JP5353694B2 - 蛍光体シートの製造方法、及び蛍光体シートの製造装置 - Google Patents
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Description
(式中、M1はLi、Na、K、Rb及びCsの各原子から選ばれる少なくとも1種のアルカリ金属原子であり、M2はBe、Mg、Ca、Sr、Ba、Zn、Cd、Cu及びNiの各原子から選ばれる少なくとも1種の2価金属原子であり、M3はSc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Al、Ga及びInの各原子から選ばれる少なくとも1種の3価金属原子であり、X、X′、X″はF、Cl、Br及びIの各原子から選ばれる少なくとも1種のハロゲン原子であり、AはEu、Tb、In、Ce、Tm、Dy、Pr、Ho、Nd、Yb、Er、Gd、Lu、Sm、Y、Tl、Na、Ag、Cu及びMgの各原子から選ばれる少なくとも1種の金属原子であり、またa、b、eはそれぞれ0≦a<0.5、0≦b<0.5、0<e≦0.2の範囲の数値を表す。)
6.真空チャンバと、この真空チャンバ内の排気手段と、静電チャックを取り付けた基板保持手段としての基板ホルダ、並びに蛍光体層の成膜手段とを有する蛍光体シートの製造装置であって、該静電チャックの基板側の表面の表面粗さRa値が10μm以下であることを特徴とする蛍光体シートの製造装置。
2 温媒、冷媒
3 基板ホルダ
4 保持金具
5 基板
6 蒸着膜
7 蒸発源
8 真空ポンプ
9 真空チャンバ
10 静電チャック
本発明において、基板はシート状で平面性が高いものであれば、その材質を問わない。
本発明に係る蛍光体シートの製造装置は、真空チャンバと、この真空チャンバ内の排気手段と、静電チャックを取り付けた基板保持手段としての基板ホルダ、並びに蛍光体層の成膜手段とを有する蛍光体シートの製造装置であって、該静電チャックの基板側の表面の表面粗さRa値が10μm以下であることを特徴とする。ここで、本発明の蛍光体シートの製造装置においては、前記蛍光体層の成膜を真空蒸着により行うことが好ましい。
基板と背面板の密着性を更に向上させるためには、背面板に静電チャックの機能を持たせることが好ましい。静電チャックとは表面に絶縁層を設けた電極に電圧を印加し、誘導分極で生じたクーロン力で支持体を吸引保持するものである。基板の静電チャックに対する吸着性を向上させるためには、基板の少なくとも片面に導電層を設けることが好ましい。導電層の電気伝導率は好ましくは10-4S/m以上、より好ましくは102S/m以上、更に好ましくは106S/m以上である。
本発明に用いられる蛍光体はX線により励起され、その緩和過程で直ちに、または赤外光等の刺激を受けて可視光を放出するものをいう。蛍光体に特に制約はないが、赤外光等の刺激を受けて可視光を放出する輝尽性蛍光体であることが好ましい。
(a)NaF、NaCl、NaBr、NaI、KF、KCl、KBr、KI、RbF、RbCl、RbBr、RbI、CsF、CsCl、CsBr及びCsIから選ばれる少なくとも1種の化合物が用いられる。
また、本発明に係る輝尽性蛍光体層は気相成長法によって形成される。輝尽性蛍光体の気相成長法としては、蒸着法、スパッタリング法、CVD法、イオンプレーティング法、その他を用いることができる。
また、柱状結晶間の間隙に結着剤等充填物を充填してもよく、輝尽性蛍光体層の補強となる他、高光吸収の物質、高光反射率の物質等を充填してもよい、これにより前記補強効果をもたせる他、輝尽性蛍光体層に入射した輝尽励起光の横方向への光拡散の低減に有効である。
また、本発明に係る輝尽性蛍光体層は保護層を有していてもよい。保護層は保護層用塗布液を輝尽性蛍光体層上に直接塗布して形成してもよいし、予め別途形成した保護層を輝尽性蛍光体層上に接着してもよい。あるいは、別途形成した保護層上に輝尽性蛍光体層を形成する手段を取ってもよい。
〔放射線像変換パネル1の作製〕
(基板の作製)
125μmのポリイミドフィルム(宇部興産製ユーピレックス)に必要に応じて膜厚が700Åとなるように、Alスパッタ層を被覆した後、メチルエチルケトンに溶解した東洋紡製バイロン200を塗布、乾燥することにより下引き層(乾燥膜厚1.0μm)を塗設し、更に700mm角に断裁することにより基板を作製した。
次に、上記作製した基板上に、基板ホルダに表面粗さRaが15μm、表面うねりWcaが30μmの静電チャックを装着した蒸着装置(図1)により、輝尽性蛍光体(CsBr:Eu)を用いて大型の蛍光体プレートを作製した。
得られた蛍光体プレートをレーザ光で断裁する装置を用いて、700mm角の大型蛍光体プレートから、170mm×230mmのプレートを4枚切り出した。レーザにはNd:YAGレーザの4倍高調波(波長266nm)を用い、パルスエネルギー0.1mJ/パルス、パルス幅50nsで断裁を行った。
上記170mm×230mmの蛍光体プレートの蛍光体層側を保護するため、下記構成の防湿フィルムを使用した。
NY:ナイロン
PET:ポリエチレンテレフタレート
CPP:キャスティングポリスチレン
VMPET:アルミナ蒸着PET(市販品、東洋メタライジング社製)
各樹脂名の後ろに記載の数字は樹脂層の膜厚(μm)を示す。
放射線像変換パネル1の作製における蛍光体の作製において、基板ホルダに静電チャックを装着しない他は同様の操作を行って、放射線像変換パネル2を作製した。
基板ホルダに装着する静電チャックとして、表1記載の表面粗さRa、表面うねりWcaのものを用いた他は同様にして、放射線像変換パネル3、4を作製した。
基板として125μmのポリイミドフィルム(宇部興産製ユーピレックス)を用い、基板ホルダに装着する静電チャックとして、表1記載の表面粗さRa、表面うねりWcaのものを用いた他は同様にして、放射線像変換パネル5、6を作製した。
大型の蛍光体プレートを真空チャンバから取り出した後のプレートの画像のムラについて目視評価を行った。なお、ムラ評価用の画像は、封止後のプレートを80kV・200masの撮影条件でX線を爆射し、レジウス170(コノカミノルタ製)で読みとることにより得た。評価は下記基準に従って行った。
上記放射線像変換パネルについて、輝尽性発光強度(輝度)を下記のようにして測定した。
結果は放射線像変換パネル1を100とした相対値で示した。
Claims (7)
- 真空チャンバ内で基板ホルダに静電チャックを取り付け、該静電チャックに保持されたシート状の基板に蛍光体層を成膜する蛍光体シートの製造方法であって、該静電チャックの基板側の表面の表面粗さRa値が10μm以下であることを特徴とする蛍光体シートの製造方法。
- 前記静電チャックの基板側の表面の表面うねりWca値が20μm以下であることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の蛍光体シートの製造方法。
- 前記シート状の基板が金属を被覆したポリマーフィルムであることを特徴とする請求の範囲第1項または第2項に記載の蛍光体シートの製造方法。
- 前記蛍光体層の成膜を真空蒸着により行うものであることを特徴とする請求の範囲第1項乃至第3項のいずれか1項に記載の蛍光体シートの製造方法。
- 前記蛍光体層が下記一般式(1)で表される輝尽性蛍光体を有することを特徴とする請求の範囲第1項乃至第4項のいずれか1項に記載の蛍光体シートの製造方法。
一般式(I) M1X・aM2X′2・bM3X″3:eA
(式中、M1はLi、Na、K、Rb及びCsの各原子から選ばれる少なくとも1種のアルカリ金属原子であり、M2はBe、Mg、Ca、Sr、Ba、Zn、Cd、Cu及びNiの各原子から選ばれる少なくとも1種の2価金属原子であり、M3はSc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Al、Ga及びInの各原子から選ばれる少なくとも1種の3価金属原子であり、X、X′、X″はF、Cl、Br及びIの各原子から選ばれる少なくとも1種のハロゲン原子であり、AはEu、Tb、In、Ce、Tm、Dy、Pr、Ho、Nd、Yb、Er、Gd、Lu、Sm、Y、Tl、Na、Ag、Cu及びMgの各原子から選ばれる少なくとも1種の金属原子であり、またa、b、eはそれぞれ0≦a<0.5、0≦b<0.5、0<e≦0.2の範囲の数値を表す。) - 真空チャンバと、この真空チャンバ内の排気手段と、静電チャックを取り付けた基板保持手段としての基板ホルダ、並びに蛍光体層の成膜手段とを有する蛍光体シートの製造装置であって、該静電チャックの基板側の表面の表面粗さRa値が10μm以下であることを特徴とする蛍光体シートの製造装置。
- 前記静電チャックの基板側の表面の表面うねりWca値が20μm以下であることを特徴とする請求の範囲第6項に記載の蛍光体シートの製造装置。
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