JP5467937B2 - エッジ研磨形状コントロール可能エアフロート研磨ヘッド - Google Patents
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Description
ゾーンリングとしたエッジ研磨形状コントロール可能エアフロート研磨ヘッドを提供する。
2 ヘッド本体
4 バックプレート用エアバック
5 リテーナリング
6 リテーナリング用エアバック
7 電空レギュレータ
8 電空レギュレータ
9 ドライブ機構
10 バックプレート押圧部材
11 リテーナリングホルダ
12 スナップリング
13 リテーナリング押圧部材
14 スナップリングカバー
15 弾性シート
17 マスフローコントローラ
18 エア吹出し口
19 圧力エア層
20 バックプレート
21a〜21c リムリング
22 後退傾向付与機構
23a〜23c ピン孔
24 ピン
25a〜25c 圧縮ばね
26 リムリング押出し機構
27a〜27c リム押出し用エアバック
28 固定金具
29 ねじ
30a〜30c 電空レギュレータ
31a〜31c エア供給孔
32 Oリング
33 ゾーンリング
33a エア溝
Claims (1)
- ウェーハを、該ウェーハの裏面とバックプレート下面との間に形成した圧力エア層を介してプラテン上の研磨パッドに押し付け、前記プラテンに対し相対回転させて前記ウェーハを研磨するエッジ研磨形状コントロール可能エアフロート研磨ヘッドであって、
前記バックプレート下面に、前記圧力エア層の外周部を形成するためのリムリングの複数個を前記バックプレート下面に対し各別に進退自在で且つ常時後退傾向を付与して同心状に連設し、前記複数個のリムリングのうちのいずれかもしくは相隣るリムリングの複数個を前記バックプレート下面から突出させることにより前記リムリングの径及び/又は幅を可変としてウェーハのエッジ研磨形状をコントロール可能に構成し、
上記複数個のリムリングのうちの最外周部のリングは、径方向と同方向に複数のエア溝を形成して局所加圧を行うためのゾーンリングとしたことを特徴とするエッジ研磨形状コントロール可能エアフロート研磨ヘッド。
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