JP5403418B2 - Method for producing Co-Fe-Ni alloy sputtering target material - Google Patents
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Description
本発明は、軟磁性膜を形成するためのＣｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金スパッタリングターゲット材の製造方法に関するものである。 The present invention relates to a method for producing a Co—Fe—Ni alloy sputtering target material for forming a soft magnetic film.
近年、高度情報化社会により磁気記録の高密度化が強く望まれている。この高密度化を実現する技術として、従来の面内磁気記録方式に代わり垂直磁気記録方式が実用化されている。 In recent years, high recording density has been strongly demanded by an advanced information society. As a technique for realizing this high density, a perpendicular magnetic recording system has been put into practical use instead of the conventional in-plane magnetic recording system.
垂直磁気記録方式とは、磁気記録層の磁化容易軸を媒体面に対して垂直に向けて記録するものであり、記録再生特性の低下が少ない高記録密度化に適した方式である。垂直磁気記録媒体は、基板／軟磁性裏打ち層／Ｒｕ中間層／ＣｏＰｔＣｒ−ＳｉＯ２磁性層／保護層からなる多層構造が一般的である（例えば、非特許文献１参照）。 The perpendicular magnetic recording method is a method in which the easy magnetization axis of the magnetic recording layer is recorded perpendicularly to the medium surface, and is a method suitable for increasing the recording density with little deterioration in recording / reproducing characteristics. A perpendicular magnetic recording medium generally has a multilayer structure including a substrate / soft magnetic backing layer / Ru intermediate layer / CoPtCr—SiO 2 magnetic layer / protective layer (see, for example, Non-Patent Document 1).
垂直記録媒体の軟磁性裏打ち層には優れた軟磁気特性が要求されることから、アモルファス軟磁性合金が採用されている。代表的な軟磁性裏打ち層用アモルファス合金として、Ｃｏ−Ｔａ−Ｚｒ合金膜（例えば、特許文献１参照）やＣｏ−Ｚｒ−Ｎｂ合金膜（例えば、非特許文献２参照）などが既に実用化されている。しかしながら、Ｃｏ−Ｔａ−Ｚｒ合金膜やＣｏ−Ｚｒ−Ｎｂ合金膜において、Ｔａ、Ｚｒ、Ｎｂの量が少ない場合には耐食性が低くなり、Ｔａ、Ｚｒ、Ｎｂの量が多い場合には飽和磁束密度が低くなる問題が指摘されている。そこで上記合金膜の代替候補として、飽和磁束密度と耐食性がともに高く、軟磁気特性に優れたＣｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金膜が提案されている（例えば、特許文献２参照）。 An amorphous soft magnetic alloy is used because the soft magnetic backing layer of the perpendicular recording medium is required to have excellent soft magnetic characteristics. Co-Ta-Zr alloy films (for example, see Patent Document 1) and Co-Zr-Nb alloy films (for example, see Non-Patent Document 2) have already been put to practical use as typical amorphous alloys for soft magnetic backing layers. ing. However, in a Co—Ta—Zr alloy film or a Co—Zr—Nb alloy film, the corrosion resistance is low when the amount of Ta, Zr, Nb is small, and the saturation magnetic flux is high when the amount of Ta, Zr, Nb is large. The problem of low density has been pointed out. Therefore, a Co—Fe—Ni alloy film having high saturation magnetic flux density and corrosion resistance and excellent soft magnetic properties has been proposed as an alternative candidate for the alloy film (see, for example, Patent Document 2).
一般的に、軟磁性裏打ち層の成膜にはマグネトロンスパッタリング法が用いられる。マグネトロンスパッタリング法とは、ターゲット材と呼ばれる母材の背面に永久磁石を配置し、ターゲット材の表面に磁束を漏洩させて、漏洩磁束領域にプラズマを収束し、高速成膜を可能とする方法である。マグネトロンスパッタリング法はターゲット材の表面に磁束を漏洩させることに特徴があるため、ターゲット材自身の透磁率が高い場合にはターゲット材のスパッタ表面にプラズマを収束させるのに必要な漏洩磁束を得ることが難しくなる。そこで、ターゲット材自身の透磁率を極力低減することが望まれている。 In general, a magnetron sputtering method is used to form a soft magnetic backing layer. The magnetron sputtering method is a method in which a permanent magnet is placed on the back of a base material called a target material, magnetic flux is leaked to the surface of the target material, plasma is focused on the leakage magnetic flux region, and high-speed film formation is possible. is there. Since the magnetron sputtering method is characterized by leakage of magnetic flux to the surface of the target material, when the magnetic permeability of the target material itself is high, the leakage magnetic flux necessary for converging the plasma on the sputtering surface of the target material is obtained. Becomes difficult. Therefore, it is desired to reduce the magnetic permeability of the target material itself as much as possible.
また、マグネトロンスパッタ法では、プラズマが収束する部分が集中的に侵食されるため、ごく一部しか消費されないままターゲット材を交換しなければならない。特に、Ｃｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金のような強磁性体からなるターゲット材では、ターゲット材の背面に設置した磁石から発生する磁束の大半がターゲット材内部に侵入し、ターゲット材の表面には僅かな磁束しか発生しないため、局部的に深く消耗し、ターゲット材の寿命が極端に短くなるという問題がある。とりわけ、膜厚が１５０〜２００ｎｍと極端に厚い前記垂直磁気記録媒体の軟磁性裏打ち層の形成に際しては、ターゲット材寿命が極端に短いことは深刻な問題となっており、ターゲット材の交換頻度を減らすために、出来る限りターゲット材の厚さを厚く設定しつつ十分な漏洩磁束を得るという矛盾した要求を満たさなければならない。 Further, in the magnetron sputtering method, the portion where the plasma converges is eroded intensively, so the target material must be replaced while only a small portion is consumed. In particular, in a target material made of a ferromagnetic material such as a Co—Fe—Ni alloy, most of the magnetic flux generated from a magnet installed on the back surface of the target material penetrates into the target material, and the surface of the target material has a slight amount. Since only a small magnetic flux is generated, there is a problem that it is consumed locally and the life of the target material becomes extremely short. In particular, in the formation of the soft magnetic backing layer of the perpendicular magnetic recording medium having an extremely thick film thickness of 150 to 200 nm, it is a serious problem that the target material life is extremely short. In order to reduce, the contradictory requirement of obtaining sufficient leakage flux while setting the thickness of the target material as thick as possible must be satisfied.
また、Ｃｏ−Ｆｅ系合金ターゲットの透磁率を低減する方法としては、例えば、透磁率が高いのはＦｅ、Ｆｅ５０原子％近傍であることを見出し、これらの組成を避けたＦｅ−Ｃｏ合金粉末同士を焼結することによって、単一の合金組成よりも透磁率を低下させるＣｏ−Ｆｅ系合金ターゲットの製造方法が提案されている（例えば、特許文献３参照）。 In addition, as a method for reducing the magnetic permeability of a Co—Fe based alloy target, for example, it has been found that the high magnetic permeability is in the vicinity of Fe and Fe 50 atomic%, and Fe—Co alloy powders avoiding these compositions There has been proposed a method for producing a Co—Fe based alloy target in which the magnetic permeability is reduced as compared with a single alloy composition (see, for example, Patent Document 3).
上述したＣｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金ターゲット材の製造方法は、Ｃｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金の透磁率に着目し、焼結前の混合粉末の透磁率を低減することで、ターゲット材の透磁率を低減する有効な方法である。しかしながら、厚さが５ｍｍを超えるようなターゲット材をマグネトロンスパッタリングする際には、透磁率の低減が十分ではなく、安定的な漏洩磁束を得るためには、なお課題を有している。
本発明の目的は、強い漏洩磁束が得られ透磁率が低く、マグネトロンスパッタリングにおける使用効率が高いＣｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金ターゲット材の製造方法を提供することである。
The above-described method for manufacturing a Co—Fe—Ni alloy target material focuses on the magnetic permeability of the Co—Fe—Ni alloy, and reduces the magnetic permeability of the target material by reducing the magnetic permeability of the mixed powder before sintering. It is an effective method for reducing the above. However, when magnetron sputtering is performed on a target material having a thickness exceeding 5 mm, the permeability is not sufficiently reduced, and there is still a problem to obtain a stable leakage magnetic flux.
An object of the present invention is to provide a method for producing a Co—Fe—Ni alloy target material having a strong leakage magnetic flux, a low magnetic permeability, and a high use efficiency in magnetron sputtering.
本発明者は、粉末焼結法によるＣｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金スパッタリングターゲット材の透磁率をさらに低減するために種々の検討を行った結果、加圧焼結に利用する原料粉末の組成制御をすることで、Ｃｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金ターゲット材の透磁率を低減でき、強い漏洩磁束が得られることを見出し本発明に到達した。 As a result of various studies to further reduce the magnetic permeability of the Co—Fe—Ni alloy sputtering target material by the powder sintering method, the present inventor has controlled the composition of the raw material powder used for pressure sintering. As a result, it was found that the magnetic permeability of the Co—Fe—Ni alloy target material can be reduced and a strong leakage magnetic flux can be obtained, and the present invention has been achieved.
すなわち、本発明は、原子比における組成式が（（Ｃｏａ−Ｆｅ１００−ａ）１００−ｂＮｉｂ）１００−ｃ−Ｍ１ｃ、１０≦ａ≦９０、０＜ｂ≦２０、５≦ｃ≦２０で表され、前記組成式のＭ１元素が（Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｂ）から選ばれる１種以上の元素であるＣｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金スパッタリングターゲット材の製造方法であって、
原子比における組成式がＦｅ１００−Ｘ−Ｍ１Ｘ、５≦Ｘ≦３０で表され、Ｍ１元素が１種以上含まれるＦｅ合金粉末を粉末Ａ、
Ｃｏおよび／または１種以上のＭ１元素を含有するＣｏ合金粉末を粉末Ｂ、
Ｎｉ粉末を粉末Ｃ、
としたとき、粉末Ａ、粉末Ｂおよび粉末Ｃを前記組成式を満たすように混合した混合粉末を加圧焼結するＣｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金スパッタリングターゲット材の製造方法である。
That is, the present invention provides a composition formula in the atomic ratio ((Co a -Fe 100-a ) 100-b Ni b) 100-c -M1 c, 10 ≦ a ≦ 90,0 <b ≦ 20,5 ≦ c In the method for producing a Co—Fe—Ni alloy sputtering target material represented by ≦ 20, wherein the M1 element of the composition formula is one or more elements selected from (Zr, Nb, Ta, Hf, Ti, B). There,
Composition formula in atomic ratio is represented by Fe 100-X -M1 X, 5 ≦ X ≦ 30, M1 element included one or more Fe alloy powder powder A,
Co alloy powder containing Co and / or one or more M1 elements is powder B,
Ni powder to powder C,
In this case, a Co—Fe—Ni alloy sputtering target material is produced by pressure sintering a mixed powder obtained by mixing powder A, powder B and powder C so as to satisfy the composition formula.
本発明によれば、安定したマグネトロンスパッタリングが行える軟磁性膜形成用のＣｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金スパッタリングターゲット材を提供でき、垂直磁気記録媒体のようにＣｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金の軟磁性膜を必要とする工業製品を製造する上で極めて有効な技術となる。 According to the present invention, a Co—Fe—Ni alloy sputtering target material for forming a soft magnetic film capable of stable magnetron sputtering can be provided, and a Co—Fe—Ni alloy soft magnetic film like a perpendicular magnetic recording medium can be provided. This is an extremely effective technique for manufacturing industrial products that require the use of
上述したように、本発明の最も重要な特徴は、原子比における組成式が（（Ｃｏａ−Ｆｅ１００−ａ）１００−ｂ−Ｎｉｂ）１００−ｃ−Ｍ１ｃ、１０≦ａ≦９０、０＜ｂ≦２０、５≦ｃ≦２０で表され、前記組成式のＭ１元素が（Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｂ）から選ばれる１種以上の元素であるＣｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金スパッタリングターゲット材の透磁率を低減するために、粉末焼結法において最適な原料粉末の組成と組合せを見出したことである。 As described above, the most important feature of the present invention, a composition formula in the atomic ratio ((Co a -Fe 100-a ) 100-b -Ni b) 100-c -M1 c, 10 ≦ a ≦ 90, Co—Fe—Ni, represented by 0 <b ≦ 20, 5 ≦ c ≦ 20, wherein the M1 element in the composition formula is one or more elements selected from (Zr, Nb, Ta, Hf, Ti, B) In order to reduce the magnetic permeability of the system alloy sputtering target material, the optimum composition and combination of raw material powders have been found in the powder sintering method.
本発明においては、上記組成のＣｏとＦｅとＮｉを含むＣｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金スパッタリングターゲット材の透磁率をより低減する製造方法を検討し、粉末焼結法を適用すること、そして、粉末焼結をする際の原料粉末の組成とその最適な組合せを以下の通り、見出したものである。
一般的に、多結晶体の透磁率には磁気モーメントが大きく影響し、磁気モーメントが大きい場合には高透磁率になり、磁気モーメントが小さい場合には低透磁率になる。特に本発明のようにＣｏとＦｅとＮｉを含む合金においては、磁気モーメントが増大するのを防止するためにＦｅとＣｏ、ＦｅとＮｉとの合金化を抑制する必要がある。さらには、強磁性元素であるＣｏ、Ｆｅ自身の磁気モーメントを低減することも重要である。
In the present invention, a manufacturing method for further reducing the magnetic permeability of a Co—Fe—Ni alloy sputtering target material containing Co, Fe, and Ni having the above composition is studied, a powder sintering method is applied, and a powder The composition of the raw material powder during sintering and the optimal combination thereof have been found as follows.
In general, the magnetic moment has a large influence on the permeability of the polycrystalline body, and when the magnetic moment is large, the magnetic permeability is high, and when the magnetic moment is small, the magnetic permeability is low. In particular, in an alloy containing Co, Fe and Ni as in the present invention, it is necessary to suppress alloying of Fe and Co and Fe and Ni in order to prevent an increase in magnetic moment. It is also important to reduce the magnetic moments of the ferromagnetic elements Co and Fe themselves.
そこで、粉末Ａとしては、遷移金属元素中で磁気モーメントが最大であるＦｅに対してＭ１元素を積極的に添加することで、原料粉末としての磁気モーメントを低減したＦｅ合金粉末とし、原子比における組成式がＦｅ１００−Ｘ−Ｍ１Ｘ、５≦Ｘ≦３０で表され、Ｍ１元素が１種以上含まれるＦｅ合金粉末とする。それは、ＣｏとＦｅとＮｉの対比で、最も磁気モーメントが大きいＦｅの磁気モーメントを大幅に低減させることが可能となるためである。ここで、Ｍ１元素の添加量を５≦Ｘ≦３０としたのは、添加量Ｘが５原子％より少ないとＦｅの磁気モーメントの低減に効果が少なく、添加量Ｘが３０原子％より多いとＦｅ−Ｍ１合金の液相温度が高くなり、合金粉末の製造が困難になるためである。 Therefore, as the powder A, the M1 element is positively added to Fe having the maximum magnetic moment among the transition metal elements, thereby obtaining a Fe alloy powder having a reduced magnetic moment as a raw material powder. represented by a compositional formula of Fe 100-X -M1 X, 5 ≦ X ≦ 30, M1 element is an Fe alloy powder contained 1 or more. This is because the magnetic moment of Fe having the largest magnetic moment can be significantly reduced by comparing Co, Fe and Ni. Here, the addition amount of the M1 element is set to 5 ≦ X ≦ 30 because when the addition amount X is less than 5 atomic%, there is little effect in reducing the magnetic moment of Fe, and when the addition amount X is more than 30 atomic%. This is because the liquidus temperature of the Fe-M1 alloy becomes high and it becomes difficult to produce the alloy powder.
また、粉末Ｂとしては、Ｃｏ粉末および／または１種以上のＭ１元素を含有するＣｏ合金粉末とする。それは、Ｃｏ粉末は、室温領域では結晶磁気異方性の大きいＨＣＰが安定であるが、他元素と合金化が進むと結晶磁気異方性の小さいＦＣＣ構造になる場合がある。よって、Ｃｏ粉末のまま使用することで、ターゲットのミクロ組織にＨＣＰ−Ｃｏ相を生成でき、結晶磁気異方性を増大させることができるため、透磁率を低減することが可能となる。また、１種以上のＭ１元素を含有するＣｏ合金粉末を使用した場合は、Ｃｏの磁気モーメントを低減させることが可能である。
なお、粉末Ｂとしては、Ｃｏ粉末のみを使用して結晶磁気異方性を増大させた方が望ましい。ただし、粉末ＡのＦｅ合金粉末側に添加しきれなかったＭ１元素は、Ｃｏに含有させて、Ｃｏの磁気モーメントを低減させた方が望ましい。
また、１種以上のＭ１元素を含有するＣｏ合金粉末としては、Ｍ１元素を３０原子％以下含有することがより望ましい。ここで、Ｍ１元素の含有量を３０原子％以下としたのは、Ｍ１元素を３０原子％含有量させたＣｏ合金粉末の磁気モーメントがほぼ零になることを確認できたため、粉末ＡのＦｅ合金粉末側の磁気モーメント低減とのバランスを考慮して３０原子％を上限とするのが望ましいためである。
The powder B is a Co powder and / or a Co alloy powder containing one or more M1 elements. As for Co powder, HCP having a large magnetocrystalline anisotropy is stable in a room temperature region, but when alloying with other elements proceeds, an FCC structure having a small magnetocrystalline anisotropy may be obtained. Therefore, by using the Co powder as it is, an HCP-Co phase can be generated in the microstructure of the target and the magnetocrystalline anisotropy can be increased, so that the magnetic permeability can be reduced. In addition, when a Co alloy powder containing one or more M1 elements is used, the magnetic moment of Co can be reduced.
As the powder B, it is desirable to increase the magnetocrystalline anisotropy using only Co powder. However, it is desirable that the M1 element that could not be added to the Fe alloy powder side of the powder A is contained in Co to reduce the magnetic moment of Co.
Moreover, as Co alloy powder containing 1 or more types of M1 element, it is more desirable to contain 30 atomic% or less of M1 element. Here, the content of the M1 element was set to 30 atomic% or less because it was confirmed that the magnetic moment of the Co alloy powder containing 30 M% of the M1 element was almost zero. This is because it is desirable to set the upper limit to 30 atomic% in consideration of the balance with the magnetic moment reduction on the powder side.
また、粉末ＣとしてはＮｉにＭ１元素を添加せずＮｉ粉末とする。それは、Ｎｉが遷移金属元素中で磁気モーメントが最小であることから、上述のようにＭ１元素は、磁気モーメントが大きいＦｅやＣｏに添加して磁気モーメントを低減させた方が望ましいためである。 The powder C is Ni powder without adding the M1 element to Ni. This is because, since Ni has the smallest magnetic moment in the transition metal element, it is desirable to add the M1 element to Fe or Co having a large magnetic moment to reduce the magnetic moment as described above.
また、本発明のスパッタリングターゲット材の化学組成は、原子比における組成式が（（Ｃｏａ−Ｆｅ１００−ａ）１００−ｂ−Ｎｉｂ）１００−ｃ−Ｍ１ｃ、１０≦ａ≦９０、０＜ｂ≦２０、５≦ｃ≦２０で表され、前記組成式のＭ１元素が（Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｂ）から選ばれる１種以上の元素からなるものである。
ＣｏとＦｅとの組成比ａを１０≦ａ≦９０としたのは、Ｃｏ−Ｆｅ二元系合金膜において、Ｃｏ含有量を原子比で１０〜９０％にすることで高い飽和磁化を持ち軟磁気特性に優れた薄膜を生成できるためである。
Ｃｏ―Ｆｅ合金とＮｉとの組成比ｂを０＜ｂ≦２０としたのは、Ｎｉをこの範囲で含有させることで、飽和磁化を大きく低減させることなく磁歪が低減でき、薄膜の軟磁気特性を向上させる効果があるためであり、Ｎｉの組成比が原子比で２０％を超えると飽和磁化の低下が大きくなる。
Ｍ１元素（Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｂ）から選ばれる１種以上の元素の添加量ｃを５≦ｃ≦２０としたのは、Ｍ１元素から選ばれる１種以上の元素をこの範囲で添加することで、薄膜のアモルファス化を促進させる効果があるためである。さらに磁歪が低減し、軟磁気特性を向上させる効果や耐食性を向上させる効果があるためである。
The chemical composition of the sputtering target material of the present invention is such that the composition formula in atomic ratio is ((Co a -Fe 100-a ) 100-b -Ni b ) 100-c -M1 c , 10 ≦ a ≦ 90, 0 <B ≦ 20, 5 ≦ c ≦ 20, and the M1 element of the composition formula is composed of one or more elements selected from (Zr, Nb, Ta, Hf, Ti, B).
The reason why the composition ratio a between Co and Fe is 10 ≦ a ≦ 90 is that in a Co—Fe binary alloy film, the Co content is set to 10 to 90% by atomic ratio to provide high saturation magnetization and softness. This is because a thin film having excellent magnetic properties can be produced.
The reason why the composition ratio b between the Co—Fe alloy and Ni is 0 <b ≦ 20 is that by including Ni in this range, magnetostriction can be reduced without greatly reducing the saturation magnetization, and the soft magnetic properties of the thin film This is because when the composition ratio of Ni exceeds 20% in terms of atomic ratio, the saturation magnetization decreases greatly.
The addition amount c of one or more elements selected from M1 elements (Zr, Nb, Ta, Hf, Ti, B) is 5 ≦ c ≦ 20 because one or more elements selected from M1 elements are This is because the addition within the range has the effect of promoting the amorphization of the thin film. This is because magnetostriction is further reduced, and soft magnetic characteristics are improved and corrosion resistance is improved.
また、本発明のＡ粉末、Ｂ粉末および粉末Ｃは、所望の組成に成分調整した合金溶湯を鋳造したインゴットを粉砕して作製する方法、合金溶湯を不活性ガスを用いて噴霧することで粉末を形成するガスアトマイズ法によって作製することが可能である。なお、粉末の作製方法としては、不純物の混入が少なく、充填率が高く焼結に適した球状粉末が得られるガスアトマイズ法が好ましい。また、粉末の粒径としては、組織の粗大化を抑制するために平均粒径２５０μm以下とすることが好ましい。さらに粉末の充填率を高くし、焼結性を向上されるために、さらに好ましくは１５０μm以下である。 The A powder, B powder and powder C of the present invention are prepared by pulverizing an ingot obtained by casting a molten alloy whose components are adjusted to a desired composition, and by spraying the molten alloy using an inert gas. It is possible to produce by the gas atomization method which forms. In addition, as a method for producing the powder, a gas atomizing method is preferable, in which a spherical powder having a small filling ratio and a high filling rate and suitable for sintering is obtained. The particle size of the powder is preferably set to an average particle size of 250 μm or less in order to suppress coarsening of the structure. Further, in order to increase the filling rate of the powder and improve the sinterability, it is more preferably 150 μm or less.
また、混合粉末の加圧焼結方法としては、ホットプレス、熱間静水圧プレス、通電加圧焼結、熱間押し出しなどの方法を適用することができる。中でも熱間静水圧プレスは加圧圧力が高く、最高温度を低く抑えて拡散層の生成を抑制しても、緻密な焼結体が得られるため、特に好ましい。
なお、加圧焼結時の最高温度は８００℃以上、１２００℃以下の温度に設定することが好ましい。この理由は焼結温度が８００℃を下回ると、緻密な焼結体が得られ難く、１２００℃を超えると焼結中に合金粉末が溶解する場合があるためである。さらに、最高温度が高過ぎると、粉末粒子同士の拡散が進み、磁気モーメントが増加するため、さらに好ましくは９００℃から１１００℃の範囲に設定すると良い。
また、加圧焼結時の最高圧力は２０ＭＰａ以上に設定することが好ましい。その理由は最高圧力が２０ＭＰａを下回ると緻密な焼結体が得られないためである。
In addition, as a pressure sintering method for the mixed powder, methods such as hot pressing, hot isostatic pressing, energizing pressure sintering, and hot extrusion can be applied. Among them, the hot isostatic press is particularly preferable because the pressurization pressure is high and a dense sintered body can be obtained even if the maximum temperature is kept low to suppress the formation of the diffusion layer.
The maximum temperature during pressure sintering is preferably set to a temperature of 800 ° C. or higher and 1200 ° C. or lower. This is because when the sintering temperature is below 800 ° C., a dense sintered body is difficult to obtain, and when it exceeds 1200 ° C., the alloy powder may be dissolved during sintering. Furthermore, if the maximum temperature is too high, diffusion between the powder particles proceeds and the magnetic moment increases, so it is more preferable to set the temperature in the range of 900 ° C to 1100 ° C.
The maximum pressure during pressure sintering is preferably set to 20 MPa or more. The reason is that if the maximum pressure is less than 20 MPa, a dense sintered body cannot be obtained.
また、本発明のスパッタリングターゲット材においては、（Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｓｎ）から選ばれる１種または２種以上のＭ２元素が１０原子％以下、好ましくは１原子％以上含有することが好ましい。
Ｍ２元素（Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｓｎ）から選らばれる１種または２種以上の元素の添加することで、薄膜の耐食性の向上がさらに期待できるためである。
そして、本発明においては、Ｍ２元素をＡ粉末、Ｂ粉末のどちらに含有させてもよい。Ｍ２元素をＡ粉末に含有させた場合は、Ｆｅの磁気モーメントを低減させる効果があり、また、Ｍ２元素をＢ粉末に含有させた場合は、Ｃｏの磁気モーメントを低減させる効果があるためである。
なお、Ｍ２元素をＡ粉末あるいはＢ粉末に含有させる場合には、それぞれの粉末に１０原子％以上含有させることが望ましい。それは、Ｍ２元素を１０原子％以上含有させることでＦｅあるいはＣｏの磁気モーメントを十分に低減できるためである。
In the sputtering target material of the present invention, one or two or more M2 elements selected from (Cr, Mo, W, Al, Si, Sn) are contained in an amount of 10 atomic% or less, preferably 1 atomic% or more. It is preferable.
This is because the addition of one or more elements selected from M2 elements (Cr, Mo, W, Al, Si, Sn) can further improve the corrosion resistance of the thin film.
In the present invention, the M2 element may be contained in either the A powder or the B powder. When the M2 element is contained in the A powder, there is an effect of reducing the magnetic moment of Fe, and when the M2 element is contained in the B powder, there is an effect of reducing the magnetic moment of Co. .
In addition, when M2 element is contained in A powder or B powder, it is desirable to contain 10 atomic% or more in each powder. This is because the magnetic moment of Fe or Co can be sufficiently reduced by containing 10 atomic% or more of the M2 element.
以下の実施例で本発明をさらに詳しく説明する。Ｃｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金に含まれるＭ１元素として、IVａ元素（Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ）の代表例としてＺｒを必須で含有する合金組成を選択した。
以下の実施例では合金組成は全て（（Ｃｏ７２−Ｆｅ２８）９０−Ｎｉ１０）９０−（Ｚｒ５０―Ｎｂ５０）１０（原子％）とした。表１に示す各粉末をＡｒガスを用いたガスアトマイズ法によって作製した後、得られたアトマイズ粉末を２５０メッシュのふるいで分級した。それぞれのアトマイズ粉末を表１の組み合わせで混合粉末の組成が（（Ｃｏ７２−Ｆｅ２８）９０−Ｎｉ１０）９０−（Ｚｒ５０―Ｎｂ５０）１０（原子％）となるように、秤量し、混合した後、軟鋼カプセルに充填して脱気封止した。次いで、圧力１２２ＭＰａ、温度９５０℃、保持時間１時間の条件で熱間静水圧プレス法により焼結体を作製し、機械加工により直径１９０ｍｍ、厚さ７ｍｍのＣｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金ターゲット材を得た。
また、溶解鋳造により同一組成のインゴットを作製した後、機械加工を施して直径１９０ｍｍ、厚さ７ｍｍのＣｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金ターゲット材を得た。
The following examples further illustrate the present invention. As a representative example of the IVa element (Ti, Zr, Hf) as the M1 element contained in the Co—Fe—Ni alloy, an alloy composition containing Zr as an essential example was selected.
In the following examples all the alloy composition ((Co 72 -Fe 28) 90 -Ni 10) 90 - was (Zr 50 -Nb 50) 10 (atomic%). Each powder shown in Table 1 was produced by a gas atomizing method using Ar gas, and then the obtained atomized powder was classified with a 250 mesh sieve. Each atomized powder composition of the mixed powder in combination Table 1 ((Co 72 -Fe 28) 90 -Ni 10) 90 - so that the (Zr 50 -Nb 50) 10 (atomic%), were weighed, After mixing, it was filled in a mild steel capsule and degassed and sealed. Next, a sintered body was produced by hot isostatic pressing under conditions of a pressure of 122 MPa, a temperature of 950 ° C., and a holding time of 1 hour, and a Co—Fe—Ni alloy target material having a diameter of 190 mm and a thickness of 7 mm was obtained by machining. Obtained.
Moreover, after producing an ingot having the same composition by melt casting, machining was performed to obtain a Co—Fe—Ni alloy target material having a diameter of 190 mm and a thickness of 7 mm.
作製した各ターゲット材の端材から長さ３０ｍｍ、幅１０ｍｍ、厚さ５ｍｍの試験片を採取した。さらに東英工業（株）製直流磁気特性測定装置ＴＲＦ５Ａを使用してこれらの試験片の磁化曲線を測定した。得られた磁化曲線から最大透磁率を求め、表２に示した。表２から、本発明例のターゲット材が比較例のターゲット材に比べ、低い最大透磁率を示していることがわかる。 A test piece having a length of 30 mm, a width of 10 mm, and a thickness of 5 mm was collected from the end material of each of the prepared target materials. Furthermore, the magnetization curves of these test pieces were measured using a DC magnetic property measuring apparatus TRF5A manufactured by Toei Industry Co., Ltd. The maximum magnetic permeability was determined from the obtained magnetization curve and shown in Table 2. From Table 2, it can be seen that the target material of the present invention example shows a lower maximum magnetic permeability than the target material of the comparative example.
以上より、１種以上のＭ１元素を５原子％以上３０原子％以下含有するＦｅ合金粉末と、Ｃｏおよび／または１種以上のＭ１元素を含有するＣｏ合金粉末から選ばれる２種以上の粉末と、Ｎｉ粉末とを混合した混合粉末を加圧焼結することにより作製した本発明のＣｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金ターゲット材は、低い最大透磁率が得られることが確認できた。 From the above, Fe alloy powder containing 5 atomic% or more and 30 atomic% or less of one or more M1 elements, and two or more powders selected from Co and / or Co alloy powder containing one or more M1 elements; It was confirmed that the Co—Fe—Ni alloy target material of the present invention produced by pressure sintering the mixed powder obtained by mixing the Ni powder can obtain a low maximum magnetic permeability.
以下の実施例では合金組成は全て（（Ｃｏ５３−Ｆｅ４７）９５−Ｎｉ５）９０−（Ｚｒ５０―Ｔａ５０）１０（原子％）とした。表３に示す各粉末をＡｒガスを用いたガスアトマイズ法によって作製した後、得られたアトマイズ粉末を２５０メッシュのふるいで分級した。それぞれのアトマイズ粉末を表３の組み合わせで混合粉末の組成が（（Ｃｏ５３−Ｆｅ４７）９５−Ｎｉ５）９０−（Ｚｒ５０―Ｔａ５０）１０（原子％）となるように、秤量し、混合した後、軟鋼カプセルに充填して脱気封止した。次いで、圧力１２２ＭＰａ、温度９５０℃、保持時間１時間の条件で熱間静水圧プレス法により焼結体を作製し、機械加工により直径１９０ｍｍ、厚さ７ｍｍのＣｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金ターゲット材を得た。 In the following examples all the alloy composition ((Co 53 -Fe 47) 95 -Ni 5) 90 - was (Zr 50 -Ta 50) 10 (atomic%). After preparing each powder shown in Table 3 by the gas atomization method using Ar gas, the obtained atomized powder was classified with a 250 mesh sieve. Each atomized powder composition of the mixed powder by a combination of Table 3 ((Co 53 -Fe 47) 95 -Ni 5) 90 - so that the (Zr 50 -Ta 50) 10 (atomic%), were weighed, After mixing, it was filled in a mild steel capsule and degassed and sealed. Next, a sintered body was produced by hot isostatic pressing under conditions of a pressure of 122 MPa, a temperature of 950 ° C., and a holding time of 1 hour, and a Co—Fe—Ni alloy target material having a diameter of 190 mm and a thickness of 7 mm was obtained by machining. Obtained.
作製した各ターゲット材の端材から長さ３０ｍｍ、幅１０ｍｍ、厚さ５ｍｍの試験片を採取した。さらに東英工業（株）製直流磁気特性測定装置ＴＲＦ５Ａを使用してこれらの試験片の磁化曲線を測定した。得られた磁化曲線から最大透磁率を求め、表４に示した。表４から、本発明例のターゲット材が比較例のターゲット材に比べ、低い最大透磁率を示していることがわかる。 A test piece having a length of 30 mm, a width of 10 mm, and a thickness of 5 mm was collected from the end material of each of the prepared target materials. Furthermore, the magnetization curves of these test pieces were measured using a DC magnetic property measuring apparatus TRF5A manufactured by Toei Industry Co., Ltd. The maximum permeability was determined from the obtained magnetization curve and is shown in Table 4. From Table 4, it can be seen that the target material of the present invention example has a lower maximum magnetic permeability than the target material of the comparative example.
以下の実施例では合金組成は全て（（Ｃｏ５３−Ｆｅ４７）９５−Ｎｉ５）９２−（Ｚｒ３７―Ｔａ６３）８（原子％）とした。表５に示す各粉末をＡｒガスを用いたガスアトマイズ法によって作製した後、得られたアトマイズ粉末を２５０メッシュのふるいで分級した。それぞれのアトマイズ粉末を表５の組み合わせで混合粉末の組成が（（Ｃｏ５３−Ｆｅ４７）９５−Ｎｉ５）９２−（Ｚｒ３７―Ｔａ６３）８（原子％）となるように、秤量し、混合した後、軟鋼カプセルに充填して脱気封止した。次いで、圧力１２２ＭＰａ、温度９５０℃、保持時間１時間の条件で熱間静水圧プレス法により焼結体を作製し、機械加工により直径１９０ｍｍ、厚さ７ｍｍのＣｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金ターゲット材を得た。 In the following examples, the alloy composition was all set to ((Co 53 —Fe 47 ) 95 —Ni 5 ) 92 — (Zr 37 —Ta 63 ) 8 (atomic%). Each powder shown in Table 5 was produced by a gas atomization method using Ar gas, and then the obtained atomized powder was classified with a 250 mesh sieve. Each atomized powder composition of the mixed powder in combination Table 5 ((Co 53 -Fe 47) 95 -Ni 5) 92 - so that (Zr 37 -Ta 63) 8 (atomic%), were weighed, After mixing, it was filled in a mild steel capsule and degassed and sealed. Next, a sintered body was produced by hot isostatic pressing under conditions of a pressure of 122 MPa, a temperature of 950 ° C., and a holding time of 1 hour, and a Co—Fe—Ni alloy target material having a diameter of 190 mm and a thickness of 7 mm was obtained by machining. Obtained.
作製した各ターゲット材の端材から長さ３０ｍｍ、幅１０ｍｍ、厚さ５ｍｍの試験片を採取した。さらに東英工業（株）製直流磁気特性測定装置ＴＲＦ５Ａを使用してこれらの試験片の磁化曲線を測定した。得られた磁化曲線から最大透磁率を求め、表６に示した。表６から、本発明例のターゲット材が比較例のターゲット材に比べ、低い最大透磁率を示していることがわかる。 A test piece having a length of 30 mm, a width of 10 mm, and a thickness of 5 mm was collected from the end material of each of the prepared target materials. Furthermore, the magnetization curves of these test pieces were measured using a DC magnetic property measuring apparatus TRF5A manufactured by Toei Industry Co., Ltd. The maximum magnetic permeability was determined from the obtained magnetization curve and shown in Table 6. From Table 6, it can be seen that the target material of the present invention example shows a lower maximum magnetic permeability than the target material of the comparative example.
以下の実施例では合金組成は全て（（Ｃｏ８９−Ｆｅ１１）９０−Ｎｉ１０）９２−（Ｚｒ６３―Ｎｂ３７）８（原子％）とした。表７に示す各粉末をＡｒガスを用いたガスアトマイズ法によって作製した後、得られたアトマイズ粉末を２５０メッシュのふるいで分級した。それぞれのアトマイズ粉末を表７の組み合わせで混合粉末の組成が（（Ｃｏ８９−Ｆｅ１１）９０−Ｎｉ１０）９２−（Ｚｒ６３―Ｎｂ３７）８（原子％）となるように、秤量し、混合した後、軟鋼カプセルに充填して脱気封止した。次いで、圧力１２２ＭＰａ、温度９５０℃、保持時間１時間の条件で熱間静水圧プレス法により焼結体を作製し、機械加工により直径１９０ｍｍ、厚さ７ｍｍのＣｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金ターゲット材を得た。
また、溶解鋳造により同一組成のインゴットを作製した後、機械加工を施して直径１９０ｍｍ、厚さ７ｍｍのＣｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金ターゲット材を得た。
In the following examples all the alloy composition ((Co 89 -Fe 11) 90 -Ni 10) 92 - was (Zr 63 -Nb 37) 8 (atomic%). Each powder shown in Table 7 was produced by a gas atomizing method using Ar gas, and then the obtained atomized powder was classified with a 250 mesh sieve. Each atomized powder composition of the mixed powder in combination Table 7 ((Co 89 -Fe 11) 90 -Ni 10) 92 - so that (Zr 63 -Nb 37) 8 (atomic%), were weighed, After mixing, it was filled in a mild steel capsule and degassed and sealed. Next, a sintered body was produced by hot isostatic pressing under conditions of a pressure of 122 MPa, a temperature of 950 ° C., and a holding time of 1 hour, and a Co—Fe—Ni alloy target material having a diameter of 190 mm and a thickness of 7 mm was obtained by machining. Obtained.
Moreover, after producing an ingot having the same composition by melt casting, machining was performed to obtain a Co—Fe—Ni alloy target material having a diameter of 190 mm and a thickness of 7 mm.
作製した各ターゲット材の端材から長さ３０ｍｍ、幅１０ｍｍ、厚さ５ｍｍの試験片を採取した。さらに東英工業（株）製直流磁気特性測定装置ＴＲＦ５Ａを使用してこれらの試験片の磁化曲線を測定した。得られた磁化曲線から最大透磁率を求め、表８に示した。表８から、本発明例のターゲット材が比較例のターゲット材に比べ、低い最大透磁率を示していることがわかる。 A test piece having a length of 30 mm, a width of 10 mm, and a thickness of 5 mm was collected from the end material of each of the prepared target materials. Furthermore, the magnetization curves of these test pieces were measured using a DC magnetic property measuring apparatus TRF5A manufactured by Toei Industry Co., Ltd. The maximum magnetic permeability was determined from the obtained magnetization curve and shown in Table 8. From Table 8, it can be seen that the target material of the present invention example shows a lower maximum magnetic permeability than the target material of the comparative example.
以下の実施例では合金組成は全て（（Ｃｏ７６−Ｆｅ２４）９９−Ｎｉ１）９４−（Ｚｒ６７―Ｔａ３３）６（原子％）とした。表９に示す各粉末をＡｒガスを用いたガスアトマイズ法によって作製した後、得られたアトマイズ粉末を２５０メッシュのふるいで分級した。それぞれのアトマイズ粉末を表９の組み合わせで混合粉末の組成が（（Ｃｏ７６−Ｆｅ２４）９９−Ｎｉ１）９４−（Ｚｒ６７―Ｔａ３３）６（原子％）となるように、秤量し、混合した後、軟鋼カプセルに充填して脱気封止した。次いで、圧力１２２ＭＰａ、温度９５０℃、保持時間１時間の条件で熱間静水圧プレス法により焼結体を作製し、機械加工により直径１９０ｍｍ、厚さ７ｍｍのＣｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金ターゲット材を得た。
また、溶解鋳造により同一組成のインゴットを作製した後、機械加工を施して直径１９０ｍｍ、厚さ７ｍｍのＣｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金ターゲット材を得た。
In the following examples, the alloy compositions were all set to ((Co 76 —Fe 24 ) 99 —Ni 1 ) 94 — (Zr 67 —Ta 33 ) 6 (atomic%). Each powder shown in Table 9 was produced by a gas atomizing method using Ar gas, and then the obtained atomized powder was classified with a 250 mesh sieve. Each atomized powder composition of the mixed powder in combination Table 9 ((Co 76 -Fe 24) 99 -Ni 1) 94 - so that (Zr 67 -Ta 33) 6 (atomic%), were weighed, After mixing, it was filled in a mild steel capsule and degassed and sealed. Next, a sintered body was produced by hot isostatic pressing under conditions of a pressure of 122 MPa, a temperature of 950 ° C., and a holding time of 1 hour, and a Co—Fe—Ni alloy target material having a diameter of 190 mm and a thickness of 7 mm was obtained by machining. Obtained.
Moreover, after producing an ingot having the same composition by melt casting, machining was performed to obtain a Co—Fe—Ni alloy target material having a diameter of 190 mm and a thickness of 7 mm.
作製した各ターゲット材の端材から長さ３０ｍｍ、幅１０ｍｍ、厚さ５ｍｍの試験片を採取した。さらに東英工業（株）製直流磁気特性測定装置ＴＲＦ５Ａを使用してこれらの試験片の磁化曲線を測定した。得られた磁化曲線から最大透磁率を求め、表１０に示した。表１０から、本発明例のターゲット材が比較例のターゲット材に比べ、低い最大透磁率を示していることがわかる。 A test piece having a length of 30 mm, a width of 10 mm, and a thickness of 5 mm was collected from the end material of each of the prepared target materials. Furthermore, the magnetization curves of these test pieces were measured using a DC magnetic property measuring apparatus TRF5A manufactured by Toei Industry Co., Ltd. The maximum magnetic permeability was determined from the obtained magnetization curve and shown in Table 10. From Table 10, it can be seen that the target material of the present invention example shows a lower maximum magnetic permeability than the target material of the comparative example.
以下の実施例では合金組成は全て（（Ｃｏ５３−Ｆｅ４７）９４−Ｎｉ６）８８−（Ｚｒ５０―Ｂ５０）１２（原子％）とした。表１１に示す各粉末をＡｒガスを用いたガスアトマイズ法によって作製した後、得られたアトマイズ粉末を２５０メッシュのふるいで分級した。それぞれのアトマイズ粉末を表１１の組み合わせで混合粉末の組成が（（Ｃｏ５３−Ｆｅ４７）９４−Ｎｉ６）８８−（Ｚｒ５０―Ｂ５０）１２（原子％）となるように、秤量し、混合した後、軟鋼カプセルに充填して脱気封止した。次いで、圧力１２２ＭＰａ、温度９５０℃、保持時間１時間の条件で熱間静水圧プレス法により焼結体を作製し、機械加工により直径１９０ｍｍ、厚さ７ｍｍのＣｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金ターゲット材を得た。 In the following examples, the alloy composition was all set to ((Co 53 —Fe 47 ) 94 —Ni 6 ) 88 — (Zr 50 —B 50 ) 12 (atomic%). After preparing each powder shown in Table 11 by the gas atomization method using Ar gas, the obtained atomized powder was classified with a 250 mesh sieve. Each atomized powder composition of the mixed powder in combination table 11 ((Co 53 -Fe 47) 94 -Ni 6) 88 - so that the (Zr 50 -B 50) 12 (atomic%), were weighed, After mixing, it was filled in a mild steel capsule and degassed and sealed. Next, a sintered body was produced by hot isostatic pressing under conditions of a pressure of 122 MPa, a temperature of 950 ° C., and a holding time of 1 hour, and a Co—Fe—Ni alloy target material having a diameter of 190 mm and a thickness of 7 mm was obtained by machining. Obtained.
作製した各ターゲット材の端材から長さ３０ｍｍ、幅１０ｍｍ、厚さ５ｍｍの試験片を採取した。さらに東英工業（株）製直流磁気特性測定装置ＴＲＦ５Ａを使用してこれらの試験片の磁化曲線を測定した。得られた磁化曲線から最大透磁率を求め、表１２に示した。表１２から、本発明例のターゲット材が低い最大透磁率を示していることがわかる。 A test piece having a length of 30 mm, a width of 10 mm, and a thickness of 5 mm was collected from the end material of each of the prepared target materials. Furthermore, the magnetization curves of these test pieces were measured using a DC magnetic property measuring apparatus TRF5A manufactured by Toei Industry Co., Ltd. The maximum magnetic permeability was determined from the obtained magnetization curve and shown in Table 12. From Table 12, it can be seen that the target material of the present invention example shows a low maximum magnetic permeability.
以上より、１種以上のＭ１元素を５原子％以上３０原子％以下含有するＦｅ合金粉末と、Ｃｏおよび／または１種以上のＭ１元素を含有するＣｏ合金粉末から選ばれる２種以上の粉末と、Ｎｉ粉末とを混合した混合粉末を加圧焼結することにより作製した本発明のＣｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金ターゲット材は、低い最大透磁率が得られることが確認できた。 From the above, Fe alloy powder containing 5 atomic% or more and 30 atomic% or less of one or more M1 elements, and two or more powders selected from Co and / or Co alloy powder containing one or more M1 elements; It was confirmed that the Co—Fe—Ni alloy target material of the present invention produced by pressure sintering the mixed powder obtained by mixing the Ni powder can obtain a low maximum magnetic permeability.
本発明では、Ｃｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金スパッタリングターゲット材を、１種以上のＭ１元素を５原子％以上３０原子％以下含有するＦｅ合金粉末と、Ｃｏおよび／または１種以上のＭ１元素を含有するＣｏ合金粉末から選ばれる２種以上の粉末と、Ｎｉ粉末とを混合した混合粉末を加圧焼結して作製することにより、最大透磁率が低く、漏洩磁束が強いＣｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金スパッタリングターゲット材が得られる。この結果、軟磁性膜形成に際して、安定したマグネトロンスパッタリングを行うことが可能となる。 In the present invention, a Co—Fe—Ni-based alloy sputtering target material contains Fe alloy powder containing 5 atomic% or more and 30 atomic% or less of one or more M1 elements, and Co and / or one or more M1 elements. Co-Fe-Ni system with low maximum magnetic permeability and strong magnetic flux leakage by press-sintering a mixed powder obtained by mixing two or more kinds of powders selected from Co alloy powder and Ni powder An alloy sputtering target material is obtained. As a result, stable magnetron sputtering can be performed when forming the soft magnetic film.
Claims (1)
原子比における組成式がＦｅ１００−ｘ−Ｍ１ｘ、５≦Ｘ≦３０で表され、Ｍ１元素が１種以上含まれるＦｅ合金粉末を粉末Ａ、
Ｃｏおよび／または１種以上のＭ１元素を含有するＣｏ合金粉末を粉末Ｂ、
Ｎｉ粉末を粉末Ｃ、
としたとき、粉末Ａ、粉末Ｂおよび粉末Ｃを前記組成式を満たすように混合した混合粉末を加圧焼結することを特徴とするＣｏ−Ｆｅ−Ｎｉ系合金スパッタリングターゲット材の製造方法。 Composition formula in atomic ratio is represented by ((Co a -Fe 100-a ) 100-b -Ni b) 100-c -M1 c, 10 ≦ a ≦ 90,0 <b ≦ 20,5 ≦ c ≦ 20 A method for producing a Co—Fe—Ni alloy sputtering target material in which the M1 element of the composition formula is one or more elements selected from (Zr, Nb, Ta, Hf, Ti, B),
The composition formula in atomic ratio is represented by Fe 100-x -M1 x , 5 ≦ X ≦ 30, and Fe alloy powder containing at least one M1 element is powder A,
Co alloy powder containing Co and / or one or more M1 elements is powder B,
Ni powder to powder C,
Then, a mixed powder obtained by mixing powder A, powder B, and powder C so as to satisfy the composition formula is subjected to pressure sintering, and a method for producing a Co—Fe—Ni alloy sputtering target material is characterized.
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