JP5538002B2 - Work processing method and machine tool - Google Patents

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JP5538002B2 JP2010054132A JP2010054132A JP5538002B2 JP 5538002 B2 JP5538002 B2 JP 5538002B2 JP 2010054132 A JP2010054132 A JP 2010054132A JP 2010054132 A JP2010054132 A JP 2010054132A JP 5538002 B2 JP5538002 B2 JP 5538002B2
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Description

加工用工具によりワーク上の複数の加工位置を加工するワーク加工方法、および、工作機械に関する。   The present invention relates to a workpiece machining method for machining a plurality of machining positions on a workpiece with a machining tool, and a machine tool.

従来、大型のワークを加工する機械として、いわゆるマシニングセンタと呼ばれる工作機械が知られている(例えば、特許文献1参照)。
この特許文献1に記載のものは、門型のコラムに両端が支持されたクロスレールを備えている。このクロスレールには、その長手方向(Y方向)に沿って移動可能に支持されたサドルを介して、ラムがZ方向に移動可能に設けられている。このラムには、主軸を介して工具が装着される。また、ラムの下方には、ワークが設置されるテーブルがX方向に移動可能に設けられている。
そして、テーブル、サドル、ラムをX,Y,Z方向に適宜移動させつつ、ワークを加工する構成が採られている。
Conventionally, a machine tool called a so-called machining center is known as a machine for processing a large workpiece (see, for example, Patent Document 1).
The thing of this patent document 1 is equipped with the cross rail by which both ends were supported by the portal column. The cross rail is provided with a ram so as to be movable in the Z direction via a saddle supported so as to be movable along the longitudinal direction (Y direction). A tool is attached to the ram via a main shaft. A table on which a work is placed is provided below the ram so as to be movable in the X direction.
And the structure which processes a workpiece | work is taken, moving a table, a saddle, and a ram suitably to a X, Y, Z direction.

特開2003−1541号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-1541

ところで、複数の加工位置を微細加工する際、例えば、微細な凹状のレンズを複数有するレンズアレイを加工する際に、特許文献1に記載のような構成を用いることが考えられる。このような場合、生産性を向上させるためにはテーブルの移動速度を速くする必要があるが、この移動速度を速くするとテーブルに作用する慣性力により加工位置の位置決め精度が悪くなり、高精度に微細加工できない。そこで、移動物であるテーブルを小型化して軽量化を図ることが考えられる。
しかしながら、テーブルを小型化してしまうと大型のワークを加工できず、工作機械の汎用性が無くなってしまう。
By the way, when finely processing a plurality of processing positions, for example, when processing a lens array having a plurality of fine concave lenses, it is conceivable to use the configuration described in Patent Document 1. In such a case, it is necessary to increase the moving speed of the table in order to improve productivity, but if this moving speed is increased, the positioning accuracy of the processing position deteriorates due to the inertial force acting on the table, and the accuracy is increased. It cannot be finely processed. Therefore, it is conceivable to reduce the weight of the table, which is a moving object, by reducing the size.
However, if the table is downsized, a large workpiece cannot be processed, and the versatility of the machine tool is lost.

本発明の目的は、生産性および汎用性の向上と高精度な微細加工を実現可能なワーク加工方法、および、工作機械を提供することである。   An object of the present invention is to provide a workpiece machining method and a machine tool capable of improving productivity and versatility and realizing highly accurate fine machining.

本発明のワーク加工方法は、加工用工具によりワーク上の複数の加工位置を加工するワーク加工方法であって、前記ワークを載置可能な長距離移動テーブルと前記加工用工具とを互いに接離するZ方向に長ストロークで相対移動させるZ相対移動部と、前記長距離移動テーブルと前記加工用工具とをX方向とY方向のうち少なくとも一方向に長ストロークで相対移動させるXY相対移動部と、前記ワークを載置可能な短距離移動テーブルと前記加工用工具とを前記X方向に平行なU方向と前記Y方向に平行なV方向に短ストロークで相対移動させるUV相対移動部と、を備え、前記UV相対移動部は、U方向に前記ワークを短ストロークで移動させるU相対移動部と、V方向に前記ワークを短ストロークで移動させるV相対移動部とを備え、前記U相対移動部は、前記長距離移動テーブルに取り付けられる取付テーブルと、前記取付テーブルと対向するUスライダと、前記Uスライダを前記取付テーブルに対して移動させるU駆動部とを備え、前記V相対移動部は、前記Uスライダと対向する前記短距離移動テーブルと、前記短距離移動テーブルを前記Uスライダに対して移動させるV駆動部とを備え、前記Uスライダと前記短距離移動テーブルとの合計重量は、前記長距離移動テーブルよりも小さく設定され、前記短距離移動テーブルは、前記長距離移動テーブルに着脱自在に構成されている工作機械を用い、前記Z相対移動部と前記UV相対移動部による相対移動により前記加工用工具で前記ワークの未加工の加工位置を微細加工してから、前記Z相対移動部と前記XY相対移動部による相対移動により、前記加工用工具を他の未加工の加工位置まで移動させる工程を繰り返すことで、前記複数の加工位置を加工することを特徴とする。 A workpiece machining method according to the present invention is a workpiece machining method for machining a plurality of machining positions on a workpiece with a machining tool, wherein the long-distance moving table on which the workpiece can be placed and the machining tool are brought into and out of contact with each other. A Z-relative movement unit that relatively moves in the Z direction with a long stroke; an XY relative movement unit that relatively moves the long-distance movement table and the processing tool in a long stroke in at least one of the X direction and the Y direction; , a UV relative movement unit that relatively moves with a short stroke parallel V direction of the workpiece and can be placed a short distance moving table and the machining tool in the Y direction parallel to the U direction in the X direction, wherein the UV relative movement unit includes a U relative movement unit for moving the workpiece in a short stroke in the U direction, and a V relative movement unit for moving the workpiece in a short stroke in the V direction, The U-relative movement unit includes an attachment table attached to the long-distance movement table, a U slider facing the attachment table, and a U drive unit that moves the U slider relative to the attachment table. The relative movement unit includes the short distance movement table facing the U slider, and a V drive unit that moves the short distance movement table with respect to the U slider, and the U slider and the short distance movement table total weight, the set smaller than the long distance table, the short-range mobile table, using a machine tool which is detachably attached to the front Symbol long distance table, the UV relative to the Z relative movement unit After the micro-machining of the unmachined machining position of the workpiece by the machining tool by relative movement by the moving unit, the Z relative moving unit and the XY relative transfer are processed. Relative movement by parts, by repeating the step of moving the machining tool to the machining position of the other raw, characterized in that processing the plurality of processing positions.

ここで、微細加工としては、マイクロメートル単位、ナノメートル単位での孔あけ加工、切削加工などが例示できる。また、加工用工具としては、微細加工用や超音波切削用あるいは測定用のスピンドル、レーザ加工用のレーザヘッド、微粉末を除去するノズルなどが例示できる。また、微細加工は、凹部を形成するものであってもよいし、凸部を形成するものであってもよい。さらに、加工用工具で微細加工されるワークは、一般的に微細加工の対象として認識されている半導体や精密機械などの大きくても数ミリメートルのワークであってもよいし、車両用、建築用、大型装置用などの小さくてもセンチメートル単位の大型のワークであってもよい。
また、短距離移動テーブルとしては、長距離移動テーブルよりも軽量であればよく、長距離移動テーブルよりも小さいものに限らず、同じ大きさ、あるいは、大きいものであってもよい。ただし、短距離移動テーブルを製造するための材料の使用量やコスト、移動のストロークを大きくすることによる剛性不足や慣性力の増加の影響を考慮すると、短距離移動テーブルは、長距離移動テーブルよりも小さいことが好ましい。そして、短距離移動テーブルの着脱は、手作業で行う構成であってもよいし、オートテーブルチェンジャのようにシリンダやモータを駆動源とした装置を用いる構成であってもよい。
さらに、長ストロークとしては、例えば1000mm以上、1600mm以下の範囲が例示でき、短ストロークとしては、10mm以上、20mm以下の範囲が例示できる。
Here, examples of the fine processing include drilling processing and cutting processing in units of micrometers and nanometers. Further, examples of the processing tool include a spindle for fine processing, ultrasonic cutting or measurement, a laser head for laser processing, a nozzle for removing fine powder, and the like. In addition, the microfabrication may be one that forms a concave portion or one that forms a convex portion. Furthermore, the workpiece to be finely processed by the processing tool may be a workpiece of at most several millimeters such as a semiconductor or a precision machine that is generally recognized as a target of the fine processing, or for a vehicle or a building. It may be a small work such as for a large apparatus or a large work in centimeter units.
Further, the short distance movement table may be lighter than the long distance movement table, and is not limited to a smaller one than the long distance movement table, and may be the same size or larger. However, considering the amount of material used to manufacture the short distance moving table, the cost, and the effects of insufficient rigidity and increased inertial force due to increased movement stroke, the short distance moving table is Is preferably small. The short distance moving table may be attached or detached manually, or may be configured using a device using a cylinder or a motor as a drive source, such as an auto table changer.
Further, examples of the long stroke include a range of 1000 mm to 1600 mm, and examples of the short stroke include a range of 10 mm to 20 mm.

この発明によれば、加工用工具による微細加工の際に、長距離移動テーブルよりも軽量な短距離移動テーブルを短ストロークで移動させるので、短距離移動テーブルの移動速度を上げても慣性力が大きくなることが無く、加工用工具に対する加工位置の位置決め精度を良くできる。したがって、生産性の向上と高精度な微細加工の両立を実現できる。さらに、短距離移動テーブルを長距離移動テーブルから取り外せば、長距離移動テーブルに載置された大型のワークを加工することができ、工作機械の汎用性を向上できる。   According to this invention, since the short-distance movement table that is lighter than the long-distance movement table is moved with a short stroke during micro-machining with the machining tool, the inertial force is maintained even if the movement speed of the short-distance movement table is increased. The positioning accuracy of the processing position with respect to the processing tool can be improved without increasing. Therefore, it is possible to realize both improvement of productivity and high-precision fine processing. Furthermore, if the short-distance moving table is removed from the long-distance moving table, a large workpiece placed on the long-distance moving table can be processed, and the versatility of the machine tool can be improved.

また、本発明のワーク加工方法では、さらに、前記工作機械に、前記長距離移動テーブルと前記加工用工具とを前記Z方向に平行なW方向に短ストロークで相対移動させるW相対移動部を設け、前記加工用工具を前記Z相対移動部による相対移動により前記加工位置に近接した位置まで移動させた後に、前記W相対移動部により相対移動させて加工位置を微細加工することが好ましい。
ここで、加工位置に近接した位置とは、W相対移動部による短ストロークの相対移動のみにより加工用工具で微細加工できる位置を意味し、例えば、加工位置から1mm〜10mmだけ離れた位置が例示できる。
この発明によれば、加工用工具のW方向への短ストロークの移動により、W方向への微細加工の精度を向上できる。
Further, in the workpiece machining method of the present invention, the machine tool is further provided with a W relative movement unit that relatively moves the long distance moving table and the machining tool in the W direction parallel to the Z direction with a short stroke. It is preferable that after the machining tool is moved to a position close to the machining position by relative movement by the Z relative movement unit, the machining position is finely machined by relative movement by the W relative movement unit.
Here, the position close to the processing position means a position that can be finely processed by the processing tool only by a short stroke relative movement by the W relative movement unit, for example, a position separated by 1 mm to 10 mm from the processing position. it can.
According to the present invention, the precision of micromachining in the W direction can be improved by moving the working tool in a short stroke in the W direction.

さらに、本発明のワーク加工方法では、前記W相対移動部と前記UV相対移動部による相対移動により前記加工用工具で前記加工位置を微細加工することが好ましい。
また、本発明のワーク加工方法では、前記微細加工は、凸状または凸状の半球面を有するレンズ加工であることが好ましい。
このような発明によれば、ワークの複数の位置に、二次元方向(UV方向)や三次元方向(UVW方向)の微細加工、あるいは、レンズ加工を施すことができ、工作機械の汎用性を向上できる。
Furthermore, in the workpiece machining method of the present invention, it is preferable that the machining position is finely machined with the machining tool by relative movement by the W relative movement unit and the UV relative movement unit.
In the workpiece processing method of the present invention, the fine processing is preferably lens processing having a convex or convex hemispherical surface.
According to such an invention, it is possible to perform fine processing or lens processing in a two-dimensional direction (UV direction) or a three-dimensional direction (UVW direction) at a plurality of positions of the workpiece, and the versatility of the machine tool is increased. It can be improved.

また、本発明のワーク加工方法では、前記工作機械として、マシニングセンタを用いたことが好ましい。
ここで、マシニングセンタとは、工具を交換可能な構成を有し、多能な切削機能を有する工作機械のことである。
この発明によれば、微細加工の機械を組み合わせることができる。
In the workpiece machining method of the present invention, it is preferable that a machining center is used as the machine tool.
Here, the machining center is a machine tool having a configuration in which tools can be exchanged and having a versatile cutting function.
According to the present invention, it is possible to combine micromachining machines.

本発明の工作機械は、加工用工具によりワークを加工する工作機械であって、前記ワークを載置可能な長距離移動テーブルと前記加工用工具とを互いに接離するZ方向に長ストロークで相対移動させるZ相対移動部と、前記長距離移動テーブルと前記加工用工具とをX方向とY方向のうち少なくとも一方向に長ストロークで相対移動させるXY相対移動部と、前記ワークを載置可能な短距離移動テーブルと前記加工用工具とを前記X方向に平行なU方向と前記Y方向に平行なV方向に短ストロークで相対移動させるUV相対移動部と、を備え、前記UV相対移動部は、U方向に前記ワークを短ストロークで移動させるU相対移動部と、V方向に前記ワークを短ストロークで移動させるV相対移動部とを備え、前記U相対移動部は、前記長距離移動テーブルに取り付けられる取付テーブルと、前記取付テーブルと対向するUスライダと、前記Uスライダを前記取付テーブルに対して移動させるU駆動部とを備え、前記V相対移動部は、前記Uスライダと対向する前記短距離移動テーブルと、前記短距離移動テーブルを前記Uスライダに対して移動させるV駆動部とを備え、前記Uスライダと前記短距離移動テーブルとの合計重量は、前記長距離移動テーブルよりも小さく設定され、前記短距離移動テーブルは、前記長距離移動テーブルに着脱自在に構成されていることを特徴とする。
また、本発明の工作機械では、さらに、前記長距離移動テーブルと前記加工用工具とを前記Z方向に平行なW方向に短ストロークで相対移動させるW相対移動部を備えていることが好ましい。
これらの発明によれば、上述したワーク加工方法と同様の作用効果を期待できる。
The machine tool according to the present invention is a machine tool for machining a workpiece with a machining tool, and the long-distance moving table on which the workpiece can be placed and the machining tool are relative to each other with a long stroke in the Z direction. A Z relative movement unit that moves, an XY relative movement unit that relatively moves the long distance movement table and the machining tool in a long stroke in at least one of the X direction and the Y direction, and the workpiece can be placed. comprising a UV relative movement unit that relatively moves with a short stroke parallel V direction and said working tool and short moving table in the Y direction parallel to the U direction in the X direction, wherein the UV relative movement unit Comprises a U relative movement part for moving the work in the U direction with a short stroke and a V relative movement part for moving the work in the V direction with a short stroke, the U relative movement part being the long distance A mounting table mounted on the moving table; a U-slider facing the mounting table; and a U driving unit that moves the U-slider relative to the mounting table, wherein the V relative moving unit is opposed to the U-slider. The short distance moving table and a V driving unit that moves the short distance moving table with respect to the U slider, and the total weight of the U slider and the short distance moving table is greater than that of the long distance moving table. is also set small, the short-range mobile table is characterized in that it is detachably attached to the front Symbol long distance table.
In the machine tool of the present invention, it is preferable that the machine tool further includes a W relative movement unit that relatively moves the long distance movement table and the machining tool in a W direction parallel to the Z direction with a short stroke.
According to these inventions, the same operational effects as those of the above-described workpiece machining method can be expected.

本発明の一実施形態に係る工作機械の概略構成を示す斜視図。1 is a perspective view showing a schematic configuration of a machine tool according to an embodiment of the present invention. 前記一実施形態におけるレンズアレイの斜視図。The perspective view of the lens array in the one embodiment. 前記一実施形態におけるレンズアレイのレンズの断面図。Sectional drawing of the lens of the lens array in the said one Embodiment. 前記一実施形態におけるレンズの加工方法を部分的に示す斜視図。The perspective view which shows partially the processing method of the lens in the said one Embodiment. 前記一実施形態におけるレンズアレイの加工方法を全体的に示す斜視図。The perspective view which shows the processing method of the lens array in the said one embodiment entirely. 本発明の変形例に係るワークUV移動アタッチメントの装着方法を示す模式図。The schematic diagram which shows the mounting | wearing method of the workpiece | work UV movement attachment which concerns on the modification of this invention.

以下に、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
[工作機械の構成]
図1は、本発明の一実施形態に係る工作機械の概略構成を示す斜視図である。
図1に示すように、工作機械1は、工具を交換可能な構成を有し、多能な切削機能を有する門型のマシニングセンタであり、図示しない大型加工用工具で車両用、建築用、大型装置用などの大型の図示しないワークを大型加工したり、加工用工具としての微細加工用工具7でワークとしてのレンズアレイLを微細加工したりする。ここで、大型加工用工具としては、ナノメートル単位での孔あけ加工を実施するスピンドルが例示でき、微細加工用工具7としては、ナノメートル単位での孔あけ加工を実施するスピンドル、超音波切削用あるいは測定用のスピンドル、レーザ加工用のレーザヘッド、微粉末を除去するノズルが例示できる。この工作機械1は、XY相対移動部を構成するX相対移動部2と、XY相対移動部を構成するY相対移動部3と、Z相対移動部4と、W相対移動部としての工具W移動アタッチメント5と、UV相対移動部としてのワークUV移動アタッチメント6と、工作機械1全体を制御する図示しないコントローラと、を備えている。なお、本実施形態における長ストロークとしては1200mmが例示でき、短ストロークとしては20mmが例示できる。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
[Configuration of machine tool]
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a machine tool according to an embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 1, the machine tool 1 is a portal-type machining center having a configuration in which tools can be exchanged and having a versatile cutting function. A large workpiece (not shown) such as for an apparatus is processed in a large size, or the lens array L as a workpiece is finely processed with a fine processing tool 7 as a processing tool. Here, examples of the large machining tool include a spindle that performs drilling in nanometer units, and examples of the micromachining tool 7 include a spindle that performs drilling in nanometer units, and ultrasonic cutting. Examples include a spindle for measurement or measurement, a laser head for laser processing, and a nozzle for removing fine powder. The machine tool 1 includes an X relative movement unit 2 that constitutes an XY relative movement unit, a Y relative movement unit 3 that constitutes an XY relative movement unit, a Z relative movement unit 4, and a tool W movement as a W relative movement unit. An attachment 5, a workpiece UV movement attachment 6 as a UV relative movement unit, and a controller (not shown) that controls the entire machine tool 1 are provided. In addition, 1200 mm can be illustrated as a long stroke in this embodiment, and 20 mm can be illustrated as a short stroke.

X相対移動部2は、レンズアレイLなどのワークを水平面内の一方向であるX方向に長ストロークで移動させる。このX相対移動部2は、Xガイド軸21と、このXガイド軸21と対向する状態で設けられた長距離移動テーブルとしてのX移動テーブル22と、このX移動テーブル22をXガイド軸21に対して移動させるX駆動部23と、を備えている。X移動テーブル22には、大型加工対象のワークが載置されたり、図示しない着脱機構を介してワークUV移動アタッチメント6が着脱自在に取り付けられる。
なお、X駆動部23、後述するY駆動部34、W駆動部53、U駆動部613、V駆動部622は、ガイドレールと、このガイドレールを摺動可能に保持する摺動保持部と、リニアモータと、を備えている。
The X relative movement unit 2 moves a work such as the lens array L in a long stroke in the X direction which is one direction in the horizontal plane. The X relative movement unit 2 includes an X guide shaft 21, an X movement table 22 as a long-distance movement table provided in a state of facing the X guide shaft 21, and the X movement table 22 as an X guide shaft 21. And an X drive unit 23 that is moved relative to the X drive unit 23. A workpiece to be processed in large size is placed on the X movement table 22, or the workpiece UV movement attachment 6 is detachably attached via an attachment / detachment mechanism (not shown).
The X driving unit 23, the Y driving unit 34, the W driving unit 53, the U driving unit 613, and the V driving unit 622, which will be described later, are a guide rail and a sliding holding unit that holds the guide rail slidably. And a linear motor.

Y相対移動部3は、微細加工用工具7や大型加工用工具を水平面内でX方向に直交するY方向に長ストロークで移動させる。このY相対移動部3は、Xガイド軸21を挟んだY方向に沿った両側に立設された一対のコラム31と、このコラム31の上端部にY方向に沿って架設されたYガイド軸32と、このYガイド軸32と対向する筒状のYスライダ33と、このYスライダ33をYガイド軸32に対して移動させるY駆動部34と、を備えている。   The Y relative movement unit 3 moves the fine machining tool 7 and the large machining tool with a long stroke in the Y direction orthogonal to the X direction in a horizontal plane. The Y relative movement unit 3 includes a pair of columns 31 erected on both sides along the Y direction across the X guide shaft 21, and a Y guide shaft erected along the Y direction at the upper end of the column 31. 32, a cylindrical Y slider 33 that faces the Y guide shaft 32, and a Y drive unit 34 that moves the Y slider 33 relative to the Y guide shaft 32.

Z相対移動部4は、微細加工用工具7などをX方向とY方向に直交するZ方向に長ストロークで移動させる。このZ相対移動部4は、Yスライダ33の内周に沿って設けられたZガイド軸41と、このZガイド軸41によりZ方向にスライド可能にガイドされたZスライダ42と、このZスライダ42を移動させる図示しないZ駆動部と、を備えている。Zスライダ42の側面には、図示しない着脱機構を介して工具W移動アタッチメント5が取り付けられる。また、Zスライダ42の側面あるいは下面には、大型加工用工具が手作業などにより着脱自在に取り付けられる。なお、Zスライダ42の下面に工具W移動アタッチメント5が取り付けられる構成としてもよいし、側面に大型加工用工具が取り付けられる構成としてもよい。   The Z relative movement unit 4 moves the fine processing tool 7 and the like with a long stroke in the Z direction perpendicular to the X direction and the Y direction. The Z relative movement unit 4 includes a Z guide shaft 41 provided along the inner periphery of the Y slider 33, a Z slider 42 guided by the Z guide shaft 41 so as to be slidable in the Z direction, and the Z slider 42. A Z driving unit (not shown) for moving The tool W movement attachment 5 is attached to the side surface of the Z slider 42 via an attachment / detachment mechanism (not shown). Further, a large machining tool is detachably attached to the side surface or the lower surface of the Z slider 42 by manual work or the like. In addition, it is good also as a structure by which the tool W movement attachment 5 is attached to the lower surface of Z slider 42, and it is good also as a structure by which the tool for large sized processing is attached to a side surface.

工具W移動アタッチメント5は、微細加工用工具7をZ方向に平行なW方向に短ストロークで移動させる。この工具W移動アタッチメント5は、Zスライダ42に着脱自在に取り付けられる取付テーブル51と、この取付テーブル51に対向しZスライダ42よりも軽量なW移動テーブル52と、このW移動テーブル52を取付テーブル51に対して移動させるW駆動部53と、を備えている。W移動テーブル52には、微細加工用工具7が手作業などにより着脱自在に取り付けられる。   The tool W movement attachment 5 moves the micromachining tool 7 in a short stroke in the W direction parallel to the Z direction. The tool W movement attachment 5 includes an attachment table 51 that is detachably attached to the Z slider 42, a W movement table 52 that faces the attachment table 51 and is lighter than the Z slider 42, and the W movement table 52 is attached to the attachment table 51. W drive unit 53 that moves relative to 51. A fine processing tool 7 is detachably attached to the W moving table 52 by manual work or the like.

ワークUV移動アタッチメント6は、X方向と平行なU方向に微細加工対象のワークを短ストロークで移動させるU相対移動部61と、Y方向と平行なV方向にワークを短ストロークで移動させるV相対移動部62と、を備えている。
U相対移動部61は、X移動テーブル22に着脱自在に取り付けられる取付テーブル611と、この取付テーブル611と対向するUスライダ612と、このUスライダ612を取付テーブル611に対して移動させるU駆動部613と、を備えている。
V相対移動部62は、Uスライダ612と対向する短距離移動テーブルとしてのUV移動テーブル621と、このUV移動テーブル621をUスライダ612に対して移動させるV駆動部622と、を備えている。UV移動テーブル621には、微細加工対象のワークが載置される。
また、Uスライダ612とUV移動テーブル621の合計重量は、X移動テーブル22よりも小さく設定されている。また、Uスライダ612とUV移動テーブル621は、X移動テーブル22よりも小さく形成されている。
なお、X,Y,Z,U,V相対移動部2,3,4,61,62と、工具W移動アタッチメント5とによる長ストローク、あるいは、短ストロークの移動は、ナノメートル単位、あるいは、それ以上の単位で制御される。
The workpiece UV moving attachment 6 includes a U-relative movement unit 61 that moves a workpiece to be finely processed in a U direction parallel to the X direction with a short stroke, and a V relative that moves the workpiece in a V direction parallel to the Y direction. And a moving unit 62.
The U relative movement unit 61 includes an attachment table 611 that is detachably attached to the X movement table 22, a U slider 612 that faces the attachment table 611, and a U drive unit that moves the U slider 612 relative to the attachment table 611. 613.
The V relative movement unit 62 includes a UV movement table 621 as a short distance movement table facing the U slider 612, and a V drive unit 622 that moves the UV movement table 621 relative to the U slider 612. A workpiece to be finely processed is placed on the UV movement table 621.
The total weight of the U slider 612 and the UV movement table 621 is set to be smaller than that of the X movement table 22. Further, the U slider 612 and the UV movement table 621 are formed smaller than the X movement table 22.
In addition, long stroke or short stroke movement by the X, Y, Z, U, V relative movement units 2, 3, 4, 61, 62 and the tool W movement attachment 5 is in nanometer units or It is controlled in the above units.

[工作機械の動作]
次に、工作機械1の動作を説明する。
図2は、レンズアレイの斜視図、図3は、レンズアレイのレンズの断面図、図4は、レンズの加工方法を部分的に示す斜視図、図5は、レンズアレイの加工方法を全体的に示す斜視図である。
[Machine tool operation]
Next, the operation of the machine tool 1 will be described.
2 is a perspective view of the lens array, FIG. 3 is a cross-sectional view of the lens of the lens array, FIG. 4 is a perspective view partially showing a processing method of the lens, and FIG. 5 is an overall processing method of the lens array. It is a perspective view shown in FIG.

まず、レンズアレイLについて説明する。
レンズアレイLは、図2および図3に示すように、例えば樹脂製の略正方形板状のアレイ本体L1と、このアレイ本体L1の一面に設けられた略半球面状の複数のレンズL2と、を備えている。レンズL2は、互いに直交する方向に5個ずつ並んで設けられ、微細加工用工具7により微細加工されることで形成される。
First, the lens array L will be described.
As shown in FIGS. 2 and 3, the lens array L includes, for example, an approximately square plate-shaped array body L1 made of resin, and a plurality of substantially hemispherical lenses L2 provided on one surface of the array body L1. It has. Five lenses L2 are provided side by side in directions orthogonal to each other, and are formed by being finely processed by the tool 7 for fine processing.

次に、工作機械1によるレンズアレイLの加工方法について説明する。
まず、作業者は、W移動テーブル52に微細加工用工具7が取り付けられた工具W移動アタッチメント5をZスライダ42に取り付けるとともに、X移動テーブル22にワークUV移動アタッチメント6を取り付ける。また、ワークUV移動アタッチメント6のUV移動テーブル621に未加工のアレイ本体L1を載置するとともに、コントローラに対してレンズアレイLの加工条件を設定入力する。なお、X移動テーブル22にワークUV移動アタッチメント6を取り付ける際には、一方に設けられた位置決めピンを他方に設けられた挿通孔に挿通するなどの、位置決め手段を利用することが好ましい。このようにすれば、ワークUV移動アタッチメント6の位置決めが確実になり、高精度な微細加工が可能となる。
Next, a processing method of the lens array L by the machine tool 1 will be described.
First, the operator attaches the tool W movement attachment 5 in which the fine machining tool 7 is attached to the W movement table 52 to the Z slider 42 and attaches the workpiece UV movement attachment 6 to the X movement table 22. Further, the unprocessed array body L1 is placed on the UV movement table 621 of the workpiece UV movement attachment 6, and the processing conditions for the lens array L are set and input to the controller. When attaching the workpiece UV moving attachment 6 to the X moving table 22, it is preferable to use positioning means such as inserting a positioning pin provided on one side into an insertion hole provided on the other side. This ensures the positioning of the workpiece UV moving attachment 6 and enables highly accurate fine processing.

加工条件が設定入力されると、工作機械1のコントローラは、まず、X,Y,Z相対移動部2,3,4を制御して、微細加工用工具7が最初の加工位置に近接するように、例えば加工位置との距離が1mm〜10mmとなるように、工具W移動アタッチメント5を移動させる。そして、微細加工用工具7を駆動させるとともに、工具W移動アタッチメント5とワークUV移動アタッチメント6のU,V相対移動部61,62を制御して、図4に示すように、微細加工用工具7を円形状に移動させることで、外形略円形の凹部を形成する。この後、微細加工用工具7が下に移動するにしたがって、移動軌跡の円形が徐々に小さくなるように、工具W移動アタッチメント5とU,V相対移動部61,62を制御して、微細加工によりレンズL2を形成する。   When the machining conditions are set and inputted, the controller of the machine tool 1 first controls the X, Y, and Z relative movement units 2, 3, and 4 so that the fine machining tool 7 comes close to the first machining position. For example, the tool W movement attachment 5 is moved so that the distance from the machining position is 1 mm to 10 mm, for example. Then, the micromachining tool 7 is driven, and the U and V relative movement portions 61 and 62 of the tool W moving attachment 5 and the workpiece UV moving attachment 6 are controlled, as shown in FIG. Is moved into a circular shape, thereby forming a recess having a substantially circular outer shape. Thereafter, as the micromachining tool 7 moves downward, the tool W movement attachment 5 and the U and V relative movement units 61 and 62 are controlled so that the circular shape of the movement trajectory gradually becomes smaller. Thus, the lens L2 is formed.

レンズL2を形成し終えたら、コントローラは、Z相対移動部4と工具W移動アタッチメント5を制御して微細加工用工具7をアレイ本体L1から離した後、X相対移動部2によりアレイ本体L1をX方向に移動させて微細加工用工具7を未加工の加工位置上に位置させる。そして、図5に示すように、上述の動作によりレンズL2を形成する。この後、未加工の加工位置に微細加工用工具7を位置させる際には、X相対移動部2によりアレイ本体L1をX方向に移動させ、または、Y相対移動部3により微細加工用工具7をY方向に移動させる。   After the formation of the lens L2, the controller controls the Z relative movement unit 4 and the tool W movement attachment 5 to separate the fine processing tool 7 from the array body L1, and then the X relative movement unit 2 moves the array body L1. The fine machining tool 7 is positioned on an unmachined machining position by moving in the X direction. Then, as shown in FIG. 5, the lens L2 is formed by the above-described operation. Thereafter, when the fine processing tool 7 is positioned at an unprocessed processing position, the array main body L1 is moved in the X direction by the X relative movement unit 2, or the fine processing tool 7 by the Y relative movement unit 3. Is moved in the Y direction.

さらに、作業者は、工作機械1で、工具W移動アタッチメント5を用いずに、ワークを微細加工する際には、工具W移動アタッチメント5が取り付けられていない状態において、Zスライダ42の側面あるいは下面に微細加工用工具7を取り付けるとともに、X移動テーブル22にワークUV移動アタッチメント6を取り付ける。
そして、コントローラは、設定入力された加工条件に基づきX,Y,Z相対移動部2,3,4、U,V相対移動部61,62を制御して、微細加工用工具7をワークに対して相対的にX,Y,Z,U,V方向に移動させることで、ワークを微細加工する。
Further, when the operator does not use the tool W moving attachment 5 and does not use the tool W moving attachment 5 on the machine tool 1, the operator does not attach the tool W moving attachment 5, and the side surface or the lower surface of the Z slider 42. A fine processing tool 7 is attached to the X movement table 22 and a work UV movement attachment 6 is attached to the X movement table 22.
Then, the controller controls the X, Y, Z relative movement units 2, 3, 4, U, V relative movement units 61, 62 based on the machining conditions set and input, and the fine machining tool 7 is applied to the workpiece. The workpiece is finely processed by relatively moving in the X, Y, Z, U, and V directions.

また、工作機械1でワークを大型加工する際には、工具W移動アタッチメント5とワークUV移動アタッチメント6が取り付けられていない状態において、Zスライダ42の側面あるいは下面に大型加工用工具を取り付けるとともに、X移動テーブル22に大型加工対象のワークを載置する。そして、コントローラは、設定入力された加工条件に基づきX,Y,Z相対移動部2,3,4を制御して、大型加工用工具をワークに対して相対的にX,Y,Z方向に移動させることで、ワークを大型加工する。   Further, when machining a workpiece with the machine tool 1, a large machining tool is attached to the side surface or the lower surface of the Z slider 42 in a state where the tool W movement attachment 5 and the workpiece UV movement attachment 6 are not attached. A workpiece to be processed in large size is placed on the X movement table 22. Then, the controller controls the X, Y, and Z relative movement units 2, 3, and 4 based on the machining conditions that are set and input, and moves the large machining tool relative to the workpiece in the X, Y, and Z directions. By moving it, the workpiece is processed in large size.

[工作機械の作用効果]
上述した工作機械1によれば、以下のような作用効果を期待できる。
(1)レンズアレイLなどのワークの微細加工の際に、X移動テーブル22よりも軽量なUV移動テーブル621を移動させている。このため、UV移動テーブル621の速度を上げてもX移動テーブル22を移動させるときよりも慣性力を小さくでき、微細加工用工具7に対する加工位置の位置決め精度を上げることができ、生産性の向上と高精度な微細加工の両立を実現できる。さらに、X移動テーブル22に載置されたワークの大型加工にも利用できるため、工作機械1の汎用性を向上できる。そして、工具W移動アタッチメント5とワークUV移動アタッチメント6を着脱自在にしているため、従来ある工作機械でも上記効果を期待できる。
[Functional effects of machine tools]
According to the machine tool 1 described above, the following effects can be expected.
(1) The UV movement table 621 that is lighter than the X movement table 22 is moved during fine processing of a workpiece such as the lens array L. For this reason, even if the speed of the UV moving table 621 is increased, the inertial force can be made smaller than when the X moving table 22 is moved, the positioning accuracy of the processing position with respect to the fine processing tool 7 can be increased, and productivity is improved. And high-precision micromachining can be realized. Furthermore, since it can be used for large-scale machining of the workpiece placed on the X movement table 22, the versatility of the machine tool 1 can be improved. And since the tool W movement attachment 5 and the workpiece UV movement attachment 6 are made detachable, the above-mentioned effect can be expected even in a conventional machine tool.

(2)微細加工用工具7をZ相対移動部4による移動により加工位置に近接させた後に、工具W移動アタッチメント5による移動により微細加工をしているため、W方向への微細加工の精度を向上できる。   (2) Since the fine machining tool 7 is moved close to the machining position by the movement by the Z relative movement unit 4 and then fine machining is performed by the movement by the tool W moving attachment 5, the precision of the fine machining in the W direction is improved. It can be improved.

(3)ワークをワークUV移動アタッチメント6によりU,V方向に移動可能にするとともに、微細加工用工具7を工具W移動アタッチメント5によりW方向に移動可能な構成としているため、球面状や非球面状、あるいは角柱状、さらには円柱状などの凹部や凸部を形成できる。   (3) Since the workpiece can be moved in the U and V directions by the workpiece UV moving attachment 6 and the fine processing tool 7 can be moved in the W direction by the tool W moving attachment 5, it is spherical or aspherical. A concave portion or a convex portion such as a cylindrical shape, a prismatic shape, or a cylindrical shape can be formed.

(4)W移動テーブル52をZスライダ42よりも軽量にしているため、W移動テーブル52の速度を上げてもZスライダ42を移動させるときよりも慣性力を小さくでき、微細加工用工具7の位置決め精度を上げることができる。   (4) Since the W moving table 52 is lighter than the Z slider 42, the inertial force can be made smaller than when the Z slider 42 is moved even if the speed of the W moving table 52 is increased. Positioning accuracy can be increased.

[変形例]
本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
[Modification]
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and modifications, improvements, and the like within the scope that can achieve the object of the present invention are included in the present invention.

すなわち、ワークがU方向とV方向のうち一方のみに移動可能な構成としてもよい。
また、X,Y,Z方向の移動を粗動にするとともに、U,V,W方向の移動を微動にしてもよい。ここで、粗動とは、ミリメートル単位あるいはマイクロメートル単位での移動制御を意味し、微動とは、ナノメートル単位あるいはピコメートル単位での移動制御を意味する。また、粗動機構としては、ボールねじ機構を用いることができ、微動機構としては、上記実施形態のようなリニアモータを用いることができる。
このような構成とすれば、微細加工時に、ワークと微細加工用工具7とをU,V,W方向に相対的に微動させ、微細加工用工具7の微細加工位置間の移動時に、上記両者をX,Y,Z方向に相対的に粗動させることにより、作業時間の短縮を図ることができる。
That is, it is good also as a structure which a workpiece | work can move only to one of a U direction and a V direction.
Further, the movement in the X, Y, and Z directions may be coarsely moved, and the movement in the U, V, and W directions may be finely moved. Here, coarse movement means movement control in units of millimeters or micrometers, and fine movement means movement control in units of nanometers or picometers. Further, a ball screw mechanism can be used as the coarse movement mechanism, and a linear motor as in the above embodiment can be used as the fine movement mechanism.
With such a configuration, the workpiece and the micromachining tool 7 are relatively finely moved in the U, V, and W directions at the time of micromachining, and both of the above are performed when the micromachining tool 7 is moved between micromachining positions. The working time can be shortened by relatively coarsely moving in the X, Y, and Z directions.

また、ワークをV方向に短ストロークで移動させる構成をワークUV移動アタッチメント5に設けたが、Zスライダ42や取付テーブル51に微細加工用工具7をV方向に短ストロークで移動させたり微動させたりする構成を設けてもよいし、Yガイド軸32にZ相対移動部4をV方向に短ストロークで移動あるいは粗動させる構成を設けてもよい。   In addition, the work UV moving attachment 5 is configured to move the work in the V direction with a short stroke. However, the fine machining tool 7 is moved or slightly moved in the V direction on the Z slider 42 or the mounting table 51 in a short stroke. A configuration may be provided, or a configuration may be provided in which the Z relative movement unit 4 is moved or coarsely moved in the V direction with a short stroke on the Y guide shaft 32.

さらに、微細加工用工具7によりワークのXY面を微細加工したが、ワークのXZ面やYZ面を微細加工する構成としてもよい。XZ面を微細加工する構成としては、上記実施形態の工作機械1において、微細加工用工具7を長手方向がX方向と一致するようにW移動テーブル52に取り付けて、微細加工用工具7をW方向に、ワークをU,V方向にそれぞれ移動させる構成が例示できる。また、YZ面を微細加工する構成としては、Xガイド軸21のY方向側に工具W移動アタッチメント5が設けられるアタッチメント設置部を立設し、微細加工用工具7を長手方向がY方向と一致するようにW移動テーブル52に取り付けて、微細加工用工具7とワークとをU,V,W方向に相対移動させる構成が例示できる。   Furthermore, although the XY surface of the workpiece is finely processed by the fine processing tool 7, the XZ surface or YZ surface of the workpiece may be finely processed. As a configuration for finely processing the XZ surface, in the machine tool 1 of the above-described embodiment, the fine processing tool 7 is attached to the W moving table 52 so that the longitudinal direction thereof coincides with the X direction. A configuration in which the workpiece is moved in the U and V directions in the direction can be exemplified. In addition, as a configuration for finely processing the YZ surface, an attachment installation portion in which the tool W moving attachment 5 is provided is erected on the Y direction side of the X guide shaft 21, and the longitudinal direction of the fine processing tool 7 coincides with the Y direction. A configuration in which the fine processing tool 7 and the workpiece are relatively moved in the U, V, and W directions by being attached to the W movement table 52 as illustrated in FIG.

また、図6(A)〜(E)に示すように、ワークUV移動アタッチメント6をXガイド軸21に直接載置してもよい。
この構成では、まず、図6(A)に示すように、ワークUV移動アタッチメント6を−X方向側(図6(A)中の右側)に押し込むことでXガイド軸21に載置する載置シリンダ8を準備する。この載置シリンダ8のシリンダ軸81の先端には、回動軸83を中心に回動可能な爪部82が設けられている。また、ワークUV移動アタッチメント6の取付テーブル611の下面には、例えば3個のテーブル凸部614が設けられている。
そして、図示しない支持機構により、ワークUV移動アタッチメント6をXガイド軸21の+X方向側(図6(A)中の左側)で支持するとともに、載置シリンダ8の爪部82を寝かせて(長手方向が図6(A)中、左右方向と一致する状態にして)、この爪部82がXガイド軸21側の2個のテーブル凸部614の間に位置するように、シリンダ軸81を伸ばす。次に、図6(A)に示すように、爪部82を立てる(長手方向が図6(A)中、上下方向と一致する状態にする)。そして、図6(B)に示すように、シリンダ軸81を伸ばして、爪部82でテーブル凸部614を押し込むことで、ワークUV移動アタッチメント6の端部をXガイド軸21に載せる。
この後、図6(C)〜(D)に示すように、シリンダ軸81を伸縮させるとともに、爪部82を立てたり寝かせたりして、爪部82でテーブル凸部614を徐々に押し込むことで、ワークUV移動アタッチメント6全体をXガイド軸21に載せる。
Further, as shown in FIGS. 6A to 6E, the work UV moving attachment 6 may be directly placed on the X guide shaft 21.
In this configuration, first, as shown in FIG. 6A, the work UV moving attachment 6 is placed on the X guide shaft 21 by being pushed into the −X direction side (the right side in FIG. 6A). A cylinder 8 is prepared. At the tip of the cylinder shaft 81 of the mounting cylinder 8, a claw portion 82 that can rotate around a rotation shaft 83 is provided. Further, for example, three table convex portions 614 are provided on the lower surface of the attachment table 611 of the work UV moving attachment 6.
The workpiece UV moving attachment 6 is supported on the + X direction side (left side in FIG. 6A) of the X guide shaft 21 by a support mechanism (not shown), and the claw portion 82 of the mounting cylinder 8 is laid down (longitudinal). The cylinder shaft 81 is extended so that the claw portion 82 is positioned between the two table convex portions 614 on the X guide shaft 21 side (with the direction matching the left-right direction in FIG. 6A). . Next, as shown in FIG. 6 (A), the claw portion 82 is erected (the longitudinal direction is made to coincide with the vertical direction in FIG. 6 (A)). Then, as shown in FIG. 6B, the end of the workpiece UV moving attachment 6 is placed on the X guide shaft 21 by extending the cylinder shaft 81 and pushing the table convex portion 614 with the claw portion 82.
Thereafter, as shown in FIGS. 6C to 6D, the cylinder shaft 81 is expanded and contracted, and the claw portion 82 is stood or laid, and the table convex portion 614 is gradually pushed in by the claw portion 82. The entire work UV moving attachment 6 is placed on the X guide shaft 21.

また、本発明の工作機械としては、マシニングセンタに限らず、NC工作機械、フライス盤、ボール盤等、加工用工具でワークを加工できるものであればどのような機械であってもよい。   The machine tool of the present invention is not limited to a machining center, and may be any machine that can machine a workpiece with a machining tool, such as an NC machine tool, a milling machine, or a drilling machine.

その他、本発明の実施の際の具体的な構造および手順は、本発明の目的を達成できる範囲で他の構造などに適宜変更できる。   In addition, the specific structure and procedure for carrying out the present invention can be appropriately changed to other structures and the like within a range in which the object of the present invention can be achieved.

本発明は、加工用工具によりワーク上の複数の加工位置を加工するワーク加工方法、および、工作機械に利用できる。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used for a workpiece machining method for machining a plurality of machining positions on a workpiece with a machining tool, and a machine tool.

1…工作機械
2…XY相対移動部を構成するX相対移動部
3…XY相対移動部を構成するY相対移動部
4…Z相対移動部
5…W相対移動部としての工具W移動アタッチメント
6…UV相対移動部としてのワークUV移動アタッチメント
7…加工用工具としての微細加工用工具
22…長距離移動テーブルとしてのX移動テーブル
621…短距離移動テーブルとしてのUV移動テーブル
L…ワークとしてのレンズアレイ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Machine tool 2 ... X relative movement part which comprises XY relative movement part 3 ... Y relative movement part which comprises XY relative movement part 4 ... Z relative movement part 5 ... Tool W movement attachment as W relative movement part 6 ... Work UV movement attachment as a UV relative movement section 7... Fine processing tool as a machining tool 22. X movement table as a long distance movement table 621... UV movement table as a short distance movement table L.

Claims (7)

加工用工具によりワーク上の複数の加工位置を加工するワーク加工方法であって、
前記ワークを載置可能な長距離移動テーブルと前記加工用工具とを互いに接離するZ方向に長ストロークで相対移動させるZ相対移動部と、
前記長距離移動テーブルと前記加工用工具とをX方向とY方向のうち少なくとも一方向に長ストロークで相対移動させるXY相対移動部と、
前記ワークを載置可能な短距離移動テーブルと前記加工用工具とを前記X方向に平行なU方向と前記Y方向に平行なV方向に短ストロークで相対移動させるUV相対移動部と、を備え、
前記UV相対移動部は、U方向に前記ワークを短ストロークで移動させるU相対移動部と、V方向に前記ワークを短ストロークで移動させるV相対移動部とを備え、
前記U相対移動部は、前記長距離移動テーブルに取り付けられる取付テーブルと、前記取付テーブルと対向するUスライダと、前記Uスライダを前記取付テーブルに対して移動させるU駆動部とを備え、
前記V相対移動部は、前記Uスライダと対向する前記短距離移動テーブルと、前記短距離移動テーブルを前記Uスライダに対して移動させるV駆動部とを備え、
前記Uスライダと前記短距離移動テーブルとの合計重量は、前記長距離移動テーブルよりも小さく設定され、
前記短距離移動テーブルは、前記長距離移動テーブルに着脱自在に構成されている工作機械を用い、
前記Z相対移動部と前記UV相対移動部による相対移動により前記加工用工具で前記ワークの未加工の加工位置を微細加工してから、前記Z相対移動部と前記XY相対移動部による相対移動により、前記加工用工具を他の未加工の加工位置まで移動させる工程を繰り返すことで、前記複数の加工位置を加工する
ことを特徴とするワーク加工方法。
A workpiece machining method for machining a plurality of machining positions on a workpiece with a machining tool,
A Z-relative movement unit for relatively moving the long-distance movement table on which the workpiece can be placed and the machining tool with a long stroke in the Z-direction that makes contact with and away from each other;
An XY relative movement unit that relatively moves the long distance movement table and the processing tool with a long stroke in at least one of the X direction and the Y direction;
And UV relative movement unit that relatively moves with a short stroke parallel V Direction of the workpiece and can be placed a short distance moving table and the machining tool in the Y direction parallel to the U direction in the X direction, the Prepared,
The UV relative movement unit includes a U relative movement unit that moves the workpiece in the U direction with a short stroke, and a V relative movement unit that moves the workpiece in the V direction with a short stroke,
The U relative movement unit includes an attachment table attached to the long distance movement table, a U slider facing the attachment table, and a U drive unit that moves the U slider with respect to the attachment table,
The V relative movement unit includes the short distance movement table facing the U slider, and a V drive unit that moves the short distance movement table with respect to the U slider,
The total weight of the U slider and the short distance moving table is set smaller than the long distance moving table,
The short-range mobile table, using a machine tool which is detachably attached to the front Symbol long distance moving table,
By finely processing an unprocessed processing position of the workpiece with the processing tool by relative movement by the Z relative movement unit and the UV relative movement unit, and by relative movement by the Z relative movement unit and the XY relative movement unit. The workpiece machining method characterized by machining the plurality of machining positions by repeating the step of moving the machining tool to another unmachined machining position.
請求項1に記載のワーク加工方法において、
さらに、前記工作機械に、前記長距離移動テーブルと前記加工用工具とを前記Z方向に平行なW方向に短ストロークで相対移動させるW相対移動部を設け、
前記加工用工具を前記Z相対移動部による相対移動により前記加工位置に近接した位置まで移動させた後に、前記W相対移動部により相対移動させて加工位置を微細加工する
ことを特徴とするワーク加工方法。
In the workpiece processing method according to claim 1,
Further, the machine tool is provided with a W relative movement unit that relatively moves the long distance movement table and the processing tool in a W direction parallel to the Z direction with a short stroke,
The workpiece machining is performed by moving the machining tool to a position close to the machining position by relative movement by the Z relative movement unit, and then moving the machining tool by the W relative movement unit to finely machine the machining position. Method.
請求項に記載のワーク加工方法において、
前記W相対移動部と前記UV相対移動部による相対移動により前記加工用工具で前記加工位置を微細加工する
ことを特徴とするワーク加工方法。
In the workpiece processing method according to claim 2 ,
The workpiece machining method, wherein the machining position is finely machined by the machining tool by relative movement by the W relative movement unit and the UV relative movement unit.
請求項または請求項に記載のワーク加工方法において、
前記微細加工は、凸状または凸状の半球面を有するレンズ加工である
ことを特徴とするワーク加工方法。
In the workpiece processing method according to claim 2 or 3 ,
The fine machining is a lens machining having a convex or convex hemispherical surface.
請求項1から請求項のいずれかに記載のワーク加工方法において、
前記工作機械として、マシニングセンタを用いた
ことを特徴とするワーク加工方法。
In the work processing method in any one of Claims 1-4 ,
A machining method using a machining center as the machine tool.
加工用工具によりワークを加工する工作機械であって、
前記ワークを載置可能な長距離移動テーブルと前記加工用工具とを互いに接離するZ方向に長ストロークで相対移動させるZ相対移動部と、
前記長距離移動テーブルと前記加工用工具とをX方向とY方向のうち少なくとも一方向に長ストロークで相対移動させるXY相対移動部と、
前記ワークを載置可能な短距離移動テーブルと前記加工用工具とを前記X方向に平行なU方向と前記Y方向に平行なV方向に短ストロークで相対移動させるUV相対移動部と、を備え、
前記UV相対移動部は、U方向に前記ワークを短ストロークで移動させるU相対移動部と、V方向に前記ワークを短ストロークで移動させるV相対移動部とを備え、
前記U相対移動部は、前記長距離移動テーブルに取り付けられる取付テーブルと、前記取付テーブルと対向するUスライダと、前記Uスライダを前記取付テーブルに対して移動させるU駆動部とを備え、
前記V相対移動部は、前記Uスライダと対向する前記短距離移動テーブルと、前記短距離移動テーブルを前記Uスライダに対して移動させるV駆動部とを備え、
前記Uスライダと前記短距離移動テーブルとの合計重量は、前記長距離移動テーブルよりも小さく設定され、
前記短距離移動テーブルは、前記長距離移動テーブルに着脱自在に構成されている
ことを特徴とする工作機械。
A machine tool for machining a workpiece with a machining tool,
A Z-relative movement unit for relatively moving the long-distance movement table on which the workpiece can be placed and the machining tool with a long stroke in the Z-direction that makes contact with and away from each other;
An XY relative movement unit that relatively moves the long distance movement table and the processing tool with a long stroke in at least one of the X direction and the Y direction;
And UV relative movement unit that relatively moves with a short stroke parallel V Direction of the workpiece and can be placed a short distance moving table and the machining tool in the Y direction parallel to the U direction in the X direction, the Prepared,
The UV relative movement unit includes a U relative movement unit that moves the workpiece in the U direction with a short stroke, and a V relative movement unit that moves the workpiece in the V direction with a short stroke,
The U relative movement unit includes an attachment table attached to the long distance movement table, a U slider facing the attachment table, and a U drive unit that moves the U slider with respect to the attachment table,
The V relative movement unit includes the short distance movement table facing the U slider, and a V drive unit that moves the short distance movement table with respect to the U slider.
The total weight of the U slider and the short distance moving table is set smaller than the long distance moving table,
The short-range mobile table, a machine tool, characterized in that it is detachably attached to the front Symbol long distance table.
請求項に記載の工作機械において、
さらに、前記長距離移動テーブルと前記加工用工具とを前記Z方向に平行なW方向に短ストロークで相対移動させるW相対移動部を備えている
ことを特徴とする工作機械。
The machine tool according to claim 6 ,
The machine tool further comprising: a W relative movement unit that relatively moves the long distance movement table and the machining tool in a W direction parallel to the Z direction with a short stroke.
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