JP5595678B2 - Liquid crystal display - Google Patents
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Description
本発明は、液晶表示装置に係り、特に、いわゆるTFT基板側にカラーフィルタが設けられた液晶表示装置に関する。 The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly to a liquid crystal display device in which a color filter is provided on a so-called TFT substrate side.
液晶表示装置(パネル)は、液晶を挟持して対向配置される一対の基板を外囲器とし、各画素において、液晶の光透過率を独立に制御するようにして構成されている。このため、カラー表示の単位画素となる複数の画素は、それぞれ、色の異なるカラーフィルタが備えられ、これらカラーフィルタは、外囲器を構成する前記基板の液晶側の面に形成されている。 A liquid crystal display device (panel) is configured so that a pair of substrates opposed to each other with a liquid crystal interposed therebetween is used as an envelope, and the light transmittance of the liquid crystal is independently controlled in each pixel. For this reason, each of a plurality of pixels serving as unit pixels for color display is provided with color filters having different colors, and these color filters are formed on the liquid crystal side surface of the substrate constituting the envelope.
ここで、液晶表示装置の外囲器を構成する一対の基板のうち一方の基板(TFT基板と称される場合がある)には、液晶側の面において、隣接する画素の間を走行する信号線、画素を選択するスイッチング素子である薄膜トランジスタ、この薄膜トランジスタを通して映像信号が供給される画素電極等が形成されている。 Here, one of the pair of substrates constituting the envelope of the liquid crystal display device (sometimes referred to as a TFT substrate) is a signal that travels between adjacent pixels on the liquid crystal side surface. Thin film transistors which are switching elements for selecting lines and pixels, pixel electrodes to which video signals are supplied through the thin film transistors, and the like are formed.
前記カラーフィルタは、通常、前記TFT基板と対向する他の基板(対向基板と称される場合がある)に形成されているが、近年において、TFT基板側に設けたものが知られるに至っている。 The color filter is usually formed on another substrate (sometimes referred to as a counter substrate) facing the TFT substrate, but in recent years, the one provided on the TFT substrate side has been known. .
下記特許文献1ないし3は、いずれもTFT基板側にカラーフィルタが設けられた液晶表示装置が開示されている。特許文献1には、信号線(ソース線)の上面において、前記信号線の両脇に配置される色の異なるカラーフィルタ同士を重ね合わせた構成が示され、表(表1)には、前記信号線の幅と、カラーフィルタの他のカラーフィルタと重ね合わされる端辺のテーパ部の角度が示されている。特許文献2にも、信号線(ソース線:図中、幅14μmで示されている)の上面において、前記信号線の両脇に配置される色の異なるカラーフィルタ同士を重ね合わせた構成が示され、表(表1)には、前記信号線の幅と、カラーフィルタの他のカラーフィルタと重ね合わされる端辺のテーパ部の角度が示されている。特許文献3には、信号線の上面において、前記信号線の両脇に配置される色の異なるカラーフィルタ同士を重ね合わせた構成が示されている。しかし、前記信号線の幅と、カラーフィルタの他のカラーフィルタと重ね合わされる端辺のテーパ部の角度は具体的には示されていない。
しかし、前記特許文献1、2に開示された液晶表示装置は、いずれも、カラーフィルタの他のカラーフィルタと重ね合わされる端辺のテーパ部の角度が小さく構成されている。また、特許文献3には、カラーフィルタの上述したテーパ部の角度は具体的には開示されていないが、同様に小さいものと推定できる。
However, all of the liquid crystal display devices disclosed in
このことから、カラーフィルタの他のカラーフィルタとの重ね合わされた領域の幅は、前記テーパ部の小さい角度に応じて、大きくなってしまう。そして、カラーフィルタの他のカラーフィルタとの重ね合わされた領域は、比較的大きな段差が生じ、液晶と直接に接触する面に形成される配向膜に配向異常が生じるのを免れない。このため、たとえば下層の信号線の幅を大きくすることによって、上述した配向異常を遮光するようにしており、これにより、信号線によって囲まれる画素の領域が狭まり、画素の開口率の低下を招来することになる。 For this reason, the width of the region where the color filter is overlapped with the other color filter is increased according to the small angle of the tapered portion. In the region where the color filter is overlapped with another color filter, a relatively large step is generated, and it is inevitable that an alignment abnormality is generated in the alignment film formed on the surface in direct contact with the liquid crystal. For this reason, for example, by increasing the width of the signal line in the lower layer, the above-described alignment abnormality is shielded from light. As a result, the area of the pixel surrounded by the signal line is narrowed, resulting in a decrease in the aperture ratio of the pixel. Will do.
本発明の目的は、開口率の向上を図った液晶表示装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a liquid crystal display device with an improved aperture ratio.
本発明の液晶表示装置は、カラーフィルタの他のカラーフィルタと重ね合わされる端辺のテーパ部の角度を大きくし、それぞれのカラーフィルタの重ね合わされた領域の下層の信号線の幅を小さくするように構成したことにある。 In the liquid crystal display device of the present invention, the angle of the tapered portion of the edge that is overlapped with the other color filter of the color filter is increased, and the width of the signal line in the lower layer of the overlapped area of each color filter is decreased. It is in the configuration.
本発明の構成は、たとえば、以下のようなものとすることができる。 The configuration of the present invention can be as follows, for example.
(1)本発明の液晶表示装置は、液晶を挟持して対向配置される一対の基板のうち一方の基板の前記液晶側の面に、
第1方向に延在され前記第1方向と交差する第2方向に並設される遮光性材料からなるゲート信号線と、前記第2方向に延在され前記第1方向に並設される遮光性材料からなるドレイン信号線とが形成され、
一対の隣接するゲート信号線と一対の隣接するドレイン信号線に囲まれる領域を画素領域とし、これら画素領域に、少なくとも、前記ゲート信号線からの走査信号によってオンする薄膜トランジスタと、このオンされた薄膜トランジスタを通して前記ドレイン信号線からの映像信号が供給される画素電極とを備える液晶表示装置であって、
前記画素領域のそれぞれに、少なくとも、ゲート信号線、ドレイン信号線、前記薄膜トランジスタの上層に形成されたカラーフィルタを備え、
隣接するカラーフィルタにおいて、第1カラーフィルタと第2カラーフィルタとの重なり領域は、平面的に観て、前記ドレイン信号線あるいは前記ゲート信号線の形成領域内に配置され、
前記重なり領域に形成され、前記第1カラーフィルタの端部に位置する第1テーパ部と前記ドレイン信号線あるいは前記ゲート信号線の表面とのなす前記第1テーパ部のテーパ角は45°以上90°以下に設定され、前記重なり領域に形成され、前記第2カラーフィルタの端部に位置する第2テーパ部と前記重なり領域における前記第1カラーフィルタの表面とのなす前記第2テーパ部のテーパ角は45°以上90°以下に設定され、前記信号線の幅は1μm以上4μ以下に設定されており、
前記画素電極は、前記画素領域における前記重なり領域を除いた領域に形成されていることを特徴とする。
(1) The liquid crystal display device of the present invention is provided on the liquid crystal side surface of one of the pair of substrates opposed to each other with the liquid crystal interposed therebetween.
Gate signal lines made of a light-shielding material extending in the first direction and juxtaposed in the second direction intersecting the first direction, and light shielding extending in the second direction and juxtaposed in the first direction A drain signal line made of a conductive material,
A region surrounded by a pair of adjacent gate signal lines and a pair of adjacent drain signal lines is defined as a pixel region. A thin film transistor that is turned on by at least a scanning signal from the gate signal line in the pixel region, and the turned on thin film transistor A liquid crystal display device comprising a pixel electrode to which a video signal from the drain signal line is supplied,
Each of the pixel regions includes at least a gate signal line, a drain signal line, and a color filter formed in an upper layer of the thin film transistor,
In the adjacent color filter, the overlapping region of the first color filter and the second color filter is disposed in the drain signal line or the gate signal line formation region in plan view,
The taper angle of the first taper formed between the first taper formed in the overlapping region and located at the end of the first color filter and the surface of the drain signal line or the gate signal line is 45 ° or more 90 ° The taper of the second taper portion formed between the second taper portion that is set to be less than or equal to and formed in the overlap region and located at the end of the second color filter and the surface of the first color filter in the overlap region. The angle is set to 45 ° or more and 90 ° or less, and the width of the signal line is set to 1 μm or more and 4 μ or less .
The pixel electrode is formed in a region excluding the overlapping region in the pixel region .
(2)本発明の液晶表示装置は、液晶を挟持して対向配置される一対の基板のうち一方の基板の前記液晶側の面に、
第1方向に延在され前記第1方向と交差する第2方向に並設される遮光性材料からなるゲート信号線と、前記第2方向に延在され前記第1方向に並設される遮光性材料からなるドレイン信号線とが形成され、
一対の隣接するゲート信号線と一対の隣接するドレイン信号線に囲まれる領域を画素領域とし、これら画素領域に、少なくとも、前記ゲート信号線からの走査信号によってオンする薄膜トランジスタと、このオンされた薄膜トランジスタを通して前記ドレイン信号線からの映像信号が供給される画素電極とを備える液晶表示装置であって、
前記画素領域のそれぞれに、少なくとも、ゲート信号線、ドレイン信号線、前記薄膜トランジスタの上層に形成されたカラーフィルタを備え、
隣接するカラーフィルタにおいて、第1カラーフィルタと第2カラーフィルタとの重なり領域は、平面的に観て、前記ドレイン信号線あるいは前記ゲート信号線の線幅よりも狭く、前記ドレイン信号線あるいは前記ゲート信号線の形成領域内に配置され、
前記重なり領域に形成され、前記第1カラーフィルタの端部に位置する第1テーパ部と前記ドレイン信号線あるいは前記ゲート信号線の表面とのなす前記第1テーパ部のテーパ角は45°以上90°以下に設定され、前記重なり領域に形成され、前記第2カラーフィルタの端部に位置する第2テーパ部と前記重なり領域における前記第1カラーフィルタの表面とのなす前記第2テーパ部のテーパ角は45°以上90°以下に設定され、前記信号線の幅は1μm以上4μ以下に設定されていることを特徴とする。
(2) The liquid crystal display device of the present invention is provided on the liquid crystal side surface of one of the pair of substrates opposed to each other with the liquid crystal interposed therebetween.
Gate signal lines made of a light-shielding material extending in the first direction and juxtaposed in the second direction intersecting the first direction, and light shielding extending in the second direction and juxtaposed in the first direction A drain signal line made of a conductive material,
A region surrounded by a pair of adjacent gate signal lines and a pair of adjacent drain signal lines is defined as a pixel region. A thin film transistor that is turned on by at least a scanning signal from the gate signal line in the pixel region, and the turned on thin film transistor A liquid crystal display device comprising a pixel electrode to which a video signal from the drain signal line is supplied,
Each of the pixel regions includes at least a gate signal line, a drain signal line, and a color filter formed in an upper layer of the thin film transistor,
In the adjacent color filters, the overlapping region of the first color filter and the second color filter is narrower than the line width of the drain signal line or the gate signal line in plan view, and the drain signal line or the gate Placed in the signal line formation area,
The taper angle of the first taper formed between the first taper formed in the overlapping region and located at the end of the first color filter and the surface of the drain signal line or the gate signal line is 45 ° or more 90 ° The taper of the second taper portion formed between the second taper portion that is set to be less than or equal to and formed in the overlap region and located at the end of the second color filter and the surface of the first color filter in the overlap region. The angle is set to 45 ° to 90 °, and the width of the signal line is set to 1 μm to 4 μm.
(3)本発明の液晶表示装置は、(1)または(2)において、前記カラーフィルタのそれぞれの膜厚は1μ以上4μm以下に設定されていることを特徴とする。
(4)本発明の液晶表示装置は、(1)または(2)において、前記カラーフィルタのそれぞれの膜厚は1μ以上4μm以下に設定され、かつ、前記第1カラーフィルタと前記第2カラーフィルタの重なり部において1μm以下の段差を有することを特徴とする。
(3) The liquid crystal display device of the present invention is characterized in that, in (1) or (2), the thickness of each of the color filters is set to 1 μm or more and 4 μm or less.
( 4 ) In the liquid crystal display device of the present invention, in (1) or (2) , the thickness of each color filter is set to 1 μm or more and 4 μm or less, and the first color filter and the second color filter It has a step of 1 μm or less in the overlapping portion.
(5)本発明の液晶表示装置は、(1)ないし(4)のいずれかにおいて、前記第1カラーフィルタの第1テーパ部の先端は前記第2カラーフィルタの第2テーパ部に重畳していることを特徴とする。
( 5 ) In the liquid crystal display device of the present invention, in any one of (1) to ( 4 ), the tip of the first taper portion of the first color filter is overlapped with the second taper portion of the second color filter. It is characterized by being.
(6)本発明の液晶表示装置は、(1)ないし(5)のいずれかにおいて、前記重なり部領域に形成され、前記第1カラーフィルタの端部に位置する第1テーパ部と前記ドレイン信号線あるいは前記ゲート信号線の表面とのなす前記第1テーパ部のテーパ角は45°以上70°以下に設定され、前記重なり部領域に形成され、前記第2カラーフィルタの端部に位置する第2テーパ部と前記重なり領域における前記第1カラーフィルタの表面とのなす前記第2テーパ部のテーパ角は45°以上70°以下に設定されていることを特徴とする。
( 6 ) The liquid crystal display device of the present invention is the liquid crystal display device according to any one of (1) to ( 5 ), wherein the first taper portion formed in the overlap region and located at an end portion of the first color filter and the drain signal The taper angle of the first taper formed by the line or the surface of the gate signal line is set to 45 ° or more and 70 ° or less, and is formed in the overlap region and is located at the end of the second color filter. The taper angle of the second taper portion formed between the two taper portions and the surface of the first color filter in the overlapping region is set to 45 ° or more and 70 ° or less.
(7)本発明の液晶表示装置は、(1)ないし(6)のいずれかにおいて、前記カラーフィルタにおける顔料濃度は10%以上60%以下となっていることを特徴とする。
( 7 ) The liquid crystal display device of the present invention is characterized in that, in any one of (1) to ( 6 ), the pigment concentration in the color filter is 10% or more and 60% or less.
(8)本発明の液晶表示装置は、(1)ないし(7)のいずれかにおいて、前記第2カラーフィルタの顔料濃度は前記第1カラーフィルタの顔料濃度よりも小さいか等しいことを特徴とする。
( 8 ) In the liquid crystal display device of the present invention, in any one of (1) to ( 7 ), the pigment concentration of the second color filter is smaller than or equal to the pigment concentration of the first color filter. .
(9)本発明の液晶表示装置は、(1)ないし(8)のいずれかにおいて、前記カラーフィルタの比誘電率は3.0以上7.0以下であることを特徴とする。
( 9 ) In the liquid crystal display device of the present invention, in any one of (1) to ( 8 ), the color filter has a relative dielectric constant of 3.0 or more and 7.0 or less.
(10)本発明の液晶表示装置は、(1)ないし(9)のいずれかにおいて、前記カラーフィルタはアライナーあるいはステッパーによるフォトリソグラフィ技術による選択エッチング法で形成されていることを特徴とする。
( 10 ) In the liquid crystal display device of the present invention, in any one of (1) to ( 9 ), the color filter is formed by a selective etching method using a photolithographic technique using an aligner or a stepper.
なお、上記した構成はあくまで一例であり、本発明は、技術思想を逸脱しない範囲内で適宜変更が可能である。また、上記した構成以外の本発明の構成の例は、本願明細書全体の記載または図面から明らかにされる。 The above-described configuration is merely an example, and the present invention can be modified as appropriate without departing from the technical idea. Further, examples of the configuration of the present invention other than the above-described configuration will be clarified from the entire description of the present specification or the drawings.
本発明のその他の効果については、明細書全体の記載から明らかにされる。 Other effects of the present invention will become apparent from the description of the entire specification.
本発明の実施例を図面を参照しながら説明する。なお、各図および各実施例において、同一または類似の構成要素には同じ符号を付し、説明を省略する。 Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In each drawing and each example, the same or similar components are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
本発明の液晶表示装置は、液晶を挟持して対向配置される一対の基板のうち一方の基板の前記液晶側の面に、第1方向に延在され前記第1方向と交差する第2方向に並設される遮光性材料からなるゲート信号線と、前記第2方向に延在され前記第1方向に並設される遮光性材料からなるドレイン信号線とが形成され、一対の隣接するゲート信号線と一対の隣接するドレイン信号線に囲まれる領域を画素領域とし、これら画素領域に、少なくとも、前記ゲート信号線からの走査信号によってオンする薄膜トランジスタと、このオンされた薄膜トランジスタを通して前記ドレイン信号線からの映像信号が供給される画素電極とを備える。さらに、前記画素領域のそれぞれに、少なくとも、ゲート信号線、ドレイン信号線、前記薄膜トランジスタの上層に形成されたカラーフィルタを備える。また、隣接する色の異なるカラーフィルタにおいて、一方のカラーフィルタである第1カラーフィルタは、平面的に観て、前記ドレイン信号線あるいは前記ゲート信号線の形成領域からはみ出すことなく他方のカラーフィルタである第2カラーフィルタに重ねて配置される。前記第1カラーフィルタの前記第2カラーフィルタと重なる部分には第1テーパ部が形成される。前記第2カラーフィルタの前記第1カラーフィルタに重ねられた部分には第2テーパ部が形成される。第1テーパ部のテーパ角は前記ドレイン信号線あるいは前記ゲート信号線の表面を基準にして45°以上90°以下に設定され、前記重なり部領域に形成される前記第2カラーフィルタの第2テーパ部のテーパ角は前記第1カラーフィルタの表面を基準にして45°以上90°以下に設定され、前記信号線の幅は1μm以上4μ以下に設定される。 The liquid crystal display device of the present invention has a second direction that extends in the first direction and intersects the first direction on the liquid crystal side surface of one of the pair of substrates opposed to each other with the liquid crystal interposed therebetween. And a pair of adjacent gates formed with a gate signal line made of a light-shielding material arranged in parallel and a drain signal line made of a light-shielding material extended in the second direction and arranged in parallel in the first direction. A region surrounded by a signal line and a pair of adjacent drain signal lines is defined as a pixel region, a thin film transistor that is turned on by at least a scanning signal from the gate signal line in the pixel region, and the drain signal line through the turned on thin film transistor And a pixel electrode to which a video signal is supplied. Further, each of the pixel regions includes at least a gate signal line, a drain signal line, and a color filter formed on an upper layer of the thin film transistor. In addition, in the adjacent color filters of different colors, the first color filter which is one color filter is a color filter of the other without protruding from the formation region of the drain signal line or the gate signal line in a plan view. Overlaid on a certain second color filter. A first taper portion is formed at a portion of the first color filter that overlaps the second color filter. A second taper portion is formed on a portion of the second color filter that overlaps the first color filter. The taper angle of the first taper portion is set to 45 ° or more and 90 ° or less with respect to the surface of the drain signal line or the gate signal line, and the second taper of the second color filter formed in the overlap region. The taper angle of the portion is set to 45 ° to 90 ° with respect to the surface of the first color filter, and the width of the signal line is set to 1 μm to 4 μm.
〈画素の構成〉
図2は、本発明の液晶表示装置の画素の構成を示した平面図で、前記液晶表示装置はその適用製品が2.0形、VGA(400ppi)となっている。図2に示す画素はマトリックス状に配置された複数の画素のうちの一つを示している。このため、図示の画素に対して上下左右には同じ構成の画素が形成されている。また、図1は、液晶を挟持して対向配置される一対の基板のうちいわゆるTFT基板と称される基板に形成された画素を示している。なお、図1は、図2のI−I線における断面図を示している。
<Pixel configuration>
FIG. 2 is a plan view showing the configuration of the pixel of the liquid crystal display device of the present invention. The liquid crystal display device is a 2.0 type, VGA (400 ppi) product. The pixel shown in FIG. 2 shows one of a plurality of pixels arranged in a matrix. For this reason, pixels having the same configuration are formed vertically and horizontally with respect to the illustrated pixel. FIG. 1 shows a pixel formed on a so-called TFT substrate among a pair of substrates arranged to face each other with a liquid crystal interposed therebetween. FIG. 1 shows a cross-sectional view taken along the line II in FIG.
図2において、基板SUB1(図1参照)の表面に、たとえばポリシリコンからなる半導体層PSが島状に形成されている。この半導体層PSは薄膜トランジスタTFTの半導体層となるもので、中央において屈曲部を有し両端において面積の大きな部分を備えたパターンで構成されている。なお、薄膜トランジスタTFTは後述するゲート電極が半導体層PSよりも上層に形成されるいわゆるトップゲート型の構造からなるMIS(Metal Insulator Semiconductor)トランジスタとなっている。 In FIG. 2, a semiconductor layer PS made of, for example, polysilicon is formed in an island shape on the surface of a substrate SUB1 (see FIG. 1). The semiconductor layer PS is a semiconductor layer of the thin film transistor TFT, and is configured by a pattern having a bent portion at the center and a large area at both ends. The thin film transistor TFT is a MIS (Metal Insulator Semiconductor) transistor having a so-called top gate type structure in which a gate electrode described later is formed above the semiconductor layer PS.
基板SUB1の表面には、半導体層PSをも被って絶縁膜GI(図1参照)が形成されている。この絶縁膜GIは薄膜トランジスタTFTの形成領域において前記薄膜トランジスタTFTのゲート絶縁膜として機能するようになっている。
An insulating film GI (see FIG. 1) is formed on the surface of the substrate SUB1 so as to cover the semiconductor layer PS. The insulating film GI functions as a gate insulating film of the thin film transistor TFT and have contact to the formation region of the thin film transistor TFT.
絶縁膜GIの表面には、図中x方向に延在しy方向に並設されるゲート信号線GLが形成されている。これらゲート信号線GLは遮光性材料によって形成されている。これらゲート信号線GLは、図中y方向に並設される各画素の間を走行するようにして形成される。また、ゲート信号線GLは、それ自体が前記半導体層PSの一部を交差するようにして形成されるとともに、前記半導体層PSの他の部分を交差する突起部(図中符号GLpjで示す)を有している。これにより、ゲート信号線GLは半導体層PSと交差する部分において薄膜トランジスタTFTのゲート電極(ダブルゲート)としての機能を有するようになっている。なお、半導体層PSは、ゲート信号線GLの形成後において前記ゲート電極をマスクとして不純物がドープされることにより、前記ゲート電極の直下の領域に薄膜トランジスタTFTのチャネル領域等が形成されるようになっている。 On the surface of the insulating film GI, gate signal lines GL extending in the x direction in the drawing and arranged in parallel in the y direction are formed. These gate signal lines GL are formed of a light shielding material. These gate signal lines GL are formed so as to run between the pixels arranged in parallel in the y direction in the drawing. Further, the gate signal line GL is formed so as to intersect with a part of the semiconductor layer PS, and a protrusion (indicated by reference numeral GLpj in the drawing) that intersects with another part of the semiconductor layer PS. have. As a result, the gate signal line GL has a function as a gate electrode (double gate) of the thin film transistor TFT at a portion intersecting the semiconductor layer PS. The semiconductor layer PS is doped with impurities using the gate electrode as a mask after the formation of the gate signal line GL, so that a channel region of the thin film transistor TFT or the like is formed in a region immediately below the gate electrode. ing.
絶縁膜GIの表面には、ゲート信号線GLをも被って層間絶縁膜IN1(図1参照)が形成され、この層間絶縁膜IN1の上面には、図中y方向に延在しx方向に並設されるドレイン信号線DLが形成されている。これらドレイン信号線DLは遮光性材料によって形成されている。これらドレイン信号線DLは、図中x方向に並設される各画素の間を走行するようにして形成される。ここで、ドレイン信号線DLは、その幅Wをたとえば3μmと従来に比較して大幅に狭くしている。これにより、画素の領域を広くし、画素の開口率を向上させんとするためである。ドレイン信号線DLは、前記半導体層PSの一端の面積が大きく形成された領域上に形成され、層間絶縁膜IN1に予め形成されたスルーホールTH1を通して前記半導体層PSの一端に電気的に接続されている。ドレイン信号線DLの半導体層PSと電気的に接続された部分は薄膜トランジスタTFTのドレイン電極DTとして機能するようになっている。 An interlayer insulating film IN1 (see FIG. 1) is formed on the surface of the insulating film GI so as to cover the gate signal line GL. The upper surface of the interlayer insulating film IN1 extends in the y direction in the drawing and extends in the x direction. Parallel drain signal lines DL are formed. These drain signal lines DL are formed of a light shielding material. These drain signal lines DL are formed so as to run between the pixels arranged in parallel in the x direction in the drawing. Here, the drain signal line DL has a width W of, for example, 3 μm, which is significantly narrower than the conventional one. This is to increase the pixel area and improve the pixel aperture ratio. The drain signal line DL is formed on a region where the area of one end of the semiconductor layer PS is large, and is electrically connected to one end of the semiconductor layer PS through a through hole TH1 previously formed in the interlayer insulating film IN1. ing. A portion of the drain signal line DL that is electrically connected to the semiconductor layer PS functions as the drain electrode DT of the thin film transistor TFT.
また、ドレイン信号線DLの形成の際には、前記半導体層PSの他端の面積が大きく形成された領域上に薄膜トランジスタTFTのソース電極STが形成され、このソース電極STは層間絶縁膜IN1に予め形成されたスルーホールTH2を通して前記半導体層PSの他端に電気的に接続されている。このソース電極STは後述の画素電極PXと接続されるようになっている。 When the drain signal line DL is formed, the source electrode ST of the thin film transistor TFT is formed on a region where the area of the other end of the semiconductor layer PS is large, and the source electrode ST is formed on the interlayer insulating film IN1. It is electrically connected to the other end of the semiconductor layer PS through a previously formed through hole TH2. The source electrode ST is connected to a pixel electrode PX described later.
このように薄膜トランジスタTFTのドレイン信号線DL(ドレイン電極DT)、およびソース電極STが形成された層間絶縁膜IN1の表面には、ドレイン信号線DL(ドレイン電極DT)、およびソース電極STをも被って保護膜PAS(図1参照)が形成されている。この保護膜PASはたとえば薄膜トランジスタTFTの液晶との接触を回避するために形成され、たとえば無機絶縁膜PAS1(図1参照)および有機絶縁膜PAS2(図1参照)の2層構造からなっている。 Thus, the surface of the interlayer insulating film IN1 on which the drain signal line DL (drain electrode DT) and the source electrode ST of the thin film transistor TFT are formed also covers the drain signal line DL (drain electrode DT) and the source electrode ST. Thus, a protective film PAS (see FIG. 1) is formed. The protective film PAS is formed, for example, to avoid contact with the liquid crystal of the thin film transistor TFT, and has a two-layer structure of, for example, an inorganic insulating film PAS1 (see FIG. 1) and an organic insulating film PAS2 (see FIG. 1).
ここで、有機絶縁膜PAS2は、たとえば樹脂材から構成され、カラーフィルタCFを兼ねた構成となっている。カラーフィルタCFは、図2において、たとえば図中y方向に並設される各画素の画素群に対して同色となっており、前記各画素を被った帯状のパターンで形成されている。そして、このような帯状のパターンからなるカラーフィルタCFは、図中x方向に、たとえば、青色(B)のカラーフィルタCF(図中符号CF(B)で示す)、赤色(R)のカラーフィルタCF(図中符号CF(R)で示す)、緑色(G)のカラーフィルタ(図中符号CF(G)で示す)の順で、繰り返し配置されるようになっている。図2に示す画素は、たとえば、その左右に隣接する2つの画素とともにカラー表示用の単位画素を構成するようになっている。図2に示すカラーフィルタCF(R)は、図中左側に隣接するカラーフィルタCF(B)とドレイン信号線DL(図中符号DL(DLl)で示す)上において重なり部(色重ね部)を有し、図中右側に隣接するカラーフィルタCF(G)とドレイン信号線DL(図中符号DL(DLr)で示す)上において重なり部(色重ね部)を有するようになっている。なお、このカラーフィルタCFの構成については後に詳述する。 Here, the organic insulating film PAS2 is made of, for example, a resin material, and has a structure that also serves as the color filter CF. In FIG. 2, for example, the color filter CF has the same color as the pixel group of each pixel arranged in parallel in the y direction in the drawing, and is formed in a strip-like pattern covering each pixel. The color filter CF composed of such a band-like pattern is, for example, a blue (B) color filter CF (indicated by reference symbol CF (B) in the drawing) or a red (R) color filter in the x direction in the drawing. They are repeatedly arranged in the order of CF (indicated by reference symbol CF (R) in the figure) and green (G) color filter (indicated by reference symbol CF (G) in the figure). The pixel shown in FIG. 2 constitutes a unit pixel for color display together with, for example, two adjacent pixels on the left and right. The color filter CF (R) shown in FIG. 2 has an overlapping portion (color overlapping portion) on the color filter CF (B) adjacent to the left side in the drawing and the drain signal line DL (indicated by reference symbol DL (DLl) in the drawing). And has an overlapping portion (color overlapping portion) on the color filter CF (G) and the drain signal line DL (indicated by reference symbol DL (DLr) in the drawing) adjacent to the right side in the drawing. The configuration of the color filter CF will be described in detail later.
保護膜PAS2を兼ねるカラーフィルタCFの上面には、たとえばITO(Indium Tin Oxide)の透明導電膜からなる対向電極CTが形成されている。この対向電極CTは、各画素においてほぼ全域を被う面状の電極として形成され、たとえば、ドレイン信号線DLを跨って図中x方向に並設される各画素に共通に形成されている。この対向電極CTには表示領域の外側から映像信号に対して基準となる基準信号が供給されるようになっている。 On the upper surface of the color filter CF that also serves as the protective film PAS2, a counter electrode CT made of, for example, a transparent conductive film made of ITO (Indium Tin Oxide) is formed. The counter electrode CT is formed as a planar electrode covering almost the entire region in each pixel, and is formed in common for each pixel arranged in parallel in the x direction in the figure across the drain signal line DL, for example. A reference signal serving as a reference for the video signal is supplied to the counter electrode CT from the outside of the display area.
対向電極CTが形成された表面には前記対向電極CTをも被って層間絶縁膜IN2(図1参照)が形成され、この層間絶縁膜IN2の表面には、画素ごとにたとえばITOからなる画素電極PXが形成されている。画素電極PXは、たとえば図中y方向に延在しx方向に並設される複数(図中ではたとえば2個)の線状の電極から構成されている。そして、これら電極の同方向の各端部はそれぞれ互いに接続されたパターンとなっている。複数の電極を同電位にするためである。また、画素電極PXは、薄膜トランジスタTFT側の端部において、予め形成された層間絶縁膜IN2、保護膜PAS2(カラーフィルタCF)、保護膜PAS1に形成されたスルーホールTH3を通して薄膜トランジスタTFTのソース電極STと電気的に接続されている。 An interlayer insulating film IN2 (see FIG. 1) is formed on the surface on which the counter electrode CT is formed so as to cover the counter electrode CT. A pixel electrode made of, for example, ITO is formed on the surface of the interlayer insulating film IN2 for each pixel. PX is formed. The pixel electrode PX is composed of, for example, a plurality of (for example, two in the drawing) linear electrodes extending in the y direction in the drawing and arranged in parallel in the x direction. The end portions of these electrodes in the same direction are connected to each other. This is because a plurality of electrodes have the same potential. The pixel electrode PX is connected to the source electrode ST of the thin film transistor TFT through the interlayer insulating film IN2, the protective film PAS2 (color filter CF), and the through hole TH3 formed in the protective film PAS1 at the end on the thin film transistor TFT side. And are electrically connected.
なお、図1では、図示していないが、層間絶縁膜IN2上には画素電極PXをも被って配向膜が形成され、この配向膜は液晶と直接に接触されて、液晶の分子の初期配向方向を決定するようになっている。 Although not shown in FIG. 1, an alignment film is formed on the interlayer insulating film IN2 so as to cover the pixel electrode PX, and this alignment film is in direct contact with the liquid crystal, thereby initial alignment of liquid crystal molecules. The direction is decided.
〈カラーフィルタCFの構成〉
図1に示すように、カラーフィルタCFは、第1カラーフィルタと第2カラーフィルタと第3カラーフィルタを備える。また、この実施例1の場合、たとえば第1カラーフィルタを青色フィルタCF(B)、第2カラーフィルタを赤色フィルタCF(R)、第3カラーフィルタを緑色フィルタCF(G)とした。カラーフィルタは、青色(B)のカラーフィルタCF(B)、赤色(R)のカラーフィルタCF(R)、および緑色(G)のカラーフィルタCF(G)の順序で形成されている。これらのカラーフィルタCFは、いずれも、膜厚が2.0μmとなっている。この場合、ドレイン信号線DL上において色の異なるカラーフィルタCF同士が重なりを有して配置される。
<Configuration of color filter CF>
As shown in FIG. 1, the color filter CF includes a first color filter, a second color filter, and a third color filter. In the first embodiment, for example, the first color filter is a blue filter CF (B), the second color filter is a red filter CF (R), and the third color filter is a green filter CF (G). The color filters are formed in the order of a blue (B) color filter CF (B), a red (R) color filter CF (R), and a green (G) color filter CF (G). Each of these color filters CF has a film thickness of 2.0 μm. In this case, the color filters CF having different colors are arranged on the drain signal line DL so as to overlap each other.
図1において、DLrは赤色用画素にデータ信号を送るドレイン信号線、DLgは緑色用画素にデータ信号を送るドレイン信号線である。 In FIG. 1, DLr is a drain signal line for sending a data signal to the red pixel, and DLg is a drain signal line for sending a data signal to the green pixel.
赤用ドレイン信号線DLr上において、青色フィルタCF(B)上には赤色フィルタCF(R)が重ねられる。緑用ドレイン信号線DLg上において、赤色フィルタCF(R)上には緑色フィルタCF(G)が重ねられる。また、図1には示していないが、青色用ドレイン信号線上においては、青色フィルタCF(B)の上に緑色フィルタCF(G)が重ねられる。画像表示領域では、このような各色のカラーフィルタが繰り返した状態で配置されている。また、第1カラーフィルタの両端部には、断面で見た際に、テーパ角θ1を持つテーパ部が形成される。第2カラーフィルタの一端部には、断面で見た際に、第1カラーフィルタとの重ね合せ部でテーパ角θ21を持つテーパ部が形成され、第2カラーフィルタの他端部には、断面で見た際に、テーパ角θ22を持つテーパ部が形成される。第3カラーフィルタの一端部には、断面で見た際に、第2カラーフィルタとの重ね合せ部でテーパ角θ31を持つテーパ部が形成され、第3カラーフィルタの他端部には、断面で見た際に、第1カラーフィルタとの重ね合せ部でテーパ部が形成される。各カラーフィルタの重なり部領域はドレイン信号線の線幅より狭い領域に形成される。 On the red drain signal line DLr, the red filter CF (R) is overlaid on the blue filter CF (B). On the green drain signal line DLg, the green filter CF (G) is overlaid on the red filter CF (R). Although not shown in FIG. 1, on the blue drain signal line, the green filter CF (G) is superimposed on the blue filter CF (B). In the image display area, the color filters of the respective colors are arranged in a repeated state. Further, at both ends of the first color filter, a tapered portion having a taper angle θ1 when formed in a cross section is formed. When viewed in cross section, a taper portion having a taper angle θ21 is formed at one end portion of the second color filter when overlapped with the first color filter, and a cross section is formed at the other end portion of the second color filter. When seen in FIG. 2, a tapered portion having a taper angle θ22 is formed. When viewed in cross section, a taper portion having a taper angle θ31 is formed at one end portion of the third color filter when overlapped with the second color filter, and a cross section is formed at the other end portion of the third color filter. When viewed in the above, a tapered portion is formed at the overlapping portion with the first color filter. The overlapping region of each color filter is formed in a region narrower than the line width of the drain signal line.
なお、本実施例ではドレイン信号線上に重ね合せ領域を配置するが、ゲート信号線に重なり部領域を配置した場合も同様の構成として良い。
While this embodiment is arranged to fit the area superimposed on the drain signal line, as good as similar configuration when disposed overlapping region to the gate signal line.
青色フィルタCF(B)の端部は、赤色フィルタCF(R)が形成される画素側における前記ドレイン信号線DLrの端部からはみ出すことなく形成されているともに、前記ドレイン信号線DLrの表面を基準にして角度θ1(=45°)をもつテーパが形成されている(前記角度θ1をテーパ角と称する場合がある)。青色フィルタCF(B)において上記のテーパ角θ1を得るには、樹脂材に青色顔料を30%含有させ、フォトリソグラフィ技術による選択エッチングを施すことによって得られる。すなわち、テーパ角θ1は顔料の含有量によって制御することができる。
The end of the blue filter CF (B) is formed without protruding from the end of the drain signal line DLr on the pixel side where the red filter CF (R) is formed, and the surface of the drain signal line DLr is covered. taper having an angle .theta.1 (= 45 °) with respect are formed (the angle .theta.1 is sometimes referred to as taper angle). In order to obtain the taper angle θ1 in the blue filter CF (B), 30% of the blue pigment is contained in the resin material, and is obtained by performing selective etching by a photolithography technique. That is, the taper angle θ1 can be controlled by the pigment content.
赤色フィルタCF(R)の端部は、青色フィルタCF(B)が形成された画素側における前記ドレイン信号線DLlの端部からはみ出すことなく形成されている。さらに、赤色フィルタのテーパ部のテーパ角θ21は前記第1カラーフィルタの表面を基準にして50°に設定されている(前記角度θ21をテーパ角と称する場合がある)。赤色フィルタCF(R)において上記のテーパ角θ21を得るには、樹脂材に赤色顔料を30%含有させ、フォトリソグラフィ技術による選択エッチングを施すことによって得られる。この場合のフォトリソグラフィ技術はアライナーあるいはステッパーによる方法を採用することによって精度よく加工することができる。なお、赤色フィルタCF(R)の他方の端部は前記ドレイン信号線DLrに隣接するドレイン信号線DL(図中符号DLgで示す)上に形成される。緑色フィルタCF(G)が形成される画素側における前記ドレイン信号線DLrの端部からはみ出すことなく形成されているともに、前記ドレイン信号線DLrの表面を基準にして角度θ22(=50°)をもつテーパが形成されるようになる。 The end of the red filter CF (R) is formed without protruding from the end of the drain signal line DLl on the pixel side where the blue filter CF (B) is formed. Further, the taper angle θ21 of the taper portion of the red filter is set to 50 ° with reference to the surface of the first color filter (the angle θ21 may be referred to as a taper angle). In order to obtain the taper angle θ21 in the red filter CF (R), the resin material is obtained by containing 30% of a red pigment and performing selective etching by a photolithography technique. The photolithographic technique in this case can be processed with high accuracy by adopting a method using an aligner or a stepper. The other end of the red filter CF (R) is formed on a drain signal line DL (indicated by reference sign DLg in the figure) adjacent to the drain signal line DLr. The green filter CF (G) is formed without protruding from the end of the drain signal line DLr on the pixel side where the green filter CF (G) is formed, and an angle θ22 (= 50 °) is defined with respect to the surface of the drain signal line DLr. A taper is formed.
緑色フィルタCF(G)の端部は、カラーフィルタCF(R)が形成された画素側における前記ドレイン信号線DLlの端部からはみ出すことなく形成されている。また、前記ドレイン信号線DLgの表面を基準して角度θ3(=60°)をもつテーパが形成されている(前記角度θ3をテーパ角と称する場合がある)。緑色フィルタCF(G)において上記のテーパ角θ3を得るには、樹脂材に青色顔料を40%含有させ、フォトリソグラフィ技術による選択エッチングを施すことによって得られる。 The end of the green filter CF (G) is formed without protruding from the end of the drain signal line DLl on the pixel side where the color filter CF (R) is formed. Further, a taper having an angle θ3 (= 60 °) with respect to the surface of the drain signal line DLg is formed (the angle θ3 may be referred to as a taper angle). In order to obtain the taper angle θ3 in the green filter CF (G), 40% of a blue pigment is contained in the resin material and selective etching is performed by a photolithography technique.
このように構成したカラーフィルタCFは、その端部におけるテーパ角を比較的大きく形成することにより、隣接する色の異なるカラーフィルタCF同士を重ねて形成しても、その重ねられた部分の領域(重なり領域)は比較的幅を小さくできる。そして重なり領域はドレイン信号線DLの幅W(=3μm)の領域内に納めることができるようになる。このことから、ドレイン信号線DLの幅を上述した値に狭めることができ、画素の開口率を向上させることができる。 The color filter CF configured as described above has a relatively large taper angle at the end thereof, so that even if adjacent color filters CF of different colors are overlapped with each other, the overlapping portion region ( The width of the overlapping region can be made relatively small. The overlapping region can be accommodated in a region having a width W (= 3 μm) of the drain signal line DL. Thus, the width of the drain signal line DL can be reduced to the above-described value, and the aperture ratio of the pixel can be improved.
なお、上述のように構成した場合において、色の異なる各カラーフィルタCFの重なり部において生じる段差を大幅に小さくすることができることが確かめられる。図3は、図中左側からカラーフィルタCF(B)、カラーフィルタCF(R)、カラーフィルタCF(G)、およびカラーフィルタCF(B)が順次重なりをもって隣接していることを示す図である。図3に示すように、カラーフィルタCF(B)上のカラーフィルタCF(R)における段差DL1は0.4μm、カラーフィルタCF(B)上のカラーフィルタCF(G)における段差DL2は0.6μm、カラーフィルタCF(R)上のカラーフィルタCF(G)における段差DL3は0.8μmであった。これらの段差は、従来に比して大幅に小さくすることができ、液晶と直接に接触する面に形成される配向膜に配向異常が生じる範囲を前記ドレイン信号線DLの幅W(=3μm)内に納めることができるようになる。また、図2、図3において、上層のカラーフィルタの端部は、下層のカラーフィルタの平坦部(信号配線の上面と平行な面)にまで及んでいる。 Note that, in the case of the configuration as described above, it can be confirmed that the step generated in the overlapping portion of the color filters CF having different colors can be greatly reduced. FIG. 3 is a diagram showing that the color filter CF (B), the color filter CF (R), the color filter CF (G), and the color filter CF (B) are adjacent to each other with overlapping in order from the left side in the drawing. . As shown in FIG. 3, the step DL1 in the color filter CF (R) on the color filter CF (B) is 0.4 μm, and the step DL2 in the color filter CF (G) on the color filter CF (B) is 0.6 μm. The step DL3 in the color filter CF (G) on the color filter CF (R) was 0.8 μm. These steps can be made much smaller than in the prior art, and the width of the drain signal line DL is set to a width W (= 3 μm) within the range in which the alignment abnormality occurs in the alignment film formed on the surface in direct contact with the liquid crystal. To be able to fit in. 2 and 3, the end of the upper color filter extends to the flat portion of the lower color filter (a surface parallel to the upper surface of the signal wiring).
なお、このように実施例1に示した構成において、適用製品、TFT配線幅(ドレイン信号線DLの幅)、開口率(画素の開口率)、GRB積層順(各カラーフィルタの積層順)、GRB特性(各カラーフィルタの特性)、色重ね段差(各カラーフィルタの重なりにおける段差)を順次抽出して記載すると、下記の表1において、実施例1に該当する行に示す結果となる。
すなわち、図2に示したように、色の異なる各カラーフィルタCFの形成順序を、カラーフィルタCF(B)、カラーフィルタCF(R)、カラーフィルタCF(G)としている。この場合、カラーフィルタCF(G)の顔料濃度を40%、膜厚を2.0μmとした場合、比誘電率は3.7となるともに、端辺のテーパ角θ3は60°に、カラーフィルタCF(R)の顔料濃度を30%、膜厚を2.0μmとした場合、比誘電率は3.5となるともに、端辺のテーパ角θ2は50°に、カラーフィルタCF(B)の顔料濃度を30%、膜厚を2.0μmとした場合、比誘電率は3.6となるともに、端辺のテーパ角θ1は50°になる。また、カラーフィルタCF(B)上におけるカラーフィルタCF(R)の段差は0.4μm、カラーフィルタCF(B)上におけるカラーフィルタCF(G)の段差は0.6μm、カラーフィルタCF(R)上におけるカラーフィルタCF(G)の段差は0.8μmとなる。このようにすることによって、画素の開口率を65%とすることができた。 That is, as shown in FIG. 2, the color filter CF (B), the color filter CF (R), and the color filter CF (G) are formed in the order in which the color filters CF having different colors are formed. In this case, when the color filter CF (G) has a pigment concentration of 40% and a film thickness of 2.0 μm, the relative permittivity is 3.7 and the taper angle θ3 of the edge is 60 °. When the CF (R) pigment concentration is 30% and the film thickness is 2.0 μm, the relative dielectric constant is 3.5, the taper angle θ2 of the edge is 50 °, and the color filter CF (B) When the pigment concentration is 30% and the film thickness is 2.0 μm, the relative dielectric constant is 3.6 and the taper angle θ1 of the edge is 50 °. Further, the step of the color filter CF (R) on the color filter CF (B) is 0.4 μm, the step of the color filter CF (G) on the color filter CF (B) is 0.6 μm, and the color filter CF (R) The step of the color filter CF (G) above is 0.8 μm. By doing so, the aperture ratio of the pixel was able to be 65%.
また、図4の上層のカラーフィルタの端部は、下層のカラーフィルタのテーパ部にある。このような構成にした場合も、重なり領域に形成される第1カラーフィルタの第1テーパ部のテーパ角θ1はドレイン信号線あるいはゲート信号線の表面を基準にして45°以上90°以下に設定され、重なり領域に形成される第2カラーフィルタの第2テーパ部のテーパ角θ2は第1カラーフィルタの表面を基準にして45°以上90°以下に設定され、信号線の幅は1μm以上4μ以下に設定される。 Further, the end of the upper color filter in FIG. 4 is in the tapered portion of the lower color filter. Even in such a configuration, the taper angle θ1 of the first taper portion of the first color filter formed in the overlapping region is set to 45 ° or more and 90 ° or less with respect to the surface of the drain signal line or the gate signal line. The taper angle θ2 of the second taper portion of the second color filter formed in the overlapping region is set to 45 ° or more and 90 ° or less with reference to the surface of the first color filter, and the width of the signal line is 1 μm or more and 4μ. Set to:
このように構成することで、隣接するカラーフィルタにおいて、第1カラーフィルタと第2カラーフィルタとの重ねあわせ領域は、平面的に観て、ドレイン信号線あるいはゲート信号線の形成領域内に配置される。 With this configuration, in the adjacent color filters, the overlapping region of the first color filter and the second color filter is disposed in the drain signal line or gate signal line formation region in plan view. The
以下、実施例2以下の各実施例において、概略的な構成は図1ないし図3に示したと同様であることから、以下、表1に基づいて説明する。 Hereinafter, in each of the following embodiments, the schematic configuration is the same as that shown in FIGS. 1 to 3, and therefore, description will be made based on Table 1 below.
適用製品は実施例1と同様である。単位画素の各画素において、カラーフィルタCFの積層順は、緑色(G)、赤色(R)、青色(B)とした。なお、以下の説明において、便宜上、緑色を単にGとし、赤色を単にRとし、青色を単にBとして説明する。 Applicable products are the same as in Example 1. In each pixel of the unit pixel, the stacking order of the color filters CF is green (G), red (R), and blue (B). In the following description, for the sake of convenience, green is simply referred to as G, red is simply referred to as R, and blue is simply referred to as B.
Gのカラーフィルタは、その顔料濃度を20%、膜厚を4.0μm、比誘電率を3.6、テーパ角を45°とした。Rのカラーフィルタは、その顔料濃度を10%、膜厚を4.0μm、比誘電率を3.0、テーパ角を45°とした。Bのカラーフィルタは、その顔料濃度を10%、膜厚を4.0μm、比誘電率を3.3、テーパ角を45°とした。色重ね段差は、Gのカラーフィルタ上のRのカラーフィルタにおいて0.2μm、Gのカラーフィルタ上のBのカラーフィルタにおいて0.2μm、Rのカラーフィルタ上のBのカラーフィルタにおいて0.2μmであった。これにより、配線幅は4μmとでき、画素の開口率は62%とすることができた。 The G color filter had a pigment concentration of 20%, a film thickness of 4.0 μm, a relative dielectric constant of 3.6, and a taper angle of 45 °. The R color filter had a pigment concentration of 10%, a film thickness of 4.0 μm, a relative dielectric constant of 3.0, and a taper angle of 45 °. The color filter of B had a pigment concentration of 10%, a film thickness of 4.0 μm, a relative dielectric constant of 3.3, and a taper angle of 45 °. The color overlapping step is 0.2 μm in the R color filter on the G color filter, 0.2 μm in the B color filter on the G color filter, and 0.2 μm in the B color filter on the R color filter. there were. As a result, the wiring width could be 4 μm and the pixel aperture ratio could be 62%.
適用製品は実施例1と同様である。単位画素の各画素において、カラーフィルタの積層順は、B、R、Gとした。 Applicable products are the same as in Example 1. In each pixel of the unit pixel, the stacking order of the color filters is B, R, and G.
Bのカラーフィルタは、その顔料濃度を40%、膜厚を1.0μm、比誘電率を5.0、テーパ角を70°とした。Rのカラーフィルタは、その顔料濃度を50%、膜厚を1.0μm、比誘電率を6.0、テーパ角を80°とした。Gのカラーフィルタは、その顔料濃度を60%、膜厚を1.0μm、比誘電率を7.0、テーパ角を90°とした。色重ね段差は、Bのカラーフィルタ上のRのカラーフィルタにおいて0.4μm、Bのカラーフィルタ上のGのカラーフィルタにおいて0.6μm、Rのカラーフィルタ上のGのカラーフィルタにおいて0.8μmであった。これにより、配線幅は2μmとでき、画素の開口率は69%とすることができた。 The color filter of B had a pigment concentration of 40%, a film thickness of 1.0 μm, a relative dielectric constant of 5.0, and a taper angle of 70 °. The R color filter had a pigment concentration of 50%, a film thickness of 1.0 μm, a relative dielectric constant of 6.0, and a taper angle of 80 °. The G color filter had a pigment concentration of 60%, a film thickness of 1.0 μm, a relative dielectric constant of 7.0, and a taper angle of 90 °. The color overlapping step is 0.4 μm in the R color filter on the B color filter, 0.6 μm in the G color filter on the B color filter, and 0.8 μm in the G color filter on the R color filter. there were. As a result, the wiring width could be 2 μm and the pixel aperture ratio could be 69%.
なお、この実施例3の場合、色重ねの下層側のカラーフィルタにおける顔料濃度は上層側のカラーフィルタの顔料濃度よりも小さくしている(次の実施例4に示すように、顔料濃度が等しい場合であってもよい)。このようにした場合、顔料濃度が小さいとテーパ角が小さくなるので、テーパ角が小さいものを下層にすることができる。このようにした場合、表1からも明らかとなるように、色重ね段差を小さくできる効果を奏することができる。 In the case of Example 3, the pigment concentration in the color filter on the lower layer side of the color overlap is smaller than the pigment concentration of the color filter on the upper layer side (the pigment concentration is equal as shown in the following Example 4). May be the case). In this case, when the pigment concentration is low, the taper angle becomes small, so that the taper angle can be made lower. In this case, as can be seen from Table 1, the effect of reducing the color overlap step can be achieved.
適用製品は実施例1と同様である。単位画素の各画素において、カラーフィルタの積層順は、G、R、Bとした。 Applicable products are the same as in Example 1. In each pixel of the unit pixel, the stacking order of the color filters is G, R, and B.
Gのカラーフィルタは、その顔料濃度を50%、膜厚を1.0μm、比誘電率を7.0、テーパ角を90°とした。Rのカラーフィルタは、その顔料濃度を40%、膜厚を1.0μm、比誘電率を6.0、テーパ角を80°とした。Bのカラーフィルタは、その顔料濃度を40%、膜厚を1.0μm、比誘電率を5.0、テーパ角を70°とした。色重ね段差は、Gのカラーフィルタ上のRのカラーフィルタにおいて1.0μm、Gのカラーフィルタ上のBのカラーフィルタにおいて0.8μm、Rのカラーフィルタ上のBのカラーフィルタにおいて0.6μmであった。これにより、配線幅は2μmとでき、画素の開口率は69%とすることができた。 The G color filter had a pigment concentration of 50%, a film thickness of 1.0 μm, a relative dielectric constant of 7.0, and a taper angle of 90 °. The R color filter had a pigment concentration of 40%, a film thickness of 1.0 μm, a relative dielectric constant of 6.0, and a taper angle of 80 °. The color filter of B had a pigment concentration of 40%, a film thickness of 1.0 μm, a relative dielectric constant of 5.0, and a taper angle of 70 °. The color overlap step is 1.0 μm for the R color filter on the G color filter, 0.8 μm for the B color filter on the G color filter, and 0.6 μm for the B color filter on the R color filter. there were. As a result, the wiring width could be 2 μm and the pixel aperture ratio could be 69%.
適用製品は4.0型、QVGA(100ppi)である。単位画素の各画素において、カラーフィルタの積層順は、R、G、Bとした。 Applicable products are 4.0 type and QVGA (100 ppi). In each pixel of the unit pixel, the stacking order of the color filters is R, G, and B.
Rのカラーフィルタは、その顔料濃度を30%、膜厚を2.8μm、比誘電率を4.0、テーパ角を55°とした。Gのカラーフィルタは、その顔料濃度を30%、膜厚を3.0μm、比誘電率を4.0、テーパ角を50°とした。Bのカラーフィルタは、その顔料濃度を30%、膜厚を2.6μm、比誘電率を4.0、テーパ角を60°とした。色重ね段差は、Rのカラーフィルタ上のGのカラーフィルタにおいて0.4μm、Rのカラーフィルタ上のBのカラーフィルタにおいて0.5μm、Gのカラーフィルタ上のBのカラーフィルタにおいて0.6μmであった。これにより、配線幅は3μmとでき、画素の開口率は91%とすることができた。 The R color filter had a pigment concentration of 30%, a film thickness of 2.8 μm, a relative dielectric constant of 4.0, and a taper angle of 55 °. The G color filter had a pigment concentration of 30%, a film thickness of 3.0 μm, a relative dielectric constant of 4.0, and a taper angle of 50 °. The color filter of B had a pigment concentration of 30%, a film thickness of 2.6 μm, a relative dielectric constant of 4.0, and a taper angle of 60 °. The color overlapping step is 0.4 μm for the G color filter on the R color filter, 0.5 μm for the B color filter on the R color filter, and 0.6 μm for the B color filter on the G color filter. there were. As a result, the wiring width could be 3 μm, and the aperture ratio of the pixel could be 91%.
適用製品は実施例1と同様である。単位画素の各画素において、カラーフィルタの積層順は、G、R、Bとした。 Applicable products are the same as in Example 1. In each pixel of the unit pixel, the stacking order of the color filters is G, R, and B.
Gのカラーフィルタは、その顔料濃度を20%、膜厚を1.0μm、比誘電率を3.9、テーパ角を60°とした。Rのカラーフィルタは、その顔料濃度を10%、膜厚を1.0μm、比誘電率を3.3、テーパ角を60°とした。Bのカラーフィルタは、その顔料濃度を10%、膜厚を1.0μm、比誘電率を3.6、テーパ角を60°とした。色重ね段差は、Gのカラーフィルタ上のRのカラーフィルタにおいて0.4μm、Gのカラーフィルタ上のBのカラーフィルタにおいて0.4μm、Rのカラーフィルタ上のBのカラーフィルタにおいて0.4μmであった。これにより、配線幅は4μmとでき、画素の開口率は62%とすることができた。 The G color filter had a pigment concentration of 20%, a film thickness of 1.0 μm, a relative dielectric constant of 3.9, and a taper angle of 60 °. The R color filter had a pigment concentration of 10%, a film thickness of 1.0 μm, a relative dielectric constant of 3.3, and a taper angle of 60 °. The color filter of B had a pigment concentration of 10%, a film thickness of 1.0 μm, a relative dielectric constant of 3.6, and a taper angle of 60 °. The color overlapping step is 0.4 μm in the R color filter on the G color filter, 0.4 μm in the B color filter on the G color filter, and 0.4 μm in the B color filter on the R color filter. there were. As a result, the wiring width could be 4 μm and the pixel aperture ratio could be 62%.
適用製品は実施例1と同様である。単位画素の各画素において、カラーフィルタの積層順は、B、R、Gとした。 Applicable products are the same as in Example 1. In each pixel of the unit pixel, the stacking order of the color filters is B, R, and G.
Bのカラーフィルタは、その顔料濃度を40%、膜厚を4.0μm、比誘電率を4.0、テーパ角を60°とした。Rのカラーフィルタは、その顔料濃度を50%、膜厚を4.0μm、比誘電率を5.0、テーパ角を70°とした。Gのカラーフィルタは、その顔料濃度を60%、膜厚を4.0μm、比誘電率を6.0、テーパ角を80°とした。色重ね段差は、Bのカラーフィルタ上のRのカラーフィルタにおいて0.3μm、Bのカラーフィルタ上のGのカラーフィルタにおいて0.5μm、Rのカラーフィルタ上のGのカラーフィルタにおいて0.7μmであった。これにより、配線幅は2μmとでき、画素の開口率は69%とすることができた。 The color filter of B had a pigment concentration of 40%, a film thickness of 4.0 μm, a relative dielectric constant of 4.0, and a taper angle of 60 °. The R color filter had a pigment concentration of 50%, a film thickness of 4.0 μm, a relative dielectric constant of 5.0, and a taper angle of 70 °. The G color filter had a pigment concentration of 60%, a film thickness of 4.0 μm, a relative dielectric constant of 6.0, and a taper angle of 80 °. The color overlapping step is 0.3 μm for the R color filter on the B color filter, 0.5 μm for the G color filter on the B color filter, and 0.7 μm for the G color filter on the R color filter. there were. As a result, the wiring width could be 2 μm and the pixel aperture ratio could be 69%.
(比較例1)
適用製品は実施例1と同様である。単位画素の各画素において、カラーフィルタの積層順は、G、R、Bとした。
(Comparative Example 1)
Applicable products are the same as in Example 1. In each pixel of the unit pixel, the stacking order of the color filters is G, R, and B.
Gのカラーフィルタは、その顔料濃度を40%、膜厚を2.0μm、比誘電率を3.7、テーパ角を10°とした。Rのカラーフィルタは、その顔料濃度を30%、膜厚を2.0μm、比誘電率を3.5、テーパ角を10°とした。Bのカラーフィルタは、その顔料濃度を30%、膜厚を2.0μm、比誘電率を3.6、テーパ角を10°とした。色重ね段差は、Gのカラーフィルタ上のRのカラーフィルタにおいて1.2μm、Gのカラーフィルタ上のBのカラーフィルタにおいて1.2μm、Rのカラーフィルタ上のBのカラーフィルタにおいて1.2μmであった。これにより、配線幅は12μmとなり、画素の開口率は33%しか得られなかった。 The G color filter had a pigment concentration of 40%, a film thickness of 2.0 μm, a relative dielectric constant of 3.7, and a taper angle of 10 °. The R color filter had a pigment concentration of 30%, a film thickness of 2.0 μm, a relative dielectric constant of 3.5, and a taper angle of 10 °. The color filter of B had a pigment concentration of 30%, a film thickness of 2.0 μm, a relative dielectric constant of 3.6, and a taper angle of 10 °. The color overlapping step is 1.2 μm in the R color filter on the G color filter, 1.2 μm in the B color filter on the G color filter, and 1.2 μm in the B color filter on the R color filter. there were. As a result, the wiring width was 12 μm, and the aperture ratio of the pixel was only 33%.
上述した実施例では、色の異なるカラーフィルタの重ね合わせの部分はドレイン信号線DL上において行ったものである。しかし、これに限定されることはなくゲート信号線GL上において行うようにしてもよい。この場合、ゲート信号線GLにおいても本発明を適用できる。 In the embodiment described above, the overlapping portion of the color filters having different colors is performed on the drain signal line DL. However, the present invention is not limited to this and may be performed on the gate signal line GL. In this case, the present invention can also be applied to the gate signal line GL.
上述した実施例では、IPS(In Plane Switching)方式の液晶表示装置について説明したものである。しかし、これに限定されることはなく、たとえば、TN(Twisted Nematic)方式、あるいはVA (Vertical Alignment)方式の液晶表示装置であっても適用できる。 In the embodiment described above, an IPS (In Plane Switching) type liquid crystal display device has been described. However, the present invention is not limited to this, and can be applied to, for example, a TN (Twisted Nematic) type or VA (Vertical Alignment) type liquid crystal display device.
以上、本発明を実施例を用いて説明してきたが、これまでの各実施例で説明した構成はあくまで一例であり、本発明は、技術思想を逸脱しない範囲内で適宜変更が可能である。また、それぞれの実施例で説明した構成は、互いに矛盾しない限り、組み合わせて用いてもよい。 The present invention has been described using the embodiments. However, the configurations described in the embodiments so far are only examples, and the present invention can be appropriately changed without departing from the technical idea. Further, the configurations described in the respective embodiments may be used in combination as long as they do not contradict each other.
SUB1……基板、PS……半導体層、TFT……薄膜トランジスタ、GI……絶縁膜、GL……ゲート信号線、IN1……層間絶縁膜、DL……ドレイン信号線、TH1、TH2、TH3……スルーホール、PAS……保護膜、PAS1……無機保護膜、PAS2……有機保護膜、CT……対向電極、IN2……層間絶縁膜、PX……画素電極、CF……カラーフィルタ、CF(B)……青色のカラーフィルタ、CF(R)……赤色のカラーフィルタ、CF(G)……緑色のカラーフィルタ。 SUB1 ... Substrate, PS ... Semiconductor layer, TFT ... Thin film transistor, GI ... Insulating film, GL ... Gate signal line, IN1 ... Interlayer insulating film, DL ... Drain signal line, TH1, TH2, TH3 ... Through hole, PAS ... protective film, PAS1 ... inorganic protective film, PAS2 ... organic protective film, CT ... counter electrode, IN2 ... interlayer insulating film, PX ... pixel electrode, CF ... color filter, CF ( B) …… Blue color filter, CF (R) …… Red color filter, CF (G) …… Green color filter.
Claims (10)
第1方向に延在され前記第1方向と交差する第2方向に並設される遮光性材料からなるゲート信号線と、前記第2方向に延在され前記第1方向に並設される遮光性材料からなるドレイン信号線とが形成され、
一対の隣接するゲート信号線と一対の隣接するドレイン信号線に囲まれる領域を画素領域とし、これら画素領域に、少なくとも、前記ゲート信号線からの走査信号によってオンする薄膜トランジスタと、このオンされた薄膜トランジスタを通して前記ドレイン信号線からの映像信号が供給される画素電極とを備える液晶表示装置であって、
前記画素領域のそれぞれに、少なくとも、ゲート信号線、ドレイン信号線、前記薄膜トランジスタの上層に形成されたカラーフィルタを備え、
隣接するカラーフィルタにおいて、第1カラーフィルタと第2カラーフィルタとの重なり領域は、平面的に観て、前記ドレイン信号線あるいは前記ゲート信号線の形成領域内に配置され、
前記重なり領域に形成され、前記第1カラーフィルタの端部に位置する第1テーパ部と前記ドレイン信号線あるいは前記ゲート信号線の表面とのなす前記第1テーパ部のテーパ角は45°以上90°以下に設定され、前記重なり領域に形成され、前記第2カラーフィルタの端部に位置する第2テーパ部と前記重なり領域における前記第1カラーフィルタの表面とのなす前記第2テーパ部のテーパ角は45°以上90°以下に設定され、前記信号線の幅は1μm以上4μ以下に設定されており、
前記画素電極は、前記画素領域における前記重なり領域を除いた領域に形成されていることを特徴とする液晶表示装置。 The liquid crystal side surface of one of the pair of substrates opposed to each other with the liquid crystal sandwiched between them,
Gate signal lines made of a light-shielding material extending in the first direction and juxtaposed in the second direction intersecting the first direction, and light shielding extending in the second direction and juxtaposed in the first direction A drain signal line made of a conductive material,
A region surrounded by a pair of adjacent gate signal lines and a pair of adjacent drain signal lines is defined as a pixel region. A thin film transistor that is turned on by at least a scanning signal from the gate signal line in the pixel region, and the turned on thin film transistor A liquid crystal display device comprising a pixel electrode to which a video signal from the drain signal line is supplied,
Each of the pixel regions includes at least a gate signal line, a drain signal line, and a color filter formed in an upper layer of the thin film transistor,
In the adjacent color filter, the overlapping region of the first color filter and the second color filter is disposed in the drain signal line or the gate signal line formation region in plan view,
The taper angle of the first taper formed between the first taper formed in the overlapping region and located at the end of the first color filter and the surface of the drain signal line or the gate signal line is 45 ° or more 90 ° The taper of the second taper portion formed between the second taper portion that is set to be less than or equal to and formed in the overlap region and located at the end of the second color filter and the surface of the first color filter in the overlap region. The angle is set to 45 ° or more and 90 ° or less, and the width of the signal line is set to 1 μm or more and 4 μ or less .
The liquid crystal display device , wherein the pixel electrode is formed in a region excluding the overlapping region in the pixel region .
第1方向に延在され前記第1方向と交差する第2方向に並設される遮光性材料からなるゲート信号線と、前記第2方向に延在され前記第1方向に並設される遮光性材料からなるドレイン信号線とが形成され、Gate signal lines made of a light-shielding material extending in the first direction and juxtaposed in the second direction intersecting the first direction, and light shielding extending in the second direction and juxtaposed in the first direction A drain signal line made of a conductive material,
一対の隣接するゲート信号線と一対の隣接するドレイン信号線に囲まれる領域を画素領域とし、これら画素領域に、少なくとも、前記ゲート信号線からの走査信号によってオンする薄膜トランジスタと、このオンされた薄膜トランジスタを通して前記ドレイン信号線からの映像信号が供給される画素電極とを備える液晶表示装置であって、A region surrounded by a pair of adjacent gate signal lines and a pair of adjacent drain signal lines is defined as a pixel region. A thin film transistor that is turned on by at least a scanning signal from the gate signal line in the pixel region, and the turned on thin film transistor A liquid crystal display device comprising a pixel electrode to which a video signal from the drain signal line is supplied,
前記画素領域のそれぞれに、少なくとも、ゲート信号線、ドレイン信号線、前記薄膜トランジスタの上層に形成されたカラーフィルタを備え、Each of the pixel regions includes at least a gate signal line, a drain signal line, and a color filter formed in an upper layer of the thin film transistor,
隣接するカラーフィルタにおいて、第1カラーフィルタと第2カラーフィルタとの重なり領域は、平面的に観て、前記ドレイン信号線あるいは前記ゲート信号線の線幅よりも狭く、前記ドレイン信号線あるいは前記ゲート信号線の形成領域内に配置され、In the adjacent color filters, the overlapping region of the first color filter and the second color filter is narrower than the line width of the drain signal line or the gate signal line in plan view, and the drain signal line or the gate Placed in the signal line formation area,
前記重なり領域に形成され、前記第1カラーフィルタの端部に位置する第1テーパ部と前記ドレイン信号線あるいは前記ゲート信号線の表面とのなす前記第1テーパ部のテーパ角は45°以上90°以下に設定され、前記重なり領域に形成され、前記第2カラーフィルタの端部に位置する第2テーパ部と前記重なり領域における前記第1カラーフィルタの表面とのなす前記第2テーパ部のテーパ角は45°以上90°以下に設定され、前記信号線の幅は1μm以上4μ以下に設定されていることを特徴とする液晶表示装置。The taper angle of the first taper formed between the first taper formed in the overlapping region and located at the end of the first color filter and the surface of the drain signal line or the gate signal line is 45 ° or more 90 ° The taper of the second taper portion formed between the second taper portion that is set to be less than or equal to and formed in the overlap region and located at the end of the second color filter and the surface of the first color filter in the overlap region. An angle is set to 45 ° to 90 °, and a width of the signal line is set to 1 μm to 4 μm.
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