JP5467634B2 - クリーン化搬送システムにおけるワーク搬送装置 - Google Patents
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Images
Description
機体に設けた1対の回転輪とそれらに掛け回した動索とから成る搬送機構、
上記搬送機構を一対の回転輪の軸方向へ複数個並設するとともに、1番目の動索と2番目の機体、2番目の動索と1番目の機体というように動索と機体を順次結合し、それによって1番目を除く全ての機体が実質的に前後方向へ移動可能にした構成、
上記搬送機構の任意の段の動索にワークを保持する保持部材を設けた構成、
任意の段の動索と隣接する段の機体を結合する固定部を有する移動ユニット、
上記動索による移動ユニットの移動方向を直線方向に規定するために、各段の機体に設けられ、かつ、回転輪の軸方向から見て搬送機構を構成する1対の回転輪と動索により囲まれた領域に配置されるトラックレール、
を具備し、
上記移動ユニットとトラックレールとが転動するベアリングを介して接触するように構成するという手段を講じたものである。
1番目の動索24‐1と2番目の機体21‐2を固定部Pで結合し、2番目の動索24‐2と1番目の機体21‐1を固定部Qで結合し、以下同様に
2番目の動索24‐2と3番目の機体21‐3(固定部P)、3番目の動索24‐3と2番目の機体21‐2(固定部Q)、
3番目の動索24‐3と4番目の機体21‐4(固定部P)、4番目の動索24‐4と3番目の機体21‐3(固定部Q)、
というように動索と機体を順次結合し、4番目の動索24‐4にワークを保持する保持部材30を取り付けている。
1番目の動索24‐1と固定部Pで結合した2番目の機体21‐2、2番目の動索24‐2と固定部Qで結合した1番目の機体21‐1と動力が伝達され、以下同様に、
2番目の動索24‐2と3番目の機体21‐3(固定部P)、3番目の動索24‐3と2番目の機体21‐2(固定部Q)、
3番目の動索24‐3と4番目の機体21‐4(固定部P)、4番目の動索24‐4と3番目の機体21‐3(固定部Q)、
と動力が順次伝達され、4番目の動索24‐4に取り付けた保持部材30に保持されているウエハ11が前進する。
11 ウエハ(ワーク)
12 搬送部
14、15 工程装置内部
16、17 支軸
18、19 軸受け
20 ワーク搬送機
21 機体
22、23 回転輪
24 動索
25 搬送機構
26 トラックレール
27、28 移動ユニット
29 ワーク搬送機基台
30 保持部材
31 長溝
32 ブラケット
33a 通気口
33b 吸引口
34 閉じ板
35 吸引配管
36 位置決め機構
Claims (7)
- クリーン化された空間にてワークに対する必要な加工、処理を行うために、上記空間に配置された装置類に対してワーク授受を行うクリーン化搬送システムにおいて、
各工程の装置類にワークを搬送するワーク搬送機を具備し、
ワーク搬送機は、
機体に設けた1対の回転輪とそれらに掛け回した動索とから成る搬送機構、
上記搬送機構を一対の回転輪の軸方向へ複数個並設するとともに、1番目の動索と2番目の機体、2番目の動索と1番目の機体というように動索と機体を順次結合し、それによって1番目を除く全ての機体が実質的に前後方向へ移動可能にした構成、
上記搬送機構の任意の段の動索にワークを保持する保持部材を設けた構成、
任意の段の動索と隣接する段の機体を結合する固定部を有する移動ユニット、
上記動索による移動ユニットの移動方向を直線方向に規定するために、各段の機体に設けられ、かつ、回転輪の軸方向から見て搬送機構を構成する1対の回転輪と動索により囲まれた領域に配置されるトラックレール、
を具備し、
上記移動ユニットとトラックレールとが転動するベアリングを介して接触するように構成された
クリーン化搬送システムにおけるワーク搬送装置。 - 搬送機構において、回転輪の支軸に接触する軸受けが転がり軸受けによって構成されている請求項1記載のクリーン化搬送システムにおけるワーク搬送装置。
- ワーク搬送機において、1番目の搬送機構の左右何れかの側方に2番目の搬送機構、2番目の搬送機構の回転輪の軸方向の側方に3番目の搬送機構というように複数個の搬送機構が左右横方向に配列されるように構成した請求項1記載のクリーン化搬送システムにおけるワーク搬送装置。
- ワーク搬送機における最終の移動部分乃至任意の移動部分の精密な位置制御のために、1番目の回転輪から最終の回転輪迄の全ての回転輪をタイミング伝動用回転輪によって構成し、かつ、全ての回転輪に掛け回す動索をタイミング伝動用動索によって構成することにより、ワーク搬送機全体がタイミング伝動用動索によって繋がっており、上記タイミング伝動用回転輪の駆動機としてステッピングモーター又はサーボモーターを組み合わせることを特徴とする請求項1記載のクリーン化搬送システムにおけるワーク搬送装置。
- ワーク搬送機は、複数個の搬送機構が1番目の機体の位置に並んだ縮長状態においてワークを受け取るように縮長状態における1番目の機体の近傍に保持部材を配置するか、或いは、縮長状態から複数個の搬送機構が最終段まで伸び切る伸長位置までの間の任意の位置でワークを受け取るように保持部材を配置し、保持部材でワークを受け取り、その位置から伸長位置又は縮長状態までの間の任意の位置へワークを置きに行くように保持部材を移動させる構成を有する請求項1又は4記載のクリーン化搬送システムにおけるワーク搬送装置。
- クリーンエアが鉛直方向層流であり、複数の機体のそれぞれに設けられた搬送機構が水平面内スタックの配置を取り、かつ、全ての搬送機構は回転輪の軸方向へ複数個並設されている配置を取る請求項1記載のクリーン化搬送システムにおけるワーク搬送装置。
- クリーンエアの層流方向と交差する機体部分は、クリーンエアの層流方向にほぼ沿うエア通過部として各機体の間に形成した隙間を有する請求項1記載のクリーン化搬送システムにおけるワーク搬送装置。
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