JP5512578B2 - Manufacturing method of build-up type multilayer flexible circuit board - Google Patents

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Description

本発明は、ビルドアップ型多層回路基板の製造方法に係わり、特に、可撓性ケーブル部を有するビルドアップ型多層フレキシブル回路基板の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a buildup type multilayer circuit board, and more particularly, to a method for manufacturing a buildup type multilayer flexible circuit board having a flexible cable portion.

近年、電子機器の小型化および高機能化は益々促進されてきており、そのために回路基板に対する高密度化の要求が高まっている。そこで、回路基板を片面から両面や三層以上の多層回路基板とすることにより、高密度化を図っている。   In recent years, miniaturization and high functionality of electronic devices have been increasingly promoted, and for this reason, there is an increasing demand for higher density of circuit boards. Therefore, the circuit board is changed from one side to a double sided circuit board or a multilayer circuit board having three or more layers to increase the density.

図15は、従来の外層と内層にケーブル部を有するビルドアップ型多層フレキシブル回路基板の製造方法を示す断面工程図であって、先ず、図15(1)に示すように、ポリイミド等の可撓性絶縁ベース材91の両面に銅箔等の導電層92,93を有する、両面銅張積層板94を用意する。   FIG. 15 is a cross-sectional process diagram illustrating a conventional method for manufacturing a build-up type multilayer flexible circuit board having a cable portion in an outer layer and an inner layer. First, as shown in FIG. A double-sided copper-clad laminate 94 having conductive layers 92 and 93 such as copper foil on both sides of the conductive insulating base material 91 is prepared.

次いで、図15(2)に示すように、この両面型銅張積層板94の銅箔層92、93に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、ケーブル等の回路パターン95を形成し、内層回路96とする。続いて、図15(3)に示すように、ケーブル等の回路パターン95に接着材98を介してポリイミドフィルム97を張り合わせることでカバー99を形成し、ケーブル部100を形成する。   Next, as shown in FIG. 15 (2), a circuit pattern 95 such as a cable is formed on the copper foil layers 92 and 93 of the double-sided copper-clad laminate 94 using an ordinary photofabrication technique. The inner layer circuit 96 is formed. Subsequently, as shown in FIG. 15 (3), a cover 99 is formed by bonding a polyimide film 97 to a circuit pattern 95 such as a cable via an adhesive 98, thereby forming a cable portion 100.

この後、図15(4)に示すように、絶縁ベース材101の片面に銅箔等の導電層102を有する、片面銅張積層板103およびこれを金型等により所望の形状に打ち抜き加工した図15(3)のケーブル部100に張り合わせるための接着材104を用意する。このときの導電層102の厚みは50μm以下がよく、特に35μm以下が好ましい。次に、図15(5)に示すように、片面銅張積層板103と接着材104を張り合わせ、これを金型等により所望の形状に打ち抜き加工する。   Thereafter, as shown in FIG. 15 (4), a single-sided copper clad laminate 103 having a conductive layer 102 such as a copper foil on one side of the insulating base material 101, and this was punched into a desired shape using a mold or the like. An adhesive 104 for bonding to the cable portion 100 of FIG. 15 (3) is prepared. The thickness of the conductive layer 102 at this time is preferably 50 μm or less, and particularly preferably 35 μm or less. Next, as shown in FIG. 15 (5), the single-sided copper clad laminate 103 and the adhesive material 104 are bonded together and punched into a desired shape using a mold or the like.

次いで、図16(6)に示すように、図15(3)のケーブル部100に接着材104を介して、図15(5)の打ち抜き加工した片面銅張積層板105を積層する。続いて、図16(7)に示すように、NCドリル等で導通用孔106を形成する。必要に応じて、導通用孔内106に発生したスミアを除去するためのデスミア処理を行う。   Next, as shown in FIG. 16 (6), the single-sided copper clad laminate 105 of FIG. 15 (5) is laminated on the cable portion 100 of FIG. 15 (3) via the adhesive 104. Subsequently, as shown in FIG. 16 (7), a conduction hole 106 is formed by an NC drill or the like. If necessary, a desmear process for removing smear generated in the conductive hole 106 is performed.

この後、図17(8)に示すように、導通用孔106に無電解めっきあるいは導電化処理等を施した後、電気めっきでスルーホール107を形成する。このときのスルーホール107のめっき厚みは、30〜50μm程度が信頼性を確保する上では好ましい、とされる。   After that, as shown in FIG. 17 (8), the conductive hole 106 is subjected to electroless plating or conductive treatment, and then the through hole 107 is formed by electroplating. In this case, the plating thickness of the through hole 107 is preferably about 30 to 50 μm in order to ensure reliability.

そして、図17(9)に示すように、上記スルーホール面に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、回路パターン108を形成し、2段ビルドアップ型多層フレキシブル回路基板のケーブル部を有する内層コア基板109を得る。   Then, as shown in FIG. 17 (9), the circuit pattern 108 is formed on the through-hole surface by using an etching method by a normal photofabrication method, and the cable of the two-stage build-up type multilayer flexible circuit board is formed. An inner layer core substrate 109 having a portion is obtained.

次に、図18(10)に示すように、特許文献1,2に記載されている銅箔110(例えば厚さ100μm)/ニッケル箔111(例えば厚さ1μm)/銅箔112(例えば厚さ10μm)の3層構造を有する金属基材113を用意する。このときのニッケル箔111は、銅エッチングの際のエッチングストッパーであり、ニッケル箔に限定するものではない。   Next, as shown in FIG. 18 (10), the copper foil 110 (for example, thickness 100 μm) / nickel foil 111 (for example, thickness 1 μm) / copper foil 112 (for example, thickness) described in Patent Documents 1 and 2 is used. A metal substrate 113 having a three-layer structure of 10 μm) is prepared. The nickel foil 111 at this time is an etching stopper at the time of copper etching, and is not limited to the nickel foil.

次いで、図18(11)に示すように、この金属基材113の両面の銅箔層110および112に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、コニーデ状(截頭円錐台形)の導電性突起を形成するためのレジスト層114を形成する。   Next, as shown in FIG. 18 (11), the copper foil layers 110 and 112 on both sides of the metal base 113 are conical (conical frustoconical) using an etching method by a normal photofabrication method. A resist layer 114 for forming the conductive protrusions is formed.

続いて、図18(12)に示すように、レジスト層114を用いて、金属基材113の両面の銅箔層110および112に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、コニーデ状の導電性突起115を形成する。このときのエッチング液としては、選択性を有するエッチング液を用いる。   Subsequently, as shown in FIG. 18 (12), using the resist layer 114, the copper foil layers 110 and 112 on both sides of the metal base 113 are etched using a conventional photofabrication technique. A conductive protrusion 115 is formed. As the etchant at this time, an etchant having selectivity is used.

この後、図18(13)に示すように、レジスト層114を剥離し、ニッケル箔111を特許文献2に記載の選択性を有するエッチング液を用いて除去する。銅箔層112上に、コニーデ状の導電性突起115を有する金属基材116を得る。   Thereafter, as shown in FIG. 18 (13), the resist layer 114 is peeled off, and the nickel foil 111 is removed using an etching solution having selectivity described in Patent Document 2. On the copper foil layer 112, the metal base material 116 having the conductive projection 115 in the shape of a cone is obtained.

次に、図18(14)に示すように、ポリイミドフィルム等の可撓性を有するベースフィルム117の両面に、熱可塑性ポリイミド等の可撓性および接着性を有する接着層118を有する可撓性ベース絶縁材119を用意する。   Next, as shown in FIG. 18 (14), flexibility having adhesive layers 118 having flexibility and adhesiveness such as thermoplastic polyimide on both surfaces of a flexible base film 117 such as polyimide film. A base insulating material 119 is prepared.

次いで、図19(15)に示すように、金属基材116に対し可撓性ベース絶縁材119をラミネートにより接着性を発現しない温度で熱圧着した。その他の可撓性ベース絶縁材119の形成手法としてはキャスト、コーティング等も適用可能で、絶縁樹脂の種類、形態(ワニス、フィルム)によって最適な手法を選択する。続いて、図19(16)に示すように、金属基材116上の導電性突起115の頂部120をCMP、機械研磨等により露出させ、回路基材121を得る。この後、図19(17)に示すように、回路基材121を図17(9)までの工程で得た回路基材109に積層する。   Next, as shown in FIG. 19 (15), the flexible base insulating material 119 was thermocompression bonded to the metal substrate 116 at a temperature at which the adhesiveness was not exhibited by lamination. As another method for forming the flexible base insulating material 119, casting, coating, or the like can be applied, and an optimal method is selected depending on the type and form (varnish, film) of the insulating resin. Subsequently, as shown in FIG. 19 (16), the top portion 120 of the conductive protrusion 115 on the metal base material 116 is exposed by CMP, mechanical polishing, etc., and the circuit base material 121 is obtained. Thereafter, as shown in FIG. 19 (17), the circuit substrate 121 is laminated on the circuit substrate 109 obtained in the steps up to FIG. 17 (9).

次に、図20(18)に示すように、積層した回路基材121の銅箔112に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、ケーブル等の回路パターン122を形成する。このときのエッチング液としては、選択性を有するエッチング液を用いる。   Next, as shown in FIG. 20 (18), a circuit pattern 122 such as a cable is formed on the laminated copper foil 112 of the circuit substrate 121 using an etching method based on a normal photofabrication method. As the etchant at this time, an etchant having selectivity is used.

この場合、中空構造となった回路基材121に対してレジスト層の形成や露光を行わなければならず、レジスト形成時のデラミ等が懸念される他、露光時のレジストとフォトマスクとのクリアランスを一定に保つことが困難であるため、歩留まりよく微細な回路を形成することは困難である。   In this case, a resist layer must be formed and exposed to the circuit substrate 121 having a hollow structure, and there is a concern about delamination at the time of resist formation, and the clearance between the resist and the photomask at the time of exposure. Therefore, it is difficult to form a fine circuit with a high yield.

次いで、図20(19)に示すように、ケーブル等の回路パターン122にポリイミドフィルム123を、接着材124を介し張り合わせることでカバー125を形成し、ケーブル部126を形成する。また、その他の部品実装部分には、カバーフィルムまたはフォトソルダーレジスト127を形成する。   Next, as shown in FIG. 20 (19), a cover 125 is formed by bonding a polyimide film 123 to a circuit pattern 122 such as a cable through an adhesive 124, and a cable portion 126 is formed. Further, a cover film or a photo solder resist 127 is formed on other component mounting portions.

ここで、中空構造となったケーブルへのカバー125の張り合わせは困難で、図20(19)に示すように、デラミ等の張り合わせ不良が生じ易い。この後、必要に応じて基板表面に半田めっき、ニッケルめっき、金めっき等の表面処理を施し、外形加工を行うことで外層と内層にケーブル部を有するビルドアップ型多層フレキシブル回路基板128を得る。
特開2002−141629号公報 特開2003−129259号公報
Here, it is difficult to attach the cover 125 to the cable having a hollow structure, and as shown in FIG. 20 (19), poor adhesion such as delamination tends to occur. Thereafter, surface treatment such as solder plating, nickel plating, and gold plating is performed on the substrate surface as necessary, and external processing is performed to obtain a build-up type multilayer flexible circuit board 128 having cable portions on the outer layer and the inner layer.
JP 2002-141629 A JP 2003-129259 A

本発明では、カバーフィルムの張り合わせ不良を起こすことなく、生産性の高い多層フレキシブル回路基板の製造方法を提供することを目的とする。   It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a multilayer flexible circuit board with high productivity without causing poor bonding of the cover film.

上記目的達成のため、本発明は次のような特徴を有する。   In order to achieve the above object, the present invention has the following features.

本発明によれば、
内層コア基板における回路パターンが形成された少なくとも一方の外層に、導電性突起により層間接続されたケーブル部が積層されてなる、複数の層を持つビルドアップ部をそなえた多層フレキシブル回路基板の製造方法において、
a)3層構造を有する第1の金属基材であって一方の面に第1の回路パターンが設けられた第1の基材を用意する工程
b)3層構造を有する第2の金属基材であって一方の面に層間接続に用いる第1の導電性突起が立設された第2の基材を用意する工程
c)前記第2の基材に、接着性絶縁樹脂を熱圧着した後、前記第1の導電性突起の頂部を露出させる工程
d)前記第1の基材と前記第2の基材とを熱圧着することにより、前記第1の回路パターンと前記第1の導電性突起とが電気的に接続され、ケーブル部となる回路基材を形成する工程
e)前記回路基材の前記第1の基材側の一面に、新たに第2の導電性突起を形成する工程、
f)前記第2の導電性突起が形成された面に、前記ケーブル部となる可撓性層間絶縁樹脂層を形成する工程、
g)前記可撓性層間絶縁樹脂層を、前記第2の導電性突起を保護するマスク層として前記回路基材における前記可撓性層間絶縁樹脂層とは反対側の面に第2の回路パターンを形成する工程、
h)前記第2の回路パターンの上にカバーを形成する工程、
i)前記第2の導電性突起の頂部を露出させる工程、
j)前記内層コア基板に、前記可撓性層間絶縁樹脂層を有する前記第2の導電性突起が形成された前記第2の回路パターン形成後の前記ケーブル部となる回路基材を積層する工程、
をそなえたことを特徴とする多層フレキシブル回路基板の製造方法、
を提供するものである。
According to the present invention,
A method of manufacturing a multilayer flexible circuit board having a build-up part having a plurality of layers, in which a cable part connected with an interlayer by a conductive protrusion is laminated on at least one outer layer on which a circuit pattern is formed on an inner layer core board In
a) preparing a first base material having a three-layer structure, the first base material having a first circuit pattern on one surface ;
b) preparing a second base material having a three-layer structure, the first base material having a first conductive protrusion standing on one side for use in interlayer connection ;
c) a step of exposing a top portion of the first conductive protrusion after thermo-compression bonding of the adhesive insulating resin to the second base material ;
d) A circuit in which the first circuit pattern and the first conductive protrusion are electrically connected by thermocompression bonding the first base material and the second base material to form a cable portion. Forming a substrate ;
e) a step of newly forming a second conductive protrusion on one surface of the circuit substrate on the first substrate side;
f) forming a flexible interlayer insulating resin layer to be the cable portion on the surface on which the second conductive protrusion is formed;
g) Using the flexible interlayer insulating resin layer as a mask layer for protecting the second conductive protrusion, a second circuit pattern on the surface of the circuit substrate opposite to the flexible interlayer insulating resin layer Forming a process,
h) forming a cover on the second circuit pattern;
i) exposing the top of the second conductive protrusion;
j) Laminating a circuit base material to be the cable portion after forming the second circuit pattern on which the second conductive protrusion having the flexible interlayer insulating resin layer is formed on the inner core substrate. ,
A method for producing a multilayer flexible circuit board, characterized by comprising:
Is to provide.

これらの特徴により、本発明は次のような効果を奏する。   Due to these features, the present invention has the following effects.

本願発明によれば、煩雑な工程を用いることなく、外層のケーブル部に微細な回路パターンを形成でき、カバーのデラミ等の張り合わせ不良の恐れもなく、内層コア基板にもケーブルを配置可能である。   According to the present invention, it is possible to form a fine circuit pattern on the cable portion of the outer layer without using a complicated process, and it is possible to place the cable on the inner layer core substrate without fear of bonding failure such as delamination of the cover. .

また本発明によれば、予め作製した良品の2段ビルドアップ部良品の内層コア基板を選択して積層可能であるうえ、ビルドアップ部と内層コア基板とを別工程で製造できる。 Further, according to the present invention , it is possible to select and stack a pre-made good two-stage build-up portion and a good inner layer core substrate, and it is possible to manufacture the build-up portion and the inner core substrate in separate steps.

以上の効果により、外層にケーブル部を有する多層フレキシブル回路基板を生産性よく安価にかつ安定的に提供することができる。   Due to the above effects, a multilayer flexible circuit board having a cable portion on the outer layer can be provided stably and inexpensively with high productivity.

以下、図1ないし図14を参照しながら本発明の実施形態を説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS.

実施形態1Embodiment 1

図1ないし図6は、本発明の参考例における、内層にケーブル部を有するビルドアップ型多層フレキシブル回路基板の製造方法を示す断面工程図である。この方法では、まず、図1(1)に示すように、ポリイミド等の可撓性絶縁ベース材1の両面に銅箔等の導電層2,3を有する、所謂、両面銅張積層板4を用意する。 1 to 6 are cross-sectional process diagrams illustrating a manufacturing method of a build-up type multilayer flexible circuit board having a cable portion in an inner layer in a reference example of the present invention. In this method, first, as shown in FIG. 1A, a so-called double-sided copper-clad laminate 4 having conductive layers 2 and 3 such as copper foil on both surfaces of a flexible insulating base material 1 such as polyimide is provided. prepare.

次に、図1(2)に示すように、この両面型銅張積層板4の銅箔層2,3に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、ケーブル等の回路パターン5を形成し、内層回路6とする。次いで、図1(3)に示すように、ケーブル等の回路パターン5に接着材8を介しポリイミドフィルム7を張り合わせることでカバー9を形成し、ケーブル部10を形成する。   Next, as shown in FIG. 1 (2), a circuit pattern 5 such as a cable is formed on the copper foil layers 2 and 3 of the double-sided copper-clad laminate 4 by using an etching method based on a normal photofabrication method. To form an inner layer circuit 6. Next, as shown in FIG. 1 (3), a cover 9 is formed by bonding a polyimide film 7 to a circuit pattern 5 such as a cable via an adhesive 8, and a cable portion 10 is formed.

続いて、図1(4)に示すように、絶縁ベース材11の片面に銅箔等の導電層12を有する、所謂、片面銅張積層板13およびこれを金型等により所望の形状に打ち抜き加工した同図(3)のケーブル部10に張り合わせるための接着材14を用意する。このときの導電層12の厚みは50μm以下がよく、特に35μm以下が好ましい。   Subsequently, as shown in FIG. 1 (4), a so-called single-sided copper-clad laminate 13 having a conductive layer 12 such as a copper foil on one side of the insulating base material 11, and this is punched into a desired shape by a mold or the like. An adhesive 14 is prepared for bonding to the processed cable portion 10 in FIG. The thickness of the conductive layer 12 at this time is preferably 50 μm or less, and particularly preferably 35 μm or less.

この後、図1(5)に示すように、片面銅張積層板13と接着材14を張り合わせ、これを金型等により所望の形状に打ち抜き加工する。   Thereafter, as shown in FIG. 1 (5), the single-sided copper-clad laminate 13 and the adhesive material 14 are bonded together and punched into a desired shape using a mold or the like.

次に、図2(6)に示すように、図2(3)のケーブル部10に接着材14を介して図2(5)の打ち抜き加工した片面銅張積層板15を積層する。次いで、図2(7)に示すように、NCドリル等で導通用孔16を形成する。必要に応じて導通用孔内16に発生したスミアを除去するためのデスミア処理を行う。   Next, as shown in FIG. 2 (6), the single-sided copper clad laminate 15 of FIG. 2 (5) is laminated on the cable portion 10 of FIG. 2 (3) via an adhesive 14. Next, as shown in FIG. 2 (7), the conduction hole 16 is formed by an NC drill or the like. If necessary, a desmear process for removing smear generated in the conduction hole 16 is performed.

続いて、図3(8)に示すように、導通用孔16に無電解めっきまたは導電化処理等を施した後、電気めっきでスルーホール17を形成する。このときのスルーホール17のめっき厚みは、30〜50μm程度が信頼性を確保する上で好ましい、とされる。   Subsequently, as shown in FIG. 3 (8), the through hole 17 is formed by electroplating after the electroconductive plating 16 is subjected to electroless plating or conductive treatment. The plating thickness of the through hole 17 at this time is preferably about 30 to 50 μm in order to ensure reliability.

この後、図3(9)に示すように、上記スルーホール面に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、回路パターン18を形成し、2段ビルドアップ型多層フレキシブル回路基板のケーブル部を有する内層コア基板19を得る。   Thereafter, as shown in FIG. 3 (9), a circuit pattern 18 is formed on the through-hole surface by using an etching method by a normal photofabrication method, and a two-stage build-up type multilayer flexible circuit board is formed. An inner layer core substrate 19 having a cable portion is obtained.

次に、図4(10)に示すように、銅箔20(例えば厚さ100μm)/ニッケル箔21(例えば厚さ1μm)/銅箔22(例えば厚さ10μm)の3層構造を有する金属基材23を用意する。このときのニッケル箔21は、銅エッチングの際のエッチングストッパーであり、ニッケル箔に限定するものではない。   Next, as shown in FIG. 4 (10), a metal substrate having a three-layer structure of copper foil 20 (for example, thickness 100 μm) / nickel foil 21 (for example, thickness 1 μm) / copper foil 22 (for example, thickness 10 μm). A material 23 is prepared. The nickel foil 21 at this time is an etching stopper at the time of copper etching, and is not limited to the nickel foil.

次いで、図4(11)に示すように、この金属基材23の両面の銅箔層20および22に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、コニーデ状の導電性突起を形成するためのレジスト層24を形成する。   Next, as shown in FIG. 4 (11), conical-shaped conductive protrusions are formed on the copper foil layers 20 and 22 on both surfaces of the metal base 23 by using an etching method by a normal photofabrication method. A resist layer 24 is formed.

続いて、図4(12)に示すように、レジスト層24を用いて、金属基材23の両面の銅箔層20および22に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、コニーデ状の導電性突起25を形成する。このときのエッチング液としては、例えば酸性エッチング液である塩化第二鉄またはアルカリ性エッチング液である水酸化アンモニウム溶液を用いる。   Subsequently, as shown in FIG. 4 (12), using the resist layer 24, the copper foil layers 20 and 22 on both surfaces of the metal base 23 are etched using a conventional photofabrication technique. A conductive protrusion 25 is formed. As an etching solution at this time, for example, ferric chloride which is an acidic etching solution or an ammonium hydroxide solution which is an alkaline etching solution is used.

この後、図4(13)に示すように、レジスト層24を剥離し、ニッケル箔21を、選択性を有するエッチング液、例えば酸性エッチング液である塩化第二鉄またはアルカリ性エッチング液である水酸化アンモニウム溶液を用いて除去する。銅箔層22上に、コニーデ状(截頭円錐台形)の導電性突起25を有する金属基材26を得る。次に、図4(14)に示すように、ポリイミドフィルム等の可撓性を有するベースフィルム27の両面に熱可塑性ポリイミド等の可撓性と接着性を有する接着層28を有する可撓性ベース絶縁材29を用意する。   Thereafter, as shown in FIG. 4 (13), the resist layer 24 is peeled off, and the nickel foil 21 is oxidized with a selective etching solution, for example, ferric chloride which is an acidic etching solution or a hydroxide which is an alkaline etching solution. Remove with ammonium solution. On the copper foil layer 22, a metal substrate 26 having a conductive projection 25 in the shape of a coneide (a truncated frustoconical shape) is obtained. Next, as shown in FIG. 4 (14), a flexible base having adhesive layers 28 having flexibility and adhesiveness such as thermoplastic polyimide on both surfaces of a flexible base film 27 such as polyimide film. An insulating material 29 is prepared.

次いで、図5(15)に示すように、金属基材26に対し可撓性ベース絶縁材29をラミネートにより接着性を発現しない温度で熱圧着した。その他の可撓性ベース絶縁材29の形成手法としてはキャスト、コーティング等も適用可能で、絶縁樹脂の種類、形態(ワニス、フィルム)によって最適な手法を選択する。   Next, as shown in FIG. 5 (15), the flexible base insulating material 29 was thermocompression bonded to the metal substrate 26 at a temperature at which the adhesiveness was not exhibited by lamination. Casting, coating, and the like can be applied as other flexible base insulating material 29 forming methods, and an optimal method is selected depending on the type and form (varnish, film) of insulating resin.

続いて、図5(16)に示すように、基材26の銅箔層22に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、ケーブル等の回路パターンを形成するためのレジスト層30を形成する。この際、銅箔層22の対になる面のエッチング液からの保護は図5(15)で金属基材26上に形成した可撓性ベース絶縁材29によって行う。この形態であれば、片面銅張積層板に回路パターンを形成する手法がほぼそのまま適用可能であるため、微細な回路形成も歩留まりよく行うことができる。   Subsequently, as shown in FIG. 5 (16), a resist layer 30 for forming a circuit pattern such as a cable on the copper foil layer 22 of the base material 26 by using an etching method by a normal photofabrication method. Form. At this time, the pair of copper foil layers 22 are protected from the etching solution by the flexible base insulating material 29 formed on the metal base 26 in FIG. If it is this form, since the method of forming a circuit pattern in a single-sided copper clad laminated board is applicable as it is, fine circuit formation can also be performed with a sufficient yield.

この後、図5(17)に示すように、レジスト層30を用い、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、ケーブル等の回路パターン31を形成し、レジスト層30を剥離し、回路基材32を得る。   Thereafter, as shown in FIG. 5 (17), a circuit pattern 31 such as a cable is formed by using a resist layer 30 and an etching method by a normal photofabrication method, and the resist layer 30 is peeled off to form a circuit. A substrate 32 is obtained.

次に、図5(18)に示すように、回路基材32のケーブル等の回路パターン31に、接着材34を介しポリイミドフィルム33を張り合わせることで、カバー35を形成する。この場合も、片面回路基板を製造するときと同様に、容易にカバー形成を行うことができる。次いで、図5(19)に示すように、金属基材26上の導電性突起25の頂部36をCMP、機械研磨等により露出させ、ケーブル部を有する回路基材37を得る。   Next, as shown in FIG. 5 (18), the cover 35 is formed by bonding a polyimide film 33 to the circuit pattern 31 such as a cable of the circuit substrate 32 via an adhesive 34. Also in this case, the cover can be easily formed as in the case of manufacturing a single-sided circuit board. Next, as shown in FIG. 5 (19), the top portion 36 of the conductive protrusion 25 on the metal substrate 26 is exposed by CMP, mechanical polishing or the like to obtain a circuit substrate 37 having a cable portion.

続いて、図6(20)に示すように、ケーブル部を有する回路基材37と同図(9)までの工程で得たケーブル部を有する内層コア基板19を用意する。 Subsequently, as shown in FIG. 6 (20), prepared as the circuit substrate 37 having a cable portion, an inner layer core substrate 19 having a cable portion obtained in the steps up to FIG. (9).

この後、図6(21)に示すように、型抜きした回路基材37を図3(9)までの工程で得たケーブル部を有する内層コア基板19に積層する。その他の部品実装部分にはカバーフィルムまたはフォトソルダーレジスト38を形成する。この後、必要に応じて基板表面に半田めっき、ニッケルめっき、金めっき等の表面処理を施し、外形加工を行うことで外層と内層にケーブル部を有するビルドアップ型多層フレキシブル回路基板39を得る。   Thereafter, as shown in FIG. 6 (21), the die-cut circuit base material 37 is laminated on the inner layer core substrate 19 having the cable portion obtained in the steps up to FIG. 3 (9). A cover film or a photo solder resist 38 is formed on other component mounting portions. Thereafter, surface treatment such as solder plating, nickel plating, and gold plating is performed on the substrate surface as necessary, and external processing is performed to obtain a build-up type multilayer flexible circuit substrate 39 having cable portions on the outer layer and the inner layer.

実施形態2Embodiment 2

図7ないし図14は、本発明の実施例の製造方法を示す断面工程図である。この方法では、先ず、図7(1)に示すように、絶縁ベース材41の両面に銅箔等の導電層42,43を有する、両面銅張積層板44を用意する。 7 to 14 are cross-sectional process diagrams showing the manufacturing method of the embodiment of the present invention. In this method, first, as shown in FIG. 7A, a double-sided copper clad laminate 44 having conductive layers 42 and 43 such as copper foil on both sides of an insulating base material 41 is prepared.

次に、図7(2)に示すように、この両面型銅張積層板44の銅箔層42,43に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、回路パターン45を形成し、内層回路46とする。   Next, as shown in FIG. 7B, a circuit pattern 45 is formed on the copper foil layers 42 and 43 of the double-sided copper-clad laminate 44 by using an etching method based on a normal photofabrication method. The inner layer circuit 46 is used.

次いで、図7(3)に示すように、Bステージ状態のガラスエポキシ・プリプレグ等の接着性を有する接着性層間絶縁樹脂47の片面に銅箔等の導電層48を有する、所謂、片面銅張積層板49を用意する。   Next, as shown in FIG. 7 (3), a so-called single-sided copper-clad having a conductive layer 48 such as a copper foil on one side of an adhesive interlayer insulating resin 47 having adhesiveness such as glass epoxy prepreg in a B-stage state. A laminated plate 49 is prepared.

続いて、図7(4)に示すように、同図(2)の内層回路46の両面に同図(3)の片面銅張積層板49を、ガラスエポキシ・プリプレグ等の接着性を有する接着性層間絶縁樹脂47を介して張り合わせ、接着する。   Subsequently, as shown in FIG. 7 (4), the single-sided copper-clad laminate 49 of FIG. 3 (3) is bonded to both surfaces of the inner layer circuit 46 of FIG. 2 (2) with adhesion such as glass epoxy prepreg. Bonding and bonding via a conductive interlayer insulating resin 47.

この後、図8(5)に示すように、図7(4)で内層回路46の両面に片面銅張積層板49を張り合わせた基材を金型等により所望の形状に打ち抜き加工する。次に、図8(6)に示すように、図8(5)で打ち抜き加工された基材にNCドリル等で導通用孔51を形成する。なお、図8(5)の打ち抜き加工の前に、導通用孔51を形成しても構わない。   After that, as shown in FIG. 8 (5), the base material in which the single-sided copper clad laminate 49 is bonded to both surfaces of the inner layer circuit 46 in FIG. 7 (4) is punched into a desired shape using a mold or the like. Next, as shown in FIG. 8 (6), a conduction hole 51 is formed in the base material punched in FIG. 8 (5) using an NC drill or the like. Note that the conduction hole 51 may be formed before the punching process of FIG.

次いで、図8(7)に示すように、導通用孔51に無電解めっき、または導電化処理等を施した後、電気めっきでスルーホール52を形成する。   Next, as shown in FIG. 8 (7), the through hole 52 is formed by electroplating after conducting the electroless plating or the conductive treatment on the conduction hole 51.

続いて、図9(8)に示すように、上記スルーホール面に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、回路パターン53を形成し、ビルドアップ型多層フレキシブル回路基板の内層コア基板54を得る。   Subsequently, as shown in FIG. 9 (8), a circuit pattern 53 is formed on the through-hole surface by using an etching method by a normal photofabrication method, and the inner core of the build-up type multilayer flexible circuit board is formed. A substrate 54 is obtained.

この後、図10(9)に示すように、銅箔55(例えば厚さ100μm)/ニッケル箔56(例えば厚さ1μm)/銅箔57(例えば厚さ10μm)の3層構造を有する金属基材58を用意する。このときのニッケル箔56は、銅エッチングの際のエッチングストッパーであり、ニッケル箔に限定するものではない。また、繰り返し屈曲等が要求される場合には、ケーブル部となる銅箔57に屈曲性に優れた、特殊電解箔や圧延銅箔を用いるとよい。   Thereafter, as shown in FIG. 10 (9), the metal base having a three-layer structure of copper foil 55 (for example, thickness 100 μm) / nickel foil 56 (for example, thickness 1 μm) / copper foil 57 (for example, thickness 10 μm). A material 58 is prepared. The nickel foil 56 at this time is an etching stopper at the time of copper etching, and is not limited to the nickel foil. When repeated bending or the like is required, a special electrolytic foil or rolled copper foil having excellent flexibility is preferably used for the copper foil 57 serving as the cable portion.

次に、図10(10)に示すように、この金属基材58の銅箔層57に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、回路パターンを形成するためのレジスト層59を形成する。   Next, as shown in FIG. 10 (10), a resist layer 59 for forming a circuit pattern is formed on the copper foil layer 57 of the metal substrate 58 by using an etching method based on a normal photofabrication method. Form.

次いで、図10(11)に示すように、フォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、ケーブル部を含む回路パターン60を形成する。このときのエッチング液としては選択性を有するエッチング液として酸性エッチング液である塩化第二鉄またはアルカリ性エッチング液である水酸化アンモニウム溶液を用いる。続いて、図10(12)に示すように、レジスト層59を剥離し、回路パターン60を有する基材61を得る。   Next, as shown in FIG. 10 (11), a circuit pattern 60 including a cable portion is formed by using an etching technique based on a photofabrication technique. As an etchant at this time, ferric chloride as an acidic etchant or an ammonium hydroxide solution as an alkaline etchant is used as an etchant having selectivity. Subsequently, as shown in FIG. 10 (12), the resist layer 59 is peeled off to obtain a substrate 61 having a circuit pattern 60.

この後、図10(13)に示すように、銅箔62(例えば厚さ100μm)/ニッケル箔63(例えば厚さ1μm)/銅箔64(例えば厚さ10μm)の3層構造を有する金属基材65を用意する。このときのニッケル箔63は銅エッチングの際のエッチングストッパーであり、ニッケル箔に限定するものではない。また、繰り返し屈曲等が要求される場合には、ケーブル部となる銅箔64にも屈曲性に優れた、特殊電解箔や圧延銅箔を用いるとよい。また、銅箔厚みも銅箔57と揃えることが好ましい。   Thereafter, as shown in FIG. 10 (13), the metal base having a three-layer structure of copper foil 62 (for example, thickness 100 μm) / nickel foil 63 (for example, thickness 1 μm) / copper foil 64 (for example, thickness 10 μm). A material 65 is prepared. The nickel foil 63 at this time is an etching stopper at the time of copper etching, and is not limited to the nickel foil. When repeated bending or the like is required, a special electrolytic foil or rolled copper foil having excellent flexibility may be used for the copper foil 64 serving as the cable portion. Further, it is preferable that the thickness of the copper foil is equal to that of the copper foil 57.

次に、図11(14)に示すように、金属基材65の銅箔層62に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、コニーデ状の導電性突起を形成するためのレジスト層66を形成する。   Next, as shown in FIG. 11 (14), a resist for forming a conical-shaped conductive protrusion on the copper foil layer 62 of the metal substrate 65 by using an etching method by a normal photofabrication method. Layer 66 is formed.

次いで、図11(15)に示すように、レジスト層66を用い、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、コニーデ状の導電性突起67を形成する。このときのエッチング液としては、選択性を有するエッチング液として酸性エッチング液である塩化第二鉄またはアルカリ性エッチング液である水酸化アンモニウム溶液を用いる。レジスト層66を剥離し、ここまでの工程で、導電性突起が立設する基材68を得る。   Next, as shown in FIG. 11 (15), a conical-shaped conductive protrusion 67 is formed by using a resist layer 66 and using an etching method by a normal photofabrication method. As an etching solution at this time, ferric chloride which is an acidic etching solution or an ammonium hydroxide solution which is an alkaline etching solution is used as an etching solution having selectivity. The resist layer 66 is peeled off, and the substrate 68 on which the conductive protrusions are erected is obtained through the steps so far.

続いて、図11(16)に示すように、導電性突起が立設する基材68に対し、可撓性および接着性を有する液晶ポリマーやポリイミド等の接着性絶縁樹脂層69を、ラミネートにより接着性絶縁樹脂層69が接着性を発現しない温度で熱圧着した。その他の接着性絶縁樹脂層69の形成手法としてはキャスト、コーティング等も適用可能で、絶縁樹脂の種類、形態(ワニス、フィルム)によって最適な手法を選択する。さらに、導電性突起が立設する基材68上の導電性突起67の頂部70をCMP、機械研磨等により露出させ、回路基材71を得る。   Subsequently, as shown in FIG. 11 (16), an adhesive insulating resin layer 69 such as a liquid crystal polymer or polyimide having flexibility and adhesiveness is laminated on the base material 68 on which the conductive protrusions are erected. The adhesive insulating resin layer 69 was thermocompression bonded at a temperature at which the adhesiveness was not exhibited. As another method for forming the adhesive insulating resin layer 69, casting, coating, or the like can be applied, and an optimal method is selected depending on the type and form (varnish, film) of the insulating resin. Further, the top portion 70 of the conductive protrusion 67 on the base material 68 on which the conductive protrusion is erected is exposed by CMP, mechanical polishing or the like, and the circuit base material 71 is obtained.

この後、図11(17)に示すように、図10(12)で形成した回路パターン60を有する基材61に図11(16)で形成した回路基材71を熱圧着し、完全に接着させ、ケーブル部となる回路基材72を得る。このときに、回路パターン60は接着性絶縁樹脂69によって完全に充填される。この接着性絶縁樹脂69が、ケーブル部の可撓性ベース材となる。また、このときに、図11(16)で形成した回路基材71の導電性突起67が、図10(12)で形成した基材61の回路パターン60と電気的に接続される。回路基材72の銅箔55が平滑であるため、導電性突起67を十分に変形させることができるだけでなく、ケーブルを含む回路パターン60に対しても十分な密着を得ることが可能である。   Thereafter, as shown in FIG. 11 (17), the circuit base 71 formed in FIG. 11 (16) is thermocompression bonded to the base 61 having the circuit pattern 60 formed in FIG. Thus, the circuit base material 72 to be the cable portion is obtained. At this time, the circuit pattern 60 is completely filled with the adhesive insulating resin 69. This adhesive insulating resin 69 becomes a flexible base material of the cable portion. At this time, the conductive protrusion 67 of the circuit base 71 formed in FIG. 11 (16) is electrically connected to the circuit pattern 60 of the base 61 formed in FIG. 10 (12). Since the copper foil 55 of the circuit substrate 72 is smooth, not only can the conductive protrusions 67 be sufficiently deformed, but also sufficient adhesion can be obtained for the circuit pattern 60 including the cable.

次に、図11(18)に示すように、回路基材72の銅箔層55に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、コニーデ状の導電性突起および層間絶縁樹脂のケーブル部等への流れ出しを防ぐ壁状の導電性突起を形成するためのレジスト層73を形成する。   Next, as shown in FIG. 11 (18), the copper foil layer 55 of the circuit base 72 is etched using a conventional photofabrication technique to form a conical conductive protrusion and an interlayer insulating resin cable. A resist layer 73 is formed to form wall-like conductive protrusions that prevent flow out to the part.

次いで、図12(19)に示すように、レジスト層73を用い、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、コニーデ状の導電性突起74を形成する。このときのエッチング液としては、選択性を有するエッチング液として酸性エッチング液である塩化第二鉄またはアルカリ性エッチング液である水酸化アンモニウム溶液を用いる。導電性突起の密度を向上させるために、必要に応じて導電性突起67と導電性突起74を同軸上に形成することが可能である。続いて、図12(20)に示すように、レジスト層73を剥離する。   Next, as shown in FIG. 12 (19), using the resist layer 73, a cone-shaped conductive protrusion 74 is formed by an etching method using a normal photofabrication method. As an etching solution at this time, ferric chloride which is an acidic etching solution or an ammonium hydroxide solution which is an alkaline etching solution is used as an etching solution having selectivity. In order to improve the density of the conductive protrusions, the conductive protrusions 67 and the conductive protrusions 74 can be formed on the same axis as necessary. Subsequently, as shown in FIG. 12 (20), the resist layer 73 is peeled off.

この後、図12(21)に示すように、ニッケル箔56を特許文献2に記載の選択性を有するエッチング液を用いて除去する。ここまでの工程で、導電性突起74が立設する基材75を得る。   Thereafter, as shown in FIG. 12 (21), the nickel foil 56 is removed using an etching solution having selectivity described in Patent Document 2. The base material 75 on which the conductive protrusion 74 is erected is obtained through the steps so far.

次に、図12(22)に示すように、ケーブル部のカバーとなる可撓性および接着性を有するポリイミド等の接着性絶縁樹脂層76と、Bステージ状態のプリプレグ等の接着性絶縁樹脂77を型抜きしたものとを用意する。   Next, as shown in FIG. 12 (22), an adhesive insulating resin layer 76 such as a polyimide having flexibility and adhesiveness that serves as a cover of the cable portion, and an adhesive insulating resin 77 such as a prepreg in a B stage state. Prepare a die-cut one.

次いで、図12(23)に示すように、導電性突起が立設する基材75に対し接着性絶縁樹脂層76をラミネートによりポリイミド等の接着性絶縁樹脂層76が接着性を発現し、Bステージ状態のプリプレグ等の接着性絶縁樹脂77が接着性を発現しない温度で熱圧着した。この工程により、基材75に対し可撓性ベース絶縁材78(接着性絶縁樹脂層76+接着性絶縁樹脂77)を形成した。   Next, as shown in FIG. 12 (23), the adhesive insulating resin layer 76 such as polyimide is made adhesive by laminating the adhesive insulating resin layer 76 on the base material 75 on which the conductive protrusions are erected, and B The adhesive insulating resin 77 such as a prepreg in a stage state was subjected to thermocompression bonding at a temperature at which the adhesiveness was not exhibited. By this process, the flexible base insulating material 78 (adhesive insulating resin layer 76 + adhesive insulating resin 77) was formed on the base material 75.

続いて、図13(24)に示すように、基材75の銅箔層64に対し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、ケーブル等の回路パターンを形成するためのレジスト層79を形成する。この際、銅箔層64の対になる面のエッチング液からの保護は、図12(23)で基材75上に形成した可撓性ベース絶縁材78によって行う。この形態であれば、片面銅張積層板に回路パターンを形成する手法がほぼそのまま適用可能であるため、微細な回路形成も歩留まりよく行うことができる。   Subsequently, as shown in FIG. 13 (24), a resist layer 79 for forming a circuit pattern such as a cable on the copper foil layer 64 of the base material 75 by using an etching method based on a normal photofabrication method. Form. At this time, the pair of copper foil layers 64 are protected from the etchant by the flexible base insulating material 78 formed on the base 75 in FIG. If it is this form, since the method of forming a circuit pattern in a single-sided copper clad laminated board is applicable as it is, fine circuit formation can also be performed with a sufficient yield.

この後、図13(25)に示すように、レジスト層79を用い、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、ケーブル等の回路パターン80を形成し、レジスト層79を剥離し、回路基材81を得る。   Thereafter, as shown in FIG. 13 (25), a circuit pattern 80 such as a cable is formed by using a resist layer 79 and an etching method by a normal photofabrication method, the resist layer 79 is peeled off, and a circuit is formed. A substrate 81 is obtained.

次に、図13(26)に示すように、回路基材81のケーブル等の回路パターン80にポリイミドフィルム82を、接着材83を介し張り合わせることでカバー84を形成する。この場合も、片面回路基板を製造するときと同様に、容易にカバー形成を行うことができる。次いで、図13(27)に示すように、基材75上の導電性突起74の頂部85をCMP、機械研磨等により露出させ、ケーブル部を有する回路基材86を得る。   Next, as shown in FIG. 13 (26), a cover 84 is formed by laminating a polyimide film 82 with a bonding material 83 on a circuit pattern 80 such as a cable of the circuit substrate 81. Also in this case, the cover can be easily formed as in the case of manufacturing a single-sided circuit board. Next, as shown in FIG. 13 (27), the top portion 85 of the conductive protrusion 74 on the substrate 75 is exposed by CMP, mechanical polishing, or the like to obtain a circuit substrate 86 having a cable portion.

続いて、図14(28)に示すように、型抜きした回路基材87を同図(8)までの工程で得た内層コア基板54に積層する。   Subsequently, as shown in FIG. 14 (28), the die-cut circuit base material 87 is laminated on the inner layer core substrate 54 obtained through the steps up to (8) in FIG.

この後、図14(29)に示すように、積層後、その他の部品実装部分にはカバーフィルムまたはフォトソルダーレジスト88を形成する。この後、必要に応じて基板表面に半田めっき、ニッケルめっき、金めっき等の表面処理を施し、外形加工を行うことで外層に両面ケーブル部を有するビルドアップ型多層フレキシブル回路配線基板89を得る。   Thereafter, as shown in FIG. 14 (29), after lamination, a cover film or a photo solder resist 88 is formed on other component mounting portions. Thereafter, surface treatment such as solder plating, nickel plating, and gold plating is performed on the substrate surface as necessary, and external processing is performed to obtain a build-up type multilayer flexible circuit wiring board 89 having a double-sided cable portion on the outer layer.

本発明の参考例による製造方法の工程(1)ないし(5)を示す、概念的断面構成図。The conceptual cross-sectional block diagram which shows process (1) thru | or (5) of the manufacturing method by the reference example of this invention. 本発明の参考例による製造方法の工程(6)ないし(7)を示す、概念的断面構成図。The conceptual cross-sectional block diagram which shows process (6) thru | or (7) of the manufacturing method by the reference example of this invention. 本発明の参考例による製造方法の工程(8)ないし(9)を示す、概念的断面構成図。The conceptual cross-section block diagram which shows process (8) thru | or (9) of the manufacturing method by the reference example of this invention. 本発明の参考例による製造方法の工程(10)ないし(14)を示す、概念的断面構成図。The conceptual cross-section block diagram which shows process (10) thru | or (14) of the manufacturing method by the reference example of this invention. 本発明の参考例による製造方法の工程(15)ないし(19)を示す、概念的断面構成図。The conceptual cross-sectional block diagram which shows process (15) thru | or (19) of the manufacturing method by the reference example of this invention. 本発明の参考例による製造方法の工程(20)ないし(21)を示す、概念的断面構成図。The conceptual cross-section block diagram which shows process (20) thru | or (21) of the manufacturing method by the reference example of this invention. 本発明の実施例による製造方法の工程(1)ないし(4)を示す、概念的断面構成図。The conceptual cross-sectional block diagram which shows process (1) thru | or (4) of the manufacturing method by the Example of this invention. 本発明の実施例による製造方法の工程(5)ないし(6)を示す、概念的断面構成図。The conceptual cross-sectional block diagram which shows process (5) thru | or (6) of the manufacturing method by the Example of this invention. 本発明の実施例による製造方法の工程(7)ないし(8)を示す、概念的断面構成図。The conceptual cross-sectional block diagram which shows process (7) thru | or (8) of the manufacturing method by the Example of this invention. 本発明の実施例による製造方法の工程(9)ないし(13)を示す、概念的断面構成図。The conceptual cross-sectional block diagram which shows process (9) thru | or (13) of the manufacturing method by the Example of this invention. 本発明の実施例による製造方法の工程(14)ないし(18)を示す、概念的断面構成図。The conceptual cross-sectional block diagram which shows process (14) thru | or (18) of the manufacturing method by the Example of this invention. 本発明の実施例による製造方法の工程(19)ないし(23)を示す、概念的断面構成図。The conceptual cross-section block diagram which shows process (19) thru | or (23) of the manufacturing method by the Example of this invention. 本発明の実施例による製造方法の工程(24)ないし(27)を示す、概念的断面構成図。The conceptual cross-section block diagram which shows process (24) thru | or (27) of the manufacturing method by the Example of this invention. 本発明の実施例による製造方法の工程(28)ないし(29)を示す、概念的断面構成図。The conceptual cross-sectional block diagram which shows process (28) thru | or (29) of the manufacturing method by the Example of this invention. 従来のフレキシブル回路基板の製造方法の工程(1)ないし(5)を示す、概念的断面構成図。The conceptual cross-section block diagram which shows process (1) thru | or (5) of the manufacturing method of the conventional flexible circuit board. 従来のフレキシブル回路基板の製造方法の工程(1)ないし(5)を示す、概念的断面構成図。The conceptual cross-section block diagram which shows process (1) thru | or (5) of the manufacturing method of the conventional flexible circuit board. 従来のフレキシブル回路基板の製造方法の工程(6)ないし(7)を示す、概念的断面構成図。The conceptual cross-section block diagram which shows process (6) thru | or (7) of the manufacturing method of the conventional flexible circuit board. 従来のフレキシブル回路基板の製造方法の工程(8)ないし(9)を示す、概念的断面構成図。The conceptual cross-section block diagram which shows process (8) thru | or (9) of the manufacturing method of the conventional flexible circuit board. 従来のフレキシブル回路基板の製造方法の工程(10)ないし(14)を示す、概念的断面構成図。The conceptual cross-section block diagram which shows process (10) thru | or (14) of the manufacturing method of the conventional flexible circuit board. 従来のフレキシブル回路基板の製造方法の工程(15)ないし(17)を示す、概念的断面構成図。The conceptual cross-section block diagram which shows process (15) thru | or (17) of the manufacturing method of the conventional flexible circuit board.

1 可撓性絶縁ベース材
2 銅箔層
3 銅箔層
4 両面銅張積層板
5 回路パターン
6 内層回路
7 ポリイミドフィルム
8 接着剤
9 カバー
10 ケーブル部
11 可撓性絶縁ベース材
12 銅箔層
13 片面銅張積層板
14 接着剤
15 型抜きされた片面銅張積層板
16 導通用孔
17 スルーホール
18 回路パターン
19 内層コア基板
20 銅箔
21 ニッケル箔
22 銅箔
23 金属基材
24 レジスト層
25 導電性突起
26 導電性突起が形成された基材
27 可撓性ベースフィルム
28 接着層(熱可塑性ポリイミド)
29 可撓性ベース絶縁材
30 レジスト層
31 回路パターン
32 回路基材
33 ポリイミドフィルム
34 接着材
35 カバー
36 導電性突起の頂部
37 回路基材
38 フォトソルダーレジスト
39 本発明による外層と内層にケーブル部を有するビルドアップ型多層フレキシブル回路基板
41 可撓性絶縁ベース材
42 銅箔層
43 銅箔層
44 両面銅張積層板
45 回路パターン
46 内層回路
47 接着性層間絶縁樹脂
48 導電層
49 片面銅張積層板
50 打ち抜き加工された基材
51 導通用孔
52 スルーホール
53 回路パターン
54 内層コア基板
55 銅箔
56 ニッケル箔
57 銅箔
58 金属基材
59 レジスト層
60 回路パターン
61 回路パターンを有する基材
62 銅箔
63 ニッケル箔
64 銅箔
65 金属基材
66 レジスト層
67 コニーデ状の導電性突起
68 導電性突起が立設する基材
69 接着性絶縁樹脂
70 導電性突起の頂部
71 回路基材
72 ケーブル部となる回路基材
73 レジスト層
74 コニーデ状の導電性突起
75 回路基材
76 ポリイミド等の可撓性絶縁樹脂層
77 プリプレグ等の型抜きされた接着性絶縁樹脂層
78 可撓性ベース絶縁材
79 レジスト層
80 回路パターン
81 回路基材
82 ポリイミドフィルム
83 接着材
84 カバー
85 導電性突起の頂部
86 ケーブル部を有する回路基材
87 型抜きした回路基材
88 フォトソルダーレジスト
89 外層にケーブル部を有するビルドアップ型多層フレキシブル回路基板
91 可撓性絶縁ベース材
92 銅箔層
93 銅箔層
94 両面銅張積層板
95 回路パターン
96 内層回路
97 ポリイミドフィルム
98 接着剤
99 カバー
100 ケーブル部
101 可撓性絶縁ベース材
102 銅箔層
103 片面銅張積層板
104 接着剤
105 型抜きされた片面銅張積層板
106 導通用孔
107 スルーホール
108 回路パターン
109 内層コア基板
110 銅箔
111 ニッケル箔
112 銅箔
113 金属基材
114 レジスト層
115 コニーデ状の導電性突起
116 金属基材
117 可撓性ベースフィルム
118 接着層(熱可塑性ポリイミド)
119 可撓性ベース絶縁材
120 導電性突起の頂部
121 回路基材
122 回路パターン
123 ポリイミドフィルム
124 接着材
125 カバー
126 回路基材
127 フォトソルダーレジスト
128 従来工法によるビルドアップ型多層フレキシブル回路基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Flexible insulating base material 2 Copper foil layer 3 Copper foil layer 4 Double-sided copper clad laminated board 5 Circuit pattern 6 Inner layer circuit 7 Polyimide film 8 Adhesive 9 Cover 10 Cable part 11 Flexible insulating base material 12 Copper foil layer 13 Single-sided copper-clad laminate 14 Adhesive 15 Die-cut single-sided copper-clad laminate 16 Conductive hole 17 Through hole 18 Circuit pattern 19 Inner layer core substrate 20 Copper foil 21 Nickel foil 22 Copper foil 23 Metal substrate 24 Resist layer 25 Conductivity Substrate 26 on which conductive protrusions are formed Flexible base film 28 Adhesive layer (thermoplastic polyimide)
29 Flexible base insulating material 30 Resist layer 31 Circuit pattern 32 Circuit base material 33 Polyimide film 34 Adhesive material 35 Cover 36 Top portion of conductive protrusion 37 Circuit base material 38 Photo solder resist 39 Cable portions are formed on the outer layer and the inner layer according to the present invention. Build-up type multilayer flexible circuit board 41 Flexible insulating base material 42 Copper foil layer 43 Copper foil layer 44 Double-sided copper-clad laminate 45 Circuit pattern 46 Inner layer circuit 47 Adhesive interlayer insulation resin 48 Conductive layer 49 Single-sided copper-clad laminate 50 Punched base material 51 Conductive hole 52 Through hole 53 Circuit pattern 54 Inner layer core substrate 55 Copper foil 56 Nickel foil 57 Copper foil 58 Metal base material 59 Resist layer 60 Circuit pattern 61 Base material 62 having circuit pattern Copper foil 63 Nickel foil 64 Copper foil 65 Metal base material 66 Resist layer 67 Conide Conductive protrusion 68 Base material 69 on which conductive protrusion is erected Adhesive insulating resin 70 Top portion 71 of conductive protrusion 72 Circuit base material 72 Circuit base material 73 serving as cable portion Resist layer 74 Conical conductive protrusion 75 Circuit base Material 76 Flexible insulating resin layer 77 such as polyimide 77 Die cut insulating insulating resin layer 78 such as prepreg Flexible base insulating material 79 Resist layer 80 Circuit pattern 81 Circuit substrate 82 Polyimide film 83 Adhesive material 84 Cover 85 Top part 86 of conductive protrusion Circuit base 87 having cable part Die cut circuit base 88 Photo solder resist 89 Build-up type multilayer flexible circuit board 91 having cable part on outer layer Flexible insulating base material 92 Copper foil layer 93 Copper foil layer 94 Double-sided copper-clad laminate 95 Circuit pattern 96 Inner layer circuit 97 Polyimide film 98 Adhesive 99 Bar 100 Cable portion 101 Flexible insulating base material 102 Copper foil layer 103 Single-sided copper-clad laminate 104 Adhesive 105 Die-cut single-sided copper-clad laminate 106 Conductive hole 107 Through hole 108 Circuit pattern 109 Inner core substrate 110 Copper Foil 111 Nickel foil 112 Copper foil 113 Metal base material 114 Resist layer 115 Conide-like conductive protrusion 116 Metal base material 117 Flexible base film 118 adhesive layer (thermoplastic polyimide)
119 Flexible Base Insulating Material 120 Top of Conductive Protrusion 121 Circuit Base 122 Circuit Pattern 123 Polyimide Film 124 Adhesive 125 Cover 126 Circuit Base 127 Photo Solder Resist 128 Build-up Type Multilayer Flexible Circuit Board by Conventional Method

Claims (3)

内層コア基板における回路パターンが形成された少なくとも一方の外層に、導電性突起により層間接続されたケーブル部が積層されてなる、複数の層を持つビルドアップ部をそなえた多層フレキシブル回路基板の製造方法において、
a)3層構造を有する第1の金属基材であって一方の面に第1の回路パターンが設けられた第1の基材を用意する工程
b)3層構造を有する第2の金属基材であって一方の面に層間接続に用いる第1の導電性突起が立設された第2の基材を用意する工程
c)前記第2の基材に、接着性絶縁樹脂を熱圧着した後、前記第1の導電性突起の頂部を露出させる工程
d)前記第1の基材と前記第2の基材とを熱圧着することにより、前記第1の回路パターンと前記第1の導電性突起とが電気的に接続され、ケーブル部となる回路基材を形成する工程
e)前記回路基材の前記第1の基材側の一面に、新たに第2の導電性突起を形成する工程、
f)前記第2の導電性突起が形成された面に、前記ケーブル部となる可撓性層間絶縁樹脂層を形成する工程、
g)前記可撓性層間絶縁樹脂層を、前記第2の導電性突起を保護するマスク層として前記回路基材における前記可撓性層間絶縁樹脂層とは反対側の面に第2の回路パターンを形成する工程、
h)前記第2の回路パターンの上にカバーを形成する工程、
i)前記第2の導電性突起の頂部を露出させる工程、
j)前記内層コア基板に、前記可撓性層間絶縁樹脂層を有する前記第2の導電性突起が形成された前記第2の回路パターン形成後の前記ケーブル部となる回路基材を積層する工程、
をそなえたことを特徴とする多層フレキシブル回路基板の製造方法。
A method of manufacturing a multilayer flexible circuit board having a build-up part having a plurality of layers, in which a cable part connected with an interlayer by a conductive protrusion is laminated on at least one outer layer on which a circuit pattern is formed on an inner layer core board In
a) preparing a first base material having a three-layer structure, the first base material having a first circuit pattern on one surface ;
b) preparing a second base material having a three-layer structure, the first base material having a first conductive protrusion standing on one side for use in interlayer connection ;
c) a step of exposing a top portion of the first conductive protrusion after thermo-compression bonding of the adhesive insulating resin to the second base material ;
d) A circuit in which the first circuit pattern and the first conductive protrusion are electrically connected by thermocompression bonding the first base material and the second base material to form a cable portion. Forming a substrate ;
e) a step of newly forming a second conductive protrusion on one surface of the circuit substrate on the first substrate side;
f) forming a flexible interlayer insulating resin layer to be the cable portion on the surface on which the second conductive protrusion is formed;
g) Using the flexible interlayer insulating resin layer as a mask layer for protecting the second conductive protrusion, a second circuit pattern on the surface of the circuit substrate opposite to the flexible interlayer insulating resin layer Forming a process,
h) forming a cover on the second circuit pattern;
i) exposing the top of the second conductive protrusion;
j) Laminating a circuit base material to be the cable portion after forming the second circuit pattern on which the second conductive protrusion having the flexible interlayer insulating resin layer is formed on the inner core substrate. ,
A method for manufacturing a multilayer flexible circuit board, comprising:
請求項1記載の多層フレキシブル回路基板の製造方法において、
前記接着性絶縁樹脂として、熱可塑型もしくは熱硬化型のポリイミドまたは液晶ポリマーを単層で、あるいはその他の接着性樹脂を組み合わせた複層として用いることを特徴とする多層フレキシブル回路基板の製造方法。
In the method for producing a multilayer flexible circuit board according to claim 1,
A method for producing a multilayer flexible circuit board, wherein the adhesive insulating resin is a single layer of thermoplastic or thermosetting polyimide or liquid crystal polymer, or a multilayer comprising a combination of other adhesive resins.
請求項1記載の多層フレキシブル回路基板の製造方法において、
前記ケーブル部となる前記導電性突起を立設した基材に形成された金属箔において、前記導電性突起および前記導電性突起を立設した基材に形成された金属箔の少なくとも一方が圧延銅箔により構成されたことを特徴とする多層フレキシブル回路基板の製造方法。
In the method for producing a multilayer flexible circuit board according to claim 1,
In the metal foil formed on the base material provided with the conductive protrusions to be the cable portion, at least one of the conductive protrusion and the metal foil formed on the base material provided with the conductive protrusions is rolled copper. A method for producing a multilayer flexible circuit board, comprising a foil.
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