JP5512578B2 - Manufacturing method of build-up type multilayer flexible circuit board - Google Patents
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Description
本発明は、ビルドアップ型多層回路基板の製造方法に係わり、特に、可撓性ケーブル部を有するビルドアップ型多層フレキシブル回路基板の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a buildup type multilayer circuit board, and more particularly, to a method for manufacturing a buildup type multilayer flexible circuit board having a flexible cable portion.
近年、電子機器の小型化および高機能化は益々促進されてきており、そのために回路基板に対する高密度化の要求が高まっている。そこで、回路基板を片面から両面や三層以上の多層回路基板とすることにより、高密度化を図っている。 In recent years, miniaturization and high functionality of electronic devices have been increasingly promoted, and for this reason, there is an increasing demand for higher density of circuit boards. Therefore, the circuit board is changed from one side to a double sided circuit board or a multilayer circuit board having three or more layers to increase the density.
図15は、従来の外層と内層にケーブル部を有するビルドアップ型多層フレキシブル回路基板の製造方法を示す断面工程図であって、先ず、図15(1)に示すように、ポリイミド等の可撓性絶縁ベース材91の両面に銅箔等の導電層92,93を有する、両面銅張積層板94を用意する。
FIG. 15 is a cross-sectional process diagram illustrating a conventional method for manufacturing a build-up type multilayer flexible circuit board having a cable portion in an outer layer and an inner layer. First, as shown in FIG. A double-sided copper-
次いで、図15(2)に示すように、この両面型銅張積層板94の銅箔層92、93に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、ケーブル等の回路パターン95を形成し、内層回路96とする。続いて、図15(3)に示すように、ケーブル等の回路パターン95に接着材98を介してポリイミドフィルム97を張り合わせることでカバー99を形成し、ケーブル部100を形成する。
Next, as shown in FIG. 15 (2), a
この後、図15(4)に示すように、絶縁ベース材101の片面に銅箔等の導電層102を有する、片面銅張積層板103およびこれを金型等により所望の形状に打ち抜き加工した図15(3)のケーブル部100に張り合わせるための接着材104を用意する。このときの導電層102の厚みは50μm以下がよく、特に35μm以下が好ましい。次に、図15(5)に示すように、片面銅張積層板103と接着材104を張り合わせ、これを金型等により所望の形状に打ち抜き加工する。
Thereafter, as shown in FIG. 15 (4), a single-sided copper
次いで、図16(6)に示すように、図15(3)のケーブル部100に接着材104を介して、図15(5)の打ち抜き加工した片面銅張積層板105を積層する。続いて、図16(7)に示すように、NCドリル等で導通用孔106を形成する。必要に応じて、導通用孔内106に発生したスミアを除去するためのデスミア処理を行う。
Next, as shown in FIG. 16 (6), the single-sided
この後、図17(8)に示すように、導通用孔106に無電解めっきあるいは導電化処理等を施した後、電気めっきでスルーホール107を形成する。このときのスルーホール107のめっき厚みは、30〜50μm程度が信頼性を確保する上では好ましい、とされる。
After that, as shown in FIG. 17 (8), the
そして、図17(9)に示すように、上記スルーホール面に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、回路パターン108を形成し、2段ビルドアップ型多層フレキシブル回路基板のケーブル部を有する内層コア基板109を得る。
Then, as shown in FIG. 17 (9), the
次に、図18(10)に示すように、特許文献1,2に記載されている銅箔110(例えば厚さ100μm)/ニッケル箔111(例えば厚さ1μm)/銅箔112(例えば厚さ10μm)の3層構造を有する金属基材113を用意する。このときのニッケル箔111は、銅エッチングの際のエッチングストッパーであり、ニッケル箔に限定するものではない。
Next, as shown in FIG. 18 (10), the copper foil 110 (for example,
次いで、図18(11)に示すように、この金属基材113の両面の銅箔層110および112に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、コニーデ状(截頭円錐台形)の導電性突起を形成するためのレジスト層114を形成する。
Next, as shown in FIG. 18 (11), the
続いて、図18(12)に示すように、レジスト層114を用いて、金属基材113の両面の銅箔層110および112に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、コニーデ状の導電性突起115を形成する。このときのエッチング液としては、選択性を有するエッチング液を用いる。
Subsequently, as shown in FIG. 18 (12), using the
この後、図18(13)に示すように、レジスト層114を剥離し、ニッケル箔111を特許文献2に記載の選択性を有するエッチング液を用いて除去する。銅箔層112上に、コニーデ状の導電性突起115を有する金属基材116を得る。
Thereafter, as shown in FIG. 18 (13), the
次に、図18(14)に示すように、ポリイミドフィルム等の可撓性を有するベースフィルム117の両面に、熱可塑性ポリイミド等の可撓性および接着性を有する接着層118を有する可撓性ベース絶縁材119を用意する。
Next, as shown in FIG. 18 (14), flexibility having
次いで、図19(15)に示すように、金属基材116に対し可撓性ベース絶縁材119をラミネートにより接着性を発現しない温度で熱圧着した。その他の可撓性ベース絶縁材119の形成手法としてはキャスト、コーティング等も適用可能で、絶縁樹脂の種類、形態(ワニス、フィルム)によって最適な手法を選択する。続いて、図19(16)に示すように、金属基材116上の導電性突起115の頂部120をCMP、機械研磨等により露出させ、回路基材121を得る。この後、図19(17)に示すように、回路基材121を図17(9)までの工程で得た回路基材109に積層する。
Next, as shown in FIG. 19 (15), the flexible
次に、図20(18)に示すように、積層した回路基材121の銅箔112に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、ケーブル等の回路パターン122を形成する。このときのエッチング液としては、選択性を有するエッチング液を用いる。
Next, as shown in FIG. 20 (18), a
この場合、中空構造となった回路基材121に対してレジスト層の形成や露光を行わなければならず、レジスト形成時のデラミ等が懸念される他、露光時のレジストとフォトマスクとのクリアランスを一定に保つことが困難であるため、歩留まりよく微細な回路を形成することは困難である。
In this case, a resist layer must be formed and exposed to the
次いで、図20(19)に示すように、ケーブル等の回路パターン122にポリイミドフィルム123を、接着材124を介し張り合わせることでカバー125を形成し、ケーブル部126を形成する。また、その他の部品実装部分には、カバーフィルムまたはフォトソルダーレジスト127を形成する。
Next, as shown in FIG. 20 (19), a
ここで、中空構造となったケーブルへのカバー125の張り合わせは困難で、図20(19)に示すように、デラミ等の張り合わせ不良が生じ易い。この後、必要に応じて基板表面に半田めっき、ニッケルめっき、金めっき等の表面処理を施し、外形加工を行うことで外層と内層にケーブル部を有するビルドアップ型多層フレキシブル回路基板128を得る。
本発明では、カバーフィルムの張り合わせ不良を起こすことなく、生産性の高い多層フレキシブル回路基板の製造方法を提供することを目的とする。 It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a multilayer flexible circuit board with high productivity without causing poor bonding of the cover film.
上記目的達成のため、本発明は次のような特徴を有する。 In order to achieve the above object, the present invention has the following features.
本発明によれば、
内層コア基板における回路パターンが形成された少なくとも一方の外層に、導電性突起により層間接続されたケーブル部が積層されてなる、複数の層を持つビルドアップ部をそなえた多層フレキシブル回路基板の製造方法において、
a)3層構造を有する第1の金属基材であって一方の面に第1の回路パターンが設けられた第1の基材を用意する工程、
b)3層構造を有する第2の金属基材であって一方の面に層間接続に用いる第1の導電性突起が立設された第2の基材を用意する工程、
c)前記第2の基材に、接着性絶縁樹脂を熱圧着した後、前記第1の導電性突起の頂部を露出させる工程、
d)前記第1の基材と前記第2の基材とを熱圧着することにより、前記第1の回路パターンと前記第1の導電性突起とが電気的に接続され、ケーブル部となる回路基材を形成する工程、
e)前記回路基材の前記第1の基材側の一面に、新たに第2の導電性突起を形成する工程、
f)前記第2の導電性突起が形成された面に、前記ケーブル部となる可撓性層間絶縁樹脂層を形成する工程、
g)前記可撓性層間絶縁樹脂層を、前記第2の導電性突起を保護するマスク層として前記回路基材における前記可撓性層間絶縁樹脂層とは反対側の面に第2の回路パターンを形成する工程、
h)前記第2の回路パターンの上にカバーを形成する工程、
i)前記第2の導電性突起の頂部を露出させる工程、
j)前記内層コア基板に、前記可撓性層間絶縁樹脂層を有する前記第2の導電性突起が形成された前記第2の回路パターン形成後の前記ケーブル部となる回路基材を積層する工程、
をそなえたことを特徴とする多層フレキシブル回路基板の製造方法、
を提供するものである。
According to the present invention,
A method of manufacturing a multilayer flexible circuit board having a build-up part having a plurality of layers, in which a cable part connected with an interlayer by a conductive protrusion is laminated on at least one outer layer on which a circuit pattern is formed on an inner layer core board In
a) preparing a first base material having a three-layer structure, the first base material having a first circuit pattern on one surface ;
b) preparing a second base material having a three-layer structure, the first base material having a first conductive protrusion standing on one side for use in interlayer connection ;
c) a step of exposing a top portion of the first conductive protrusion after thermo-compression bonding of the adhesive insulating resin to the second base material ;
d) A circuit in which the first circuit pattern and the first conductive protrusion are electrically connected by thermocompression bonding the first base material and the second base material to form a cable portion. Forming a substrate ;
e) a step of newly forming a second conductive protrusion on one surface of the circuit substrate on the first substrate side;
f) forming a flexible interlayer insulating resin layer to be the cable portion on the surface on which the second conductive protrusion is formed;
g) Using the flexible interlayer insulating resin layer as a mask layer for protecting the second conductive protrusion, a second circuit pattern on the surface of the circuit substrate opposite to the flexible interlayer insulating resin layer Forming a process,
h) forming a cover on the second circuit pattern;
i) exposing the top of the second conductive protrusion;
j) Laminating a circuit base material to be the cable portion after forming the second circuit pattern on which the second conductive protrusion having the flexible interlayer insulating resin layer is formed on the inner core substrate. ,
A method for producing a multilayer flexible circuit board, characterized by comprising:
Is to provide.
これらの特徴により、本発明は次のような効果を奏する。 Due to these features, the present invention has the following effects.
本願発明によれば、煩雑な工程を用いることなく、外層のケーブル部に微細な回路パターンを形成でき、カバーのデラミ等の張り合わせ不良の恐れもなく、内層コア基板にもケーブルを配置可能である。 According to the present invention, it is possible to form a fine circuit pattern on the cable portion of the outer layer without using a complicated process, and it is possible to place the cable on the inner layer core substrate without fear of bonding failure such as delamination of the cover. .
また本発明によれば、予め作製した良品の2段ビルドアップ部と良品の内層コア基板とを選択して積層可能であるうえ、ビルドアップ部と内層コア基板とを別工程で製造できる。 Further, according to the present invention , it is possible to select and stack a pre-made good two-stage build-up portion and a good inner layer core substrate, and it is possible to manufacture the build-up portion and the inner core substrate in separate steps.
以上の効果により、外層にケーブル部を有する多層フレキシブル回路基板を生産性よく安価にかつ安定的に提供することができる。 Due to the above effects, a multilayer flexible circuit board having a cable portion on the outer layer can be provided stably and inexpensively with high productivity.
以下、図1ないし図14を参照しながら本発明の実施形態を説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS.
図1ないし図6は、本発明の参考例における、内層にケーブル部を有するビルドアップ型多層フレキシブル回路基板の製造方法を示す断面工程図である。この方法では、まず、図1(1)に示すように、ポリイミド等の可撓性絶縁ベース材1の両面に銅箔等の導電層2,3を有する、所謂、両面銅張積層板4を用意する。
1 to 6 are cross-sectional process diagrams illustrating a manufacturing method of a build-up type multilayer flexible circuit board having a cable portion in an inner layer in a reference example of the present invention. In this method, first, as shown in FIG. 1A, a so-called double-sided copper-clad
次に、図1(2)に示すように、この両面型銅張積層板4の銅箔層2,3に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、ケーブル等の回路パターン5を形成し、内層回路6とする。次いで、図1(3)に示すように、ケーブル等の回路パターン5に接着材8を介しポリイミドフィルム7を張り合わせることでカバー9を形成し、ケーブル部10を形成する。
Next, as shown in FIG. 1 (2), a
続いて、図1(4)に示すように、絶縁ベース材11の片面に銅箔等の導電層12を有する、所謂、片面銅張積層板13およびこれを金型等により所望の形状に打ち抜き加工した同図(3)のケーブル部10に張り合わせるための接着材14を用意する。このときの導電層12の厚みは50μm以下がよく、特に35μm以下が好ましい。
Subsequently, as shown in FIG. 1 (4), a so-called single-sided copper-clad
この後、図1(5)に示すように、片面銅張積層板13と接着材14を張り合わせ、これを金型等により所望の形状に打ち抜き加工する。
Thereafter, as shown in FIG. 1 (5), the single-sided copper-clad
次に、図2(6)に示すように、図2(3)のケーブル部10に接着材14を介して図2(5)の打ち抜き加工した片面銅張積層板15を積層する。次いで、図2(7)に示すように、NCドリル等で導通用孔16を形成する。必要に応じて導通用孔内16に発生したスミアを除去するためのデスミア処理を行う。
Next, as shown in FIG. 2 (6), the single-sided copper clad
続いて、図3(8)に示すように、導通用孔16に無電解めっきまたは導電化処理等を施した後、電気めっきでスルーホール17を形成する。このときのスルーホール17のめっき厚みは、30〜50μm程度が信頼性を確保する上で好ましい、とされる。
Subsequently, as shown in FIG. 3 (8), the through
この後、図3(9)に示すように、上記スルーホール面に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、回路パターン18を形成し、2段ビルドアップ型多層フレキシブル回路基板のケーブル部を有する内層コア基板19を得る。
Thereafter, as shown in FIG. 3 (9), a
次に、図4(10)に示すように、銅箔20(例えば厚さ100μm)/ニッケル箔21(例えば厚さ1μm)/銅箔22(例えば厚さ10μm)の3層構造を有する金属基材23を用意する。このときのニッケル箔21は、銅エッチングの際のエッチングストッパーであり、ニッケル箔に限定するものではない。
Next, as shown in FIG. 4 (10), a metal substrate having a three-layer structure of copper foil 20 (for example,
次いで、図4(11)に示すように、この金属基材23の両面の銅箔層20および22に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、コニーデ状の導電性突起を形成するためのレジスト層24を形成する。
Next, as shown in FIG. 4 (11), conical-shaped conductive protrusions are formed on the copper foil layers 20 and 22 on both surfaces of the
続いて、図4(12)に示すように、レジスト層24を用いて、金属基材23の両面の銅箔層20および22に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、コニーデ状の導電性突起25を形成する。このときのエッチング液としては、例えば酸性エッチング液である塩化第二鉄またはアルカリ性エッチング液である水酸化アンモニウム溶液を用いる。
Subsequently, as shown in FIG. 4 (12), using the resist
この後、図4(13)に示すように、レジスト層24を剥離し、ニッケル箔21を、選択性を有するエッチング液、例えば酸性エッチング液である塩化第二鉄またはアルカリ性エッチング液である水酸化アンモニウム溶液を用いて除去する。銅箔層22上に、コニーデ状(截頭円錐台形)の導電性突起25を有する金属基材26を得る。次に、図4(14)に示すように、ポリイミドフィルム等の可撓性を有するベースフィルム27の両面に熱可塑性ポリイミド等の可撓性と接着性を有する接着層28を有する可撓性ベース絶縁材29を用意する。
Thereafter, as shown in FIG. 4 (13), the resist
次いで、図5(15)に示すように、金属基材26に対し可撓性ベース絶縁材29をラミネートにより接着性を発現しない温度で熱圧着した。その他の可撓性ベース絶縁材29の形成手法としてはキャスト、コーティング等も適用可能で、絶縁樹脂の種類、形態(ワニス、フィルム)によって最適な手法を選択する。
Next, as shown in FIG. 5 (15), the flexible
続いて、図5(16)に示すように、基材26の銅箔層22に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、ケーブル等の回路パターンを形成するためのレジスト層30を形成する。この際、銅箔層22の対になる面のエッチング液からの保護は図5(15)で金属基材26上に形成した可撓性ベース絶縁材29によって行う。この形態であれば、片面銅張積層板に回路パターンを形成する手法がほぼそのまま適用可能であるため、微細な回路形成も歩留まりよく行うことができる。
Subsequently, as shown in FIG. 5 (16), a resist
この後、図5(17)に示すように、レジスト層30を用い、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、ケーブル等の回路パターン31を形成し、レジスト層30を剥離し、回路基材32を得る。
Thereafter, as shown in FIG. 5 (17), a
次に、図5(18)に示すように、回路基材32のケーブル等の回路パターン31に、接着材34を介しポリイミドフィルム33を張り合わせることで、カバー35を形成する。この場合も、片面回路基板を製造するときと同様に、容易にカバー形成を行うことができる。次いで、図5(19)に示すように、金属基材26上の導電性突起25の頂部36をCMP、機械研磨等により露出させ、ケーブル部を有する回路基材37を得る。
Next, as shown in FIG. 5 (18), the
続いて、図6(20)に示すように、ケーブル部を有する回路基材37と、同図(9)までの工程で得たケーブル部を有する内層コア基板19とを用意する。
Subsequently, as shown in FIG. 6 (20), prepared as the
この後、図6(21)に示すように、型抜きした回路基材37を図3(9)までの工程で得たケーブル部を有する内層コア基板19に積層する。その他の部品実装部分にはカバーフィルムまたはフォトソルダーレジスト38を形成する。この後、必要に応じて基板表面に半田めっき、ニッケルめっき、金めっき等の表面処理を施し、外形加工を行うことで外層と内層にケーブル部を有するビルドアップ型多層フレキシブル回路基板39を得る。
Thereafter, as shown in FIG. 6 (21), the die-cut
図7ないし図14は、本発明の実施例の製造方法を示す断面工程図である。この方法では、先ず、図7(1)に示すように、絶縁ベース材41の両面に銅箔等の導電層42,43を有する、両面銅張積層板44を用意する。
7 to 14 are cross-sectional process diagrams showing the manufacturing method of the embodiment of the present invention. In this method, first, as shown in FIG. 7A, a double-sided copper clad laminate 44 having
次に、図7(2)に示すように、この両面型銅張積層板44の銅箔層42,43に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、回路パターン45を形成し、内層回路46とする。
Next, as shown in FIG. 7B, a
次いで、図7(3)に示すように、Bステージ状態のガラスエポキシ・プリプレグ等の接着性を有する接着性層間絶縁樹脂47の片面に銅箔等の導電層48を有する、所謂、片面銅張積層板49を用意する。
Next, as shown in FIG. 7 (3), a so-called single-sided copper-clad having a
続いて、図7(4)に示すように、同図(2)の内層回路46の両面に同図(3)の片面銅張積層板49を、ガラスエポキシ・プリプレグ等の接着性を有する接着性層間絶縁樹脂47を介して張り合わせ、接着する。
Subsequently, as shown in FIG. 7 (4), the single-sided copper-clad
この後、図8(5)に示すように、図7(4)で内層回路46の両面に片面銅張積層板49を張り合わせた基材を金型等により所望の形状に打ち抜き加工する。次に、図8(6)に示すように、図8(5)で打ち抜き加工された基材にNCドリル等で導通用孔51を形成する。なお、図8(5)の打ち抜き加工の前に、導通用孔51を形成しても構わない。
After that, as shown in FIG. 8 (5), the base material in which the single-sided copper clad
次いで、図8(7)に示すように、導通用孔51に無電解めっき、または導電化処理等を施した後、電気めっきでスルーホール52を形成する。
Next, as shown in FIG. 8 (7), the through
続いて、図9(8)に示すように、上記スルーホール面に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、回路パターン53を形成し、ビルドアップ型多層フレキシブル回路基板の内層コア基板54を得る。
Subsequently, as shown in FIG. 9 (8), a
この後、図10(9)に示すように、銅箔55(例えば厚さ100μm)/ニッケル箔56(例えば厚さ1μm)/銅箔57(例えば厚さ10μm)の3層構造を有する金属基材58を用意する。このときのニッケル箔56は、銅エッチングの際のエッチングストッパーであり、ニッケル箔に限定するものではない。また、繰り返し屈曲等が要求される場合には、ケーブル部となる銅箔57に屈曲性に優れた、特殊電解箔や圧延銅箔を用いるとよい。
Thereafter, as shown in FIG. 10 (9), the metal base having a three-layer structure of copper foil 55 (for example,
次に、図10(10)に示すように、この金属基材58の銅箔層57に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、回路パターンを形成するためのレジスト層59を形成する。
Next, as shown in FIG. 10 (10), a resist
次いで、図10(11)に示すように、フォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、ケーブル部を含む回路パターン60を形成する。このときのエッチング液としては選択性を有するエッチング液として酸性エッチング液である塩化第二鉄またはアルカリ性エッチング液である水酸化アンモニウム溶液を用いる。続いて、図10(12)に示すように、レジスト層59を剥離し、回路パターン60を有する基材61を得る。
Next, as shown in FIG. 10 (11), a
この後、図10(13)に示すように、銅箔62(例えば厚さ100μm)/ニッケル箔63(例えば厚さ1μm)/銅箔64(例えば厚さ10μm)の3層構造を有する金属基材65を用意する。このときのニッケル箔63は銅エッチングの際のエッチングストッパーであり、ニッケル箔に限定するものではない。また、繰り返し屈曲等が要求される場合には、ケーブル部となる銅箔64にも屈曲性に優れた、特殊電解箔や圧延銅箔を用いるとよい。また、銅箔厚みも銅箔57と揃えることが好ましい。
Thereafter, as shown in FIG. 10 (13), the metal base having a three-layer structure of copper foil 62 (for example,
次に、図11(14)に示すように、金属基材65の銅箔層62に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、コニーデ状の導電性突起を形成するためのレジスト層66を形成する。
Next, as shown in FIG. 11 (14), a resist for forming a conical-shaped conductive protrusion on the
次いで、図11(15)に示すように、レジスト層66を用い、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、コニーデ状の導電性突起67を形成する。このときのエッチング液としては、選択性を有するエッチング液として酸性エッチング液である塩化第二鉄またはアルカリ性エッチング液である水酸化アンモニウム溶液を用いる。レジスト層66を剥離し、ここまでの工程で、導電性突起が立設する基材68を得る。
Next, as shown in FIG. 11 (15), a conical-shaped
続いて、図11(16)に示すように、導電性突起が立設する基材68に対し、可撓性および接着性を有する液晶ポリマーやポリイミド等の接着性絶縁樹脂層69を、ラミネートにより接着性絶縁樹脂層69が接着性を発現しない温度で熱圧着した。その他の接着性絶縁樹脂層69の形成手法としてはキャスト、コーティング等も適用可能で、絶縁樹脂の種類、形態(ワニス、フィルム)によって最適な手法を選択する。さらに、導電性突起が立設する基材68上の導電性突起67の頂部70をCMP、機械研磨等により露出させ、回路基材71を得る。
Subsequently, as shown in FIG. 11 (16), an adhesive insulating
この後、図11(17)に示すように、図10(12)で形成した回路パターン60を有する基材61に図11(16)で形成した回路基材71を熱圧着し、完全に接着させ、ケーブル部となる回路基材72を得る。このときに、回路パターン60は接着性絶縁樹脂69によって完全に充填される。この接着性絶縁樹脂69が、ケーブル部の可撓性ベース材となる。また、このときに、図11(16)で形成した回路基材71の導電性突起67が、図10(12)で形成した基材61の回路パターン60と電気的に接続される。回路基材72の銅箔55が平滑であるため、導電性突起67を十分に変形させることができるだけでなく、ケーブルを含む回路パターン60に対しても十分な密着を得ることが可能である。
Thereafter, as shown in FIG. 11 (17), the
次に、図11(18)に示すように、回路基材72の銅箔層55に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、コニーデ状の導電性突起および層間絶縁樹脂のケーブル部等への流れ出しを防ぐ壁状の導電性突起を形成するためのレジスト層73を形成する。
Next, as shown in FIG. 11 (18), the
次いで、図12(19)に示すように、レジスト層73を用い、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、コニーデ状の導電性突起74を形成する。このときのエッチング液としては、選択性を有するエッチング液として酸性エッチング液である塩化第二鉄またはアルカリ性エッチング液である水酸化アンモニウム溶液を用いる。導電性突起の密度を向上させるために、必要に応じて導電性突起67と導電性突起74を同軸上に形成することが可能である。続いて、図12(20)に示すように、レジスト層73を剥離する。
Next, as shown in FIG. 12 (19), using the resist
この後、図12(21)に示すように、ニッケル箔56を特許文献2に記載の選択性を有するエッチング液を用いて除去する。ここまでの工程で、導電性突起74が立設する基材75を得る。
Thereafter, as shown in FIG. 12 (21), the
次に、図12(22)に示すように、ケーブル部のカバーとなる可撓性および接着性を有するポリイミド等の接着性絶縁樹脂層76と、Bステージ状態のプリプレグ等の接着性絶縁樹脂77を型抜きしたものとを用意する。
Next, as shown in FIG. 12 (22), an adhesive insulating
次いで、図12(23)に示すように、導電性突起が立設する基材75に対し接着性絶縁樹脂層76をラミネートによりポリイミド等の接着性絶縁樹脂層76が接着性を発現し、Bステージ状態のプリプレグ等の接着性絶縁樹脂77が接着性を発現しない温度で熱圧着した。この工程により、基材75に対し可撓性ベース絶縁材78(接着性絶縁樹脂層76+接着性絶縁樹脂77)を形成した。
Next, as shown in FIG. 12 (23), the adhesive insulating
続いて、図13(24)に示すように、基材75の銅箔層64に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、ケーブル等の回路パターンを形成するためのレジスト層79を形成する。この際、銅箔層64の対になる面のエッチング液からの保護は、図12(23)で基材75上に形成した可撓性ベース絶縁材78によって行う。この形態であれば、片面銅張積層板に回路パターンを形成する手法がほぼそのまま適用可能であるため、微細な回路形成も歩留まりよく行うことができる。
Subsequently, as shown in FIG. 13 (24), a resist
この後、図13(25)に示すように、レジスト層79を用い、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、ケーブル等の回路パターン80を形成し、レジスト層79を剥離し、回路基材81を得る。
Thereafter, as shown in FIG. 13 (25), a
次に、図13(26)に示すように、回路基材81のケーブル等の回路パターン80にポリイミドフィルム82を、接着材83を介し張り合わせることでカバー84を形成する。この場合も、片面回路基板を製造するときと同様に、容易にカバー形成を行うことができる。次いで、図13(27)に示すように、基材75上の導電性突起74の頂部85をCMP、機械研磨等により露出させ、ケーブル部を有する回路基材86を得る。
Next, as shown in FIG. 13 (26), a cover 84 is formed by laminating a
続いて、図14(28)に示すように、型抜きした回路基材87を同図(8)までの工程で得た内層コア基板54に積層する。
Subsequently, as shown in FIG. 14 (28), the die-cut
この後、図14(29)に示すように、積層後、その他の部品実装部分にはカバーフィルムまたはフォトソルダーレジスト88を形成する。この後、必要に応じて基板表面に半田めっき、ニッケルめっき、金めっき等の表面処理を施し、外形加工を行うことで外層に両面ケーブル部を有するビルドアップ型多層フレキシブル回路配線基板89を得る。
Thereafter, as shown in FIG. 14 (29), after lamination, a cover film or a photo solder resist 88 is formed on other component mounting portions. Thereafter, surface treatment such as solder plating, nickel plating, and gold plating is performed on the substrate surface as necessary, and external processing is performed to obtain a build-up type multilayer flexible
1 可撓性絶縁ベース材
2 銅箔層
3 銅箔層
4 両面銅張積層板
5 回路パターン
6 内層回路
7 ポリイミドフィルム
8 接着剤
9 カバー
10 ケーブル部
11 可撓性絶縁ベース材
12 銅箔層
13 片面銅張積層板
14 接着剤
15 型抜きされた片面銅張積層板
16 導通用孔
17 スルーホール
18 回路パターン
19 内層コア基板
20 銅箔
21 ニッケル箔
22 銅箔
23 金属基材
24 レジスト層
25 導電性突起
26 導電性突起が形成された基材
27 可撓性ベースフィルム
28 接着層(熱可塑性ポリイミド)
29 可撓性ベース絶縁材
30 レジスト層
31 回路パターン
32 回路基材
33 ポリイミドフィルム
34 接着材
35 カバー
36 導電性突起の頂部
37 回路基材
38 フォトソルダーレジスト
39 本発明による外層と内層にケーブル部を有するビルドアップ型多層フレキシブル回路基板
41 可撓性絶縁ベース材
42 銅箔層
43 銅箔層
44 両面銅張積層板
45 回路パターン
46 内層回路
47 接着性層間絶縁樹脂
48 導電層
49 片面銅張積層板
50 打ち抜き加工された基材
51 導通用孔
52 スルーホール
53 回路パターン
54 内層コア基板
55 銅箔
56 ニッケル箔
57 銅箔
58 金属基材
59 レジスト層
60 回路パターン
61 回路パターンを有する基材
62 銅箔
63 ニッケル箔
64 銅箔
65 金属基材
66 レジスト層
67 コニーデ状の導電性突起
68 導電性突起が立設する基材
69 接着性絶縁樹脂
70 導電性突起の頂部
71 回路基材
72 ケーブル部となる回路基材
73 レジスト層
74 コニーデ状の導電性突起
75 回路基材
76 ポリイミド等の可撓性絶縁樹脂層
77 プリプレグ等の型抜きされた接着性絶縁樹脂層
78 可撓性ベース絶縁材
79 レジスト層
80 回路パターン
81 回路基材
82 ポリイミドフィルム
83 接着材
84 カバー
85 導電性突起の頂部
86 ケーブル部を有する回路基材
87 型抜きした回路基材
88 フォトソルダーレジスト
89 外層にケーブル部を有するビルドアップ型多層フレキシブル回路基板
91 可撓性絶縁ベース材
92 銅箔層
93 銅箔層
94 両面銅張積層板
95 回路パターン
96 内層回路
97 ポリイミドフィルム
98 接着剤
99 カバー
100 ケーブル部
101 可撓性絶縁ベース材
102 銅箔層
103 片面銅張積層板
104 接着剤
105 型抜きされた片面銅張積層板
106 導通用孔
107 スルーホール
108 回路パターン
109 内層コア基板
110 銅箔
111 ニッケル箔
112 銅箔
113 金属基材
114 レジスト層
115 コニーデ状の導電性突起
116 金属基材
117 可撓性ベースフィルム
118 接着層(熱可塑性ポリイミド)
119 可撓性ベース絶縁材
120 導電性突起の頂部
121 回路基材
122 回路パターン
123 ポリイミドフィルム
124 接着材
125 カバー
126 回路基材
127 フォトソルダーレジスト
128 従来工法によるビルドアップ型多層フレキシブル回路基板
DESCRIPTION OF
29 Flexible
119 Flexible
Claims (3)
a)3層構造を有する第1の金属基材であって一方の面に第1の回路パターンが設けられた第1の基材を用意する工程、
b)3層構造を有する第2の金属基材であって一方の面に層間接続に用いる第1の導電性突起が立設された第2の基材を用意する工程、
c)前記第2の基材に、接着性絶縁樹脂を熱圧着した後、前記第1の導電性突起の頂部を露出させる工程、
d)前記第1の基材と前記第2の基材とを熱圧着することにより、前記第1の回路パターンと前記第1の導電性突起とが電気的に接続され、ケーブル部となる回路基材を形成する工程、
e)前記回路基材の前記第1の基材側の一面に、新たに第2の導電性突起を形成する工程、
f)前記第2の導電性突起が形成された面に、前記ケーブル部となる可撓性層間絶縁樹脂層を形成する工程、
g)前記可撓性層間絶縁樹脂層を、前記第2の導電性突起を保護するマスク層として前記回路基材における前記可撓性層間絶縁樹脂層とは反対側の面に第2の回路パターンを形成する工程、
h)前記第2の回路パターンの上にカバーを形成する工程、
i)前記第2の導電性突起の頂部を露出させる工程、
j)前記内層コア基板に、前記可撓性層間絶縁樹脂層を有する前記第2の導電性突起が形成された前記第2の回路パターン形成後の前記ケーブル部となる回路基材を積層する工程、
をそなえたことを特徴とする多層フレキシブル回路基板の製造方法。 A method of manufacturing a multilayer flexible circuit board having a build-up part having a plurality of layers, in which a cable part connected with an interlayer by a conductive protrusion is laminated on at least one outer layer on which a circuit pattern is formed on an inner layer core board In
a) preparing a first base material having a three-layer structure, the first base material having a first circuit pattern on one surface ;
b) preparing a second base material having a three-layer structure, the first base material having a first conductive protrusion standing on one side for use in interlayer connection ;
c) a step of exposing a top portion of the first conductive protrusion after thermo-compression bonding of the adhesive insulating resin to the second base material ;
d) A circuit in which the first circuit pattern and the first conductive protrusion are electrically connected by thermocompression bonding the first base material and the second base material to form a cable portion. Forming a substrate ;
e) a step of newly forming a second conductive protrusion on one surface of the circuit substrate on the first substrate side;
f) forming a flexible interlayer insulating resin layer to be the cable portion on the surface on which the second conductive protrusion is formed;
g) Using the flexible interlayer insulating resin layer as a mask layer for protecting the second conductive protrusion, a second circuit pattern on the surface of the circuit substrate opposite to the flexible interlayer insulating resin layer Forming a process,
h) forming a cover on the second circuit pattern;
i) exposing the top of the second conductive protrusion;
j) Laminating a circuit base material to be the cable portion after forming the second circuit pattern on which the second conductive protrusion having the flexible interlayer insulating resin layer is formed on the inner core substrate. ,
A method for manufacturing a multilayer flexible circuit board, comprising:
前記接着性絶縁樹脂として、熱可塑型もしくは熱硬化型のポリイミドまたは液晶ポリマーを単層で、あるいはその他の接着性樹脂を組み合わせた複層として用いることを特徴とする多層フレキシブル回路基板の製造方法。 In the method for producing a multilayer flexible circuit board according to claim 1,
A method for producing a multilayer flexible circuit board, wherein the adhesive insulating resin is a single layer of thermoplastic or thermosetting polyimide or liquid crystal polymer, or a multilayer comprising a combination of other adhesive resins.
前記ケーブル部となる前記導電性突起を立設した基材に形成された金属箔において、前記導電性突起および前記導電性突起を立設した基材に形成された金属箔の少なくとも一方が圧延銅箔により構成されたことを特徴とする多層フレキシブル回路基板の製造方法。 In the method for producing a multilayer flexible circuit board according to claim 1,
In the metal foil formed on the base material provided with the conductive protrusions to be the cable portion, at least one of the conductive protrusion and the metal foil formed on the base material provided with the conductive protrusions is rolled copper. A method for producing a multilayer flexible circuit board, comprising a foil.
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