JP5568488B2 - Temperature and humidity measuring device - Google Patents

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JP5568488B2 JP2011011045A JP2011011045A JP5568488B2 JP 5568488 B2 JP5568488 B2 JP 5568488B2 JP 2011011045 A JP2011011045 A JP 2011011045A JP 2011011045 A JP2011011045 A JP 2011011045A JP 5568488 B2 JP5568488 B2 JP 5568488B2
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Description

本発明に係るいくつかの態様は、温湿度測定装置に関する。   Some embodiments according to the present invention relate to a temperature and humidity measurement apparatus.

従来から、湿度測定装置には、測定環境の雰囲気、例えば、薬品、溶剤等のガスや高湿度環境の影響により、湿度測定装置が有する感湿素子の性能が低下（以下、劣化という）してしまうという問題があった。このため、感湿素子を加熱すること（以下、加熱クリーニングという）により性能を回復させ、長時間安定して湿度を測定できる湿度測定装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。   Conventionally, the humidity measuring device has a reduced performance (hereinafter referred to as “deterioration”) of the humidity sensing device due to the influence of the atmosphere of the measuring environment, for example, gas such as chemicals and solvents and the high humidity environment. There was a problem that. For this reason, there is known a humidity measuring device that can recover the performance by heating the moisture sensitive element (hereinafter referred to as heat cleaning) and can stably measure the humidity for a long time (see, for example, Patent Document 1).

特開平５−１７２７７６号公報Japanese Patent Laid-Open No. 5-172776

しかしながら、特許文献１に記載の湿度測定装置では、感湿素子の加熱中及び加熱後の一定期間の間、感湿素子が加熱の影響を受けるので、雰囲気の湿度を正しく測定することができなかった。このため、感湿素子において加熱の影響がなくなるまでの間、湿度の測定を中断せざるを得ず、雰囲気の湿度を連続して測定することができなかった。   However, in the humidity measuring apparatus described in Patent Document 1, the humidity of the atmosphere cannot be correctly measured because the humidity sensitive element is affected by heating during the heating of the humidity sensitive element and for a certain period after the heating. It was. For this reason, the humidity measurement has to be interrupted until the influence of heating is eliminated in the humidity sensitive element, and the humidity of the atmosphere cannot be continuously measured.

この問題を解決するために、２つの湿度センサを備え、一方の湿度センサを加熱クリーニング中は他方の湿度センサで湿度を測定し、他方の湿度センサを加熱クリーニング中は一方の湿度センサで湿度を測定することで、雰囲気の湿度を連続して測定することが考えられる。しかし、この場合、２つの湿度センサを一方から他方に切り替えたときに、一方の湿度センサにおける器差と他方の湿度センサにおける器差とが異なる等の影響により、実際には測定環境に変化がないにもかかわらず、出力値が急激に変化する場合がある、という問題があった。   In order to solve this problem, two humidity sensors are provided, one humidity sensor measures the humidity with the other humidity sensor during heat cleaning, and the other humidity sensor measures the humidity with one humidity sensor during heat cleaning. It can be considered to continuously measure the humidity of the atmosphere by measuring. However, in this case, when the two humidity sensors are switched from one to the other, the measurement environment actually changes due to the difference between the instrumental difference in one humidity sensor and the instrumental difference in the other humidity sensor. There is a problem that the output value may change abruptly even though it is not.

本発明のいくつかの態様は前述の問題に鑑みてなされたものであり、切替に伴う出力値の変化を減少させることのできる温湿度測定装置を提供することを目的の１つとする。   Some aspects of the present invention have been made in view of the above-described problems, and an object thereof is to provide a temperature / humidity measuring apparatus capable of reducing a change in an output value accompanying switching.

本発明に係る温湿度測定装置は、測定環境の雰囲気における温度及び湿度のうちの少なくとも一方を検出する第１のセンサユニットと、前述の雰囲気における温度及び湿度のうちの少なくとも一方を検出する第２のセンサユニットと、出力値として使用する検出値を、第１のセンサユニット及び第２のセンサユニットのうちの一方の検出値から他方の検出値に切り替える切替部と、第１のセンサユニットの検出値と第２のセンサユニットの検出値との差である検出差に基づいて、補正値を算出する算出部と、補正値に基づいて、第２のセンサユニットの検出値を補正する補正部と、を備え、切替部は、第１のセンサユニットの検出値から第２のセンサユニットの検出値に切り替えるときに、補正された第２のセンサユニットの検出値を出力値として使用する。   A temperature and humidity measuring apparatus according to the present invention includes a first sensor unit that detects at least one of temperature and humidity in an atmosphere of a measurement environment, and a second that detects at least one of temperature and humidity in the atmosphere described above. A sensor unit, a switching unit that switches a detection value used as an output value from one detection value of the first sensor unit and the second sensor unit to the other detection value, and detection of the first sensor unit A calculation unit that calculates a correction value based on a detection difference that is a difference between the value and a detection value of the second sensor unit; and a correction unit that corrects the detection value of the second sensor unit based on the correction value; And the switching unit outputs the corrected detection value of the second sensor unit as the output value when switching from the detection value of the first sensor unit to the detection value of the second sensor unit. To to use.

かかる構成によれば、前述の検出差に基づいて補正値が算出され、当該補正値に基づいて第２のセンサユニットの検出値が補正され、第１のセンサユニットの検出値から第２のセンサユニットの検出値に切り替えるときに、補正された第２のセンサユニットの検出値が出力値として使用される。このように、前述の検出差に基づいて補正値を算出し、算出された補正値に基づいて第２のセンサユニットの検出値を補正することにより、第２のセンサユニットにおける器差を第１のセンサユニットにおける器差に合わせることができるので、第１のセンサユニットの検出値から補正された第２のセンサユニットの検出値に出力値を切り替えるときに、器差による出力値の変化を減少させることが可能となる。   According to this configuration, the correction value is calculated based on the detection difference described above, the detection value of the second sensor unit is corrected based on the correction value, and the second sensor is detected from the detection value of the first sensor unit. When switching to the detection value of the unit, the corrected detection value of the second sensor unit is used as the output value. As described above, the correction value is calculated based on the above-described detection difference, and the detection value of the second sensor unit is corrected based on the calculated correction value, whereby the instrument difference in the second sensor unit is corrected to the first. Therefore, when the output value is switched from the detected value of the first sensor unit to the corrected detected value of the second sensor unit, the change in the output value due to the instrumental error is reduced. It becomes possible to make it.

好ましくは、第１のセンサユニットは、前述の雰囲気の湿度を検出する第１の湿度センサと第１の湿度センサを加熱する第１のヒータとを有し、第２のセンサユニットは、前述の雰囲気の湿度を検出する第２の湿度センサと第２の湿度センサを加熱する第２のヒータとを有し、第１のヒータ及び第２のヒータのうちの一方を交互に駆動する駆動部を更に備え、算出部は、駆動部により第１のヒータ及び第２のヒータのうちの一方が駆動される前における、第１の湿度センサの検出値と第２の湿度センサの検出値との差である湿度差に基づいて、補正値を算出する。   Preferably, the first sensor unit includes a first humidity sensor that detects the humidity of the atmosphere described above and a first heater that heats the first humidity sensor, and the second sensor unit includes the above-described first sensor. A drive unit having a second humidity sensor for detecting the humidity of the atmosphere and a second heater for heating the second humidity sensor, and alternately driving one of the first heater and the second heater; The calculation unit further includes a difference between the detection value of the first humidity sensor and the detection value of the second humidity sensor before one of the first heater and the second heater is driven by the driving unit. The correction value is calculated based on the humidity difference.

かかる構成によれば、第１のヒータ及び第２のヒータのうちの一方が交互に駆動され、駆動部により第１のヒータ及び第２のヒータのうちの一方が駆動される前における前述の湿度差に基づいて、補正値が算出される。これにより、一方のセンサユニットの検出値を出力値として使用しているときに他方のセンサユニットのヒータを駆動することで、出力値として使用していない他方のセンサユニットの湿度センサが加熱され、当該湿度センサの性能を回復させることが可能となる。これにより、湿度の測定を中断することなく連続して湿度を測定することができるとともに、湿度の出力値の精度を維持することができる。   According to this configuration, one of the first heater and the second heater is alternately driven, and the humidity before the driving unit drives one of the first heater and the second heater. A correction value is calculated based on the difference. Thereby, the humidity sensor of the other sensor unit not used as the output value is heated by driving the heater of the other sensor unit when the detection value of the one sensor unit is used as the output value, The performance of the humidity sensor can be recovered. As a result, the humidity can be measured continuously without interrupting the humidity measurement, and the accuracy of the humidity output value can be maintained.

また、第１の湿度センサ及び第２の湿度センサは、測定環境の雰囲気中に含まれる薬品、溶剤等のガス（気体）や高湿度の影響を受けて劣化するので、本来の湿度よりも高い湿度を示す傾向があり、時間の経過とともに湿度差は更に大きくなる（拡がる）傾向にある。そして、ヒータの駆動直後は湿度センサの検出値が安定していない一方、ヒータの駆動直前は第１の湿度センサ及び第２の湿度センサともに、検出値が安定しているとともに、ヒータの駆動からある程度の時間が経過しているので、劣化していると考えられる。よって、駆動部により第１のヒータ及び第２のヒータのうちの一方が駆動される前における湿度差に基づいて、補正値を算出することにより、第１の湿度センサ及び第２の湿度センサの両方の劣化を考慮した補正値を算出することが可能となる。これにより、第１の湿度センサの検出値から補正された第２の湿度センサの検出値に切り替えるときに、第１の湿度センサ及び第２の湿度センサの劣化による湿度の出力値の変化を減少させることができ、湿度の出力値の信頼性を更に高めることができる。   Further, the first humidity sensor and the second humidity sensor are deteriorated by the influence of a gas (gas) such as a chemical or a solvent contained in the atmosphere of the measurement environment or the high humidity, and therefore higher than the original humidity. There is a tendency to indicate humidity, and the humidity difference tends to become larger (expand) over time. The detected value of the humidity sensor is not stable immediately after the heater is driven, whereas the detected value is stable for both the first humidity sensor and the second humidity sensor immediately before the heater is driven, Since a certain amount of time has passed, it is considered to have deteriorated. Therefore, by calculating a correction value based on the humidity difference before one of the first heater and the second heater is driven by the driving unit, the first humidity sensor and the second humidity sensor It is possible to calculate a correction value considering both degradations. Thereby, when switching from the detection value of the first humidity sensor to the corrected detection value of the second humidity sensor, a change in the output value of humidity due to deterioration of the first humidity sensor and the second humidity sensor is reduced. The reliability of the output value of humidity can be further increased.

好ましくは、算出部は、駆動部により第１のヒータが駆動される前における湿度差と駆動部により第２のヒータが駆動される前における湿度差との平均値に基づいて、補正値を算出する。   Preferably, the calculation unit calculates a correction value based on an average value of the humidity difference before the first heater is driven by the driving unit and the humidity difference before the second heater is driven by the driving unit. To do.

かかる構成によれば、駆動部により第１のヒータが駆動される前における前述の湿度差と駆動部により第２のヒータが駆動される前における前述の湿度差との平均値に基づいて、補正値が算出される。これにより、第１の湿度センサの検出値から補正された第２の湿度センサの検出値に切り替えたときの出力値の切替変化量と補正された第２の湿度センサの検出値から第１の湿度センサの検出値に切り替えたときの出力値の切替変化量とを同一にすることが可能となる。   According to such a configuration, correction is performed based on the average value of the humidity difference before the first heater is driven by the driving unit and the humidity difference before the second heater is driven by the driving unit. A value is calculated. As a result, the first change amount of the output value when the detection value of the second humidity sensor is changed from the detection value of the first humidity sensor and the corrected detection value of the second humidity sensor are changed to the first value. It is possible to make the change amount of the output value switching when the value is switched to the detection value of the humidity sensor the same.

好ましくは、駆動部により第１のヒータが駆動されてから駆動部により第２のヒータが駆動されるまでの第１の時間と駆動部により第２のヒータが駆動されてから駆動部により第１のヒータが駆動されるまでの第２の時間とを計測する計時部を更に備え、算出部は、駆動部により第１のヒータが駆動される前における前述の湿度差を第２の時間で重み付けし、駆動部により第２のヒータが駆動される前における前述の湿度差を第１の時間で重み付けした平均値に基づいて、補正値を算出する。   Preferably, the first time from when the first heater is driven by the drive unit to the time when the second heater is driven by the drive unit and the first time by the drive unit after the second heater is driven by the drive unit. And a time counting unit that measures a second time until the first heater is driven, and the calculation unit weights the humidity difference before the first heater is driven by the driving unit with the second time. Then, the correction value is calculated based on the average value obtained by weighting the above-described humidity difference by the first time before the second heater is driven by the driving unit.

かかる構成によれば、駆動部により第１のヒータが駆動される前における前述の湿度差を第２の時間で重み付けし、駆動部により第２のヒータが駆動される前における前述の湿度差を第１の時間で重み付けした平均値に基づいて、補正値が算出される。ここで、測定環境の雰囲気中に薬品が含まれる場合、第１の湿度センサの検出値及び第２の湿度センサの検出値は、時間の経過とともに飽和する傾向にある。そのため、ヒータを駆動してから経過した時間により前述の湿度差は変化し、時間が経過するにつれて前述の湿度差は小さくなる。よって、駆動部により第１のヒータが駆動される前における前述の湿度差を第２の時間で重み付けし、駆動部により第２のヒータが駆動される前における前述の湿度差を第１の時間で重み付けした平均値に基づいて、補正値を算出することにより、第１のセンサの検出値から補正された第２のセンサの検出値に切り替えたときの出力値と補正された第２のセンサの検出値から第１のセンサの検出値に切り替えたときの出力値とを同一にすることが可能となる。これにより、測定環境の雰囲気中に薬品が含まれる場合に好適に用いることができる。   According to this configuration, the humidity difference before the first heater is driven by the driving unit is weighted by the second time, and the humidity difference before the second heater is driven by the driving unit is determined. A correction value is calculated based on the average value weighted with the first time. Here, when a chemical is contained in the atmosphere of the measurement environment, the detection value of the first humidity sensor and the detection value of the second humidity sensor tend to saturate with time. Therefore, the humidity difference described above changes depending on the time elapsed since the heater was driven, and the humidity difference decreases as time elapses. Therefore, the humidity difference before the first heater is driven by the drive unit is weighted by the second time, and the humidity difference before the drive unit is driven by the drive unit is the first time. By calculating a correction value based on the average value weighted in step (a), the output value when the detection value of the second sensor is switched from the detection value of the first sensor and the corrected second sensor. The output value when the detected value is switched to the detected value of the first sensor can be made the same. Thereby, when a chemical | medical agent is contained in the atmosphere of a measurement environment, it can use suitably.

好ましくは、前述の検出差と所定のしきい値とに基づいて、第１のセンサユニット及び第２のセンサユニットのうちの少なくとも一方に異常があるか否かを判定する判定部を更に備える。   Preferably, a determination unit that determines whether at least one of the first sensor unit and the second sensor unit is abnormal based on the detection difference and a predetermined threshold value is further provided.

かかる構成によれば、前述の検出差と所定のしきい値とに基づいて、第１のセンサユニット及び第２のセンサユニットのうちの少なくとも一方に異常があるか否かが判定される。これにより、第１のセンサユニット及び第２のセンサユニットのうちの少なくとも一方に異常があると判定されたときに、例えば、異常がある旨を報知することが可能となる。これにより、第１のセンサユニット及び第２のセンサユニットの点検、修理、交換等を促すことができる。また、第１のセンサユニット及び第２のセンサユニットのうちの少なくとも一方に異常がないと判定されたときに、前述の検出差に基づく補正を行うことが可能となる。   According to this configuration, it is determined whether or not there is an abnormality in at least one of the first sensor unit and the second sensor unit based on the detection difference and the predetermined threshold value. Accordingly, when it is determined that there is an abnormality in at least one of the first sensor unit and the second sensor unit, for example, it can be notified that there is an abnormality. Thereby, inspection, repair, replacement, etc. of the first sensor unit and the second sensor unit can be promoted. Further, when it is determined that there is no abnormality in at least one of the first sensor unit and the second sensor unit, the correction based on the detection difference described above can be performed.

本発明に係る温湿度測定装置によれば、前述の検出差に基づいて補正値を算出し、算出された補正値に基づいて第２のセンサユニットの検出値を補正することにより、第２のセンサユニットにおける器差を第１のセンサユニットにおける器差に合わせることができるので、第１のセンサユニットの検出値から補正された第２のセンサユニットの検出値に出力値を切り替えるときに、器差による出力値の変化を減少させることが可能となる。これにより、従来のように、実際には測定環境の雰囲気が変化していないにもかかわらず、測定環境の雰囲気が変化したと誤認されたり、装置自体の故障や測定異常を疑われたり、測定結果に基づく制御に悪影響を及ぼしたりするおそれを低減することができ、出力値の信頼性を高めることができる。   According to the temperature / humidity measuring apparatus of the present invention, the correction value is calculated based on the above-described detection difference, and the detection value of the second sensor unit is corrected based on the calculated correction value. Since the instrumental difference in the sensor unit can be matched with the instrumental difference in the first sensor unit, when the output value is switched from the detected value of the first sensor unit to the corrected detected value of the second sensor unit, It becomes possible to reduce the change in the output value due to the difference. This makes it possible to misunderstand that the atmosphere of the measurement environment has changed even though the atmosphere of the measurement environment has not actually changed, as in the past, or to suspect a malfunction or measurement abnormality in the device itself. The possibility of adversely affecting control based on the result can be reduced, and the reliability of the output value can be increased.

本発明の第１実施形態における温湿度測定装置を説明する正面図である。It is a front view explaining the temperature-humidity measuring apparatus in 1st Embodiment of this invention. 図１に示したＩＩ線矢視方向上面図である。It is the II line arrow direction top view shown in FIG. 図１に示したＩＩＩ線矢視方向側面図である。FIG. 3 is a side view taken in the direction of arrows III shown in FIG. 1. 図２及び図３に示したセンサプローブにおけるセンサヘッドの脱着の様子を説明する斜視図である。It is a perspective view explaining the mode of attachment or detachment of the sensor head in the sensor probe shown in FIG.2 and FIG.3. 図２及び図３に示したセンサプローブにおけるセンサキャップの脱着の様子を説明する斜視図である。It is a perspective view explaining the mode of attachment or detachment of the sensor cap in the sensor probe shown in FIG.2 and FIG.3. 図１に示した温湿度測定装置の機能的構成を説明するブロック図である。It is a block diagram explaining the functional structure of the temperature / humidity measuring apparatus shown in FIG. 図１に示した温湿度測定装置が温度及び湿度を測定する動作を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the operation | movement which the temperature / humidity measuring apparatus shown in FIG. 1 measures temperature and humidity. 図１に示した温湿度測定装置が測定する湿度の時間変化を説明するタイムチャートである。It is a time chart explaining the time change of the humidity which the temperature / humidity measuring apparatus shown in FIG. 1 measures. ＣＰＵが使用する値の履歴を説明する表である。It is a table | surface explaining the log | history of the value which CPU uses. 本発明の第２実施形態における温湿度測定装置の機能的構成を説明するブロック図である。It is a block diagram explaining the functional structure of the temperature / humidity measuring apparatus in 2nd Embodiment of this invention. 図１０に示した温湿度測定装置が温度及び湿度を測定する動作を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the operation | movement which the temperature / humidity measuring apparatus shown in FIG. 10 measures temperature and humidity. 図１０に示した温湿度測定装置が測定する湿度の時間変化を説明するタイムチャートである。It is a time chart explaining the time change of the humidity which the temperature / humidity measuring apparatus shown in FIG. 10 measures.

以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。なお、以下の説明において、図面の上側を「上」、下側を「下」、左側を「左」、右側を「右」という。   Embodiments of the present invention will be described below. In the following description of the drawings, the same or similar parts are denoted by the same or similar reference numerals. However, the drawings are schematic. Therefore, specific dimensions and the like should be determined in light of the following description. Moreover, it is a matter of course that portions having different dimensional relationships and ratios are included between the drawings. In the following description, the upper side of the drawing is referred to as “upper”, the lower side as “lower”, the left side as “left”, and the right side as “right”.

［第１実施形態］
図１乃至図９は、本発明の第１実施形態を示すためのものである。図１は、本発明の第１実施形態における温湿度測定装置を説明する正面図である。図１に示すように、温湿度測定装置１００は、第１センサユニット１１０と、第２センサユニット１２０と、本体部１３０と、を備える。温湿度測定装置１００は測定環境の雰囲気中に設置される。 [First Embodiment]
1 to 9 are for illustrating a first embodiment of the present invention. FIG. 1 is a front view illustrating a temperature / humidity measuring apparatus according to a first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the temperature / humidity measuring apparatus 100 includes a first sensor unit 110, a second sensor unit 120, and a main body 130. The temperature / humidity measuring apparatus 100 is installed in an atmosphere of a measurement environment.

第１センサユニット１１０は、測定環境の雰囲気における温度及び湿度を検出する。第１センサユニット１１０は、本体部１３０の一方側（図１において右側）に配置された固定部材Ｆ１によって本体部１３０に固定されている。また、第１センサユニット１１０は、信号線等を束ねたケーブルＣ１によって本体部１３０に接続されている。   The first sensor unit 110 detects temperature and humidity in the atmosphere of the measurement environment. The first sensor unit 110 is fixed to the main body 130 by a fixing member F1 disposed on one side (right side in FIG. 1) of the main body 130. The first sensor unit 110 is connected to the main body 130 by a cable C1 in which signal lines and the like are bundled.

第２センサユニット１２０は、測定環境の雰囲気における温度及び湿度を検出する。第２センサユニット１２０は、本体部１３０の他方側（図１において左側）に配置された固定部材Ｆ２によって本体部１３０に固定されている。また、第２センサユニット１２０は、信号線等を束ねたケーブルＣ２によって本体部１３０に接続されている。   The second sensor unit 120 detects temperature and humidity in the atmosphere of the measurement environment. The second sensor unit 120 is fixed to the main body 130 by a fixing member F2 disposed on the other side (left side in FIG. 1) of the main body 130. The second sensor unit 120 is connected to the main body 130 by a cable C2 in which signal lines and the like are bundled.

本体部１３０は、略直方体形状を呈する筐体（ケース）を有しており、この筐体の上面の略中央には、表示部１３１と、発光部１３２と、入力部１３３と、が設けられている。   The main body 130 has a case (case) that has a substantially rectangular parallelepiped shape, and a display unit 131, a light emitting unit 132, and an input unit 133 are provided in the approximate center of the upper surface of the case. ing.

表示部１３１は、例えばＬＣＤ（Liquid Crystal Display）等のディスプレイであり、測定結果や各種の情報を表示する。発光部１３２は、例えばＬＥＤ（Light Emitting Diode）等の発光体であり、測定結果に基づいて発光する。入力部１３３は、複数のキー（ボタン）を有し、ユーザが当該キーを操作することよって、各種の情報が入力される。   The display unit 131 is a display such as an LCD (Liquid Crystal Display), for example, and displays measurement results and various types of information. The light emitting unit 132 is a light emitter such as an LED (Light Emitting Diode), and emits light based on the measurement result. The input unit 133 has a plurality of keys (buttons), and various information is input by the user operating the keys.

本実施形態では、第１センサユニット１１０及び第２センサユニット１２０は、固定部材Ｆ１，Ｆ２によって本体部１３０に固定される例を示したが、これに限定されない。第１センサユニット１１０及び第２センサユニット１２０は、ケーブルＣ１，Ｃ２を介して本体部１３０に接続されていればよく、本体部１３０と分離した構成を採用することもできる。この場合、温湿度測定装置１００を測定環境の雰囲気中に設置しなくてもよく、第１センサユニット１１０及び第２センサユニット１２０のみが測定環境の雰囲気中に配置されていればよい。   In the present embodiment, the example in which the first sensor unit 110 and the second sensor unit 120 are fixed to the main body 130 by the fixing members F1 and F2 is shown, but the present invention is not limited to this. The 1st sensor unit 110 and the 2nd sensor unit 120 should just be connected to the main-body part 130 via the cables C1 and C2, and the structure isolate | separated from the main-body part 130 is also employable. In this case, the temperature / humidity measuring apparatus 100 may not be installed in the atmosphere of the measurement environment, and only the first sensor unit 110 and the second sensor unit 120 need be arranged in the atmosphere of the measurement environment.

図２は図１に示したＩＩ線矢視方向上面図であり、図３は図１に示したＩＩＩ線矢視方向側面図である。図２に示すように、第１センサユニット１１０は、固定部材Ｆ１に接続されたケース１１１と、ケース１１１の内側に取り付けられたセンサプローブ１１２と、を備える。ケース１１１は、一方側（図２において右側）が開いたＵ字形状を有している。また、図３に示すように、ケース１１１は両端部に開口を有しており、センサプローブ１１２の一端部（図３において左端部）は、ケース１１１の開口を介してケーブルＣ１と接続している。   2 is a top view in the direction of arrows II shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a side view in the direction of arrows III shown in FIG. As shown in FIG. 2, the first sensor unit 110 includes a case 111 connected to the fixing member F <b> 1 and a sensor probe 112 attached to the inside of the case 111. The case 111 has a U-shape that is open on one side (right side in FIG. 2). As shown in FIG. 3, the case 111 has openings at both ends, and one end (the left end in FIG. 3) of the sensor probe 112 is connected to the cable C <b> 1 through the opening of the case 111. Yes.

図２に示すように、第２センサユニット１１０は、固定部材Ｆ２に接続されたケース１２１と、ケース１２１の内側に取り付けられたセンサプローブ１２２と、を備える。ケース１２１は、他方側（図２において左側）が開いたＵ字形状を有している。また、図示は省略するが、図３に示す第１センサユニット１１０の場合と同様に、ケース１２１は両端部に開口を有しており、センサプローブ１２２の一端部は、ケース１２１の開口を介してケーブルＣ２と接続している。   As shown in FIG. 2, the second sensor unit 110 includes a case 121 connected to the fixing member F <b> 2 and a sensor probe 122 attached to the inside of the case 121. The case 121 has a U shape with the other side (left side in FIG. 2) opened. Although not shown, the case 121 has openings at both ends as in the case of the first sensor unit 110 shown in FIG. 3, and one end of the sensor probe 122 passes through the opening of the case 121. Connected to the cable C2.

図４は、図２及び図３に示したセンサプローブにおけるセンサヘッドの脱着の様子を説明する斜視図である。図４に示すように、センサプローブ１１２は、センサボディ１１３と、センサヘッド１１４と、を備える。センサヘッド１１４の下部の台座部１１４ａは、センサボディ１１３の上部に設けられたガイド部１１３ａに嵌合可能に形成されており、センサヘッド１１４はセンサボディ１１３に脱着自在に装着される。   FIG. 4 is a perspective view for explaining how the sensor head is attached to and detached from the sensor probe shown in FIGS. 2 and 3. As shown in FIG. 4, the sensor probe 112 includes a sensor body 113 and a sensor head 114. A pedestal portion 114 a below the sensor head 114 is formed so as to be fitted to a guide portion 113 a provided on the top of the sensor body 113, and the sensor head 114 is detachably attached to the sensor body 113.

また、センサヘッド１１４の台座部１１４ａの上面には、雰囲気の相対湿度を検出する湿度エレメント１１５と、湿度エレメント１１５を加熱するヒータエレメント１１６と、が設けられている。センサヘッド１１４をセンサボディ１１３に装着すると、湿度エレメント１１５及びヒータエレメント１１６とセンサボディ１１３の下部のケーブルＣ１とが電気的に接続される。   A humidity element 115 that detects the relative humidity of the atmosphere and a heater element 116 that heats the humidity element 115 are provided on the upper surface of the pedestal 114 a of the sensor head 114. When the sensor head 114 is attached to the sensor body 113, the humidity element 115 and the heater element 116 are electrically connected to the cable C1 below the sensor body 113.

湿度エレメント１１５は、例えば湿度に応じて静電容量が変化する感湿素子であり、湿度に応じた信号（湿度検出信号）を出力する。なお、湿度エレメント１１５は、容量式（容量変化型）の感湿素子に限定されず、湿度に応じて電気抵抗が変化する抵抗式（抵抗変化型）の感湿素子であってもよく、その方式を問わない。また、感湿層の材料は、例えば高分子化合物やセラミック等であってよく、その材料を問わない。   The humidity element 115 is a humidity sensitive element whose capacitance changes according to humidity, for example, and outputs a signal (humidity detection signal) corresponding to humidity. The humidity element 115 is not limited to a capacitance type (capacitance change type) humidity sensitive element, and may be a resistance type (resistance change type) humidity sensitive element whose electric resistance changes according to humidity. Regardless of the method. The material of the moisture sensitive layer may be, for example, a polymer compound or ceramic, and the material is not limited.

ヒータエレメント１１６は、湿度エレメント１１５の一方の面（図４において手前の面）に、接着剤等を介して固定されている。また、ヒータエレメント１１６は、雰囲気の温度を測定する温度エレメントを兼ねている。すなわち、ヒータエレメント１１６は、例えば測温抵抗体であり、湿度エレメント１１５の加熱を行っていないときは、雰囲気の温度に応じた信号（温度検出信号）を出力する温度エレメントとして機能することができる。   The heater element 116 is fixed to one surface (front surface in FIG. 4) of the humidity element 115 with an adhesive or the like. The heater element 116 also serves as a temperature element that measures the temperature of the atmosphere. That is, the heater element 116 is, for example, a resistance temperature detector, and can function as a temperature element that outputs a signal (temperature detection signal) corresponding to the temperature of the atmosphere when the humidity element 115 is not heated. .

なお、ヒータエレメント１１６が温度エレメントを兼ねる場合に限定されず、センサヘッド１１４は、ヒータエレメントと温度エレメントとをそれぞれ有するように構成することができる。   Note that the present invention is not limited to the case where the heater element 116 also serves as a temperature element, and the sensor head 114 can be configured to include a heater element and a temperature element.

図５は、図２及び図３に示したセンサプローブにおけるセンサキャップの脱着の様子を説明する斜視図である。図５に示すように、センサプローブ１１２は、センサボディ１１３のコネクタ部１１３ｂに脱着可能に装着されるセンサキャップ１１７を更に備える。センサヘッド１１４が装着されたセンサボディ１１３に、センサキャップ１１７を装着すると、湿度エレメント１１５及びヒータエレメント１１６がセンサキャップ１１７によって覆われ、保護される。   FIG. 5 is a perspective view for explaining how the sensor cap is attached to and detached from the sensor probe shown in FIGS. 2 and 3. As shown in FIG. 5, the sensor probe 112 further includes a sensor cap 117 that is detachably attached to the connector portion 113 b of the sensor body 113. When the sensor cap 117 is attached to the sensor body 113 to which the sensor head 114 is attached, the humidity element 115 and the heater element 116 are covered and protected by the sensor cap 117.

また、センサキャップ１１７の上面には、気体の流通を可能にするメッシュ１１７ａが設けられている。これにより、湿度エレメント１１５が測定環境の雰囲気の湿度を測定する湿度センサとして機能するとともに、ヒータエレメント１１６が測定環境の雰囲気の温度を測定する温度センサとして機能する。   Further, a mesh 117 a that allows gas to flow is provided on the upper surface of the sensor cap 117. Thus, the humidity element 115 functions as a humidity sensor that measures the humidity of the atmosphere in the measurement environment, and the heater element 116 functions as a temperature sensor that measures the temperature of the atmosphere in the measurement environment.

なお、センサプローブ１２２の構成は、センサプローブ１１２と同様の構成である。すなわち、センサプローブ１２２は、センサボディ１２３と、センサヘッド１２４と、センサキャップ１２７と、を備え、センサヘッド１２４は、湿度エレメント１２５と、ヒータエレメント１２６と、を有する。よって、前述のセンサプローブ１１２の説明をもってセンサプローブ１２２の説明を省略する。   The configuration of the sensor probe 122 is the same as that of the sensor probe 112. That is, the sensor probe 122 includes a sensor body 123, a sensor head 124, and a sensor cap 127, and the sensor head 124 includes a humidity element 125 and a heater element 126. Therefore, the description of the sensor probe 122 is omitted from the description of the sensor probe 112 described above.

図６は、図１に示した温湿度測定装置の機能的構成を説明するブロック図である。図６に示すように、本体部１３０は、その筐体の内部に、湿度信号変換回路１３４，１３５と、温度信号変換回路１３６，１３７と、ヒータエレメント駆動回路１３８，１３９と、マイクロプロセッサ１４０と、アナログ出力部１５０と、デジタル通信部１６０と、電源部１７０と、が設けられている。   FIG. 6 is a block diagram illustrating a functional configuration of the temperature / humidity measuring apparatus illustrated in FIG. 1. As shown in FIG. 6, the main body 130 includes humidity signal conversion circuits 134 and 135, temperature signal conversion circuits 136 and 137, heater element drive circuits 138 and 139, and a microprocessor 140. , An analog output unit 150, a digital communication unit 160, and a power supply unit 170 are provided.

湿度信号変換回路１３４は、第１センサユニット１１０の湿度エレメント１１５に接続されており、湿度エレメント１１５から入力される湿度検出信号を電圧信号に変換し、変換した電圧信号をマイクロプロセッサ１４０に出力する。   The humidity signal conversion circuit 134 is connected to the humidity element 115 of the first sensor unit 110, converts the humidity detection signal input from the humidity element 115 into a voltage signal, and outputs the converted voltage signal to the microprocessor 140. .

湿度信号変換回路１３５は、第２センサユニット１２０の湿度エレメント１２５に接続されており、湿度エレメント１２５から入力される湿度検出信号を電圧信号に変換し、変換した電圧信号をマイクロプロセッサ１４０に出力する。   The humidity signal conversion circuit 135 is connected to the humidity element 125 of the second sensor unit 120, converts the humidity detection signal input from the humidity element 125 into a voltage signal, and outputs the converted voltage signal to the microprocessor 140. .

温度信号変換回路１３６は、第１センサユニット１１０のヒータエレメント１１６に接続されており、ヒータエレメント１１６から入力される温度検出信号を電圧信号に変換し、変換した電圧信号をマイクロプロセッサ１４０に出力する。   The temperature signal conversion circuit 136 is connected to the heater element 116 of the first sensor unit 110, converts the temperature detection signal input from the heater element 116 into a voltage signal, and outputs the converted voltage signal to the microprocessor 140. .

温度信号変換回路１３７は、第２センサユニット１２０のヒータエレメント１２６に接続されており、ヒータエレメント１２６から入力される温度検出信号を電圧信号に変換し、変換した電圧信号をマイクロプロセッサ１４０に出力する。   The temperature signal conversion circuit 137 is connected to the heater element 126 of the second sensor unit 120, converts the temperature detection signal input from the heater element 126 into a voltage signal, and outputs the converted voltage signal to the microprocessor 140. .

ヒータエレメント駆動回路１３８は、第１センサユニット１１０のヒータエレメント１１６に接続されており、マイクロプロセッサ１４０から入力される制御信号に基づいて、ヒータエレメント１１６に電流を流して駆動する。具体的には、ヒータエレメント駆動回路１３８は、湿度エレメント１１５の感湿層が高分子化合物の場合、ヒータエレメント１１６の温度が、例えば７０℃〜１８０℃程度になるように駆動し、湿度エレメント１１５の感湿層がセラミックの場合、ヒータエレメント１１６の温度が、例えば７００℃〜１２００℃程度になるように駆動する。   The heater element drive circuit 138 is connected to the heater element 116 of the first sensor unit 110, and is driven by passing a current through the heater element 116 based on a control signal input from the microprocessor 140. Specifically, when the humidity sensitive layer of the humidity element 115 is a polymer compound, the heater element drive circuit 138 drives the heater element 116 so that the temperature of the heater element 116 is, for example, about 70 ° C. to 180 ° C. When the moisture sensitive layer is ceramic, the heater element 116 is driven such that the temperature of the heater element 116 is about 700 ° C. to 1200 ° C., for example.

ヒータエレメント駆動回路１３９は、第２センサユニット１２０のヒータエレメント１２６に接続されており、マイクロプロセッサ１４０から入力される制御信号に基づいて、ヒータエレメント１２６に電流を流して駆動する。具体的には、ヒータエレメント駆動回路１３９は、湿度エレメント１２５の感湿層が高分子化合物の場合、ヒータエレメント１２６の温度が、例えば７０℃〜１８０℃程度になるように駆動し、湿度エレメント１２５の感湿層がセラミックの場合、ヒータエレメント１２６の温度が、例えば７００℃〜１２００℃程度になるように駆動する。   The heater element drive circuit 139 is connected to the heater element 126 of the second sensor unit 120, and drives the heater element 126 by passing a current based on a control signal input from the microprocessor 140. Specifically, when the humidity sensitive layer of the humidity element 125 is a polymer compound, the heater element drive circuit 139 drives the heater element 126 so that the temperature of the heater element 126 is, for example, about 70 ° C. to 180 ° C. When the moisture sensitive layer is ceramic, the heater element 126 is driven so that the temperature thereof is, for example, about 700 ° C. to 1200 ° C.

本実施形態では、湿度信号変換回路１３４，１３５、温度信号変換回路１３６，１３７、及びヒータエレメント駆動回路１３８，１３９を、それぞれ第１センサユニット１１０用と第２センサユニット１２０用とにそれぞれ設けるようにしたが、これに限定されない。例えば、湿度信号変換回路、温度信号変換回路、及びヒータエレメント駆動回路のうちの少なくとも１つについて、第１センサユニット１１０及び第２センサユニット１２０の兼用になるように構成することができる。   In the present embodiment, humidity signal conversion circuits 134 and 135, temperature signal conversion circuits 136 and 137, and heater element drive circuits 138 and 139 are provided for the first sensor unit 110 and the second sensor unit 120, respectively. However, it is not limited to this. For example, at least one of a humidity signal conversion circuit, a temperature signal conversion circuit, and a heater element drive circuit can be configured to be used as the first sensor unit 110 and the second sensor unit 120.

アナログ出力部１５０は、マイクロプロセッサ１４０から入力される制御信号、データを電圧信号又は電流信号に変換して本体部１３０の外部に出力するためのものである。アナログ出力部１５０は、出力端子を含み、当該出力端子に接続された外部機器、例えば温湿度制御用のコントローラにアナログ信号を出力する。   The analog output unit 150 is for converting control signals and data input from the microprocessor 140 into voltage signals or current signals and outputting them to the outside of the main body unit 130. The analog output unit 150 includes an output terminal, and outputs an analog signal to an external device connected to the output terminal, for example, a controller for controlling temperature and humidity.

デジタル通信部１６０は、マイクロプロセッサ１４０から入力される制御信号、データを本体部１３０の外部に出力するためのものである。デジタル通信部１６０は、出力端子を含み、当該出力端子に接続された外部機器、例えば中央監視装置にデジタル信号を出力する。なお、デジタル通信部１６０は、単にオン／オフを出力する接点（ピン）を含む出力端子であってもよい。   The digital communication unit 160 is for outputting control signals and data input from the microprocessor 140 to the outside of the main body unit 130. The digital communication unit 160 includes an output terminal and outputs a digital signal to an external device connected to the output terminal, for example, a central monitoring device. The digital communication unit 160 may be an output terminal including a contact (pin) that simply outputs ON / OFF.

電源部１７０は、温湿度測定装置１００の各部に電力を供給するためのものである。なお、電源部１７０は、本体部１３０の内部に設けられる場合に限定されず、本体部１３０の外部に設けるようにしてもよい。   The power supply unit 170 is for supplying power to each unit of the temperature and humidity measurement apparatus 100. Note that the power supply unit 170 is not limited to being provided inside the main body 130, and may be provided outside the main body 130.

マイクロプロセッサ１４０は、Ａ／Ｄ変換器１４１と、ＣＰＵ１４２と、ＲＯＭ１４３と、ＲＡＭ１４４と、不揮発性のメモリ１４５と、を備える。また、マイクロプロセッサ１４０は、前述の表示部１３１、発光部１３２、入力部１３３、アナログ出力部１５０、及びデジタル通信部１６０に接続されている。   The microprocessor 140 includes an A / D converter 141, a CPU 142, a ROM 143, a RAM 144, and a nonvolatile memory 145. The microprocessor 140 is connected to the display unit 131, the light emitting unit 132, the input unit 133, the analog output unit 150, and the digital communication unit 160 described above.

Ａ／Ｄ変換器１４１は、マイクロプロセッサ１４０に入力された電圧信号、すなわち、アナログ信号をデジタル信号に変換してＣＰＵ１４２に出力する。本実施形態では、Ａ／Ｄ変換器１４１は、湿度信号変換回路１３４から入力された電圧信号をデジタル信号に変換したものを第１センサユニット１１０の湿度検出値ＨＵＭ１とし、湿度信号変換回路１３５から入力された電圧信号をデジタル信号に変換したものを第２センサユニット１２０の湿度検出値ＨＵＭ２とし、温度信号変換回路１３６から入力された電圧信号をデジタル信号に変換したものを第１センサユニット１１０の温度検出値ＴＥＭ１とし、温度信号変換回路１３７から入力された電圧信号をデジタル信号に変換したものを第２センサユニット１２０の温度検出値ＴＥＭ２として、ＣＰＵ１４２に出力する。   The A / D converter 141 converts a voltage signal input to the microprocessor 140, that is, an analog signal into a digital signal and outputs the digital signal to the CPU 142. In the present embodiment, the A / D converter 141 converts the voltage signal input from the humidity signal conversion circuit 134 into a digital signal as the humidity detection value HUM1 of the first sensor unit 110, and from the humidity signal conversion circuit 135. The input voltage signal converted into a digital signal is used as the humidity detection value HUM2 of the second sensor unit 120, and the voltage signal input from the temperature signal conversion circuit 136 is converted into a digital signal as the first sensor unit 110. The temperature detection value TEM1 is converted into a digital signal from the voltage signal input from the temperature signal conversion circuit 137 and output to the CPU 142 as the temperature detection value TEM2 of the second sensor unit 120.

ＣＰＵ１４２は、ＲＡＭ１４３及びメモリ１４４に対してデータの読み出しや書き込みを行いながら、ＲＯＭ１４２に記憶されたプログラムに基づいて各種の演算を行う。また、ＣＰＵ１４２は、表示部１３１、発光部１３２、及びヒータエレメント駆動回路１３８，１３９に制御信号、データを出力しながら、温湿度測定装置１００の動作を制御する。具体的には、ＣＰＵ１４２は、温度出力値ＴＥＭ及び湿度出力値ＨＵＭとして使用する検出値を、第１センサユニット１１０及び第２センサユニット１１０のうちの一方の検出値から他方の検出値に切り替える。また、ＣＰＵ１４２は、ヒータエレメント１１６及びヒータエレメント１２６のうちの一方が交互に駆動されるように、ヒータエレメント駆動回路１３８，１３９を制御する。   The CPU 142 performs various calculations based on programs stored in the ROM 142 while reading and writing data to and from the RAM 143 and the memory 144. The CPU 142 controls the operation of the temperature / humidity measuring apparatus 100 while outputting control signals and data to the display unit 131, the light emitting unit 132, and the heater element driving circuits 138 and 139. Specifically, the CPU 142 switches the detection value used as the temperature output value TEM and the humidity output value HUM from one detection value of the first sensor unit 110 and the second sensor unit 110 to the other detection value. Further, the CPU 142 controls the heater element drive circuits 138 and 139 so that one of the heater element 116 and the heater element 126 is alternately driven.

次に、温湿度測定装置１００が湿度及び温度を測定する動作について説明する。   Next, an operation in which the temperature / humidity measuring apparatus 100 measures humidity and temperature will be described.

図７は、図１に示した温湿度測定装置が温度及び湿度を測定する動作を説明するフローチャートである。例えば、電源スイッチが投入されて温湿度測定装置１００が起動したとき、或いは入力部１３３からリセット信号が入力されたときに、ＣＰＵ１４２は、図７に示す温湿度測定処理Ｓ１００を実行する。すなわち、まず、ＣＰＵ１４２は、初期処理を行う（Ｓ１０１）。   FIG. 7 is a flowchart for explaining the operation of the temperature and humidity measuring apparatus shown in FIG. 1 for measuring temperature and humidity. For example, when the temperature / humidity measuring apparatus 100 is started by turning on the power switch or when a reset signal is input from the input unit 133, the CPU 142 executes a temperature / humidity measuring process S100 shown in FIG. That is, first, the CPU 142 performs initial processing (S101).

初期処理Ｓ１０１では、ＣＰＵ１４２は、Ａ／Ｄ変換器１４１から入力される温度検出値ＴＥＭ２を温度出力値ＴＥＭとし、Ａ／Ｄ変換器１４１から入力される湿度検出値ＨＵＭ２を湿度出力値ＨＵＭとして使用し、表示部１３１に出力して表示させる。また、ＣＰＵ１４２は、ヒータエレメント１１６の駆動までの時間を示す待ち時間ＴＷ１の計測を開始する。さらに、ＣＰＵ１４２は、メモリ１４５に予め記憶されたデータを読み出して、待ち時間ＴＷ１等の各種の値を設定する。   In the initial process S101, the CPU 142 uses the temperature detection value TEM2 input from the A / D converter 141 as the temperature output value TEM and the humidity detection value HUM2 input from the A / D converter 141 as the humidity output value HUM. Then, it is output and displayed on the display unit 131. Further, the CPU 142 starts measuring the waiting time TW1 indicating the time until the heater element 116 is driven. Furthermore, the CPU 142 reads data stored in advance in the memory 145, and sets various values such as the waiting time TW1.

なお、ＣＰＵ１４２は、例えば、マイクロプロセッサ１４０に内蔵された水晶振動子等のクロック信号に基づいて、時間を計測することができる。   Note that the CPU 142 can measure time based on, for example, a clock signal such as a crystal resonator built in the microprocessor 140.

次に、ＣＰＵ１４２は、初期処理Ｓ１０１又は後述の切替処理Ｓ１１４において計測を開始した待ち時間ＴＷ１について、時間を経過したか否かを判定し（Ｓ１０２）、待ち時間ＴＷ１を経過するまでＳ１０２のステップを繰り返す。   Next, the CPU 142 determines whether or not the time has elapsed for the waiting time TW1 for which measurement has been started in the initial processing S101 or the switching processing S114 described later (S102), and the step of S102 is performed until the waiting time TW1 has elapsed. repeat.

Ｓ１０２の判定の結果、待ち時間ＴＷ１を経過した場合、ＣＰＵ１４２は、待ち時間ＴＷ１の経過後にＡ／Ｄ変換器１４１から入力された湿度検出値ＨＵＭ１及び湿度検出値ＨＵＭ２を用いて、以下の式（１）から湿度差Ｈｄｅｆ1を算出する（Ｓ１０３）。
Ｈｄｅｆ1＝ＨＵＭ１−ＨＵＭ２ …（１）
これにより、ヒータエレメント１１６が駆動される前における、湿度差Ｈｄｅｆ1が算出される。 As a result of the determination in S102, when the waiting time TW1 has elapsed, the CPU 142 uses the humidity detection value HUM1 and the humidity detection value HUM2 input from the A / D converter 141 after the waiting time TW1 has elapsed, The humidity difference Hdef 1 is calculated from 1) (S103).
Hdef 1 = HUM1-HUM2 (1)
Thereby, the humidity difference Hdef 1 before the heater element 116 is driven is calculated.

本実施形態では、式（１）において、１回分の検出値ＨＵＭ１及び検出値ＨＵＭ２を用いて湿度差Ｈｄｅｆ1を算出するようにしたが、これに限定されない。例えば、ＣＰＵ１４２は、ｋ（ｋは２以上の整数）回分の湿度検出値ＨＵＭ１の平均値ＨＵＭ１midとｋ回分の湿度検出値ＨＵＭ２の平均値ＨＵＭ２midとを算出した上で、以下の式（１）’から湿度Ｈｄｅｆ1を算出するようにしてもよい。
Ｈｄｅｆ1＝ＨＵＭ１mid−ＨＵＭ２mid …（１）’ In the present embodiment, the humidity difference Hdef 1 is calculated using the detection value HUM1 and the detection value HUM2 for one time in the expression (1), but the present invention is not limited to this. For example, CPU 142 is, k (k is an integer of 2 or more) in terms of calculating the average value HUM2 mid average value HUM1 mid and k times of the humidity detection value HUM2 batch humidity detection value HUM1, the following equation (1 ) ′ May be used to calculate the humidity Hdef 1 .
Hdef 1 = HUM1 mid −HUM2 mid (1) ′

次に、ＣＰＵ１４２は、Ｓ１０３において算出した湿度差Ｈｄｅｆ1が所定のしきい値未満であるか否かを判定する（Ｓ１０４）。所定のしきい値は、初期処理Ｓ１０１で設定され、例えば±５％である。 Next, the CPU 142 determines whether or not the humidity difference Hdef 1 calculated in S103 is less than a predetermined threshold value (S104). The predetermined threshold is set in the initial process S101 and is, for example, ± 5%.

Ｓ１０４の判定の結果、湿度差Ｈｄｅｆ1が所定のしきい値未満である場合、第１センサユニット１１０及び第２センサユニット１２０の両方に異常がないと考えられる。一方、湿度差Ｈｄｅｆ1が所定のしきい値未満でない、すなわち、所定のしきい値以上である場合、第１センサユニット１１０及び第２センサユニット１２０のうちの少なくとも一方に、異常があると考えられる。よって、ＣＰＵ１４２は、エラー処理を行う（Ｓ１０５）。 If the humidity difference Hdef 1 is less than the predetermined threshold as a result of the determination in S104, it is considered that there is no abnormality in both the first sensor unit 110 and the second sensor unit 120. On the other hand, when the humidity difference Hdef 1 is not less than the predetermined threshold value, that is, not less than the predetermined threshold value, it is considered that at least one of the first sensor unit 110 and the second sensor unit 120 is abnormal. It is done. Therefore, the CPU 142 performs error processing (S105).

エラー処理Ｓ１０５では、ＣＰＵ１４２は、発光部１３２に制御信号を出力して、発光部１３２を点灯又は点滅させる。このように、湿度差Ｈｄｅｆ1と所定のしきい値とに基づいて、第１センサユニット１１０及び第２センサユニット１２０のうちの少なくとも一方に異常があるか否かが判定されるので、第１センサユニット１１０及び第２センサユニット１２０のうちの少なくとも一方に異常があると判定されたときに、例えば、発光部１３２を点灯又は点滅させる等して、異常がある旨を報知することが可能となる。 In the error process S105, the CPU 142 outputs a control signal to the light emitting unit 132 to turn on or blink the light emitting unit 132. Thus, since it is determined whether or not there is an abnormality in at least one of the first sensor unit 110 and the second sensor unit 120 based on the humidity difference Hdef 1 and the predetermined threshold, the first When it is determined that there is an abnormality in at least one of the sensor unit 110 and the second sensor unit 120, it is possible to notify that there is an abnormality, for example, by turning on or blinking the light emitting unit 132. Become.

本実施形態では、エラー処理Ｓ１０５において、ＣＰＵ１４２は、発光部１３２を点灯又は点滅させるようにしたが、これに限定されない。例えば、ＣＰＵ１４２は、異常がある旨を表示部１３１に表示（報知）するようにしてもよいし、温湿度測定装置１００が、スピーカ等の音声出力手段を備え、音声出力手段により異常がある旨を報知するようにしてもよいし、又は表示部１３１、発光部１３２、及び音声出力手段のうちの少なくとも二つを組み合わせて使用してもよい。   In the present embodiment, in the error process S105, the CPU 142 lights or blinks the light emitting unit 132, but the present invention is not limited to this. For example, the CPU 142 may display (notify) that there is an abnormality on the display unit 131, or the temperature / humidity measurement apparatus 100 includes audio output means such as a speaker, and the audio output means indicates that there is an abnormality. Or at least two of the display unit 131, the light emitting unit 132, and the audio output unit may be used in combination.

Ｓ１０４の判定の結果、湿度差Ｈｄｅｆ1が所定のしきい値未満である場合、又はエラー処理Ｓ１０５の後、ＣＰＵ１４２は、第１センサユニット１１０の加熱処理を行う（Ｓ１０６）。加熱処理Ｓ１０６では、ＣＰＵ１４２は、ヒータエレメント駆動回路１３８に制御信号を出力して、第１センサユニット１１０のヒータエレメント１１６を所定時間駆動し、ヒータエレメント１１６は湿度エレメント１１５を加熱する。これにより、第２センサユニット１２０の湿度検出値ＨＵＭ２を湿度出力値ＨＵＭとして使用しているときに、第１センサユニット１１０のヒータエレメント１１６を駆動することで、湿度出力値ＨＵＭとして使用していない第１センサユニット１１０の湿度エレメント１１５が加熱され、湿度エレメント１１５の性能を回復させることができる。 As a result of the determination in S104, when the humidity difference Hdef 1 is less than the predetermined threshold value or after the error process S105, the CPU 142 performs a heating process for the first sensor unit 110 (S106). In the heating process S106, the CPU 142 outputs a control signal to the heater element drive circuit 138 to drive the heater element 116 of the first sensor unit 110 for a predetermined time, and the heater element 116 heats the humidity element 115. Thus, when the humidity detection value HUM2 of the second sensor unit 120 is used as the humidity output value HUM, the heater element 116 of the first sensor unit 110 is driven and is not used as the humidity output value HUM. The humidity element 115 of the first sensor unit 110 is heated, and the performance of the humidity element 115 can be restored.

また、ＣＰＵ１４２は、ヒータエレメント１１６の駆動を停止した後、湿度エレメント１１５の湿度検出信号が安定するまでの時間を示す安定時間ＴＳ１の計測を開始する。   Further, the CPU 142 starts measuring the stabilization time TS1 indicating the time until the humidity detection signal of the humidity element 115 is stabilized after stopping the driving of the heater element 116.

ヒータエレメント１１６の駆動を停止した後、ＣＰＵ１４２は、第１センサユニット１１０への切替処理を行う（Ｓ１０７）。切替処理Ｓ１０７では、ＣＰＵ１４２は、安定時間ＴＳ１を経過した後に、温度出力値ＴＥＭ及び湿度出力値ＨＵＭとして使用する検出値を第２センサユニット１２０の検出値から第１センサユニット１１０の検出値に切り替える。すなわち、ＣＰＵ１４２は、温度検出値ＴＥＭ１を温度出力値ＴＥＭとして使用し、湿度検出値ＨＵＭ１を湿度出力値ＨＵＭとして使用し、表示部１３１に出力して表示させる。また、ＣＰＵ１４２は、ヒータエレメント１２６の駆動までの時間を示す待ち時間ＴＷ２の計測を開始する。   After stopping the driving of the heater element 116, the CPU 142 performs a switching process to the first sensor unit 110 (S107). In the switching process S107, the CPU 142 switches the detection value used as the temperature output value TEM and the humidity output value HUM from the detection value of the second sensor unit 120 to the detection value of the first sensor unit 110 after the stabilization time TS1 has elapsed. . That is, the CPU 142 uses the temperature detection value TEM1 as the temperature output value TEM, uses the humidity detection value HUM1 as the humidity output value HUM, and outputs and displays it on the display unit 131. Further, the CPU 142 starts measuring the waiting time TW2 indicating the time until the heater element 126 is driven.

本実施形態では、切替処理Ｓ１０７において、安定時間ＴＳ１を経過した後に、温度出力値ＴＥＭ及び湿度出力値ＨＵＭとして使用する検出値を第２センサユニット１２０の検出値から第１センサユニット１２０の検出値に切り替えるようにしたが、これに限定されない。ＣＰＵ１４２は、ヒータエレメント１１６の駆動を停止した後に、Ａ／Ｄ変換器１４１から入力された温度検出値ＴＥＭ１及び温度検出値ＴＥＭ２を用いて、後述の式（２）から温度差Ｔｄｅｆを算出する。そして、算出した温度差Ｔｄｅｆが所定のしきい値より小さくなるまで温度差Ｔｄｅｆの算出を繰り返し、算出した温度差Ｔｄｅｆが所定のしきい値より小さくなったときに、ＣＰＵ１４２は、第２センサユニット１２０の検出値から第１センサユニット１２０の検出値に切り替えるようにしてもよい。   In the present embodiment, the detection value used as the temperature output value TEM and the humidity output value HUM is changed from the detection value of the second sensor unit 120 to the detection value of the first sensor unit 120 after the stabilization time TS1 has elapsed in the switching process S107. However, the present invention is not limited to this. After stopping the driving of the heater element 116, the CPU 142 uses the temperature detection value TEM1 and the temperature detection value TEM2 input from the A / D converter 141 to calculate the temperature difference Tdef from Equation (2) described later. The calculation of the temperature difference Tdef is repeated until the calculated temperature difference Tdef becomes smaller than the predetermined threshold value. When the calculated temperature difference Tdef becomes smaller than the predetermined threshold value, the CPU 142 The detection value of 120 may be switched to the detection value of the first sensor unit 120.

次に、ＣＰＵ１４２は、切替処理Ｓ１０７において計測を開始した待ち時間ＴＷ２について、時間を経過したか否かを判定し（Ｓ１０８）、待ち時間ＴＷ２を経過するまでＳ１０８のステップを繰り返す。   Next, the CPU 142 determines whether or not the time has elapsed for the waiting time TW2 for which measurement has been started in the switching process S107 (S108), and repeats the step of S108 until the waiting time TW2 has elapsed.

Ｓ１０８の判定の結果、待ち時間ＴＷ２を経過した場合、ＣＰＵ１４２は、補正値算出処理を行う（Ｓ１０９）。補正値算出処理Ｓ１０９では、ＣＰＵ１４２は、待ち時間ＴＷ２の経過後にＡ／Ｄ変換器１４１から入力された温度検出値ＴＥＭ１及び温度検出値ＴＥＭ２を用いて、以下の式（２）及び式（３）から温度補正値Ｔｃｏｒを算出する。
Ｔｄｅｆ＝ＴＥＭ１−ＴＥＭ２ …（２）
Ｔｃｏｒ＝Ｔｃｏｒ’＋Ｔｄｅｆ …（３）
但し、Ｔｃｏｒ’は前回の温度補正値であり、初期処理Ｓ１０１において初期値として「０」が設定される。 As a result of the determination in S108, when the waiting time TW2 has elapsed, the CPU 142 performs a correction value calculation process (S109). In the correction value calculation process S109, the CPU 142 uses the temperature detection value TEM1 and the temperature detection value TEM2 input from the A / D converter 141 after the elapse of the waiting time TW2, and uses the following equations (2) and (3). From this, the temperature correction value Tcor is calculated.
Tdef = TEM1-TEM2 (2)
Tcor = Tcor ′ + Tdef (3)
However, Tcor ′ is the previous temperature correction value, and “0” is set as the initial value in the initial process S101.

本実施形態では、式（２）において、１回分の温度検出値ＴＥＭ１及び温度検出値ＴＥＭ２を用いて温度差Ｔｄｅｆを算出するようにしたが、これに限定されない。例えば、ＣＰＵ１４２は、ｍ（ｍは２以上の整数）回分の温度検出値ＴＥＭ１の平均値ＴＥＭ１midとｍ回分の温度検出値ＴＥＭ２の平均値ＴＥＭ２midとを算出した上で、以下の式（２）’から温度差Ｔｄｅｆを算出するようにしてもよい。
Ｔｄｅｆ＝ＴＥＭ１mid−ＴＥＭ２mid …（２）’ In the present embodiment, in Equation (2), the temperature difference Tdef is calculated using the temperature detection value TEM1 and the temperature detection value TEM2 for one time, but the present invention is not limited to this. For example, CPU 142 is, m (m is an integer of 2 or more) in terms of calculating the average value TEM2 mid of average TEM 1 mid and m times of the detected temperature value TEM2 batch temperature detection value TEM 1, the following equation (2 ) ′ May be used to calculate the temperature difference Tdef.
Tdef = TEM1 mid− TEM2 mid (2) ′

また、ＣＰＵ１４２は、待ち時間ＴＷ２の経過後にＡ／Ｄ変換器１４１から入力された湿度検出値ＨＵＭ１及び湿度検出値ＨＵＭ２を用いて、以下の式（４）乃至式（６）から湿度補正値Ｈｃｏｒを算出する。
Ｈｄｅｆ2＝ＨＵＭ１−ＨＵＭ２ …（４）
Ｈｄｅｆ＝（Ｈｄｅｆ1＋Ｈｄｅｆ2）／２ …（５）
Ｈｃｏｒ＝Ｈｃｏｒ’＋Ｈｄｅｆ …（６）
但し、Ｈｃｏｒ’は前回の湿度補正値であり、初期処理Ｓ１０１において初期値として「０」が設定される。また、湿度差Ｈｄｅｆ1は前述のＳ１０３において算出された値である。 Further, the CPU 142 uses the humidity detection value HUM1 and the humidity detection value HUM2 input from the A / D converter 141 after the elapse of the waiting time TW2, and calculates the humidity correction value Hcor from the following equations (4) to (6). Is calculated.
Hdef 2 = HUM1-HUM2 (4)
Hdef = (Hdef 1 + Hdef 2 ) / 2 (5)
Hcor = Hcor ′ + Hdef (6)
However, Hcor ′ is the previous humidity correction value, and “0” is set as the initial value in the initial process S101. Further, the humidity difference Hdef 1 is a value calculated in S103 described above.

本実施形態では、式（４）において、１回分の湿度検出値ＨＵＭ１及び湿度検出値ＨＵＭ２を用いて湿度差Ｈｄｅｆ2を算出するようにしたが、これに限定されない。例えば、ＣＰＵ１４２は、ｋ回分の湿度検出値ＨＵＭ１の平均値ＨＵＭ１midとｋ回分の湿度検出値ＨＵＭ２の平均値ＨＵＭ２midとを算出した上で、以下の式（４）’から湿度Ｈｄｅｆ2を算出するようにしてもよい。
Ｈｄｅｆ2＝ＨＵＭ１mid−ＨＵＭ２mid …（４）’ In the present embodiment, in Equation (4), the humidity difference Hdef 2 is calculated using the humidity detection value HUM1 and the humidity detection value HUM2 for one time, but the present invention is not limited to this. For example, CPU 142 is, after calculating the average value HUM2 mid average value HUM1 mid and k times of the humidity detection value HUM2 of k times of the humidity detection value HUM1, calculated humidity Hdef 2 from the following equation (4) ' You may make it do.
Hdef 2 = HUM1 mid −HUM2 mid (4) ′

本実施形態では、式（６）において、１回分の湿度差Ｈｄｅｆ1及び湿度差Ｈｄｅｆ2を用いて湿度差平均値Ｈｄｅｆを算出するようにしたが、これに限定されない。例えば、ＣＰＵ１４２は、算出したｎ（ｎは湿度差算出の回数を示す添字であって、正の整数である）回分の湿度差Ｈｄｅｆ1n及び湿度差Ｈｄｅｆ2nをメモリ１４５に記憶しておき、以下の式（６）’から湿度差平均値Ｈｄｅｆを算出するようにしてもよい。
Ｈｄｅｆ＝｛（Ｈｄｅｆ1n＋Ｈｄｅｆ12＋…＋Ｈｄｅｆ1n）−（Ｈｄｅｆ2n＋Ｈｄｅｆ22＋…＋Ｈｄｅｆ2n）｝／２ｎ …（６）’ In the present embodiment, in Equation (6), the humidity difference average value Hdef is calculated using the humidity difference Hdef 1 and the humidity difference Hdef 2 for one time, but the present invention is not limited to this. For example, the CPU 142 stores the calculated humidity difference Hdef 1n and humidity difference Hdef 2n for n times (n is a subscript indicating the number of times of calculating the humidity difference and is a positive integer) in the memory 145, and The humidity difference average value Hdef may be calculated from the equation (6) ′.
Hdef = {(Hdef 1n + Hdef 12 +... + Hdef 1n ) − (Hdef 2n + Hdef 22 +... + Hdef 2n )} / 2n (6) ′

次に、ＣＰＵ１４２は、補正値算出処理Ｓ１０９において算出した温度差Ｔｄｅｆ及び湿度差Ｈｄｅｆ2の両方が、所定のしきい値未満であるか否かを判定する（Ｓ１１０）。所定のしきい値は、初期処理Ｓ１０１において設定され、温度差Ｔｄｅｆの場合には例えば±１℃であり、湿度差Ｈｄｅｆ1の場合には例えば±５％である。 Next, CPU 142, both of the temperature difference Tdef and humidity difference Hdef 2 calculated in the correction value calculation process S109 is equal to or less than a predetermined threshold value (S110). Predetermined threshold is set in the initialization process S101, a is for example ± 1 ° C. If the temperature difference Tdef, when the humidity difference Hdef 1 is, for example, ± 5%.

Ｓ１１０の判定の結果、温度差Ｔｄｅｆ及び湿度差Ｈｄｅｆ1の両方が所定のしきい値未満である場合、第１センサユニット１１０及び第２センサユニット１２０の両方に異常がないと考えられる。よって、ＣＰＵ１４２は、補正処理を行う（Ｓ１１１）。補正処理Ｓ１０５では、ＣＰＵ１４２は、待ち時間ＴＷ２の経過後にＡ／Ｄ変換器１４１から入力された温度検出値ＴＥＭ２と、補正値算出処理Ｓ１０９において算出された温度補正値Ｔｃｏｒと、を用いて、以下の式（６）から補正後温度検出値ＴＥＭ２’を算出する。
ＴＥＭ２’＝ＴＥＭ２＋Ｔｃｏｒ …（７） If both the temperature difference Tdef and the humidity difference Hdef 1 are less than the predetermined threshold as a result of the determination in S110, it is considered that there is no abnormality in both the first sensor unit 110 and the second sensor unit 120. Therefore, the CPU 142 performs correction processing (S111). In the correction process S105, the CPU 142 uses the temperature detection value TEM2 input from the A / D converter 141 after the elapse of the waiting time TW2 and the temperature correction value Tcor calculated in the correction value calculation process S109, as follows. The corrected temperature detection value TEM2 ′ is calculated from the equation (6).
TEM2 ′ = TEM2 + Tcor (7)

また、ＣＰＵ１４２は、待ち時間ＴＷ２の経過後にＡ／Ｄ変換器１４１から入力された湿度検出値ＨＵＭ２と、補正値算出処理Ｓ１０９において算出された温度補正値Ｈｃｏｒと、を用いて、以下の式（８）から補正後湿度検出値ＨＵＭ２’を算出する。
ＨＵＭ２’＝ＨＵＭ２＋Ｈｃｏｒ …（８） Further, the CPU 142 uses the humidity detection value HUM2 input from the A / D converter 141 after the elapse of the waiting time TW2 and the temperature correction value Hcor calculated in the correction value calculation process S109, and uses the following formula ( The corrected humidity detection value HUM2 ′ is calculated from 8).
HUM2 ′ = HUM2 + Hcor (8)

一方、Ｓ１１０の判定の結果、温度差Ｔｄｅｆ及び湿度差Ｈｄｅｆ1のうちの少なくとも一方が所定のしきい値未満でない、すなわち、所定のしきい値以上である場合、第１センサユニット１１０及び第２センサユニット１２０のうちの少なくとも一方に、異常があると考えられる。よって、ＣＰＵ１４２は、補正処理Ｓ１１１を行わずに、エラー処理を行う（Ｓ１１２）。 On the other hand, as a result of the determination in S110, if at least one of the temperature difference Tdef and the humidity difference Hdef1 is not less than a predetermined threshold value, that is, not less than the predetermined threshold value, the first sensor unit 110 and the second sensor unit 110 It is considered that at least one of the sensor units 120 has an abnormality. Therefore, the CPU 142 performs error processing without performing the correction processing S111 (S112).

エラー処理Ｓ１１２では、ＣＰＵ１４２は、発光部１３２に制御信号を出力して、発光部１３２を点灯又は点滅させる。このように、温度差Ｔｄｅｆ及び湿度差Ｈｄｅｆ1と所定のしきい値とに基づいて、第１センサユニット１１０及び第２センサユニット１２０のうちの少なくとも一方に異常があるか否かが判定されるので、第１センサユニット１１０及び第２センサユニット１２０のうちの少なくとも一方に異常があると判定されたときに、例えば、発光部１３２を点灯又は点滅させる等して、異常がある旨を報知することが可能となる。また、第１センサユニット１１０及び第２センサユニット１２０の両方に異常がないと判定されたときに、温度差Ｔｄｅｆ及び湿度差Ｈｄｅｆ1，Ｈｄｅｆ2に基づく補正処理Ｓ１１１を行うことが可能となる。 In the error process S112, the CPU 142 outputs a control signal to the light emitting unit 132 to turn on or blink the light emitting unit 132. Thus, based on the temperature difference Tdef and humidity difference Hdef 1 with a predetermined threshold value, whether at least one of a certain abnormality is determined of the first sensor unit 110 and the second sensor unit 120 Therefore, when it is determined that there is an abnormality in at least one of the first sensor unit 110 and the second sensor unit 120, for example, the light emitting unit 132 is turned on or blinked to notify that there is an abnormality. It becomes possible. Further, when it is determined that there is no abnormality in both the first sensor unit 110 and the second sensor unit 120, it is possible to perform the correction process S111 based on the temperature difference Tdef and the humidity differences Hdef 1 and Hdef 2 .

なお、エラー処理Ｓ１１２において、前述のエラー処理Ｓ１０５と同様に、ＣＰＵ１４２は、異常がある旨を表示部１３１に表示（報知）するようにしてもよいし、温湿度測定装置１００が、スピーカ等の音声出力手段を備え、音声出力手段により異常がある旨を報知するようにしてもよいし、又は表示部１３１、発光部１３２、及び音声出力手段のうちの少なくとも二つを組み合わせて使用してもよい。   In the error process S112, as in the error process S105 described above, the CPU 142 may display (notify) that there is an abnormality, or the temperature / humidity measurement apparatus 100 may be a speaker or the like. An audio output unit may be provided to notify that there is an abnormality by the audio output unit, or at least two of the display unit 131, the light emitting unit 132, and the audio output unit may be used in combination. Good.

補正処理Ｓ１１１又はエラー処理Ｓ１１２の後、ＣＰＵ１４２は、第２センサユニット１２０の加熱処理を行う（Ｓ１１３）。加熱処理Ｓ１１３では、ＣＰＵ１４２は、ヒータエレメント駆動回路１３９に制御信号を出力して第２センサユニット１２０のヒータエレメント１２６を所定時間駆動し、ヒータエレメント１２６は湿度エレメント１２５を加熱する。これにより、第１センサユニット１１０の湿度検出値ＨＵＭ１を湿度出力値ＨＵＭとして使用しているときに、第２センサユニット１２０のヒータエレメント１２６を駆動することで、湿度出力値ＨＵＭとして使用していない第２センサユニット１２０の湿度エレメント１２５が加熱され、湿度エレメント１２５の性能を回復させることができる。   After the correction process S111 or the error process S112, the CPU 142 performs a heating process for the second sensor unit 120 (S113). In the heating process S113, the CPU 142 outputs a control signal to the heater element drive circuit 139 to drive the heater element 126 of the second sensor unit 120 for a predetermined time, and the heater element 126 heats the humidity element 125. Thus, when the humidity detection value HUM1 of the first sensor unit 110 is used as the humidity output value HUM, the heater element 126 of the second sensor unit 120 is driven and is not used as the humidity output value HUM. The humidity element 125 of the second sensor unit 120 is heated, and the performance of the humidity element 125 can be restored.

また、ＣＰＵ１４２は、ヒータエレメント１２６の駆動を停止した後、湿度エレメント１２５の湿度検出信号が安定するまでの時間を示す安定時間ＴＳ２の計測を開始する。   In addition, the CPU 142 starts measuring the stabilization time TS2 indicating the time until the humidity detection signal of the humidity element 125 is stabilized after stopping the driving of the heater element 126.

ヒータエレメント１２６の駆動を停止した後、ＣＰＵ１４２は、第２センサユニット１２０への切替処理を行う（Ｓ１１４）。切替処理Ｓ１１４では、ＣＰＵ１４２は、安定時間ＴＳ２を経過した後に、温度出力値ＴＥＭ及び湿度出力値ＨＵＭとして使用する検出値を第１センサユニット１１０の検出値から第２センサユニット１２０の検出値に切り替える。すなわち、Ｓ１１０の判定の結果、補正処理Ｓ１１１が行われた場合に、ＣＰＵ１４２は、補正後温度検出値ＴＥＭ２’を温度出力値ＴＥＭとして使用し、補正後温度検出値ＨＵＭ２’を湿度出力値ＨＵＭとして使用し、表示部１３１に出力して表示させる。このように、温度差Ｔｄｅｆ及び湿度差Ｈｄｅｆ1、Ｈｄｅｆ2に基づいて温度補正値Ｔｃｏｒ及び湿度補正値Ｈｃｏｒを算出し、当該温度補正値Ｔｃｏｒ及び湿度補正値Ｈｃｏｒに基づいて第２センサユニット１２０の温度検出値ＴＥＭ２及び湿度検出値ＨＵＭ２を補正することにより、第２センサユニット１２０における器差を第１センサユニット１１０における器差に合わせることができるので、第１センサユニット１１０の温度検出値ＴＥＭ１及び湿度検出値ＨＵＭ１から第２センサユニット１２０の補正後温度検出値ＴＥＭ２’及び補正後湿度検出値ＨＵＭ２’に切り替えるときに、器差による温度出力値ＴＥＭ及び湿度出力値ＨＵＭの変化を減少させることが可能となる。 After stopping the driving of the heater element 126, the CPU 142 performs a switching process to the second sensor unit 120 (S114). In the switching process S114, the CPU 142 switches the detection value used as the temperature output value TEM and the humidity output value HUM from the detection value of the first sensor unit 110 to the detection value of the second sensor unit 120 after the stabilization time TS2 has elapsed. . That is, when the correction process S111 is performed as a result of the determination in S110, the CPU 142 uses the corrected temperature detection value TEM2 ′ as the temperature output value TEM and the corrected temperature detection value HUM2 ′ as the humidity output value HUM. Used and output and displayed on the display unit 131. As described above, the temperature correction value Tcor and the humidity correction value Hcor are calculated based on the temperature difference Tdef and the humidity differences Hdef 1 and Hdef 2 , and the second sensor unit 120 is configured based on the temperature correction value Tcor and the humidity correction value Hcor. By correcting the temperature detection value TEM2 and the humidity detection value HUM2, the instrumental error in the second sensor unit 120 can be matched with the instrumental error in the first sensor unit 110. Therefore, the temperature detection value TEM1 of the first sensor unit 110 and When switching from the humidity detection value HUM1 to the corrected temperature detection value TEM2 ′ and the corrected humidity detection value HUM2 ′ of the second sensor unit 120, changes in the temperature output value TEM and the humidity output value HUM due to instrumental errors may be reduced. It becomes possible.

一方、エラー処理Ｓ１１２が行われた場合に、ＣＰＵ１４２は、温度検出値ＴＥＭ２を温度出力値ＴＥＭとして使用し、湿度検出値ＨＵＭ２を湿度出力値ＨＵＭとして使用し、表示部１３１に出力して表示させる。また、補正処理Ｓ１１１が行われた場合とエラー処理Ｓ１１２が行われた場合のどちらの場合も、ＣＰＵ１４２は、待ち時間ＴＷ１の計測を開始する。   On the other hand, when the error processing S112 is performed, the CPU 142 uses the temperature detection value TEM2 as the temperature output value TEM and uses the humidity detection value HUM2 as the humidity output value HUM, and outputs and displays it on the display unit 131. . In both cases where the correction process S111 is performed and the error process S112 is performed, the CPU 142 starts measuring the waiting time TW1.

なお、切替処理Ｓ１１４において、前述の切替処理Ｓ１０７と同様に、ＣＰＵ１４２は、ヒータエレメント１２６の駆動を停止した後に、Ａ／Ｄ変換器１４１から入力された温度検出値ＴＥＭ１及び温度検出値ＴＥＭ２を用いて、前述の式（２）から温度差Ｔｄｅｆを算出する。そして、算出した温度差Ｔｄｅｆが所定のしきい値より小さくなるまで温度差Ｔｄｅｆの算出を繰り返し、算出した温度差Ｔｄｅｆが所定のしきい値より小さくなったときに、ＣＰＵ１４２は、第１センサユニット１１０の検出値から第２センサユニット１２０の検出値に切り替えるようにしてもよい。   In the switching process S114, the CPU 142 uses the temperature detection value TEM1 and the temperature detection value TEM2 input from the A / D converter 141 after stopping the driving of the heater element 126, as in the switching process S107 described above. Thus, the temperature difference Tdef is calculated from the above equation (2). Then, the calculation of the temperature difference Tdef is repeated until the calculated temperature difference Tdef becomes smaller than the predetermined threshold value. When the calculated temperature difference Tdef becomes smaller than the predetermined threshold value, the CPU 142 The detection value of 110 may be switched to the detection value of the second sensor unit 120.

なお、Ｓ１１０〜Ｓ１１２は、補正値算出処理Ｓ１０９の後から切替処理Ｓ１１４の前の間であればよく、加熱処理Ｓ１１３の後に行うようにしてもよい。   S110 to S112 may be performed after the correction value calculation process S109 and before the switching process S114, or may be performed after the heating process S113.

切替処理Ｓ１１４の後、ＣＰＵ１４２は、例えば、電源スイッチが切断されて温湿度測定装置１００が停止するか、或いは入力部１３３からリセット信号が入力されるまで、Ｓ１０２〜Ｓ１１４のステップを繰り返す。   After the switching process S114, the CPU 142 repeats the steps S102 to S114 until, for example, the power switch is turned off and the temperature / humidity measuring apparatus 100 stops or a reset signal is input from the input unit 133.

なお、繰り返しにおけるＳ１０４では、ＣＰＵ１４２は、湿度検出値ＨＵＭ２に代えて補正後湿度検出値ＨＵＭ２’を用いて式（１）から湿度差Ｈｄｅｆ1を算出する。同様に、繰り返しにおける補正値算出処理Ｓ１０９では、ＣＰＵ１４２は、温度検出値ＴＥＭ２に代えて補正後温度検出値ＴＥＭ２’を用いて式（２）から温度差Ｔｄｅｆを算出し、湿度検出値ＨＵＭ２に代えて補正後湿度検出値ＨＵＭ２’を用いて式（４）から湿度差Ｈｄｅｆ2を算出する。 In S104 in the iteration, the CPU 142 calculates the humidity difference Hdef 1 from the equation (1) using the corrected humidity detection value HUM2 ′ instead of the humidity detection value HUM2. Similarly, in the correction value calculation process S109 in the iteration, the CPU 142 calculates the temperature difference Tdef from the equation (2) using the corrected temperature detection value TEM2 ′ instead of the temperature detection value TEM2, and replaces it with the humidity detection value HUM2. Then, the humidity difference Hdef 2 is calculated from the equation (4) using the corrected humidity detection value HUM2 ′.

本実施形態では、初期処理Ｓ１０１、切替処理Ｓ１０７、及び切替処理Ｓ１１４において、温度出力値ＴＥＭ及び湿度出力値ＨＵＭを表示部１３１に出力して表示させるようにしたが、これに限定されない。表示部１３１に代えて、ＣＰＵ１４２は、アナログ出力部１５０及びデジタル通信部１６０のうちの少なくとも一方に、温度出力値ＴＥＭ及び湿度出力値ＨＵＭを出力するようにしてもよい。また、ＣＰＵ１４２は、表示部１３１とともに、アナログ出力部１５０及びデジタル通信部１６０のうちの少なくとも一方に、温度出力値ＴＥＭ及び湿度出力値ＨＵＭするようにしてもよい。これにより、温湿度測定装置１００に接続する外部機器に温度出力値ＴＥＭ及び湿度出力値ＨＵＭを出力することが可能となる。   In the present embodiment, in the initial process S101, the switching process S107, and the switching process S114, the temperature output value TEM and the humidity output value HUM are output and displayed on the display unit 131. However, the present invention is not limited to this. Instead of the display unit 131, the CPU 142 may output the temperature output value TEM and the humidity output value HUM to at least one of the analog output unit 150 and the digital communication unit 160. Further, the CPU 142 may output the temperature output value TEM and the humidity output value HUM to at least one of the analog output unit 150 and the digital communication unit 160 together with the display unit 131. As a result, the temperature output value TEM and the humidity output value HUM can be output to the external device connected to the temperature / humidity measuring apparatus 100.

本実施形態では、エラー処理Ｓ１０５及びエラー処理Ｓ１１２において、発光部１３２に制御信号を出力して、発光部１３２を点灯又は点滅させるようにしたが、これに限定されない。発光部１３２に代えて、ＣＰＵ１４２は、アナログ出力部１５０及びデジタル通信部１６０のうちの少なくとも一方に、制御信号を出力するようにしてもよい。また、ＣＰＵ１４２は、発光部１３２とともに、アナログ出力部１５０及びデジタル通信部１６０のうちの少なくとも一方に、制御信号を出力するようにしてもよい。これにより、温湿度測定装置１００に接続する外部機器に異常がある旨を報知することが可能となる。   In the present embodiment, in the error process S105 and the error process S112, a control signal is output to the light emitting unit 132 so that the light emitting unit 132 is lit or blinked. However, the present invention is not limited to this. Instead of the light emitting unit 132, the CPU 142 may output a control signal to at least one of the analog output unit 150 and the digital communication unit 160. The CPU 142 may output a control signal to at least one of the analog output unit 150 and the digital communication unit 160 together with the light emitting unit 132. Thereby, it is possible to notify that there is an abnormality in the external device connected to the temperature / humidity measuring apparatus 100.

次に、温湿度測定装置１００が測定する湿度の時間変化について、具体例を用いて説明する。   Next, the time change of the humidity measured by the temperature / humidity measuring apparatus 100 will be described using a specific example.

図８は、図１に示した温湿度測定装置が測定する湿度の時間変化を説明するタイムチャートであり、図９は、ＣＰＵが使用する値の履歴を説明する表である。なお、説明の簡略化のため、以下において測定環境の雰囲気の湿度は一定のままであるとする。また、図８において、湿度検出値ＨＵＭ１を一点鎖線で示し、湿度検出値ＨＵＭ２を破線で示し、補正後湿度検出値ＨＵＭ２’を実線で示し、湿度出力値ＨＵＭを太線で示すものとする。   FIG. 8 is a time chart for explaining temporal changes in humidity measured by the temperature / humidity measuring apparatus shown in FIG. 1, and FIG. 9 is a table for explaining a history of values used by the CPU. For simplification of explanation, it is assumed that the humidity of the atmosphere of the measurement environment remains constant in the following. In FIG. 8, the humidity detection value HUM1 is indicated by a one-dot chain line, the humidity detection value HUM2 is indicated by a broken line, the corrected humidity detection value HUM2 'is indicated by a solid line, and the humidity output value HUM is indicated by a bold line.

図８に示すように、時刻ｔ1の直前、すなわち、ヒータエレメント１１５を駆動して湿度エレメント１１６を加熱する直前に、ＣＰＵ１４２は、湿度エレメント１１５の検出値である湿度検出値ＨＵＭ１と湿度エレメント１２５の検出値である湿度検出値ＨＵＭ２との湿度差Ｈｄｅｆ1を算出し、メモリ１４５に書き込む（図７のＳ１０３参照）。図９に示すように、時刻ｔ1の直前に、例えば、湿度検出値ＨＵＭ１が「５３」［％］、湿度検出値ＨＵＭ２が「５０」［％］である場合、湿度差Ｈｄｅｆ1は「３」［％］となる。 As shown in FIG. 8, immediately before time t 1 , that is, immediately before the heater element 115 is driven and the humidity element 116 is heated, the CPU 142 detects the humidity detection value HUM1 and the humidity element 125 that are detection values of the humidity element 115. The humidity difference Hdef 1 from the detected humidity value HUM2 is calculated and written in the memory 145 (see S103 in FIG. 7). As shown in FIG. 9, immediately before time t 1 , for example, when the humidity detection value HUM1 is “53” [%] and the humidity detection value HUM2 is “50” [%], the humidity difference Hdef 1 is “3”. [%].

時刻ｔ1において湿度エレメント１１５が加熱されると（図７の加熱処理Ｓ１０６参照）、湿度検出値ＨＵＭ１は、一時的に低下した後、時間の経過とともに徐々に安定する。時刻ｔ2において、すなわち、時刻ｔ1から安定時間ＴＳ１が経過したときに、湿度出力値ＨＵＭが湿度検出値ＨＵＭ２から湿度検出値ＨＵＭ１に切り替えられる（図７の切替処理Ｓ１０７参照）。 When the humidity element 115 is heated at time t 1 (see the heating process S106 in FIG. 7), the humidity detection value HUM1 gradually decreases and then gradually stabilizes with time. In time t 2, the words, when the stabilizing time TS1 from the time t 1 has elapsed, the humidity output value HUM is switched from the humidity detection value HUM2 detecting the humidity value HUM1 (see switching processing of FIG. 7 S107).

湿度エレメント１１５，１２５は、測定環境の雰囲気中に含まれる薬品、溶剤等のガス（気体）や、例えば相対湿度９０％以上の高湿度の影響を受けて劣化する。そのため、図８に示すように、実際には雰囲気の湿度が変化していないにもかかわらず、湿度検出値ＨＵＭ１及び湿度検出値ＨＵＭ２は、時間の経過とともに上昇する。   The humidity elements 115 and 125 deteriorate under the influence of a gas (gas) such as a chemical or a solvent contained in the atmosphere of the measurement environment or a high humidity of, for example, a relative humidity of 90% or more. Therefore, as shown in FIG. 8, the humidity detection value HUM1 and the humidity detection value HUM2 increase with the passage of time even though the humidity of the atmosphere does not actually change.

時刻ｔ3の直前、すなわち、時刻ｔ2から待ち時間ＴＷ２が経過したときに、ヒータエレメント１２５を駆動して湿度エレメント１２６を加熱する直前に、ＣＰＵ１４２は、湿度差Ｈｄｅｆ2、湿度差平均値Ｈｄｅｆ、湿度補正値Ｈｃｏｒを算出し、メモリ１４５に書き込む（図７の補正値算出処理Ｓ１０９参照）。図９に示すように、時刻ｔ3の直前に、例えば、湿度検出値ＨＵＭ１が「５２」［％］、湿度検出値ＨＵＭ２が「５１」［％］である場合、湿度差Ｈｄｅｆ2は「１」［％］となり、湿度差Ｈｄｅｆ2は時刻ｔ1で算出された「３」［％］のままであり、湿度差平均値Ｈｄｅｆは「２」［％］となり、前回湿度補正値Ｈｃｏｒ’は初期処理Ｓ１０１で設定された「０」［％］であり、湿度補正値Ｈｃｏｒは「２」［％］となる。 Immediately before time t 3 , that is, when the waiting time TW 2 has elapsed from time t 2 , immediately before the heater element 125 is driven to heat the humidity element 126, the CPU 142 determines the humidity difference Hdef 2 and the humidity difference average value Hdef. Then, the humidity correction value Hcor is calculated and written in the memory 145 (see correction value calculation processing S109 in FIG. 7). As shown in FIG. 9, immediately before the time t 3 , for example, when the humidity detection value HUM1 is “52” [%] and the humidity detection value HUM2 is “51” [%], the humidity difference Hdef 2 is “1”. [%], The humidity difference Hdef 2 remains “3” [%] calculated at time t 1 , the humidity difference average value Hdef becomes “2” [%], and the previous humidity correction value Hcor ′ is It is “0” [%] set in the initial process S101, and the humidity correction value Hcor is “2” [%].

また、ＣＰＵ１４２は、時刻ｔ3の直前に、補正後湿度検出値ＨＵＭ２’を算出し、メモリ１４５に書き込む（図７の補正値算出処理Ｓ１１１参照）。図９に示すように、時刻ｔ3の直前に、例えば、湿度検出値ＨＵＭ２が「５１」［％］である場合、補正後湿度検出値ＨＵＭ２’は「５３」［％］となる。 Further, the CPU 142 calculates the corrected humidity detection value HUM2 ′ immediately before time t 3 and writes it in the memory 145 (see correction value calculation processing S111 in FIG. 7). As shown in FIG. 9, immediately before time t 3 , for example, when the humidity detection value HUM2 is “51” [%], the corrected humidity detection value HUM2 ′ is “53” [%].

時刻ｔ3において湿度エレメント１２５が加熱されると（図７の加熱処理Ｓ１１３参照）、湿度検出値ＨＵＭ２は、一時的に低下した後、時間の経過とともに徐々に安定する。時刻ｔ4において、すなわち、時刻ｔ3から安定時間ＴＳ２が経過したときに、湿度出力値ＨＵＭが湿度検出値ＨＵＭ１から補正後湿度検出値ＨＵＭ２’に切り替えられる（図７の切替処理Ｓ１１４参照）。これにより、補正前の切替変化量ｖａｌ１から補正後の切替変化量ｖａｌ１’に減少する。 When the humidity element 125 is heated at time t 3 (see the heating process S113 in FIG. 7), the humidity detection value HUM2 gradually decreases and then gradually stabilizes with time. At time t 4 , that is, when the stable time TS 2 has elapsed from time t 3 , the humidity output value HUM is switched from the humidity detection value HUM 1 to the corrected humidity detection value HUM 2 ′ (see switching process S 114 in FIG. 7). As a result, the change amount val1 before correction is reduced to the change amount val1 ′ after correction.

ここで、湿度エレメント１１５及び湿度エレメント１２５は、測定環境の雰囲気中に含まれる薬品、溶剤等のガス（気体）や高湿度の影響を受けて劣化するので、本来の湿度よりも高い湿度を示す傾向があり、時間の経過とともに湿度差は更に大きくなる（拡がる）傾向にある。そして、ヒータエレメント１１６，１２６の駆動直後（図８において時刻ｔ1，ｔ3の直後）は湿度エレメント１１５，１２５の検出値が安定していない一方、ヒータエレメント１１６，１２６の駆動直前（図８において時刻ｔ1，ｔ3の直前）は湿度エレメント１１５及び湿度エレメント１２５ともに、検出値が安定しているとともに、ヒータエレメント１１６，１２６の駆動からある程度の時間が経過しているので、劣化していると考えられる。よって、ヒータエレメント駆動回路１３８，１３９によりヒータエレメント１１６及びヒータエレメント１２６のうちの一方が駆動される前における湿度差Ｈｄｅｆ1，Ｈｄｅｆ2に基づいて、湿度補正値Ｈｃｏｒを算出することにより、湿度エレメント１１５及び湿度エレメント１２５の両方の劣化を考慮した湿度補正値Ｈｃｏｒを算出することが可能となる。 Here, the humidity element 115 and the humidity element 125 are deteriorated by the influence of a gas (gas) such as a chemical or a solvent contained in the atmosphere of the measurement environment or high humidity, and therefore show a humidity higher than the original humidity. There is a tendency, and the humidity difference tends to increase (expand) over time. Immediately after the heater elements 116 and 126 are driven (immediately after times t 1 and t 3 in FIG. 8), the detected values of the humidity elements 115 and 125 are not stable, whereas immediately before the heater elements 116 and 126 are driven (FIG. 8). In the period immediately before the times t 1 and t 3 ), both the humidity element 115 and the humidity element 125 have stable detection values, and a certain amount of time has passed since the heater elements 116 and 126 have been driven. It is thought that there is. Therefore, by calculating the humidity correction value Hcor based on the humidity difference Hdef 1 and Hdef 2 before one of the heater element 116 and the heater element 126 is driven by the heater element drive circuits 138 and 139, the humidity element It is possible to calculate the humidity correction value Hcor in consideration of deterioration of both the 115 and the humidity element 125.

また、このように、ヒータエレメント駆動回路１３８によりヒータエレメント１１６が駆動される前（図８において時刻ｔ1の直前）における湿度差Ｈｄｅｆ1と、ヒータエレメント駆動回路１３９によりヒータエレメント１２６が駆動される前（図８において時刻ｔ3の直前）における湿度差Ｈｄｅｆ2と、の平均値である湿度差平均値Ｈｄｅｆに基づいて、湿度補正値Ｈｃｏｒを算出することにより、湿度エレメント１１５の湿度検出値ＨＵＭ１から湿度エレメント１２５の補正後湿度検出値ＨＵＭ２’に切り替えたときの湿度出力値ＨＵＭの切替変化量ｖａｌ１’と湿度エレメント１２５の補正後湿度検出値ＨＵＭ２’から湿度エレメント１１５の湿度検出値ＨＵＭ１に切り替えたときの湿度出力値ＨＵＭの切替変化量ｖａｌ２’とを同一にすることが可能となる。 Further, in this way, the humidity difference Hdef 1 before the heater element 116 is driven by the heater element drive circuit 138 (immediately before time t 1 in FIG. 8), and the heater element 126 is driven by the heater element drive circuit 139. before humidity difference Hdef 2 in (immediately before the time t 3 in FIG. 8), based on which is the average value humidity difference average value Hdef, by calculating the humidity correction value HcOR, humidity detection value of the humidity element 115 HUM1 Is switched from the humidity output value HUM2 ′ of the humidity output value HUM2 ′ and the humidity detection value HUM2 ′ after the correction of the humidity element 125 to the humidity detection value HUM1 of the humidity element 115. The change amount val2 ′ of the humidity output value HUM at the same time is made the same. It becomes possible.

時刻ｔ5の直前、すなわち、時刻ｔ4から待ち時間ＴＷ１が経過したときに、ヒータエレメント１１５を駆動して湿度エレメント１１６を加熱する直前に、ＣＰＵ１４２は、湿度差Ｈｄｅｆ1を算出し、メモリ１４５に書き込む（図７のＳ１０３参照）。図９に示すように、時刻ｔ5の直前に、例えば、湿度検出値ＨＵＭ１が「５３」［％］、補正後湿度検出値ＨＵＭ２’が「５２」［％］である場合、湿度差Ｈｄｅｆ1は「１」［％］となる。 Immediately before time t 5 , that is, when the waiting time TW 1 has elapsed from time t 4 , immediately before the heater element 115 is driven to heat the humidity element 116, the CPU 142 calculates the humidity difference Hdef 1 and stores the memory 145. (See S103 in FIG. 7). As shown in FIG. 9, immediately before the time t 5, for example, the humidity detection value HUM1 is "53" [%], if the corrected humidity value detected HUM2 'is "52" [%], the humidity difference Hdef 1 Becomes “1” [%].

時刻ｔ5において湿度エレメント１１５が加熱されると（図７の加熱処理Ｓ１０６参照）、湿度検出値ＨＵＭ１は、一時的に低下した後、時間の経過とともに徐々に安定する。時刻ｔ6において、すなわち、時刻ｔ5から安定時間ＴＳ１が経過したときに、湿度出力値ＨＵＭが補正後湿度検出値ＨＵＭ２’から湿度検出値ＨＵＭ１に切り替えられる（図７の切替処理Ｓ１０７参照）。これにより、補正前の切替変化量ｖａｌ２から補正後の切替変化量ｖａｌ２’に減少する。 When the humidity element 115 is heated at the time t 5 (see heat treatment of FIG. 7 S106), the humidity detection value HUM1, after temporarily decreased gradually stable with time. At time t 6, i.e., when the stabilizing time TS1 from the time t 5 has passed, the humidity output value HUM is switched to the humidity detection value HUM1 from the corrected humidity value detected HUM2 '(see switching processing of FIG. 7 S107). As a result, the change amount val2 before correction is reduced to the change amount val2 ′ after correction.

時刻ｔ7の直前、すなわち、時刻ｔ6から待ち時間ＴＷ２が経過したときに、ヒータエレメント１２５を駆動して湿度エレメント１２６を加熱する直前に、ＣＰＵ１４２は、湿度差Ｈｄｅｆ2、湿度差平均値Ｈｄｅｆ、湿度補正値Ｈｃｏｒを算出し、メモリ１４５に書き込む（図７の補正値算出処理Ｓ１０９参照）。図９に示すように、時刻ｔ7の直前に、例えば、湿度検出値ＨＵＭ１が「５２」［％］、補正後湿度検出値ＨＵＭ２’が「５３」［％］である場合、湿度差Ｈｄｅｆ2は「−１」［％］となり、湿度差Ｈｄｅｆ 1 は時刻ｔ5の直前で算出された「１」［％］のままであり、湿度差平均値Ｈｄｅｆは「０」［％］となり、前回湿度補正値Ｈｃｏｒ'は時刻ｔ3の直前で算出された「２」［％］であり、湿度補正値Ｈｃｏｒは「２」［％］となる。 Immediately before time t 7 , that is, when the waiting time TW 2 has elapsed from time t 6 , immediately before the heater element 125 is driven to heat the humidity element 126, the CPU 142 determines the humidity difference Hdef 2 and the humidity difference average value Hdef. Then, the humidity correction value Hcor is calculated and written in the memory 145 (see correction value calculation processing S109 in FIG. 7). As shown in FIG. 9, immediately before the time t 7 , for example, when the humidity detection value HUM1 is “52” [%] and the corrected humidity detection value HUM2 ′ is “5 3 ” [%], the humidity difference Hdef 2 becomes “−1” [%], the humidity difference Hdef 1 remains “1” [%] calculated just before the time t 5 , and the humidity difference average value Hdef becomes “0” [%]. The previous humidity correction value Hcor ′ is “2” [%] calculated immediately before time t 3 , and the humidity correction value Hcor is “2” [%].

また、ＣＰＵ１４２は、時刻ｔ7の直前に、補正後湿度検出値ＨＵＭ２’を算出し、メモリ１４５に書き込む（図７の補正値算出処理Ｓ１１１参照）。図９に示すように、時刻ｔ7の直前に、例えば、湿度検出値ＨＵＭ２が「５１」［％］である場合、補正後湿度検出値ＨＵＭ２’は「５３」［％］となる。 Further, the CPU 142 calculates the corrected humidity detection value HUM2 ′ immediately before time t 7 and writes it in the memory 145 (see correction value calculation processing S111 in FIG. 7). As shown in FIG. 9, immediately before time t 7 , for example, when the humidity detection value HUM2 is “51” [%], the corrected humidity detection value HUM2 ′ is “53” [%].

時刻ｔ7において湿度エレメント１２５が加熱されると（図７の加熱処理Ｓ１１３参照）、補正後湿度検出値ＨＵＭ２’は、一時的に低下した後、時間の経過とともに徐々に安定する。時刻ｔ8において、すなわち、時刻ｔ7から安定時間ＴＳ２が経過したときに、湿度出力値ＨＵＭが湿度検出値ＨＵＭ１から補正後湿度検出値ＨＵＭ２’に切り替えられる（図７の切替処理Ｓ１１４参照）。 When the humidity element 125 is heated at time t 7 (see the heating process S113 in FIG. 7), the corrected humidity detection value HUM2 ′ is gradually decreased and then gradually stabilized with the passage of time. At time t 8, i.e., when the stabilizing time TS2 from the time t 7 has passed, the humidity output value HUM is switched from the humidity detection value HUM1 the corrected humidity value detected HUM2 '(see switching processing of FIG. 7 S114).

本実施形態では、第１センサユニット１１０をメイン（マスタ）とし、第２センサユニット１２０をサブ（スレーブ）として、第２のセンサユニット１２０の温度検出値ＴＥＭ２及び湿度検出値ＨＵＭ２を補正するようにしたが、これに限定されず、第２センサユニット１２０をメイン（マスタ）とし、第１センサユニット１１０をサブ（スレーブ）として、第１のセンサユニット１２０の温度検出値ＴＥＭ１及び湿度検出値ＨＵＭ１を補正するようにしてもよい。   In the present embodiment, the first sensor unit 110 is the main (master), the second sensor unit 120 is the sub (slave), and the temperature detection value TEM2 and the humidity detection value HUM2 of the second sensor unit 120 are corrected. However, the present invention is not limited to this, and the second sensor unit 120 is the main (master), the first sensor unit 110 is the sub (slave), and the temperature detection value TEM1 and the humidity detection value HUM1 of the first sensor unit 120 are You may make it correct | amend.

また、第１センサユニット１１０及び第２センサユニット１２０は、温度及び湿度の両方を測定するようにしたが、温度及び湿度のうちの少なくとも一方を測定するようにしてもよい。特に、第１センサユニット１１０及び第２センサユニット１２０が湿度のみを測定する場合は、本発明は湿度測定装置である。   Moreover, although the 1st sensor unit 110 and the 2nd sensor unit 120 measured both temperature and humidity, you may make it measure at least one of temperature and humidity. In particular, when the first sensor unit 110 and the second sensor unit 120 measure only humidity, the present invention is a humidity measuring device.

このように、本実施形態における温湿度測定装置１００及び温湿度測定方法によれば、温度差Ｔｄｅｆ及び湿度差Ｈｄｅｆ1，Ｈｄｅｆ2に基づいて温度補正値Ｔｃｏｒ及び湿度補正値Ｈｃｏｒが算出され、当該温度補正値Ｔｃｏｒ及び湿度補正値Ｈｃｏｒに基づいて第２センサユニット１２０の温度検出値ＴＥＭ２及び湿度検出値ＨＵＭ２が補正され、第１センサユニット１１０の温度検出値ＴＥＭ１及び湿度検出値ＨＵＭ１から第２センサユニット１２０の温度検出値ＴＥＭ２及び湿度検出値ＨＵＭ２に切り替えるときに、補正後温度検出値ＴＥＭ２’ が温度出力値ＴＥＭとして、補正後湿度検出値ＨＵＭ２’が湿度出力値ＨＵＭとして使用される。このように、温度差Ｔｄｅｆ及び湿度差Ｈｄｅｆ1、Ｈｄｅｆ2に基づいて温度補正値Ｔｃｏｒ及び湿度補正値Ｈｃｏｒを算出し、当該温度補正値Ｔｃｏｒ及び湿度補正値Ｈｃｏｒに基づいて第２センサユニット１２０の温度検出値ＴＥＭ２及び湿度検出値ＨＵＭ２を補正することにより、第２センサユニット１２０における器差を第１センサユニット１１０における器差に合わせることができるので、温度検出値ＴＥＭ１及び湿度検出値ＨＵＭ１から第２センサユニット１２０の補正後温度検出値ＴＥＭ２’及び補正後湿度検出値ＨＵＭ２’に切り替えるときに、器差による温度出力値ＴＥＭ及び湿度出力値ＨＵＭの変化を減少させることが可能となる。これにより、従来のように、実際には測定環境が変化していないにもかかわらず、測定環境が変化したと誤認されたり、装置自体の故障や測定異常を疑われたり、測定結果に基づく制御に悪影響を及ぼしたりするおそれを低減することができ、温度出力値ＴＥＭ及び湿度出力値ＨＵＭの信頼性を高めることができる。 As described above, according to the temperature / humidity measuring apparatus 100 and the temperature / humidity measuring method in the present embodiment, the temperature correction value Tcor and the humidity correction value Hcor are calculated based on the temperature difference Tdef and the humidity differences Hdef 1 and Hdef 2 , and The temperature detection value TEM2 and the humidity detection value HUM2 of the second sensor unit 120 are corrected based on the temperature correction value Tcor and the humidity correction value Hcor, and the second sensor is detected from the temperature detection value TEM1 and the humidity detection value HUM1 of the first sensor unit 110. When switching between the temperature detection value TEM2 and the humidity detection value HUM2 of the unit 120, the corrected temperature detection value TEM2 ′ is used as the temperature output value TEM, and the corrected humidity detection value HUM2 ′ is used as the humidity output value HUM. As described above, the temperature correction value Tcor and the humidity correction value Hcor are calculated based on the temperature difference Tdef and the humidity differences Hdef 1 and Hdef 2 , and the second sensor unit 120 is configured based on the temperature correction value Tcor and the humidity correction value Hcor. By correcting the temperature detection value TEM2 and the humidity detection value HUM2, the instrumental error in the second sensor unit 120 can be matched with the instrumental error in the first sensor unit 110, so that the temperature detection value TEM1 and the humidity detection value HUM1 When switching between the corrected temperature detection value TEM2 ′ and the corrected humidity detection value HUM2 ′ of the two-sensor unit 120, it is possible to reduce changes in the temperature output value TEM and the humidity output value HUM due to instrumental errors. This makes it possible to misunderstand that the measurement environment has changed despite the fact that the measurement environment has not actually changed, as in the past, or to suspect a failure in the device itself or a measurement abnormality, or control based on the measurement results. The possibility of adversely affecting the temperature output value TEM and the reliability of the temperature output value TEM and the humidity output value HUM can be improved.

また、本実施形態における温湿度測定装置１００によれば、ヒータエレメント１１６及びヒータエレメント１２６のうちの一方が交互に駆動され、ヒータエレメント駆動回路１３８，１３９によりヒータエレメント１１６及びヒータエレメント１２６のうちの一方が駆動される前における湿度差Ｈｄｅｆ1，Ｈｄｅｆ2に基づいて、湿度補正値Ｈｃｏｒが算出される。これにより、一方のセンサユニットの検出値を出力値として使用しているときに他方のセンサユニットのヒータエレメントを駆動することで、湿度出力値ＨＵＭとして使用していない他方のセンサユニットの湿度エレメントが加熱され、当該湿度エレメントの性能を回復させることが可能となる。これにより、湿度の測定を中断することなく連続して湿度を測定することができるとともに、湿度出力値ＨＵＭの精度を維持することができる。 Moreover, according to the temperature / humidity measuring apparatus 100 in the present embodiment, one of the heater element 116 and the heater element 126 is alternately driven, and the heater element driving circuits 138 and 139 A humidity correction value Hcor is calculated based on the humidity differences Hdef 1 and Hdef 2 before one of them is driven. As a result, by driving the heater element of the other sensor unit when the detection value of one sensor unit is used as the output value, the humidity element of the other sensor unit that is not used as the humidity output value HUM is obtained. When heated, the performance of the humidity element can be restored. Thereby, while being able to measure humidity continuously without interrupting the measurement of humidity, the accuracy of the humidity output value HUM can be maintained.

また、湿度エレメント１１５及び湿度エレメント１２５は、測定環境の雰囲気中に含まれる薬品、溶剤等のガス（気体）や高湿度の影響を受けて劣化するので、本来の湿度よりも高い湿度を示す傾向があり、時間の経過とともに湿度差は更に大きくなる（拡がる）傾向にある。そして、ヒータエレメント１１６，１２６の駆動直後（図８において時刻ｔ1，ｔ3の直後）は湿度エレメント１１５，１２５の検出値が安定していない一方、ヒータエレメント１１６，１２６の駆動直前（図８において時刻ｔ1，ｔ3の直前）は湿度エレメント１１５及び湿度エレメント１２５ともに、検出値が安定しているとともに、ヒータエレメント１１６，１２６の駆動からある程度の時間が経過しているので、劣化していると考えられる。よって、ヒータエレメント駆動回路１３８，１３９によりヒータエレメント１１６及びヒータエレメント１２６のうちの一方が駆動される前における湿度差Ｈｄｅｆ1，Ｈｄｅｆ2に基づいて、湿度補正値Ｈｃｏｒを算出することにより、湿度エレメント１１５及び湿度エレメント１２５の両方の劣化を考慮した湿度補正値Ｈｃｏｒを算出することが可能となる。これにより、湿度検出値ＨＵＭ１から補正後湿度検出値ＨＵＭ２’に切り替えるときに、湿度エレメント１１５及び湿度エレメント１２５の劣化による湿度出力値ＨＵＭの変化を減少させることができ、湿度出力値ＨＵＭの信頼性を更に高めることができる。 Moreover, the humidity element 115 and the humidity element 125 are deteriorated by the influence of a gas (gas) such as a chemical or a solvent contained in the atmosphere of the measurement environment or high humidity, and therefore tend to exhibit higher humidity than the original humidity. There is a tendency that the humidity difference further increases (expands) over time. Immediately after the heater elements 116 and 126 are driven (immediately after times t 1 and t 3 in FIG. 8), the detected values of the humidity elements 115 and 125 are not stable, whereas immediately before the heater elements 116 and 126 are driven (FIG. 8). In the period immediately before the times t 1 and t 3 ), both the humidity element 115 and the humidity element 125 have stable detection values, and a certain amount of time has passed since the heater elements 116 and 126 have been driven. It is thought that there is. Therefore, by calculating the humidity correction value Hcor based on the humidity difference Hdef 1 and Hdef 2 before one of the heater element 116 and the heater element 126 is driven by the heater element drive circuits 138 and 139, the humidity element It is possible to calculate the humidity correction value Hcor in consideration of deterioration of both the 115 and the humidity element 125. Accordingly, when the humidity detection value HUM1 is switched to the corrected humidity detection value HUM2 ′, the change in the humidity output value HUM due to the deterioration of the humidity element 115 and the humidity element 125 can be reduced, and the reliability of the humidity output value HUM Can be further increased.

また、本実施形態における温湿度測定装置１００によれば、ヒータエレメント駆動回路１３８によりヒータエレメント１１６が駆動される前における湿度差Ｈｄｅｆ2とヒータエレメント駆動回路１３９によりヒータエレメント１２６が駆動される前における湿度差Ｈｄｅｆ1との平均値である湿度差平均値Ｈｄｅｆに基づいて、湿度補正値Ｈｃｏｒが算出される。これにより、湿度エレメント１１５の湿度検出値ＨＵＭ１から湿度エレメント１２５の補正後湿度検出値ＨＵＭ２’に切り替えたときの湿度出力値ＨＵＭの切替変化量ｖａｌ１’と湿度エレメント１２５の補正後湿度検出値ＨＵＭ２’から湿度エレメント１１５の湿度検出値ＨＵＭ１に切り替えたときの湿度出力値ＨＵＭの切替変化量ｖａｌ２’とを同一にすることが可能となる。 Further, according to the temperature / humidity measuring apparatus 100 in the present embodiment, the humidity difference Hdef 2 before the heater element 116 is driven by the heater element drive circuit 138 and the heater element 126 before the heater element 126 is driven by the heater element drive circuit 139. based on the humidity difference average value Hdef is an average value of the humidity difference Hdef 1, the humidity correction value Hcor is calculated. Accordingly, the change amount val1 ′ of the humidity output value HUM when the humidity detection value HUM1 of the humidity element 115 is switched to the corrected humidity detection value HUM2 ′ of the humidity element 125 and the corrected humidity detection value HUM2 ′ of the humidity element 125. Therefore, it is possible to make the change amount val2 ′ of the humidity output value HUM when the humidity is changed to the humidity detection value HUM1 of the humidity element 115 to be the same.

また、本実施形態における温湿度測定装置１００によれば、温度差Ｔｄｅｆ及び湿度差Ｈｄｅｆ1，Ｈｄｅｆ2と所定のしきい値とに基づいて、第１センサユニット１１０及び第２センサユニット１２０のうちの少なくとも一方に異常があるか否かが判定される。これにより、第１センサユニット１１０及び第２センサユニット１２０のうちの少なくとも一方に異常があると判定されたときに、例えば、異常がある旨を報知することが可能となる。これにより、第１のセンサユニット及び第２のセンサユニットの点検、修理、交換等を促すことができる。また、第１センサユニット１１０及び第２センサユニット１２０のうちの両方に異常がないと判定されたときに、温度差Ｔｄｅｆ及び湿度差Ｈｄｅｆ1，Ｈｄｅｆ2に基づく補正を行うことが可能となる。 Moreover, according to the temperature / humidity measuring apparatus 100 in the present embodiment, the first sensor unit 110 and the second sensor unit 120 are based on the temperature difference Tdef, the humidity differences Hdef 1 and Hdef 2, and a predetermined threshold value. Whether or not there is an abnormality in at least one of them is determined. Thereby, when it is determined that there is an abnormality in at least one of the first sensor unit 110 and the second sensor unit 120, for example, it can be notified that there is an abnormality. Thereby, inspection, repair, replacement, etc. of the first sensor unit and the second sensor unit can be promoted. Further, when it is determined that there is no abnormality in both the first sensor unit 110 and the second sensor unit 120, correction based on the temperature difference Tdef and the humidity differences Hdef 1 and Hdef 2 can be performed.

［第２実施形態］
図１０乃至図１３は、本発明の第２実施形態を示すためのものである。なお、特に記載がない限り、前述した実施形態と同一構成部分は同一符号をもって表し、その説明を省略する。また、図示しない構成部分は、前述した実施形態と同様とする。 [Second Embodiment]
10 to 13 are for illustrating a second embodiment of the present invention. Unless otherwise specified, the same components as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted. Further, components not shown in the figure are the same as those in the above-described embodiment.

図１０は本発明の第２実施形態における温湿度測定装置の機能的構成を説明するブロック図である。図１０に示すように、本実施形態の温湿度測定装置１００Ａは、本体部１３０の筐体の内部に、タイマー１４６を備える。タイマー１４６は、ヒータエレメント１１６，１２６の駆動間隔時間を計測するためのものである。タイマー１４６は、マイクロプロセッサ１４０から入力される制御信号により時間の計測を開始又は終了し、その経過時間をマイクロプロセッサ１４０に出力する。   FIG. 10 is a block diagram illustrating the functional configuration of the temperature and humidity measuring apparatus according to the second embodiment of the present invention. As shown in FIG. 10, the temperature / humidity measuring device 100 </ b> A of the present embodiment includes a timer 146 inside the housing of the main body 130. The timer 146 is for measuring the driving interval time of the heater elements 116 and 126. The timer 146 starts or ends time measurement according to a control signal input from the microprocessor 140 and outputs the elapsed time to the microprocessor 140.

次に、温湿度測定装置１００Ａが湿度及び温度を測定する動作について説明する。   Next, an operation in which the temperature / humidity measuring apparatus 100A measures humidity and temperature will be described.

図１１は、図１０に示した温湿度測定装置が温度及び湿度を測定する動作を説明するフローチャートである。例えば、電源スイッチが投入されて温湿度測定装置１００Ａが起動したとき、或いは入力部１３３からリセット信号が入力されたときに、ＣＰＵ１４２は、図１０に示す温湿度測定処理Ｓ２００を実行する。すなわち、まず、ＣＰＵ１４２は、初期処理を行う（Ｓ２０１）。   FIG. 11 is a flowchart for explaining the operation of the temperature and humidity measuring device shown in FIG. 10 for measuring temperature and humidity. For example, when the power switch is turned on and the temperature / humidity measurement apparatus 100A is activated, or when a reset signal is input from the input unit 133, the CPU 142 executes a temperature / humidity measurement process S200 shown in FIG. That is, first, the CPU 142 performs initial processing (S201).

初期処理Ｓ２０１では、ＣＰＵ１４２は、Ａ／Ｄ変換器１４１から入力される温度検出値ＴＥＭ２を温度出力値ＴＥＭとし、Ａ／Ｄ変換器１４１から入力される湿度検出値ＨＵＭ２を湿度出力値ＨＵＭとして使用し、表示部１３１に出力して表示させる。また、ＣＰＵ１４２は、待ち時間ＴＷ１の計測を開始する。さらに、ＣＰＵ１４２は、メモリ１４５に予め記憶されたデータを読み出して、待ち時間ＴＷ１等の各種の値を設定する。さらにまた、ＣＰＵ１４２は、タイマー１４６に駆動信号を出力し、第２センサユニット１２０のヒータエレメント１２６を駆動してから第１センサユニット１１０のヒータエレメント１１６を駆動するまでの時間を示す第２時間Ｔ２の計測を開始する。   In the initial process S201, the CPU 142 uses the temperature detection value TEM2 input from the A / D converter 141 as the temperature output value TEM and the humidity detection value HUM2 input from the A / D converter 141 as the humidity output value HUM. Then, it is output and displayed on the display unit 131. Further, the CPU 142 starts measuring the waiting time TW1. Furthermore, the CPU 142 reads data stored in advance in the memory 145, and sets various values such as the waiting time TW1. Furthermore, the CPU 142 outputs a driving signal to the timer 146, and the second time T2 indicating the time from driving the heater element 126 of the second sensor unit 120 to driving the heater element 116 of the first sensor unit 110. Start measuring.

なお、初期処理Ｓ２０１において、ヒータエレメント１２６を駆動していないため、第２時間Ｔ２は、厳密には、第２センサユニット１２０のヒータエレメント１２６を駆動してから第１センサユニット１１０のヒータエレメント１１６を駆動するまでの時間に該当しないが、便宜上、かかる差異を無視する。   Since the heater element 126 is not driven in the initial process S201, strictly speaking, the heater element 116 of the first sensor unit 110 is driven after the heater element 126 of the second sensor unit 120 is driven during the second time T2. However, for the sake of convenience, this difference is ignored.

次に、ＣＰＵ１４２は、図７に示した第１実施形態と同様に、Ｓ１０２〜Ｓ１０５の各ステップを行う。   Next, the CPU 142 performs steps S102 to S105 in the same manner as in the first embodiment shown in FIG.

Ｓ１０４の判定の結果、湿度差Ｈｄｅｆ1が所定のしきい値未満である場合、又はエラー処理Ｓ１０５の後、ＣＰＵ１４２は、第１センサユニット１１０の加熱処理を行う（Ｓ２０６）。加熱処理Ｓ２０６では、ＣＰＵ１４２は、ヒータエレメント駆動回路１３８に制御信号を出力して、第１センサユニット１１０のヒータエレメント１１６を所定時間駆動し、ヒータエレメント１１６は湿度エレメント１１５を加熱する。これとともに、ＣＰＵ１４２は、タイマー１４６に制御信号を出力して、第２時間Ｔ２の計測を終了する。また、ＣＰＵ１４２は、タイマー１４６に制御信号を出力して、第１センサユニット１１０のヒータエレメント１１６を駆動してから第２センサユニットのヒータエレメント１２６を駆動するまでの時間を示す第１時間Ｔ１の計測を開始する。さらに、ＣＰＵ１４２は、ヒータエレメント１１６の駆動を停止した後、安定時間ＴＳ１の計測を開始する。 As a result of the determination in S104, when the humidity difference Hdef 1 is less than the predetermined threshold value or after the error process S105, the CPU 142 performs a heating process for the first sensor unit 110 (S206). In the heating process S206, the CPU 142 outputs a control signal to the heater element drive circuit 138 to drive the heater element 116 of the first sensor unit 110 for a predetermined time, and the heater element 116 heats the humidity element 115. At the same time, the CPU 142 outputs a control signal to the timer 146 and ends the measurement of the second time T2. In addition, the CPU 142 outputs a control signal to the timer 146 to display the first time T1 indicating the time from driving the heater element 116 of the first sensor unit 110 to driving the heater element 126 of the second sensor unit. Start measurement. Further, the CPU 142 starts measuring the stabilization time TS1 after stopping the driving of the heater element 116.

次に、ＣＰＵ１４２は、図７に示した第１実施形態と同様に、Ｓ１０７〜Ｓ１０８の各ステップを行う。   Next, the CPU 142 performs steps S107 to S108 in the same manner as in the first embodiment shown in FIG.

Ｓ１０８の判定の結果、待ち時間ＴＷ２を経過した場合、ＣＰＵ１４２は、補正値算出処理を行う（Ｓ２０９）。補正値算出処理Ｓ２０９では、ＣＰＵ１４２は、待ち時間ＴＷ２の経過後にＡ／Ｄ変換器１４１から入力された温度検出値ＴＥＭ１及び温度検出値ＴＥＭ２を用いて、以下の式（２）及び式（３）から温度補正値Ｔｃｏｒを算出する。
Ｔｄｅｆ＝ＴＥＭ１−ＴＥＭ２ …（２）
Ｔｃｏｒ＝Ｔｃｏｒ’＋Ｔｄｅｆ …（３）
但し、Ｔｃｏｒ’は前回の温度補正値であり、初期処理Ｓ１０１において初期値として「０」が設定される。 As a result of the determination in S108, when the waiting time TW2 has elapsed, the CPU 142 performs a correction value calculation process (S209). In the correction value calculation process S209, the CPU 142 uses the temperature detection value TEM1 and the temperature detection value TEM2 input from the A / D converter 141 after the elapse of the waiting time TW2, and uses the following equations (2) and (3). From this, the temperature correction value Tcor is calculated.
Tdef = TEM1-TEM2 (2)
Tcor = Tcor ′ + Tdef (3)
However, Tcor ′ is the previous temperature correction value, and “0” is set as the initial value in the initial process S101.

また、ＣＰＵ１４２は、待ち時間ＴＷ２の経過後にＡ／Ｄ変換器１４１から入力された湿度検出値ＨＵＭ１及び湿度検出値ＨＵＭ２と、タイマー１４６から入力される第１時間Ｔ１とを用いて、以下の式（４）、式（９）、及び式（６）から湿度補正値Ｈｃｏｒを算出する。
Ｈｄｅｆ2＝ＨＵＭ１−ＨＵＭ２ …（４）
Ｈｄｅｆ＝（Ｔ２×Ｈｄｅｆ1＋Ｔ１×Ｈｄｅｆ2）／（Ｔ１＋Ｔ２） …（９）
Ｈｃｏｒ＝Ｈｃｏｒ’＋Ｈｄｅｆ …（６）
但し、Ｈｃｏｒ’は前回の湿度補正値であり、初期処理Ｓ１０１において初期値として「０」が設定される。また、湿度差Ｈｄｅｆ1は前述のＳ１０３において算出された値である。さらに、第２時間Ｔ２は前述の加熱処理Ｓ２０６において計測された時間である。 Further, the CPU 142 uses the humidity detection value HUM1 and the humidity detection value HUM2 input from the A / D converter 141 after the elapse of the waiting time TW2 and the first time T1 input from the timer 146, and uses the following formula: The humidity correction value Hcor is calculated from (4), Equation (9), and Equation (6).
Hdef 2 = HUM1-HUM2 (4)
Hdef = (T2 × Hdef 1 + T1 × Hdef 2 ) / (T1 + T2) (9)
Hcor = Hcor ′ + Hdef (6)
However, Hcor ′ is the previous humidity correction value, and “0” is set as the initial value in the initial process S101. Further, the humidity difference Hdef 1 is a value calculated in S103 described above. Furthermore, the second time T2 is the time measured in the above-described heat treatment S206.

次に、ＣＰＵ１４２は、図７に示した第１実施形態と同様に、Ｓ１１０〜Ｓ１１２の各ステップを行う。   Next, the CPU 142 performs steps S110 to S112 in the same manner as in the first embodiment shown in FIG.

補正処理Ｓ１１１又はエラー処理Ｓ１１２の後、ＣＰＵ１４２は、第２センサユニット１２０の加熱処理を行う（Ｓ２１３）。加熱処理Ｓ２１３では、ＣＰＵ１４２は、ヒータエレメント駆動回路１３９に制御信号を出力して第２センサユニット１２０のヒータエレメント１２６を所定時間駆動し、ヒータエレメント１２６は湿度エレメント１２５を加熱する。これとともに、ＣＰＵ１４２は、タイマー１４６に制御信号を出力して、第１時間Ｔ１の計測を終了する。また、ＣＰＵ１４２は、タイマー１４６に制御信号を出力して、第２時間Ｔ２の計測を開始する。さらに、ＣＰＵ１４２は、ヒータエレメント１２６の駆動を停止した後、湿度エレメント１２５の湿度検出信号が安定するまでの時間を示す安定時間ＴＳ２の計測を開始する。   After the correction process S111 or the error process S112, the CPU 142 performs a heating process for the second sensor unit 120 (S213). In the heating process S213, the CPU 142 outputs a control signal to the heater element drive circuit 139 to drive the heater element 126 of the second sensor unit 120 for a predetermined time, and the heater element 126 heats the humidity element 125. At the same time, the CPU 142 outputs a control signal to the timer 146 and ends the measurement of the first time T1. In addition, the CPU 142 outputs a control signal to the timer 146 and starts measuring the second time T2. Furthermore, after stopping the driving of the heater element 126, the CPU 142 starts measuring a stabilization time TS2 indicating a time until the humidity detection signal of the humidity element 125 is stabilized.

次に、ＣＰＵ１４２は、図７に示した第１実施形態と同様に、Ｓ１１４のステップを行い、切替処理Ｓ１１４の後、ＣＰＵ１４２は、例えば、電源スイッチが切断されて温湿度測定装置１００が停止するか、或いは入力部１３３からリセット信号が入力されるまで、Ｓ１０２〜Ｓ１１４のステップを繰り返す。   Next, as in the first embodiment shown in FIG. 7, the CPU 142 performs step S <b> 114, and after the switching process S <b> 114, for example, the CPU 142 turns off the power switch and stops the temperature / humidity measurement apparatus 100. Alternatively, steps S102 to S114 are repeated until a reset signal is input from the input unit 133.

次に、温湿度測定装置１００Ａが測定する湿度の時間変化について、具体例を用いて説明する。   Next, the time change of the humidity measured by the temperature / humidity measuring apparatus 100A will be described using a specific example.

図１２は、図１０に示した温湿度測定装置が測定する湿度の時間変化を説明するタイムチャートである。なお、説明の簡略化のため、以下において測定環境の雰囲気の湿度は一定のままであるとする。また、図１２において、湿度検出値ＨＵＭ１を一点鎖線で示し、湿度検出値ＨＵＭ２を破線で示し、補正後湿度検出値ＨＵＭ２’を実線で示し、湿度出力値ＨＵＭを太線で示すものとする。   FIG. 12 is a time chart for explaining the temporal change in humidity measured by the temperature and humidity measuring apparatus shown in FIG. For simplification of explanation, it is assumed that the humidity of the atmosphere of the measurement environment remains constant in the following. In FIG. 12, the humidity detection value HUM1 is indicated by a one-dot chain line, the humidity detection value HUM2 is indicated by a broken line, the corrected humidity detection value HUM2 'is indicated by a solid line, and the humidity output value HUM is indicated by a bold line.

図１２に示すように、時刻ｔ1，ｔ3の直前、すなわち、ヒータエレメント１１５を駆動して湿度エレメント１１６を加熱する直前に、ＣＰＵ１４２は、湿度エレメント１１５の検出値である湿度検出値ＨＵＭ１と湿度エレメント１２５の検出値である湿度検出値ＨＵＭ２との湿度差Ｈｄｅｆ1を算出する（図１１のＳ１０３参照）。例えば、時刻ｔ1の直前に、湿度差Ｈｄｅｆ1が「０．５」［％］であるとする。 As shown in FIG. 12, immediately before the times t 1 and t 3 , that is, immediately before the heater element 115 is driven and the humidity element 116 is heated, the CPU 142 sets the humidity detection value HUM1 as the detection value of the humidity element 115. A humidity difference Hdef 1 from the humidity detection value HUM2, which is a detection value of the humidity element 125, is calculated (see S103 in FIG. 11). For example, it is assumed that the humidity difference Hdef 1 is “0.5” [%] immediately before the time t 1 .

時刻ｔ3の直前、すなわち、ヒータエレメント１２５を駆動して湿度エレメント１２６を加熱する直前に、ＣＰＵ１４２は、湿度差Ｈｄｅｆ2、湿度差平均値Ｈｄｅｆ、湿度補正値Ｈｃｏｒを算出する（図１１の補正値算出処理Ｓ２０９参照）。例えば、時刻ｔ3の直前に、湿度差Ｈｄｅｆ2が「−１．５」［％］であり、前回湿度補正値Ｈｃｏｒ’は初期処理Ｓ２０１で設定された「０」［％］であり、第１時間Ｔ１が「８」［時間］、第２時間Ｔ２が「２４」［時間］であるとすると、湿度補正値Ｈｃｏｒは「０」［％］となる。これにより、湿度検出値ＨＵＭ２と補正後湿度検出値ＨＵＭ２’とが一致する。 Immediately before time t 3 , that is, immediately before the heater element 125 is driven and the humidity element 126 is heated, the CPU 142 calculates the humidity difference Hdef 2 , the humidity difference average value Hdef, and the humidity correction value Hcor (correction in FIG. 11). (See value calculation process S209). For example, immediately before time t 3 , the humidity difference Hdef 2 is “−1.5” [%], the previous humidity correction value Hcor ′ is “0” [%] set in the initial process S201, and If 1 hour T1 is “8” [hour] and the second time T2 is “24” [hour], the humidity correction value Hcor is “0” [%]. Thereby, the humidity detection value HUM2 and the corrected humidity detection value HUM2 ′ coincide.

ここで、測定環境の雰囲気中に薬品が含まれる場合、図１２に示すように、湿度エレメント１１５の湿度検出値ＨＵＭ１及び湿度エレメント１２５の湿度検出値ＨＵＭ２は、時間の経過とともに飽和する傾向にある。そのため、ヒータエレメント１１６，１２６を駆動してから経過した時間により湿度差Ｈｄｅｆ1，Ｈｄｅｆ2は変化し、時間が経過するにつれて湿度差Ｈｄｅｆ1，Ｈｄｅｆ2は小さくなる。よって、ヒータエレメント駆動回路１３８によりヒータエレメント１１６が駆動される前における湿度差Ｈｄｅｆ1を第２時間Ｔ２で重み付けし、ヒータエレメント駆動回路１３９によりヒータエレメント１２６が駆動される前における湿度差Ｈｄｅｆ2を第１時間Ｔ１で重み付けした湿度差平均値Ｈｄｅｆに基づいて、湿度補正値Ｈｃｏｒを算出することにより、湿度エレメント１１５の湿度検出値ＨＵＭ１から湿度エレメント１２５の補正後湿度検出値ＨＵＭ２’に切り替えたときの湿度出力値ＨＵＭと湿度エレメント１２５の補正後湿度検出値ＨＵＭ２’から湿度エレメント１１５の湿度検出値ＨＵＭ１に切り替えたときの湿度出力値ＨＵＭとを同一にすることが可能となる。 Here, when a chemical is contained in the atmosphere of the measurement environment, as shown in FIG. 12, the humidity detection value HUM1 of the humidity element 115 and the humidity detection value HUM2 of the humidity element 125 tend to saturate with time. . Therefore, the humidity differences Hdef 1 and Hdef 2 change depending on the time elapsed since the heater elements 116 and 126 were driven, and the humidity differences Hdef 1 and Hdef 2 become smaller as time elapses. Therefore, the humidity difference Hdef 1 before the heater element 116 is driven by the heater element drive circuit 138 is weighted by the second time T2, and the humidity difference Hdef 2 before the heater element 126 is driven by the heater element drive circuit 139 is obtained. When the humidity correction value Hcor is calculated based on the humidity difference average value Hdef weighted at the first time T1, thereby switching from the humidity detection value HUM1 of the humidity element 115 to the corrected humidity detection value HUM2 ′ of the humidity element 125 And the humidity output value HUM when the humidity detection value HUM2 ′ after the correction of the humidity element 125 is switched to the humidity detection value HUM1 of the humidity element 115 can be made the same.

このように、本実施形態における温湿度測定装置１００Ａによれば、ヒータエレメント駆動回路１３８によりヒータエレメント１１６が駆動される前における湿度差Ｈｄｅｆ1を第２時間Ｔ２で重み付けし、ヒータエレメント駆動回路１３９によりヒータエレメント１２６が駆動される前における湿度差Ｈｄｅｆ2を第１時間Ｔ１で重み付けした湿度差平均値Ｈｄｅｆに基づいて、湿度補正値Ｈｃｏｒが算出される。ここで、測定環境の雰囲気中に薬品が含まれる場合、図１２に示すように、湿度エレメント１１５の湿度検出値ＨＵＭ１及び湿度エレメント１２５の湿度検出値ＨＵＭ２は、時間の経過とともに飽和する傾向にある。そのため、ヒータエレメント１１６，１２６を駆動してから経過した時間により湿度差Ｈｄｅｆ1，Ｈｄｅｆ2は変化し、時間が経過するにつれて湿度差Ｈｄｅｆ1，Ｈｄｅｆ2は小さくなる。よって、ヒータエレメント駆動回路１３８によりヒータエレメント１１６が駆動される前における湿度差Ｈｄｅｆ1を第２時間Ｔ２で重み付けし、ヒータエレメント駆動回路１３９によりヒータエレメント１２６が駆動される前における湿度差Ｈｄｅｆ2を第１時間Ｔ１で重み付けした湿度差平均値Ｈｄｅｆに基づいて、湿度補正値Ｈｃｏｒを算出することにより、湿度エレメント１１５の湿度検出値ＨＵＭ１から湿度エレメント１２５の補正後湿度検出値ＨＵＭ２’に切り替えたときの湿度出力値ＨＵＭと湿度エレメント１２５の補正後湿度検出値ＨＵＭ２’から湿度エレメント１１５の湿度検出値ＨＵＭ１に切り替えたときの湿度出力値ＨＵＭとを同一にすることが可能となる。これにより、測定環境の雰囲気中に薬品が含まれる場合に好適に用いることができる。 Thus, according to the temperature / humidity measuring apparatus 100A of this embodiment, the humidity difference Hdef 1 before the heater element 116 is driven by the heater element driving circuit 138 is weighted by the second time T2, and the heater element driving circuit 139 is weighted. based on the humidity difference average value Hdef the humidity difference Hdef 2 weighted by the first time T1 before the heater element 126 is driven by the humidity correction value Hcor is calculated. Here, when a chemical is contained in the atmosphere of the measurement environment, as shown in FIG. 12, the humidity detection value HUM1 of the humidity element 115 and the humidity detection value HUM2 of the humidity element 125 tend to saturate with time. . Therefore, the humidity differences Hdef 1 and Hdef 2 change depending on the time elapsed since the heater elements 116 and 126 were driven, and the humidity differences Hdef 1 and Hdef 2 become smaller as time elapses. Therefore, the humidity difference Hdef 1 before the heater element 116 is driven by the heater element drive circuit 138 is weighted by the second time T2, and the humidity difference Hdef 2 before the heater element 126 is driven by the heater element drive circuit 139 is obtained. When the humidity correction value Hcor is calculated based on the humidity difference average value Hdef weighted at the first time T1, thereby switching from the humidity detection value HUM1 of the humidity element 115 to the corrected humidity detection value HUM2 ′ of the humidity element 125 And the humidity output value HUM when the humidity detection value HUM2 ′ after the correction of the humidity element 125 is switched to the humidity detection value HUM1 of the humidity element 115 can be made the same. Thereby, when a chemical | medical agent is contained in the atmosphere of a measurement environment, it can use suitably.

なお、前述の各実施形態の構成は、組み合わせたり或いは一部の構成部分を入れ替えたりしたりしてもよい。また、本発明の構成は前述の実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加えてもよい。   Note that the configurations of the above-described embodiments may be combined or a part of the components may be replaced. The configuration of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications may be made without departing from the scope of the present invention.

１００，１００Ａ…温湿度測定装置
１１０…第１センサユニット
１１５，１２５…湿度エレメント
１１６，１２６…ヒータエレメント
１２０…第２センサユニット
１３８，１３９…ヒータエレメント駆動回路
１４２…ＣＰＵ
１４６…タイマー DESCRIPTION OF SYMBOLS 100, 100A ... Temperature / humidity measuring apparatus 110 ... 1st sensor unit 115, 125 ... Humidity element 116, 126 ... Heater element 120 ... 2nd sensor unit 138, 139 ... Heater element drive circuit 142 ... CPU
146 ... Timer

Claims (3)

測定環境の雰囲気における温度及び湿度のうちの少なくとも一方を検出する第１のセンサユニットと、
前記雰囲気における温度及び湿度のうちの少なくとも一方を検出する第２のセンサユニットと、
出力値として使用する検出値を、前記第１のセンサユニット及び前記第２のセンサユニットのうちの一方の検出値から他方の検出値に切り替える切替部と、
前記第１のセンサユニットの検出値と前記第２のセンサユニットの検出値との差である検出差に基づいて、補正値を算出する算出部と、
前記補正値に基づいて、前記第２のセンサユニットの検出値を補正する補正部と、を備え、
前記第１のセンサユニットは、前記雰囲気の湿度を検出する第１の湿度センサと前記第１の湿度センサを加熱する第１のヒータとを有し、
前記第２のセンサユニットは、前記雰囲気の湿度を検出する第２の湿度センサと前記第２の湿度センサを加熱する第２のヒータとを有し、
前記第１のヒータ及び前記第２のヒータのうちの一方を交互に駆動する駆動部を更に備え、
前記算出部は、前記駆動部により前記第１のヒータが駆動される前における、前記第１の湿度センサの検出値と前記第２の湿度センサの検出値との差である湿度差と、前記駆動部により前記第２のヒータが駆動される前における前記湿度差との平均値に基づいて、前記補正値を算出し、
前記切替部は、前記第１のセンサユニットの検出値から前記第２のセンサユニットの検出値に切り替えるときに、前記補正された第２のセンサユニットの検出値を前記出力値として使用する
ことを特徴とする温湿度測定装置。 A first sensor unit for detecting at least one of temperature and humidity in the atmosphere of the measurement environment;
A second sensor unit for detecting at least one of temperature and humidity in the atmosphere;
A switching unit that switches a detection value to be used as an output value from one detection value of the first sensor unit and the second sensor unit to the other detection value;
A calculation unit that calculates a correction value based on a detection difference that is a difference between a detection value of the first sensor unit and a detection value of the second sensor unit;
A correction unit that corrects the detection value of the second sensor unit based on the correction value,
The first sensor unit includes a first humidity sensor that detects humidity of the atmosphere and a first heater that heats the first humidity sensor,
The second sensor unit has a second humidity sensor for detecting the humidity of the atmosphere and a second heater for heating the second humidity sensor,
A drive unit that alternately drives one of the first heater and the second heater;
The calculation unit includes a humidity difference that is a difference between a detection value of the first humidity sensor and a detection value of the second humidity sensor before the first heater is driven by the driving unit; Based on the average value of the humidity difference before the second heater is driven by the drive unit, the correction value is calculated,
The switching unit uses the corrected detection value of the second sensor unit as the output value when switching from the detection value of the first sensor unit to the detection value of the second sensor unit. Characteristic temperature and humidity measuring device. 測定環境の雰囲気における温度及び湿度のうちの少なくとも一方を検出する第１のセンサユニットと、
前記雰囲気における温度及び湿度のうちの少なくとも一方を検出する第２のセンサユニットと、
出力値として使用する検出値を、前記第１のセンサユニット及び前記第２のセンサユニットのうちの一方の検出値から他方の検出値に切り替える切替部と、
前記第１のセンサユニットの検出値と前記第２のセンサユニットの検出値との差である検出差に基づいて、補正値を算出する算出部と、
前記補正値に基づいて、前記第２のセンサユニットの検出値を補正する補正部と、を備え、
前記第１のセンサユニットは、前記雰囲気の湿度を検出する第１の湿度センサと前記第１の湿度センサを加熱する第１のヒータとを有し、
前記第２のセンサユニットは、前記雰囲気の湿度を検出する第２の湿度センサと前記第２の湿度センサを加熱する第２のヒータとを有し、
前記第１のヒータ及び前記第２のヒータのうちの一方を交互に駆動する駆動部と、
前記駆動部により前記第１のヒータが駆動されてから前記駆動部により前記第２のヒータが駆動されるまでの第１の時間と前記駆動部により前記第２のヒータが駆動されてから前記駆動部により前記第１のヒータが駆動されるまでの第２の時間とを計測する計時部と、を更に備え、
前記算出部は、前記駆動部により前記第１のヒータが駆動される前における、前記第１の湿度センサの検出値と前記第２の湿度センサの検出値との差である湿度差を前記第２の時間で重み付けし、前記駆動部により前記第２のヒータが駆動される前における前記湿度差を前記第１の時間で重み付けした平均値に基づいて、前記補正値を算出し、
前記切替部は、前記第１のセンサユニットの検出値から前記第２のセンサユニットの検出値に切り替えるときに、前記補正された第２のセンサユニットの検出値を前記出力値として使用する
ことを特徴とする温湿度測定装置。 A first sensor unit for detecting at least one of temperature and humidity in the atmosphere of the measurement environment;
A second sensor unit for detecting at least one of temperature and humidity in the atmosphere;
A switching unit that switches a detection value to be used as an output value from one detection value of the first sensor unit and the second sensor unit to the other detection value;
A calculation unit that calculates a correction value based on a detection difference that is a difference between a detection value of the first sensor unit and a detection value of the second sensor unit;
A correction unit that corrects the detection value of the second sensor unit based on the correction value,
The first sensor unit includes a first humidity sensor that detects humidity of the atmosphere and a first heater that heats the first humidity sensor,
The second sensor unit has a second humidity sensor for detecting the humidity of the atmosphere and a second heater for heating the second humidity sensor,
A drive unit that alternately drives one of the first heater and the second heater;
A first time from when the first heater is driven by the driving unit to when the second heater is driven by the driving unit, and after the second heater is driven by the driving unit. further comprising a timer unit that the first heater is measured a second time to be driven by department, a,
The calculation unit calculates a humidity difference that is a difference between a detection value of the first humidity sensor and a detection value of the second humidity sensor before the first heater is driven by the driving unit. 2 based on an average value weighted by the first time, the humidity difference before the second heater is driven by the drive unit, the correction value is calculated ,
The switching unit uses the corrected detection value of the second sensor unit as the output value when switching from the detection value of the first sensor unit to the detection value of the second sensor unit. you wherein temperature and humidity measuring device. 前記検出差と所定のしきい値とに基づいて、前記第１のセンサユニット及び前記第２のセンサユニットのうちの少なくとも一方に異常があるか否かを判定する判定部を更に備える
ことを特徴とする請求項１または２に記載の温湿度測定装置。 And a determination unit configured to determine whether at least one of the first sensor unit and the second sensor unit is abnormal based on the detection difference and a predetermined threshold value. The temperature and humidity measuring device according to claim 1 or 2 .
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