JP5593610B2 - Method for producing film forming member - Google Patents
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Description
本発明は、被膜形成部材の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a film forming member.
被膜形成部材を製造するに際しては、一般に、特許文献1に示すように、必要部位のみに被膜を形成するべく、その必要部位以外の部分をマスキング材によりマスキングしつつ、その必要部位に対して溶射が行われている。このようなマスキング材を用いた方法を用いれば、数種類の溶射材料を部位毎に区分けして溶射することもでき、複数の異なる被膜を有する被膜形成部材を製造できる。
When manufacturing a film-forming member, generally, as shown in
ところで、近時、摺動部材の摺動を受け止める支持面等においては、単に、耐摩耗性を向上させるために溶射被膜等の被膜を形成するだけでなく、摺動部材の摺動との関係から、部分的に同一平面上で被膜の硬度を異ならせることが求められる場合がある。その実現手段としては、前述のように、マスキング材と溶射とを用いれば、部位毎に硬度の異なる被膜を形成することができる。
しかし、マスキング材と溶射とを用いて部位毎に硬度の異なる被膜を形成する場合には、マスキング材を用意しなければならないばかりか、そのマスキング材のセット、取り外しという独自の作業が必要となる。しかも、そのマスキング材のセット作業においては正確性(セット位置の正確性)が要求され、マスキング材の取り外し作業においては、その取り外し作業に伴い、形成被膜を損傷させないこと(被膜が剥がれないようにすること等)等が求められる。
また、マスキング材を用いる場合において、複数種類として2種類の硬度の異なる被膜を形成する作業工程を見た場合、一方の被膜形成予定領域に被膜を形成するときには、他方の被膜形成予定領域をマスキング材を用いてマスキングし、他方の被膜形成予定領域に被膜を形成するときには、一方の被膜形成予定領域上の被膜をマスキング材を用いてマスキングする必要がある。このため、(i)マスキング材のセット工程、(ii)溶射工程、(iii)マスキング材の取り外し工程、(iv)マスキング材のセット工程、(v)溶射工程、(vi)マスキング材の取り外し工程、(vi)研削工程の順に作業を行わなければならず、同種の作業工程が時間をおいて繰り返され、作業効率上好ましいものではない。
さらには、一般的に、マスキング材を用いる場合には、その取り外し時に形成被膜が剥がれないようにすることから、マスキング材と溶射とを用いて部位毎に硬度の異なる被膜を形成する場合には、硬度の異なる被膜を部位毎に正確に区画することが困難な傾向にある。
However, when a masking material and thermal spraying are used to form a coating with different hardness for each part, not only must the masking material be prepared, but the original work of setting and removing the masking material is required. . Moreover, accuracy (setting position accuracy) is required in the masking material setting operation, and in the masking material removal operation, the formed film should not be damaged along with the removal operation (so that the film is not peeled off). Etc.) are required.
In addition, when using a masking material and looking at the work process of forming two types of coatings with different hardnesses as a plurality of types, when forming a coating in one coating formation planned area, the other coating formation planned area is masked. When masking using a material and forming a film in the other film formation planned area, it is necessary to mask the film on one film formation planned area using a masking material. Therefore, (i) masking material setting process, (ii) thermal spraying process, (iii) masking material removal process, (iv) masking material setting process, (v) thermal spraying process, (vi) masking material removal process (Vi) Work must be performed in the order of the grinding process, and the same kind of work process is repeated with time, which is not preferable in terms of work efficiency.
Furthermore, in general, when a masking material is used, the formed film is not peeled off when the masking material is removed. Therefore, when a film having different hardness is formed for each part using a masking material and thermal spraying. , It tends to be difficult to accurately partition the coatings having different hardnesses for each part.
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、その技術的課題は、部位毎に硬度が異なる被膜を迅速且つ確実に形成できる被膜形成部材の製造方法を提供することにある。 This invention is made | formed in view of such a situation, The technical subject is to provide the manufacturing method of the film formation member which can form the film from which hardness differs for every site | part rapidly and reliably.
前記技術的課題を達成するために本発明(請求項1に係る発明)においては、
基材面上に、被膜硬度を他部と異なる領域にしたい個所において凹所を形成し、
次に、前記凹所を含む基材面上に、被膜を、溶射によって、該被膜の膜厚を一定にすると共に該被膜の硬度が増減方向のいずれか一方の方向に変化するようにしつつ、順次、積層状に形成することにより、被膜積層を形成し、
次に、前記被膜積層を、該被膜積層の外面全体が面一となるように研削する構成としてある。この請求項1の好ましい態様としては、請求項2以下の記載の通りとなる。
In order to achieve the technical problem, in the present invention (the invention according to claim 1),
On the surface of the base material, a recess is formed at a location where the coating hardness is desired to be different from the other area,
Next, on the base material surface including the recess, the coating is sprayed to make the thickness of the coating constant, and the hardness of the coating changes in either direction of increase or decrease, Sequentially, in the form of a laminate, forming a film laminate,
Next, the coating layer is ground so that the entire outer surface of the coating layer is flush. The preferred embodiment of
請求項1に係る発明によれば、凹所形成工程、被膜積層形成工程、研削工程を経ることにより、マスキング材等の特別の部材を何等準備しなくても、部位毎に硬度の異なる被膜を形成できることになり、それに伴い、そのマスキング材のセット、取り外しという作業を不要として、製造工程の簡素化(少なくともマスキング材の取り外し工程を省略)を図ることができる。
また、凹所形成工程、被膜積層形成工程、研磨工程の順に、各工程が1回だけ行われ、同種の工程が時間をおいて繰り返されるようなことはない。このため、作業効率を高めて製造時間の短縮化を図ることができる。
さらに、硬度の異なる被膜を区画するために利用された凹所は、研削工程を経ることにより存在しなくなり、マスキング材の取り外し作業の場合のようにそれに伴って被膜が剥がれるおそれが生じることはなくなる。また、その被膜の剥がれを考慮することなく異なる硬度の被膜を区画できることになり、異なる硬度の被膜の区画(見切り線)を明確且つ正確に行うことができる。
したがって、部位毎に硬度が異なる被膜を迅速且つ確実に形成できる被膜形成部材の製造方法を提供できる。
勿論、各被膜を溶射により形成することから、上記作用効果を簡単且つ確実に得ることができる。
According to the first aspect of the present invention, the coating film having a different hardness for each part can be obtained without preparing any special member such as a masking material through the recess forming process, the coating layer forming process, and the grinding process. Accordingly, it is possible to simplify the manufacturing process (at least the step of removing the masking material is omitted) without the need for setting and removing the masking material.
Moreover, each process is performed only once in order of a recess formation process, a film lamination formation process, and a grinding | polishing process, and the same kind of process is not repeated over time. For this reason, work efficiency can be improved and the manufacturing time can be shortened.
Furthermore, the recess used for partitioning the coating with different hardness does not exist through the grinding process, and there is no possibility that the coating may be peeled off as in the case of the removal work of the masking material. . In addition, it is possible to partition a film with different hardness without considering the peeling of the film, and it is possible to clearly and accurately partition a film (parting line) with a different hardness.
Therefore, the manufacturing method of the film formation member which can form the film from which hardness differs for every site | part rapidly and reliably can be provided.
Of course, since each coating film is formed by thermal spraying, the above-mentioned effects can be obtained easily and reliably.
請求項2に係る発明によれば、被膜積層における各被膜の硬度を、基材面に近いものほど高くすることから、被膜積層と基材面との間、さらには、積層方向に隣り合う被膜同士間の付着安定性を高めることができる。 According to the second aspect of the present invention, the hardness of each coating in the coating lamination is increased as the coating is closer to the substrate surface, so that the coating between the coating lamination and the substrate surface, and further in the lamination direction. Adhesion stability between them can be improved.
請求項3に係る発明によれば、被膜積層を3層以上の被膜により形成し、各被膜の硬度を基材面に向けて徐々に高くすることから、3層以上の被膜を有する被膜積層において、積層方向に隣り合う被膜同士間の付着安定性を高める上で、より好ましいものとなる。
According to the invention of
請求項4に係る発明によれば、被膜積層における各被膜の硬度を積層方向に隣り合う被膜の硬度に対して変えるに際して、基材面と、溶射を行う溶射ガンとの間の距離を変えることから、各被膜の硬度を極めて簡単に変えることができる。 According to the invention of claim 4 , when changing the hardness of each coating in the coating lamination relative to the hardness of the coating adjacent in the laminating direction, the distance between the substrate surface and the thermal spray gun that performs thermal spraying is changed. Therefore, the hardness of each coating can be changed very easily.
請求項5に係る発明によれば、基材が、摺動部材の摺動を支持する支持面を構成することから、耐摩耗性と馴染み性という相反する要求に対して、部位毎に被膜の硬度を異ならせる手法により的確に応えることができる。 According to the fifth aspect of the present invention, since the base material constitutes a support surface that supports the sliding of the sliding member, the coating material is applied to each part in response to the conflicting requirements of wear resistance and familiarity. It can respond precisely by the method of varying the hardness.
請求項6に係る発明によれば、凹所として、平坦な凹所底面から垂直に内壁が起立する形状のものを形成することから、研削工程において、硬度が異なる2種類の被膜面が露出することになり、硬度が異なる被膜領域を鋭敏に区画することができる。
According to the invention which concerns on
請求項7に係る発明によれば、凹所として、凹所底面からその開口側に向かうに従って相対向する内壁が離間する形状のものを形成することから、研削工程において、硬度が異なる複数の被膜面が露出することになり、硬度が異なる被膜領域を徐々に変化させることができる。 According to the seventh aspect of the present invention, since the recesses are formed such that the inner walls facing each other are separated from the bottom surface of the recess toward the opening side, a plurality of coatings having different hardnesses in the grinding step A surface will be exposed and the coating area | region from which hardness differs can be changed gradually.
以下、本発明の実施形態について、図面に基づいて説明する。
本実施形態に係る製造方法は、図1に示す工程図に従って行われる。
先ず、図1〜図3に示すように、基材1の基材面1aに対して、機械加工を行って凹所2を形成する(機械加工工程)。後工程である溶射工程(第1,第2,第3溶射被膜形成工程)において形成される溶射被膜の連続性を凹所2により途切れさせて、凹所底面2a上の溶射被膜を凹所2以外の非加工面3上の溶射被膜よりも低くするためである。本実施形態においては、凹所2は、その平坦な凹所底面2aから内壁が垂直に起立する形状とされ、その凹所2の深さDは、例えば60μm程度とされている。
ここで、上記基材1としては、基本的には、摺動部材の摺動を支持するような部材であって、その摺動部材の摺動特性に応じて、部分的な領域で耐摩耗性と馴染み性とが個々に要求されるような部材が対象となる。材質からは、アルミ製、鋳鉄製等のものが対象となる。本実施形態においては、基材面1aの馴染み性が要求される領域に対して凹所2が形成され、基材面1aの非加工面3においては高い耐摩耗性が要求されることになる。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
The manufacturing method according to the present embodiment is performed according to the process diagram shown in FIG.
First, as shown in FIGS. 1 to 3, a
Here, the
基材面1a上に凹所2が形成されると、図1に示すように、凹所2を含む被膜形成予定個所全体に対して溶射を行う(溶射工程)。基材面1a上の被膜形成予定個所全体に溶射被膜を形成して、基本的に、基材面1aの耐摩耗性を確保するためである。
溶射は、本実施形態においては、図4に示すように、第1,第2,第3の溶射被膜C1,C2,C3を基材面1a上に積層状態をもって形成して被膜積層Cを形成することになっており、その被膜積層Cの各溶射被膜C1(C2,C3)の厚みm1(m2,m3)は、その各溶射被膜C1(C2,C3)毎に一定とされている。具体的には、基材面1aから外方に向けて第1,第2,第3の溶射被膜C1,C2,C3が形成され、その各厚みm1,m2,m3は、それぞれ40μm程度とされている。このため、基材面1a上の第1,第2,第3溶射被膜C1,C2,C3の連続性は、凹所2で途切れ、凹所2内においても第1,第2,第3溶射被膜C1,C2,C3が積層状態をもって形成されるものの、それらは、非加工面3上の第1,第2,第3溶射被膜C1,C2,C3よりも低い位置に位置することになる。この溶射に用いられる溶射粉末には、例えばCr3C2−25%NiCr(粒径10〜38μm)が用いられる。
When the
In this embodiment, as shown in FIG. 4, the thermal spraying forms the first, second, and third thermal sprayed coatings C1, C2, and C3 on the
上記溶射は、第1,第2,第3溶射被膜C1,C2,C3の形成毎に、溶射ガン位置から基材面1aまでの距離(W/D)が異ならされている。第1,第2,第3溶射被膜C1,C2,C3の硬度をそれぞれ異ならせるためである。つまり、溶射ガン位置から基材面1aまでの距離(W/D)は、最適値で高硬度となり、その最適値よりも長くなるほど低硬度となる関係があり、それを利用して溶射被膜の硬度を調整しようとしているのである。
In the above thermal spraying, the distance (W / D) from the position of the thermal spray gun to the
具体的に説明する。図3において、符号L1,L2,L3で示す一点鎖線は、第1,第2,第3溶射被膜C1,C2,C3を形成するときの溶射ガン位置を示し、S1,S2,S3(S1(最適値)<S2<S3)は、第1,第2,第3溶射被膜C1,C2,C3を形成を形成する際における溶射ガン位置と非加工面3との距離をそれぞれ示し(ワークディスタンスW/D)、H1,H2,H3(H1<H2<H3)は、第1,第2,第3溶射被膜C1,C2,C3を形成する際における溶射ガン位置と凹所底面2aとの距離をそれぞれ示している。このため、第1溶射被膜C1から第3溶射被膜C3を形成するに伴って、溶射ガン位置L1(L2,L3)から基材面1aまでの距離が長くなることになり、第1溶射被膜C1よりも第3溶射被膜C3に近いものほど、硬度は低くなる。この場合、第1,第2,第3の各溶射被膜C1,C2,C3を形成するに際して、溶射ガン位置から基材面1aまでの距離S1,S2,S3が、溶射ガン位置から凹所底面2aまでの距離H1,H2,H3よりも凹所2の深さDだけ短くなるが、この差D(例えば60μm程度)は、硬度変化にあまり影響を与えず、各溶射被膜C1,C2,C3毎の硬度に関しては、非加工面3上にあるものも、凹所底面2a上にあるものも、実質的に同一の状態にある。もっとも、凹所2の深さDが硬度に影響を与えることになったとしても、本実施形態においては(凹所2存在部を低硬度仕様の場合)、有利に働くことになる。
This will be specifically described. In FIG. 3, the alternate long and short dash lines indicated by reference numerals L1, L2, and L3 indicate the positions of the spray guns when the first, second, and third sprayed coatings C1, C2, and C3 are formed, and S1, S2, S3 (S1 ( (Optimum value) <S2 <S3) indicates the distance between the position of the spray gun and the
本実施形態においては、溶射ガン位置から基材面1aまでの距離(W/D)は、第1溶射被膜C1から第3溶射被膜C3を形成するに伴い、180mmから250mmの範囲で変えられることになる。またこの場合、基材面1aの被膜形成予定個所全体に対して溶射が、パス回数:6回をもって行われる。1〜2回目のパスでは高硬度条件(最も近づいた状態)で溶射することにより第1溶射被膜C1が形成され、次の3〜4回目のパスでは中硬度条件で溶射することにより第2溶射被膜C2が形成され、次の5〜6回目のパスでは低硬度条件(最も離れた状態)で溶射することにより第3溶射被膜C3が形成されることになっている。ここで、パスとは、基材面1aの被膜形成予定個所全体を溶射する回数をいう。
In the present embodiment, the distance (W / D) from the position of the spray gun to the
次に、図2,図5,図6に示すように、基材面1a上の被膜積層C全体に対して研削を行う(研削工程)。被膜積層Cの最外表面を面一(同一平面)として、摺動部材の摺動を可能とする支持面5を形成すると共に、被膜積層Cの表面硬度を、凹所底面2aの上方領域に存在するものと、非加工面3の上方領域に存在するものとで異ならせるためである。
すなわち、被膜積層C全体を面一にするためには、非加工面3の上方領域に存在する被膜積層C部分を、凹所底面2aの上方領域に存在する被膜積層C部分よりも深くまで研削しなければならず、これを利用して、非加工面3の上方領域に存在する被膜積層C部分の表面硬度を高いものとし(第1溶射被膜C1が露出)、凹所底面2aの上方領域に存在する被膜積層C部分の表面硬度を低いもの(第3溶射被膜C3が露出)としているのである。本実施形態においては、基材面1a上の溶射被膜の最上面から0.08〜0.10mm程度研削することにより、上記関係が得られる。尚、この研削工程は、従来行われる工程を利用して行われることになる。図5中、符号K示す二点鎖線は、研削後の面を示す。
Next, as shown in FIGS. 2, 5, and 6, the entire coating layer stack C on the
That is, in order to make the entire film stack C flush with each other, the portion of the film stack C existing in the upper region of the
これにより、基材1の支持面5は、凹所底面2aの上方領域に存在する被膜積層C部分において、馴染み性を発揮し、非加工面3の上方領域に存在する被膜積層C部分においては、高い耐摩耗性を発揮することになり、支持面5の各部位毎に異なる機能を発揮できる。この場合、凹所2の形状が、平坦な凹所底面2aから内壁が垂直に起立する形状であるから、その凹所2の内壁を見切り線として、支持面5における硬度は鋭敏に切り替わることになる。
As a result, the
このような被膜形成部材の製造方法は、例えば、ロータリエンジン6におけるサイドハウジング8の支持面9(ロータ10との当接面)に利用される。
ロータリエンジン1においては、ロータハウジング11内をロータ10が回転するに伴い、そのロータ10側面に取付けられるサイドシール12及びオイルシールOは、サイドハウジング8(支持面9)に対して摺動する。この場合、オイルシールOのサイドハウジング8(支持面9)上での摺動領域OSは、サイドハウジング8の中心点を基準として円環状部分(ハッチをもって示す)となり、サイドシール12のサイドハウジング8(支持面9)上での摺動領域SSは、サイドハウジング8の中央領域(レモン形状部分)の外側部分(ハッチをもって示す)となるが、サイドシール12の摺動に関しては、図10に示すサイドシール12の摺動軌跡からも明らかなように、サイドハウジング8の短軸側部分にその摺動が集中する(サイドシール12の摺動が集中する部分を符号14をもって示す(図9中では、囲んだ部分))。このため、サイドシール12の支持面9には、基本的に高い耐摩耗性が要求されるが、サイドシール12の摺動が集中する部分14においては、より一層の高い耐摩耗性が必要とされる。
これに対する対処として、サイドシール12の摺動が集中する部分14に合わせて、サイドハウジング8(支持面9)全体の溶射被膜の硬度を上げ、耐摩耗性を向上させることが考えられる。しかし、そのように耐摩耗性を向上させた場合には、オイルシール13の摺動領域OSで、オイルシール13と溶射被膜との馴染みが遅れ、その間のシール性が低下する。逆に、オイルシール13の摺動領域OSに合わせて、サイドハウジング8(支持面9)全体の溶射被膜の硬度を下げると、サイドシール12の摺動集中部分14に段付き摩耗が発生するおそれがある。
このことから、サイドハウジング8の支持面9においては、前述の製造方法を用いて、サイドシール12の摺動集中部分14の硬度をより高めると共に、サイドシール12の摺動集中部分14以外の部分の硬度を、サイドシール12の摺動集中部分14の硬度よりも低めることとされている。
Such a film forming member manufacturing method is used, for example, for the support surface 9 (contact surface with the rotor 10) of the
In the
As countermeasures against this, it is conceivable to increase the hardness of the thermal spray coating on the entire side housing 8 (support surface 9) in accordance with the
For this reason, on the
図11〜図14は第2実施形態を示す。この第2実施形態において、前記第1実施形態と同一構成要素については同一符号を付してその説明を省略する。 11 to 14 show a second embodiment. In the second embodiment, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.
この第2実施形態においては、図11に示すように、基材1に形成する凹所2として、その底面中央から開口側に離間するに従って相対する内壁が離れる形状のものが用いられている。そして、この凹所2を含む基材面1a上に、前記第1実施形態と同様の方法により、膜厚がそれぞれ一定の第1〜第4溶射皮膜C1〜C4が順に形成され、その第1〜第4溶射皮膜C1〜C4の硬度も、第4溶射皮膜C4に向かうに従って低くされる。この被膜積層Cに対して研削が行われ、支持面5には、凹所2中央から凹所2外方に向かうに従って、第3溶射被膜C3、第2溶射皮膜C2、第1溶射被膜C1が露出する。このため、本実施形態においては、支持面5の硬度は、凹所2中央から凹所2外方に向かうに従って徐々に高くなる。
In this 2nd Embodiment, as shown in FIG. 11, the thing of the shape from which the inner wall which opposes leaves | separates as the recessed
以上実施形態について説明したが本発明にあっては、次の態様を包含する。
(1)本発明に係る被膜形成部材の製造方法を、ロータリエンジンのサイドハウジング以外のものにも、適宜、適用すること。
(2)実施形態においては、各溶射被膜の硬度を順次、変えるために溶射ガンを基材面1aから離間するようにしているが、逆に、各溶射被膜を順次、形成するに伴い、溶射ガンを基材面1aに最適値(高硬度)に近づけること。この場合には、研削工程を経ると、凹所底面2aの上方領域に存在する被膜積層C部分の最外表面硬度は高くなり、非加工面3の上方領域に存在する被膜積層C部分の最外表面硬度は相対的に低くなる。
Although the embodiments have been described above, the present invention includes the following aspects.
(1) The method for producing a film forming member according to the present invention is appropriately applied to other than the side housing of the rotary engine.
(2) In the embodiment, in order to sequentially change the hardness of each thermal spray coating, the thermal spray gun is separated from the
1 基材(サイドハウジング)
1a 基材面
2 凹所
2a 凹所底面
3 非加工面
5 支持面
8 サイドハウジング
9 支持面
C 被覆積層
C1 第1溶射被膜
C2 第2溶射被膜
C3 第3溶射被膜
C4 第4溶射被膜
1 Base material (side housing)
DESCRIPTION OF
Claims (7)
次に、前記凹所を含む基材面上に、被膜を、溶射によって、該被膜の膜厚を一定にすると共に該被膜の硬度が増減方向のいずれか一方の方向に変化するようにしつつ、順次、積層状に形成することにより、被膜積層を形成し、
次に、前記被膜積層を、該被膜積層の外面全体が面一となるように研削する、
ことを特徴とする被膜形成部材の製造方法。 On the surface of the base material, a recess is formed at a location where the coating hardness is desired to be different from the other area,
Next, on the base material surface including the recess, the coating is sprayed to make the thickness of the coating constant, and the hardness of the coating changes in either direction of increase or decrease, Sequentially, in the form of a laminate, forming a film laminate,
Next, the coating layer is ground so that the entire outer surface of the coating layer is flush,
A method for producing a film-forming member.
前記被膜積層における各被膜の硬度を、前記基材面に近いものほど高くする、
ことを特徴とする被膜形成部材の製造方法。 In claim 1,
Increasing the hardness of each coating in the coating lamination as it is closer to the substrate surface,
A method for producing a film-forming member.
前記被膜積層を3層以上の被膜により形成し、
前記各被膜の硬度を前記基材面に向けて徐々に高くする、
ことを特徴とする被膜形成部材の製造方法。 In claim 2,
The film stack is formed by three or more films,
Gradually increasing the hardness of each coating toward the substrate surface,
A method for producing a film-forming member.
前記被膜積層における各被膜の硬度を積層方向に隣り合う被膜の硬度に対して変えるに際して、前記基材面と、溶射を行う溶射ガンとの間の距離を変える、
ことを特徴とする被膜形成部材の製造方法。 In any one of Claims 1-3 ,
When changing the hardness of each coating in the coating lamination with respect to the hardness of the coating adjacent to the lamination direction, the distance between the substrate surface and the thermal spray gun that performs thermal spraying is changed.
A method for producing a film-forming member.
前記基材が、摺動部材の摺動を支持する支持面を構成する、
ことを特徴とする被膜形成部材の製造方法。 In any one of Claims 1-4 ,
The base material constitutes a support surface that supports sliding of the sliding member;
A method for producing a film-forming member.
前記凹所として、平坦な凹所底面から垂直に内壁が起立する形状のものを形成する、
ことを特徴とする被膜形成部材の製造方法。 In any one of Claims 1-5 ,
As the recess, forming a shape in which the inner wall stands vertically from the bottom of the flat recess,
A method for producing a film-forming member.
前記凹所として、凹所底面からその開口側に向かうに従って相対向する内壁が離間する形状のものを形成する、
ことを特徴とする被膜形成部材の製造方法。 In any one of Claims 1-5 ,
As the recess, a shape in which opposing inner walls are separated from the bottom surface of the recess toward the opening side thereof is formed.
A method for producing a film-forming member.
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