JP5583687B2

JP5583687B2 - Vacuum pump

Info

Publication number: JP5583687B2
Application number: JP2011541321A
Authority: JP
Inventors: エングランダー，ハインリッヒ
Original assignee: オーリコンレイボルドバキュームゲーエムベーハー
Priority date: 2008-12-19
Filing date: 2009-12-08
Publication date: 2014-09-03
Anticipated expiration: 2029-12-08
Also published as: DE202008016905U1; EP2368044A1; JP2012512984A; EP2368044B1; WO2010069814A1

Description

本発明は、真空ポンプに関する。 The present invention relates to a vacuum pump.

ターボ分子ポンプは、ロータ軸に接続されたポンプ要素を備えている。ロータ軸は、一側で支持されていることが多く、ロータ要素が、鐘のように自由な軸端部に取り付けられている。ロータ要素は一般的に、ラジアル方向に延びてロータブレードを有するブレードディスクを備えている。ステータ要素のステータディスクが、ロータディスク間に配置されている。ステータディスクは、ロータ要素を完全に囲むステータリングによって完全に固定されている。ステータリングは、ポンプハウジング内で固定して保持されている。ターボ分子ポンプは、数万rpm の回転動作速度で作動される。従って、ロータの運動エネルギは作動中非常に高い。このため、ロータの衝突又はロータの破裂の場合に相当な破壊力が生じる。生じた力は、ステータ要素を介してポンプハウジングに伝えられる。このため、ポンプハウジングが損傷する場合があり、ポンプハウジングの一部がポンプから振り飛ばされ得る。これは、相当な怪我の危険性を意味する。 The turbomolecular pump comprises a pump element connected to the rotor shaft. The rotor shaft is often supported on one side and the rotor element is attached to the free shaft end like a bell. The rotor element generally comprises a blade disk extending in the radial direction and having rotor blades. A stator disk of the stator element is arranged between the rotor disks. The stator disk is completely fixed by a stator ring that completely surrounds the rotor element. The stator ring is fixedly held in the pump housing. The turbomolecular pump is operated at a rotational speed of tens of thousands of rpm. Therefore, the kinetic energy of the rotor is very high during operation. Therefore, a considerable destructive force is generated in the case of a rotor collision or a rotor burst. The resulting force is transmitted to the pump housing via the stator element. For this reason, the pump housing may be damaged, and a part of the pump housing may be shaken off from the pump. This represents a considerable risk of injury.

欧州特許出願公開第1413761 号明細書European Patent Application No. 1413761

真空ポンプは、固定のために固定フランジを備えている。従来の実施形態では、このために設けられた支持要素に真空ポンプを固定するために、固定フランジは環状線に沿って複数の固定孔を有しており、真空ポンプは、ねじ又はボルトを用いて固定フランジによって固定されている。ターボ分子ポンプのロータのような、ロータ軸に接続されたポンプ要素が故障するか又は動かなくなる破裂の場合には、急減速により生じるエネルギが、ポンプハウジングに伝えられ、従って、ポンプハウジングに接続された固定フランジ、特にはポンプハウジングと一体化された固定フランジにも伝えられる。これは、締付ねじに裂け目を生じさせる場合があり、このため、真空ポンプは場合によっては部屋を横切って数メートル吹き飛ばされることがある。これは、相当に危険である。 The vacuum pump has a fixing flange for fixing. In the conventional embodiment, in order to fix the vacuum pump to the supporting element provided for this purpose, the fixing flange has a plurality of fixing holes along the annular line, and the vacuum pump uses screws or bolts. Fixed by a fixing flange. In the event of a rupture of a pump element connected to the rotor shaft, such as the rotor of a turbomolecular pump, the energy generated by sudden deceleration is transferred to the pump housing and is therefore connected to the pump housing. It is also transmitted to a fixed flange, in particular a fixed flange integrated with the pump housing. This can cause tears in the clamping screw, so that the vacuum pump can be blown several meters across the room in some cases. This is quite dangerous.

ロータの破裂により生じるエネルギの一部を吸収するために、欧州特許出願公開第1413761 号明細書は固定孔の様々な設計について述べている。破裂の場合にこのような固定孔は、固定フランジをポンプ要素の回転方向に所定角度回転させると想定されている。このため、一方では、固定フランジとポンプが固定されている支持要素との間でエネルギが吸収されて、他方では、固定フランジ及び締付ねじに生じる変形及び破壊によりエネルギが吸収される。欧州特許出願公開第1413761 号明細書に提案されている固定フランジ及び固定孔の設計により、破裂により生じるエネルギの一部の吸収が可能であるが、作製を複雑にする解決法である。 In order to absorb some of the energy caused by the rotor bursting, EP-A-1413761 describes various designs of fixing holes. In the case of a rupture, such a fixing hole is assumed to rotate the fixing flange a predetermined angle in the direction of rotation of the pump element. For this reason, on the one hand, energy is absorbed between the fixing flange and the support element on which the pump is fixed, and on the other hand, energy is absorbed by deformation and breakage occurring in the fixing flange and the clamping screw. The design of the fixing flange and the fixing hole proposed in EP 1413761 makes it possible to absorb part of the energy produced by the rupture, but is a solution that complicates the production.

従って、本発明は、真空ポンプのハウジングの固定フランジに設けられた固定孔の作製が経済的であり、固定孔によりエネルギの確実な吸収が保証されるような固定孔を設計することを目的とする。 Accordingly, it is an object of the present invention to design a fixing hole in which the fixing hole provided in the fixing flange of the housing of the vacuum pump is economical and the energy absorption by the fixing hole is guaranteed. To do.

本発明によれば、前記目的は請求項１の特徴により達成される。 According to the invention, this object is achieved by the features of claim 1.

従来のターボ分子ポンプ等であってもよい本発明の真空ポンプは、ハウジング内に配置されたポンプロータのようなポンプ要素を備えている。少なくとも１つのポンプ要素は、ハウジング内に少なくとも１本の軸により支持されている。通常、軸は複数の連続したポンプ要素を支持している。軸は、一般的には玉軸受又は磁気軸受のような軸受要素によってハウジング内に支持されている。ハウジングは、ハウジングと接続された固定フランジ、特にはハウジングと一体化された固定フランジによって固定されている。このために、複数の固定孔が固定フランジに環状線に沿って設けられている。本発明によれば、固定孔は、少なくとも部分的に細長い孔として設計されており、細長い孔の長手軸が更に、環状線の接線に対して０度ではない角度に配置されている。従って、細長い孔として設計された固定孔の長手軸は、内側又は外側に向いている。その結果、破裂、及び破裂に伴う固定フランジのねじれの場合に、固定フランジと真空ポンプの支持要素との間の摩擦によってエネルギが吸収されるだけでなく、ねじのような固定要素の内側又は外側に向いた変形及び／又は移動によってもエネルギが吸収される。本設計、つまり細長い孔の配置の利点は、単純設計の固定孔により、一方では、破壊の場合に真空ポンプ全体の回転を可能にし、それによって摩擦によるエネルギ吸収を達成し、他方では、変形による更なるエネルギ吸収を可能にすることである。本発明に応じて設けられて、固定孔に関する環状線の接線に対してある角度に配置された細長い孔は、単純設計の固定孔であり、従って作製の際に経済的である。 The vacuum pump of the present invention, which may be a conventional turbomolecular pump or the like, includes a pump element such as a pump rotor disposed in a housing. At least one pump element is supported in the housing by at least one shaft. Usually, the shaft supports a plurality of successive pump elements. The shaft is generally supported within the housing by a bearing element such as a ball bearing or a magnetic bearing. The housing is fixed by a fixing flange connected to the housing, in particular by a fixing flange integrated with the housing. For this purpose, a plurality of fixing holes are provided in the fixing flange along the annular line. According to the invention, the fixing hole is designed at least partly as an elongated hole, the longitudinal axis of which is further arranged at a non-zero angle with respect to the tangent of the annular line. Thus, the longitudinal axis of the fixing hole designed as an elongated hole is oriented inward or outward. As a result, in the case of a rupture and torsion of the fixing flange accompanying the rupture, not only is energy absorbed by the friction between the fixing flange and the support element of the vacuum pump, but also inside or outside of the fixing element such as a screw. Energy is also absorbed by deformations and / or movements directed toward. The advantage of this design, i.e. the arrangement of the elongated holes, is due to the simple design of the fixed holes, on the one hand enabling the rotation of the entire vacuum pump in case of failure, thereby achieving energy absorption by friction and on the other hand by deformation It is to allow further energy absorption. The elongated holes provided according to the invention and arranged at an angle with respect to the tangent of the annular line with respect to the fixing hole are simply designed fixing holes and are therefore economical to make.

好ましくは、細長い孔の長手軸は、外側に向いており、つまり、真空ポンプの軸から離れる方向であって少なくとも１つのポンプ要素の回転方向の反対方向に向いている。 Preferably, the longitudinal axis of the elongated hole is outward, i.e. away from the axis of the vacuum pump and in the opposite direction of the rotational direction of the at least one pump element.

簡単な好ましい実施形態では、細長い孔の対向する側部が互いに平行に配置されている。しかしながら、側部が互いの方に向かって延びるか、又は少なくとも１つのポンプ要素の回転方向に対して先細りになるように側部を構成することも可能である。破裂の場合には、側部間の距離のこの減少により、ねじのような固定要素がラジアル方向に更に押し付けられ得る。このため、エネルギが更に吸収される。この場合、ねじのような固定要素が一側で押し付けられるように、細長い孔の対向する側部の位置を設定することが可能である。しかしながら、細長い孔は長手軸に対して鏡面対称であることが好ましい。 In a simple preferred embodiment, the opposing sides of the elongated holes are arranged parallel to each other. However, it is also possible to configure the sides such that the sides extend towards each other or taper with respect to the direction of rotation of the at least one pump element. In the case of a rupture, this reduction in the distance between the sides can cause the fastening element, such as a screw, to be pushed further in the radial direction. For this reason, energy is further absorbed. In this case, it is possible to set the position of the opposite side of the elongated hole so that a fixing element such as a screw is pressed on one side. However, the elongated hole is preferably mirror-symmetric with respect to the longitudinal axis.

固定要素が固定された状態で存在しない自由空間に吸収要素を設けるために、特には平行な側部を有する細長い孔が有利である。吸収要素は、必要なときに押し付けられる、つまり変形される比較的軟らかい金属材料又はプラスチック材料製の要素であってもよい。それにより、更なるエネルギ吸収が達成される。 In order to provide the absorbent element in a free space where the fixing element does not exist in a fixed state, an elongated hole, in particular with parallel sides, is advantageous. The absorbent element may be an element made of a relatively soft metallic or plastic material that is pressed, i.e. deformed, when needed. Thereby, further energy absorption is achieved.

好ましい実施形態では、調整要素が、好ましくは固定フランジに更に設けられている。このような調整要素により、真空ポンプの固定フランジが正確な位置で支持要素と接続されることが保証される。調整要素は固定フランジに設けられたピンであってもよく、該ピンは支持要素に設けられた凹部と協働する。固定フランジはフランジ開口部を有しており、フランジ開口部の接線方向の幅が調整ピンの幅に相当することが特に好ましい。これに関連して、調整要素を固定要素として更に使用し、調整要素として締付ねじのような固定要素を設けることが特に好ましい。好ましい実施形態では、固定孔の内の１つが調整開口部として形成されており、他の固定孔が、本発明に係る傾斜した細長い孔として形成されている。 In a preferred embodiment, an adjustment element is preferably further provided on the fixing flange. Such an adjustment element ensures that the fixing flange of the vacuum pump is connected to the support element in the correct position. The adjustment element may be a pin provided on the fixing flange, which cooperates with a recess provided on the support element. The fixed flange has a flange opening, and it is particularly preferable that the tangential width of the flange opening corresponds to the width of the adjustment pin. In this connection, it is particularly preferred to use the adjusting element further as a fixing element and to provide a fixing element such as a clamping screw as the adjusting element. In a preferred embodiment, one of the fixing holes is formed as an adjustment opening and the other fixing hole is formed as an inclined elongated hole according to the present invention.

同様に、上述された固定フランジが真空ポンプのハウジング要素であることが可能である。この場合、固定フランジは、ハウジング部分の別のフランジと接続されている。結果として、真空ポンプの個々のハウジング部分が、破裂の場合に互いに対して回転することが可能である。 Similarly, the fixing flange described above can be the housing element of a vacuum pump. In this case, the fixing flange is connected to another flange of the housing part. As a result, the individual housing parts of the vacuum pump can rotate relative to each other in the event of a rupture.

真空ポンプを示す略側面図である。It is a schematic side view which shows a vacuum pump. 固定フランジを示す略平面図である。It is a schematic plan view showing a fixing flange. 細長い孔として形成された固定孔を示す拡大図である。It is an enlarged view which shows the fixed hole formed as an elongate hole.

本発明の好ましい実施形態を、添付図面を参照して以下に詳細に説明する。 Preferred embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.

ターボ分子ポンプのような真空ポンプは、ロータ12のようなポンプ要素をハウジング10に備えている。図示された実施形態では、ポンプ要素は、電動機16によって駆動される共通の軸14に配置されている。図示された実施形態では、軸14は２つの玉軸受18によりハウジング10内に支持されている。ハウジング10は、固定フランジ20に接続されているか、又は固定フランジ20と一体化されている。締付ねじ22の形態の固定要素が、真空室の固定フランジであってもよい支持要素24に固定フランジ20を接続するために使用されている。 A vacuum pump such as a turbomolecular pump includes a pump element such as a rotor 12 in the housing 10. In the illustrated embodiment, the pump elements are arranged on a common shaft 14 that is driven by an electric motor 16. In the illustrated embodiment, the shaft 14 is supported within the housing 10 by two ball bearings 18. The housing 10 is connected to the fixed flange 20 or is integrated with the fixed flange 20. A fixing element in the form of a clamping screw 22 is used to connect the fixing flange 20 to a support element 24, which may be a vacuum chamber fixing flange.

固定フランジ20は、環状線26に沿って配置された複数の固定孔28を有しており（図２）、固定孔28は、環状線26の全周に亘って等距離で規則的に配置されている。固定孔の内の１つが、調整のためのラジアル開口部30として形成されている。細長い孔の形状の固定孔28は、図示された実施形態では外側に向いている。細長い孔28の長手軸32（図３）が、環状線26の接線34に対して０ではない角度αの方向を向いている。角度αは、約15°の範囲内にあることが好ましい。角度αを決定するために、図示された実施形態では、接線34と細長い孔28の長手軸32とは環状線26上で交差する。 The fixing flange 20 has a plurality of fixing holes 28 arranged along the annular line 26 (FIG. 2), and the fixing holes 28 are regularly arranged at equal distances around the entire circumference of the annular line 26. Has been. One of the fixing holes is formed as a radial opening 30 for adjustment. The fixed hole 28 in the form of an elongated hole faces outward in the illustrated embodiment. The longitudinal axis 32 (FIG. 3) of the elongated hole 28 is oriented in a non-zero angle α with respect to the tangent 34 of the annular line 26. The angle α is preferably in the range of about 15 °. In order to determine the angle α, in the illustrated embodiment, the tangent line 34 and the longitudinal axis 32 of the elongated hole 28 intersect on the annular line 26.

特には図２に明らかなように、図示された実施形態では、細長い孔28は軸14の回転方向36に対して外側に向いている。 In particular, as can be seen in FIG. 2, in the illustrated embodiment, the elongated hole 28 faces outward with respect to the direction of rotation 36 of the shaft 14.

締付ねじ22は、一般的な方法で固定されているとき、図３に図示されているように細長い孔28内に配置されている。破裂の場合には、締付ねじ22は、矢印の方向38に細長い孔28内で外側に移動する。このため、フランジ内側面40 （図１）と支持要素の接触面42との間に摩擦が生じることに加えて、締付ねじ22の変形が引き起こされる。 The clamping screw 22 is disposed within the elongated hole 28 as illustrated in FIG. 3 when secured in a conventional manner. In the event of a rupture, the clamping screw 22 moves outwardly within the elongated hole 28 in the direction 38 of the arrow. This causes friction between the flange inner surface 40 (FIG. 1) and the contact surface 42 of the support element, as well as causing deformation of the clamping screw 22.

図示された実施形態では、２つの対向する側部44が互いに平行に形成されている。更に側部44は、図示された実施形態のために示された細長い孔の構成では細長い孔28の対称軸に相当する長手軸32と平行に形成されている。 In the illustrated embodiment, two opposing sides 44 are formed parallel to each other. Further, the side 44 is formed parallel to the longitudinal axis 32 corresponding to the axis of symmetry of the elongated hole 28 in the elongated hole configuration shown for the illustrated embodiment.

エネルギを更に吸収するために、吸収要素が、細長い孔28の自由空間46、つまり、締付ねじ22が一般的な固定状況では存在していない空間に設けられ得る。 In order to further absorb energy, an absorbing element can be provided in the free space 46 of the elongated hole 28, i.e. a space where the clamping screw 22 does not exist in a typical fixing situation.

支持要素24に固定されたときの真空ポンプの位置を明確に定めるために、調整要素を設けていることが好ましい。図示された実施形態では、調整要素は、調整開口部30（図２）として形成されている。調整開口部30は環状線26の接線方向に幅b を有しており、幅b は調整ピンの幅に相当する。特に好ましい実施形態では、調整ピンは別の締付ねじ22である。調整開口部であるフランジ開口部30は、円形又は長円形の孔の形態であってもよく、長円形の孔の長手軸はラジアル方向に延びている。これは、例えばねじを挿入するためにポンプ側からどの位容易に孔に接近し得るかに応じて決められる。このようにして、破裂の場合にフランジ開口部30内のねじは剪断される。 In order to clearly define the position of the vacuum pump when fixed to the support element 24, an adjustment element is preferably provided. In the illustrated embodiment, the adjustment element is formed as an adjustment opening 30 (FIG. 2). The adjustment opening 30 has a width b in the tangential direction of the annular line 26, and the width b corresponds to the width of the adjustment pin. In a particularly preferred embodiment, the adjustment pin is another clamping screw 22. The flange opening 30 which is the adjustment opening may be in the form of a circular or oval hole, and the longitudinal axis of the oval hole extends in the radial direction. This is determined, for example, by how easily the hole can be accessed from the pump side to insert a screw. In this way, the screw in the flange opening 30 is sheared in the event of a rupture.

取付スペースがポンプ側で狭い状況で傾斜した細長い孔を設けることにより、一般的に、ねじをより容易に挿入し得ることが有利である。 In general, it is advantageous to be able to insert the screw more easily by providing an elongated hole that is slanted in a situation where the installation space is narrow on the pump side.

Claims

At least one pump element disposed in Haujin the grayed,
The at least at least one axis for supporting the one pump element,
A fixed flange connected to said Haujin grayed,
In a vacuum pump having a fixing hole which is arranged along the fixed flange of the annular line,
The fixing hole is formed by an elongated hole, the longitudinal axis of the elongated hole is oriented in the direction of angles other than 0 degree against the tangent line of the ring line,
The vacuum pump further includes a fixing element for fixing the fixing flange to a support element through the fixing hole,
In the case of twisting of the fixing flange, energy is absorbed by deformation of the fixing element .

The longitudinal axis of the elongated holes, a vacuum pump according to claim 1, characterized in that outwardly facing against the the direction of rotation of the at least one pump element.

Vacuum pump according to claim 1 or 2, characterized in that the side portion opposite of said elongated holes are parallel to each other.

Vacuum pump according to claim 1 or 2, characterized in that the side portion opposite of said elongated holes are concentrated in the direction of rotation.

Said elongated holes, the vacuum pump according to any one of claims 1 to 4, characterized in that a mirror symmetry for the longitudinal axis.

Vacuum pump according to any one of claims 1 to 5, characterized in that it further comprises an absorbent element arranged in said elongate hole.

The vacuum pump according to claim 6, wherein the absorption element occupies a free space existing in the elongated hole in an attached state.

Vacuum pump according to any one of claims 1 to 7, characterized in that the adjustment has elements further comprises a for adjusting for the vacuum pump to the support element.

The vacuum pump according to claim 8, wherein the adjustment element is provided on the fixed flange.

The adjusting element is in the form of a flange opening, according to claim 8 in which the width of the direction towards the tangents of the flange opening, characterized in that it corresponds to the width of the support element and connected to adjustment pins Or the vacuum pump of 9 .

The adjusting element is a vacuum pump according to claim 10, characterized in that the further function as the anchoring element.

The vacuum pump according to claim 10 or 11, wherein the adjustment pin is formed as a tightening screw.

The fixed flange is a vacuum pump according to any one of claims 1 to 12, characterized in that it is formed as a housing flange connected to another housing flange.