JP5441083B1 - プラズマ処理装置およびそのシール方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1及び図2に示したプラズマ処理装置1(以下、装置1という。)は、例えば、プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)等の各種プラズマ処理に用いられる。この装置1は、図7において説明したプラズマ処理装置と基本構造は同様である。すなわち、装置1は、図7において説明したと同様に、処理チャンバ10、サセプタ14、同軸管20、誘電体板34および電極36を有する。本実施形態は、これらの構成に加えて、シール部材60、シール用金属70,71、および、放電防止部材100を有するが、誘電体板34と上蓋13との間をシールするOリング40は存在しない。
次に、図3〜図6を参照して、本発明の他の実施形態に係るプラズマ処理装置について説明する。なお、図3〜図6において、第1実施形態と同様の構成部分については同様の符号を使用している。本実施形態では、放電防止部材の他の態様および同軸管の他の態様について説明する。
上記実施形態では、シール金属を用いて、シール部材を接続したが、これに限定されるわけではなく、シール部材をロウ付け、溶接等により、内部導体および外部導体に直接接続することも可能である。
10 処理チャンバ
13 蓋体(外部導体)
13h 開口
14 サセプタ
20,20A 同軸管
21 内部導体
22 外部導体
34 誘電体板
36 電極
60 シール部材
70,71 シール用金属
100 放電防止部材
150 導電性弾性部材
200 シロッコファン
Claims (2)
- 密閉空間を画定する処理チャンバと、
前記密閉空間内に設けられたプラズマ形成用の電極と、
前記処理チャンバの外部から、当該処理チャンバに形成された開口を通じて、前記プラズマ形成用の電極に向かって延在する内部導体と、
前記内部導体の周囲を囲み、前記内部導体との間に空隙を画定するとともに、前記開口を画定する外部導体と、
前記内部導体および外部導体に接続されて、前記空隙を大気側の空間と前記密閉空間に連通する空間とに隔てるための、絶縁体で形成されたシール部材と、
前記空隙のうち、前記シール部材に対して前記密閉空間側に形成される空間を埋める、絶縁体で形成された放電防止部材と、を有し、
前記シール部材は、シール用金属を介して、前記内部導体および外部導体にそれぞれ接続されている、ことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 密閉空間を画定する処理チャンバと、
前記密閉空間内に設けられたプラズマ形成用の電極と、
前記処理チャンバの外部から、当該処理チャンバに形成された開口を通じて、前記プラズマ形成用の電極に向かって延在する内部導体と、
前記内部導体の周囲を囲み、前記内部導体との間に空隙を画定するとともに、前記開口を画定する外部導体と、を有するプラズマ処理装置のシール方法であって、
絶縁体で形成されたシール部材を前記内部導体および外部導体に接続して、前記空隙を大気側の空間と前記密閉空間に連通する空間とに隔て、
前記空隙のうち、前記シール部材に対して前記密閉空間側に形成される空間を絶縁体で埋め、
シール用金属を介して、前記シール部材を前記内部導体および外部導体にそれぞれ接続する、ことを特徴とするプラズマ処理装置のシール方法。
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