JP5600072B2 - 接触トリガー測定プローブ - Google Patents
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- プローブハウジングに撓み可能に設置された触針ホルダーと、
前記プローブハウジングに対する前記触針ホルダーの撓みを感知するための1つ以上のセンサーと、
前記1つ以上のセンサーにより感知された撓みがトリガー条件を満足した時にトリガー信号を生成するプロセッサと、
前記測定プローブの加速度を測定するための加速度計と、を有し、
前記トリガー条件は、前記加速度計により測定された加速度に応じて、使用中に変更可能であるが、トリガー信号の発行は、前記加速度計により測定された加速度に応じて、全てが抑制されるわけではない、測定プローブ。 - 前記トリガー条件は、撓みしきい値を含み、
前記トリガー信号は、前記1つ以上のセンサーにより感知された撓みが前記撓みしきい値を越えている時に出力され、
前記撓みしきい値は、前記加速度計により測定された加速度に応じて、使用中に変更可能である請求項1に記載の測定プローブ。 - 複数のセンサーを含み、
前記トリガー条件は、複数の撓みしきい値を含み、
前記プロセッサは、複数のセンサーの各々により感知された撓みを前記複数の撓みしきい値の1つと別々に比較する、請求項1又は2に記載の測定プローブ。 - 複数のセンサーを含み、前記複数のセンサーより測定された前記撓みは、合成撓みを提供するために結合され、
前記トリガー条件は、合成撓みしきい値を含み、
前記トリガー信号は、前記合成撓みが前記合成撓みしきい値を越えている時に出力される、請求項1ないし3のいずれかに記載の測定プローブ。 - 前記トリガー条件は、撓みしきい値およびフィルタ遅延を含み、
前記トリガー信号は、出力される一以上のセンサーにより感知された前記撓みが、前記フィルタ遅延より長い間、前記撓みしきい値を継続的に越えるときに、出力され、
前記フィルタ遅延は、前記加速度計により測定された加速度に応じて使用中に変更可能である、請求項1ないし4のいずれかに記載の測定プローブ。 - 前記加速度計は、微小電気機械システム(MEMS)加速度計を含む、請求項1ないし4のいずれかに記載の測定プローブ。
- 前記加速度計は、3つの加速度計要素から形成され、当該3つの加速度計要素は、3つの相互に直交する軸線に沿った加速度を測定するように構成されている、請求項1ないし6のいずれかに記載の測定プローブ。
- 前記トリガー条件は、前記加速度計により測定された加速度の大きさおよび/または方向に応じて変更可能である、請求項1ないし7のいずれかに記載の測定プローブ。
- 前記プロセッサは、前記測定プローブが受ける動きのタイプを決定するために、前記加速度計により測定された前記加速度を分析するように構成され、
前記トリガー条件になされた変更は、前記プロセッサによって決定された動きのタイプに依存する、請求項8に記載の測定プローブ。 - プリセットされた複数のトリガー条件を保存するためのメモリーを含み、
前記プロセッサにより適用される前記トリガー条件は、前記加速度計により測定された前記加速度に基づいて、前記複数のプリセットされたトリガー条件から選択される、請求項1ないし9のいずれかに記載の測定プローブ。 - 前記複数のトリガー条件からトリガー条件を選択するために、前記プロセッサにより所定の規準が用いられる請求項10に記載の測定プローブ。
- 前記プロセッサは、第1のプロセッサ段階および第2のプロセッサ段階を含み、
前記第1のプロセッサ段階は、前記1つ以上のセンサーにより感知された撓みが第1のトリガー条件を満たしている時に、予備的なトリガー信号を生成し、
前記第2のプロセッサ段階は、前記予備的なトリガー信号を受信し、かつ、前記加速度計により感知された加速度が、加速度しきい値よりも低い場合には、前記予備的なトリガー信号の受信に基づいてトリガー信号を生成する、請求項1ないし11のいずれかに記載の測定プローブ。 - 前記加速度計により感知された加速度が前記加速度しきい値を超える場合には、前記第2のプロセッサ段階は、前記第1のプロセッサ段階により適用される前記第1のトリガー条件を修正し、および、前記1つ以上のセンサーにより感知された撓みが前記修正された第1のトリガー条件を満たしている際、前記第1のプロセッサ段階が予備的なトリガー信号を生成する場合には、トリガー信号のみを出力するように構成される、請求項12に記載の測定プローブ。
- 前記1つ以上のセンサーは、1つ以上のひずみゲージセンサーを含む、請求項1ないし13のいずれかに記載の測定プローブ。
- 前記トリガー信号を遠隔のプローブインタフェースに渡すための無線通信モジュールを含む、請求項1ないし14のいずれかに記載の測定プローブ。
- プローブ本体および加工物に接触するための撓み可能な触針を含む測定プローブの操作方法であって、
(i)前記プローブ本体に対する触針の撓みを測定するステップと、
(ii)ステップ(i)において測定された撓みがトリガー条件を満たしている時に、トリガー信号を出力するステップと、を含み、
前記測定プローブの加速度を測定し、および、前記測定された加速度に応じてステップ(ii)において用いられたトリガー条件を変更するステップをさらに含み、
前記トリガー条件を変更するステップでは、前記トリガー条件は、前記加速度計により測定された加速度に応じて、使用中に変更されるが、トリガー信号の発行は、前記加速度計により測定された加速度に応じて、全てが抑制されるわけではない、方法。
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