JP5350526B2 - Manufacturing method of backgrinding grinding tape and backgrinding grinding tape manufacturing apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、溶融樹脂から半導体ウェハのバックグラインド用研削テープを製造するについて、溶融樹脂に含有されフィッシュアイの原因となるゲル成分等を効率的に濾過精製することにより、フィッシュアイを格段に低減したバックグラインド用研削テープを製造可能なバックグラインド用研削テープの製造方法、及び、その製造装置に関する。   The present invention, when manufacturing grinding tape for semiconductor wafer backgrinding from molten resin, dramatically reduces the fish eye by efficiently filtering and refining gel components contained in the molten resin that cause fish eye. The present invention relates to a method for manufacturing a backgrinding grinding tape and a manufacturing apparatus for the same.

従来より、樹脂押出機より押し出された溶融樹脂を樹脂体成形装置に供給し、樹脂ペレットや樹脂フィルム等の各種形態の樹脂体を製造するに際して、樹脂押出機と樹脂体成形装置とを連結する樹脂供給路に溶融樹脂の濾過精製を行うフィルタを配設し、かかるフィルタを介して溶融樹脂の濾過精製を行うことにより、樹脂体成形装置にて成形される樹脂体におけるフィッシュアイを低減するように構成された各種の樹脂製造方法が提案されている。   Conventionally, when a molten resin extruded from a resin extruder is supplied to a resin body molding apparatus and resin bodies of various forms such as resin pellets and resin films are manufactured, the resin extruder and the resin body molding apparatus are connected. A filter that purifies and purifies molten resin is disposed in the resin supply path, and by performing filtration and purification of the molten resin through such a filter, fish eyes in a resin body molded by a resin body molding apparatus are reduced. Various resin manufacturing methods configured as described above have been proposed.

例えば、特開２００３−３４２３１８号公報には、高圧重合法によるエチレン共重合体樹脂を製造するに際して、溶融樹脂温度を少なくとも２３０℃以上に保持しつつ、溶融樹脂を造粒成形する造粒押出機に微細フィルタを設けたエチレン共重合体樹脂の製造方法が記載されている。   For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-342318 discloses a granulation extruder for granulating and forming a molten resin while maintaining the molten resin temperature at least 230 ° C. or higher when producing an ethylene copolymer resin by a high pressure polymerization method. Describes a method for producing an ethylene copolymer resin provided with a fine filter.

前記エチレン共重合体樹脂の製造方法に使用される微細フィルタとしては、例えば、２００メッシュ以上の金網フィルタや濾過精度が５０μｍ以上の金属繊維焼結フィルタが使用される。   As the fine filter used in the method for producing the ethylene copolymer resin, for example, a wire mesh filter of 200 mesh or more and a metal fiber sintered filter having a filtration accuracy of 50 μm or more are used.

特開２００３−３４２３１８号公報（第１ページ〜第４ページ、図１）JP 2003-342318 A (Page 1 to Page 4, FIG. 1)

しかしながら、前記特許文献１に記載されたエチレン共重合体樹脂の製造方法に使用されている微細フィルタを構成する金網フィルタや金属繊維焼結フィルタは、いずれも単独で使用されるものである。かかる場合、各フィルタの特性に基づきフィッシュアイの原因となる架橋ゲルが濾過精製されるものであるが、その濾過精製能力は、金網フィルタ又は金属繊維焼結フィルタの単独による濾過精製能力に限定される。   However, the wire mesh filter and the metal fiber sintered filter constituting the fine filter used in the method for producing the ethylene copolymer resin described in Patent Document 1 are all used alone. In such a case, the cross-linked gel that causes fish eyes is filtered and refined based on the characteristics of each filter, but the filtration and purification capacity is limited to the filtration and purification capacity of the wire mesh filter or metal fiber sintered filter alone. The

これよりすれば、前記したエチレン共重合体樹脂の製造方法に使用されている微細フィルタによっては、濾過精製能力の飛躍的向上を望むことはできず、更なるフィッシュアイの低減を図ることはできない。   According to this, depending on the fine filter used in the method for producing the ethylene copolymer resin, it is not possible to expect a dramatic improvement in the filtration and purification capacity, and it is not possible to further reduce the fish eye. .

本発明は前記従来技術における問題点を解消するためになされたものであり、金網と金属不織布とを積層構成したフィルタを使用し、フィッシュアイの原因となる溶融樹脂中のゲルを広範囲で且つ効率的に濾過精製することにより、フィッシュアイを格段に低減したバックグラインド用研削テープを製造可能なバックグラインド用研削テープの製造方法、及び、その製造装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in order to solve the problems in the prior art, and uses a filter in which a metal mesh and a metal nonwoven fabric are laminated, and has a wide range and efficiency of gel in molten resin causing fish eyes. An object of the present invention is to provide a backgrinding grinding tape manufacturing method capable of manufacturing a backgrinding grinding tape with significantly reduced fish eyes, and an apparatus for manufacturing the same.

前記目的を達成するため請求項１に係るバックグラインド用研削テープの製造方法は、高圧で押し出された溶融樹脂をフィルタに供給するとともに、フィルタを通過した溶融樹脂からバックグラインド用研削テープを製造するバックグラインド用研削テープの製造方法において、前記フィルタは、２つの金網を有し、２つの金網の内下流側に配置される金網は５００メッシュ以上のメッシュサイズに形成された金網フィルタと、前記金網フィルタの下流側で金網フィルタに積層され、濾過精度が６０μｍ以下の金属不織布から形成された金属不織布フィルタを備えたことを特徴とする。   In order to achieve the above object, a manufacturing method of a backgrinding grinding tape according to claim 1 supplies a molten resin extruded at a high pressure to a filter and manufactures a backgrinding grinding tape from the molten resin that has passed through the filter. In the method of manufacturing a backgrinding grinding tape, the filter has two wire meshes, and the wire mesh disposed on the inner and downstream sides of the two wire meshes is formed with a mesh size of 500 mesh or more, and the wire mesh. A metal nonwoven fabric filter is provided which is laminated on a wire mesh filter on the downstream side of the filter and formed from a metal nonwoven fabric having a filtration accuracy of 60 μm or less.

請求項２に係るバックグラインド用研削テープの製造方法は、請求項１に記載のバックグラインド用研削テープの製造方法において、前記溶融樹脂はエチレン共重合樹脂であることを特徴とする。   A backgrinding grinding tape manufacturing method according to a second aspect of the present invention is the backgrinding grinding tape manufacturing method according to the first aspect, wherein the molten resin is an ethylene copolymer resin.

請求項３に係るバックグラインド用研削テープの製造方法は、請求項２に記載のバックグラインド用研削テープの製造方法において、前記エチレン共重合樹脂はエチレン酢酸ビニル共重合樹脂であることを特徴とする。   The backgrinding grinding tape manufacturing method according to claim 3 is the backgrinding grinding tape manufacturing method according to claim 2, wherein the ethylene copolymer resin is an ethylene vinyl acetate copolymer resin. .

請求項４に係るバックグラインド用研削テープの製造装置は、樹脂押出機と、前記樹脂押出機から押し出された溶融樹脂を案内供給する樹脂供給路と、前記樹脂供給路から案内供給された溶融樹脂からバックグラインド用研削テープを成形するバックグラインド用研削テープ成形装置と、前記樹脂供給路に配設され、樹脂押出機から押し出された溶融樹脂の濾過精製を行うフィルタとを備え、前記フィルタは、２つの金網を有し、２つの金網の内下流側に配置される金網は５００メッシュ以上のメッシュサイズに形成された金網フィルタと、前記金網フィルタの下流側で金網フィルタに積層され、濾過精度が６０μｍ以下の金属不織布から形成された金属不織布フィルタを備えたことを特徴とする。   An apparatus for producing a grinding tape for back grinding according to claim 4 comprises: a resin extruder; a resin supply path for guiding and supplying the molten resin extruded from the resin extruder; and the molten resin guided and supplied from the resin supply path A grinding tape molding device for back grinding that molds a grinding tape for back grinding from, and a filter that is disposed in the resin supply path and that performs filtration purification of the molten resin extruded from the resin extruder, There are two wire meshes, and the wire mesh disposed on the downstream side of the two wire meshes is laminated to the wire mesh filter formed in a mesh size of 500 mesh or more, and downstream of the wire mesh filter, and the filtration accuracy is improved. A metal nonwoven fabric filter formed from a metal nonwoven fabric of 60 μm or less is provided.

請求項１に係るバックグラインド用研削テープの製造方法では、溶融樹脂を濾過精製するフィルタが、２つの金網を有し、２つの金網の内下流側に配置される金網は５００メッシュ以上のメッシュサイズに形成された金網フィルタと、金網フィルタの下流側で金網フィルタに積層され、濾過精度が６０μｍ以下の金属不織布から形成された金属不織布フィルタを備えており、溶融樹脂がフィルタを通過する際に先ず金網フィルタを構成する２つの金網の内１つの金網により補強された５００メッシュ以上のメッシュサイズに形成された金網を介して溶融樹脂中に含有される繊維・粉塵等の異物が捕集されるとともに架橋ゲルの細分化が行われ、続いて濾過精度が６０μｍ以下の金属不織布から形成された金属不織布フィルタを介して金網フィルタにより細分化された架橋ゲルが効率的に捕集される。
このように、金網フィルタと金属不織布フィルタとを積層することによりフィルタが構成されているので、金網フィルタによるフィルティング効果と金属不織布フィルタのフィルティング効果とを相乗的に発現して、フィッシュアイの原因となる溶融樹脂中の架橋ゲルを広範囲で且つ効率的に濾過精製することが可能となり、フィッシュアイを格段に低減したバックグラインド用研削テープを製造することができる。 In the method for producing a backgrinding grinding tape according to claim 1, the filter for filtering and purifying the molten resin has two wire meshes, and the wire mesh disposed on the inner and downstream sides of the two wire meshes has a mesh size of 500 mesh or more. A metal mesh filter formed on the metal mesh filter on the downstream side of the metal mesh filter and formed from a metal nonwoven fabric having a filtration accuracy of 60 μm or less. When the molten resin passes through the filter, Foreign matter such as fibers and dust contained in the molten resin is collected through a wire mesh formed in a mesh size of 500 mesh or more reinforced by one wire mesh of two wire meshes constituting the wire mesh filter. The cross-linked gel is subdivided, and then the wire mesh filter is passed through a metal nonwoven fabric filter formed from a metal nonwoven fabric with a filtration accuracy of 60 μm or less. The cross-linked gel subdivided by the catalyst is efficiently collected.
Thus, since the filter is configured by laminating the wire mesh filter and the metal nonwoven fabric filter, the filtration effect of the metal mesh filter and the filtration effect of the metal nonwoven fabric filter are synergistically expressed, and the fisheye The cross-linked gel in the molten resin that is the cause can be filtered and purified in a wide range and efficiently, and a backgrinding grinding tape with significantly reduced fish eyes can be produced.

また、請求項２に記載されているように、前記製造方法で使用される溶融樹脂としてはエチレン共重合樹脂が使用され、特に、請求項３に記載されているようにエチレン共重合樹脂としてはエチレン酢酸ビニル共重合樹脂が望ましい。   Further, as described in claim 2, an ethylene copolymer resin is used as a molten resin used in the production method, and in particular, as an ethylene copolymer resin as described in claim 3, Ethylene vinyl acetate copolymer resin is desirable.

請求項４に係るバックグラインド用研削テープの製造装置では、樹脂押出機と、樹脂押出機から押し出された溶融樹脂を案内供給する樹脂供給路と、樹脂供給路から案内供給された溶融樹脂からバックグラインド用研削テープを成形するバックグラインド用研削テープ成形装置と、樹脂供給路に配設され、樹脂押出機から押し出された溶融樹脂の濾過精製を行うフィルタとを備え、フィルタが２つの金網を有し、２つの金網の内下流側に配置される金網は５００メッシュ以上のメッシュサイズに形成された金網フィルタと、金網フィルタの下流側で金網フィルタに積層され、濾過精度が６０μｍ以下の金属不織布から形成された金属不織布フィルタを備えており、溶融樹脂がフィルタを通過する際に先ず金網フィルタを構成する２つの金網の内１つの金網により補強された５００メッシュ以上のメッシュサイズに形成された金網を介して溶融樹脂中に含有される繊維・粉塵等の異物が捕集されるとともに架橋ゲルの細分化が行われ、続いて濾過精度が６０μｍ以下の金属不織布から形成された金属不織布フィルタを介して金網フィルタにより細分化された架橋ゲルが効率的に捕集される。
このように、金網フィルタと金属不織布フィルタとを積層することによりフィルタが構成されているので、金網フィルタによるフィルティング効果と金属不織布フィルタのフィルティング効果とを相乗的に発現して、フィッシュアイの原因となる溶融樹脂中の架橋ゲルを広範囲で且つ効率的に濾過精製することが可能となり、フィッシュアイを格段に低減したバックグラインド用研削テープを製造することができる。 In the grinding machine for back grinding according to claim 4, the resin extruder, the resin supply passage for guiding and supplying the molten resin extruded from the resin extruder, and the molten resin guided and supplied from the resin supply passage are used as the back. A grinding machine for forming a grinding tape for grinding and a grinding machine for forming a grinding tape for grinding, and a filter disposed in the resin supply path for filtering and purifying the molten resin extruded from the resin extruder, the filter having two wire meshes. The wire mesh disposed on the inner and downstream sides of the two wire meshes is composed of a wire mesh filter formed to a mesh size of 500 mesh or more and a metal nonwoven fabric having a filtration accuracy of 60 μm or less laminated on the wire mesh filter on the downstream side of the wire mesh filter. It has a formed metal nonwoven fabric filter, and when the molten resin passes through the filter, first of the two wire meshes constituting the wire mesh filter Foreign materials such as fibers and dust contained in the molten resin are collected through the wire mesh formed in a mesh size of 500 mesh or more reinforced by one wire mesh, and the cross-linked gel is subdivided. Thus, the cross-linked gel subdivided by the wire mesh filter is efficiently collected through a metal nonwoven fabric filter formed from a metal nonwoven fabric having a filtration accuracy of 60 μm or less.
Thus, since the filter is configured by laminating the wire mesh filter and the metal nonwoven fabric filter, the filtration effect of the metal mesh filter and the filtration effect of the metal nonwoven fabric filter are synergistically expressed, and the fisheye The cross-linked gel in the molten resin that is the cause can be filtered and purified in a wide range and efficiently, and a backgrinding grinding tape with significantly reduced fish eyes can be produced.

本実施形態に係るバックグラインド用研削テープとして使用される樹脂フィルムを製造する樹脂フィルム製造装置を模式的に示す説明図である。It is explanatory drawing which shows typically the resin film manufacturing apparatus which manufactures the resin film used as a grinding tape for back grinding concerning this embodiment. フィルタリングユニットに内蔵されるフィルタの構成を模式的に示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows typically the structure of the filter incorporated in a filtering unit. 金網フィルタにおける金網のメッシュサイズと金属不織布フィルタの濾過精度とを種々変更して成形されたエチレン酢酸ビニル共重合樹脂フィルムについてカウントされたフィッシュアイの数を金網メッシュサイズと金属不織布の濾過精度のマトリックスで示す説明図である。The number of fish eyes counted for the ethylene vinyl acetate copolymer resin film formed by variously changing the mesh size of the metal mesh in the wire mesh filter and the filtration accuracy of the metal nonwoven fabric filter is a matrix of the mesh size of the metal mesh and the filtration accuracy of the metal nonwoven fabric. It is explanatory drawing shown by. フィルタを使用することなく成形した樹脂フィルムにてカウントされたフィッシュアイの個数、及び、金網フィルタのみを使用して溶融樹脂の濾過精製を行って成形した樹脂フィルムにてカウントされたフィッシュアイの個数を示す説明図である。The number of fish eyes counted with a resin film molded without using a filter, and the number of fish eyes counted with a resin film formed by purifying molten resin using only a wire mesh filter It is explanatory drawing which shows.

以下、本発明に係るバックグラインド用研削テープとして使用される樹脂フィルムの製造方法、製造装置及びこれらの製造方法、製造装置に使用される樹脂フィルタについて、本発明を具体化して示す実施形態に基づき図面を参照しつつ詳細に説明する。
先ず、本実施形態に係るバックグラインド用研削テープとして使用される樹脂フィルムを製造する樹脂フィルム製造装置について、図１に基づき簡単に説明する。図１は樹脂フィルム製造装置を模式的に示す説明図である。 Hereinafter, based on the embodiment which materializes the present invention about the resin film used for the manufacturing method of a resin film used as a grinding tape for back grinding concerning the present invention, a manufacturing device, these manufacturing methods, and a manufacturing device This will be described in detail with reference to the drawings.
First, the resin film manufacturing apparatus which manufactures the resin film used as the grinding tape for back grinding which concerns on this embodiment is demonstrated easily based on FIG. FIG. 1 is an explanatory view schematically showing a resin film manufacturing apparatus.

図１において、樹脂フィルム製造装置１は、基本的に、押出機２、フィルタリングユニット６及びダイス４から構成されている。
ここに、押出機２は、エチレン共重合樹脂、例えば、エチレン酢酸ビニル共重合樹脂を溶融するとともに、窒素ガスをパージしながら高圧で溶融樹脂を押し出す。 In FIG. 1, the resin film manufacturing apparatus 1 basically includes an extruder 2, a filtering unit 6, and a die 4.
Here, the extruder 2 melts an ethylene copolymer resin, for example, an ethylene vinyl acetate copolymer resin, and extrudes the molten resin at a high pressure while purging nitrogen gas.

押出機２には、導管３が接続されており、かかる導管３はフィルタリングユニット６に接続されている。また、フィルタリングユニット６は導管３を介してダイス４に接続されている。   A conduit 3 is connected to the extruder 2, and the conduit 3 is connected to a filtering unit 6. The filtering unit 6 is connected to the die 4 via a conduit 3.

前記構成において、押出機２から押し出された溶融状態のエチレン酢酸ビニル共重合樹脂は、導管３を介してフィルタリングユニット６に供給されるとともに、フィルタリングユニット６にてエチレン酢酸ビニル共重合樹脂の濾過精製が行われ、この後、エチレン酢酸ビニル共重合樹脂は、導管３を介してダイス４に供給される。   In the above-described configuration, the melted ethylene vinyl acetate copolymer resin extruded from the extruder 2 is supplied to the filtering unit 6 through the conduit 3, and the ethylene vinyl acetate copolymer resin is filtered and purified by the filtering unit 6. Thereafter, the ethylene vinyl acetate copolymer resin is supplied to the die 4 through the conduit 3.

ダイス４にて窒素ガスをパージしつつ押し出されたエチレン酢酸ビニル共重合樹脂は、フィルム成型機（図示せず）に供給され、フィルム成形機にて所定の均一な膜厚を有するエチレン酢酸ビニル共重合樹脂フィルムに成形される。   The ethylene vinyl acetate copolymer resin extruded while purging nitrogen gas with the die 4 is supplied to a film molding machine (not shown), and the ethylene vinyl acetate copolymer having a predetermined uniform film thickness by the film molding machine. It is formed into a polymer resin film.

ここで、フィルタリングユニット６の構成例について、図２に基づき説明する。図２はフィルタリングユニットに内蔵されるフィルタの構成を模式的に示す模式断面図である。図２において、上側は押出機２側（上流側）を示し、また、下側はダイス４側（下流側）を示す。フィルタ５は、図２に示すように、上流側から金網フィルタ８、金属不織布フィルタ９及び金網フィルタ１０を相互に積層することにより構成されている。   Here, the structural example of the filtering unit 6 is demonstrated based on FIG. FIG. 2 is a schematic cross-sectional view schematically showing a configuration of a filter built in the filtering unit. In FIG. 2, the upper side shows the extruder 2 side (upstream side), and the lower side shows the die 4 side (downstream side). As shown in FIG. 2, the filter 5 is configured by laminating a wire mesh filter 8, a metal nonwoven fabric filter 9, and a wire mesh filter 10 from the upstream side.

ここに、上流側金網フィルタ８は、メッシュサイズの異なる２つの金網８Ａ、８Ｂから構成されている。これらの金網８Ａ、８Ｂは、それぞれのメッシュサイズに対応する規則的な開口が形成されており、例えば、金網８Ａがメッシュサイズ５０を有し、金網８Ｂがメッシュサイズ５００を有している場合、金網８Ａは主として金網８Ｂが変形しないように補強する作用を行い、金網８Ｂは溶融状態のエチレン酢酸ビニル共重合樹脂中に含有される繊維・粉塵等の異物を捕集し、また、フィッシュアイの原因となる大きな架橋ゲルをそのメッシュサイズに応じて細分化する作用を行う。   Here, the upstream wire mesh filter 8 includes two wire meshes 8A and 8B having different mesh sizes. These wire meshes 8A and 8B are formed with regular openings corresponding to the respective mesh sizes. For example, when the wire mesh 8A has a mesh size 50 and the wire mesh 8B has a mesh size 500, The wire mesh 8A mainly functions to reinforce the wire mesh 8B so that the wire mesh 8B does not deform. The wire mesh 8B collects foreign matters such as fibers and dust contained in the melted ethylene-vinyl acetate copolymer resin. The caustic large cross-linked gel is subdivided according to its mesh size.

尚、上流側金網フィルタ８を構成する金網の数は、２つに限定されることなく、必要に応じて金網の数を任意の数にすることができる。このとき、最もメッシュサイズが大きい（規則的な開口サイズが小さい）金網が、溶融状態のエチレン酢酸ビニル共重合樹脂中に含有される繊維・粉塵等の異物を捕集し、また、フィッシュアイの原因となる大きな架橋ゲルをそのメッシュサイズに応じて細分化する作用を行う。金網としては、各種メッシュサイズを有するものが使用されており、例えば、１００メッシュ、２００メッシュ、３００メッシュ、４００メッシュ、５００メッシュ、６３５メッシュの金網が一般に入手容易であり、且つ、汎用されている。   The number of wire meshes constituting the upstream wire mesh filter 8 is not limited to two, and the number of wire meshes can be arbitrarily set as required. At this time, the wire mesh with the largest mesh size (small regular opening size) collects foreign matters such as fibers and dust contained in the molten ethylene-vinyl acetate copolymer resin, The caustic large cross-linked gel is subdivided according to its mesh size. As the wire mesh, those having various mesh sizes are used. For example, 100 mesh, 200 mesh, 300 mesh, 400 mesh, 500 mesh, and 635 mesh wire mesh are generally easily available and widely used. .

また、金属不織布フィルタ９は、ステンレス銅繊維のように金属繊維を焼結して形成された金属繊維焼結フィルタであり、その内部に形成された不規則な形状を有する多数の空間により、不定形で柔軟性を有する架橋ゲルを捕集する作用を行う。金属不織布フィルタ９には、その有する不定形空間のサイズに応じて、各種の濾過精度を有するものが存在する。例えば、濾過精度が８０μｍ、６０μｍ、４０μｍの金属不織布フィルタが一般に入手容易であり、且つ、汎用されている。   Further, the metal nonwoven fabric filter 9 is a metal fiber sintered filter formed by sintering metal fibers such as stainless copper fibers, and is formed by a large number of spaces having irregular shapes formed therein. It acts to collect a cross-linked gel that is shaped and flexible. Some metal nonwoven fabric filters 9 have various filtration accuracies depending on the size of the irregular space. For example, metal nonwoven fabric filters with filtration accuracy of 80 μm, 60 μm, and 40 μm are generally easily available and are widely used.

尚、金属不織布フィルタ９の数は、１つに限定されることなく、必要に応じて任意の数にすることができる。この場合においても、前記金網フィルタ８の場合と同様、最も濾過精度が大きい（不定形空間が小さい）金属不織布フィルタが、その内部に形成された不規則な形状を有する多数の空間により、不定形で柔軟性を有する架橋ゲルを捕集する作用を行う。   In addition, the number of the metal nonwoven fabric filters 9 is not limited to one, and can be an arbitrary number as necessary. Also in this case, as in the case of the wire mesh filter 8, the metal nonwoven fabric filter having the highest filtration accuracy (small amorphous space) is irregularly formed by a large number of irregular spaces formed therein. And collects the crosslinked gel having flexibility.

また、金属不織布フィルタ９の下流側に配設された金網フィルタ１０は、前記金網フィルタ８と同一の構成を有する金網から構成されており、メッシュサイズの異なる２つの金網１０Ａ、１０Ｂから構成されている。これらの金網１０Ａ、１０Ｂは、それぞれのメッシュサイズに対応する規則的な開口が形成されているが、一般に、金属不織布フィルタ９の変形を防止して適正な濾過精度を保持するように、金属不織布フィルタ９を補強するために設けられている。   The wire mesh filter 10 disposed on the downstream side of the metal nonwoven fabric filter 9 is composed of a wire mesh having the same configuration as the wire mesh filter 8, and is composed of two wire meshes 10A and 10B having different mesh sizes. Yes. These metal meshes 10A and 10B are formed with regular openings corresponding to the respective mesh sizes. In general, however, the metal nonwoven fabric is used so as to prevent deformation of the metal nonwoven fabric filter 9 and maintain proper filtration accuracy. It is provided to reinforce the filter 9.

続いて、フィルタ５における金網フィルタ８のメッシュサイズと金属不織布フィルタ９の濾過精度を種々変更して、押出機２から押し出された溶融状態のエチレン酢酸ビニル共重合樹脂の濾過精製を行うとともに、かかるエチレン酢酸ビニル共重合樹脂からダイス４、フィルム成形ローラ、フィルム成形機を介して樹脂フィルムを成形し、その樹脂フィルムに残存するフィッシュアイの数をカウントした結果について、図３に基づき説明する。図３は、金網フィルタにおける金網のメッシュサイズと金属不織布フィルタの濾過精度とを種々変更して成形されたエチレン酢酸ビニル共重合樹脂フィルムについてカウントされたフィッシュアイの数を金網メッシュサイズと金属不織布の濾過精度のマトリックスで示す説明図である。図３における横欄は金網のメッシュサイズ、縦欄は金属不織布の濾過精度を示す。尚、フィッシュアイの数は、レーザ式フィッシュアイカウンタ（ＯＣＳ社製ＦＳ−５、測定感度：レベル７５、測定条件：ライン速度４ｍ／ｍｉｎ、検出幅６０ｍｍ、フィルム厚さ５０μｍ、測定時間１５ｍｉｎ、測定面積３．６ｍ2、Ｎ＝２）で測定し、１
ｍ2当たりのフィッシュアイ数として求めた。 Subsequently, the mesh size of the wire mesh filter 8 and the filtration accuracy of the metal nonwoven fabric filter 9 in the filter 5 are variously changed to perform filtration purification of the melted ethylene-vinyl acetate copolymer resin extruded from the extruder 2. A result of forming a resin film from an ethylene vinyl acetate copolymer resin through a die 4, a film forming roller, and a film forming machine and counting the number of fish eyes remaining on the resin film will be described with reference to FIG. FIG. 3 shows the number of fish eyes counted for an ethylene vinyl acetate copolymer resin film formed by variously changing the mesh size of the wire mesh in the wire mesh filter and the filtration accuracy of the metal nonwoven fabric filter. It is explanatory drawing shown with the matrix of filtration accuracy. The horizontal column in FIG. 3 indicates the mesh size of the wire mesh, and the vertical column indicates the filtration accuracy of the metal nonwoven fabric. The number of fish eyes is a laser type fish eye counter (FS-5 manufactured by OCS, measurement sensitivity: level 75, measurement conditions: line speed 4 m / min, detection width 60 mm, film thickness 50 μm, measurement time 15 min, measurement. Measured at an area of 3.6 m 2 , N = 2), 1
The number of fish eyes per m 2 was obtained.

図３において、金網フィルタ８を構成する金網の内、メッシュサイズが最も大きい金網のメッシュサイズ値が横欄に示されている。本実施形態で使用された金網としては、１００メッシュ、２００メッシュ、３００メッシュ、４００メッシュ、５００メッシュ及び６３５メッシュの６種類の金網が使用された。また、図３において、本実施形態で使用された金属不織布フィルタとしては、濾過精度が８０μｍ、６０μｍ及び４０μｍの３種類の金属不織布フィルタが使用された。
尚、メッシュサイズと濾過精度のマトリックスで示される各欄において、上段の値は、１ｍ2当たりで測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数と５０μｍより大きいフィッシュアイの数とを合計したフィッシュアイの数を示す。また、中段の値は、１ｍ2当たりで測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数を示す。更に、下段の値は、１ｍ2当たりで測定された５０μｍ以上のフィッシュアイの数を示す。 In FIG. 3, the mesh size value of the wire mesh having the largest mesh size among the wire meshes constituting the wire mesh filter 8 is shown in the horizontal column. As the wire mesh used in this embodiment, six types of wire meshes of 100 mesh, 200 mesh, 300 mesh, 400 mesh, 500 mesh, and 635 mesh were used. In FIG. 3, three types of metal nonwoven fabric filters having filtration accuracy of 80 μm, 60 μm, and 40 μm were used as the metal nonwoven fabric filters used in the present embodiment.
In each column indicated by the matrix of mesh size and filtration accuracy, the value in the upper row is the sum of the number of fish eyes less than 50 μm measured per 1 m 2 and the number of fish eyes greater than 50 μm. Indicates a number. Further, the middle value indicates the number of measured 50μm or less fisheyes in 1 m 2 per. Further, the lower value indicates the number of fish eyes of 50 μm or more measured per 1 m 2 .

因みに、樹脂供給する導管３にフィルタを介装させることなくブランク状態で溶融状態のエチレン酢酸ビニル共重合樹脂をダイ４に供給し、フィルム成形ローラ、フィルム成形機を介して樹脂フィルムを成形した場合には、図４に示すように、フィッシュアイカウンタで測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり６４１３個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり１１９５個であり、１ｍ2当たりのフィッシュアイのトータル個数は７６０８個であった。 By the way, when the resin supply conduit 3 is not provided with a filter, a melted ethylene vinyl acetate copolymer resin is supplied to the die 4 and a resin film is formed via a film forming roller and a film forming machine. the, as shown in FIG. 4, the number of measured 50μm or less fish eyes Fish eyes counter 6413 per 1 m 2, the number of more fisheyes 50μm is 1195 per 1 m 2, 1 m 2 per The total number of fish eyes was 7608.

また、導管３に従来の金網フィルタを積層したもの（最大メッシュサイズ：５００ｍｅｓｈ）を介装し、溶融状態のエチレン酢酸ビニル共重合樹脂をダイ４に供給して、フィルム成形ローラ、フィルム成形機を介して樹脂フィルムを成形した場合には、図４に示すように、フィッシュアイカウンタで測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり４３６２個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり８７７個であり、１ｍ2当たりのフィッシュアイのトータル個数は５２３９個であった。 In addition, a conventional metal mesh filter layered on the conduit 3 (maximum mesh size: 500 mesh) is interposed, and a melted ethylene vinyl acetate copolymer resin is supplied to the die 4 so that a film forming roller and a film forming machine are provided. when molding the resin film through, as shown in FIG. 4, the number of the following fish eye measured 50μm which in fisheye counter 4362 per 1 m 2, the number of more fisheyes 50μm is 1 m 2 per There were 877, and the total number of fish eyes per 1 m 2 was 5239.

ここに、前記したように、樹脂フィルム製造装置１により製造されるエチレン酢酸ビニル共重合樹脂フィルムは、各種の用途に使用することが可能であるが、特に、半導体ウエハのバックグラインド用研削テープとして使用する場合には、一定高さ以上のフィッシュアイが存在しているとウエハの変形や割れを引き起こしてしまう原因となり、また、フィッシュアイの個数が多くなる程一定高さ以上のフィッシュアイが発生する虞が高くなることから、フィッシュアイのトータル個数としては、４６００個以下に抑制することが望ましい。
尚、フィッシュアイのトータル個数が４６００個を超える場合であっても、エチレン酢酸ビニル共重合樹脂フィルムは、その使用目的・特性に応じて各種表面保護フィルムに適用することができる。 Here, as described above, the ethylene-vinyl acetate copolymer resin film produced by the resin film production apparatus 1 can be used for various applications, but particularly as a grinding tape for back grinding of semiconductor wafers. If used, fish eyes with a certain height or more may cause deformation or cracking of the wafer, and as the number of fish eyes increases, fish eyes with a certain height or more are generated. Therefore, the total number of fish eyes is preferably suppressed to 4600 or less.
Even if the total number of fish eyes exceeds 4600, the ethylene-vinyl acetate copolymer resin film can be applied to various surface protective films according to the purpose and characteristics of use.

図３において、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが１００メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が８０μｍである場合、フィッシュアイカウンタにより測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり４６４８個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり９９８個であり、１ｍ2当たりのフィッシュアイのトータル個数は５５４６個であった。 In FIG. 3, when the mesh size of the wire mesh filter 8 is 100 mesh and the filtration accuracy of the metal nonwoven fabric filter 9 is 80 μm, the number of fish eyes of 50 μm or less measured by the fish eye counter is 4648 per 1 m 2 . The number of fish eyes of 50 μm or more was 998 per 1 m 2 , and the total number of fish eyes per 1 m 2 was 5546.

また、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが１００メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が６０μｍである場合、フィッシュアイカウンタにより測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり５３３３個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり９９６個であり、１ｍ2当たりのフィッシュアイのトータル個数は６３２９個であった。 Further, when the mesh size of the wire mesh of the wire mesh filter 8 is 100 mesh and the filtration accuracy of the metal nonwoven fabric filter 9 is 60 μm, the number of fish eyes of 50 μm or less measured by the fish eye counter is 5333 per 1 m 2 , The number of fish eyes of 50 μm or more was 996 per 1 m 2 , and the total number of fish eyes per 1 m 2 was 6329.

また、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが２００メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が６０μｍである場合、フィッシュアイカウンタにより測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり５０６０個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり９８２個であり、１ｍ2当たりのフィッシュアイのトータル個数は６０４２個であった。 When the mesh size of the wire mesh filter 8 is 200 mesh and the filtration accuracy of the metal nonwoven fabric filter 9 is 60 μm, the number of fish eyes of 50 μm or less measured by the fish eye counter is 5060 per 1 m 2 , The number of fish eyes of 50 μm or more was 982 per 1 m 2 , and the total number of fish eyes per 1 m 2 was 6042.

また、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが３００メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が６０μｍである場合、フィッシュアイカウンタにより測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり４７８８個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり９６６個であり、１ｍ2当たりのフィッシュアイのトータル個数は５７５４個であった。 In addition, when the mesh size of the wire mesh of the wire mesh filter 8 is 300 mesh and the filtration accuracy of the metal nonwoven fabric filter 9 is 60 μm, the number of fish eyes of 50 μm or less measured by the fish eye counter is 4788 per 1 m 2 , The number of fish eyes of 50 μm or more was 966 per 1 m 2 , and the total number of fish eyes per 1 m 2 was 5754.

また、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが３００メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が４０μｍである場合、フィッシュアイカウンタにより測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり３９８３個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり７７９個であり、１ｍ2当たりのフィッシュアイのトータル個数は４７６２個であった。 Further, when the mesh size of the wire mesh of the wire mesh filter 8 is 300 mesh and the filtration accuracy of the metal nonwoven fabric filter 9 is 40 μm, the number of fish eyes of 50 μm or less measured by the fish eye counter is 3983 per 1 m 2 , The number of fish eyes of 50 μm or more was 779 per m 2 , and the total number of fish eyes per 1 m 2 was 4762.

また、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが４００メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が６０μｍである場合、フィッシュアイカウンタにより測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり４２８６個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり１０２２個であり、１ｍ2当たりのフィッシュアイのトータル個数は５３０８個であった。 When the mesh size of the wire mesh filter 8 is 400 mesh and the filtration accuracy of the metal nonwoven fabric filter 9 is 60 μm, the number of fish eyes of 50 μm or less measured by the fish eye counter is 4286 per 1 m 2 , The number of fish eyes of 50 μm or more was 1022 per 1 m 2 , and the total number of fish eyes per 1 m 2 was 5308.

また、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが５００メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が８０μｍである場合、フィッシュアイカウンタにより測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり４１３９個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり８０７個であり、１ｍ2当たりのフィッシュアイのトータル個数は４９４６個であった。 Further, when the mesh size of the wire mesh filter 8 is 500 mesh, and the filtration accuracy of the metal nonwoven fabric filter 9 is 80 μm, the number of fish eyes of 50 μm or less measured by the fish eye counter is 4139 per 1 m 2 , The number of fish eyes of 50 μm or more was 807 per 1 m 2 , and the total number of fish eyes per 1 m 2 was 4946.

また、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが５００メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が６０μｍである場合、フィッシュアイカウンタにより測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり３８３０個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり７７０個であり、１ｍ2当たりのフィッシュアイのトータル個数は４６００個であった。 In addition, when the mesh size of the metal mesh filter 8 is 500 mesh and the filtration accuracy of the metal nonwoven fabric filter 9 is 60 μm, the number of fish eyes of 50 μm or less measured by the fish eye counter is 3830 per 1 m 2 , The number of fish eyes of 50 μm or more was 770 per 1 m 2 , and the total number of fish eyes per 1 m 2 was 4600.

また、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが５００メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が４０μｍである場合、フィッシュアイカウンタにより測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり３８２８個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり７４２個であり、１ｍ2当たりのフィッシュアイのトータル個数は４５７０個であった。 In addition, when the mesh size of the wire mesh filter 8 is 500 mesh and the filtration accuracy of the metal nonwoven fabric filter 9 is 40 μm, the number of fish eyes of 50 μm or less measured by the fish eye counter is 3828 per 1 m 2 , The number of fish eyes of 50 μm or more was 742 per 1 m 2 , and the total number of fish eyes per 1 m 2 was 4570.

また、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが６３５メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が８０μｍである場合、フィッシュアイカウンタにより測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり４８１９個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり９２１個であり、１ｍ2当たりのフィッシュアイのトータル個数は５７４０個であった。 Further, when the mesh size of the wire mesh filter 8 is 635 mesh and the filtration accuracy of the metal nonwoven fabric filter 9 is 80 μm, the number of fish eyes of 50 μm or less measured by the fish eye counter is 4819 per 1 m 2 , The number of fish eyes of 50 μm or more was 921 per 1 m 2 , and the total number of fish eyes per 1 m 2 was 5740.

また、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが６３５メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が６０μｍである場合、フィッシュアイカウンタにより測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり３７８５個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ2当たり７８５個であり、１ｍ2当たりのフィッシュアイのトータル個数は４５７０個であった。 When the mesh size of the wire mesh filter 8 is 635 mesh, and the filtration accuracy of the metal nonwoven fabric filter 9 is 60 μm, the number of fish eyes of 50 μm or less measured by the fish eye counter is 3785 per 1 m 2 , The number of fish eyes of 50 μm or more was 785 per 1 m 2 , and the total number of fish eyes per 1 m 2 was 4570.

前記にて説明したように、本実施形態に係る樹脂フィルム製造装置１では、溶融状態のエチレン酢酸ビニル共重合樹脂の濾過精製するフィルタ５が金網フィルタ８と金属不織布フィルタ９とを積層することにより構成されており、溶融エチレン酢酸ビニル共重合樹脂がフィルタ５を通過する際に先ず金網フィルタ８を介して溶融エチレン酢酸ビニル共重合樹脂中に含有される繊維・粉塵等の異物が捕集されるとともに架橋ゲルの細分化が行われ、続いて金属不織布フィルタ９を介して金網フィルタ８により細分化された架橋ゲルが効率的に捕集される。
このように、金網フィルタ８と金属不織布フィルタ９とを積層することによりフィルタ５が構成されているので、金網フィルタ８によるフィルティング効果と金属不織布フィルタ９のフィルティング効果とを相乗的に発現して、フィッシュアイの原因となる溶融樹脂中の架橋ゲルを広範囲で且つ効率的に濾過精製することが可能となり、フィッシュアイを格段に低減した樹脂フィルムを製造することができる。 As described above, in the resin film manufacturing apparatus 1 according to this embodiment, the filter 5 for filtering and purifying the molten ethylene-vinyl acetate copolymer resin laminates the wire mesh filter 8 and the metal nonwoven fabric filter 9. When the molten ethylene vinyl acetate copolymer resin passes through the filter 5, first, foreign matters such as fibers and dust contained in the molten ethylene vinyl acetate copolymer resin are collected through the wire mesh filter 8. At the same time, the cross-linked gel is subdivided, and then the cross-linked gel subdivided by the wire mesh filter 8 through the metal nonwoven fabric filter 9 is efficiently collected.
Thus, since the filter 5 is formed by laminating the wire mesh filter 8 and the metal nonwoven fabric filter 9, the filtering effect of the wire mesh filter 8 and the filtering effect of the metal nonwoven fabric filter 9 are expressed synergistically. Thus, the cross-linked gel in the molten resin that causes fish eyes can be filtered and purified in a wide range and efficiently, and a resin film with markedly reduced fish eyes can be produced.

また、樹脂フィルム製造装置１により製造されるエチレン酢酸ビニル共重合樹脂フィルムを半導体ウエハのバックグラインド用研削テープとして使用する場合には、ウエハの変形や割れを防止すべく、フィッシュアイのトータル個数としては、４６００個以下に抑制することが望ましいところ、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが５００メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が６０μｍである場合には、１ｍ2当たりのフィッシュアイのトータル個数は４６００個であり、また、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが５００メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が４０μｍである場合には、１ｍ2当たりのフィッシュアイのトータル個数は４５７０個であり、更に、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが６３５メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が６０μｍである場合には、１ｍ2当たりのフィッシュアイのトータル個数は４５７０個であることから、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが５００メッシュ以上で、且つ、金属不織布フィルタ９の濾過精度が６０μｍ以下であれば、半導体ウエハのバックグラインド用研削テープとして使用可能なエチレン酢酸ビニル共重合樹脂フィルムを製造することができる。 In addition, when the ethylene vinyl acetate copolymer resin film produced by the resin film production apparatus 1 is used as a grinding tape for back grinding of a semiconductor wafer, the total number of fish eyes is used to prevent deformation and cracking of the wafer. Is desirably 4600 or less. When the mesh size of the wire mesh filter 8 is 500 mesh and the filtration accuracy of the metal nonwoven fabric filter 9 is 60 μm, the total number of fish eyes per 1 m 2 The number is 4600, and when the mesh size of the metal mesh filter 8 is 500 mesh and the filtration accuracy of the metal nonwoven fabric filter 9 is 40 μm, the total number of fish eyes per 1 m 2 is 4570. In addition, the mesh size of the wire mesh of the wire mesh filter 8 635 mesh, and, when the filtration accuracy of the metal nonwoven fabric filter 9 is 60μm, the total number of fish eyes per 1 m 2 is because it is 4570 pieces, the mesh size of the wire mesh wire mesh filter 8 500 mesh or higher And if the filtration precision of the metal nonwoven fabric filter 9 is 60 micrometers or less, the ethylene vinyl acetate copolymer resin film which can be used as a grinding tape for back grinding of a semiconductor wafer can be manufactured.

尚、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることは勿論である。
例えば、前記実施形態に係る樹脂フィルム製造装置１では、各押出機２から押し出された溶融樹脂を各樹脂供給管３中を搬送する過程でフィルタ５を介して溶融樹脂の濾過精製を行った後、ダイ４、フィルム成形ローラ、フィルム成形機を介して樹脂フィルムを成形するように構成しているが、フィルタ５を介して濾過精製された溶融樹脂をペレタイザ（単軸造粒押出機）に供給し、ペレタイザにて樹脂ペレットを製造するように構成してもよい。 It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various improvements and modifications can be made without departing from the scope of the present invention.
For example, in the resin film manufacturing apparatus 1 according to the above embodiment, after the molten resin extruded from each extruder 2 is subjected to filtration purification of the molten resin through the filter 5 in the process of conveying the resin through the resin supply pipe 3. The resin film is formed through a die 4, a film forming roller, and a film forming machine. The molten resin that has been filtered and purified through a filter 5 is supplied to a pelletizer (single-axis granulating extruder). And you may comprise so that a resin pellet may be manufactured with a pelletizer.

かかる場合においても、前記したように、金網フィルタ８によるフィルティング効果と金属不織布フィルタ９のフィルティング効果とを相乗的に発現して、フィッシュアイの原因となる溶融樹脂中の架橋ゲルが広範囲で且つ効率的に濾過精製されているので、フィッシュアイを格段に低減した樹脂ペレットを製造することができる。従って、前記のように製造された樹脂ペットを使用してフィルム成形した場合においても、前記したように、フィッシュアイを格段に低減した樹脂フィルムを製造することができるものである。   Even in such a case, as described above, the filtration effect by the wire mesh filter 8 and the filtration effect of the metal nonwoven fabric filter 9 are synergistically expressed, and the cross-linked gel in the molten resin causing fish eyes is widespread. In addition, since it is efficiently filtered and refined, resin pellets with significantly reduced fish eyes can be produced. Therefore, even when the resin pet manufactured as described above is used to form a film, as described above, it is possible to manufacture a resin film with markedly reduced fish eyes.

１ 樹脂フィルム製造装置
２ 押出機
３ 導管
４ ダイス
５ フィルタ
６ フィルタリングユニット DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Resin film manufacturing apparatus 2 Extruder 3 Conduit 4 Dice 5 Filter 6 Filtering unit

Claims (4)

高圧で押し出された溶融樹脂をフィルタに供給するとともに、フィルタを通過した溶融樹脂からバックグラインド用研削テープを製造するバックグラインド用研削テープの製造方法において、
前記フィルタは、
高圧で押し出された溶融樹脂をフィルタに供給するとともに、フィルタを通過した溶融樹脂からバックグラインド用研削テープを製造するバックグラインド用研削テープの製造方法において、
前記フィルタは、
２つの金網を有し、２つの金網の内下流側に配置される金網は５００メッシュ以上のメッシュサイズに形成された金網フィルタと、
前記金網フィルタの下流側で金網フィルタに積層され、濾過精度が６０μｍ以下の金属不織布から形成された金属不織布フィルタを備えたことを特徴とするバックグラインド用研削テープの製造方法。 In the manufacturing method of the backgrinding grinding tape, the molten resin extruded at high pressure is supplied to the filter, and the backgrinding grinding tape is manufactured from the molten resin that has passed through the filter.
The filter is
In the manufacturing method of the backgrinding grinding tape, the molten resin extruded at high pressure is supplied to the filter, and the backgrinding grinding tape is manufactured from the molten resin that has passed through the filter.
The filter is
The wire mesh that has two wire meshes and is arranged on the inner downstream side of the two wire meshes is a wire mesh filter formed in a mesh size of 500 mesh or more,
A method for producing a backgrinding grinding tape comprising a metal nonwoven fabric filter laminated on a wire mesh filter downstream of the wire mesh filter and formed of a metal nonwoven fabric having a filtration accuracy of 60 μm or less. 前記溶融樹脂はエチレン共重合樹脂であることを特徴とする請求項１に記載のバックグラインド用研削テープの製造方法。   The method for producing a grinding tape for back grinding according to claim 1, wherein the molten resin is an ethylene copolymer resin. 前記エチレン共重合樹脂はエチレン酢酸ビニル共重合樹脂であることを特徴とする請求項２に記載のバックグラインド用研削テープの製造方法。   The method for producing a grinding tape for back grinding according to claim 2, wherein the ethylene copolymer resin is an ethylene vinyl acetate copolymer resin. 樹脂押出機と、
前記樹脂押出機から押し出された溶融樹脂を案内供給する樹脂供給路と、
前記樹脂供給路から案内供給された溶融樹脂からバックグラインド用研削テープを成形するバックグラインド用研削テープ成形装置と、
前記樹脂供給路に配設され、樹脂押出機から押し出された溶融樹脂の濾過精製を行うフィルタとを備え、
前記フィルタは、
２つの金網を有し、２つの金網の内下流側に配置される金網は５００メッシュ以上のメッシュサイズに形成された金網フィルタと、
前記金網フィルタの下流側で金網フィルタに積層され、濾過精度が６０μｍ以下の金属不織布から形成された金属不織布フィルタを備えたことを特徴とするバックグラインド用研削テープの製造装置。 A resin extruder;
A resin supply path for guiding and supplying the molten resin extruded from the resin extruder;
Back grinding grinding tape molding apparatus for molding a back grinding grinding tape from the molten resin guided and supplied from the resin supply path;
A filter that is disposed in the resin supply path and that performs filtration purification of the molten resin extruded from the resin extruder;
The filter is
The wire mesh that has two wire meshes and is arranged on the inner downstream side of the two wire meshes is a wire mesh filter formed in a mesh size of 500 mesh or more,
An apparatus for producing a grinding tape for back grinding, comprising a metal nonwoven fabric filter laminated on a wire mesh filter downstream of the wire mesh filter and formed from a metal nonwoven fabric having a filtration accuracy of 60 μm or less.
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