JP5659968B2 - Water quality analyzer - Google Patents

Water quality analyzer Download PDF

Info

Publication number
JP5659968B2
JP5659968B2 JP2011147868A JP2011147868A JP5659968B2 JP 5659968 B2 JP5659968 B2 JP 5659968B2 JP 2011147868 A JP2011147868 A JP 2011147868A JP 2011147868 A JP2011147868 A JP 2011147868A JP 5659968 B2 JP5659968 B2 JP 5659968B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
unit
measurement
water
carrier gas
supply
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2011147868A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2013015387A (en
Inventor
良英 神吉
良英 神吉
佳夫 北田
佳夫 北田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP2011147868A priority Critical patent/JP5659968B2/en
Publication of JP2013015387A publication Critical patent/JP2013015387A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5659968B2 publication Critical patent/JP5659968B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)

Description

本発明は、下水、河川水、工場排水などに含まれる汚濁成分などの測定に用いる水質分析計に関するものである。   The present invention relates to a water quality analyzer used for measuring pollutant components contained in sewage, river water, factory effluent and the like.

水質分析計としては、試料中に含まれる全有機体炭素(TOC)や全窒素(TN)をそれぞれ測定するものや、一台の測定装置でともに測定できるものがある。   Some water quality analyzers measure total organic carbon (TOC) and total nitrogen (TN) contained in a sample, and others can be measured with a single measuring device.

TOC計は試料水に含まれる有機物を酸化させて二酸化炭素に変換し、その二酸化炭素濃度を測定することにより有機物に含まれていた有機物濃度を定量する装置である。有機物を酸化させる方法には、高温の炉で有機物を燃焼酸化させる燃焼式酸化法と紫外光を用いて有機物を酸化する湿式酸化法がある   The TOC meter is an apparatus that quantifies the organic matter concentration contained in the organic matter by oxidizing the organic matter contained in the sample water to convert it into carbon dioxide and measuring the carbon dioxide concentration. There are two types of methods for oxidizing organic matter: a combustion-type oxidation method that burns and oxidizes organic matter in a high-temperature furnace and a wet oxidation method that oxidizes organic matter using ultraviolet light.

燃焼酸化式のTOC計は、加熱炉内に収容された触媒入りの燃焼管に試料水を注入して試料中の炭素成分を酸化して二酸化炭素に変換し、その二酸化炭素を含むガスをキャリアガスによって検出部のセルへ送ることによってそのガス中の二酸化炭素濃度を測定し、その測定値に基づいてTOCを定量する(例えば、特許文献1参照。)。検出部としては、一般に非分散型赤外吸光式の検出器が使用される。   The combustion oxidation type TOC meter injects sample water into a catalyst-containing combustion tube housed in a heating furnace, oxidizes the carbon component in the sample and converts it into carbon dioxide, and the gas containing the carbon dioxide is used as a carrier. The concentration of carbon dioxide in the gas is measured by sending the gas to the cell of the detection unit, and the TOC is quantified based on the measured value (for example, see Patent Document 1). As the detector, a non-dispersive infrared absorption detector is generally used.

湿式酸化法のTOC計はIC(無機炭素)除去部、酸化反応部、二酸化炭素抽出部及び検出部としての導電率測定部を含んでいる。試料水は溶存しているICを除去しやすくするために酸性にされ、IC除去部においてICが除去された後、酸化反応部に導かれる。酸化反応部では試料水中の有機物が紫外線照射されることにより酸化分解され、二酸化炭素に変換される。酸化反応部を経た試料水は二酸化炭素抽出部に導入され、二酸化炭素抽出部では試料水が測定水と気液分離膜を介して接することにより試料水中の二酸化炭素が気液分離膜を透過して測定水へ移行する。試料水から二酸化炭素を抽出した測定水は導電率測定部において導電率を測定され、二酸化炭素濃度(TOC濃度)に換算される。湿式酸化法のTOC計では、二酸化炭素抽出部を流れる測定水としては、イオン交換部で二酸化炭素などの不純物が除去された脱イオン水が使用される(例えば、特許文献2参照。)。   The wet oxidation TOC meter includes an IC (inorganic carbon) removal unit, an oxidation reaction unit, a carbon dioxide extraction unit, and a conductivity measurement unit as a detection unit. The sample water is made acidic to facilitate removal of dissolved IC, and after the IC is removed in the IC removal section, it is led to the oxidation reaction section. In the oxidation reaction part, organic matter in the sample water is oxidized and decomposed by being irradiated with ultraviolet rays, and converted into carbon dioxide. The sample water that has passed through the oxidation reaction section is introduced into the carbon dioxide extraction section, where carbon dioxide in the sample water permeates through the gas-liquid separation membrane when the sample water contacts the measurement water via the gas-liquid separation membrane. Shift to measuring water. The measured water obtained by extracting carbon dioxide from the sample water is measured for conductivity in the conductivity measuring unit, and converted to carbon dioxide concentration (TOC concentration). In the wet oxidation TOC meter, deionized water from which impurities such as carbon dioxide have been removed by the ion exchange unit is used as the measurement water flowing through the carbon dioxide extraction unit (see, for example, Patent Document 2).

特開平11−352058号公報 特開2010−216977号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-352058 Japanese Patent Laid-Open No. 2010-216977

TOC計などの水質分析計は、測定と測定の間にある程度の期間をおいて断続的に測定を行なう場合がある。   A water quality analyzer such as a TOC meter may perform measurement intermittently with a certain period between measurements.

燃焼酸化式のTOC計では、測定を中断している間も検出部へ通じる検出流路においてキャリアガスを常時流通させているのが一般的である。そのため、キャリアガスとしてボンベガスを使用した場合には、ボンベガスを大量に消費してしまい、無駄が生じるという問題があった。また、外気を取り込んで不要成分を除去することによりキャリアガスを精製する場合でも、測定中断中も常時キャリアガスの精製部を稼働させることで、不要成分を除去する除去部の劣化を早めてしまうという問題がある。   In the combustion oxidation type TOC meter, it is general that the carrier gas is always circulated in the detection flow path leading to the detection unit while the measurement is interrupted. For this reason, when cylinder gas is used as the carrier gas, a large amount of cylinder gas is consumed, resulting in a waste. Also, even when the carrier gas is purified by taking in outside air and removing unnecessary components, the carrier gas purifying unit is always operated even during measurement interruption, thereby accelerating the deterioration of the removing unit that removes unnecessary components. There is a problem.

湿式酸化法のTOC計でも同様であり、測定を中断している間も検出部へ通じる測定水流路には測定水供給部から測定水を常時流通させているのが一般的である。そのため、測定水としてタンクに収容した純水を使用する場合には純水を大量に消費してしまう。測定水の流路にイオン交換樹脂を配置し、検出部を経由した測定水をそのイオン交換樹脂により脱イオン化して測定水とする循環流路を備えたものを使用することも行われている。その場合もイオン交換樹脂を常時使用することによりイオン交換樹脂の劣化を早めてしまうという問題がある。   The same applies to the TOC meter of the wet oxidation method, and it is general that the measurement water is always circulated from the measurement water supply unit to the measurement water flow channel leading to the detection unit while the measurement is interrupted. Therefore, when pure water stored in a tank is used as measurement water, a large amount of pure water is consumed. It is also possible to use an ion exchange resin placed in the flow path of the measurement water, and a circulation flow path that uses the ion exchange resin to deionize the measurement water that has passed through the detection unit to form the measurement water. . Even in that case, there is a problem that the ion exchange resin is always deteriorated by always using the ion exchange resin.

しかし、測定を中断している間、キャリアガスや測定水の流通を停止させるようにすると、検出信号のベースラインが安定せず正確な測定を行なうことができないという問題が生じることがあった。これはキャリアガス流路や測定水流路として樹脂製チューブを使用している場合に顕著にみられる現象であったことから、キャリアガスや測定水の流通を停止させている間にキャリアガス流路や測定水流路の壁面を通して外気の二酸化炭素がキャリアガスや測定水に拡散し、検出部における検出信号を変化させているためであると考えられる。そのため、二酸化炭素がキャリアガスに外気から拡散した二酸化炭素が残った状態で試料の測定を行なっているために検出信号が安定しなかったものと考えられる。キャリアガス流路や測定水流路として樹脂製チューブを使用していない場合であっても流路の接続部分からの外気中の二酸化炭素の拡散はあり得る。   However, if the flow of the carrier gas or the measurement water is stopped while the measurement is interrupted, there is a problem that the baseline of the detection signal is not stable and an accurate measurement cannot be performed. This phenomenon was noticeable when a resin tube was used as the carrier gas flow path or the measurement water flow path. Therefore, the carrier gas flow path was stopped while the flow of the carrier gas or measurement water was stopped. This is probably because carbon dioxide in the outside air diffuses into the carrier gas or measurement water through the wall surface of the measurement water flow path and changes the detection signal in the detection unit. Therefore, it is considered that the detection signal was not stable because the sample was measured with carbon dioxide diffused from the outside air remaining in the carrier gas. Even when a resin tube is not used as the carrier gas flow path or the measurement water flow path, carbon dioxide in the outside air can diffuse from the connection portion of the flow path.

そこで、本発明は、測定を中断している間のキャリアガスや測定水の流通を停止させても、キャリアガスや測定水の流通を再開させた後の測定における測定精度が低下しないようにすることを目的とするものである。   Therefore, the present invention prevents the measurement accuracy in the measurement after the circulation of the carrier gas or the measurement water from being lowered even if the circulation of the carrier gas or the measurement water is stopped while the measurement is interrupted. It is for the purpose.

本発明の水質分析計は、酸化反応部が燃焼酸化式であっても湿式酸化式であっても適用できる。   The water quality analyzer of the present invention can be applied regardless of whether the oxidation reaction part is a combustion oxidation type or a wet oxidation type.

酸化反応部が燃焼酸化式である場合の水質分析計は、燃焼管を備えて導入された試料水中の測定成分を酸化して酸化ガスに変換する酸化反応部と、酸化反応部に試料水を導入する試料導入部と、測定セルを備えて測定セル中の酸化ガス濃度を測定する検出部と、酸化反応部での酸化ガスを含むガスをキャリアガスによって検出部のセルへ送るキャリアガス供給部と、試料導入部及びキャリアガス供給部の制御を行なう制御部とを備えている。酸化ガスは、炭素酸化物及び窒素酸化物を含む。   When the oxidation reaction unit is of the combustion oxidation type, the water quality analyzer is equipped with an oxidation reaction unit that oxidizes the measurement components in the sample water introduced with a combustion tube and converts it into an oxidizing gas, and sample water in the oxidation reaction unit. A sample introduction unit to be introduced, a detection unit that includes a measurement cell and measures the concentration of the oxidizing gas in the measurement cell, and a carrier gas supply unit that sends a gas containing the oxidation gas in the oxidation reaction unit to the detection unit cell by the carrier gas And a control unit for controlling the sample introduction unit and the carrier gas supply unit. The oxidizing gas contains carbon oxide and nitrogen oxide.

そして、燃焼酸化式水質分析計の場合は、キャリアガス供給部でのキャリアガスの供給が停止されているときのキャリアガス供給部から検出部までの流路のキャリアガス中の酸化ガス濃度が飽和状態になるまでのキャリアガス供給停止時間T又はその飽和状態でのキャリアガスによる検出部による検出信号値Sと、キャリアガス供給部から検出部までの流路のキャリアガス中の酸化ガス濃度が飽和状態にあるときからキャリアガス供給部によるキャリアガスの供給を開始したときに検出部での酸化ガスの検出信号がなくなるまでの時間tを待機時間情報として保持している待機時間情報保持部と、測定開始時にキャリアガスの供給を開始したときに、キャリアガス供給部でのキャリアガス供給停止時間の計測値T’又は検出部によるキャリアガスの検出信号値sと、待機時間情報保持部に保持されている待機時間情報T又はSと、tから、試料水の導入までの待機時間t’を算出する演算部とを備え、制御部は、測定を行っていないときはキャリアガス供給部でのキャリアガス供給を停止し、測定開始時にキャリアガス供給部でのキャリアガス供給を開始し、キャリアガスの供給を開始してから演算部により算出された待機時間t’が経過した後に試料導入部による酸化反応部への試料水の導入を開始するように構成されている。   In the case of a combustion oxidation water quality analyzer, the concentration of the oxidizing gas in the carrier gas in the flow path from the carrier gas supply unit to the detection unit when the carrier gas supply in the carrier gas supply unit is stopped is saturated. The carrier gas supply stop time T until reaching the state or the detection signal value S by the detection unit by the carrier gas in the saturated state and the oxidizing gas concentration in the carrier gas in the flow path from the carrier gas supply unit to the detection unit are saturated A standby time information holding unit that holds, as standby time information, a time t from when the carrier gas supply unit starts supplying the carrier gas to the time when the detection signal of the oxidizing gas disappears at the detection unit; When the supply of carrier gas is started at the start of measurement, the measured value T ′ of the carrier gas supply stop time in the carrier gas supply unit or the carrier by the detection unit Detection unit signal value s, waiting time information T or S held in the waiting time information holding unit, and a calculation unit that calculates a waiting time t ′ from t to the introduction of sample water. When the measurement is not being performed, the carrier gas supply at the carrier gas supply unit is stopped, the carrier gas supply at the carrier gas supply unit is started at the start of measurement, and the carrier gas supply is started. After the calculated waiting time t ′ has elapsed, the sample introduction unit starts to introduce sample water into the oxidation reaction unit.

酸化反応部が湿式酸化式である場合の水質分析計は、導入された試料水中の炭素成分を紫外線照射により酸化して二酸化炭素に変換する酸化反応部と、酸化反応部に試料水を導入する試料導入部と、気液分離膜を備えて測定水と酸化反応部を経た試料水とを気液分離膜を介して接触させることにより試料水中の二酸化炭素を測定水へ移行させる二酸化炭素抽出部と、イオン交換部を備えてイオン交換部による脱イオン水を測定水として二酸化炭素抽出部へ供給する測定水供給部と、二酸化炭素抽出部からの測定水の導電率を測定する検出部と、試料導入部及び測定水供給部の制御を行なう制御部とを備えている。   When the oxidation reaction part is a wet oxidation type, the water quality analyzer introduces sample water into the oxidation reaction part that oxidizes the carbon component in the introduced sample water by ultraviolet irradiation to convert it into carbon dioxide, and the oxidation reaction part A sample introduction unit and a carbon dioxide extraction unit that includes a gas-liquid separation membrane and causes the measurement water and the sample water that has passed through the oxidation reaction unit to contact with each other through the gas-liquid separation membrane to transfer carbon dioxide in the sample water to the measurement water. A measurement water supply unit that includes an ion exchange unit and supplies deionized water from the ion exchange unit as measurement water to the carbon dioxide extraction unit, a detection unit that measures the conductivity of the measurement water from the carbon dioxide extraction unit, A control unit that controls the sample introduction unit and the measurement water supply unit.

そして、湿式酸化式水質分析計の場合は、測定水供給部での測定水の供給が停止されているときの測定水供給部から検出部までの流路の測定水中の二酸化炭素濃度が飽和状態になるまでの測定水供給停止時間T又はその飽和状態での測定水による検出部による検出信号値Sと、測定水供給部から検出部までの流路の測定水中の二酸化炭素濃度が飽和状態にあるときから測定水供給部による測定水の供給を開始したときに検出部での二酸化炭素の検出信号がなくなるまでの時間tを待機時間情報として保持している待機時間情報保持部と、測定開始時に測定水の供給を開始したときに、測定水供給部での測定水供給停止時間の計測値T’又は検出部による測定水の検出信号値sと、待機時間情報保持部に保持されている待機時間情報T又はSと、tから、試料水の導入までの待機時間t’を算出する演算部とを備え、制御部は、測定を行っていないときは測定水供給部での測定水供給を停止し、測定開始時に測定水供給部での測定水供給を開始し、測定水の供給を開始してから演算部により算出された待機時間t’が経過した後に試料導入部による酸化反応部への試料水の導入を開始するように構成されている。   In the case of a wet oxidation water quality analyzer, the concentration of carbon dioxide in the measurement water in the flow path from the measurement water supply unit to the detection unit when the measurement water supply in the measurement water supply unit is stopped is saturated. Measured water supply stop time T until it becomes or the detection signal value S by the detection unit by the measured water in its saturated state, and the carbon dioxide concentration in the measured water in the flow path from the measured water supply unit to the detection unit are saturated A waiting time information holding unit that holds, as waiting time information, a time t from when there is no carbon dioxide detection signal at the detection unit when the measurement water supply unit starts supplying measurement water, and starts measurement Sometimes when the measurement water supply is started, the measurement water supply stop time measurement value T ′ at the measurement water supply unit or the detection signal value s of the measurement water by the detection unit and the waiting time information holding unit are held. Waiting time information T or S; a calculation unit that calculates a waiting time t ′ from t to the introduction of sample water, and the control unit stops measurement water supply at the measurement water supply unit when measurement is not being performed, and performs measurement at the start of measurement. Start supplying sample water in the water supply unit, and start sample water introduction to the oxidation reaction unit by the sample introduction unit after the waiting time t ′ calculated by the calculation unit has elapsed since the start of the measurement water supply Is configured to do.

燃焼酸化式水質分析計の場合、キャリアガス供給部でのキャリアガスの供給が停止されているときのキャリアガス供給部から検出部までの流路のキャリアガス中の二酸化炭素濃度が飽和状態になるまでのキャリアガス供給停止時間Tは、キャリアガス供給停止時間と、その供給停止時間後のキャリアガスを検出部に導いて検出したときの検出信号の関係を測定することにより実験的に求めることができる。その飽和状態でのキャリアガスによる検出部による検出信号値Sもそのようにして求めることができる。キャリアガス供給部から検出部までの流路のキャリアガス中の二酸化炭素濃度が飽和状態にあるときからキャリアガス供給部によるキャリアガスの供給を開始したときに検出部での二酸化炭素の検出信号がなくなるまでの時間tも実験的に求めることができる。   In the case of a combustion oxidation water quality analyzer, the carbon dioxide concentration in the carrier gas in the flow path from the carrier gas supply unit to the detection unit when the carrier gas supply in the carrier gas supply unit is stopped becomes saturated. The carrier gas supply stop time T until the time can be obtained experimentally by measuring the relationship between the carrier gas supply stop time and the detection signal when the carrier gas after the supply stop time is detected by introducing it to the detector. it can. The detection signal value S by the detection unit using the carrier gas in the saturated state can also be obtained in this way. When the carbon dioxide concentration in the carrier gas in the flow path from the carrier gas supply unit to the detection unit is saturated, when the carrier gas supply from the carrier gas supply unit is started, the detection signal of carbon dioxide at the detection unit is The time t until it can be eliminated can also be obtained experimentally.

湿式酸化式水質分析計の場合、測定水供給部での測定水の供給が停止されているときの測定水供給部から検出部までの流路の測定水中の二酸化炭素濃度が飽和状態になるまでの測定水供給停止時間Tも、測定水供給停止時間と、その供給停止時間後の測定水を検出部に導いて検出したときの検出信号の関係を測定することにより実験的に求めることができる。その飽和状態での測定水による検出部による検出信号値Sもそのようにして求めることができる。測定水供給部から検出部までの流路の測定水中の二酸化炭素濃度が飽和状態にあるときから測定水供給部による測定水の供給を開始したときに検出部での二酸化炭素の検出信号がなくなるまでの時間tも実験的に求めることができる。   In the case of a wet oxidation water quality analyzer, until the carbon dioxide concentration in the measurement water in the flow path from the measurement water supply unit to the detection unit is saturated when the supply of the measurement water in the measurement water supply unit is stopped The measured water supply stop time T can also be obtained experimentally by measuring the relationship between the measured water supply stop time and the detection signal when the measured water after the supply stop time is detected by being guided to the detection unit. . The detection signal value S by the detection unit with the measured water in the saturated state can also be obtained in this way. When the carbon dioxide concentration in the measurement water in the flow path from the measurement water supply unit to the detection unit is in a saturated state, the detection signal of carbon dioxide at the detection unit disappears when the measurement water supply unit starts supplying the measurement water The time t until can be obtained experimentally.

これらの値T、S及びtは水質分析計の設計により決まる装置定数であるので、標準的な装置について実験的に求めておけば他の装置についても装置定数として保持させることができる。もちろん、各水質分析計について個別にこれらの値T、S及びtを実験により求めて保持させるようにしてもよい。   Since these values T, S, and t are device constants determined by the design of the water quality analyzer, if the standard device is experimentally obtained, other devices can be held as device constants. Of course, these values T, S, and t may be obtained by experiments and held individually for each water quality analyzer.

本発明の水質分析計によれば、測定の中断中はキャリアガス又は測定水の供給を停止させ、キャリアガス又は測定水の供給の再開時に、検出部の検出信号が安定するまで測定を行なわずに待機するので、キャリアガス又は測定水の供給の再開後の測定が検出信号のベースラインの不安定な状態で開始されることがなく、測定を中断した後で開始される測定における測定精度の低下を防止できる。   According to the water quality analyzer of the present invention, the supply of the carrier gas or the measurement water is stopped during the interruption of the measurement, and the measurement is not performed until the detection signal of the detection unit becomes stable when the supply of the carrier gas or the measurement water is resumed. Therefore, the measurement after restarting the supply of the carrier gas or the measurement water is not started in the unstable state of the baseline of the detection signal, and the measurement accuracy in the measurement started after the measurement is interrupted. Decline can be prevented.

水質分析計の一つである燃焼酸化式TOC計の一実施例を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows one Example of the combustion oxidation type | mold TOC meter which is one of the water quality analyzers. 同実施例においてキャリアガスの供給を一時停止し、その後キャリアガスの供給を再開したときの検出部(赤外線ガス分析部)の検出信号の時間変化を示すグラフである。It is a graph which shows the time change of the detection signal of a detection part (infrared gas analysis part) when supply of carrier gas is stopped temporarily and supply of carrier gas is restarted after that in the example. 同実施例の動作を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating operation | movement of the Example. 水質分析計の他の形式である湿式酸化式TOC計の一実施例を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows one Example of the wet oxidation type | mold TOC meter which is another form of a water quality analyzer.

本発明の好ましい実施の形態の一つは、演算部は、キャリアガス供給停止時間又は測定水供給停止時間の計測値T’を用いて、
T’<Tの場合、
t’=t×T’/Tとし、
T’≧Tの場合、
t’=t
として待機時間t’を求めて設定するものである。
In one preferred embodiment of the present invention, the calculation unit uses the measured value T ′ of the carrier gas supply stop time or the measured water supply stop time,
If T '<T,
t ′ = t × T ′ / T,
If T ′ ≧ T,
t '= t
The waiting time t ′ is obtained and set as follows.

また、別の好ましい実施の形態は、待機時間情報保持部は、待機時間情報としてT及びTよりも短い1又は複数の基準時間と、T及び各基準時間に対応した待機時間を保持しており、演算部は、キャリアガス供給停止時間又は測定水供給停止時間の計測値T’を待機時間情報保持部に保持されているT及び基準時間と比較し、待機時間情報保持部に保持されている対応した待機時間を待機時間t’として設定するものである。   In another preferred embodiment, the waiting time information holding unit holds one or a plurality of reference times shorter than T and T as waiting time information, and waiting times corresponding to T and each reference time. The arithmetic unit compares the measured value T ′ of the carrier gas supply stop time or the measured water supply stop time with T and the reference time held in the standby time information holding unit, and is held in the standby time information holding unit. The corresponding waiting time is set as the waiting time t ′.

上記二つの実施の形態は、停止時間の計測値T'に基づいて待機時間t’を設定するものである。これに対し、検出信号値sに基づいてt’を設定することも可能である。
そのような好ましい実施形態の一つは、待機時間演算部は、測定開始時に、キャリアガスの供給を開始したときの検出部によるキャリアガスの検出信号値s又は測定水の供給を開始したときの検出部による測定水の検出信号値sを取り込み、待機時間情報保持部に保持されている待機時間情報Sとtから、
s<Sの場合、
t’=t×s/Sとし、
T’≧Tの場合、
t’=t
として待機時間t’を求めて設定するものである。
In the above two embodiments, the standby time t ′ is set based on the measurement value T ′ of the stop time. On the other hand, t ′ can be set based on the detection signal value s.
One of such preferred embodiments is that the standby time calculation unit is configured to start the carrier gas detection signal value s or the measurement water when the carrier gas supply is started at the start of measurement. The detection signal value s of the measurement water by the detection unit is captured, and from the standby time information S and t held in the standby time information holding unit,
If s <S,
t ′ = t × s / S,
If T ′ ≧ T,
t '= t
The waiting time t ′ is obtained and set as follows.

また、検出信号値sに基づいてt’を設定する別の好ましい実施の形態は、待機時間情報保持部は、待機時間情報としてS及びSよりも小さい1又は複数の基準信号レベルと、S及び各基準信号レベルに対応した待機時間を保持しており、演算部は、測定開始時に、キャリアガスの供給を開始したときの検出部によるキャリアガスの検出信号値s又は測定水の供給を開始したときの検出部による測定水の検出信号値sを取り込み、検出信号値sを待機時間情報保持部に保持されているS及び基準信号レベルと比較し、待機時間情報保持部に保持されている対応した待機時間を待機時間t’として設定するものである。   Further, in another preferred embodiment in which t ′ is set based on the detection signal value s, the standby time information holding unit includes one or more reference signal levels smaller than S and S as standby time information, and S and The standby time corresponding to each reference signal level is held, and the calculation unit starts supplying the carrier gas detection signal value s or the measurement water when the measurement starts. The detection signal value s of the measured water by the detection unit at the time is taken, the detection signal value s is compared with the S and reference signal level held in the standby time information holding unit, and the correspondence held in the standby time information holding unit This waiting time is set as the waiting time t ′.

試料水中の測定対象となる炭素成分としては全有機体炭素を挙げることができ、該水質分析計を全有機体炭素測定装置とすることができる。   Examples of the carbon component to be measured in the sample water include total organic carbon, and the water quality analyzer can be used as the total organic carbon measuring device.

[実施例1]
以下、図面を参照して本発明のより具体的な一実施例を説明する。
図1は、本発明が適用される水質分析計として、TOCとTNをともに測定できるようにしたTOC/TN計の概略構成図である。
[Example 1]
Hereinafter, a more specific embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a TOC / TN meter capable of measuring both TOC and TN as a water quality analyzer to which the present invention is applied.

環境水などの試料が連続して流れる採水管1には、その試料の一部をTOC/TN計本体内の分岐部3を経てドレン出口12へ排出する流路が接続されている。分岐部3には、採水した試料を分析部に導くための試料導入部である試料注入機構18の8ポートバルブ14の1つのポートが接続されている。   A flow path for discharging a part of the sample to the drain outlet 12 through the branch part 3 in the TOC / TN meter main body is connected to the water sampling tube 1 through which a sample such as environmental water continuously flows. One port of the 8-port valve 14 of the sample injection mechanism 18 that is a sample introduction unit for guiding the collected sample to the analysis unit is connected to the branch unit 3.

試料注入機構18は8ポートバルブ14とそれに接続されたマイクロシリンジ16によって構成されており、マイクロシリンジ16は8ポートバルブ14のいずれのポートとも接続できるように共通ポートに接続されている。8ポートバルブ14のそれぞれのポートには、分岐部3のほか、無機炭素(IC)を測定するときに試料を酸性にするために添加する酸添加部20、校正用の標準液22、希釈や洗浄に使用するための希釈水24、オフライン試料26、試料中の炭素成分の全てをCO2に変換する触媒を備えたTC(全炭素)酸化反応部32の試料注入部34、不要な気体を排出するためのドレン出口28、及び不要な液体を排出するためのドレン出口12が、それぞれ接続されている。 The sample injection mechanism 18 includes an 8-port valve 14 and a microsyringe 16 connected thereto, and the microsyringe 16 is connected to a common port so that it can be connected to any port of the 8-port valve 14. Each port of the 8-port valve 14 has, in addition to the branching portion 3, an acid addition portion 20 added to make the sample acidic when measuring inorganic carbon (IC), a standard solution 22 for calibration, dilution, Dilution water 24 for use in cleaning, off-line sample 26, sample injection part 34 of TC (total carbon) oxidation reaction part 32 equipped with a catalyst for converting all the carbon components in the sample into CO 2 , unnecessary gas A drain outlet 28 for discharging and a drain outlet 12 for discharging unnecessary liquid are respectively connected.

空気入口42から取り込んだ空気から炭素成分を除去して精製ガスを生成し、流量を調節して送り出すためのガス精製・流量制御部40が設けられている。ガス精製・流量制御部40のガス出口には、ガス精製・流量制御部40で生成された精製ガスをスパージガス又はキャリアガスとしてマイクロシリンジ16に供給する流路41a、キャリアガスとしてTC酸化反応部32に供給する流路41b、及びオゾン発生部50に精製ガスを供給する流路41cが接続されている。   A gas refining / flow rate control unit 40 is provided for removing a carbon component from the air taken in from the air inlet 42 to generate a purified gas, adjusting the flow rate, and sending it out. At the gas outlet of the gas purification / flow rate control unit 40, a flow path 41a for supplying the purified gas generated by the gas purification / flow rate control unit 40 to the microsyringe 16 as a sparge gas or a carrier gas, and a TC oxidation reaction unit 32 as a carrier gas. A flow path 41b for supplying purified gas and a flow path 41c for supplying purified gas to the ozone generator 50 are connected.

TC酸化反応部32は、試料中の炭素成分をCO2に変換し、窒素成分をNOに変換する酸化触媒が充填されたTC燃焼管36、そのTC燃焼管36に試料とキャリアガスを導入する試料注入部34、及びTC燃焼管36を加熱する加熱炉38から構成されている。
TC燃焼管36の下流部は、水分を除去する除湿器やハロゲン成分を除去するハロゲンスクラバーなどを備えた除湿・ガス処理部44を経て、CO2を検出する赤外線ガス分析部46に接続されている。赤外線ガス分析部46の下流部はNOを検出するための化学発光分析部48に接続されている。化学発光分析部48にはオゾン発生部50からオゾンが供給されている。化学発光分析部48の下流部は、オゾンキラー52を介してドレン出口54に接続されている。赤外線ガス分析部46及び化学発光分析部48は検出部を構成しており、赤外線ガス分析部46及び化学発光分析部48に通じる流路は検出流路を構成している。
The TC oxidation reaction unit 32 introduces the sample and the carrier gas into the TC combustion tube 36 filled with an oxidation catalyst that converts the carbon component in the sample into CO 2 and converts the nitrogen component into NO, and the TC combustion tube 36. It comprises a sample injection section 34 and a heating furnace 38 for heating the TC combustion tube 36.
The downstream portion of the TC combustion pipe 36 is connected to an infrared gas analysis unit 46 that detects CO 2 via a dehumidifier that removes moisture and a dehumidification / gas treatment unit 44 that includes a halogen scrubber that removes halogen components. Yes. The downstream part of the infrared gas analyzer 46 is connected to a chemiluminescence analyzer 48 for detecting NO. Ozone is supplied from the ozone generator 50 to the chemiluminescence analyzer 48. A downstream portion of the chemiluminescence analysis unit 48 is connected to a drain outlet 54 via an ozone killer 52. The infrared gas analysis part 46 and the chemiluminescence analysis part 48 constitute a detection part, and the flow path leading to the infrared gas analysis part 46 and the chemiluminescence analysis part 48 constitutes a detection flow path.

このTOC/TN計の動作の制御及び演算処理を行なうための演算制御部56と、ガス精製・流量制御部40によるキャリアガスの供給の停止時間を計測するための停止時間計測部58と、TOC又はTNの測定を開始する際の試料注入前の待機時間を設定するために用いる待機時間情報保持部59が設けられている。   An operation control unit 56 for controlling the operation of the TOC / TN meter and an arithmetic process, a stop time measuring unit 58 for measuring the stop time of the supply of the carrier gas by the gas purification / flow rate control unit 40, a TOC Alternatively, a standby time information holding unit 59 used to set a standby time before sample injection when starting TN measurement is provided.

演算制御部56は、8ポートバルブ14、マイクロシリンジ16、ガス精製・流量制御部40及び停止時間計測部58の動作を制御する。また、演算制御部56は赤外線ガス分析部46及び化学発光分析部48からの出力信号を取り込んでTOCやTNを求めるための演算を行なう。演算制御部56には、キーボードなどの入力手段60及びレコーダ62が接続されている。演算制御部56は演算制御部56はCPU(中央処理装置)と記憶装置により実現される。   The arithmetic control unit 56 controls operations of the 8-port valve 14, the microsyringe 16, the gas purification / flow rate control unit 40, and the stop time measurement unit 58. The arithmetic control unit 56 takes in output signals from the infrared gas analysis unit 46 and the chemiluminescence analysis unit 48 and performs calculations for obtaining TOC and TN. An input means 60 such as a keyboard and a recorder 62 are connected to the arithmetic control unit 56. The arithmetic control unit 56 is realized by a CPU (central processing unit) and a storage device.

演算制御部56は、測定が中断しているときはガス精製・流量制御部40にキャリアガスの供給を停止させる制御をするように構成されている。キャリアガスの供給が停止すると、赤外線ガス分析部46へ通じる流路内に外気の二酸化炭素が拡散し、赤外線ガス分析計6を作動させたとすれば、図2に示されているように、赤外線ガス分析部46の検出信号が上昇する。この状態で、測定を開始すると、赤外線ガス分析部46の検出信号のベースラインが安定していない状態で測定が行なわれることになり、測定の正確性が損なわれる。そのため、演算制御部56は、キャリアガスの供給を開始してから所定の待機時間が経過するまで試料を酸化反応部32へ導入しないように構成されている。   The arithmetic control unit 56 is configured to control the gas purification / flow rate control unit 40 to stop supplying the carrier gas when the measurement is interrupted. When the supply of the carrier gas is stopped, if carbon dioxide in the outside air diffuses into the flow path leading to the infrared gas analyzer 46 and the infrared gas analyzer 6 is operated, as shown in FIG. The detection signal of the gas analyzer 46 increases. When measurement is started in this state, the measurement is performed in a state where the baseline of the detection signal of the infrared gas analyzer 46 is not stable, and the accuracy of the measurement is impaired. Therefore, the arithmetic control unit 56 is configured not to introduce the sample into the oxidation reaction unit 32 until a predetermined standby time has elapsed after the supply of the carrier gas is started.

試料の測定を開始する前の待機時間は次のように設定される。
停止時間計測部58は、ガス精製・流通制御部40によるキャリアガスの供給が停止していた時間を計測している。キャリアガスの供給が停止していた時間と赤外線ガス分析部46を作動させたときの赤外線ガス分析計6の検出信号との間には、図2に示されているように、ある程度一定の相関関係がある。図2に示されているような相関関係は予め測定によって求められ、待機時間情報保持部59に保持されている。
The waiting time before starting the measurement of the sample is set as follows.
The stop time measuring unit 58 measures the time during which the supply of the carrier gas by the gas purification / distribution control unit 40 is stopped. There is a certain degree of correlation between the time during which the supply of the carrier gas is stopped and the detection signal of the infrared gas analyzer 6 when the infrared gas analyzer 46 is operated, as shown in FIG. There is a relationship. The correlation as shown in FIG. 2 is obtained in advance by measurement and is held in the standby time information holding unit 59.

演算制御部56は、待機時間情報保持部59に保持されている情報によりキャリアガスの供給が停止されてから飽和によって赤外線ガス分析部46の検出信号が安定する飽和状態になるまでに要する時間T及び飽和状態でキャリアガスの供給を再開してから検出部の検出信号が安定する安定状態となるまでに要する時間tを得るようになっており、それらの情報と停止時間計測部58が計測した停止時間T’を用いて、
T’<Tの場合、
t’=t×T’/T
T’≧Tの場合、
t’=t
を演算することにより待機時間t’を設定する。
The calculation control unit 56 takes a time T required until the detection signal of the infrared gas analysis unit 46 becomes stable due to saturation after the supply of the carrier gas is stopped by the information held in the standby time information holding unit 59. In addition, the time t required until the detection signal of the detection unit becomes stable after the supply of the carrier gas is resumed in a saturated state is obtained, and the information and the stop time measurement unit 58 measure the information. Using the stop time T ′
If T '<T,
t ′ = t × T ′ / T
If T ′ ≧ T,
t '= t
The standby time t ′ is set by calculating

また、待機時間t’の別の設定方法としては、キャリアガスの供給が停止されてから飽和によって赤外線ガス分析部46の検出信号が安定する飽和状態になるまでに要する時間Tまでの間に停止時間のしきい値T1とそのT1に対応する待機時間t1を設定しておく。そして、停止時間計測部58が計測した停止時間T’をT1と比較し、
T’≦T1のときは、t’=0
T’>T1のときは、t’=t1
として待機時間t’が設定されるようにしてもよい。なお、しきい値は1つに限らず、2以上のしきい値とそのしきい値それぞれに対応する待機時間を設定しておいてもよい。
Further, as another method of setting the standby time t ′, the standby time t ′ is stopped after the carrier gas supply is stopped until the time T required until the detection signal of the infrared gas analyzer 46 becomes stable due to saturation. A time threshold T1 and a waiting time t1 corresponding to the time T1 are set. Then, the stop time T ′ measured by the stop time measuring unit 58 is compared with T1,
When T ′ ≦ T1, t ′ = 0
When T ′> T1, t ′ = t1
The standby time t ′ may be set as follows. The threshold value is not limited to one, and two or more threshold values and standby times corresponding to the threshold values may be set.

演算処理部56がこのように構成されていることにより、このTOC/TN計の動作の全体的な流れは、図3に示したものとなる。
測定を開始する前に、まず、演算処理部56が停止時間計測部58からキャリアガスの供給が停止していた時間を取り込み、待機時間情報保持部59の情報を用いて上述の方法により待機時間t’を設定する。このとき、ガス精製・流通制御部40からのキャリアガスの供給は前回の測定が終了したときから停止した状態となっている。
Since the arithmetic processing unit 56 is configured in this way, the overall flow of the operation of the TOC / TN meter is as shown in FIG.
Before starting the measurement, first, the arithmetic processing unit 56 takes in the time during which the supply of the carrier gas has been stopped from the stop time measuring unit 58 and uses the information in the standby time information holding unit 59 to wait for the standby time. t 'is set. At this time, the supply of the carrier gas from the gas purification / distribution control unit 40 has been stopped since the previous measurement was completed.

その後、キャリアガスの供給を開始するが、待機時間t’が経過するまで試料注入機構18は酸化反応部32への試料の注入は行なわずに待機する。待機時間t’が経過した後、試料注入機構18は酸化反応部32へ試料を注入して測定を開始し、測定が終了すればガス精製・流通制御部40からのキャリアガスの供給を停止する。ガス精製・流通制御部40からのキャリアガスの供給を停止したときに停止時間計測部58が停止時間の計測を開始する。停止時間の計測は次回の測定が開始される前まで行なわれ、その停止時間が次回測定前の待機時間t’の設定に使用される。   Thereafter, the supply of the carrier gas is started, but the sample injection mechanism 18 stands by without injecting the sample into the oxidation reaction section 32 until the standby time t ′ elapses. After the waiting time t ′ has elapsed, the sample injection mechanism 18 injects a sample into the oxidation reaction unit 32 and starts measurement. When the measurement is completed, supply of the carrier gas from the gas purification / distribution control unit 40 is stopped. . When the supply of the carrier gas from the gas purification / distribution control unit 40 is stopped, the stop time measuring unit 58 starts measuring the stop time. The stop time is measured until the next measurement is started, and the stop time is used for setting the standby time t ′ before the next measurement.

また、待機時間t’がキャリアガスの供給を再開する直前の赤外線ガス分析部46の検出信号に基づいて設定されるようにすることもできる。この場合、演算処理部56は、待機時間情報保持部59の情報から、キャリアガスの供給が停止されてから赤外線ガス分析部46の検出信号が安定する飽和状態になったときの検出信号S及び飽和状態でキャリアガスの供給を再開してから赤外線ガス分析部46の検出信号が安定する安定状態となるまでに要する時間tを得るようにし、これらの情報とキャリアガスの供給を再開する直前の検出信号sを用いて、
s<Sの場合、
t’=t×s/S
s≧Sの場合、
t’=t
を演算することにより待機時間t’を設定するようにする。この待機時間t’の設定の過程ではキャリアガス供給の停止時間を使用しないため、停止時間計測部58を装置の構成から省いてもよい。
In addition, the standby time t ′ can be set based on the detection signal of the infrared gas analyzer 46 immediately before the supply of the carrier gas is resumed. In this case, the arithmetic processing unit 56 uses the information in the standby time information holding unit 59 to detect the detection signal S and the detection signal S when the detection signal of the infrared gas analysis unit 46 becomes stable after the supply of the carrier gas is stopped. A time t required until the detection signal of the infrared gas analyzer 46 becomes stable after the supply of the carrier gas is resumed in a saturated state is obtained, and immediately before the supply of the information and the carrier gas is resumed. Using the detection signal s,
If s <S,
t ′ = t × s / S
If s ≧ S,
t '= t
Is set to set the waiting time t ′. Since the carrier gas supply stop time is not used in the process of setting the standby time t ′, the stop time measuring unit 58 may be omitted from the configuration of the apparatus.

上記のように、赤外線ガス分析部46の検出信号S,sを用いて待機時間t’を設定する方法においても、キャリアガスの供給が行なわれて赤外線ガス分析部46の検出信号が安定しているときの検出信号と、キャリアガスの供給が停止してから赤外線ガス分析部46の検出信号が安定している状態での検出信号Sとの間にしきい値S1を設定し、そのしきい値に応じた待機時間t1を設定しておく。そして、キャリアガスの供給再開直前の赤外線ガス分析部46の検出信号sとしきい値S1を比較し、
s≦S1のときは、t’=0
s>S1のときは、t’=t1
として待機時間t’を設定されるようにしてもよい。なお、しきい値は1つに限らず、2以上のしきい値とそのしきい値それぞれに対応する待機時間を設定しておいてもよい。
As described above, also in the method of setting the standby time t ′ using the detection signals S and s of the infrared gas analyzer 46, the carrier gas is supplied and the detection signal of the infrared gas analyzer 46 is stabilized. A threshold value S1 is set between the detection signal when the carrier gas is stopped and the detection signal S when the detection signal of the infrared gas analyzer 46 is stable after the supply of the carrier gas is stopped. A waiting time t1 is set according to the above. Then, the detection signal s of the infrared gas analyzer 46 immediately before the restart of the supply of the carrier gas is compared with the threshold value S1,
When s ≦ S1, t ′ = 0
When s> S1, t ′ = t1
The standby time t ′ may be set as follows. The threshold value is not limited to one, and two or more threshold values and standby times corresponding to the threshold values may be set.

次に、図1に戻って、同実施例におけるTC測定、TN測定及びTOC測定の動作を説明する。
(TC測定及びTN測定)
制御部58からの制御信号により、8ポートバルブ14によりマイクロシリンジ16が分岐部3に接続され、マイクロシリンジ16が駆動されてマイクロシリンジ16に一定量の試料が採水される。所定の希釈率が設定されている場合は、マイクロシリンジ16が希釈水24に接続されて、マイクロシリンジ16中の試料に所定量の希釈水が加えられる。
Next, returning to FIG. 1, operations of TC measurement, TN measurement, and TOC measurement in the same embodiment will be described.
(TC measurement and TN measurement)
In response to a control signal from the control unit 58, the microsyringe 16 is connected to the branching unit 3 by the 8-port valve 14, and the microsyringe 16 is driven to sample a certain amount of sample into the microsyringe 16. When a predetermined dilution rate is set, the microsyringe 16 is connected to the dilution water 24 and a predetermined amount of dilution water is added to the sample in the microsyringe 16.

次に、マイクロシリンジ16中の試料がTC酸化反応部32の試料注入口34を経てTC燃焼管36に注入され、試料中の炭素成分はCO2に変換され、窒素成分はNOに変換される。
TC燃焼管36で発生したCO2及びNOは、ガス精製・流量制御部40から流路41bを経て、供給されたキャリアガスとともに除湿・ガス処理部44に送られ、冷却、除湿及びハロゲン除去された後、赤外線ガス分析部46でCO2が検出され、続いて化学発光分析部48でNOが検出される。それらの検出信号は演算部56に送られ、その信号からピークの面積値が求められて検量線に基づいてTC濃度とTN濃度が求められる。
Next, the sample in the microsyringe 16 is injected into the TC combustion tube 36 through the sample inlet 34 of the TC oxidation reaction section 32, and the carbon component in the sample is converted into CO 2 and the nitrogen component is converted into NO. .
The CO 2 and NO generated in the TC combustion pipe 36 are sent from the gas purification / flow rate control unit 40 to the dehumidification / gas processing unit 44 together with the supplied carrier gas through the flow path 41b, where they are cooled, dehumidified and halogen-removed. After that, CO 2 is detected by the infrared gas analyzer 46, and subsequently NO is detected by the chemiluminescence analyzer 48. These detection signals are sent to the calculation unit 56, and the peak area value is obtained from the signal, and the TC concentration and the TN concentration are obtained based on the calibration curve.

(IC測定、TOC測定)
TC測定及びTN測定の時と同様にして、マイクロシリンジ16に一定量の試料が採水される。所定の希釈率が設定されている場合は、マイクロシリンジ16が希釈水24に接続されて、マイクロシリンジ16中の試料に所定量の希釈水が加えられる。
(IC measurement, TOC measurement)
A certain amount of sample is collected in the microsyringe 16 in the same manner as in the TC measurement and the TN measurement. When a predetermined dilution rate is set, the microsyringe 16 is connected to the dilution water 24 and a predetermined amount of dilution water is added to the sample in the microsyringe 16.

次に、マイクロシリンジ16は酸添加部20に接続されてマイクロシリンジ16中の試料に少量の酸が加えられる。その後、マイクロシリンジ16は試料注入口34に接続され、ガス精製・流量制御部40から流路41aを経てスパージガスがマイクロシリンジ16に供給される。試料中のICから発生したCO2はスパージガスとともにTC燃焼管36を経て除湿・ガス処理部44に送られ、冷却、除湿及びハロゲン除去された後、赤外線ガス分析部46でCO2が検出される。検出信号は演算部56に送られ、その信号からピークの面積値が求められて検量線に基づいてIC濃度が求められる。
演算部56では、TC濃度とIC濃度の差からTOC濃度も求められる。
Next, the microsyringe 16 is connected to the acid addition unit 20 and a small amount of acid is added to the sample in the microsyringe 16. Thereafter, the microsyringe 16 is connected to the sample injection port 34, and the sparge gas is supplied from the gas purification / flow rate control unit 40 to the microsyringe 16 through the flow path 41 a. CO 2 generated from the IC in the sample is sent to the TC combustion tube 36 dehumidified gas processing unit 44 via with sparge gas, cooling, after being dehumidified and halogen removal, CO 2 is detected by the infrared gas analyzer 46 . The detection signal is sent to the calculation unit 56, the peak area value is obtained from the signal, and the IC concentration is obtained based on the calibration curve.
In the calculation unit 56, the TOC concentration is also obtained from the difference between the TC concentration and the IC concentration.

TOC濃度を単独で測定することもできる。TC測定及びTN測定の時と同様にして、マイクロシリンジ16に一定量の試料が採取される。所定の希釈率が設定されている場合は、マイクロシリンジ16が純水24に接続されてマイクロシリンジ16中の試料に所定量の純水が加えられる。次に、マイクロシリンジ16が酸20に接続されてマイクロシリンジ16中の試料に少量の酸が加えられる。次に、マイクロシリンジ16がドレン出口28に接続され、ガス精製・流量制御部40から流路41aを経てスパージガスがマイクロシリンジ16に供給される。試料中のICから発生したCO2はスパージガスとともにドレン出口28から排出され、マイクロシリンジ16にはTOCが残る。その後、マイクロシリンジ16の試料がTC酸化反応部32のTC試料注入口34を経てTC燃焼管36に注入され、試料中の炭素成分がCO2に変換され、TC燃焼管36で発生したCO2はキャリアガスとともに除湿・ガス処理部44を経て赤外線ガス分析部46に送られてTOCがCO2として検出される。 The TOC concentration can also be measured alone. A certain amount of sample is collected in the microsyringe 16 in the same manner as in TC measurement and TN measurement. When a predetermined dilution rate is set, the microsyringe 16 is connected to the pure water 24 and a predetermined amount of pure water is added to the sample in the microsyringe 16. Next, the microsyringe 16 is connected to the acid 20 and a small amount of acid is added to the sample in the microsyringe 16. Next, the microsyringe 16 is connected to the drain outlet 28, and the sparge gas is supplied to the microsyringe 16 from the gas purification / flow rate control unit 40 through the flow path 41 a. CO 2 generated from the IC in the sample is discharged from the drain outlet 28 together with the sparge gas, and the TOC remains in the microsyringe 16. Thereafter, samples of the microsyringe 16 is injected into the TC combustion tube 36 via the TC sample injection port 34 of the TC oxidative reaction part 32, the carbon component in the sample is converted to CO 2, CO 2 generated by the TC combustion tube 36 Is sent to the infrared gas analysis unit 46 through the dehumidification / gas processing unit 44 together with the carrier gas, and TOC is detected as CO 2 .

なお、この実施例において、停止時間計測部58及び待機時間情報保持部59が演算制御部56とは独立して設けられているが、停止時間計測部58、待機時間情報保持部59の一方又は両方が演算制御部56の一つの機能として実現されるものであってもよい。   In this embodiment, the stop time measuring unit 58 and the standby time information holding unit 59 are provided independently of the calculation control unit 56, but one of the stop time measuring unit 58 and the standby time information holding unit 59 or Both may be realized as one function of the arithmetic control unit 56.

[実施例2]
実施例1は、キャリアガスを用いて試料を搬送する装置に本発明を適用したものであるが、本発明は純水を測定水として使用する装置に対しても適用することができる。その一実施例を図4を用いて以下に説明する。
[Example 2]
In Example 1, the present invention is applied to an apparatus that transports a sample using a carrier gas, but the present invention can also be applied to an apparatus that uses pure water as measurement water. One example thereof will be described below with reference to FIG.

pH調整部104は、例えばイオン交換膜を間に挟んで重ね合わされた2枚の流路基板で構成されており、その内部において試料水とpH調整液とがイオン交換膜を介して接する構造となっている。pH調整部104の内側の流路の底部にそれぞれ電極が設けられており、互いの電極間に電圧が印加されるようになっている。pH調整液流路114はpH調整液リザーバ116に貯留されたpH調整液を流通させるための流路である。pH調整部104の電極間に電圧が印加されることで試料水とpH調整液との間でイオン交換が行なわれて試料水が酸性になり、試料水中のIC(無機体炭素)が二酸化炭素に変換される。   The pH adjusting unit 104 is composed of, for example, two flow path substrates stacked with an ion exchange membrane interposed therebetween, and a structure in which the sample water and the pH adjusting solution are in contact with each other through the ion exchange membrane. It has become. Electrodes are respectively provided at the bottoms of the flow paths inside the pH adjusting unit 104, and a voltage is applied between the electrodes. The pH adjusting liquid flow path 114 is a flow path for circulating the pH adjusting liquid stored in the pH adjusting liquid reservoir 116. By applying a voltage between the electrodes of the pH adjusting unit 104, ion exchange is performed between the sample water and the pH adjusting solution, the sample water becomes acidic, and the IC (inorganic carbon) in the sample water is carbon dioxide. Is converted to

酸化反応部108は試料水流路102を流れる試料水に短波長の紫外線を照射することにより、試料水中の有機物を酸化分解して二酸化炭素に変換するものである。   The oxidation reaction unit 108 irradiates the sample water flowing through the sample water channel 102 with ultraviolet rays having a short wavelength, thereby oxidizing and decomposing organic matter in the sample water into carbon dioxide.

二酸化炭素抽出部110は、例えば気液分離膜を間に挟んで重ね合わされた2枚の基板で構成されており、互いの基板の気液分離膜側の面の対向する位置に試料水流路102及び測定水流路118の一部をなす流路が形成されている。気液分離膜110の試料水流路102を流れる試料水は試料水に含まれていた有機物が酸化反応部108において酸化分解されて生成された二酸化炭素を含んでおり、その試料水流路102と測定水流路118が気液分離膜を介して接していることにより、ガス成分である二酸化炭素のみが気液分離膜を透過して測定水流路118側へ移行する。   The carbon dioxide extraction unit 110 is composed of, for example, two substrates stacked with a gas-liquid separation membrane interposed therebetween, and the sample water flow channel 102 is located at a position opposite to the surface of each substrate on the gas-liquid separation membrane side. In addition, a flow path that forms part of the measurement water flow path 118 is formed. The sample water flowing through the sample water channel 102 of the gas-liquid separation membrane 110 contains carbon dioxide produced by oxidative decomposition of the organic matter contained in the sample water in the oxidation reaction unit 108. Since the water flow path 118 is in contact with the gas-liquid separation membrane, only carbon dioxide, which is a gas component, passes through the gas-liquid separation film and moves to the measurement water flow path 118 side.

測定水流路118では測定水が送液ポンプ123によって送液されており、測定水リザーバ120−イオン交換部122−二酸化炭素抽出部110−導電率測定部124−測定水リザーバ120の順で測定水が循環する。測定水リザーバ120に貯留された測定水はイオン交換部122で二酸化炭素などの不純物を取り除かれた後、二酸化炭素抽出部110において試料水から抽出された二酸化炭素を保持し、導電率測定部124で導電率を測定される。   In the measurement water channel 118, the measurement water is fed by the liquid feed pump 123, and the measurement water is in the order of the measurement water reservoir 120, the ion exchange unit 122, the carbon dioxide extraction unit 110, the conductivity measurement unit 124, and the measurement water reservoir 120. Circulates. After the impurities such as carbon dioxide are removed from the measurement water stored in the measurement water reservoir 120 by the ion exchange unit 122, the carbon dioxide extracted from the sample water is held in the carbon dioxide extraction unit 110, and the conductivity measurement unit 124. The conductivity is measured at

イオン交換部122では、測定水がイオン交換膜に通されることによって不純物が取り除かれる。
導電率測定部124は二酸化炭素抽出部110を経た測定水の導電率を測定する。導電率測定部124で得られた導電率は後述する演算制御部126に入力される。演算制御部126は、導電率測定部124による二酸化炭素抽出部110を経た測定水の導電率の測定結果に基づいて、二酸化炭素抽出部110において試料水から測定水へ移行した二酸化炭素濃度を求め、その二酸化炭素量から試料水のTOCを定量する。
In the ion exchange part 122, impurities are removed by passing measurement water through the ion exchange membrane.
The conductivity measuring unit 124 measures the conductivity of the measurement water that has passed through the carbon dioxide extraction unit 110. The conductivity obtained by the conductivity measuring unit 124 is input to the calculation control unit 126 described later. The arithmetic control unit 126 obtains the concentration of carbon dioxide transferred from the sample water to the measurement water in the carbon dioxide extraction unit 110 based on the measurement result of the conductivity of the measurement water passed through the carbon dioxide extraction unit 110 by the conductivity measurement unit 124. Quantify the TOC of the sample water from the amount of carbon dioxide.

陰イオン回収部112は、イオン交換膜を間に挟んで重ね合わされた2枚の基板で構成され、それらの基板のイオン交換膜側の面に試料水流路102及びpH調整液流路114の一部をなす流路が形成されている。2枚の基板の内側の各流路の底面にそれぞれ電極が形成されており、両電極間に電圧が印加されることにより試料水とpH調整液との間でイオン交換が行なわれ、pHが上昇して中性付近になった状態で試料水が外部へ排出される。   The anion recovery unit 112 is composed of two substrates stacked with an ion exchange membrane interposed therebetween, and one of the sample water flow channel 102 and the pH adjustment liquid flow channel 114 is formed on the surface of the substrates on the ion exchange membrane side. The flow path which forms a part is formed. Electrodes are formed on the bottom surfaces of the respective flow paths inside the two substrates. When a voltage is applied between both electrodes, ion exchange is performed between the sample water and the pH adjusting solution, and the pH is reduced. The sample water is discharged to the outside in a state where it has risen to near neutrality.

このTOC計の動作の制御やTOC算出の演算処理を行なう演算制御部126も、実施例1の演算制御部56と同様に、試料の測定を行なわないときには、測定水の測定水流路118における循環が停止されるように送液ポンプ123を制御する。測定水が常時循環していると、イオン交換部122のイオン交換膜が劣化が進むため、測定中断時に測定水の循環を停止させることでそのような劣化の進行を抑制して維持コストの低減を図る。しかし、測定水の循環を停止させると、実施例1と同様に外部から測定水流路118内に外気が拡散し、導電率測定部124で得られる導電率が変化し、図2に示したものと同様の現象が起こる。このような状態で測定を開始すると、測定結果の正確性が損なわれる。   Similar to the calculation control unit 56 of the first embodiment, the calculation control unit 126 that controls the operation of the TOC meter and the calculation process of the TOC calculation also circulates in the measurement water flow path 118 of the measurement water when the sample is not measured. The liquid feed pump 123 is controlled so as to be stopped. If the measurement water is constantly circulated, the ion exchange membrane of the ion exchange unit 122 deteriorates. Therefore, by stopping the circulation of the measurement water when the measurement is interrupted, the progress of such deterioration is suppressed and the maintenance cost is reduced. Plan. However, when the circulation of the measurement water is stopped, the outside air diffuses into the measurement water flow path 118 from the outside as in the first embodiment, and the conductivity obtained by the conductivity measuring unit 124 changes, as shown in FIG. A similar phenomenon occurs. If measurement is started in such a state, the accuracy of the measurement result is impaired.

そこで、演算制御部126は測定水の循環の再開後、所定の待機時間が経過するまで待機してから測定を行なうように構成されている。待機時間の設定方法は、実施例1の方法と同様である。待機時間情報保持部130には、実施例1の図2に対応するような予め測定された待機時間情報が保持されており、待機時間情報保持部130の情報と、停止時間計測部128によって計測される測定水の循環の停止時間又は測定水の循環を再開する直前の導電率測定部124で得られる導電率に基づいて待機時間が設定される。   Therefore, the arithmetic control unit 126 is configured to perform measurement after waiting until a predetermined waiting time elapses after the circulation of the measurement water is resumed. The method for setting the standby time is the same as the method of the first embodiment. The waiting time information holding unit 130 holds waiting time information measured in advance as corresponding to FIG. 2 of the first embodiment, and is measured by the information of the waiting time information holding unit 130 and the stop time measuring unit 128. The waiting time is set based on the stop time of the measured water circulation or the conductivity obtained by the conductivity measuring unit 124 immediately before the circulation of the measured water is resumed.

なお、この実施例において、停止時間計測部128及び待機時間情報保持部130が演算制御部126とは独立して設けられているが、停止時間計測部128、待機時間情報保持部130の一方又は両方が演算制御部126の一つの機能として実現されるものであってもよい。   In this embodiment, the stop time measuring unit 128 and the standby time information holding unit 130 are provided independently of the calculation control unit 126, but one of the stop time measuring unit 128 and the standby time information holding unit 130 or Both may be realized as one function of the arithmetic control unit 126.

14 6ポートバルブ
16 マイクロシリンジ
18 試料注入機構(試料導入部)
32 TC酸化反応部
34 試料注入部
36 燃焼管
38 加熱炉
40 ガス精製・流量制御部
44 除湿・ガス処理部
46 赤外線ガス分析部
48 化学発光分析部
56 演算制御部
58 停止時間計測部
59 待機時間情報保持部
14 6-port valve 16 Micro syringe 18 Sample injection mechanism (sample introduction part)
32 TC oxidation reaction unit 34 Sample injection unit 36 Combustion tube 38 Heating furnace 40 Gas purification / flow rate control unit 44 Dehumidification / gas treatment unit 46 Infrared gas analysis unit 48 Chemiluminescence analysis unit 56 Operation control unit 58 Stop time measurement unit 59 Standby time Information holding unit

Claims (7)

燃焼管を備えて導入された試料水中の測定成分を酸化して酸化ガスに変換する酸化反応部と、前記酸化反応部に試料水を導入する試料導入部と、測定セルを備えて該測定セル中の酸化ガス濃度を測定する検出部と、前記酸化反応部での酸化ガスを含むガスをキャリアガスによって前記検出部へ送るキャリアガス供給部と、前記試料導入部及びキャリアガス供給部の制御を行なう制御部とを備えた燃焼式酸化法による水質分析計において、
前記キャリアガス供給部でのキャリアガスの供給が停止されているときのキャリアガス供給部から検出部までの流路のキャリアガス中の酸化ガス濃度が飽和状態になるまでのキャリアガス供給停止時間T又はその飽和状態でのキャリアガスによる前記検出部による検出信号値Sと、キャリアガス供給部から検出部までの流路のキャリアガス中の酸化ガス濃度が飽和状態にあるときから前記キャリアガス供給部によるキャリアガスの供給を開始したときに前記検出部での酸化ガスの検出信号がなくなるまでの時間tを待機時間情報として保持している待機時間情報保持部と、
測定開始時にキャリアガスの供給を開始したときに、前記キャリアガス供給部でのキャリアガス供給停止時間の計測値T’又は前記検出部によるキャリアガスの検出信号値sと、前記待機時間情報保持部に保持されている待機時間情報T又はSと、tから、試料水の導入までの待機時間t’を算出する演算部とを備え、
前記制御部は、測定を行っていないときは前記キャリアガス供給部でのキャリアガス供給を停止し、測定開始時に前記キャリアガス供給部でのキャリアガス供給を開始し、キャリアガスの供給を開始してから前記演算部により算出された待機時間t’が経過した後に前記試料導入部による試料水の導入を開始するように構成されている水質分析計。
An oxidation reaction unit that oxidizes a measurement component in a sample water introduced with a combustion tube to convert it into an oxidizing gas, a sample introduction unit that introduces sample water into the oxidation reaction unit, and a measurement cell. a detector for measuring the oxidizing gas concentration in the carrier gas supply unit to be sent to the detecting unit by the carrier gas a gas containing an oxidizing gas in the oxidizing unit, the control of the sample introduction portion and the carrier gas supply unit In a water quality analyzer using a combustion oxidation method with a control unit
Carrier gas supply stop time T until the oxidizing gas concentration in the carrier gas in the flow path from the carrier gas supply unit to the detection unit is saturated when the supply of the carrier gas in the carrier gas supply unit is stopped Alternatively, the carrier gas supply unit when the detection signal value S by the detection unit due to the carrier gas in the saturated state and the oxidizing gas concentration in the carrier gas in the flow path from the carrier gas supply unit to the detection unit are in a saturated state A standby time information holding unit which holds, as standby time information, a time t until the detection signal of the oxidizing gas in the detection unit disappears when the supply of the carrier gas is started by
When the supply of carrier gas is started at the start of measurement, the measured value T ′ of the carrier gas supply stop time in the carrier gas supply unit or the carrier gas detection signal value s by the detection unit, and the waiting time information holding unit Standby time information T or S held in the storage unit, and a calculation unit for calculating a standby time t ′ from the t to the introduction of the sample water,
The control unit stops carrier gas supply at the carrier gas supply unit when measurement is not being performed, starts carrier gas supply at the carrier gas supply unit at the start of measurement, and starts supplying carrier gas. A water quality analyzer configured to start introduction of sample water by the sample introduction unit after a waiting time t ′ calculated by the calculation unit has elapsed.
導入された試料水中の測定成分である炭素成分を紫外線照射により酸化して二酸化炭素に変換する酸化反応部と、前記酸化反応部に試料水を導入する試料導入部と、気液分離膜を備えて測定水と前記酸化反応部を経た試料水とを前記気液分離膜を介して接触させることにより試料水中の二酸化炭素を測定水へ移行させる二酸化炭素抽出部と、イオン交換部を備えてイオン交換部による脱イオン水を測定水として前記二酸化炭素抽出部へ供給する測定水供給部と、前記二酸化炭素抽出部からの測定水の導電率を測定する検出部と、前記試料導入部及び測定水供給部の制御を行なう制御部とを備えた湿式酸化法による水質分析計において、
前記測定水供給部での測定水の供給が停止されているときの測定水供給部から検出部までの流路の測定水中の二酸化炭素濃度が飽和状態になるまでの測定水供給停止時間T又はその飽和状態での測定水による前記検出部による検出信号値Sと、測定水供給部から検出部までの流路の測定水中の二酸化炭素濃度が飽和状態にあるときから前記測定水供給部による測定水の供給を開始したときに前記検出部での二酸化炭素の検出信号がなくなるまでの時間tを待機時間情報として保持している待機時間情報保持部と、
測定開始時に測定水の供給を開始したときに、前記測定水供給部での測定水供給停止時間の計測値T’又は前記検出部による測定水の検出信号値sと、前記待機時間情報保持部に保持されている待機時間情報T又はSと、tから、試料水の導入までの待機時間t’を算出する演算部とを備え、
前記制御部は、測定を行っていないときは前記測定水供給部での測定水供給を停止し、測定開始時に前記測定水供給部での測定水供給を開始し、測定水の供給を開始してから前記演算部により算出された待機時間t’が経過した後に前記試料導入部による試料水の導入を開始するように構成されている水質分析計。
An oxidation reaction part that oxidizes a carbon component as a measurement component in the introduced sample water by ultraviolet irradiation to convert it into carbon dioxide, a sample introduction part that introduces sample water into the oxidation reaction part, and a gas-liquid separation membrane An ion exchange unit and a carbon dioxide extraction unit for transferring carbon dioxide in the sample water to the measurement water by contacting the measurement water and the sample water that has passed through the oxidation reaction unit through the gas-liquid separation membrane. A measurement water supply unit that supplies deionized water from the exchange unit as measurement water to the carbon dioxide extraction unit, a detection unit that measures the conductivity of measurement water from the carbon dioxide extraction unit, the sample introduction unit, and the measurement water In a water quality analyzer using a wet oxidation method, including a control unit for controlling the supply unit,
Measurement water supply stop time T until the carbon dioxide concentration in the measurement water in the flow path from the measurement water supply unit to the detection unit becomes saturated when the supply of measurement water in the measurement water supply unit is stopped or Measurement by the measurement water supply unit when the detection signal value S by the detection unit and the carbon dioxide concentration in the measurement water in the flow path from the measurement water supply unit to the detection unit are saturated with the measurement water in the saturated state A standby time information holding unit that holds, as standby time information, a time t until the carbon dioxide detection signal from the detection unit disappears when water supply is started;
When the measurement water supply is started at the start of measurement, the measurement water supply stop time measurement value T ′ in the measurement water supply unit or the measurement water detection signal value s by the detection unit and the waiting time information holding unit Standby time information T or S held in the storage unit, and a calculation unit for calculating a standby time t ′ from the t to the introduction of the sample water,
The control unit stops the measurement water supply at the measurement water supply unit when measurement is not being performed, starts the measurement water supply at the measurement water supply unit at the start of measurement, and starts the supply of measurement water. A water quality analyzer configured to start introduction of sample water by the sample introduction unit after a waiting time t ′ calculated by the calculation unit has elapsed.
前記演算部は、前記キャリアガス供給停止時間又は測定水供給停止時間の計測値T’を用いて、
T’<Tの場合、
t’=t×T’/Tとし、
T’≧Tの場合、
t’=t
として待機時間t’を求めて設定する請求項1又は2に記載の水質分析計。
The calculation unit uses the measured value T ′ of the carrier gas supply stop time or the measured water supply stop time,
If T '<T,
t ′ = t × T ′ / T,
If T ′ ≧ T,
t '= t
The water quality analyzer according to claim 1 or 2, wherein the waiting time t 'is determined and set as follows.
前記待機時間情報保持部は、待機時間情報としてT及びTよりも短い1又は複数の基準時間と、T及び各基準時間に対応した待機時間を保持しており、
前記演算部は、前記キャリアガス供給停止時間又は測定水供給停止時間の計測値T’を前記待機時間情報保持部に保持されているT及び前記基準時間と比較し、前記待機時間情報保持部に保持されている対応した待機時間を待機時間t’として設定する請求項1又は2に記載の水質分析計。
The waiting time information holding unit holds one or a plurality of reference times shorter than T and T as waiting time information, and waiting times corresponding to T and each reference time,
The calculation unit compares the measured value T ′ of the carrier gas supply stop time or the measured water supply stop time with T and the reference time held in the standby time information holding unit, and in the standby time information holding unit. The water quality analyzer according to claim 1 or 2, wherein the corresponding waiting time held is set as the waiting time t '.
前記演算部は、測定開始時に、キャリアガスの供給を開始したときの前記検出部によるキャリアガスの検出信号値s又は測定水の供給を開始したときの前記検出部による測定水の検出信号値sを取り込み、前記待機時間情報保持部に保持されている待機時間情報Sとtから、
s<Sの場合、
t’=t×s/Sとし、
s≧Sの場合、
t’=t
として待機時間t’を求めて設定する請求項1又は2に記載の水質分析計。
The calculation unit, at the start of measurement, the detection signal value s of the carrier gas by the detection unit when the supply of carrier gas is started or the detection signal value s of the measurement water by the detection unit when the supply of measurement water is started From the waiting time information S and t held in the waiting time information holding unit,
If s <S,
t ′ = t × s / S,
If s ≧ S,
t '= t
The water quality analyzer according to claim 1 or 2, wherein the waiting time t 'is determined and set as follows.
前記待機時間情報保持部は、待機時間情報としてS及びSよりも小さい1又は複数の基準信号レベルと、S及び各基準信号レベルに対応した待機時間を保持しており、
前記演算部は、測定開始時に、キャリアガスの供給を開始したときの前記検出部によるキャリアガスの検出信号値s又は測定水の供給を開始したときの前記検出部による測定水の検出信号値sを取り込み、検出信号値sを前記待機時間情報保持部に保持されているS及び基準信号レベルと比較し、前記待機時間情報保持部に保持されている対応した待機時間を待機時間t’として設定する請求項1又は2に記載の水質分析計。
The standby time information holding unit holds one or a plurality of reference signal levels smaller than S and S as standby time information, and standby times corresponding to S and each reference signal level,
The calculation unit, at the start of measurement, the detection signal value s of the carrier gas by the detection unit when the supply of carrier gas is started or the detection signal value s of the measurement water by the detection unit when the supply of measurement water is started And the detected signal value s is compared with S and the reference signal level held in the waiting time information holding unit, and the corresponding waiting time held in the waiting time information holding unit is set as the waiting time t ′. The water quality analyzer according to claim 1 or 2.
前記試料水中の測定対象となる測定成分は全有機体炭素であり、該水質分析計は全有機体炭素測定装置である請求項1から6のいずれか一項に記載の水質分析計。   The water quality analyzer according to any one of claims 1 to 6, wherein the measurement component to be measured in the sample water is total organic carbon, and the water quality analyzer is a total organic carbon measurement device.
JP2011147868A 2011-07-04 2011-07-04 Water quality analyzer Active JP5659968B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011147868A JP5659968B2 (en) 2011-07-04 2011-07-04 Water quality analyzer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011147868A JP5659968B2 (en) 2011-07-04 2011-07-04 Water quality analyzer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013015387A JP2013015387A (en) 2013-01-24
JP5659968B2 true JP5659968B2 (en) 2015-01-28

Family

ID=47688198

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011147868A Active JP5659968B2 (en) 2011-07-04 2011-07-04 Water quality analyzer

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5659968B2 (en)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6127930B2 (en) * 2013-11-15 2017-05-17 株式会社島津製作所 Carbon measuring device
JP6115483B2 (en) * 2014-01-22 2017-04-19 株式会社島津製作所 Carbon measuring device
JP6160536B2 (en) * 2014-03-28 2017-07-12 株式会社島津製作所 Water quality analyzer and water quality analysis method
KR102180627B1 (en) * 2017-12-04 2020-11-18 주식회사 엘지화학 An apparatus for automated pyrolysis of a sample
WO2019186690A1 (en) 2018-03-27 2019-10-03 株式会社島津製作所 Multiport valve for water quality analyzer

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5248391A (en) * 1975-10-15 1977-04-18 Toray Ind Inc Method of measurement of total carbon content and apparatus therefor
JPH0552832A (en) * 1991-08-29 1993-03-02 G L Sci Kk Gas chromatograph
JP3601139B2 (en) * 1995-11-17 2004-12-15 株式会社島津製作所 Total organic carbon meter
JPH1151931A (en) * 1997-07-30 1999-02-26 Shimadzu Corp Water quality continuous analyzer
JP4136122B2 (en) * 1998-10-16 2008-08-20 株式会社島津製作所 Water quality analyzer
JP3898374B2 (en) * 1999-04-16 2007-03-28 株式会社島津製作所 Automatic analyzer
JP2006234622A (en) * 2005-02-25 2006-09-07 Asahi Kasei Corp Gas separation analyzer and gas separation analysis method
JP2010139421A (en) * 2008-12-12 2010-06-24 Hitachi Ltd Gas component analyzer
JP2010216977A (en) * 2009-03-17 2010-09-30 Shimadzu Corp Apparatus for measurement of total organic carbon
FR2951272B1 (en) * 2009-10-09 2011-12-09 Millipore Corp METHOD OF CALIBRATING A DEVICE FOR MEASURING THE TOTAL ORGANIC CARBON CONTENT

Also Published As

Publication number Publication date
JP2013015387A (en) 2013-01-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5659968B2 (en) Water quality analyzer
US9176106B2 (en) Total organic carbon meter provided with system blank function
KR101723883B1 (en) Apparatus and method for measuring total organic carbon with integrated oxidation reactor
KR101791490B1 (en) Method for measuring total oxidizing-substance concentration, substrate cleaning method, and substrate cleaning system
US20080220533A1 (en) Measuring Method for Total Organic Carbon, Measuring Method for Total Nitrogen and Measuring Apparatus for the Methods
CN107533043B (en) Water quality analysis device
JP2010216977A (en) Apparatus for measurement of total organic carbon
JP2007024717A (en) Water quality analyzer
WO2016114188A1 (en) Method and apparatus for measuring oxidant concentration, and electronic material cleaning apparatus
CN109682860A (en) Organic carbon analysis device and working method thereof
JP2012189344A (en) Total organic carbon measuring apparatus
KR102614702B1 (en) A method for correcting analysis error for TOC measuring system
JPH06288923A (en) Analyzer for silica content in water
JP2010249612A (en) Pure water analyzer and method for cleaning water collecting channel of the same
JP2012225843A (en) Water quality analyzer
JP2005227161A (en) Measuring instrument for measuring carbon component in water
JP2016136139A (en) Measuring method and measuring device of oxidizing agent concentration, and electronic material cleaning device
JP2865771B2 (en) Automatic liquid management device
US20230011100A1 (en) Total organic carbon measurement method and total organic carbon measurement device
JPH10160720A (en) Method of measuring carbon content
JP5760762B2 (en) Water quality analyzer
WO2022014665A1 (en) Inspection device
JP2000241402A (en) Measuring device for trace organic matter in water
JP2005214649A (en) Toc measuring instrument
JPH0812182B2 (en) Concentrator

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20131023

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20140131

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140218

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140411

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20141104

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20141117

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 5659968

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151