JP5455030B2 - 包装容器内プラズマ処理方法およびその装置 - Google Patents
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Description
2 電源
3 回転台
4 包装容器
5 冷却ファン
6 処理対象物
7 発泡スチロール
8 銅板電極
9 アルミメッシュ電極
10 交流電源
11 ポリエチレン容器
12 プラズマ
Claims (16)
- 内側に柱材が設けられるもしくは内側の表面に凹凸が形成された包装容器内に前記包装容器の内側表面と非密着状態となるように処理対象物を入れ、密閉する包装工程と、
前記包装工程後の前記包装容器を大気圧下において離間配置され、一方の板電極が羽根型に形成された少なくとも一対の板電極の中間位置に配置した後、前記一方の板電極を前記一対の板電極の離間方向に直交する垂直面上において前記一対の板電極間に電圧を印加する電源からの配線部との接触状態と非接触状態とを繰り返すように高速回転させることにより前記一対の電極間の接続のON/OFFを高速で切り換えながら前記一対の板電極間に電圧を印加して前記包装容器内にプラズマを間歇的に発生させる第1プラズマ処理工程と
を有することを特徴とする包装容器内プラズマ処理方法。 - 内側に柱材が設けられるもしくは内側の表面に凹凸が形成された包装容器内に前記包装容器の内側表面と非密着状態となるように処理対象物を入れるとともに、プラズマガスを封入した後、密閉するガス封入包装工程と、
前記ガス封入包装工程終了後の前記包装容器を大気圧下において離間配置され、一方の板電極が羽根型に形成された少なくとも一対の板電極の中間位置に配置した後、前記一方の電極を前記一対の電極の離間方向に直交する垂直面上において前記一対の板電極間に電圧を印加する電源からの配線部との接触状態と非接触状態とを繰り返すように高速回転させることにより前記一対の電極間の接続のON/OFFを高速で切り換えながら前記一対の板電極間に電圧を印加して前記包装容器内にプラズマを間歇的に発生させる第2プラズマ処理工程とを有することを特徴とする包装容器内プラズマ処理方法。 - 前記プラズマガスは、ヘリウムガス、ネオンガス、アルゴンガス、クリプトンガス、キセノンガスおよび窒素ガスから選択される第1のガスと、酸素ガス、窒素ガスと酸素ガスの混合ガス、空気、過酸化水素ガス、水蒸気、酢酸ガス、塩素ガス、臭素ガスおよびフッ素ガスから選択される第2のガスとからなることを特徴とする請求項2に記載の包装容器内プラズマ処理方法。
- 前記プラズマガスは、ヘリウムガス、ネオンガス、アルゴンガス、クリプトンガス、キセノンガスおよび窒素ガスから選択される第1のガスと、キセノンガス、ヘリウムガス、水銀ガスおよびアルゴンガスから選択される第3のガスとからなることを特徴とする請求項2に記載の包装容器内プラズマ処理方法。
- 前記プラズマガスは、ヘリウムガス、ネオンガス、アルゴンガス、クリプトンガス、キセノンガスおよび窒素ガスから選択される第1のガスと、窒素ガスおよび酸素ガスから選択される第4のガスとからなることを特徴とする請求項2に記載の包装容器内プラズマ処理方法。
- 前記プラズマガスは、ヘリウムガス、ネオンガス、アルゴンガス、クリプトンガス、キセノンガスおよび窒素ガスから選択される第1のガスと、アルゴンガスおよび水素ガスから選択される第5のガスとからなることを特徴とする請求項2に記載の包装容器内プラズマ処理方法。
- 前記一対の電極はCO2またはSF6の雰囲気中に離間配置されていることを特徴とする請求項2乃至請求項6のいずれか1項に記載の包装容器内プラズマ処理方法。
- 前記ガス封入包装工程において、前記包装容器内に前記プラズマガスを封入する前に包装容器内のガスを抜くことを特徴とする請求項2乃至請求項7のいずれか1項に記載の包装容器内プラズマ処理方法。
- 前記第1プラズマ処理工程終了後または前記第2プラズマ処理工程終了後において、前記包装容器内のガスを抜くことを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の包装容器内プラズマ処理方法。
- 前記一対の電極間に印加される電圧は高周波電圧であって、高周波の周波数を掃引させることを特徴とする請求項1乃至請求項9のいずれか1項に記載の包装容器内プラズマ処理方法。
- 前記一対の電極間に印加される電圧を供給する電源の位相を掃引させることを特徴とする請求項1乃至請求項9のいずれか1項に記載の包装容器内プラズマ処理方法。
- 前記一対の電極間に印加される電圧はバースト状であることを特徴とする請求項1乃至請求項9のいずれか1項に記載の包装容器内プラズマ処理方法。
- 前記一対の電極間に印加される電圧はパルス状であって、パルス幅を短く設定されていることを特徴とする請求項1乃至請求項9のいずれか1項に記載の包装容器内プラズマ処理方法。
- 前記第1プラズマ処理工程または前記第2プラズマ処理工程において、前記包装容器を冷却することを特徴とする請求項1乃至請求項13のいずれか1項に記載の包装容器内プラズマ処理方法。
- 大気圧下において、垂直方向に離間して平行に配置され、一方の電極が羽根型板電極とされ他方の電極が板電極とされた少なくとも一対の板電極と、
前記一対の板電極間に電圧を印加する電源と、
内部に内側表面と非密着状態となるように処理対象物を入れるとともに、プラズマガスを封入して密閉可能とされ、内側に柱材が設けられるもしくは内側の表面に凹凸が形成された包装容器とを備え、
内部に処理対象物およびプラズマガスを密閉した包装容器を少なくとも前記一対の板電極の中間位置に配置させた後、前記一方の板電極を前記一対の板電極の離間方向に直交する垂直面上において前記一対の板電極間に電圧を印加する電源からの配線部との接触状態と非接触状態とを繰り返すように高速回転させることにより前記一対の電極間の接続のON/OFFを高速で切り換えながら前記一対の板電極間に電圧を印加して前記包装容器内にプラズマを間歇的に発生させて前記包装容器内の前記処理対象物をプラズマ処理することを特徴とする包装容器内プラズマ処理装置。 - 前記一対の板電極の中間位置に前記一対の板電極と平行に配設された回転台と、
前記回転台を水平面上において回転駆動する駆動手段とを備え、
内部に処理対象物およびプラズマガスを密閉した包装容器を前記回転台の上に載置した後、前記回転台を回転駆動させて前記包装容器を自転させつつ、前記一対の板電極間に電圧を印加することにより、前記包装容器内の処理対象物をプラズマ処理することを特徴とする請求項15に記載の包装容器内プラズマ処理装置。
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