JP5434779B2 - 把持装置 - Google Patents

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Description

本発明は、形状が異なる複数種類のワークを確実に把持することができる把持装置の技術に関する。
従来、ワークや製品等を把持する把持装置において、外形形状が異なる複数種類のワークを取り扱う場合には、把持装置のワーク等と直接接触する部位である当接部を、各ワークの形状に対応したものに交換する等の手間が生じていた。このため、外形形状が異なる複数種類のワークをフレキシブルに取り扱うことができる把持装置の開発が望まれていた。
そこで、外形形状が異なる複数種類のワークを良好に把持することができる把持装置の技術が種々検討されており、例えば、以下に示す特許文献1にその技術が開示され公知となっている。
特許文献1に開示されている従来技術では、可撓性を有する皮膜内に多数の粒状物を内包し、真空ポンプ等を用いて、皮膜内を減圧または減圧解除することにより、様々な外形形状に対応できる当接部を備える把持装置が開示されている。
当該把持装置では、ロボットアーム等の支持装置の手先部に当接部を配設している。
そして、ロボットアーム等の把持動作によって、当接部をワーク等に当接させて、該当接部をワーク等の形状に倣わせておき、その後、当接部内を減圧することによって、皮膜内の多数の粒状物を緊密に係留させて、当接部の形状がワーク形状に倣った状態を保持するようにしている。
また当該把持装置では、当接部内の減圧状態を解除することによって、当接部を定常形状に復元させるようにしている。
そして、このような従来の把持装置を用いることによって、当接部の形状を様々なワーク等の外形形状に対応させることができるため、外形形状が異なる複数種類のワークを取り扱う場合において、各ワークを安定して把持することができる。
特開平9−123082号公報
しかしながら、従来の把持装置を採用する場合において、当接部を硬化させるためには、例えば、真空ポンプやエジェクター等を備える真空排気設備が必要となるため、把持装置の装置構成の複雑化を招き、設備費用が増大する要因となったり、あるいは、真空排気設備との関係で設備レイアウトの制約を受けたりする、等の課題があった。
このため、真空排気設備を必要としない、安価で簡易な構成の把持装置に対するニーズが存在していた。
本発明は、斯かる現状の課題を鑑みてなされたものであり、真空排気設備を必要としない簡易な構成で、当接部を硬化させることができる把持装置を提供することを目的としている。
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
即ち、請求項1においては、ワークを挟圧する複数の挟圧部を有する爪部と、弾性を有する素材からなる袋部材と、該袋部材に充填される粒状物と、を備え、前記袋部材の内容積に対する前記粒状物の体積比率を増大させることにより、前記粒状物を任意の形状を保持しつつ硬化させる、前記挟持部の前記ワークと当接する部位に付設される当接部と、を有する、前記ワークを把持するための把持部を備える把持装置であって、前記袋部材の内部と外部を連通する連通部材と、前記連通部材が形成する流体の流通経路上に配設する、該流通経路における流体の流れ方向を前記袋部材の内部から外部へ向かう方向に規制する逆止弁と、前記袋部材と前記逆止弁を連通する前記連通部材から分岐して延設した前記連通部材が形成する流体の流通経路上に配設する開閉可能な開閉弁と、を備え、前記複数の挟圧部により、前記当接部を介して前記ワークを挟持し、前記当接部を前記ワークに押圧することにより、前記袋部材の内部に存在する流体を、前記連通部材および前記逆止弁を通じて、前記袋部材の外部に流出させて、前記袋部材の内部を減圧するものである。
請求項2においては、前記袋部材の内部が減圧されているときにおいて、前記開閉弁を開放することにより、前記袋部材の外部から、前記連通部材および前記開閉弁を通じて、前記袋部材の内部に流体を流入させるものである。
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
請求項1においては、真空排気設備を必要としない簡易な構成で、当接部を硬化させることができる。
請求項2においては、簡易な構成で、当接部を軟化させることができる。
本発明の一実施形態に係る把持装置の全体構成を示す模式図。 本発明の一実施形態に係る把持装置の把持部を示す模式図、(a)把持部を示す正面模式図、(b)A−A断面模式図、(c)B−B断面模式図。 本発明の一実施形態に係る把持装置における当接部を示す模式図。 挟持部に対する当接部の取付状態を示す部分正面模式図。 本発明の一実施形態に係る把持装置によるワークの把持状態を示す模式図、(a)正面模式図、(b)平面模式図。 本発明の別実施形態に係る把持装置の全体構成を示す模式図。 本発明の一実施形態に係る把持装置を備える移送装置を示す模式図、(a)移送装置の全体構成を示す模式図、(b)移送装置における把持装置に対する装置接続状態を示す模式図。 把持装置によるワークの把持状況を示す模式図、(a)把持する前の状態を示す模式図、(b)把持状態(当接部をワークに押圧した状態)を示す模式図。 ワークの把持状態における当接部の硬化状態を示す側面断面模式図。 把持装置によるワークの把持状況を示す模式図、(a)把持状態(当接部が硬化した状態)を示す模式図、(b)把持を解除した状態(減圧状態を破壊した状態)を示す模式図。
次に、発明の実施の形態を説明する。
まず始めに、本発明の一実施形態に係る把持装置の全体構成について、図1〜図6を用いて説明をする。
図1に示す如く、本発明の一実施形態に係る把持装置1は、ワーク等を把持して保持するための装置であり、把持部2、制御装置7、連通配管8、逆止弁9、開閉弁10等を備えている。
把持部2は、把持装置1におけるワークを直接把持する部位を構成するものであり、駆動部3、複数の爪部4・5、複数の当接部6・6・・・等を備えている。
図1および図2(a)(b)(c)に示す如く、駆動部3は、二系統のスライダ部3a・3bを備えており、各スライダ部3a・3bを同一の軸方向に対して、それぞれ独立して往復変位させることができる装置である。駆動部3としては、例えば、ボールネジ・ナットおよびモータ等からなる往復動機構を備える電動アクチュエータ等を採用することができる。
各爪部4・5は、ワークを挟持するために備えられる一対の部位である。即ち、各爪部4・5は、該各爪部4・5の中間位置に配置されるワークを、各爪部4・5によって挟圧して保持するための部位である。
尚、各爪部4・5の形状は、把持対象となるワークの形状および大きさや、各スライダ部3a・3bのストローク量等を考慮して設定する。
図2(b)に示す如く、爪部4は、支持部4aと、該支持部4aから突設する二つの挟圧部4b・4bを備えている。挟圧部4b・4bは、互いに所定の間隔を隔てて配置されている。また、爪部4は、当接部6が付設される側の面を、付設面4gとしている。
爪部4は、支持部4aがスライダ部3aに対して固定されている。そして、制御装置7により、駆動部3を作動させてスライダ部3aをスライドさせて、各挟圧部4b・4bを、スライド部3aのスライド方向に沿って往復動させる構成としている(図1参照)。
また、図2(c)に示す如く、爪部5は、支持部5aと、該支持部5aから突設する一つの挟圧部5bを備えている。また、爪部5は、当接部6が付設される側の面を、付設面5gとしている。
爪部5は、支持部5aがスライダ部3bに対して固定されている。そして、制御装置7により、駆動部3を作動させてスライダ部3bをスライドさせて、挟圧部5bを、スライド部3bのスライド方向に沿って往復動させる構成としている(図1参照)。
このような各爪部4・5は、所定の挟持力を達成するために、剛性を確保する必要があるため、鋼等所定の硬さを有する素材により構成するのが一般的である。
このため、ワークと各爪部4・5を直接当接させると、該各爪部4・5によってワークを傷つける可能性がある。
また、ワークは種々の形状に構成されるため、安定的な把持状態を実現するためには、各爪部4・5においてワークと当接する部位の形状をワークの形状に対応させる必要がある。
このため、図1および図2(a)(b)(c)に示す如く、把持部2においてワークを挟持する部位である各挟圧部4b・4b・5bのワークとの当接部位において、それぞれに各当接部6・6・6が付設される構成としている。
当接部6は、把持装置1においてワークと直接当接する部位であり、その形状を柔軟に変形できる態様と、その形状を堅固に保持する態様の、相反する二つの態様を一つの部材で実現することができるものである。
当接部6は、弾性を有する素材からなる袋状部材と、該袋状部材に充填される粒状物を備える構成であり、定常時においては、柔軟に変形できる態様を呈している。
尚、ここでいう「定常時」とは、袋状部材の内部および外部の圧力が等しいときを意味している。
図3に示す如く、当接部6は、袋部材6a、接続口6b等を備えている。
袋部材6aは、弾性および気密性を有するニトリルゴム(NBR)製の部材であり、NBR製の略長方形のシートを半分に折り返すとともに、折り返した辺以外の三方の各辺部の合わせ面を加硫溶着して、袋状に形成された部材である。
また、袋部材6aの折り返した辺の略中央部には孔部6fが形成されており、該孔部6fに、袋部材6aの内外を連通するための部材である接続口6bが配設されている。
接続口6bは、封止部材6d・6dを介挿して、ナット6cを螺合して締結することによって、孔部6fの気密性を確保しつつ該孔部6fに付設されている。
さらに、接続口6bには、連通配管8が接続されており、また接続口6bの袋部材6aに内包される端部において、フィルター6eが配設されている。
そして、袋部材6aの内部には、粒状物12が充填されている。
また、当接部6は、袋部材6aの内部に充填された粒状物12が、接続口6bから排出されることを、フィルター6eによって防止する構成としている、
粒状物12は、当接部6(より詳しくは、袋部材6a)内に充填される多数の粒子からなる部材であり、該袋部材6a内から空気を排気して減圧し、粒状物12を構成する各粒子同士を互いに緊密に係留させることによって、袋部材6aおよび粒状物12が一体化した状態において、任意の形状で硬化するものである。
即ち、当接部6は、袋部材6a内を減圧した状態において、その形状を堅固に保持する態様を呈する。
尚、本実施形態に係る把持装置1では、袋部材6a内において、粒状物12と空気が存在している場合を例示しているが、本発明に係る把持装置において、粒状物とともに当接部(袋部材)内に存在している流体の種類を空気に限定するものではなく、粒状物とともに空気以外の気体や液体が当接部内に存在している構成とすることも可能である。
当接部6に充填する粒状物としては、粒状物を構成する各粒子の形状が略球状以外であり、エッジ部や平面部を有する形状であるもの(例えば、セラミックの破砕物等)が好適である。
尚、ここでいう「略球状」とは、エッジ部や平面部、あるいは他の粒子と係合可能な凹凸部等が外形上存在しない形状を意味しており、完全な球状でなくとも良く、例えば、楕円球状や俵型状等の形状をも含む概念である。
また、本実施形態では、当接部6(袋部材6a)の素材として、ニトリルゴム(NBR)を採用した場合を例示しているが、当接部6を構成する素材をこれに限定するものではなく、弾性および気密性を有する素材であれば、作業環境等の条件に合わせて種々の素材を採用し得る。また、当接部6に摩耗や切創が生じることから保護するための被装部材を備えた二重構造の構成とすることも可能である。
図1、図2、図4に示す如く、当接部6は、挟圧部4bの付設面4gにおいて、挟圧部4bに対して相対変位不能に付設されている。尚、本実施形態では、当接部6は、挟圧部4bの付設面4gに、接着剤を用いて堅固に固定される構成としている。
尚、ここでは、爪部4の挟圧部4bに当接部6が付設される場合を例示して説明したが、爪部5においても、挟圧部5bの付設面5gにおいて、同様に当接部6(図示せず)が付設されている。
尚、本実施形態では、当接部6が、各挟圧部4b・4b・5bにおいて、接着の手法により付設される態様を例示しているが、当接部6が付設される手法によって、本発明を限定するものではなく、例えば、樹脂バンドを用いて固定される構成としたり、あるいは、ワンタッチ金具等を用いてより簡易に着脱可能に固定される構成等とすることも可能であり、当接部6を、各挟圧部4b・4b・5bにおいて相対変位不能に付設できる手法であれば、種々の態様の付設方法を採用することが可能である。
そして、図5(a)(b)に示す如く、本実施形態に係る把持部2では、各挟圧部4b・4b・5bに付設した各当接部6・6・6によって、ワーク20を三点で堅固に把持することができる。このような構成により、例えばワーク20が、作業者による把持および振り回しが困難であるような重量物(例えば、鋼製のエンジンのシリンダブロック等)であっても、その把持および振り回しに耐え得る程度の安定した把持状態を、部品点数の少ない簡易な構成で、実現することができる。
尚、本実施形態では、把持部2によって、ワーク20を三点支持する態様を例示しているが、本発明に係る把持装置における、ワークの支持点数をこれに限定するものではなく、例えば、二点支持する態様であってもよく、あるいは、四点以上で支持する態様であってもよい。
図1および図4に示す如く、当接部6には、各爪部4・5の各挟圧部4b・4b・5bに付設された状態において、連通配管8が接続されている。
また、連通配管8には、逆止弁9および開閉弁10が接続されている。
そして、把持装置1においては、連通配管8、逆止弁9、開閉弁10によって、当接部6を硬化および軟化させるための手段を構成している。
連通配管8は、当接部6の内部と外部を連通させて、流体(本実施形態では空気)を流通させるための経路を形成するための部材であり、連通配管8としては、金属製・塩ビ製等の配管部材や樹脂製のホースやチューブ等を採用することができる。
逆止弁9は、流体を一方向にのみ流通させる性質を有する弁部材であり、連通配管8における空気の流通経路上に、空気の流通方向を当接部6(袋部材6a)の内部から外部に向かう方向に規制する向きとして配設されている。
開閉弁10は、当接部6と逆止弁9を連通する連通配管8を分岐して形成する空気の流通経路上に配設される、制御装置7からの信号に応じて開閉可能な弁部材であり、「閉」状態において連通配管8の気密性を確保するとともに、「開」状態において連通配管8を開放して、各当接部6・6・6の内部と外部を連通させることができるものである。
尚、本実施形態では、開閉弁10を電磁弁等により構成し、制御装置7により自動的に開閉できる構成としているが、開閉弁10を作業者が手動で開閉する態様とすることも可能である。
そして、開閉弁10を「閉」とする状態において、各当接部6・6・6内の空気は、連通配管8および逆止弁9を通じて外部に流出させることができ、かつ、連通配管8および逆止弁9を通じて、外部から各当接部6・6・6に空気を流入させることができない構成としている。
このため、各当接部6・6・6を外部から押圧し、連通配管8および逆止弁9を通じて内部の空気を排気することによって、各当接部6・6・6内の減圧度を、真空排気設備等を用いることなく増大させることができる。
当接部6は、内部を減圧すると、充填されている粒状物を構成する各粒子がより緊密に係留することによって硬化するため、このとき、その形状を堅固に保持する態様を呈する。
このような当接部6を、各爪部4・5の挟持圧によって、柔軟な状態でワークに押圧すると、該当接部6をワーク表面の凹凸部に入り込ませるとともに、当接部6内から空気を押し出すことができるため、当接部6をワークの外面形状に倣わせつつ硬化させることができる。
また、このような構成により、各当接部6・6・6内の減圧度が増大している状態において、開閉弁10を「開」とすることにより、各当接部6・6・6内に、連通配管8および逆止弁9を通じて外部から空気を給気することができる。
このため、各当接部6・6・6内の減圧度を、容易に低減させることができ、硬化状態にあった各当接部6・6・6を再び軟化させることができる。
ここで、本発明に係る把持装置の別実施形態について、説明をする。
図1に示す如く、本発明の一実施形態に係る把持装置1では、各当接部6・6・・・に接続する連通配管8を集合させて1系統とし、その集合させた連通配管8上に一つの逆止弁9を配設する構成としている。
このような構成では、当接部6から逆止弁9までの配管距離が比較的長くなるため、連通配管8内に残留する空気の影響により、当接部6の硬さが低減することが懸念される。
しかしながら、このような構成では、ワーク20を把持する部位から離れた位置に逆止弁9を配設することができるため、ワーク20を把持する部位の周辺雰囲気が逆止弁9の機能に悪影響を及ぼすような雰囲気である場合には有利である。
一方、図6に示す如く、本発明の別実施形態に係る把持装置21では、各当接部6・6・・・の直近の、例えば把持部2の範囲内における連通配管8に、各当接部6・6・・・ごとに複数の逆止弁9・9・・・を配設する構成としている。
また、把持装置21では、各逆止弁9・9・・・に対応する複数の開閉弁30・30・・・を、例えば把持部2の直近(即ち、可能な限り配管距離が短くなる位置)の連通配管8に、配設する構成としている。尚、把持装置21では、各開閉弁30・30・・・として、作業者が手動で開閉する方式のものを採用している。
尚、把持装置21は、逆止弁9の配設位置および配設数と、開閉弁30の配設位置、配設数および仕様において、把持装置1と相違しており、その他の構成については把持装置1と共通している。
このような構成では、当接部6から逆止弁9までの配管距離を把持装置1に比して短くすることができるため、連通配管8内に残留する空気の影響を受けにくくなり、当接部6の硬さを確実に確保できる。
また、各開閉弁30・30・・・として、手動で開閉する方式のものを採用することにより、自動制御機器の構成が簡略化できるため、設備費用の低減等に寄与することができる。
即ち、本発明に係る把持装置において、逆止弁および開閉弁の配設位置、配設数、仕様等は、ワークを把持する部位周辺の雰囲気や把持装置に要求される把持力等の種々の使用条件を考慮して、適宜設定することができる。
次に、本発明の一実施形態に係る把持装置1を用いたワークの移送状況について、図7〜図10を用いて、説明をする。
図7(a)に示す如く、本実施形態では、ロボットアーム16の手先部16aに把持装置1の把持部2を配設し、把持部2によって、ワーク20を把持するとともに、ロボットアーム16によって、ワーク20を移送する構成としている。
ワーク20は、例えば位置決めピン等からなる位置決め部16b・16bにより位置決めされた状態で、ワーク配置部16cの所定位置に配置されている。
図7(b)に示す如く、把持装置1の制御装置7は、ロボットアーム16と接続されており、ロボットアーム16の手先部16aの配置・角度等の情報が、制御装置7に入力される構成としている。
図7(a)(b)および図8(a)に示す如く、ロボットアーム16により、手先部16aの配置および角度等を調整し、ワーク20に対する所定の位置に把持部2を配置する。そして、制御装置7には、ロボットアーム16から、ワーク20に対する所定の位置に把持部2が配置された旨の信号が入力される。
このとき、把持部2は、制御装置7によって、ワーク20が各爪部4・5の間に配置されるとともに、ワーク20における把持に適した部位である各凹凸部20a・20b・20cが各当接部6・6・・・と対面する位置に配置されるように、その配置が設定される。
次に、図7(b)および図8(b)に示す如く、制御装置7によって、各スライダ部3a・3bのストロークを調整することにより、各爪部4・5の離間距離が、ワーク20の幅以下となるように調整する。そして、ワーク20を、各爪部4・5によって、所定の挟持圧により挟持する。
図9に示す如く、このとき当接部6は、ワーク20の各凹凸部20a・20bに対して押圧され、各凹凸部20a・20bの形状に倣って変形する。
また、このとき当接部6は、押圧されることによって、連通配管8および逆止弁9を介して、内部の空気が排気されるため硬化する。
このため、把持部2では、各当接部6・6・・・を、確実にワーク20の各凹凸部20a・20b・20cの形状に倣わせた状態で硬化させることができる。
また、当接部6は、把持部2によるワーク20の把持および解除を繰り返すことによって、内部の空気が徐々に排気されるため、把持および解除を繰り返すごとに減圧度が増大しさらに硬化するが、各スライダ部3a・3bのストロークを調整し、適当な押圧力を付与することによって、最初(一度目)にワーク20を把持したときから、良好な把持状態を形成することが可能である。
このように、把持装置1では、把持部2によりワーク20を把持するときにおいて、当然に必要となる把持動作を有効に利用して、当接部6内の減圧度を増大させる構成としている。
このため、当接部6内の減圧度を増大させる手段を、連通配管8および逆止弁9等により簡易に構成することが可能になり、従来の把持装置において必要であった真空排気設備の省略を可能にしている。
そして、図10(a)に示す如く、このような構成の各当接部6・6・・・により、良好な把持状態を保持しつつ、ワーク20を移送することができる。
そして、ロボットアーム16によって、ワーク20を所定位置に移送した後に、図10(b)に示す如く、制御装置7によって、各スライダ部3a・3bのストロークを調整することにより、各爪部4・5の離間距離が、ワーク20の幅より大きくなるように調整する。そして、ワーク20を、各爪部4・5によって、挟持する状態を解除するようにしている。
そして、ワーク20と形状が異なる他の種類のワークを移送する場合には、制御装置7から開閉弁10に指令信号を与えて、開閉弁10を「開」として、連通配管8および開閉弁10を介して、当接部6内に空気を給気する(即ち、減圧状態を解除する)ことによって、当接部6を定常時の形状に復元することができる。
これにより、種々の形状を有する複数種類のワークに対して、一つの把持部2を有する把持装置1でフレキシブルに対応することが可能になる。
ワークの種類を変更するときに、各当接部6・6・6を各ワークの形状に対応したものにその都度交換する手間等がなくなるため、生産性を向上させることができる。
また、複数のワーク20・20・・・を連続して移送する場合には、開閉弁10を「閉」のままとして、袋部材6a内の減圧状態を保持することによって、当接部6の硬化状態を容易に保持することができる。
このため、当接部6は、各爪部4・5によるワーク20の挟持を解除した後であっても、袋部材6a内の減圧状態を保持する限り、ワーク20の把持に適した態様で当接部6の硬化状態を保持することができる。
これにより、複数のワーク20・20・・・を連続して移送する場合には、ワーク20の把持に適した態様の当接部6で、各ワーク20・20・・・を確実に把持して、ワーク20を移送することができる。
尚、ここでは把持装置1を用いた場合を例示して説明しているが、把持装置21を用いた場合であっても、同様の手順でワーク20を確実に把持して移送することができる。
即ち、本発明の一実施形態に係る把持装置1(または把持装置21)は、ワーク20を挟圧する複数の挟圧部4b・4b・5bを有する各爪部4・5と、弾性を有する素材からなる袋部材6aと、該袋部材6aに充填される粒状物12と、を備え、袋部材6aの内容積に対する粒状物12の体積比率を増大させることにより、粒状物12を任意の形状を保持しつつ硬化させる、各挟圧部4b・4b・5bのワーク20と当接する部位である各付設面4g・4g・5gに付設される各当接部6・6・6と、を有する、ワーク20を把持するための把持部2を備えるものであって、袋部材6aの内部と外部を連通する連通部材である連通配管8と、連通配管8が形成する流体(本実施形態では空気)の流通経路上に配設する、該流通経路における流体の流れ方向を袋部材6aの内部から外部へ向かう方向に規制する逆止弁9と、袋部材6aと逆止弁9を連通する連通配管8を分岐して延設した連通配管8が形成する流体の流通経路上に配設する開閉可能な開閉弁10と、を備え、各挟圧部4b・4b・5bにより、各当接部6・6・6を介してワーク20を挟持し、各当接部6・6・6をワーク20に押圧することにより、袋部材6aの内部に存在する空気を、連通配管8および逆止弁9を通じて、袋部材6aの外部に流出させて、袋部材6aの内部を減圧するものである。
これにより、真空排気設備を必要としない簡易な構成で、各当接部6・6・6を硬化させることができる。
また、本発明の一実施形態に係る把持装置1(または把持装置21)は、袋部材6aの内部が減圧されているときにおいて、開閉弁10(または開閉弁30)を開放することにより、袋部材6aの外部から、連通配管8および開閉弁10(または開閉弁30)を通じて、袋部材6aの内部に空気を流入させるものである。
これにより、簡易な構成で、各当接部6・6・6を軟化させることができる。
尚、本実施形態では、把持装置1および把持装置21を移送装置に適用する場合を例示しているが、本発明に係る把持装置の用途をこれに限定するものではなく、例えば、製品の組立時においてワークを仮固定するための治具として使用したり、あるいは、保管等のために不安定な形状のワークを安定的に把持しておくための治具として使用したりすることも可能である。
1 把持装置
2 把持部
4 爪部
4b 挟圧部
4g 付設面
5 爪部
5b 挟圧部
5g 付設面
6 当接部
8 連通配管
9 逆止弁
10 開閉弁
12 粒状物
20 ワーク
21 把持装置
30 開閉弁

Claims (2)

  1. ワークを挟圧する複数の挟圧部を有する爪部と、
    弾性を有する素材からなる袋部材と、該袋部材に充填される粒状物と、を備え、前記袋部材の内容積に対する前記粒状物の体積比率を増大させることにより、前記粒状物を任意の形状を保持しつつ硬化させる、前記挟持部の前記ワークと当接する部位に付設される当接部と、
    を有する、前記ワークを把持するための把持部を備える把持装置であって、
    前記袋部材の内部と外部を連通する連通部材と、
    前記連通部材が形成する流体の流通経路上に配設する、該流通経路における流体の流れ方向を前記袋部材の内部から外部へ向かう方向に規制する逆止弁と、
    前記袋部材と前記逆止弁を連通する前記連通部材から分岐して延設した前記連通部材が形成する流体の流通経路上に配設する開閉可能な開閉弁と、
    を備え、
    前記複数の挟圧部により、前記当接部を介して前記ワークを挟持し、前記当接部を前記ワークに押圧することにより、
    前記袋部材の内部に存在する流体を、
    前記連通部材および前記逆止弁を通じて、前記袋部材の外部に流出させて、前記袋部材の内部を減圧する、
    ことを特徴とする把持装置。
  2. 前記袋部材の内部が減圧されているときにおいて、
    前記開閉弁を開放することにより、
    前記袋部材の外部から、
    前記連通部材および前記開閉弁を通じて、前記袋部材の内部に流体を流入させる、
    ことを特徴とする請求項1記載の把持装置。
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