JP5532380B2

JP5532380B2 - Die head

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Publication number: JP5532380B2
Application number: JP2009079447A
Authority: JP
Inventors: 澤朝彦穴; 島正幸長
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2009-03-27
Filing date: 2009-03-27
Publication date: 2014-06-25
Anticipated expiration: 2029-03-27
Also published as: JP2010227861A

Description

本発明は、被処理物に対して塗布液を塗布するためのダイヘッドに関する。 The present invention relates to a die head for applying a coating liquid to an object to be processed.

従来から、被処理物（具体的には、例えば反射防止用フィルム等の光学フィルム等）に対して塗布液を塗布するためのダイヘッドが知られている（例えば、特許文献１等参照）。ダイヘッドは、均一な薄膜塗工が可能であることから様々な分野で広く利用されている。特許文献１等に示される従来のダイヘッドは、概して、塗布液の流路を内部に有する略直方体形状の本体ブロックと、本体ブロック内の流路に塗布液を流入させるための液入口と、本体ブロック内の流路から塗布液を本体ブロックの外部に吐出するためのスロット部と、を備えている。一般的に、ダイヘッドを用いた塗布液の塗工方式は、ロール等を用いて塗布液の塗工を行う場合と比較して、高精度の膜厚を形成することができる。 2. Description of the Related Art Conventionally, a die head for applying a coating liquid to an object to be processed (specifically, an optical film such as an antireflection film) is known (see, for example, Patent Document 1). Die heads are widely used in various fields because uniform thin film coating is possible. A conventional die head disclosed in Patent Document 1 and the like generally includes a substantially rectangular parallelepiped main body block having a coating liquid flow path therein, a liquid inlet for allowing the coating liquid to flow into the flow path in the main body block, and a main body And a slot portion for discharging the coating liquid from the flow path in the block to the outside of the main body block. In general, the coating liquid coating method using a die head can form a highly accurate film thickness as compared with the case of coating the coating liquid using a roll or the like.

従来のダイヘッドにおいて、スロット部は、本体ブロック内の流路の長手方向に沿って延びるよう設けられている。また、液入口は本体ブロックの長手方向における中央部に設けられている。そして、液入口から本体ブロック内の流路に送られた塗布液は、この流路の長手方向に沿って延びるスロット部の各領域に分配されて本体ブロックの外部に吐出されるようになっている。しかしながら、本体ブロック内の流路における長手方向の圧力損失により、本体ブロックの端部近傍においてはスロット部からの塗布液の吐出量が不足しがちである。 In the conventional die head, the slot portion is provided so as to extend along the longitudinal direction of the flow path in the main body block. Further, the liquid inlet is provided at a central portion in the longitudinal direction of the main body block. Then, the coating liquid sent from the liquid inlet to the flow path in the main body block is distributed to each region of the slot portion extending along the longitudinal direction of the flow path and discharged to the outside of the main body block. Yes. However, due to the pressure loss in the longitudinal direction in the flow path in the main body block, the discharge amount of the coating liquid from the slot portion tends to be insufficient near the end of the main body block.

このため、従来のダイヘッドに対して、塗布液の粘度等に応じて本体ブロック内の流路の終端側のスロット間隔を広げたり（特許文献１等参照）、あるいは図８や図９に示すように塗布液の流路をテーパ形状にしたりすることが考えられている。 For this reason, the slot spacing on the terminal end side of the flow path in the main body block is widened according to the viscosity of the coating solution or the like (see Patent Document 1 etc.), or as shown in FIGS. It is also considered that the flow path of the coating solution is tapered.

図８および図９に、塗布液の流路をテーパ形状にしたダイヘッドを示す。ここで、図８は、従来のダイヘッドの構成を示す縦断面図であり、図９は、図８に示すダイヘッドの縦断面図である。なお、図８は、図９に示すダイヘッドのＥ−Ｅライン矢視による縦断面図となっている。 8 and 9 show a die head in which the flow path of the coating solution is tapered. Here, FIG. 8 is a longitudinal sectional view showing a configuration of a conventional die head, and FIG. 9 is a longitudinal sectional view of the die head shown in FIG. 8 is a longitudinal sectional view of the die head shown in FIG.

図８および図９に示すように、一般的なダイヘッド５０は、塗布液の流路６０を内部に有する本体ブロック５２と、本体ブロック５２内の塗布液の流路６０に連通するよう設けられ、この流路６０に塗布液を流入させるための液入口５６と、本体ブロック５２内の塗布液の流路６０に連通するよう設けられ、この流路６０から塗布液を本体ブロック５２の外部に吐出するためのスロット部５８とを備えている。より詳細には、図９に示すように、液入口５６は、本体ブロック５２の長手方向（図９の左右方向）における中央部に設けられている。本体ブロック５２の外部からこの液入口５６に塗布液が送られることにより、当該液入口５６を介して本体ブロック５２内の塗布液の流路６０に塗布液が流入することとなる。また、本体ブロック５２内の塗布液の流路６０における液入口５６と反対側にはスロット部５８が設けられている。より具体的には、スロット部５８は、本体ブロック５２内の塗布液の流路６０の長手方向（図９の左右方向）に沿って細長く延びるよう設けられており、このスロット部５８から本体ブロック５２の外部に塗布液が広範囲にわたって吐出されるようになっている。 As shown in FIGS. 8 and 9, a general die head 50 is provided so as to communicate with a main body block 52 having a coating liquid flow path 60 therein, and a coating liquid flow path 60 in the main body block 52. A liquid inlet 56 for allowing the coating liquid to flow into the flow path 60 and a flow path 60 of the coating liquid in the main body block 52 are provided so as to communicate with each other, and the coating liquid is discharged from the flow path 60 to the outside of the main body block 52. And a slot portion 58 for this purpose. More specifically, as shown in FIG. 9, the liquid inlet 56 is provided at the center of the main body block 52 in the longitudinal direction (left and right direction in FIG. 9). When the coating liquid is sent from the outside of the main body block 52 to the liquid inlet 56, the coating liquid flows into the flow path 60 of the coating liquid in the main body block 52 through the liquid inlet 56. Further, a slot 58 is provided on the opposite side of the coating liquid flow path 60 in the main body block 52 from the liquid inlet 56. More specifically, the slot portion 58 is provided so as to be elongated along the longitudinal direction (the left-right direction in FIG. 9) of the flow path 60 of the coating liquid in the main body block 52, and the main body block extends from the slot portion 58. The coating liquid is discharged over a wide range outside 52.

そして、図８および図９に示すダイヘッド５０においては、流路６０は、本体ブロック５２の長手方向における中央部から両端部に向かってその断面積が小さくなるような、いわゆる左右一対のテーパ形状となっている。このように、本体ブロック５２内の塗布液の流路６０をテーパ形状とすることにより、本体ブロック５２の長手方向における中央部から端部に向かって流路６０内で塗布液が流れる間にその一部がスロット部５８から本体ブロック５２の外部に吐出されたとしても、本体ブロック５２の長手方向における中央部から端部に流れる間における塗布液の流量の減少に応じて流路６０の断面積が小さくなるので、流路６０内の塗布液の圧力を均一にすることができる。このことにより、スロット部５８からの塗布液の吐出量を、本体ブロック５２の長手方向において均一とすることができる。 In the die head 50 shown in FIGS. 8 and 9, the flow path 60 has a so-called pair of left and right tapered shapes in which the cross-sectional area decreases from the central portion in the longitudinal direction of the main body block 52 toward both ends. It has become. As described above, the flow path 60 of the coating liquid in the main body block 52 is tapered, so that the coating liquid flows in the flow path 60 from the center to the end in the longitudinal direction of the main body block 52. Even if a part is discharged from the slot portion 58 to the outside of the main body block 52, the cross-sectional area of the flow path 60 is reduced according to the decrease in the flow rate of the coating liquid while flowing from the central portion to the end portion in the longitudinal direction of the main body block 52 Therefore, the pressure of the coating liquid in the flow path 60 can be made uniform. Thereby, the discharge amount of the coating liquid from the slot portion 58 can be made uniform in the longitudinal direction of the main body block 52.

特開２００１−９３４２号公報JP 2001-9342 A

しかしながら、特許文献１に示すダイヘッドや、図８および図９に示すようなダイヘッドにおいては、被処理物に塗布されるべき塗布液の膜厚や塗布速度を変更した場合には、塗布液の流路のテーパ形状に関して、テーパ率（流路の終端側の断面積を入口側の断面積で割り算した値）を変更しなければならず、本体ブロック内の流路の構造（寸法や形状等）を変更しなければならない。このような本体ブロック内の流路の構造の変更には手間や費用がかかるとともに、新たな流路の構造のテーパ率が妥当であるか否かの塗工試験を行わなければならないという問題がある。 However, in the die head shown in Patent Document 1 and the die head as shown in FIGS. 8 and 9, the flow rate of the coating liquid is changed when the coating film thickness and the coating speed to be applied to the object to be processed are changed. Regarding the taper shape of the path, the taper ratio (the value obtained by dividing the cross-sectional area at the end of the flow path by the cross-sectional area at the inlet side) must be changed, and the flow path structure (dimensions, shape, etc.) Must be changed. Such a change in the structure of the flow path in the main body block is troublesome and expensive, and there is a problem that a coating test must be performed to determine whether the taper ratio of the new flow path structure is appropriate. is there.

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、本体ブロック内にある塗布液の流路を流れる塗布液の圧力を均一にすることができ、このため、スロット部からの塗布液の吐出量を、本体ブロックの長手方向において均一とすることができ、また、被処理物に塗布されるべき塗布液の膜厚や塗布速度を変更した場合でも、本体ブロック内の塗布液の流路のテーパ形状を、変更後の塗布液の膜厚や塗布速度に応じて容易に変更することができ、このため、本体ブロック内の塗布液の流路の構造の変更に手間や費用がかからず、また、新たな流路の構造のテーパ率が妥当であるか否かの塗工試験を行わなくてもよいようなダイヘッドを提供することを目的とする。 The present invention has been made in consideration of such points, and can uniformize the pressure of the coating liquid flowing through the flow path of the coating liquid in the main body block. The discharge amount of the liquid can be made uniform in the longitudinal direction of the main body block, and even when the film thickness or the coating speed of the coating liquid to be applied to the object to be processed is changed, The taper shape of the flow path can be easily changed according to the coating film thickness and the coating speed after the change, which makes it difficult and expensive to change the structure of the flow path of the coating liquid in the main body block. Therefore, an object of the present invention is to provide a die head that does not require a coating test to determine whether the taper ratio of the structure of the new flow path is appropriate.

本発明のダイヘッドは、被処理物に対して塗布液を塗布するためのダイヘッドであって、塗布液の流路を内部に有する本体ブロックと、前記本体ブロック内の塗布液の流路に連通するよう設けられ、当該流路に塗布液を流入させるための液入口と、前記本体ブロック内の塗布液の流路に連通するよう設けられ、当該流路から塗布液を前記本体ブロックの外部に吐出するためのスロット部と、前記本体ブロック内の塗布液の流路に設けられ、当該流路を画定する壁部の一部を構成する内部ブロックであって、前記流路内で移動自在となっているような内部ブロックと、前記本体ブロック内の塗布液の流路を流れる塗布液の圧力を均一にするよう、前記流路内における前記内部ブロックの位置を調整する内部ブロック位置決め手段と、を備え、前記本体ブロックは細長い形状のものからなり、前記本体ブロック内の塗布液の流路は当該本体ブロックの長手方向に沿って延びるよう設けられており、前記スロット部および前記内部ブロックは前記本体ブロック内の塗布液の流路の長手方向に沿って延びるよう設けられており、前記液入口は前記本体ブロックの長手方向における中央部に設けられており、前記内部ブロックは前記本体ブロックの長手方向における前記液入口の両側にそれぞれ設けられていることを特徴とする。
また、本発明のダイヘッドは、被処理物に対して塗布液を塗布するためのダイヘッドであって、塗布液の流路を内部に有する本体ブロックと、前記本体ブロック内の塗布液の流路に連通するよう設けられ、当該流路に塗布液を流入させるための液入口と、前記本体ブロック内の塗布液の流路に連通するよう設けられ、当該流路から塗布液を前記本体ブロックの外部に吐出するためのスロット部と、前記本体ブロック内の塗布液の流路に設けられ、当該流路を画定する壁部の一部を構成する内部ブロックであって、前記流路内で移動自在となっているような内部ブロックと、前記本体ブロック内の塗布液の流路を流れる塗布液の圧力を均一にするよう、前記流路内における前記内部ブロックの位置を調整する内部ブロック位置決め手段と、を備え、前記内部ブロックには、前記本体ブロックに固定された軸が設けられており、前記内部ブロックは当該軸を中心として揺動自在となっていることを特徴とする。
また、本発明のダイヘッドは、被処理物に対して塗布液を塗布するためのダイヘッドであって、塗布液の流路を内部に有する本体ブロックと、前記本体ブロック内の塗布液の流路に連通するよう設けられ、当該流路に塗布液を流入させるための液入口と、前記本体ブロック内の塗布液の流路に連通するよう設けられ、当該流路から塗布液を前記本体ブロックの外部に吐出するためのスロット部と、前記本体ブロック内の塗布液の流路に設けられ、当該流路を画定する壁部の一部を構成する内部ブロックであって、前記流路内で移動自在となっているような内部ブロックと、前記本体ブロック内の塗布液の流路を流れる塗布液の圧力を均一にするよう、前記流路内における前記内部ブロックの位置を調整する内部ブロック位置決め手段と、を備え、前記内部ブロック位置決め手段は弾性体であることを特徴とする。 The die head of the present invention is a die head for applying a coating liquid to an object to be processed, and communicates with a main body block having a flow path for the coating liquid inside and a flow path for the coating liquid in the main body block. Provided to communicate with a liquid inlet for allowing the coating liquid to flow into the flow path and a flow path for the coating liquid in the main body block, and discharge the coating liquid from the flow path to the outside of the main body block. An internal block that is provided in a flow path of the coating liquid in the main body block and forms a part of a wall that defines the flow path, and is movable in the flow path. An internal block positioning means for adjusting the position of the internal block in the flow path so that the pressure of the coating liquid flowing in the flow path of the coating liquid in the body block is uniform. equipped, before The main body block has an elongated shape, the flow path of the coating liquid in the main body block is provided so as to extend along the longitudinal direction of the main body block, and the slot portion and the inner block are in the main body block. The liquid inlet is provided so as to extend along the longitudinal direction of the flow path of the coating liquid, the liquid inlet is provided at a central portion in the longitudinal direction of the main body block, and the inner block is the liquid in the longitudinal direction of the main body block. It is provided on both sides of the entrance, respectively .
The die head of the present invention is a die head for applying a coating liquid to an object to be processed, and has a main body block having a flow path for the coating liquid inside, and a flow path for the coating liquid in the main body block. Provided in communication with a liquid inlet for allowing the coating liquid to flow into the flow path, and provided in communication with the flow path of the coating liquid in the main body block. An internal block that is provided in a flow path for the coating liquid in the main body block and forms a part of a wall that delimits the flow path, and is movable in the flow path An internal block positioning means for adjusting the position of the internal block in the flow path so that the pressure of the coating liquid flowing through the flow path of the coating liquid in the main body block is uniform. , Be prepared , The internal block, the has a fixed shaft provided in the main body block, characterized in that the inner block is made swingable about the shaft.
The die head of the present invention is a die head for applying a coating liquid to an object to be processed, and has a main body block having a flow path for the coating liquid inside, and a flow path for the coating liquid in the main body block. Provided in communication with a liquid inlet for allowing the coating liquid to flow into the flow path, and provided in communication with the flow path of the coating liquid in the main body block. An internal block that is provided in a flow path for the coating liquid in the main body block and forms a part of a wall that delimits the flow path, and is movable in the flow path An internal block positioning means for adjusting the position of the internal block in the flow path so that the pressure of the coating liquid flowing through the flow path of the coating liquid in the main body block is uniform. , Be prepared The internal block positioning means is characterized by an elastic body.

このようなダイヘッドによれば、本体ブロック内の塗布液の流路には、この流路の壁部の一部を構成する内部ブロックが設けられており、この内部ブロックは流路内で移動自在となっており、また、内部ブロック位置決め手段が、本体ブロック内の塗布液の流路を流れる塗布液の圧力を均一にするよう、流路内における内部ブロックの位置を調整するようになっている。このように、内部ブロックおよびこの内部ブロックの位置を調整する内部ブロック位置決め手段が設けられているので、流路を流れる塗布液の圧力を均一にすることができ、このため、スロット部からの塗布液の吐出量を、本体ブロックの長手方向において均一とすることができる。 According to such a die head, the flow path of the coating liquid in the main body block is provided with an internal block that constitutes a part of the wall portion of the flow path, and this internal block is movable in the flow path. In addition, the internal block positioning means adjusts the position of the internal block in the flow path so that the pressure of the coating liquid flowing through the flow path of the coating liquid in the main body block is made uniform. . As described above, since the internal block and the internal block positioning means for adjusting the position of the internal block are provided, the pressure of the coating liquid flowing through the flow path can be made uniform. The discharge amount of the liquid can be made uniform in the longitudinal direction of the main body block.

また、被処理物に塗布されるべき塗布液の膜厚や塗布速度を変更した場合でも、内部ブロックが流路内で移動自在となっているので、内部ブロック位置決め手段が内部ブロックの位置の調整を行うことにより、本体ブロック内の塗布液の流路のテーパ形状を、変更後の塗布液の膜厚や塗布速度に応じて容易に変更することができる。このため、被処理物に塗布されるべき塗布液の膜厚や塗布速度を変更した場合でも、本体ブロック内の塗布液の流路の構造の変更に手間や費用がかからない。また、内部ブロック位置決め手段が、本体ブロック内の塗布液の流路を流れる塗布液の圧力を均一にするよう、流路内における内部ブロックの位置を調整するので、新たな流路の構造のテーパ率が妥当であるか否かの塗工試験を行わなくてもよい。 Moreover, even when the film thickness or coating speed of the coating solution to be applied to the workpiece is changed, the internal block is movable within the flow path, so the internal block positioning means adjusts the position of the internal block. By performing the above, it is possible to easily change the taper shape of the flow path of the coating liquid in the main body block according to the changed coating film thickness and coating speed. For this reason, even when the film thickness and the coating speed of the coating liquid to be applied to the object to be processed are changed, it takes no effort or cost to change the structure of the flow path of the coating liquid in the main body block. Further, since the internal block positioning means adjusts the position of the internal block in the flow path so that the pressure of the coating liquid flowing through the flow path of the coating liquid in the main body block is uniform, the taper of the new flow path structure It is not necessary to perform a coating test to determine whether the rate is appropriate.

本発明のダイヘッドにおいては、前記内部ブロック位置決め手段は弾性体であることが好ましい。この場合、前記弾性体はバネであってもよい。あるいは、前記弾性体はゴムであってもよい。 In the die head of the present invention, it is preferable that the internal block positioning means is an elastic body. In this case, the elastic body may be a spring. Alternatively, the elastic body may be rubber.

本発明のダイヘッドにおいては、前記本体ブロックは、一対の平板部材が重ね合わせられて接合されることにより構成されており、前記スロット部は前記一対の平板部材の間の隙間より構成されており、前記一対の平板部材のうち少なくとも一方の平板部材には、塗布液の流路を構成する凹部が設けられていることが好ましい。 In the die head of the present invention, the main body block is configured by overlapping and joining a pair of flat plate members, and the slot portion is configured by a gap between the pair of flat plate members, It is preferable that at least one flat plate member of the pair of flat plate members is provided with a recess that constitutes a flow path for the coating liquid.

本発明のダイヘッドによれば、スロット部からの塗布液の吐出量を、本体ブロックの長手方向において均一とすることができ、さらに、被処理物に塗布されるべき塗布液の膜厚や塗布速度を変更した場合でも、本体ブロック内の塗布液の流路の構造の変更に手間や費用がかからず、また、新たな流路の構造のテーパ率が妥当であるか否かの塗工試験を行わなくてもよい。 According to the die head of the present invention, the discharge amount of the coating liquid from the slot portion can be made uniform in the longitudinal direction of the main body block, and the film thickness and coating speed of the coating liquid to be applied to the object to be processed Even if it is changed, it does not take time and cost to change the structure of the flow path of the coating liquid in the main body block, and the coating test whether the taper rate of the new flow path structure is appropriate It is not necessary to perform.

本発明の一の実施の形態におけるダイヘッドの構成の概略を示す概略構成図（横断面図）である。1 is a schematic configuration diagram (cross-sectional view) showing an outline of a configuration of a die head according to an embodiment of the present invention. 図１に示すダイヘッドのＡ−Ａライン矢視による側断面図である。It is a sectional side view by the AA line arrow of the die head shown in FIG. 図１に示すダイヘッドのＢ−Ｂライン矢視による側断面図である。It is a sectional side view by the BB line arrow of the die head shown in FIG. 図１に示すダイヘッドのＣ−Ｃライン矢視による側断面図である。It is a sectional side view by CC line arrow of the die head shown in FIG. 本発明におけるダイヘッドの他の構成の概略を示す側断面図である。It is a sectional side view which shows the outline of the other structure of the die head in this invention. 本発明におけるダイヘッドの更に他の構成の概略を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the outline of other structure of the die head in this invention. 図６に示すダイヘッドのＤ−Ｄライン矢視による側断面図である。It is a sectional side view by the DD line arrow of the die head shown in FIG. 従来のダイヘッドの構成を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the structure of the conventional die head. 図８に示すダイヘッドの縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the die head shown in FIG.

以下、図面を参照して本発明の一の実施の形態について説明する。図１乃至図４は、本実施の形態に係るダイヘッドを示す図である。このうち、図１は、本実施の形態におけるダイヘッドの構成の概略を示す概略構成図（横断面図）であり、図２は、図１に示すダイヘッドのＡ−Ａライン矢視による側断面図であり、図３は、図１に示すダイヘッドのＢ−Ｂライン矢視による側断面図である。また、図４は、図１に示すダイヘッドのＣ−Ｃライン矢視による側断面図である。なお、図１乃至図４において、矢印は塗布液の流れる方向を示している。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 to 4 are diagrams showing a die head according to the present embodiment. 1 is a schematic configuration diagram (transverse sectional view) showing an outline of the configuration of the die head in the present embodiment, and FIG. 2 is a side sectional view of the die head shown in FIG. FIG. 3 is a side sectional view of the die head shown in FIG. FIG. 4 is a sectional side view of the die head shown in FIG. In FIGS. 1 to 4, the arrows indicate the direction in which the coating liquid flows.

図１乃至図４に示すように、本実施の形態によるダイヘッド１０は、塗布液の流路２０を内部に有する本体ブロック１２と、本体ブロック１２内の塗布液の流路２０に連通するよう設けられ、この流路２０に塗布液を流入させるための液入口１６と、本体ブロック１２内の塗布液の流路２０に連通するよう設けられ、この流路２０から塗布液を本体ブロック１２の外部に吐出するためのスロット部１８とを備えている。 As shown in FIGS. 1 to 4, the die head 10 according to the present embodiment is provided so as to communicate with a main body block 12 having a coating liquid flow path 20 therein and a coating liquid flow path 20 in the main body block 12. The liquid inlet 16 for allowing the coating liquid to flow into the flow path 20 and the flow path 20 of the coating liquid in the main body block 12 are provided so as to communicate with the outside of the main body block 12 from the flow path 20. And a slot portion 18 for discharging.

以下、図１乃至図４に示すダイヘッド１０の各構成要素の詳細について以下に説明する。 Hereinafter, details of each component of the die head 10 shown in FIGS. 1 to 4 will be described below.

図１等に示すように、本体ブロック１２は細長い形状のものからなり、この本体ブロック１２は、一対の平板部材１２ａ、１２ｂが重ね合わせられ接合されることにより構成されている（図２や図３等参照）。この本体ブロック１２の内部には塗布液の流路２０が形成されている。より具体的には、一対の平板部材１２ａ、１２ｂのうち少なくとも一方の平板部材（図１乃至図４に示す例においては平板部材１２ｂ）には、図２や図３に示すように、塗布液の流路２０を構成する凹部が形成されている。この塗布液の流路２０は、本体ブロック１２の長手方向（図１の左右方向）に沿って細長く延びるよう設けられている。 As shown in FIG. 1 and the like, the main body block 12 is formed in an elongated shape, and the main body block 12 is configured by superposing and joining a pair of flat plate members 12a and 12b (see FIG. 2 and FIG. 1). (See 3 etc.). Inside the main body block 12, a flow path 20 for the coating liquid is formed. More specifically, at least one of the pair of flat plate members 12a and 12b (the flat plate member 12b in the example shown in FIGS. 1 to 4) has a coating liquid as shown in FIGS. The recessed part which comprises this flow path 20 is formed. The coating liquid flow path 20 is provided so as to be elongated along the longitudinal direction of the main body block 12 (left-right direction in FIG. 1).

図１に示すように、液入口１６は、本体ブロック１２の長手方向（図１の左右方向）における中央部に設けられている。本体ブロック１２の外部からこの液入口１６に塗布液が送られることにより、当該液入口１６を介して本体ブロック１２内の塗布液の流路２０に塗布液が流入することとなる。 As shown in FIG. 1, the liquid inlet 16 is provided at the center of the main body block 12 in the longitudinal direction (left-right direction in FIG. 1). When the coating liquid is sent to the liquid inlet 16 from the outside of the main body block 12, the coating liquid flows into the flow path 20 of the coating liquid in the main body block 12 through the liquid inlet 16.

図１や図２等に示すように、本体ブロック１２内の塗布液の流路２０における液入口１６と反対側にはスロット部１８が設けられている。より具体的には、スロット部１８は、本体ブロック１２内の塗布液の流路２０の長手方向（図１の左右方向）に沿って細長く延びるよう設けられており、このスロット部１８から本体ブロック１２の外部に塗布液が広範囲にわたって吐出されるようになっている。 As shown in FIGS. 1 and 2, a slot portion 18 is provided on the opposite side of the liquid inlet 16 in the flow path 20 of the coating liquid in the main body block 12. More specifically, the slot portion 18 is provided so as to be elongated along the longitudinal direction (left-right direction in FIG. 1) of the flow path 20 of the coating liquid in the main body block 12, and the main body block extends from the slot portion 18. The coating liquid is discharged over a wide range to the outside.

本実施の形態のダイヘッド１０においては、図２乃至図４に示すように、本体ブロック１２内の塗布液の流路２０には、この流路２０を画定する壁部の一部２２ａを構成する内部ブロック２２が設けられている。この内部ブロック２２は、流路２０内において図２や図３の上下方向に移動自在となっている。より具体的には、図４に示すように、内部ブロック２２は、本体ブロック１２の長手方向（図１の左右方向）における液入口１６の両側にそれぞれ左右一対となるよう設けられている。そして、各内部ブロック２２の長手方向における中央部には軸２３が設けられており、各内部ブロック２２はこの軸２３を中心として図４の矢印に示すように揺動自在となっている。なお、各内部ブロック２２の中央部に設けられた軸２３は本体ブロック１２に固定されている。 In the die head 10 of the present embodiment, as shown in FIGS. 2 to 4, the coating liquid flow path 20 in the main body block 12 forms a part 22 a of a wall portion that defines the flow path 20. An internal block 22 is provided. The internal block 22 is movable in the vertical direction in FIGS. 2 and 3 in the flow path 20. More specifically, as shown in FIG. 4, the internal blocks 22 are provided on the both sides of the liquid inlet 16 in the longitudinal direction of the main body block 12 (left and right direction in FIG. 1) so as to form a pair on the left and right. A shaft 23 is provided at the center of each internal block 22 in the longitudinal direction, and each internal block 22 is swingable about the shaft 23 as shown by the arrow in FIG. A shaft 23 provided at the center of each internal block 22 is fixed to the main body block 12.

そして、各内部ブロック２２には、流路２０内における内部ブロック２２の位置を調整する内部ブロック位置決め手段が設けられている。内部ブロック位置決め手段は、例えば内部ブロック２２の裏面（流路２０の壁部の一部２２ａを構成する面とは反対側の面）の両端部に設けられた一対のバネ２４から構成されている。各バネ２４は、その一端が内部ブロック２２の裏面の端部に取り付けられており、その他端は本体ブロック１２の平板部材１２ｂに取り付けられている。また、図４に示すように、各内部ブロック２２に取り付けられる一対のバネ２４のうち、液入口１６に近いバネ２４よりも、液入口１６から遠いバネ２４の方が長くなっている。 Each internal block 22 is provided with internal block positioning means for adjusting the position of the internal block 22 in the flow path 20. The internal block positioning means is composed of, for example, a pair of springs 24 provided at both ends of the back surface of the internal block 22 (the surface opposite to the surface constituting the part 22a of the wall portion of the flow path 20). . One end of each spring 24 is attached to the end of the back surface of the internal block 22, and the other end is attached to the flat plate member 12 b of the main body block 12. As shown in FIG. 4, of the pair of springs 24 attached to each internal block 22, the spring 24 far from the liquid inlet 16 is longer than the spring 24 near the liquid inlet 16.

各内部ブロック２２の両端部に、本体ブロック１２の平板部材１２ｂに取り付けられた一対のバネ２４が設けられており、この内部ブロック２２は軸２３を中心として揺動自在となっているので、内部ブロック２２に何ら力がかかっていない状態においてはこの内部ブロック２２は図４に示すような所定の位置（向き）となる。一方、流路２０に塗布液が送られて内部ブロック２２が塗布液により押圧されたときには、内部ブロック２２が軸２３を中心として揺動するとともに、一対のバネ２４により均一な力が内部ブロック２２に対して作用することとなるので、内部ブロック２２は、流路２０内の塗布液の圧力が均一となるような位置（向き）に変わる。 A pair of springs 24 attached to the flat plate member 12b of the main body block 12 are provided at both ends of each internal block 22, and the internal block 22 is swingable about the shaft 23. In a state where no force is applied to the block 22, the inner block 22 is in a predetermined position (orientation) as shown in FIG. On the other hand, when the coating liquid is sent to the flow path 20 and the internal block 22 is pressed by the coating liquid, the internal block 22 swings about the shaft 23 and a uniform force is applied by the pair of springs 24 to the internal block 22. Therefore, the internal block 22 changes to a position (orientation) at which the pressure of the coating liquid in the flow path 20 becomes uniform.

次に、このような構成からなるダイヘッド１０の動作について説明する。 Next, the operation of the die head 10 having such a configuration will be described.

ダイヘッド１０の液入口１６に塗布液を送ると、この液入口１６を介して本体ブロック１２内の流路２０に塗布液が送られる。流路２０に送られた塗布液は、図１に示すように、流路２０内において本体ブロック１２の長手方向における中央部から両端部に向かって流れることとなる。そして、この流路２０からスロット部１８に塗布液が分散して送られ、スロット部１８から本体ブロック１２の外部に塗布液が広範囲にわたって吐出される。 When the coating liquid is sent to the liquid inlet 16 of the die head 10, the coating liquid is sent to the flow path 20 in the main body block 12 through the liquid inlet 16. As shown in FIG. 1, the coating liquid sent to the flow path 20 flows from the central portion in the longitudinal direction of the main body block 12 toward both ends in the flow path 20. Then, the coating liquid is dispersed and sent from the flow path 20 to the slot portion 18, and the coating liquid is discharged from the slot portion 18 to the outside of the main body block 12 over a wide range.

上述のような動作が行われるときに、流路２０は塗布液で満たされることとなる。この際に、流路２０内の塗布液が各内部ブロック２２に力を及ぼすこととなる。ここで、各内部ブロック２２は軸２３を中心として揺動自在となっており、各内部ブロック２２の裏面における両端部には、本体ブロック１２の平板部材１２ｂに取り付けられた一対のバネ２４が設けられているので、流路２０を流れる塗布液の圧力は均一となる。すなわち、もし仮に、流路２０を流れる塗布液の圧力が不均一である場合には、この塗布液が内部ブロック２２に及ぼす力も不均一となるが、内部ブロック２２の長手方向における圧力偏差が大きくなった際には、各バネ２４がそれぞれ独立して伸縮を行うことにより、この圧力偏差をバネ２４の弾性力が吸収する。具体的には、例えば塗布液が内部ブロック２２に及ぼす力が大きい箇所ではバネ２４が縮むことにより流路２０の断面積が大きくなり、塗布液の圧力が小さくなるのでこの塗布液が内部ブロック２２に及ぼす力が小さくなる。このようにして、流路２０を流れる塗布液の圧力が不均一である場合には、内部ブロック２２に加えられる力が均一となるよう内部ブロック２２の位置が変更される。このように、例えば一対のバネ２４からなる内部ブロック位置決め手段により、流路２０を流れる塗布液の圧力を均一にするよう、流路２０内における内部ブロック２２の位置が決められることとなる。 When the operation as described above is performed, the flow path 20 is filled with the coating liquid. At this time, the coating liquid in the flow path 20 exerts a force on each internal block 22. Here, each internal block 22 is swingable about a shaft 23, and a pair of springs 24 attached to the flat plate member 12 b of the main body block 12 are provided at both ends of the back surface of each internal block 22. Therefore, the pressure of the coating liquid flowing through the flow path 20 is uniform. That is, if the pressure of the coating liquid flowing through the flow path 20 is non-uniform, the force exerted by the coating liquid on the internal block 22 is also non-uniform, but the pressure deviation in the longitudinal direction of the internal block 22 is large. When this happens, each spring 24 independently expands and contracts, so that the elastic force of the spring 24 absorbs this pressure deviation. Specifically, for example, in a portion where the force applied to the internal block 22 by the coating liquid is large, the spring 24 is contracted to increase the cross-sectional area of the flow path 20 and reduce the pressure of the coating liquid. The force exerted on is reduced. Thus, when the pressure of the coating liquid flowing through the flow path 20 is not uniform, the position of the internal block 22 is changed so that the force applied to the internal block 22 is uniform. As described above, the position of the internal block 22 in the flow path 20 is determined so that the pressure of the coating liquid flowing through the flow path 20 is made uniform by the internal block positioning means including a pair of springs 24, for example.

また、各内部ブロック２２に取り付けられる一対のバネ２４は、液入口１６に近いバネ２４よりも、液入口１６から遠いバネ２４の方が長くなっている。このため、流路２０は、本体ブロック１２の長手方向（図１の左右方向）における中央部から両端部に向かってその断面積が小さくなるような、いわゆる左右一対のテーパ形状となる。このように、本体ブロック１２内の流路２０をテーパ形状とすることにより、本体ブロック１２の長手方向における中央部から端部に向かって流れる塗布液の圧力をより一層、均一にすることができる。 The pair of springs 24 attached to each internal block 22 is longer in the spring 24 far from the liquid inlet 16 than in the spring 24 near the liquid inlet 16. For this reason, the channel 20 has a so-called pair of left and right tapered shapes in which the cross-sectional area decreases from the center to both ends in the longitudinal direction of the main body block 12 (left and right in FIG. 1). Thus, by making the flow path 20 in the main body block 12 into a tapered shape, the pressure of the coating liquid flowing from the central portion to the end portion in the longitudinal direction of the main body block 12 can be made more uniform. .

また、図１乃至図４に示すようなダイヘッド１０において、被処理物に塗布されるべき塗布液の膜厚や塗布速度を変更した場合でも、内部ブロック２２が流路２０内で移動自在となっているので、この流路２０のテーパ形状を、変更後の塗布液の膜厚や塗布速度に応じて容易に変更することができる。 Further, in the die head 10 as shown in FIGS. 1 to 4, the internal block 22 can move within the flow path 20 even when the film thickness or coating speed of the coating liquid to be applied to the object to be processed is changed. Therefore, the taper shape of the flow path 20 can be easily changed according to the changed film thickness and application speed of the application liquid.

以上のように本実施の形態のダイヘッド１０によれば、本体ブロック１２内の塗布液の流路２０には、この流路２０の壁部の一部２２ａを構成する内部ブロック２２が設けられており、この内部ブロック２２は流路２０内で移動自在となっており、さらに、例えば一対のバネ２４からなる内部ブロック位置決め手段が、本体ブロック１２内の塗布液の流路２０を流れる塗布液の圧力を均一にするよう、流路２０内における内部ブロック２２の位置を調整するようになっている。このように、内部ブロック２２およびこの内部ブロック２２の位置を調整する内部ブロック位置決め手段（例えば、一対のバネ２４）が設けられているので、流路２０を流れる塗布液の圧力を均一にすることができ、このため、スロット部１８からの塗布液の吐出量を、本体ブロック１２の長手方向において均一とすることができる。 As described above, according to the die head 10 of the present embodiment, the coating liquid flow path 20 in the main body block 12 is provided with the internal block 22 that constitutes a part 22 a of the wall portion of the flow path 20. The internal block 22 is movable in the flow path 20, and further, for example, an internal block positioning means composed of a pair of springs 24 allows the application liquid flowing in the flow path 20 of the application liquid in the main body block 12 to flow. The position of the internal block 22 in the flow path 20 is adjusted so as to make the pressure uniform. Thus, since the internal block 22 and the internal block positioning means (for example, a pair of springs 24) for adjusting the position of the internal block 22 are provided, the pressure of the coating liquid flowing through the flow path 20 is made uniform. Therefore, the discharge amount of the coating liquid from the slot portion 18 can be made uniform in the longitudinal direction of the main body block 12.

また、被処理物に塗布されるべき塗布液の膜厚や塗布速度を変更した場合でも、内部ブロック２２が流路２０内で移動自在となっているので、一対のバネ２４等の内部ブロック位置決め手段が内部ブロック２２の位置の調整を行うことにより、本体ブロック１２内の塗布液の流路２０のテーパ形状を、変更後の塗布液の膜厚や塗布速度に応じて容易に変更することができる。このため、被処理物に塗布されるべき塗布液の膜厚や塗布速度を変更した場合でも、本体ブロック１２内の塗布液の流路２０の構造の変更に手間や費用がかからない。また、内部ブロック位置決め手段が、本体ブロック１２内の塗布液の流路２０を流れる塗布液の圧力を均一にするよう、流路２０内における内部ブロック２２の位置を調整するので、新たな流路２０の構造のテーパ率が妥当であるか否かの塗工試験を行わなくてもよい。 Further, even when the film thickness or coating speed of the coating liquid to be applied to the object to be processed is changed, the internal block 22 is movable in the flow path 20, so that the internal block positioning of the pair of springs 24 and the like is performed. By adjusting the position of the internal block 22, the means can easily change the taper shape of the flow path 20 of the coating liquid in the main body block 12 according to the changed film thickness and coating speed of the coating liquid. it can. For this reason, even when the film thickness and the coating speed of the coating liquid to be applied to the object to be processed are changed, it takes no effort or cost to change the structure of the flow path 20 of the coating liquid in the main body block 12. Further, since the internal block positioning means adjusts the position of the internal block 22 in the flow path 20 so that the pressure of the coating liquid flowing in the flow path 20 of the coating liquid in the main body block 12 is uniform, a new flow path It is not necessary to perform a coating test as to whether or not the taper ratio of the 20 structure is appropriate.

なお、本実施の形態によるダイヘッド１０は、上記の態様に限定されることはなく、様々な変更を加えることができる。 Note that the die head 10 according to the present embodiment is not limited to the above aspect, and various modifications can be made.

例えば、図４に示すダイヘッド１０において、各内部ブロック２２に取り付けられる一対のバネ２４は、液入口１６に近いバネ２４よりも、液入口１６から遠いバネ２４の方が長くなっているが、一対のバネ２４の長さはこのような例に限定されることはない。他のダイヘッド１０として、各内部ブロック２２に取り付けられる一対のバネ２４の長さが同じとなっていてもよい。 For example, in the die head 10 shown in FIG. 4, the pair of springs 24 attached to each internal block 22 is longer in the spring 24 far from the liquid inlet 16 than in the spring 24 near the liquid inlet 16. The length of the spring 24 is not limited to such an example. As another die head 10, a pair of springs 24 attached to each internal block 22 may have the same length.

また、本実施の形態によるダイヘッド１０の他の例として、各内部ブロック２２を枢支する軸２３を省略してもよい。このようなダイヘッド１０でも、例えば一対のバネ２４からなる内部ブロック位置決め手段が、本体ブロック１２内の塗布液の流路２０を流れる塗布液の圧力を均一にするよう、流路２０内における内部ブロック２２の位置を調整することとなる。 Further, as another example of the die head 10 according to the present embodiment, the shaft 23 that pivotally supports each internal block 22 may be omitted. Even in such a die head 10, the internal block positioning means including, for example, a pair of springs 24, the internal block in the flow path 20 so that the pressure of the coating liquid flowing in the flow path 20 of the coating liquid in the main body block 12 is uniform. The position of 22 will be adjusted.

また、図５に、本実施の形態における他の構成のダイヘッドを示す。図５に示すダイヘッド１０ａは、各内部ブロック２２の位置を調整する内部ブロック位置決め手段として、一対のバネ２４の代わりにゴム２５等の弾性体の塊体を用いている。すなわち、図５に示すように、内部ブロック２２の裏面（流路２０の壁部の一部２２ａを構成する面とは反対側の面）には塊状のゴム２５が取り付けられており、このゴム２５は本体ブロック１２の平板部材１２ｂに取り付けられている。また、流路２０に塗布液が流れていないような状態において、本体ブロック１２の長手方向における中央部から両端部に向かって流路２０の断面積が小さくなるような位置に各内部ブロック２２が配置されるよう、ゴム２５の形状が定めされている。 FIG. 5 shows a die head having another configuration in the present embodiment. The die head 10 a shown in FIG. 5 uses a lump of elastic material such as rubber 25 instead of the pair of springs 24 as an internal block positioning means for adjusting the position of each internal block 22. That is, as shown in FIG. 5, a lump rubber 25 is attached to the back surface of the internal block 22 (the surface opposite to the surface constituting the part 22 a of the wall portion 20 of the flow path 20). Reference numeral 25 denotes a plate member 12 b of the main body block 12. Further, in a state where the coating liquid does not flow in the flow path 20, each internal block 22 is located at a position where the cross-sectional area of the flow path 20 becomes smaller from the central portion to the both ends in the longitudinal direction of the main body block 12. The shape of the rubber 25 is determined so as to be arranged.

図５に示すようなダイヘッド１０ａにおいて、液入口１６を介して本体ブロック１２内の塗布液の流路２０に塗布液が流入すると、流路２０は塗布液で満たされることとなる。この際に、流路２０内の塗布液が各内部ブロック２２に力を及ぼすこととなる。ここで、各内部ブロック２２の裏面には、本体ブロック１２の平板部材１２ｂに取り付けられた塊状のゴム２５が設けられているので、流路２０を流れる塗布液の圧力は均一となる。すなわち、もし仮に、流路２０を流れる塗布液の圧力が不均一である場合には、この塗布液が内部ブロック２２に及ぼす力も不均一となるが、内部ブロック２２の長手方向における圧力偏差が大きくなった際には、ゴム２５が弾性変形を行うことにより、この圧力偏差をゴム２５の弾性力が吸収する。具体的には、例えば塗布液が内部ブロック２２に及ぼす力が大きい箇所ではゴム２５が縮むことにより流路２０の断面積が大きくなり、塗布液の圧力が小さくなるのでこの塗布液が内部ブロック２２に及ぼす力が小さくなる。このようにして、流路２０を流れる塗布液の圧力が不均一である場合には、内部ブロック２２に加えられる力が均一となるよう内部ブロック２２の位置が変更される。このように、図５に示すようなゴム２５からなる内部ブロック位置決め手段でも、流路２０を流れる塗布液の圧力を均一にするよう、流路２０内における内部ブロック２２の位置が決められることとなる。 In the die head 10a as shown in FIG. 5, when the coating liquid flows into the coating liquid flow path 20 in the main body block 12 via the liquid inlet 16, the flow path 20 is filled with the coating liquid. At this time, the coating liquid in the flow path 20 exerts a force on each internal block 22. Here, the back surface of each internal block 22 is provided with a massive rubber 25 attached to the flat plate member 12b of the main body block 12, so that the pressure of the coating liquid flowing through the flow path 20 becomes uniform. That is, if the pressure of the coating liquid flowing through the flow path 20 is non-uniform, the force exerted by the coating liquid on the internal block 22 is also non-uniform, but the pressure deviation in the longitudinal direction of the internal block 22 is large. When this happens, the elastic deformation of the rubber 25 causes the pressure deviation to be absorbed by the elastic force of the rubber 25. Specifically, for example, at a location where the force applied to the internal block 22 by the coating liquid is large, the rubber 25 contracts, thereby increasing the cross-sectional area of the flow path 20 and reducing the pressure of the coating liquid. The force exerted on is reduced. Thus, when the pressure of the coating liquid flowing through the flow path 20 is not uniform, the position of the internal block 22 is changed so that the force applied to the internal block 22 is uniform. Thus, even with the internal block positioning means made of rubber 25 as shown in FIG. 5, the position of the internal block 22 in the flow path 20 can be determined so that the pressure of the coating liquid flowing through the flow path 20 is uniform. Become.

また、図６および図７に、本実施の形態における更に他の構成のダイヘッドを示す。図６は、本実施の形態におけるダイヘッドの更に他の構成の概略を示す概略構成図であり、図７は、図６に示すダイヘッドのＤ−Ｄライン矢視による側断面図である。なお、図６および図７において、矢印は塗布液の流れる方向を示している。 6 and 7 show a die head of still another configuration in the present embodiment. FIG. 6 is a schematic configuration diagram showing an outline of still another configuration of the die head in the present embodiment, and FIG. 7 is a side sectional view of the die head shown in FIG. In FIGS. 6 and 7, the arrow indicates the direction in which the coating liquid flows.

図６および図７に示すダイヘッド１０ｂは、図１乃至図４に示すダイヘッド１０と比較して、液入口１７が本体ブロック１２の長手方向における中央部ではなく一方の端部に設けられた点が異なるのみであり、他の構成は図１乃至図４に示すダイヘッド１０と実質的に同一となっている。 The die head 10b shown in FIGS. 6 and 7 is different from the die head 10 shown in FIGS. 1 to 4 in that the liquid inlet 17 is provided at one end instead of the central portion in the longitudinal direction of the main body block 12. The only difference is the other configuration, which is substantially the same as that of the die head 10 shown in FIGS.

図６および図７に示すダイヘッド１０ｂにおいて、前述のように、本体ブロック１２の内部の流路２０に塗布液を流入させるための液入口１７は、本体ブロック１２の長手方向における一方の端部（具体的には、図６等における左側の端部）に設けられている。そして、この液入口１７を介して流路２０に流入した塗布液は、図６の左側から右側に向かって流路２０を流れるようになっている。 In the die head 10 b shown in FIGS. 6 and 7, as described above, the liquid inlet 17 for allowing the coating liquid to flow into the flow path 20 inside the main body block 12 has one end (in the longitudinal direction of the main body block 12 ( Specifically, it is provided at the left end in FIG. The coating liquid flowing into the flow path 20 through the liquid inlet 17 flows through the flow path 20 from the left side to the right side in FIG.

また、図７に示すように、流路２０を画定する壁部の一部２２ａを構成する内部ブロック２２の数は１つとなっており、この内部ブロック２２は、流路２０内において本体ブロック１２の長手方向における一方の端部（左側の端部）の近傍から他方の端部（右側の端部）の近傍まで延びるよう設けられている。 Further, as shown in FIG. 7, the number of the internal blocks 22 constituting the part 22 a of the wall portion that defines the flow path 20 is one, and the internal block 22 is the main body block 12 in the flow path 20. Is provided so as to extend from the vicinity of one end (left end) in the longitudinal direction to the vicinity of the other end (right end).

また、内部ブロック２２の長手方向における中央部には軸２３が設けられており、内部ブロック２２はこの軸２３を中心として図７の矢印に示すように揺動自在となっている。なお、内部ブロック２２の中央部に設けられた軸２３は本体ブロック１２に固定されている。そして、各内部ブロック２２には、流路２０内における内部ブロック２２の位置を調整する内部ブロック位置決め手段が設けられている。内部ブロック位置決め手段は、例えば内部ブロック２２の裏面（流路２０の壁部の一部２２ａを構成する面とは反対側の面）の両端部に設けられた一対のバネ２４から構成されている。各バネ２４は、その一端が内部ブロック２２の裏面の端部に取り付けられており、その他端は本体ブロック１２の平板部材１２ｂに取り付けられている。また、図７に示すように、各内部ブロック２２に取り付けられる一対のバネ２４のうち、液入口１７に近いバネ２４よりも、液入口１７から遠いバネ２４の方が長くなっている。 In addition, a shaft 23 is provided at the center of the inner block 22 in the longitudinal direction, and the inner block 22 is swingable about the shaft 23 as shown by an arrow in FIG. A shaft 23 provided at the center of the internal block 22 is fixed to the main body block 12. Each internal block 22 is provided with internal block positioning means for adjusting the position of the internal block 22 in the flow path 20. The internal block positioning means is composed of, for example, a pair of springs 24 provided at both ends of the back surface of the internal block 22 (the surface opposite to the surface constituting the part 22a of the wall portion of the flow path 20). . One end of each spring 24 is attached to the end of the back surface of the internal block 22, and the other end is attached to the flat plate member 12 b of the main body block 12. As shown in FIG. 7, of the pair of springs 24 attached to each internal block 22, the spring 24 far from the liquid inlet 17 is longer than the spring 24 near the liquid inlet 17.

次に、図６および図７に示されるダイヘッド１０ｂの動作について説明する。 Next, the operation of the die head 10b shown in FIGS. 6 and 7 will be described.

ダイヘッド１０ｂの液入口１７に塗布液を送ると、この液入口１７を介して本体ブロック１２内の流路２０に塗布液が送られる。流路２０に送られた塗布液は、図６に示すように、流路２０内において本体ブロック１２の長手方向における左側から右側に向かって流れることとなる。そして、この流路２０からスロット部１８に塗布液が分散して送られ、スロット部１８から本体ブロック１２の外部に塗布液が広範囲にわたって吐出される。 When the coating liquid is sent to the liquid inlet 17 of the die head 10 b, the coating liquid is sent to the flow path 20 in the main body block 12 through the liquid inlet 17. As shown in FIG. 6, the coating liquid sent to the flow path 20 flows from the left side to the right side in the longitudinal direction of the main body block 12 in the flow path 20. Then, the coating liquid is dispersed and sent from the flow path 20 to the slot portion 18, and the coating liquid is discharged from the slot portion 18 to the outside of the main body block 12 over a wide range.

上述のような動作が行われるときに、流路２０は塗布液で満たされることとなる。この際に、流路２０内の塗布液が各内部ブロック２２に力を及ぼすこととなる。ここで、内部ブロック２２は軸２３を中心として揺動自在となっており、この内部ブロック２２の裏面における両端部には、本体ブロック１２の平板部材１２ｂに取り付けられた一対のバネ２４が設けられているので、流路２０を流れる塗布液の圧力は均一となる。すなわち、もし仮に、流路２０を流れる塗布液の圧力が不均一である場合には、この塗布液が内部ブロック２２に及ぼす力も不均一となるが、内部ブロック２２の長手方向における圧力偏差が大きくなった際には、各バネ２４がそれぞれ独立して伸縮を行うことにより、この圧力偏差をバネ２４の弾性力が吸収する。具体的には、例えば塗布液が内部ブロック２２に及ぼす力が大きい箇所ではバネ２４が縮むことにより流路２０の断面積が大きくなり、塗布液の圧力が小さくなるのでこの塗布液が内部ブロック２２に及ぼす力が小さくなる。このようにして、流路２０を流れる塗布液の圧力が不均一である場合には、内部ブロック２２に加えられる力が均一となるよう内部ブロック２２の位置が変更される。このように、例えば一対のバネ２４からなる内部ブロック位置決め手段により、流路２０を流れる塗布液の圧力を均一にするよう、流路２０内における内部ブロック２２の位置が決められることとなる。 When the operation as described above is performed, the flow path 20 is filled with the coating liquid. At this time, the coating liquid in the flow path 20 exerts a force on each internal block 22. Here, the inner block 22 is swingable about a shaft 23, and a pair of springs 24 attached to the flat plate member 12 b of the main body block 12 are provided at both ends of the back surface of the inner block 22. Therefore, the pressure of the coating liquid flowing through the flow path 20 becomes uniform. That is, if the pressure of the coating liquid flowing through the flow path 20 is non-uniform, the force exerted by the coating liquid on the internal block 22 is also non-uniform, but the pressure deviation in the longitudinal direction of the internal block 22 is large. When this happens, each spring 24 independently expands and contracts, so that the elastic force of the spring 24 absorbs this pressure deviation. Specifically, for example, in a portion where the force applied to the internal block 22 by the coating liquid is large, the spring 24 is contracted to increase the cross-sectional area of the flow path 20 and reduce the pressure of the coating liquid. The force exerted on is reduced. Thus, when the pressure of the coating liquid flowing through the flow path 20 is not uniform, the position of the internal block 22 is changed so that the force applied to the internal block 22 is uniform. As described above, the position of the internal block 22 in the flow path 20 is determined so that the pressure of the coating liquid flowing through the flow path 20 is made uniform by the internal block positioning means including a pair of springs 24, for example.

また、内部ブロック２２に取り付けられる一対のバネ２４は、液入口１７に近いバネ２４よりも、液入口１７から遠いバネ２４の方が長くなっている。このため、流路２０は、本体ブロック１２の左側から右側に向かってその断面積が小さくなるような、いわゆるテーパ形状となる。このように、本体ブロック１２内の流路２０をテーパ形状とすることにより、本体ブロック１２の長手方向における左側から右側に流れる塗布液の圧力をより一層、均一にすることができる。 The pair of springs 24 attached to the internal block 22 are longer in the spring 24 far from the liquid inlet 17 than in the spring 24 near the liquid inlet 17. For this reason, the channel 20 has a so-called taper shape in which the cross-sectional area decreases from the left side to the right side of the main body block 12. Thus, by making the flow path 20 in the main body block 12 into a tapered shape, the pressure of the coating liquid flowing from the left side to the right side in the longitudinal direction of the main body block 12 can be made more uniform.

また、図６および図７に示すようなダイヘッド１０ｂにおいて、被処理物に塗布されるべき塗布液の膜厚や塗布速度を変更した場合でも、内部ブロック２２が流路２０内で移動自在となっているので、この流路２０のテーパ形状を、変更後の塗布液の膜厚や塗布速度に応じて容易に変更することができる。 Further, in the die head 10b as shown in FIGS. 6 and 7, even when the film thickness or coating speed of the coating liquid to be applied to the object to be processed is changed, the internal block 22 is movable in the flow path 20. Therefore, the taper shape of the flow path 20 can be easily changed according to the changed film thickness and application speed of the application liquid.

１０、１０ａ、１０ｂダイヘッド
１２本体ブロック
１２ａ、１２ｂ平板部材
１６液入口
１７液入口
１８スロット部
２０塗布液の流路
２２内部ブロック
２２ａ流路を画定する壁部の一部
２３軸
２４バネ
２５塊状のゴム
５０ダイヘッド
５２本体ブロック
５６液入口
５８スロット部
６０塗布液の流路 10, 10a, 10b Die head 12 Main body block 12a, 12b Flat plate member 16 Liquid inlet 17 Liquid inlet 18 Slot part 20 Coating liquid flow path 22 Internal block 22a Part of wall part defining flow path 23 Shaft 24 Spring 25 Mass Rubber 50 Die head 52 Main body block 56 Liquid inlet 58 Slot part 60 Flow path of coating liquid

Claims

A die head for applying a coating liquid to an object to be processed,
A main body block having a flow path for the coating liquid therein;
Provided to communicate with the flow path of the coating liquid in the main body block, and a liquid inlet for allowing the coating liquid to flow into the flow path;
A slot that is provided to communicate with the flow path of the coating liquid in the main body block, and discharges the coating liquid from the flow path to the outside of the main body block;
An internal block provided in a flow path of the coating liquid in the main body block and constituting a part of a wall portion defining the flow path, the internal block being movable in the flow path; ,
An internal block positioning means for adjusting the position of the internal block in the flow path so as to make the pressure of the coating liquid flowing through the flow path of the coating liquid in the main body block uniform;
With
The main body block has an elongated shape, and the flow path of the coating liquid in the main body block is provided so as to extend along the longitudinal direction of the main body block, and the slot portion and the inner block are in the main body block. Provided to extend along the longitudinal direction of the flow path of the coating liquid,
The die head is characterized in that the liquid inlet is provided at a central portion in the longitudinal direction of the main body block, and the inner block is provided on both sides of the liquid inlet in the longitudinal direction of the main body block.

A die head for applying a coating liquid to an object to be processed,
A main body block having a flow path for the coating liquid therein;
Provided to communicate with the flow path of the coating liquid in the main body block, and a liquid inlet for allowing the coating liquid to flow into the flow path;
A slot that is provided to communicate with the flow path of the coating liquid in the main body block, and discharges the coating liquid from the flow path to the outside of the main body block;
An internal block provided in a flow path of the coating liquid in the main body block and constituting a part of a wall portion defining the flow path, the internal block being movable in the flow path; ,
An internal block positioning means for adjusting the position of the internal block in the flow path so as to make the pressure of the coating liquid flowing through the flow path of the coating liquid in the main body block uniform;
With
The inner block is provided with a shaft fixed to the main body block, and the inner block is swingable about the shaft.

A die head for applying a coating liquid to an object to be processed,
A main body block having a flow path for the coating liquid therein;
Provided to communicate with the flow path of the coating liquid in the main body block, and a liquid inlet for allowing the coating liquid to flow into the flow path;
A slot that is provided to communicate with the flow path of the coating liquid in the main body block, and discharges the coating liquid from the flow path to the outside of the main body block;
An internal block provided in a flow path of the coating liquid in the main body block and constituting a part of a wall portion defining the flow path, the internal block being movable in the flow path; ,
An internal block positioning means for adjusting the position of the internal block in the flow path so as to make the pressure of the coating liquid flowing through the flow path of the coating liquid in the main body block uniform;
With
The die head according to claim 1, wherein the inner block positioning means is an elastic body.

The die head according to claim 3, wherein the elastic body is a spring.

The die head according to claim 3, wherein the elastic body is rubber.

The main body block is configured by overlapping and joining a pair of flat plate members, and the slot portion is formed by a gap between the pair of flat plate members. The die head according to claim 1, wherein at least one flat plate member is provided with a recess that constitutes a flow path for the coating liquid.