JP5606002B2 - ガスクラスターイオンビーム照射装置及びガスクラスターイオンビーム照射方法 - Google Patents
ガスクラスターイオンビーム照射装置及びガスクラスターイオンビーム照射方法 Download PDFInfo
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また、本発明は、クラスターを生成するノズルと、前記クラスターをイオン化して加速するイオン化部と、前記ノズルが内部に配置され、開口部を有する第1の真空容器、及び前記第1の真空容器とは別体に形成され、前記イオン化部が内部に配置され、開口部を有する第2の真空容器を有し、前記第1の真空容器の開口部と前記第2の真空容器の開口部とが接続された真空チャンバーと、前記ノズルに対向して配置され、前記ノズルから生成された前記クラスターを前記第2の真空容器の開口部に向かわせるスキマーと、を備えたガスクラスターイオンビーム照射装置を用いて、ターゲットに前記クラスターを照射するガスクラスターイオンビーム照射方法において、前記第2の真空容器内の圧力を測定する測定工程と、前記測定工程による測定結果に基づいて前記スキマーの位置を調整する調整工程と、を備えたことを特徴とするものである。
図1は、本発明の第1実施形態に係るガスクラスターイオンビーム照射装置の概略構成を示す説明図である。ガスクラスターイオンビーム照射装置100は、2つの真空容器41,42からなる真空チャンバー40を備えている。真空チャンバー40の2つの真空容器41,42のうち、第1の真空容器41には、クラスター生成室1が形成され、第1の真空容器41と別体の第2の真空容器42には、ビーム制御室2及び照射室3が分割して形成されている。各部屋1,2,3には、真空ポンプ4,5,6が接続され、適切な真空度に減圧される。
次に第2実施形態のガスクラスターイオンビーム照射装置について説明する。なお、本第2実施形態において、上記第1実施形態と同一の構成については、同一符号を付して説明を省略する。図2(a)及び図2(b)に示すように、本第2実施形態の調整機構50Aは、面内移動部10と、スキマー4を、ノズル14から噴出したクラスター流の噴出方向に対して平行方向(矢印Z方向)に移動させる平行移動部11と、を備えている。平行移動部11は、スキマー7と一体に矢印Z方向に移動可能なZステージ11aと、Zステージ11aを移動操作するZステージ操作部としてZステージ11aに対角に配置された2つのマイクロメータ11bと、を有している。また、平行移動部11は、対角に配置された2つのリニアブッシュ11c及びリニアガイド11dを有している。
次に第3実施形態のガスクラスターイオンビーム照射装置について説明する。なお、本第3実施形態において、上記第1及び第2実施形態と同一の構成については、同一符号を付して説明を省略する。上記第1及び第2実施形態では、真空計32が真空封止のダイヤフラム型圧力計、ピエゾゲージなどの力学的な圧力計である場合について説明したが、本第3実施形態では、真空計をイオンゲージとした場合について説明する。図3に示すイオンゲージ17は、クラスターをイオン化させてイオン電流を測定するものであり、例えば、電子が飛び出すフィラメント、グリッド、イオンを集めるコレクタより構成される。イオンゲージ17は、可動式であり、ビーム制御室2内におけるクラスターの経路と、経路から外れる位置とに移動可能に配置される。また、このイオンゲージ17は、スキマー7のクラスター流噴出方向下流側(スキマー7の直後)に配置され、イオン化していないクラスターが照射される。つまり、本第3実施形態では、イオンゲージ17はスキマー7を通過したクラスターの量に対応する物理量としての電流を測定する。そして、XYステージ10a、Zステージ11aを動かしてスキマー7の位置を調整することで、イオンゲージ17の出力が変化する。
次に第4実施形態のガスクラスターイオンビーム照射装置について説明する。なお、本第4実施形態において、上記第1実施形態と同一の構成については、同一符号を付して説明を省略する。上記第1〜第3実施形態では、測定装置が、スキマーを通過したクラスターの量に対応する物理量を測定する真空計を備えた場合について説明した。これに対し、本第4実施形態では、図4に示すように、測定装置が、スキマーを通過したクラスターのサイズに対応する物理量を測定するクラスターサイズ測定部である測定器35を備える場合について説明する。
14 ノズル
16 イオン化室
40 真空チャンバー
50,50A 調整機構
100 ガスクラスターイオンビーム照射装置
Claims (9)
- クラスターをイオン化部にてイオン化して加速し、ターゲットにクラスターを照射するガスクラスターイオンビーム照射装置において、
開口部を有する第1の真空容器と、前記第1の真空容器とは別体に形成され、前記イオン化部が内部に配置され、開口部を有する第2の真空容器とを有し、前記第1の真空容器の開口部と前記第2の真空容器の開口部とが接続された真空チャンバーと、
前記第1の真空容器の内部に配置され、前記クラスターを生成するノズルと、
前記ノズルに対向して配置され、前記ノズルから生成された前記クラスターを前記第2の真空容器の開口部に向かわせるスキマーと、
前記第2の真空容器内の圧力を測定する真空計と、
前記真空計の測定結果に基づいて前記スキマーを移動可能な調整機構と、を備えたことを特徴とするガスクラスターイオンビーム照射装置。 - 前記調整機構は、前記スキマーを固定したプレートと、前記プレートを支持するステージと、前記ステージを移動させるマイクロメータと、を有することを特徴とする請求項1に記載のガスクラスターイオンビーム照射装置。
- 前記マイクロメータが手動式であることを特徴とする請求項2に記載のガスクラスターイオンビーム照射装置。
- 前記マイクロメータの操作量を制御する制御装置を備えたことを特徴とする請求項2に記載のガスクラスターイオンビーム照射装置。
- 前記第1の真空容器の開口部と前記第2の真空容器の開口部とを接続するためのベローズを備えたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のガスクラスターイオンビーム照射装置。
- 前記真空計は、ダイヤフラム型圧力計又はピエゾゲージであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のガスクラスターイオンビーム照射装置。
- クラスターを生成するノズルと、前記クラスターをイオン化して加速するイオン化部と、前記ノズルが内部に配置され、開口部を有する第1の真空容器、及び前記第1の真空容器とは別体に形成され、前記イオン化部が内部に配置され、開口部を有する第2の真空容器を有し、前記第1の真空容器の開口部と前記第2の真空容器の開口部とが接続された真空チャンバーと、前記ノズルに対向して配置され、前記ノズルから生成された前記クラスターを前記第2の真空容器の開口部に向かわせるスキマーと、を備えたガスクラスターイオンビーム照射装置を用いて、ターゲットに前記クラスターを照射するガスクラスターイオンビーム照射方法において、
前記第2の真空容器内の圧力を測定する測定工程と、
前記測定工程による測定結果に基づいて前記スキマーの位置を調整する調整工程と、を備えたことを特徴とするガスクラスターイオンビーム照射方法。 - 前記スキマーは、プレートに固定され、
前記調整工程では、前記プレートを移動して前記スキマーの位置を調整することを特徴とする請求項7に記載のガスクラスターイオンビーム照射方法。 - 前記調整工程では、前記圧力が最も高くなるように前記スキマーの位置を調整することを特徴とする請求項7または8に記載のガスクラスターイオンビーム照射方法。
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