JP5476612B2 - Method for producing transfer film and method for producing electrode plate for electrochemical device - Google Patents

Method for producing transfer film and method for producing electrode plate for electrochemical device Download PDF

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Description

本発明は、転写用フィルム、およびそれを用いて形成された二次電池用負極ならびにリチウム二次電池に関し、特にリチウム層を転写する転写用フィルムおよびリチウム層を転写された電気化学素子用負極ならびにリチウム二次電池及び電気2重層キャパシタに関する。   The present invention relates to a transfer film, and a negative electrode for a secondary battery and a lithium secondary battery formed using the same, and in particular, a transfer film for transferring a lithium layer, a negative electrode for an electrochemical device to which the lithium layer is transferred, and The present invention relates to a lithium secondary battery and an electric double layer capacitor.

近年、非水電解質二次電池の高容量化のため、Si(ケイ素)やSn(スズ)などの負極材料が注目されている。例えば、Siの理論放電容量は約4199mAh/gであり、黒鉛の理論放電容量の約11倍である。しかしながら、これらの負極材料は、サイクル特性に問題があることが知られている。そのためこれら負極材料に代えて、SiやSnの酸化物、窒化物あるいは酸窒化物等を用いることで、サイクル特性の改善が試みられている。   In recent years, negative electrode materials such as Si (silicon) and Sn (tin) have attracted attention in order to increase the capacity of nonaqueous electrolyte secondary batteries. For example, the theoretical discharge capacity of Si is about 4199 mAh / g, which is about 11 times the theoretical discharge capacity of graphite. However, these negative electrode materials are known to have problems with cycle characteristics. Therefore, in place of these negative electrode materials, attempts have been made to improve cycle characteristics by using oxides, nitrides or oxynitrides of Si or Sn.

しかしSiやSn、あるいはこれらの酸化物および窒化物は不可逆容量が大きいという課題を有している。つまり初回充電時に正極から放出されたリチウムイオンの一部が負極に吸蔵されたままになる割合が大きいため、負極材料の理論容量と比較して電池容量が小さくなる。この不可逆容量を回避するため、予め不可逆容量相当のリチウムを負極に吸蔵させ、しかる後に電池を組み立てて充放電を始めるという手法が開示されている(例えば、特許文献1から4参照)。これらの手法を用いることで、初回充電時に正極から放出されたリチウムイオンが高い割合で負極から回収できるようになり、電池容量が増加する。   However, Si, Sn, or their oxides and nitrides have a problem of large irreversible capacity. That is, since the proportion of some of the lithium ions released from the positive electrode during the initial charge remains occluded in the negative electrode is large, the battery capacity becomes smaller than the theoretical capacity of the negative electrode material. In order to avoid this irreversible capacity, a technique is disclosed in which lithium corresponding to the irreversible capacity is inserted in the negative electrode in advance, and then a battery is assembled and charging / discharging is started (see, for example, Patent Documents 1 to 4). By using these methods, lithium ions released from the positive electrode during the first charge can be recovered from the negative electrode at a high rate, and the battery capacity is increased.

特許文献1には、Si、Sn、およびSi−Ti系合金からなる群より選択される少なくとも1種を含む負極活物質を含む負極合剤層を備え、前記負極合剤層の表面を覆うように金属リチウム層を、蒸着またはスパッタにより形成することが開示されている。   Patent Document 1 includes a negative electrode mixture layer containing a negative electrode active material containing at least one selected from the group consisting of Si, Sn, and Si—Ti alloys, and covers the surface of the negative electrode mixture layer. Discloses forming a metal lithium layer by vapor deposition or sputtering.

特許文献2には、集電体上に形成した酸化シリコンの薄膜の上に酸化リチウムの層を形成し、さらに金属リチウムの層を形成して、リチウムを酸化シリコンに補填する方法が開示されている。   Patent Document 2 discloses a method in which a lithium oxide layer is formed on a silicon oxide thin film formed on a current collector, a metal lithium layer is further formed, and lithium is supplemented with silicon oxide. Yes.

特許文献3には、軽金属を吸蔵および離脱することが可能な負極合剤層を形成する工程と、負極合剤層に乾式成膜法により軽金属層を成膜する工程と、を含む負極の製造法が開示されている。   Patent Document 3 discloses the production of a negative electrode including a step of forming a negative electrode mixture layer capable of inserting and extracting light metals, and a step of forming a light metal layer on the negative electrode mixture layer by a dry film formation method. The law is disclosed.

特許文献1から3に記載の方法は活物質層にリチウムを補填する方法として有効であるがさらに簡便な方法として、特許文献4に示されているようなリチウム箔の転写法をあげることが出来る。   The methods described in Patent Documents 1 to 3 are effective as a method of supplementing lithium into the active material layer, but as a simpler method, a transfer method of lithium foil as shown in Patent Document 4 can be mentioned. .

また、電気2重層キャパシタにおいても、負極を形成する活性炭にあらかじめリチウムを付与する(プレドープ)ことにより、充放電に用いるリチウム源とすることがおこなわれている。
特開2005−063805号公報 特開2003−162997号公報 特開2005−038720号公報 特開平10−289708号公報
Also in the electric double layer capacitor, lithium is used in advance for charging / discharging by preliminarily applying lithium to the activated carbon forming the negative electrode (pre-doping).
Japanese Patent Laying-Open No. 2005-063805 Japanese Patent Laid-Open No. 2003-162997 JP 2005-038720 A JP-A-10-289708

特開2005−063805号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2005-063805 特開2003−162997号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-162997 特開2005−038720号公報JP 2005-038720 A 特開平10−239708号公報JP-A-10-239708

しかしながら、不可逆容量相当のリチウム箔を、負極活物質上に貼り付けることによって付与する方法は、薄いリチウム箔は製造が困難なため高コストであった。特許文献4に記載のように、転写法は簡便にリチウムを補填する方法であるが、支持体上にリチウムを形成したのちに転写によってリチウムを活物質上に付与する際に、支持体からリチウムを剥離することが難しい、という課題があった。   However, a method of applying a lithium foil corresponding to an irreversible capacity by pasting on a negative electrode active material is expensive because a thin lithium foil is difficult to manufacture. As described in Patent Document 4, the transfer method is a method of simply supplementing lithium. However, when lithium is formed on the support and then applied to the active material by transfer, the transfer from the support to the lithium is performed. There was a problem that it was difficult to peel off.

本発明は、前記従来の課題を解決するもので、活物質に不可逆容量相当のリチウムを簡便に付与するための転写用フィルムを供し、高性能活物質の特性を引き出したリチウム電気化学素子用負極、およびそれを用いたリチウム二次電池および電気2重層キャパシタを提供することを目的とする。   The present invention solves the above-described conventional problems, and provides a transfer film for easily imparting lithium corresponding to an irreversible capacity to an active material, and draws out the characteristics of a high-performance active material. And a lithium secondary battery and an electric double layer capacitor using the same.

前記従来の課題を解決するために、本発明の転写用フィルムは、基板と、基板上に順次形成された離型層、補助層およびリチウム層とを含むことを特徴とする。   In order to solve the conventional problems, the transfer film of the present invention includes a substrate, a release layer, an auxiliary layer, and a lithium layer sequentially formed on the substrate.

本構成によって、転写用フィルムからリチウム層を容易に剥離転写することが出来る。   With this configuration, the lithium layer can be easily peeled and transferred from the transfer film.

また、本発明の電気化学素子用負極は、集電体と、集電体上に形成された活物質層と、活物質層上に形成されたリチウム層と、リチウム層上に形成された補助層とを、有する二次電池用負極であって、
リチウム層と補助層とは、上記転写用フィルムから転写されて形成されたこと、を特徴とする。
The negative electrode for an electrochemical device of the present invention includes a current collector, an active material layer formed on the current collector, a lithium layer formed on the active material layer, and an auxiliary formed on the lithium layer. A negative electrode for a secondary battery having a layer,
The lithium layer and the auxiliary layer are formed by being transferred from the transfer film.

本構成の電気化学素子用負極は、活物質層上にリチウム層を容易に転写できるので、生産性に優れると共に、活物質層の不可逆容量を容易に補填することが出来る。   Since the negative electrode for electrochemical devices of this configuration can easily transfer the lithium layer onto the active material layer, it is excellent in productivity and can easily compensate for the irreversible capacity of the active material layer.

本発明の転写用フィルムによれば転写用フィルムからリチウム層を容易に剥離転写することが出来る。また、リチウム層ともに転写される補助層は、転写後の取扱い雰囲気に含まれる水分や酸素などからリチウム層を保護し、リチウムが水分や酸素と反応して活性を失うことを防止する。さらに、補助層をパターン成膜することによって、一般的な金属に比べると取扱上の困難が伴うリチウムをパターン成膜せずとも、補助層及びリチウム層をパターン転写することが可能である。   According to the transfer film of the present invention, the lithium layer can be easily peeled and transferred from the transfer film. The auxiliary layer transferred together with the lithium layer protects the lithium layer from moisture and oxygen contained in the handling atmosphere after the transfer, and prevents the lithium from reacting with moisture and oxygen and losing its activity. Furthermore, by forming a pattern of the auxiliary layer, it is possible to pattern transfer the auxiliary layer and the lithium layer without forming a pattern of lithium, which is difficult to handle compared to general metals.

本発明の電気化学素子用負極は本発明の転写用フィルムを用いて形成することが出来るものであり、不可逆容量の抑制等に優れた、高エネルギー密度の負極とすることが出来る。   The negative electrode for an electrochemical element of the present invention can be formed using the transfer film of the present invention, and can be a high energy density negative electrode excellent in suppression of irreversible capacity.

本発明のリチウム二次電池は、本発明の負極を有するので、不可逆容量が回避された、高容量で信頼性の高い電池とすることが出来る。   Since the lithium secondary battery of the present invention has the negative electrode of the present invention, it can be a high capacity and highly reliable battery in which irreversible capacity is avoided.

本発明の電気2重層キャパシタは、本発明の負極を有するので、不可逆容量の回避やプレドープが施された、高容量で信頼性の高いキャパシタとすることが出来る。   Since the electric double layer capacitor of the present invention has the negative electrode of the present invention, it can be a high-capacity and highly reliable capacitor in which irreversible capacitance is avoided and pre-doping is performed.

本発明の実施の形態1における転写用フィルムの一例を示す概略断面図Schematic sectional view showing an example of a transfer film in Embodiment 1 of the present invention 本発明の実施の形態1における転写プロセスを示す模式図Schematic diagram showing a transfer process in Embodiment 1 of the present invention. 本発明の実施の形態2における転写用フィルムの一例を示す概略断面図Schematic sectional view showing an example of a transfer film in Embodiment 2 of the present invention 本発明の実施の形態2における転写プロセスを示す模式図Schematic diagram showing a transfer process in Embodiment 2 of the present invention 本発明の実施の形態1および2における負極の断面構造を示す概略断面図Schematic sectional view showing the sectional structure of the negative electrode in the first and second embodiments of the present invention 本発明の実施の形態1および2における転写用フィルムの製造装置の一例を 示す概略図Schematic which shows an example of the manufacturing apparatus of the film for transfer in Embodiment 1 and 2 of this invention 本発明の実施の形態1および2における転写用フィルムおよび負極の製造装 置の一例を示す概略図Schematic showing an example of a transfer film and negative electrode manufacturing apparatus in Embodiments 1 and 2 of the present invention

以下、本発明を実施するための好ましい形態について、図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, preferred embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.

(実施の形態1) 図1は本発明の転写用フィルムの一例を示す概略断面図である。図1において、転写用フィルム49は、基板45と、基板45上に順次形成された離型層46、補助層47およびリチウム層48とを含む。基板45にはポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンサルファイド、ポリアミド、ポリイミドなどをはじめとする高分子フィルム、アルミ、銅、ニッケル、ステンレスなどをはじめとする金属箔、あるいはその他のシート状素材を用いることが出来る。上記基板45の表面に下地層を設けたものを用いることも出来る。離型層46の離型性を、離型剤の種類と厚み等を適切に選ぶことによって調整すると、転写用フィルム49はリチウム層48と補助層47とが一体となって離型層46から離型および転写される。例えば株式会社麗光のBL6、BL7、BL8(いずれも商品名)は高分子基板に離型層を形成したものの一例であり、本発明の用途に使用することが出来る。基板45の厚みは適宜選択可能であり、例えば25μmである。   Embodiment 1 FIG. 1 is a schematic sectional view showing an example of a transfer film of the present invention. In FIG. 1, the transfer film 49 includes a substrate 45, a release layer 46, an auxiliary layer 47, and a lithium layer 48 that are sequentially formed on the substrate 45. The substrate 45 should be made of a polymer film such as polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyethylene sulfide, polyamide, polyimide, metal foil such as aluminum, copper, nickel, stainless steel, or other sheet-like material. I can do it. A substrate provided with a base layer on the surface of the substrate 45 can also be used. When the releasability of the release layer 46 is adjusted by appropriately selecting the type and thickness of the release agent, the transfer film 49 is integrated with the lithium layer 48 and the auxiliary layer 47 from the release layer 46. Release and transfer. For example, BL6, BL7, and BL8 (all trade names) of Reiko Co., Ltd. are examples of those obtained by forming a release layer on a polymer substrate, and can be used for the purposes of the present invention. The thickness of the board | substrate 45 can be selected suitably, for example, is 25 micrometers.

補助層47の材料には銅、アルミ、ニッケル等の各種金属を用いることが出来る他、金属酸化物や窒化物を用いることも出来る。補助層47として金属酸化物や窒化物を用いた場合には補助層47とリチウム層48中のリチウムとが反応することがあるが、補助層47が十分薄ければ反応の影響を受けるリチウムは僅かであるので、金属酸化物や窒化物を用いることが可能である。補助層47の材料選定は、転写後に補助層47が残存した場合の影響等に応じて選定される。また、リチウム層48の転写という本来の目的を鑑みた場合、補助層47の厚みは薄い方が好ましいが、リチウム層48表面の保護や、離型層46表面の保護という点からは5nm以上の膜厚が好ましい。   As the material of the auxiliary layer 47, various metals such as copper, aluminum, and nickel can be used, and metal oxides and nitrides can also be used. When a metal oxide or nitride is used as the auxiliary layer 47, the auxiliary layer 47 and lithium in the lithium layer 48 may react. If the auxiliary layer 47 is sufficiently thin, lithium affected by the reaction Since there are few, it is possible to use a metal oxide or nitride. The material of the auxiliary layer 47 is selected according to the influence of the auxiliary layer 47 remaining after transfer. In view of the original purpose of transferring the lithium layer 48, the auxiliary layer 47 is preferably thin. However, the thickness of the auxiliary layer 47 is 5 nm or more from the viewpoint of protecting the surface of the lithium layer 48 and protecting the surface of the release layer 46. Film thickness is preferred.

図2は、本発明の実施の形態1の転写用フィルム47を用いた、転写プロセスを示す模式図である。図2において、図1と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。図2において、図1に示した転写フィルム49と被転写体50とを接合するこで、被転写体50とリチウム層48とが接着し、その後、基板45を分離した際に被転写体50上にリチウム層48と補助層47とが転写移行される。離型層46の大半は転写されずに基板45上に残存することも、補助層47と共に一部転写されることも材料設計により可能である。被転写体50が電池極板の場合は、副反応の防止などの理由から、離型層46が基板45上に残存することが一般的には望ましい。被転写体50と転写フィルム49とを接合させるには、被転写体50と転写フィルム49との両方の個片を略平行に対向させて圧着させても良いが、長尺のロール状に形成された転写フィルム49と、別の長尺のロール状に形成された被転写体50とを順次巻きだして圧着接合する方法が、生産効率が高い点で好ましい。   FIG. 2 is a schematic diagram showing a transfer process using the transfer film 47 according to the first embodiment of the present invention. In FIG. 2, the same components as those in FIG. 2, the transfer film 49 and the transfer target 50 shown in FIG. 1 are joined to bond the transfer target 50 and the lithium layer 48, and then the transfer target 50 is separated when the substrate 45 is separated. The lithium layer 48 and the auxiliary layer 47 are transferred and transferred thereon. Depending on the material design, most of the release layer 46 can remain on the substrate 45 without being transferred, or can be partially transferred together with the auxiliary layer 47. When the transfer target 50 is a battery electrode plate, it is generally desirable that the release layer 46 remain on the substrate 45 for reasons such as preventing side reactions. In order to join the transfer body 50 and the transfer film 49, both pieces of the transfer body 50 and the transfer film 49 may be pressed substantially in parallel to each other, but they are formed in a long roll shape. A method in which the transferred transfer film 49 and the transfer target 50 formed in a separate long roll are sequentially wound and pressure-bonded is preferable from the viewpoint of high production efficiency.

(実施の形態2)
図3は本発明の転写用フィルムの別の一例を示す断面模式図である。図3において、図1と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。図3に示す転写用フィルム49は、図1示す転写用フィルム49の構成と、補助層47がパターン形成されていること点で異なる。補助層47がパターン形成されているとは、離型層46の全面を補助層47が均一に覆うのではなく、例えば矩形状の補助層が碁盤目状に配され、その網目状の隙間および補助層の表面にリチウム配されている状態をいう。離型層46の離型性を、離型剤の種類と厚み等を適切に選ぶことによって調整すると、転写用フィルム49はリチウム層48と補助層47とが補助層47のパターンに従って一体となって離型層46離型および転写される。リチウム層48の厚みは任意に設定可能であり、負極の不可逆容量の解消に用いる場合は例えば、2μm〜20μmである。
(Embodiment 2)
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing another example of the transfer film of the present invention. In FIG. 3, the same components as those in FIG. The transfer film 49 shown in FIG. 3 differs from the configuration of the transfer film 49 shown in FIG. 1 in that the auxiliary layer 47 is patterned. The pattern of the auxiliary layer 47 means that the auxiliary layer 47 does not uniformly cover the entire surface of the release layer 46, for example, rectangular auxiliary layers are arranged in a grid pattern, and the mesh-like gaps and A state where lithium is arranged on the surface of the auxiliary layer. When the release property of the release layer 46 is adjusted by appropriately selecting the type and thickness of the release agent, the transfer film 49 has the lithium layer 48 and the auxiliary layer 47 integrated according to the pattern of the auxiliary layer 47. The release layer 46 is released and transferred. The thickness of the lithium layer 48 can be arbitrarily set, and is 2 μm to 20 μm, for example, when used for eliminating the irreversible capacity of the negative electrode.

図4は、本発明の実施の形態2の転写用フィルム47を用いた、転写プロセスを示す模式図である。図4において、図2と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。図4において、図3に示した転写フィルム49と被転写体50とを接合することで、被転写体50とリチウム層48とが接着し、その後、基板45を分離した際に被転写体50上にリチウム層48と補助層47とが転写移行される。その際には、図4に示すように、補助層47のパターンに従ってリチウム層48と補助層47とが転写され、補助層47がパターン形成されていない部分のリチウムは離型層46上に残り、被転写体50には転写されない。   FIG. 4 is a schematic diagram showing a transfer process using the transfer film 47 according to the second embodiment of the present invention. 4, the same components as those in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted. In FIG. 4, the transfer film 49 and the transferred object 50 shown in FIG. 3 are bonded to bond the transferred object 50 and the lithium layer 48, and then the transferred object 50 is separated when the substrate 45 is separated. The lithium layer 48 and the auxiliary layer 47 are transferred and transferred thereon. At that time, as shown in FIG. 4, the lithium layer 48 and the auxiliary layer 47 are transferred according to the pattern of the auxiliary layer 47, and the lithium in which the auxiliary layer 47 is not patterned remains on the release layer 46. The toner is not transferred to the transfer target 50.

このような転写を行うことが出来る理由は、リチウム層48形成時の熱や、離型層46の離型剤との化学反応によって、離型剤上に直接リチウム層が形成された部分の離型性が低下し、結果として補助層47が形成されている部分だけが離型性を保持できるようになるためである。   The reason why such a transfer can be performed is that the part where the lithium layer is directly formed on the release agent is formed by the heat at the time of forming the lithium layer 48 or the chemical reaction of the release layer 46 with the release agent. This is because the moldability is lowered, and as a result, only the portion where the auxiliary layer 47 is formed can maintain the mold release property.

また、実施の形態1と同様、離型層46の大半は転写されずに基板45上に残存することも、補助層47と共に一部転写されることも材料設計により可能である。被転写体50が電池極板の場合は、副反応の防止などの理由から、離型層46が基板45上に残存することが一般的には望ましい。被転写体50と転写フィルム49とを接合させるには、被転写体50と転写フィルム49との両方の個片を略平行に対向させて圧着させても良いが、長尺のロール状に形成された転写フィルム49と、別の長尺のロール状に形成された被転写体50とを順次巻きだして圧着接合する方法が、生産効率が高い点で好ましい。   Further, as in the first embodiment, most of the release layer 46 can remain on the substrate 45 without being transferred, or can be partially transferred together with the auxiliary layer 47 by material design. When the transfer target 50 is a battery electrode plate, it is generally desirable that the release layer 46 remain on the substrate 45 for reasons such as preventing side reactions. In order to join the transfer body 50 and the transfer film 49, both pieces of the transfer body 50 and the transfer film 49 may be pressed substantially in parallel to each other, but they are formed in a long roll shape. A method in which the transferred transfer film 49 and the transfer target 50 formed in a separate long roll are sequentially wound and pressure-bonded is preferable from the viewpoint of high production efficiency.

図5は本発明の実施の形態1および実施の形態2における転写用フィルム49を用いて形成した電気化学素子用負極(以下、負極ともいう)の断面構造を示す概略断面図である。図5において、図1と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。   FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing a cross-sectional structure of a negative electrode for an electrochemical element (hereinafter also referred to as a negative electrode) formed using the transfer film 49 in the first and second embodiments of the present invention. In FIG. 5, the same components as those in FIG.

図5において、負極20は、シート状の集電体22上に形成された活物質層21を有する。活物質層21の表面には、転写されたリチウム層48を有する。さらに、リチウム層48の表面には補助層47がリチウム層48と共に転写されている。活物質層21の上に形成されたリチウム層48は表面を補助層47で覆われており、これによって、リチウム表面の、取扱い雰囲気中の水分や酸素等に起因する化学反応を抑制することが出来る。また、製品化工程における搬送系へリチウムが付着することによって、走行不良が起きたり、巻き取り時にブロッキングが起きるのを防止できる。   In FIG. 5, the negative electrode 20 has an active material layer 21 formed on a sheet-like current collector 22. The surface of the active material layer 21 has a transferred lithium layer 48. Further, the auxiliary layer 47 is transferred together with the lithium layer 48 on the surface of the lithium layer 48. The surface of the lithium layer 48 formed on the active material layer 21 is covered with the auxiliary layer 47, thereby suppressing a chemical reaction caused by moisture, oxygen, etc. in the handling atmosphere on the lithium surface. I can do it. Further, when lithium adheres to the conveyance system in the product production process, it is possible to prevent running failure and blocking during winding.

図5では集電体22の片面にのみ活物質層21が形成されているが、集電体22の両面に活物質層21が形成され、さらにそれぞれの表面にリチウム層48と補助層47とが転写されていても良い。   In FIG. 5, the active material layer 21 is formed only on one surface of the current collector 22, but the active material layer 21 is formed on both surfaces of the current collector 22, and a lithium layer 48 and an auxiliary layer 47 are formed on each surface. May be transferred.

活物質層21に含まれる活物質としては、リチウムと電気化学的に反応するものであれば特に制限はないが、リチウムとの反応性が比較的高く、高容量が期待できるケイ素単体、ケイ素合金、ケイ素と酸素とを含む化合物、ケイ素と窒素とを含む化合物、スズ単体、スズ合金、スズと酸素とを含む化合物、およびスズと窒素とを含む化合物、またはグラファイト、活性炭を代表とする炭素または炭素を含む化合物よりなる群から選択される少なくとも1種を含むことが好ましい。本発明による改善度合いが顕著となるからである。   The active material contained in the active material layer 21 is not particularly limited as long as it is electrochemically reactive with lithium. However, a silicon simple substance or a silicon alloy that has a relatively high reactivity with lithium and can be expected to have a high capacity. A compound containing silicon and oxygen, a compound containing silicon and nitrogen, a simple substance of tin, a tin alloy, a compound containing tin and oxygen, and a compound containing tin and nitrogen, or carbon represented by graphite and activated carbon It is preferable to include at least one selected from the group consisting of compounds containing carbon. It is because the improvement degree by this invention becomes remarkable.

本実施の形態1および実施の形態2における転写用フィルムは、例えば以下に示す方法によって作製可能である。   The transfer film in Embodiment 1 and Embodiment 2 can be produced by, for example, the following method.

図6は、本実施の形態1および実施の形態2における転写用フィルム49を構成するための製造装置の一例を示す概略図である。図6において、図1と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。   FIG. 6 is a schematic view showing an example of a manufacturing apparatus for constituting the transfer film 49 in the first and second embodiments. In FIG. 6, the same components as those in FIG.

図6において、真空槽2内は排気ポンプ1で排気されている。真空槽2中で巻き出しロール8から巻き出された長尺の基板45は、搬送ローラ5および円筒状の第一キャン6および第二キャン7の周面に沿って走行し、巻き取りロール3に巻き取られる。基板45には、予め離型剤を施され、離型層46(図示せず)が形成されている。第一キャン6において、基板45は離型層46が外側に来るようにして走行している。補助層付与源13には、補助層47の材料が坩堝などの蒸発容器に入れられている。補助層付与源13は電子ビームなどの加熱装置(図示せず)により加熱され、補助層47の材料が蒸発する。   In FIG. 6, the inside of the vacuum chamber 2 is exhausted by the exhaust pump 1. The long substrate 45 unwound from the unwinding roll 8 in the vacuum chamber 2 travels along the peripheral surfaces of the transport roller 5 and the cylindrical first can 6 and the second can 7, and the winding roll 3. Rolled up. A release agent is applied to the substrate 45 in advance, and a release layer 46 (not shown) is formed. In the first can 6, the substrate 45 travels so that the release layer 46 is on the outside. In the auxiliary layer application source 13, the material of the auxiliary layer 47 is put in an evaporation container such as a crucible. The auxiliary layer application source 13 is heated by a heating device (not shown) such as an electron beam, and the material of the auxiliary layer 47 evaporates.

またリチウム付与源46には、リチウムがSUS304などからなる蒸発容器に入れられている。リチウム付与源46はヒーターなどの加熱装置(図示せず)により加熱され、リチウムが蒸発する。   The lithium supply source 46 contains lithium in an evaporation container made of SUS304 or the like. The lithium application source 46 is heated by a heating device (not shown) such as a heater, and lithium evaporates.

基板45が第一キャン6に沿った状態で、補助層付与源13から遮蔽板10の開口部を経由して飛来する補助層47の材料にさらされることにより、基板45の離型層46上に補助層47(図示せず)が形成される。次に第二キャン7に沿った状態でリチウム付与源46から遮蔽板10の開口部を経由して飛来するリチウムにさらされることにより、補助層47の上にリチウム層48(図示せず)が積層される。   The substrate 45 is exposed to the material of the auxiliary layer 47 coming from the auxiliary layer application source 13 via the opening of the shielding plate 10 in a state along the first can 6, and thus on the release layer 46 of the substrate 45. An auxiliary layer 47 (not shown) is formed. Next, the lithium layer 48 (not shown) is formed on the auxiliary layer 47 by being exposed to the lithium flying from the lithium application source 46 through the opening of the shielding plate 10 along the second can 7. Laminated.

補助層47の形成には電子ビーム蒸着以外の方法も可能であり、スパッタを始めとするドライプロセスが広く適用可能である。補助層47を湿式の印刷プロセス、たとえばスクリーン印刷で形成することも可能であるが、リチウム層48の形成時における補助層47とリチウム層48の反応が顕著になりやすいので、補助層47はドライプロセスで形成する方が好ましい。なお、図3で示したように、補助層47をパターン化して形成する場合には、例えば第一キャン6と同期して移動するマスクを第一キャン6の前に設置することで作製可能である。   The auxiliary layer 47 can be formed by methods other than electron beam evaporation, and dry processes such as sputtering can be widely applied. Although the auxiliary layer 47 can be formed by a wet printing process, for example, screen printing, the reaction between the auxiliary layer 47 and the lithium layer 48 during the formation of the lithium layer 48 is likely to be significant. It is preferable to form by a process. As shown in FIG. 3, when the auxiliary layer 47 is formed by patterning, for example, the auxiliary layer 47 can be formed by installing a mask that moves in synchronization with the first can 6 in front of the first can 6. is there.

リチウム層48の形成は抵抗加熱蒸着に限らず、電子ビーム蒸着、スパッタなどの各種ドライプロセスを用いることが出来る。   Formation of the lithium layer 48 is not limited to resistance heating vapor deposition, and various dry processes such as electron beam vapor deposition and sputtering can be used.

図7は、本実施の形態1および実施の形態2における転写用フィルム49を形成すると共に、負極20を構成するための製造装置の一例を示す概略図である。図7において、図1および図6と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。   FIG. 7 is a schematic diagram showing an example of a manufacturing apparatus for forming the negative film 20 while forming the transfer film 49 in the first and second embodiments. 7, the same components as those in FIGS. 1 and 6 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

図7の左側部分は図6と類似の転写フィルムの作製機能を有している。すなわち図7において、真空槽2内は排気ポンプ1で排気されている。真空槽2中で巻き出しロール8から巻き出された長尺の基板45は、搬送ローラ5および円筒状の第一キャン6および第二キャン7の周面に沿って走行し、転写ローラ4Aを経由して、巻き取りロール3Aに巻き取られる。転写ローラ4Aについては後述する。   The left portion of FIG. 7 has a transfer film production function similar to that of FIG. That is, in FIG. 7, the inside of the vacuum chamber 2 is exhausted by the exhaust pump 1. The long substrate 45 unwound from the unwinding roll 8 in the vacuum chamber 2 travels along the peripheral surfaces of the transport roller 5 and the cylindrical first can 6 and the second can 7, and moves the transfer roller 4A. Via, it is wound up on the winding roll 3A. The transfer roller 4A will be described later.

基板45には、予め離型剤を施され、離型層46(図示せず)が形成されている。第一キャン6において、基板45は離型層46が外側に来るようにして走行している。補助層付与源13には、補助層47の材料が坩堝などの蒸発容器に入れられている。補助層付与源13は電子ビームなどの加熱装置(図示せず)により加熱され、補助層47の材料が蒸発する。   A release agent is applied to the substrate 45 in advance, and a release layer 46 (not shown) is formed. In the first can 6, the substrate 45 travels so that the release layer 46 is on the outside. In the auxiliary layer application source 13, the material of the auxiliary layer 47 is put in an evaporation container such as a crucible. The auxiliary layer application source 13 is heated by a heating device (not shown) such as an electron beam, and the material of the auxiliary layer 47 evaporates.

またリチウム付与源46には、リチウムがSUS304などからなる蒸発容器に入れられている。リチウム付与源46はヒーターなどの加熱装置(図示せず)により加熱され、リチウムが蒸発する。   The lithium supply source 46 contains lithium in an evaporation container made of SUS304 or the like. The lithium application source 46 is heated by a heating device (not shown) such as a heater, and lithium evaporates.

基板45が第一キャン6に沿った状態で、補助層付与源13から遮蔽板10の開口部を経由して飛来する補助層47の材料にさらされることにより、基板45の離型層46上に補助層47(図示せず)が形成される。それに引き続いて、基板45が第一キャン6に沿った状態で、リチウム付与源46から遮蔽板10の開口部を経由して飛来するリチウムにさらされることにより、補助層47の上にリチウム層48(図示せず)が積層される。   The substrate 45 is exposed to the material of the auxiliary layer 47 coming from the auxiliary layer application source 13 via the opening of the shielding plate 10 in a state along the first can 6, and thus on the release layer 46 of the substrate 45. An auxiliary layer 47 (not shown) is formed. Subsequently, the substrate 45 is exposed to lithium flying from the lithium application source 46 through the opening of the shielding plate 10 in a state along the first can 6, so that the lithium layer 48 is formed on the auxiliary layer 47. (Not shown) are stacked.

なお、図7では補助層47とリチウム層48とは、基板45が第一キャン6に沿った状態で付与されるが、図6に示したように2つのキャンに分けて付与しても良い。   In FIG. 7, the auxiliary layer 47 and the lithium layer 48 are provided in a state where the substrate 45 is along the first can 6, but may be provided separately in two cans as shown in FIG. 6. .

また、図7の右側部分は活物質層の作製機能と、転写機能とを有している。すなわち、真空槽2中で巻き出しロール8Bから巻き出された長尺の集電体22は、搬送ローラ5および円筒状の第三キャン14の周面に沿って走行し、転写ローラ4Bを経て、巻き取りロール3Bに巻き取られる。ここで使用する集電体22は銅、ニッケルなどからなるシート状の箔である。活物質付与源9には、ケイ素またはスズが坩堝などに入れられている。活物質付与源9は電子ビームなどの加熱装置(図示せず)により加熱され、ケイ素またはスズが蒸発する。   In addition, the right portion of FIG. 7 has an active material layer manufacturing function and a transfer function. That is, the long current collector 22 unwound from the unwinding roll 8B in the vacuum chamber 2 travels along the peripheral surfaces of the transport roller 5 and the cylindrical third can 14, and passes through the transfer roller 4B. Then, it is wound around the winding roll 3B. The current collector 22 used here is a sheet-like foil made of copper, nickel or the like. In the active material application source 9, silicon or tin is put in a crucible or the like. The active material application source 9 is heated by a heating device (not shown) such as an electron beam, and silicon or tin evaporates.

集電体22が第三キャン14に沿った状態で活物質付与源9から遮蔽板10の開口部を経由して飛来するケイ素やスズなどにさらされることにより、集電体22上にケイ素やスズからなる活物質層21(図示せず)が形成される。   When the current collector 22 is exposed to silicon, tin, or the like flying from the active material applying source 9 through the opening of the shielding plate 10 in a state along the third can 14, silicon or tin is deposited on the current collector 22. An active material layer 21 (not shown) made of tin is formed.

ケイ素と酸素とを含む化合物、ケイ素と窒素とを含む化合物、スズと酸素とを含む化合物、またはスズと窒素とを含む化合物の活物質層21を形成する場合には、酸素ガスや窒素ガスをガス導入管11から導入し、これらの雰囲気下で活物質付与源9からケイ素やスズを蒸発させることにより、活物質層21が得られる。活物質層21の作製方法は、本発明の極板の構造を得ることが出来るものであれば特に限定されないが、蒸着法、スパッタ法、CVD法などのドライプロセスを用いることが好ましい。   When forming the active material layer 21 of a compound containing silicon and oxygen, a compound containing silicon and nitrogen, a compound containing tin and oxygen, or a compound containing tin and nitrogen, oxygen gas or nitrogen gas is used. The active material layer 21 is obtained by introducing from the gas introduction pipe 11 and evaporating silicon or tin from the active material application source 9 under these atmospheres. The manufacturing method of the active material layer 21 is not particularly limited as long as the structure of the electrode plate of the present invention can be obtained, but it is preferable to use a dry process such as a vapor deposition method, a sputtering method, or a CVD method.

第一キャン6に沿った状態で、補助層47とリチウム層48とが離型層46上に積層された基板45と、活物質層21が形成された集電体22とは、転写ローラ4Aと転写ローラ4Bとの間に導かれ、リチウム層48と補助層47とが一体となって活物質層21に転写される。リチウム層48と補助層47とが一体となって転写された積層体は、図5に示したような負極20として、巻き取りロール3Bに巻き取られる。図3に示したように補助層47がパターン形成されている場合には、図4に示したように補助層47のパターン上に形成されたリチウム層48と補助層47とが活物質層21に転写し、補助層47がなく、基板45上の離型層46に直接形成されたリチウム層は剥離・転写しないまま、基板45と共に巻き取りロール3Aに巻き取られる。この転写方法によればリチウムの表面が活性な状態で活物質層21に転写を行うことが出来る点が特に好ましい。   The substrate 45 in which the auxiliary layer 47 and the lithium layer 48 are stacked on the release layer 46 in the state along the first can 6 and the current collector 22 on which the active material layer 21 is formed include the transfer roller 4A. And the transfer roller 4B, and the lithium layer 48 and the auxiliary layer 47 are integrally transferred to the active material layer 21. The laminated body in which the lithium layer 48 and the auxiliary layer 47 are integrally transferred is wound around the winding roll 3B as the negative electrode 20 as shown in FIG. When the auxiliary layer 47 is patterned as shown in FIG. 3, the lithium layer 48 and the auxiliary layer 47 formed on the pattern of the auxiliary layer 47 as shown in FIG. The lithium layer formed without the auxiliary layer 47 and directly formed on the release layer 46 on the substrate 45 is wound around the winding roll 3A together with the substrate 45 without being peeled off or transferred. According to this transfer method, it is particularly preferable that transfer can be performed on the active material layer 21 while the surface of lithium is active.

こうした手法により得られた負極20は、LiCoO2、LiNiO2、LiMn2O4などといった一般的に使用される正極活物質を含む正極板と、微多孔性フィルムなどからなるセパレータと、6フッ化リン酸リチウムなどをエチレンカーボネートやプロピレンカーボネートなどの環状カーボネート類に溶解した、一般に知られている組成のリチウムイオン伝導性を有する電解液と共に用いることで、リチウム二次電池が作製出来る。   The negative electrode 20 obtained by such a method includes a positive electrode plate containing a commonly used positive electrode active material such as LiCoO2, LiNiO2, LiMn2O4, a separator made of a microporous film, lithium hexafluorophosphate, and the like. A lithium secondary battery can be produced by using together with an electrolytic solution having lithium ion conductivity of a generally known composition dissolved in cyclic carbonates such as ethylene carbonate and propylene carbonate.

また、負極20を活性炭等の一般的に電気2重層キャパシタに使用される正極板と、微多孔性フィルムなどからなるセパレータと、6フッ化リン酸リチウムなどをエチレンカーボネートやプロピレンカーボネートなどの環状カーボネート類に溶解した、一般に知られている組成のリチウムイオン伝導性を有する電解液と共に用いることで、電気2重層キャパシタが作製出来る。   In addition, the negative electrode 20 is a positive electrode plate generally used for an electric double layer capacitor such as activated carbon, a separator made of a microporous film, and lithium hexafluorophosphate is a cyclic carbonate such as ethylene carbonate or propylene carbonate. An electric double layer capacitor can be manufactured by using together with an electrolytic solution having a lithium ion conductivity of a generally known composition dissolved in a kind.

電気2重層キャパシタに用いる負極にはカーボン系材料を用いることも可能であり、ケイ素と酸素とを含む化合物、ケイ素と窒素とを含む化合物、スズと酸素とを含む化合物、またはスズと窒素とを含む化合物を用いることも可能である。カーボン系材料を用いる場合にはバインダーを用いた一般的な塗工法を適用することが出来るが、蒸着法、スパッタ法、CVD法などのドライプロセスを用いることも可能である。   It is also possible to use a carbon-based material for the negative electrode used in the electric double layer capacitor. A compound containing silicon and oxygen, a compound containing silicon and nitrogen, a compound containing tin and oxygen, or tin and nitrogen are used. It is also possible to use compounds containing. When a carbon-based material is used, a general coating method using a binder can be applied, but a dry process such as an evaporation method, a sputtering method, or a CVD method can also be used.

また、本発明の負極は、円筒型、扁平型、コイン型、角形等の様々な形状のリチウム二次電池に適用可能であり、電池の形状や封止形態は特に限定されない。   The negative electrode of the present invention can be applied to lithium secondary batteries having various shapes such as a cylindrical shape, a flat shape, a coin shape, and a square shape, and the shape and sealing form of the battery are not particularly limited.

また、本発明の負極は、円筒型、扁平型、コイン型、角形等の様々な形状の電気2重層キャパシタに適用可能であり、キャパシタの形状や封止形態は特に限定されない。   Further, the negative electrode of the present invention can be applied to electric double layer capacitors having various shapes such as a cylindrical shape, a flat shape, a coin shape, and a square shape, and the shape and sealing form of the capacitor are not particularly limited.

以下、本発明を実施例に基づいて説明する。   Hereinafter, the present invention will be described based on examples.

(実施例1)
株式会社麗光製の離型フィルムBL7(商品名:フィルム厚さ16μm。樹脂フィルム上に離型層が形成されたもの。)の上に、補助層としてのアルミ層を形成した。アルミ層は、電子ビーム真空蒸着法でメタルマスクを用いて成膜速度3nm/秒でパターン形成し、厚さ1μmの層とした。なお、離型フィルムは、長さ、幅が共に100mmで、アルミ層は長さ、幅が共に30mmで、10mmの間隔をあけて2カ所に設けた。
Example 1
An aluminum layer as an auxiliary layer was formed on a release film BL7 manufactured by Reiko Co., Ltd. (trade name: film thickness 16 μm, with a release layer formed on a resin film). The aluminum layer was patterned by an electron beam vacuum deposition method using a metal mask at a film formation rate of 3 nm / second to form a layer having a thickness of 1 μm. The release film was 100 mm in both length and width, and the aluminum layer was both 30 mm in length and width, and was provided at two locations with an interval of 10 mm.

さらに2カ所のアルミ層を覆うように、抵抗加熱蒸発法で厚さ3μmのリチウムを成膜速度20nm/sで形成し、図3に示すような転写用フィルムを作製した。作成した転写用フィルムを、別途銅箔上に作製した酸化シリコン薄膜(酸化シリコンの組成:SiO0.5、厚さ20μm)に約2×105Pa(約2kgf/cm2)で押圧したところ、図4に示すようにアルミ層のパターン形成に沿って、酸化シリコン薄膜上にリチウム層とアルミ層が転写された。この極板は二次電池の構成が可能である。   Further, lithium having a thickness of 3 μm was formed at a deposition rate of 20 nm / s by resistance heating evaporation so as to cover two aluminum layers, and a transfer film as shown in FIG. 3 was produced. When the created transfer film was pressed against a silicon oxide thin film (silicon oxide composition: SiO 0.5, thickness 20 μm) separately produced on a copper foil at about 2 × 10 5 Pa (about 2 kgf / cm 2), FIG. As shown, the lithium layer and the aluminum layer were transferred onto the silicon oxide thin film along the pattern formation of the aluminum layer. This electrode plate can be configured as a secondary battery.

(実施例2)
株式会社麗光製の離型フィルムBL7(商品名:フィルム厚さ16μm。樹脂フィルム上に離型層が形成されたもの。)の上に、補助層としてのアルミ層を形成した。アルミ層は、電子ビーム真空蒸着法でメタルマスクを用いて成膜速度3nm/秒でパターン形成し、厚さ1μmの層とした。なお、離型フィルムは、長さ、幅が共に100mmで、アルミ層は長さ、幅が共に30mmで、10mmの間隔をあけて2カ所に設けた。
(Example 2)
An aluminum layer as an auxiliary layer was formed on a release film BL7 manufactured by Reiko Co., Ltd. (trade name: film thickness 16 μm, with a release layer formed on a resin film). The aluminum layer was patterned by an electron beam vacuum deposition method using a metal mask at a film formation rate of 3 nm / second to form a layer having a thickness of 1 μm. The release film was 100 mm in both length and width, and the aluminum layer was both 30 mm in length and width, and was provided at two locations with an interval of 10 mm.

さらに2カ所のアルミ層を覆うように、抵抗加熱蒸発法で厚さ1μmのリチウムを成膜速度20nm/sで形成し、図3に示すような転写用フィルムを作製した。作成した転写用フィルムを、別途銅箔上に作製した酸化シリコン薄膜(酸化シリコンの組成:SiO0.5、厚さ5μm)に約2×105Pa(約2kgf/cm2)で押圧したところ、図4に示すようにアルミ層のパターン形成に沿って、酸化シリコン薄膜上にリチウム層とア
ルミ層が転写された。この極板を用いて電気2重層キャパシタを構成し、充放電が可能である。
Further, lithium having a thickness of 1 μm was formed at a deposition rate of 20 nm / s by resistance heating evaporation so as to cover two aluminum layers, and a transfer film as shown in FIG. 3 was produced. When the produced transfer film was pressed at about 2 × 10 5 Pa (about 2 kgf / cm 2) against a silicon oxide thin film (silicon oxide composition: SiO 0.5, thickness 5 μm) separately produced on a copper foil, FIG. As shown, the lithium layer and the aluminum layer were transferred onto the silicon oxide thin film along the pattern formation of the aluminum layer. Using this electrode plate, an electric double layer capacitor can be constructed and charged and discharged.

(実施例3)
株式会社麗光製の離型フィルムBL7(商品名:フィルム厚さ16μm。樹脂フィルム上に離型層が形成されたもの。)の上に、補助層としての銅層を形成した。銅層は、電子ビーム真空蒸着法でメタルマスクを用いて成膜速度5nm/秒でパターン形成し、厚さ50nmの層とした。なお、離型フィルムは、長さ、幅が共に100mmで、銅層は長さ、幅が共に30mmで、10mmの間隔をあけて2カ所に設けた。
(Example 3)
A copper layer as an auxiliary layer was formed on a release film BL7 (trade name: film thickness: 16 μm, having a release layer formed on a resin film) manufactured by Reiko Co., Ltd. The copper layer was patterned by an electron beam vacuum deposition method using a metal mask at a film formation rate of 5 nm / second to form a layer having a thickness of 50 nm. The release film was 100 mm in length and width, and the copper layer was 30 mm in length and width. The release film was provided at two locations with an interval of 10 mm.

さらに2カ所の銅層を覆うように、抵抗加熱蒸発法で厚さ2μmのリチウムを成膜速度40nm/sで形成し、図3に示すような転写用フィルムを作製した。作成した転写用フィルムを、別途銅箔上に作製したカーボン薄膜(厚さ100μm)に約400kPa(約4kgf/cm2)で押圧したところ、図4に示すように銅層のパターン形成に沿って、カーボン薄膜上にリチウム層と銅層が転写された。この極板を用いて電気2重層キャパシタを構成したところ、充放電が可能であることが確認できた。   Further, lithium having a thickness of 2 μm was formed at a deposition rate of 40 nm / s by resistance heating evaporation so as to cover two copper layers, and a transfer film as shown in FIG. 3 was produced. When the created transfer film was pressed at about 400 kPa (about 4 kgf / cm 2) onto a carbon thin film (thickness 100 μm) separately produced on a copper foil, as shown in FIG. 4, along the pattern formation of the copper layer, A lithium layer and a copper layer were transferred onto the carbon thin film. When an electric double layer capacitor was configured using this electrode plate, it was confirmed that charging / discharging was possible.

本発明にかかる転写用フィルム、およびそれを用いて形成された電気化学素子用二次電池用負極ならびにリチウム二次電池及び電気2重層キャパシタは、活物質に不可逆容量相当のリチウムを簡便に付与し、高性能活物質の特性を引き出すこと等が可能となるので、二次電池用負極、およびそれを用いたリチウム二次電池として有用である。   The transfer film according to the present invention, and the negative electrode for a secondary battery for an electrochemical device, the lithium secondary battery, and the electric double layer capacitor formed using the transfer film can easily impart lithium corresponding to an irreversible capacity to an active material. Since the characteristics of the high-performance active material can be extracted, it is useful as a negative electrode for a secondary battery and a lithium secondary battery using the same.

1 排気ポンプ
2 真空槽
3、3A、3B 巻き取りロール
4A、4B 転写ローラ
5 搬送ローラ
6 第一キャン
7 第二キャン
8、8B 巻き出しロール
9 活物質付与源
10 遮蔽板
11 ガス導入管
13 補助層付与源
14 第三キャン
20 負極
21 活物質層
22 集電体
45 基板
46 離型層
47 補助層
48 リチウム層
46 リチウム付与源
49 転写フィルム
50 被転写体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Exhaust pump 2 Vacuum tank 3, 3A, 3B Winding roll 4A, 4B Transfer roller 5 Conveying roller 6 1st can 7 2nd can 8, 8B Unwinding roll 9 Active material provision source 10 Shielding plate 11 Gas introduction pipe 13 Auxiliary Layer application source 14 Third can 20 Negative electrode 21 Active material layer 22 Current collector 45 Substrate 46 Release layer 47 Auxiliary layer 48 Lithium layer 46 Lithium application source 49 Transfer film 50 Transfer object

Claims (3)

表面に離型層が形成された基板を準備する工程と、
前記離型層上に、リチウムよりも前記離型層に対する反応性の低い、補助層を形成する工程と、
前記補助層上にリチウムを蒸着する工程と、を有する転写用フィルムの製造方法。
Preparing a substrate having a release layer formed on the surface;
Forming an auxiliary layer on the release layer, which is less reactive to the release layer than lithium;
And a step of depositing lithium on the auxiliary layer.
前記補助層が銅、アルミ、ニッケルの少なくとも一つを含む金属、金属酸化物もしくは金属窒化物である、請求項1に記載の転写用フィルムの製造方法。   The method for producing a transfer film according to claim 1, wherein the auxiliary layer is a metal, metal oxide, or metal nitride containing at least one of copper, aluminum, and nickel. 表面に離型層が形成された基板を準備する工程と、
前記離型層上に、リチウムよりも前記離型層に対する反応性の低い、補助層を形成する工程と、
前記補助層上にリチウムを蒸着し、転写用フィルムを作製する工程と、
集電体上に活物質が形成された、負極を準備する工程と、
前記転写用フィルムと前記負極とを接合し、前記補助層および前記リチウム層を転写する工程とを、含む電気化学素子用の極板の製造方法。
Preparing a substrate having a release layer formed on the surface;
Forming an auxiliary layer on the release layer, which is less reactive to the release layer than lithium;
Depositing lithium on the auxiliary layer to produce a transfer film;
A step of preparing a negative electrode in which an active material is formed on a current collector;
A method for producing an electrode plate for an electrochemical device, comprising: joining the transfer film and the negative electrode, and transferring the auxiliary layer and the lithium layer.
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