JP5636012B2 - Inkjet head manufacturing method - Google Patents
Inkjet head manufacturing method Download PDFInfo
- Publication number
- JP5636012B2 JP5636012B2 JP2012046754A JP2012046754A JP5636012B2 JP 5636012 B2 JP5636012 B2 JP 5636012B2 JP 2012046754 A JP2012046754 A JP 2012046754A JP 2012046754 A JP2012046754 A JP 2012046754A JP 5636012 B2 JP5636012 B2 JP 5636012B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grindstone
- cutting
- layer
- piezoelectric element
- inkjet head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
本発明の実施形態は、インクジェットヘッド切削用砥石及びインクジェットヘッドの製造方法に関する。 Embodiments described herein relate generally to an inkjet head cutting grindstone and an inkjet head manufacturing method.
インクジェットプリンタのヘッドの製造工程には、基板上に圧電素子を取り付け、この圧電素子と基板とを予め決められた形状に切削する工程が含まれる。 The manufacturing process of the head of the ink jet printer includes a process of attaching a piezoelectric element on a substrate and cutting the piezoelectric element and the substrate into a predetermined shape.
ここで、基板は例えばアルミナによって形成され、圧電素子は例えばPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)によって形成され、互いに硬さが異なっている。 Here, the substrate is made of alumina, for example, and the piezoelectric element is made of PZT (lead zirconate titanate), for example, and have different hardnesses.
従来は、基板と圧電素子とを一つの砥石により切削していた。基板の切削に合わせて粗い砥石を用いると圧電素子にチッピングやクラックが発生する。圧電素子に合わせて細かい砥石を用いると、基板の切削面の粗さが不足し、メッキの密着力が弱まる。 Conventionally, the substrate and the piezoelectric element are cut with one grindstone. When a rough grindstone is used in accordance with the cutting of the substrate, chipping and cracks occur in the piezoelectric element. When a fine grindstone is used in accordance with the piezoelectric element, the cutting surface of the substrate is not sufficiently rough and the plating adhesion is weakened.
従って、砥石の粗さを選択することが困難であった。 Therefore, it has been difficult to select the roughness of the grindstone.
従って、圧電素子にチッピングやクラックが生じず、基板に必要な粗さを付与することが可能なインクジェットヘッド切削用砥石及びインクジェットヘッドの製造方法が求められている。 Therefore, there is a need for an inkjet head cutting grindstone and an inkjet head manufacturing method capable of imparting the required roughness to the substrate without causing chipping or cracks in the piezoelectric element.
上記の課題を解決するために、本発明の一実施形態は、円盤状の第1の砥石層と、第1の砥石層を径方向に挟み、第1の砥石層が含有する研磨剤より細かい研磨剤を含有し、周方向の端部が切削により形成する圧電素子の形状によって定まる角度を有する2つの第2の砥石層と、を備えるインクジェットヘッド切削用砥石の第2の砥石層のみにより圧電素子を切削して断面形状に斜辺部を形成し、第1の砥石層及び第2の砥石層により基板を切削して溝部を形成するインクジェットヘッドの製造方法を提供する。 In order to solve the above-mentioned problem, one embodiment of the present invention sandwiches a disk-shaped first grindstone layer and the first grindstone layer in the radial direction, and is finer than the abrasive contained in the first grindstone layer. And a second grinding wheel layer of an inkjet head cutting grindstone comprising an abrasive and two second grinding wheel layers having an angle determined by a shape of a piezoelectric element formed by cutting at a circumferential end. An inkjet head manufacturing method is provided in which a device is cut to form a hypotenuse in a cross-sectional shape, and a substrate is cut with a first grindstone layer and a second grindstone layer to form a groove .
以下、インクジェットヘッド切削用砥石及びインクジェットヘッドの製造方法の一実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。 Hereinafter, an embodiment of an inkjet head cutting grindstone and an inkjet head manufacturing method will be described in detail with reference to the drawings.
本実施形態のインクジェットヘッド切削用砥石は、円盤状の第1の砥石層と、第1の砥石層を径方向に挟み、第1の砥石層が含有する研磨剤より細かい研磨剤を含有し、周方向の端部が切削により形成する圧電素子の形状によって定まる角度を有する2つの第2の砥石層と、を備える。 The grindstone for cutting an inkjet head of the present embodiment includes a disc-shaped first grindstone layer and a first grindstone layer in the radial direction, and contains a finer abrasive than the abrasive contained in the first grindstone layer, Two second grindstone layers having an angle determined by a shape of a piezoelectric element formed by cutting at an end in the circumferential direction.
図1は、本実施形態に係るインクジェットヘッド切削用砥石100の平面図である。図2は、インクジェットヘッド切削用砥石100の図1におけるAA線断面図である。
FIG. 1 is a plan view of an inkjet
図1及び図2に示すように、インクジェットヘッド切削用砥石100は、円盤状の第1の砥石層101と、第1の砥石層101を径方向に挟み、第1の砥石層101より粒度の細かい研磨剤を含有し、周方向の端部が切削形成する圧電素子の形状によって定まる角度を有する2つの第2の砥石層101A、101Bと、を備える。
As shown in FIGS. 1 and 2, an inkjet
第1の砥石層101の一方の面に設けられる第2の砥石層101Aは、第1の砥石層101の他方の面に設けられる第2の砥石層101Bと厚さが等しく、形状は第1の砥石層101の厚さ方向の中心に対して対称な形状をなす。
The second grindstone layer 101A provided on one surface of the
図3は、インクジェットヘッド切削用砥石100の図2における点線によって囲んだ部分の拡大図である。図3に示すように、インクジェットヘッド切削用砥石100は、一方の第2の砥石層102Aの周方向の端部が第1の砥石層101に取り付けられる面に対して角度θAを有し、他方の第2の砥石層102Bの周方向の端部が第1の砥石層101に取り付けられる面に対して角度θBを有する。
FIG. 3 is an enlarged view of a portion surrounded by a dotted line in FIG. 2 of the
角度θAと角度θBとは大きさが等しく、これらの角度の大きさは切削して形成する圧電素子の斜辺と底辺のなす角度を90°から差し引いた角度と等しい。 The angle θA and the angle θB are equal in size, and the size of these angles is equal to the angle obtained by subtracting the angle formed by the hypotenuse and the base of the piezoelectric element formed by cutting from 90 °.
一方の第2の砥石層102A及び他方の第2の砥石層102Bは、ともに厚さW2を有する。
One
第1の砥石層101は、周方向の端部が径方向に対して平行、すなわち第2の砥石層102A、102Bが取り付けられる面に対して垂直な側面を有する。第1の砥石層101は、切削して形成する基板の溝部503の底面の幅と等しい厚さW1を有する。
The
図4は、応用例に係るインクジェットヘッド切削用砥石100の図2における点線によって囲んだ部分の拡大図である。図4に示すように、インクジェットヘッド切削用砥石100は、一方の第2の砥石層102Aの周方向の端部が第1の砥石層101に取り付けられる面に平行な面401Aに対して角度θAを有し、他方の第2の砥石層102Bの周方向の端部が第1の砥石層101に取り付けられる面に平行な面401Bに対して角度θBを有する。
FIG. 4 is an enlarged view of a portion surrounded by a dotted line in FIG. 2 of the
角度θAと角度θBとは大きさが等しく、これらの角度の大きさは切削して形成する圧電素子の斜辺と底辺のなす角度を90°から差し引いた角度と等しい。角度θAと角度θBとは、例えば45°である。 The angle θA and the angle θB are equal in size, and the size of these angles is equal to the angle obtained by subtracting the angle formed by the hypotenuse and the base of the piezoelectric element formed by cutting from 90 °. The angle θA and the angle θB are, for example, 45 °.
インクジェットヘッド切削用砥石100は、周方向の端部が径方向に対して平行、すなわち第2の砥石層102A、102Bが取り付けられる面に対して垂直な側面を有する。この側面は、切削して形成する基板の溝部503の底面の幅と等しい厚さW1を有する。
The inkjet
本応用例においては、第1の砥石層101は厚さW1より薄い厚さW3を有する。
In this application example, the
本応用例によれば、よりチッピングやクラックが圧電素子502に生じにくいという効果がある。
According to this application example, there is an effect that chipping and cracks are less likely to occur in the
図5は、インクジェットヘッドが備える基板501に圧電素子502を取り付けた状態を示す図である。図5に示すように、切削前は、基板501は平坦であり、圧電素子502はほぼ直方体をなす。基板501は例えばアルミナによって形成され、圧電素子502は例えばPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)によって形成される。基板501と圧電素子502とは硬さが異なっている。
FIG. 5 is a diagram illustrating a state in which the
図6は、切削が完了したインクジェットヘッドの基板501と圧電素子502の状態を示す図である。図6に示すように、切削後の圧電素子502は断面が台形をなし、この台形の斜辺と底辺とがなす角は大きさがθCである。
FIG. 6 is a diagram illustrating a state of the
すなわち、θAとθBとは90°からθCを差し引いた角度に等しい。 That is, θA and θB are equal to an angle obtained by subtracting θC from 90 °.
インクジェットヘッド切削用砥石100は第2の砥石層102A、102Bにより圧電素子502を切削する。
The inkjet
インクジェットヘッド切削用砥石100は第1の砥石層101及び第2の砥石層102A、102Bにより基板501を切削し、溝部503を形成する。溝部は底面が幅W1を有する。
The inkjet
図7は、第1の砥石層101及び第2の砥石層102A、102Bの粗さを示す図である。図7に示すように、第1の砥石層101は、粒度すなわち粗さは砥石番号200番以上270番以下が望ましく、砥石番号270番が最も望ましい。
FIG. 7 is a diagram illustrating the roughness of the
なお、砥石番号200番は、JISにおいては200/230であり、研磨剤の平均の粒径は74μmである。砥石番号270番は、JISにおいては270/325であり、研磨剤の平均の粒径は53μmである。
The
第2の砥石層102A、102Bは、粗さは砥石番号500番以上700番以下が望ましく、砥石番号600番が最も望ましい。
The roughness of the
なお、砥石番号500番は研磨剤の平均の粒径は30μmから36μmである。砥石番号600番は研磨剤の平均の粒径は25μmから35μmである。砥石番号700番は研磨剤の平均の粒径は22μmから30μmである。
In addition, as for the
以上述べたように、本実施形態のインクジェットヘッド切削用砥石100は、円盤状の第1の砥石層101と、第1の砥石層101を径方向に挟み、第1の砥石層101より粒度の細かい研磨剤を含有し、周方向の端部が切削形成する圧電素子502の形状によって定まる角度を有する2つの第2の砥石層101A、101Bと、を備える。
As described above, the inkjet
従って、本実施形態のインクジェットヘッド切削用砥石100によれば、圧電素子502にチッピングやクラックが生じず、基板501に必要な粗さを付与することが可能となるという効果がある。
Therefore, according to the inkjet
いくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。 Although several embodiments have been described, these embodiments have been presented by way of example and are not intended to limit the scope of the invention. These embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the spirit of the invention. These embodiments and their modifications are included in the scope and gist of the invention, and are also included in the invention described in the claims and the equivalents thereof.
101:第1の砥石層
102A、102B:第2の砥石層
501:基板
502:圧電素子
101:
Claims (4)
前記第1の砥石層及び前記第2の砥石層により基板を切削して溝部を形成する
インクジェットヘッドの製造方法。 The disc-shaped first grindstone layer and the first grindstone layer are sandwiched in the radial direction, contain a finer abrasive than the abrasive contained in the first grindstone layer, and the end in the circumferential direction is formed by cutting The piezoelectric element is cut only by the second grindstone layer of an inkjet head cutting grindstone provided with two second grindstone layers having an angle determined by the shape of the piezoelectric element to form a hypotenuse in a cross-sectional shape ,
A method of manufacturing an ink jet head, wherein a groove is formed by cutting a substrate with the first grindstone layer and the second grindstone layer.
切削によって形成する圧電素子の断面形状の斜辺と底辺とのなす角の角度を90°から差し引いた角度である請求項1記載のインクジェットヘッドの製造方法。 The angle is
The process according to claim 1 ink jet head, wherein the angle obtained by subtracting an angle from 90 ° of angle between hypotenuse and the base of the cross-sectional shape of the piezoelectric element formed by cutting.
切削によって形成される基板の溝部の底面の幅より薄い請求項2記載のインクジェットヘッドの製造方法。 The thickness of the first grindstone layer is
3. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 2, wherein the width of the bottom surface of the groove portion of the substrate formed by cutting is thinner.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012046754A JP5636012B2 (en) | 2012-03-02 | 2012-03-02 | Inkjet head manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012046754A JP5636012B2 (en) | 2012-03-02 | 2012-03-02 | Inkjet head manufacturing method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013180379A JP2013180379A (en) | 2013-09-12 |
JP5636012B2 true JP5636012B2 (en) | 2014-12-03 |
Family
ID=49271412
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012046754A Expired - Fee Related JP5636012B2 (en) | 2012-03-02 | 2012-03-02 | Inkjet head manufacturing method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5636012B2 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6285258B2 (en) * | 2014-04-07 | 2018-02-28 | 株式会社東芝 | Inkjet head |
CN110977796B (en) * | 2019-12-04 | 2021-08-17 | 上海新山田精密刀具有限公司 | Peripheral grinding wheel for coarse and fine grinding of PCBN blade |
-
2012
- 2012-03-02 JP JP2012046754A patent/JP5636012B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013180379A (en) | 2013-09-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102132175B1 (en) | Glass plate | |
TWI608900B (en) | Plate body processing method and plate body processing device | |
JP6095132B2 (en) | Sapphire laminate | |
JP5303643B2 (en) | Ultrasonic bonding tool, method for manufacturing ultrasonic bonding tool, ultrasonic bonding method, and ultrasonic bonding apparatus | |
JP2013012690A (en) | Processing method and processing device of semiconductor wafer, and semiconductor wafer | |
JP5648623B2 (en) | Carrier for double-side polishing apparatus, double-side polishing apparatus and double-side polishing method using the same | |
JP5456942B2 (en) | Manufacturing method of glass plate, manufacturing method of glass substrate for display, and glass plate | |
TW201318776A (en) | Processing device for board-shaped object and processing method for board-shaped object | |
KR20140142121A (en) | Polishing pad dresser and manufacturing method thereof, polishing pad dressing devcie and polishing system | |
JP2009536108A5 (en) | ||
JP5636012B2 (en) | Inkjet head manufacturing method | |
WO2019069847A1 (en) | Three-dimensional structure grindstone and manufacturing method therefor | |
JP2015104771A5 (en) | Manufacturing method of magnetic disk substrate and carrier for polishing treatment | |
JP6616922B1 (en) | Spacer, substrate laminate, substrate manufacturing method, and magnetic disk substrate manufacturing method | |
JP6605761B1 (en) | Abrasive | |
JP6156046B2 (en) | Semiconductor substrate and manufacturing method thereof | |
JP2015069674A (en) | Manufacturing method of magnetic disk glass substrate, and polishing treatment carrier | |
JP4259044B2 (en) | Cutting blade and blade surface machining method | |
JP2008055589A (en) | Grinding wheel used for polishing machine | |
JP7140373B2 (en) | whetstone | |
KR102297660B1 (en) | Polishing wheel for thin plate glass grinding | |
CN111318958B (en) | Film for holding glass substrate and method for polishing glass substrate | |
WO2021193970A1 (en) | Carrier and method for manufacturing substrate | |
TW201801857A (en) | Abrasive material | |
JP2012006124A (en) | Rotary elastic grinding wheel |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140220 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140304 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140425 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140930 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141017 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5636012 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |