JP5508295B2 - 1/4 wave plate for optical pickup - Google Patents

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Description

本発明は、波長405nm、650nm、780nmの光について兼用可能な光ピックアップ用1/4波長板に関するものである。   The present invention relates to a quarter-wave plate for an optical pickup that can be used for light having wavelengths of 405 nm, 650 nm, and 780 nm.

現在、音楽・映像の記録再生装置やパーソナル・コンピュータ等の情報処理装置において、コンパクト・ディスク(CD)、デジタル・ヴァーサタイル・ディスク(DVD)、ブルーレイ・ディスク(BD)等の光ディスクが記録媒体として広く用いられており、それら全ての光ディスクの記録再生を行うことが可能な光ディスク装置もすでに実用化され広く用いられている。   Currently, in information processing devices such as music / video recording / playback devices and personal computers, compact discs (CDs), digital versatile discs (DVDs), and Blu-ray discs (BDs) are used as recording media. An optical disc apparatus capable of recording / reproducing all the optical discs has already been put into practical use and widely used.

光ピックアップには、光ディスクに照射するレーザ光を円偏光とするために1/4波長板が用いられる。1/4波長板は、複屈折性を有する材料を用いた位相変調を行う光学素子であり、入射する直線偏光の光線を円偏光の光線に変換するという機能を有する。一方、周知のように波長板に入射した光と出射した光との位相差は波長の関数であるため、ある特定の波長の光に対して1/4波長板として機能するものであっても、入射光の波長がそれと異なる場合は、位相差が変化するという波長依存性を有しているので、位相差を1/4波長に維持できない。   A quarter-wave plate is used for the optical pickup in order to make the laser light applied to the optical disk circularly polarized. The quarter-wave plate is an optical element that performs phase modulation using a birefringent material, and has a function of converting incident linearly polarized light into circularly polarized light. On the other hand, as is well known, the phase difference between the light incident on the wave plate and the emitted light is a function of the wavelength, so even if it functions as a quarter wave plate for light of a specific wavelength. If the wavelength of the incident light is different from that, it has a wavelength dependency that the phase difference changes, and therefore the phase difference cannot be maintained at ¼ wavelength.

前記のCD、DVD、BDは記録再生に用いる光の波長がそれぞれ780nm、650nm、405nmと異なるため、現在の光ディスク装置では、記録再生に用いられる光ピックアップを複数内蔵することにより前記三種の光ディスクに対応することが行われている。すなわち、CDとDVDについてはすでにそれらの使用波長について兼用可能な1/4波長板が実用化されており一つの光ピックアップで兼用することが可能になっているが、BDの使用波長はCD、DVDの使用波長から大きく離れているために、そのような構造をとらざるを得なくなっている。その結果、光ピックアップの部品点数が低減できず、光ピックアップの小型化、低価格化が困難になるという問題があった。 Since the CD, DVD, and BD have different wavelengths of light used for recording / reproduction, which are different from 780 nm, 650 nm, and 405 nm, respectively, the present optical disc apparatus incorporates a plurality of optical pickups used for recording / reproduction into the three types of optical discs. Corresponding things are done. That is, for CD and DVD, a quarter-wave plate that can be used for those wavelengths has already been put into practical use and can be used with a single optical pickup, but the wavelength used for BD is CD, Since it is far away from the wavelength used for DVD, such a structure must be taken. As a result, the number of parts of the optical pickup cannot be reduced, and there is a problem that it is difficult to reduce the size and cost of the optical pickup.

前記の通り、CD、DVD、BDの記録再生波長について兼用可能な光ピックアップ用1/4波長板が望まれており、そのための技術が提案されている。たとえば、特許文献1においては、1/2波長板と1/4波長板をそれらの光学軸を所定の角度傾けて張り合わせた構造を有する位相差板(1/4波長板)が提案されている。この例では、直線偏光の偏波方向に対して1/2波長板の光学軸を15°、1/4波長板の光学軸を75°傾けた状態になるように1/2波長板と1/4波長板を張り合わせた位相差板が、波長400nmから700nmの範囲において、直線偏光を「ほぼ完全に円偏光に変換することができる」旨が開示されている。 As described above, a quarter-wave plate for an optical pickup that can be used for recording / reproducing wavelengths of CD, DVD, and BD is desired, and a technique for that purpose has been proposed. For example, Patent Document 1 proposes a phase difference plate (¼ wavelength plate) having a structure in which a ½ wavelength plate and a ¼ wavelength plate are bonded with their optical axes inclined at a predetermined angle. . In this example, the half-wave plate and the half-wave plate are set so that the optical axis of the half-wave plate is inclined by 15 ° and the optical axis of the quarter-wave plate is inclined by 75 ° with respect to the polarization direction of linearly polarized light. It is disclosed that a retardation plate bonded with a / 4 wavelength plate can “convert almost completely into circularly polarized light” in a wavelength range of 400 nm to 700 nm.

しかしながら、特許文献1に開示された位相差板にかかる発明はポアンカレ球を用いた近似的な解析に基づくものであり、ミュラー行列やジョーンズ行列を用いた詳細な解析によって直線偏光から変換された円偏光の楕円率を計算した結果に基づいて、特許文献1に記載の位相差板は前記三波長について同時に十分な特性を示すようには設計できないと結論した例も報告されている(特許文献2)。なお、ミュラー行列やジョーンズ行列を用いた詳細な解析については、特許文献3に詳細に説明されている。   However, the invention relating to the phase difference plate disclosed in Patent Document 1 is based on an approximate analysis using a Poincare sphere, and is a circle converted from linearly polarized light by a detailed analysis using a Mueller matrix or Jones matrix. Based on the result of calculating the ellipticity of polarized light, there is also reported an example in which it is concluded that the retardation plate described in Patent Document 1 cannot be designed to exhibit sufficient characteristics for the three wavelengths simultaneously (Patent Document 2). ). Detailed analysis using the Mueller matrix or Jones matrix is described in detail in Patent Document 3.

特許文献2においては、光ピックアップ用に使用する場合には位相差板により直線偏光が生じる位相差が特許文献1に記載の位相差板について、その特性を波長400nmから550nmの範囲で最適化した場合や波長600nmから850nmの範囲で最適化した場合には、最適化した範囲外波長400nm付近から780nmの広範囲に渡って十分な特性を有するものを設計できないと結論している。そして、特許文献2においては、前記三種類の光ディスクの使用波長について十分な性能を示す1/4波長板として、基板材料を水晶とした波長板2枚と基板材料をニオブ酸リチウムとした波長板1枚からなる積層型の1/4波長板(特許文献2の第3設計例)が開示されており、「第一の波長板、第二の波長板の基板材料として複屈折波長分散の小さな水晶」を用い、「第三の波長板の基板材料として複屈折波長分散の大きな二オブ酸リチウム」を用いて、第一の波長板(波長600nmで位相差180°)を面内方位角11.5°、第二の波長板(同じく位相差195°)を面内方位角56.1°および第三の波長板(同じく位相差103°)を面内方位角−45.0°とした際に「波長板の特性が480nm程度の帯域を有し、400〜780nmの広帯域で楕円率が0.8以上」で「所望の1/4波長板としての波長板特性を満足」する設計例が得られた旨開示している。 In Patent Document 2, when used for an optical pickup, the phase difference in which linearly polarized light is generated by the phase difference plate is optimized in the wavelength range of 400 nm to 550 nm for the retardation plate described in Patent Document 1. In the case of optimization in the case of the wavelength range from 600 nm to 850 nm, it is concluded that a product having sufficient characteristics over a wide range from the optimized out-of-range wavelength near 400 nm to 780 nm cannot be designed. And in patent document 2, as a quarter wavelength plate which shows sufficient performance about the use wavelength of said three types of optical disks, the wavelength plate which used two board | substrates which used quartz as the substrate material, and used lithium niobate as the board | substrate material A single-layer laminated quarter wave plate (third design example of Patent Document 2) is disclosed, and “a substrate material for the first wave plate and the second wave plate has a small birefringence wavelength dispersion. In-plane azimuth angle 11 using a “crystal” and using “lithium diobate having a large birefringence wavelength dispersion as a substrate material for the third wave plate” and a phase difference of 180 ° at a wavelength of 600 nm. .5 °, in-plane azimuth angle 56.1 ° for the second wave plate (also phase difference 195 °), and in-plane azimuth angle −45.0 ° for the third wave plate (also phase difference 103 °). “The wavelength plate has a band of about 480 nm, Wideband in ellipticity of 0nm disclose 0.8 or more "in" that the design example satisfying "waveplate characteristics as desired quarter wavelength plate was obtained.

以上のように、前記三種類の光ディスクの使用波長について兼用可能な光ピックアップ用1/4波長板を得るためには、一般的な一方向延伸樹脂フィルムや水晶位相差板を2枚積層した波長板(特許文献1)ではその特性が不十分である一方で、水晶やニオブ酸リチウムなどの光学結晶を3枚以上使用すれば十分な特性が得られるとされる(特許文献2)が、基板材料や基板数増に起因してコストが増加することや貼り合わせの際の位置あわせが難しくなることが考えられ、さらに改善が望まれる。   As described above, in order to obtain a quarter-wave plate for an optical pickup that can be used for the wavelengths used for the three types of optical discs, a wavelength obtained by laminating two general unidirectionally stretched resin films and a quartz phase difference plate. While the characteristics of the plate (Patent Document 1) are insufficient, sufficient characteristics can be obtained by using three or more optical crystals such as quartz and lithium niobate (Patent Document 2). It is conceivable that the cost increases due to the increase in the number of materials and substrates, and the alignment at the time of bonding becomes difficult, and further improvement is desired.

近年、フォトニック結晶を用いることにより位相差板の波長依存性を設計可能なことが知られており(例えば特許文献4に記載の1/4波長板)、かかるフォトニック結晶は例えば成膜とドライエッチングを繰り返す方法により製造可能なことが知られている(例えば特許文献5に記載の方法)。しかしながら、フォトニック結晶による波長板はその位相差の波長依存性が大きいため、単一の素子で位相差が一定の波長板を設計することは一般に困難であると考えられる。   In recent years, it has been known that the wavelength dependence of a retardation plate can be designed by using a photonic crystal (for example, a quarter-wave plate described in Patent Document 4). It is known that it can be manufactured by a method of repeating dry etching (for example, the method described in Patent Document 5). However, it is generally considered difficult to design a wave plate having a constant phase difference with a single element, because the wavelength plate of a photonic crystal has a large wavelength dependency of the phase difference.

特開平10−068816号公報JP-A-10-068816 特開2006−114080号公報JP 2006-1114080 A 特開2007−311012号公報JP 2007-311012 A 特開2000−056133号公報JP 2000-056133 A 特開2009−128879号公報JP 2009-128879 A

本発明が解決しようとする課題は、CD、DVD、BDの記録再生波長すなわち780nm、650nm、405nmの波長を有する光に対して1/4波長板として使用可能な、安価で大量生産することができる波長板、特に光ピックアップ用波長板を提供することである。   The problem to be solved by the present invention is that it is inexpensive and mass-produced that can be used as a quarter-wave plate for light having a recording / reproducing wavelength of CD, DVD, BD, that is, wavelengths of 780 nm, 650 nm, and 405 nm. It is an object to provide a wave plate that can be used, particularly a wave plate for an optical pickup.

本発明は、厚み方向に垂直な第一主表面とそれに対向する第二主表面を有する透明な平行平板形状の基板と、
第一主表面に形成された、屈折率の異なる二種類以上の誘電体材料よりなる厚み方向の多層構造体であって、各誘電体材料ごとに積層の単位となる層の形状が第一主表面に平行な第一面内方向に周期的凹凸構造を有し、第一面内方向に垂直な方向には一様であるか、または第一面内方向より大きい長さの周期的または非周期的な凹凸構造を有し、その形状を周期ごとに繰り返しつつ厚み方向に層状に積層されていて、厚み方向に入射する波長740nmから840nmの光に対して1/2波長板として作用することを特徴とする第一フォトニック結晶と、
第二主表面に形成された、屈折率の異なる二種類以上の誘電体材料よりなる厚み方向の多層構造体であって、各誘電体材料ごとに積層の単位となる層の形状が第二主表面に平行な第二面内方向に周期的凹凸構造を有し、第二面内方向に垂直な方向には一様であるか、または第二面内方向より大きい長さの周期的または非周期的な凹凸構造を有し、その形状を周期ごとに繰り返しつつ厚み方向に層状に積層されていて、厚み方向に入射する波長740nmから840nmの光に対して1/4波長板として作用することを特徴とする第二フォトニック結晶からなり、
前記第一フォトニック結晶の前記第一面内方向と、前記第二フォトニック結晶の前記第二面内方向は、60°の角度をなすように形成されていることを特徴とする光ピックアップ用1/4波長板である。
The present invention is a transparent parallel plate-shaped substrate having a first main surface perpendicular to the thickness direction and a second main surface opposite to the first main surface,
A multilayer structure in the thickness direction made of two or more kinds of dielectric materials having different refractive indexes formed on the first main surface, wherein the shape of the layer serving as a unit of lamination for each dielectric material is the first main structure. A periodic uneven structure in the first in-plane direction parallel to the surface and uniform in the direction perpendicular to the first in-plane direction, or longer or longer than the first in-plane direction. It has a periodic concavo-convex structure, is layered in the thickness direction while repeating its shape every period, and acts as a half-wave plate for light with a wavelength of 740 nm to 840 nm incident in the thickness direction A first photonic crystal characterized by:
A multilayer structure in the thickness direction formed of two or more kinds of dielectric materials having different refractive indexes formed on the second main surface, and the shape of the layer as a unit of lamination for each dielectric material is the second main structure. A periodic uneven structure in a second in-plane direction parallel to the surface, and is uniform in a direction perpendicular to the second in-plane direction, or longer or longer than the second in-plane direction. It has a periodic concavo-convex structure, is layered in the thickness direction while repeating its shape every period, and acts as a quarter-wave plate for light with a wavelength of 740 nm to 840 nm incident in the thickness direction A second photonic crystal characterized by
For the optical pickup, the first in-plane direction of the first photonic crystal and the second in-plane direction of the second photonic crystal are formed at an angle of 60 °. It is a quarter wave plate.

本発明の光ピックアップ用1/4波長波長板は、厚み方向に入射する直線偏光の偏波方向に対して、前記第一面内方向を75°傾け、前記第二面内方向を15°傾けた状態で使用される。このとき、本発明の1/4波長板は、CDとDVDの記録再生波長すなわち780nmと650nm、405nmの波長を有する直線偏光に対して、90°±10°の位相差を与え、かつ、BDの記録再生波長すなわち405nmの波長を有する直線偏光に対して、270°±10°=(90°+180°)±10°の位相差を与える。すなわち、CD、DVD、BDの記録再生波長において、単一の素子により光ピックアップ用1/4波長板を実現できる。 The quarter-wave plate for an optical pickup according to the present invention tilts the first in-plane direction by 75 ° and the second in-plane direction by 15 ° with respect to the polarization direction of linearly polarized light incident in the thickness direction. Used in the state. At this time, the quarter wave plate of the present invention gives a phase difference of 90 ° ± 10 ° to linearly polarized light having CD and DVD recording / reproducing wavelengths, that is, wavelengths of 780 nm, 650 nm, and 405 nm, and BD A phase difference of 270 ° ± 10 ° = (90 ° + 180 °) ± 10 ° is given to a linearly polarized light having a recording / reproducing wavelength of 405 nm, that is, a wavelength of 405 nm. That is, a quarter-wave plate for optical pickup can be realized by a single element at the recording / reproducing wavelengths of CD, DVD, and BD.

また本発明は、前記屈折率の異なる二種類以上の誘電体材料の一方が、SiO、MgFまたはそれらの混合物からなることを特徴とする光ピックアップ用1/4波長板である。 The present invention is also the quarter-wave plate for an optical pickup, wherein one of the two or more kinds of dielectric materials having different refractive indexes is made of SiO 2 , MgF, or a mixture thereof.

また本発明は、前記屈折率の異なる二種類以上の誘電体材料の他の一方が、TiO,Nb、Ta、ZrO、HfO、Alからなる群から選ばれた一つの酸化物たは前記の群から選ばれた二以上の酸化物の混合物からなることを特徴とする光ピックアップ用1/4波長板である。 Further, in the invention, the other one of the two or more kinds of dielectric materials having different refractive indices is selected from the group consisting of TiO 2 , Nb 2 O 5 , Ta 2 O 5 , ZrO 2 , HfO 2 , and Al 2 O 3. One selected oxide is a quarter wave plate for an optical pickup characterized by comprising a mixture of two or more oxides selected from the above group.

また本発明は、前記透明基板が透明なガラス、ガラスセラミックスおよびセラミックスからなる群から選ばれた一つの材料からなることを特徴とする光ピックアップ用1/4波長板である。   The present invention is also the quarter wavelength plate for an optical pickup, wherein the transparent substrate is made of one material selected from the group consisting of transparent glass, glass ceramics and ceramics.

本発明の光ピックアップ用1/4波長板は、CD、DVD、BDの記録再生波長に対して同時に使用できるものであって、特殊な材料を使用せずに大きな面積に形成可能で、かつ透明基板の両面に一体にフォトニック結晶が形成されているため軸合わせも容易であり、無機材料のみで形成することも可能であるという利点がある。   The quarter-wave plate for optical pickup of the present invention can be used simultaneously for the recording / reproducing wavelengths of CD, DVD, and BD, can be formed in a large area without using a special material, and is transparent. Since photonic crystals are integrally formed on both surfaces of the substrate, axis alignment is easy, and there is an advantage that it can be formed only of an inorganic material.

図1は本発明に用いられる第一および第二のフォトニック結晶を形成するために用いられる透明な平行平板形状の基板の形状を示す図である。FIG. 1 is a view showing the shape of a transparent parallel plate-shaped substrate used for forming the first and second photonic crystals used in the present invention. 図2は本発明に用いられる第一および第二のフォトニック結晶の積層構造を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a laminated structure of first and second photonic crystals used in the present invention. 図3は本発明の光ピックアップ用1/4位相板の三波長における位相差を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing the phase difference at three wavelengths of the quarter phase plate for optical pickup of the present invention. 図4は本発明の光ピックアップ用1/4位相板の三波長における楕円率について計算した結果を示す図である。FIG. 4 is a view showing the result of calculation of ellipticity at three wavelengths of the quarter phase plate for optical pickup of the present invention.

CD、DVD、BDの記録再生波長すなわち780nm、650nm、405nmの波長を有する光に対して光ピックアップ用1/4波長板として使用可能な、安価で大量生産することができる光ピックアップ用波長板を提供するという目的を、実現した。   An optical pickup wavelength plate that can be used as a quarter-wave plate for optical pickup with respect to light having a recording / reproducing wavelength of CD, DVD, BD, that is, wavelengths of 780 nm, 650 nm, and 405 nm, and can be mass-produced at low cost. The purpose of providing was realized.

以下、本発明の実施例1を説明する。   Embodiment 1 of the present invention will be described below.

FDTD法によりフォトニック結晶の各設定波長における位相差を計算した。各設定波長において1/2波長板となる第一フォトニック結晶と1/4波長板となる第二フォトニック結晶についての位相データを基にして、ミュラー行列を使って波長板2枚を通過する直線偏光の位相差を計算した計算結果を表1に示す。また、これを図示したものを図3に示す。同じく楕円率について計算した結果を表2、図4に示す。設定波長が740nmから840nmの範囲で、三波長について位相差が90°または270°(=90°+180°)に近くなり、楕円率が0.85を超えることが認められる。   The phase difference at each set wavelength of the photonic crystal was calculated by the FDTD method. Based on the phase data of the first photonic crystal that is a half-wave plate and the second photonic crystal that is a quarter-wave plate at each set wavelength, it passes through two wave plates using a Mueller matrix. Table 1 shows the calculation result of calculating the phase difference of linearly polarized light. This is shown in FIG. Similarly, the results calculated for the ellipticity are shown in Table 2 and FIG. It is recognized that the phase difference is close to 90 ° or 270 ° (= 90 ° + 180 °) for the three wavelengths in the range of the setting wavelength from 740 nm to 840 nm, and the ellipticity exceeds 0.85.

Figure 0005508295
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Figure 0005508295
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以上の通り、入射光の偏波方向と各波長板構造の軸方向のなす角度を第一フォトニック結晶については75°、第二フォトニック結晶については15°と設定して、設定波長を変えた際の位相差をシミュレーションにより求めた結果、設定波長750nmのときにCD(780nm)、DVD(650nm)、BD(405nm)の三波長の光に対して位相差が90°±10°の光ピックアップ用1/4波長板になることがわかった。   As described above, the angle between the polarization direction of incident light and the axial direction of each wave plate structure is set to 75 ° for the first photonic crystal and 15 ° for the second photonic crystal, and the set wavelength is changed. As a result of calculating the phase difference at the time of simulation, light having a phase difference of 90 ° ± 10 ° with respect to the light of the three wavelengths of CD (780 nm), DVD (650 nm), and BD (405 nm) when the setting wavelength is 750 nm It turned out that it becomes a 1/4 wavelength plate for pick-up.

前記のシミュレーションによる設計に従い、本発明の1/4波長板を作成した。周期193nm、アスペクト比約0.4、断面形状が三角形状である凹凸構造体を透明基板の両面に形成し、表面と裏面の凹凸の溝のなす角度を60°とした基板をナノインプリント法により作製した。   According to the design by the above simulation, the quarter wave plate of the present invention was prepared. Fabricate a substrate with a period of 193 nm, an aspect ratio of about 0.4, and a concavo-convex structure with a triangular cross-section on both sides of the transparent substrate, and an angle of 60 ° between the concavo-convex grooves on the front and back surfaces by the nanoimprint method did.

バイアススパッタリング法を用いて、前記基板の両面に片面づつ成膜を行い、第一フォトニック結晶と第二フォトニック結晶を作製した。SiターゲットとNbターゲットを用いて、Arガス雰囲気中でSiO膜とNb膜を交互に成膜した。その成膜においては、波長750nmで位相差がそれぞれ180°、90°になるように設計した結果から求めた必要膜総数を積層した。第一フォトニック結晶は、膜厚20nmのSiO層と膜厚20nmのNb層を単位周期として140周期を積層し、第一フォトニック結晶は、膜厚20nmのSiO層と膜厚20nmのNb層を単位周期として70周期を積層した。 A first photonic crystal and a second photonic crystal were formed by using a bias sputtering method to form a film on each side of the substrate. Using an Si target and an Nb target, SiO 2 films and Nb 2 O 5 films were alternately formed in an Ar gas atmosphere. In the film formation, the necessary total number of films obtained from the results of designing the phase difference to be 180 ° and 90 ° at a wavelength of 750 nm was laminated. The first photonic crystal is formed by laminating 140 periods with a 20 nm-thickness SiO 2 layer and a 20 nm-thickness Nb 2 O 5 layer as unit periods, and the first photonic crystal is a 20 nm-thickness SiO 2 layer and a film. 70 periods were stacked using a 20 nm thick Nb 2 O 5 layer as a unit period.

入射する直線偏光の偏波方向と第一フォトニック結晶の溝方向のなす角度が75度になるように素子を配置して回転検光子法を用いて位相差を評価を行った結果、波長780nmにおいて94.1°、波長650nmにおいて90.5°、波長405nmにおいて272.4(=92.4+180)°の位相差となることがわかった。すなわち、前記三波長において位相差が90°±10°の範囲にあり、前記三波長対応の光ピックアップ用波長板が作成できたことが確認された。   As a result of evaluating the phase difference using the rotation analyzer method by arranging the elements so that the angle between the polarization direction of the incident linearly polarized light and the groove direction of the first photonic crystal is 75 degrees, the wavelength is 780 nm. 94.1 °, 90.5 ° at a wavelength of 650 nm, and 272.4 (= 92.4 + 180) ° at a wavelength of 405 nm. That is, it was confirmed that the phase difference was in the range of 90 ° ± 10 ° at the three wavelengths, and the wavelength plate for optical pickups corresponding to the three wavelengths could be produced.

本発明の1/4波長板は、CD、DVD、BDの記録再生波長すなわち780nm、650nm、405nmの波長を有する光に対して光ピックアップ用1/4波長板として使用できる。 The quarter-wave plate of the present invention can be used as a quarter-wave plate for an optical pickup for light having a recording / reproducing wavelength of CD, DVD, BD, that is, wavelengths of 780 nm, 650 nm, and 405 nm.

1 凹凸を有する基板
2 第一の誘電体材料
3 第二の誘電体材料
101 波長405nmにおける位相差(単位:°)
102 波長650nmにおける位相差(単位:°)
103 波長780nmにおける位相差(単位:°)
201 三波長で光ピックアップ用1/4波長板として使用可能な範囲
111 波長405nmにおける楕円率
112 波長650nmにおける楕円率
113 波長780nmにおける楕円率
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate which has unevenness 2 1st dielectric material 3 2nd dielectric material 101 Phase difference in wavelength 405nm (unit: degrees)
102 Phase difference at a wavelength of 650 nm (unit: °)
103 Phase difference at a wavelength of 780 nm (unit: °)
201 Range usable as quarter-wave plate for optical pickup at three wavelengths 111 Ellipticity at wavelength 405 nm 112 Ellipticity at wavelength 650 nm 113 Ellipticity at wavelength 780 nm

Claims (4)

厚み方向に垂直な第一主表面とそれに対向する第二主表面を有する透明な平行平板形状の基板と、
第一主表面に形成された、屈折率の異なる二種類以上の誘電体材料よりなる厚み方向の多層構造体であって、各誘電体材料ごとに積層の単位となる層の形状が第一主表面に平行な第一面内方向に周期的凹凸構造を有し、第一面内方向に垂直な方向には一様であるか、または第一面内方向より大きい長さの周期的または非周期的な凹凸構造を有し、その形状を周期ごとに繰り返しつつ厚み方向に層状に積層されていて、厚み方向に入射する波長740nmから840nmの光に対して1/2波長板として作用することを特徴とする第一フォトニック結晶と、
第二主表面に形成された、屈折率の異なる二種類以上の誘電体材料よりなる厚み方向の多層構造体であって、各誘電体材料ごとに積層の単位となる層の形状が第二主表面に平行な第二面内方向に周期的凹凸構造を有し、第二面内方向に垂直な方向には一様であるか、または第二面内方向より大きい長さの周期的または非周期的な凹凸構造を有し、その形状を周期ごとに繰り返しつつ厚み方向に層状に積層されていて、厚み方向に入射する波長740nmから840nmの光に対して1/4波長板として作用することを特徴とする第二フォトニック結晶からなり、
前記第一フォトニック結晶の前記第一面内方向と、前記第二フォトニック結晶の前記第二面内方向は、60°の角度をなすように形成されていることを特徴とする光ピックアップ用1/4波長板である。
A transparent parallel plate-shaped substrate having a first main surface perpendicular to the thickness direction and a second main surface opposite to the first main surface;
A multilayer structure in the thickness direction made of two or more kinds of dielectric materials having different refractive indexes formed on the first main surface, wherein the shape of the layer serving as a unit of lamination for each dielectric material is the first main structure. A periodic uneven structure in the first in-plane direction parallel to the surface and uniform in the direction perpendicular to the first in-plane direction, or longer or longer than the first in-plane direction. It has a periodic concavo-convex structure, is layered in the thickness direction while repeating its shape every period, and acts as a half-wave plate for light with a wavelength of 740 nm to 840 nm incident in the thickness direction A first photonic crystal characterized by:
A multilayer structure in the thickness direction formed of two or more kinds of dielectric materials having different refractive indexes formed on the second main surface, and the shape of the layer as a unit of lamination for each dielectric material is the second main structure. A periodic uneven structure in a second in-plane direction parallel to the surface, and is uniform in a direction perpendicular to the second in-plane direction, or longer or longer than the second in-plane direction. It has a periodic concavo-convex structure, is layered in the thickness direction while repeating its shape every period, and acts as a quarter-wave plate for light with a wavelength of 740 nm to 840 nm incident in the thickness direction A second photonic crystal characterized by
For the optical pickup, the first in-plane direction of the first photonic crystal and the second in-plane direction of the second photonic crystal are formed at an angle of 60 °. It is a quarter wave plate.
前記屈折率の異なる二種類以上の誘電体材料の一方が、SiO、MgFまたはそれらの混合物からなることを特徴とする請求項1に記載の光ピックアップ用1/4波長板。 2. The quarter-wave plate for an optical pickup according to claim 1, wherein one of the two or more kinds of dielectric materials having different refractive indexes is made of SiO 2 , MgF, or a mixture thereof. 前記屈折率の異なる二種類以上の誘電体材料の他の一方が、TiO、Nb、Ta、ZrO、HfO、Alからなる群から選ばれた一つの酸化物または前記の群から選ばれた二以上の酸化物の混合物からなることを特徴とする請求項1ないし2に記載の光ピックアップ用1/4波長板。 The other one of the two or more kinds of dielectric materials having different refractive indexes is one selected from the group consisting of TiO 2 , Nb 2 O 5 , Ta 2 O 5 , ZrO 2 , HfO 2 , and Al 2 O 3 . The quarter-wave plate for an optical pickup according to claim 1 or 2, comprising an oxide or a mixture of two or more oxides selected from the above group. 前記透明基板が透明なガラス、ガラスセラミックスおよびセラミックスからなる群から選ばれた一つの材料からなることを特徴とする請求項1ないし3に記載の光ピックアップ用1/4波長板。
4. The quarter-wave plate for an optical pickup according to claim 1, wherein the transparent substrate is made of one material selected from the group consisting of transparent glass, glass ceramics, and ceramics.
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