JP5525377B2 - 高ダイナミックレンジプローブ - Google Patents
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
12、14、16…第1、第2、第3アンカ(支持部材)
20、30、40…第1、第2、第3カンチレバー
22、32、42…チップ
24、26、34、36、44、46…ピエゾレジスタ
38、48…第1、第2ピエゾ(PZT)素子
Claims (5)
- ビーム先端部にチップが、測定時の測定対象面の向きに形成され、ビーム基端部が支持部材を介してベースプレートの該測定対象面側の面に支持された、共振周波数が異なる複数のカンチレバーが配設されていると共に、
前記各カンチレバーの前記測定対象面に直交する方向の変位を検出する変位検出手段と、
共振周波数が最低のカンチレバー以外の各カンチレバーに、自カンチレバーより低い共振周波数のカンチレバーによる測定結果に基づいて前記測定対象面に直交する方向のオフセットを設定するオフセット設定手段と、を備えていることを特徴とする高ダイナミックレンジプローブ。 - 前記複数のカンチレバーが、共振周波数が低い順に、各チップの先端が走査方向に延びる同一直線上に一致するように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の高ダイナミックレンジプローブ。
- 前記変位検出手段が、各カンチレバーに付設された1以上のピエゾレジスタで構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の高ダイナミックレンジプローブ。
- 前記ピエゾレジスタが、前記ビームの同一位置の前記測定対象面側の面と反対側の面にそれぞれ付設されていることを特徴とする請求項3に記載の高ダイナミックレンジプローブ。
- 前記オフセット設定手段が、前記支持部材とベースプレートの間に介設されたピエゾ素子であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の高ダイナミックレンジプローブ。
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