JP5650272B2 - リソグラフィ方法および装置 - Google Patents
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Description
1.ステップモードにおいては、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTおよび基板テーブルWTを基本的に静止状態に保ちつつ、放射ビームに付けられたパターン全体を一度にターゲット部分C上に投影する(すなわち、単一静的露光)。その後、基板テーブルWTは、Xおよび/またはY方向に移動され、それによって別のターゲット部分Cを露光することができる。
2.スキャンモードにおいては、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTおよび基板テーブルWTを同期的にスキャンする一方で、放射ビームに付けられたパターンをターゲット部分C上に投影する(すなわち、単一動的露光)。サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTに対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPSの(縮小)拡大率および像反転特性によって決めることができる。
3.別のモードにおいては、プログラマブルパターニングデバイスを保持した状態で、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTを基本的に静止状態に保ち、また基板テーブルWTを動かす、またはスキャンする一方で、放射ビームに付けられているパターンをターゲット部分C上に投影する。このモードにおいては、通常、パルス放射源が採用されており、さらにプログラマブルパターニングデバイスは、基板テーブルWTの移動後ごとに、またはスキャン中の連続する放射パルスと放射パルスとの間に、必要に応じて更新される。この動作モードは、前述の型のプログラマブルミラーアレイといったプログラマブルパターニングデバイスを利用するマスクレスリソグラフィに容易に適用することができる。
Claims (20)
- 照明システムと投影システムとを備える光学システムのアポディゼーション特性を決定する方法であって、
照明視野の所与の点からの光が少なくとも並列に配置された光路である第1光路、第2光路、および第3光路に沿って、連続して前記投影システムを通過することを可能にすることと、
投影視野において前記第1光路および前記第2光路から受けた光の第1強度差を決定することと、
前記投影視野において前記第1光路および前記第3光路から受けた光の第2強度差を決定することと、
前記光の第1強度差および前記光の第2強度差および瞳面の光路の空間隔離距離を用いて前記投影システムのアポディゼーション特性を計算することと、
を含む、方法。 - 光が前記システムの光軸に垂直な第1方向に配置された複数の点から前記投影システムを通過することを可能にする、請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも第1光路、第2光路、および第3光路は、前記照明システムと前記投影システムとの間に光学素子を配置することによって作り出される、請求項1または2に記載の方法。
- 前記光学素子は、異なる向きを有する光学くさびを備える、請求項3に記載の方法。
- 前記光学素子は、ブレーズ格子を備える、請求項3に記載の方法。
- 前記照明システムと前記投影システムとの間に、光学くさびによって少なくとも一部が覆われたピンホールのアレイを備えるレチクルを配置することと、くさび/ピンホール対を形成することと、該くさび/ピンホール対を連続的に照明することと、を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記アレイは、第1方向の第1の数の対と第2方向の第2の数の対とを備え、該第2方向の対の列において、前記くさびの向きは、各対において異なる、請求項6に記載の方法。
- 前記アレイにおいて、前記第2方向の対の列は、4つのピンホール/くさび対を備える、請求項7に記載の方法。
- 前記第2方向の対の列において、前記くさびは、90°の間隔で互いに対して向く、請求項8に記載の方法。
- 前記光学システムは、リソグラフィ装置の一部である、請求項1乃至9のいずれかに記載の方法。
- 照明システムと投影システムとを備える光学システムのアポディゼーション特性を決定する装置であって、
前記光学システムを通過する放射ビームを生成する手段と、
照明視野の所与の点からの光が少なくとも並列に配置された光路である第1光路、第2光路、および第3光路に沿って、連続して前記投影システムを通過することを可能にする手段と、
投影視野において受けた光を感知するセンシング手段と、
前記投影視野において前記第1光路および前記第2光路から受けた光の第1強度差を決定する手段と、
前記投影視野において前記第1光路および前記第3光路から受けた光の第2強度差を決定する手段と、
前記光の第1強度差および前記光の第2強度差および瞳面の光路の空間隔離距離を用いて前記投影システムのアポディゼーション特性を計算する手段と、
を備える、装置。 - 光が前記少なくとも第1光路、第2光路、および第3光路に沿って進むことを可能にする前記手段は、前記照明システムと前記投影システムとの間に設けられた光学素子を備える、請求項11に記載の装置。
- 前記光学素子は、光学くさびを備える、請求項12に記載の装置。
- 前記光学素子は、ブレーズ格子を備える、請求項12に記載の装置。
- 前記光学素子は、前記照明システムと前記投影システムとの間に設けられたレチクルを備え、該レチクルは、ピンホールのアレイを備え、各ピンホールは、ピンホール/くさび対を形成する関連した光学くさびを有する、請求項12に記載の装置。
- 前記アレイは、第1方向の第1の数の対と第2方向の第2の数の対とを備え、該第2方向の対の列において、前記くさびの向きは、各対において異なる、請求項15に記載の装置。
- 前記アレイにおいて、前記第2方向の対の列は、4つのピンホール/くさび対を備える、請求項16に記載の装置。
- 前記第2方向の対の列において、前記くさびは、90°の間隔で互いに対して向く、請求項17に記載の装置。
- 前記センシング手段は、カメラを含むセンサモジュールを備える、請求項11乃至18のいずれか1項に記載の装置。
- 前記光学システムは、リソグラフィ装置の一部である、請求項11乃至19のいずれか1項に記載の装置。
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