JP5514375B1 - Coil component and method for manufacturing coil component - Google Patents

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Abstract

本発明のコイル部品は、表面と裏面とを有し、表面に形成された第1コイル素子と、裏面に、形成された第2コイル素子と、第1コイル素子と第2コイル素子の一端同士を接続させる接続孔と、第1コイル素子及び第2コイル素子の中心部及び周辺部に形成され、表面から裏面へ貫通する磁性体挿入孔とを有する樹脂基板を備え、第1コイル素子は、表面に刻印されたパターンが導体層で埋められ、第2コイル素子は、裏面に刻印されたパターンが導体層で埋められ、接続孔は、第1コイル素子及び第2コイル素子の一端の近傍で表面から裏面へ貫通し、導体層で埋められており、樹脂基板は磁性体で包囲されて成型され、磁性体挿入孔には、磁性体が挿入されて成型体が構成されている。   The coil component of the present invention has a front surface and a back surface, a first coil element formed on the front surface, a second coil element formed on the back surface, and ends of the first coil element and the second coil element. A resin substrate having a connection hole for connecting the first and second coil elements and a magnetic material insertion hole that is formed in the center portion and the peripheral portion of the first coil element and the second coil element and penetrates from the front surface to the back surface. The pattern stamped on the front surface is filled with a conductor layer, the second coil element is filled with a pattern stamped on the back surface with a conductor layer, and the connection hole is near one end of the first coil element and the second coil element. It penetrates from the front surface to the back surface and is filled with a conductor layer. The resin substrate is surrounded by a magnetic material and molded, and the magnetic material is inserted into the magnetic material insertion hole to form a molded material.

Description

本発明は、樹脂基板内に作製されたコイル部品及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a coil component and a manufacturing method thereof is produced in a resin base inner plate.

近年のスマートフォンやタブレット端末などのモバイル機器の多機能化に伴い、小型で高い定格電流を扱うことの出来るコイル部品(パワーインダクタ)の必要性が高まっている。
このようなコイル部品としては、転写用金属金型を用いて作製されるものが知られており、表面に反転コイル素子パターンが刻印された金属金型を使用し、電気めっきによりこの金属金型内にコイル素子を形成した後、この金属金型からコイル素子を剥離して、部品基板に転写させてコイル部品とするものである。
With the recent increase in functionality of mobile devices such as smartphones and tablet terminals, there is an increasing need for small coil components (power inductors) that can handle high rated currents.
As such a coil component, one produced using a transfer metal mold is known, and a metal mold having a reverse coil element pattern engraved on the surface is used, and this metal mold is obtained by electroplating. After the coil element is formed therein, the coil element is peeled off from the metal mold and transferred to a component substrate to obtain a coil component.

金属金型を用いない方法としては、基板上にメッキレジストパターンを形成した後、電気めっきによりコイル素子パターンを形成し、メッキレジストパターンを除去した後に、シート状磁性体層上に転写してコイル部品とするものが知られている。
上記の方法はいずれも転写によってコイル部品を形成するため、コイル素子の剥離・転写に伴う導体パターンの転倒や脱落が発生し易いという問題点がある。
As a method that does not use a metal mold, after forming a plating resist pattern on a substrate, a coil element pattern is formed by electroplating, and after removing the plating resist pattern, it is transferred onto a sheet-like magnetic layer and coiled. What is made into parts is known.
Since all of the above methods form coil parts by transfer, there is a problem in that the conductor pattern is likely to fall down or drop off due to peeling / transfer of the coil elements.

一方、金属金型を用いないで、樹脂金型を用いる方法も特許文献1に記載されている。この方法は、この樹脂金型内に形成されたコイル素子を転写することなくそのまま使用するものである。
また、特許文献2には、感光性絶縁樹脂部に埋設した導電体主部と導電体笠部とからなるコイル導電体を金属基板上に形成した後、この金属板を剥離することによりコイル導体を製造することが記載されている。
On the other hand, Patent Document 1 also describes a method using a resin mold without using a metal mold. In this method, the coil element formed in the resin mold is used as it is without being transferred.
In Patent Document 2, a coil conductor composed of a conductor main portion and a conductor shade portion embedded in a photosensitive insulating resin portion is formed on a metal substrate, and then the metal plate is peeled off to form a coil conductor. Is described.

特開2005−191408号公報JP 2005-191408 A 特開2006−332147号公報JP 2006-332147 A

上述した特許文献1,2に記載されたコイル部品は、一層のコイルの厚さが厚いため、積層されたコイル部品を作製した場合、厚さが一層厚くなるという課題を有している。また、特許文献1,2に記載されたコイル部品では、コイル素子を包囲する磁性体が配置されていないため、インダクタンスが低く、パワーインダクタとしては機能し得ないという課題を有している。
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、樹脂金型を使用し、剥離・転写を伴うことなくコイル素子を作製でき、かつ、厚さが薄くハイインダクタンスのコイル部品を提供することを目的とする。
The coil components described in Patent Documents 1 and 2 described above have a problem that since the thickness of one layer of the coil is large, when the laminated coil component is manufactured, the thickness is further increased. Further, the coil components described in Patent Documents 1 and 2 have a problem that since the magnetic body surrounding the coil element is not arranged, the inductance is low and the coil cannot function as a power inductor.
The present invention has been made to solve the above-described problems, and provides a coil component that uses a resin mold, can produce a coil element without peeling / transferring, and is thin and has high inductance. For the purpose.

上記課題は、以下の本発明によって達成することができる。   The said subject can be achieved by the following this invention.

本発明のコイル部品は、表面と裏面とを有し、表面に一端から他端にかけて巻回されて形成された第1コイル素子と、裏面の第1コイル素子に対応する位置に、一端から他端にかけて巻回されて形成された第2コイル素子と、第1コイル素子と第2コイル素子の一端同士を接続させる接続孔と、第1コイル素子及び第2コイル素子の中心部及び周辺部に形成され、表面から裏面へ貫通する磁性体挿入孔とを有する樹脂基板を備え、第1コイル素子は、表面に所定の深さでパターン化されて刻印され、電気めっきにより刻印されたパターンが導体層で埋められ、第2コイル素子は、裏面に所定の深さでパターン化されて刻印され、電気めっきにより刻印されたパターンが導体層で埋められ、接続孔は、第1コイル素子及び第2コイル素子の一端の近傍で表面から裏面へ貫通し、電気めっきにより導体層で埋められており、樹脂基板は磁性体で包囲されて成型され、磁性体挿入孔には、磁性体が挿入されて成型体が構成されており、成型体は、一部が切断されることにより第1コイル素子及び第2コイル素子の他端がそれぞれ露出され、電極引き出し部が設けられている。   The coil component of the present invention has a front surface and a back surface, the first coil element formed by being wound on the surface from one end to the other end, and the other end from one end at a position corresponding to the first coil element on the back surface. A second coil element wound around the end, a connection hole for connecting one ends of the first coil element and the second coil element, and a central portion and a peripheral portion of the first coil element and the second coil element; The first coil element is patterned and engraved at a predetermined depth on the surface, and the pattern imprinted by electroplating is a conductor. The second coil element is filled with a layer, and is patterned and engraved at a predetermined depth on the back surface, and a pattern imprinted by electroplating is filled with a conductor layer, and the connection hole includes the first coil element and the second coil element. One end of coil element It penetrates from the front surface to the back surface in the vicinity, and is filled with a conductor layer by electroplating. The resin substrate is surrounded by a magnetic material and molded, and the magnetic material is inserted into the magnetic material insertion hole to form a molded material. The molded body is partially cut to expose the other ends of the first coil element and the second coil element, and is provided with an electrode lead portion.

また、本発明のコイル部品は、第1表面と第1裏面とを有し、第1表面に形成され、所定の深さでパターン化されて刻印され、電気めっきにより刻印されたパターンが導体層で埋められた、一端から他端にかけて巻回された第1のコイル素子と、第1コイル素子の一端の近傍で第1表面から第1裏面へ貫通し、電気めっきにより導体層で埋められ、第1コイル素子の一端に接続される第1接続孔と、第1コイル素子の中心部及び周辺部で第1表面から第1裏面へ貫通する第1磁性体挿入孔とを有する第1樹脂基板と、第2表面と第2裏面とを有し、第2表面の第1コイル素子に対応する位置に形成され、所定の深さでパターン化されて刻印され、電気めっきにより刻印されたパターンが導電層で埋められた、一端から他端にかけて巻回された第2コイル素子と、第2コイル素子の一端の近傍で第2表面から第2裏面へ貫通し、電気めっきにより導体層で埋められ、第2コイル素子の一端に接続される第2接続孔と、第2コイル素子の中心部及び周辺部で第2表面から第2裏面へ貫通する第2磁性体挿入孔とを有する第2樹脂基板とを有し、第1樹脂基板の第1裏面と第2樹脂基板の第2裏面同士を、第1接続孔と第2接続孔とが一致するように接着させ、第1樹脂基板と第2樹脂基板とは磁性体で包囲され成型され、第1磁性体挿入孔及び第2磁性体挿入孔は磁性体が挿入されて成型体が構成されており、成型体は一部が切断されることにより第1コイル素子及び第2コイル素子の他端がそれぞれ露出され、電極引き出し部が設けられている。   The coil component of the present invention has a first surface and a first back surface, and is formed on the first surface, patterned and stamped at a predetermined depth, and a pattern stamped by electroplating is a conductor layer. Embedded in the first coil element wound from one end to the other end, penetrating from the first surface to the first back surface in the vicinity of one end of the first coil element, filled with a conductor layer by electroplating, A first resin substrate having a first connection hole connected to one end of the first coil element, and a first magnetic body insertion hole penetrating from the first surface to the first back surface at the center and the periphery of the first coil element And a pattern having a second surface and a second back surface, formed at a position corresponding to the first coil element on the second surface, patterned and stamped at a predetermined depth, and patterned by electroplating. Wrapped from one end to the other, filled with a conductive layer A second connection hole penetrating from the second surface to the second back surface in the vicinity of one end of the second coil element, filled with a conductor layer by electroplating, and connected to one end of the second coil element; A second resin substrate having a second magnetic body insertion hole penetrating from the second surface to the second back surface at the center portion and the peripheral portion of the second coil element, and the first back surface and the second of the first resin substrate. The second back surfaces of the resin substrates are bonded together so that the first connection holes and the second connection holes coincide with each other, and the first resin substrate and the second resin substrate are surrounded and molded with a magnetic material. The insertion hole and the second magnetic body insertion hole are formed by inserting a magnetic body, and a part of the molded body is cut to expose the other ends of the first coil element and the second coil element. In addition, an electrode lead portion is provided.

さらに、本発明のコイル部品は、樹脂基板が熱硬化性樹脂によって作製されることを特徴とする。   Furthermore, the coil component of the present invention is characterized in that the resin substrate is made of a thermosetting resin.

さらに、本発明のコイル部品は、第1樹脂基板及び第2樹脂基板が熱硬化性樹脂によって作製されることを特徴とする。   Furthermore, the coil component of the present invention is characterized in that the first resin substrate and the second resin substrate are made of a thermosetting resin.

本発明のコイル部品の製造方法は、第1表面と第1裏面とを有し、第1表面に刻印されて形成され、一端から他端にかけて巻回された第1の深さを有する第1のコイルパターンと、第1表面に刻印されて形成され、第1のコイルパターンの一端につながった第1の深さより深い第2の深さを有する第1接続孔パターンと、第1表面の第1コイルパターンの中心部及び周辺部に刻印されて形成され、第2の深さを有する第1磁性体挿入孔パターンとを有する第1樹脂金型と、第2表面と第2裏面とを有し、第2表面に刻印されて形成され、一端から他端にかけて巻回された第1の深さを有する第2のコイルパターンと、第2表面に刻印されて形成され、第2のコイルパターンの一端につながった第2の深さを有する第2接続孔パターンと、第2表面の第2のコイルパターンの中心部及び周辺部に刻印されて形成され、第2の深さを有する第2磁性体挿入孔パターンとを有する第2樹脂金型とを準備する第1ステップと、電気めっきにより、第1樹脂金型に形成された第1のコイルパターンと第1接続孔パターン及び第2樹脂金型に形成された第2のコイルパターンと第2接続孔パターンをそれぞれ導電層で埋めて第1コイル素子及び第2コイル素子が形成された第1樹脂基板と第2樹脂基板とを作製する第2ステップと、第1樹脂基板と第2樹脂基板とを第1裏面と第2裏面からそれぞれ研磨して第1接続孔と第2接続孔の導電層を露出させる第3ステップと、露出した第1接続孔と第2接続孔とが一致するように第1樹脂基板の第1裏面と第2樹脂基板の第2裏面同士を接着させる第4のステップと、接着された第1樹脂基板と第2樹脂基板とを磁性体で包囲して第1磁性体挿入孔と第2磁性体挿入孔とを磁性体で埋める成型体を形成する第のステップと、成型体の一部を切断することにより、第1コイル素子及び第2コイル素子の他端をそれぞれ露出させ、電極引き出し部を設ける第のステップとを具備することを特徴とする。 The method for manufacturing a coil component of the present invention includes a first surface having a first surface, a first back surface, a first depth formed by being engraved on the first surface and wound from one end to the other end. A first connection hole pattern having a second depth deeper than the first depth connected to one end of the first coil pattern, and a first connection hole pattern formed on the first surface, A first resin mold having a first magnetic body insertion hole pattern having a second depth formed by being stamped at the center and the periphery of one coil pattern, and having a second surface and a second back surface. A second coil pattern having a first depth formed by being stamped on the second surface and wound from one end to the other end, and a second coil pattern formed by being stamped on the second surface. A second connection hole pattern having a second depth connected to one end of the second connection hole; A first step of preparing a second resin mold having a second magnetic body insertion hole pattern formed on the center and the periphery of the second coil pattern on the surface and having a second depth; The first coil pattern and the first connection hole pattern formed in the first resin mold by electroplating, and the second coil pattern and the second connection hole pattern formed in the second resin mold are respectively conductive layers. A second step of fabricating a first resin substrate and a second resin substrate on which the first coil element and the second coil element are formed, and the first resin substrate and the second resin substrate are connected to the first back surface and the first resin substrate. 2 The third step of polishing from the back surface to expose the conductive layer of the first connection hole and the second connection hole, and the first step of the first resin substrate so that the exposed first connection hole and the second connection hole coincide with each other. 1. Adhere the back surface and the second back surface of the second resin substrate together 4 and steps, first forming a molded body filling the first resin substrate and the second resin substrate and the first magnetic body insertion hole surrounded by a magnetic second magnetic body insertion hole which is adhered a magnetic material and step 5, by cutting a portion of the molded body, and characterized in that the other end of the first coil element and the second coil element is exposed respectively, and a sixth step of providing an electrode lead portion To do.

また、本発明のコイル部品の製造は、表面に刻印され、一端から他端にかけて巻回された第1の高さを有する反転コイルパターンと、表面に刻印され、反転コイルパターンの一端につながった第1の高さより高い第2の高さを有する反転接続孔パターンと、表面の反転コイルパターンの中心部及び周辺部に刻印されて形成され、第2の高さを有する反転磁性体挿入孔パターンとを有する第1の金型を準備する第1ステップと、側壁部を画成する金型と底面部を画成する金型とからなる第2の金型を準備する第2ステップと、第1の金型を反転接続孔パターンが第2の金型の底面部に密着するよう載置し、第2の金型内に樹脂を注入し、第1の金型内に充填させて硬化させる第3ステップと、第1の金型と第2の金型の側壁部を画成する金型とを除去する第4ステップと、電気めっきによりコイルパターンと接続孔パターンとを導電層で埋めてコイル素子及び接続体を形成する第5ステップと、底面部を画成する金型を剥離して樹脂基板を形成する第6ステップとを備え、第1ステップ乃至第6ステップにより、第1コイル素子、第1接続体及び第1磁性体挿入孔が形成された第1樹脂基板と第2コイル素子、第2接続体及び第2磁性体挿入孔が形成された第2樹脂基板とを作製し、第1接続孔と第2接続孔とが一致するように第1樹脂基板の裏面と第2樹脂基板の裏面同士を接着させ、接着された第1樹脂基板と第2樹脂基板とを磁性体で包囲して第1磁性体挿入孔と第2磁性体挿入孔とを磁性体で埋める成型体を形成し、成型体の一部を切断することにより、第1コイル素子及び第2コイル素子の他端をそれぞれ露出させ、電極引き出し部を設けることを特徴とする。 In addition, the manufacture of the coil component according to the present invention has an inversion coil pattern having a first height engraved on the surface and wound from one end to the other end, and engraved on the surface and connected to one end of the inversion coil pattern. A reversal connection hole pattern having a second height higher than the first height, and a reversal magnetic material insertion hole pattern having a second height formed by being stamped at the center and the periphery of the reversal coil pattern on the surface A first step of preparing a first mold having: a second step of preparing a second mold comprising a mold defining a side wall and a mold defining a bottom surface; 1 mold is placed so that the reverse connection hole pattern is in close contact with the bottom surface of the second mold, a resin is injected into the second mold, filled in the first mold, and cured. A third step, a mold defining a sidewall of the first mold and the second mold, and A fourth step, a fifth step of forming a coil element and the connecting member to fill the connection hole pattern and the coil pattern with a conductive layer by electric plating, and stripping the mold defining the bottom of the resin to remove A first resin substrate on which a first coil element, a first connection body, and a first magnetic body insertion hole are formed by a first step to a sixth step, and a second coil element, A second resin substrate on which a second connection body and a second magnetic body insertion hole are formed is manufactured, and the back surface of the first resin substrate and the second resin substrate are arranged so that the first connection hole and the second connection hole coincide with each other. The back surfaces of the first and second resin substrates are bonded to each other, and the molded first resin substrate and the second resin substrate are surrounded by a magnetic material to form a molded body that fills the first magnetic material insertion hole and the second magnetic material insertion hole with the magnetic material. And cutting the part of the molded body to obtain the first coil element and The other end of the second coil element is exposed respectively, and providing a electrode lead portion.

さらに、本発明のコイル部品の製造は、樹脂基板が熱硬化性樹脂によって作製されることを特徴とする。   Furthermore, the manufacture of the coil component of the present invention is characterized in that the resin substrate is made of a thermosetting resin.

さらに、本発明のコイル部品の製造は、第1樹脂基板及び第2樹脂基板が熱硬化性樹脂によって作製されることを特徴とする。   Furthermore, the manufacture of the coil component of the present invention is characterized in that the first resin substrate and the second resin substrate are made of a thermosetting resin.

本発明によれば、コイル素子の製造に使用される樹脂金型をコイル素子の形成後に樹脂基板としてそのまま残しても、作製されるコイル部品の厚さを十分薄く、かつ安価にハイインダクタンスのコイル部品を得ることができる。   According to the present invention, even if a resin mold used for manufacturing a coil element is left as it is as a resin substrate after the coil element is formed, the thickness of the coil component to be manufactured is sufficiently thin, and a high-inductance coil is inexpensive. Parts can be obtained.

本発明の一実施例に係るコイル部品100の構造を示す図。The figure which shows the structure of the coil component 100 which concerns on one Example of this invention. 本発明に用いられる樹脂基板の表面部の形状を示す図。The figure which shows the shape of the surface part of the resin substrate used for this invention. 本発明で使用する樹脂金型を得るための工程を示す工程図。Process drawing which shows the process for obtaining the resin metal mold | die used by this invention. 樹脂金型から樹脂基板が作製されるまでのプロセスフローを示す図。The figure which shows the process flow until a resin substrate is produced from the resin metal mold | die. 2つの樹脂基板を裏面同士で対向させた図。The figure which made two resin substrates oppose on the back surfaces. 樹脂基板の裏面研磨の説明図。Explanatory drawing of the back surface grinding | polishing of the resin substrate. 裏面研磨後の2つの樹脂基板を貼り合わせた図。The figure which bonded together the two resin substrates after back surface grinding | polishing. 成型処理後の成型体の断面形状を示す図。The figure which shows the cross-sectional shape of the molded object after a shaping | molding process. 第2実施例に用いる第1の金型の作製手順を示すプロセスフロー図。The process flow figure which shows the preparation procedure of the 1st metal mold | die used for 2nd Example. 第2実施例に用いる第2の金型の構成を示す図。The figure which shows the structure of the 2nd metal mold | die used for 2nd Example. 第2実施例による樹脂基板の作製プロセスフロー図。The manufacturing process flowchart of the resin substrate by 2nd Example. 本発明に用いられる樹脂金型の一例を示す図。The figure which shows an example of the resin metal mold | die used for this invention.

以下、添付図面に従って、本発明を詳細に説明する。
始めに、本発明に係るコイル部品の構造を説明する。
本願発明によるコイル部品は、コイル素子が形成された樹脂基板を磁性体で包囲して成型体とした構造となっている。成型体の一部は切断されて、樹脂基板に形成されたコイル素子の電極が露出され、電極引き出し部が設けられている。図1は、本発明の一実施例に係るコイル部品100の構造を示す図である。図1aは、ダイシング後のコイル部品の成型体の一部を切解して示した斜視図、図1bは成型後に一部を切解して示した斜視図、図1cはコイル素子が形成されている樹脂基板の構造を示す一部切解斜視図である。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
First, the structure of the coil component according to the present invention will be described.
The coil component according to the present invention has a structure in which a resin substrate on which a coil element is formed is surrounded by a magnetic material to form a molded body. A part of the molded body is cut to expose the electrode of the coil element formed on the resin substrate, and an electrode lead portion is provided. FIG. 1 is a diagram showing the structure of a coil component 100 according to an embodiment of the present invention. FIG. 1a is a perspective view showing a part of a molded part of a coil component after dicing, and FIG. 1b is a perspective view showing part of the molded part after cutting. FIG. 1c shows a coil element formed. It is a partially-cut perspective view which shows the structure of the resin substrate which is.

本実施例では、表面に第1コイル素子30aが形成された第1樹脂基板20aと表面に第2コイル素子30bが形成された第2樹脂基板20bとをそれぞれ裏面同士で接着させ、第1コイル素子30aと第2コイル素子30bとを一端同士で接続させた構造としているが、一枚の樹脂基板20aの表面と裏面とにそれぞれ第1コイル素子30aと第2コイル素子30bとを形成して、一端同士で接続させるようにしてもよい。   In the present embodiment, the first resin substrate 20a having the first coil element 30a formed on the front surface and the second resin substrate 20b having the second coil element 30b formed on the front surface are adhered to each other on the back surface. The element 30a and the second coil element 30b are connected to each other at one end, but the first coil element 30a and the second coil element 30b are formed on the front and back surfaces of a single resin substrate 20a, respectively. Alternatively, the ends may be connected to each other.

図2は、樹脂基板20(20a,20b)の表面部の形状を示す図で、図2aは第1樹脂基板20aの上面図,図2bは第2樹脂基板20bの上面図である。
図2の図中に示した破断線X1-X1’,X2-X2’,Y1-Y1’,Y2-Y2’で切断して作製されたコイル部品100が図1aに示されている。
第1コイル素子30aは図1cおよび図2aに示すように第1樹脂基板20aの表面に一端33aから他端35aにかけて渦巻状に巻回されて形成されている。第1コイル素子30aは表面に所定の深さでパターン化されて刻印され、電気めっきにより刻印されたパターンが導体層で埋められた構造となっている。
第2コイル素子30bは図1cおよび図2bに示すように第2樹脂基板20bの表面の第1コイル素子30aに対応する位置に、一端33bから他端35bにかけて渦巻状に巻回されて形成されている。なお第1コイル素子30aの巻回方向と第2コイル素子30bの巻回方向は、互いに方向、即ち一方が時計廻りならば他方も時計廻りとなるようにしておく。これは、第1樹脂基板20aと第2樹脂基板20bとが後の工程で裏面同士で接続された時、電流の巻回方向が同一方向になるようにするためである。
第1コイル素子30a及び第2コイル素子30bの一端33a及び33bの近傍にはそれぞれ表面から裏面へ貫通し、電気めっきにより導体層で埋められ、第1コイル素子30aの一端33aと第2コイル素子30bの一端33bとにそれぞれ導体層を介して接続される第1接続孔40a及び第2接続孔40bが形成されている。
第1コイル素子30a及び第2コイル素子30bの中心部及び周辺部には表面から裏面へ貫通する磁性体挿入孔50−1a,50−2a,・・・,50−8a及び50−1b,50−2b,・・・,50−8bが設けられている。この磁性体挿入孔には、成型時に磁性体が挿入される。
第1樹脂基板20aと第2樹脂基板20bとは裏面同士が、第1接続孔40aと第2接続孔40bとが一致するように接着させた状態で磁性体10で包囲して図1bに示すように成型する。なお成型時には複数のコイル部品がマトリックス状に配列された状態となっているため、単体のコイル部品に切り離す必要がある。そこで図2の図中に示した破断線X1-X1’,X2-X2’,Y1-Y1’,Y2-Y2’で切断するダイシングを行う。
これにより、第1コイル素子30a及び第2コイル素子30bの他端35a,35bが図1aに示すようにそれぞれ磁性体10の側壁に露出され、電極引き出し部が形成される。次いで、この電極引き出し部にはんだディップなどの方法により外部電極を取付け、コイル部品100を形成させる。なお、他端35bは他端35aとは反対側の側壁に露出されている。
FIG. 2 is a view showing the shape of the surface portion of the resin substrate 20 (20a, 20b), FIG. 2a is a top view of the first resin substrate 20a, and FIG. 2b is a top view of the second resin substrate 20b.
FIG. 1a shows a coil component 100 produced by cutting along broken lines X1-X1 ′, X2-X2 ′, Y1-Y1 ′, Y2-Y2 ′ shown in FIG.
As shown in FIGS. 1c and 2a, the first coil element 30a is formed in a spiral shape on the surface of the first resin substrate 20a from one end 33a to the other end 35a. The first coil element 30a has a structure in which a surface is patterned and stamped at a predetermined depth, and a pattern stamped by electroplating is filled with a conductor layer.
As shown in FIGS. 1c and 2b, the second coil element 30b is formed by being spirally wound from one end 33b to the other end 35b at a position corresponding to the first coil element 30a on the surface of the second resin substrate 20b. ing. Note winding direction of the winding direction and the second coil element 30b of the first coil element 30a is kept as the other also becomes the watch around if the same direction, i.e., one is clockwise each other. This is because when the first resin substrate 20a and the second resin substrate 20b are connected to each other in the later step, the winding direction of the current is the same direction.
In the vicinity of one end 33a and 33b of the first coil element 30a and the second coil element 30b, the surface penetrates from the front surface to the back surface, and is filled with a conductor layer by electroplating. The one end 33a of the first coil element 30a and the second coil element A first connection hole 40a and a second connection hole 40b are formed to be connected to one end 33b of 30b via a conductor layer.
Magnetic body insertion holes 50-1a, 50-2a,..., 50-8a and 50-1b, 50 penetrating from the front surface to the back surface in the central portion and the peripheral portion of the first coil element 30a and the second coil element 30b. -2b, ..., 50-8b. A magnetic material is inserted into the magnetic material insertion hole during molding.
The first resin substrate 20a and the second resin substrate 20b are surrounded by the magnetic body 10 in a state where the back surfaces thereof are bonded so that the first connection holes 40a and the second connection holes 40b coincide with each other, as shown in FIG. 1b. To be molded. Since a plurality of coil parts are arranged in a matrix at the time of molding, it is necessary to separate them into single coil parts. Therefore, dicing is performed by cutting along the broken lines X1-X1 ′, X2-X2 ′, Y1-Y1 ′, Y2-Y2 ′ shown in FIG.
As a result, the other ends 35a and 35b of the first coil element 30a and the second coil element 30b are exposed to the side walls of the magnetic body 10 as shown in FIG. 1a, thereby forming electrode lead portions. Next, an external electrode is attached to the electrode lead-out portion by a method such as solder dipping to form the coil component 100. The other end 35b is exposed on the side wall opposite to the other end 35a.

本発明によるコイル部品では、樹脂基板20(20a,20b)はコイル素子30(30a,30b)の形成後にもそのまま残されて使用される。樹脂材料としてはエポキシ,フェノール,ポリイミド,ポリウレタンなどの熱硬化性樹脂を用いることができる。また導電層を形成するための電気めっきは銅めっきとするのが好ましい。   In the coil component according to the present invention, the resin substrate 20 (20a, 20b) is used as it is even after the coil element 30 (30a, 30b) is formed. As the resin material, a thermosetting resin such as epoxy, phenol, polyimide, or polyurethane can be used. The electroplating for forming the conductive layer is preferably copper plating.

次に、本発明のコイル部品の製造方法(第1実施例)について説明する。
なお、本発明では実際には、複数のコイル部品がマトリックス状に配列された状態で連続して作製され、成型後にダイシングにより切り離されて単体のコイル部品となるのであるが、説明の便宜上、単体のコイル部品のみが作製されるものとして説明する。
Next, the manufacturing method (1st Example) of the coil components of this invention is demonstrated.
In the present invention, actually, a plurality of coil parts are continuously produced in a matrix arrangement, and are separated by dicing after molding to form a single coil part. It is assumed that only the coil component is manufactured.

本発明では、熱硬化性材料で作製された樹脂金型を用いて、コイル素子の形成を行う。
図3は本発明で使用する第1樹脂基板20aと第2樹脂基板20bとを作製するために使用される第1樹脂金型3aと第2樹脂金型3bとを得るための工程を示す図である。
まず、Siなどの材料を用いて、Siマスタ金型1a,1bを作製する。Siマスタ金型1aの表面には、刻印されて形成され、一端から他端にかけて渦巻状に巻回された第1の深さ(d1)を有する第1コイルパターン300aと、刻印されて形成され、第1コイルパターン300aの一端につながった第1の深さより深い第2の深さ(d2)を有する第1接続孔パターン400aと、第1コイルパターン300aの中心部及び周辺部に刻印されて形成され、第2の深さ(d2)を有する第1磁性体挿入孔パターン500−1a,500−2a,・・・,500−8aとが形成されている。
Siマスタ金型1bの表面にも同様に第2コイルパターン300bと、第2接続孔パターン400bと、第2磁性体挿入孔パターン500−1b,500−2b,・・・,500−8bとが形成されている。
次に、このマスタ金型1a,1bのパターン表面に図示しない離形層(剥離層)を成型した後Niめっきによりパターンを埋めつくし、周知の転写法により、反転パターンからなるNiマザー金型2a,2bを作製する。次いで、このNiマザー金型2a,2bの反転パターン内に熱硬化性樹脂を流し込み、硬化させた後にNiマザー金型2a,2bから剥離することによりサン金型として樹脂金型3a,3bを作製する。このようにして作製された樹脂金型3a,3bにはSiマスタ金型1a,1bに刻印されているパターンと同一のパターンが刻印される。
In the present invention, the coil element is formed using a resin mold made of a thermosetting material.
FIG. 3 is a diagram showing a process for obtaining a first resin mold 3a and a second resin mold 3b used for producing the first resin substrate 20a and the second resin substrate 20b used in the present invention. It is.
First, Si master molds 1a and 1b are manufactured using a material such as Si. A surface of the Si master mold 1a is stamped and formed, and is stamped and formed with a first coil pattern 300a having a first depth (d1) wound spirally from one end to the other end. The first connection hole pattern 400a having a second depth (d2) deeper than the first depth connected to one end of the first coil pattern 300a, and the center portion and the peripheral portion of the first coil pattern 300a are stamped. The first magnetic body insertion hole patterns 500-1a, 500-2a,..., 500-8a having the second depth (d2) are formed.
Similarly, the second coil pattern 300b, the second connection hole pattern 400b, and the second magnetic body insertion hole patterns 500-1b, 500-2b,..., 500-8b are also formed on the surface of the Si master mold 1b. Is formed.
Next, a mold release layer (release layer) (not shown) is formed on the pattern surfaces of the master molds 1a and 1b, and then the pattern is filled with Ni plating, and the Ni mother mold 2a composed of an inverted pattern is formed by a well-known transfer method. , 2b. Next, a thermosetting resin is poured into the reversal pattern of the Ni mother molds 2a and 2b, cured, and then peeled off from the Ni mother molds 2a and 2b to produce resin molds 3a and 3b as sun molds. To do. The resin molds 3a and 3b thus manufactured are imprinted with the same pattern as the pattern imprinted on the Si master molds 1a and 1b.

次に、この樹脂金型3a,3bを使って樹脂基板20(20a,20b)を作製する方法を説明する。
図4は、樹脂金型3aから第1樹脂基板20aが作製されるまでのプロセスフローを示す図である。
図4aに示すように、樹脂金型3aには、コイルパターン300、接続孔パターン400及び磁性体挿入孔パターン500が刻印されている。
コイルパターン300の刻印の深さはd1であり、接続孔パターン400と磁性体挿入孔パターン500の深さはd1より深いd2である。
樹脂金型3aの材料としては、エポキシ,フェノール,ポリイミド,ポリウレタンなどの熱硬化性樹脂が好ましい。
また、樹脂金型3aへの各種パターンの刻印は、前述したようにマスタ金型からの転写によって作製するが、樹脂表面にインプリント又は熱プレスによって作製することも可能である。
Next, a method for producing the resin substrate 20 (20a, 20b) using the resin molds 3a, 3b will be described.
FIG. 4 is a diagram showing a process flow from the resin mold 3a to the production of the first resin substrate 20a.
As shown in FIG. 4a, a coil pattern 300, a connection hole pattern 400, and a magnetic material insertion hole pattern 500 are engraved on the resin mold 3a.
The depth of the marking on the coil pattern 300 is d1, and the depths of the connection hole pattern 400 and the magnetic material insertion hole pattern 500 are d2, which is deeper than d1.
As a material of the resin mold 3a, a thermosetting resin such as epoxy, phenol, polyimide, and polyurethane is preferable.
In addition, as described above, the engraving of various patterns on the resin mold 3a is produced by transfer from the master mold, but can also be produced by imprinting or hot pressing on the resin surface.

次に、後続工程での電気鋳造(電気めっき)処理に備えて、図4bに示すように、樹脂金型3aの表面を覆うように金属シード膜601を形成する。金属シード膜601に用いる金属としてはCu,Sn,Ni,Ag,Alなどが用いられる。
この金属シード膜601の形成は、銅(Cu)やニッケル(Ni)などを無電解めっきすることによっても行うことができるし、蒸着やスパッタ又はCVDによって形成しても良い。
次いで、図4cに示すように、パターンが形成されていない領域及び磁性体挿入孔パターン500の領域の金属シード膜601を除去する。これは、後続のはんだめっきによって、これらの領域に電着がされないようにするためである。
次に、この残存する金属シード膜601を下地として図4dに示すように電鋳(電気めっき)によりコイルパターン300が刻印されている領域及び接続孔パターン400が刻印されている領域を埋めるように銅(Cu)を電着させて導電膜602を形成し、コイル素子30a及び接続体40aを形成する。
銅の電着は、コイルパターン300が刻印されている領域を埋め尽くし、その表面が樹脂金型3aの表面と一致し、平坦となるまで行われる。
なお接続孔パターン400の刻印されている領域では、電着は樹脂金型3aの表面よりわずかに低い位置で終了する。
これにより樹脂金型3aにコイル素子30aと接続体40aとが形成された第1樹脂基板20aが完成する。なお、コイル素子30aの一端と接続体40aとは、めっきによる導電層でつながった状態となっている。
Next, as shown in FIG. 4b, a metal seed film 601 is formed so as to cover the surface of the resin mold 3a in preparation for an electroforming (electroplating) process in a subsequent process. Cu, Sn, Ni, Ag, Al, or the like is used as the metal used for the metal seed film 601.
The metal seed film 601 can be formed by electroless plating of copper (Cu), nickel (Ni), or the like, or may be formed by vapor deposition, sputtering, or CVD.
Next, as shown in FIG. 4c, the metal seed film 601 in the region where the pattern is not formed and the region of the magnetic material insertion hole pattern 500 is removed. This is to prevent electrodeposition in these areas by subsequent solder plating.
Next, with the remaining metal seed film 601 as a base, as shown in FIG. 4d, the region where the coil pattern 300 is imprinted and the region where the connection hole pattern 400 is imprinted are filled by electroforming (electroplating). Copper (Cu) is electrodeposited to form the conductive film 602, and the coil element 30a and the connection body 40a are formed.
The electrodeposition of copper is performed until the region where the coil pattern 300 is imprinted is filled, and the surface thereof coincides with the surface of the resin mold 3a and becomes flat.
In the region where the connection hole pattern 400 is engraved, the electrodeposition ends at a position slightly lower than the surface of the resin mold 3a.
Thereby, the first resin substrate 20a in which the coil element 30a and the connection body 40a are formed on the resin mold 3a is completed. Note that one end of the coil element 30a and the connection body 40a are connected by a conductive layer formed by plating.

後の工程で第1樹脂基板20aと裏面同士で接着させられる第2樹脂基板20bも同様の方法で作製される。図5は、第1樹脂基板20aと第2樹脂基板20bとを裏面同士で対向させた図である。   The second resin substrate 20b to be bonded between the first resin substrate 20a and the back surface in a later step is also produced by the same method. FIG. 5 is a diagram in which the first resin substrate 20a and the second resin substrate 20b are opposed to each other on the back surfaces.

次に第1樹脂基板20aと第2樹脂基板20bとを裏面同士で接着させる工程について説明する。第1樹脂基板20aと第2樹脂基板20bとを裏面からそれぞれ研磨して、図6の破線で示す部分22a,22bの樹脂を除去し、第1接続孔パターン400a内の第1接続体(導電層)40aと第2接続孔パターン400b内の第2接続体(導電層)40bを外部に露出させる。
これにより第1磁性体挿入孔500aと第2磁性体挿入孔500bとは樹脂基板の表面から裏面に貫通する貫通孔となる。
次いで、図7に示すように第1接続孔内の第1接続体40aと第2接続孔内の第2接続体40bとが一致するように貼り合わせて第1樹脂基板20aと第2樹脂基板20bとを接着する。
これにより第1コイル素子30aと第2コイル素子30bとはそれぞれの一端同士が接続体40a,40bを介して電気的に接続されることになる。
また第1磁性体挿入孔500aと第2磁性体挿入孔500b同士も貼り合わされた樹脂基板を貫通する貫通孔となる。
なお、第1接続体40aと第2接続体40bとの電気的接続をより確実にするために、それぞれの露出部にはんだバンプを形成した後、溶接するようにしてもよい。
Next, a process of bonding the first resin substrate 20a and the second resin substrate 20b to each other on the back surfaces will be described. The first resin substrate 20a and the second resin substrate 20b are respectively polished from the back surface to remove the resin in the portions 22a and 22b indicated by the broken lines in FIG. 6, and the first connection body (conductive) in the first connection hole pattern 400a is removed. Layer) 40a and second connection body (conductive layer) 40b in second connection hole pattern 400b are exposed to the outside.
Accordingly, the first magnetic body insertion hole 500a and the second magnetic body insertion hole 500b become through holes that penetrate from the front surface to the back surface of the resin substrate.
Next, as shown in FIG. 7, the first resin substrate 20 a and the second resin substrate are bonded so that the first connection body 40 a in the first connection hole and the second connection body 40 b in the second connection hole coincide with each other. Adhere 20b.
As a result, the first coil element 30a and the second coil element 30b are electrically connected to each other through the connection bodies 40a and 40b.
Further, the first magnetic body insertion hole 500a and the second magnetic body insertion hole 500b are also through-holes that penetrate through the bonded resin substrate.
In addition, in order to make electrical connection with the 1st connection body 40a and the 2nd connection body 40b more reliable, after forming a solder bump in each exposed part, you may make it weld.

このようにして2つの樹脂基板が裏面同士で貼り合わされた状態が図1cに示されている。
その後、接着された第1樹脂基板20aと第2樹脂基板20bとを磁性体10で包囲して第1磁性体挿入孔500aと第2磁性体挿入孔500bとを磁性体で埋める成型処理を行う。図8は成型処理後の成型体の断面形状を示す図である。
その後成型体の一部を図8に示すZ−Z’の破断線に沿って切断することにより、第1コイル素子30aと第2コイル素子30bの他端同士を露出させて電極引き出し部とする。
なお本発明により作製された単体のコイル部品の大きさは、2.5mm(幅)×2.0mm(奥行)×0.8mm(厚さ)であり、コイル素子の線幅は40μm,線間隔は50μmであった。
FIG. 1c shows a state where the two resin substrates are bonded to each other in this way.
Thereafter, the first resin substrate 20a and the second resin substrate 20b that are bonded together are surrounded by the magnetic body 10, and a molding process is performed in which the first magnetic body insertion hole 500a and the second magnetic body insertion hole 500b are filled with the magnetic body. . FIG. 8 is a diagram showing a cross-sectional shape of the molded body after the molding process.
Thereafter, a part of the molded body is cut along the broken line ZZ ′ shown in FIG. 8 to expose the other ends of the first coil element 30a and the second coil element 30b to form an electrode lead portion. .
The size of a single coil component manufactured according to the present invention is 2.5 mm (width) × 2.0 mm (depth) × 0.8 mm (thickness), the coil element has a line width of 40 μm, and a line interval. Was 50 μm.

次に、本発明の他の実施例によるコイル部品の作製方法(第2実施例)について説明する。第2実施例でも2つの樹脂基板を使用する点および、2つの樹脂基板を貼り合わせた後の工程は前述した第1実施例と同一であるから、ここでは、一つの樹脂基板を作製する工程について説明する。
なお、第1実施例の場合、樹脂基板を作製した後、裏面を研磨する必要があったが、第2実施例の場合には裏面研磨の必要はない。
Next, a manufacturing method (second embodiment) of a coil component according to another embodiment of the present invention will be described. The point that two resin substrates are used in the second embodiment and the process after the two resin substrates are bonded together are the same as those in the first embodiment described above. Will be described.
In the case of the first embodiment, it was necessary to polish the back surface after the resin substrate was produced. However, in the case of the second embodiment, it is not necessary to polish the back surface.

第2実施例では、コイルパターン300、接続孔パターン400及び磁性体挿入孔パターン500がそれぞれ反転してパターン化された反転コイルパターン350、反転接続孔パターン450及び反転磁性体挿入孔パターン550が表面に刻印された第1の金型と、側壁部を画成する金型と底面部を画成する金型とからなる第2の金型とを組合せて用いることにより所望の樹脂金型及び樹脂基板を作製する。   In the second embodiment, the reverse coil pattern 350, the reverse connection hole pattern 450, and the reverse magnetic body insertion hole pattern 550 that are formed by reversing the coil pattern 300, the connection hole pattern 400, and the magnetic body insertion hole pattern 500 are the surfaces. A desired resin mold and resin can be obtained by using a combination of a first mold engraved on the second mold composed of a mold defining a side wall and a mold defining a bottom surface. A substrate is produced.

図9は第1の金型の作製手順を示すプロセスフロー図である。
まず、図9aに示すように、深さd1のコイルパターン300,深さd2の接続孔パターン400及び深さd2の磁性体挿入孔パターン500が表面に刻印されたNi,SUS又はNi合金等からなる金属金型1を準備する。
次に図9bに示すように金型1の表面にNiOなどの離形層を形成した後、Niを電気めっきにより積層して転写し、Ni金型2を作製する。その後、このNi金型2を金属金型1から剥離して図9cに示すような第1の金型2とする。
この結果、第1の金型2の表面には、高さd1の反転コイルパターン350、高さd2の反転接続孔パターン450及び高さd2の反転磁性体挿入孔パターン550が形成される。
FIG. 9 is a process flow diagram showing a procedure for producing the first mold.
First, as shown in FIG. 9a, a coil pattern 300 having a depth d1, a connection hole pattern 400 having a depth d2, and a magnetic material insertion hole pattern 500 having a depth d2 are made of Ni, SUS, Ni alloy or the like imprinted on the surface. A metal mold 1 is prepared.
Next, as shown in FIG. 9 b, a release layer such as NiO is formed on the surface of the mold 1, and then Ni is laminated and transferred by electroplating to produce the Ni mold 2. Thereafter, the Ni mold 2 is peeled from the metal mold 1 to form a first mold 2 as shown in FIG. 9c.
As a result, a reverse coil pattern 350 having a height d1, a reverse connection hole pattern 450 having a height d2, and a reverse magnetic material insertion hole pattern 550 having a height d2 are formed on the surface of the first mold 2.

図10は、第2の金型の構成を示す図である。第2の金型は注型金型と呼ばれており、側壁部を画成する金型4と底面部を画成する金型3とを貼合せて構成する。注型金型4の材料としては、特に限定されず、樹脂であっても金属であっても良い。注型金型3の材料としては、低コストであること、後の工程のめっき処理のためのシード層がその表面に形成できること、及び剥離又は溶解するために薄いこと等の要件を備える必要があることから、アクリルなどの樹脂を用いるのが好ましい。   FIG. 10 is a diagram showing the configuration of the second mold. The second mold is called a casting mold, and is formed by bonding a mold 4 that defines a side wall portion and a mold 3 that defines a bottom surface portion. The material of the casting mold 4 is not particularly limited, and may be a resin or a metal. The material of the casting mold 3 needs to have requirements such as low cost, that a seed layer for subsequent plating treatment can be formed on the surface thereof, and that it is thin in order to peel or dissolve. For this reason, it is preferable to use a resin such as acrylic.

図11は、図9に示す第1の金型2と図10に示す第2の金型とを用いて樹脂基板5を作製するプロセスフローを示す図である。
まず、図11aに示すように、注型樹脂フィルムが流し込まれた第2の金型内に第1の金型2を反転接続孔パターン450と反転磁性体挿入孔パターンとが注型金型3の底面部に密着するように載置し、加圧する。
その際、反転接続孔パターン450及び反転磁性体挿入孔パターン550は注型金型3の底面部に十分に密着させ、密着部に樹脂Fが入り込まないようにする必要がある。第1の金型2の凹部に樹脂Fをむらなく充填させた後、硬化させる。
その後、第1の金型2を除去すると、図11bに示すようにコイルパターン300、接続孔パターン400及び磁性体挿入孔パターン500を備えた樹脂金型5が注型金型3の上に作製される。
その後、図11cに示すように第2の金型の側壁部を画成する注型金型4を除去する。
FIG. 11 is a diagram showing a process flow for producing the resin substrate 5 using the first mold 2 shown in FIG. 9 and the second mold shown in FIG.
First, as shown in FIG. 11a, the first mold 2 is inserted into the second mold into which the casting resin film is poured, and the reverse connection hole pattern 450 and the reverse magnetic body insertion hole pattern are formed into the casting mold 3. It is placed so as to be in close contact with the bottom surface of and then pressed.
At that time, the reverse connection hole pattern 450 and the reverse magnetic material insertion hole pattern 550 need to be sufficiently adhered to the bottom surface portion of the casting mold 3 so that the resin F does not enter the adhesion portion. The resin F is uniformly filled in the recesses of the first mold 2 and then cured.
Thereafter, when the first mold 2 is removed, the resin mold 5 having the coil pattern 300, the connection hole pattern 400, and the magnetic material insertion hole pattern 500 is formed on the casting mold 3 as shown in FIG. Is done.
Thereafter, as shown in FIG. 11c, the casting mold 4 defining the side wall portion of the second mold is removed.

次いで、第1実施例と同様に、シード層をコイルパターン300の領域と接続孔パターン400の領域に形成して、電気めっきによりパターン部を導電層で埋めると、図11dに示すようにコイル素子30及び接続体40が樹脂金型5内に形成される。
最後に、注型金型3を樹脂金型5から剥離すると、図11eに示すように樹脂基板が完成する。
Next, as in the first embodiment, when a seed layer is formed in the region of the coil pattern 300 and the region of the connection hole pattern 400 and the pattern portion is filled with a conductive layer by electroplating, as shown in FIG. 30 and the connection body 40 are formed in the resin mold 5.
Finally, when the casting mold 3 is peeled from the resin mold 5, a resin substrate is completed as shown in FIG. 11e.

以降の工程は、図7,図8に示す第1実施例と同様であるので詳細説明は省略する。
なお、注型金型3を樹脂金型5から剥離する方法には以下の3通りの方法がある。
(1)物理的な力で剥がす。
(2)注型金型3として有機溶剤で溶解可能な樹脂を用い、めっき処理終了後に溶剤で溶かす。
(3)注型金型3を金属板とその表面に形成された薄い樹脂シート(若しくは樹脂成膜)の2層構造にしておき、最初に金属板を剥離した後に、樹脂膜を剥離又は溶解する。
The subsequent steps are the same as those in the first embodiment shown in FIGS.
There are the following three methods for peeling the casting mold 3 from the resin mold 5.
(1) Peel off with physical force.
(2) A resin that is soluble in an organic solvent is used as the casting mold 3 and is dissolved in the solvent after the plating process is completed.
(3) The casting mold 3 has a two-layer structure of a metal plate and a thin resin sheet (or resin film) formed on the surface thereof, and after the metal plate is first peeled off, the resin film is peeled off or dissolved. To do.

以上説明した実施例1,2のいずれも2つの樹脂基板を裏面同士で貼り合わせて用いているが、一枚の樹脂基板を用いて実施することも可能である。その際には、図12に示したような表面と裏面とにインプリント又は熱プレスによって第1コイルパターン300a、第1接続孔パターン400a、第1磁性体挿入孔パターン500a、第2コイルパターン300b、第2接続孔パターン400b、第2磁性体挿入孔パターン500bが刻印された一枚の樹脂金型1000を使用すればよい。   In both of the first and second embodiments described above, two resin substrates are bonded to each other on the back side, but it is also possible to carry out using a single resin substrate. At that time, the first coil pattern 300a, the first connection hole pattern 400a, the first magnetic material insertion hole pattern 500a, and the second coil pattern 300b are imprinted or hot pressed on the front and back surfaces as shown in FIG. A single resin mold 1000 engraved with the second connection hole pattern 400b and the second magnetic material insertion hole pattern 500b may be used.

100:コイル部品
10:磁性体
20:樹脂基板
30:コイル素子
33a:第1コイル素子の一部
33b:第2コイル素子の一部
35a:第1コイル素子の他端
35b:第2コイル素子の他端
40a:第1接続孔
40b:第2接続孔
50a:第1磁性体挿入孔
50b:第2磁性体挿入孔
100: Coil parts 10: Magnetic body 20: Resin substrate 30: Coil element 33a: Part of the first coil element 33b: Part of the second coil element 35a: The other end of the first coil element 35b: The second coil element The other end 40a: first connection hole 40b: second connection hole 50a: first magnetic body insertion hole 50b: second magnetic body insertion hole

Claims (8)

表面と裏面とを有し、
前記表面に一端から他端にかけて巻回されて形成された第1コイル素子と;
前記裏面の前記第1コイル素子に対応する位置に、一端から他端にかけて巻回されて形成された第2コイル素子と;
前記第1コイル素子と前記第2コイル素子の前記一端同士を接続させる接続孔と;
前記第1コイル素子及び前記第2コイル素子の中心部及び周辺部に形成され、前記表面から前記裏面へ貫通する磁性体挿入孔と;を有する樹脂基板を備え、
前記第1コイル素子は、前記表面に所定の深さでパターン化されて刻印され、電気めっきにより前記刻印されたパターンが導体層で埋められ、
前記第2コイル素子は、前記裏面に所定の深さでパターン化されて刻印され、電気めっきにより前記刻印されたパターンが導体層で埋められ、
前記接続孔は、前記第1コイル素子及び前記第2コイル素子の前記一端の近傍で前記表面から前記裏面へ貫通し、電気めっきにより導体層で埋められており、
前記樹脂基板は磁性体で包囲されて成型され、前記磁性体挿入孔には、磁性体が挿入されて成型体が構成されており、
前記成型体は、一部が切断されることにより前記第1コイル素子及び前記第2コイル素子の前記他端がそれぞれ露出され、電極引き出し部が設けられていることを特徴とするコイル部品。
Having a front surface and a back surface;
A first coil element formed on the surface by being wound from one end to the other;
A second coil element formed by being wound from one end to the other end at a position corresponding to the first coil element on the back surface;
A connection hole for connecting the one ends of the first coil element and the second coil element;
A magnetic substrate insertion hole formed in a central part and a peripheral part of the first coil element and the second coil element and penetrating from the front surface to the back surface;
The first coil element is patterned and stamped at a predetermined depth on the surface, and the stamped pattern is filled with a conductor layer by electroplating,
The second coil element is patterned and engraved at a predetermined depth on the back surface, and the engraved pattern is filled with a conductor layer by electroplating,
The connection hole penetrates from the front surface to the back surface in the vicinity of the one end of the first coil element and the second coil element, and is filled with a conductor layer by electroplating,
The resin substrate is molded by being surrounded by a magnetic body, and the molded body is configured by inserting the magnetic body into the magnetic body insertion hole,
A coil component, wherein the molded body is partially cut to expose the other ends of the first coil element and the second coil element, respectively, and is provided with an electrode lead portion.
第1表面と第1裏面とを有し、
前記第1表面に形成され、所定の深さでパターン化されて刻印され、電気めっきにより前記刻印されたパターンが導体層で埋められた、一端から他端にかけて巻回された第1のコイル素子と;
前記第1コイル素子の前記一端の近傍で前記第1表面から前記第1裏面へ貫通し、電気めっきにより導体層で埋められ、前記第1コイル素子の前記一端に接続される第1接続孔と;
前記第1コイル素子の中心部及び周辺部で前記第1表面から前記第1裏面へ貫通する第1磁性体挿入孔と;を有する第1樹脂基板と、
第2表面と第2裏面とを有し、
前記第2表面の第1コイル素子に対応する位置に形成され、所定の深さでパターン化されて刻印され、電気めっきにより前記刻印されたパターンが導電層で埋められた、一端から他端にかけて巻回された第2コイル素子と;
前記第2コイル素子の前記一端の近傍で前記第2表面から前記第2裏面へ貫通し、電気めっきにより導体層で埋められ、前記第2コイル素子の前記一端に接続される第2接続孔と;
前記第2コイル素子の中心部及び周辺部で前記第2表面から前記第2裏面へ貫通する第2磁性体挿入孔と;を有する第2樹脂基板と、を有し、
前記第1樹脂基板の前記第1裏面と前記第2樹脂基板の第2裏面同士を、前記第1接続孔と前記第2接続孔とが一致するように接着させ、前記第1樹脂基板と前記第2樹脂基板とは磁性体で包囲され成型され、前記第1磁性体挿入孔及び前記第2磁性体挿入孔は磁性体が挿入されて成型体が構成されており、前記成型体は一部が切断されることにより前記第1コイル素子及び前記第2コイル素子の前記他端がそれぞれ露出され、電極引き出し部が設けられていること特徴とするコイル部品。
Having a first surface and a first back surface;
A first coil element formed on the first surface, patterned and engraved at a predetermined depth, and wound from one end to the other end, wherein the engraved pattern is filled with a conductor layer by electroplating When;
A first connection hole penetrating from the first surface to the first back surface in the vicinity of the one end of the first coil element, filled with a conductor layer by electroplating, and connected to the one end of the first coil element; ;
A first resin substrate having a first magnetic body insertion hole penetrating from the first surface to the first back surface at a central portion and a peripheral portion of the first coil element;
Having a second surface and a second back surface;
Formed at a position corresponding to the first coil element on the second surface, patterned and engraved at a predetermined depth, and filled with a conductive layer by electroplating, from one end to the other end A wound second coil element;
A second connection hole penetrating from the second surface to the second back surface in the vicinity of the one end of the second coil element, filled with a conductor layer by electroplating, and connected to the one end of the second coil element; ;
A second magnetic substrate having a second magnetic body insertion hole penetrating from the second surface to the second back surface at a central portion and a peripheral portion of the second coil element;
The first back surface of the first resin substrate and the second back surface of the second resin substrate are bonded so that the first connection hole and the second connection hole coincide with each other, The second resin substrate is surrounded and molded with a magnetic body, and the first magnetic body insertion hole and the second magnetic body insertion hole are formed by inserting a magnetic body, and the molded body is partially The coil component is characterized in that the other end of each of the first coil element and the second coil element is exposed by being cut and an electrode lead-out portion is provided.
前記樹脂基板が熱硬化性樹脂によって作製されることを特徴とする請求項1に記載のコイル部品。   The coil component according to claim 1, wherein the resin substrate is made of a thermosetting resin. 前記第1樹脂基板及び前記第2樹脂基板が熱硬化性樹脂によって作製されることを特徴とする請求項2に記載のコイル部品。   The coil component according to claim 2, wherein the first resin substrate and the second resin substrate are made of a thermosetting resin. 第1表面と第1裏面とを有し、
前記第1表面に刻印されて形成され、一端から他端にかけて巻回された第1の深さを有する第1のコイルパターンと;
前記第1表面に刻印されて形成され、前記第1のコイルパターンの前記一端につながった前記第1の深さより深い第2の深さを有する第1接続孔パターンと;
前記第1表面の前記第1コイルパターンの中心部及び周辺部に刻印されて形成され、前記第2の深さを有する第1磁性体挿入孔パターンと;を有する第1樹脂金型と、
第2表面と第2裏面とを有し、
前記第2表面に刻印されて形成され、一端から他端にかけて巻回された前記第1の深さを有する第2のコイルパターンと;
前記第2表面に刻印されて形成され、前記第2のコイルパターンの前記一端につながった前記第2の深さを有する第2接続孔パターンと;
前記第2表面の前記第2のコイルパターンの中心部及び周辺部に刻印されて形成され、前記第2の深さを有する第2磁性体挿入孔パターンと;を有する第2樹脂金型とを準備する第1ステップと、
電気めっきにより、前記第1樹脂金型に形成された前記第1のコイルパターンと前記第1接続孔パターン及び前記第2樹脂金型に形成された前記第2のコイルパターンと前記第2接続孔パターンをそれぞれ導電層で埋めて第1コイル素子及び第2コイル素子が形成された第1樹脂基板と第2樹脂基板とを作製する第2ステップと、
前記第1樹脂基板と前記第2樹脂基板とを前記第1裏面と前記第2裏面からそれぞれ研磨して前記第1接続孔と前記第2接続孔の前記導電層を露出させる第3ステップと、
露出した前記第1接続孔と前記第2接続孔とが一致するように前記第1樹脂基板の前記第1裏面と前記第2樹脂基板の第2裏面同士を接着させる第4のステップと、
接着された前記第1樹脂基板と前記第2樹脂基板とを磁性体で包囲して前記第1磁性体挿入孔と前記第2磁性体挿入孔とを磁性体で埋める成型体を形成する第5のステップと、
前記成型体の一部を切断することにより、前記第1コイル素子及び前記第2コイル素子の他端をそれぞれ露出させ、電極引き出し部を設ける第6のステップと、を具備することを特徴とするコイル部品の製造方法。
Having a first surface and a first back surface;
A first coil pattern formed on the first surface by being stamped and having a first depth wound from one end to the other;
A first connection hole pattern formed on the first surface by being stamped and having a second depth deeper than the first depth connected to the one end of the first coil pattern;
A first resin mold having a first magnetic body insertion hole pattern formed on the first surface of the first coil pattern by being engraved at a center portion and a peripheral portion of the first surface and having the second depth;
Having a second surface and a second back surface;
A second coil pattern having the first depth formed by being stamped on the second surface and wound from one end to the other;
A second connection hole pattern formed by being stamped on the second surface and having the second depth connected to the one end of the second coil pattern;
A second resin mold having a second magnetic body insertion hole pattern formed on the second surface and engraved at a center portion and a peripheral portion of the second coil pattern and having the second depth. A first step to prepare,
The first coil pattern and the first connection hole pattern formed in the first resin mold and the second coil pattern and the second connection hole formed in the second resin mold by electroplating. A second step of producing a first resin substrate and a second resin substrate on which the first coil element and the second coil element are formed by filling the pattern with a conductive layer,
A third step of polishing the first resin substrate and the second resin substrate from the first back surface and the second back surface, respectively, to expose the conductive layer of the first connection hole and the second connection hole;
A fourth step of bonding the first back surface of the first resin substrate and the second back surface of the second resin substrate so that the exposed first connection hole and the second connection hole coincide with each other;
A fifth molded body is formed in which the bonded first resin substrate and the second resin substrate are surrounded by a magnetic material, and the first magnetic material insertion hole and the second magnetic material insertion hole are filled with the magnetic material. And the steps
And a sixth step of exposing the other ends of the first coil element and the second coil element by cutting a part of the molded body and providing an electrode lead portion. Manufacturing method of coil parts.
表面に刻印され、一端から他端にかけて巻回された第1の高さを有する反転コイルパターンと;
前記表面に刻印され、前記反転コイルパターンの前記一端につながった前記第1の高さより高い第2の高さを有する反転接続孔パターンと;
前記表面の前記反転コイルパターンの中心部及び周辺部に刻印されて形成され、前記第2の高さを有する反転磁性体挿入孔パターンと;を有する第1の金型を準備する第1ステップと、
側壁部を画成する金型と底面部を画成する金型とからなる第2の金型を準備する第2ステップと、
前記第1の金型を前記反転接続孔パターンが前記第2の金型の前記底面部に密着するよう載置し、前記第2の金型内に樹脂を注入し、前記第1の金型内に充填させて硬化させる第3ステップと、
前記第1の金型と前記第2の金型の前記側壁部を画成する金型とを除去する第4ステップと、
気めっきにより前記コイルパターンと前記接続孔パターンとを導電層で埋めてコイル素子及び接続体を形成する第5ステップと、
前記底面部を画成する金型を剥離して樹脂基板を形成する第6ステップと、を備え、
前記第1ステップ乃至第6ステップにより、
第1コイル素子、第1接続体及び第1磁性体挿入孔が形成された第1樹脂基板と第2コイル素子、第2接続体及び第2磁性体挿入孔が形成された第2樹脂基板とを作製し、
前記第1接続孔と前記第2接続孔とが一致するように前記第1樹脂基板の裏面と前記第2樹脂基板の裏面同士を接着させ、
接着された前記第1樹脂基板と前記第2樹脂基板とを磁性体で包囲して前記第1磁性体挿入孔と前記第2磁性体挿入孔とを磁性体で埋める成型体を形成し、
前記成型体の一部を切断することにより、前記第1コイル素子及び前記第2コイル素子の他端をそれぞれ露出させ、電極引き出し部を設けることを特徴とするコイル部品の製造方法。
An inverted coil pattern having a first height imprinted on the surface and wound from one end to the other;
An inversion connection hole pattern having a second height higher than the first height stamped on the surface and connected to the one end of the inversion coil pattern;
A first step of preparing a first mold having: a reversed magnetic material insertion hole pattern formed by being stamped at a central portion and a peripheral portion of the reverse coil pattern on the surface and having the second height; ,
A second step of preparing a second mold comprising a mold that defines a side wall and a mold that defines a bottom surface;
The first mold is placed so that the reverse connection hole pattern is in close contact with the bottom surface portion of the second mold, a resin is injected into the second mold, and the first mold A third step of filling and curing inside,
A fourth step of removing the first mold and the mold defining the side wall portion of the second mold;
A fifth step of forming a coil element and the connecting member by electric plating to fill the said connecting hole pattern and the coil pattern with a conductive layer,
A sixth step of peeling a mold defining the bottom portion to form a resin substrate,
Through the first step to the sixth step,
A first resin substrate on which a first coil element, a first connection body and a first magnetic body insertion hole are formed, and a second resin substrate on which a second coil element, a second connection body and a second magnetic body insertion hole are formed; Make
Adhering the back surface of the first resin substrate and the back surfaces of the second resin substrate so that the first connection hole and the second connection hole coincide,
Forming a molded body that surrounds the bonded first resin substrate and the second resin substrate with a magnetic material and fills the first magnetic material insertion hole and the second magnetic material insertion hole with the magnetic material;
A method of manufacturing a coil component, comprising: cutting a part of the molded body to expose the other ends of the first coil element and the second coil element, and providing an electrode lead portion.
前記樹脂基板が熱硬化性樹脂によって作製されることを特徴とする請求項5に記載の方法。   The method according to claim 5, wherein the resin substrate is made of a thermosetting resin. 前記第1樹脂基板及び前記第2樹脂基板が熱硬化性樹脂によって作製されることを特徴とする請求項6に記載の方法。   The method according to claim 6, wherein the first resin substrate and the second resin substrate are made of a thermosetting resin.
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