JP5581601B2 - 化合物半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
先ず、第1の実施形態について説明する。図3は、第1の実施形態に係るGaN系HEMT(化合物半導体装置)の構造を示す断面図である。
次に、第2の実施形態について説明する。図9は、第2の実施形態に係るGaN系HEMT(化合物半導体装置)の構造を示す断面図である。
次に、第3の実施形態について説明する。図12は、第3の実施形態に係るGaN系HEMT(化合物半導体装置)の構造を示す断面図である。
2:AlN層
3:i−GaN層
4:i−AlGaN層
5:n−AlGaN層
6:p−InAlN層
7:i−AlN層
8:n−GaN層
9:SiN層
10:活性領域
10g、10s、10d:開口部
11d:ドレイン電極
11g:ゲート電極
11s:ソース電極
16:i−InAlN層
17:タンタル酸化膜
Claims (6)
- 基板と、
前記基板上方に形成された電子走行層と、
前記電子走行層上方に形成され、AlGaNを含む電子供給層と、
前記電子供給層上に形成され、InAlNを含むショットキーバリア層と、
前記電子供給層にオーミック接触するソース電極及びドレイン電極と、
前記ソース電極と前記ドレイン電極との間で前記ショットキーバリア層上に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜上に形成されたゲート電極と、
を有し、
前記ショットキーバリア層を構成する結晶の格子定数は、前記電子供給層を構成する結晶の格子定数よりも大きく、
前記ショットキーバリア層を構成する材料のバンドギャップは、前記電子供給層を構成する材料のバンドギャップよりも大きいことを特徴とする化合物半導体装置。 - 前記ショットキーバリア層中のInの割合が前記電子供給層から離間するほど高くなっていることを特徴とする請求項1に記載の化合物半導体装置。
- 前記ショットキーバリア層の組成は、(InxAl1-x)yGa1-yN層(0<x≦1、0<y<1)で表わされることを特徴とする請求項1又は2に記載の化合物半導体装置。
- 前記ショットキーバリア層上に形成されたAlN層を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の化合物半導体装置。
- 前記ショットキーバリア層中のInの割合が前記電子供給層側から前記AlN層側にかけて高くなっていることを特徴とする請求項4に記載の化合物半導体装置。
- 基板上方に電子走行層を形成する工程と、
前記電子走行層上方に、AlGaNを含む電子供給層を形成する工程と、
前記電子供給層上に、InAlNを含むショットキーバリア層を形成する工程と、
前記電子供給層にオーミック接触するソース電極及びドレイン電極を形成する工程と、
前記ソース電極と前記ドレイン電極との間で前記ショットキーバリア層上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜上にゲート電極を形成する工程と、
を有し、
前記ショットキーバリア層を構成する結晶の格子定数は、前記電子供給層を構成する結晶の格子定数よりも大きく、
前記ショットキーバリア層を構成する材料のバンドギャップは、前記電子供給層を構成する材料のバンドギャップよりも大きいことを特徴とする化合物半導体装置の製造方法。
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