JP5433963B2 - Linear actuator - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 19
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 14
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 5
- 239000011162 core material Substances 0.000 description 61
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 43
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 10
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 9
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 9
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 7
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 4
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000002783 friction material Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
- 239000006247 magnetic powder Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229910001172 neodymium magnet Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
- 238000005057 refrigeration Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000001846 repelling effect Effects 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F7/00—Magnets
- H01F7/06—Electromagnets; Actuators including electromagnets
- H01F7/08—Electromagnets; Actuators including electromagnets with armatures
- H01F7/13—Electromagnets; Actuators including electromagnets with armatures characterised by pulling-force characteristics
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K1/00—Details of the magnetic circuit
- H02K1/06—Details of the magnetic circuit characterised by the shape, form or construction
- H02K1/22—Rotating parts of the magnetic circuit
- H02K1/27—Rotor cores with permanent magnets
- H02K1/2706—Inner rotors
- H02K1/272—Inner rotors the magnetisation axis of the magnets being perpendicular to the rotor axis
- H02K1/274—Inner rotors the magnetisation axis of the magnets being perpendicular to the rotor axis the rotor consisting of two or more circumferentially positioned magnets
- H02K1/2753—Inner rotors the magnetisation axis of the magnets being perpendicular to the rotor axis the rotor consisting of two or more circumferentially positioned magnets the rotor consisting of magnets or groups of magnets arranged with alternating polarity
- H02K1/278—Surface mounted magnets; Inset magnets
- H02K1/2783—Surface mounted magnets; Inset magnets with magnets arranged in Halbach arrays
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- H01F7/00—Magnets
- H01F7/06—Electromagnets; Actuators including electromagnets
- H01F7/08—Electromagnets; Actuators including electromagnets with armatures
- H01F7/081—Magnetic constructions
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- H01F7/00—Magnets
- H01F7/06—Electromagnets; Actuators including electromagnets
- H01F7/08—Electromagnets; Actuators including electromagnets with armatures
- H01F7/16—Rectilinearly-movable armatures
- H01F7/1607—Armatures entering the winding
- H01F7/1615—Armatures or stationary parts of magnetic circuit having permanent magnet
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- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F7/00—Magnets
- H01F7/06—Electromagnets; Actuators including electromagnets
- H01F7/08—Electromagnets; Actuators including electromagnets with armatures
- H01F7/18—Circuit arrangements for obtaining desired operating characteristics, e.g. for slow operation, for sequential energisation of windings, for high-speed energisation of windings
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K1/00—Details of the magnetic circuit
- H02K1/06—Details of the magnetic circuit characterised by the shape, form or construction
- H02K1/22—Rotating parts of the magnetic circuit
- H02K1/27—Rotor cores with permanent magnets
- H02K1/2706—Inner rotors
- H02K1/272—Inner rotors the magnetisation axis of the magnets being perpendicular to the rotor axis
- H02K1/2726—Inner rotors the magnetisation axis of the magnets being perpendicular to the rotor axis the rotor consisting of a single magnet or two or more axially juxtaposed single magnets
- H02K1/2733—Annular magnets
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K33/00—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
- H02K33/16—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with polarised armatures moving in alternate directions by reversal or energisation of a single coil system
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- H01F7/00—Magnets
- H01F7/06—Electromagnets; Actuators including electromagnets
- H01F7/08—Electromagnets; Actuators including electromagnets with armatures
- H01F7/16—Rectilinearly-movable armatures
- H01F7/1607—Armatures entering the winding
- H01F2007/163—Armatures entering the winding with axial bearing
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01F2007/1692—Electromagnets or actuators with two coils
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- H01F7/1844—Monitoring or fail-safe circuits
- H01F2007/185—Monitoring or fail-safe circuits with armature position measurement
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Description
本発明は、リニアアクチュエータに関するもので、特に、但し限定するものではないが、直線往復運動に供するものである。 The present invention relates to a linear actuator, and in particular, but not limited to, a linear reciprocating motion.
長い歴史の中で、様々なタイプのリニアアクチュエータが提示されている。 In the long history, various types of linear actuators have been presented.
簡単なアクチュエータの例として、ソレノイドがあり、電気コイルに対応して電機子が可動する。ソレノイドのようなアクチュエータは小型から大型まで、家庭用から工業用まで様々な用途に使われる。(例えば、特許文献1参照)
しかしながら、様々なリニアアクチュエータの技術が知られているが、設計上、更に重要な点として性能上さまざまな障害点がある。 However, although various linear actuator technologies are known, there are various obstacles in performance as an important point in design.
従来のリニアアクチュエータの問題点として、与えられたサイズに対して、限られた推力が挙げられる。大きな推力が要求される用途には、これに対応して大型のリニアアクチュエータが必要となる。大型のリニアアクチュエータは多くの用途では適用できるものの、全体として製品の小型化が要求される用途には最小限のサイズのリニアアクチュエータが望ましい。この問題は、コイルのサイズ、電流を大きくすることで対応できる。しかし、消費電力の増大、発熱の増大といった問題点が発生する。多くの用途では、効率の最大化、発熱の最小化が望ましい。 A problem with conventional linear actuators is limited thrust for a given size. For applications that require a large thrust, a large linear actuator is required. Although a large linear actuator can be applied in many applications, a linear actuator having a minimum size is desirable for applications in which downsizing of the product is required as a whole. This problem can be dealt with by increasing the coil size and current. However, problems such as increased power consumption and increased heat generation occur. In many applications, it is desirable to maximize efficiency and minimize heat generation.
ソレノイドのような従来のリニアアクチュエータの他の問題点として挙げられるのが、全ストロークに渡る均一な推力が得られない事である。一般的に、電磁力が最大となるストロークの中央部において推力が最大となる。ストローク端に行くに従って推力は低下する。可動範囲で推力が変動するという事は、通常、最低推力に合わせなければならず、与えられた用途におけるリニアアクチュエータのサイズを決定する事になる。 Another problem of conventional linear actuators such as solenoids is that uniform thrust over the entire stroke cannot be obtained. Generally, the thrust is maximized at the center of the stroke where the electromagnetic force is maximized. The thrust decreases as the stroke ends. The fact that the thrust fluctuates in the movable range usually has to be matched to the minimum thrust and will determine the size of the linear actuator for a given application.
また、従来のリニアアクチュエータの推力/ストロークの非線形性特性は精密な位置決めが出来なくなる。 Further, the thrust / stroke nonlinearity characteristic of the conventional linear actuator cannot be precisely positioned.
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、小型で、効率が高く、発熱が少なく、全ストロークに渡り均一な推力が得られるリニアアクチュエータを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a linear actuator that is small in size, high in efficiency, low in heat generation, and capable of obtaining a uniform thrust over the entire stroke.
上記課題を解決するため、請求項1に記載の発明は、コイルメンバーと、往復可動する可動メンバーとを備え、前記可動メンバーは、往復可動の軸を持ち、前記軸に沿って離れて配置され逆方向に着磁された第1の磁石および第2の磁石と、前記第1の磁石および前記第2の磁石の間に配置され第1および第2の磁石とは異なる方向に着磁された第3の磁石とを有し、前記コイルメンバーは、前記軸に沿って離れてかつ同軸に配置される第1のコイルおよび第2のコイルを有し、前記コイルメンバーは、前記第1および前記第2のコイルを収容するコアを更に有し、前記コアには、前記第1のコイル、前記第2のコイルと前記可動メンバーに近接する前記コアの端部との間でそれぞれ延びる第1のギャップおよび第2のギャップが形成され、前記可動メンバーは、第1の方向の最大位置と第2の方向の最大位置との間を動くように配置され、前記第1の方向の最大位置においては前記第3の磁石の前記第1の方向側の端部が、前記第2の方向の最大位置においては前記第3の磁石の前記第2の方向側の端部が、前記第1のギャップと前記第2のギャップとの間の前記コアの部分に整列する。
In order to solve the above-described problem, the invention according to
また、請求項2に記載の発明は、前記可動メンバーは、シャフトと、前記シャフトの径方向に着磁された前記第1の磁石と、前記第1の磁石とは逆方向に着磁された前記第2の磁石とを有する、ことを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, the movable member is magnetized in a direction opposite to the shaft, the first magnet magnetized in the radial direction of the shaft, and the first magnet. And the second magnet.
また、請求項3に記載の発明は、前記第1の磁石、前記第2の磁石、前記第3の磁石は、前記可動メンバーの軸と平行に互いに直列で隣接して配設される、ことを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, the first magnet, the second magnet, and the third magnet are arranged adjacent to each other in series in parallel to the axis of the movable member. It is characterized by.
また、請求項4に記載の発明は、前記第1の磁石、前記第2の磁石、前記第3の磁石は、前記可動メンバーの円周方向に延びる、ことを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, the first magnet, the second magnet, and the third magnet extend in a circumferential direction of the movable member.
また、請求項5に記載の発明は、前記シャフトは磁性体で構成される、ことを特徴とする。
The invention according to
また、請求項6に記載の発明は、前記シャフトは非磁性体で構成され、前記第1の磁石、前記第2の磁石、前記第3の磁石が前記シャフトの円周方向に設置される、ことを特徴とする。
In the invention according to
また、請求項7に記載の発明は、前記可動メンバーが、第1の方向の最大位置と第2の方向の最大位置との間を動くように配置され、前記第1の方向の最大位置と前記第2の方向の最大位置との中間の初期位置において、前記第1の磁石は前記第1のコイルと対向して配置されるとともに、前記第2の磁石は前記第2のコイルと対向して配置される、ことを特徴とする。
The invention according to
また、請求項9に記載の発明は、前記第1のコイルおよび前記第2のコイルは、電流を受けるように構成され、前記可動メンバーを第1の方向に動かすために、電流は第1の極性に流し、前記第1の方向とは逆の第2の方向に動かす時は、前記第1の極性とは逆の第2の極性に電流を流す、ことを特徴とする。 According to a ninth aspect of the present invention, the first coil and the second coil are configured to receive a current, and the current is a first current in order to move the movable member in the first direction. When flowing in a polarity and moving in a second direction opposite to the first direction, the current flows in a second polarity opposite to the first polarity.
また、請求項10に記載の発明は、非磁性体メンバーが、前記コイルメンバーと前記可動メンバーとの間に介在する、ことを特徴とする。
The invention according to
また、請求項11に記載の発明は、前記非磁性体メンバーは、前記可動メンバーの動きの長手方向に延在するスリーブを有する、ことを特徴とする。
The invention according to
また、請求項12に記載の発明は、ギャップが、前記可動メンバーと前記非磁性体メンバーとの間に設けられる、ことを特徴とする。 The invention described in claim 12 is characterized in that a gap is provided between the movable member and the non-magnetic member.
また、請求項13に記載の発明は、電機子と、前記電機子を取り巻く第1のコイルおよび第2のコイルとを備え、前記電機子は、前記電機子に沿って離れて配置され互いに逆の極性で前記電機子の径方向に着磁された第1の磁石および第2の磁石と、前記第1の磁石と前記第2の磁石との間に配置された第3の磁石とを持ち、前記第1のコイルおよび前記第2のコイルは、コアの中に収納され、前記コアは、前記第1のコイル、前記第2のコイルと前記電機子に近接する前記コアの端部との間でそれぞれ延びる第1のギャップおよび第2のギャップを持ち、前記電機子は、第1の方向の最大位置と前記第1の方向とは逆の第2の方向の最大位置との間を動くように設定され、前記第1の方向の最大位置においては前記第3の磁石の前記第1の方向側の端部が、前記第2の方向の最大位置においては前記第3の磁石の前記第2の方向側の端部が、前記第1のギャップおよび前記第2のギャップの間に整列する、ことを特徴とする。 According to a thirteenth aspect of the present invention, an armature and a first coil and a second coil surrounding the armature are provided, and the armatures are disposed along the armature and are opposite to each other. Having a first magnet and a second magnet magnetized in the radial direction of the armature with a polarity of a third magnet, and a third magnet disposed between the first magnet and the second magnet. The first coil and the second coil are housed in a core, and the core includes the first coil, the second coil, and an end of the core adjacent to the armature. Chi lifting the first gap and second gap respectively extending between said armature between the first maximum position and the first direction direction the second direction of the maximum position in the The first magnet of the third magnet is configured to move and at a maximum position in the first direction. The end on the opposite side is aligned between the first gap and the second gap at the maximum position in the second direction. The end on the second direction side of the third magnet is aligned between the first gap and the second gap. , characterized in that.
また、請求項14に記載の発明は、前記第1の磁石と前記第3の磁石および前記第2の磁石と前記第3の磁石の少なくとも1つの隣接部はテーパー形状を呈する、ことを特徴とする。
The invention according to
また、請求項15に記載の発明は、前記可動メンバーの磁石数は3つであり、前記コイルメンバーのコイル数は2つである、ことを特徴とする。
The invention described in
開示する本発明の最初の形態について、リニアアクチュエータは、コイル、往復運動する可動メンバーを備え、この可動メンバーは、リニアに可動する可動軸を持ち、互いに逆方向の極性を持つ第1、第2の磁石と、前記第1、第2の磁石の間にある、極性を与えられた第3の磁石を持ち、可動軸と同軸に、離れて設置される第1、第2のコイルを持つ。前記第1、第2の磁石は、コイルに隣接する磁石表面の磁界強度が強くなり、往復可動部材に隣接する磁石表面の磁界強度が弱まるように、着磁してある。磁石の磁界強度が、磁石が接合される往復運動部材の円周において、最大化できるように配慮される。 In the first aspect of the present invention to be disclosed, the linear actuator includes a coil and a movable member that reciprocates. The movable member has first and second linearly movable shafts and opposite polarities. The first and second coils are disposed between the first magnet and the first and second magnets. The first and second coils are disposed coaxially with the movable shaft. The first and second magnets are magnetized so that the magnetic field strength on the magnet surface adjacent to the coil is increased and the magnetic field strength on the magnet surface adjacent to the reciprocating member is decreased. Consideration is given so that the magnetic field strength of the magnet can be maximized at the circumference of the reciprocating member to which the magnet is joined.
従って、第1、第2、第3の磁石から発する磁力線と、それぞれのコイルへの電流による磁力線は、相互に作用する。一つのコイルに一つの方向に流れ、他方のコイルには逆の方向に流れる電流は、可動メンバーと磁石に対して、第一の方向に動くように作用する。逆に、第1、第2のコイルに前記と逆方向の電流を流すと、第1の方向とは逆の方向に動くように作用する。電流が与えられなければ、磁石と可動メンバーは停止したままである。従って、電流を与える事で、磁石と可動メンバーの動きを制御できる。 Accordingly, the lines of magnetic force generated from the first, second, and third magnets interact with the lines of magnetic force generated by the currents to the respective coils. A current flowing in one direction in one coil and in the opposite direction in the other coil acts to move the movable member and the magnet in the first direction. On the other hand, when a current in the opposite direction to the first and second coils is passed, the first and second coils act to move in the direction opposite to the first direction. If no current is applied, the magnet and the movable member remain stationary. Therefore, the movement of the magnet and the movable member can be controlled by applying an electric current.
事実上、3つの磁石は、第1の側の磁界強度が強まり他方の側の磁界強度が強まるように配置されたハルバック磁石パターンに従って配置される。この磁石の配置は一方の側の磁界強度を大きく弱め、逆の側の磁界強度を強める。この磁石配置の使用の利点として、磁石の取り付けた反対側の磁束線が低減できる事から、従来のリニアアクチュエータで必要としている鉄材のアマチャー又は鉄材の裏打ちされたアマチャーの量を低減、或いはなくす事が出来る。同様に、コイルに近接した側の磁界強度は増強され、以下に説明することをリニアアクチュエータに適用すると推力が増大する。 In effect, the three magnets are arranged according to a Halbach magnet pattern arranged such that the magnetic field strength on the first side is increased and the magnetic field strength on the other side is increased. This magnet arrangement greatly reduces the magnetic field strength on one side and increases the magnetic field strength on the opposite side. The advantage of using this magnet arrangement is that the magnetic flux lines on the opposite side to which the magnets are attached can be reduced, so that the amount of iron armature or iron-backed armature required by conventional linear actuators can be reduced or eliminated. I can do it. Similarly, the magnetic field strength on the side close to the coil is enhanced, and the thrust increases when the following description is applied to a linear actuator.
磁石は、往復作動する可動メンバーに、可動メンバーの寸法、形状に適した構造で配置される。例えば、磁石は、円筒シャフトに直径方向に均一の磁界が発生するようにリング状に配置される。磁石は、追加的に或いは変形例として、磁石の保護、全体の寸法低減が目的で、往復運動する可動メンバーに埋め込まれる。追加的に或いは変形例として、往復運動する可動メンバーの円周に、可動方向と並行に1つ又は数個のラインに分割して配置される。 The magnet is arranged on the movable member that reciprocates in a structure suitable for the size and shape of the movable member. For example, the magnets are arranged in a ring shape so that a uniform magnetic field is generated in the diameter direction on the cylindrical shaft. In addition or as a modification, the magnet is embedded in a reciprocating movable member for the purpose of protecting the magnet and reducing the overall size. In addition or as a modification, it is divided and arranged in one or several lines around the circumference of the movable member that reciprocates in parallel with the movable direction.
例えば、90°分割で4個のハルバック配列磁石を円周上に配置する事も出来る。これは、メンバーの重量を低減できる。 For example, four hullback array magnets can be arranged on the circumference in 90 ° divisions. This can reduce the weight of the member.
本発明においては、必要に応じて、ハルバック配列磁石の範囲にある様々な配置が活用できる。 In the present invention, various arrangements within the range of the Halbach array magnet can be utilized as necessary.
磁石自体は、最適な材料から選定され、例えば、ネオジ磁石(NDFEB)、サマリュームコバルト磁石(SMCO)又はフェライト磁石が使用できる。他の最適な磁石材料も使用できる。 The magnet itself is selected from optimum materials, and for example, a neodymium magnet (NDFEB), a summary cobalt magnet (SMCO) or a ferrite magnet can be used. Other optimal magnet materials can also be used.
この磁石配置は、従来のように、鉄材、即ち重い往復運動する可動メンバーの必要はなく、即ち鉄材以外を使った軽量な設計が出来る。リニアアクチュエータの用途に応じた適切な材料が選択できる。例えば、往復運動する可動メンバーの材料として、樹脂のような非金属を使用することで、重量を大幅に低減できる。更に、可動部の重量低減は可動メンバーの慣性の低減にもつながる。 This magnet arrangement does not require an iron material, that is, a movable member that reciprocates heavily, as in the prior art, that is, a lightweight design using a material other than the iron material is possible. An appropriate material can be selected according to the application of the linear actuator. For example, the weight can be significantly reduced by using a non-metal such as resin as the material of the movable member that reciprocates. Furthermore, reducing the weight of the movable part leads to a reduction in inertia of the movable member.
往復運動する可動メンバーの形と寸法は、用途とリニアアクチュエータが作り出す望ましい動きによって決定される。一例として、往復運動する可動メンバーはコイルの中心軸に沿った、円筒又は実軸でもいい。このような、配置において、第1の磁石の着磁方向は、軸中心に対して外側に広がる方向であり、第2の磁石は、反対の極性となる。第3の磁石は、第1と第2の磁石の間に設置され、着磁方向は、一つの磁石から他の磁石に向かう方向である。各磁石は、ハルバック効果が増すなら、離れて設置できる。 The shape and size of the reciprocating movable member is determined by the application and the desired movement that the linear actuator produces. As an example, the reciprocating movable member may be a cylinder or a real axis along the central axis of the coil. In such an arrangement, the magnetization direction of the first magnet is a direction spreading outward with respect to the axial center, and the second magnet has the opposite polarity. The third magnet is installed between the first and second magnets, and the magnetization direction is a direction from one magnet toward another magnet. Each magnet can be placed away if the hullback effect is increased.
磁石は、往復運動する可動メンバーの周り又は軸に沿って、適度な配置がなされる。磁石は、均一の磁界強度を持たせるため円筒形の磁石とすることができる。磁石表面の磁界強度は、ハルバック効果で増大する。 The magnets are moderately placed around or along the axis of the reciprocating movable member. The magnet can be a cylindrical magnet in order to have a uniform magnetic field strength. The magnetic field strength on the magnet surface increases due to the hullback effect.
コイルは、前記の3つの磁石の磁束と協業で働けるような配置にしている。2つのコイルと磁石による磁力線の相互作用は、全ストローク中で、コア内および往復運動する可動メンバー内の磁束変動を最小限にする。これによって、リニアアクチュエータの効率を高め、電力消費を最小化し、重要な事は、コア内と往復運動する可動メンバー内の熱の発生と放出を最小化する。 The coil is arranged so that it can work in cooperation with the magnetic flux of the three magnets. The interaction of the magnetic field lines by the two coils and magnets minimizes flux fluctuations in the core and in the reciprocating movable member during the entire stroke. This increases the efficiency of the linear actuator and minimizes power consumption, and importantly minimizes the generation and release of heat in the movable member that reciprocates within the core.
コイルの配置は、往復運動する可動メンバー部分を取り巻くように配置されても良い。しかしながら、望ましくは、コイルの中心を往復運動する可動メンバーが動くように配置される。この配置と、シャフトの周辺に延びる前に記載した3つ磁石の、組み合わせで、リニアアクチュエータに発生する推力を最大化する。 The coil may be disposed so as to surround the movable member portion that reciprocates. Preferably, however, the movable member that reciprocates around the center of the coil is arranged to move. The combination of this arrangement and the three magnets described before extending around the shaft maximizes the thrust generated in the linear actuator.
コイルの配置は、第1、第2のコイルをコア中に収納し、可動メンバーの可動軸に対応する中心軸を持つ鉄コアの形を持つ。2つのコイルは、リニアアクチュエータの特定の要求仕様、コア材料、コイルの巻き線密度、などに従って、最適な距離を持って配置される。同様に、コイルのサイズとコイルを取り巻くコアのサイズは、リニアアクチュエータの要求仕様に従って、選定される。 The arrangement of the coils has an iron core shape in which the first and second coils are housed in the core and has a central axis corresponding to the movable axis of the movable member. The two coils are placed at an optimal distance according to the specific requirements of the linear actuator, the core material, the coil winding density, etc. Similarly, the size of the coil and the size of the core surrounding the coil are selected according to the required specifications of the linear actuator.
コイルを取り巻くコアは、コイル周辺および往復運動する可動メンバーに結合した磁石に沿った磁界を橋渡ししたり、集中させる。コア内の磁束の短絡を防止、即ちコアのみを周回する磁束線を防止するため、コアは2つのギャップを入れるか又は、コイルと往復運動する可動メンバーに隣接するコア端部に延びるコア材料を非連続としている。実質的に、コアの断面は、往復運動する可動メンバーとこれに結合するハルバック配列磁石に隣接する2つのギャップを持ったE字形状をしている。 The core surrounding the coil bridges or concentrates the magnetic field along the magnet coupled to the coil and to the reciprocating movable member. In order to prevent short-circuiting of the magnetic flux in the core, i.e. to prevent the magnetic flux lines that circulate only in the core, the core may have two gaps or a core material that extends to the end of the core adjacent to the movable member that reciprocates with the coil. Discontinuous. In effect, the cross section of the core is E-shaped with two gaps adjacent to a reciprocating movable member and a hullback array magnet coupled thereto.
各ギャップのサイズは、コア材料、コイル配置、そして電流の要素で決定され、従って、リニアアクチュエータの要求仕様で決定される。しかしながら、最小ギャップ長は、与えられる作動電流における磁気飽和を防止する最小値に設定される。ギャップ自体は、空隙又はコイルを保護する材料で埋められる。但し、磁気的な短絡を防止する材料である必要がある。 The size of each gap is determined by the core material, coil placement, and current factors, and is therefore determined by the linear actuator requirements. However, the minimum gap length is set to the minimum value that prevents magnetic saturation at a given operating current. The gap itself is filled with a material that protects the air gap or coil. However, the material needs to prevent a magnetic short circuit.
リニアアクチュエータは、リニア作動又はストロークの最適な長さを持つように、設定できる。ストロークは、中点位置から第1の方向の最大のストロークまでの第1の部分を形成し、そして、中点から逆方向の第2の方向に向かう最大のストロークの第2の部分を形成する。都合に良い事に、フルストロークに渡って、磁界強度を増加するために、第3の磁石の中点位置が、コイルの配置の中間位置に相当する。即ち、第3の磁石は、第1、第2のコイルの、可動方向に沿った、中間位置にある。つまり、コイルの磁力線と第1の磁石と第2の磁石による磁力線の結合による推力は、両方の方向で最大化される。以下に詳細を述べる。 The linear actuator can be set to have an optimal length of linear actuation or stroke. The stroke forms a first portion from the midpoint position to the maximum stroke in the first direction, and forms a second portion of the maximum stroke from the midpoint to the second direction in the reverse direction. . Conveniently, in order to increase the magnetic field intensity over the full stroke, the midpoint position of the third magnet corresponds to the intermediate position of the coil arrangement. That is, the third magnet is in an intermediate position along the movable direction of the first and second coils. That is, the thrust generated by the coupling of the magnetic field lines of the coil and the magnetic field lines of the first magnet and the second magnet is maximized in both directions. Details are described below.
両方向のストローク長は、望ましくは推力の最大化と全ストロークに渡って、一定に保つように選定される。この事は、上述したコアのギャップの間に、第3の磁石の末端が位置するように、動きを制限する事で実現する。つまり、第3の磁石の末端は、両方向の動きにおいて、ギャップに重なる事が無いようにしている。 The stroke length in both directions is preferably chosen to keep the thrust constant and constant over the entire stroke. This is realized by restricting the movement so that the end of the third magnet is located between the gaps of the core described above. That is, the end of the third magnet does not overlap the gap in both directions of movement.
ハルバック配列の特徴として、第3の磁石の端部においては、磁界強度は小さいか又はゼロに向かう値である。もし、磁界強度が小さくなる位置にまで延びたとき、磁石とコイルの磁束の結合は低下する。結果として、リニアアクチュエータの推力が低下する事になる。第3の磁石の磁束線が小さくなる部分がコアのギャップに合致するように、リニアアクチュエータのストロークを制限する事で、推力は最大化できると同時に、ストロークと推力の関係も一定化する。 As a characteristic of the Hullback arrangement, the magnetic field strength is small or a value toward zero at the end of the third magnet. If it extends to a position where the magnetic field strength becomes small, the coupling between the magnetic flux of the magnet and the coil decreases. As a result, the thrust of the linear actuator is reduced. By limiting the stroke of the linear actuator so that the portion where the magnetic flux line of the third magnet becomes smaller matches the core gap, the thrust can be maximized and the relationship between the stroke and the thrust can be made constant.
リニアアクチュエータは、往復運動する可動メンバーの動きの終端には(可動メンバーの動きを止める)壁があり、第3の磁石の端部が、ギャップに重ならないようにしている。 The linear actuator has a wall (stopping the movement of the movable member) at the end of the movement of the movable member that reciprocates so that the end of the third magnet does not overlap the gap.
リニアアクチュエータの用途に応じて、コア材料は適正に選択できる。例えば、100Hz以下の低い周波数の電流印加の場合、鉄又は他の適正な材料を選択できる。100Hz以上の高い周波数の電流印加の場合、適正な磁性圧粉材料が使われる。 The core material can be selected appropriately depending on the application of the linear actuator. For example, in the case of applying a low frequency current of 100 Hz or less, iron or other suitable material can be selected. In the case of applying a high frequency current of 100 Hz or more, an appropriate magnetic powder material is used.
コイルの製造手法も含め、コイルの巻き線自体も、ここでは詳述しないが、よく知られた技術を用いて行なわれる。コイルは、従来技術である、交流電源で駆動され、2つのコイルは、並列、或いは直列接続され、最適な駆動電源に接続される。 Although not described in detail here, the coil winding itself, including the coil manufacturing method, is performed using well-known techniques. The coil is driven by an AC power source, which is a conventional technique, and the two coils are connected in parallel or in series, and are connected to an optimum driving power source.
リニアアクチュエータは、一方向可動に設定され、原点復帰は、スプリング又は重力など、他の手段で行なわれてもよい。このような、用途は、例えば、自動車のブレーキに用いられてもよい。このような用途では、電流は一方向となる。両方向駆動が要求される往復運動の用途では、適正な交流電流により、シャフトは第1の方向と逆の第2の方向に駆動される。 The linear actuator is set to be movable in one direction, and the return to origin may be performed by other means such as a spring or gravity. Such an application may be used, for example, in an automobile brake. In such applications, the current is unidirectional. In reciprocating applications where bi-directional driving is required, the shaft is driven in a second direction opposite the first direction by a suitable alternating current.
往復運動メンバーは、限定される事は無いが、ピストン、レバー、カム、その他の適切な部材を動かすように設定される。その部材自体は、勿論、複雑なコンポーネントの一部である。例えば、リニアアクチュエータは、自動車のブレーキ、エンジン部品、減速機、ポンプなどを制御する。 The reciprocating member is not limited and is set to move a piston, lever, cam, or other suitable member. The member itself is of course part of a complex component. For example, the linear actuator controls an automobile brake, an engine component, a speed reducer, a pump, and the like.
冷凍機の冷凍配管のような例では、可動メンバーはパイプに収納される。リニアアクチュエータは、圧力パイプの中にある冷凍機ポンプを駆動し、このような用途では、可動部材は、コイル及びコアからシールされ、この場合、コイル、コアと可動メンバー間は、非磁性体の例えばスリーブとか適当なチューブが用いられる。 In an example such as a refrigeration pipe of a refrigerator, the movable member is housed in a pipe. The linear actuator drives a refrigerator pump in the pressure pipe, and in such an application, the movable member is sealed from the coil and the core, where the coil, the core and the movable member are non-magnetic. For example, a sleeve or a suitable tube is used.
スリーブ又はチューブは圧力を与えられた液体、気体が収納され、可動部材はこれらと共に動くと理解されるべきである。スリーブ又はチューブは、可動メンバーのストロークの方向を制御するガイドを持つことも出来る。可動メンバーの外周とスリーブ、筒の内周には適当なギャップが設けられる。このギャップ又はクリアランスは全体、又は一部に、適当な潤滑又は低摩擦材料で充填されてもよい。 It should be understood that the sleeve or tube contains a pressurized liquid, gas, and the movable member moves with them. The sleeve or tube can also have a guide that controls the direction of the stroke of the movable member. Appropriate gaps are provided between the outer periphery of the movable member and the inner periphery of the sleeve and cylinder. This gap or clearance may be wholly or partially filled with a suitable lubrication or low friction material.
他の要件を見ると、リニアアクチュエータは、第1、第2のコイル、リニアアクチュエータの可動軸に沿って動く電機子(ARMATURE)を持つ電磁誘導メンバーを持ち、電機子はハルバック磁石構成の複数の磁石を持つ。 Looking at other requirements, the linear actuator has first and second coils, an electromagnetic induction member having an armature that moves along the movable axis of the linear actuator (ARMATURE), and the armature has a plurality of Halbach magnet configurations. Have a magnet.
他の要件を見ると、電機子を取り巻く第1、第2のコイルを備え、電機子は、電機子に沿って離れて設置された円周方向に互いに逆方向の極性に着磁された第1、第2の磁石と、第1、第2のコイルの間に第3の極性を持った磁石を備える。第1、第2のコイルは、コイルから電機子に隣接するコアの端部まで延びる第1、第2のギャップを持つコアの中に収納される。 According to another requirement, the first and second coils surrounding the armature are provided, and the armature is magnetized in polarities opposite to each other in the circumferential direction installed along the armature. A magnet having a third polarity is provided between the first and second magnets and the first and second coils. The first and second coils are housed in a core having first and second gaps extending from the coil to the end of the core adjacent to the armature.
他の要件を見ると、リニアアクチュエータに備わる機構は、第1と第2の位置に動く可動部材を持ち、可動部材は、リニアアクチュエータの往復可動メンバーに接続される。 Looking at other requirements, the mechanism provided in the linear actuator has a movable member that moves in first and second positions, and the movable member is connected to a reciprocating movable member of the linear actuator.
更に、他の要件を見ると、電機子を取り巻くコアを持ち、電機子はコアの軸に沿って動くように設定される。コアは、コアと同軸に巻かれ、直列接続された、少なくとも2つのコイルを持ち、電機子はハルバック磁石構成の複数の磁石を持ち、電機子の長手方向に延びる。 Further, looking at other requirements, it has a core that surrounds the armature, and the armature is set to move along the axis of the core. The core has at least two coils wound coaxially with the core and connected in series, and the armature has a plurality of magnets having a hullback magnet configuration and extends in the longitudinal direction of the armature.
リニアアクチュエータの往復運動メンバーは、コイルの電流を増減する特定の制御信号に応答して動く。例えば、制御信号とは、可動メンバーの目標位置、可動メンバーの実際の位置の両方又は一方に応答するもので、即ちクローズドループである。 The reciprocating member of the linear actuator moves in response to specific control signals that increase or decrease the coil current. For example, the control signal is a response to the target position of the movable member and / or the actual position of the movable member, that is, a closed loop.
第1の磁石と第3の磁石および第2の磁石と第3の磁石の少なくとも1つの隣接部をテーパー形状とすることで磁束の流れがスムーズになり、発生磁界を大きくできる。そのため、希土類磁石の量を少なくして、必要推力を得ることが出来る。 By making at least one adjacent portion of the first magnet and the third magnet and the second magnet and the third magnet into a tapered shape, the flow of magnetic flux becomes smooth, and the generated magnetic field can be increased. Therefore, the required thrust can be obtained by reducing the amount of the rare earth magnet.
また、第3の磁石を中央に第1の磁石と第2の磁石をテーパ形状を利用しながら両側からすべりこませるように組み付けることで、組みつけ作業が容易になる。 Further, the assembling work is facilitated by assembling the first magnet and the second magnet so that the third magnet is slid from both sides while utilizing the tapered shape.
以下に本発明の実施形態を図面を参照しつつ詳細に説明する
図1は、本発明の実施例のリニアアクチュエータ1の断面を示す。リニアアクチュエータ1は2つのコイル3a(第1のコイル)、3b(第2のコイル)を収納するコア2を持つ。電気コイルは、従来の技術によりリング状に形成される。コイルへの電気的接続は、図示していないが、互いに逆方向に流れるように設定されている。
Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a cross section of a
コア2及びコイル3a、3bは、コイルとコア2の中心を細く延びるリニアアクチュエータ1の中心部を取り巻くように設定される。非磁性体のスリーブ4はコア2とリニアアクチュエータ1の中心部に設置される。従って、コア2と中心部は分離されている。
The
コア2は、鉄又は圧粉磁性体など、最適な材料で構成される。材料は、例えば、望ましいストロークとか負荷など、リニアアクチュエータの特定の用途に応じて選定される。また、コイル3a、3bに流れる電流の周波数によっても、材料は選択される。
The
スリーブ4は往復運動メンバー、叉はリニアアクチュエータ1の中心に同軸の取り付け可動メンバーを取り囲む。この例では、可動メンバーは中空のシャフト5と、シャフト5の周りに結合されて、ラジアル方向に着磁された円筒磁石6a(第1の磁石)、6b(第2の磁石)とを有する。シャフト5は、鉄等の磁性体で構成されるが、ステンレス、アルミニウム、樹脂等の非磁性体で構成してもよい。磁石6a、6bは、シャフト5の軸7に沿って、互いに離れて設置される。以下で説明する第3の磁石8(第3の磁石)は、2つの磁石6a、6bの中間に設置され、軸方向に着磁されている。3つの磁石6a、6b、8は、シャフト5の表面に沿って互いに隣接している。
The
可動メンバーは、第1の方向の最大ストローク位置(図7(b))と第1の方向とは反対の第2の方向の最大ストローク位置(図7(c))との間を動くように配置される。図7(a)に示されるように、図7(b)の最大ストローク位置と図7(c)の最大ストローク位置との中間位置が初期位置に設定されている。初期位置において、磁石6aはコイル3aと対向して配置されるとともに、磁石6bはコイル3bと対向して配置される。
The movable member moves between the maximum stroke position in the first direction (FIG. 7B) and the maximum stroke position in the second direction opposite to the first direction (FIG. 7C). Be placed. As shown in FIG. 7A, an intermediate position between the maximum stroke position in FIG. 7B and the maximum stroke position in FIG. 7C is set as the initial position. In the initial position, the
磁石6a、6b、8は、シャフト5に最適な方法、つまり、はめあい又は適当な機械的結合方法で接合されている。追加的に、又は変形例として、接着剤も用いられる。
The
この例では、シャフト5および磁石6a、6b、8が、軸7に沿って可動する可動メンバー又は電機子を形成する。磁石6a、6b、8の表面と、スリーブ4の内側には、適切なギャップ11が与えられ、スリーブ4の軸に沿って自由に動く事が出来る。
In this example, the
このスリーブ4の寸法は、リニアアクチュエータ1の用途によって決定される。電機子が密封又は入れ物環境の中で動くような用途のリニアアクチュエータ1では、スリーブ4は筒又は圧力容器の壁として働く。冷凍機の冷媒回路として働く例がある。変形例として或いは追加的に、スリーブ4は可動メンバーの動きを制御するガイドとしても働く。
The dimension of the
図1に示す様に、本発明によるリニアアクチュエータ1はコンパクトであり且つ簡素な構造である。
As shown in FIG. 1, the
図2は、シャフト5とシャフト5上の磁石6a、6b、8の配置関係を断面図により詳細に示している。図2に示す様に、3つの磁石6a、6b、8は、シャフト5の表面に沿って配置されている。3つの矢印は、3つの磁石の極性を示している。左から右に見て、第1の磁石6aは磁束がシャフト5の中心軸7から離れる方向に配置される。第2の磁石8は磁束がシャフト5の中心軸7に沿うように、即ち右から左に向くように配置される。第3の、最後の磁石は、磁束が、シャフト5の中心軸7に向くように配置される。この磁石の配置は、ハルバック構造又はハルバック配列として知られている。この磁石配置は、各磁石の着磁の方向は隣の磁石の着磁の方向に対して正しい角度ならば、いかなる数の磁石も取りうる。この例では、3つだけの磁石を示しているが、シャフト5の長さ、リニアアクチュエータ1の望ましいストロークによって、コイルの数との組み合わせで、いかなる組み合わせも取りうるものである。
FIG. 2 shows the positional relationship between the
図3にハルバック配列磁石が発生する磁束を示す。図3の矢印で示す様に、ハルバック配列の上側9では、磁束が増大し、下側10では、弱められる(実質的に減少)。この配列は、コイルと結合する上側10の磁束を増大するばかりでなく、下側9の磁束を弱め、従来の構成では必要とする鉄材のバックヨーク量を低減又は無くす事が出来る。他方に磁束が集中し、逆の面は磁束が低下するためである。
FIG. 3 shows the magnetic flux generated by the Halbach array magnet. As indicated by the arrows in FIG. 3, the magnetic flux increases on the upper side 9 of the hullback array and is weakened (substantially decreases) on the
図3は、磁束が小さくなる部分を示している。これらは、基準点AとBで示しており、基準点Aは磁石6aと第3の磁石8の接点で、最小の磁束量を示す点であり、基準点Bは磁石6bと第3の磁石8の接合点で、最小の磁束量を示す点である。このような点は、磁束の方向の変化する点であり、最小の磁束でゼロに近づく値となる。
FIG. 3 shows a portion where the magnetic flux is reduced. These are indicated by reference points A and B. The reference point A is a point of contact between the
図4は、リニアアクチュエータ1の、違った断面を示しており、2つのコイル3a、3b は、コア2に収納され、リニアアクチュエータの中心部の周りに巻かれる。ハルバック配列時磁石がシャフト5に結合され、リニアアクチュエータの中心部に設置される。ハルバック配列を構成する磁石6a、6b、8はスリーブ4から微小ギャップ11で分離される。ギャップ11はシャフトとハルバック配列磁石6a、6b、8を互いに干渉することなく軸方向に自由に動かす。
FIG. 4 shows a different cross section of the
勿論、ギャップ11は必須要件ではなく、シャフト5と磁石6a、6b、8を動かす適切な滑り材料に置き換えてもよい。適切な材料とは、例えば、PTFEコーティングとか、リニアアクチュエータの用途に準じたその他の材料であってもよい。
Of course, the
図5は、本発明によるリニアアクチュエータ1の最適な特性と断面寸法とハルバック配列を示す説明図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram showing the optimum characteristics, cross-sectional dimensions, and hullback arrangement of the
図5(a)は、本発明によるリニアアクチュエータの最適な特性を示している。往復運動可動メンバーのストロークを、−Sと+Sで示しており、この距離において、推力は実質的に一定である。一定推力を提供する事は、リニアアクチュエータ1のデザイン範囲において、特段に有利であると認識される。
FIG. 5A shows the optimum characteristics of the linear actuator according to the present invention. The stroke of the reciprocating movable member is indicated by -S and + S, and at this distance, the thrust is substantially constant. It is recognized that providing a constant thrust is particularly advantageous in the design range of the
図5(b)に、再び断面図であるが、特定の寸法を表示している。図5(b)の寸法表示は、以下の寸法である。 FIG. 5B is a cross-sectional view again, but shows specific dimensions. The dimension display of FIG.5 (b) is the following dimensions.
L1 ハルバック配列可動メンバーのトータル長さ
L2 往復可動メンバーの可動方向に沿った、コアのトータル長さ
C ハルバック配列を構成する磁石(a)の外側端部とステーターコアの外側端部の距離
A 磁石(a)の外側端部と上側コイルのギャップ(g)の外側端部の距離
B 第3の磁石(b)の端部と上側コイルのギャップ(g)の内側端部の距離
g コイルと可動メンバー中間にあるコアのギャップ長さ
d1 コアの端部とコイル間の距離
d2 2つのコイル間の距離
d3 コイルの端部とコアの外側端部の距離
d4 可動メンバーの壁の厚さ
リニアアクチュエータの最適性能は、各方向のトータルストロークをSとすると、図5(a)のAとBの寸法に等しい時に得られる。即ち、以下の関係の時である。
L 1 Total length of the Hullback array movable member L 2 Total length of the core along the movable direction of the reciprocating movable member C Distance between the outer end of the magnet (a) and the outer end of the stator core constituting the Hullback array A Distance between the outer end of the magnet (a) and the outer end of the gap (g) of the upper coil B Distance between the end of the third magnet (b) and the inner end of the gap (g) of the upper coil g Coil Gap length d of the core in the middle of the movable member d 1 Distance between the end of the core and the coil d 2 Distance between the two coils d 3 Distance between the end of the coil and the outer end of the core d 4 Wall of the movable member The optimum performance of the linear actuator can be obtained when the total stroke in each direction is S, which is equal to the dimensions A and B in FIG. That is, it is at the time of the following relationship.
A=B=S
g及び、d1〜d4は、リニアアクチュエータの使用条件によって決定される。これらの値は、要求される推力条件下での、磁気的飽和を防止するべく選定される。コア2の磁気飽和を防止するための寸法決定については、この領域の技術を熟知する者なら十分理解される。
A = B = S
g and d 1 to d 4 are determined by the use conditions of the linear actuator. These values are selected to prevent magnetic saturation under the required thrust conditions. The dimension determination for preventing magnetic saturation of the
上記の関係の重要な点は、図5(c)を参照して理解される。図5(c)は、本発明による1組のコイルとハルバック配列を示している。3つのイメージは、可動メンバーの3つの位置に対応している。即ち、第1の方向に対する最大位置、第2の方向に対する最大位置、中点位置である。 The important point of the above relationship can be understood with reference to FIG. FIG. 5 (c) shows a set of coils and a Halbach arrangement according to the present invention. The three images correspond to the three positions of the movable member. That is, the maximum position with respect to the first direction, the maximum position with respect to the second direction, and the midpoint position.
ハルバック配列と可動メンバー内の、3つの位置でのわずかな磁束変化が、図5(c)において、明確に読み取れる。また、全ストロークに渡って、2つのコイルと可動メンバー間の、一般的に均一な磁束の伝達状況が示されている。上述した如く、磁束の均一な結合は全ストロークに渡って均一な推力発生をもたらしている。従って、図5(c)から、本発明に従った構成により、可動部の全ストロークに渡って、推力が発生できる事が理解される。図3に示されたハルバック配列の磁束線がコイルの磁束線にスムースに結合する事で達成される。 The slight magnetic flux changes at the three positions in the hullback array and the movable member can be clearly read in FIG. 5 (c). In addition, a generally uniform transmission state of magnetic flux between the two coils and the movable member is shown over the entire stroke. As described above, the uniform coupling of magnetic flux results in uniform thrust generation over the entire stroke. Therefore, it can be understood from FIG. 5C that thrust can be generated over the entire stroke of the movable portion by the configuration according to the present invention. This is achieved by smoothly coupling the magnetic flux lines of the Hullback arrangement shown in FIG. 3 to the magnetic flux lines of the coil.
更に、リニアアクチュエータの線形性を改良するため、そして磁石とコイルの磁束の結合のスッテップ的な変化を防止するため、ハルバック配列の第3の磁石の他の磁石に接する端部は、コアギャップに重ならないように動きが規制される。図5(c)に示す様に、コアのギャップの上の磁束は低い。同様に、図3を参照にして説明すると、参照点A、Bでの磁束は低い。これらの点を(ギャップに)重ならないようにする事で推力のストロークに対する線形性を適正化する。 Furthermore, in order to improve the linearity of the linear actuator and to prevent a step change in the coupling between the magnetic flux of the magnet and the coil, the end of the third magnet in the hullback arrangement that touches the other magnet is connected to the core gap. The movement is regulated so as not to overlap. As shown in FIG. 5 (c), the magnetic flux above the core gap is low. Similarly, referring to FIG. 3, the magnetic flux at reference points A and B is low. By ensuring that these points do not overlap (gaps), the linearity of the thrust stroke is optimized.
リニアアクチュエータの推力は、ハルバックとコイルの関係を2コイル1ハルバックとして、直列に構成する事で、増大できる。しかしながら、最適な推力とストロークの関係を得るためには、上記の原理、即ち、各ハルバック配列の中間の磁石の終端部はコアのギャップ又はコイルに整列するコアに整列する事を防止しなければならない。大きな推力は、これらの組み合わせの直列構成、即ち、適切に配置した直列配置のコイルペアとの組み合わせと、電機子に沿った3つの磁石の直列配置によって得られる。 The thrust of the linear actuator can be increased by configuring the relationship between the hullback and the coil as two coils and one hullback in series. However, in order to obtain the optimum thrust-stroke relationship, the above principle, ie, the end of the magnet in the middle of each hullback arrangement must be prevented from aligning with the core that is aligned with the core gap or coil. Don't be. Large thrust is obtained by a series configuration of these combinations, ie, a combination of appropriately arranged series-paired coil pairs and a series arrangement of three magnets along the armature.
図6は、本発明の実施例を、特性データ及び寸法例と共に示している。 FIG. 6 shows an embodiment of the present invention with characteristic data and example dimensions.
図6(a)は、コア2に位置するコイル3a、コイル3bの各それぞれの電流方向を示している。シャフト5が、図の上部に移動するためには、コイル3aの電流極性は紙面に向かって流れ、コイル3bの電流は紙面から出てくる方向に流れる。逆に、シャフト5を下方に異動したいときは前記と逆の電流を流す。
FIG. 6A shows the current directions of the
径方向に着磁された磁石6aと6b、及び軸方向に着磁された磁石8は、ハルバック配列を構成する。図3を参照して、図6(a)に示された電流の方向において、シャフト5はハルバック配列の磁束と結合して図の上面に向けた推力を得る。逆に、電流が逆であるとハルバック配列の磁束との結合により、図の下面に向けた推力を得る。
The
図6(a)は、更に、ギャップ11(又はクリアランス)が、磁石6a、6b、8とスリーブ4(又はチューブ)の間にあり、軸7に沿って磁石6a、6b、8を自由に動かす事を説明している。
FIG. 6 (a) also shows that there is a gap 11 (or clearance) between the
図6(a)は、更に、コア内にコイル3a、コイル3bの配置を示している。図示するように、ハルバック配列に近接した側のコア2の非連続部又はギャップ12a(第1のギャップ)と12b(第2のギャップ)と共に配置される。実際的には、コアは“E”形状をしている。既に述べたように、ギャップ12aと12bはコア2の磁気的な短絡を防止するために設けられている。
FIG. 6A further shows the arrangement of the
図6(b)は、図6(a)に示すリニアアクチュエータ1の推力/ストローク特性を示している。特徴的な利点として、実質的に推力ラインはストローク−2.5mm〜+2.5mm、即ちトータルストローク5mmにおいて変動しない。事実、全ストロークにおいて、変動量はわずか10Nである。
FIG. 6B shows the thrust / stroke characteristics of the
図6(c)は、ストローク5mmにおける、2つの各コイルの鎖交磁束を現している。“Upper coil”はコイル3b、“Lower Coil”はコイル3aに対応する。
FIG. 6C shows the interlinkage magnetic flux of two coils at a stroke of 5 mm. “Upper coil” corresponds to the
図7は、図示の電流極性における磁束線を現している。 FIG. 7 shows magnetic flux lines at the current polarity shown.
図7(a)は、中点位置にあるリニアアクチュエータを示している。中点位置とは、即ち、径方向着磁磁石(6a、6b)と軸方向着磁磁石(8)が、2つのコイルの中間位置にあるゼロストローク位置のことである。電流は供給されず、可動部材は、静止状態にある。磁束線はハルバック配列磁石とコアを通る。 FIG. 7A shows the linear actuator at the midpoint position. The midpoint position is a zero stroke position where the radially magnetized magnets (6a, 6b) and the axially magnetized magnet (8) are located between the two coils. No current is supplied and the movable member is stationary. The magnetic flux lines pass through the hullback array magnet and the core.
2つのコイルに、第1、第2の電流が、下記する手段制御ユニットにより与えられ、励起される。コイルは、直列に接続されるか、適切に並列に接続される。 The first and second currents are applied to the two coils by the means control unit described below and excited. The coils are connected in series or suitably connected in parallel.
図7(b)において、上側コイルには紙面に入っていく方向の電流が加えられ、下側コイルには、紙面から出てくる電流が加えられる。これによって、ハルバック配列磁石、従って、シャフト5を、中点位置から、図7(b)に示す位置に動かす。これは、図3に示された、配列からの磁束が(コイルと)磁気結合した結果である。
In FIG. 7B, a current in a direction entering the paper surface is applied to the upper coil, and a current coming from the paper surface is applied to the lower coil. As a result, the hullback array magnet, and thus the
更に、図7(b)に示す様に、ハルバック配列の中間磁石8の端部A1はコア2のギャップの端部C1に整列されるようにしている。ハルバック配列は、これ以上は進まないように配置される。図に示す様に、コイルと、ハルバック配列の磁束の磁気結合は、均一性が保たれている。可動メンバーは、C1点に規定される限界を越えて動けるが、推力の線形性は妥協せざるを得ない。
Further, as shown in FIG. 7B, the end A 1 of the
図7(c)は、逆の電流が加えられた状況を示す。図7(c)において、上側のコイルには、図から出てくる方向の電流が流れ、下側コイルには図に入っていく方向の電流が流れる。従って、ハルバック配列は、図の下方に動くように働く。中間磁石の端部A2はコアのギャップの端部C1に整列されるようにしている。繰り返しになるが、ハルバック配列は、これ以上動かないようにされており、同様に、磁気結合は、図示する様に均一である。 FIG. 7C shows a situation where a reverse current is applied. In FIG. 7C, a current in the direction coming out from the figure flows through the upper coil, and a current in the direction going into the figure flows through the lower coil. Therefore, the Halbach array works to move downward in the figure. End A 2 of the intermediate magnets are to be aligned with the end C 1 of the gap of the core. Again, the hullback array is kept from moving any further, and similarly, the magnetic coupling is uniform as shown.
図7(b)、7(c)から理解されるように、中間磁石の端部がコアのギャップ端部に重ならないように、ハルバック配列磁石の動きを制限する事で、リニアアクチュエータの(推力)の線形性が最適化される。コイルの間隔を長くする事と磁石の長さを短くする事のいずれか一方(又は組み合わせ)でリニアアクチュエータのストロークを長く出来る。 As can be understood from FIGS. 7B and 7C, by restricting the movement of the Hullback array magnet so that the end of the intermediate magnet does not overlap the gap end of the core, ) Linearity is optimized. The stroke of the linear actuator can be increased by either increasing the coil interval or decreasing the magnet length (or combination).
本領域に精通した者なら、電流を制御する事で、ハルバック配列磁石が取り付けられた部材或いはシャフトを動かすことは認識できる。精密な電流制御で、精密な動きを制御できる。更に、電流の変化をすばやく行う事で、取り付けメンバーの動きをすばやく出来るし、更に、取り付けメンバー又はシャフトの重量、即ち慣性を小さくする事でより強化できる。 Those who are familiar with this area can recognize that the member or the shaft to which the hullback array magnet is attached is moved by controlling the current. With precise current control, precise movement can be controlled. Further, the movement of the mounting member can be quickly performed by changing the current quickly, and further, the weight can be further strengthened by reducing the weight of the mounting member or the shaft, that is, the inertia.
図7(a)〜(c)に示す様に、コアの磁気飽和の適正化は、与えられた電流値及び単位当たりのストロークに対する推力に対して、ハルバック配列磁石の長さと共に、コアの寸法、コア中のギャップのサイズが決定する。 As shown in FIGS. 7 (a)-(c), the optimization of the magnetic saturation of the core is dependent on the dimensions of the core as well as the length of the hullback array magnet for a given current value and thrust per unit stroke. The size of the gap in the core is determined.
図8は、ここに挙げたリニアアクチュエータの、制御機器の構成例を示している。リニアアクチュエータ1の2つのコイルは、駆動ユニット13と適当なインターフェース14を介して接続され、電流を受ける。図では、コイルは直列に接続されているが、各独立で接続されてもよい。駆動ユニット13とインターフェース14はデジタルシグナルプロセッサー15又は相当するものからの信号を受けるもので、それらは、他のユニット又はユーザーからの信号16を受ける。リニアアクチュエータの位置を決定するため、ポジションセンサー17が必要に応じて、取り付けられ、制御線18を介して、駆動ユニット13、インターフェース14と接続される。他の制御ユニットが採用される事は、本領領域に精通した者なら認識できる。
FIG. 8 shows a configuration example of the control device of the linear actuator mentioned here. The two coils of the
図9〜12は、磁石6aと磁石8の隣接部20と磁石6bと磁石8の隣接部19のテーパー角度θを変えたリニアアクチュエータの断面図とその磁界解析結果を示す説明図である。図9〜図12はテーパー角度θのみ変更したもので、その他の部位については同様である。
9-12 are cross-sectional views of the linear actuator in which the taper angle θ of the
図9(a)は、磁石6aと磁石8の隣接部20と磁石6bと磁石8の隣接部19のテーパー角度θが90°の場合の断面形状で、図9(b)は、その磁界解析結果(磁束の流れベクトルおよび最大推力値)である。
FIG. 9A shows a cross-sectional shape when the taper angle θ of the
図10(a)は、磁石6aと磁石8の隣接部20と磁石6bと磁石8の隣接部19のテーパー角度θが45°の場合の断面形状で、図10(b)は、その磁界解析結果(磁束の流れベクトルおよび最大推力値)である。
FIG. 10A shows a cross-sectional shape when the taper angle θ of the
図11(a)は、磁石6aと磁石8の隣接部20と磁石6bと磁石8の隣接部19のテーパー角度θが30°の場合の断面形状で、図11(b)は、その磁界解析結果(磁束の流れベクトルおよび最大推力値)である。
FIG. 11A shows a cross-sectional shape when the taper angle θ of the
図12(a)は、磁石6aと磁石8の隣接部20と磁石6bと磁石8の隣接部19のテーパー角度θが60°の場合の断面形状で、図12(b)は、その磁界解析結果(磁束の流れベクトルおよび最大推力値)である。
FIG. 12A shows a cross-sectional shape when the taper angle θ of the
テーパー角度θが45°(図10)の場合に、隣接部19、20での磁束の流れはスムーズになり、従来のテーパー角度θが90°の場合(図9の)と比較して、最大推力値が63.67と最も大きくなる。隣接部19、20のテーパー形状をテーパー角度が45°付近とすることで、小型で、効率が高く、発熱が少ない、リニアアクチュエータを提供できる。また、希土類磁石の量を少なくできるため、コストが低減する。
When the taper angle θ is 45 ° (FIG. 10), the flow of the magnetic flux in the
図13は、磁石6a、6b、8をシャフト5に組み付ける手順を示す説明図である。円周方向に分割された磁石6a、6b、8を、シャフト5上に接着する場合、互いに反発あるいは引き付け合うことで、接着作業に手間が掛かるが、アキシアル方向の磁石8をシャフト5に接着した後に、ラジアル方向の磁石6a、6bを接着する手順でテーパ形状を利用しながら両側からすべりこませるように組付けを行なうことで、組付け作業が容易になる。
FIG. 13 is an explanatory diagram showing a procedure for assembling the
1 リニアアクチュエータ
2 コア(コイルメンバー)
3a コイル(コイルメンバー;第1のコイル)
3b コイル(コイルメンバー;第2のコイル)
4 スリーブ(非磁性体メンバー)
5 シャフト(可動メンバー)
6a 磁石(可動メンバー;第1の磁石)
6b 磁石(可動メンバー;第2の磁石)
7 軸
8 磁石(可動メンバー;第3の磁石)
12a 第1のギャップ
12b 第2のギャップ
19 隣接部
20 隣接部
1
3a coil (coil member; first coil)
3b Coil (coil member; second coil)
4 Sleeve (non-magnetic member)
5 Shaft (movable member)
6a Magnet (movable member; first magnet)
6b Magnet (movable member; second magnet)
7
12a 1st gap 12b
Claims (15)
前記可動メンバーは、往復可動の軸を持ち、前記軸に沿って離れて配置され逆方向に着磁された第1の磁石および第2の磁石と、前記第1の磁石および前記第2の磁石の間に配置され第1および第2の磁石とは異なる方向に着磁された第3の磁石とを有し、
前記コイルメンバーは、前記軸に沿って離れてかつ同軸に配置される第1のコイルおよび第2のコイルを有し、
前記コイルメンバーは、前記第1および前記第2のコイルを収容するコアを更に有し、
前記コアには、前記第1のコイル、前記第2のコイルと前記可動メンバーに近接する前記コアの端部との間でそれぞれ延びる第1のギャップおよび第2のギャップが形成され、
前記可動メンバーは、第1の方向の最大位置と第2の方向の最大位置との間を動くように配置され、前記第1の方向の最大位置においては前記第3の磁石の前記第1の方向側の端部が、前記第2の方向の最大位置においては前記第3の磁石の前記第2の方向側の端部が、前記第1のギャップと前記第2のギャップとの間の前記コアの部分に整列する、
ことを特徴とするリニアアクチュエータ。 It has a coil member and a movable member that can reciprocate,
The movable member has a reciprocally movable shaft, and is disposed along the shaft so as to be separated from the first magnet and the second magnet, and the first magnet and the second magnet. And a third magnet magnetized in a different direction from the first and second magnets,
The coil members have a first coil and a second coil which is arranged and coaxially apart along said axis,
The coil member further includes a core that houses the first and second coils,
The core is formed with a first gap and a second gap that respectively extend between the first coil, the second coil, and an end of the core adjacent to the movable member,
The movable member is arranged to move between a maximum position in a first direction and a maximum position in a second direction, and the first position of the third magnet is at the maximum position in the first direction. When the end on the direction side is at the maximum position in the second direction, the end on the second direction side of the third magnet is between the first gap and the second gap. Align with the core part,
A linear actuator characterized by that.
前記電機子は、第1の方向の最大位置と前記第1の方向とは逆の第2の方向の最大位置との間を動くように設定され、前記第1の方向の最大位置においては前記第3の磁石の前記第1の方向側の端部が、前記第2の方向の最大位置においては前記第3の磁石の前記第2の方向側の端部が、前記第1のギャップおよび前記第2のギャップの間に整列する、ことを特徴とするリニアアクチュエータ。 An armature, and a first coil and a second coil surrounding the armature, the armature being arranged along the armature and spaced apart from each other in the radial direction of the armature. A first magnet and a second magnet magnetized; a third magnet disposed between the first magnet and the second magnet; and the first coil and the second magnet. The coil is housed in a core, and the core includes a first gap and a second gap extending between the first coil, the second coil, and an end of the core proximate to the armature, respectively. It has a gap,
The armature is set to move between a maximum position in a first direction and a maximum position in a second direction opposite to the first direction, and at the maximum position in the first direction, the armature The end of the third magnet on the first direction side is at the maximum position in the second direction, and the end of the third magnet on the second direction side is the first gap and the end of the third magnet. A linear actuator, wherein the linear actuator is aligned between the second gaps .
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB0706830A GB2448191B (en) | 2007-04-05 | 2007-04-05 | Linear actuator |
GB0706830.7 | 2007-04-05 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008259413A JP2008259413A (en) | 2008-10-23 |
JP5433963B2 true JP5433963B2 (en) | 2014-03-05 |
Family
ID=38091046
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008085992A Expired - Fee Related JP5433963B2 (en) | 2007-04-05 | 2008-03-28 | Linear actuator |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5433963B2 (en) |
GB (1) | GB2448191B (en) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5463453B2 (en) * | 2009-01-08 | 2014-04-09 | 多摩川精機株式会社 | Trapezoidal magnet skew structure of cylindrical linear motor with core |
GB2467363A (en) * | 2009-01-30 | 2010-08-04 | Imra Europ S A S Uk Res Ct | A linear actuator |
JP2010200522A (en) * | 2009-02-26 | 2010-09-09 | Aisin Seiki Co Ltd | Reciprocation driving mechanism, and cold storage type refrigerator using the reciprocation driving mechanism and compressor |
KR101275286B1 (en) * | 2012-03-23 | 2013-06-17 | 충남대학교산학협력단 | Linear vibration motor |
JP6142568B2 (en) | 2013-02-27 | 2017-06-07 | アイシン精機株式会社 | Transmission shift device |
JP6186789B2 (en) | 2013-03-25 | 2017-08-30 | アイシン精機株式会社 | Automatic transmission for automatic transmission for vehicle |
JP6134237B2 (en) * | 2013-09-09 | 2017-05-24 | アズビル株式会社 | Bistable moving device |
JP2016111860A (en) * | 2014-12-09 | 2016-06-20 | アズビル株式会社 | Reciprocation generator |
CN204810107U (en) * | 2015-07-08 | 2015-11-25 | 瑞声光电科技(常州)有限公司 | Oscillating motor |
CN105048761A (en) * | 2015-08-28 | 2015-11-11 | 湘潭电机股份有限公司 | Cylindrical permanent-magnet voice coil motor |
IT201600103099A1 (en) * | 2016-10-13 | 2018-04-13 | System Di Rosati S R L | ELECTROMAGNETIC LINEAR ACTUATOR. |
CN106655697B (en) * | 2016-11-30 | 2019-03-15 | 歌尔股份有限公司 | A kind of linear vibration motor |
ES2696226B2 (en) * | 2018-06-14 | 2019-07-10 | Univ Madrid Politecnica | ELECTROMECHANICAL ACTUATOR AND ASSEMBLY OF ELECTROMECHANICAL ACTUATORS |
CN110957884A (en) * | 2019-12-24 | 2020-04-03 | 浙江省东阳市东磁诚基电子有限公司 | Motor suitable for electric toothbrush and implementation method thereof |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61106058A (en) * | 1984-10-30 | 1986-05-24 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | Ultrafine displacement linear electromagnetic actuator |
JPS6244059A (en) * | 1985-08-22 | 1987-02-26 | Matsushita Electric Works Ltd | Magnetic levitation type linear motor |
GB2214724A (en) * | 1988-01-28 | 1989-09-06 | Custom Dev Ltd | Permanent magnet electric motor |
GB9409988D0 (en) * | 1994-05-18 | 1994-07-06 | Huntleigh Technology Plc | Linear magnetic actuator |
WO1999018649A1 (en) * | 1997-10-04 | 1999-04-15 | Z & D Limited | Linear motor compressor |
JP3215362B2 (en) * | 1997-10-20 | 2001-10-02 | キヤノン株式会社 | Linear motor, stage device and exposure device |
US6039014A (en) * | 1998-06-01 | 2000-03-21 | Eaton Corporation | System and method for regenerative electromagnetic engine valve actuation |
JPH11351322A (en) * | 1998-06-05 | 1999-12-24 | Tokai Rubber Ind Ltd | Exciter for active damping |
US6104108A (en) * | 1998-12-22 | 2000-08-15 | Nikon Corporation | Wedge magnet array for linear motor |
US6313551B1 (en) * | 2000-02-04 | 2001-11-06 | Nikon Corporation | Magnet array for a shaft-type linear motor |
JP4388203B2 (en) * | 2000-05-23 | 2009-12-24 | ミネベア株式会社 | Combined electromagnetic actuator device |
JP2002112519A (en) * | 2000-09-29 | 2002-04-12 | Hitachi Metals Ltd | Electromagnetially reciprocating driver |
JP2002325421A (en) * | 2001-02-23 | 2002-11-08 | Canon Inc | Linear motor, stage apparatus using the same aligner, and device manufacturing method |
JP3658560B2 (en) * | 2001-12-26 | 2005-06-08 | 東芝機械株式会社 | Inner yoke magnet type linear motor |
JP4310611B2 (en) * | 2002-06-06 | 2009-08-12 | 株式会社安川電機 | Permanent magnet motor |
JP4273738B2 (en) * | 2002-10-16 | 2009-06-03 | パナソニック株式会社 | Linear compressor |
US6914351B2 (en) * | 2003-07-02 | 2005-07-05 | Tiax Llc | Linear electrical machine for electric power generation or motive drive |
JP2005245047A (en) * | 2004-02-24 | 2005-09-08 | Nippon Pulse Motor Co Ltd | Linear actuator |
US7167234B2 (en) * | 2004-10-19 | 2007-01-23 | Asml Netherlands B.V. | Actuator assembly and lithographic apparatus comprising such an actuator assembly |
JP2006296127A (en) * | 2005-04-13 | 2006-10-26 | Alps Electric Co Ltd | Electromagnetic actuator |
-
2007
- 2007-04-05 GB GB0706830A patent/GB2448191B/en active Active
-
2008
- 2008-03-28 JP JP2008085992A patent/JP5433963B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB0706830D0 (en) | 2007-05-16 |
GB2448191A (en) | 2008-10-08 |
GB2448191B (en) | 2009-11-04 |
JP2008259413A (en) | 2008-10-23 |
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Date | Code | Title | Description |
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R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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