JP5358470B2 - State evaluation apparatus and state evaluation method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To evaluate the heat-retention state of a heating device or a cooling-retention state of a cooling device by utilizing only state amounts managed by a temperature control device. <P>SOLUTION: A state evaluation apparatus includes: a manipulated variable MV acquisition part 1 for acquiring a manipulated variable MV; a manipulated variable integral value calculation part 2 for calculating an integral value MV_S of the manipulated variable MV; a temperature set point SP acquisition part 3 for acquiring a temperature set point SP; an ideal manipulated variable output value calculation part 4 which, while using the integral value MV_S of the manipulated variable MV and the temperature set point SP as input values, calculates an ideal manipulated variable output value MV_R which is a manipulated variable to be output in a normal heat-retention state of the heating device; a heat-retention characteristic determination part 5 which, when the manipulated variable MV is deviated from the ideal manipulated variable output value MV_R by a specified width or more, determines that the heat-retention property of the heating device is in an abnormal state; and a determination result output part 6 for notifying an operator of a result that the heat-retention property of the heating device is in the abnormal state. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、加熱装置の保温性または冷却装置の保冷性の状態を評価する状態評価装置および状態評価方法に関するものである。   The present invention relates to a state evaluation apparatus and a state evaluation method for evaluating a heat retention state of a heating device or a cold state of a cooling device.

温調計などの温度制御装置は、電気ヒータなどが利用される装置に計装されることがある。温度制御装置では、電気ヒータの出力になる指示値が操作量MVとして算出される。
近年の省エネルギー化要求の高まりにより、加熱装置のチャンバーでは保温性を高め、冷却装置のチャンバーでは保冷性を高め、加熱・冷却に使用する電力を削減する努力が行なわれている。
このような傾向に伴い、温度制御装置を用いて簡易的に電力を推定し、装置の加熱状態を管理する努力も行なわれている(特許文献1参照)。
A temperature control device such as a temperature controller may be instrumented in a device using an electric heater or the like. In the temperature control device, an instruction value that becomes an output of the electric heater is calculated as an operation amount MV.
Due to the recent increase in demand for energy saving, efforts are being made to increase the heat retention in the chamber of the heating device, increase the cold retention in the chamber of the cooling device, and reduce the power used for heating and cooling.
With such a trend, efforts are being made to simply estimate power using a temperature control device and manage the heating state of the device (see Patent Document 1).

特開2009−229382号公報JP 2009-229382 A

装置運用中の装置制御シーケンスのマニュアル変更ミスや、パラメータ値のマニュアル変更ミスなどにより、チャンバーに被加熱物あるいは被冷却物を出し入れするためのゲートの閉め損ない(特殊モードによる完全遮蔽まで行かないゲート開度状態)や、高温状態から降温させる際に時間短縮するためのエアパージの停止忘れ(特殊モードによる完全停止まで行かないパージ状態)などがあると、設計時に想定されていた電力使用量よりも多い電力を使用してしまうことになる。   Failure to close the gate for putting in or out the object to be heated or cooled in the chamber due to an error in manual change of the device control sequence or manual change of the parameter value during the operation of the gate (a gate that does not go through complete shielding in a special mode) Open state) or forgetting to stop air purge to reduce the time when the temperature is lowered from a high temperature state (purging state that does not go to complete stop by special mode), etc., than the power consumption assumed at the time of design A lot of electric power will be used.

このような電力使用量の増加を防ぐために、特許文献1に開示された技術を適用して使用電力の瞬時値をモニタリングするようにし、この使用電力の瞬時値が閾値を超えたときにアラームを発するようにすることが考えられる。しかし、通常の装置において保温性や保冷性を高めている場合であっても、保温あるいは保冷の効果は時間の経過とともに徐々に変化する傾向があり、必ずしも単純には閾値を決定できない。   In order to prevent such an increase in power consumption, the technique disclosed in Patent Document 1 is applied to monitor the instantaneous value of power consumption, and an alarm is generated when the instantaneous value of power usage exceeds a threshold value. It can be considered to emit. However, even in the case where the heat retaining property and the cold retaining property are enhanced in a normal apparatus, the effect of the heat retaining or the cold retaining tends to change gradually with the passage of time, and the threshold value cannot always be determined simply.

ゲート開度やエアパージレベルを付加的センサによって検出し、オペレータが確認できるように表示する方法もあるが、そのためのセンサを付加する必要があるので、装置製造コストや構造設計上のマイナス材料になる。また、電力使用量が想定どおりにならない要因が、センサにより検出できるもの以外であれば、言うまでもなく想定外の状況を検出できない。   There is also a method to detect the gate opening and air purge level with an additional sensor and display it so that the operator can confirm it. However, since it is necessary to add a sensor for that purpose, it becomes a negative material in equipment manufacturing cost and structural design . Needless to say, an unexpected situation cannot be detected as long as the cause of the power usage not being as expected is other than that which can be detected by the sensor.

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、温度制御装置が管理する状態量のみを利用して、加熱装置の保温性または冷却装置の保冷性の状態を評価することができる状態評価装置および状態評価方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problem, and can use only the state quantity managed by the temperature control device to evaluate the heat insulation property of the heating device or the cold insulation property of the cooling device. An object is to provide an evaluation device and a state evaluation method.

本発明の状態評価装置は、加熱装置または冷却装置の温度制御を行う温度制御装置から操作量を取得する操作量取得手段と、前記操作量の予め規定された時間範囲の積算値を算出する操作量積算値算出手段と、前記温度制御装置から温度設定値を取得する温度設定値取得手段と、前記操作量の積算値と前記温度設定値とを入力値として、前記加熱装置の正常な保温状態において出力される操作量または前記冷却装置の正常な保冷状態において出力される操作量である理想操作量出力値を求める理想操作量出力値算出手段と、前記操作量取得手段が取得した操作量が前記理想操作量出力値から規定幅以上外れている場合に、前記加熱装置の保温性または前記冷却装置の保冷性が異常な状態にあると判定する特性判定手段とを備え、前記操作量の積算値の積算時間は、前記加熱装置の加熱チャンバーの保温特性の時定数または前記冷却装置の冷却チャンバーの保冷特性の時定数よりも長くなるように設定されることを特徴とするものである。   The state evaluation apparatus of the present invention includes an operation amount acquisition unit that acquires an operation amount from a temperature control device that performs temperature control of a heating device or a cooling device, and an operation that calculates an integrated value of the operation amount in a predetermined time range. The amount integrated value calculation means, the temperature set value acquisition means for acquiring the temperature set value from the temperature control device, and the normal warming state of the heating device using the integrated value of the manipulated variable and the temperature set value as input values An operation amount output value calculating means for obtaining an ideal operation amount output value that is an operation amount output in the normal cooling state of the cooling device or an operation amount acquired by the operation amount acquisition means. Characteristic determining means for determining that the heat retaining property of the heating device or the cold retaining property of the cooling device is in an abnormal state when the output amount deviates from the ideal operation amount output value by more than a specified width, Integration time of calculation values is characterized in that which is set to be longer than the time constant of the cold properties of the cooling chamber of the time constant or the cooling device of the thermal insulation properties of the heating chamber of the heating apparatus.

また、本発明の状態評価装置は、加熱装置または冷却装置の温度制御を行う温度制御装置から操作量を取得する操作量取得手段と、予め規定された積算回数の前記操作量の平均値を算出する操作量平均値算出手段と、前記温度制御装置から温度設定値を取得する温度設定値取得手段と、前記操作量の平均値と前記温度設定値とを入力値として、前記加熱装置の正常な保温状態において出力される操作量または前記冷却装置の正常な保冷状態において出力される操作量である理想操作量出力値を求める理想操作量出力値算出手段と、前記操作量取得手段が取得した操作量が前記理想操作量出力値から規定幅以上外れている場合に、前記加熱装置の保温性または前記冷却装置の保冷性が異常な状態にあると判定する特性判定手段とを備え、前記積算回数は、この回数分の操作量の積算時間が前記加熱装置の加熱チャンバーの保温特性の時定数または前記冷却装置の冷却チャンバーの保冷特性の時定数よりも長くなるように設定されることを特徴とするものである。   In addition, the state evaluation apparatus of the present invention calculates an operation amount acquisition unit that acquires an operation amount from a temperature control device that controls the temperature of the heating device or the cooling device, and calculates an average value of the operation amount for a predetermined number of integrations. An operating amount average value calculating means, a temperature setting value acquiring means for acquiring a temperature setting value from the temperature control device, and an average value of the operating amount and the temperature setting value as input values. An ideal manipulated variable output value calculating means for obtaining an ideal manipulated variable output value that is an manipulated variable that is output in the heat insulation state or an operation amount that is output in the normal cooling state of the cooling device, and the operation acquired by the manipulated variable acquisition means Characteristic determining means for determining that the heat retaining property of the heating device or the cold retaining property of the cooling device is in an abnormal state when the amount deviates from the ideal manipulated variable output value by a specified width or more, The number of times is set such that the accumulated time of the operation amount for this number of times is longer than the time constant of the heat retention characteristic of the heating chamber of the heating device or the time constant of the heat retention characteristic of the cooling chamber of the cooling device. It is what.

また、本発明の状態評価装置は、加熱装置または冷却装置の温度制御を行う温度制御装置から操作量を取得する操作量取得手段と、前記操作量をダンピング処理した操作量ダンピング値を算出する操作量ダンピング値算出手段と、前記温度制御装置から温度設定値を取得する温度設定値取得手段と、前記操作量ダンピング値と前記温度設定値とを入力値として、前記加熱装置の正常な保温状態において出力される操作量または前記冷却装置の正常な保冷状態において出力される操作量である理想操作量出力値を求める理想操作量出力値算出手段と、前記操作量取得手段が取得した操作量が前記理想操作量出力値から規定幅以上外れている場合に、前記加熱装置の保温性または前記冷却装置の保冷性が異常な状態にあると判定する特性判定手段とを備え、前記ダンピング処理のダンピング時定数は、前記加熱装置の加熱チャンバーの保温特性の時定数または前記冷却装置の冷却チャンバーの保冷特性の時定数よりも長くなるように設定されることを特徴とするものである。   In addition, the state evaluation apparatus of the present invention includes an operation amount obtaining unit that obtains an operation amount from a temperature control device that controls the temperature of the heating device or the cooling device, and an operation that calculates an operation amount damping value obtained by damping the operation amount. An amount damping value calculating means, a temperature setting value obtaining means for obtaining a temperature setting value from the temperature control device, the manipulated variable damping value and the temperature setting value as input values, and in a normal temperature maintaining state of the heating device An ideal operation amount output value calculation means for obtaining an ideal operation amount output value that is an operation amount that is output or an operation amount that is output in a normal cold state of the cooling device, and the operation amount that is acquired by the operation amount acquisition means Characteristic determination means for determining that the heat retaining property of the heating device or the cold retaining property of the cooling device is in an abnormal state when the output amount deviates from the ideal manipulated variable output value by more than a specified width The damping time constant of the damping process is set to be longer than the time constant of the heat retention characteristic of the heating chamber of the heating device or the time constant of the cold insulation characteristic of the cooling chamber of the cooling device. To do.

また、本発明の状態評価装置の1構成例は、さらに、前記加熱装置の保温性または前記冷却装置の保冷性が異常な状態にあることをオペレータに通知する判定結果出力手段を備えることを特徴とするものである。
また、本発明の状態評価装置の1構成例において、前記理想操作量出力値算出手段は、前記入力値と前記理想操作量出力値とを対応付けて記憶するテーブル、または前記入力値から前記理想操作量出力値を算出する数式により、前記理想操作量出力値を求めることを特徴とするものである。
また、本発明の状態評価装置の1構成例は、前記温度設定値取得手段の代わりに、前記温度制御装置から温度計測値を取得する温度計測値取得手段を備え、前記理想操作量出力値算出手段は、前記温度設定値の代わりに前記温度計測値を用いて前記理想操作量出力値を求めることを特徴とするものである。
In addition, one configuration example of the state evaluation device of the present invention further includes a determination result output means for notifying an operator that the heat retaining property of the heating device or the cold retaining property of the cooling device is in an abnormal state. It is what.
Moreover, in one configuration example of the state evaluation device of the present invention, the ideal manipulated variable output value calculating means stores the input value and the ideal manipulated variable output value in association with each other, or the ideal value from the input value. The ideal manipulated variable output value is obtained by a mathematical expression for calculating the manipulated variable output value.
Moreover, one configuration example of the state evaluation device of the present invention includes a temperature measurement value acquisition unit that acquires a temperature measurement value from the temperature control device instead of the temperature set value acquisition unit, and calculates the ideal manipulated variable output value. The means is characterized in that the ideal manipulated variable output value is obtained using the temperature measurement value instead of the temperature set value.

また、本発明の状態評価方法は、加熱装置または冷却装置の温度制御を行う温度制御装置から操作量を取得する操作量取得ステップと、前記操作量の予め規定された時間範囲の積算値を算出する操作量積算値算出ステップと、前記温度制御装置から温度設定値を取得する温度設定値取得ステップと、前記操作量の積算値と前記温度設定値とを入力値として、前記加熱装置の正常な保温状態において出力される操作量または前記冷却装置の正常な保冷状態において出力される操作量である理想操作量出力値を求める理想操作量出力値算出ステップと、前記操作量が前記理想操作量出力値から規定幅以上外れている場合に、前記加熱装置の保温性または前記冷却装置の保冷性が異常な状態にあると判定する特性判定ステップとを備え、前記操作量の積算値の積算時間は、前記加熱装置の加熱チャンバーの保温特性の時定数または前記冷却装置の冷却チャンバーの保冷特性の時定数よりも長くなるように設定されることを特徴とするものである。   Further, the state evaluation method of the present invention calculates an operation amount obtaining step for obtaining an operation amount from a temperature control device that controls the temperature of the heating device or the cooling device, and calculates an integrated value of the operation amount in a predetermined time range. An operation amount integrated value calculation step, a temperature set value acquisition step for acquiring a temperature set value from the temperature control device, and the operation amount integrated value and the temperature set value as input values. An ideal manipulated variable output value calculating step for obtaining an ideal manipulated variable output value which is an manipulated variable output in the heat insulation state or an manipulated variable output in the normal cooling state of the cooling device, and the manipulated variable is the ideal manipulated variable output A characteristic determination step for determining that the heat retaining property of the heating device or the cold retaining property of the cooling device is in an abnormal state when the value deviates from a value by a specified width or more, and the operation amount Integration time of the integrated value is characterized in that which is set to be longer than the time constant of the cold properties of the cooling chamber of the time constant or the cooling device of the thermal insulation properties of the heating chamber of the heating apparatus.

また、本発明の状態評価方法は、加熱装置または冷却装置の温度制御を行う温度制御装置から操作量を取得する操作量取得ステップと、予め規定された積算回数の前記操作量の平均値を算出する操作量平均値算出ステップと、前記温度制御装置から温度設定値を取得する温度設定値取得ステップと、前記操作量の平均値と前記温度設定値とを入力値として、前記加熱装置の正常な保温状態において出力される操作量または前記冷却装置の正常な保冷状態において出力される操作量である理想操作量出力値を求める理想操作量出力値算出ステップと、前記操作量が前記理想操作量出力値から規定幅以上外れている場合に、前記加熱装置の保温性または前記冷却装置の保冷性が異常な状態にあると判定する特性判定ステップとを備え、前記積算回数は、この回数分の操作量の積算時間が前記加熱装置の加熱チャンバーの保温特性の時定数または前記冷却装置の冷却チャンバーの保冷特性の時定数よりも長くなるように設定されることを特徴とするものである。   Further, the state evaluation method of the present invention calculates an operation amount acquisition step for acquiring an operation amount from a temperature control device that controls the temperature of the heating device or the cooling device, and calculates an average value of the operation amount for a predetermined number of integrations. The operation amount average value calculating step, the temperature setting value acquisition step for acquiring the temperature setting value from the temperature control device, the average value of the operation amount and the temperature setting value as input values, and the normality of the heating device An ideal manipulated variable output value calculating step for obtaining an ideal manipulated variable output value which is an manipulated variable output in the heat insulation state or an manipulated variable output in the normal cooling state of the cooling device, and the manipulated variable is the ideal manipulated variable output A characteristic determination step for determining that the heat retaining property of the heating device or the cold retaining property of the cooling device is in an abnormal state when the value deviates by more than a specified width from the value. Is characterized in that the accumulated time of the manipulated variable for this number of times is set to be longer than the time constant of the heat retention characteristic of the heating chamber of the heating device or the time constant of the heat retention characteristic of the cooling chamber of the cooling device. To do.

また、本発明の状態評価方法は、加熱装置または冷却装置の温度制御を行う温度制御装置から操作量を取得する操作量取得ステップと、前記操作量をダンピング処理した操作量ダンピング値を算出する操作量ダンピング値算出ステップと、前記温度制御装置から温度設定値を取得する温度設定値取得ステップと、前記操作量ダンピング値と前記温度設定値とを入力値として、前記加熱装置の正常な保温状態において出力される操作量または前記冷却装置の正常な保冷状態において出力される操作量である理想操作量出力値を求める理想操作量出力値算出ステップと、前記操作量が前記理想操作量出力値から規定幅以上外れている場合に、前記加熱装置の保温性または前記冷却装置の保冷性が異常な状態にあると判定する特性判定ステップとを備え、前記ダンピング処理のダンピング時定数は、前記加熱装置の加熱チャンバーの保温特性の時定数または前記冷却装置の冷却チャンバーの保冷特性の時定数よりも長くなるように設定されることを特徴とするものである。   The state evaluation method of the present invention includes an operation amount acquisition step of acquiring an operation amount from a temperature control device that controls the temperature of the heating device or the cooling device, and an operation of calculating an operation amount damping value obtained by damping the operation amount. In a normal warming state of the heating device, the amount damping value calculating step, the temperature setting value obtaining step for obtaining the temperature setting value from the temperature control device, the operation amount damping value and the temperature setting value as input values An ideal operation amount output value calculating step for obtaining an ideal operation amount output value that is an operation amount that is output or an operation amount that is output in a normal cold state of the cooling device, and the operation amount is defined from the ideal operation amount output value A characteristic determination step for determining that the heat retaining property of the heating device or the cold retaining property of the cooling device is in an abnormal state when it is out of width or more. The damping time constant of the damping process is set to be longer than the time constant of the heat retention characteristic of the heating chamber of the heating device or the time constant of the heat retention characteristic of the cooling chamber of the cooling device. Is.

本発明によれば、操作量取得手段と、操作量積算値算出手段と、温度設定値取得手段と、理想操作量出力値算出手段と、特性判定手段とを設け、操作量の積算値の積算時間を、加熱装置の加熱チャンバーの保温特性の時定数または冷却装置の冷却チャンバーの保冷特性の時定数よりも長くなるように設定することにより、加熱装置または冷却装置にゲート開度やエアパージレベルを検出するセンサ等を新たに付加することなく、温度制御装置が管理する状態量である操作量と温度設定値のみを利用して、加熱装置の保温性または冷却装置の保冷性の状態を評価することができる。   According to the present invention, the operation amount acquisition means, the operation amount integrated value calculation means, the temperature set value acquisition means, the ideal operation amount output value calculation means, and the characteristic determination means are provided, and the operation amount integration value is integrated. By setting the time to be longer than the time constant of the heat retention characteristic of the heating chamber of the heating device or the time constant of the heat retention characteristic of the cooling chamber of the cooling device, the gate opening degree and the air purge level are set in the heating device or the cooling device. Without adding a sensor or the like to be detected, only the operation amount and the temperature setting value, which are state quantities managed by the temperature control device, are used to evaluate the heat insulation property of the heating device or the cold insulation property state of the cooling device. be able to.

また、本発明では、操作量取得手段と、操作量平均値算出手段と、温度設定値取得手段と、理想操作量出力値算出手段と、特性判定手段とを設け、積算回数を、この回数分の操作量の積算時間が加熱装置の加熱チャンバーの保温特性の時定数または冷却装置の冷却チャンバーの保冷特性の時定数よりも長くなるように設定することにより、加熱装置または冷却装置にゲート開度やエアパージレベルを検出するセンサ等を新たに付加することなく、温度制御装置が管理する状態量である操作量と温度設定値のみを利用して、加熱装置の保温性または冷却装置の保冷性の状態を評価することができる。   In the present invention, an operation amount acquisition means, an operation amount average value calculation means, a temperature setting value acquisition means, an ideal operation amount output value calculation means, and a characteristic determination means are provided, and the number of integrations is equal to this number. By setting the accumulated time of the manipulated variable to be longer than the time constant of the heat retention characteristic of the heating chamber of the heating device or the time constant of the heat retention characteristic of the cooling chamber of the cooling device, the gate opening of the heating device or the cooling device is set. Without using a new sensor for detecting the air purge level or the air purge level, only the operation amount and the temperature set value, which are the state quantities managed by the temperature control device, are used to maintain the heat retaining property of the heating device or the cooling property of the cooling device. The state can be evaluated.

また、本発明では、操作量取得手段と、操作量ダンピング値算出手段と、温度設定値取得手段と、理想操作量出力値算出手段と、特性判定手段とを設け、ダンピング処理のダンピング時定数を、加熱装置の加熱チャンバーの保温特性の時定数または冷却装置の冷却チャンバーの保冷特性の時定数よりも長くなるように設定することにより、加熱装置または冷却装置にゲート開度やエアパージレベルを検出するセンサ等を新たに付加することなく、温度制御装置が管理する状態量である操作量と温度設定値のみを利用して、加熱装置の保温性または冷却装置の保冷性の状態を評価することができる。   In the present invention, an operation amount acquisition means, an operation amount damping value calculation means, a temperature setting value acquisition means, an ideal operation amount output value calculation means, and a characteristic determination means are provided, and the damping time constant of the damping process is set. The gate opening or air purge level is detected by the heating device or the cooling device by setting the heating device to be longer than the time constant of the heat retention property of the heating chamber of the heating device or the time constant of the cooling property of the cooling chamber of the cooling device. It is possible to evaluate the heat insulation state of the heating device or the cold insulation state of the cooling device by using only the operation amount and the temperature set value which are the state amount managed by the temperature control device without newly adding a sensor or the like. it can.

また、本発明では、加熱装置の保温性または冷却装置の保冷性が異常な状態にあることをオペレータに通知することにより、オペレータは、加熱チャンバーまたは冷却チャンバーのゲートの閉め損ないやエアパージの停止忘れのような保温ロスまたは保冷ロスが発生していることを認識できる。   Further, in the present invention, by notifying the operator that the heat retaining property of the heating device or the cooling property of the cooling device is in an abnormal state, the operator fails to close the gate of the heating chamber or the cooling chamber or forgets to stop the air purge. It can be recognized that a heat insulation loss or a cold insulation loss occurs.

加熱チャンバーの保温特性の時定数を説明する図である。It is a figure explaining the time constant of the heat retention characteristic of a heating chamber. 加熱チャンバーの保温特性の時定数を説明する別の図である。It is another figure explaining the time constant of the heat retention characteristic of a heating chamber. 本発明の第1の実施の形態に係る状態評価装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the state evaluation apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施の形態に係る状態評価装置を適用する加熱装置の1例を示す図である。It is a figure which shows one example of the heating apparatus to which the state evaluation apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention is applied. 本発明の第1の実施の形態に係る状態評価装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of the state evaluation apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施の形態に係る状態評価装置において理想操作量出力値算出部に設定されるテーブルの1例を示す図である。It is a figure which shows an example of the table set to the ideal operation amount output value calculation part in the state evaluation apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施の形態に係る状態評価装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the state evaluation apparatus which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施の形態に係る状態評価装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of the state evaluation apparatus which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施の形態に係る状態評価装置において理想操作量出力値算出部に設定されるテーブルの1例を示す図である。It is a figure which shows an example of the table set to the ideal operation amount output value calculation part in the state evaluation apparatus which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施の形態に係る状態評価装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the state evaluation apparatus which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施の形態に係る状態評価装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of the state evaluation apparatus which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施の形態に係る状態評価装置において理想操作量出力値算出部に設定されるテーブルの1例を示す図である。It is a figure which shows an example of the table set to the ideal operation amount output value calculation part in the state evaluation apparatus which concerns on the 3rd Embodiment of this invention.

[発明の原理1]
加熱装置や冷却装置等の装置自体の熱容量がチャンバー内に比べて無視できないほどの大きさであることが、保温状態や保冷状態に影響を与える要因である。さらに、装置自体の熱容量に対して、加熱の場合に熱を蓄積する要素あるいは冷却の場合に熱を放出させる要素として、チャンバーに与える温度操作が支配的になる場合が多いことに着眼した。
そして、温度操作を行なう温度制御装置(温調計)から出力される操作量MVの履歴を参照することで、装置自体の熱容量に対する熱の蓄積あるいは熱の放出を推定できることに想到した。
[Principle of Invention 1]
The fact that the heat capacity of a device such as a heating device or a cooling device is so large that it cannot be ignored compared to the inside of the chamber is a factor affecting the heat insulation state and the cold insulation state. Furthermore, it has been noted that the temperature operation given to the chamber is often dominant as an element that accumulates heat in the case of heating or an element that releases heat in the case of cooling with respect to the heat capacity of the apparatus itself.
Then, by referring to the history of the operation amount MV output from the temperature control device (temperature controller) that performs the temperature operation, it has been conceived that heat accumulation or heat release with respect to the heat capacity of the device itself can be estimated.

具体的には、規定された時間範囲の操作量MVの積算値ΣMVを算出し、設定温度SPとの関係も含めて正常な保温状態あるいは保冷状態において出力される操作量MVの範囲を予め調べておき、その関係を記憶しておく。そして、装置運用中に操作量MVの積算値ΣMVと設定温度SPに基づき正常な操作量MVの範囲を推定し、この範囲と実際に出力されている操作量MVを用いて、保温状態あるいは保冷状態を適宜評価する。また、実際に出力されている操作量MVが、推定される正常な操作量MVの範囲から外れている場合に、適宜オペレータに通知する。以上のように、本発明は、熱の蓄積あるいは熱の放出を、操作量MVの積算値ΣMVと結び付けて推定するところに特徴がある。このとき、積算時間あるいは積算回数を「装置自体の熱容量」に相当する保温特性あるいは保冷特性に基づいて決定する。   Specifically, the integrated value ΣMV of the manipulated variable MV in a specified time range is calculated, and the range of the manipulated variable MV output in the normal heat insulation state or the cold insulation state including the relationship with the set temperature SP is examined in advance. Remember that relationship. Then, the range of the normal operation amount MV is estimated based on the integrated value ΣMV of the operation amount MV and the set temperature SP during the operation of the apparatus, and using this range and the operation amount MV actually outputted, Assess the condition as appropriate. Further, when the operation amount MV actually output is out of the range of the estimated normal operation amount MV, the operator is notified as appropriate. As described above, the present invention is characterized in that heat accumulation or heat release is estimated in association with the integrated value ΣMV of the manipulated variable MV. At this time, the integration time or the number of integrations is determined based on the heat insulation characteristic or the cold insulation characteristic corresponding to the “heat capacity of the apparatus itself”.

[発明の原理2]
判定のために操作量MVの積算値ΣMVを採用すると、積算時間あるいは積算回数次第で判定の指標とすべき数値を大きく変えなければならない。ここで、加熱処理プロセスによる被加熱物に対する操作を対象とするのであれば、積算時間という時間的な要素よりも、操作量MVの積算値ΣMVという蓄積量自体が重要なので、積算値ΣMVを採用するのが妥当である。しかし、本発明の場合、被加熱物の熱容量などに比べると格段に大きな装置自体の熱容量に対して、判断指標を与えるものと言えるので、略定常状態での長い積算時間あるいは積算回数をとる必要がある。この場合、実用上は、操作量MVの積算値ΣMVをそのまま条件変数として採用するよりも、積算回数Nに基づいて平均値(ΣMV)/Nを算出する方が、数値のスケーリングの問題が扱いやすくなる。
[Principle of Invention 2]
When the integrated value ΣMV of the manipulated variable MV is adopted for the determination, the numerical value to be used as an index for determination must be changed greatly depending on the integration time or the number of integrations. Here, if the operation on the object to be heated by the heat treatment process is targeted, the accumulated value itself, that is, the accumulated value ΣMV of the manipulated variable MV is more important than the time factor of the accumulated time, so the accumulated value ΣMV is adopted. It is reasonable to do. However, in the case of the present invention, it can be said that it gives a judgment index to the heat capacity of the apparatus itself that is much larger than the heat capacity of the object to be heated, so it is necessary to take a long integration time or number of integrations in a substantially steady state. There is. In this case, in practice, the problem of scaling of numerical values is handled by calculating the average value (ΣMV) / N based on the number N of integrations rather than directly adopting the integrated value ΣMV of the manipulated variable MV as a conditional variable. It becomes easy.

[発明の原理3]
上記の原理2を温調計などの小型のコントローラで実現する場合、操作量MVを積算するためのメモリを十分に確保するのは困難である。したがって、操作量MVの平均値(ΣMV)/Nを採用するよりも、操作量MVを1次遅れフィルタによりダンピング処理した数値を採用するのが、より実用的である。このときのダンピング時定数は、後述する保温特性の時定数あるいは保冷特性の時定数よりも長くとるのが適切である。
[Principle 3 of the invention]
When the above principle 2 is realized by a small controller such as a temperature controller, it is difficult to secure a sufficient memory for accumulating the operation amount MV. Therefore, it is more practical to employ a numerical value obtained by damping the manipulated variable MV with a first-order lag filter than adopting the average value (ΣMV) / N of the manipulated variable MV. It is appropriate that the damping time constant at this time is longer than the time constant of the heat retention characteristic or the time constant of the cold insulation characteristic described later.

[第1の実施の形態]
以下、本発明の第1の実施の形態について図面を参照して説明する。本実施の形態は、上記発明の原理1に対応するものである。ここでは、加熱チャンバー内の被加熱物をヒータで加熱する加熱処理系を前提として説明する。図1は加熱チャンバーの保温特性の時定数を説明する図である。図1は、100秒において温度設定値SPが400℃から500℃に変更されたときの被加熱物の温度(制御量)PVと温度制御装置からヒータに出力される操作量MVの変化を示している。
[First Embodiment]
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. This embodiment corresponds to Principle 1 of the invention described above. Here, a description will be given on the assumption of a heat treatment system in which an object to be heated in a heating chamber is heated by a heater. FIG. 1 is a diagram for explaining the time constant of the heat retention characteristic of the heating chamber. FIG. 1 shows changes in the temperature (control amount) PV of the object to be heated and the operation amount MV output from the temperature control device to the heater when the temperature setpoint SP is changed from 400 ° C. to 500 ° C. in 100 seconds. ing.

図1の例では、被加熱物の温度PVが温度設定値SPに到達したときから加熱チャンバーの保温特性により操作量MVが降下して収束するまでの操作量MVの降下幅に着目し、温度PVが温度設定値SPに到達したときから操作量MVが降下幅の63.2%分だけ降下するまでの時間を、保温特性の時定数としている。この保温特性の時定数は、あくまでも目安としてのものである。加熱装置自体の熱容量の影響により操作量MVに保温効果がしっかり確認できるに足る時間を測定できるのであれば、図1で説明した保温特性の時定数の求め方には限定されない。   In the example of FIG. 1, paying attention to the amount of decrease in the manipulated variable MV from when the temperature PV of the object to be heated reaches the temperature set value SP until the manipulated variable MV drops and converges due to the heat retention characteristics of the heating chamber, The time from when PV reaches the temperature setpoint SP until the manipulated variable MV drops by 63.2% of the drop width is defined as the time constant of the heat retention characteristics. The time constant of this heat retention characteristic is only a guide. As long as it is possible to measure the time required for the operation amount MV to sufficiently confirm the heat retention effect due to the influence of the heat capacity of the heating device itself, the method is not limited to the method for obtaining the time constant of the heat retention characteristics described in FIG.

図2は加熱チャンバーの保温特性の時定数を説明する別の図である。図2は、100秒において温度設定値SPが400℃から500℃に変更されたときの被加熱物の温度PVと加熱チャンバー外周の温度OTの変化を示している。図2の例では、被加熱物の温度PVが温度設定値SPに到達したときから加熱チャンバーの保温特性により加熱チャンバー外周の温度OTが上昇して収束するまでの温度OTの上昇幅に着目し、温度PVが温度設定値SPに到達したときから温度OTが前述の上昇幅の63.2%分だけ上昇するまでの時間を、保温特性の時定数としている。この保温特性の時定数も、あくまでも目安としてのものである。加熱装置自体の熱容量の影響により装置温度に保温効果がしっかり確認できるに足る時間を測定できるのであれば、図2で説明した保温特性の時定数の求め方には限定されない。   FIG. 2 is another diagram for explaining the time constant of the heat retention characteristic of the heating chamber. FIG. 2 shows changes in the temperature PV of the object to be heated and the temperature OT around the outer periphery of the heating chamber when the temperature set value SP is changed from 400 ° C. to 500 ° C. in 100 seconds. In the example of FIG. 2, attention is paid to the increase range of the temperature OT from when the temperature PV of the object to be heated reaches the temperature set value SP until the temperature OT on the outer periphery of the heating chamber rises due to the heat retention characteristics of the heating chamber. The time from when the temperature PV reaches the temperature set value SP to when the temperature OT increases by 63.2% of the above-described increase width is defined as the time constant of the heat retention characteristics. The time constant of this heat retention characteristic is also a guide only. As long as it is possible to measure the time sufficient for the heat insulation effect to be firmly confirmed in the apparatus temperature due to the influence of the heat capacity of the heating apparatus itself, the method is not limited to the method for obtaining the time constant of the heat insulation characteristics described in FIG.

なお、加熱チャンバー外周の温度を測定する場合は、加熱装置に本来設けられている温度センサとは別に、加熱チャンバー外周の温度を測定する温度センサが必要になるが、必要になるのは測定時のみで装置稼動中の保温状態を評価する際には不要になる。   In addition, when measuring the temperature of the outer periphery of the heating chamber, a temperature sensor for measuring the temperature of the outer periphery of the heating chamber is required in addition to the temperature sensor originally provided in the heating device. This is not necessary when evaluating the heat insulation state while the apparatus is operating.

また、図1と図2では、結果的に保温特性の時定数は異なる値として得られることになるが、この時定数の違いは加熱チャンバー外周の温度測定点の選び方によって生じる差異である。図1、図2で説明した保温特性の時定数の求め方はあくまでも目安となる時間を予め決めておくための求め方であり、本質的に厳密さは要求されない。加熱チャンバー外周の温度OTとしては、可能な限り加熱チャンバーの保温特性に連動する箇所の温度を測定することが好ましい。   1 and FIG. 2, as a result, the time constant of the heat retention characteristic is obtained as a different value. The difference in the time constant is a difference caused by the selection of the temperature measurement point on the outer periphery of the heating chamber. The method for obtaining the time constant of the heat retention characteristics described with reference to FIGS. 1 and 2 is a method for obtaining a reference time in advance, and essentially no strictness is required. As the temperature OT of the outer periphery of the heating chamber, it is preferable to measure the temperature at a location linked to the heat retention characteristics of the heating chamber as much as possible.

図3は本実施の形態の状態評価装置の構成を示すブロック図である。状態評価装置は、温調計などの温度制御装置から操作量MVを取得する操作量MV取得部1と、操作量MVの予め規定された時間範囲の積算値MV_Sを算出する操作量積算値算出部2と、温度設定値SPを取得する温度設定値SP取得部3と、操作量積算値MV_Sと温度設定値SPとを入力値として理想操作量出力値MV_Rを求める理想操作量出力値算出部4と、加熱装置の保温性の状態を判定する保温特性判定部5と、加熱装置の保温性が異常な状態にあることをオペレータに通知する判定結果出力部6とを備えている。   FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of the state evaluation apparatus according to the present embodiment. The state evaluation device includes an operation amount MV acquisition unit 1 that acquires an operation amount MV from a temperature control device such as a temperature controller, and an operation amount integrated value calculation that calculates an integrated value MV_S of a predetermined time range of the operation amount MV. Unit 2, a temperature setting value SP acquisition unit 3 for acquiring a temperature setting value SP, and an ideal operation amount output value calculation unit for obtaining an ideal operation amount output value MV_R using the operation amount integrated value MV_S and the temperature setting value SP as input values 4, a heat retention characteristic determination unit 5 that determines the heat retention state of the heating device, and a determination result output unit 6 that notifies the operator that the heat retention property of the heating device is in an abnormal state.

図4は本実施の形態の状態評価装置を適用する加熱装置の1例を示す図である。図4の例では、空気循環式の加熱チャンバー111の内部にヒータ112と温度センサ113とが設置されている。温度センサ113は、ヒータ112によって加熱される空気の温度PVを計測する。温調計100は、温度計測値PVが温度設定値SPと一致するように操作量MVを算出する。電力調整器114は、操作量MVに応じた電力を決定し、この決定した電力を電力供給回路115を通じてヒータ112に供給する。こうして、温調計100は、加熱チャンバー111内の温度を制御する。本実施の形態の状態評価装置は、この温調計100の内部に設けられるものである。   FIG. 4 is a diagram illustrating an example of a heating apparatus to which the state evaluation apparatus of the present embodiment is applied. In the example of FIG. 4, a heater 112 and a temperature sensor 113 are installed inside an air circulation type heating chamber 111. The temperature sensor 113 measures the temperature PV of the air heated by the heater 112. The temperature controller 100 calculates the manipulated variable MV so that the temperature measurement value PV matches the temperature setting value SP. The power adjuster 114 determines power according to the operation amount MV, and supplies the determined power to the heater 112 through the power supply circuit 115. Thus, the temperature controller 100 controls the temperature in the heating chamber 111. The state evaluation apparatus of the present embodiment is provided inside the temperature controller 100.

以下、本実施の形態の状態評価装置の動作を説明する。図5は状態評価装置の動作を示すフローチャートである。
操作量MV取得部1は、温調計100から出力される操作量MVを取得する(図5ステップS100)。温調計100からは制御周期毎に操作量MVが出力されるので、操作量MV取得部1は、例えば制御周期毎に操作量MVを取得する。
Hereinafter, the operation of the state evaluation apparatus according to the present embodiment will be described. FIG. 5 is a flowchart showing the operation of the state evaluation apparatus.
The operation amount MV acquisition unit 1 acquires the operation amount MV output from the temperature controller 100 (step S100 in FIG. 5). Since the operation amount MV is output from the temperature controller 100 for each control cycle, the operation amount MV acquisition unit 1 acquires the operation amount MV for each control cycle, for example.

操作量積算値算出部2は、操作量MV取得部1が取得した操作量MVから、操作量MVの予め規定された時間範囲の積算値MV_S=ΣMVを算出する(ステップS101)。このとき、予め規定された積算時間は、加熱チャンバー111の保温特性の時定数よりも長くなるように設定されている。
続いて、温度設定値SP取得部3は、加熱装置のオペレータによって設定された温度設定値SPを温調計100から取得する(ステップS102)。
The operation amount integrated value calculation unit 2 calculates an integrated value MV_S = ΣMV in a predetermined time range of the operation amount MV from the operation amount MV acquired by the operation amount MV acquisition unit 1 (step S101). At this time, the predetermined integration time is set to be longer than the time constant of the heat retention characteristic of the heating chamber 111.
Subsequently, the temperature set value SP acquisition unit 3 acquires the temperature set value SP set by the operator of the heating device from the temperature controller 100 (step S102).

理想操作量出力値算出部4は、温度設定値SPと操作量積算値MV_Sとから、加熱装置の正常な保温状態において出力される操作量MVである理想操作量出力値MV_Rを求める(ステップS103)。理想操作量出力値MV_Rを求める手法としては、加熱装置の正常な保温状態において出力される操作量MVの範囲と、温度設定値SPおよび操作量積算値MV_Sとの関係を予め測定しておき、この関係に基づいて温度設定値SPと操作量積算値MV_Sと理想操作量出力値MV_Rとを対応付けて記憶するテーブルを作成するか、または温度設定値SPと操作量積算値MV_Sとから理想操作量出力値MV_Rを算出する数式を作成し、このテーブルまたは数式を理想操作量出力値算出部4に予め登録しておけばよい。テーブルの1例を図6に示す。数式を用いる場合には、測定したデータに対して重回帰分析やSVR(Support Vector Regression )などの多変量解析を行って数式を作成すればよい。   The ideal manipulated variable output value calculation unit 4 obtains an ideal manipulated variable output value MV_R that is the manipulated variable MV that is output in the normal warming state of the heating device from the temperature setting value SP and the manipulated variable integrated value MV_S (step S103). ). As a method for obtaining the ideal manipulated variable output value MV_R, the relationship between the range of the manipulated variable MV that is output in the normal warming state of the heating device and the temperature set value SP and the manipulated variable integrated value MV_S is measured in advance. Based on this relationship, a table for storing the temperature set value SP, the operation amount integrated value MV_S, and the ideal operation amount output value MV_R in association with each other is created, or the ideal operation is performed from the temperature set value SP and the operation amount integrated value MV_S. A mathematical formula for calculating the quantity output value MV_R may be created, and this table or mathematical formula may be registered in the ideal manipulated variable output value calculation unit 4 in advance. An example of the table is shown in FIG. When using mathematical expressions, the mathematical expressions may be created by performing multivariate analysis such as multiple regression analysis or SVR (Support Vector Regression) on the measured data.

次に、保温特性判定部5は、操作量MV取得部1が取得した操作量MVと理想操作量出力値算出部4が求めた理想操作量出力値MV_Rとを比較し(ステップS104)、操作量MVが理想操作量出力値MV_Rから規定幅以上外れている場合に、加熱装置の保温性が異常な状態にあると判定する。保温特性判定部5は、このような判定を例えば温調計100の制御周期毎に行う。   Next, the heat retention characteristic determination unit 5 compares the operation amount MV acquired by the operation amount MV acquisition unit 1 with the ideal operation amount output value MV_R obtained by the ideal operation amount output value calculation unit 4 (step S104). When the amount MV deviates from the ideal manipulated variable output value MV_R by more than a specified width, it is determined that the heat retaining property of the heating device is in an abnormal state. The heat retention characteristic determination unit 5 performs such determination for each control cycle of the temperature controller 100, for example.

判定結果出力部6は、保温特性判定部5の判定結果を受けて、加熱装置の保温性が異常な状態にあることをオペレータに通知する(ステップS105,S106)。この通知は、例えばLED等を点灯させてもよいし、画面にメッセージを表示してもよい。また、操作量MVの理想操作量出力値MV_Rからのずれ量をオペレータに通知するようにしてもよい。   The determination result output unit 6 receives the determination result of the heat retention characteristic determination unit 5 and notifies the operator that the heat retaining property of the heating device is in an abnormal state (steps S105 and S106). For this notification, for example, an LED or the like may be turned on, or a message may be displayed on the screen. Further, the operator may be notified of a deviation amount of the operation amount MV from the ideal operation amount output value MV_R.

以上のように、本実施の形態では、加熱装置にゲート開度やエアパージレベルを検出するセンサ等を新たに付加することなく、温調計が管理する状態量である操作量MVと温度設定値SPのみを利用して、加熱装置の保温性の状態を評価することができる。また、本実施の形態では、加熱装置の保温性の状態が予め想定した状態から外れた場合に、オペレータに通知することができる。この通知により、オペレータは、加熱チャンバーのゲートの閉め損ないやエアパージの停止忘れのような保温ロスが発生していると判断することができる。   As described above, in this embodiment, the operation amount MV and the temperature set value, which are state quantities managed by the temperature controller, are not added to the heating device without newly adding a sensor or the like for detecting the gate opening degree or the air purge level. By using only SP, the heat retention state of the heating device can be evaluated. Moreover, in this Embodiment, when the heat retention state of a heating apparatus remove | deviates from the state assumed previously, an operator can be notified. By this notification, the operator can determine that a heat retention loss such as failure to close the gate of the heating chamber or forgetting to stop the air purge has occurred.

[第2の実施の形態]
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。図7は本発明の第2の実施の形態に係る状態評価装置の構成を示すブロック図であり、図3と同一の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態は、上記発明の原理2に対応するものである。本実施の形態の状態評価装置は、操作量MV取得部1と、温度設定値SP取得部3と、操作量MVの平均値MV_Aと温度設定値SPとを入力値として理想操作量出力値MV_Rを求める理想操作量出力値算出部4aと、保温特性判定部5と、判定結果出力部6と、操作量平均値MV_Aを算出する操作量平均値算出部7とを備えている。
[Second Embodiment]
Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 7 is a block diagram showing the configuration of the state evaluation apparatus according to the second embodiment of the present invention. The same components as those in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals. This embodiment corresponds to Principle 2 of the invention described above. The state evaluation apparatus according to the present embodiment includes an operation amount MV acquisition unit 1, a temperature setting value SP acquisition unit 3, an average value MV_A of the operation amount MV and the temperature setting value SP as input values, and an ideal operation amount output value MV_R. Is provided with an ideal operation amount output value calculation unit 4a, a heat retention characteristic determination unit 5, a determination result output unit 6, and an operation amount average value calculation unit 7 that calculates an operation amount average value MV_A.

以下、本実施の形態の状態評価装置の動作を説明する。図8は状態評価装置の動作を示すフローチャートである。操作量MV取得部1の動作は、第1の実施の形態と同じである(図8ステップS100)。
操作量平均値算出部7は、操作量MV取得部1が取得した操作量MVから、予め規定された数の操作量MVの平均値MV_A=(ΣMV)/Nを算出する(ステップS107)。このとき、予め規定された積算回数Nは、N個の操作量MVの積算に要する積算時間が加熱チャンバー111の保温特性の時定数よりも長くなるように設定されている。
Hereinafter, the operation of the state evaluation apparatus according to the present embodiment will be described. FIG. 8 is a flowchart showing the operation of the state evaluation apparatus. The operation of the manipulated variable MV acquisition unit 1 is the same as that in the first embodiment (step S100 in FIG. 8).
The operation amount average value calculation unit 7 calculates an average value MV_A = (ΣMV) / N of a predetermined number of operation amounts MV from the operation amount MV acquired by the operation amount MV acquisition unit 1 (step S107). At this time, the predetermined number of integrations N is set so that the integration time required for integration of the N manipulated variables MV is longer than the time constant of the heat retention characteristic of the heating chamber 111.

温度設定値SP取得部3の動作は、第1の実施の形態と同じである(ステップS102)。
理想操作量出力値算出部4aは、温度設定値SPと操作量平均値MV_Aとから、理想操作量出力値MV_Rを求める(ステップS108)。理想操作量出力値MV_Rを求める手法としては、加熱装置の正常な保温状態において出力される操作量MVの範囲と、温度設定値SPおよび操作量平均値MV_Aとの関係を予め測定しておき、この関係に基づいて温度設定値SPと操作量平均値MV_Aと理想操作量出力値MV_Rとを対応付けて記憶するテーブルを作成するか、または温度設定値SPと操作量平均値MV_Aとから理想操作量出力値MV_Rを算出する数式を作成し、このテーブルまたは数式を理想操作量出力値算出部4aに予め登録しておけばよい。テーブルの1例を図9に示す。第1の実施の形態と同様に、数式を用いる場合には、測定したデータに対して多変量解析を行って数式を作成すればよい。
The operation of the temperature set value SP acquisition unit 3 is the same as that of the first embodiment (step S102).
The ideal manipulated variable output value calculation unit 4a obtains an ideal manipulated variable output value MV_R from the temperature set value SP and the manipulated variable average value MV_A (step S108). As a method for obtaining the ideal manipulated variable output value MV_R, the relationship between the range of the manipulated variable MV that is output in the normal warming state of the heating device and the temperature set value SP and the manipulated variable average value MV_A is measured in advance. Based on this relationship, a table that stores the temperature set value SP, the manipulated variable average value MV_A, and the ideal manipulated variable output value MV_R in association with each other is created, or an ideal operation is obtained from the temperature set value SP and the manipulated variable average value MV_A. A mathematical formula for calculating the quantity output value MV_R may be created, and this table or mathematical formula may be registered in advance in the ideal manipulated variable output value calculation unit 4a. An example of the table is shown in FIG. Similar to the first embodiment, when using mathematical formulas, a mathematical formula may be created by performing multivariate analysis on the measured data.

保温特性判定部5と判定結果出力部6の動作は、第1の実施の形態と同じである(ステップS104〜S106)。
こうして、本実施の形態では、第1の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
The operations of the heat retention characteristic determination unit 5 and the determination result output unit 6 are the same as those in the first embodiment (steps S104 to S106).
Thus, in this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be obtained.

[第3の実施の形態]
次に、本発明の第3の実施の形態について説明する。図10は本発明の第3の実施の形態に係る状態評価装置の構成を示すブロック図であり、図3と同一の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態は、上記発明の原理3に対応するものである。本実施の形態の状態評価装置は、操作量MV取得部1と、温度設定値SP取得部3と、後述する操作量ダンピング値と温度設定値SPとを入力値として理想操作量出力値MV_Rを求める理想操作量出力値算出部4bと、保温特性判定部5と、判定結果出力部6と、操作量MVをダンピング処理した操作量ダンピング値MV_Dを算出する操作量ダンピング値算出部8とを備えている。
[Third Embodiment]
Next, a third embodiment of the present invention will be described. FIG. 10 is a block diagram showing the configuration of the state evaluation apparatus according to the third embodiment of the present invention. The same components as those in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals. This embodiment corresponds to Principle 3 of the invention described above. The state evaluation apparatus according to the present embodiment uses the manipulated variable MV acquisition unit 1, the temperature set value SP acquisition unit 3, and the manipulated variable damping value and the temperature set value SP, which will be described later, as input values to obtain the ideal manipulated variable output value MV_R. An ideal manipulated variable output value calculation unit 4b to be obtained, a heat retention characteristic determination unit 5, a determination result output unit 6, and an operation amount damping value calculation unit 8 that calculates an operation amount damping value MV_D obtained by damping the operation amount MV. ing.

以下、本実施の形態の状態評価装置の動作を説明する。図11は状態評価装置の動作を示すフローチャートである。操作量MV取得部1の動作は、第1の実施の形態と同じである(図11ステップS100)。
操作量ダンピング値算出部8は、操作量MV取得部1が取得した操作量MVから、操作量ダンピング値MV_D=MV/(1+Ts)を算出する(ステップS109)。ここで、Tはダンピング時定数、sはラプラス演算子である。ダンピング時定数Tは、加熱チャンバー111の保温特性の時定数よりも長くなるように設定されている。
Hereinafter, the operation of the state evaluation apparatus according to the present embodiment will be described. FIG. 11 is a flowchart showing the operation of the state evaluation apparatus. The operation of the manipulated variable MV acquisition unit 1 is the same as that in the first embodiment (step S100 in FIG. 11).
The operation amount damping value calculation unit 8 calculates the operation amount damping value MV_D = MV / (1 + Ts) from the operation amount MV acquired by the operation amount MV acquisition unit 1 (step S109). Here, T is a damping time constant, and s is a Laplace operator. The damping time constant T is set to be longer than the time constant of the heat retention characteristic of the heating chamber 111.

温度設定値SP取得部3の動作は、第1の実施の形態と同じである(ステップS102)。
理想操作量出力値算出部4bは、温度設定値SPと操作量ダンピング値MV_Dとから、理想操作量出力値MV_Rを求める(ステップS110)。理想操作量出力値MV_Rを求める手法としては、加熱装置の正常な保温状態において出力される操作量MVの範囲と、温度設定値SPおよび操作量ダンピング値MV_Dとの関係を予め測定しておき、この関係に基づいて温度設定値SPと操作量ダンピング値MV_Dと理想操作量出力値MV_Rとを対応付けて記憶するテーブルを作成するか、または温度設定値SPと操作量ダンピング値MV_Dとから理想操作量出力値MV_Rを算出する数式を作成し、このテーブルまたは数式を理想操作量出力値算出部4bに予め登録しておけばよい。テーブルの1例を図12に示す。第1の実施の形態と同様に、数式を用いる場合には、測定したデータに対して多変量解析を行って数式を作成すればよい。
The operation of the temperature set value SP acquisition unit 3 is the same as that of the first embodiment (step S102).
The ideal manipulated variable output value calculation unit 4b obtains an ideal manipulated variable output value MV_R from the temperature set value SP and the manipulated variable damping value MV_D (step S110). As a method for obtaining the ideal manipulated variable output value MV_R, a relationship between the range of the manipulated variable MV output in the normal warming state of the heating device and the temperature set value SP and the manipulated variable damping value MV_D is measured in advance. Based on this relationship, a table for storing the temperature set value SP, the manipulated variable damping value MV_D, and the ideal manipulated variable output value MV_R in association with each other is created, or an ideal operation is obtained from the temperature set value SP and the manipulated variable damping value MV_D. A formula for calculating the quantity output value MV_R may be created, and this table or formula may be registered in advance in the ideal manipulated variable output value calculation unit 4b. An example of the table is shown in FIG. Similar to the first embodiment, when using mathematical formulas, a mathematical formula may be created by performing multivariate analysis on the measured data.

保温特性判定部5と判定結果出力部6の動作は、第1の実施の形態と同じである(ステップS104〜S106)。
こうして、本実施の形態では、第1の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
The operations of the heat retention characteristic determination unit 5 and the determination result output unit 6 are the same as those in the first embodiment (steps S104 to S106).
Thus, in this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be obtained.

なお、第1〜第3の実施の形態では、状態評価装置を加熱装置に適用したが、冷却装置に適用することも可能である。冷却装置に適用する場合、加熱チャンバーの保温特性の時定数を用いる代わりに、冷却チャンバーの保冷特性の時定数を用いる。保冷特性の時定数は、図1と同じ方法で求めることができる。また、冷却チャンバー外周の温度OTから保冷特性の時定数を求めるには、被冷却物の温度PVが温度設定値SPに到達したときから冷却チャンバーの保冷特性により冷却チャンバー外周の温度OTが下降して収束するまでの温度OTの下降幅に着目し、温度PVが温度設定値SPに到達したときから温度OTが前述の下降幅の63.2%分だけ下降するまでの時間を、保冷特性の時定数とすればよい。冷却チャンバー外周の温度OTとしては、可能な限り冷却チャンバーの保冷特性に連動する箇所の温度を測定することが好ましい。   In the first to third embodiments, the state evaluation device is applied to the heating device, but it can also be applied to a cooling device. When applied to a cooling device, the time constant of the cooling characteristics of the cooling chamber is used instead of the time constant of the temperature characteristics of the heating chamber. The time constant of the cold insulation characteristic can be obtained by the same method as in FIG. In addition, in order to obtain the time constant of the cooling characteristics from the temperature OT around the cooling chamber, the temperature OT around the cooling chamber decreases due to the cooling characteristics of the cooling chamber after the temperature PV of the object to be cooled reaches the temperature setting value SP. Paying attention to the decreasing range of the temperature OT until it converges, the time from when the temperature PV reaches the temperature setting value SP until the temperature OT decreases by 63.2% of the above-mentioned decreasing range, A time constant may be used. As the temperature OT of the outer periphery of the cooling chamber, it is preferable to measure the temperature of a location that is linked to the cooling characteristics of the cooling chamber as much as possible.

また、第1〜第3の実施の形態では、昇温時または降温時を対象としているために温度設定値SPを用いているが、温度制御の定常状態を対象とするならば、温度設定値SPの代わりに温度計測値PVを用いることも可能である。温度計測値PVを用いる場合は、温度設定値SP取得部3の代わりに、温度計測値PV取得部を設けるようにすればよい。   Further, in the first to third embodiments, the temperature set value SP is used because it is targeted for temperature rise or temperature drop. However, if the steady state of temperature control is intended, the temperature set value is used. It is also possible to use a temperature measurement value PV instead of SP. When using the temperature measurement value PV, a temperature measurement value PV acquisition unit may be provided instead of the temperature set value SP acquisition unit 3.

第1〜第3の実施の形態における状態評価装置は、例えばCPU、メモリおよびインタフェースを備えたコンピュータとこれらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。CPUは、メモリに格納されたプログラムに従って第1〜第3の実施の形態で説明した処理を実行する。   The state evaluation apparatus in the first to third embodiments can be realized by, for example, a computer including a CPU, a memory, and an interface, and a program that controls these hardware resources. The CPU executes the processes described in the first to third embodiments according to the program stored in the memory.

本発明は、加熱装置の保温性または冷却装置の保冷性の状態を評価する技術に適用することができる。   The present invention can be applied to a technique for evaluating the heat retaining property of a heating device or the state of cold retaining property of a cooling device.

1…操作量MV取得部、2…操作量積算値算出部、3…温度設定値SP取得部、4,4a,4b…理想操作量出力値算出部、5…保温特性判定部、6…判定結果出力部、7…操作量平均値算出部、8…操作量ダンピング値算出部。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Operation amount MV acquisition part, 2 ... Operation amount integrated value calculation part, 3 ... Temperature setting value SP acquisition part, 4, 4a, 4b ... Ideal operation amount output value calculation part, 5 ... Thermal insulation characteristic determination part, 6 ... Determination Result output unit, 7 ... operation amount average value calculation unit, 8 ... operation amount damping value calculation unit.

Claims (12)

加熱装置または冷却装置の温度制御を行う温度制御装置から操作量を取得する操作量取得手段と、
前記操作量の予め規定された時間範囲の積算値を算出する操作量積算値算出手段と、
前記温度制御装置から温度設定値を取得する温度設定値取得手段と、
前記操作量の積算値と前記温度設定値とを入力値として、前記加熱装置の正常な保温状態において出力される操作量または前記冷却装置の正常な保冷状態において出力される操作量である理想操作量出力値を求める理想操作量出力値算出手段と、
前記操作量取得手段が取得した操作量が前記理想操作量出力値から規定幅以上外れている場合に、前記加熱装置の保温性または前記冷却装置の保冷性が異常な状態にあると判定する特性判定手段とを備え、
前記操作量の積算値の積算時間は、前記加熱装置の加熱チャンバーの保温特性の時定数または前記冷却装置の冷却チャンバーの保冷特性の時定数よりも長くなるように設定されることを特徴とする状態評価装置。
An operation amount acquisition means for acquiring an operation amount from a temperature control device that controls the temperature of the heating device or the cooling device;
An operation amount integrated value calculating means for calculating an integrated value of a predetermined time range of the operation amount;
Temperature setting value acquisition means for acquiring a temperature setting value from the temperature control device;
An ideal operation which is an operation amount output in a normal heat insulation state of the heating device or an operation amount output in a normal cold insulation state of the cooling device with the integrated value of the operation amount and the temperature set value as input values An ideal manipulated variable output value calculating means for obtaining a quantity output value;
A characteristic for determining that the heat retaining property of the heating device or the cold retaining property of the cooling device is in an abnormal state when the operation amount acquired by the operation amount acquiring means is out of a specified width or more from the ideal operation amount output value. Determination means,
The integrated time of the integrated value of the manipulated variable is set to be longer than the time constant of the heat retention characteristic of the heating chamber of the heating device or the time constant of the cold insulation characteristic of the cooling chamber of the cooling device. Condition evaluation device.
加熱装置または冷却装置の温度制御を行う温度制御装置から操作量を取得する操作量取得手段と、
予め規定された積算回数の前記操作量の平均値を算出する操作量平均値算出手段と、
前記温度制御装置から温度設定値を取得する温度設定値取得手段と、
前記操作量の平均値と前記温度設定値とを入力値として、前記加熱装置の正常な保温状態において出力される操作量または前記冷却装置の正常な保冷状態において出力される操作量である理想操作量出力値を求める理想操作量出力値算出手段と、
前記操作量取得手段が取得した操作量が前記理想操作量出力値から規定幅以上外れている場合に、前記加熱装置の保温性または前記冷却装置の保冷性が異常な状態にあると判定する特性判定手段とを備え、
前記積算回数は、この回数分の操作量の積算時間が前記加熱装置の加熱チャンバーの保温特性の時定数または前記冷却装置の冷却チャンバーの保冷特性の時定数よりも長くなるように設定されることを特徴とする状態評価装置。
An operation amount acquisition means for acquiring an operation amount from a temperature control device that controls the temperature of the heating device or the cooling device;
An operation amount average value calculating means for calculating an average value of the operation amounts for a predetermined number of integrations;
Temperature setting value acquisition means for acquiring a temperature setting value from the temperature control device;
An ideal operation that is an operation amount that is output in a normal heat insulation state of the heating device or an operation amount that is output in a normal cold insulation state of the cooling device, using the average value of the operation amount and the temperature setting value as input values An ideal manipulated variable output value calculating means for obtaining a quantity output value;
A characteristic for determining that the heat retaining property of the heating device or the cold retaining property of the cooling device is in an abnormal state when the operation amount acquired by the operation amount acquiring means is out of a specified width or more from the ideal operation amount output value. Determination means,
The cumulative number is set such that the cumulative time of the manipulated variable for this number of times is longer than the time constant of the heat retention characteristic of the heating chamber of the heating device or the time constant of the cold retention characteristic of the cooling chamber of the cooling device. The state evaluation apparatus characterized by this.
加熱装置または冷却装置の温度制御を行う温度制御装置から操作量を取得する操作量取得手段と、
前記操作量をダンピング処理した操作量ダンピング値を算出する操作量ダンピング値算出手段と、
前記温度制御装置から温度設定値を取得する温度設定値取得手段と、
前記操作量ダンピング値と前記温度設定値とを入力値として、前記加熱装置の正常な保温状態において出力される操作量または前記冷却装置の正常な保冷状態において出力される操作量である理想操作量出力値を求める理想操作量出力値算出手段と、
前記操作量取得手段が取得した操作量が前記理想操作量出力値から規定幅以上外れている場合に、前記加熱装置の保温性または前記冷却装置の保冷性が異常な状態にあると判定する特性判定手段とを備え、
前記ダンピング処理のダンピング時定数は、前記加熱装置の加熱チャンバーの保温特性の時定数または前記冷却装置の冷却チャンバーの保冷特性の時定数よりも長くなるように設定されることを特徴とする状態評価装置。
An operation amount acquisition means for acquiring an operation amount from a temperature control device that controls the temperature of the heating device or the cooling device;
An operation amount damping value calculating means for calculating an operation amount damping value obtained by damping the operation amount;
Temperature setting value acquisition means for acquiring a temperature setting value from the temperature control device;
Using the operation amount damping value and the temperature set value as input values, an ideal operation amount that is an operation amount that is output in a normal heat insulation state of the heating device or an operation amount that is output in a normal cold insulation state of the cooling device An ideal manipulated variable output value calculating means for obtaining an output value;
A characteristic for determining that the heat retaining property of the heating device or the cold retaining property of the cooling device is in an abnormal state when the operation amount acquired by the operation amount acquiring means is out of a specified width or more from the ideal operation amount output value. Determination means,
The state evaluation is characterized in that the damping time constant of the damping process is set to be longer than the time constant of the heat retention characteristic of the heating chamber of the heating device or the time constant of the cold insulation characteristic of the cooling chamber of the cooling device. apparatus.
請求項1乃至3のいずれか1項に記載の状態評価装置において、
さらに、前記加熱装置の保温性または前記冷却装置の保冷性が異常な状態にあることをオペレータに通知する判定結果出力手段を備えることを特徴とする状態評価装置。
In the state evaluation apparatus according to any one of claims 1 to 3,
The state evaluation apparatus further comprises a determination result output means for notifying an operator that the heat retaining property of the heating device or the cooling property of the cooling device is in an abnormal state.
請求項1乃至4のいずれか1項に記載の状態評価装置において、
前記理想操作量出力値算出手段は、前記入力値と前記理想操作量出力値とを対応付けて記憶するテーブル、または前記入力値から前記理想操作量出力値を算出する数式により、前記理想操作量出力値を求めることを特徴とする状態評価装置。
In the state evaluation apparatus according to any one of claims 1 to 4,
The ideal manipulated variable output value calculating means includes the table that stores the input value and the ideal manipulated variable output value in association with each other, or the mathematical formula that calculates the ideal manipulated variable output value from the input value. A state evaluation apparatus characterized by obtaining an output value.
請求項1乃至5のいずれか1項に記載の状態評価装置において、
前記温度設定値取得手段の代わりに、前記温度制御装置から温度計測値を取得する温度計測値取得手段を備え、
前記理想操作量出力値算出手段は、前記温度設定値の代わりに前記温度計測値を用いて前記理想操作量出力値を求めることを特徴とする状態評価装置。
In the state evaluation apparatus according to any one of claims 1 to 5,
Instead of the temperature set value acquisition means, comprising a temperature measurement value acquisition means for acquiring a temperature measurement value from the temperature control device,
The ideal operation amount output value calculation means obtains the ideal operation amount output value using the temperature measurement value instead of the temperature set value.
加熱装置または冷却装置の温度制御を行う温度制御装置から操作量を取得する操作量取得ステップと、
前記操作量の予め規定された時間範囲の積算値を算出する操作量積算値算出ステップと、
前記温度制御装置から温度設定値を取得する温度設定値取得ステップと、
前記操作量の積算値と前記温度設定値とを入力値として、前記加熱装置の正常な保温状態において出力される操作量または前記冷却装置の正常な保冷状態において出力される操作量である理想操作量出力値を求める理想操作量出力値算出ステップと、
前記操作量が前記理想操作量出力値から規定幅以上外れている場合に、前記加熱装置の保温性または前記冷却装置の保冷性が異常な状態にあると判定する特性判定ステップとを備え、
前記操作量の積算値の積算時間は、前記加熱装置の加熱チャンバーの保温特性の時定数または前記冷却装置の冷却チャンバーの保冷特性の時定数よりも長くなるように設定されることを特徴とする状態評価方法。
An operation amount acquisition step of acquiring an operation amount from a temperature control device that performs temperature control of the heating device or the cooling device;
An operation amount integrated value calculating step of calculating an integrated value of a predetermined time range of the operation amount;
A temperature setting value acquisition step of acquiring a temperature setting value from the temperature control device;
An ideal operation which is an operation amount output in a normal heat insulation state of the heating device or an operation amount output in a normal cold insulation state of the cooling device with the integrated value of the operation amount and the temperature set value as input values An ideal manipulated variable output value calculation step for obtaining a quantity output value;
A characteristic determining step for determining that the heat retaining property of the heating device or the cold retaining property of the cooling device is in an abnormal state when the operation amount deviates from the ideal operation amount output value by a specified width or more;
The integrated time of the integrated value of the manipulated variable is set to be longer than the time constant of the heat retention characteristic of the heating chamber of the heating device or the time constant of the cold insulation characteristic of the cooling chamber of the cooling device. State evaluation method.
加熱装置または冷却装置の温度制御を行う温度制御装置から操作量を取得する操作量取得ステップと、
予め規定された積算回数の前記操作量の平均値を算出する操作量平均値算出ステップと、
前記温度制御装置から温度設定値を取得する温度設定値取得ステップと、
前記操作量の平均値と前記温度設定値とを入力値として、前記加熱装置の正常な保温状態において出力される操作量または前記冷却装置の正常な保冷状態において出力される操作量である理想操作量出力値を求める理想操作量出力値算出ステップと、
前記操作量が前記理想操作量出力値から規定幅以上外れている場合に、前記加熱装置の保温性または前記冷却装置の保冷性が異常な状態にあると判定する特性判定ステップとを備え、
前記積算回数は、この回数分の操作量の積算時間が前記加熱装置の加熱チャンバーの保温特性の時定数または前記冷却装置の冷却チャンバーの保冷特性の時定数よりも長くなるように設定されることを特徴とする状態評価方法。
An operation amount acquisition step of acquiring an operation amount from a temperature control device that performs temperature control of the heating device or the cooling device;
An operation amount average value calculating step for calculating an average value of the operation amounts for a predetermined number of integrations;
A temperature setting value acquisition step of acquiring a temperature setting value from the temperature control device;
An ideal operation that is an operation amount that is output in a normal heat insulation state of the heating device or an operation amount that is output in a normal cold insulation state of the cooling device, using the average value of the operation amount and the temperature setting value as input values An ideal manipulated variable output value calculation step for obtaining a quantity output value;
A characteristic determining step for determining that the heat retaining property of the heating device or the cold retaining property of the cooling device is in an abnormal state when the operation amount deviates from the ideal operation amount output value by a specified width or more;
The cumulative number is set such that the cumulative time of the manipulated variable for this number of times is longer than the time constant of the heat retention characteristic of the heating chamber of the heating device or the time constant of the cold retention characteristic of the cooling chamber of the cooling device. A state evaluation method characterized by
加熱装置または冷却装置の温度制御を行う温度制御装置から操作量を取得する操作量取得ステップと、
前記操作量をダンピング処理した操作量ダンピング値を算出する操作量ダンピング値算出ステップと、
前記温度制御装置から温度設定値を取得する温度設定値取得ステップと、
前記操作量ダンピング値と前記温度設定値とを入力値として、前記加熱装置の正常な保温状態において出力される操作量または前記冷却装置の正常な保冷状態において出力される操作量である理想操作量出力値を求める理想操作量出力値算出ステップと、
前記操作量が前記理想操作量出力値から規定幅以上外れている場合に、前記加熱装置の保温性または前記冷却装置の保冷性が異常な状態にあると判定する特性判定ステップとを備え、
前記ダンピング処理のダンピング時定数は、前記加熱装置の加熱チャンバーの保温特性の時定数または前記冷却装置の冷却チャンバーの保冷特性の時定数よりも長くなるように設定されることを特徴とする状態評価方法。
An operation amount acquisition step of acquiring an operation amount from a temperature control device that performs temperature control of the heating device or the cooling device;
An operation amount damping value calculating step of calculating an operation amount damping value obtained by damping the operation amount;
A temperature setting value acquisition step of acquiring a temperature setting value from the temperature control device;
Using the operation amount damping value and the temperature set value as input values, an ideal operation amount that is an operation amount that is output in a normal heat insulation state of the heating device or an operation amount that is output in a normal cold insulation state of the cooling device An ideal manipulated variable output value calculating step for obtaining an output value;
A characteristic determining step for determining that the heat retaining property of the heating device or the cold retaining property of the cooling device is in an abnormal state when the operation amount deviates from the ideal operation amount output value by a specified width or more;
The state evaluation is characterized in that the damping time constant of the damping process is set to be longer than the time constant of the heat retention characteristic of the heating chamber of the heating device or the time constant of the cold insulation characteristic of the cooling chamber of the cooling device. Method.
請求項7乃至9のいずれか1項に記載の状態評価方法において、
さらに、前記加熱装置の保温性または前記冷却装置の保冷性が異常な状態にあることをオペレータに通知する判定結果出力ステップを備えることを特徴とする状態評価方法。
In the state evaluation method according to any one of claims 7 to 9,
The state evaluation method further comprises a determination result output step for notifying an operator that the heat retaining property of the heating device or the cold retaining property of the cooling device is in an abnormal state.
請求項7乃至10のいずれか1項に記載の状態評価方法において、
前記理想操作量出力値算出ステップは、前記入力値と前記理想操作量出力値とを対応付けて記憶するテーブル、または前記入力値から前記理想操作量出力値を算出する数式により、前記理想操作量出力値を求めることを特徴とする状態評価方法。
In the state evaluation method according to any one of claims 7 to 10,
In the ideal manipulated variable output value calculating step, the ideal manipulated variable output value is calculated using a table that stores the input value and the ideal manipulated variable output value in association with each other, or a mathematical expression that calculates the ideal manipulated variable output value from the input value. A state evaluation method characterized by obtaining an output value.
請求項7乃至11のいずれか1項に記載の状態評価方法において、
前記温度設定値取得ステップの代わりに、前記温度制御装置から温度計測値を取得する温度計測値取得ステップを備え、
前記理想操作量出力値算出ステップは、前記温度設定値の代わりに前記温度計測値を用いて前記理想操作量出力値を求めることを特徴とする状態評価方法。
The state evaluation method according to any one of claims 7 to 11,
Instead of the temperature set value acquisition step, a temperature measurement value acquisition step of acquiring a temperature measurement value from the temperature control device,
The ideal operation amount output value calculating step obtains the ideal operation amount output value by using the temperature measurement value instead of the temperature set value.
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JPH06180613A (en) * 1992-12-14 1994-06-28 Toshiba Mach Co Ltd Heating temperature controller
JP4009847B2 (en) * 2003-02-26 2007-11-21 オムロン株式会社 Heat treatment abnormality detection method and temperature controller
JP2007018429A (en) * 2005-07-11 2007-01-25 Omron Corp Controller
JP4770498B2 (en) * 2006-02-06 2011-09-14 横河電機株式会社 Control device
JP5075701B2 (en) * 2008-03-25 2012-11-21 アズビル株式会社 Control device and power estimation method

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