JP5645451B2 - Contact probe and socket - Google Patents

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JP5645451B2 JP2010095537A JP2010095537A JP5645451B2 JP 5645451 B2 JP5645451 B2 JP 5645451B2 JP 2010095537 A JP2010095537 A JP 2010095537A JP 2010095537 A JP2010095537 A JP 2010095537A JP 5645451 B2 JP5645451 B2 JP 5645451B2
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Description

本発明は、半導体集積回路等の検査に使用するコンタクトプローブ及びこれを備えたソケットに関する。   The present invention relates to a contact probe used for testing a semiconductor integrated circuit or the like and a socket provided with the contact probe.

半導体集積回路等の検査対象物の検査を行う場合において、検査対象物と測定器側の検査用基板とを電気的に接続するためにコンタクトプローブが一般的に使用されている。   When an inspection object such as a semiconductor integrated circuit is inspected, a contact probe is generally used to electrically connect the inspection object and an inspection substrate on the measuring instrument side.

図６は、従来のコンタクトプローブの説明図であり、(Ａ)はスプリング開放状態、(Ｂ)はスプリング圧縮状態(通電時)を示す。この種のコンタクトプローブは、小径化のためにコイルスプリングの外側に金属チューブを有しない構造である。また、電気の通過抵抗を抑えるために、半導体集積回路等の検査対象物との接続部品である第１プランジャー６１と、検査用基板との接続部品である第２プランジャー６２とを直接接触させる構造である。コンタクトプローブの構成部品であるコイルスプリング６３を圧縮して発生するバネ力で、第１及び第２プランジャー６１,６２の先端がそれぞれ検査対象物及び検査用基板に押し当てられる。なお、図６と同様の構造を有する先行技術文献として、下記特許文献１及び２がある。   6A and 6B are explanatory diagrams of a conventional contact probe, in which FIG. 6A shows a spring open state and FIG. 6B shows a spring compression state (when energized). This type of contact probe has a structure that does not have a metal tube outside the coil spring in order to reduce the diameter. Further, in order to suppress the electric resistance, the first plunger 61 that is a connection part with an inspection target such as a semiconductor integrated circuit and the second plunger 62 that is a connection part with a substrate for inspection are in direct contact with each other. It is a structure to let you. The tip ends of the first and second plungers 61 and 62 are pressed against the inspection object and the inspection substrate, respectively, by a spring force generated by compressing the coil spring 63 which is a component of the contact probe. As prior art documents having the same structure as FIG. 6, there are the following Patent Documents 1 and 2.

特開２０００−２４１４４７号公報JP 2000-241447 A 米国特許第６４６２５６７号公報US Pat. No. 6,462,567

従来のコンタクトプローブの開放時全長Ｌ1及び圧縮時全長Ｌ2はそれぞれ、
Ｌ1＝２（Ａ＋Ｂ）＋Ｃ＋Ｘ＋Ｙ
Ｌ2＝Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｘ＋Ｙ
と表される。ここで、図６にも示すとおり、
・Ａ＝第１プランジャー６１の可動ストローク
・Ｂ＝第２プランジャー６２の可動ストローク
・Ｃ＝第１及び第２プランジャー６１,６２の重ね代の長さ
・Ｘ＝(第１プランジャー６１の全長)−(Ａ＋Ｂ＋Ｃ)
・Ｙ＝(第２プランジャー６２の全長)−(Ａ＋Ｂ＋Ｃ)
である。 The total length L 1 when the conventional contact probe is opened and the total length L 2 when it is compressed are respectively
L 1 = 2 (A + B) + C + X + Y
L 2 = A + B + C + X + Y
It is expressed. Here, as shown in FIG.
A = movable stroke of the first plunger 61 B = movable stroke of the second plunger 62 C = length of overlap of the first and second plungers 61, 62 X = (first plunger 61 Total length)-(A + B + C)
Y = (the total length of the second plunger 62) − (A + B + C)
It is.

コンタクトプローブに求められる性能としては、例えば低抵抗・大電流対応・高周波対応が挙げられる。これらの性能を満足させるためには、コンタクトプローブの全長は短いほど好ましい。しかし、上記の各長さのうち第１プランジャー及び第２プランジャーの可動ストロークＡ,Ｂ並びに重ね代の長さＣは、要求される仕様によって決まってしまい一定長以下に短くすることができない。   Examples of the performance required for the contact probe include low resistance, large current compatibility, and high frequency compatibility. In order to satisfy these performances, the total length of the contact probe is preferably as short as possible. However, among the above lengths, the movable strokes A and B of the first plunger and the second plunger and the overlap length C are determined by the required specifications and cannot be shortened to a certain length or less. .

本発明はこうした状況を認識してなされたものであり、その目的は、第１プランジャー及び第２プランジャーの可動ストローク並びに重ね代の長さを同じとしたとき、従来と比較して全長を短くすることの可能なコンタクトプローブ及びこれを備えたソケットを提供することにある。   The present invention has been made in view of such a situation, and its object is to make the total length of the first plunger and the second plunger longer than the conventional one when the movable stroke and the overlap allowance length are the same. It is an object of the present invention to provide a contact probe that can be shortened and a socket having the contact probe.

本発明の第１の態様は、コンタクトプローブである。このコンタクトプローブは、
スプリングと、一方が検査対象物との接続用で他方が検査用基板との接続用である第１及び第２プランジャーとを備え、
前記第１及び第２プランジャーはそれぞれ、前記スプリングを係止する係止凸部を長さ方向の中間部に有し、
前記スプリングは、前記係止凸部に係止され、かつ前記第１及び第２プランジャーを互いに離れる方向に付勢するコンタクトプローブであって、
前記第１プランジャーは、末端部と、先端部と、前記末端部及び前記先端部の間のフランジ部とを有し、
前記フランジ部が前記係止凸部を有し、
前記先端部の基端から所定長の範囲と、前記フランジ部と、前記末端部とに渡って前記第２プランジャーとの摺動面が連続して存在し、
前記スプリングが所定長以下の長さに縮んでいるとき、前記第２プランジャーの末端が、前記スプリングよりも、前記第１プランジャーの先端寄りに位置する。 The first aspect of the present invention is a contact probe. This contact probe
A spring and first and second plungers, one for connection with the inspection object and the other for connection with the inspection substrate;
Each of the first and second plungers has a locking projection for locking the spring at an intermediate portion in the length direction,
The spring is a contact probe that is locked to the locking projection and that biases the first and second plungers away from each other;
The first plunger has a distal end portion, a distal end portion, and a flange portion between the distal end portion and the distal end portion,
The flange portion has the locking projection;
A sliding surface with the second plunger continuously exists over a range of a predetermined length from the proximal end of the distal end portion, the flange portion, and the distal end portion,
When the spring is contracted to a length equal to or shorter than a predetermined length, the end of the second plunger is positioned closer to the tip of the first plunger than the spring.

第１の態様のコンタクトプローブにおいて、前記スプリングが所定長以下の長さに縮んでいるとき、前記第１プランジャーの末端が、前記スプリングよりも、前記第２プランジャーの先端寄りに位置するとよい。   In the contact probe according to the first aspect, when the spring is contracted to a length equal to or shorter than a predetermined length, the end of the first plunger may be positioned closer to the tip of the second plunger than the spring. .

第１の態様のコンタクトプローブにおいて、前記第１及び第２プランジャーの相互摺動面が平面であるとよい。   In the contact probe according to the first aspect, the mutual sliding surfaces of the first and second plungers may be flat.

本発明の第２の態様は、ソケットである。このソケットは、第１の態様のコンタクトプローブを複数本絶縁支持体で支持してなるものである。   The second aspect of the present invention is a socket. This socket is formed by supporting a plurality of contact probes of the first aspect with an insulating support.

本発明の第３の態様は、複数本のコンタクトプローブを絶縁支持体で支持してなるソケットであって、
各コンタクトプローブは、スプリングと、一方が検査対象物との接続用で他方が検査用基板との接続用である第１及び第２プランジャーとを備え、
前記第１及び第２プランジャーはそれぞれ、前記スプリングを係止する係止凸部を長さ方向の中間部に有し、
前記スプリングは、前記係止凸部に係止され、かつ前記第１及び第２プランジャーを互いに離れる方向に付勢し、
前記スプリングが所定長以下の長さに縮んでいるとき、前記第２プランジャーの末端が、前記スプリングよりも、前記第１プランジャーの先端寄りに位置し、
前記第１プランジャーは、前記スプリングが所定長以上の長さに伸びているとき、前記第２プランジャーとの摺動面が、前記スプリングの伸縮方向に関して前記絶縁支持体の内側から外側にかけて延在する。 A third aspect of the present invention is a socket formed by supporting a plurality of contact probes with an insulating support,
Each contact probe includes a spring and first and second plungers, one for connection with the inspection object and the other for connection with the inspection substrate.
Each of the first and second plungers has a locking projection for locking the spring at an intermediate portion in the length direction,
The spring is locked to the locking projection and biases the first and second plungers away from each other;
When the spring is contracted to a length equal to or less than a predetermined length, the end of the second plunger is located closer to the tip of the first plunger than the spring;
Said first plunger when said spring is extended a predetermined length or longer, the sliding surfaces of the second plunger, extending toward the outside from the inside of the insulating support with respect to expansion and contraction direction of the spring Exists .

第３の態様のソケットにおいて、前記第１プランジャーの前記係止凸部は前記絶縁支持体からの抜止めであり、前記第１プランジャーの前記摺動面は前記係止凸部よりも先端側において溝形状の底面であるとよい。
第３の態様のソケットにおいて、
前記第１プランジャーは、末端部と、先端部と、前記末端部及び前記先端部の間のフランジ部とを有し、
前記フランジ部が前記係止凸部を有し、
前記先端部の基端から所定長の範囲と、前記フランジ部と、前記末端部とに渡って前記第２プランジャーとの摺動面が連続して存在してもよい。 In the socket according to the third aspect, the locking projection of the first plunger is a retaining member from the insulating support, and the sliding surface of the first plunger is more distal than the locking projection. A groove-shaped bottom surface is preferable on the side.
In the socket of the third aspect,
The first plunger has a distal end portion, a distal end portion, and a flange portion between the distal end portion and the distal end portion,
The flange portion has the locking projection;
A sliding surface with the second plunger may continuously exist over a range of a predetermined length from the proximal end of the distal end portion, the flange portion, and the distal end portion.

なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法やシステムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。   It should be noted that any combination of the above-described constituent elements, and those obtained by converting the expression of the present invention between methods and systems are also effective as aspects of the present invention.

本発明によれば、スプリングが所定長以下の長さに縮んでいるとき、第２プランジャーの末端がスプリングよりも第１プランジャーの先端寄りに位置するため、第１プランジャー及び第２プランジャーの可動ストローク並びに重ね代の長さが同じであれば従来と比較してコンタクトプローブの全長を短くすることが可能となる。   According to the present invention, when the spring is contracted to a length equal to or shorter than the predetermined length, the end of the second plunger is positioned closer to the tip of the first plunger than the spring, so the first plunger and the second plan If the movable stroke of the jar and the length of the overlap allowance are the same, the total length of the contact probe can be shortened compared to the conventional case.

本発明の第１の実施の形態に係るコンタクトプローブの全体構成図であり、(Ａ)はスプリング開放状態の正面図、(Ｂ)はスプリング圧縮状態の正面図、(Ｃ)は第１及び第２プランジャーの重ね代部分の断面図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a whole block diagram of the contact probe which concerns on the 1st Embodiment of this invention, (A) is a front view of a spring open state, (B) is a front view of a spring compression state, (C) is 1st and 1st Sectional drawing of the overlap margin part of 2 plungers. 同コンタクトプローブを複数本支持してなるソケットの、使用時における正断面図。The front sectional view at the time of use of the socket which supports a plurality of the contact probes. 本発明の第２の実施の形態に係るコンタクトプローブの全体構成図であり、(Ａ)はスプリング開放状態、(Ｂ)はスプリング圧縮状態を示す。It is a whole block diagram of the contact probe which concerns on the 2nd Embodiment of this invention, (A) shows a spring open state, (B) shows a spring compression state. 本発明の第３の実施の形態に係るコンタクトプローブの全体構成図であり、(Ａ)はスプリング開放状態の正面図、(Ｂ)は同右側面図、(Ｃ)はスプリング圧縮状態の正面図、(Ｄ)は同右側面図。It is a whole block diagram of the contact probe which concerns on the 3rd Embodiment of this invention, (A) is a front view of a spring open state, (B) is the right side view, (C) is a front view of a spring compression state , (D) is the right side view. 同コンタクトプローブの第１プランジャーの部品図であり、(Ａ)は正面図、(Ｂ)は右側面図、(Ｃ)は底面図。It is a component figure of the 1st plunger of the contact probe, (A) is a front view, (B) is a right view, (C) is a bottom view. 従来のコンタクトプローブの全体構成図であり、(Ａ)はスプリング開放状態、(Ｂ)はスプリング圧縮状態を示す。It is a whole block diagram of the conventional contact probe, (A) shows a spring open state, (B) shows a spring compression state.

以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態を詳述する。なお、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材等には同一の符号を付し、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は発明を限定するものではなく例示であり、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same or equivalent component, member, etc. which are shown by each drawing, and the overlapping description is abbreviate | omitted suitably. In addition, the embodiments do not limit the invention but are exemplifications, and all features and combinations thereof described in the embodiments are not necessarily essential to the invention.

(第１の実施の形態)
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るコンタクトプローブ１００の全体構成図であり、(Ａ)はスプリング開放状態の正面図、(Ｂ)はスプリング圧縮状態の正面図、(Ｃ)は第１及び第２プランジャーの重ね代部分の断面図である。図２は、同コンタクトプローブ１００を複数本支持してなるソケット３０の、使用時における正断面図である。 (First embodiment)
FIG. 1 is an overall configuration diagram of a contact probe 100 according to a first embodiment of the present invention, where (A) is a front view in a spring open state, (B) is a front view in a spring compression state, and (C). FIG. 4 is a cross-sectional view of the overlapping portion of the first and second plungers. FIG. 2 is a front sectional view of the socket 30 supporting a plurality of the contact probes 100 in use.

コンタクトプローブ１００は、第１プランジャー４と、第２プランジャー５と、スプリングとしてのコイルスプリング６とを備える。第１プランジャー４は検査対象物７(図２参照)との接続部品であり、第２プランジャー５は検査用基板８(図２参照)との接続部品である。例えばピアノ線やステンレス線等の一般的な導電性金属材質で形成されたコイルスプリング６は、第１及び第２プランジャー４,５が相互に摺動可能となるように第１及び第２プランジャー４,５に対して設けられている(第１及び第２プランジャー４,５を連結している)。コイルスプリング６は、また、使用時に第１及び第２プランジャー４,５を互いに離れる方向に付勢して、第１及び第２プランジャー４,５を検査対象物７及び検査用基板８に押圧する。検査対象物７は、例えば電極が所定間隔で配列された半導体集積回路であり、図示の場合、電極バンプ７ａ(例えば半田バンプ)が所定間隔で配列されたものである。検査用基板８は、測定器側に接続される電極パッド(図示せず)を電極バンプ７ａに対応して所定間隔で有するものである。   The contact probe 100 includes a first plunger 4, a second plunger 5, and a coil spring 6 as a spring. The first plunger 4 is a connecting part to the inspection object 7 (see FIG. 2), and the second plunger 5 is a connecting part to the inspection substrate 8 (see FIG. 2). For example, a coil spring 6 formed of a general conductive metal material such as a piano wire or a stainless steel wire has a first plan and a second plan so that the first and second plungers 4 and 5 can slide relative to each other. It is provided with respect to the jars 4 and 5 (the 1st and 2nd plungers 4 and 5 are connected). The coil spring 6 also urges the first and second plungers 4 and 5 away from each other during use, so that the first and second plungers 4 and 5 are moved toward the inspection object 7 and the inspection substrate 8. Press. The inspection object 7 is, for example, a semiconductor integrated circuit in which electrodes are arranged at a predetermined interval, and in the illustrated case, electrode bumps 7a (for example, solder bumps) are arranged at a predetermined interval. The inspection substrate 8 has electrode pads (not shown) connected to the measuring instrument side at predetermined intervals corresponding to the electrode bumps 7a.

図１に示すように、銅合金等の導電性金属体である第１プランジャー４は、末端部１１と、係止凸部を成すフランジ部１２と、先端部としての先端側本体部１３とを有する棒形状である。半円柱形状の末端部１１は、コイルスプリング６の内径よりも小径で、コイルスプリング６の内側に位置する。末端部１１の曲面部分は、コイルスプリング６の内周に沿って位置する。末端部１１の平面部分は、コイルスプリング６の軸芯側に位置し、第２プランジャー５に接する。フランジ部１２は、コイルスプリング６の内径よりも大径である。フランジ部１２の末端側端面は、コイルスプリング６の一端と当接する。フランジ部１２の先端側端面は、絶縁支持体９に係止される。先端側本体部１３は、フランジ部１２よりも小径である。先端側本体部１３の先端は、検査対象物７の電極バンプ７ａと接触する接触部１３ａとなっている。   As shown in FIG. 1, the first plunger 4, which is a conductive metal body such as a copper alloy, includes a distal end portion 11, a flange portion 12 that forms a locking projection, and a distal end side body portion 13 as a distal end portion. It is the rod shape which has. The semi-cylindrical end portion 11 has a smaller diameter than the inner diameter of the coil spring 6 and is located inside the coil spring 6. The curved surface portion of the end portion 11 is located along the inner periphery of the coil spring 6. A planar portion of the end portion 11 is located on the axial center side of the coil spring 6 and is in contact with the second plunger 5. The flange portion 12 has a larger diameter than the inner diameter of the coil spring 6. The end face of the flange portion 12 is in contact with one end of the coil spring 6. The end surface on the front end side of the flange portion 12 is locked to the insulating support 9. The distal end side main body portion 13 has a smaller diameter than the flange portion 12. The distal end of the distal end side main body portion 13 is a contact portion 13 a that comes into contact with the electrode bump 7 a of the inspection object 7.

先端側本体部１３の基端から所定長の範囲とフランジ部１２は、半円柱形状であり、平面部分が末端部１１の平面部分と面一である。先端側本体部１３の前記所定長の範囲、フランジ部１２、及び末端部１１の平面部分が、第２プランジャー５と接触可能な摺動面１４である。なお、先端側本体部１３の平面部分は、スプリング６の開放時でも後述する絶縁支持体９の外側に出ない範囲で形成される。   A range of a predetermined length from the proximal end of the distal end side main body portion 13 and the flange portion 12 have a semi-cylindrical shape, and a planar portion is flush with the planar portion of the distal end portion 11. The range of the predetermined length of the distal end side main body portion 13, the flat portion of the flange portion 12, and the end portion 11 is a sliding surface 14 that can come into contact with the second plunger 5. The flat surface portion of the distal end side main body portion 13 is formed in a range that does not come out of the insulating support 9 described later even when the spring 6 is opened.

銅合金等の導電性金属体である第２プランジャー５は、第１プランジャー４と同様に、末端部２１と、係止凸部を成すフランジ部２２と、先端部としての先端側本体部２３とを有する棒形状である。半円柱形状の末端部２１は、コイルスプリング６の内径よりも小径で、コイルスプリング６の内側に位置する。末端部２１の曲面部分は、コイルスプリング６の内周に沿って位置する。末端部２１の平面部分は、コイルスプリング６の軸芯側に位置し、第１プランジャー４に接する。フランジ部２２は、コイルスプリング６の内径よりも大径である。フランジ部２２の末端側端面は、コイルスプリング６の他端と当接する。フランジ部２２の先端側端面は、絶縁支持体９に係止される。先端側本体部２３は、フランジ部２２よりも小径である。先端側本体部２３の先端は、検査用基板８の電極パッド(不図示)と接触する接触部２３ａとなっている。   The second plunger 5, which is a conductive metal body such as a copper alloy, is similar to the first plunger 4 in that the distal end portion 21, the flange portion 22 that forms a locking projection, and the distal end side body portion as the distal end portion. 23. The semi-cylindrical end portion 21 has a smaller diameter than the inner diameter of the coil spring 6 and is located inside the coil spring 6. The curved surface portion of the end portion 21 is located along the inner periphery of the coil spring 6. A planar portion of the end portion 21 is located on the axial center side of the coil spring 6 and is in contact with the first plunger 4. The flange portion 22 has a larger diameter than the inner diameter of the coil spring 6. The end face of the flange portion 22 is in contact with the other end of the coil spring 6. The end surface on the front end side of the flange portion 22 is locked to the insulating support 9. The distal end side main body portion 23 has a smaller diameter than the flange portion 22. The distal end of the distal end side main body portion 23 is a contact portion 23 a that comes into contact with an electrode pad (not shown) of the inspection substrate 8.

先端側本体部２３の基端から所定長の範囲とフランジ部２２は、半円柱形状であり、平面部分が末端部２１の平面部分と面一である。先端側本体部２３の前記所定長の範囲、フランジ部２２、及び末端部２１の平面部分が、第１プランジャー４と接触可能な摺動面２４である。なお、先端側本体部２３の平面部分は、スプリング６の開放時でも絶縁支持体９の外側に出ない範囲で形成される。   A range of a predetermined length from the proximal end of the distal end side main body portion 23 and the flange portion 22 have a semi-cylindrical shape, and a planar portion is flush with the planar portion of the distal end portion 21. The range of the predetermined length of the distal end side main body portion 23, the planar portion of the flange portion 22, and the end portion 21 is a sliding surface 24 that can come into contact with the first plunger 4. The flat portion of the distal end side main body portion 23 is formed in a range that does not come out of the insulating support 9 even when the spring 6 is opened.

図２に示すように、ソケット３０は、コンタクトプローブ１００を複数本平行に配置するための空洞部３２を所定間隔で有する絶縁支持体９(例えば樹脂又はセラミック製)を備え、それらの各空洞部３２にコンタクトプローブ１００を挿入配置したものである。具体的には、第１プランジャー４、第２プランジャー５及びコイルスプリング６の三者を図１に示すように一体的に組み立ててコンタクトプローブ１００を構成したものを、図２の絶縁支持体９の空洞部３２に挿入配置する。空洞部３２両端(上下端)の開口側摺動支持部３３,３４は第１及び第２プランジャー４,５の先端側本体部１３,２３をそれぞれ摺動自在に支持する。空洞部３２の開口側摺動支持部３３,３４を除く中間部３５は、開口側摺動支持部３３,３４よりも大径で、フランジ部１２,２２及びコイルスプリング６が自由に動ける内周径となっている。空洞部３２の開口側摺動支持部３３,３４の中間部３５側に形成される段部が、フランジ部１２,２２の先端側面にそれぞれ係合して第１及び第２プランジャー４,５の抜け出しを規制する。なお、絶縁支持体９は、コンタクトプローブ１００を空洞部３２内に組み込むために、複数層に分割できる構造となっている(図では２分割構造)。 As shown in FIG. 2, the socket 30 includes an insulating support 9 (for example, made of resin or ceramic) having cavity portions 32 for arranging a plurality of contact probes 100 in parallel at predetermined intervals, and each of these cavity portions. The contact probe 100 is inserted and arranged at 32. Specifically, the first plunger 4, those three users of the second plunger 5 and the coil spring 6 constitute a contact probe 100 integrally assembled as shown in FIG. 1, insulating support of Fig 2 9 is inserted into the cavity 32. Opening side sliding support portions 33 and 34 at both ends (upper and lower ends) of the hollow portion 32 support the front end side main body portions 13 and 23 of the first and second plungers 4 and 5 slidably, respectively. The intermediate portion 35 except for the opening side sliding support portions 33 and 34 of the cavity portion 32 has a larger diameter than the opening side sliding support portions 33 and 34, and the inner periphery on which the flange portions 12 and 22 and the coil spring 6 can freely move. It is a diameter. Step portions formed on the side of the intermediate portion 35 of the opening side sliding support portions 33, 34 of the cavity portion 32 engage with the front end side surfaces of the flange portions 12, 22, respectively, and the first and second plungers 4, 5 are engaged. Regulate the escape of The insulating support 9 has a structure that can be divided into a plurality of layers in order to incorporate the contact probe 100 into the cavity 32 (two-divided structure in the figure).

図２のように組み立てられたソケット３０を使用して検査を行う場合、ソケット３０は検査用基板８上に位置決め載置され、この結果、コイルスプリング６が所定長だけ縮んで第２プランジャー５の先端側本体部２３の接触部２３ａが検査用基板８の電極パッドに弾接する。半導体集積回路等の検査対象物７が無い状態では、第１プランジャー４はフランジ部１２が開口側摺動支持部３３で規制されるまで突出方向に移動しており、先端側本体部１３の絶縁支持体９からの突出量は最大となっている。検査対象物７がソケット３０の絶縁支持体９に対して所定の間隔で対向配置されることにより、先端側本体部１３は後退してスプリング６はさらに圧縮され、その結果、先端側本体部１３は検査対象物７の電極バンプ７ａに弾接する。この状態で検査対象物７の検査が実行される。   When the inspection is performed using the socket 30 assembled as shown in FIG. 2, the socket 30 is positioned and placed on the inspection substrate 8, and as a result, the coil spring 6 is contracted by a predetermined length and the second plunger 5 is contracted. The contact portion 23 a of the distal end side main body portion 23 comes into elastic contact with the electrode pad of the inspection substrate 8. In a state where there is no inspection object 7 such as a semiconductor integrated circuit, the first plunger 4 moves in the protruding direction until the flange portion 12 is regulated by the opening-side sliding support portion 33. The amount of protrusion from the insulating support 9 is the maximum. By disposing the inspection object 7 so as to face the insulating support 9 of the socket 30 at a predetermined interval, the distal end side body portion 13 is retracted and the spring 6 is further compressed. As a result, the distal end side body portion 13 is compressed. Elastically contacts the electrode bump 7a of the inspection object 7. In this state, the inspection of the inspection object 7 is performed.

図１(Ａ)に示すように、コイルスプリング６が伸びている第１の状態(開放状態)では、第１プランジャー４の末端部１１及び第２プランジャー５の末端部２１は、双方の末端側から所定長に渡って摺動面同士が対面し、接触する。そして、前記第１の状態(開放状態)から図１(Ｂ)に示すようにコイルスプリング６が縮んでいる第２の状態(圧縮状態すなわち通電状態)に遷移すると、第１プランジャー４の末端部１１の平面部分(摺動面)は、第２プランジャー５の末端部２１の平面部分から先端側本体部２３の前記所定長の範囲及びフランジ部２２の平面部分に跨って対面し、接触する。すなわち、第１プランジャー４の末端部１１の末端は、コイルスプリング６よりも、第２プランジャー５の先端寄りに位置する。第２プランジャー５の末端部２１の平面部分(摺動面)は、第１プランジャー４の末端部１１の平面部分から先端側本体部１３の前記所定長の範囲及びフランジ部１２の平面部分に跨って対面し、接触する。すなわち、第２プランジャー５の末端部２１の末端は、コイルスプリング６よりも、第１プランジャー４の先端寄りに位置する。   As shown in FIG. 1 (A), in the first state (open state) in which the coil spring 6 is extended, the end portion 11 of the first plunger 4 and the end portion 21 of the second plunger 5 are both The sliding surfaces face each other over a predetermined length from the end side and come into contact with each other. Then, when the first state (open state) is changed to the second state (compressed state, ie, energized state) in which the coil spring 6 is contracted as shown in FIG. The flat surface portion (sliding surface) of the portion 11 faces over the range of the predetermined length of the distal end side main body portion 23 and the flat surface portion of the flange portion 22 from the flat surface portion of the distal end portion 21 of the second plunger 5 and makes contact. To do. That is, the end of the end portion 11 of the first plunger 4 is located closer to the tip of the second plunger 5 than the coil spring 6. The flat portion (sliding surface) of the end portion 21 of the second plunger 5 is within the predetermined length range of the front end side body portion 13 from the flat portion of the end portion 11 of the first plunger 4 and the flat portion of the flange portion 12. Face to face and touch. That is, the end of the end portion 21 of the second plunger 5 is located closer to the tip of the first plunger 4 than the coil spring 6.

本実施の形態のコンタクトプローブ１００の第１プランジャー４の可動ストロークＡ、第２プランジャー５の可動ストロークＢ、及び第１及び第２プランジャー４,５の重ね代の長さＣは、図６に示す従来のコンタクトプローブのものと同じである。一方、下記Ｘ',Ｙ'
・Ｘ'＝(第１プランジャー４の全長)−(Ａ＋Ｂ＋Ｃ)
・Ｙ'＝(第２プランジャー５の全長)−(Ａ＋Ｂ＋Ｃ)
は、図６に示す従来のコンタクトプローブのＸ,Ｙ
・Ｘ＝(第１プランジャー６１の全長)−(Ａ＋Ｂ＋Ｃ)
・Ｙ＝(第２プランジャー６２の全長)−(Ａ＋Ｂ＋Ｃ)
との関係で、
Ｘ'＜Ｘ かつ Ｙ'＜Ｙ
となる。これは、従来のコンタクトプローブと異なり、先端側本体部１３,２３の前記所定長の範囲及びフランジ部１２,２２を半円柱形状として平面部分を有するものとした本実施の形態の特有の構成に起因する。本構成では、末端部１１,２１の平面部分だけでなく、先端側本体部１３,２３の前記所定長の範囲及びフランジ部１２,２２の平面部分も相互摺動面となり、上記のとおりＸ',Ｙ'をそれぞれＸ,Ｙよりも短くすることができる。すなわち、本実施の形態のコンタクトプローブ１００の開放時全長Ｌ1'及び圧縮時全長Ｌ2'並びに従来のコンタクトプローブの開放時全長Ｌ1及び圧縮時全長Ｌ2はそれぞれ
Ｌ1'＝２（Ａ＋Ｂ）＋Ｃ＋Ｘ'＋Ｙ'
Ｌ2'＝Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｘ'＋Ｙ'
Ｌ1＝２（Ａ＋Ｂ）＋Ｃ＋Ｘ＋Ｙ
Ｌ2＝Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｘ＋Ｙ
で、Ｌ1'＜Ｌ1 かつ Ｌ2'＜Ｌ2となる。 The movable stroke A of the first plunger 4, the movable stroke B of the second plunger 5, and the overlap length C of the first and second plungers 4, 5 of the contact probe 100 of the present embodiment are shown in FIG. This is the same as that of the conventional contact probe shown in FIG. On the other hand, the following X ', Y'
・ X ′ = (the total length of the first plunger 4) − (A + B + C)
・ Y ′ = (the total length of the second plunger 5) − (A + B + C)
Is the X and Y of the conventional contact probe shown in FIG.
・ X = (Total length of the first plunger 61) − (A + B + C)
Y = (the total length of the second plunger 62) − (A + B + C)
In relation to
X '<X and Y'<Y
It becomes. This is different from the conventional contact probe in the specific configuration of the present embodiment in which the range of the predetermined length of the front end body portions 13 and 23 and the flange portions 12 and 22 are semicylindrical and have a plane portion. to cause. In this configuration, not only the flat portions of the end portions 11 and 21 but also the range of the predetermined length of the front end side main body portions 13 and 23 and the flat portions of the flange portions 12 and 22 are mutually sliding surfaces, and X ′ as described above. , Y ′ can be made shorter than X and Y, respectively. That is, each of the open time of the entire length L 1 and compressed when the total length L 2 L 1 '= 2 ( A + B of the present embodiment of the contact probe 100 when opened overall length L 1' and -compression total length L 2 'and conventional contact probe ) + C + X '+ Y'
L 2 '= A + B + C + X ′ + Y ′
L 1 = 2 (A + B) + C + X + Y
L 2 = A + B + C + X + Y
Therefore, L 1 ′ <L 1 and L 2 ′ <L 2 .

このように、本実施の形態によれば、第１プランジャー４及び第２プランジャー５の可動ストローク並びに重ね代の長さを同じとしたとき、従来のものと比較してコンタクトプローブの全長を短くすることが可能となる。したがって、従来のコンタクトプローブと比較して低抵抗・大電流対応・高周波対応の面で有利である。また、第１及び第２プランジャー４，５において、フランジ部１２，２２がそれぞれ１８０°以上にわたって外周に形成されているから、スプリング６の保持は安定である。また、先端側本体部１３，２３の平面部分はスプリング６の開放時であっても絶縁支持体９の外に出ないので、がたつきを防止できる。   As described above, according to the present embodiment, when the movable stroke and the overlap allowance length of the first plunger 4 and the second plunger 5 are the same, the total length of the contact probe is increased as compared with the conventional one. It can be shortened. Therefore, compared with the conventional contact probe, it is advantageous in terms of low resistance, large current, and high frequency. Further, in the first and second plungers 4 and 5, the flange portions 12 and 22 are formed on the outer periphery over 180 ° or more, so that the holding of the spring 6 is stable. Further, since the flat portions of the front end side main body portions 13 and 23 do not come out of the insulating support 9 even when the spring 6 is opened, rattling can be prevented.

(第２の実施の形態)
図３は、本発明の第２の実施の形態に係るコンタクトプローブの全体構成図であり、(Ａ)はスプリング開放状態、(Ｂ)はスプリング圧縮状態を示す。本実施の形態のコンタクトプローブは、第１の実施の形態のものと異なり、第１プランジャー４の先端側本体部１３の末端側から所定長の範囲、及びフランジ部１２が、円柱形状の長さ方向に溝１３５を形成した形状である。溝１３５は、底面が末端部１１の平面部分と面一の平面である。図３(Ａ)に示すように、コイルスプリング６の開放時、溝１３５の先端側は所定長に渡って絶縁支持体９の外側に出ている。一方、図３(Ｂ)に示すように、コイルスプリング６の圧縮時、第２プランジャー５の末端部２１の平面部分(摺動面)２４は、溝１３５の底面（摺動面１４）のうちコイルスプリング６の開放時に絶縁支持体９の外側に出ていた部分の底面にまで渡って対面し、接触する。 (Second embodiment)
FIG. 3 is an overall configuration diagram of a contact probe according to a second embodiment of the present invention, in which (A) shows a spring open state and (B) shows a spring compression state. The contact probe of the present embodiment is different from that of the first embodiment in that the predetermined length range from the distal end side of the distal end side main body portion 13 of the first plunger 4 and the flange portion 12 is a cylindrical shape. This is a shape in which a groove 135 is formed in the vertical direction. The bottom surface of the groove 135 is flush with the flat portion of the end portion 11. As shown in FIG. 3A, when the coil spring 6 is opened, the front end side of the groove 135 protrudes outside the insulating support 9 over a predetermined length. On the other hand, as shown in FIG. 3B, when the coil spring 6 is compressed, the flat surface portion (sliding surface) 24 of the end portion 21 of the second plunger 5 is formed on the bottom surface (sliding surface 14) of the groove 135. Among them, they face each other and come into contact with the bottom surface of the portion that has been outside the insulating support 9 when the coil spring 6 is opened.

本実施の形態のコンタクトプローブでは、第１の実施の形態のものと異なり、第１プランジャー４の摺動面１４がコイルスプリング６の開放時に絶縁支持体９の外側にまで延在する。したがって、同じ可動ストローク及び重ね代の長さであれば、第１プランジャーをより短くすることが可能となる。すなわち、第１の実施の形態と比較してコンタクトプローブの全長を更に短くすることが可能となる。また、第１プランジャー４の先端側本体部１３の末端側から所定長の範囲が、円柱形状の長さ方向に溝１３５を形成した形状であるため、コイルスプリング６の開放時に底面（摺動面１４）は絶縁支持体９の外側に出ているが、同範囲が半円柱形状である場合と比較して、コイルスプリング６の開放時における第１プランジャー４の絶縁支持体９に対する横方向のがたつきを抑えることができて好ましい。   In the contact probe of the present embodiment, unlike the first embodiment, the sliding surface 14 of the first plunger 4 extends to the outside of the insulating support 9 when the coil spring 6 is opened. Therefore, the first plunger can be made shorter with the same movable stroke and overlapping length. That is, the total length of the contact probe can be further shortened as compared with the first embodiment. In addition, since a range of a predetermined length from the distal end side of the distal end side main body portion 13 of the first plunger 4 is a shape in which a groove 135 is formed in the length direction of the columnar shape, the bottom surface (sliding) when the coil spring 6 is opened. Although the surface 14) protrudes outside the insulating support 9, the lateral direction of the first plunger 4 with respect to the insulating support 9 when the coil spring 6 is opened is compared with the case where the same range is a semi-cylindrical shape. It is preferable because it can suppress rattling.

(第３の実施の形態)
図４は、本発明の第３の実施の形態に係るコンタクトプローブの全体構成図であり、(Ａ)はスプリング開放状態の正面図、(Ｂ)は同右側面図、(Ｃ)はスプリング圧縮状態の正面図、(Ｄ)は同右側面図である。図５は、同コンタクトプローブの第１プランジャー４の部品図であり、(Ａ)は正面図、(Ｂ)は右側面図、(Ｃ)は底面図である。 (Third embodiment)
FIG. 4 is an overall configuration diagram of a contact probe according to a third embodiment of the present invention, where (A) is a front view of a spring open state, (B) is a right side view thereof, and (C) is spring compression. A front view of the state, (D) is a right side view thereof. FIG. 5 is a component diagram of the first plunger 4 of the contact probe, where FIG. 5A is a front view, FIG. 5B is a right side view, and FIG. 5C is a bottom view.

本実施の形態のコンタクトプローブは、第１の実施の形態のものと異なり、第２プランジャー５の末端部２１が、中間部から末端にかけて２本に分かれた二股部２１ａ,２１ｂを有する。また、第１プランジャー４の末端部１１は、二股部２１ａ,２１ｂの間に位置する。フランジ部１２は、二股部２１ａ,２１ｂとの摺動部分をそれぞれ溝状に切り欠いた円柱形状である。したがって、末端部１１からフランジ部１２、さらに先端側本体部１３の途中にまで至る摺動面１４ａ，１４ｂが形成される。フランジ部１２の末端側端面は、コイルスプリング６の一端と当接する。本実施の形態によれば、第１及び第２プランジャー４,５の接触箇所を増やすことができ、第１の実施の形態と比較してより低抵抗化が期待できる。   The contact probe of the present embodiment is different from that of the first embodiment in that the end portion 21 of the second plunger 5 has bifurcated portions 21a and 21b that are divided into two from the intermediate portion to the end. Moreover, the terminal part 11 of the 1st plunger 4 is located between the forked parts 21a and 21b. The flange portion 12 has a cylindrical shape in which sliding portions with the bifurcated portions 21a and 21b are cut out into groove shapes. Therefore, the sliding surfaces 14a and 14b extending from the end portion 11 to the flange portion 12 and further to the middle of the distal end side main body portion 13 are formed. The end face of the flange portion 12 is in contact with one end of the coil spring 6. According to the present embodiment, the number of contact points of the first and second plungers 4 and 5 can be increased, and a lower resistance can be expected as compared with the first embodiment.

以上、実施の形態を例に本発明を説明したが、実施の形態の各構成要素には請求項に記載の範囲で種々の変形が可能であることは当業者に理解されるところである。以下、変形例について触れる。   The present invention has been described above by taking the embodiment as an example. However, it will be understood by those skilled in the art that various modifications can be made to each component of the embodiment within the scope of the claims. Hereinafter, modifications will be described.

実施の形態では第１及び第２プランジャー４,５の末端部１１,２１が半円柱形状である場合を説明したが、末端部１１,２１は相互の対向面が平面であれば半円柱形状に限定されない。つまり、末端部１１,２１は、側面に摺動面となる平面があればよい。第１の実施の形態における先端側本体部１３,２３の基端から所定長の範囲及びフランジ部１２の形状についても同様のことがいえる。   In the embodiment, the case where the end portions 11 and 21 of the first and second plungers 4 and 5 have a semi-cylindrical shape has been described. However, the end portions 11 and 21 have a semi-cylindrical shape if the opposing surfaces are flat. It is not limited to. That is, the end portions 11 and 21 only need to have a flat surface as a sliding surface on the side surface. The same applies to the range of the predetermined length from the proximal ends of the distal end side main body portions 13 and 23 and the shape of the flange portion 12 in the first embodiment.

第２の形態では第１プランジャー４の先端側本体部１３の基端から所定長の範囲及びフランジ部１２が円柱形状の長さ方向に溝１３５を形成した形状である場合を説明したが、先端側本体部１３の前記所定長の範囲及びフランジ部１２は第１の実施の形態と同様の形状(例えば半円柱形状)であってもよい。この場合、コイルスプリング６の開放時における第１プランジャー４の絶縁支持体９に対する横方向のがたつきは第２の実施の形態よりも大きくなるものの、コンタクトプローブの全長を短くする点においては第２の実施の形態と同様の効果を奏することができる。   In the second embodiment, the range of a predetermined length from the base end of the distal end side main body portion 13 of the first plunger 4 and the case where the flange portion 12 has a shape in which the groove 135 is formed in the length direction of the columnar shape are described. The range of the predetermined length of the distal end side main body portion 13 and the flange portion 12 may be the same shape as the first embodiment (for example, a semi-cylindrical shape). In this case, the backlash in the lateral direction of the first plunger 4 with respect to the insulating support 9 when the coil spring 6 is opened is larger than that in the second embodiment, but in terms of shortening the overall length of the contact probe. The same effects as those of the second embodiment can be obtained.

実施の形態では、コイルスプリング６の圧縮状態において第１及び第２プランジャー４,５の末端部１１,２１の末端が共にコイルスプリング６の伸縮方向に関してコイルスプリング６の外側に位置する場合を説明したが、変形例では末端部１１,２１の末端の一方はコイルスプリング６の外側に位置し、他方はコイルスプリング６の内側に位置してもよい。この場合も、従来との比較ではコンタクトプローブの全長を短くすることができる。   In the embodiment, the case where both ends of the end portions 11 and 21 of the first and second plungers 4 and 5 are located outside the coil spring 6 in the expansion and contraction direction of the coil spring 6 in the compressed state of the coil spring 6 will be described. However, in a modified example, one of the ends of the end portions 11 and 21 may be located outside the coil spring 6 and the other may be located inside the coil spring 6. Also in this case, the total length of the contact probe can be shortened as compared with the conventional case.

４ 第１プランジャー
５ 第２プランジャー
６ コイルスプリング
７ 検査対象物
７ａ 電極バンプ
８ 検査用基板
９ 絶縁支持体
１１,２１ 末端部
１２,２２ フランジ部
１３,２３ 先端側本体部
１３ａ,２３ａ 接触部
３０ ソケット
１００ コンタクトプローブ 4 First Plunger 5 Second Plunger 6 Coil Spring 7 Inspection Object 7a Electrode Bump 8 Inspection Substrate 9 Insulating Supports 11 and 21 Ends 12 and 22 Flange Parts 13 and 23 Tip Side Body Parts 13a and 23a Contact Part 30 Socket 100 Contact probe

Claims (7)

スプリングと、一方が検査対象物との接続用で他方が検査用基板との接続用である第１及び第２プランジャーとを備え、
前記第１及び第２プランジャーはそれぞれ、前記スプリングを係止する係止凸部を長さ方向の中間部に有し、
前記スプリングは、前記係止凸部に係止され、かつ前記第１及び第２プランジャーを互いに離れる方向に付勢するコンタクトプローブであって、
前記第１プランジャーは、末端部と、先端部と、前記末端部及び前記先端部の間のフランジ部とを有し、
前記フランジ部が前記係止凸部を有し、
前記先端部の基端から所定長の範囲と、前記フランジ部と、前記末端部とに渡って前記第２プランジャーとの摺動面が連続して存在し、
前記スプリングが所定長以下の長さに縮んでいるとき、前記第２プランジャーの末端が、前記スプリングよりも、前記第１プランジャーの先端寄りに位置する、コンタクトプローブ。 A spring and first and second plungers, one for connection with the inspection object and the other for connection with the inspection substrate;
Each of the first and second plungers has a locking projection for locking the spring at an intermediate portion in the length direction,
The spring is a contact probe that is locked to the locking projection and that biases the first and second plungers away from each other;
The first plunger has a distal end portion, a distal end portion, and a flange portion between the distal end portion and the distal end portion,
The flange portion has the locking projection;
A sliding surface with the second plunger continuously exists over a range of a predetermined length from the proximal end of the distal end portion, the flange portion, and the distal end portion,
The contact probe, wherein the end of the second plunger is positioned closer to the tip of the first plunger than the spring when the spring is contracted to a predetermined length or less. 請求項１に記載のコンタクトプローブにおいて、前記スプリングが所定長以下の長さに縮んでいるとき、前記第１プランジャーの末端が、前記スプリングよりも、前記第２プランジャーの先端寄りに位置する、コンタクトプローブ。 2. The contact probe according to claim 1 , wherein when the spring is contracted to a length equal to or shorter than a predetermined length, an end of the first plunger is positioned closer to a tip of the second plunger than the spring. ,Contact probe. 請求項１又は２に記載のコンタクトプローブにおいて、前記第１及び第２プランジャーの相互摺動面が平面である、コンタクトプローブ。 The contact probe according to claim 1 or 2 , wherein the sliding surfaces of the first and second plungers are flat surfaces. 請求項１から３のいずれか一項に記載のコンタクトプローブを複数本絶縁支持体で支持してなるソケット。 A socket formed by supporting a plurality of contact probes according to any one of claims 1 to 3 with an insulating support. 複数本のコンタクトプローブを絶縁支持体で支持してなるソケットであって、
各コンタクトプローブは、スプリングと、一方が検査対象物との接続用で他方が検査用基板との接続用である第１及び第２プランジャーとを備え、
前記第１及び第２プランジャーはそれぞれ、前記スプリングを係止する係止凸部を長さ方向の中間部に有し、
前記スプリングは、前記係止凸部に係止され、かつ前記第１及び第２プランジャーを互いに離れる方向に付勢し、
前記スプリングが所定長以下の長さに縮んでいるとき、前記第２プランジャーの末端が、前記スプリングよりも、前記第１プランジャーの先端寄りに位置し、
前記第１プランジャーは、前記スプリングが所定長以上の長さに伸びているとき、前記第２プランジャーとの摺動面が、前記スプリングの伸縮方向に関して前記絶縁支持体の内側から外側にかけて延在する、ソケット。 A socket formed by supporting a plurality of contact probes with an insulating support,
Each contact probe includes a spring and first and second plungers, one for connection with the inspection object and the other for connection with the inspection substrate.
Each of the first and second plungers has a locking projection for locking the spring at an intermediate portion in the length direction,
The spring is locked to the locking projection and biases the first and second plungers away from each other;
When the spring is contracted to a length equal to or less than a predetermined length, the end of the second plunger is located closer to the tip of the first plunger than the spring;
Said first plunger when said spring is extended a predetermined length or longer, the sliding surfaces of the second plunger, extending toward the outside from the inside of the insulating support with respect to expansion and contraction direction of the spring Existing socket. 請求項５に記載のソケットにおいて、
前記第１プランジャーの前記係止凸部は、前記絶縁支持体からの抜止めであり、
前記第１プランジャーの前記摺動面は、前記係止凸部よりも先端側において溝形状の底面である、ソケット。 The socket according to claim 5 , wherein
The locking projection of the first plunger is a retaining from the insulating support,
The socket, wherein the sliding surface of the first plunger is a groove-shaped bottom surface on the tip side of the locking projection. 請求項５又は６に記載のソケットにおいて、The socket according to claim 5 or 6,
前記第１プランジャーは、末端部と、先端部と、前記末端部及び前記先端部の間のフランジ部とを有し、The first plunger has a distal end portion, a distal end portion, and a flange portion between the distal end portion and the distal end portion,
前記フランジ部が前記係止凸部を有し、The flange portion has the locking projection;
前記先端部の基端から所定長の範囲と、前記フランジ部と、前記末端部とに渡って前記第２プランジャーとの摺動面が連続して存在する、ソケット。A socket in which a sliding surface with the second plunger continuously exists over a range of a predetermined length from the proximal end of the distal end portion, the flange portion, and the distal end portion.
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