liquid crystal light valve 400G, and the liquid crystal light valve 400B are electrically connected to a signal source (not shown) such as a PC that supplies an image signal including image information. The liquid crystal light valve 400R, the liquid crystal light valve 400G, and the liquid crystal light valve 400B modulate the incident light for each pixel based on the supplied image signal to form an image. The liquid crystal light valve 400R, the liquid crystal light valve 400G, and the liquid crystal light valve 400B form a red image, a green image, and a blue image, respectively. The light (formed image) modulated by the liquid crystal light valve 400R, the liquid crystal light valve 400G, and the liquid crystal light valve 400B enters the color composition element 500.

色合成素子500は、ダイクロイックプリズム等により構成される。ダイクロイックプリズムは、4つの三角柱プリズムが互いに貼り合わされた構造になっている。三角柱プリズムにおいて貼り合わされる面は、ダイクロイックプリズムの内面になる。ダイクロイックプリズムの内面に、赤色光が反射し緑色光が透過するミラー面と、青色光が反射し緑色光が透過するミラー面とが互いに直交して形成されている。ダイクロイックプリズムに入射した緑色光は、ミラー面を通ってそのまま射出される。ダイクロイックプリズムに入射した赤色光、青色光は、ミラー面で選択的に反射あるいは透過して、緑色光の射出方向と同じ方向に射出される。このようにして3つの色光(画像)が重ね合わされて合成され、合成された色光が投写光学系600によってスクリーンSCRに拡大投写される。
本実施形態のプロジェクターPJは、以上のような構成となっている。
The color composition element 500 is configured by a dichroic prism or the like. The dichroic prism has a structure in which four triangular prisms are bonded to each other. The surface to be bonded in the triangular prism becomes the inner surface of the dichroic prism. On the inner surface of the dichroic prism, a mirror surface that reflects red light and transmits green light and a mirror surface that reflects blue light and transmits green light are formed orthogonal to each other. The green light incident on the dichroic prism is emitted as it is through the mirror surface. The red light and blue light incident on the dichroic prism are selectively reflected or transmitted by the mirror surface and emitted in the same direction as the emission direction of the green light. In this way, the three color lights (images) are superimposed and combined, and the combined color light is enlarged and projected onto the screen SCR by the projection optical system 600.
The projector PJ of this embodiment has the above configuration.

以上のような構成の光源装置100によれば、励起光の利用効率が向上するとともに、エテンデュが小さい光源装置能とすることができる。   According to the light source device 100 configured as described above, the use efficiency of excitation light can be improved, and the light source device performance with a small etendue can be achieved.

また、以上のような構成のプロジェクターPJによれば、高品質な画像表示が可能となる。   Further, according to the projector PJ having the above-described configuration, high-quality image display is possible.

また、本実施形態においては、波長選択膜43は、基板本体42の一面に全面に設けることとしたが、蛍光体層45が設けられる環状領域ARに重なって設けられていれば、他の領域にはなくてもよい。   In the present embodiment, the wavelength selection film 43 is provided on the entire surface of the substrate body 42. However, if the wavelength selection film 43 is provided so as to overlap the annular area AR on which the phosphor layer 45 is provided, the other areas are provided. Is not necessary.

また、本実施形態においては、蛍光体層45から励起光の補色である黄色の蛍光を射出することとし、光源装置100全体として白色光を射出する構成であることとしたが、これに限らず、任意の色の蛍光を射出する蛍光体層を用いることが可能である。   Further, in the present embodiment, the fluorescent light is emitted from the fluorescent material layer 45, and the light source device 100 emits white light as a whole. However, the present invention is not limited to this. It is possible to use a phosphor layer that emits fluorescence of any color.

また、本実施形態においては、光源装置100から射出する光が、合成光学系80で合成することとしたが、これに限らず、第1励起光B1と蛍光RGとを別々に射出することとしても構わない。   In the present embodiment, the light emitted from the light source device 100 is synthesized by the synthesis optical system 80. However, the present invention is not limited to this, and the first excitation light B1 and the fluorescence RG are emitted separately. It doesn't matter.

また、本実施形態においては、第1合成ミラー81とピックアップレンズ50との間にダイクロイックミラー60を設けているが、これに限らず、第1合成ミラー81と第2合成ミラー82との間にダイクロイックミラー60を設けてもよい。   In the present embodiment, the dichroic mirror 60 is provided between the first synthesis mirror 81 and the pickup lens 50. However, the present invention is not limited to this, and the gap between the first synthesis mirror 81 and the second synthesis mirror 82 is provided. A dichroic mirror 60 may be provided.

また、本実施形態においては、光源部10から射出するレーザー光Bを導光光学系30で分離することとしたが、光源部10から発光素子40を励起する光のみを射出することとしてもよい。その場合、プロジェクターPJでフルカラー表示を行うためには、別途青色光源を用意するとよい。   In the present embodiment, the laser light B emitted from the light source unit 10 is separated by the light guide optical system 30, but only the light that excites the light emitting element 40 may be emitted from the light source unit 10. . In that case, in order to perform full color display with the projector PJ, it is preferable to prepare a blue light source separately.

また、本実施形態においては、基板41が回転軸周りを回転する構成の発光素子40を用いることとしたが、発光素子を固定式とすることもできる。   In the present embodiment, the light emitting element 40 having a configuration in which the substrate 41 rotates around the rotation axis is used. However, the light emitting element can be fixed.

以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。   The preferred embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, but it goes without saying that the present invention is not limited to such examples. Various shapes, combinations, and the like of the constituent members shown in the above-described examples are examples, and various modifications can be made based on design requirements and the like without departing from the gist of the present invention.

10…光源、11…半導体レーザー光源(固体光源)、30…導光光学系、41…基板、43…波長選択膜、45…蛍光体層、50…ピックアップレンズ(集光光学系)、60…ダイクロイックミラー(波長選択ミラー)、70…光拡散部材、80…合成光学系、100…光源装置、400R,400G,400B…液晶ライトバルブ(光変調素子)、600…投写光学系、AR…環状領域、PJ…プロジェクター、RG…蛍光、   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Light source, 11 ... Semiconductor laser light source (solid light source), 30 ... Light guide optical system, 41 ... Substrate, 43 ... Wavelength selection film, 45 ... Phosphor layer, 50 ... Pick-up lens (condensing optical system), 60 ... Dichroic mirror (wavelength selection mirror), 70 ... light diffusing member, 80 ... synthesis optical system, 100 ... light source device, 400R, 400G, 400B ... liquid crystal light valve (light modulation element), 600 ... projection optical system, AR ... annular region , PJ ... projector, RG ... fluorescence,

Claims (11)

基板と、
前記基板上に設けられた蛍光体層と、
前記蛍光体を励起する第1の光を含む光を射出する光源と、
前記蛍光体層から射出される蛍光の波長帯域にあたる光を透過するとともに、前記第1の光のうち前記蛍光体層を透過した透過光のピーク波長にあたる光を反射する波長選択ミラーと、
前記波長選択ミラーと前記蛍光体層との間の前記透過光の光路上に設けられた集光光学系と、を備え
前記基板は、少なくとも前記第1の光のピーク波長にあたる光を透過させる材料で形成されていることを特徴とする光源装置。
A substrate,
A phosphor layer provided on the substrate;
A light source that emits light including first light that excites the phosphor;
A wavelength selection mirror that transmits light corresponding to a wavelength band of fluorescence emitted from the phosphor layer and reflects light corresponding to a peak wavelength of transmitted light transmitted through the phosphor layer among the first light;
A condensing optical system provided on the optical path of the transmitted light between the wavelength selective mirror and the phosphor layer ,
The light source device , wherein the substrate is made of a material that transmits at least light corresponding to a peak wavelength of the first light .
記蛍光体層は、前記基板に対して前記第1の光が入射する側とは反対側の面に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の光源装置。 Before SL phosphor layer, the light source apparatus according to claim 1, characterized in that provided on the side opposite to the side where the first light is incident to the substrate. 前記基板は、所定の回転軸の周りを回転可能に設けられ、
前記蛍光体層は、前記基板上において、前記回転軸の周りの環状領域に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の光源装置。
The substrate is provided to be rotatable around a predetermined rotation axis,
The light source device according to claim 1, wherein the phosphor layer is provided in an annular area around the rotation axis on the substrate.
前記光源から射出される光から前記第1の光と第2の光とを分割する導光光学系を有し、
前記蛍光と前記第2の光とを射出することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の光源装置。
A light guide optical system that divides the first light and the second light from the light emitted from the light source;
The light source device according to claim 1, wherein the fluorescent light and the second light are emitted.
前記蛍光と前記第2の光とを合成する合成光学系を有していることを特徴とする請求項4に記載の光源装置。   The light source device according to claim 4, further comprising a combining optical system that combines the fluorescence and the second light. 前記第1の光は、前記蛍光の補色の色光であることを特徴とする請求項4または5に記載の光源装置。   The light source device according to claim 4, wherein the first light is a color light of a complementary color of the fluorescence. 前記蛍光体層と、前記基板の前記第1の光が入射する側の表面と、の間において、前記蛍光体層と平面視で重なり、前記第1の光のピーク波長にあたる光を透過させるとともに、前記蛍光の波長帯域にあたる光を反射する波長選択膜が設けられていることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の光源装置。   Between the phosphor layer and the surface of the substrate on which the first light is incident, overlaps the phosphor layer in a plan view and transmits light corresponding to the peak wavelength of the first light. The light source device according to claim 1, further comprising a wavelength selection film that reflects light corresponding to the fluorescence wavelength band. 前記光源は、前記第1の光として青色の波長帯域の光を射出することを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の光源装置。   The light source device according to claim 1, wherein the light source emits light in a blue wavelength band as the first light. 前記光源は、固体光源であることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の光源装置。   The light source device according to claim 1, wherein the light source is a solid light source. 前記光源は、半導体レーザーであることを特徴とする請求項9に記載の光源装置。   The light source device according to claim 9, wherein the light source is a semiconductor laser. 請求項1から10のいずれか1項の光源装置と、前記光源装置から射出される光を変調する光変調素子と、前記光変調素子によって変調された光を投写する投写光学系と、を備えることを特徴とするプロジェクター。   11. A light source device according to claim 1, a light modulation element that modulates light emitted from the light source device, and a projection optical system that projects light modulated by the light modulation element. A projector characterized by that.
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