JP5578909B2 - Exposure scanning device - Google Patents

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Description

本発明は露光走査装置に係り、特にフレキソ版などの印刷版の製造に好適な露光走査装置に関する。   The present invention relates to an exposure scanning apparatus, and more particularly to an exposure scanning apparatus suitable for manufacturing a printing plate such as a flexographic plate.

特許文献1〜3には、ドラムに感光材料を装着し、ドラムを回転させながらレーザを感光材料に照射することにより、感光材料に描画(彫刻)を行う描画装置が開示されている。この描画装置では、レーザ被照射位置の斜め上からレーザ被照射位置に向けて空気を噴出して、描画により発生するガス、ゴミを拡散させる。そして、レーザ被照射位置の斜め下から拡散させたガス、ゴミを吸引することにより、レーザ照射用の露光ヘッドや描画装置内にガス、ゴミ等が飛散し、付着することを防止している。   Patent Documents 1 to 3 disclose a drawing apparatus that performs drawing (engraving) on a photosensitive material by mounting the photosensitive material on the drum and irradiating the photosensitive material with a laser while rotating the drum. In this drawing apparatus, air is ejected from obliquely above the laser irradiated position toward the laser irradiated position, and gas and dust generated by drawing are diffused. Then, by sucking the gas and dust diffused obliquely from below the laser irradiated position, the gas and dust are prevented from scattering and adhering into the laser irradiation exposure head and the drawing apparatus.

特開2004−295985号公報JP 2004-295985 A 特開2004−294740号公報JP 2004-294740 A 特開2004−16013号公報JP 2004-16013 A

しかしながら、特許文献1〜3に記載の方法では、レーザ被照射位置に向けて空気を噴出するため、描画により発生するガス、アブレーションカスは、様々な方向に拡散される。そのため、レーザ被照射位置の斜め下以外の方向に飛散したガス、ゴミは吸引されず、レーザ照射用の露光ヘッドに付着してしまい、画質が劣化するという問題がある。   However, in the methods described in Patent Documents 1 to 3, since air is ejected toward the laser irradiated position, gas and ablation residue generated by drawing are diffused in various directions. Therefore, there is a problem that the gas and dust scattered in a direction other than obliquely below the laser irradiation position are not sucked and are attached to the exposure head for laser irradiation, and the image quality deteriorates.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、彫刻により発生するガス、アブレーションカスを吸込フードに誘導し、回収効率を上げる露光走査装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide an exposure scanning apparatus that guides gas and ablation debris generated by engraving to a suction hood to increase recovery efficiency.

前記目的を達成するために、本発明に係る露光走査装置は、記録媒体が表面に固定され、所定の方向に回転自在な略円筒形の主走査ドラムと、前記主走査ドラムに対向して配設され、前記記録媒体に向けて光ビームを照射して前記記録媒体の表面を彫刻する露光ヘッドと、前記主走査ドラムと前記露光ヘッドとの間に形成された空間に空気を吹き付ける第1の吹付ノズルであって、前記露光ヘッドの光軸と前記主走査ドラムとの交点における前記主走査ドラムの接線方向に沿った空気の流れを生成する第1の吹付ノズルと、前記第1の吹付ノズルにより吹き付けられた空気を吸い込む吸込手段であって、前記第1の吹付ノズルにより生成された空気の流れの延長上に開口部が配設された吸込手段と、を備え、前記露光ヘッドは、前記光ビームを出射する出射部であって、所定の方向に並んで配置された複数の出射部を有し、前記第1の吹付ノズルには、前記所定の方向に並んで配設された複数の吹き出し口を有し、前記複数の吹き出し口から空気が吹き出されることにより、前記所定の方向に並んだ複数の出射部の幅より大きい幅を有する略四角錐台形の空気の流れが生成されることを特徴とする。 In order to achieve the above object, an exposure scanning apparatus according to the present invention includes a substantially cylindrical main scanning drum having a recording medium fixed on its surface and rotatable in a predetermined direction, and being opposed to the main scanning drum. A first exposure head configured to irradiate a light beam toward the recording medium to engrave the surface of the recording medium, and to blow air into a space formed between the main scanning drum and the exposure head. A first nozzle that generates a flow of air along a tangential direction of the main scanning drum at an intersection between the optical axis of the exposure head and the main scanning drum; and the first nozzle A suction means for sucking air blown by the suction means, wherein an opening is provided on an extension of the flow of air generated by the first spray nozzle, and the exposure head comprises Light beam The first emission nozzle has a plurality of emission parts arranged in a predetermined direction, and a plurality of outlets arranged in the predetermined direction in the first blowing nozzle. And a flow of air having a substantially quadrangular pyramid shape having a width larger than the width of the plurality of emitting portions arranged in the predetermined direction is generated by blowing air from the plurality of outlets. And

本発明に係る露光走査装置によれば、記録媒体が表面に固定され、所定の方向に回転自在な略円筒形の主走査ドラムと、主走査ドラムに対向して配設され、記録媒体に向けて光ビームを照射して記録媒体の表面を彫刻する露光ヘッドとの間に形成された空間に空気を吹きつける第1の吹付ノズルは、露光ヘッドの光軸と主走査ドラムとの交点における主走査ドラムの接線方向に沿った空気の流れを生成する。吸込手段は、開口部がこの空気の流れの延長上に位置し、第1の吹付ノズルにより吹き付けられた空気を吸い込む。これにより、彫刻により発生するガス、アブレーションカスを空気と共に開口部に導き、ガス、アブレーションカスを回収することができる。また、本発明に係る露光走査装置によれば、光ビームを出射する出射部の配設方向と同じ方向に複数の吹き出し口が並んで配設され、複数の吹き出し口から空気が吹き出されることにより、並んで配置された複数の出射部の幅より大きい幅を有する略四角錐台形の空気の流れが生成される。これにより、彫刻により発生するガス、アブレーションカスを空気の流れに乗せることができる。 According to the exposure scanning apparatus of the present invention, the recording medium is fixed on the surface, and is arranged in a substantially cylindrical main scanning drum that is rotatable in a predetermined direction, facing the main scanning drum, and directed toward the recording medium. The first spray nozzle that blows air into a space formed between the exposure head that engraves the surface of the recording medium by irradiating a light beam is a main nozzle at the intersection of the optical axis of the exposure head and the main scanning drum. An air flow is generated along the tangential direction of the scanning drum. The suction means has an opening located on an extension of the air flow, and sucks air blown by the first spray nozzle. Thereby, the gas and ablation debris generated by engraving can be guided to the opening together with the air, and the gas and ablation debris can be recovered. In addition, according to the exposure scanning apparatus of the present invention, a plurality of air outlets are arranged side by side in the same direction as the arrangement direction of the emitting portion that emits the light beam, and air is blown out from the plurality of air outlets. Thus, a substantially square frustum-shaped air flow having a width larger than the width of the plurality of emitting portions arranged side by side is generated. Thereby, the gas and ablation residue generated by engraving can be put on the air flow.

本発明に係る露光走査装置は、前記第1の吹付ノズルは、前記主走査ドラムの回転方向に沿って空気を吹き付けることが望ましい。これにより、ガス、アブレーションカスの飛散方向に逆らわないような空気の流れを生成することができる。   In the exposure scanning apparatus according to the present invention, it is preferable that the first spray nozzle sprays air along a rotation direction of the main scanning drum. Thereby, the air flow which does not oppose the scattering direction of gas and ablation residue can be produced | generated.

本発明に係る露光走査装置は、前記吸込手段は、前記開口部の前記露光ヘッド側の壁の先端が前記露光ヘッドの光軸に隣接するように配設されたことが望ましい。これにより、空気が壁に案内され、空気の流れを開口部に誘導することができる。   In the exposure scanning apparatus according to the present invention, it is preferable that the suction means is disposed so that a tip of a wall on the exposure head side of the opening is adjacent to an optical axis of the exposure head. Thereby, air is guided to a wall and the flow of air can be guided to an opening.

本発明に係る露光走査装置は、前記第1の吹付ノズルにより生成された空気の流れを打ち消す方向の空気の流れを生成する第2の吹付ノズルを備え、前記吸込手段は、前記第1の吹付ノズル及び前記第2の吹付ノズルにより吹き付けられた空気を吸い込むことが望ましい。また、本発明に係る露光走査装置は、記録媒体が表面に固定され、所定の方向に回転自在な略円筒形の主走査ドラムと、前記主走査ドラムに対向して配設され、前記記録媒体に向けて光ビームを照射して前記記録媒体の表面を彫刻する露光ヘッドと、前記主走査ドラムと前記露光ヘッドとの間に形成された空間に空気を吹き付ける第1の吹付ノズルであって、前記露光ヘッドの光軸と前記主走査ドラムとの交点における前記主走査ドラムの接線方向に沿った空気の流れを生成する第1の吹付ノズルと、前記第1の吹付ノズルにより吹き付けられた空気を吸い込む吸込手段であって、前記第1の吹付ノズルにより生成された空気の流れの延長上に開口部が配設された吸込手段と、前記第1の吹付ノズルにより生成された空気の流れを打ち消す方向の空気の流れを生成する第2の吹付ノズルと、を備え、前記吸込手段は、前記第1の吹付ノズル及び前記第2の吹付ノズルにより吹き付けられた空気を吸い込むことを特徴とする。 The exposure scanning apparatus according to the present invention includes a second spray nozzle that generates an air flow in a direction that cancels the air flow generated by the first spray nozzle, and the suction means includes the first spray nozzle. It is desirable to suck in air blown by the nozzle and the second blowing nozzle. The exposure scanning apparatus according to the present invention includes a substantially cylindrical main scanning drum having a recording medium fixed on the surface and rotatable in a predetermined direction, and disposed opposite to the main scanning drum. An exposure head for engraving the surface of the recording medium by irradiating a light beam toward the first, and a first spray nozzle for blowing air into a space formed between the main scanning drum and the exposure head, A first blowing nozzle that generates a flow of air along a tangential direction of the main scanning drum at an intersection of the optical axis of the exposure head and the main scanning drum; and air blown by the first blowing nozzle. Suction means for sucking in, the suction means having an opening disposed on the extension of the flow of air generated by the first blowing nozzle, and the flow of air generated by the first blowing nozzle Direction Of a second spray nozzle for generating an air flow, wherein the suction means may suck the blown by the first blowing nozzle and said second spray nozzle air.

本発明に係る露光走査装置によれば、第2の吹付ノズルにより、第1の吹付ノズルにより生成された空気の流れを打ち消す方向の空気の流れが生成され、この空気が吸い込まれる。これにより、摩擦抗力等によりガス、アブレーションカスが主走査ドラムの表面に絡みついたとしても、ガス、アブレーションカスを空気と共に開口部に導き、ガス、アブレーションカスを回収することができる。そのため、ガス、アブレーションカスの装置内への飛散が防止され、アブレーションカスの回収効率を上げることができる。   According to the exposure scanning apparatus of the present invention, the second blowing nozzle generates an air flow in a direction that cancels the air flow generated by the first blowing nozzle, and the air is sucked in. As a result, even if gas and ablation debris are entangled with the surface of the main scanning drum due to frictional drag and the like, the gas and ablation debris can be guided to the opening together with air, and the gas and ablation debris can be recovered. Therefore, scattering of gas and ablation debris into the apparatus can be prevented, and the collection efficiency of ablation debris can be increased.

本発明に係る露光走査装置は、前記第2の吹付ノズルは、前記主走査ドラムの接線方向とのなす角度が鋭角となる空気の流れを生成することが望ましい。これにより、主走査ドラムの表面に絡みついたガス、アブレーションカスを主走査ドラムの表面から剥離することができる。   In the exposure scanning apparatus according to the present invention, it is preferable that the second spray nozzle generates an air flow having an acute angle with a tangential direction of the main scanning drum. Thereby, the gas and ablation tangled around the surface of the main scanning drum can be separated from the surface of the main scanning drum.

本発明に係る露光走査装置は、前記第2の吹付ノズルは、前記主走査ドラムと前記吸込手段との間に配設されたことが望ましい。これにより、第1の吹付ノズルと第2の吹付ノズルとが吸込手段を挟んで対向するように配設される。したがって、より効率的にガス、アブレーションカスを主走査ドラムの表面から剥離することができる。   In the exposure scanning apparatus according to the present invention, it is preferable that the second spray nozzle is disposed between the main scanning drum and the suction means. Thereby, it arrange | positions so that a 1st spray nozzle and a 2nd spray nozzle may oppose on both sides of a suction means. Therefore, the gas and ablation residue can be more efficiently separated from the surface of the main scanning drum.

本発明に係る露光走査装置は、前記吸込手段は、空気の流れを誘導する誘導板を有し、前記誘導板は、前記第1の吹付ノズルにより生成された空気の流れが誘導される第1の開口部と、前記第2の吹付ノズルにより生成された空気の流れが誘導される第2の開口部とが形成されるように、前記開口部近傍に配設されたことが望ましい。   In the exposure scanning apparatus according to the present invention, the suction means includes a guide plate that guides an air flow, and the guide plate is configured to guide the air flow generated by the first spray nozzle. It is desirable that the opening is disposed in the vicinity of the opening so as to form a second opening through which the air flow generated by the second spray nozzle is guided.

本発明に係る露光走査装置によれば、開口部近傍には、第1の吹付ノズルにより生成された空気の流れが誘導される第1の開口部と、第2の吹付ノズルにより生成された空気の流れが誘導される第2の開口部とが形成されるように誘導板が配設される。これにより、第1の吹付ノズル、第2の吹付ノズルのそれぞれにより生成された空気の流れに含まれるガス、アブレーションカスを第1の開口部、第2の開口部から回収することができる。   According to the exposure scanning apparatus of the present invention, in the vicinity of the opening, the first opening that induces the flow of air generated by the first spray nozzle and the air generated by the second spray nozzle. The guide plate is disposed so as to form a second opening through which the flow of the gas is guided. Thereby, the gas and the ablation residue contained in the air flow generated by each of the first spray nozzle and the second spray nozzle can be recovered from the first opening and the second opening.

本発明に係る露光走査装置は、前記吸込手段は、前記開口部の前記主走査ドラム側の壁の先端が前記第2の吹付ノズルに隣接するように配設されたことが望ましい。これにより、第2の吹付ノズルから吹きつけられた空気が壁に案内され、空気の流れを開口部に誘導することができる。   In the exposure scanning apparatus according to the present invention, it is preferable that the suction means is disposed so that a tip of a wall on the main scanning drum side of the opening is adjacent to the second spray nozzle. Thereby, the air blown from the second blowing nozzle is guided to the wall, and the air flow can be guided to the opening.

本発明に係る露光走査装置は、前記吸込手段の空気の吸い込み量が、前記第1の吹付ノズル及び前記第2の吹付ノズルの空気の吹き付け量より多くなるように制御する制御手段を備えたことが望ましい。これにより、ガス、アブレーションカスを含む空気を確実に吸い込むことができる。   The exposure scanning apparatus according to the present invention includes control means for controlling the air suction amount of the suction means to be larger than the air spray amounts of the first spray nozzle and the second spray nozzle. Is desirable. Thereby, the air containing gas and an ablation residue can be suck | inhaled reliably.

本発明に係る露光走査装置は、前記吸込手段は、断面積が略一定となる管状の部材を有することが望ましい。これにより、流速が一定となり、ガス、アブレーションカスが管内に付着することを防止することができる。   In the exposure scanning apparatus according to the present invention, it is desirable that the suction means has a tubular member having a substantially constant cross-sectional area. Thereby, the flow velocity becomes constant, and it is possible to prevent gas and ablation residue from adhering to the inside of the pipe.

本発明によれば、彫刻により発生するガス、アブレーションカスを吸込フードに誘導し、回収効率を上げることができる。   According to the present invention, the gas generated by engraving and the ablation residue can be guided to the suction hood to increase the recovery efficiency.

本発明の第1の実施形態に係るマルチビーム露光走査装置を適用した製版装置の構成図1 is a configuration diagram of a plate making apparatus to which a multi-beam exposure scanning apparatus according to a first embodiment of the present invention is applied. 露光ヘッド内に配置される光ファイバーアレイ部の構成図Configuration diagram of optical fiber array unit arranged in exposure head 光ファイバーアレイ部の光出射部の拡大図Enlarged view of the light output part of the optical fiber array part 光ファイバーアレイ部の結像光学系の概要図Schematic diagram of the imaging optical system in the optical fiber array section 光ファイバーアレイ部における光ファイバーの配置例と走査線の関係を示す説明図Explanatory drawing which shows the relationship between the example of arrangement | positioning of the optical fiber in an optical fiber array part, and a scanning line 製版装置における走査露光系の概要を示す平面図Plan view showing an outline of a scanning exposure system in a plate making apparatus 製版装置における走査露光系と、吹付ノズル、吸込フードとの位置関係を示す側面図。The side view which shows the positional relationship of the scanning exposure system in a plate-making apparatus, a spray nozzle, and a suction hood. 第1の実施形態の吹付ノズルの斜視図The perspective view of the spray nozzle of 1st Embodiment 第1の実施形態の吹付ノズルにより生成されるエアーフローを説明する図であり、(a)は吹付ノズル及びエアーフローの模式的に示した斜視図、(b)はエアーフローの寸法を示す正面図It is a figure explaining the airflow produced | generated by the spray nozzle of 1st Embodiment, (a) is the perspective view which showed typically the spray nozzle and the airflow, (b) is the front which shows the dimension of an airflow. Figure 製版装置における制御系の構成を示すブロック図Block diagram showing the configuration of the control system in the plate-making apparatus 第1の実施形態の吹付ノズル、吸込フードの変形例を示す図The figure which shows the modification of the spray nozzle of 1st Embodiment, and a suction hood. ガス、アブレーションカスの飛散を説明する図Illustration explaining the scattering of gas and ablation residue 本発明の第2の実施形態に係る製版装置における走査露光系と、吹付ノズル、吸込フードとの位置関係を示す側面図The side view which shows the positional relationship of the scanning exposure system in the plate-making apparatus which concerns on the 2nd Embodiment of this invention, a spray nozzle, and a suction hood. 第2の実施形態の吸込フードの斜視図The perspective view of the suction hood of 2nd Embodiment 第2の実施形態の吸込フードの変形例Modified example of the suction hood of the second embodiment 本発明の第3の実施形態に係る製版装置における走査露光系と、吹付ノズル、吸込フードとの位置関係を示す側面図The side view which shows the positional relationship of the scanning exposure system in the plate-making apparatus which concerns on the 3rd Embodiment of this invention, a spray nozzle, and a suction hood. 第3の実施形態の吸込フードの斜視図The perspective view of the suction hood of 3rd Embodiment 第3の実施形態の吸込フードの変形例Modified example of the suction hood of the third embodiment

以下、添付図面に従って本発明の実施形態について詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

[第1の実施形態]
<露光走査装置の構成>
図1は、本発明の実施形態に係る露光走査装置を適用した製版装置11Aの構成図である。図示の製版装置11Aは、円筒形を有するドラム50の外周面にシート状の版材(「記録媒体」に相当)を固定し、該ドラム50を図1中の矢印R方向(主走査方向)に回転させると共に、版材Fに向けてレーザ記録装置10Aの露光ヘッド30から、該版材Fに彫刻(記録)すべき画像の画像データに応じた複数のレーザビームを射出し、露光ヘッド30を主走査方向と直交する副走査方向(図1矢印S方向)に所定ピッチで走査させることで、版材Fの表面に2次元画像を高速で彫刻(記録)するものである。ここでは、フレキソ印刷用のゴム版又は樹脂版を彫刻する場合を例に説明する。
[First Embodiment]
<Configuration of exposure scanning apparatus>
FIG. 1 is a block diagram of a plate making apparatus 11A to which an exposure scanning apparatus according to an embodiment of the present invention is applied. In the illustrated plate making apparatus 11A, a sheet-like plate material (corresponding to a “recording medium”) is fixed to the outer peripheral surface of a drum 50 having a cylindrical shape, and the drum 50 is moved in the direction of arrow R (main scanning direction) in FIG. And a plurality of laser beams corresponding to the image data of the image to be engraved (recorded) on the plate material F are emitted from the exposure head 30 of the laser recording apparatus 10A toward the plate material F, and the exposure head 30 Is scanned at a predetermined pitch in the sub-scanning direction (arrow S direction in FIG. 1) perpendicular to the main scanning direction, a two-dimensional image is engraved (recorded) on the surface of the plate material F at high speed. Here, a case where a rubber plate or a resin plate for flexographic printing is engraved will be described as an example.

本例の製版装置11Aに用いられるレーザ記録装置10Aは、複数のレーザビームを生成する光源ユニット20と、光源ユニット20で生成された複数のレーザビームを版材Fに照射する露光ヘッド30と、レーザビームを版材Fに照射する時に空気を吹き付ける吹付ノズル80(図1では図示せず)と、吹付ノズル80からの空気吹き付け時に空気を吸い込む吸込フード81(図1では図示せず)と、露光ヘッド30、吹付ノズル80及び吸込フード81を副走査方向に沿って移動させる露光ヘッド移動部40と、を含んで構成されている。   A laser recording apparatus 10A used in the plate making apparatus 11A of this example includes a light source unit 20 that generates a plurality of laser beams, an exposure head 30 that irradiates the plate material F with a plurality of laser beams generated by the light source unit 20, and A spray nozzle 80 (not shown in FIG. 1) that blows air when the plate material F is irradiated with a laser beam, and a suction hood 81 (not shown in FIG. 1) that sucks air when the air is blown from the spray nozzle 80; And an exposure head moving unit 40 that moves the exposure head 30, the spray nozzle 80, and the suction hood 81 along the sub-scanning direction.

光源ユニット20は、複数の半導体レーザ21A、21B(ここでは合計64個)を備えており、各半導体レーザ21A、21Bの光は、それぞれ個別に光ファイバー22A、22B、70A、70Bを介して露光ヘッド30の光ファイバーアレイ部300へと伝送される。   The light source unit 20 includes a plurality of semiconductor lasers 21A and 21B (here, a total of 64), and the light from each of the semiconductor lasers 21A and 21B is individually exposed through the optical fibers 22A, 22B, 70A, and 70B. It is transmitted to 30 optical fiber array units 300.

本例では、半導体レーザ21A、21Bとしてブロードエリア半導体レーザ(波長:915nm)が用いられ、これら半導体レーザ21A、21Bは光源基板24A、24B上に並んで配置されている。   In this example, broad area semiconductor lasers (wavelength: 915 nm) are used as the semiconductor lasers 21A and 21B, and these semiconductor lasers 21A and 21B are arranged side by side on the light source substrates 24A and 24B.

各半導体レーザ21A、21Bは、それぞれ個別に光ファイバー22A、22Bの一端部にカップリングされ、光ファイバー22A、22Bの他端はそれぞれSC型光コネクタ25A、25Bのアダプタに接続されている。   Each of the semiconductor lasers 21A and 21B is individually coupled to one end of the optical fibers 22A and 22B, and the other ends of the optical fibers 22A and 22B are connected to adapters of SC type optical connectors 25A and 25B, respectively.

SC型光コネクタ25A、25Bを支持するアダプタ基板23A、23Bは、光源基板24A、24Bの一方の端部に垂直に取り付けられている。また、光源基板24A、24Bの他方の端部には、半導体レーザ21A、21Bを駆動するLDドライバー回路(図1中不図示、図10の符号26)を搭載したLDドライバー基板27A、27Bが取り付けられている。各半導体レーザ21A、21Bは、それぞれ個別の配線部材29A、29Bを介して、対応するLDドライバー回路に接続されており、各々の半導体レーザ21A、21Bは個別に駆動制御される。   Adapter boards 23A and 23B that support the SC type optical connectors 25A and 25B are vertically attached to one end of the light source boards 24A and 24B. Also, LD driver boards 27A and 27B mounted with LD driver circuits (not shown in FIG. 1, reference numeral 26 in FIG. 10) for driving the semiconductor lasers 21A and 21B are attached to the other ends of the light source boards 24A and 24B. It has been. Each semiconductor laser 21A, 21B is connected to a corresponding LD driver circuit via an individual wiring member 29A, 29B, and each semiconductor laser 21A, 21B is individually driven and controlled.

なお、本実施の形態では、レーザビームを高出力とするために、コア径の比較的大きな、多モード光ファイバーを光ファイバー70A、70Bに適用している。具体的には、本実施形態においては、コア径が105μmの光ファイバーが用いられている。また、半導体レーザ21A、21Bには、最大出力が10W程度のものを使用している。具体的には、例えば、JDSユニフェーズ社から販売されているコア径105μmで出力10W(6398-L4)のものなどを採用することができる。   In this embodiment, a multimode optical fiber having a relatively large core diameter is applied to the optical fibers 70A and 70B in order to increase the output of the laser beam. Specifically, in this embodiment, an optical fiber having a core diameter of 105 μm is used. Further, semiconductor lasers 21A and 21B having a maximum output of about 10 W are used. Specifically, for example, a core having a core diameter of 105 μm and an output of 10 W (6398-L4) sold by JDS Uniphase can be used.

一方、露光ヘッド30には、複数の半導体レーザ21A、21Bから射出された各レーザビームを取り纏めて射出する光ファイバーアレイ部300が備えられている。光ファイバーアレイ部300の光出射部(図1中不図示、図2の符号280)は、各半導体レーザ21A、21Bから導かれた64本の光ファイバー70A、70Bの出射端が32個ずつ2列に並んで配置された構造となっている(図3参照)。   On the other hand, the exposure head 30 includes an optical fiber array unit 300 that collectively emits laser beams emitted from the plurality of semiconductor lasers 21A and 21B. The light emitting section (not shown in FIG. 1, reference numeral 280 in FIG. 2) of the optical fiber array section 300 has 32 emitting ends of 64 optical fibers 70A and 70B guided from the semiconductor lasers 21A and 21B in two rows. The structure is arranged side by side (see FIG. 3).

また、露光ヘッド30内には、光ファイバーアレイ部300の光出射部側より、コリメータレンズ32、開口部材33、及び結像レンズ34が、順番に並んで配設されている。コリメータレンズ32と結像レンズ34の組合せによって結像光学系が構成されている。開口部材33は、光ファイバーアレイ部300側から見て、その開口がファーフィールド(Far Field)の位置となるように配置されている。これによって、光ファイバーアレイ部300から射出された全てのレーザビームに対して同等の光量制限効果を与えることができる。   Further, in the exposure head 30, a collimator lens 32, an opening member 33, and an imaging lens 34 are arranged in order from the light emitting unit side of the optical fiber array unit 300. An imaging optical system is configured by the combination of the collimator lens 32 and the imaging lens 34. The opening member 33 is disposed so that the opening is positioned at the far field when viewed from the optical fiber array unit 300 side. As a result, an equivalent light amount limiting effect can be given to all laser beams emitted from the optical fiber array unit 300.

露光ヘッド移動部40には、長手方向が副走査方向に沿うように配置されたボールネジ41及び2本のレール42が備えられており、ボールネジ41を回転駆動する副走査モータ(図1中不図示、図の符号43)を作動させることによってボールネジ41上に配置された露光ヘッド30をレール42に案内された状態で副走査方向に移動させることができる。また、ドラム50は主走査モータ(図1中不図示、図の符号51)を作動させることによって、図1の矢印R方向に回転駆動させることができ、これによって主走査がなされる。   The exposure head moving unit 40 is provided with a ball screw 41 and two rails 42 arranged so that the longitudinal direction is along the sub-scanning direction, and a sub-scanning motor (not shown in FIG. 1) that rotationally drives the ball screw 41. , The exposure head 30 disposed on the ball screw 41 can be moved in the sub-scanning direction while being guided by the rail 42. The drum 50 can be driven to rotate in the direction of arrow R in FIG. 1 by operating a main scanning motor (not shown in FIG. 1, reference numeral 51 in the figure), thereby performing main scanning.

図2は光ファイバーアレイ部300の構成図であり、図3はその光出射部280の拡大図(図2のA矢視図)である。図3に示すように、光ファイバーアレイ部300の光出射部280は、上下2段に組み合わされた光ファイバーアレイユニット300A、300Bで構成され、上段と下段とにそれぞれ同じコア径105μmの光ファイバー70A、70Bが32本ずつ2列に並んで配置されている。   FIG. 2 is a configuration diagram of the optical fiber array unit 300, and FIG. As shown in FIG. 3, the light emitting section 280 of the optical fiber array section 300 is composed of optical fiber array units 300A and 300B combined in two upper and lower stages, and optical fibers 70A and 70B having the same core diameter of 105 μm in the upper and lower stages, respectively. Are arranged in two rows of 32 pieces each.

光ファイバーアレイ部300は、2枚の基台(V溝基板)302A、302Bを有している。基台302A、302Bには各々片面に半導体レーザ21A、21Bと同数、すなわち夫々32個のV字溝282A、282Bが所定の間隔で隣接するように形成されている。そして、基台302A、302Bは、V字溝282A、282Bが対向するように配置されている。   The optical fiber array unit 300 has two bases (V-groove substrates) 302A and 302B. The bases 302A and 302B are formed on one side so that the same number of semiconductor lasers 21A and 21B, that is, 32 V-shaped grooves 282A and 282B are adjacent to each other at a predetermined interval. The bases 302A and 302B are arranged so that the V-shaped grooves 282A and 282B face each other.

基台302Aの各V字溝282Aには、光ファイバー70Aの他端部の光ファイバー端部71Aが1本ずつ嵌め込まれている。同様に基台302Bの各V字溝282Bに各光ファイバー70Bの他端部の光ファイバー端部71Bが1本ずつ嵌め込まれている。すなわち、本実施の形態の光ファイバーアレイ部300は、複数(本実施形態では32本×2=合計64個)の光ファイバー端部71A、71Bが所定方向に沿った直線状に配置されて構成された光ファイバー端部群301A、301Bが、上記所定方向と直交する方向に平行に2列設けられて構成されている。   One optical fiber end 71A at the other end of the optical fiber 70A is fitted into each V-shaped groove 282A of the base 302A. Similarly, one optical fiber end 71B at the other end of each optical fiber 70B is fitted into each V-shaped groove 282B of the base 302B. That is, the optical fiber array unit 300 of the present embodiment is configured by arranging a plurality (32 in the present embodiment × 2 = 64 in total) of optical fiber end portions 71A and 71B in a straight line along a predetermined direction. Optical fiber end groups 301A and 301B are configured to be provided in two rows in parallel to a direction orthogonal to the predetermined direction.

したがって、光ファイバーアレイ部300の光出射部280からこれら複数本(32本×2)のレーザビームが同時に射出される。   Therefore, these multiple (32 × 2) laser beams are simultaneously emitted from the light emitting portion 280 of the optical fiber array portion 300.

図4は、光ファイバーアレイ部300の結像系の概要図である。図4に示すように、コリメータレンズ32及び結像レンズ34で構成される結像手段によって、光ファイバーアレイ部300の光出射部280を所定の結像倍率で版材Fの露光面(表面)FAの近傍に結像させる。これにより、光軸Lと露光面(表面)FAとの交点Iが彫刻(画像記録)される。本実施形態では、結像倍率は1/3倍とされており、これにより、コア径105μmの光ファイバー端部71A、71Bから出射されたレーザビームLAのスポット径は、φ35μmとなる。   FIG. 4 is a schematic diagram of an imaging system of the optical fiber array unit 300. As shown in FIG. 4, the light emitting section 280 of the optical fiber array section 300 is exposed to the exposure surface (surface) FA of the plate material F at a predetermined imaging magnification by the imaging means composed of the collimator lens 32 and the imaging lens 34. The image is formed in the vicinity of. Thereby, the intersection I between the optical axis L and the exposure surface (surface) FA is engraved (image recording). In the present embodiment, the imaging magnification is set to 1/3, so that the spot diameter of the laser beam LA emitted from the optical fiber end portions 71A and 71B having the core diameter of 105 μm is φ35 μm.

このような結像系を有する露光ヘッド30において、図3で説明した光ファイバーアレイユニット300A、300Bの上段と下段の間隔(図3中のL1)と列方向の相対的位置(図3中のL2)、列内の隣接ファイバー間隔(図3中のL3)及び光ファイバーアレイ部300を固定するときの光ファイバー端部群301A、301Bの配列方向(アレイ方向)の傾斜角度(図5中の角度θ)を適宜設計することにより、図5に示すように、アレイ上段(光ファイバー端部群301A)及びアレイ下段(光ファイバー端部群301B)の各列内で隣り合う位置に配置される光ファイバー端部71A、71Bから射出されるレーザビームで露光する走査線(記録ライン)Kの間隔P1と、アレイ上段の右端の光ファイバー端部71ATとアレイ下段の左端の光ファイバー端部71BTで露光する走査線Kの間隔P2をそれぞれ等しく10.58μm(副走査方向の解像度2400dpi相当)に設定することができる。なお、図5では、図示の便宜上、光ファイバーの数を減じて示した。つまり、光ファイバーアレイ部300の設計により、64チャンネルで副走査方向解像度2400dpiの走査線間隔(P1=P2≒10.6μm)を実現できる。   In the exposure head 30 having such an image forming system, the distance between the upper and lower stages of the optical fiber array units 300A and 300B described in FIG. 3 (L1 in FIG. 3) and the relative position in the column direction (L2 in FIG. 3). ), The interval between adjacent fibers in the row (L3 in FIG. 3), and the inclination angle (angle θ in FIG. 5) of the arrangement direction (array direction) of the optical fiber end groups 301A and 301B when fixing the optical fiber array unit 300 Are appropriately designed, as shown in FIG. 5, optical fiber end portions 71A arranged at adjacent positions in each row of the upper array stage (optical fiber end group 301A) and lower array stage (optical fiber end group 301B), The interval P1 of the scanning line (recording line) K exposed by the laser beam emitted from 71B, the optical fiber end 71AT at the right end of the upper stage of the array, and the array It is possible to set the interval P2 of the scanning line K of the exposure at the left end of the optical fiber end portion 71BT stages respectively equal 10.58Myuemu (sub-scanning direction resolution 2400dpi equivalent). In FIG. 5, the number of optical fibers is reduced for the convenience of illustration. That is, the design of the optical fiber array unit 300 can realize a scanning line interval (P1 = P2≈10.6 μm) with a resolution of 2400 dpi in the sub-scanning direction with 64 channels.

上記構成の露光ヘッド30を用いることにより、光ファイバーアレイ部300の光ファイバー端部群301A、301Bの2列で64ラインの範囲(1スワス分)を同時に走査して露光することができる。   By using the exposure head 30 having the above-described configuration, it is possible to simultaneously scan and expose a range of 64 lines (one swath) in two rows of the optical fiber end group 301A and 301B of the optical fiber array unit 300.

図6は、図1に示した製版装置11Aにおける走査露光系の概要を示す平面図である。露光ヘッド30は、ピント位置変更機構60と、副走査方向への間欠送り機構90を備えている。   FIG. 6 is a plan view showing an outline of a scanning exposure system in the plate making apparatus 11A shown in FIG. The exposure head 30 includes a focus position changing mechanism 60 and an intermittent feed mechanism 90 in the sub-scanning direction.

ピント位置変更機構60は、露光ヘッド30をドラム50面に対して前後移動させるモータ61とボールネジ62を有し、モータ61の制御により、ピント位置を約0.1秒で約300μm移動させることができる。間欠送り機構90は、図1で説明した露光ヘッド移動部40を構成するものであり、図6に示すように、ボールネジ41とこれを回転させる副走査モータ43を有する。露光ヘッド30は、ボールネジ41上のステージ44に固定されており、副走査モータ43の制御により、露光ヘッド30をドラム50の軸線52方向すなわち副走査方向に、約0.1秒で1スワス分(640μm)と隣り合うスワス分まで間欠送りできる。   The focus position changing mechanism 60 has a motor 61 and a ball screw 62 that move the exposure head 30 back and forth with respect to the drum 50 surface. Under the control of the motor 61, the focus position can be moved about 300 μm in about 0.1 seconds. it can. The intermittent feed mechanism 90 constitutes the exposure head moving unit 40 described with reference to FIG. 1, and includes a ball screw 41 and a sub-scanning motor 43 that rotates the ball screw 41 as shown in FIG. The exposure head 30 is fixed to a stage 44 on the ball screw 41, and is controlled by the sub-scanning motor 43 to move the exposure head 30 in the direction of the axis 52 of the drum 50, that is, in the sub-scanning direction by about 1 second. (640 μm) can be intermittently fed to the adjacent swath.

なお、図6において、符号46、47は、ボールネジ41を回動自在に支持するベアリングブロックである。符号55はドラム50上で版材Fをチャックするチャック部材である。このチャック部材55の位置は、露光ヘッド30による露光(記録)を行わない非記録領域である。   In FIG. 6, reference numerals 46 and 47 denote bearing blocks that rotatably support the ball screw 41. Reference numeral 55 denotes a chuck member that chucks the plate material F on the drum 50. The position of the chuck member 55 is a non-recording area where exposure (recording) by the exposure head 30 is not performed.

ドラム50を回転させながら、この回転するドラム50上の版材Fに対し、露光ヘッド30から64チャンネルのレーザビームを照射することで、64チャンネル分(1スワス分)の露光範囲92を隙間なく露光し、版材Fの表面に1スワス幅の彫刻(画像記録)を行う。そして、ドラム50の回転により、露光ヘッド30の前をチャック部材55が通過するときに(版材Fの非記録領域のところで)、副走査方向に間欠送りを行い、次の1スワス分を露光する。このような副走査方向の間欠送りによる露光走査を繰り返すことにより、版材Fの全面に所望の画像を形成する。   While rotating the drum 50, the plate material F on the rotating drum 50 is irradiated with a laser beam of 64 channels from the exposure head 30, so that an exposure range 92 for 64 channels (one swath) can be formed without a gap. Exposure is performed, and engraving (image recording) of 1 swath width is performed on the surface of the plate material F. Then, when the chuck member 55 passes in front of the exposure head 30 by the rotation of the drum 50 (at the non-recording area of the plate material F), intermittent feeding is performed in the sub-scanning direction to expose the next one swath. To do. A desired image is formed on the entire surface of the plate F by repeating exposure scanning by intermittent feeding in the sub-scanning direction.

本例では、シート状の版材F(記録媒体)を用いているが、円筒状記録媒体(スリーブタイプ)を用いることも可能である。   In this example, a sheet-like plate material F (recording medium) is used, but a cylindrical recording medium (sleeve type) can also be used.

版材Fの表面に1スワス幅の彫刻(画像記録)を行う時に、吹付ノズル80から空気を吹き付けると共に、吸込フード81から空気を吸い込む。図7は、製版装置11Aにおける走査露光系と、吹付ノズル80、吸込フード81との位置関係を示す側面図である。   When engraving (image recording) having a swath width on the surface of the plate material F, air is blown from the spray nozzle 80 and air is sucked from the suction hood 81. FIG. 7 is a side view showing the positional relationship among the scanning exposure system, the spray nozzle 80, and the suction hood 81 in the plate making apparatus 11A.

吹付ノズル80及び吸込フード81は、露光ヘッド30とドラム50との間に配設される。吹付ノズル80は、露光ヘッド30とドラム50との間に形成された空間にエアーフローA1を生成する。吹付ノズル80から吹き付けられた空気を吸込フード81から吸い込めるように、吹付ノズル80及び吸込フード81は対向して配設される。   The spray nozzle 80 and the suction hood 81 are disposed between the exposure head 30 and the drum 50. The spray nozzle 80 generates an air flow A <b> 1 in a space formed between the exposure head 30 and the drum 50. The spray nozzle 80 and the suction hood 81 are arranged to face each other so that air blown from the spray nozzle 80 can be sucked from the suction hood 81.

吹付ノズル80は、図8に示すように吹き出し口80aが一列に並んで配設され、各吹き出し口80aから空気が噴出される。これにより、図9(a)に示すように、吹付ノズル80全体からは、略四角錐台形のエアーフローA1が生成される。図9(b)は、この略四角錐台形のエアーフローA1を吹付ノズル80の正面側から見た図であり、エアーフローA1の大きさの具体例を示す。   As shown in FIG. 8, the blowing nozzles 80 are provided with the blowing ports 80a arranged in a line, and air is jetted from the respective blowing ports 80a. Thereby, as shown to Fig.9 (a), from the whole spray nozzle 80, the substantially square pyramid trapezoid airflow A1 is produced | generated. FIG. 9B is a diagram of the substantially square pyramid trapezoidal airflow A1 as viewed from the front side of the spray nozzle 80, and shows a specific example of the size of the airflow A1.

エアーフローA1は、吹き出し口80aからの距離が30mmの位置では幅が54mmとなり、吹き出し口80aからの距離が150mmの位置では幅が100mmとなり、吹き出し口80aからの距離が300mmの位置では幅が160mmとなる。また、エアーフローA1の奥行きは、広がりを抑え、フラットな形状となるように調整される。エアーフローA1の速さは、レーザビームの出力やドラム50の回転速度に応じて適切な値が実験的に定められる。   The airflow A1 has a width of 54 mm at a position 30 mm away from the outlet 80a, a width of 100 mm at a position 150 mm away from the outlet 80a, and a width at a position 300 mm away from the outlet 80a. It becomes 160 mm. Further, the depth of the airflow A1 is adjusted so as to suppress the spread and become a flat shape. The speed of the air flow A1 is experimentally determined according to the output of the laser beam and the rotational speed of the drum 50.

吹付ノズル80は、図7に示すように、吹き出し口80aの配列方向がドラム50の軸線52と略平行となるように、すなわち吹き出し口80aの配列方向は、光ファイバー端部71A、71Bの配置方向と同じとなるように配設される。また、吹付ノズル80は、吹き出し口80aからの空気の吹き出し方向がドラム50の回転方向Rと同じとなり、かつ吹き出し口80aを通り、吹き出し口の80aの配列方向と直交する面Mにおけるエアーフロー(以下、エアーフロー中心面という)AM1(図9(a)参照)が、光軸Lと露光面FAとの交点Iにおけるドラム50の接線と平行となるように配設される。これにより、光軸Lと露光面FAとの交点Iの位置では、図9における略下向きの空気の流れが生成される。したがって、彫刻により発生するガス、アブレーションカスを下方向へ搬送し、それ以外の方向へのガス、アブレーションカスの飛散が防止される。   As shown in FIG. 7, the spray nozzle 80 is arranged so that the arrangement direction of the outlets 80a is substantially parallel to the axis 52 of the drum 50, that is, the arrangement direction of the outlets 80a is the arrangement direction of the optical fiber end portions 71A and 71B. It is arrange | positioned so that it may become the same. Also, the blowing nozzle 80 has an air flow in a plane M in which the blowing direction of air from the blowing port 80a is the same as the rotation direction R of the drum 50 and passes through the blowing port 80a and is orthogonal to the arrangement direction of the blowing ports 80a ( Hereinafter, AM1 (referred to as an air flow center plane) (see FIG. 9A) is disposed so as to be parallel to the tangent line of the drum 50 at the intersection I between the optical axis L and the exposure surface FA. Accordingly, a substantially downward air flow in FIG. 9 is generated at the position of the intersection I between the optical axis L and the exposure surface FA. Therefore, gas and ablation debris generated by engraving are conveyed downward, and scattering of gas and ablation debris in other directions is prevented.

また、光ファイバーアレイ部300の光出射部280よりエアーフローA1の幅が大きくなるように、吹き出し口80aからの距離が略51mmの位置に光出射部280が位置するように、吹付ノズル80が配設される。これにより、彫刻により発生するガス、アブレーションカスをエアーフローA1に乗せることができる。なお、吹付ノズル80と光出射部280との関係はこれに限定されるものではなく、光出射部280よりエアーフローA1の幅が大きくなるような様々な位置関係とすることができる。   Further, the spray nozzle 80 is arranged so that the light emitting portion 280 is located at a position where the distance from the outlet 80a is approximately 51 mm so that the width of the airflow A1 is larger than the light emitting portion 280 of the optical fiber array portion 300. Established. Thereby, the gas and ablation residue generated by engraving can be put on the airflow A1. In addition, the relationship between the spray nozzle 80 and the light emission part 280 is not limited to this, It can be set as various positional relationships that the width | variety of the airflow A1 becomes larger than the light emission part 280.

吸込フード81は、略長方形の開口部81aを有する断面略長方形の管状の部材であり、開口部81a以外の開口部に接続されたポンプ(図示せず)等により、開口部81aからは空気が吸い込まれる(図7矢印参照)。吸込フード81からの空気の吸い込み量は、吹付ノズル80からの空気の吹き付け量よりも多くなるように設定される。   The suction hood 81 is a tubular member having a substantially rectangular cross section having a substantially rectangular opening 81a, and air is supplied from the opening 81a by a pump (not shown) connected to an opening other than the opening 81a. Inhaled (see arrow in FIG. 7). The amount of air sucked from the suction hood 81 is set to be larger than the amount of air blown from the spray nozzle 80.

エアーフローA1の延長上に開口部81aが配設される。開口部81aは、その位置におけるエアーフローA1の大きさより大きくなるように形成される。本実施の形態では、吸込フード81は、吹き出し口80aからの距離が略150mmの位置に配設されるため、吸込フード81の開口部81aの幅が100mm以上となるように形成される。これにより、ガス、アブレーションカスを含むエアーフローA1を吸込フード81から確実に吸い込むことができる。   An opening 81a is provided on the extension of the airflow A1. The opening 81a is formed to be larger than the size of the airflow A1 at that position. In the present embodiment, the suction hood 81 is disposed at a position where the distance from the outlet 80a is approximately 150 mm, so that the width of the opening 81a of the suction hood 81 is 100 mm or more. Thereby, the airflow A1 including gas and ablation residue can be reliably sucked from the suction hood 81.

吸込フード81は、断面積が略一定となるように形成される。これにより、吸込フード81内の流速を一定にし、吸い込んだガス、アブレーションカスが吸込フード81内に付着することを防止し、付着量を低減させることができる。   The suction hood 81 is formed so that the cross-sectional area is substantially constant. Thereby, the flow velocity in the suction hood 81 can be made constant, the sucked gas and ablation residue can be prevented from adhering to the suction hood 81, and the amount of adhesion can be reduced.

<制御系の構成>
図10は、製版装置11Aの制御系の構成を示すブロック図である。図10に示すように、製版装置11Aは、彫刻すべき2次元の画像データに応じて各半導体レーザ21A、21Bを駆動するLDドライバー回路26と、ドラム50を回転させる主走査モータ51と、主走査モータ51を駆動する主走査モータ駆動回路101と、副走査モータ43を駆動する副走査モータ駆動回路102と、制御回路100と、を備えている。制御回路100は、LDドライバー回路26、及び各モータ駆動回路(101、102)を制御する。
<Control system configuration>
FIG. 10 is a block diagram showing the configuration of the control system of the plate making apparatus 11A. As shown in FIG. 10, the plate making apparatus 11A includes an LD driver circuit 26 that drives the semiconductor lasers 21A and 21B in accordance with the two-dimensional image data to be engraved, a main scanning motor 51 that rotates the drum 50, A main scanning motor driving circuit 101 that drives the scanning motor 51, a sub scanning motor driving circuit 102 that drives the sub scanning motor 43, and a control circuit 100 are provided. The control circuit 100 controls the LD driver circuit 26 and each motor drive circuit (101, 102).

制御回路100には、版材Fに彫刻(記録)する画像を示す画像データが供給される。制御回路100は、この画像データに基づき、主走査モータ51及び副走査モータ43の駆動を制御するとともに、各半導体レーザ21A、21Bについて個別にその出力(レーザビームのパワー制御)を制御する。なお、レーザビームの出力を制御する手段としては、半導体レーザ21A、21Bの発光量を制御する態様に限らず、これに代えて、又はこれと組み合わせて、音響光変調器(AOM:Acoustic OpticalModulator)ユニットなどの光変調手段を用いてもよい。   Image data indicating an image to be engraved (recorded) on the plate material F is supplied to the control circuit 100. The control circuit 100 controls the driving of the main scanning motor 51 and the sub-scanning motor 43 based on this image data, and individually controls the output (laser beam power control) for each of the semiconductor lasers 21A and 21B. The means for controlling the output of the laser beam is not limited to the mode of controlling the light emission amount of the semiconductor lasers 21A and 21B, but instead of this or in combination with this, an acoustic light modulator (AOM: Acoustic Optical Modulator). Light modulation means such as a unit may be used.

次に、マルチビーム露光系によって印刷版を製造する際の露光走査工程について説明する。露光走査工程は、主として制御回路100によって制御される。本実施の形態では、同一走査線を複数回走査露光するマルチビーム露光系において、記録媒体の露光表面に残すべき平面形状およびその傾斜部の大枠を第1ビーム群で形成し(粗彫刻工程)、この粗彫刻工程で上昇した版材Fの温度が所定温度まで下がった後に、第1ビーム群から記録媒体へ照射されるエネルギーよりも低いエネルギーの第2ビーム群で同一走査線上を露光走査し、最終形状(目的とする表面形状および傾斜部)を精密に微細彫刻する(微細彫刻工程)複数回露光走査方式を採用する。   Next, the exposure scanning process when manufacturing a printing plate by a multi-beam exposure system will be described. The exposure scanning process is mainly controlled by the control circuit 100. In the present embodiment, in a multi-beam exposure system that scans and exposes the same scanning line a plurality of times, the planar shape to be left on the exposure surface of the recording medium and the large frame of the inclined portion are formed by the first beam group (coarse engraving process) Then, after the temperature of the plate material F raised in the rough engraving process is lowered to a predetermined temperature, exposure scanning is performed on the same scanning line with the second beam group having energy lower than the energy irradiated from the first beam group to the recording medium. Then, a multi-exposure scanning method is employed in which the final shape (target surface shape and inclined portion) is finely engraved precisely (fine engraving process).

制御回路100に画像データが供給されると、制御回路100は、彫刻を開始する前に、吹付ノズル80から空気を吹き付けてエアーフローA1を発生させるとともに、吸込フード81から空気の吸い込みを開始する。その後、以下のようにして彫刻を開始する。   When the image data is supplied to the control circuit 100, the control circuit 100 blows air from the blowing nozzle 80 to generate an air flow A1 and starts sucking air from the suction hood 81 before starting engraving. . After that, engraving is started as follows.

ドラム50を一定速度で回転させながら、露光ヘッド30から出射する第1ビーム群(64チャンネル)で版材F上を露光走査して、第1形状を彫刻する。この第1ビーム群による1回目の走査露光工程は、最終的に凸平面部として残す表面形状及びその傾斜部の形状まで到達しない粗彫刻を行う工程である。ドラム50が1回転すると64チャンネル幅で粗彫刻が行われる。その後、同じ副走査位置で(露光ヘッド30を移動させずに)、ドラム50の2回転目で同じ場所の同じライン上を、より低パワーの第2ビーム群(第1ビーム群と同チャンネル)で走査露光を行い、最終形状(第2形状)を形成する。   While the drum 50 is rotated at a constant speed, the plate material F is exposed and scanned by the first beam group (64 channels) emitted from the exposure head 30 to engrave the first shape. The first scanning exposure step by the first beam group is a step of performing rough engraving that does not reach the shape of the surface finally left as the convex flat portion and the shape of the inclined portion. When the drum 50 rotates once, rough engraving is performed with a width of 64 channels. Thereafter, at the same sub-scanning position (without moving the exposure head 30), the second beam group of lower power (same channel as the first beam group) on the same line at the same place in the second rotation of the drum 50. Scan exposure is performed to form a final shape (second shape).

こうして、ドラム50の2回転で1スワス分の彫刻を完成させた後、非記録領域たるチャック部材55が露光ヘッド30の前を横切るときに、露光ヘッド30を副走査方向(図1において右方向)に間欠送りし、隣接する次の1スワス分の彫刻を行う位置に移動させる。そして、当該位置において、第1ビーム群による粗彫刻及び微細彫刻の露光走査を行う。   In this way, after engraving for one swath is completed by two rotations of the drum 50, the exposure head 30 is moved in the sub-scanning direction (rightward in FIG. 1) when the chuck member 55, which is a non-recording area, crosses the front of the exposure head 30. ) Intermittently, and moved to a position for engraving the next adjacent swath. Then, exposure scanning of coarse engraving and fine engraving by the first beam group is performed at the position.

以後、上記の工程を繰り返し、版材F上の全面を露光する。なお、使用する版材(フレキソ感材)の感度(光への反応性)によって、パワー制御の具体的な制御態様は異なる。版材の種類等に応じて適切な出力条件が実験的に定められる。   Thereafter, the above process is repeated to expose the entire surface of the plate material F. The specific control mode of power control differs depending on the sensitivity (reactivity to light) of the plate material (flexo sensitive material) to be used. Appropriate output conditions are experimentally determined according to the type of printing plate.

彫刻が終了したら、吹付ノズル80からの空気の吹き付けを停止させ、その後吸込フード81から空気の吸い込みを停止する。   When engraving is completed, the blowing of air from the blowing nozzle 80 is stopped, and then the suction of air from the suction hood 81 is stopped.

本実施の形態によれば、彫刻により発生するガス、アブレーションカスをエアーフローと共に吸込フードへ導くことができる。そのため、ガス、アブレーションカスの回収効率を上げることができる。これにより、ガス、アブレーションカスの製版装置内への飛散が防止される。   According to the present embodiment, the gas and ablation residue generated by engraving can be guided to the suction hood together with the air flow. Therefore, the recovery efficiency of gas and ablation residue can be increased. Thereby, scattering of gas and ablation residue into the plate making apparatus is prevented.

なお、本実施の形態では、略長方形の開口部81aを有する吸込フード81を用いたが、吸込フード81の形状はこれに限られない。例えば、図11(a)に示すように、開口部81aの露光ヘッド30側に壁81bを配設してもよい。この壁81bは、最も高い位置が光軸Lより下に位置するように形成されている。 また、壁81bの上端部には、壁81bがレーザ光と干渉しないようにするための孔81d’が形成される。これにより、エアーフローA1を下方向へ流れるように案内する位置が吹き出し口80aに近い位置となり、ガス、アブレーションカスの吸引効率を高くすることができる。なお、図11(a)では孔81d’の形状を略半月形状としているが、形状はこれに限られない。   In addition, in this Embodiment, although the suction hood 81 which has the substantially rectangular opening part 81a was used, the shape of the suction hood 81 is not restricted to this. For example, as shown in FIG. 11A, a wall 81b may be disposed on the exposure head 30 side of the opening 81a. The wall 81b is formed so that the highest position is located below the optical axis L. In addition, a hole 81d 'is formed at the upper end of the wall 81b so that the wall 81b does not interfere with the laser beam. Thereby, the position where the air flow A1 is guided to flow downward is close to the outlet 80a, and the suction efficiency of gas and ablation residue can be increased. In FIG. 11A, the shape of the hole 81d 'is a substantially half moon shape, but the shape is not limited to this.

この効果を更に高めるため、図11(b)に示すように、開口部81aの露光ヘッド30側の壁81bに加え、側面に壁81cを配設してもよい。また、図11(c)に示すように、吹付ノズル80を覆う高さで形成された壁81b’及び側面の壁81c’を配設し、壁81b’にレーザ光が貫通する孔81dを形成するようにしても良い。さらに、開口部81aのドラム50側に壁81eを配設してもよい。これにより、エアーフローA1を吸込フード内へ導かれやすくなる。   In order to further enhance this effect, as shown in FIG. 11B, in addition to the wall 81b on the exposure head 30 side of the opening 81a, a wall 81c may be provided on the side surface. Further, as shown in FIG. 11C, a wall 81b ′ and a side wall 81c ′ formed at a height that covers the spray nozzle 80 are provided, and a hole 81d through which the laser beam passes is formed in the wall 81b ′. You may make it do. Furthermore, a wall 81e may be disposed on the drum 50 side of the opening 81a. Thereby, it becomes easy to guide the airflow A1 into the suction hood.

また、図11(d)に示すように、吹付ノズル80の吹き出し口80aを覆うように壁81b’’、81c’’、81eを配設し、壁81b’’にレーザ光が貫通する孔81dを形成し、81eにレーザ光が貫通する孔81fを形成するようにしても良い。この場合には、エアーフローA1が全て吸込フードに覆われるため、ガス、アブレーションカスを略全て回収することができる。   Further, as shown in FIG. 11D, walls 81b ″, 81c ″, 81e are provided so as to cover the outlet 80a of the spray nozzle 80, and a hole 81d through which the laser beam penetrates the wall 81b ″. The hole 81f through which the laser beam passes may be formed in 81e. In this case, since all the airflow A1 is covered with the suction hood, almost all of the gas and ablation residue can be recovered.

なお、壁81c、81c’、81cc’’は、チャック部材55と干渉しないように、ドラム50の回転に伴うチャック部材55の周回ラインrから所定の距離だけオフセットされた位置で略長方形の一部が除かれた形状となるように形成される。また、壁81eは、周回ラインrの半径にオフセットの距離を加えた長さの半径を有する円弧状の面で形成される。   The walls 81c, 81c ′, 81cc ″ are part of a substantially rectangular shape at a position offset by a predetermined distance from the circuit line r of the chuck member 55 accompanying the rotation of the drum 50 so as not to interfere with the chuck member 55. It is formed to have a shape from which is removed. The wall 81e is formed by an arcuate surface having a radius of a length obtained by adding an offset distance to the radius of the circuit line r.

なお、図11(c)、(d)では、レーザ光が貫通する孔81d、孔81f’が形成されているが、この孔は直径数mm程度の丸孔 であり大きさが小さいため、エアーフローA1により、孔81d、81f’からはエアーフローA1以上の流速で空気が吸込フード81’’’、81’’’’内へ吸い込まれる。したがって、これらの孔が吸込フードを吹付ノズル80を覆う高さとしたことによる効果を失わせるものではなく、逆に結像レンズ34等の汚れを低減することができる。   In FIGS. 11 (c) and 11 (d), a hole 81d and a hole 81f ′ through which laser light passes are formed, but these holes are round holes with a diameter of about several millimeters and are small in size. By the flow A1, air is sucked into the suction hoods 81 ′ ″ and 81 ″ ″ from the holes 81d and 81f ′ at a flow velocity higher than that of the air flow A1. Therefore, these holes do not lose the effect of having the suction hood at a height that covers the spray nozzle 80, and on the contrary, contamination of the imaging lens 34 and the like can be reduced.

また、本実施の形態では、吹き出し口80aからの空気の吹き出し方向がドラム50の回転方向Rと同じとなるように吹付ノズル80を配設したが、吹き出し口80aからの空気の吹き出し方向がドラム50の回転方向Rと逆向きとなるように吹付ノズル80を配設するようにしてもよい。ただし、ガス、アブレーションカスは、図12の矢印Xに示すように、露光により版材Fに形成された壁により、ドラム50の回転方向Rに対し副走査方向Sと逆方向に所定の角度を持った方向に飛散する傾向がある。そのため、ガス、アブレーションカスの飛散方向に逆らわないように、吹き出し口80aからの空気の吹き出し方向がドラム50の回転方向Rと同じ方向となるように吹付ノズル80を配設することが望ましい。   In the present embodiment, the blowing nozzle 80 is disposed so that the blowing direction of the air from the blowing port 80a is the same as the rotation direction R of the drum 50, but the blowing direction of the air from the blowing port 80a is the drum. The spray nozzle 80 may be disposed so as to be opposite to the rotation direction R of 50. However, the gas and ablation debris have a predetermined angle in the direction opposite to the sub-scanning direction S with respect to the rotation direction R of the drum 50 due to the wall formed in the plate material F by exposure as shown by an arrow X in FIG. There is a tendency to scatter in the direction it has. Therefore, it is desirable to arrange the spray nozzle 80 so that the air blowing direction from the blowing port 80a is the same direction as the rotation direction R of the drum 50 so as not to oppose the gas and ablation residue scattering direction.

[第2の実施形態]
本発明の第1の実施の形態は、吹付ノズル80と吸込フード81とを対向して配設し、吹付ノズル80から空気を吹き付けると共に、吸込フード81から空気を吸い込むことにより、彫刻により発生するガス、アブレーションカスを回収したが、吸込フードはチャック部材55の周回ラインrの外側にしか配設できないという物理的な制限より、全てのガス、アブレーションカスが吸込フード81に回収されない虞がある。
[Second Embodiment]
The first embodiment of the present invention is generated by engraving by arranging the spray nozzle 80 and the suction hood 81 so as to face each other, blowing air from the spray nozzle 80 and sucking air from the suction hood 81. Although the gas and ablation debris are collected, there is a possibility that not all the gas and ablation debris are collected in the suction hood 81 due to the physical limitation that the suction hood can be disposed only outside the circuit line r of the chuck member 55.

特に、ドラム50の回転速度等によっては、ドラム50(版材F)からの摩擦抗力等により、ドラム50の回転に伴ってガス、アブレーションカスがドラム50(版材F)の表面に絡みつく(巻きつく)ように流れる場合がある。このような場合には、さらに回収効率が低下する。   In particular, depending on the rotational speed of the drum 50, gas and ablation residue are entangled with the surface of the drum 50 (plate material F) as the drum 50 rotates due to frictional drag from the drum 50 (plate material F). It may flow like In such a case, the recovery efficiency further decreases.

本発明の第2の実施の形態は、ドラム50(版材F)の表面に絡みついたガス、アブレーションカスをエアーフローにより吸込フードへ搬送する形態である。以下、第2の実施形態に係る製版装置11Bについて説明する。なお、第1の実施の形態と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。   In the second embodiment of the present invention, gas and ablation residue entangled on the surface of the drum 50 (plate material F) are conveyed to the suction hood by airflow. Hereinafter, the plate making apparatus 11B according to the second embodiment will be described. In addition, about the part same as 1st Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and description is abbreviate | omitted.

製版装置11Bは、円筒形を有するドラム50の外周面にシート状の版材(「記録媒体」に相当)を固定し、該ドラム50を矢印R方向(主走査方向)に回転させると共に、版材Fに向けてレーザ記録装置10Bの露光ヘッド30から、該版材Fに彫刻(記録)すべき画像の画像データに応じた複数のレーザビームを射出し、露光ヘッド30を主走査方向と直交する副走査方向(矢印S方向)に所定ピッチで走査させることで、版材Fの表面に2次元画像を高速で彫刻(記録)するものである。   The plate making apparatus 11B fixes a sheet-like plate material (corresponding to “recording medium”) to the outer peripheral surface of a drum 50 having a cylindrical shape, rotates the drum 50 in an arrow R direction (main scanning direction), and A plurality of laser beams corresponding to image data of an image to be engraved (recorded) are emitted from the exposure head 30 of the laser recording apparatus 10B toward the material F, and the exposure head 30 is orthogonal to the main scanning direction. The two-dimensional image is engraved (recorded) on the surface of the plate material F at a high speed by scanning at a predetermined pitch in the sub-scanning direction (arrow S direction).

製版装置11Bに用いられるレーザ記録装置10Bは、複数のレーザビームを生成する光源ユニット20と、光源ユニット20で生成された複数のレーザビームを版材Fに照射する露光ヘッド30と、レーザビームを版材Fに照射する時に空気を吹き付ける吹付ノズル80、82と、吹付ノズル80からの空気吹き付け時に空気を吸い込む吸込フード83と、露光ヘッド30、吹付ノズル80、82及び吸込フード83を副走査方向に沿って移動させる露光ヘッド移動部40と、を含んで構成されている。   A laser recording apparatus 10B used in the plate making apparatus 11B includes a light source unit 20 that generates a plurality of laser beams, an exposure head 30 that irradiates the plate material F with a plurality of laser beams generated by the light source unit 20, and a laser beam. Blowing nozzles 80 and 82 that blow air when irradiating the printing plate F, a suction hood 83 that sucks air when blowing air from the blowing nozzle 80, and the exposure head 30, the blowing nozzles 80 and 82, and the suction hood 83 are arranged in the sub-scanning direction. And an exposure head moving unit 40 that is moved along the direction.

図13は、製版装置11Bにおける走査露光系と、吹付ノズル80、82、吸込フード83との位置関係を示す側面図である。   FIG. 13 is a side view showing the positional relationship among the scanning exposure system, the spray nozzles 80 and 82, and the suction hood 83 in the plate making apparatus 11B.

吹付ノズル80及び吸込フード83は、露光ヘッド30とドラム50との間に配設される。吹付ノズル80から吹き付けられた空気を吸込フード81から吸い込めるように、吹付ノズル80及び吸込フード83は対向して配設される。   The spray nozzle 80 and the suction hood 83 are disposed between the exposure head 30 and the drum 50. The spray nozzle 80 and the suction hood 83 are arranged to face each other so that air blown from the spray nozzle 80 can be sucked from the suction hood 81.

吹付ノズル82は、ドラム50と吸込フード83との間に配設される。吹付ノズル82は、吹付ノズル80と同様に吹き出し口が一列に並んで配設され、各吹き出し口から空気が噴出されることで、略四角錐台形のエアーフローA2が生成される。エアーフローA2の幅は、エアーフローA1の幅以下であり、エアーフローA2の量は、エアーフローA1の量より小さくなるように制御される。本実施の形態では、エアーフローA1の量とエアーフローA2の量との比が約5対1となるように設定されるが、ドラム50の回転速度により具体的な制御態様は異なる。適切な条件が実験的に定められる。   The spray nozzle 82 is disposed between the drum 50 and the suction hood 83. As with the spray nozzle 80, the spray nozzles 82 are arranged in a row, and air is ejected from each of the spray nozzles, thereby generating a substantially square frustum-shaped air flow A2. The width of the airflow A2 is equal to or less than the width of the airflow A1, and the amount of the airflow A2 is controlled to be smaller than the amount of the airflow A1. In the present embodiment, the ratio of the amount of airflow A1 to the amount of airflow A2 is set to be about 5 to 1, but the specific control mode varies depending on the rotational speed of the drum 50. Appropriate conditions are determined experimentally.

吹付ノズル82は、図13に示すように、吹き出し口からの空気の吹き出し方向がドラム50の回転方向Rと反対となり、かつエアーフロー中心面AM2と、エアーフロー中心面AM2と版材Fとの交点における接線とがなす角度θが鋭角となるように配設される。これにより、ドラム50(版材F)の表面に絡みついたガス、アブレーションカスをドラム50(版材F)の表面から剥離することができる。   As shown in FIG. 13, the blowing nozzle 82 has an air blowing direction from the blowing port opposite to the rotation direction R of the drum 50, and includes an air flow center plane AM 2, an air flow center plane AM 2, and a plate material F. The angle θ formed by the tangent at the intersection is arranged to be an acute angle. Thereby, the gas and ablation residue entangled on the surface of the drum 50 (plate material F) can be peeled off from the surface of the drum 50 (plate material F).

吹付ノズル80と吹付ノズル82とが吸込手段を挟んで対向するように配設される。そのため、吹付ノズル80からより遠い位置でガス、アブレーションカスをドラム50(版材F)から剥離できる。したがって、効率よくガス、アブレーションカスの剥離をすることができる。   The spray nozzle 80 and the spray nozzle 82 are disposed so as to face each other with the suction means interposed therebetween. Therefore, gas and ablation residue can be peeled from the drum 50 (plate material F) at a position farther from the spray nozzle 80. Therefore, gas and ablation residue can be efficiently peeled off.

吸込フード83は、図14に示すように、露光ヘッド30側の壁83aの先端が光軸に隣接し、ドラム50側の壁83bの先端及び両側の壁83cの先端がチャック部材55の周回ラインrに略沿って形成された管状の部材であり、その幅がエアーフローA1の幅以上となるように形成される。   As shown in FIG. 14, the suction hood 83 has the tip of the wall 83 a on the exposure head 30 side adjacent to the optical axis, and the tip of the wall 83 b on the drum 50 side and the tips of the walls 83 c on both sides are the circulation lines of the chuck member 55. It is a tubular member formed substantially along r, and is formed so that its width is equal to or greater than the width of the airflow A1.

壁83a、83b、83cにより略長方形の開口部が形成される。この開口部には、空気の流れを誘導する誘導板83dが配設される。誘導板83dは、吸込フード83の幅と略同一の幅で形成され、吸込フード83の両側の壁に一体形成さる。この誘導板83dにより、図13に示すように、エアーフローA1が誘導される第1の開口部83Aと、エアーフローA2が誘導される第2の開口部83Bとが形成される(図13参照)。   The walls 83a, 83b, 83c form a substantially rectangular opening. A guide plate 83d for guiding the air flow is disposed in the opening. The guide plate 83 d is formed with a width substantially the same as the width of the suction hood 83 and is integrally formed on the walls on both sides of the suction hood 83. As shown in FIG. 13, the guide plate 83d forms a first opening 83A through which the airflow A1 is guided and a second opening 83B through which the airflow A2 is guided (see FIG. 13). ).

誘導板83dは、ドラム50の回転に伴うチャック部材55の周回ラインrと接し、第1の開口部83Aの面積d1と第2の開口部83Bの面積d2とが吸込フード83の他端近傍の面積d3と略同一となる位置に配設される。これにより、吸込フード83内の空気の流速が一定になり、吸込フード83内にアブレーションカスが付着することが防止し、付着量を低減させることができる。   The guide plate 83d is in contact with the circuit line r of the chuck member 55 as the drum 50 rotates, and the area d1 of the first opening 83A and the area d2 of the second opening 83B are in the vicinity of the other end of the suction hood 83. It is disposed at a position substantially the same as the area d3. Thereby, the flow velocity of the air in the suction hood 83 becomes constant, it is possible to prevent the ablation residue from adhering in the suction hood 83, and to reduce the amount of adhesion.

吸込フード83の他端にはポンプ(図示せず)が接続され、第1の開口部83A及び第2の開口部83Bからは空気が吸い込まれる(図13矢印(4)参照)。第1の開口部83A及び第2の開口部83Bの空気の吸い込み量は、吹付ノズル80、82からの空気の吹き付け量の総和よりも多くなるように設定される。   A pump (not shown) is connected to the other end of the suction hood 83, and air is sucked from the first opening 83A and the second opening 83B (see arrow (4) in FIG. 13). The amount of air sucked in the first opening 83A and the second opening 83B is set to be larger than the total amount of air blown from the blowing nozzles 80 and 82.

ガス、アブレーションカスを含んだエアーフローA1の大部分は、第1の開口部83Aから吸い込まれる(図13の矢印(1)参照)。ただし、誘導板83dの物理的な制限(誘導板83dがチャック部材55の周回ラインrの外側となること)及びドラム50(版材F)の表面にガス、アブレーションカスを含むエアーフローが絡みつくため、エアーフローA1の一部は、誘導板83dとドラム50(版材F)との間を下方向に流れる(図13の矢印(2)参照)。   Most of the airflow A1 including gas and ablation debris is sucked from the first opening 83A (see arrow (1) in FIG. 13). However, the physical restriction of the guide plate 83d (the guide plate 83d is outside the circuit line r of the chuck member 55) and the air flow including gas and ablation residue are entangled on the surface of the drum 50 (plate material F). Part of the airflow A1 flows downward between the guide plate 83d and the drum 50 (plate material F) (see arrow (2) in FIG. 13).

誘導板83dとドラム50(版材F)との間を下方向に流れたエアーフローは、エアーフローA2によりドラム50(版材F)から引き剥がされ、上方向に巻き上げられる(図13の矢印(3)参照)。エアーフローA2により巻き上げられた空気は、第2の開口部83Bから吸い込まれる。これにより、エアーフローA1、A2と共に送られてきたガス、アブレーションカスを吸込フード83から確実に吸い込むことができる。   The airflow that flows downward between the guide plate 83d and the drum 50 (plate material F) is peeled off from the drum 50 (plate material F) by the airflow A2 and wound up upward (arrow in FIG. 13). (See (3)). The air wound up by the airflow A2 is sucked from the second opening 83B. Thereby, the gas and ablation debris sent together with the air flows A <b> 1 and A <b> 2 can be reliably sucked from the suction hood 83.

次に、マルチビーム露光系によって印刷版を製造する際の露光走査工程について説明する。露光走査工程は、主として制御回路100によって制御される。本実施の形態では、粗彫刻工程、微細彫刻工程を連続して行う複数回露光走査方式を採用する。   Next, the exposure scanning process when manufacturing a printing plate by a multi-beam exposure system will be described. The exposure scanning process is mainly controlled by the control circuit 100. In the present embodiment, a multiple exposure scanning method is employed in which the rough engraving process and the fine engraving process are continuously performed.

制御回路100に画像データが供給されると、制御回路100は、彫刻を開始する前に、吹付ノズル80、82から空気を吹き付けてエアーフローA1、A2を発生させるとともに、吸込フード83から空気の吸い込みを開始する。その後、彫刻を開始する。彫刻については、第1の実施の形態と同様であるため、説明を省略する。   When image data is supplied to the control circuit 100, the control circuit 100 blows air from the spray nozzles 80 and 82 to generate air flows A1 and A2 and starts air flow from the suction hood 83 before starting engraving. Start sucking. Then start engraving. Since engraving is the same as in the first embodiment, description thereof is omitted.

版材F上の全面を露光が終了したら、吹付ノズル80、82からの空気の吹き付けを停止させ、その後吸込フード83から空気の吸い込みを停止する。   When exposure of the entire surface of the plate material F is completed, the blowing of air from the blowing nozzles 80 and 82 is stopped, and then the suction of air from the suction hood 83 is stopped.

本実施の形態によれば、ドラム(版材)からの摩擦抗力等により、ドラム50の回転に伴ってガス、アブレーションカスがドラム(版材)の表面に絡みついたとしても、ガス、アブレーションカスを吸込フードから確実に吸い込むことができる。そのため、ガス、アブレーションカスの装置内への飛散が防止され、アブレーションカスの回収効率を上げることができる。   According to the present embodiment, even if gas and ablation debris are entangled with the surface of the drum (plate material) due to frictional drag from the drum (plate material) or the like, Can be reliably sucked from the suction hood. Therefore, scattering of gas and ablation debris into the apparatus can be prevented, and the collection efficiency of ablation debris can be increased.

なお、本実施の形態では、露光ヘッド30側の壁83aの先端が光軸に隣接し、ドラム50側の壁83bの先端及び両側の壁83cの先端がチャック部材55の周回ラインrに略沿って形成された管状の部材を有する吸込フード83を用いたが、吸込フード83の形状はこれに限られない。例えば、図15に示すように、吹付ノズル80を覆う高さで形成された壁83a’及び側面の壁83c’(図15では図示せず)を配設し、先端が吹付ノズル82の吹き出し口に隣接する壁83b’を配設し、壁83a’、83b’ 、83c’により形成される開口部がエアーフローA1、A2全体を覆うようにしてもよい。これにより、エアーフローA1、A2が吸込フード83に導かれやすくなり、ガス、アブレーションカスの吸引効率を高くすることができる。   In the present embodiment, the tip of the wall 83a on the exposure head 30 side is adjacent to the optical axis, and the tip of the wall 83b on the drum 50 side and the tip of the walls 83c on both sides are substantially along the circumferential line r of the chuck member 55. However, the shape of the suction hood 83 is not limited to this. For example, as shown in FIG. 15, a wall 83 a ′ and a side wall 83 c ′ (not shown in FIG. 15) formed at a height that covers the spray nozzle 80 are disposed, and the tip is a blowout port of the spray nozzle 82. The wall 83b ′ adjacent to the wall 83a ′ may be disposed so that the openings formed by the walls 83a ′, 83b ′, 83c ′ cover the entire air flows A1, A2. As a result, the airflows A1 and A2 are easily guided to the suction hood 83, and the suction efficiency of gas and ablation residue can be increased.

[第3の実施形態]
本発明の第2の実施の形態は、吹付ノズル80と吸込フード81とを対向して配設し、吹付ノズル80から空気を吹き付けると共に、ドラム50(版材F)の表面に絡みついたガス、アブレーションカスをエアーフローにより吸込フードへ搬送することにより、彫刻により発生するガス、アブレーションカスを回収したが、ドラム50の回転速度が所定速度以上である場合にはガス、アブレーションカスの大部分がドラム50(版材F)の表面に絡みつくように流れるため、吹付ノズル80からの空気の吹き付けは必須ではない。
[Third Embodiment]
In the second embodiment of the present invention, the spray nozzle 80 and the suction hood 81 are arranged to face each other, and air is blown from the spray nozzle 80 and gas entangled on the surface of the drum 50 (plate material F), By transporting the ablation debris to the suction hood by air flow, the gas and ablation debris generated by engraving were collected. However, when the rotation speed of the drum 50 is higher than a predetermined speed, most of the gas and ablation debris are drums. Since it flows so as to be entangled with the surface of the plate 50 (plate material F), the blowing of air from the blowing nozzle 80 is not essential.

本発明の第3の実施の形態は、ドラム50(版材F)の表面に絡みついたガス、アブレーションカスをエアーフローにより吸込フードへ搬送する形態である。以下、第3の実施形態に係る製版装置11Cについて説明する。なお、第1の実施の形態と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。   In the third embodiment of the present invention, gas and ablation residue entangled on the surface of the drum 50 (plate material F) are conveyed to the suction hood by airflow. Hereinafter, a plate making apparatus 11C according to the third embodiment will be described. In addition, about the part same as 1st Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and description is abbreviate | omitted.

製版装置11Cは、円筒形を有するドラム50の外周面にシート状の版材(「記録媒体」に相当)を固定し、該ドラム50を矢印R方向(主走査方向)に回転させると共に、版材Fに向けてレーザ記録装置10Cの露光ヘッド30から、該版材Fに彫刻(記録)すべき画像の画像データに応じた複数のレーザビームを射出し、露光ヘッド30を主走査方向と直交する副走査方向(矢印S方向)に所定ピッチで走査させることで、版材Fの表面に2次元画像を高速で彫刻(記録)するものである。   The plate making apparatus 11C fixes a sheet-like plate material (corresponding to “recording medium”) to the outer peripheral surface of a drum 50 having a cylindrical shape, rotates the drum 50 in an arrow R direction (main scanning direction), and A plurality of laser beams corresponding to image data of an image to be engraved (recorded) is emitted from the exposure head 30 of the laser recording apparatus 10C toward the material F, and the exposure head 30 is orthogonal to the main scanning direction. The two-dimensional image is engraved (recorded) on the surface of the plate material F at a high speed by scanning at a predetermined pitch in the sub-scanning direction (arrow S direction).

製版装置11Cに用いられるレーザ記録装置10Cは、複数のレーザビームを生成する光源ユニット20と、光源ユニット20で生成された複数のレーザビームを版材Fに照射する露光ヘッド30と、レーザビームを版材Fに照射する時に空気を吹き付ける吹付ノズル84と、吹付ノズル84からの空気吹き付け時に空気を吸い込む吸込フード85と、露光ヘッド30、吹付ノズル84及び吸込フード85を副走査方向に沿って移動させる露光ヘッド移動部40と、を含んで構成されている。   A laser recording apparatus 10C used in the plate making apparatus 11C includes a light source unit 20 that generates a plurality of laser beams, an exposure head 30 that irradiates the plate material F with the plurality of laser beams generated by the light source unit 20, and a laser beam. The spray nozzle 84 that blows air when irradiating the plate material F, the suction hood 85 that sucks air when air is blown from the spray nozzle 84, and the exposure head 30, the spray nozzle 84, and the suction hood 85 are moved along the sub-scanning direction. And an exposure head moving unit 40 to be operated.

図16は、製版装置11Cにおける走査露光系と、吹付ノズル84、吸込フード85との位置関係を示す側面図である。   FIG. 16 is a side view showing a positional relationship among the scanning exposure system, the spray nozzle 84, and the suction hood 85 in the plate making apparatus 11C.

吹付ノズル84は、ドラム50と吸込フード85との間に配設される。吹付ノズル82は、吹き出し口が一列に並んで配設され、各吹き出し口から空気が噴出されることで、略四角錐台形のエアーフローA3が生成される。   The spray nozzle 84 is disposed between the drum 50 and the suction hood 85. The blowing nozzles 82 are arranged in a row with the outlets, and air is ejected from each outlet, thereby generating a substantially square frustum-shaped air flow A3.

吹付ノズル84は、光ファイバーアレイ部300の幅より広い幅のエアーフローA3を生成する。エアーフローA3の風速はドラム50の回転速度により異なるが、適切な条件が実験的に定められる。   The spray nozzle 84 generates an airflow A3 having a width wider than that of the optical fiber array unit 300. Although the wind speed of the airflow A3 varies depending on the rotational speed of the drum 50, appropriate conditions are experimentally determined.

吹付ノズル84は、図16に示すように、吹き出し口からの空気の吹き出し方向がドラム50の回転方向Rと反対となり、かつエアーフロー中心面AM3と、エアーフロー中心面AM3と版材Fとの交点における接線とがなす角度が鋭角となるように配設される。これにより、ドラム50(版材F)の表面に絡みついたガス、アブレーションカスをドラム50(版材F)の表面から引き剥がし、上側へ巻き上げることができる(図15の矢印(2)参照)。   As shown in FIG. 16, the blowing nozzle 84 has an air blowing direction opposite to the rotation direction R of the drum 50, and the air flow center plane AM3, the air flow center plane AM3, and the plate material F. The angle formed by the tangent at the intersection is arranged to be an acute angle. Thereby, the gas and ablation residue entangled on the surface of the drum 50 (plate material F) can be peeled off from the surface of the drum 50 (plate material F) and rolled up (see arrow (2) in FIG. 15).

吸込フード85は、図17に示すように、露光ヘッド30側の壁85aの先端が光軸に隣接し、ドラム50側の壁85bの先端及び両側の壁85cの先端がチャック部材55の周回ラインrに略沿って形成された管状の部材である。これにより、吸込フード85は、各壁の先端85a、85b、85cにより形成される略長方形の開口部85Aが、ドラム50(版材F)の表面を覆うように配設される。   As shown in FIG. 17, the suction hood 85 has the tip of the wall 85 a on the exposure head 30 side adjacent to the optical axis, and the tip of the wall 85 b on the drum 50 side and the tips of the walls 85 c on both sides are the circulation lines of the chuck member 55. It is a tubular member formed substantially along r. Thereby, the suction hood 85 is disposed so that the substantially rectangular opening 85A formed by the front ends 85a, 85b, and 85c of each wall covers the surface of the drum 50 (plate material F).

ドラム50側の壁85bの先端がチャック部材55の周回ラインrに略沿って形成されることにより、壁85bの先端は、光軸Lと露光面(表面)FAとの交点I、すなわち彫刻点の真下よりもドラム50側に位置することとなる。そのため、アブレーションカスが交点Iから真下に落下したとしても、アブレーションカスは吸込フード85内へ誘導される。   Since the tip of the wall 85b on the drum 50 side is formed substantially along the circumferential line r of the chuck member 55, the tip of the wall 85b is the intersection I of the optical axis L and the exposure surface (surface) FA, that is, the engraving point. It is located on the drum 50 side from directly below. Therefore, even if the ablation residue falls directly below the intersection point I, the ablation residue is guided into the suction hood 85.

彫刻により発生したガス、アブレーションカスは、ドラム50の回転に伴ってドラム50(版材F)に沿って下方向へ流れる(図13矢印(1)参照)。また、吸込フード85の他端にはポンプ(図示せず)が接続され、開口部85Aからは空気が吸い込まれる(図13矢印(4)参照)。   The gas and ablation residue generated by engraving flow downward along the drum 50 (plate material F) as the drum 50 rotates (see arrow (1) in FIG. 13). A pump (not shown) is connected to the other end of the suction hood 85, and air is sucked from the opening 85A (see arrow (4) in FIG. 13).

下方向へ流れたガス、アブレーションカスはエアーフローA3により、ドラム50(版材F)の表面から引き剥がされ、上側へ巻き上げられる(図15の矢印(2)参照)。ドラム50側の壁の先端85bは、エアーフロー中心面AM3と版材Fとの交点Jより吹付ノズル84側に位置している。このため、エアーフローA3により巻き上げられたガス、アブレーションカスが、確実に吸込フード85内へ誘導される。   The gas and ablation residue that have flowed downward are peeled off from the surface of the drum 50 (plate material F) by the airflow A3 and wound upward (see arrow (2) in FIG. 15). The tip 85b of the wall on the drum 50 side is located on the spray nozzle 84 side from the intersection J between the airflow center plane AM3 and the plate material F. For this reason, the gas and ablation residue wound up by the airflow A3 are reliably guided into the suction hood 85.

また、下方向へ流れたガス、アブレーションカスの一部は、ドラム50(版材F)から剥離する(図15の矢印(4)参照)。しかしながら、ガス、アブレーションカスが剥離する領域は、各壁の先端85a、85b、85cにより覆われた空間内であるため、この剥離したガス、アブレーションカスも確実に吸込フード85内へ誘導される。   Further, the gas flowing downward and a part of the ablation residue peel off from the drum 50 (plate material F) (see arrow (4) in FIG. 15). However, since the region where the gas and ablation debris peel is within the space covered by the tips 85a, 85b and 85c of each wall, the peeled gas and ablation debris are also reliably guided into the suction hood 85.

これにより、ガス、アブレーションカスを吸込フード85から確実に吸い込むことができる。   Thereby, gas and ablation residue can be reliably sucked from the suction hood 85.

次に、マルチビーム露光系によって印刷版を製造する際の露光走査工程について説明する。露光走査工程は、主として制御回路100によって制御される。本実施の形態では、粗彫刻工程、微細彫刻工程を連続して行う複数回露光走査方式を採用する。   Next, the exposure scanning process when manufacturing a printing plate by a multi-beam exposure system will be described. The exposure scanning process is mainly controlled by the control circuit 100. In the present embodiment, a multiple exposure scanning method is employed in which the rough engraving process and the fine engraving process are continuously performed.

制御回路100に画像データが供給されると、制御回路100は、彫刻を開始する前に、吹付ノズル84から空気を吹き付けてエアーフローA3を発生させるとともに、吸込フード85から空気の吸い込みを開始する。その後、彫刻を開始する。彫刻については、第1の実施の形態と同様であるため、説明を省略する。   When the image data is supplied to the control circuit 100, the control circuit 100 blows air from the blowing nozzle 84 to generate an air flow A3 and starts sucking air from the suction hood 85 before starting engraving. . Then start engraving. Since engraving is the same as in the first embodiment, description thereof is omitted.

版材F上の全面を露光が終了したら、吹付ノズル84からの空気の吹き付けを停止させ、その後吸込フード85から空気の吸い込みを停止する。   When exposure of the entire surface of the plate material F is completed, the blowing of air from the blowing nozzle 84 is stopped, and then the suction of air from the suction hood 85 is stopped.

本実施の形態によれば、ドラム(版材)からの摩擦抗力等により、ドラム50の回転に伴ってガス、アブレーションカスがドラム(版材)の表面に絡みついたとしても、ガス、アブレーションカスを吸込フードから確実に吸い込むことができる。そのため、ガス、アブレーションカスの装置内への飛散が防止され、アブレーションカスの回収効率を上げることができる。   According to the present embodiment, even if gas and ablation debris are entangled with the surface of the drum (plate material) due to frictional drag from the drum (plate material) or the like, Can be reliably sucked from the suction hood. Therefore, scattering of gas and ablation debris into the apparatus can be prevented, and the collection efficiency of ablation debris can be increased.

なお、本実施の形態では、露光ヘッド30側の壁85aの先端が光軸に隣接し、ドラム50側の壁85bの先端及び両側の壁85cの先端がチャック部材55の周回ラインrに略沿って形成された管状の部材を有する吸込フード85を用いたが、吸込フード85の形状はこれに限られない。例えば、図18に示すように、吹付ノズル80を覆う高さで形成された壁85a’及び側面の壁85c’(図17では図示せず)を配設し、先端が吹付ノズル84の吹き出し口に隣接する壁5b’を配設し、壁85a’、85b’、85c’により形成される開口部85A’がエアーフローA3全体を覆うようにしてもよい。これにより、ガス、アブレーションカスの吸引効率を高くすることができる。図18に示す場合においても、壁85b’の先端が光軸Lと露光面(表面)FAとの交点I、すなわち彫刻点の真下よりもドラム50側に位置するように吸込フード85’が形成される。そのため、アブレーションカスが交点Iから真下に落下したとしても、アブレーションカスは吸込フード85’内へ誘導される。   In the present embodiment, the tip of the wall 85a on the exposure head 30 side is adjacent to the optical axis, and the tip of the wall 85b on the drum 50 side and the tip of the walls 85c on both sides are substantially along the circumferential line r of the chuck member 55. However, the shape of the suction hood 85 is not limited to this. For example, as shown in FIG. 18, a wall 85 a ′ and a side wall 85 c ′ (not shown in FIG. 17) formed at a height that covers the spray nozzle 80 are disposed, and the tip is a blowout port of the spray nozzle 84. The wall 5b ′ adjacent to the wall 5b ′ may be disposed so that the opening 85A ′ formed by the walls 85a ′, 85b ′, and 85c ′ covers the entire air flow A3. Thereby, the suction efficiency of gas and ablation residue can be increased. Also in the case shown in FIG. 18, the suction hood 85 ′ is formed so that the tip of the wall 85 b ′ is located on the drum 50 side from the intersection I of the optical axis L and the exposure surface (surface) FA, that is, directly below the engraving point. Is done. Therefore, even if the ablation residue falls directly below the intersection I, the ablation residue is guided into the suction hood 85 '.

本発明の実施の形態では、吸込フードの開口部が略長方形に形成されているが、開口部の形状は略長方形には限定されない。光ファイバーアレイ部300の光出射部280の大きさ、ドラム50と露光ヘッド30距離によっては、略正方形となる場合もある。また、吸込フードの開口部吸込フードの開口部は、略長方形、略正方形等の略矩形形状にも限定されない。対向する2つの面(露光ヘッド30側、ドラム50側)が平行であればよく、例えば他の2つの面が円弧形状で形成された略小判形状の開口部を採用してもよい。   In the embodiment of the present invention, the opening of the suction hood is formed in a substantially rectangular shape, but the shape of the opening is not limited to a substantially rectangular shape. Depending on the size of the light emitting section 280 of the optical fiber array section 300 and the distance between the drum 50 and the exposure head 30, it may be substantially square. Moreover, the opening part of a suction hood The opening part of a suction hood is not limited to substantially rectangular shapes, such as a substantially rectangular shape and a substantially square shape. The two opposing surfaces (the exposure head 30 side and the drum 50 side) only need to be parallel. For example, a substantially oval opening having the other two surfaces formed in an arc shape may be employed.

本発明の実施の形態では、副走査方向の間欠送りによる走査露光方式を用いた場合を例に説明したが、ドラム回転中に副走査方向に一定速度で露光ヘッド30を移動させて版材Fの表面をスパイラル(らせん)状に走査するスパイラル露光方式を採用してもよい。   In the embodiment of the present invention, the case of using the scanning exposure method by intermittent feeding in the sub-scanning direction has been described as an example. However, the plate material F is moved by moving the exposure head 30 at a constant speed in the sub-scanning direction while the drum is rotating. A spiral exposure method of scanning the surface of the substrate in a spiral shape may be employed.

10A、10B、10C…レーザ記録装置、11A、11B、11C…製版装置、20…光源ユニット、21A,21B…半導体レーザ、22A,22B,70A,70B…光ファイバー、30…露光ヘッド、40…露光ヘッド移動部、50…ドラム、80、82、84…吹付ノズル、81、83、85…吸込フード、90…制御回路、300…光ファイバーアレイ部、512…インターレース領域、514…ノンインターレース領域、A1、A2、A3…エアーフロー、F…版材、K…走査線、L…光軸   10A, 10B, 10C ... laser recording device, 11A, 11B, 11C ... plate making device, 20 ... light source unit, 21A, 21B ... semiconductor laser, 22A, 22B, 70A, 70B ... optical fiber, 30 ... exposure head, 40 ... exposure head Moving unit, 50 ... drum, 80, 82, 84 ... spray nozzle, 81, 83, 85 ... suction hood, 90 ... control circuit, 300 ... optical fiber array unit, 512 ... interlace region, 514 ... non-interlace region, A1, A2 A3: Air flow, F: Plate material, K: Scanning line, L: Optical axis

Claims (11)

記録媒体が表面に固定され、所定の方向に回転自在な略円筒形の主走査ドラムと、
前記主走査ドラムに対向して配設され、前記記録媒体に向けて光ビームを照射して前記記録媒体の表面を彫刻する露光ヘッドと、
前記主走査ドラムと前記露光ヘッドとの間に形成された空間に空気を吹き付ける第1の吹付ノズルであって、前記露光ヘッドの光軸と前記主走査ドラムとの交点における前記主走査ドラムの接線方向に沿った空気の流れを生成する第1の吹付ノズルと、
前記第1の吹付ノズルにより吹き付けられた空気を吸い込む吸込手段であって、前記第1の吹付ノズルにより生成された空気の流れの延長上に開口部が配設された吸込手段と、を備え
前記露光ヘッドは、前記光ビームを出射する出射部であって、所定の方向に並んで配置された複数の出射部を有し、
前記第1の吹付ノズルには、前記所定の方向に並んで配設された複数の吹き出し口を有し、
前記複数の吹き出し口から空気が吹き出されることにより、前記所定の方向に並んだ複数の出射部の幅より大きい幅を有する略四角錐台形の空気の流れが生成されることを特徴とする露光走査装置。
A substantially cylindrical main scanning drum having a recording medium fixed to the surface and rotatable in a predetermined direction;
An exposure head that is disposed opposite the main scanning drum and engraves the surface of the recording medium by irradiating a light beam toward the recording medium;
A first spray nozzle that blows air into a space formed between the main scanning drum and the exposure head, the tangent of the main scanning drum at the intersection of the optical axis of the exposure head and the main scanning drum A first spray nozzle for generating a flow of air along the direction;
A suction means for sucking air blown by the first blowing nozzle, wherein the suction means has an opening disposed on an extension of the flow of air generated by the first blowing nozzle ;
The exposure head is an emitting unit that emits the light beam, and has a plurality of emitting units arranged in a predetermined direction,
The first spray nozzle has a plurality of outlets arranged side by side in the predetermined direction,
Exposure is characterized in that air is blown out from the plurality of outlets to generate a substantially square frustum-shaped air flow having a width larger than the width of the plurality of emitting portions arranged in the predetermined direction. Scanning device.
前記第1の吹付ノズルにより生成された空気の流れを打ち消す方向の空気の流れを生成する第2の吹付ノズルを備え、
前記吸込手段は、前記第1の吹付ノズル及び前記第2の吹付ノズルにより吹き付けられた空気を吸い込むことを特徴とする請求項に記載の露光走査装置。
A second spray nozzle for generating an air flow in a direction to cancel the air flow generated by the first spray nozzle;
The suction means, an exposure scanning apparatus according to claim 1, characterized in that sucking air blown by the first blowing nozzle and said second spray nozzle.
記録媒体が表面に固定され、所定の方向に回転自在な略円筒形の主走査ドラムと、
前記主走査ドラムに対向して配設され、前記記録媒体に向けて光ビームを照射して前記記録媒体の表面を彫刻する露光ヘッドと、
前記主走査ドラムと前記露光ヘッドとの間に形成された空間に空気を吹き付ける第1の吹付ノズルであって、前記露光ヘッドの光軸と前記主走査ドラムとの交点における前記主走査ドラムの接線方向に沿った空気の流れを生成する第1の吹付ノズルと、
前記第1の吹付ノズルにより吹き付けられた空気を吸い込む吸込手段であって、前記第1の吹付ノズルにより生成された空気の流れの延長上に開口部が配設された吸込手段と、
前記第1の吹付ノズルにより生成された空気の流れを打ち消す方向の空気の流れを生成する第2の吹付ノズルと、を備え、
前記吸込手段は、前記第1の吹付ノズル及び前記第2の吹付ノズルにより吹き付けられた空気を吸い込むことを特徴とする露光走査装置。
A substantially cylindrical main scanning drum having a recording medium fixed to the surface and rotatable in a predetermined direction;
An exposure head that is disposed opposite the main scanning drum and engraves the surface of the recording medium by irradiating a light beam toward the recording medium;
A first spray nozzle that blows air into a space formed between the main scanning drum and the exposure head, the tangent of the main scanning drum at the intersection of the optical axis of the exposure head and the main scanning drum A first spray nozzle for generating a flow of air along the direction;
Suction means for sucking air blown by the first blowing nozzle, wherein the suction means has an opening disposed on an extension of the flow of air generated by the first blowing nozzle;
A second spray nozzle that generates a flow of air in a direction that cancels the flow of air generated by the first spray nozzle;
The exposure scanning apparatus , wherein the suction unit sucks air blown by the first spray nozzle and the second spray nozzle .
前記第2の吹付ノズルは、前記主走査ドラムの接線方向とのなす角度が鋭角となる空気の流れを生成することを特徴とする請求項2または3に記載の露光走査装置。 The second spray nozzle, the exposure scanning apparatus according to claim 2 or 3 the angle between the tangential direction of the main scanning drum and generates a flow of air which is an acute angle. 前記第2の吹付ノズルは、前記主走査ドラムと前記吸込手段との間に配設されたことを特徴とする請求項2から4のいずれか1項に記載の露光走査装置。 The second spray nozzle, the exposure scanning apparatus according to disposed claims 2, wherein in any one of 4 between said suction means and the main scanning drum. 前記吸込手段は、空気の流れを誘導する誘導板を有し、
前記誘導板は、前記第1の吹付ノズルにより生成された空気の流れが誘導される第1の開口部と、前記第2の吹付ノズルにより生成された空気の流れが誘導される第2の開口部とが形成されるように、前記開口部近傍に配設されたことを特徴とする請求項2から5のいずれか1項に記載の露光走査装置。
The suction means has a guide plate for guiding the flow of air,
The guide plate includes a first opening through which the air flow generated by the first blowing nozzle is guided and a second opening through which the air flow generated by the second blowing nozzle is guided. The exposure scanning apparatus according to claim 2 , wherein the exposure scanning apparatus is disposed in the vicinity of the opening so as to form a portion.
前記吸込手段は、前記開口部の前記主走査ドラム側の壁の先端が前記第2の吹付ノズルに隣接するように配設されたことを特徴とする請求項2から6のいずれか1項に記載の露光走査装置。 The suction means is in any one of claims 2 to 6, characterized in that the tip of the main scanning drum side wall of said opening is disposed adjacent to said second spray nozzle The exposure scanning apparatus according to the description. 前記吸込手段の空気の吸い込み量が、前記第1の吹付ノズル及び前記第2の吹付ノズルの空気の吹き付け量より多くなるように制御する制御手段を備えたことを特徴とする請求項2から7のいずれか1項に記載の露光走査装置。 The suction amount of the air suction means, from claim 2, further comprising a first spray nozzle and control means for controlling such that more than blowing amount of air of the second blowing nozzle 7 The exposure scanning apparatus according to any one of the above. 前記第1の吹付ノズルは、前記主走査ドラムの回転方向に沿って空気を吹き付けることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の露光走査装置。 Said first spray nozzle, exposure scanning apparatus according to any one of claims 1 to 8, characterized in that blowing air along the rotational direction of the main scanning drum. 前記吸込手段は、前記開口部の前記露光ヘッド側の壁の先端が前記露光ヘッドの光軸に隣接するように配設されたことを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の露光走査装置。 The suction means, according to any one of claims 1 9, characterized in that the tip of the exposure head side of the wall of the opening is arranged adjacent to the optical axis of the exposure head Exposure scanning device. 前記吸込手段は、断面積が略一定となる管状の部材を有することを特徴とする請求項1から10のいずれか1項に記載の露光走査装置。 The suction means, an exposure scanning apparatus according to any one of claims 1 to 10, characterized in that it comprises a tubular member having a cross-sectional area is substantially constant.
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