JP5654432B2 - Positioning device - Google Patents
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Description
本発明は、例えば工作機械のテーブル上にワークを位置決め固定するために用いられるボールプランジャ、クランピングスクリュー等の位置決め装置に関する。 The present invention relates to a positioning device such as a ball plunger or a clamping screw used for positioning and fixing a workpiece on a table of a machine tool, for example.
ボールプランジャは、その先端側に開口するコイルばね収容部が設けられ、該コイルばね収容部内のコイルばねにボールが自由回転可能に支持されている。このボールの一部はボール収容部から露出され、ワークに接触されるようになっている。そして、このボールプランジャを使用してワークを位置決めする場合には、ワークを支持するテーブルの近傍位置に配置されたボールプランジャの支持具のねじ穴にボールプランジャを螺入し、ボールをワークに接触させる。その状態で、ワークを移動させ、ワークの位置決め凹部にボールプランジャのボールを係合させることにより、ワークを所定位置に位置決めすることができる。 The ball plunger is provided with a coil spring accommodating portion that opens on the tip end side, and the ball is supported by the coil spring in the coil spring accommodating portion so as to be freely rotatable. A part of the ball is exposed from the ball housing portion and comes into contact with the workpiece. When positioning the workpiece using this ball plunger, the ball plunger is screwed into the screw hole of the ball plunger support disposed near the table supporting the workpiece, and the ball contacts the workpiece. Let In this state, the work can be positioned at a predetermined position by moving the work and engaging the ball plunger ball with the positioning recess of the work.
このようなボールプランジャ機構が例えば特許文献1に記載されている。このボールプランジャ機構は、対象物に押圧されるボールと、該ボールを収納するボール収納穴と、このボール収納穴の開口端部に形成された狭溢部と、前記ボールを狭溢部に押し付けるバネ部材とを備え、前記ボールの一部が狭溢部から突出するように構成されている。そして、ボール収納穴の穴径はボールプランジャ機構の動作時にボール収納穴の内部で移動するボールがボール収納穴の内壁に接触しないようにボールの直径よりも大きな値に設定されている。 Such a ball plunger mechanism is described in Patent Document 1, for example. The ball plunger mechanism includes a ball pressed against an object, a ball storage hole for storing the ball, a narrow overflow portion formed at an opening end of the ball storage hole, and presses the ball against the narrow overflow portion. And a spring member, wherein a part of the ball protrudes from the narrow overflow portion. The hole diameter of the ball storage hole is set to a value larger than the diameter of the ball so that the ball moving inside the ball storage hole does not contact the inner wall of the ball storage hole when the ball plunger mechanism is operated.
一方、クランピングスクリューは、その先端部に円錐穴状のボール収容部が凹設され、ボール収容部にはボールが自由回転可能に支持されている。該ボールの一部はボール収容部から露出され、ワークに接触されるようになっている。そして、このクランピングスクリューを使用し、ボールプランジャと同様にしてワークを所定位置に位置決めすることができるようになっている。 On the other hand, the clamping screw has a conical hole-shaped ball receiving portion recessed at the tip thereof, and the ball is supported by the ball receiving portion so as to be freely rotatable. A part of the ball is exposed from the ball housing portion and comes into contact with the workpiece. Then, using this clamping screw, the workpiece can be positioned at a predetermined position in the same manner as the ball plunger.
このようなクランピングスクリューが例えば特許文献2に開示されている。斯かるクランピングスクリューは、先端にボール収容部が設けられたクランピングスクリュー本体と、前記ボール収容部に自由回転可能に収容され、その一部がボール収容部より突出されたボールと、ボール収容部内に設けられ、クランピングスクリュー本体の回転軸線上の一点でボールを支持する支持手段とを備えている。そして、クランピングスクリューをワークに対して強く締付けたとき、ボールは支持手段により点で支持されていることから、ボールにはクランピングスクリュー本体の回転力が伝達されない。このため、クランピングスクリュー本体をスムーズに回転させることができるとともに、クランピングスクリュー本体の回転にワークが連動して回転せず、その位置からずれるおそれがない。 Such a clamping screw is disclosed in Patent Document 2, for example. Such a clamping screw includes a clamping screw main body provided with a ball housing portion at a tip thereof, a ball that is freely rotatable in the ball housing portion, a part of which protrudes from the ball housing portion, and a ball housing And supporting means for supporting the ball at one point on the rotational axis of the clamping screw main body. When the clamping screw is strongly tightened against the workpiece, the ball is supported by the point by the support means, and therefore the rotational force of the clamping screw body is not transmitted to the ball. For this reason, the clamping screw main body can be smoothly rotated, and the workpiece does not rotate in conjunction with the rotation of the clamping screw main body, and there is no possibility of shifting from the position.
ところで、前記ボールプランジャ、クランピングスクリュー等の位置決め装置は、位置決めをするワークが所定の真空度まで減圧された真空雰囲気に置かれて使用される場合がある。この場合には、ボール収容部やボールプランジャ又はクランピングスクリューを支持具のねじ穴にねじ込むための工具係止穴などは外部とは遮断され、真空雰囲気に晒されない。特許文献1及び2に記載の従来構成においても、真空雰囲気下ではボールプランジャ及びクランピングスクリューのボール収容部や工具係止穴などは真空雰囲気に晒されず、常圧雰囲気に置かれたままである。 By the way, the positioning device such as the ball plunger or the clamping screw may be used by being placed in a vacuum atmosphere in which a workpiece to be positioned is decompressed to a predetermined degree of vacuum. In this case, the ball receiving portion, the ball plunger, or the tool locking hole for screwing the clamping screw into the screw hole of the support member is blocked from the outside and is not exposed to the vacuum atmosphere. Even in the conventional configurations described in Patent Documents 1 and 2, the ball plunger, the ball accommodating portion of the clamping screw, the tool locking hole, and the like are not exposed to the vacuum atmosphere in a vacuum atmosphere, and remain in the atmospheric pressure atmosphere. .
このため、クランピングスクリューやボールプランジャが、高真空で処理を行う成膜装置等の真空雰囲気で使用された場合、クランピングスクリューやボールプランジャのボール収容部内の工具係止穴内に存在する空気が、徐々に真空内に漏れ、真空雰囲気の真空度が次第に低下する。従って、処理工程に適正な真空度を維持することができず、生産する製品の品質に悪影響を及ぼす可能性がある。 For this reason, when the clamping screw and the ball plunger are used in a vacuum atmosphere such as a film forming apparatus that performs processing at high vacuum, the air present in the tool locking hole in the ball accommodating portion of the clamping screw or the ball plunger is removed. The vacuum gradually leaks into the vacuum, and the vacuum degree of the vacuum atmosphere gradually decreases. Therefore, it is not possible to maintain an appropriate degree of vacuum in the processing process, and there is a possibility that the quality of the product to be produced will be adversely affected.
本発明はそのような従来技術に存在する問題点に着目してなされたものであって、その目的とするところは、真空雰囲気下で使用する場合に真空に晒されない部分をなくし、真空度を所定値に維持することができる位置決め装置を提供することにある。 The present invention has been made paying attention to such problems existing in the prior art, and the object of the present invention is to eliminate the portion that is not exposed to vacuum when used in a vacuum atmosphere, and to reduce the degree of vacuum. An object of the present invention is to provide a positioning device that can be maintained at a predetermined value.
上記目的を達成するために、請求項1に記載の発明の位置決め装置は、先端にボール収容部が設けられた本体と、前記ボール収容部に収容され、その一部がボール収容部より外部に突出されたボールと、前記ボール収容部内に設けられ、ボールを支持するボール支持部とから構成され、対象物の係合部に前記ボールが係合して対象物の位置決めを行う位置決め装置であって、前記本体の先端側にはボール収容部内を先端側から外部に連通するガス抜き開口部を形成するとともに、本体の基端側には前記ガス抜き開口部に連通し、本体内の遮蔽部を基端側又は先端側から外部に連通するガス抜き孔を貫通形成し、真空雰囲気下で使用されることを特徴とする。 In order to achieve the above object, a positioning device according to a first aspect of the present invention includes a main body having a ball housing portion provided at a tip thereof, and is housed in the ball housing portion, a part of which is outside the ball housing portion. The positioning device includes a protruding ball and a ball support portion provided in the ball housing portion and supporting the ball, and the ball is engaged with an engagement portion of the object to position the object. In addition, a degassing opening that communicates the inside of the ball housing portion from the distal end side to the outside is formed on the distal end side of the main body, and a shielding portion in the main body is communicated with the degassing opening portion on the proximal end side of the main body. the venting holes communicating with the outside from the base end side or tip side formed through, characterized in that it is used in a vacuum atmosphere.
請求項2に記載の発明の位置決め装置は、請求項1に係る発明において、前記ガス抜き開口部は、本体の先端において該本体の軸線方向に沿って切欠かれたスリットにより形成されていることを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, there is provided the positioning device according to the first aspect, wherein the gas vent opening is formed by a slit cut out along the axial direction of the main body at the tip of the main body. Features.
請求項3に記載の発明の位置決め装置は、請求項2に係る発明において、前記スリットは、180度対向する位置に一対設けられていることを特徴とする。
請求項4に記載の発明の位置決め装置は、請求項1から請求項3のいずれか一項に係る発明において、前記ガス抜き孔は、本体の基端の中心位置で該本体の軸線方向に延びるように貫通形成されていることを特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, there is provided the positioning device according to the second aspect, wherein a pair of the slits are provided at positions opposed to each other by 180 degrees.
According to a positioning device of a fourth aspect of the present invention, in the invention according to any one of the first to third aspects, the gas vent hole extends in the axial direction of the main body at a center position of the base end of the main body. It is characterized by being formed through.
請求項5に記載の発明の位置決め装置は、請求項1から請求項4のいずれか一項に係る発明において、前記ガス抜き孔は、本体の基端に開口形成された工具係止穴とボール収容部内とを連通するように貫通形成されていることを特徴とする。 A positioning device according to a fifth aspect of the present invention is the positioning device according to any one of the first to fourth aspects, wherein the gas vent hole is formed with a tool locking hole and a ball formed at the base end of the main body. A through-hole is formed so as to communicate with the inside of the housing portion.
請求項6に記載の発明の位置決め装置は、請求項1から請求項5のいずれか一項に係る発明において、前記ボールには切欠き部が設けられ、該切欠き部がボール収容部より外部に突出され、対象物の係合部に係合するように構成されていることを特徴とする。 A positioning device according to a sixth aspect of the present invention is the positioning device according to any one of the first to fifth aspects, wherein the ball is provided with a notch, and the notch is external to the ball receiving portion. And is configured to engage with an engaging portion of the object.
本発明によれば、次のような効果を発揮することができる。
本発明の位置決め装置は、先端にボール収容部が設けられた本体と、前記ボール収容部に収容され、その一部がボール収容部より外部に突出されたボールと、前記ボール収容部内に設けられ、ボールを支持するボール支持部とから構成されている。そして、本体の先端側にはボール収容部内を先端側から外部に連通するガス抜き開口部が形成されるとともに、本体の基端側には前記ガス抜き開口部に連通し、本体内の遮蔽部を基端側又は先端側から外部に連通するガス抜き孔が貫通形成され、真空雰囲気下で使用されるようになっている。
According to the present invention, the following effects can be exhibited.
The positioning device of the present invention includes a main body provided with a ball housing portion at a tip, a ball housed in the ball housing portion, a part of which protrudes to the outside from the ball housing portion, and the ball housing portion. And a ball support portion for supporting the ball. A degassing opening that communicates the inside of the ball housing portion from the distal end side to the outside is formed on the distal end side of the main body, and a shielding portion in the main body that communicates with the degassing opening portion on the proximal end side of the main body. gas vent holes communicating with the outside from the base end side or tip side is formed through, and is used in a vacuum atmosphere to.
このため、位置決め装置を真空雰囲気下で使用する場合には、ボール収容部内の空気がガス抜き開口部から外部へ抜き出されると同時に、ボール収容部からガス抜き孔を通って外部へ抜き出される。従って、位置決め装置におけるボール収容部内に存在する空気に加えて、例えば本体の基端部に設けた工具係止穴内に存在する空気もガス抜き孔を介してガス抜き開口部から外部へ抜き出すことができる。 For this reason, when the positioning device is used in a vacuum atmosphere, the air in the ball housing portion is drawn out from the gas vent opening to the outside, and at the same time, the air is drawn out from the ball housing portion through the gas vent hole. . Therefore, in addition to the air present in the ball housing portion of the positioning device, for example, air present in the tool locking hole provided in the base end portion of the main body can be extracted to the outside through the gas vent hole. it can.
よって、本発明の位置決め装置によれば、真空雰囲気下で使用する場合に真空に晒されない部分をなくし、真空度を所定値に維持することができるという効果を奏する。 Therefore, according to the positioning device of the present invention, when used in a vacuum atmosphere, there is an effect that a portion that is not exposed to vacuum can be eliminated and the degree of vacuum can be maintained at a predetermined value.
(第1実施形態)
以下、本発明の位置決め装置をボールプランジャに具体化した第1実施形態について図1及び図2に基づき詳細に説明する。
(First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment in which the positioning device of the present invention is embodied as a ball plunger will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 2.
図1及び図2(a)に示すように、位置決め装置としてのボールプランジャ10は、その本体11がステンレス鋼により略円筒状に形成され、本体11の外周面には雄ねじ11aが螺刻されている。そして、ボールプランジャ10の支持具として例えば工作機械のテーブル12の保持孔13に形成された雌ねじ13aに螺合され、ボールプランジャ10がテーブル12に取付けられるように構成されている。この本体11の先端には円錐台状のボール収容部14が設けられ、該ボール収容部14内にはステンレス鋼製のボール15が収容されている。ボール収容部14の外端部はボール15に沿うように内周側にかしめられ、ボール15の脱落を規制する規制縁14aとなっている。ボール収容部14に収容されたボール15の一部は前記規制縁14aより外方に突出されている。
As shown in FIGS. 1 and 2A, a
本体11内の中心位置には本体11の軸線方向に延びる円孔状のばね収容穴16が凹設され、このばね収容穴16内にはボール支持部としてのコイルばね17が収容されている。そして、コイルばね17の内端部がばね収容穴16の底壁16aに支持されるとともに、その外端部がボール15を支持し、このコイルばね17によりボール15が外方へ付勢されるように構成されている。
A circular
図2(a)及び(b)に示すように、前記本体11の先端側にはボール収容部14内を先端側から外部に連通するガス抜き開口部としてのスリット18が180度対向する位置に一対設けられている。両スリット18は、本体11の軸線方向に沿って切欠かれ、真空雰囲気下ではボール収容部14内の空気が外部へ抜き出されるようになっている。
As shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b), a
図2(a)及び(c)に示すように、前記本体11の基端面の中心位置には六角穴状の工具係止穴19が凹設され、この工具係止穴19に六角レンチを係入してボールプランジャ10を回動操作するように構成されている。本体11の基端側には工具係止穴19内と前記ボール収容部14内とを連通するように円孔状のガス抜き孔20が本体11の軸線方向に貫通形成されている。そして、工具係止穴19内の空気がガス抜き孔20を通ってボール収容部14内からスリット18を経て外部へ抜き出されるようになっている。また、ボールプランジャ10の使用形態によっては、ボール収容部14内の空気はガス抜き孔20を通って工具係止穴19から外部へ抜き出されるようになっている。
As shown in FIGS. 2A and 2C, a hexagonal hole-shaped
次に、上記のように構成されたボールプランジャ10の作用を説明する。
さて、図1に示すように、ボールプランジャ10の工具係止穴19に図示しない六角レンチを係入し、ボールプランジャ10の本体11の雄ねじ11aをテーブル12の保持孔13の雌ねじ13aに螺合することにより、ボールプランジャ10の先端部がテーブル12面に面一となるように固定する。このとき、ボールプランジャ10のボール15の一部はコイルばね17に付勢された状態でテーブル12面より外方へ露出されている。一方、図1の二点鎖線に示すように、対象物としてのワーク21はテーブル12上に移動可能に配置され、そのワーク21の係合部として断面三角形状をなす位置決め凹部22がボールプランジャ10のボール15に係合してワーク21の位置決めがなされる。
Next, the operation of the
Now, as shown in FIG. 1, a hexagon wrench (not shown) is engaged in the
前記ワーク21が真空雰囲気下で使用される場合には、ボールプランジャ10も真空雰囲気に晒される。このとき、ボールプランジャ10のボール収容部14内に存在する空気は一対のスリット18から外部に抜き出されるが、ボールプランジャ10の基端側の工具係止穴19内に存在する空気は、従来ではテーブル12の保持孔13内においてボールプランジャ10の本体11で遮蔽されていることから外部へ抜け難い状態にある。なお、ボールプランジャ10の本体11より内方における保持孔13内は密閉状態にある。
When the
しかしながら、本第1実施形態のボールプランジャ10においては、ボール収容部14と工具係止穴19との間にはガス抜き孔20が貫通形成されている。このため、工具係止穴19やばね収容穴16内に存在する空気はガス抜き孔20を通過してばね収容穴16からボール収容部14内に到り、さらにボール収容部14内からスリット18を通ってワーク21側の空間部へ流れる。従って、ボールプランジャ10の遮蔽部に溜まった空気がワーク21の使用時に徐々に漏れて真空度が低下するおそれがなく、ワーク21の真空雰囲気における真空度は所定値に維持される。
However, in the
以上詳述した第1実施形態により発揮される効果を以下にまとめて説明する。
(1)第1実施形態のボールプランジャ10においては、本体11の先端側にはボール収容部14内を先端側から外部に連通するスリット18が形成されるとともに、本体11の基端側にはボール収容部14内を基端側から外部に連通するガス抜き孔20が貫通形成されている。このため、ボールプランジャ10を真空雰囲気下で使用する場合には、工具係止穴19内の空気がガス抜き孔20からばね収容穴16を経てボール収容部14内の空気とともにスリット18を介して外部へ抜き出される。
The effects exhibited by the first embodiment described in detail above will be collectively described below.
(1) In the
よって、本第1実施形態のボールプランジャ10によれば、真空雰囲気下で使用する場合に真空に晒されない部分をなくし、真空度を所定値に維持することができるという効果を発揮することができる。
(2)前記ガス抜き開口部は、本体11の先端において該本体11の軸線方向に沿って切欠かれたスリット18により形成されている。このため、ガス抜き開口部の構成を簡単にすることができるとともに、空気を本体11の軸線方向の外方へ円滑に抜き出すことができる。
(3)前記スリット18は、180度対向する位置に一対設けられている。従って、ボールプランジャ10におけるボール収容部14内の空気の抜き出しをバランス良く、速やかに行うことができる。
(4)前記ガス抜き孔20は、本体11の基端の中心位置で該本体11の軸線方向に延びるように貫通形成されている。そのため、本体11の基端側に存在する空気又は本体11の先端側に存在する空気を本体11中心部のガス抜き孔20を通して反対側の外部へ有効かつ速やかに抜き出すことができる。
(5)前記ガス抜き孔20は、本体11の基端に開口形成された工具係止穴19内とボール収容部14内とを連通するように貫通形成されている。このため、工具係止穴19内の空気をボール収容部14内へ導くことができるとともに、ボール収容部14内の空気を工具係止穴19内へ導くことができ、ボールプランジャ10の先端側又は基端側の外部へ抜き出すことができる。
(第2実施形態)
以下、本発明の位置決め装置をクランピングスクリューに具体化した第2実施形態について図3及び図4に基づき詳細に説明する。この第2実施形態では前記第1実施形態と異なる点を中心に説明する。
Therefore, according to the
(2) The gas vent opening is formed by a
(3) A pair of the
(4) The
(5) The
(Second Embodiment)
Hereinafter, a second embodiment in which the positioning device of the present invention is embodied in a clamping screw will be described in detail with reference to FIGS. The second embodiment will be described with a focus on differences from the first embodiment.
図3及び図4(a)に示すように、このクランピングスクリュー30は前記ボールプランジャ10よりも細長く形成されるとともに、ボール支持部がコイルばね17ではなく、本体31の先端部に凹設されたボール受け面32で構成されている。図4(a)及び(b)に示すように、一対のスリット18は、前記ボール受け面32よりも深くなるように形成され、ボール収容部14内の空気が外部へ抜けるように構成されている。図4(a)及び(c)に示すように、工具係止穴19の底部には傾斜面19aが設けられている。
As shown in FIGS. 3 and 4A, the clamping
さて、クランピングスクリュー30を真空雰囲気下で使用する場合には、図3に示すように、クランピングスクリュー30の工具係止穴19に図示しない六角レンチを係入し、クランピングスクリュー30の本体31の雄ねじ31aを支持具としての保持体33の保持孔34の雌ねじ34aに螺合する。この操作により、クランピングスクリュー30の本体31の先端部が保持体33の端面に面一となるように固定する。このとき、クランピングスクリュー30のボール15の一部は保持体33の端面より外方に露出されている。一方、図3の二点鎖線に示すように、ワーク21は保持体33に対して移動可能に配置され、そのワーク21の係合部としての対象面36に対してクランピングスクリュー30のボール15が押圧してワーク21の位置決めがなされる。
When the clamping
そして、このワーク21が真空雰囲気に晒されるときには、クランピングスクリュー30のワーク21側が真空雰囲気に晒される。このとき、クランピングスクリュー30のボール収容部14内に存在する空気は一対のスリット18から外部に抜き出されるが、クランピングスクリュー30の基端側の工具係止穴19内に存在する空気は、従来では保持体33の保持孔34内においてクランピングスクリュー30の本体31で遮蔽されていることから外部へ抜け難い。しかし、この第2実施形態のクランピングスクリュー30においては、その先端側にボール収容部14内を外部に連通する一対のスリット18が設けられるとともに、ボール収容部14内と工具係止穴19との間にはガス抜き孔20が貫通形成されている。
When the
このため、工具係止穴19内の空気はガス抜き孔20を通過してボール収容部14内に到り、さらにボール収容部14内からスリット18を通ってワーク21側の空間部へ流れ出す。従って、ワーク21の使用時にクランピングスクリュー30の遮蔽部から空気が漏れて真空度が低下するおそれがなく、ワーク21の真空雰囲気における真空度は維持される。
For this reason, the air in the
よって、第2実施形態のクランピングスクリュー30によれば、第1実施形態と同様の効果を発揮することができるとともに、簡易な構成によりワーク21を位置決めすることができる。
Therefore, according to the clamping
なお、前記各実施形態を次のように変更して実施することも可能である。
・ 図5に示すように、クランピングスクリュー30のボール15の先端部には切欠き部として平坦に切欠かれた切欠き面35を設けることもできる。この場合、保持体33の保持孔34は斜め方向に延び、その中にクランピングスクリュー30が螺入されている。ボール15の切欠き面35はボール収容部14より外部に突出され、ワーク21の係合部としての対象面36に係合するように構成されている。なお、ボール15の切欠き面35の大きさは、ワーク21の種類、クランピングスクリュー30の傾斜角度等に応じて適宜設定することができる。
It should be noted that the above-described embodiments may be modified as follows.
As shown in FIG. 5, a
従って、ボール15に切欠き面35を設けることにより、ワーク21の対象面36に対して保持体33の保持孔34の軸線すなわちクランピングスクリュー30の軸線が斜め方向に延びる場合、ワーク21の対象面36に対するボール15の切欠き面35の接触面積を大きくしてワーク21の位置決めを有効に行うことができる。
Therefore, when the
・ 前記ガス抜き開口部としてのスリット18を1つで構成したり、或いは3つ以上で構成したりすることもできる。
・ 前記ガス抜き開口部を、本体11,31の先端部においてボール収容部14内を外部に開口する貫通孔で構成することもできる。
The
The gas vent opening may be configured as a through hole that opens to the outside in the
・ 前記ガス抜き孔20を、ボール収容部14内と工具係止穴19内とを連通するように複数箇所に設けることも可能である。
・ 前記ボール15とコイルばね17との間にスペーサを介装し、ボール15の回転を円滑にするように構成することができる。
The gas vent holes 20 may be provided at a plurality of locations so as to communicate the inside of the
A spacer may be interposed between the
・ 前記ボール15を、セラミック、合成樹脂等で形成することもできる。
The
10…位置決め装置としてのボールプランジャ、11…本体、14…ボール収容部、15…ボール、17…ボール支持部としてのコイルばね、18…ガス抜き開口部としてのスリット、19…工具係止穴、20…ガス抜き孔、21…対象物としてのワーク、22…係合部としての位置決め凹部、30…位置決め装置としてのクランピングスクリュー、31…本体、32…ボール支持部としてのボール受け面、35…切欠き部としての切欠き面、36…係合部としての対象面。
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記本体の先端側にはボール収容部内を先端側から外部に連通するガス抜き開口部を形成するとともに、本体の基端側には前記ガス抜き開口部に連通し、本体内の遮蔽部を基端側又は先端側から外部に連通するガス抜き孔を貫通形成し、真空雰囲気下で使用されることを特徴とする位置決め装置。 A main body provided with a ball housing portion at the tip, a ball housed in the ball housing portion, a part of which protrudes to the outside from the ball housing portion, and a ball support that is provided in the ball housing portion and supports the ball A positioning device for positioning the target object by engaging the ball with the engaging part of the target object,
A degassing opening that communicates from the distal end side to the outside is formed on the distal end side of the main body, and a degassing opening portion that communicates with the degassing opening portion on the proximal end side of the main body. A positioning apparatus characterized in that a gas vent hole communicating with the outside from the end side or the front end side is formed so as to be used in a vacuum atmosphere .
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