JP5456513B2 - 液体材料の気化方法 - Google Patents
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INC.社製BARATRON690Aを用いて測定を行った。
N2 100cc/min
CH4 30cc/min
CF4 50cc/min
CO2 20cc/min
102 流体制御バルブ、
103 装置(チャンバ)、
104 圧力計、
105 流量調整器連動流体制御バルブ、
106 ポンプ、
107 FT−IR用覗き窓、
108 反射板、
201 流量調整バルブ、
202 圧力制御式流量調整器、
203 ガス供給システム、
204 電気回路、
205 圧力計1、
206 流量調整器、
207 圧力計2、
208 装置(チャンバ)M、
209 ポンプ1、
210 ポンプ2、
301 液体材料ガス溶媒用ボトル、
302 流体制御器(バルブ)、
303 液体材料ガス溶媒圧送用ボンベ、
304 液体材料ガス溶媒シリンダ、
305 流体気化器、
306 圧力制御式流量制御器、
307 フランジ、
308a シリコンウェハ(気化器下流側)、
308b シリコンウェハ(流量制御器下流側)、
309 ポンプ、
310 減圧弁、
311 圧力センサ(高圧用)、
312 圧力センサ(低圧用)、
313 FT−IR。
Claims (1)
- 液体材料を流体気化器内に導入し、液体材料を気化させる方法において、
該流体気化器の下流部の流量制御器を圧力制御式流量制御器とし、該流体気化器の下流部に該圧力制御式流量制御器と開度可変型流体制御バルブもしくは排気速度可変型真空装置を設け、
前記流体気化器の気化器上流部及び下流部に備えたオリフィスにより前記上流側圧力を
前記下流側圧力の10倍以上として、
前記流量制御器において前記液体材料は再液化されず、気化されるように前記流量制御器の上流及び下流まで圧力を制御することを特徴とする液体材料の気化方法。
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JPH1046343A (ja) * | 1996-04-05 | 1998-02-17 | Ebara Corp | 液体原料気化装置及びガス噴射装置 |
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