JP5386582B2 - 光測定装置およびトリガ信号生成装置 - Google Patents
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Description
上記のような従来技術においては、テラヘルツディテクターの検出結果と、時間の原点を示すトリガ信号とをデジタルオシロスコープに与えて、被測定物を測定する。ただし、トリガ信号は、第一のフェムト秒レーザーから出力される光パルス(テラヘルツディテクターに与えられるプローブ光)の一部と、第二のフェムト秒レーザーから出力される光パルス(テラヘルツエミッターに与えられるポンプ光)の一部とのSFG(Sum Frequency Generation)相互相関をとることにより得られる(例えば、特許文献1の図20を参照)。
なお、トリガ信号については、非特許文献1〜7にも記載がある。
ただし、相互相関をとる対象のプローブ光の一部とポンプ光の一部とのパワーを小さくすれば、テラヘルツディテクターに与えられるプローブ光およびテラヘルツエミッターに与えられるポンプ光のパワーを大きくできる。しかし、この場合は、相互相関光の検出が困難になる。
ここで、プローブ光の一部とポンプ光の一部とを光電変換し、所望のパワーになるまで増幅してから、ミキサにより混合してトリガ信号を得ることも考えられる。
しかし、ミキサによる混合を利用してトリガ信号を得た場合、テラヘルツ光が被測定物を透過したものにおいて生ずるジッタと、トリガ信号において生ずるジッタとは異なる。よって、テラヘルツ光が被測定物を透過したものの測定結果にジッタが生じてしまう。
そこで、本発明は、テラヘルツ光などの光が被測定物を透過したものの測定結果に生ずるジッタを抑制することを課題とする。
本発明にかかる第一の光測定装置は、ポンプ光源からポンプ光パルスを受け、前記ポンプ光パルスの繰り返し周波数と同じ繰り返し周波数を有する被検出光パルスを出力する被検出光パルス出力部と、前記被検出光パルスを受け、プローブ光源からプローブ光パルスを受け、前記プローブ光パルスを受けた時点で、前記被検出光パルスのパワーに応じた信号を出力する信号出力器と、前記信号出力器の出力を、トリガ信号を受けてから次の前記トリガ信号を受けるまでの間に検出することにより、前記信号出力器の出力の波形を測定する波形測定部と、前記プローブ光パルスを光電変換する第一光電変換部と、前記ポンプ光パルスを光電変換する第二光電変換部と、前記第一光電変換部の出力を増幅する第一増幅部と、前記第二光電変換部の出力を増幅する第二増幅部と、前記第一増幅部および前記第二増幅部の出力の相互相関を前記トリガ信号として出力するトリガ信号出力部と、前記プローブ光パルスが、前記プローブ光源から出力されてから、前記トリガ信号出力部に前記第一増幅部の出力として与えられるまでの時間T3と、前記ポンプ光パルスが、前記ポンプ光源から出力されてから、前記トリガ信号出力部に前記第二増幅部の出力として与えられるまでの時間T4との時間差を調整する時間差調整部と、を備え、前記被検出光パルスの繰り返し周波数と前記プローブ光パルスの繰り返し周波数とが異なるように構成される。
上記のように構成された第一の光測定装置によれば、被検出光パルス出力部が、ポンプ光源からポンプ光パルスを受け、前記ポンプ光パルスの繰り返し周波数と同じ繰り返し周波数を有する被検出光パルスを出力する。信号出力器が、前記被検出光パルスを受け、プローブ光源からプローブ光パルスを受け、前記プローブ光パルスを受けた時点で、前記被検出光パルスのパワーに応じた信号を出力する。波形測定部が、前記信号出力器の出力を、トリガ信号を受けてから次の前記トリガ信号を受けるまでの間に検出することにより、前記信号出力器の出力の波形を測定する。第一光電変換部が、前記プローブ光パルスを光電変換する。第二光電変換部が、前記ポンプ光パルスを光電変換する。第一増幅部が、前記第一光電変換部の出力を増幅する。第二増幅部が、前記第二光電変換部の出力を増幅する。トリガ信号出力部が、前記第一増幅部および前記第二増幅部の出力の相互相関を前記トリガ信号として出力する。時間差調整部が、前記プローブ光パルスが、前記プローブ光源から出力されてから、前記トリガ信号出力部に前記第一増幅部の出力として与えられるまでの時間T3と、前記ポンプ光パルスが、前記ポンプ光源から出力されてから、前記トリガ信号出力部に前記第二増幅部の出力として与えられるまでの時間T4との時間差を調整する。しかも、前記被検出光パルスの繰り返し周波数と前記プローブ光パルスの繰り返し周波数とが異なる。
なお、本発明にかかる第一の光測定装置は、前記トリガ信号出力部が、前記第一増幅部の出力を、前記第二増幅部の出力で変調する電気変調部と、前記電気変調部の出力を増幅する増幅部と、前記増幅部の出力を包絡線検波する検波部とを有するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第一の光測定装置は、前記プローブ光パルスが、前記プローブ光源から出力されてから前記信号出力器に与えられるまでの時間をT1とし、前記ポンプ光パルスが前記ポンプ光源から出力されてから、出力された前記ポンプ光パルスにより発生した前記被検出光パルスが前記信号出力器に与えられるまでの時間をT2とし、前記時間差調整部は、時間T4から時間T3を減じた値が、時間T2から時間T1を減じた値と等しくなるように、前記時間差を調整するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第一の光測定装置は、前記時間差調整部は、時間T4が時間T2に等しくなり、時間T3が時間T1に等しくなるようにするようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第一の光測定装置は、前記時間差調整部は、時間T4、時間T2、時間T3および時間T1が等しくなるようにするようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第一の光測定装置は、前記ポンプ光源と前記被検出光パルス出力部とが光ファイバで接続され、前記プローブ光源と前記信号出力器とが光ファイバで接続され、前記プローブ光源と前記第一光電変換部とが光ファイバで接続され、前記ポンプ光源と前記第二光電変換部とが光ファイバで接続されているようにしてもよい。
本発明にかかる第二の光測定装置は、ポンプ光源からポンプ光パルスを受け、前記ポンプ光パルスの繰り返し周波数と同じ繰り返し周波数を有する被検出光パルスを出力する被検出光パルス出力部と、前記被検出光パルスを受け、プローブ光源からプローブ光パルスを受け、前記プローブ光パルスを受けた時点で、前記被検出光パルスのパワーに応じた信号を出力する信号出力器と、前記信号出力器の出力を、トリガ信号を受けてから次の前記トリガ信号を受けるまでの間に検出することにより、前記信号出力器の出力の波形を測定する波形測定部と、前記プローブ光パルスを光電変換する第一光電変換部と、前記第一光電変換部の出力を増幅する第一増幅部と、前記第一増幅部の出力および前記ポンプ光パルスの相互相関を前記トリガ信号として出力するトリガ信号出力部と、前記プローブ光パルスが、前記プローブ光源から出力されてから、前記トリガ信号出力部に前記第一増幅部の出力として与えられるまでの時間T3と、前記ポンプ光パルスが、前記ポンプ光源から出力されてから前記トリガ信号出力部に与えられるまでの時間T4との時間差を調整する時間差調整部と、を備え、前記被検出光パルスの繰り返し周波数と前記プローブ光パルスの繰り返し周波数とが異なるように構成される。
上記のように構成された第二の光測定装置によれば、被検出光パルス出力部が、ポンプ光源からポンプ光パルスを受け、前記ポンプ光パルスの繰り返し周波数と同じ繰り返し周波数を有する被検出光パルスを出力する。信号出力器が、前記被検出光パルスを受け、プローブ光源からプローブ光パルスを受け、前記プローブ光パルスを受けた時点で、前記被検出光パルスのパワーに応じた信号を出力する。波形測定部が、前記信号出力器の出力を、トリガ信号を受けてから次の前記トリガ信号を受けるまでの間に検出することにより、前記信号出力器の出力の波形を測定する。第一光電変換部が、前記プローブ光パルスを光電変換する。第一増幅部が、前記第一光電変換部の出力を増幅する。トリガ信号出力部が、前記第一増幅部の出力および前記ポンプ光パルスの相互相関を前記トリガ信号として出力する。時間差調整部が、前記プローブ光パルスが、前記プローブ光源から出力されてから、前記トリガ信号出力部に前記第一増幅部の出力として与えられるまでの時間T3と、前記ポンプ光パルスが、前記ポンプ光源から出力されてから前記トリガ信号出力部に与えられるまでの時間T4との時間差を調整する。しかも、前記被検出光パルスの繰り返し周波数と前記プローブ光パルスの繰り返し周波数とが異なる。
なお、本発明にかかる第二の光測定装置は、前記トリガ信号出力部が、前記ポンプ光パルスを、前記第一増幅部の出力で変調する光変調部と、前記光変調部の出力を光電変換する光電変換部と、前記光電変換部の出力を増幅する増幅部と、前記増幅部の出力を包絡線検波する検波部とを有するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第二の光測定装置は、前記プローブ光パルスが、前記プローブ光源から出力されてから前記信号出力器に与えられるまでの時間をT1とし、前記ポンプ光パルスが前記ポンプ光源から出力されてから、出力された前記ポンプ光パルスにより発生した前記被検出光パルスが前記信号出力器に与えられるまでの時間をT2とし、前記時間差調整部は、時間T4から時間T3を減じた値が、時間T2から時間T1を減じた値と等しくなるように、前記時間差を調整するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第二の光測定装置は、前記時間差調整部は、時間T4が時間T2に等しくなり、時間T3が時間T1に等しくなるようにするようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第二の光測定装置は、前記時間差調整部は、時間T4、時間T2、時間T3および時間T1が等しくなるようにするようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第二の光測定装置は、前記ポンプ光源と前記被検出光パルス出力部とが光ファイバで接続され、前記プローブ光源と前記信号出力器とが光ファイバで接続され、前記プローブ光源と前記第一光電変換部とが光ファイバで接続され、前記ポンプ光源と前記トリガ信号出力部とが光ファイバで接続されているようにしてもよい。
本発明にかかる第三の光測定装置は、ポンプ光源からポンプ光パルスを受け、前記ポンプ光パルスの繰り返し周波数と同じ繰り返し周波数を有する被検出光パルスを出力する被検出光パルス出力部と、前記被検出光パルスを受け、プローブ光源からプローブ光パルスを受け、前記プローブ光パルスを受けた時点で、前記被検出光パルスのパワーに応じた信号を出力する信号出力器と、前記信号出力器の出力を、トリガ信号を受けてから次の前記トリガ信号を受けるまでの間に検出することにより、前記信号出力器の出力の波形を測定する波形測定部と、前記ポンプ光パルスを光電変換する第二光電変換部と、前記第二光電変換部の出力を増幅する第二増幅部と、前記プローブ光パルスおよび前記第二増幅部の出力の相互相関を前記トリガ信号として出力するトリガ信号出力部と、前記プローブ光パルスが、前記プローブ光源から出力されてから前記トリガ信号出力部に与えられるまでの時間T3と、前記ポンプ光パルスが、前記ポンプ光源から出力されてから、前記トリガ信号出力部に前記第二増幅部の出力として与えられるまでの時間T4との時間差を調整する時間差調整部と、を備え、前記被検出光パルスの繰り返し周波数と前記プローブ光パルスの繰り返し周波数とが異なるように構成される。
上記のように構成された第三の光測定装置によれば、被検出光パルス出力部が、ポンプ光源からポンプ光パルスを受け、前記ポンプ光パルスの繰り返し周波数と同じ繰り返し周波数を有する被検出光パルスを出力する。信号出力器が、前記被検出光パルスを受け、プローブ光源からプローブ光パルスを受け、前記プローブ光パルスを受けた時点で、前記被検出光パルスのパワーに応じた信号を出力する。波形測定部が、前記信号出力器の出力を、トリガ信号を受けてから次の前記トリガ信号を受けるまでの間に検出することにより、前記信号出力器の出力の波形を測定する。第二光電変換部が、前記ポンプ光パルスを光電変換する。第二増幅部が、前記第二光電変換部の出力を増幅する。トリガ信号出力部が、前記プローブ光パルスおよび前記第二増幅部の出力の相互相関を前記トリガ信号として出力する。時間差調整部が、前記プローブ光パルスが、前記プローブ光源から出力されてから前記トリガ信号出力部に与えられるまでの時間T3と、前記ポンプ光パルスが、前記ポンプ光源から出力されてから、前記トリガ信号出力部に前記第二増幅部の出力として与えられるまでの時間T4との時間差を調整する。しかも、前記被検出光パルスの繰り返し周波数と前記プローブ光パルスの繰り返し周波数とが異なる。
なお、本発明にかかる第三の光測定装置は、前記トリガ信号出力部が、前記プローブ光パルスを、前記第二増幅部の出力で変調する光変調部と、前記光変調部の出力を光電変換する光電変換部と、前記光電変換部の出力を増幅する増幅部と、前記増幅部の出力を包絡線検波する検波部とを有するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第三の光測定装置は、前記プローブ光パルスが、前記プローブ光源から出力されてから前記信号出力器に与えられるまでの時間をT1とし、前記ポンプ光パルスが前記ポンプ光源から出力されてから、出力された前記ポンプ光パルスにより発生した前記被検出光パルスが前記信号出力器に与えられるまでの時間をT2とし、前記時間差調整部は、時間T4から時間T3を減じた値が、時間T2から時間T1を減じた値と等しくなるように、前記時間差を調整するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第三の光測定装置は、前記時間差調整部は、時間T4が時間T2に等しくなり、時間T3が時間T1に等しくなるようにするようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第三の光測定装置は、前記時間差調整部は、時間T4、時間T2、時間T3および時間T1が等しくなるようにするようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第三の光測定装置は、前記ポンプ光源と前記被検出光パルス出力部とが光ファイバで接続され、前記プローブ光源と前記信号出力器とが光ファイバで接続され、前記プローブ光源と前記トリガ信号出力部とが光ファイバで接続され、前記ポンプ光源と前記第二光電変換部とが光ファイバで接続されているようにしてもよい。
本発明にかかる第一のトリガ信号生成装置は、プローブ光パルスを光電変換する第一光電変換部と、ポンプ光パルスを光電変換する第二光電変換部と、前記第一光電変換部の出力を増幅する第一増幅部と、前記第二光電変換部の出力を増幅する第二増幅部と、前記第一増幅部および前記第二増幅部の出力の相互相関を前記トリガ信号として出力するトリガ信号出力部と、前記プローブ光パルスが、プローブ光源から出力されてから、前記トリガ信号出力部に前記第一増幅部の出力として与えられるまでの時間T3と、前記ポンプ光パルスが、ポンプ光源から出力されてから、前記トリガ信号出力部に前記第二増幅部の出力として与えられるまでの時間T4との時間差を調整する時間差調整部とを備え、前記ポンプ光パルスの繰り返し周波数と前記プローブ光パルスの繰り返し周波数とが異なるように構成される。
上記のように構成された第一のトリガ信号生成装置によれば、第一光電変換部が、プローブ光パルスを光電変換する。第二光電変換部が、ポンプ光パルスを光電変換する。第一増幅部が、前記第一光電変換部の出力を増幅する。第二増幅部が、前記第二光電変換部の出力を増幅する。トリガ信号出力部が、前記第一増幅部および前記第二増幅部の出力の相互相関を前記トリガ信号として出力する。時間差調整部が、前記プローブ光パルスが、プローブ光源から出力されてから、前記トリガ信号出力部に前記第一増幅部の出力として与えられるまでの時間T3と、前記ポンプ光パルスが、ポンプ光源から出力されてから、前記トリガ信号出力部に前記第二増幅部の出力として与えられるまでの時間T4との時間差を調整する。しかも、前記ポンプ光パルスの繰り返し周波数と前記プローブ光パルスの繰り返し周波数とが異なる。
なお、本発明にかかる第一のトリガ信号生成装置は、前記トリガ信号出力部が、前記第一増幅部の出力を、前記第二増幅部の出力で変調する電気変調部と、前記電気変調部の出力を増幅する増幅部と、前記増幅部の出力を包絡線検波する検波部とを有するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第一のトリガ信号生成装置は、前記プローブ光源と前記第一光電変換部とが光ファイバで接続され、前記ポンプ光源と前記第二光電変換部とが光ファイバで接続されているようにしてもよい。
本発明にかかる第二のトリガ信号生成装置は、プローブ光パルスを光電変換する第一光電変換部と、第一光電変換部の出力を増幅する第一増幅部と、前記第一増幅部の出力およびポンプ光パルスの相互相関を前記トリガ信号として出力するトリガ信号出力部と、前記プローブ光パルスが、プローブ光源から出力されてから、前記トリガ信号出力部に前記第一増幅部の出力として与えられるまでの時間T3と、前記ポンプ光パルスが、ポンプ光源から出力されてから前記トリガ信号出力部に与えられるまでの時間T4との時間差を調整する時間差調整部とを備え、前記ポンプ光パルスの繰り返し周波数と前記プローブ光パルスの繰り返し周波数とが異なるように構成される。
上記のように構成された第二のトリガ信号生成装置によれば、第一光電変換部が、プローブ光パルスを光電変換する。第一増幅部が、第一光電変換部の出力を増幅する。トリガ信号出力部が、前記第一増幅部の出力およびポンプ光パルスの相互相関を前記トリガ信号として出力する。時間差調整部が、前記プローブ光パルスが、プローブ光源から出力されてから、前記トリガ信号出力部に前記第一増幅部の出力として与えられるまでの時間T3と、前記ポンプ光パルスが、ポンプ光源から出力されてから前記トリガ信号出力部に与えられるまでの時間T4との時間差を調整する。しかも、前記ポンプ光パルスの繰り返し周波数と前記プローブ光パルスの繰り返し周波数とが異なる。
なお、本発明にかかる第二のトリガ信号生成装置は、前記トリガ信号出力部が、前記ポンプ光パルスを、前記第一増幅部の出力で変調する光変調部と、前記光変調部の出力を光電変換する光電変換部と、前記光電変換部の出力を増幅する増幅部と、前記増幅部の出力を包絡線検波する検波部とを有するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第二のトリガ信号生成装置は、前記プローブ光源と前記第一光電変換部とが光ファイバで接続され、前記ポンプ光源と前記トリガ信号出力部とが光ファイバで接続されているようにしてもよい。
本発明にかかる第三のトリガ信号生成装置は、ポンプ光パルスを光電変換する第二光電変換部と、前記第二光電変換部の出力を増幅する第二増幅部と、プローブ光パルスおよび前記第二増幅部の出力の相互相関を前記トリガ信号として出力するトリガ信号出力部と、前記プローブ光パルスが、プローブ光源から出力されてから前記トリガ信号出力部に与えられるまでの時間T3と、前記ポンプ光パルスが、ポンプ光源から出力されてから、前記トリガ信号出力部に前記第二増幅部の出力として与えられるまでの時間T4との時間差を調整する時間差調整部とを備え、前記ポンプ光パルスの繰り返し周波数と前記プローブ光パルスの繰り返し周波数とが異なるように構成される。
上記のように構成された第三のトリガ信号生成装置によれば、第二光電変換部が、ポンプ光パルスを光電変換する。第二増幅部が、前記第二光電変換部の出力を増幅する。トリガ信号出力部が、プローブ光パルスおよび前記第二増幅部の出力の相互相関を前記トリガ信号として出力する。時間差調整部が、前記プローブ光パルスが、プローブ光源から出力されてから前記トリガ信号出力部に与えられるまでの時間T3と、前記ポンプ光パルスが、ポンプ光源から出力されてから、前記トリガ信号出力部に前記第二増幅部の出力として与えられるまでの時間T4との時間差を調整する。しかも、前記ポンプ光パルスの繰り返し周波数と前記プローブ光パルスの繰り返し周波数とが異なる。
なお、本発明にかかる第三のトリガ信号生成装置は、前記トリガ信号出力部が、前記プローブ光パルスを、前記第二増幅部の出力で変調する光変調部と、前記光変調部の出力を光電変換する光電変換部と、前記光電変換部の出力を増幅する増幅部と、前記増幅部の出力を包絡線検波する検波部とを有するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる第三のトリガ信号生成装置は、前記プローブ光源と前記トリガ信号出力部とが光ファイバで接続され、前記ポンプ光源と前記第二光電変換部とが光ファイバで接続されているようにしてもよい。
第2図は、テラヘルツ光(被検出光パルス)(第2図(a))、プローブ光パルス(第2図(b))、トリガ信号(第2図(c))のタイムチャートである。
第3図は、第一の実施形態の変形例にかかる光測定装置1の構成を示す図である。
第4図は、本発明の第二の実施形態にかかる光測定装置1の構成を示す図である。
第5図は、光変調器62に与えられたポンプ光パルス(第5図(a))、第一増幅部36aの出力する電気信号(第5図(b))、光変調器62の出力(第5図(c))、ローパスフィルタ68の出力(第5図(d))を示すタイムチャートである。
第6図は、第二の実施形態の変形例にかかる光測定装置1の構成を示す図である。
第7図は、本発明の第三の実施形態にかかる光測定装置1の構成を示す図である。
第8図は、第三の実施形態の変形例にかかる光測定装置1の構成を示す図である。
第一の実施形態
第1図は、本発明の第一の実施形態にかかる光測定装置1の構成を示す図である。第一の実施形態にかかる光測定装置1は、プローブ光源11、ポンプ光源12、光分波器13、14、信号出力器22、被検出光パルス出力部24、レンズ26、28、時間差調整部32、第一光電変換部34a、第二光電変換部34b、第一増幅部36a、第二増幅部36b、トリガ信号出力部40、電流−電圧変換アンプ52、波形測定器54を備える。なお、光測定装置1は被測定物2を透過したテラヘルツ波を測定するものである。
なお、時間差調整部32、第一光電変換部34a、第二光電変換部34b、第一増幅部36a、第二増幅部36b、トリガ信号出力部40がトリガ信号生成装置を構成する。
プローブ光源11は、数十フェムト秒のパルス幅を有する近赤外領域波長のレーザーパルス光(プローブ光パルス)を出力する。なお、プローブ光パルスの繰り返し周波数はf1である。
ポンプ光源12は、数十フェムト秒のパルス幅を有する近赤外領域波長のレーザーパルス光(ポンプ光パルス)を出力する。なお、ポンプ光パルスの繰り返し周波数はf2である。なお、f2−f1=Δf>0である。Δfは、例えば、5Hz程度である。
光分波器13は、プローブ光パルスをプローブ光源11から受け、信号出力器22および時間差調整部32に与える。なお、光分波器13とプローブ光源11とは光ファイバF11で接続され、光分波器13と信号出力器22とは光ファイバF12で接続され、光分波器13と時間差調整部32とは光ファイバF13で接続される。また、光分波器13は、光ファイバで構成される。
よって、プローブ光源11と信号出力器22とは、光ファイバF11、F12および光分波器13(光ファイバで構成される)で接続される。
光分波器14は、ポンプ光パルスをポンプ光源12から受け、被検出光パルス出力部24および時間差調整部32に与える。なお、光分波器14とポンプ光源12とは光ファイバF21で接続され、光分波器14と被検出光パルス出力部24とは光ファイバF22で接続され、光分波器14と時間差調整部32とは光ファイバF23で接続される。また、光分波器14は、光ファイバで構成される。
よって、ポンプ光源12と被検出光パルス出力部24とは、光ファイバF21、F22および光分波器14(光ファイバで構成される)で接続される。
被検出光パルス出力部24は、ポンプ光源12からポンプ光パルスを受け、ポンプ光パルスの繰り返し周波数と同じ繰り返し周波数を有する被検出光パルス(繰り返し周波数f2)を出力する。被検出光パルス出力部24は、例えば光伝導スイッチである。光伝導スイッチにポンプ光パルスを与えると、光伝導スイッチからテラヘルツ光(被検出光パルス)が出力される。なお、光伝導スイッチの構成は周知であり、説明を省略する。また、被検出光パルス出力部24は非線形光学結晶であってもよい。
なお、被検出光パルスの繰り返し周波数f2と、プローブ光パルスの繰り返し周波数f1とは異なる。
また、被検出光パルス出力部24の一点P1からテラヘルツ光(被検出光パルス)が放射される。
レンズ26は凸レンズである。被検出光パルス出力部24から出力されたテラヘルツ光がレンズ26を透過して、被測定物2に与えられる。
レンズ28は凸レンズである。被測定物2を透過したテラヘルツ光がレンズ28を透過して、信号出力器22に与えられる。
信号出力器22の一点P2にテラヘルツ光が集められる。
信号出力器22は、被検出光パルス(テラヘルツ光)を受け、プローブ光源11からプローブ光パルスを受け、プローブ光パルスを受けた時点で、被検出光パルスのパワーに応じた信号を出力する。なお、本発明の実施形態においては、信号出力器22が、テラヘルツ光を、被測定物2を介して受ける。信号出力器22は、例えば光伝導スイッチである。光伝導スイッチが出力する信号は、電流である。なお、光伝導スイッチの構成は周知であり、説明を省略する。また、信号出力器22は非線形光学結晶であってもよい。
第一光電変換部34aは、プローブ光パルスを光分波器13および時間差調整部32を介して受け、プローブ光パルスを光電変換する。
第二光電変換部34bは、ポンプ光パルスを光分波器14および時間差調整部32を介して受け、ポンプ光パルスを光電変換する。
第一増幅部36aは、第一光電変換部34aの出力を増幅する。第一増幅部36aの出力はミキサ42に与えられる。第一増幅部36aの出力は、ミキサ42を動作させるために充分な程度大きい。
第二増幅部36bは、第二光電変換部34bの出力を増幅する。第二増幅部36bの出力はミキサ42に与えられる。第二増幅部36bの出力は、ミキサ42を動作させるために充分な程度大きい。
トリガ信号出力部40は、第一増幅部36aおよび第二増幅部36bの出力の相互相関をトリガ信号として出力する。
トリガ信号出力部40は、ミキサ(電気変調部)42、増幅部44、ローパスフィルタ(検波部)46を有する。
ミキサ(電気変調部)42は、第一増幅部36aの出力と、第二増幅部36bの出力とを乗算して出力する。ミキサ42の出力の周波数は、第一増幅部36aの出力の周波数f1および第二増幅部36bの出力の周波数f2との差Δf(=f2−f1)である。
なお、ミキサ(電気変調部)42は、第一増幅部36aの出力を、第二増幅部36bの出力で変調しているといえる。
また、第一増幅部36aの出力を、第二増幅部36bの出力で変調するものであれば、ミキサ42にかえて使用できる。例えば、第二増幅部36bの出力電圧に比例して、第一増幅部36aの出力を透過させるスイッチング素子をミキサ42にかえて使用できる。また、例えば、第一増幅部36aの出力と、第二増幅部36bの出力とを比較して、どちらが大きいかによって出力を変えるコンパレータをミキサ42にかえて使用できる。
増幅部44は、ミキサ42の出力を増幅する。
ローパスフィルタ(検波部)46は、増幅部44の出力の低周波成分を透過し、高周波成分を遮断することで、増幅部44の出力を包絡線検波する。ローパスフィルタ46の出力がトリガ信号(周波数Δf(=f2−f1))である。
時間差調整部32は、時間T3と時間T4との時間差を調整する。
ただし、時間T3は、プローブ光パルスが、プローブ光源11から出力されてから、光分波器13を経由して、第一光電変換部34aにより光電変換され、トリガ信号出力部40に第一増幅部36aの出力として与えられるまでの時間である。
また、時間T4は、ポンプ光パルスが、ポンプ光源12から出力されてから、光分波器14を経由して、第二光電変換部34bにより光電変換され、トリガ信号出力部40に第二増幅部36bの出力として与えられるまでの時間である。
なお、時間差調整部32と第一光電変換部34aとは光ファイバF14で接続される。時間差調整部32と第二光電変換部34bとは光ファイバF24で接続される。
時間差調整部32は、プローブ光パルスおよびポンプ光パルスを受け、それらの一方または双方を遅延させて、第一光電変換部34aおよび第二光電変換部34bに与える。時間差調整部32は、例えば、所定の長さの光ファイバであればよい。
例えば、光ファイバF13と光ファイバF14とを所定の長さの光ファイバで接続し、光ファイバF23と光ファイバF24とを直結すれば、プローブ光パルスを遅延させることになる。光ファイバF23と光ファイバF24とを所定の長さの光ファイバで接続し、光ファイバF13と光ファイバF14とを直結すれば、ポンプ光パルスを遅延させることになる。光ファイバF13と光ファイバF14とを所定の長さの光ファイバで接続し、光ファイバF23と光ファイバF24とをさらなる所定の長さの光ファイバで接続すれば、プローブ光パルスおよびポンプ光パルスを遅延させることになる。
プローブ光源11と第一光電変換部34aとが光ファイバF11、F13、F14および時間差調整部32(光ファイバである)で接続される。ポンプ光源12と第二光電変換部34bとが光ファイバF21、F23、F24および時間差調整部32(光ファイバである)で接続されている。
なお、時間差調整部32は、時間T3と時間T4との時間差を、時間T4から時間T3を減じた値が、時間T2から時間T1を減じた値と等しくなるように調整する。
例えば、時間差調整部32は、時間T4が時間T2に等しくなり、時間T3が時間T1に等しくなるようにする。または、時間T4、時間T2、時間T3および時間T1が等しくなるようにしてもよい(T4=T2=T3=T1)。
ただし、時間T1は、プローブ光パルスが、プローブ光源11から出力されてから、光分波器13を経由して、信号出力器22に与えられるまでの時間である。
また、時間T2は、ポンプ光パルスがポンプ光源12から出力されてから、光分波器14を経由して、被検出光パルス出力部24に到達し、出力されたポンプ光パルスにより発生した被検出光パルス(テラヘルツ光)が信号出力器22に与えられるまでの時間である。
ただし、被検出光パルスは点P1と点P2とを結ぶ直線を通過したと仮定して、被検出光パルスが出力してから、信号出力器22に与えられるまでの時間T22を算出している。この時間T22に、ポンプ光パルスがポンプ光源12から出力されてから被検出光パルス出力部24に到達するまでの時間T21を加えれば、時間T2を求められる(T2=T21+T22)。
電流−電圧変換アンプ52は、信号出力器22の出力した電流を電圧に変換し、その電圧を増幅する。なお、電流−電圧変換アンプ52は、ローパスフィルタを有し、増幅した電圧の包絡線検波を行い、波形測定器54に出力する。
波形測定器54は、信号出力器22の出力を、トリガ信号を受けてから次のトリガ信号を受けるまでの間に検出することにより、信号出力器22の出力の波形を測定する。波形測定器54は、例えば、デジタルオシロスコープである。
第2図は、テラヘルツ光(被検出光パルス)(第2図(a))、プローブ光パルス(第2図(b))、トリガ信号(第2図(c))のタイムチャートである。
信号出力器22は、プローブ光パルスの光パワーが最大になった時点におけるテラヘルツ光のパワーに応じた電流を出力する。例えば、時間t=0,1/f1,2/f1,…におけるテラヘルツ光のパワーに応じた電流を出力する。すなわち、信号出力器22は、テラヘルツ光のパワーが最大になった時点からΔt1(=1/f1−1/f2)づつずれた時点(0,Δt1,2Δt1,…)のテラヘルツ光のパワーに応じた電流を出力することになる。信号出力器22は、やがて、テラヘルツ光のパワーが最大になった時点からのずれが1/f2になったときのテラヘルツ光のパワーに応じた電流を出力する(第2図(a)の右端のパルスを参照)。この時点で、テラヘルツ光のパルスの一周期分の測定が完了する。テラヘルツ光のパルスの一周期分の測定が完了するのにかかる時間Δtは、Δt=1/Δf=1/(f2−f1)となる。
よって、信号出力器22の出力を、トリガ信号を受けて(t=0)から次のトリガ信号を受ける(t=Δt)までの間に検出することにより、信号出力器22の出力の一周期分の波形が測定できる。
次に、第一の実施形態の動作を説明する。
ポンプ光源12からポンプ光パルス(繰り返し周波数f2)が出力され、被検出光パルス出力部24に与えられる。被検出光パルス出力部24からは被検出光パルス(繰り返し周波数f2)(例えば、テラヘルツ光)が出力される。
テラヘルツ光はレンズ26を透過して、被測定物2に与えられる。テラヘルツ光は被測定物2を透過して、レンズ28を透過し、信号出力器22に与えられる。
信号出力器22は、プローブ光源11からプローブ光パルス(繰り返し周波数f1)を受ける。信号出力器22は、プローブ光パルスを受けた時点で、被検出光パルスのパワーに応じた信号(例えば、電流)を出力する(第2図(a)、(b)参照)。この電流は、電流−電圧変換アンプ52により電圧に変換されてから増幅され、さらに包絡線検波されて、波形測定器54に出力される。
プローブ光源11から出力されたプローブ光パルスは、光分波器13、時間差調整部32を経由して、第一光電変換部34aに与えられる。プローブ光パルスは、第一光電変換部34aにより光電変換され、さらに第一増幅部36aにより増幅されて、ミキサ42に与えられる。
ポンプ光源12から出力されたポンプ光パルスは、光分波器14、時間差調整部32を経由して、第二光電変換部34bに与えられる。ポンプ光パルスは、第二光電変換部34bにより光電変換され、さらに第二増幅部36bにより増幅されて、ミキサ42に与えられる。
ミキサ42は、第一増幅部36aの出力と、第二増幅部36bの出力とを乗算して出力する。ミキサ42の出力は、増幅部44により増幅され、ローパスフィルタ46により包絡線検波されて出力される(第2図(c)参照)。この出力がトリガ信号となる。
波形測定器54は、信号出力器22の出力を、トリガ信号を受けてから次のトリガ信号を受けるまでの間に検出することにより、信号出力器22の出力の波形を測定する。
ここで、時間差調整部32は、時間T3と時間T4との時間差を、時間T4から時間T3を減じた値が、時間T2から時間T1を減じた値と等しくなるように調整する。例えば、時間差調整部32は、時間T4が時間T2に等しくなり、時間T3が時間T1に等しくなるようにする。または、時間T4、時間T2、時間T3および時間T1が等しくなるようにしてもよい(T4=T2=T3=T1)。
第一の実施形態によれば、時間差調整部32が、時間T3と時間T4との時間差を、時間T4から時間T3を減じた値が、時間T2から時間T1を減じた値と等しくなるように調整する。よって、トリガ信号に含まれるジッタと、被検出光パルスに含まれるジッタとの差が小さくなり、被検出光パルスの測定結果に含まれるジッタを抑制することができる。
なお、第一の実施形態においては、時間差調整部32が、プローブ光パルスおよびポンプ光パルスの一方または双方を遅延させている。しかし、第一の実施形態の変形例として、時間差調整部32が、第一光電変換部34aの出力および第二光電変換部34bの出力の一方または双方を遅延させるようにしてもよい。
第3図は、第一の実施形態の変形例にかかる光測定装置1の構成を示す図である。
光分波器13と第一光電変換部34aとが光ファイバF131により接続される。光分波器14と第二光電変換部34bとが光ファイバF231により接続される。時間差調整部32は、第一光電変換部34aの出力および第二光電変換部34bの出力を受け、それらの一方または双方を遅延させて、第一増幅部36aおよび第二増幅部36bに与える。
なお、時間差調整部32が、時間T4から時間T3を減じた値が、時間T2から時間T1を減じた値と等しくなるようにする(例えば、時間T4が時間T2に等しくなり、時間T3が時間T1に等しくなるようにするか、T4=T2=T3=T1とする)ことは、第一の実施形態の変形例においても、第一の実施形態と同様である。
第二の実施形態
第二の実施形態にかかる光測定装置1は、ポンプ光を光電変換しないでトリガ信号出力部60に与える点が、第一の実施形態にかかる光測定装置1と異なる。
第4図は、本発明の第二の実施形態にかかる光測定装置1の構成を示す図である。第二の実施形態にかかる光測定装置1は、プローブ光源11、ポンプ光源12、光分波器13、14、信号出力器22、被検出光パルス出力部24、レンズ26、28、時間差調整部32、第一光電変換部34a、第一増幅部36a、電流−電圧変換アンプ52、波形測定器54、トリガ信号出力部60を備える。なお、光測定装置1は被測定物2を透過したテラヘルツ波を測定するものである。以後、第一の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。
なお、時間差調整部32、第一光電変換部34a、第一増幅部36a、トリガ信号出力部60がトリガ信号生成装置を構成する。
プローブ光源11、ポンプ光源12、光分波器13、14、信号出力器22、被検出光パルス出力部24、レンズ26、28、第一光電変換部34a、第一増幅部36a、電流−電圧変換アンプ52、波形測定器54は、第一の実施形態と同様であり説明を省略する。ただし、第一増幅部36aの出力は、光変調器62を動作させるために充分な程度大きい。
なお、第一の実施形態とは異なり、光測定装置1は、第二光電変換部34bおよび第二増幅部36bを備えていない。
時間差調整部32は、時間T3と時間T4との時間差を調整する。
時間T3の定義は、第一の実施形態と同様であり説明を省略する。
時間T4は、ポンプ光パルスが、ポンプ光源12から出力されてから、光分波器14を経由して、トリガ信号出力部60に与えられるまでの時間である。
なお、時間差調整部32とトリガ信号出力部60とは光ファイバF241で接続される。
時間差調整部32は、プローブ光パルスおよびポンプ光パルスを受け、それらの一方または双方を遅延させて、第一光電変換部34aおよびトリガ信号出力部60に与える。時間差調整部32は、例えば、第一の実施形態と同様に、所定の長さの光ファイバであればよい。
プローブ光源11と第一光電変換部34aとが光ファイバF11、F13、F14および時間差調整部32(光ファイバである)で接続される。ポンプ光源12とトリガ信号出力部60とが光ファイバF21、F23、F241および時間差調整部32(光ファイバである)で接続されている。
なお、時間差調整部32は、時間T3と時間T4との時間差を、時間T4から時間T3を減じた値が、時間T2から時間T1を減じた値と等しくなるように調整する。
例えば、時間差調整部32は、時間T4が時間T2に等しくなり、時間T3が時間T1に等しくなるようにする。または、時間T4、時間T2、時間T3および時間T1が等しくなるようにしてもよい(T4=T2=T3=T1)。
時間T1および時間T2の定義は、第一の実施形態と同様であり説明を省略する。
トリガ信号出力部60は、光変調器62、光電変換部64、増幅部66、ローパスフィルタ(検波部)68を有する。
トリガ信号出力部60は、第一増幅部36aの出力およびポンプ光パルスの相互相関をトリガ信号として出力する。
光変調器62は、ポンプ光パルスを、第一増幅部36aの出力で変調する。例えば、第一増幅部36aの出力電圧に比例して、ポンプ光パルスのパワーを透過させる比率を変える。なお、ポンプ光パルスを、第一増幅部36aの出力で変調するものであれば、スイッチング素子またはコンパレータを光変調器62にかえて使用できる。
光電変換部64は、光変調器62の出力を光電変換する。
増幅部66は、光電変換部64の出力を増幅する。
ローパスフィルタ(検波部)68は、増幅部66の出力の低周波成分を透過し、高周波成分を遮断することで、増幅部66の出力を包絡線検波する。ローパスフィルタ66の出力がトリガ信号(周波数Δf(=f2−f1))である。
次に、第二の実施形態の動作を説明する。
ポンプ光源12からポンプ光パルス(繰り返し周波数f2)が出力され、被検出光パルス出力部24に与えられる。被検出光パルス出力部24からは被検出光パルス(繰り返し周波数f2)(例えば、テラヘルツ光)が出力される。
テラヘルツ光はレンズ26を透過して、被測定物2に与えられる。テラヘルツ光は被測定物2を透過して、レンズ28を透過し、信号出力器22に与えられる。
信号出力器22は、プローブ光源11からプローブ光パルス(繰り返し周波数f1)を受ける。信号出力器22は、プローブ光パルスを受けた時点で、被検出光パルスのパワーに応じた信号(例えば、電流)を出力する(第2図(a)、(b)参照)。この電流は、電流−電圧変換アンプ52により電圧に変換されてから増幅され、さらに包絡線検波されて、波形測定器54に出力される。
プローブ光源11から出力されたプローブ光パルスは、光分波器13、時間差調整部32を経由して、第一光電変換部34aに与えられる。プローブ光パルスは、第一光電変換部34aにより光電変換され、さらに第一増幅部36aにより増幅されて、光変調器62に与えられる。
ポンプ光源12から出力されたポンプ光パルスは、光分波器14、時間差調整部32を経由して、トリガ信号出力部60の光変調器62に与えられる。
光変調器62は、ポンプ光パルスを、第一増幅部36aの出力で変調する。
第5図は、光変調器62に与えられたポンプ光パルス(第5図(a))、第一増幅部36aの出力する電気信号(第5図(b))、光変調器62の出力(第5図(c))、ローパスフィルタ68の出力(第5図(d))を示すタイムチャートである。
光変調器62の出力(第5図(c))は、第一増幅部36aの出力する電気信号(第5図(b))を、ポンプ光パルス(第5図(a))でサンプリングしたものに相当する。
光変調器62の出力は、光電変換部64により光電変換され、増幅部66により増幅されてローパスフィルタ68に与えられる。ローパスフィルタ68は、増幅部66の出力を包絡線検波(第5図(d))して出力する。この出力がトリガ信号となる。
波形測定器54は、信号出力器22の出力を、トリガ信号を受けてから次のトリガ信号を受けるまでの間に検出することにより、信号出力器22の出力の波形を測定する。
ここで、時間差調整部32は、時間T3と時間T4との時間差を、時間T4から時間T3を減じた値が、時間T2から時間T1を減じた値と等しくなるように調整する。例えば、時間差調整部32は、時間T4が時間T2に等しくなり、時間T3が時間T1に等しくなるようにする。または、時間T4、時間T2、時間T3および時間T1が等しくなるようにしてもよい(T4=T2=T3=T1)。
第二の実施形態によれば、第一の実施形態と同様な効果を奏する。
なお、第二の実施形態においては、時間差調整部32が、プローブ光パルスおよびポンプ光パルスの一方または双方を遅延させている。しかし、第二の実施形態の変形例として、時間差調整部32aが第一光電変換部34aの出力を遅延させ、時間差調整部32bがポンプ光パルスを遅延させるようにしてもよい。なお、時間差調整部32aおよび時間差調整部32bは両方あってもよいが、どちらか一方だけあってもよい。
第6図は、第二の実施形態の変形例にかかる光測定装置1の構成を示す図である。
光分波器13と第一光電変換部34aとが光ファイバF131により接続される。光分波器14と時間差調整部32bとが光ファイバF242により接続される。時間差調整部32bとトリガ信号出力部60とが光ファイバF243により接続される。
時間差調整部32aは、第一光電変換部34aの出力を(第一増幅部36aを介して)受けて遅延させて、トリガ信号出力部60に与える。
時間差調整部32bは、ポンプ光パルスを受けて遅延させて、トリガ信号出力部60に与える。
なお、時間差調整部32a、32bが、時間T4から時間T3を減じた値が、時間T2から時間T1を減じた値と等しくなるようにする(例えば、時間T4が時間T2に等しくなり、時間T3が時間T1に等しくなるようにするか、T4=T2=T3=T1とする)ことは、第二の実施形態における時間差調整部32と同様である。
第三の実施形態
第三の実施形態にかかる光測定装置1は、プローブ光を光電変換しないでトリガ信号出力部60に与える点が、第一の実施形態にかかる光測定装置1と異なる。
第7図は、本発明の第三の実施形態にかかる光測定装置1の構成を示す図である。第三の実施形態にかかる光測定装置1は、プローブ光源11、ポンプ光源12、光分波器13、14、信号出力器22、被検出光パルス出力部24、レンズ26、28、時間差調整部32、第二光電変換部34b、第二増幅部36b、電流−電圧変換アンプ52、波形測定器54、トリガ信号出力部60を備える。なお、光測定装置1は被測定物2を透過したテラヘルツ波を測定するものである。以後、第一の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。
なお、時間差調整部32、第二光電変換部34b、第二増幅部36b、トリガ信号出力部60がトリガ信号生成装置を構成する。
プローブ光源11、ポンプ光源12、光分波器13、14、信号出力器22、被検出光パルス出力部24、レンズ26、28、第二光電変換部34b、第二増幅部36b、電流−電圧変換アンプ52、波形測定器54は、第一の実施形態と同様であり説明を省略する。ただし、第二増幅部36bの出力は、光変調器62を動作させるために充分な程度大きい。
なお、第一の実施形態とは異なり、光測定装置1は、第一光電変換部34aおよび第一増幅部36aを備えていない。
時間差調整部32は、時間T3と時間T4との時間差を調整する。
時間T4の定義は、第一の実施形態と同様であり説明を省略する。
時間T3は、プローブ光パルスが、プローブ光源11から出力されてから、光分波器13を経由して、トリガ信号出力部60に与えられるまでの時間である。
なお、時間差調整部32とトリガ信号出力部60とは光ファイバF141で接続される。
時間差調整部32は、プローブ光パルスおよびポンプ光パルスを受け、それらの一方または双方を遅延させて、トリガ信号出力部60および第二光電変換部34bに与える。時間差調整部32は、例えば、第一の実施形態と同様に、所定の長さの光ファイバであればよい。
プローブ光源11とトリガ信号出力部60とが光ファイバF11、F13、F141および時間差調整部32(光ファイバである)で接続される。ポンプ光源12と第二光電変換部34bとが光ファイバF21、F23、F24および時間差調整部32(光ファイバである)で接続されている。
なお、時間差調整部32は、時間T3と時間T4との時間差を、時間T4から時間T3を減じた値が、時間T2から時間T1を減じた値と等しくなるように調整する。
例えば、時間差調整部32は、時間T4が時間T2に等しくなり、時間T3が時間T1に等しくなるようにする。または、時間T4、時間T2、時間T3および時間T1が等しくなるようにしてもよい(T4=T2=T3=T1)。
時間T1および時間T2の定義は、第一の実施形態と同様であり説明を省略する。
トリガ信号出力部60は、光変調器62、光電変換部64、増幅部66、ローパスフィルタ(検波部)68を有する。
トリガ信号出力部60は、プローブ光パルスおよび第二増幅部36bの出力の相互相関をトリガ信号として出力する。
光変調器62は、プローブ光パルスを、第二増幅部36bの出力で変調する。例えば、第二増幅部36bの出力の大きさに比例して、プローブ光パルスのパワーを透過させる比率を変える。なお、プローブ光パルスを、第二増幅部36bの出力で変調するものであれば、スイッチング素子またはコンパレータを光変調器62にかえて使用できる。
光電変換部64、増幅部66およびローパスフィルタ(検波部)68は、第二の実施形態と同様であり説明を省略する。
次に、第三の実施形態の動作を説明する。
ポンプ光源12からポンプ光パルス(繰り返し周波数f2)が出力され、被検出光パルス出力部24に与えられる。被検出光パルス出力部24からは被検出光パルス(繰り返し周波数f2)(例えば、テラヘルツ光)が出力される。
テラヘルツ光はレンズ26を透過して、被測定物2に与えられる。テラヘルツ光は被測定物2を透過して、レンズ28を透過し、信号出力器22に与えられる。
信号出力器22は、プローブ光源11からプローブ光パルス(繰り返し周波数f1)を受ける。信号出力器22は、プローブ光パルスを受けた時点で、被検出光パルスのパワーに応じた信号(例えば、電流)を出力する(第2図(a)、(b)参照)。この電流は、電流−電圧変換アンプ52により電圧に変換されてから増幅され、さらに包絡線検波されて、波形測定器54に出力される。
プローブ光源11から出力されたプローブ光パルスは、光分波器13、時間差調整部32を経由して、トリガ信号出力部60の光変調器62に与えられる。
ポンプ光源12から出力されたポンプ光パルスは、光分波器14、時間差調整部32を経由して、第二光電変換部34bに与えられる。ポンプ光パルスは、第二光電変換部34bにより光電変換され、さらに第二増幅部36bにより増幅されて、光変調器62に与えられる。
光変調器62は、プローブ光パルスを、第二増幅部36bの出力で変調する。
光変調器62の出力は、光電変換部64により光電変換され、増幅部66により増幅されてローパスフィルタ68に与えられる。ローパスフィルタ68は、増幅部66の出力を包絡線検波して出力する。この出力がトリガ信号となる。
波形測定器54は、信号出力器22の出力を、トリガ信号を受けてから次のトリガ信号を受けるまでの間に検出することにより、信号出力器22の出力の波形を測定する。
ここで、時間差調整部32は、時間T3と時間T4との時間差を、時間T4から時間T3を減じた値が、時間T2から時間T1を減じた値と等しくなるように調整する。例えば、時間差調整部32は、時間T4が時間T2に等しくなり、時間T3が時間T1に等しくなるようにする。または、時間T4、時間T2、時間T3および時間T1が等しくなるようにしてもよい(T4=T2=T3=T1)。
第三の実施形態によれば、第一の実施形態と同様な効果を奏する。
なお、第三の実施形態においては、時間差調整部32が、プローブ光パルスおよびポンプ光パルスの一方または双方を遅延させている。しかし、第三の実施形態の変形例として、時間差調整部32aがプローブ光パルスを遅延させ、時間差調整部32bが第二光電変換部34bの出力を遅延させるようにしてもよい。なお、時間差調整部32aおよび時間差調整部32bは両方あってもよいが、どちらか一方だけあってもよい。
第8図は、第三の実施形態の変形例にかかる光測定装置1の構成を示す図である。
光分波器14と第二光電変換部34bとが光ファイバF231により接続される。光分波器13と時間差調整部32aとが光ファイバF142により接続される。時間差調整部32aとトリガ信号出力部60とが光ファイバF143により接続される。
時間差調整部32aは、プローブ光パルスを受けて遅延させて、トリガ信号出力部60に与える。
時間差調整部32bは、第二光電変換部34bの出力を受けて遅延させて、トリガ信号出力部60に与える。
なお、時間差調整部32a、32bが、時間T4から時間T3を減じた値が、時間T2から時間T1を減じた値と等しくなるようにする(例えば、時間T4が時間T2に等しくなり、時間T3が時間T1に等しくなるようにするか、T4=T2=T3=T1とする)ことは、第三の実施形態における時間差調整部32と同様である。
Claims (27)
- ポンプ光源からポンプ光パルスを受け、前記ポンプ光パルスの繰り返し周波数と同じ繰り返し周波数を有する被検出光パルスを出力する被検出光パルス出力部と、
前記被検出光パルスを受け、プローブ光源からプローブ光パルスを受け、前記プローブ光パルスを受けた時点で、前記被検出光パルスのパワーに応じた信号を出力する信号出力器と、
前記信号出力器の出力を、トリガ信号を受けてから次の前記トリガ信号を受けるまでの間に検出することにより、前記信号出力器の出力の波形を測定する波形測定部と、
前記プローブ光パルスを光電変換する第一光電変換部と、
前記ポンプ光パルスを光電変換する第二光電変換部と、
前記第一光電変換部の出力を増幅する第一増幅部と、
前記第二光電変換部の出力を増幅する第二増幅部と、
前記第一増幅部および前記第二増幅部の出力の相互相関を前記トリガ信号として出力するトリガ信号出力部と、
前記プローブ光パルスが、前記プローブ光源から出力されてから、前記トリガ信号出力部に前記第一増幅部の出力として与えられるまでの時間T3と、前記ポンプ光パルスが、前記ポンプ光源から出力されてから、前記トリガ信号出力部に前記第二増幅部の出力として与えられるまでの時間T4との時間差を調整する時間差調整部と、
を備え、
前記被検出光パルスの繰り返し周波数と前記プローブ光パルスの繰り返し周波数とが異なる、
光測定装置。 - 請求項1に記載の光測定装置であって、
前記トリガ信号出力部が、
前記第一増幅部の出力を、前記第二増幅部の出力で変調する電気変調部と、
前記電気変調部の出力を増幅する増幅部と、
前記増幅部の出力を包絡線検波する検波部と、
を有する光測定装置。 - 請求項1または2に記載の光測定装置であって、
前記プローブ光パルスが、前記プローブ光源から出力されてから前記信号出力器に与えられるまでの時間をT1とし、
前記ポンプ光パルスが前記ポンプ光源から出力されてから、出力された前記ポンプ光パルスにより発生した前記被検出光パルスが前記信号出力器に与えられるまでの時間をT2とし、
前記時間差調整部は、時間T4から時間T3を減じた値が、時間T2から時間T1を減じた値と等しくなるように、前記時間差を調整する、
光測定装置。 - 請求項3に記載の光測定装置であって、
前記時間差調整部は、時間T4が時間T2に等しくなり、時間T3が時間T1に等しくなるようにする、
光測定装置。 - 請求項4に記載の光測定装置であって、
前記時間差調整部は、時間T4、時間T2、時間T3および時間T1が等しくなるようにする、
光測定装置。 - 請求項1ないし5のいずれか一項に記載の光測定装置であって、
前記ポンプ光源と前記被検出光パルス出力部とが光ファイバで接続され、
前記プローブ光源と前記信号出力器とが光ファイバで接続され、
前記プローブ光源と前記第一光電変換部とが光ファイバで接続され、
前記ポンプ光源と前記第二光電変換部とが光ファイバで接続されている、
光測定装置。 - ポンプ光源からポンプ光パルスを受け、前記ポンプ光パルスの繰り返し周波数と同じ繰り返し周波数を有する被検出光パルスを出力する被検出光パルス出力部と、
前記被検出光パルスを受け、プローブ光源からプローブ光パルスを受け、前記プローブ光パルスを受けた時点で、前記被検出光パルスのパワーに応じた信号を出力する信号出力器と、
前記信号出力器の出力を、トリガ信号を受けてから次の前記トリガ信号を受けるまでの間に検出することにより、前記信号出力器の出力の波形を測定する波形測定部と、
前記プローブ光パルスを光電変換する第一光電変換部と、
前記第一光電変換部の出力を増幅する第一増幅部と、
前記第一増幅部の出力および前記ポンプ光パルスの相互相関を前記トリガ信号として出力するトリガ信号出力部と、
前記プローブ光パルスが、前記プローブ光源から出力されてから、前記トリガ信号出力部に前記第一増幅部の出力として与えられるまでの時間T3と、前記ポンプ光パルスが、前記ポンプ光源から出力されてから前記トリガ信号出力部に与えられるまでの時間T4との時間差を調整する時間差調整部と、
を備え、
前記被検出光パルスの繰り返し周波数と前記プローブ光パルスの繰り返し周波数とが異なる、
光測定装置。 - 請求項7に記載の光測定装置であって、
前記トリガ信号出力部が、
前記ポンプ光パルスを、前記第一増幅部の出力で変調する光変調部と、
前記光変調部の出力を光電変換する光電変換部と、
前記光電変換部の出力を増幅する増幅部と、
前記増幅部の出力を包絡線検波する検波部と、
を有する光測定装置。 - 請求項7または8に記載の光測定装置であって、
前記プローブ光パルスが、前記プローブ光源から出力されてから前記信号出力器に与えられるまでの時間をT1とし、
前記ポンプ光パルスが前記ポンプ光源から出力されてから、出力された前記ポンプ光パルスにより発生した前記被検出光パルスが前記信号出力器に与えられるまでの時間をT2とし、
前記時間差調整部は、時間T4から時間T3を減じた値が、時間T2から時間T1を減じた値と等しくなるように、前記時間差を調整する、
光測定装置。 - 請求項9に記載の光測定装置であって、
前記時間差調整部は、時間T4が時間T2に等しくなり、時間T3が時間T1に等しくなるようにする、
光測定装置。 - 請求項10に記載の光測定装置であって、
前記時間差調整部は、時間T4、時間T2、時間T3および時間T1が等しくなるようにする、
光測定装置。 - 請求項7ないし11のいずれか一項に記載の光測定装置であって、
前記ポンプ光源と前記被検出光パルス出力部とが光ファイバで接続され、
前記プローブ光源と前記信号出力器とが光ファイバで接続され、
前記プローブ光源と前記第一光電変換部とが光ファイバで接続され、
前記ポンプ光源と前記トリガ信号出力部とが光ファイバで接続されている、
光測定装置。 - ポンプ光源からポンプ光パルスを受け、前記ポンプ光パルスの繰り返し周波数と同じ繰り返し周波数を有する被検出光パルスを出力する被検出光パルス出力部と、
前記被検出光パルスを受け、プローブ光源からプローブ光パルスを受け、前記プローブ光パルスを受けた時点で、前記被検出光パルスのパワーに応じた信号を出力する信号出力器と、
前記信号出力器の出力を、トリガ信号を受けてから次の前記トリガ信号を受けるまでの間に検出することにより、前記信号出力器の出力の波形を測定する波形測定部と、
前記ポンプ光パルスを光電変換する第二光電変換部と、
前記第二光電変換部の出力を増幅する第二増幅部と、
前記プローブ光パルスおよび前記第二増幅部の出力の相互相関を前記トリガ信号として出力するトリガ信号出力部と、
前記プローブ光パルスが、前記プローブ光源から出力されてから前記トリガ信号出力部に与えられるまでの時間T3と、前記ポンプ光パルスが、前記ポンプ光源から出力されてから、前記トリガ信号出力部に前記第二増幅部の出力として与えられるまでの時間T4との時間差を調整する時間差調整部と、
を備え、
前記被検出光パルスの繰り返し周波数と前記プローブ光パルスの繰り返し周波数とが異なる、
光測定装置。 - 請求項13に記載の光測定装置であって、
前記トリガ信号出力部が、
前記プローブ光パルスを、前記第二増幅部の出力で変調する光変調部と、
前記光変調部の出力を光電変換する光電変換部と、
前記光電変換部の出力を増幅する増幅部と、
前記増幅部の出力を包絡線検波する検波部と、
を有する光測定装置。 - 請求項13または14に記載の光測定装置であって、
前記プローブ光パルスが、前記プローブ光源から出力されてから前記信号出力器に与えられるまでの時間をT1とし、
前記ポンプ光パルスが前記ポンプ光源から出力されてから、出力された前記ポンプ光パルスにより発生した前記被検出光パルスが前記信号出力器に与えられるまでの時間をT2とし、
前記時間差調整部は、時間T4から時間T3を減じた値が、時間T2から時間T1を減じた値と等しくなるように、前記時間差を調整する、
光測定装置。 - 請求項15に記載の光測定装置であって、
前記時間差調整部は、時間T4が時間T2に等しくなり、時間T3が時間T1に等しくなるようにする、
光測定装置。 - 請求項16に記載の光測定装置であって、
前記時間差調整部は、時間T4、時間T2、時間T3および時間T1が等しくなるようにする、
光測定装置。 - 請求項13ないし17のいずれか一項に記載の光測定装置であって、
前記ポンプ光源と前記被検出光パルス出力部とが光ファイバで接続され、
前記プローブ光源と前記信号出力器とが光ファイバで接続され、
前記プローブ光源と前記トリガ信号出力部とが光ファイバで接続され、
前記ポンプ光源と前記第二光電変換部とが光ファイバで接続されている、
光測定装置。 - プローブ光パルスを光電変換する第一光電変換部と、
前記プローブ光パルスとは繰り返し周波数が異なるポンプ光パルスを光電変換する第二光電変換部と、
前記第一光電変換部の出力を増幅する第一増幅部と、
前記第二光電変換部の出力を増幅する第二増幅部と、
前記第一増幅部および前記第二増幅部の出力の相互相関をトリガ信号として出力するトリガ信号出力部と、
前記プローブ光パルスが、プローブ光源から出力されてから、前記トリガ信号出力部に前記第一増幅部の出力として与えられるまでの時間T3と、前記ポンプ光パルスが、ポンプ光源から出力されてから、前記トリガ信号出力部に前記第二増幅部の出力として与えられるまでの時間T4との時間差を調整する時間差調整部と、
を備えたトリガ信号生成装置。 - 請求項19に記載のトリガ信号生成装置であって、
前記トリガ信号出力部が、
前記第一増幅部の出力を、前記第二増幅部の出力で変調する電気変調部と、
前記電気変調部の出力を増幅する増幅部と、
前記増幅部の出力を包絡線検波する検波部と、
を有するトリガ信号生成装置。 - 請求項19または20に記載のトリガ信号生成装置であって、
前記第一光電変換部が、前記プローブ光源に光ファイバで接続され、
前記第二光電変換部が、前記ポンプ光源に光ファイバで接続されている、
トリガ信号生成装置。 - プローブ光パルスを光電変換する第一光電変換部と、
第一光電変換部の出力を増幅する第一増幅部と、
前記第一増幅部の出力および前記プローブ光パルスとは繰り返し周波数が異なるポンプ光パルスの相互相関をトリガ信号として出力するトリガ信号出力部と、
前記プローブ光パルスが、プローブ光源から出力されてから、前記トリガ信号出力部に前記第一増幅部の出力として与えられるまでの時間T3と、前記ポンプ光パルスが、ポンプ光源から出力されてから前記トリガ信号出力部に与えられるまでの時間T4との時間差を調整する時間差調整部と、
を備えたトリガ信号生成装置。 - 請求項22に記載のトリガ信号生成装置であって、
前記トリガ信号出力部が、
前記ポンプ光パルスを、前記第一増幅部の出力で変調する光変調部と、
前記光変調部の出力を光電変換する光電変換部と、
前記光電変換部の出力を増幅する増幅部と、
前記増幅部の出力を包絡線検波する検波部と、
を有するトリガ信号生成装置。 - 請求項22または23に記載のトリガ信号生成装置であって、
前記第一光電変換部が、前記プローブ光源に光ファイバで接続され、
前記トリガ信号出力部が、前記ポンプ光源に光ファイバで接続されている、
トリガ信号生成装置。 - ポンプ光パルスを光電変換する第二光電変換部と、
前記第二光電変換部の出力を増幅する第二増幅部と、
前記ポンプ光パルスとは繰り返し周波数が異なるプローブ光パルスおよび前記第二増幅部の出力の相互相関をトリガ信号として出力するトリガ信号出力部と、
前記プローブ光パルスが、プローブ光源から出力されてから前記トリガ信号出力部に与えられるまでの時間T3と、前記ポンプ光パルスが、ポンプ光源から出力されてから、前記トリガ信号出力部に前記第二増幅部の出力として与えられるまでの時間T4との時間差を調整する時間差調整部と、
を備えたトリガ信号生成装置。 - 請求項25に記載のトリガ信号生成装置であって、
前記トリガ信号出力部が、
前記プローブ光パルスを、前記第二増幅部の出力で変調する光変調部と、
前記光変調部の出力を光電変換する光電変換部と、
前記光電変換部の出力を増幅する増幅部と、
前記増幅部の出力を包絡線検波する検波部と、
を有するトリガ信号生成装置。 - 請求項25または26に記載のトリガ信号生成装置であって、
前記トリガ信号出力部が、前記プローブ光源に光ファイバで接続され、
前記第二光電変換部が、前記ポンプ光源に光ファイバで接続されている、
トリガ信号生成装置。
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