JP5530091B2 - Resin composition for electronic materials - Google Patents

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本発明は、電子材料用樹脂組成物に関する。より詳細には、非ハロゲン含有難燃剤であるホスファゼン難燃剤を含む樹脂組成物であって、特に、回路基板の回路保護用フィルムに適する樹脂組成物に関する。   The present invention relates to a resin composition for electronic materials. More specifically, the present invention relates to a resin composition containing a phosphazene flame retardant which is a non-halogen-containing flame retardant, and particularly relates to a resin composition suitable for a circuit protection film for a circuit board.

従来からフレキシブルプリント基板の分野では、回路面を保護するために所謂「カバーレイフィルム」を使用している。カバーレイフィルムとは、ポリイミドフィルムに可とう性を有する熱硬化性接着剤を塗布したものである。保護されている回路に部品を実装する際には、カバーレイフィルムに金型加工などで小さな孔を開け、孔を通して部品を実装する。近年の実装部品の小型化に伴い、カバーレイフィルムと、所謂「ソルダーレジスト」とが併用される場合が増えている。ソルダーレジストは、アクリル系のインク状またはフィルム状の材料であり、光でパターニングされる。   Conventionally, in the field of flexible printed circuit boards, so-called “coverlay films” have been used to protect circuit surfaces. The cover lay film is obtained by applying a thermosetting adhesive having flexibility to a polyimide film. When mounting a component on a protected circuit, a small hole is made in the coverlay film by mold processing and the component is mounted through the hole. Along with the recent miniaturization of mounted components, cases where a coverlay film and a so-called “solder resist” are used in combination are increasing. The solder resist is an acrylic ink-like or film-like material and is patterned with light.

しかしながら、カバーレイフィルムとソルダーレジストという2種の材料を併用すると、プロセスが煩雑化し、プロセスコストがかさむ弊害がある。そこでカバーレイフィルムとソルダーレジストの両方の機能を併せ持った「感光性カバーレイ」と称される材料が近年精力的に開発されている。   However, when two types of materials, ie, a coverlay film and a solder resist, are used in combination, the process becomes complicated and the process cost is increased. Accordingly, a material called “photosensitive coverlay” having both functions of a coverlay film and a solder resist has been vigorously developed in recent years.

一方、フレキシブルプリント基板は、携帯電話等の電子機器に用いられるものであることから、安全性の観点から高い難燃性を求められる。具体的には、安全の国際的標準であるUL94規格(Underwriters Laboratories社)で、V-0もしくはV-1(薄いフィルムの場合はVTM-0もしくはVTM-1)であることが求められる。感光性カバーレイにも、同様の難燃性が求められる。   On the other hand, since the flexible printed circuit board is used for electronic devices such as mobile phones, high flame resistance is required from the viewpoint of safety. Specifically, it is required to be V-0 or V-1 (VTM-0 or VTM-1 in the case of a thin film) according to UL94 standard (Underwriters Laboratories) which is an international safety standard. The same flame retardancy is also required for the photosensitive coverlay.

UL94規格で求められる高い難燃性を満たすため、従来のプリント基板材料にはハロゲン系難燃剤が多用されてきた。しかし近年の化学物質の安全性や環境影響性に対する関心から、世界的にハロゲンフリーの材料を採用する気運が高まっている。ハロゲン系難燃剤に代わる代表的な難燃剤として、リン系難燃剤が挙げられる。しかしながらリン系難燃剤であるリン酸エステル等は、その吸湿性などのために、プリント基板材料のポリマーに配合された際に、著しく特性が劣化することが知られている。   In order to satisfy the high flame retardancy required by the UL94 standard, halogen-based flame retardants have been frequently used in conventional printed circuit board materials. However, due to recent interest in the safety and environmental impact of chemical substances, there is a growing trend to adopt halogen-free materials worldwide. As a typical flame retardant that replaces the halogen flame retardant, a phosphorus flame retardant may be mentioned. However, it is known that the properties of phosphoric acid esters and the like, which are phosphorus-based flame retardants, are significantly deteriorated when blended with a polymer of a printed circuit board material because of their hygroscopicity.

同じくリン系難燃剤として、近年、ホスファゼン系難燃剤が注目されている。感光性ソルダーレジストや感光性カバーレイ用途においても、アクリル系化合物にホスファゼン系難燃剤を添加する技術が公開されている(特許文献1、2を参照)。また、ポリイミドとアクリル系化合物の混合物にホスファゼン系難燃剤を添加する技術が公開されている(特許文献3、4を参照)。   Similarly, in recent years, phosphazene flame retardants have attracted attention as phosphorus flame retardants. The technique of adding a phosphazene-based flame retardant to an acrylic compound has also been disclosed for use in photosensitive solder resist and photosensitive coverlay (see Patent Documents 1 and 2). In addition, a technique for adding a phosphazene flame retardant to a mixture of polyimide and an acrylic compound has been disclosed (see Patent Documents 3 and 4).

しかしながらこれらの技術では、添加したホスファゼン系難燃剤が、アクリル系化合物やポリイミド・アクリル系化合物に混合されているだけであるため、プリント基板の加工プロセスやその後の信頼性試験等の際に表面に遊離して、いわゆる「ブリードアウト」を生じさせることが問題となっている。   However, in these technologies, the added phosphazene-based flame retardant is only mixed with an acrylic compound or a polyimide / acrylic compound. It is a problem to liberate and cause so-called “bleed out”.

「ブリードアウト」のような樹脂マトリクスと難燃剤との相分離による問題を克服するためには、樹脂マトリクスと難燃剤とを反応させて、不動化させる手法が有効である。そこで不飽和結合を有する重合反応性の官能基などをもつ、いわゆる「反応型ホスファゼン系難燃剤」を使用する技術が近年検討されている(特許文献5を参照)。
特開2001−75270号公報 特開2002−40633号公報 特開2003−177515号公報 特開2005−047995号公報 特開2003−302751号公報
In order to overcome the problem caused by the phase separation between the resin matrix and the flame retardant, such as “bleed out”, a method of reacting the resin matrix with the flame retardant and immobilizing it is effective. Therefore, a technique using a so-called “reactive phosphazene-based flame retardant” having a polymerizable reactive functional group having an unsaturated bond has recently been studied (see Patent Document 5).
JP 2001-75270 A JP 2002-40633 A JP 2003-177515 A JP 2005-047995 A JP 2003-302751 A

しかしながら、これら「反応型ホスファゼン系難燃剤」は、不飽和結合を有する重合反応性の官能基であるアクリロイル基やメタクリロイル基などを有することから、分子中のリン濃度が低い。リン濃度の低下は、難燃性を低下させる。またこれら反応性官能基は、容易に燃焼反応してしまうため、難燃性の低下をもたらす。その結果、UL94規格を満たす高い難燃性を樹脂組成物に付与するためには、多量の難燃剤を添加する必要がある。そのため、マトリクス樹脂が難燃剤により希釈されて、マトリクス樹脂本来の特性が著しく損なわれる。   However, since these “reactive phosphazene flame retardants” have an acryloyl group, a methacryloyl group, or the like which is a polymerizable reactive functional group having an unsaturated bond, the phosphorus concentration in the molecule is low. A decrease in phosphorus concentration reduces flame retardancy. In addition, these reactive functional groups easily undergo a combustion reaction, resulting in a reduction in flame retardancy. As a result, it is necessary to add a large amount of flame retardant in order to impart high flame retardancy satisfying the UL94 standard to the resin composition. Therefore, the matrix resin is diluted with the flame retardant, and the original properties of the matrix resin are significantly impaired.

そこで発明者らは鋭意検討の結果、樹脂組成物の難燃剤として、特定のフェノキシホスファゼン化合物を使用することにより、これらの問題を解決するに至った。   Therefore, as a result of intensive studies, the inventors have solved these problems by using a specific phenoxyphosphazene compound as a flame retardant for a resin composition.

本発明の第一は、以下に示す電子材料用樹脂組成物に関する。
[1] (A)フェノキシホスファゼン難燃剤、および(B)光重合可能な不飽和二重結合を有する化合物を含む電子材料用樹脂組成物であって、前記(A)フェノキシホスファゼン難燃剤の融解温度が100℃以下であり、かつその分子1個あたりの不飽和結合を有する官能基の数の平均が0.1個以下である、電子材料用樹脂組成物。
[2] (A)フェノキシホスファゼン難燃剤、および(B)光重合可能な不飽和二重結合を有する化合物を含む電子材料用樹脂組成物であって、前記(A)フェノキシホスファゼン難燃剤が、一般式(1)で表される化合物である電子材料用樹脂組成物。
The first of the present invention relates to the following resin composition for electronic materials.
[1] A resin composition for electronic materials comprising (A) a phenoxyphosphazene flame retardant and (B) a compound having a photopolymerizable unsaturated double bond, the melting temperature of the (A) phenoxyphosphazene flame retardant Is a resin composition for electronic materials, wherein the average number of functional groups having an unsaturated bond per molecule is 0.1 or less.
[2] A resin composition for electronic materials comprising (A) a phenoxyphosphazene flame retardant and (B) a compound having a photopolymerizable unsaturated double bond, wherein the (A) phenoxyphosphazene flame retardant is The resin composition for electronic materials which is a compound represented by Formula (1).

Figure 0005530091
(RとRは、互いに同一であっても異なっていてもよく、また繰り返し単位ごとに異なっていてもよいが、水素、メチル基、エチル基、メトキシ基およびエトキシ基からなる群から選択され、一分子中に1つ以上の水素以外の基を含み;nは3以上の整数であり、各ベンゼン環は、2つ以上の置換基RまたはRを有していてもよい)
Figure 0005530091
(R 1 and R 2 may be the same or different from each other, and may be different for each repeating unit, but are selected from the group consisting of hydrogen, methyl group, ethyl group, methoxy group and ethoxy group. And one or more groups other than hydrogen are contained in one molecule; n is an integer of 3 or more, and each benzene ring may have two or more substituents R 1 or R 2 )

[3] [1]または[2]に記載の電子材料用樹脂組成物であって、(C)ポリアミド酸、(C’)アルカリ可溶性樹脂、および(C’’)エポキシ樹脂からなる群より選ばれる少なくとも1種の樹脂をさらに含む、電子材料用樹脂組成物。   [3] The resin composition for electronic materials according to [1] or [2], which is selected from the group consisting of (C) polyamic acid, (C ′) alkali-soluble resin, and (C ″) an epoxy resin. A resin composition for electronic materials, further comprising at least one kind of resin.

本発明の第二は、以下に示す電子回路基板などに関する。
[4] [1]〜[3]のいずれかに記載の電子材料用樹脂組成物を用いて得られる電子回路基板。
[5] [1]〜[3]のいずれかに記載の電子材料用樹脂組成物を含んでなるドライフィルムにより形成された樹脂膜を有する電子回路基板。
[6] プリント基板である、[4]または[5]に記載の電子回路基板。
[7] [4]〜[6]のいずれかに記載の電子回路基板を備えてなる電子電気機器。
The second of the present invention relates to the following electronic circuit board and the like.
[4] An electronic circuit board obtained by using the resin composition for electronic materials according to any one of [1] to [3].
[5] An electronic circuit board having a resin film formed of a dry film comprising the resin composition for electronic materials according to any one of [1] to [3].
[6] The electronic circuit board according to [4] or [5], which is a printed board.
[7] An electronic / electric apparatus comprising the electronic circuit board according to any one of [4] to [6].

本発明の樹脂組成物で使用される難燃剤は、マトリックス樹脂との相溶性が大きく向上されているので、所謂「添加型」の難燃剤であるにも係わらず、本発明の樹脂組成物は、少なくともプリント基板材料としての一般的な使用においては、樹脂マトリクスと難燃剤との相分離による問題(ブリードアウトなど)を生じさせない。
そして、本発明の樹脂組成物で使用される難燃剤は、難燃性を低下させる不飽和結合を有する官能基を実質的に有しないので、難燃性が十分に高い。そのため、本発明の樹脂組成物に多量の難燃剤を添加する必要がない。その結果、優れた特性をもつプリント基板材料が得られ、特に感光性カバーレイの提供が可能となる。
Since the flame retardant used in the resin composition of the present invention is greatly improved in compatibility with the matrix resin, the resin composition of the present invention is a so-called “addition type” flame retardant. At least in general use as a printed circuit board material, problems (bleed out, etc.) due to phase separation between the resin matrix and the flame retardant are not caused.
And since the flame retardant used with the resin composition of this invention does not have the functional group which has the unsaturated bond which reduces a flame retardance substantially, a flame retardance is high enough. Therefore, it is not necessary to add a large amount of flame retardant to the resin composition of the present invention. As a result, a printed circuit board material having excellent characteristics can be obtained, and in particular, a photosensitive coverlay can be provided.

感光性カバーレイに求められる特性には、露光・現像によるパターニング性に加えて、耐屈曲性(耐ハゼ折性)、耐反り性、絶縁信頼性が含まれる。本発明の樹脂組成物は、これらの優れた特性を有するだけでなく、添加型の難燃剤を使用する際に問題となりうる項目、例えばハンダリフローの際のリフローボードの汚染や、耐マイグレーション試験時の難燃剤の析出などの問題も抑制される。   The characteristics required for the photosensitive coverlay include bending resistance (strip fold resistance), warpage resistance, and insulation reliability in addition to patterning properties by exposure and development. The resin composition of the present invention not only has these excellent characteristics, but can also cause problems when using additive-type flame retardants, such as contamination of the reflow board during solder reflow and migration resistance tests. Problems such as precipitation of flame retardants are also suppressed.

1.本発明の樹脂組成物
本発明の樹脂組成物には、(A)フェノキシホスファゼン難燃剤、および(B)光重合可能な不飽和二重結合を有する化合物が含まれる。
1. Resin Composition of the Present Invention The resin composition of the present invention includes (A) a phenoxyphosphazene flame retardant, and (B) a compound having a photopolymerizable unsaturated double bond.

(A)フェノキシホスファゼン難燃剤は、単独または2種以上のフェノキシホスファゼン化合物からなる。フェノキシホスファゼン化合物は、一般式(1)で表され得る。一般式(1)におけるRとRは、互いに同一であっても異なっていてもよく、また繰り返し単位ごとに異なっていてもよい。また、nは3以上の整数である。 (A) The phenoxyphosphazene flame retardant is composed of one or more phenoxyphosphazene compounds. The phenoxyphosphazene compound can be represented by the general formula (1). R 1 and R 2 in the general formula (1) may be the same or different from each other, and may be different for each repeating unit. N is an integer of 3 or more.

Figure 0005530091
Figure 0005530091

一般式(1)で表されるフェノキシホスファゼン化合物は環状化合物であるが、(A)フェノキシホスファゼン難燃剤には、一般式(2)で表される鎖状のフェノキシホスファゼン化合物が混合されていてもよい。環状化合物だけであっても、鎖状化合物との混合物であっても、難燃剤として使用することができる。   Although the phenoxyphosphazene compound represented by the general formula (1) is a cyclic compound, the chain phenoxyphosphazene compound represented by the general formula (2) may be mixed with the (A) phenoxyphosphazene flame retardant. Good. Even if it is only a cyclic compound or a mixture with a chain compound, it can be used as a flame retardant.

一般式(2)におけるRとRは、同一であっても異なっていてもよく、また繰り返し単位ごとに異なっていてもよい。nは3以上の整数である。各ベンゼン環は、2つ以上の置換基RまたはRを有していてもよい。

Figure 0005530091
R 1 and R 2 in the general formula (2) may be the same or different, and may be different for each repeating unit. n is an integer of 3 or more. Each benzene ring may have two or more substituents R 1 or R 2 .
Figure 0005530091

フェノキシホスファゼン化合物の具体例には、ヘキサ(フェノキシ)シクロトリホスファゼン類(例えばCASNo.53051−41−5)などが含まれる。   Specific examples of the phenoxyphosphazene compound include hexa (phenoxy) cyclotriphosphazenes (for example, CAS No. 53051-41-5) and the like.

フェノキシホスファゼン化合物のフェノキシ部のベンゼン環に置換基(例えば、一般式(1)および一般式(2)における置換基RとR)を導入すると、結晶性や極性が変化し、化合物の結晶性、溶解性や相溶性、耐熱分解性、難燃性が変化する。 When substituents (for example, the substituents R 1 and R 2 in the general formula (1) and the general formula (2)) are introduced into the benzene ring of the phenoxy part of the phenoxyphosphazene compound, the crystallinity and polarity change, and the crystal of the compound , Solubility, compatibility, thermal decomposition resistance, and flame retardancy change.

例えば、フェノキシ部のベンゼン環に、炭素原子を主に含む不飽和結合を有する官能基(例えばアクリロイル基、メタクリロイル基)が導入されると、難燃性が低下するため難燃剤として好ましくない。   For example, when a functional group having an unsaturated bond mainly containing a carbon atom (for example, an acryloyl group or a methacryloyl group) is introduced into the benzene ring of the phenoxy part, the flame retardancy is lowered, which is not preferable as a flame retardant.

そこで本発明で使用する(A)フェノキシホスファゼン難燃剤は、不飽和結合を有する官能基を実質的に含まないフェノキシホスファゼン化合物であることが好ましい。実質的に含まないとは、1分子中に含まれる不飽和結合を有する官能基の数の平均が0.1以下であることをいう。   Therefore, the (A) phenoxyphosphazene flame retardant used in the present invention is preferably a phenoxyphosphazene compound which does not substantially contain a functional group having an unsaturated bond. “Substantially free” means that the average number of functional groups having an unsaturated bond contained in one molecule is 0.1 or less.

(A)難燃剤中の不飽和結合を有する官能基の有無は、難燃剤の赤外線吸収スペクトルから判断することができる。つまり、不飽和結合の吸収、たとえば波数810cm−1付近にピークをもつ吸収などがある場合は、不飽和結合を有すると判断することができる。不飽和結合を有する官能基を有する既知の試料を標準試料として、吸収強度から、不飽和結合の定量を行うことも可能である。したがって、難燃剤の単位量あたりの不飽和結合を有する官能基数を求めることができる。
一方、難燃剤の単位量あたりの分子数は、NMRスペクトル、原子吸光分析などでリン原子の定量を行ったり、その他の測定を組み合わせたりすることで推測することができる。そのため、1分子中に含まれる不飽和結合を有する官能基の数を求めることができる。
(A) The presence or absence of a functional group having an unsaturated bond in the flame retardant can be determined from the infrared absorption spectrum of the flame retardant. That is, when there is absorption of unsaturated bonds, for example, absorption having a peak in the vicinity of a wave number of 810 cm −1 , it can be determined that it has unsaturated bonds. It is also possible to determine the unsaturated bond from the absorption intensity using a known sample having a functional group having an unsaturated bond as a standard sample. Therefore, the number of functional groups having an unsaturated bond per unit amount of the flame retardant can be determined.
On the other hand, the number of molecules per unit amount of the flame retardant can be estimated by quantifying phosphorus atoms by NMR spectrum, atomic absorption analysis or the like, or by combining other measurements. Therefore, the number of functional groups having an unsaturated bond contained in one molecule can be determined.

また、フェノキシホスファゼン化合物に結晶性を高める官能基、例えばシアノ基等が導入されると、樹脂との相溶性が低下するため好ましくない。樹脂との相溶性が低下すると、樹脂中で顕著な相分離が生じ、所望の樹脂物性を得ることができない。
フェノキシホスファゼン化合物の結晶性の程度は、融解温度を指標として判断されうる。つまり、融解温度を参照して、フェノキシホスファゼン化合物に導入する官能基を選択することができる。例えば、融解温度が100℃を超える化合物の結晶性は特に高いといえるので、融解温度が100℃以下、特に室温である25℃付近で液状となるように官能基を選択することが好ましい。
In addition, when a functional group that enhances crystallinity, such as a cyano group, is introduced into the phenoxyphosphazene compound, compatibility with the resin decreases, which is not preferable. When the compatibility with the resin is lowered, remarkable phase separation occurs in the resin, and desired resin physical properties cannot be obtained.
The degree of crystallinity of the phenoxyphosphazene compound can be determined using the melting temperature as an index. That is, the functional group introduced into the phenoxyphosphazene compound can be selected with reference to the melting temperature. For example, since it can be said that the crystallinity of a compound having a melting temperature exceeding 100 ° C. is particularly high, it is preferable to select the functional group so that the melting temperature becomes 100 ° C. or less, particularly, around 25 ° C. which is room temperature.

フェノキシホスファゼン化合物の融解温度は、一般に示差走査熱量測定(DSC)等で測定することができる。一方で、フェノキシホスファゼン化合物は、特異な熱的物性をもち、化合物の生成条件によっては融解温度の測定が難しいことがある。例えば、一般に環状フェノキシホスファゼン化合物を一旦高温下で融解状態にした後、急冷した場合は、結晶化を起こさずにガラス状態となる。そのため明確な融解点が得られない。そこで、融解後に徐冷(例えば、1分間あたりの降温速度を10℃以下とする)して、化合物本来の結晶による融解温度を測定することが好ましい。   The melting temperature of the phenoxyphosphazene compound can be generally measured by differential scanning calorimetry (DSC) or the like. On the other hand, phenoxyphosphazene compounds have unique thermal properties, and it may be difficult to measure the melting temperature depending on the production conditions of the compounds. For example, in general, when a cyclic phenoxyphosphazene compound is once melted at a high temperature and then rapidly cooled, it becomes a glass state without causing crystallization. Therefore, a clear melting point cannot be obtained. Therefore, it is preferable to measure the melting temperature due to the original crystal of the compound by gradually cooling after melting (for example, the rate of temperature decrease per minute is 10 ° C. or less).

また、フェノキシホスファゼン化合物に、不飽和結合を有する官能基でない官能基(例えば、長鎖アルキル基のような耐熱分解性の低い官能基)が導入された場合でも熱分解温度が低下することがある。熱分解温度の低下は、最終的に電子材料として使用される際の耐熱性を低下させるので好ましくない。耐熱性は耐熱分解性を指標として示されうる。耐熱分解性は「5%熱重量減少温度」で表すことができ、5%熱重量減少温度は340℃以上であることが好ましく、370℃以上がより好ましい。熱重量測定装置(TG/DTA)を用いて、サンプルを20℃から600℃まで、空気中で昇温速度10℃/分で昇温させながらサンプル重量を測定し、サンプル重量が5%減少するときの温度を5%熱重量減少温度とする。   In addition, even when a functional group that is not a functional group having an unsaturated bond (for example, a functional group with low thermal decomposition resistance such as a long-chain alkyl group) is introduced into the phenoxyphosphazene compound, the thermal decomposition temperature may be lowered. . Lowering the thermal decomposition temperature is not preferable because it ultimately reduces heat resistance when used as an electronic material. The heat resistance can be indicated by using heat decomposition resistance as an index. The thermal decomposition resistance can be expressed by “5% thermogravimetric decrease temperature”, and the 5% thermogravimetric decrease temperature is preferably 340 ° C. or more, more preferably 370 ° C. or more. Using a thermogravimetric measurement device (TG / DTA), the sample weight is measured while raising the temperature from 20 ° C. to 600 ° C. in air at a heating rate of 10 ° C./min, and the sample weight is reduced by 5%. The temperature at that time is the 5% thermogravimetric decrease temperature.

本発明の樹脂組成物の5%熱重量減少温度は、340℃以上であることが好ましく、すなわち、さらにサンプル重量が減少する「10%熱重量減少温度」としては、370℃〜400℃以上であることが好ましい。特開2003−177515に難燃剤の熱重量減少温度について「10%熱重量減少温度が300℃から500℃の間であることが難燃性を発現するために好適である」と記載されている。しかしながら実際には、10%熱重量減少温度が300℃程度であると、樹脂組成の耐熱性が難燃剤の熱分解により損なわれることがわかった。   The 5% thermal weight reduction temperature of the resin composition of the present invention is preferably 340 ° C. or higher, that is, the “10% thermal weight reduction temperature” at which the sample weight further decreases is 370 ° C. to 400 ° C. or higher. Preferably there is. Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-177515 describes that “the 10% thermal weight reduction temperature is preferably between 300 ° C. and 500 ° C. in order to develop flame retardancy” for the thermal weight reduction temperature of the flame retardant. . However, in practice, it has been found that the heat resistance of the resin composition is impaired by thermal decomposition of the flame retardant when the 10% thermogravimetric decrease temperature is about 300 ° C.

以上のことから、樹脂組成物に適度な難燃性、相溶性、耐熱分解性等を付与するためには、(A)フェノキシホスファゼン難燃剤に含まれるフェノキシホスファゼン化合物が有する置換基(一般式(1)および一般式(2)における置換基RとR)は、短鎖アルコキシ基または短鎖アルキル基であることが好ましく;メトキシ基またはエトキシ基、あるいはメチル基またはエチル基が好ましく;特にメトキシ基が好ましい。 From the above, in order to impart appropriate flame retardancy, compatibility, thermal decomposition resistance, etc. to the resin composition, (A) a substituent (general formula (A)) that the phenoxyphosphazene compound contained in the phenoxyphosphazene flame retardant contains 1) and the general formula (substituent R 1 in 2) and R 2) is preferably a short chain alkoxy group or a short-chain alkyl group; methoxy group or ethoxy group or is preferably a methyl group or an ethyl group; in particular A methoxy group is preferred.

短鎖アルコキシ基または短鎖アルキル基は、フェノキシホスファゼン化合物に含まれる全てのフェノキシ基のベンゼン環に導入されてもよいが、一部のフェノキシ基のベンゼン環に導入される方が好ましい。化合物の結晶性が低下して融解温度が低下するためである。フェノキシホスファゼン化合物のフェノキシ基のベンゼン環のうち、10〜90%個のベンゼン環に短鎖アルコキシ基または短鎖アルキル基が導入されることが好ましく、30〜70%のフェノキシ基のベンゼン環に導入されることがより好ましい。   The short-chain alkoxy group or the short-chain alkyl group may be introduced into the benzene rings of all phenoxy groups contained in the phenoxyphosphazene compound, but is preferably introduced into the benzene rings of some phenoxy groups. This is because the crystallinity of the compound is lowered and the melting temperature is lowered. Of the benzene rings of the phenoxy group of the phenoxyphosphazene compound, 10 to 90% of the benzene rings are preferably introduced with a short-chain alkoxy group or a short-chain alkyl group, and 30 to 70% of the phenoxy group is introduced with a benzene ring. More preferably.

一般式(1)および(2)で表されるフェノキシホスファゼン化合物は、全て同一の繰り返し単位数nを有していてもよく、異なる繰り返し単位数n(n=3、4、5、6....など)を有する化合物の混合物であってもよい。nが互いに同一である場合は、nが大きい方が結晶性が低下するため好ましい。異なる繰り返し単位数nを有する化合物の混合物に含まれる化合物の結晶性は低下して、融解温度が低下する。よって、異なる繰り返し単位数nを有する化合物の混合物が好ましい場合がある。   The phenoxyphosphazene compounds represented by the general formulas (1) and (2) may all have the same number of repeating units n, and the number of different repeating units n (n = 3, 4, 5, 6,. Etc.) may be used. When n is mutually the same, since the crystallinity falls that the one where n is large is preferable. The crystallinity of the compound contained in the mixture of compounds having a different number of repeating units n decreases, and the melting temperature decreases. Thus, a mixture of compounds having different numbers of repeating units n may be preferred.

本発明の樹脂組成物に使用可能なフェノキシホスファゼン化合物としては、例えば、フェノキシ基およびm−トリルオキシ基置換シクロホスファゼン、フェノキシ基およびp−トリルオキシ基置換シクロホスファゼン、フェノキシ基、m−トリルオキシ基およびp−トリルオキシ基置換シクロホスファゼン、フェノキシ基およびm−メトキシフェノキシ基置換シクロホスファゼン、フェノキシ基およびp−メトキシフェノキシ基置換シクロホスファゼン、フェノキシ基、m−メトキシフェノキシ基およびp−メトキシフェノキシ基置換シクロホスファゼン、並びにこれらの混合物などが挙げられる。   Examples of the phenoxyphosphazene compound that can be used in the resin composition of the present invention include phenoxy group and m-tolyloxy group-substituted cyclophosphazene, phenoxy group and p-tolyloxy group-substituted cyclophosphazene, phenoxy group, m-tolyloxy group, and p- Tolyloxy-substituted cyclophosphazenes, phenoxy and m-methoxyphenoxy substituted cyclophosphazenes, phenoxy and p-methoxyphenoxy substituted cyclophosphazenes, phenoxy, m-methoxyphenoxy and p-methoxyphenoxy substituted cyclophosphazenes, and these And the like.

本発明の樹脂組成物における(A)フェノキシホスファゼン難燃剤の添加量は、樹脂組成物の総重量に対して、リン元素の重量含有率として0.1%〜5%の範囲であることが好ましく、1%〜4%の範囲であることがより好ましい。リン元素換算含有率が0.1%より少ない場合は十分な難燃効果が得られない。
また、(A)フェノキシホスファゼン難燃剤におけるリン元素の重量含有率は約10%〜約13%である。そのため、樹脂組成物におけるリン元素換算含有率が5%を超えると、樹脂組成物の総重量に対する(A)難燃剤の添加量が50%を超えて、樹脂物性に過大な影響を与える。
The addition amount of the (A) phenoxyphosphazene flame retardant in the resin composition of the present invention is preferably in the range of 0.1% to 5% as the weight content of phosphorus element with respect to the total weight of the resin composition. A range of 1% to 4% is more preferable. When the phosphorus element conversion content is less than 0.1%, a sufficient flame retardant effect cannot be obtained.
In addition, the weight content of phosphorus element in the (A) phenoxyphosphazene flame retardant is about 10% to about 13%. Therefore, if the phosphorus element equivalent content in the resin composition exceeds 5%, the amount of the (A) flame retardant added exceeds 50% with respect to the total weight of the resin composition, and the resin physical properties are excessively affected.

本発明の樹脂組成物には、さらに他の難燃剤を添加されてもよい。他の難燃剤の種類は特に制限されないが、通常、ハロゲン含有有機化合物やアンチモン化合物以外の、有機物または無機物であることが好ましい。   Another flame retardant may be further added to the resin composition of the present invention. Although the kind of other flame retardant is not particularly limited, it is usually preferably an organic or inorganic substance other than the halogen-containing organic compound or antimony compound.

他の難燃剤の好ましい例には、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、グラファイト、加熱膨張性黒鉛、メラミン、リン酸エステル類、他のホスファゼン化合物類、リン酸アンモニウム、9,10-ジヒドロ-9-オキサ-10-ホスファフェナントレン10-オキシドの付加物、シリコーン化合物類などが含まれるが、これらに限定されない。構成原子にリン原子を含む有機化合物は、特に難燃性能が高く、少量で効果を発揮する。そのため、感光性樹脂本来の物性を低下させずに十分な難燃性を得ることができ、他の難燃剤としてより好ましい。   Preferred examples of other flame retardants include aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, magnesium carbonate, calcium carbonate, graphite, heat-expandable graphite, melamine, phosphate esters, other phosphazene compounds, ammonium phosphate, 9, Examples include, but are not limited to, adducts of 10-dihydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene 10-oxide, silicone compounds, and the like. An organic compound containing a phosphorus atom as a constituent atom has particularly high flame retardancy and exhibits an effect in a small amount. Therefore, sufficient flame retardancy can be obtained without deteriorating the original physical properties of the photosensitive resin, which is more preferable as another flame retardant.

本発明の感光性樹脂組成物における難燃剤の合計含有量は、樹脂本来の物性を低下させることなく、かつ所望の難燃性能の発揮する量にすることが望まれる。難燃剤の通常の合計含有量は、樹脂成分の総量100質量部に対して、1〜70質量部、好ましくは1〜50質量部である。   It is desired that the total content of the flame retardant in the photosensitive resin composition of the present invention is an amount that exhibits the desired flame retardant performance without deteriorating the original physical properties of the resin. The usual total content of a flame retardant is 1-70 mass parts with respect to 100 mass parts of total amounts of a resin component, Preferably it is 1-50 mass parts.

本発明の樹脂組成物に用いられる(B)光重合可能な不飽和二重結合を有する化合物の例には、一官能アクリレート化合物および多官能アクリレート化合物などが含まれる。   Examples of the compound (B) having a photopolymerizable unsaturated double bond used in the resin composition of the present invention include monofunctional acrylate compounds and polyfunctional acrylate compounds.

一官能アクリレート化合物の例には、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレート、フェノキシエチルアクリレート、ステアリルメタクリレート、ラウリルアクリレート、ジシクロペンテニルアクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチルアクリレート、ジシクロペンタニルアクリレート、テトラメチルピペリジルメタクリレート、ベンジルメタクリレート、グリシジルメタクリレート、グリセリンモノメタクリレート、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシ-3-フェノキシプロピル(メタ)アクリレートなどが含まれる。   Examples of monofunctional acrylate compounds include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, phenoxyethyl acrylate, stearyl methacrylate, lauryl acrylate, dicyclopentenyl acrylate, Dicyclopentenyloxyethyl acrylate, dicyclopentanyl acrylate, tetramethylpiperidyl methacrylate, benzyl methacrylate, glycidyl methacrylate, glycerin monomethacrylate, polyethylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol (meth) acrylate, methoxypolyethylene glycol mono (meth) Acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate, It is included.

多官能アクリレート化合物の例には、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,3-ブチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、エチレンオキサイド変性ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、エチレンオキサイド−プロピレンオキサイド変性ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、テトラメチレンオキサイド変性ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、プロピレンオキサイド変性ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、プロピレンオキサイド−テトラメチレンオキサイド変性ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、エチレンオキサイド変性ビスフェノールFジ(メタ)アクリレート、エチレンオキサイド−プロピレンオキサイド変性ビスフェノールFジ(メタ)アクリレート、テトラメチレンオキサイド変性ビスフェノールFジ(メタ)アクリレート、プロピレンオキサイド変性ビスフェノールFジ(メタ)アクリレート、プロピレンオキサイド−テトラメチレンオキサイド変性ビスフェノールFジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパン−プロピレンオキサイド変性トリアクリレート、イソシアヌル酸エチレンオキサイド変性ジアクリレート、イソシアヌル酸エチレンオキサイド変性ジアクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート、2官能以上(メタ)アクリロイル基を有したウレタンアクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、ポリエステルアクリレート類などが含まれる。   Examples of polyfunctional acrylate compounds include ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, and 1,3-butylene glycol di (meth). ) Acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, neopentyl di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, ethylene oxide modified bisphenol A di (meth) acrylate, ethylene oxide-propylene oxide modified bisphenol A di ( (Meth) acrylate, tetramethylene oxide modified bisphenol A di (meth) acrylate, propylene oxide modified bisphenol A di (meth) acrylate, Propylene oxide-tetramethylene oxide modified bisphenol A di (meth) acrylate, ethylene oxide modified bisphenol F di (meth) acrylate, ethylene oxide-propylene oxide modified bisphenol F di (meth) acrylate, tetramethylene oxide modified bisphenol F di (meth) Acrylate, propylene oxide modified bisphenol F di (meth) acrylate, propylene oxide-tetramethylene oxide modified bisphenol F di (meth) acrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane-propylene oxide Modified triacrylate, ethylene cyanate isocyanurate Side-modified diacrylate, isocyanuric acid ethylene oxide modified diacrylate, glycerin di (meth) acrylate, bifunctional or higher functional (meth) urethane acrylate having an acryloyl group, a urethane (meth) acrylate, and polyester acrylates.

また、一官能または多官能アクリレート化合物は、エポキシ化合物のエポキシ基を(メタ)アクリル酸で変性した化合物、ウレタン結合を有する(メタ)アクリレート化合物などでもよい。
(メタ)アクリル酸で変性されるエポキシ化合物は、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物であれば特に制限されず、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、o-クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、p-クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型ノボラックエポキシ樹脂、ビスフェノールF型ノボラックエポキシ樹脂、ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂等が挙げられる。
ウレタン結合を有する(メタ)アクリレート化合物としては、例えば、β位にOH基を有する(メタ)アクリルモノマーとイソシアネート化合物との付加反応物が挙げられる。イソシアネート化合物としては、例えばイソホロンジイソシアネート、2,6-トルエンジイソシアネート、1,6-ヘキサメチレンジイソシアネート、EO又はPO変性ウレタンジ(メタ)アクリレート、カルボキシル基含有ウレタン(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
The monofunctional or polyfunctional acrylate compound may be a compound obtained by modifying an epoxy group of an epoxy compound with (meth) acrylic acid, a (meth) acrylate compound having a urethane bond, or the like.
The epoxy compound modified with (meth) acrylic acid is not particularly limited as long as it is an epoxy compound having two or more epoxy groups in one molecule. For example, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, biphenyl Type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, o-cresol novolak type epoxy resin, p-cresol novolak type epoxy resin, bisphenol A type novolak epoxy resin, bisphenol F type novolak epoxy resin, biphenyl novolak type epoxy resin, alicyclic epoxy Examples thereof include resins.
Examples of the (meth) acrylate compound having a urethane bond include an addition reaction product of a (meth) acrylic monomer having an OH group at the β-position and an isocyanate compound. Examples of the isocyanate compound include isophorone diisocyanate, 2,6-toluene diisocyanate, 1,6-hexamethylene diisocyanate, EO or PO-modified urethane di (meth) acrylate, and carboxyl group-containing urethane (meth) acrylate. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

また多官能アクリレートは、式(3)で表される化合物であってもよい。式(3)において、R3は水素原子またはメチル基を表し、R4は水素原子または一価の有機基を表し、lおよびmはそれぞれ1〜5の整数を表す。pは0〜6の整数を表し、qおよびrはそれぞれ0〜4の整数を表し、sは0〜6の整数を表す。pとqとrとsの和は6であり、pとsの和は3〜6である。 The polyfunctional acrylate may be a compound represented by the formula (3). In the formula (3), R 3 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 4 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group, and l and m each represents an integer of 1 to 5. p represents an integer of 0 to 6, q and r each represents an integer of 0 to 4, and s represents an integer of 0 to 6. The sum of p, q, r, and s is 6, and the sum of p and s is 3-6.

Figure 0005530091
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一官能または多官能アクリレート化合物のうち、本発明の樹脂組成物には多官能アクリレートが含まれることが好ましく、特に式(3)で表される化合物が好ましく用いられる。   Of the monofunctional or polyfunctional acrylate compounds, the resin composition of the present invention preferably contains a polyfunctional acrylate, and a compound represented by the formula (3) is particularly preferably used.

本発明の樹脂組成物における(B)光重合可能な不飽和二重結合を有する化合物の含量は、10wt%以上であることが好ましく、さらに20wt%以上であることが好ましい。   The content of the compound (B) having an unsaturated double bond capable of photopolymerization in the resin composition of the present invention is preferably 10 wt% or more, and more preferably 20 wt% or more.

本発明の樹脂組成物には、その用途や求められる特性に応じて、(C)ポリアミド酸や、(C')アルカリ可溶性樹脂や、(C’’)エポキシ樹脂が含まれていてもよい。   The resin composition of the present invention may contain (C) polyamic acid, (C ′) alkali-soluble resin, and (C ″) epoxy resin, depending on the application and required characteristics.

本発明の樹脂組成物に含まれる(C)ポリアミド酸は、一般的にポリイミドの前駆体として用いられるポリアミド酸であれば特に制限はない。ポリアミド酸とは、酸二無水物(ピロメリット酸二無水物など)と、ジアミン化合物(1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼンなど)とを反応させることにより得られるポリイミド前駆体である。   The (C) polyamic acid contained in the resin composition of the present invention is not particularly limited as long as it is a polyamic acid generally used as a polyimide precursor. The polyamic acid is a polyimide precursor obtained by reacting an acid dianhydride (such as pyromellitic dianhydride) and a diamine compound (such as 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene). .

ポリアミド酸の原料となる酸二無水物の例には、ピロメリット酸二無水物、3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,1-ビス(2,3-ジカルボキシルフェニル)エタン二無水物、2,2-ビス(2,3-ジカルボキシルフェニル)エタン二無水物、2,2-ビス(3,3-ジカルボキシルフェニル)エタン二無水物、2,2-ビス[4-(3,4-ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物、4,4'-オキシジフタル酸無水物、2,3,3',4'-ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、2,3,5,6-ピリジンテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、3,4,9,10-ペリレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,3',4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,4,3',4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物などが挙げられる。   Examples of acid dianhydride used as a raw material for polyamic acid include pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetra Carboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxyl Phenyl) ethane dianhydride, 2,2-bis (2,3-dicarboxylphenyl) ethane dianhydride, 2,2-bis (3,3-dicarboxylphenyl) ethane dianhydride, 2,2-bis [4- (3,4-Dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride, 4,4′-oxydiphthalic anhydride, 2,3,3 ′, 4′-biphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 2, 3,5,6-pyridinetetracarboxylic dianhydride, pyromellitic dianhydride, 3,4,9, 0-perylenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,4, And 3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride.

樹脂組成物の組成成分によるが、ポリアミド酸と、他の成分との相溶性の観点から、ポリアミド酸の原料となる酸二無水物の好ましい例には、ピロメリット酸二無水物、4,4'-オキシジフタル酸無水物、3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,4,3',4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物などが挙げられる。より好ましい例には、ピロメリット酸二無水物、4,4'-オキシジフタル酸無水物、3,4,3',4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物などが挙げられる。   Although it depends on the composition component of the resin composition, preferred examples of the acid dianhydride used as the raw material of the polyamic acid from the viewpoint of compatibility between the polyamic acid and other components include pyromellitic dianhydride, 4,4. Examples include '-oxydiphthalic anhydride, 3,3', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,4,3 ', 4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, and the like. More preferred examples include pyromellitic dianhydride, 4,4′-oxydiphthalic anhydride, 3,4,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, and the like.

一方、ポリアミド酸の原料となるジアミン化合物の例には、芳香族ジアミン、ポリアルキレングリコールジアミン、アルキルジアミンなどが挙げられる。1種または2種以上のジアミンを併用して原料ジアミンとしてもよい。   On the other hand, aromatic diamine, polyalkylene glycol diamine, alkyl diamine, etc. are mentioned as an example of the diamine compound used as the raw material of polyamic acid. One or two or more diamines may be used in combination to form a raw material diamine.

芳香族ジアミンの例には、3,3'-ジアミノジフェニルエーテル、4,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,4'-ジアミノジフェニルエーテル、4,4'-ジアミノ-3,3',5,5'-テトラメチルジフェニルメタン、4,4'-ジアミノ-3,3'-ジエチル-5,5'-ジメチルジフェニルメタン、4,4'-ジアミノジフェニル-2,2'-プロパン、4,4'-ジアミノジフェニルメタン、3,4'-ジアミノベンズアニリド、4,4'-ジアミノベンズアニリド、3,3'-ジアミノベンゾフェノン、4,4'-ジアミノベンゾフェノン、3,3'-ジエチル-4,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,3'-ジエトキシ-4,4'-ジアミノジフェニルメタン、3,3'-ジメチル-4,4'-ジアミノジフェニルメタン、3,3'-ジメチル-4,4'-ジアミノジフェニルプロパン、3,3'-ジエチル-4,4'-ジアミノジフェニルプロパン、3,3'-ジメチル-5,5'-ジエチル-4,4'-ジアミノジフェニルメタン、3,3'-ジメトキシ-4,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,3'-ジメトキシ-4,4'-ジアミノジフェニルメタン、3,3'-ジメトキシ-4,4'-ジアミノジフェニルスルフォン、3,3'-ジメトキシ-4,4'-ジアミノジフェニルプロパン、3,3'-ジエトキシ-4,4'-ジアミノジフェニルプロパン、3,3',5,5'-テトラメチル-4,4'-ジアミノジフェニルメタン、3,3',5,5'-テトラエチル-4,4'-ジアミノジフェニルメタン、ポリテトラメチレンオキシド-ジ-p-アミノベンゾエート、ポリエチレンオキシド-ジ-p-アミノベンゾエート、ポリプロピレンオキシド-ジ-p-アミノベンゾエート、4,4'-ビス(3-アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4'-ビス(4-アミノフェノキシ)ビフェニル、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス[3-(アミノフェノキシ)フェノキシ]ベンゼン、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、および2,2'-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパンなどが挙げられる。   Examples of aromatic diamines include 3,3'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diamino-3,3 ', 5,5'-tetra Methyldiphenylmethane, 4,4'-diamino-3,3'-diethyl-5,5'-dimethyldiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenyl-2,2'-propane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3, 4'-diaminobenzanilide, 4,4'-diaminobenzanilide, 3,3'-diaminobenzophenone, 4,4'-diaminobenzophenone, 3,3'-diethyl-4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3 '-Diethoxy-4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminodiphenylpropane, 3,3'-diethyl- 4,4'-diaminodipheny Propane, 3,3′-dimethyl-5,5′-diethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-dimethoxy-4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-dimethoxy-4,4 ′ -Diaminodiphenylmethane, 3,3'-dimethoxy-4,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-dimethoxy-4,4'-diaminodiphenylpropane, 3,3'-diethoxy-4,4'-diaminodiphenyl Propane, 3,3 ′, 5,5′-tetramethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3 ′, 5,5′-tetraethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane, polytetramethylene oxide-di- p-aminobenzoate, polyethylene oxide-di-p-aminobenzoate, polypropylene oxide-di-p-aminobenzoate, 4,4′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) ) Biff 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis [3- ( And aminophenoxy) phenoxy] benzene, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, and 2,2′-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane.

ポリアルキレングリコールジアミンは、例えば下記一般式(4)で表される。式(4)において、Rは炭素数1〜6の脂肪族炭化水素基を表す。RおよびRは、それぞれ炭素数1〜6の脂肪族炭化水素またはポリアルキレングリコールを表す。jは1〜30の整数を表し、好ましくは2〜20である。 The polyalkylene glycol diamine is represented, for example, by the following general formula (4). In the formula (4), R 6 represents an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms. R 5 and R 7 each represents an aliphatic hydrocarbon or polyalkylene glycol having 1 to 6 carbon atoms. j represents an integer of 1 to 30, preferably 2 to 20.

Figure 0005530091
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ポリアルキレングリコールジアミンの例には、ポリエチレングリコールジアミン、ポリプロピレングリコールジアミン、ポリブチレングリコールジアミン、ポリテトラメチレングリコールジアミン、ポリエチレングリコールポリプロピレングリコールのブロック共重合体のジアミン、ポリエチレングリコールポリテトラメチレングリコールのブロック共重合体のジアミン、ポリプロピレングリコールポリテトラメチレングリコールのブロック共重合体のジアミン、ポリエチレングリコールポリプロピレングリコールポリテトラメチレングリコールのブロック共重合体のジアミンなどが挙げられる。   Examples of polyalkylene glycol diamines include polyethylene glycol diamine, polypropylene glycol diamine, polybutylene glycol diamine, polytetramethylene glycol diamine, polyethylene glycol polypropylene glycol block copolymer diamine, polyethylene glycol polytetramethylene glycol block copolymer Examples thereof include a diamine of a combination, a diamine of a block copolymer of polypropylene glycol polytetramethylene glycol, and a diamine of a block copolymer of polyethylene glycol polypropylene glycol polytetramethylene glycol.

ポリアルキレングリコールジアミンの好ましい例には、ポリプロピレングリコールジアミン、およびポリプロピレングリコールポリテトラメチレングリコールのブロック共重合体のジアミンなどが含まれる。また、アルキルジアミンの例には、ドデカンジアミン、ヘキサメチレンジアミンなどが含まれる。   Preferable examples of the polyalkylene glycol diamine include polypropylene glycol diamine and a diamine of a block copolymer of polypropylene glycol polytetramethylene glycol. Examples of the alkyl diamine include dodecane diamine and hexamethylene diamine.

(C)ポリアミド酸の原料となるジアミン化合物の特に好ましい例には、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス[3-(アミノフェノキシ)フェノキシ]ベンゼン、4,4'-ビス(3-アミノフェノキシ)ビフェニル、およびポリプロピレングリコールジアミン、ポリブチレングリコールジアミンなどのポリアルキレングリコールジアミンなどが含まれる。   (C) Particularly preferred examples of the diamine compound used as a raw material for the polyamic acid include 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis [ 3- (aminophenoxy) phenoxy] benzene, 4,4′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, and polyalkylene glycol diamines such as polypropylene glycol diamine and polybutylene glycol diamine.

一方、(C)ポリアミド酸の原料となるジアミン化合物をポリアルキレングリコールジアミンとすると、得られるポリイミドの可撓性の向上や反りが改善して、低温硬化性を得ることができるが、一方で、耐熱性が低下することがある。そこで通常は、ポリアルキレングリコールジアミンと、他の耐熱性を有する芳香族ジアミン化合物とを共重合させることが好ましい。ポリアルキレングリコールジアミンと、他のジアミン化合物との組成比(モル比)は、他のジアミン化合物1モルに対して、0.05〜4.9モルのポリアルキレングリコールジアミンとすることが好ましい。他のジアミン化合物に対して、ポリアルキレングリコールジアミンが5.0以上(モル比)であると、耐熱性が低下することがあるため好ましくない。また、上記モル比が0.05以上であると著しく可撓性が向上し、反りの発生が少なくなりうる。   On the other hand, if the diamine compound used as the raw material for the (C) polyamic acid is polyalkylene glycol diamine, improvement in flexibility and warpage of the resulting polyimide can be improved, and low temperature curability can be obtained. Heat resistance may decrease. Therefore, it is usually preferable to copolymerize a polyalkylene glycol diamine and another aromatic diamine compound having heat resistance. The composition ratio (molar ratio) between the polyalkylene glycol diamine and the other diamine compound is preferably 0.05 to 4.9 mol of polyalkylene glycol diamine with respect to 1 mol of the other diamine compound. When the polyalkylene glycol diamine is 5.0 or more (molar ratio) with respect to other diamine compounds, the heat resistance may decrease, which is not preferable. Further, when the molar ratio is 0.05 or more, the flexibility is remarkably improved and the occurrence of warpage can be reduced.

前述のジアミン化合物と、前述の酸二無水物との重合反応により、ポリアミド酸を合成する。その反応温度は、通常10〜60℃、好ましくは20〜55℃であり、反応圧力は特に限定されない。ポリアミド酸は部分的にイミド化されていてもよい。部分的にイミド化されたポリアミド酸は、イミド化を進行させるために約100〜200℃の高温で脱水操作をしながら反応させたり、触媒的に合成したりする。反応時間は、使用する有機溶剤の種類、および反応温度により異なるが、通常反応が完結するのに十分な時間は2〜48時間である。   Polyamic acid is synthesized by a polymerization reaction of the above-described diamine compound and the above-described acid dianhydride. The reaction temperature is usually 10 to 60 ° C., preferably 20 to 55 ° C., and the reaction pressure is not particularly limited. The polyamic acid may be partially imidized. The partially imidized polyamic acid is reacted while being dehydrated at a high temperature of about 100 to 200 ° C., or is synthesized catalytically in order to advance imidization. The reaction time varies depending on the kind of the organic solvent to be used and the reaction temperature, but the time sufficient for the completion of the reaction is usually 2 to 48 hours.

本発明の樹脂組成物に含まれる(C)ポリアミド酸の含有割合は、10〜90質量%(固形分換算)であり、好ましくは30〜70質量%である。含有割合が10質量%以上であると、光パターニングにおける露光後のアルカリ溶液による溶解性が向上し、高い解像度を得ることができる。さらに最終硬化物に、ポリイミドの特徴である耐熱性、耐薬品性、電気絶縁性等を付与できる。また、含有割合を90質量%以下にすることにより、樹脂組成物に感光性を発現させ、UV等のエネルギー線硬化が可能となり、光によるパターン形成が可能となる。   The content ratio of (C) polyamic acid contained in the resin composition of the present invention is 10 to 90% by mass (in terms of solid content), and preferably 30 to 70% by mass. When the content ratio is 10% by mass or more, solubility by an alkaline solution after exposure in photopatterning is improved, and high resolution can be obtained. Furthermore, the final cured product can be imparted with heat resistance, chemical resistance, electrical insulation, etc., which are characteristic of polyimide. Moreover, by making a content rate into 90 mass% or less, photosensitivity is made to express in a resin composition, energy ray hardening | curing of UV etc. is attained, and the pattern formation by light is attained.

本発明の樹脂組成物に含まれる(C’)アルカリ可溶性樹脂は、アルカリ水溶液に可溶であれば特に制限はなく、例えば、(メタ)アクリル酸共重合体等が挙げられる。(メタ)アクリル酸と共重合可能な単量体としては、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシアルキルエステル等のエステル類、(メタ)アクリル酸アミド等の酸アミド類、アクリロニトリル、スチレン、ビニルフェノール等が挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中では、アルカリ現像性に優れる点から、(メタ)アクリル酸と他の共重合可能な二重結合を有する単量体との共重合体が好ましい。   The (C ′) alkali-soluble resin contained in the resin composition of the present invention is not particularly limited as long as it is soluble in an aqueous alkali solution, and examples thereof include (meth) acrylic acid copolymers. Monomers copolymerizable with (meth) acrylic acid include esters such as (meth) acrylic acid alkyl ester and (meth) acrylic acid hydroxyalkyl ester, acid amides such as (meth) acrylic acid amide, and acrylonitrile. , Styrene, vinylphenol and the like. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types. Among these, a copolymer of (meth) acrylic acid and another monomer having a copolymerizable double bond is preferable from the viewpoint of excellent alkali developability.

(C’)アルカリ可溶性樹脂の酸価は、50〜200mgKOH/gであることが好ましく、60〜100mgKOH/gであることがより好ましい。これらの範囲である場合は、現像性が確保でき、かつ耐マイグレーション性も良好となる。(C’)アルカリ可溶性樹脂のガラス転移温度は、30〜100℃であることが好ましく、40〜70℃であることがより好ましい。これらの範囲である場合はラミネーション性が良好であり、またフィルムのタック性を抑えることができる。   The acid value of the (C ′) alkali-soluble resin is preferably 50 to 200 mgKOH / g, and more preferably 60 to 100 mgKOH / g. Within these ranges, developability can be ensured and migration resistance is also good. (C ′) The glass transition temperature of the alkali-soluble resin is preferably 30 to 100 ° C., more preferably 40 to 70 ° C. In such a range, the lamination property is good and the tackiness of the film can be suppressed.

(C’)アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量は、5千〜30万であることが好ましく、1万〜15万であることがより好ましい。この範囲にあると、良好な現像性と、フィルム表面の光沢性を保つことができる。この重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより測定し、標準ポリスチレン換算した値である。   The weight average molecular weight of the (C ′) alkali-soluble resin is preferably 5,000 to 300,000, and more preferably 10,000 to 150,000. Within this range, good developability and gloss on the film surface can be maintained. This weight average molecular weight is a value measured by gel permeation chromatography and converted to standard polystyrene.

本発明の樹脂組成物における(C’)アルカリ可溶性樹脂の含有割合は、10〜90質量%(固形分換算)であり、好ましくは30〜70質量%である。含有割合が10質量%以上であると、光パターニングにおける露光後のアルカリ溶液による溶解性が向上し、高い解像度を得ることができる。また、含有割合を90質量%以下にすることにより、樹脂組成物に感光性を十分発現させ、UV等のエネルギー線硬化が可能となり、光によるパターン形成が可能となる。   The content ratio of (C ′) alkali-soluble resin in the resin composition of the present invention is 10 to 90% by mass (in terms of solid content), preferably 30 to 70% by mass. When the content ratio is 10% by mass or more, solubility by an alkaline solution after exposure in photopatterning is improved, and high resolution can be obtained. Moreover, by setting the content ratio to 90% by mass or less, the resin composition can sufficiently exhibit photosensitivity, can be cured with energy rays such as UV, and can be patterned with light.

本発明の樹脂組成物に含まれる(C’’)エポキシ樹脂は,1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物であれば特に制限されず、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、p−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型ノボラックエポキシ樹脂、ビスフェノールF型ノボラックエポキシ樹脂、ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂等が挙げられ、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂が好ましい。これらは1種を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。   The (C ″) epoxy resin contained in the resin composition of the present invention is not particularly limited as long as it is an epoxy compound having two or more epoxy groups in one molecule. For example, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F Type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, o-cresol novolak type epoxy resin, p-cresol novolak type epoxy resin, bisphenol A type novolak epoxy resin, bisphenol F type novolak epoxy resin, biphenyl novolak type epoxy resin And alicyclic epoxy resins, and bisphenol type epoxy resins, biphenyl type epoxy resins, and novolac type epoxy resins are preferred. These may be used individually by 1 type and may be used in combination of 2 or more type.

本発明の樹脂組成物に含まれるエポキシ樹脂として、入手可能な市販のものとしては、例えば「エピコート828」、「エピコート1001」及び「エピコート1002」(いずれもジャパンエポキシレジン社製、商品名)などのビスフェノールA型エポキシ樹脂;「エピコート807」(ジャパンエポキシレジン社製、商品名)などのビスフェノールF型エポキシ樹脂;「EBPS−200」(日本化薬社製、商品名)及び「エピクロンEXA−1514」(大日本インキ化学工業社製、商品名)などのビスフェノールS型エポキシ樹脂などが挙げられる。   Examples of the commercially available epoxy resin contained in the resin composition of the present invention include “Epicoat 828”, “Epicoat 1001”, and “Epicoat 1002” (all manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., trade names) and the like. Bisphenol A type epoxy resin; Bisphenol F type epoxy resin such as “Epicoat 807” (trade name, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.); “EBPS-200” (trade name, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and “Epiclon EXA-1514” Bisphenol S-type epoxy resin (trade name, manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.).

ビフェノール型エポキシ樹脂としては、「YL−6121」(ジャパンエポキシレジン社製、商品名)などが挙げられ、ビキシレノール型エポキシ樹脂としては「YX−4000」(ジャパンエポキシレジン社製、商品名)などが挙げられる。   Examples of the biphenol type epoxy resin include “YL-6121” (trade name, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.), and examples of the bixylenol type epoxy resin include “YX-4000” (product name, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.). Is mentioned.

脂環式の水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂としては「ST−2004」及び「ST−2007」(いずれも東都化成社製、商品名)などが挙げられ、上述した二塩基酸変性ジグリシジルエーテル型エポキシ樹脂としては「ST−5100」及び「ST−5080」(いずれも東都化成社製、商品名)などが挙げられる。   Examples of the alicyclic hydrogenated bisphenol A type epoxy resin include “ST-2004” and “ST-2007” (both manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd., trade name) and the like. The dibasic acid-modified diglycidyl ether type described above. Examples of the epoxy resin include “ST-5100” and “ST-5080” (both manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd., trade names).

これらのジグリシジルエーテル型エポキシ化合物は、感光性樹脂組成物のアルカリ水溶液による現像性を良好とするために、そのエポキシ当量(1当量のエポキシ基を含む化合物のグラム重量)が160〜3300であることが望ましい。   These diglycidyl ether type epoxy compounds have an epoxy equivalent (gram weight of a compound containing 1 equivalent of an epoxy group) of 160 to 3300 in order to improve the developability of the photosensitive resin composition with an alkaline aqueous solution. It is desirable.

エポキシ樹脂を使用する場合は、硬化促進剤を含有することが望ましい。硬化促進剤としては、2-メチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-ヘプタデシルイミダゾール等のイミダゾール類;トリエタノールアミン、トリエチレンジアミン、N-メチルモルホリン等のアミン類;トリフェニルホスフィン、トリトリルホスフィン等の有機ホスフィン類;テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、トリエチルアンモニウムテトラフェニルボレート等のテトラフェニルボロン塩類;1,8-ジアザ−ビシクロ(5,4,0)ウンデセン-7およびその誘導体;ナフテン酸鉛、ステアリン酸鉛、ナフテン酸亜鉛、オレイン酸錫、ナフテン酸マンガン、ナフテン酸コバルト、オクチル酸コバルト等の有機金属塩が挙げられる。これらの硬化促進剤は、単独で用いても2種以上を併用してもよく、また必要に応じて有機過酸化物やアゾ化合物を併用することもできる。   When using an epoxy resin, it is desirable to contain a curing accelerator. Curing accelerators include imidazoles such as 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, and 2-heptadecylimidazole; amines such as triethanolamine, triethylenediamine, and N-methylmorpholine; triphenylphosphine, Organic phosphines such as tolylphosphine; tetraphenylboron salts such as tetraphenylphosphonium tetraphenylborate and triethylammonium tetraphenylborate; 1,8-diaza-bicyclo (5,4,0) undecene-7 and derivatives thereof; naphthene Organic metal salts such as lead acid, lead stearate, zinc naphthenate, tin oleate, manganese naphthenate, cobalt naphthenate, cobalt octylate and the like can be mentioned. These curing accelerators may be used alone or in combination of two or more, and an organic peroxide or an azo compound may be used in combination as necessary.

本発明の樹脂組成物に含まれる(C’’)エポキシ樹脂の含有割合は、5〜70質量%(固形分換算)であり、好ましくは10〜50質量%である。含有割合が5質量%以上であると、十分な耐熱性・耐マイグレーション性を得ることができる。また、含有割合を70質量%以下にすることにより、樹脂組成物に感光性を十分発現させ、UV等のエネルギー線硬化が可能となり、光によるパターン形成が可能となる。   The content ratio of the (C ″) epoxy resin contained in the resin composition of the present invention is 5 to 70% by mass (in terms of solid content), and preferably 10 to 50% by mass. When the content ratio is 5% by mass or more, sufficient heat resistance and migration resistance can be obtained. Moreover, by setting the content ratio to 70% by mass or less, the resin composition can sufficiently exhibit photosensitivity, can be cured with energy rays such as UV, and can be patterned with light.

本発明の感光性樹脂組成物は、(C)や(C’)に含まれるカルボキシル基と反応する化合物として、ブロック化イソシアネート化合物(イソシアネート化合物のイソシアネート基に、ブロック剤を付加反応させた化合物)を含有してもよい。ブロック化イソシアネート化合物は、常温では不活性であるが加熱するとブロック剤が可逆的に解離してイソシアネート基を再生する化合物である。   The photosensitive resin composition of the present invention is a blocked isocyanate compound (compound obtained by adding a blocking agent to an isocyanate group of an isocyanate compound) as a compound that reacts with a carboxyl group contained in (C) or (C ′). It may contain. The blocked isocyanate compound is a compound that is inactive at room temperature but reversibly dissociates when heated to regenerate the isocyanate group.

ブロック化イソシアネート化合物は、イソシアヌレート型、ビウレット型、アダクト型などがあるが、イソシアヌレート型が好ましい。これらは、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用される。   The blocked isocyanate compounds include isocyanurate type, biuret type, and adduct type, but isocyanurate type is preferable. These are used alone or in combination of two or more.

上記ブロック剤としては、ジケトン類、オキシム類、フェノール類、アルカノール類及びカプロラクタム類から選ばれる少なくとも一種の化合物が挙げられる。具体的には、メチルエチルケトンオキシム、ε−カプロラクタム等が挙げられる。   Examples of the blocking agent include at least one compound selected from diketones, oximes, phenols, alkanols, and caprolactams. Specific examples include methyl ethyl ketone oxime and ε-caprolactam.

ブロック化イソシアネートの具体例には、「スミジュールBL−3175」、「デスモジュールTPLS−2957」、「TPLS−2062」、「TPLS−2957」、「TPLS−2078」、「BL4165」、「TPLS2117」、「BL1100」、「BL1265」、「デスモサーム2170」、「デスモサーム2265」(以上住友バイエルウレタン(株)製、商品名)、「コロネート2512」、「コロネート2513」、「コロネート2520」(以上日本ポリウレタン工業(株)製、商品名)等が市販品として容易に入手可能である。ブロック化イソシアネート化合物のブロック剤の解離温度は、120〜200℃であることが好ましい。   Specific examples of the blocked isocyanate include “SUMIDUR BL-3175”, “DESMODULE TPLS-2957”, “TPLS-2062”, “TPLS-2957”, “TPLS-2078”, “BL4165”, “TPLS2117”. , “BL1100”, “BL1265”, “Desmotherm 2170”, “Desmotherm 2265” (manufactured by Sumitomo Bayer Urethane Co., Ltd., trade name), “Coronate 2512”, “Coronate 2513”, “Coronate 2520” (above Nippon Polyurethane) Kogyo Co., Ltd., trade name) etc. are readily available as commercial products. The dissociation temperature of the blocking agent of the blocked isocyanate compound is preferably 120 to 200 ° C.

本発明の感光性樹脂組成物は、光重合開始剤を含むことが好ましい。光重合開始剤の具体例には、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、2,2-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン、2-ヒドロキシ-2-フェニルアセトフェノン、2-ヒドロキシ-2-メチルプロピオフェノン、2-ヒドロキシ-4-イソプロピル-2-メチルプロピオフェノン、2-エチルアントラキノン、2-t-ブチルアントラキノン、ジエチルチオキサントン、クロルチオキサントン、ベンジル、ベンジルジメチルケタール、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ベンゾイル安息香酸、2-メチル-1-(4-メチルチオフェニル)-2-モルホリノプロパン-1-オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタノン-1、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイドなどが含まれる。   The photosensitive resin composition of the present invention preferably contains a photopolymerization initiator. Specific examples of the photopolymerization initiator include benzophenone, Michler's ketone, benzoin, benzoin ethyl ether, benzoin butyl ether, benzoin isobutyl ether, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-phenylacetophenone, and 2-hydroxy. -2-Methylpropiophenone, 2-hydroxy-4-isopropyl-2-methylpropiophenone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, diethylthioxanthone, chlorothioxanthone, benzyl, benzyldimethyl ketal, 1-hydroxy Cyclohexyl phenyl ketone, benzoylbenzoic acid, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone -1 Such as 2,4,6-trimethylbenzoyl diphenylphosphine oxide contains.

光重合開始剤のさらなる例には、ベンゾインとエチレンオキサイドの等モル付加物や、2〜4倍モル付加物;ベンゾインとプロピレンオキサイドの等モル付加物や、2〜4倍モル付加物;α-アリルベンゾイン;1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンとエチレンオキサイドの等モル付加物や、2〜4倍モル付加物;1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンとプロピレンオキサイドの等モル付加物や、2〜4倍モル付加物;ベンゾイル安息香酸とエチレンオキサイド等モル反応物、2〜4倍モル付加物;ベンゾイル安息香酸とプロピレンオキサイドの等モル反応物、2〜4倍モル付加物;ヒドロキシベンゾフェノンとエチレンオキサイドの等モル反応物、2〜4倍モル付加物;ヒドロキシベンゾフェノンとプロピレンオキサイドの等モル反応物、2〜4倍モル付加物;4-(2-ヒドロキシエトキシ)-フェニル-(2-ヒドロキシ-2-プロピル)ケトン;4-(2-アクロオキシエトキシ)-フェニル-(2-ヒドロキシ-2-プロピル)ケトン;4-(2-ヒドロキシエトキシ)-フェニル-(2-ヒドロキシ-2-プロピル)ケトンとエチレンオキサイドの等モル反応物、2〜4倍モル付加物;4-(2-ヒドロキシエトキシ)-フェニル-(2-ヒドロキシ-2-プロピル)ケトンとプロピレンオキサイドの等モル反応物、2〜4倍モル付加物;1-(4-イソプロピルフェニル)-2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オン;1-(4-デシルフェニル)-2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オンなどが含まれる。光重合開始剤は、1種であっても2種以上を混合して使用してもよい。   Further examples of photopolymerization initiators include equimolar adducts of benzoin and ethylene oxide, 2 to 4 molar additions; equimolar additions of benzoin and propylene oxide, and 2 to 4 molar additions; α- Allyl benzoin; equimolar adduct of 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone and ethylene oxide, 2 to 4 times molar adduct; equimolar adduct of 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone and propylene oxide, and 2 to 4 times molar adduct Benzoylbenzoic acid and ethylene oxide equimolar reactant, 2 to 4 times mole adduct; benzoylbenzoic acid and propylene oxide equimolar reaction, 2 to 4 times mole adduct; hydroxybenzophenone and ethylene oxide equimolar reactant , 2- to 4-fold molar adducts; hydroxybenzophenone and propylene oxide, etc. Reactant, 2- to 4-fold molar adduct; 4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl- (2-hydroxy-2-propyl) ketone; 4- (2-acryloxyethoxy) -phenyl- (2-hydroxy 2-propyl) ketone; 4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl- (2-hydroxy-2-propyl) ketone and ethylene oxide equimolar reaction product, 2- to 4-fold molar adduct; 4- (2- Hydroxyethoxy) -phenyl- (2-hydroxy-2-propyl) ketone and propylene oxide equimolar reactant, 2-4 fold molar adduct; 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropane -1-one; 1- (4-decylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one and the like are included. The photopolymerization initiator may be used alone or in combination of two or more.

光重合開始剤の好ましい例には、ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2-メチル-1-(4-メチルチオフェニル)-2-モルホリノプロパン-1-オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタノン-1、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイドなどが含まれる。   Preferred examples of the photopolymerization initiator include diethyl thioxanthone, benzyl dimethyl ketal, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl- 2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1,2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide and the like are included.

本発明の樹脂組成物には、重合効率を向上させる目的で光重合開始助剤が含まれていてもよい。光重合開始助剤の具体例には、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、トリプロパノールアミン、ジプロパノールアミン、モノプロパノールアミン、ジメチルアミノ安息香酸エチル、4-ジメチルアミノ安息香酸イソアミルなどが含まれる。光重合開始助剤は、1種であっても2種以上を組み合わせて使用してもよい。   The resin composition of the present invention may contain a photopolymerization initiation assistant for the purpose of improving the polymerization efficiency. Specific examples of the photopolymerization initiation aid include triethanolamine, diethanolamine, monoethanolamine, tripropanolamine, dipropanolamine, monopropanolamine, ethyl dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, and the like. . The photopolymerization initiation assistant may be used alone or in combination of two or more.

光重合開始剤および光重合開始助剤のそれぞれの含有量は、(B)光重合可能な不飽和二重結合を有する化合物の重量に対して0.05〜10%、好ましくは0.5〜7%、更に好ましくは0.5〜5%である。光重合開始剤および光重合開始助剤の含有量の合計を0.1%以上とすることにより、目的の解像度が得られる程度の硬化度が得られる。また、合計を20%以下にすることにより、(B)光重合可能な不飽和二重結合を有する化合物の重合度を適度に調整することができ、解像度や可撓性を制御することができる。   Each content of a photoinitiator and a photoinitiator assistant is 0.05-10% with respect to the weight of the compound which has (B) photopolymerizable unsaturated double bond, Preferably 0.5- 7%, more preferably 0.5 to 5%. By setting the total content of the photopolymerization initiator and the photopolymerization initiation assistant to 0.1% or more, a degree of cure that can achieve the target resolution can be obtained. Further, by setting the total to 20% or less, (B) the degree of polymerization of the photopolymerizable compound having an unsaturated double bond can be adjusted appropriately, and the resolution and flexibility can be controlled. .

本発明の感光性樹脂組成物は、含窒素複素環化合物を含みうる。含窒素複素環化合物は、電子回路基板等の基材との密着性を向上させる作用がある。含窒素複素環化合物は、複素環を構成する原子のうちの1つ以上が窒素原子である化合物であり、かつ複素環がアリール基を有する化合物である。含窒素環化合物は単独で用いても、複数種を組み合わせて用いてもよい。   The photosensitive resin composition of the present invention may contain a nitrogen-containing heterocyclic compound. The nitrogen-containing heterocyclic compound has an effect of improving adhesion with a base material such as an electronic circuit board. The nitrogen-containing heterocyclic compound is a compound in which at least one of atoms constituting the heterocyclic ring is a nitrogen atom, and the heterocyclic ring has an aryl group. A nitrogen-containing ring compound may be used independently or may be used in combination of multiple types.

含窒素複素環化合物の複素環は、5員環または6員環であることが好ましい。複素環の例には、テトラゾール(5員環)、イミダゾール(5員環)、トリアジン(6員環)などが含まれる。   The heterocyclic ring of the nitrogen-containing heterocyclic compound is preferably a 5-membered ring or a 6-membered ring. Examples of the heterocyclic ring include tetrazole (5-membered ring), imidazole (5-membered ring), triazine (6-membered ring) and the like.

含窒素複素環化合物の複素環が有するアリール基は置換基を有していてもよく、その置換基の例には水酸基、アルキル基、アルコキシ基、ホルミル基、カルボキシル基、アミド基が含まれる。より具体的な例には、水酸基、メチル基、t-ブチル基、メトキシ基、エトキシ基、ホルミル基、カルボキシル基、アセトアミド基などが含まれる。複素環が有するアリール基の好ましい例は、フェニル基である。   The aryl group contained in the heterocyclic ring of the nitrogen-containing heterocyclic compound may have a substituent, and examples of the substituent include a hydroxyl group, an alkyl group, an alkoxy group, a formyl group, a carboxyl group, and an amide group. More specific examples include hydroxyl group, methyl group, t-butyl group, methoxy group, ethoxy group, formyl group, carboxyl group, acetamide group and the like. A preferred example of the aryl group that the heterocyclic ring has is a phenyl group.

含窒素複素環化合物の好ましい例には、5-メルカプト-1-フェニルテトラゾール、1-(3-メチルフェニル)-1H-テトラゾール-5-チオール、1-(4-エトキシフェニル)-1H-テトラゾール-5-チオール、1-(4-メトキシフェニル)-5-メルカプトテトラゾール、1-(4-カルボキシフェニル)-5-メルカプトテトラゾール、1-(3-アセトアミドフェニル)-5-メルカプトテトラゾール、5-フェニルテトラゾール、4-(テトラゾール-5-イル)ベンズアルデヒド、5-(4-(t-ブチル)フェニル)-2H-1,2,3,4-テトラゾール、5-(3-t-ブチル-4-メトキシフェニル)-2H-テトラゾール、2-(4-クロロフェニル)-1H-イミダゾール、2-(4-フルオロフェニル)-1H-イミダゾール、4-(1H-イミダゾール-2-イル)ベンゾイックアシッド、2-フェニルイミダゾール、2,4-ジアミノ-6-フェニル-1,3,5-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-(m-トルイル)-1,3,5-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-(2,3-キシリル)-1,3,5-トリアジン、4'-クロロベンゾグアナミン、3'-トリフルオロメチルベンゾグアナミンなどが含まれる。   Preferred examples of the nitrogen-containing heterocyclic compound include 5-mercapto-1-phenyltetrazole, 1- (3-methylphenyl) -1H-tetrazole-5-thiol, 1- (4-ethoxyphenyl) -1H-tetrazole- 5-thiol, 1- (4-methoxyphenyl) -5-mercaptotetrazole, 1- (4-carboxyphenyl) -5-mercaptotetrazole, 1- (3-acetamidophenyl) -5-mercaptotetrazole, 5-phenyltetrazole 4- (tetrazol-5-yl) benzaldehyde, 5- (4- (t-butyl) phenyl) -2H-1,2,3,4-tetrazole, 5- (3-t-butyl-4-methoxyphenyl) ) -2H-tetrazole, 2- (4-chlorophenyl) -1H-imidazole, 2- (4-fluorophenyl) -1H-imidazole, 4- (1H-imidazol-2-yl) benzoic acid 2,2-phenylimidazole, 2,4-diamino-6-phenyl-1,3,5-triazine, 2,4-diamino-6- (m-toluyl) -1,3,5-triazine, 2, 4-diamino-6- (2,3-xylyl) -1,3,5-triazine, 4′-chlorobenzoguanamine, 3′-trifluoromethylbenzoguanamine and the like are included.

含窒素複素環化合物のより好ましい例には、5-メルカプト-1-フェニルテトラゾール、5-フェニルテトラゾール、2-フェニルイミダゾール、2,4-ジアミノ-6-フェニル-1,3,5-トリアジンなどが含まれる。   More preferred examples of the nitrogen-containing heterocyclic compound include 5-mercapto-1-phenyltetrazole, 5-phenyltetrazole, 2-phenylimidazole, 2,4-diamino-6-phenyl-1,3,5-triazine and the like. included.

本発明の感光性樹脂組成物における含窒素複素環化合物の含有量は、樹脂の本来の物性を低下させない量であることが好ましく、通常、樹脂組成物の固形分100質量部に対して0.01〜10質量部であり、好ましくは0.01〜5質量部である。   The content of the nitrogen-containing heterocyclic compound in the photosensitive resin composition of the present invention is preferably such an amount that does not deteriorate the original physical properties of the resin, and is usually from 0.00 to 100 parts by mass of the solid content of the resin composition. It is 01-10 mass parts, Preferably it is 0.01-5 mass parts.

本発明の感光性樹脂組成物には、通常、溶剤が含まれる。溶剤は、樹脂組成物の成分の一部または全部を容易に溶解することが好ましい。ただし、作業性(乾燥性を含む)および樹脂物性を、向上させるかまたは損なわない範囲で貧溶媒を含んでいてもよい。本発明の感光性樹脂組成物における溶剤の含有量は、作業性(乾燥性含む)および樹脂物性を向上させるかまたは損なわない範囲であれば特に限定されない。好ましい溶剤の含有量は、感光性樹脂組成物の30〜90質量%、さらに好ましくは45〜70質量%である。上記範囲の含有量の溶剤は、ドライフィルムを作製するときのレベリング性を向上させ、ドライフィルムの品質を向上させうる。   The photosensitive resin composition of the present invention usually contains a solvent. The solvent preferably dissolves part or all of the components of the resin composition easily. However, a poor solvent may be included as long as workability (including drying properties) and resin physical properties are not improved or impaired. The content of the solvent in the photosensitive resin composition of the present invention is not particularly limited as long as the workability (including drying properties) and the physical properties of the resin are improved or not impaired. The content of a preferable solvent is 30 to 90% by mass of the photosensitive resin composition, and more preferably 45 to 70% by mass. A solvent having a content in the above range can improve leveling properties when producing a dry film, and can improve the quality of the dry film.

溶剤の例には、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、メチル-n-アミルケトン、アセトニルアセトン、イソホロンおよびアセトフェノンなどのケトン類;エチルアルコール、イソプロピルアルコール、n-ブタノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコールおよびヘキシレングリコールなどのアルコール類;1,4-ジオキサン、トリオキサン、ジエチルアセタール、1,2-ジオキソラン、ジエチレングリコールジメチルエーテルおよびテトラヒドロフランなどのエーテル類;酢酸エチル、安息香酸メチル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルアセテート、エチレングリコールモノプロピルアセテート、エチレングリコールジアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジアセテートなどのエステル類;n-ヘプタン、n-オクタン、シクロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼンおよびジエチルベンゼンなどの炭化水素類;ジメチルスルホキシド、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジメチルホルムアミド、ヘキサメチルホスホルアミドおよびN,N'-ジメチルイミダゾリジノンなどの非プロトン性極性溶媒が含まれる。   Examples of solvents are acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, cyclopentanone, methyl-n-amyl ketone, ketones such as acetonyl acetone, isophorone and acetophenone; ethyl alcohol, isopropyl alcohol, n-butanol, ethylene glycol , Alcohols such as diethylene glycol, triethylene glycol, propylene glycol and hexylene glycol; ethers such as 1,4-dioxane, trioxane, diethyl acetal, 1,2-dioxolane, diethylene glycol dimethyl ether and tetrahydrofuran; ethyl acetate, methyl benzoate , Ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl acetate, ethylene glycol Nopropyl acetate, ethylene glycol diacetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether acetate, propylene glycol diacetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate Esters such as diethylene glycol diacetate; hydrocarbons such as n-heptane, n-octane, cyclohexane, benzene, toluene, xylene, ethylbenzene and diethylbenzene; dimethyl sulfoxide, N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide , Hexamethyl phosphorami And N, include aprotic polar solvents such as N'- dimethylimidazolidinone.

本発明の効果を損なわない限り、その他のいかなる溶剤が感光性樹脂組成物に含まれていてもよい。溶剤は単独で用いても、複数種類を併用してもよい。例えば、低沸点溶剤と高沸点溶剤を混合することにより、ドライフィルムを製造するための乾燥工程における発泡を抑制することができ、ドライフィルムの品質を向上させうる。   Any other solvent may be contained in the photosensitive resin composition as long as the effects of the present invention are not impaired. A solvent may be used independently or may use multiple types together. For example, by mixing a low boiling point solvent and a high boiling point solvent, foaming in a drying process for producing a dry film can be suppressed, and the quality of the dry film can be improved.

2.ドライフィルム
本発明の樹脂組成物から、ドライフィルムを作製することができる。例えば、固形分濃度を30〜90質量%に調整された樹脂組成物を、一定厚みの無色透明なキャリアフィルムに塗布して、一定厚みの塗布膜を形成し、それを乾燥することによってドライフィルムを得る。
2. Dry film A dry film can be produced from the resin composition of the present invention. For example, a dry film is obtained by applying a resin composition having a solid content concentration adjusted to 30 to 90% by mass to a colorless and transparent carrier film having a certain thickness to form a coating film having a certain thickness and then drying it. Get.

無色透明なキャリアフィルムとは、低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリアリレート、エチレン/シクロデセン共重合体(三井化学(株)製、商品名(登録商標):APEL)などのフィルムでありうる。感光性樹脂組成物は、水分によって物性や塗工条件に影響を受けるため、キャリアフィルムは低透湿性の樹脂フィルムであることが好ましい。そのため、これらのなかでは、APEL(登録商標)、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンおよびポリプロピレンなどのフィルムがより好適である。   The colorless and transparent carrier film is low density polyethylene, high density polyethylene, polypropylene, polyester, polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyarylate, ethylene / cyclodecene copolymer (Mitsui Chemicals, trade name (registered trademark): APEL) ) And the like. Since the photosensitive resin composition is affected by moisture and physical properties and coating conditions, the carrier film is preferably a low moisture-permeable resin film. Therefore, among these, films such as APEL (registered trademark), polyethylene terephthalate, polyethylene, and polypropylene are more preferable.

キャリアフィルムの厚みは、通常15〜100μm、好ましくは15〜75μmの範囲にある。上記範囲の厚みのキャリアフィルムは、塗工性、付着性、ロール性、強靱性、コストなどに優れる。塗工性、付着性、ロール性、強靱性、コスト等を考慮すると、15〜100μm、好ましくは15〜40μmの範囲の厚みのポリエチレンテレフタレートフィルムがさらに好ましい。   The thickness of the carrier film is usually 15 to 100 μm, preferably 15 to 75 μm. A carrier film having a thickness in the above range is excellent in coating property, adhesion, roll property, toughness, cost, and the like. Considering coatability, adhesion, rollability, toughness, cost and the like, a polyethylene terephthalate film having a thickness in the range of 15 to 100 μm, preferably 15 to 40 μm is more preferable.

キャリアフィルムへの感光性樹脂組成物の塗布は、リバースロールコーター、グラビアロールコーター、コンマコーター、カーテンコーターなどの公知の手段を用いて行うことができる。塗膜の乾燥は、熱風乾燥や、遠赤外線、近赤外線を用いた乾燥機を用いて、温度50〜200℃(好ましくは60〜150℃)で、0.1〜30分かけて行うことができる。   Application | coating of the photosensitive resin composition to a carrier film can be performed using well-known means, such as a reverse roll coater, a gravure roll coater, a comma coater, a curtain coater. The coating film may be dried at a temperature of 50 to 200 ° C. (preferably 60 to 150 ° C.) for 0.1 to 30 minutes using a dryer using hot air drying, far infrared rays or near infrared rays. it can.

ドライフィルムには、感光性樹脂組成物層を保護するためのカバーフィルムが貼り付けられていてもよい。カバーフィルムは、キャリアフィルムと同様に、低透湿性の樹脂フィルムであることが望ましいが、透明である必要はない。また、カバーフィルムは容易に剥離されうることが必要である。したがって、カバーフィルムと感光性樹脂層との接着力が、キャリアフィルムと感光性樹脂層との接着力よりも低いことが求められる。   A cover film for protecting the photosensitive resin composition layer may be attached to the dry film. The cover film is desirably a low moisture-permeable resin film, like the carrier film, but need not be transparent. Moreover, it is necessary that the cover film can be easily peeled off. Therefore, the adhesive force between the cover film and the photosensitive resin layer is required to be lower than the adhesive force between the carrier film and the photosensitive resin layer.

好ましくは、カバーフィルムは5〜100μmの厚みを有する、APEL(登録商標)、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンおよびポリプロピレンなどの樹脂フィルムである。   Preferably, the cover film is a resin film such as APEL (registered trademark), polyethylene terephthalate, polyethylene and polypropylene having a thickness of 5 to 100 μm.

3.電子回路基板
本発明の樹脂組成物は、電子部材(特に、電子回路基板)の保護部材として用いることができる。例えば、前述のドライフィルムをプリント配線板に貼り合わせて、保護被膜とすることができる。
3. Electronic Circuit Board The resin composition of the present invention can be used as a protective member for an electronic member (particularly an electronic circuit board). For example, the above-mentioned dry film can be bonded to a printed wiring board to form a protective film.

ドライフィルムからカバーフィルムを剥離した後に、プリント配線板の回路形成された面に重ね合わせる。さらに平面圧着やロール圧着などの公知の方法により熱圧着して、感光性皮膜を形成することができる。圧着は、通常40〜150℃、好ましくは50〜120℃に加熱しながら、0.2〜3MPaの圧力で行う。真空ラミネーターを用いて、プリント配線板に感光性樹脂層を形成すると、埋め込み状態をより良好にすることができる。   After peeling the cover film from the dry film, it is superimposed on the surface of the printed wiring board on which the circuit is formed. Further, the photosensitive film can be formed by thermocompression bonding by a known method such as planar pressure bonding or roll pressure bonding. The pressure bonding is usually performed at a pressure of 0.2 to 3 MPa while heating to 40 to 150 ° C., preferably 50 to 120 ° C. When a photosensitive resin layer is formed on a printed wiring board using a vacuum laminator, the embedded state can be improved.

熱圧着可能温度を40℃以上とすると、圧着前の位置合わせにおいて、タックの発生を防止しやすい。150℃以下とすると、感光性樹脂の過剰な硬化の進行を防止して、十分な圧着時間を得やすい。それにより、工程マージンを多めにとることができる。熱圧着可能温度とは、気泡残りなどの問題が生じることなく、パターンへの樹脂の埋め込みが充分にでき、かつ樹脂が流れすぎてパターンの外に流れ出さないような粘度にフィルムを制御することが可能な温度を意味する。   When the temperature capable of thermocompression bonding is 40 ° C. or higher, it is easy to prevent the occurrence of tack in the alignment before the pressure bonding. When the temperature is 150 ° C. or lower, the excessive curing of the photosensitive resin can be prevented and a sufficient pressure bonding time can be easily obtained. As a result, a large process margin can be obtained. The temperature at which thermocompression bonding is possible is to control the film to such a viscosity that the resin can be sufficiently embedded in the pattern without causing problems such as remaining bubbles and the resin does not flow out of the pattern. Means a possible temperature.

ラミネートされたドライフィルムは、任意のパターンが描画されたフォトマスクを通して露光され、さらに現像加工される。それによりプリント配線板に形成された感光性樹脂層に、微細孔や微細幅ラインが形成されうる。露光に使用される活性エネルギー線の例には、電子線、紫外線、X線などが含まれ、好ましくは紫外線である。低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプなどの光源を使用することができる。露光量は、通常100〜1000mJ/cmである。 The laminated dry film is exposed through a photomask on which an arbitrary pattern is drawn, and further developed. Thereby, fine holes and fine width lines can be formed in the photosensitive resin layer formed on the printed wiring board. Examples of active energy rays used for exposure include electron beams, ultraviolet rays, and X-rays, and preferably ultraviolet rays. A light source such as a low-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, an ultra-high pressure mercury lamp, or a halogen lamp can be used. The exposure amount is usually 100 to 1000 mJ / cm 2 .

露光後、現像をして未露光部を除去する。現像は、浸漬法やスプレー法などで行われる。アルカリ水溶液(例えば水酸化ナトリウム水溶液、炭酸ナトリウム水溶液)などの現像液を用いることができる。現像後は、現像液を洗浄する目的で、通常、水洗を行う。水洗前に、希薄な酸水溶液を用いて現像液含有成分を除去してもよい。   After exposure, development is performed to remove unexposed portions. Development is performed by a dipping method or a spray method. A developer such as an aqueous alkali solution (for example, an aqueous sodium hydroxide solution or an aqueous sodium carbonate solution) can be used. After the development, it is usually washed with water for the purpose of washing the developer. Before washing with water, the developer-containing component may be removed using a dilute aqueous acid solution.

現像と水洗後、熱処理を施すことによって、現像によって得られたパターン部の感光性樹脂を硬化物に転化させて、永久保護膜としてもよい。熱処理は、140〜450℃、好ましくは150〜250℃の温度で、0.1〜5時間かけて連続的または段階的に行われる。   It is good also as a permanent protective film by converting the photosensitive resin of the pattern part obtained by image development into a hardened | cured material by giving heat processing after image development and water washing. The heat treatment is performed continuously or stepwise at a temperature of 140 to 450 ° C., preferably 150 to 250 ° C., for 0.1 to 5 hours.

以下、代表的な実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらにより限定されない。実施例と比較例において以下の方法で、サンプル評価を実施した。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of representative examples, but the scope of the present invention is not limited thereto. In the examples and comparative examples, sample evaluation was performed by the following method.

(1)現像性試験:厚さ25μmのポリイミドと、厚さ18μmの銅との2層材上に、実施例と比較例で得られたドライフィルムを貼り合わせて評価用サンプルを得た。評価用サンプルに所定のマスクを通して、400mJ/cmの露光量でUV光を照射した。露光後、30℃の1.0%NaCO水溶液を0.20MPaのスプレー圧で噴霧して、未露光部を洗い落として現像した。その結果、直径200μmの円状開口部の形状、開口状態を見て良好の場合に現像性良好とし、樹脂残渣等がある場合に不良とした。 (1) Developability test: A sample for evaluation was obtained by laminating the dry films obtained in Examples and Comparative Examples on a two-layer material of polyimide having a thickness of 25 μm and copper having a thickness of 18 μm. The sample for evaluation was irradiated with UV light through a predetermined mask at an exposure amount of 400 mJ / cm 2 . After the exposure, a 1.0% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. was sprayed at a spray pressure of 0.20 MPa to wash away unexposed portions and develop. As a result, when the shape and opening state of the circular opening having a diameter of 200 μm were good, the developability was good, and when there was a resin residue or the like, it was bad.

(2)耐ハゼ折試験:厚さ25μmのポリイミドと、厚さ18μmの銅との2層材で、L/S=50/50μmの櫛形の銅回路付きの基材を準備した。基材に、実施例と比較例で得られたドライフィルムを貼り合わせて評価用サンプルを得た。評価用サンプルを、後述の(5)リフロー試験に準じて260℃、大気雰囲気下でリフロー炉を通した。その後、リフローボードから評価用サンプルを剥がした後に、耐ハゼ折試験を行った。荷重100g、R=0.1mmの条件で内折、外折を両方行って1回とした。その後40倍の顕微鏡でハゼ折部を観察し、クラックが発生するまでの回数をハゼ折回数とした。試験時間の短縮化のためハゼ折回数は20回を上限とした。   (2) Anti-strip test: A base material with a comb-shaped copper circuit of L / S = 50/50 μm was prepared with a two-layer material of polyimide having a thickness of 25 μm and copper having a thickness of 18 μm. The samples for evaluation were obtained by bonding the dry films obtained in Examples and Comparative Examples to the base material. The sample for evaluation was passed through a reflow furnace in an air atmosphere at 260 ° C. in accordance with the later-described (5) reflow test. Then, after peeling off the sample for evaluation from the reflow board, a goblet folding test was performed. Both inner and outer folds were performed under the conditions of a load of 100 g and R = 0.1 mm to make one time. Thereafter, the goby folds were observed with a 40 × microscope, and the number of times until the cracks occurred was taken as the number of goby folds. In order to shorten the test time, the upper limit of the number of goby foldings is 20 times.

(3)耐反り試験:銅(12μm)/ポリイミド(25μm)/銅(12μm)の3層銅貼フレキシブル積層板(ネオフレックス(登録商標)NFX-2ABEPFE(25T)三井化学株式会社製)を用意した。用意したフレキシブル積層板の両面の銅箔をエッチング除去したポリイミドフィルムの片面に、実施例と比較例で得られたドライフィルムを貼り合わせた評価用サンプルを得た。評価用サンプルを10cm×10cmに裁断し、裁断されたサンプルの四隅の高さを鋼尺で測定して評価した。   (3) Warpage resistance test: Copper (12 μm) / polyimide (25 μm) / copper (12 μm) three-layer copper-laminated flexible laminate (Neoflex (registered trademark) NFX-2ABEPFE (25T) manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.) did. An evaluation sample was obtained in which the dry films obtained in Examples and Comparative Examples were bonded to one side of a polyimide film obtained by etching away the copper foils on both sides of the prepared flexible laminate. The sample for evaluation was cut into 10 cm × 10 cm, and the heights of the four corners of the cut sample were measured with a steel rule and evaluated.

(4)弾性率測定:実施例と比較例で得られたドライフィルムを、離型処理を行った銅箔上に貼り、加工後剥離してフィルム状の評価用サンプルを得た。15mm巾、長さ15cmの試験片を切り出し、JIS K7127に準拠して引っ張り試験を実施し、弾性率を計算した。   (4) Elastic modulus measurement: The dry films obtained in Examples and Comparative Examples were pasted on a copper foil that had been subjected to a mold release treatment, peeled after processing, and a film-like sample for evaluation was obtained. A test piece having a width of 15 mm and a length of 15 cm was cut out, a tensile test was performed according to JIS K7127, and the elastic modulus was calculated.

(5)リフロー試験:銅厚12μm、L/S=35/35μmの櫛形の銅回路付きポリイミド基板を準備した。ポリイミド基板の回路面に、実施例と比較例で得られたドライフィルムを貼り合わせて評価用サンプルを得た。大昌電子社製のリフローボード(マジックレジンボード)に、カバー面が密着するように評価用サンプルを貼り付けて、ピーク温度220℃および260℃にセットしたリフロー炉(千住金属社製、SX−1508)中を0.4m/minで流した。リフローボードから評価用サンプルを剥がした後に、リフローボード表面にカバーフィルムの剥がれや汚染等がないかを25倍の顕微鏡で確認した。   (5) Reflow test: A comb-shaped polyimide substrate with a copper circuit having a copper thickness of 12 μm and L / S = 35/35 μm was prepared. An evaluation sample was obtained by bonding the dry films obtained in Examples and Comparative Examples to the circuit surface of the polyimide substrate. Reflow furnace (manufactured by Senju Metal Co., Ltd., SX-1508) in which a sample for evaluation was attached to a reflow board (magic resin board) manufactured by Daisho Electronics Co., Ltd. so that the cover surface was in close contact, and peak temperatures were set to 220 ° C. and 260 ° C. ) At a flow rate of 0.4 m / min. After peeling off the sample for evaluation from the reflow board, it was confirmed with a 25 × microscope whether the cover film was peeled off or contaminated on the surface of the reflow board.

(6)耐マイグレーション試験:銅厚12μm、L/S=35/35μmの櫛形の銅回路付きポリイミド基板を準備した。ポリイミド基板の回路面に、実施例と比較例で得られたドライフィルムを貼り合わせて評価用サンプルとした。85℃、85%RH下にて、30VDCで1000hr通電させて、1000hr経過後の抵抗値および、表面状態(表面に何かが析出していないか)を確認した。   (6) Migration resistance test: A comb-shaped polyimide substrate with a copper circuit having a copper thickness of 12 μm and L / S = 35/35 μm was prepared. The dry film obtained in the example and the comparative example was bonded to the circuit surface of the polyimide substrate to obtain a sample for evaluation. Under 85 ° C. and 85% RH, current was passed for 1000 hours at 30 VDC, and the resistance value after 1000 hours and the surface state (whether something was deposited on the surface) were confirmed.

(7)難燃性試験:UL94薄型垂直燃焼試験の方法に従って評価した。銅(12μm)/ポリイミド(25μm)/銅(12μm)の3層銅貼フレキシブル積層板(ネオフレックス(登録商標)NFX-2ABEPFE(25T)三井化学(株)製)を用意した。用意したフレキシブル積層板の両面の銅箔をエッチング除去したポリイミドフィルムの両面に、実施例と比較例で得られたドライフィルム(厚さ30μm)を貼り合わせて評価用サンプルを準備して評価した。   (7) Flame retardancy test: Evaluated according to the method of UL94 thin vertical combustion test. A copper (12 μm) / polyimide (25 μm) / copper (12 μm) three-layer copper-laminated flexible laminate (Neoflex (registered trademark) NFX-2ABEPFE (25T) manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.) was prepared. The sample for evaluation was prepared and evaluated by bonding the dry films (thickness 30 μm) obtained in Examples and Comparative Examples on both sides of the polyimide film obtained by etching away the copper foils on both sides of the prepared flexible laminate.

実施例および比較例で使用したホスファゼン化合物は、以下の合成例1〜6の手順で合成された。得られたホスファゼン化合物は、H−NMRスペクトルおよび31P−NMRスペクトルの測定、アルカリ溶融後の硝酸銀を用いた電位差滴定法による塩素元素(残留塩素)の分析並びにTOF−MS分析の結果に基づいて同定した。 The phosphazene compounds used in Examples and Comparative Examples were synthesized according to the procedures of Synthesis Examples 1 to 6 below. The obtained phosphazene compound is based on the results of measurement of 1 H-NMR spectrum and 31 P-NMR spectrum, analysis of elemental chlorine (residual chlorine) by potentiometric titration method using silver nitrate after alkali melting, and TOF-MS analysis. Identified.

[合成例1]
(フェノキシ基、p−トリルオキシ基およびm−トリルオキシ基が置換したシクロホスファゼン化合物の合成)
5Lセパラブルフラスコに、撹拌機、還流冷却器、滴下ロートおよび窒素導入管を設置した。窒素雰囲気下、クロロシクロホスファゼンオリゴマー(分子式[PNClで示される、nが3から8の混合物で、n=3:n=4:n=5〜8の比が75:18:7の混合物)348g、テトラヒドロフラン(キシダ化学(株)製、試薬)1,000g、金属ナトリウム(関東化学(株)製、試薬)145gをフラスコに仕込んだ。それを撹拌しながら、フェノール(キシダ化学(株)製、試薬)292g、p−クレゾール(関東化学(株)製、試薬)195gおよびm−クレゾール(関東化学(株)製、試薬)130gのテトラヒドロフラン500g溶液を0℃で冷却下、3時間かけて滴下した。その後、内部温度を50℃まで昇温させた。50℃で6時間撹拌反応したのち、室温まで冷却した。冷却後、トルエン(キシダ化学(株)製、試薬)800gおよび水600gを添加し、分液し、有機層を水400gで3回洗浄し、減圧濃縮することで、フェノキシ基、p−トリルオキシ基およびm−トリルオキシ基が置換したシクロホスファゼン化合物を722g(収率98%)得た。この生成物の分析結果は以下の通りであった。
[Synthesis Example 1]
(Synthesis of cyclophosphazene compound substituted with phenoxy group, p-tolyloxy group and m-tolyloxy group)
In a 5 L separable flask, a stirrer, a reflux condenser, a dropping funnel and a nitrogen introducing tube were installed. Under a nitrogen atmosphere, a chlorocyclophosphazene oligomer (molecular formula [PNCl 2 ] n , where n is a mixture of 3 to 8 and the ratio of n = 3: n = 4: n = 5-8 is 75: 18: 7 348 g of a mixture), 1,000 g of tetrahydrofuran (manufactured by Kishida Chemical Co., Ltd., reagent), and 145 g of metal sodium (manufactured by Kanto Chemical Co., Ltd., reagent) were charged into the flask. While stirring it, 292 g of phenol (made by Kishida Chemical Co., Ltd., reagent), 195 g of p-cresol (made by Kanto Chemical Co., Ltd., reagent) and 130 g of m-cresol (made by Kanto Chemical Co., Ltd., reagent) A 500 g solution was added dropwise at 0 ° C. over 3 hours. Thereafter, the internal temperature was raised to 50 ° C. The reaction was stirred at 50 ° C. for 6 hours, and then cooled to room temperature. After cooling, 800 g of toluene (manufactured by Kishida Chemical Co., Ltd., reagent) and 600 g of water are added and separated, and the organic layer is washed with 400 g of water three times and concentrated under reduced pressure, whereby a phenoxy group and a p-tolyloxy group are obtained. And 722g (yield 98%) of cyclophosphazene compounds substituted with m-tolyloxy group were obtained. The analysis result of this product was as follows.

H−NMRスペクトル(300MHz,CDCl、δ、ppm):2.4(3H,m),6.5〜7.1(9H,m)
31P−NMRスペクトル(120MHz,CDCl、δ、ppm):−16.8,−12.2,9.4
MS(MALDI−TOF)m/z:1255,1010,750,736,721
残存塩素分析 :<0.01%
1 H-NMR spectrum (300 MHz, CDCl 3 , δ, ppm): 2.4 (3H, m), 6.5 to 7.1 (9H, m)
31 P-NMR spectrum (120 MHz, CDCl 3 , δ, ppm): −16.8, −12.2, 9.4
MS (MALDI-TOF) m / z: 1255, 1010, 750, 736, 721
Residual chlorine analysis: <0.01%

以上の分析結果から、この工程で得られた生成物は、その平均組成が[NP(OC1.0(OCMe)1.0]であるシクロホスファゼン化合物の混合物であることを確認した。 From the above analysis results, the product obtained in this step is a mixture of cyclophosphazene compounds whose average composition is [NP (OC 6 H 5 ) 1.0 (OC 6 H 4 Me) 1.0 ]. I confirmed that there was.

[合成例2]
(フェノキシ基およびm−トリルオキシ基が置換したシクロホスファゼン化合物の合成)
5Lセパラブルフラスコに、撹拌機、還流冷却器、滴下ロートおよび窒素導入管を設置した。窒素雰囲気下、ヘキサクロロシクロトリホスファゼン348g、アセトニトリル(キシダ化学(株)製、試薬)1,000g、フェノール414gおよびm−クレゾール260gをフラスコに仕込んだ。それを10℃で冷却下撹拌しながら、トリエチルアミン(キシダ化学(株)製、試薬)668gを、1時間かけて滴下した。その後、内部温度を83℃まで昇温させた。9時間還流反応したのち、室温まで冷却した。冷却後、トルエン800gおよび水600gを添加し、分液し、有機層を水400gで3回洗浄し、減圧濃縮することで、フェノキシ基およびm−トリルオキシ基が置換したシクロホスファゼン化合物を693g(収率96%)得た。この生成物の分析結果は以下の通りであった。
[Synthesis Example 2]
(Synthesis of cyclophosphazene compound substituted with phenoxy group and m-tolyloxy group)
In a 5 L separable flask, a stirrer, a reflux condenser, a dropping funnel and a nitrogen introducing tube were installed. Under a nitrogen atmosphere, 348 g of hexachlorocyclotriphosphazene, 1,000 g of acetonitrile (manufactured by Kishida Chemical Co., Ltd., reagent), 414 g of phenol and 260 g of m-cresol were charged into a flask. While stirring at 10 ° C. with cooling, 668 g of triethylamine (manufactured by Kishida Chemical Co., Ltd., reagent) was added dropwise over 1 hour. Thereafter, the internal temperature was raised to 83 ° C. The mixture was refluxed for 9 hours and then cooled to room temperature. After cooling, 800 g of toluene and 600 g of water were added, and the mixture was separated. The organic layer was washed with 400 g of water three times and concentrated under reduced pressure to obtain 693 g of cyclophosphazene compound substituted with a phenoxy group and an m-tolyloxy group (recovery). Rate 96%). The analysis result of this product was as follows.

H−NMRスペクトル(300MHz,CDCl、δ、ppm):2.4(6H,s),6.6〜7.3(28H,m)
31P−NMRスペクトル(120MHz,CDCl、δ、ppm):9.8
MS(MALDI−TOF)m/z:750,736,721
残存塩素分析 :<0.01%
1 H-NMR spectrum (300 MHz, CDCl 3 , δ, ppm): 2.4 (6H, s), 6.6 to 7.3 (28 H, m)
31 P-NMR spectrum (120 MHz, CDCl 3 , δ, ppm): 9.8
MS (MALDI-TOF) m / z: 750, 736, 721
Residual chlorine analysis: <0.01%

以上の分析結果から、この工程で得られた生成物は、[N(OCMe)(OPh)]、[N(OCMe)(OPh)]および[N(OCMe)(OPh)]の混合物であり、その平均組成が[N(OCMe)2.0(OPh)4.0]のシクロホスファゼン化合物の混合物であることを確認した。 From the above analysis results, the products obtained in this step are [N 3 P 3 (OC 6 H 4 Me) (OPh) 5 ], [N 3 P 3 (OC 6 H 4 Me) 2 (OPh) 4 ] and [N 3 P 3 (OC 6 H 4 Me) 3 (OPh) 3 ], the average composition of which is [N 3 P 3 (OC 6 H 4 Me) 2.0 (OPh) 4. 0 ] was confirmed to be a mixture of cyclophosphazene compounds.

[合成例3]
(フェノキシ基およびp−メトキシフェノキシ基が置換したシクロホスファゼン化合物の合成)
5Lセパラブルフラスコに、撹拌機、還流冷却器、滴下ロートおよび窒素導入管を設置した。窒素雰囲気下、クロロシクロホスファゼンオリゴマー(分子式[PNClで示される、nが3から8の混合物で、n=3:n=4:n=5〜8の比が75:18:7の混合物)348g、ジメチルホルムアミド(キシダ化学(株)製、試薬)600g、炭酸カリウム(キシダ化学(株)製、試薬)414gをフラスコに仕込んだ。それを60℃で撹拌しながら、フェノール292gのジメチルホルムアミド200g溶液を2時間かけて滴下し、続けて、p−メトキシフェノール(キシダ化学(株)製、試薬)385gのジメチルホルムアミド300g溶液を1時間かけて滴下した。その後、内部温度60℃で6時間撹拌したのち、室温まで冷却した。冷却後、トルエン(キシダ化学(株)製、試薬)800gおよび水1,400gを添加し、分液し、有機層を水400gで3回洗浄し、減圧濃縮することで、フェノキシ基およびp−メトキシフェノキシ基が置換したシクロホスファゼン化合物を769g(収率98%)得た。この生成物の分析結果は以下の通りであった。
[Synthesis Example 3]
(Synthesis of cyclophosphazene compound substituted with phenoxy group and p-methoxyphenoxy group)
In a 5 L separable flask, a stirrer, a reflux condenser, a dropping funnel and a nitrogen introducing tube were installed. Under a nitrogen atmosphere, a chlorocyclophosphazene oligomer (molecular formula [PNCl 2 ] n , where n is a mixture of 3 to 8 and the ratio of n = 3: n = 4: n = 5-8 is 75: 18: 7 348 g of a mixture), 600 g of dimethylformamide (manufactured by Kishida Chemical Co., Ltd., reagent), and 414 g of potassium carbonate (manufactured by Kishida Chemical Co., Ltd., reagent) were charged into a flask. While stirring at 60 ° C., a solution of 292 g of phenol in 200 g of dimethylformamide was added dropwise over 2 hours, and then a solution of 385 g of p-methoxyphenol (made by Kishida Chemical Co., Ltd., reagent) in 300 g of dimethylformamide was added for 1 hour. It was dripped over. Thereafter, the mixture was stirred at an internal temperature of 60 ° C. for 6 hours and then cooled to room temperature. After cooling, 800 g of toluene (manufactured by Kishida Chemical Co., Ltd., reagent) and 1,400 g of water were added, followed by liquid separation, and the organic layer was washed with 400 g of water three times and concentrated under reduced pressure, whereby 769 g (yield 98%) of a cyclophosphazene compound substituted with a methoxyphenoxy group was obtained. The analysis result of this product was as follows.

H−NMRスペクトル(300MHz,CDCl、δ、ppm):3.9(3H,m),6.4〜7.1(9H,m)
31P−NMRスペクトル(120MHz,CDCl、δ、ppm):−16.6,−12.1,9.9
MS(MALDI−TOF)m/z:1246,984,814,784,754
残存塩素分析 :<0.01%
1 H-NMR spectrum (300 MHz, CDCl 3 , δ, ppm): 3.9 (3H, m), 6.4 to 7.1 (9H, m)
31 P-NMR spectrum (120 MHz, CDCl 3 , δ, ppm): −16.6, −12.1, 9.9
MS (MALDI-TOF) m / z: 1246,984,814,784,754
Residual chlorine analysis: <0.01%

以上の分析結果から、この工程で得られた生成物は、その平均組成が[NP(OC1.0(OCOMe)1.0]であるシクロホスファゼン化合物の混合物であることを確認した。 From the above analysis results, the product obtained in this step is a mixture of cyclophosphazene compounds whose average composition is [NP (OC 6 H 5 ) 1.0 (OC 6 H 4 OMe) 1.0 ]. I confirmed that there was.

[合成例4]
(フェノキシ基が置換したシクロホスファゼン化合物の合成)
5Lセパラブルフラスコに、撹拌機、還流冷却器、滴下ロートおよび窒素導入管を設置した。窒素雰囲気下、クロロシクロホスファゼンオリゴマー(分子式[PNClで示される、nが3から8の混合物で、n=3:n=4:n=5〜8の比が75:18:7の混合物)348gおよびテトラヒドロフラン1,000gをフラスコに仕込んだ。それを撹拌しながら、予めフェノール621gと水酸化ナトリウム(関東化学(株)製、試薬)260gを水650gに溶解した後に減圧乾燥して調製したナトリウムフェノキシドを3時間かけて分割投入し、6時間還流反応したのち、室温まで冷却した。冷却後、トルエン(キシダ化学(株)製、試薬)800gおよび水900gを添加し、分液し、有機層を水400gで3回洗浄し、減圧濃縮することでフェノキシ基が置換したシクロホスファゼン化合物を675g(収率97%)得た。この生成物の分析結果は以下の通りであった。
[Synthesis Example 4]
(Synthesis of cyclophosphazene compounds substituted with phenoxy groups)
In a 5 L separable flask, a stirrer, a reflux condenser, a dropping funnel and a nitrogen introducing tube were installed. Under a nitrogen atmosphere, a chlorocyclophosphazene oligomer (molecular formula [PNCl 2 ] n , where n is a mixture of 3 to 8 and the ratio of n = 3: n = 4: n = 5-8 is 75: 18: 7 348 g of a mixture) and 1,000 g of tetrahydrofuran were charged into a flask. While stirring it, sodium phenoxide prepared by dissolving 621 g of phenol and 260 g of sodium hydroxide (manufactured by Kanto Chemical Co., Ltd., reagent) in 650 g of water and drying under reduced pressure was added in portions over 3 hours. After refluxing, it was cooled to room temperature. After cooling, 800 g of toluene (manufactured by Kishida Chemical Co., Ltd., reagent) and 900 g of water are added and separated, and the organic layer is washed with 400 g of water three times and concentrated under reduced pressure to substitute the phenoxy group-substituted cyclophosphazene compound. 675 g (97% yield) was obtained. The analysis result of this product was as follows.

H−NMRスペクトル(300MHz,CDCl、δ、ppm):6.7〜7.1(10H,m)
31P−NMRスペクトル(120MHz,CDCl、δ、ppm):−16.9,−16.8,−11.3,9.9
MS(MALDI−TOF)m/z:1388,1156,925,694
残存塩素分析 :<0.01%
1 H-NMR spectrum (300 MHz, CDCl 3 , δ, ppm): 6.7 to 7.1 (10H, m)
31 P-NMR spectrum (120 MHz, CDCl 3 , δ, ppm): −16.9, −16.8, −11.3, 9.9
MS (MALDI-TOF) m / z: 1388, 1156, 925, 694
Residual chlorine analysis: <0.01%

以上の分析結果から、この工程で得られた生成物は、その組成が[NP(OC]であるシクロホスファゼン化合物の混合物であることを確認した。 From the above analysis results, it was confirmed that the product obtained in this step was a mixture of cyclophosphazene compounds whose composition was [NP (OC 6 H 5 ) 2 ].

[合成例5]
(フェノキシ基およびp−シアノフェノキシ基が置換したシクロホスファゼン化合物の合成)
5Lセパラブルフラスコに、撹拌機、還流冷却器、滴下ロートおよび窒素導入管を設置した。窒素雰囲気下、ヘキサクロロシクロトリホスファゼン348g、アセトン(キシダ化学(株)製、試薬)800g、フェノール292gおよびp−シアノフェノール(東京化成工業(株)製、試薬)357gをフラスコに仕込んだ。それを0℃で冷却下撹拌しながら、トリエチルアミン617gを、1時間かけて滴下した。その後、内部温度を還流温度まで昇温させた。12時間還流したのち、室温まで冷却した。冷却後、メタノール(キシダ化学(株)製、試薬)600gを添加し、析出した沈殿を濾過して減圧乾燥することで、フェノキシ基およびp−シアノフェノキシ基が置換したシクロホスファゼン化合物を760g(収率99%)得た。この生成物の分析結果は以下の通りであった。
[Synthesis Example 5]
(Synthesis of cyclophosphazene compound substituted with phenoxy group and p-cyanophenoxy group)
In a 5 L separable flask, a stirrer, a reflux condenser, a dropping funnel and a nitrogen introducing tube were installed. Under a nitrogen atmosphere, 348 g of hexachlorocyclotriphosphazene, 800 g of acetone (manufactured by Kishida Chemical Co., Ltd., reagent), 292 g of phenol and 357 g of p-cyanophenol (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd., reagent) were charged into the flask. While stirring it at 0 ° C. with cooling, 617 g of triethylamine was added dropwise over 1 hour. Thereafter, the internal temperature was raised to the reflux temperature. After refluxing for 12 hours, the mixture was cooled to room temperature. After cooling, 600 g of methanol (manufactured by Kishida Chemical Co., Ltd., reagent) was added, and the deposited precipitate was filtered and dried under reduced pressure to obtain 760 g (yield) of a cyclophosphazene compound substituted with a phenoxy group and a p-cyanophenoxy group. 99%). The analysis result of this product was as follows.

H−NMRスペクトル(300MHz,CDCl、δ、ppm):6.8−7.5(9H,m)
31P−NMRスペクトル(120MHz,CDCl、δ、ppm):9.1
MS(MALDI−TOF)m/z:1330,1075,793,769,743
残存塩素分析 :<0.01%
1 H-NMR spectrum (300 MHz, CDCl 3 , δ, ppm): 6.8-7.5 (9H, m)
31 P-NMR spectrum (120 MHz, CDCl 3 , δ, ppm): 9.1
MS (MALDI-TOF) m / z: 1330, 1075, 793, 769, 743
Residual chlorine analysis: <0.01%

以上の分析結果から、この工程で得られた生成物は、その平均組成が[NP(OC1.0(OCCN)1.0]であるシクロホスファゼン化合物の混合物であることを確認した。 From the above analysis results, the product obtained in this step is a mixture of cyclophosphazene compounds whose average composition is [NP (OC 6 H 5 ) 1.0 (OC 6 H 4 CN) 1.0 ]. I confirmed that there was.

[合成例6]
(2−(メタクリロイルオキシ)エチルオキシが置換したシクロホスファゼン化合物の合成)
5Lセパラブルフラスコに、撹拌機、還流冷却器、滴下ロートおよび窒素導入管を設置した。窒素雰囲気下、ヘキサクロロシクロトリホスファゼン348g、テトラヒドロフラン900g、ヘプタンでよく洗浄した水素化ナトリウム(関東化学(株)製、試薬)158gをフラスコに仕込んだ。それを0℃で撹拌しながら、フェノール94gのテトラヒドロフラン50g溶液を1時間かけて滴下し、続けて、2−ヒドロキシエチルメタクリレート(キシダ化学(株)製、試薬)716gを2時間かけて滴下した。その後、内部温度0℃で6時間撹拌した。反応後、トルエン800gおよび水1,400gを添加し、分液し、有機層を水400gで3回洗浄し、減圧濃縮することでフェノキシ基および2−(メタクリロイルオキシ)エチルオキシが置換したシクロホスファゼン化合物を824g(収率95%)得た。この生成物の分析結果は以下の通りであった。
[Synthesis Example 6]
(Synthesis of cyclophosphazene compound substituted with 2- (methacryloyloxy) ethyloxy)
In a 5 L separable flask, a stirrer, a reflux condenser, a dropping funnel and a nitrogen introducing tube were installed. Under a nitrogen atmosphere, 348 g of hexachlorocyclotriphosphazene, 900 g of tetrahydrofuran, and 158 g of sodium hydride (manufactured by Kanto Chemical Co., Ltd., reagent) thoroughly washed with heptane were charged into the flask. While stirring it at 0 ° C., a solution of 94 g of phenol in 50 g of tetrahydrofuran was added dropwise over 1 hour, and subsequently, 716 g of 2-hydroxyethyl methacrylate (manufactured by Kishida Chemical Co., Ltd., reagent) was added dropwise over 2 hours. Then, it stirred at internal temperature 0 degreeC for 6 hours. After the reaction, 800 g of toluene and 1,400 g of water were added, liquid separation was performed, and the organic layer was washed with 400 g of water three times and concentrated under reduced pressure to replace the cyclophosphazene compound substituted with phenoxy group and 2- (methacryloyloxy) ethyloxy. 824 g (yield 95%) was obtained. The analysis result of this product was as follows.

H−NMRスペクトル(300MHz,CDCl、δ、ppm):1.9(15H,m),4.2(10H,m),4.6(10H,m),5.6(5H,m),6.2(5H,m),6.7−7.1(5H,m)
31P−NMRスペクトル(120MHz,CDCl、δ、ppm):12.0(2P,m),19.7(2P,m)
MS(MALDI−TOF)m/z:898,864,830
残存塩素分析 :<0.01%
1 H-NMR spectrum (300 MHz, CDCl 3 , δ, ppm): 1.9 (15 H, m), 4.2 (10 H, m), 4.6 (10 H, m), 5.6 (5 H, m ), 6.2 (5H, m), 6.7-7.1 (5H, m)
31 P-NMR spectrum (120 MHz, CDCl 3 , δ, ppm): 12.0 (2P, m), 19.7 (2P, m)
MS (MALDI-TOF) m / z: 898, 864, 830
Residual chlorine analysis: <0.01%

以上の分析結果から、この工程で得られた生成物は、{N[OCOCOC(CH)=CH(OPh)}、{N[OCOCOC(CH)=CH(OPh)}および{N[OCOCOC(CH)=CH}の混合物であり、その平均組成が{N[OCOCOC(CH)=CH5.0(OPh)1.0}のシクロホスファゼン化合物の混合物であることを確認した。 From the above analysis results, the products obtained in this step are {N 3 P 3 [OC 2 H 4 OCOC (CH 3 ) = CH 2 ] 4 (OPh) 2 }, {N 3 P 3 [OC 2 H 4 OCOC (CH 3 ) ═CH 2 ] 5 (OPh)} and {N 3 P 3 [OC 2 H 4 OCOC (CH 3 ) ═CH 2 ] 6 }, the average composition of which is {N 3 It was confirmed to be a mixture of cyclophosphazene compounds of P 3 [OC 2 H 4 OCOC (CH 3 ) ═CH 2 ] 5.0 (OPh) 1.0 }.

不飽和結合の個数は、難燃剤を挟み込んだシリコンウェハを、赤外吸収測定装置にセットして、赤外吸収測定を行い、不飽和結合の吸収強度から、不飽和結合を有する官能基の数を求めた。液状の難燃剤は、そのままシリコンウェハで挟み込み;固体状の難燃剤は、流動パラフィンと混合し、乳ばちで粉砕して、シリコンウェハに挟み込んだ。難燃剤をシリコンウェハに挟み込むときに、スペーサーで試料厚みを調整した。   The number of unsaturated bonds is determined by setting a silicon wafer with a flame retardant sandwiched in an infrared absorption measurement device, and performing infrared absorption measurement. From the absorption strength of unsaturated bonds, the number of functional groups having unsaturated bonds Asked. The liquid flame retardant was sandwiched between silicon wafers as it was; the solid flame retardant was mixed with liquid paraffin, pulverized with milk dust, and sandwiched between silicon wafers. When the flame retardant was sandwiched between silicon wafers, the sample thickness was adjusted with a spacer.

Figure 0005530091
Figure 0005530091

[実施例1]
(樹脂組成物の配合)
難燃剤として、合成例3で合成したメトキシ基導入フェノキシシクロホスファゼン20.0gと、光重合可能な化合物としてジペンタエリスリトールヘキサ/ペンタアクリレート(東亞合成(株)社製、商品名;アロニックスM−402)16.7gと、酸変性ビスフェノールA型アクリレート(日本化薬社製、商品名;カヤラッドZAR−1035)30.0gと、溶剤としてN,N'-ジメチルアセトアミド27.7gと、光重合開始剤としてジエチルチオキサントン(日本化薬(株)社製、カヤキュアDETX−S)1.9gと、光重合開始助剤としてp-ジメチルアミノ安息香酸エチル(日本化薬(株)社製、カヤキュアEPA)3.7gとを添加した混合物を得た。混合物を30分間撹拌して、粘度約0.3Pa・sの褐色粘性液体を得た。
[Example 1]
(Formulation of resin composition)
As a flame retardant, 20.0 g of methoxy group-introduced phenoxycyclophosphazene synthesized in Synthesis Example 3, and dipentaerythritol hexa / pentaacrylate (trade name; Aronix M-402, manufactured by Toagosei Co., Ltd.) as a photopolymerizable compound. ) 16.7 g, 30.0 g of acid-modified bisphenol A acrylate (product name; Kayrad ZAR-1035, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), 27.7 g of N, N′-dimethylacetamide as a solvent, and a photopolymerization initiator 1.9 g of diethylthioxanthone (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., Kayacure DETX-S), and ethyl p-dimethylaminobenzoate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., Kayacure EPA) 3 as a photopolymerization initiation assistant 0.7 g was added. The mixture was stirred for 30 minutes to obtain a brown viscous liquid having a viscosity of about 0.3 Pa · s.

(ドライフィルムの製造)
得られた感光性樹脂溶液を、幅30cm、厚さ19μmのキャリアフィルム(ポリエチレンテレフタレートフィルム:東洋紡社製M5001)に、アプリケーターを用いて塗工して、塗膜を熱風循環乾燥炉内で100℃×8分間かけて乾燥した。形成された感光性樹脂膜に、厚さ30μmのカバーフィルム(ポリエチレンフィルム:タマポリ(株)社製、GF-130)を貼り合わせて、ドライフィルムとした。
(Manufacture of dry film)
The obtained photosensitive resin solution was applied to a carrier film (polyethylene terephthalate film: M5001 manufactured by Toyobo Co., Ltd.) having a width of 30 cm and a thickness of 19 μm using an applicator, and the coating film was 100 ° C. in a hot air circulating drying furnace. X Dried for 8 minutes. A 30 μm-thick cover film (polyethylene film: GF-130, manufactured by Tamapoly Co., Ltd.) was bonded to the formed photosensitive resin film to obtain a dry film.

(性能評価)
作製したドライフィルムからカバーフィルムを剥がし、前記各評価試験に記載の通りに、各基板に重ねて位置合わせをし、その後、真空ラミネート装置(名機製作所製MVLP600真空ラミネーター)で、プレス温度60℃、圧力0.5MPaにて、60秒圧着して貼り合わせて、評価用サンプルを得た。
所定のマスクを通して、400mJ/cmの露光量でUV光を照射した。露光後、30℃の1.0%NaCO水溶液を0.20MPaのスプレー圧で噴霧して、未露光部を洗い落として現像した。次いで、水洗、乾燥し、160℃の熱風循環炉に60分間投入し、加熱硬化させた。
得られた各評価用サンプルについて、耐反り試験、耐ハゼ折試験、難燃性試験を実施した。現像性は良好であった。ハゼ折回数は20回であった。反り量は四隅の高さの平均値が13mmと比較的低く、難燃性もVTM−0の規格に適合する結果であった。
(Performance evaluation)
The cover film is peeled off from the produced dry film, and aligned with each substrate as described in each evaluation test. After that, with a vacuum laminator (MVLP600 vacuum laminator manufactured by Meiki Seisakusho), a press temperature of 60 ° C. The sample for evaluation was obtained by pressure bonding at a pressure of 0.5 MPa for 60 seconds.
UV light was irradiated through a predetermined mask at an exposure amount of 400 mJ / cm 2 . After the exposure, a 1.0% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. was sprayed at a spray pressure of 0.20 MPa to wash away unexposed portions and develop. Next, it was washed with water, dried, put into a 160 ° C. hot air circulating furnace for 60 minutes, and cured by heating.
Each of the obtained samples for evaluation was subjected to a warp resistance test, a goby folding test, and a flame retardance test. The developability was good. The number of goby folding was 20 times. The amount of warpage was a comparatively low average value of the heights of the four corners of 13 mm, and the flame retardancy was a result of conforming to the VTM-0 standard.

[比較例1]
難燃剤を合成例5で合成したシアノ基導入フェノキシシクロホスファゼンとした以外は、実施例1と同様の操作で、各評価用サンプルを得た。得られた評価用サンプルについて評価を行った。現像性は不良であった。ハゼ折回数は10回であった。反り量は測定できず、カール状となってしまった。難燃性はVTM−0の規格に適合する結果であった。難燃性に関しては良好であったものの、その他物性については実施例1に比すると劣る結果となった。
[Comparative Example 1]
Samples for evaluation were obtained in the same manner as in Example 1, except that the flame retardant was cyano group-introduced phenoxycyclophosphazene synthesized in Synthesis Example 5. The obtained sample for evaluation was evaluated. The developability was poor. The number of goby folds was 10. The amount of warpage could not be measured and became curled. The flame retardancy was a result that conformed to the VTM-0 standard. Although the flame retardancy was good, the other physical properties were inferior to those of Example 1.

[実施例2]
(ポリアミド酸の合成(合成例A))
3Lセパラブルフラスコに、撹拌機、ディーンシュターク管、還流冷却器、200ml滴下ロート及び窒素導入菅を設置した。窒素雰囲気下、N-メチルピロリドン(東京化成(株)製、試薬)1223.7g、メシチレン(関東化学(株)製、試薬)524.4g、オキシジフタル酸二無水物(マナック(株)製)434.3gをフラスコに仕込んだ。それを撹拌しながら、末端アミノ化ポリ(プロピレングリコール−テトラメチレングリコール共重合体)(ハンツマン・コーポレーション製、商品名;ジェファーミンXTJ542)303.5gと、1,12-ジアミノドデカン114.9gを昇温下1時間かけて滴下した。その後、内部温度を180℃まで昇温させた。180℃で還流を4時間維持したのち、室温まで冷却した。冷却後、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン(三井化学(株)社製)109.3gを添加した。添加後、20時間窒素雰囲気下で撹拌を継続し、固形分35質量%の部分的にイミド化されたポリアミド酸溶液(合成例A)を得た。
[Example 2]
(Synthesis of polyamic acid (Synthesis Example A))
In a 3 L separable flask, a stirrer, a Dean-Stark tube, a reflux condenser, a 200 ml dropping funnel, and a nitrogen-introducing tank were installed. Under a nitrogen atmosphere, 1223.7 g of N-methylpyrrolidone (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd., reagent), 524.4 g of mesitylene (manufactured by Kanto Chemical Co., Ltd., reagent), oxydiphthalic dianhydride (manufactured by Manac Co., Ltd.) 434 .3g was charged to the flask. While stirring it, 303.5 g of terminal aminated poly (propylene glycol-tetramethylene glycol copolymer) (manufactured by Huntsman Corporation; trade name: Jeffamine XTJ542) and 114.9 g of 1,12-diaminododecane were increased. The solution was added dropwise over 1 hour under temperature. Thereafter, the internal temperature was raised to 180 ° C. After refluxing at 180 ° C. for 4 hours, the mixture was cooled to room temperature. After cooling, 109.3 g of 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene (manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.) was added. After the addition, stirring was continued in a nitrogen atmosphere for 20 hours to obtain a partially imidized polyamic acid solution (Synthesis Example A) having a solid content of 35% by mass.

(樹脂組成物の配合)
難燃剤として、合成例1で合成したメチル基導入フェノキシシクロホスファゼン9.0gと、光重合可能な化合物としてジペンタエリスリトールヘキサ/ペンタアクリレート(東亞合成(株)社製、商品名;アロニックスM−402)11.0gと、ポリアミド酸として合成例Aのポリアミド酸を73.3gと、溶剤としてN,N'-ジメチルアセトアミド5.4gと、光重合開始剤としてジエチルチオキサントン(日本化薬(株)社製、カヤキュアDETX−S)0.4gと、光重合開始助剤としてp-ジメチルアミノ安息香酸エチル(日本化薬(株)社製、カヤキュアEPA)0.9gとを添加した。30分間撹拌して、粘度約0.5Pa・sの褐色粘性液体(感光性樹脂溶液)を得た。
(Formulation of resin composition)
As a flame retardant, 9.0 g of methyl group-introduced phenoxycyclophosphazene synthesized in Synthesis Example 1 and dipentaerythritol hexa / pentaacrylate (trade name; Aronix M-402, manufactured by Toagosei Co., Ltd.) as a photopolymerizable compound ) 11.0 g, 73.3 g of the polyamic acid of Synthesis Example A as the polyamic acid, 5.4 g of N, N′-dimethylacetamide as the solvent, and diethylthioxanthone (Nippon Kayaku Co., Ltd.) as the photopolymerization initiator 0.4 g of Kayacure DETX-S) and 0.9 g of ethyl p-dimethylaminobenzoate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., Kayacure EPA) were added as a photopolymerization initiation aid. The mixture was stirred for 30 minutes to obtain a brown viscous liquid (photosensitive resin solution) having a viscosity of about 0.5 Pa · s.

(ドライフィルムの製造)
得られた感光性樹脂溶液を、幅30cm、厚さ19μmのキャリアフィルム(ポリエチレンテレフタレートフィルム:東洋紡社製M5001)に、アプリケーターを用いて塗工後、熱風循環乾燥炉内で100℃×8分間乾燥した。形成された感光性樹脂膜に、厚さ30μmのカバーフィルム(ポリエチレンフィルム:タマポリ(株)社製、GF-130)を貼り合わせてドライフィルムとした。
(Manufacture of dry film)
The obtained photosensitive resin solution was applied to a carrier film (polyethylene terephthalate film: M5001 manufactured by Toyobo Co., Ltd.) having a width of 30 cm and a thickness of 19 μm using an applicator, and then dried in a hot air circulating drying oven at 100 ° C. for 8 minutes. did. A 30 μm-thick cover film (polyethylene film: GF-130, manufactured by Tamapoly Co., Ltd.) was bonded to the formed photosensitive resin film to obtain a dry film.

(性能評価)
作製したドライフィルムからカバーフィルムを剥がし、前記各評価試験に記載の通りに、各基板に重ねて位置合わせをし、その後、真空ラミネート装置(名機製作所製MVLP600真空ラミネーター)で、プレス温度60℃、圧力0.5MPaにて、60秒圧着して貼り合わせて、評価用サンプルを得た。
所定のマスクを通して、400mJ/cmの露光量でUV光を照射した。露光後、30℃の1.0%NaCO水溶液を0.20MPaのスプレー圧で噴霧して、未露光部を洗い落として現像した。次いで、水洗、乾燥し、160℃の熱風循環炉に60分間投入し、加熱硬化させた。
得られた各評価用サンプルについて、現像性試験、耐反り試験、耐ハゼ折試験、弾性率測定(引っ張り試験)、リフロー試験、マイグレーション試験、難燃性試験を実施した。現像性は良好であった。ハゼ折回数は20回であった。反り量は四隅の高さの平均値が0mmと非常に良好であった。弾性率を測定したところ0.3GPaと非常に低い値であった。リフロー試験においては、低温(220℃)では汚染が認められず良好な結果であったが、高温(260℃)においてはリフローボード上に白い析出物が見られ、汚染が認められた。マイグレーション試験後基板表面には析出物は見られず良好な結果だった。難燃性もVTM−0の規格に適合する結果であった。
(Performance evaluation)
The cover film is peeled off from the produced dry film, and aligned with each substrate as described in each evaluation test. After that, with a vacuum laminator (MVLP600 vacuum laminator manufactured by Meiki Seisakusho), a press temperature of 60 ° C. The sample for evaluation was obtained by pressure bonding at a pressure of 0.5 MPa for 60 seconds.
UV light was irradiated through a predetermined mask at an exposure amount of 400 mJ / cm 2 . After the exposure, a 1.0% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. was sprayed at a spray pressure of 0.20 MPa to wash away unexposed portions and develop. Next, it was washed with water, dried, put into a 160 ° C. hot air circulating furnace for 60 minutes, and cured by heating.
Each of the obtained samples for evaluation was subjected to a developability test, a warp resistance test, a gouge folding test, an elastic modulus measurement (tensile test), a reflow test, a migration test, and a flame retardance test. The developability was good. The number of goby folding was 20 times. The amount of warpage was very good with the average value of the height of the four corners being 0 mm. When the elastic modulus was measured, it was a very low value of 0.3 GPa. In the reflow test, no contamination was observed at a low temperature (220 ° C.) and good results were obtained. However, white precipitates were observed on the reflow board at a high temperature (260 ° C.), and contamination was observed. After the migration test, no precipitate was seen on the substrate surface, which was a good result. The flame retardancy was also a result conforming to the VTM-0 standard.

[実施例3および4、比較例2〜4]
難燃剤を表2および表3に示すとおりに変更した以外は、実施例2と同様の操作で各評価用サンプルを得た。特に融解温度の高い難燃剤を使用した比較例3,5では現像性が不良であった。融解温度の高い難燃剤を使用した比較例2および比較例3では、耐反り試験、耐ハゼ折試験について顕著に劣る結果が見られた。これは、難燃剤の相溶性が低いため、本来相溶性が良好であれば発揮されうる低弾性率が達成されなかったためであると思われる。また、マイグレーション試験後の基板表面を観察したところ、比較例2および比較例3では、微小な結晶状の析出物が見られた。また、重合可能な反応性官能基(メタクリロイル基)を含む難燃剤を添加した場合(比較例4)は、耐ハゼ折試験、耐反り試験が非常に悪い結果となり、難燃性が顕著に低かった。
[Examples 3 and 4, Comparative Examples 2 to 4]
Each evaluation sample was obtained in the same manner as in Example 2 except that the flame retardant was changed as shown in Tables 2 and 3. In particular, in Comparative Examples 3 and 5 using a flame retardant having a high melting temperature, developability was poor. In Comparative Example 2 and Comparative Example 3 using a flame retardant having a high melting temperature, the results of remarkably inferior warping resistance test and gond folding resistance test were observed. This is presumably because the low elastic modulus that can be exhibited if the compatibility is good is not achieved because the flame retardant has low compatibility. Moreover, when the substrate surface after the migration test was observed, in Comparative Example 2 and Comparative Example 3, fine crystalline precipitates were observed. In addition, when a flame retardant containing a polymerizable reactive functional group (methacryloyl group) is added (Comparative Example 4), the results of the goblet fold resistance test and warpage resistance test are very poor, and the flame resistance is remarkably low. It was.

[実施例5]
(ポリアミド酸の合成(合成例B))
3Lセパラブルフラスコに撹拌機、ディーンシュターク管、還流冷却器、200ml滴下ロート及び窒素導入菅を設置した。窒素雰囲気下、N-メチルピロリドン(東京化成(株)製、試薬)1216.7g、メシチレン(関東化学(株)製、試薬)521.5g、オキシジフタル酸二無水物(マナック(株)製)434.3gをフラスコに仕込んだ。それを撹拌しながら、末端アミノ化ポリプロピレングリコール(ハンツマン・コーポレーション製、商品名;ジェファーミンD400)75.9gと末端アミノ化ポリ(プロピレングリコール−テトラメチレングリコール共重合体)(ハンツマン・コーポレーション製、商品名;ジェファーミンXTJ542)227.6gと、1,12-ジアミノドデカン56.2gを昇温下1時間かけて滴下した。その後、内部温度を180℃まで昇温させた。180℃で還流を4時間維持したのち、室温まで冷却した。冷却後、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン(三井化学(株)社製)153.3gを添加した。添加後、20時間窒素雰囲気下で撹拌を継続し、固形分35質量%の部分的にイミド化されたポリアミド酸溶液(合成例B)を得た。
[Example 5]
(Synthesis of polyamic acid (Synthesis Example B))
A stirrer, a Dean-Stark tube, a reflux condenser, a 200 ml dropping funnel, and a nitrogen inlet were installed in a 3 L separable flask. Under a nitrogen atmosphere, N-methylpyrrolidone (Tokyo Kasei Co., Ltd., reagent) 1216.7 g, mesitylene (Kanto Chemical Co., Ltd., reagent) 521.5 g, oxydiphthalic dianhydride (manac Co., Ltd.) 434 .3g was charged to the flask. While stirring it, 75.9 g of terminal aminated polypropylene glycol (manufactured by Huntsman Corporation, trade name: Jeffamine D400) and terminal aminated poly (propylene glycol-tetramethylene glycol copolymer) (manufactured by Huntsman Corporation, product) Name: Jeffamine XTJ542) 227.6 g and 1,12-diaminododecane 56.2 g were added dropwise over 1 hour at elevated temperature. Thereafter, the internal temperature was raised to 180 ° C. After refluxing at 180 ° C. for 4 hours, the mixture was cooled to room temperature. After cooling, 153.3 g of 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene (manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.) was added. After the addition, stirring was continued in a nitrogen atmosphere for 20 hours to obtain a partially imidized polyamic acid solution (Synthesis Example B) having a solid content of 35% by mass.

ポリアミド酸を合成例Bのポリアミド酸として、表2に示す組成成分の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物から、実施例1と同様にしてドライフィルムを作製し、さらに各評価用サンプルを作製して評価した。   Using the polyamic acid as the polyamic acid of Synthesis Example B, resin compositions having the composition components shown in Table 2 were obtained. From the obtained resin composition, a dry film was produced in the same manner as in Example 1, and each evaluation sample was produced and evaluated.

[比較例5]
ポリアミド酸を合成例Bのポリアミド酸として、表3に示す組成成分の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物から、実施例1と同様にしてドライフィルムを作製し、さらに各評価用サンプルを作製して評価した。
[Comparative Example 5]
Using the polyamic acid as the polyamic acid of Synthesis Example B, resin compositions having the composition components shown in Table 3 were obtained. From the obtained resin composition, a dry film was produced in the same manner as in Example 1, and each evaluation sample was produced and evaluated.

比較例5に比べて実施例5は、耐ハゼ折試験、耐反り性試験についても数値が高く良好であった。また、マイグレーション試験時の抵抗値も高く、試験後の表面への析出も見られず良好な結果となった。   Compared with Comparative Example 5, Example 5 had good numerical values for the goblet folding test and warpage resistance test. Moreover, the resistance value at the time of a migration test was also high, and precipitation on the surface after the test was not seen, and a good result was obtained.

各実施例および各比較例で得た樹脂組成物の組成および評価結果を、表2および表3にまとめた。   The compositions and evaluation results of the resin compositions obtained in each Example and each Comparative Example are summarized in Table 2 and Table 3.

Figure 0005530091
Figure 0005530091

Figure 0005530091
Figure 0005530091

[実施例6]
(ポリアミド酸の合成(合成例C))
フラスコを300mLセパラブルフラスコとした以外は、合成例Bと同様の設備を使用した。窒素雰囲気下、N-メチルピロリドン106.7g、メシチレン45.7g、ピロメリット酸二無水物(三菱瓦斯化学(株)製)45.8gをフラスコに仕込んだ。それを撹拌しながら、末端アミノ化ポリプロピレングリコール(ハンツマン・コーポレーション製、商品名;ジェファーミンD400)12.3gと、末端アミノ化ポリプロピレングリコール(ハンツマン・コーポレーション製、商品名;ジェファーミンD230)11.0gと、末端アミノ化ポリ(プロピレングリコール−テトラメチレングリコール共重合体)(ハンツマン・コーポレーション製、商品名;ジェファーミンXTJ542)36.8gとを、昇温下1時間かけて滴下した。その後、内部温度を180℃まで昇温させた。180℃で還流を4時間維持したのち、室温まで冷却した。冷却後、4,4'-ジアミノジフェニルエーテル、(JFEケミカル(株)社製)18.6gを添加した。添加後、20時間窒素雰囲気下で撹拌を継続し、固形分45質量%の部分的にイミド化されたポリアミド酸(合成例C)の溶液を得た。
[Example 6]
(Synthesis of polyamic acid (Synthesis Example C))
The same equipment as in Synthesis Example B was used except that the flask was a 300 mL separable flask. Under a nitrogen atmosphere, 106.7 g of N-methylpyrrolidone, 45.7 g of mesitylene, and 45.8 g of pyromellitic dianhydride (manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Inc.) were charged into the flask. While stirring it, 12.3 g of terminal aminated polypropylene glycol (trade name; Jeffamine D400, manufactured by Huntsman Corporation) and 11.0 g of terminal aminated polypropylene glycol (trade name; Jeffamine D230, manufactured by Huntsman Corporation) And 36.8 g of terminal aminated poly (propylene glycol-tetramethylene glycol copolymer) (manufactured by Huntsman Corporation, trade name: Jeffamine XTJ542) were added dropwise over 1 hour at an elevated temperature. Thereafter, the internal temperature was raised to 180 ° C. After refluxing at 180 ° C. for 4 hours, the mixture was cooled to room temperature. After cooling, 18.6 g of 4,4′-diaminodiphenyl ether (manufactured by JFE Chemical Co., Ltd.) was added. After the addition, stirring was continued for 20 hours under a nitrogen atmosphere to obtain a partially imidized polyamic acid solution (Synthesis Example C) having a solid content of 45% by mass.

合成例Cのポリアミド酸を用いて、表5に示す実施例6の組成成分の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物から、実施例1と同様にしてドライフィルムを作製し、さらに各評価用サンプルを作製して評価した。   Using the polyamic acid of Synthesis Example C, a resin composition having the composition components of Example 6 shown in Table 5 was obtained. From the obtained resin composition, a dry film was produced in the same manner as in Example 1, and each evaluation sample was produced and evaluated.

[実施例7〜14]
(ポリアミド酸の合成(合成例D〜合成例G)
表4に示す原材料組成を用いて、合成例Cと同様にポリアミド酸を合成した。合成例D〜合成例Gのポリアミド酸を用いて、表5および表6に示す組成成分の樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物から、実施例1と同様にしてドライフィルムを作製し、さらに各評価用サンプルを作製して評価した。
[Examples 7 to 14]
(Synthesis of polyamic acid (Synthesis Examples D to G)
A polyamic acid was synthesized in the same manner as in Synthesis Example C using the raw material composition shown in Table 4. Using the polyamic acids of Synthesis Examples D to G, resin compositions having the composition components shown in Tables 5 and 6 were obtained. From the obtained resin composition, a dry film was produced in the same manner as in Example 1, and each evaluation sample was produced and evaluated.

Figure 0005530091
PMDA:ピロメリット酸二無水物(三菱瓦斯化学製)
BPDA:3,4,3',4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(宇部興産製)
ODPA:3,4,3',4'−オキシジフタル酸無水物(マナック製)
XTJ542:ジェファーミンXTJ542(ハンツマン製)
D230:ジェファーミンD230(ハンツマン製)
D400:ジェファーミンD400(ハンツマン製)
ODA:4,4'-ジアミノジフェニルエーテル(JFEケミカル製)
APB:1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン(三井化学製)
Figure 0005530091
PMDA: pyromellitic dianhydride (Mitsubishi Gas Chemical)
BPDA: 3,4,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (manufactured by Ube Industries)
ODPA: 3,4,3 ′, 4′-oxydiphthalic anhydride (manac)
XTJ542: Jeffermin XTJ542 (manufactured by Huntsman)
D230: Jeffermin D230 (manufactured by Huntsman)
D400: Jeffermin D400 (manufactured by Huntsman)
ODA: 4,4'-diaminodiphenyl ether (manufactured by JFE Chemical)
APB: 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene (Mitsui Chemicals)

Figure 0005530091
アロニックスM-450:ペンタエリスリトールペンタアクリレート/テトラアクリレート混合物(東亞合成製)
カヤラッドTPA320:トリメチロールプロパン−プロピレンオキサイド変性トリアクリレート(日本化薬製)
FA-321M:エチレンオキサイド変性ビスフェノールAジメタクリレート(日立化成製)
光重合開始剤1:カヤキュアDETX-S(日本化薬製)
光重合開始剤2:ルシリンTPO(BASF製)
光開始助剤:カヤキュアEPA(日本化薬製)
含窒素複素環化合物:2-フェニルイミダゾール(和光純薬製)
Figure 0005530091
Aronix M-450: Pentaerythritol pentaacrylate / tetraacrylate mixture (Toagosei Co., Ltd.)
Kayrad TPA320: Trimethylolpropane-propylene oxide modified triacrylate (Nippon Kayaku)
FA-321M: Ethylene oxide modified bisphenol A dimethacrylate (manufactured by Hitachi Chemical)
Photopolymerization initiator 1: Kayacure DETX-S (Nippon Kayaku)
Photoinitiator 2: Lucillin TPO (manufactured by BASF)
Photoinitiator aid: Kayacure EPA (Nippon Kayaku)
Nitrogen-containing heterocyclic compound: 2-phenylimidazole (manufactured by Wako Pure Chemical Industries)

Figure 0005530091
(C’)アルカリ可溶性樹脂:メタクリル酸/アクリル酸エチル/メタクリル酸メチル/スチレン(質量比:14/38/38/10)の共重合体の、トルエン/メチルセロソルブ(質量比=2/3)溶液(重量平均分子量:7万、酸価:90mgKOH/g)
エピコート807:ビスフェノールF型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン製)
ブロック化イソシアネート化合物(BL3175):ヘキサメチレンジイソアシアネートのイソシアヌレート体をメチルエチルケトンオキシムでブロックした化合物(住化バイエルウレタン社製)
Figure 0005530091
(C ′) Alkali-soluble resin: Toluene / methyl cellosolve (mass ratio = 2/3) of a copolymer of methacrylic acid / ethyl acrylate / methyl methacrylate / styrene (mass ratio: 14/38/38/10) Solution (weight average molecular weight: 70,000, acid value: 90 mgKOH / g)
Epicoat 807: Bisphenol F type epoxy resin (made by Japan Epoxy Resin)
Blocked isocyanate compound (BL3175): A compound obtained by blocking the isocyanurate of hexamethylene diisocyanate with methyl ethyl ketone oxime (manufactured by Sumika Bayer Urethane Co., Ltd.)

本発明の電子材料用樹脂組成物により、例えば優れた感光性カバーレイが提供される。
The resin composition for electronic materials of the present invention provides, for example, an excellent photosensitive coverlay.

Claims (7)

(A)フェノキシホスファゼン難燃剤、および
(B)光重合可能な不飽和二重結合を有する化合物を含み、かつ
下記式(X)で表される有機リン化合物と、4つ以上の(メタ)アクリレート基を有する化合物との付加物を含まない電子材料用樹脂組成物であって、
Figure 0005530091
前記(A)フェノキシホスファゼン難燃剤の融解温度が100℃以下であり、かつその分子1個あたりの不飽和結合を有する官能基の数の平均が0.1個以下である、電子材料用樹脂組成物。
(A) phenoxyphosphazene seen including Zen flame retardant, and (B) photopolymerizable unsaturated double compounds with binding, and
The resin composition for electronic materials does not include an adduct of an organophosphorus compound represented by the following formula (X) and a compound having four or more (meth) acrylate groups ,
Figure 0005530091
The resin composition for electronic materials, wherein the melting temperature of the (A) phenoxyphosphazene flame retardant is 100 ° C. or lower and the average number of functional groups having an unsaturated bond per molecule is 0.1 or lower. object.
(A)フェノキシホスファゼン難燃剤、および
(B)光重合可能な不飽和二重結合を有する化合物を含み、かつ
下記式(X)で表される有機リン化合物と、4つ以上の(メタ)アクリレート基を有する化合物との付加物を含まない電子材料用樹脂組成物であって、
Figure 0005530091
前記(A)フェノキシホスファゼン難燃剤が、一般式(1)で表される化合物である電子材料用樹脂組成物。
Figure 0005530091
(式中、
とRは、互いに同一であっても異なっていてもよく、また繰り返し単位ごとに異なっていてもよいが、水素、メチル基、エチル基、メトキシ基およびエトキシ基からなる群から選択され、一分子中に1つ以上の水素以外の基を含み、
nは3以上の整数であり、
各ベンゼン環は、2つ以上の置換基RまたはRを有していてもよい)
(A) phenoxyphosphazene seen including Zen flame retardant, and (B) photopolymerizable unsaturated double compounds with binding, and
The resin composition for electronic materials does not include an adduct of an organophosphorus compound represented by the following formula (X) and a compound having four or more (meth) acrylate groups ,
Figure 0005530091
The resin composition for electronic materials, wherein the (A) phenoxyphosphazene flame retardant is a compound represented by the general formula (1).
Figure 0005530091
(Where
R 1 and R 2 may be the same or different from each other, and may be different for each repeating unit, but are selected from the group consisting of hydrogen, methyl group, ethyl group, methoxy group, and ethoxy group. , Containing one or more non-hydrogen groups in one molecule,
n is an integer greater than or equal to 3,
Each benzene ring may have two or more substituents R 1 or R 2 )
請求項1または2に記載の電子材料用樹脂組成物であって、
(C)ポリアミド酸、(C’)アルカリ可溶性樹脂、および(C’’)エポキシ樹脂からなる群より選ばれる少なくとも1種の樹脂をさらに含む、電子材料用樹脂組成物。
The resin composition for electronic materials according to claim 1 or 2,
A resin composition for electronic materials, further comprising at least one resin selected from the group consisting of (C) polyamic acid, (C ′) alkali-soluble resin, and (C ″) epoxy resin.
請求項1〜3のいずれか一項に記載の電子材料用樹脂組成物を用いて得られる電子回路基板。   The electronic circuit board obtained using the resin composition for electronic materials as described in any one of Claims 1-3. 請求項1〜3のいずれか一項に記載の電子材料用樹脂組成物を含んでなるドライフィルムにより形成された樹脂膜を有する電子回路基板。   The electronic circuit board which has a resin film formed with the dry film containing the resin composition for electronic materials as described in any one of Claims 1-3. プリント基板である、請求項4または5に記載の電子回路基板。   The electronic circuit board according to claim 4, which is a printed board. 請求項4〜6のいずれか一項に記載の電子回路基板を備えてなる電子電気機器。   An electronic electrical apparatus comprising the electronic circuit board according to any one of claims 4 to 6.
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