JP5636012B2 - Inkjet head manufacturing method - Google Patents

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本発明の実施形態は、インクジェットヘッド切削用砥石及びインクジェットヘッドの製造方法に関する。   Embodiments described herein relate generally to an inkjet head cutting grindstone and an inkjet head manufacturing method.

インクジェットプリンタのヘッドの製造工程には、基板上に圧電素子を取り付け、この圧電素子と基板とを予め決められた形状に切削する工程が含まれる。   The manufacturing process of the head of the ink jet printer includes a process of attaching a piezoelectric element on a substrate and cutting the piezoelectric element and the substrate into a predetermined shape.

ここで、基板は例えばアルミナによって形成され、圧電素子は例えばPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)によって形成され、互いに硬さが異なっている。   Here, the substrate is made of alumina, for example, and the piezoelectric element is made of PZT (lead zirconate titanate), for example, and have different hardnesses.

従来は、基板と圧電素子とを一つの砥石により切削していた。基板の切削に合わせて粗い砥石を用いると圧電素子にチッピングやクラックが発生する。圧電素子に合わせて細かい砥石を用いると、基板の切削面の粗さが不足し、メッキの密着力が弱まる。   Conventionally, the substrate and the piezoelectric element are cut with one grindstone. When a rough grindstone is used in accordance with the cutting of the substrate, chipping and cracks occur in the piezoelectric element. When a fine grindstone is used in accordance with the piezoelectric element, the cutting surface of the substrate is not sufficiently rough and the plating adhesion is weakened.

従って、砥石の粗さを選択することが困難であった。   Therefore, it has been difficult to select the roughness of the grindstone.

特開2004−306172号公報JP 2004-306172 A

従って、圧電素子にチッピングやクラックが生じず、基板に必要な粗さを付与することが可能なインクジェットヘッド切削用砥石及びインクジェットヘッドの製造方法が求められている。   Therefore, there is a need for an inkjet head cutting grindstone and an inkjet head manufacturing method capable of imparting the required roughness to the substrate without causing chipping or cracks in the piezoelectric element.

上記の課題を解決するために、本発明の一実施形態は、円盤状の第1の砥石層と、第1の砥石層を径方向に挟み、第1の砥石層が含有する研磨剤より細かい研磨剤を含有し、周方向の端部が切削により形成する圧電素子の形状によって定まる角度を有する2つの第2の砥石層と、を備えるインクジェットヘッド切削用砥石の第2の砥石層のみにより圧電素子を切削して断面形状に斜辺部を形成し、第1の砥石層及び第2の砥石層により基板を切削して溝部を形成するインクジェットヘッドの製造方法を提供する。 In order to solve the above-mentioned problem, one embodiment of the present invention sandwiches a disk-shaped first grindstone layer and the first grindstone layer in the radial direction, and is finer than the abrasive contained in the first grindstone layer. And a second grinding wheel layer of an inkjet head cutting grindstone comprising an abrasive and two second grinding wheel layers having an angle determined by a shape of a piezoelectric element formed by cutting at a circumferential end. An inkjet head manufacturing method is provided in which a device is cut to form a hypotenuse in a cross-sectional shape, and a substrate is cut with a first grindstone layer and a second grindstone layer to form a groove .

インクジェットヘッド切削用砥石の平面図である。It is a top view of the grindstone for inkjet head cutting. インクジェットヘッド切削用砥石の図1におけるAA線断面図である。It is AA sectional view taken on the line in FIG. 1 of the grindstone for inkjet head cutting. インクジェットヘッド切削用砥石の図2における点線によって囲んだ部分の拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a portion surrounded by a dotted line in FIG. 2 of an inkjet head cutting grindstone. 応用例に係るインクジェットヘッド切削用砥石の図2における点線によって囲んだ部分の拡大図である。It is an enlarged view of the part enclosed by the dotted line in FIG. 2 of the grindstone for inkjet head cutting which concerns on an application example. インクジェットヘッドが備える基板に圧電素子を取り付けた状態を示す図である。It is a figure which shows the state which attached the piezoelectric element to the board | substrate with which an inkjet head is equipped. 切削が完了したインクジェットヘッドの基板と圧電素子の状態を示す図である。It is a figure which shows the state of the board | substrate of the inkjet head which completed cutting, and a piezoelectric element. 第1の砥石層及び第2の砥石層の粗さを示す図である。It is a figure which shows the roughness of a 1st grindstone layer and a 2nd grindstone layer.

以下、インクジェットヘッド切削用砥石及びインクジェットヘッドの製造方法の一実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。   Hereinafter, an embodiment of an inkjet head cutting grindstone and an inkjet head manufacturing method will be described in detail with reference to the drawings.

本実施形態のインクジェットヘッド切削用砥石は、円盤状の第1の砥石層と、第1の砥石層を径方向に挟み、第1の砥石層が含有する研磨剤より細かい研磨剤を含有し、周方向の端部が切削により形成する圧電素子の形状によって定まる角度を有する2つの第2の砥石層と、を備える。   The grindstone for cutting an inkjet head of the present embodiment includes a disc-shaped first grindstone layer and a first grindstone layer in the radial direction, and contains a finer abrasive than the abrasive contained in the first grindstone layer, Two second grindstone layers having an angle determined by a shape of a piezoelectric element formed by cutting at an end in the circumferential direction.

図1は、本実施形態に係るインクジェットヘッド切削用砥石100の平面図である。図2は、インクジェットヘッド切削用砥石100の図1におけるAA線断面図である。   FIG. 1 is a plan view of an inkjet head cutting grindstone 100 according to the present embodiment. 2 is a cross-sectional view of the inkjet head cutting grindstone 100 taken along the line AA in FIG.

図1及び図2に示すように、インクジェットヘッド切削用砥石100は、円盤状の第1の砥石層101と、第1の砥石層101を径方向に挟み、第1の砥石層101より粒度の細かい研磨剤を含有し、周方向の端部が切削形成する圧電素子の形状によって定まる角度を有する2つの第2の砥石層101A、101Bと、を備える。   As shown in FIGS. 1 and 2, an inkjet head cutting grindstone 100 sandwiches a disk-shaped first grindstone layer 101 and the first grindstone layer 101 in the radial direction, and has a particle size larger than that of the first grindstone layer 101. And two second grindstone layers 101A and 101B that contain a fine abrasive and have an angle determined by the shape of the piezoelectric element that is cut and formed in the circumferential direction.

第1の砥石層101の一方の面に設けられる第2の砥石層101Aは、第1の砥石層101の他方の面に設けられる第2の砥石層101Bと厚さが等しく、形状は第1の砥石層101の厚さ方向の中心に対して対称な形状をなす。   The second grindstone layer 101A provided on one surface of the first grindstone layer 101 has the same thickness as the second grindstone layer 101B provided on the other surface of the first grindstone layer 101, and the shape is the first. The whetstone layer 101 has a symmetrical shape with respect to the center in the thickness direction.

図3は、インクジェットヘッド切削用砥石100の図2における点線によって囲んだ部分の拡大図である。図3に示すように、インクジェットヘッド切削用砥石100は、一方の第2の砥石層102Aの周方向の端部が第1の砥石層101に取り付けられる面に対して角度θAを有し、他方の第2の砥石層102Bの周方向の端部が第1の砥石層101に取り付けられる面に対して角度θBを有する。   FIG. 3 is an enlarged view of a portion surrounded by a dotted line in FIG. 2 of the grinding wheel 100 for cutting an inkjet head. As shown in FIG. 3, the grinding head 100 for cutting an inkjet head has an angle θA with respect to a surface on which a circumferential end of one second grinding wheel layer 102 </ b> A is attached to the first grinding stone layer 101, The circumferential end of the second grindstone layer 102 </ b> B has an angle θB with respect to the surface attached to the first grindstone layer 101.

角度θAと角度θBとは大きさが等しく、これらの角度の大きさは切削して形成する圧電素子の斜辺と底辺のなす角度を90°から差し引いた角度と等しい。   The angle θA and the angle θB are equal in size, and the size of these angles is equal to the angle obtained by subtracting the angle formed by the hypotenuse and the base of the piezoelectric element formed by cutting from 90 °.

一方の第2の砥石層102A及び他方の第2の砥石層102Bは、ともに厚さW2を有する。   One second grindstone layer 102A and the other second grindstone layer 102B both have a thickness W2.

第1の砥石層101は、周方向の端部が径方向に対して平行、すなわち第2の砥石層102A、102Bが取り付けられる面に対して垂直な側面を有する。第1の砥石層101は、切削して形成する基板の溝部503の底面の幅と等しい厚さW1を有する。   The first grindstone layer 101 has side surfaces that are parallel to the radial direction in the circumferential direction, that is, perpendicular to the surface on which the second grindstone layers 102A and 102B are attached. The first grindstone layer 101 has a thickness W1 equal to the width of the bottom surface of the groove 503 of the substrate formed by cutting.

図4は、応用例に係るインクジェットヘッド切削用砥石100の図2における点線によって囲んだ部分の拡大図である。図4に示すように、インクジェットヘッド切削用砥石100は、一方の第2の砥石層102Aの周方向の端部が第1の砥石層101に取り付けられる面に平行な面401Aに対して角度θAを有し、他方の第2の砥石層102Bの周方向の端部が第1の砥石層101に取り付けられる面に平行な面401Bに対して角度θBを有する。   FIG. 4 is an enlarged view of a portion surrounded by a dotted line in FIG. 2 of the grinding wheel 100 for cutting an inkjet head according to an application example. As shown in FIG. 4, the inkjet head cutting grindstone 100 has an angle θA with respect to a surface 401A parallel to a surface on which the circumferential end of one second grindstone layer 102A is attached to the first grindstone layer 101. The other end of the second grindstone layer 102B in the circumferential direction has an angle θB with respect to a surface 401B parallel to the surface attached to the first grindstone layer 101.

角度θAと角度θBとは大きさが等しく、これらの角度の大きさは切削して形成する圧電素子の斜辺と底辺のなす角度を90°から差し引いた角度と等しい。角度θAと角度θBとは、例えば45°である。   The angle θA and the angle θB are equal in size, and the size of these angles is equal to the angle obtained by subtracting the angle formed by the hypotenuse and the base of the piezoelectric element formed by cutting from 90 °. The angle θA and the angle θB are, for example, 45 °.

インクジェットヘッド切削用砥石100は、周方向の端部が径方向に対して平行、すなわち第2の砥石層102A、102Bが取り付けられる面に対して垂直な側面を有する。この側面は、切削して形成する基板の溝部503の底面の幅と等しい厚さW1を有する。   The inkjet head cutting grindstone 100 has side surfaces that are parallel to the radial direction in the circumferential direction, that is, perpendicular to the surface on which the second grindstone layers 102A and 102B are attached. This side surface has a thickness W1 equal to the width of the bottom surface of the groove 503 of the substrate formed by cutting.

本応用例においては、第1の砥石層101は厚さW1より薄い厚さW3を有する。   In this application example, the first grindstone layer 101 has a thickness W3 that is smaller than the thickness W1.

本応用例によれば、よりチッピングやクラックが圧電素子502に生じにくいという効果がある。   According to this application example, there is an effect that chipping and cracks are less likely to occur in the piezoelectric element 502.

図5は、インクジェットヘッドが備える基板501に圧電素子502を取り付けた状態を示す図である。図5に示すように、切削前は、基板501は平坦であり、圧電素子502はほぼ直方体をなす。基板501は例えばアルミナによって形成され、圧電素子502は例えばPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)によって形成される。基板501と圧電素子502とは硬さが異なっている。   FIG. 5 is a diagram illustrating a state in which the piezoelectric element 502 is attached to the substrate 501 included in the inkjet head. As shown in FIG. 5, before cutting, the substrate 501 is flat, and the piezoelectric element 502 has a substantially rectangular parallelepiped shape. The substrate 501 is made of alumina, for example, and the piezoelectric element 502 is made of PZT (lead zirconate titanate), for example. The substrate 501 and the piezoelectric element 502 are different in hardness.

図6は、切削が完了したインクジェットヘッドの基板501と圧電素子502の状態を示す図である。図6に示すように、切削後の圧電素子502は断面が台形をなし、この台形の斜辺と底辺とがなす角は大きさがθCである。   FIG. 6 is a diagram illustrating a state of the substrate 501 and the piezoelectric element 502 of the ink jet head that has been cut. As shown in FIG. 6, the cut piezoelectric element 502 has a trapezoidal cross section, and the angle formed by the hypotenuse and the base of the trapezoid is θC.

すなわち、θAとθBとは90°からθCを差し引いた角度に等しい。   That is, θA and θB are equal to an angle obtained by subtracting θC from 90 °.

インクジェットヘッド切削用砥石100は第2の砥石層102A、102Bにより圧電素子502を切削する。   The inkjet head cutting grindstone 100 cuts the piezoelectric element 502 by the second grindstone layers 102A and 102B.

インクジェットヘッド切削用砥石100は第1の砥石層101及び第2の砥石層102A、102Bにより基板501を切削し、溝部503を形成する。溝部は底面が幅W1を有する。   The inkjet head cutting grindstone 100 cuts the substrate 501 with the first grindstone layer 101 and the second grindstone layers 102 </ b> A and 102 </ b> B to form a groove 503. The bottom surface of the groove has a width W1.

図7は、第1の砥石層101及び第2の砥石層102A、102Bの粗さを示す図である。図7に示すように、第1の砥石層101は、粒度すなわち粗さは砥石番号200番以上270番以下が望ましく、砥石番号270番が最も望ましい。   FIG. 7 is a diagram illustrating the roughness of the first grindstone layer 101 and the second grindstone layers 102A and 102B. As shown in FIG. 7, the particle size, that is, the roughness of the first grindstone layer 101 is desirably a grindstone number from 200 to 270, and most desirably a grindstone number 270.

なお、砥石番号200番は、JISにおいては200/230であり、研磨剤の平均の粒径は74μmである。砥石番号270番は、JISにおいては270/325であり、研磨剤の平均の粒径は53μmである。   The grinding wheel number 200 is 200/230 in JIS, and the average particle size of the abrasive is 74 μm. The grindstone number 270 is 270/325 in JIS, and the average particle size of the abrasive is 53 μm.

第2の砥石層102A、102Bは、粗さは砥石番号500番以上700番以下が望ましく、砥石番号600番が最も望ましい。   The roughness of the second grindstone layers 102A and 102B is desirably a grindstone number of 500 to 700, and most desirably a grindstone number of 600.

なお、砥石番号500番は研磨剤の平均の粒径は30μmから36μmである。砥石番号600番は研磨剤の平均の粒径は25μmから35μmである。砥石番号700番は研磨剤の平均の粒径は22μmから30μmである。   In addition, as for the grindstone number 500, the average particle diameter of an abrasive | polishing agent is 30 micrometers-36 micrometers. In the grinding wheel number 600, the average particle size of the abrasive is 25 μm to 35 μm. In the grinding wheel number 700, the average particle size of the abrasive is 22 μm to 30 μm.

以上述べたように、本実施形態のインクジェットヘッド切削用砥石100は、円盤状の第1の砥石層101と、第1の砥石層101を径方向に挟み、第1の砥石層101より粒度の細かい研磨剤を含有し、周方向の端部が切削形成する圧電素子502の形状によって定まる角度を有する2つの第2の砥石層101A、101Bと、を備える。   As described above, the inkjet head cutting grindstone 100 of the present embodiment sandwiches the disc-shaped first grindstone layer 101 and the first grindstone layer 101 in the radial direction, and has a particle size larger than that of the first grindstone layer 101. And two second grindstone layers 101A and 101B containing fine abrasives and having an angle determined by the shape of the piezoelectric element 502 formed by cutting in the circumferential direction.

従って、本実施形態のインクジェットヘッド切削用砥石100によれば、圧電素子502にチッピングやクラックが生じず、基板501に必要な粗さを付与することが可能となるという効果がある。   Therefore, according to the inkjet head cutting grindstone 100 of the present embodiment, there is an effect that the piezoelectric element 502 is not chipped or cracked, and a necessary roughness can be imparted to the substrate 501.

いくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。   Although several embodiments have been described, these embodiments have been presented by way of example and are not intended to limit the scope of the invention. These embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the spirit of the invention. These embodiments and their modifications are included in the scope and gist of the invention, and are also included in the invention described in the claims and the equivalents thereof.

101:第1の砥石層
102A、102B:第2の砥石層
501:基板
502:圧電素子
101: First whetstone layer 102A, 102B: Second whetstone layer 501: Substrate 502: Piezoelectric element

Claims (4)

円盤状の第1の砥石層と、前記第1の砥石層を径方向に挟み、前記第1の砥石層が含有する研磨剤より細かい研磨剤を含有し、周方向の端部が切削により形成する圧電素子の形状によって定まる角度を有する2つの第2の砥石層と、を備えるインクジェットヘッド切削用砥石の前記第2の砥石層のみにより前記圧電素子を切削して断面形状に斜辺部を形成し、
前記第1の砥石層及び前記第2の砥石層により基板を切削して溝部を形成する
インクジェットヘッドの製造方法。
The disc-shaped first grindstone layer and the first grindstone layer are sandwiched in the radial direction, contain a finer abrasive than the abrasive contained in the first grindstone layer, and the end in the circumferential direction is formed by cutting The piezoelectric element is cut only by the second grindstone layer of an inkjet head cutting grindstone provided with two second grindstone layers having an angle determined by the shape of the piezoelectric element to form a hypotenuse in a cross-sectional shape ,
A method of manufacturing an ink jet head, wherein a groove is formed by cutting a substrate with the first grindstone layer and the second grindstone layer.
前記角度は、
切削によって形成する圧電素子の断面形状の斜辺と底辺とのなす角の角度を90°から差し引いた角度である請求項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
The angle is
The process according to claim 1 ink jet head, wherein the angle obtained by subtracting an angle from 90 ° of angle between hypotenuse and the base of the cross-sectional shape of the piezoelectric element formed by cutting.
前記第1の砥石層の厚さは、
切削によって形成される基板の溝部の底面の幅より薄い請求項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
The thickness of the first grindstone layer is
3. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 2, wherein the width of the bottom surface of the groove portion of the substrate formed by cutting is thinner.
前記圧電素子を切削して断面形状に前記斜辺部を形成し、前記基板を切削して前記溝部を形成した後、前記溝部にメッキを施す工程をさらに含む請求項1記載のインクジェットヘッドの製造方法。  The method of manufacturing an ink jet head according to claim 1, further comprising a step of cutting the piezoelectric element to form the oblique side portion in a cross-sectional shape, cutting the substrate to form the groove portion, and then plating the groove portion. .
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