JP5337079B2 - Plasma display panel and manufacturing method thereof - Google Patents

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Description

本発明は、プラズマディスプレイパネル及びその製造方法に関し、特に、表示電極を誘電体層で被覆した前面板が、放電空間を挟んで背面板と対向して封着されたプラズマディスプレイパネル及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a plasma display panel and a method for manufacturing the same, and more particularly, a plasma display panel in which a front plate whose display electrodes are covered with a dielectric layer is sealed facing a back plate across a discharge space, and a method for manufacturing the same. About.

従来から、平面画像表示装置用の表示パネルとして、気体放電からの紫外線放射を利用したプラズマディスプレイパネルが知られている。プラズマディスプレイパネルは、高速の表示や大型化が容易であり、映像表示装置や広報表示装置等の分野で広く実用化されている。   Conventionally, plasma display panels using ultraviolet radiation from gas discharge are known as display panels for flat image display devices. Plasma display panels are easy to display at high speed and large in size, and are widely put into practical use in fields such as video display devices and public information display devices.

図1は、従来の一般的なAC型プラズマディスプレイパネルの構造を示した図である。一般的に、プラズマディスプレイパネルは、前面板110と、背面板120とを貼り合わせてなる。前面板110は、背面板120に対向した面側の前面ガラス基板111上に、走査電極113と維持電極112とを一対とする表示電極対が複数配設され、表示電極対112、113を覆うように誘電体層114と保護層116が順次積層されて構成される。   FIG. 1 is a view showing the structure of a conventional general AC type plasma display panel. Generally, a plasma display panel is formed by bonding a front plate 110 and a back plate 120 together. The front plate 110 includes a plurality of display electrode pairs each including a scan electrode 113 and a sustain electrode 112 on a front glass substrate 111 on the side facing the back plate 120, and covers the display electrode pairs 112 and 113. Thus, the dielectric layer 114 and the protective layer 116 are sequentially stacked.

誘電体層114を形成するには、まず、軟化点が550℃〜600℃の鉛系、又は非鉛系の低融点ガラスやSiO材料粉末とブチルカルビトールアセテート等からなる有機バインダーを混合したペーストを前面ガラス基板111に塗布する。そして、550℃〜650℃程度で焼成し、最終厚みが膜厚数μm〜数10μmの誘電体層114を形成する。 In order to form the dielectric layer 114, first, a lead-based or non-lead-based low melting glass having a softening point of 550 ° C. to 600 ° C., an SiO 2 material powder, and an organic binder made of butyl carbitol acetate or the like were mixed. The paste is applied to the front glass substrate 111. Then, baking is performed at about 550 ° C. to 650 ° C. to form the dielectric layer 114 having a final thickness of several μm to several tens of μm.

保護層116は、誘電体層114及び表示電極対112、113をプラズマ放電のイオン衝突から保護するとともに、二次電子を効率よく放出し、放電開始電圧を低下させる機能を有する膜である。通常、保護層116は、二次電子放出特性、耐スパッタ性、光学透明性に優れる酸化マグネシウム(MgO)を用いて、EB(Electron Beam、電子ビーム)蒸着法やスパッタ法により、厚み0.5μm〜1μm程度に成膜される。   The protective layer 116 is a film having a function of protecting the dielectric layer 114 and the display electrode pair 112 and 113 from ion collision of plasma discharge, efficiently emitting secondary electrons, and lowering a discharge start voltage. Usually, the protective layer 116 has a thickness of 0.5 μm by EB (Electron Beam) vapor deposition or sputtering using magnesium oxide (MgO) having excellent secondary electron emission characteristics, sputtering resistance and optical transparency. The film is formed to about ˜1 μm.

一方、背面板120においては、前面板110に対向した面側に、画像データを書き込むための複数のアドレス(データ)電極122が、前面板110の表示電極対112、113と直交方向で交差するように配設される。アドレス電極122は、背面ガラス基板121上に設けられ、誘電体層123で被覆されている。背面板120において隣接する放電セル(図示省略)との境界上には、低融点ガラスからなる所定の高さを有する隔壁(リブ)124が、放電空間を区画するように、ストライプ又は井桁状のパターンで形成される。アドレス電極122上の誘電体層123の表面と隔壁124の側面には、赤、緑、青各色の蛍光体インクが塗布及び焼成されてなる蛍光体層125R、125G、125Bが形成されている。   On the other hand, on the back plate 120, a plurality of address (data) electrodes 122 for writing image data intersect the display electrode pairs 112 and 113 of the front plate 110 in the orthogonal direction on the surface facing the front plate 110. It is arranged as follows. The address electrode 122 is provided on the rear glass substrate 121 and is covered with a dielectric layer 123. A barrier rib (rib) 124 having a predetermined height made of low-melting glass is formed on the boundary of the back plate 120 with an adjacent discharge cell (not shown) so as to define a discharge space. It is formed with a pattern. On the surface of the dielectric layer 123 on the address electrode 122 and the side surfaces of the barrier ribs 124, phosphor layers 125R, 125G, and 125B are formed by applying and firing phosphor inks of red, green, and blue colors.

前面板110と背面板120は、表示電極対112、113とアドレス電極122とが放電空間を挟んで互いに直交するように対向して配置され、前面板110及び背面板120の周辺部で封着される。このとき、内部封止された放電空間には、放電ガスとしてXe−Ne系の希ガスが約数10kPaの圧力で封入される。一般的なプラズマディスプレイパネルは、このような構成を有する。   The front plate 110 and the back plate 120 are disposed so that the display electrode pairs 112 and 113 and the address electrode 122 are opposed to each other so as to be orthogonal to each other across the discharge space, and are sealed at the periphery of the front plate 110 and the back plate 120. Is done. At this time, a Xe—Ne rare gas is sealed in the internally sealed discharge space at a pressure of about several tens of kPa as a discharge gas. A general plasma display panel has such a configuration.

ここで、従来の一般的なプラズマディスプレイには、以下のような問題があった。即ち、第1の問題として、表示電極112、113のパルス印加時において、パルスの立ち上がりから放電を開始するまでの「放電遅れ」が顕在化する場合があった。プラズマディスプレイパネルを含めた近年のディスプレイ分野では、画素が高精細となり、走査線数が増加する傾向にある。例えば、フルハイビジョンテレビでは、従来のNTSC(National Television Standards Committee)方式のテレビと比較して、走査線の数が2倍以上になる。このように、プラズマディスプレイパネルが高精細化すれば、これに伴う高速駆動が求められる。高速駆動を行うためには、書き込み期間に印加するアドレスパルスのパルス幅を狭くする必要がある。そこで、アドレスパルスの幅を狭くすると、アドレスパルス幅内で放電が正常に行われる確率が低下し、放電遅れの問題が大きくなる。アドレス放電においては、横方向に延在し、縦方向に間隔を有して平行に配置された走査電極113毎に、1本ずつ放電を行うので、走査電極113の中で、早い時期にアドレス放電が行われるものと、遅い時期にアドレス放電が行われるものが存在する。放電休止期間が長くなる程初期化期間で帯電した電荷が減少するため、上述の放電遅れは長くなる特徴を有するが、高精細化に伴い走査線数が増加して走査電極113の数が増大すると、放電休止期間が長い走査電極113の数が増大してしまい、放電遅れが生じる確率が増加してしまう。そうすると、かかる放電遅れにより、本来点灯すべきセルに書き込み放電が行えず、不灯セルが生じてしまうという問題が発生した。   Here, the conventional general plasma display has the following problems. That is, as a first problem, when the pulses are applied to the display electrodes 112 and 113, a “discharge delay” from the rise of the pulse to the start of discharge may become apparent. In recent display fields including plasma display panels, pixels have high definition and the number of scanning lines tends to increase. For example, in a full high-definition television, the number of scanning lines is more than doubled compared to a conventional NTSC (National Television Standards Committee) television. As described above, if the plasma display panel has a high definition, high-speed driving associated therewith is required. In order to perform high-speed driving, it is necessary to narrow the pulse width of the address pulse applied during the writing period. Therefore, if the width of the address pulse is narrowed, the probability that discharge is normally performed within the address pulse width is reduced, and the problem of discharge delay becomes large. In the address discharge, discharge is performed one by one for each scan electrode 113 extending in the horizontal direction and spaced in parallel in the vertical direction. There are those where discharge is performed and those where address discharge is performed later. The longer the discharge pause period, the smaller the charge charged in the initialization period, so the discharge delay is longer. However, the number of scanning electrodes 113 increases as the number of scanning lines increases as the definition becomes higher. Then, the number of scan electrodes 113 having a long discharge pause period increases, and the probability of causing a discharge delay increases. Then, due to such a delay in discharge, there is a problem that write discharge cannot be performed on a cell that should be lit up, and a non-lighted cell is generated.

この放電遅れの対策として、誘電体層114上又はMgOの保護膜115上に、気相法で作製した平均粒径が200nm以上の単結晶MgOの粉体を、溶剤として分散性の良いIPA(2−プロパノール)などのアルコール等に溶解し、分散剤として、グリセリンやアセチレングリコールを添加した塗工液(IPA94wt%、MgO粉体5wt%、分散剤1wt%)をスプレー法により塗布することで、MgO微結晶が積層した表面層を得る構成が開示されている(例えば、特許文献1参照)。かかる構成により、放電の際、MgO微結晶が電子を放出し、放電速度を高めることができる。   As a countermeasure against this discharge delay, a single crystal MgO powder having an average particle diameter of 200 nm or more produced by a vapor phase method on the dielectric layer 114 or the MgO protective film 115 is used as a solvent to obtain a highly dispersible IPA ( By applying a coating solution (IPA 94 wt%, MgO powder 5 wt%, dispersant 1 wt%) to which glycerin or acetylene glycol is added as a dispersant, dissolved in an alcohol such as 2-propanol) by a spray method, A configuration for obtaining a surface layer in which MgO microcrystals are laminated is disclosed (for example, see Patent Document 1). With this configuration, MgO microcrystals emit electrons during discharge, and the discharge rate can be increased.

特許文献1に記載の構成により、第1の問題である「放電遅れ」の問題は改善された。しかし、近年、電気製品の省電力化が強く求められており、プラズマディスプレイパネルに対しても、省電力化の要求がある。高精細なプラズマディスプレイパネルにおいては、放電セルが微細化されて放電セル数も増大するので、書き込み放電の確実性を上げるために動作電圧が高くなり、消費電圧が大きくなる問題が生じる。また、発光効率を高めるためには、Xeガスの封入分圧を増加させることが好ましいが、この場合にも、動作電圧が高くなる問題が生じる。特許文献1に記載の発明には、放電遅れを改善させる効果はあっても、本質的に発光効率に関わる維持放電電圧を低減させる効果は無い。   With the configuration described in Patent Document 1, the first problem of “discharge delay” has been improved. However, in recent years, there has been a strong demand for power saving of electrical products, and there is also a demand for power saving for plasma display panels. In a high-definition plasma display panel, since the number of discharge cells is reduced and the number of discharge cells is increased, there is a problem that the operating voltage is increased to increase the reliability of the write discharge and the consumption voltage is increased. Further, in order to increase the luminous efficiency, it is preferable to increase the partial pressure of the Xe gas. However, in this case as well, there arises a problem that the operating voltage increases. Although the invention described in Patent Document 1 has the effect of improving the discharge delay, there is essentially no effect of reducing the sustain discharge voltage related to the light emission efficiency.

そこで、駆動電圧の低減と放電遅れの低減を両立させるために、図1の保護層15として、酸化マグネシウム以外に、酸化バリウム(BaO)、酸化ストロンチウム(SrO)や酸化カルシウム(CaO)等、MgO保護層よりも放電電圧の低いアルカリ土類金属の酸化物材料を選択し、これらをEB蒸着層やスパッタ法で成膜した構成のプラズマディスプレイパネルが提案されている(例えば、特許文献2、3参照)。特許文献2、3の構成においては、更に放電遅れ改善のためにMgOの単結晶微粒子115を溶液に分散させ、その分散液を、MgO単結晶微粒子配設工程において、スプレー法、スクリーン印刷法又は静電塗布法により保護層116の放電空間側の表面に分散散布している。その後は、乾燥・焼成工程を経て溶媒除去を行い、MgO単結晶微粒子115を保護層116の表面に定着させる。その後、作製した前面板110と背面板120とを、封着用ガラスを用いて貼り合わせる。次に、放電空間内部を高真空(例えば、1.0×10―4Pa程度)に排気し、所定の圧力(例えば、66.5kPa〜101kPa)で、Ne−Xe系、He−Ne−Xe系又はNe−Xe−Ar系等の放電ガスを封入する。以上の工程を経てプラズマディスパネルを完成させ、駆動電圧を低減させる材料と、放電遅れを低減させる材料の双方を用いてプラズマディスプレイパネルを構成している。 Therefore, in order to achieve both a reduction in driving voltage and a reduction in discharge delay, the protective layer 15 in FIG. 1 includes, as magnesium oxide, barium oxide (BaO), strontium oxide (SrO), calcium oxide (CaO), and the like, MgO. There has been proposed a plasma display panel having a configuration in which an alkaline earth metal oxide material having a discharge voltage lower than that of the protective layer is selected and formed by an EB vapor deposition layer or a sputtering method (for example, Patent Documents 2 and 3). reference). In the configurations of Patent Documents 2 and 3, MgO single crystal fine particles 115 are further dispersed in a solution to improve discharge delay, and the dispersion is sprayed, screen-printed, or The protective layer 116 is dispersed and dispersed on the surface on the discharge space side by an electrostatic coating method. Thereafter, the solvent is removed through a drying / firing process, and the MgO single crystal fine particles 115 are fixed on the surface of the protective layer 116. Then, the produced front board 110 and the back board 120 are bonded together using the glass for sealing. Next, the inside of the discharge space is evacuated to a high vacuum (for example, about 1.0 × 10 −4 Pa), and at a predetermined pressure (for example, 66.5 kPa to 101 kPa), Ne—Xe system, He—Ne—Xe. A discharge gas such as a system or a Ne—Xe—Ar system is sealed. The plasma display panel is completed through the above steps, and the plasma display panel is configured using both a material for reducing the driving voltage and a material for reducing the discharge delay.

特開2007−103230号公報JP 2007-103230 A WO2007/126061号公報WO2007 / 126061 Publication WO2007/139184号公報WO2007 / 139184

しかしながら、上述の特許文献2、3に記載の構成では、実際には、分散液や分散剤が保護層116のSrOやCaO等のアルカリ土類金属酸化物と反応してしまい、アルカリ土類金属が本来持つ低い放電電圧が上昇して駆動電圧の低減を実現することができないという問題があった。   However, in the configurations described in Patent Documents 2 and 3 described above, the dispersion liquid or the dispersant actually reacts with an alkaline earth metal oxide such as SrO or CaO in the protective layer 116, and the alkaline earth metal However, there is a problem that the low discharge voltage inherently increases and the drive voltage cannot be reduced.

これらのアルカリ土類金属酸化物は反応性が高く、大気中の水分、炭酸ガス、炭化水素ガス等と反応し、放電電圧の高いアルカリ土類金属の水酸化物や炭酸塩に変化してしまうことが知られている。特に、大気中でプラズマディスプレイパネルを高温に加熱する通常の封着工程においては、保護層の炭酸塩への変化が著しい。そのため、特許文献2、3に記載されたような、放電遅れの低減を目的とした単結晶微粒子を、低電圧材料であるアルカリ土類金属酸化物の保護層に配設したプラズマディスプレイパネルにおいては、実際には十分な低電圧特性が得られていないのが現状である。   These alkaline earth metal oxides are highly reactive, react with moisture, carbon dioxide gas, hydrocarbon gas, etc. in the atmosphere, and change to alkaline earth metal hydroxides and carbonates with high discharge voltage. It is known. In particular, in a normal sealing process in which the plasma display panel is heated to a high temperature in the atmosphere, the change of the protective layer to carbonate is significant. Therefore, as described in Patent Documents 2 and 3, in a plasma display panel in which single crystal fine particles for the purpose of reducing discharge delay are arranged in a protective layer of alkaline earth metal oxide which is a low voltage material. Actually, a sufficient low voltage characteristic is not actually obtained.

そこで、本発明は、駆動電圧の低減と、アドレス放電遅れの低減を両立させるプラズマディスプレイパネル及びその製造方法を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a plasma display panel and a method for manufacturing the same that can achieve both reduction in driving voltage and reduction in address discharge delay.

上記目的を達成するため、第1の発明に係るプラズマディスプレイパネルは、表示電極を誘電体層で被覆した前面板が、放電空間を挟んで背面板と対向して封着されたプラズマディスプレイパネルであって、
前記誘電体層上に形成され、主成分が酸化マグネシウム又は酸化カルシウムである少なくとも1種類以上の微粒子が配設された微粒子層と、
該微粒子層上に形成された酸化カルシウムを含む保護層と、を有し、
前記微粒子は、前記誘電体層の表面より沈み込むように前記誘電体層にめり込んで形成されたことを特徴とする。
In order to achieve the above object, a plasma display panel according to a first aspect of the present invention is a plasma display panel in which a front plate in which display electrodes are covered with a dielectric layer is sealed facing a back plate across a discharge space. There,
A fine particle layer formed on the dielectric layer, wherein a fine particle layer in which at least one kind of fine particles whose main component is magnesium oxide or calcium oxide is disposed;
And a protective layer containing a calcium oxide formed in the fine particle layer, was closed,
The fine particles are formed so as to sink into the dielectric layer so as to sink from the surface of the dielectric layer .

これにより、微粒子層を形成してから保護層を形成することが可能となるので、微粒子の溶剤を消滅させた状態で保護層を形成することができ、微粒子による放電遅れ低減と、駆動電圧の低減を両立させることができる。また、微粒子から溶剤を確実に除去して誘電体層に固着させ、溶剤と保護層との反応を確実に防止することができる。 As a result, the protective layer can be formed after the fine particle layer is formed. Therefore, the protective layer can be formed in a state where the solvent of the fine particles is extinguished, and the discharge delay is reduced by the fine particles and the driving voltage is reduced. Reduction can be made compatible. In addition, the solvent can be reliably removed from the fine particles and fixed to the dielectric layer, and the reaction between the solvent and the protective layer can be reliably prevented.

の発明は、第1の発明に係るプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記保護層は、酸化ストロンチウムと酸化カルシウムの複合材料又は酸化カルシウムで構成されたことを特徴とする。
A second invention is the plasma display panel according to the first invention, wherein
The protective layer is composed of a composite material of strontium oxide and calcium oxide or calcium oxide.

これにより、低電圧で放電する特性を有するSrCaO又はCaOを用いた場合にも、低電圧放電特性を維持して駆動電圧を低減させつつ、放電遅れを低減させることができる。   Thereby, even when SrCaO or CaO having a characteristic of discharging at a low voltage is used, it is possible to reduce the discharge delay while maintaining the low voltage discharging characteristic and reducing the driving voltage.

の発明に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法は、前面板と背面板が対向して封着されたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
表面上に誘電体層が形成された前記前面板用のガラス基板を用意する工程と、
主成分が酸化マグネシウム又は酸化カルシウムである少なくとも1種類以上の微粒子を溶媒に分散させた分散液を、前記誘電体層の表面に分散散布する工程と、
前記ガラス基板を、前記誘電体層の軟化点以上の温度で焼成し、前記誘電体層上に微粒子層を形成する工程と、
前記微粒子層上に、酸化カルシウムを含む保護層を形成する保護層形成工程と、を含むことを特徴とする。
A method for manufacturing a plasma display panel according to a third aspect of the invention is a method for manufacturing a plasma display panel in which a front plate and a back plate are sealed facing each other.
Preparing a glass substrate for the front plate having a dielectric layer formed on the surface;
A step of dispersing and dispersing a dispersion in which at least one kind of fine particles whose main component is magnesium oxide or calcium oxide is dispersed in a solvent, on the surface of the dielectric layer;
Firing the glass substrate at a temperature equal to or higher than the softening point of the dielectric layer, and forming a fine particle layer on the dielectric layer;
And a protective layer forming step of forming a protective layer containing calcium oxide on the fine particle layer.

これにより、微粒子分散液の溶媒を誘電体層の軟化点以上の温度の焼成で確実に除去し、駆動電圧の低減と放電遅れの低減を確実に両立させることができる。   As a result, the solvent of the fine particle dispersion can be reliably removed by firing at a temperature equal to or higher than the softening point of the dielectric layer, and both reduction in driving voltage and reduction in discharge delay can be ensured.

の発明は、第3の発明に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
前記保護膜形成工程の後に、前記前面板と前記背面板とを対向させ、窒素、希ガス又は真空雰囲気下で封着する封着工程を更に有することを特徴とする。
4th invention is the manufacturing method of the plasma display panel based on 3rd invention,
After the protective film forming step, the method further includes a sealing step in which the front plate and the back plate are opposed to each other and sealed in a nitrogen, rare gas, or vacuum atmosphere.

これにより、酸化カルシウムが、大気中の水分、炭素ガス、炭化水素ガス等と反応するのを防止することができ、駆動電圧の低減を確実に実現することができる。   Thereby, it is possible to prevent calcium oxide from reacting with moisture, carbon gas, hydrocarbon gas and the like in the atmosphere, and a reduction in driving voltage can be realized with certainty.

の発明は、第又は第の発明に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
前記保護層は、酸化ストロンチウムと酸化カルシウムの複合材料又は酸化カルシウムで構成されたことを特徴とする。

A fifth invention is a method of manufacturing a plasma display panel according to the third or fourth invention,
The protective layer is composed of a composite material of strontium oxide and calcium oxide or calcium oxide.

本発明によれば、プラズマディスプレイパネルの駆動電圧の低減と放電遅れの低減を両立して達成することができる。   According to the present invention, it is possible to achieve both the reduction of the driving voltage of the plasma display panel and the reduction of the discharge delay.

従来の一般的なAC型プラズマディスプレイパネルの構造を示した図である。It is the figure which showed the structure of the conventional common AC type plasma display panel. 本発明の実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの全体構成例を示した図である。It is the figure which showed the example of whole structure of the plasma display panel which concerns on embodiment of this invention. 本実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの前面板10の断面構成例を示した図である。It is the figure which showed the cross-sectional structural example of the front plate 10 of the plasma display panel which concerns on this embodiment. 本実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法の例を示した図である。It is the figure which showed the example of the manufacturing method of the plasma display panel which concerns on this embodiment. 比較例として従来のプラズマディスプレイパネルの製造方法を示した図である。It is the figure which showed the manufacturing method of the conventional plasma display panel as a comparative example. 実施例1に係るプラズマディスプレイパネルの電圧特性を示した図である。6 is a diagram illustrating voltage characteristics of the plasma display panel according to Example 1. FIG. 実施例1に係るプラズマディスプレイパネルの駆動電圧波形を示した図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a driving voltage waveform of the plasma display panel according to the first embodiment. 実施例2に係るプラズマディスプレイパネルの放電遅れ時間の特性を示した図である。It is the figure which showed the characteristic of the discharge delay time of the plasma display panel which concerns on Example 2. FIG. 実施例2に係るプラズマディスプレイパネルの放電現象の基礎特性を示した図である。It is the figure which showed the basic characteristic of the discharge phenomenon of the plasma display panel which concerns on Example 2. FIG.

以下、図面を参照して、本発明を実施するための形態の説明を行う。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.

図2は、本発明の実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの全体構成の一例を示した図である。図2において、本実施形態に係るプラズマディスプレイパネルは、主要構成要素として、前面板10と背面板20とを備える。前面板10は、前面ガラス基板11と、維持電極12と、走査電極13と、誘電体層14と、微粒子層15と、保護層16とを備える。また、背面板20は、背面ガラス基板21と、アドレス電極22と、誘電体層23と、隔壁(リブ)24と、蛍光体層25とを備える。   FIG. 2 is a diagram showing an example of the overall configuration of the plasma display panel according to the embodiment of the present invention. In FIG. 2, the plasma display panel according to the present embodiment includes a front plate 10 and a back plate 20 as main components. The front plate 10 includes a front glass substrate 11, sustain electrodes 12, scan electrodes 13, a dielectric layer 14, a fine particle layer 15, and a protective layer 16. The back plate 20 includes a back glass substrate 21, address electrodes 22, a dielectric layer 23, partition walls (ribs) 24, and a phosphor layer 25.

前面板10と背面板20は、対向して配置され、図示しない周辺部が封着されて、プラズマディスプレイパネルとして構成される。前面板10は、前面ガラス基板11上に配設された維持電極12及び走査電極13を、誘電体層14が被覆し、誘電体層14上に更に微粒子層15が形成され、微粒子層15上に保護層16が形成された構成を有する。また、背面板20は、背面ガラス基板21上にアドレス電極22が配設され、アドレス電極22を誘電体層23が被覆し、各アドレス電極22上の空間を仕切るように、アドレス電極22に平行に隔壁23が形成され、誘電体層23の上層には蛍光体25が形成されている。アドレス電極22と、維持電極12と、走査電極13の1対を含み、隔壁24で区切られた空間で、放電単位である1つのセルが構成される。   The front plate 10 and the back plate 20 are arranged to face each other, and a peripheral portion (not shown) is sealed to constitute a plasma display panel. In the front plate 10, the sustain electrode 12 and the scan electrode 13 disposed on the front glass substrate 11 are covered with a dielectric layer 14, and a fine particle layer 15 is further formed on the dielectric layer 14. And a protective layer 16 is formed. The back plate 20 has an address electrode 22 disposed on a back glass substrate 21, and the address electrode 22 is covered with a dielectric layer 23, and is parallel to the address electrode 22 so as to partition the space on each address electrode 22. A partition wall 23 is formed on the dielectric layer 23, and a phosphor 25 is formed on the dielectric layer 23. One cell, which is a discharge unit, is configured in a space that includes a pair of the address electrode 22, the sustain electrode 12, and the scan electrode 13 and is partitioned by the barrier ribs 24.

前面板10は、プラズマディスプレイパネルの表示画面を形成し、最前面には、前面ガラス基板11を備える。維持電極12と走査電極13は、横方向に平行に延在し、互いを挟むように交互に配置されている。維持電極12及び走査電極13は、1対で表示電極(又は表示電極対)12、13を構成する。維持電極12と走査電極13との間で維持放電が行われ、画像表示が行われる。また、走査電極13は、背面板20のアドレス電極22との間で書き込み放電が行われる際にも使用され、点灯させるべきセルのデータ書き込みが行われる。   The front plate 10 forms a display screen of a plasma display panel, and includes a front glass substrate 11 on the forefront. The sustain electrodes 12 and the scan electrodes 13 extend in parallel in the horizontal direction and are alternately arranged so as to sandwich each other. The sustain electrode 12 and the scan electrode 13 form a pair of display electrodes (or display electrode pairs) 12 and 13. A sustain discharge is performed between the sustain electrode 12 and the scan electrode 13 to display an image. The scanning electrode 13 is also used when writing discharge is performed between the scanning electrode 13 and the address electrode 22 of the back plate 20, and data writing of a cell to be lit is performed.

誘電体層14は、前面ガラス基板11上に配設された表示電極12、13を被覆し、コンデンサのように電荷を蓄える働きをする手段である。誘電体層14は、例えば、低融点ガラス粉末を溶融して形成される。誘電体層14の厚さは、30〜40μm程度に形成されてよく、例えば、35μmの厚さに形成されてもよい。   The dielectric layer 14 is a means that covers the display electrodes 12 and 13 disposed on the front glass substrate 11 and functions to store electric charges like a capacitor. The dielectric layer 14 is formed, for example, by melting low melting point glass powder. The thickness of the dielectric layer 14 may be formed to about 30 to 40 μm, and may be formed to a thickness of 35 μm, for example.

微粒子層15は、放電の際に電子を放出し、放電遅れを低減させる働きをする微粒子からなる層である。微粒子層15は、誘電体層14の上に形成される。微粒子層15は、主成分が酸化マグネシウム又は酸化カルシウムである少なくとも1種類以上の微粒子を含んで構成される。微粒子層15は、誘電体層14の表面上に微粒子として散布されるので、必ずしも誘電体層14の表面総てを覆わなくてもよい。なお、微粒子層15は、種々の方法により形成され得るが、例えば、主成分が酸化マグネシウム又は酸化カルシウムである少なくとも1種類以上の微粒子を溶媒に分散させて分散液とし、分散液を誘電体層14の表面に分散散布させ、その後に乾燥・焼成工程を経て溶媒成分を除去し、微粒子を誘電体層14の表面に定着させるようにして形成してもよい。   The fine particle layer 15 is a layer made of fine particles that function to emit electrons during discharge and reduce discharge delay. The fine particle layer 15 is formed on the dielectric layer 14. The fine particle layer 15 includes at least one kind of fine particles whose main component is magnesium oxide or calcium oxide. Since the fine particle layer 15 is dispersed as fine particles on the surface of the dielectric layer 14, it is not always necessary to cover the entire surface of the dielectric layer 14. The fine particle layer 15 can be formed by various methods. For example, at least one kind of fine particles whose main component is magnesium oxide or calcium oxide is dispersed in a solvent to form a dispersion, and the dispersion is used as a dielectric layer. It may be formed by dispersing and spraying on the surface of 14, then removing the solvent component through a drying / firing process, and fixing the fine particles on the surface of the dielectric layer 14.

微粒子層15を形成する微粒子15aは電子線又は紫外線による励起に基づいて紫外線領域200〜400nmに発光ピークを有する主成分が酸化マグネシウム又は酸化カルシウムである少なくとも1種類以上の微粒子であって、単結晶であるか、形状が6面体以上の多面体形状、平均粒子径が、0.1〜3.0μm、好ましくは0.5〜2.0μm、より好ましくは0.7〜1.5μmのものを使用することができる。また、発光強度を向上させることを目的に、2A族、3A族、3B族から選ばれる少なくとも一種類以上の異種元素を酸化物換算で1wt%以下添加しても良い。   The fine particles 15a forming the fine particle layer 15 are at least one kind of fine particles whose main component having an emission peak in an ultraviolet region of 200 to 400 nm based on excitation by an electron beam or ultraviolet rays is magnesium oxide or calcium oxide, Or a polyhedron shape having a shape of hexahedron or more and an average particle diameter of 0.1 to 3.0 μm, preferably 0.5 to 2.0 μm, more preferably 0.7 to 1.5 μm are used. can do. Further, for the purpose of improving the emission intensity, at least one kind of different elements selected from 2A group, 3A group and 3B group may be added in an amount of 1 wt% or less in terms of oxide.

平均粒子径の測定には、レーザ回折散乱式粒度分布測定装置(商品名:MT3300、日機装社製)を使用した。   For the measurement of the average particle size, a laser diffraction scattering type particle size distribution measuring device (trade name: MT3300, manufactured by Nikkiso Co., Ltd.) was used.

保護層16は、誘電体層14を被覆して保護するとともに、放電の駆動電圧を低減させる機能を有する層である。保護層16は、微粒子層15の上に形成される。また、上述のように、微粒子層15は、誘電体層14の表面総てを必ずしも覆う訳ではないので、保護層16は、誘電体層14が微粒子層15に覆われておらず露出している部分も覆うことになる。   The protective layer 16 is a layer having a function of covering and protecting the dielectric layer 14 and reducing the driving voltage of discharge. The protective layer 16 is formed on the fine particle layer 15. Further, as described above, since the fine particle layer 15 does not necessarily cover the entire surface of the dielectric layer 14, the protective layer 16 is exposed without being covered with the fine particle layer 15. It will also cover the part that is.

なお、微粒子層15と保護層16のより詳細な構成及び機能は、別の図面を用いて後述する。   Note that more detailed configurations and functions of the fine particle layer 15 and the protective layer 16 will be described later with reference to another drawing.

背面板20は、プラズマディスプレイパネルの画像表示面の裏側に配置され、最背面には、背面ガラス基板21を備える。アドレス電極22は、複数本が縦方向に平行に延在し、表示電極12、13と交わるように配置される。書き込み放電の際には、前面板10の走査電極13とアドレス電極22とが交差する箇所で対向放電が行われる。   The back plate 20 is disposed on the back side of the image display surface of the plasma display panel, and includes a back glass substrate 21 on the back surface. A plurality of address electrodes 22 extend in parallel in the vertical direction and are arranged so as to cross the display electrodes 12 and 13. During the write discharge, a counter discharge is performed at a location where the scan electrode 13 and the address electrode 22 of the front plate 10 intersect.

誘電体層23は、前面板10の誘電体層14と同様に、アドレス電極22を被覆するとともに、コンデンサのように電荷を蓄える機能を有する。隔壁24は、各セルを、アドレス電極毎に区画するための手段である。蛍光体25は、紫外線や電子線を受けることによって、発光する物質である。セル内で放電が発生すると、封入された放電ガスにより紫外線が発生するので、これにより蛍光体25が発光する。蛍光体25は、赤色蛍光体25Rと、緑色蛍光体25Gと、青色蛍光体25Bとから構成され、紫外線の照射により、各々赤色、緑色、青色に発光する。   Similar to the dielectric layer 14 of the front plate 10, the dielectric layer 23 covers the address electrodes 22 and has a function of storing electric charges like a capacitor. The partition wall 24 is a means for partitioning each cell for each address electrode. The phosphor 25 is a substance that emits light upon receiving ultraviolet rays or electron beams. When discharge occurs in the cell, ultraviolet light is generated by the enclosed discharge gas, and the phosphor 25 emits light. The phosphor 25 is composed of a red phosphor 25R, a green phosphor 25G, and a blue phosphor 25B, and emits red, green, and blue light when irradiated with ultraviolet rays.

次に、図3を用いて、本実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの前面板10の構成についてより詳細に説明する。図3は、本実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの前面板10の断面構成の一例を示した図である。   Next, the configuration of the front plate 10 of the plasma display panel according to the present embodiment will be described in more detail with reference to FIG. FIG. 3 is a diagram showing an example of a cross-sectional configuration of the front plate 10 of the plasma display panel according to the present embodiment.

図3において、前面ガラス基板11の表面上に誘電体層14が形成され、誘電体層14の上に微粒子層15が形成され、微粒子層15の上に保護層16が形成された前面板10が示されている。なお、図3においては、表示電極12、13は省略されている。   In FIG. 3, a front plate 10 in which a dielectric layer 14 is formed on the surface of a front glass substrate 11, a fine particle layer 15 is formed on the dielectric layer 14, and a protective layer 16 is formed on the fine particle layer 15. It is shown. In FIG. 3, the display electrodes 12 and 13 are omitted.

従来技術においては、誘電体層14の全体を被覆するように保護層16が形成され、保護層16の上に微粒子層15が形成されていたが、本実施形態に係るプラズマディスプレイにおいては、積層順序が逆となり、誘電体層14の上に、微粒子層15が形成され、微粒子層15の上に保護層16が形成される構成となっている。微粒子層15の各微粒子15aは、誘電体層14の表面よりも沈み込み、誘電体層14にめり込むような状態となっている。本実施形態に係るプラズマディスプレイの製造方法の詳細については後述するが、微粒子層15を誘電体層14上に形成する際に、微粒子15aの分散液を誘電体層14上に分散散布した後、前面板10を誘電体層14の軟化点以上となるように加熱する。すると、誘電体層14が溶融して軟化するので、微粒子15aは、誘電体層14の表面よりも沈み込み、誘電体層14の表面にめり込むような状態となる。このような十分高い温度の加熱を行うことにより、微粒子15aの分散液の溶媒の殆どを焼成により熱分解して除去することができるとともに、微粒子15は、誘電体層14と一体化するように固着して形成される。   In the prior art, the protective layer 16 is formed so as to cover the entire dielectric layer 14, and the fine particle layer 15 is formed on the protective layer 16. However, in the plasma display according to the present embodiment, a laminated layer is formed. The order is reversed, and the fine particle layer 15 is formed on the dielectric layer 14, and the protective layer 16 is formed on the fine particle layer 15. Each fine particle 15 a of the fine particle layer 15 is in a state where it sinks from the surface of the dielectric layer 14 and sinks into the dielectric layer 14. The details of the manufacturing method of the plasma display according to the present embodiment will be described later. When the fine particle layer 15 is formed on the dielectric layer 14, after the dispersion of the fine particles 15a is dispersed and dispersed on the dielectric layer 14, The front plate 10 is heated so as to be equal to or higher than the softening point of the dielectric layer 14. Then, since the dielectric layer 14 is melted and softened, the fine particles 15a are submerged from the surface of the dielectric layer 14 and become in a state of being embedded in the surface of the dielectric layer 14. By performing heating at such a sufficiently high temperature, most of the solvent of the dispersion liquid of the fine particles 15a can be thermally decomposed and removed by firing, and the fine particles 15 are integrated with the dielectric layer 14. It is formed by adhering.

微粒子層15が、誘電体層14上に形成された後は、微粒子15の上に保護層16が形成されるが、微粒子15aの分散液の溶媒はほぼ完全に除去されているので、溶媒との反応性が高いSrCaO又はCaOを含む材料で保護層16を形成しても、保護層16が水酸化物や炭酸塩を形成せず、本来の低放電電圧の性質を維持することができる。   After the fine particle layer 15 is formed on the dielectric layer 14, the protective layer 16 is formed on the fine particles 15. However, since the solvent of the dispersion liquid of the fine particles 15a is almost completely removed, Even if the protective layer 16 is formed of a material containing SrCaO or CaO having high reactivity, the protective layer 16 does not form hydroxides or carbonates, and the original low discharge voltage property can be maintained.

また、微粒子15a平均粒子径は、0.1〜3.0μm、好ましくは0.5〜2.0μm、より好ましくは0.7〜1.5μmであり、保護層16の膜厚は、700nm程度であることから、保護層16は、微粒子15aを総て覆っておらず、さらに、保護層16の表面を放電によってクリーンアップし、放電を安定させる初期エージングにより、微粒子15aの角等の一部は、保護層16からより露出している構成になると考えられる。保護膜16が、微粒子層15を総て完全に覆ってしまうと、微粒子15aが電子を放出して放電遅れを低減させる効果が発生しないと考えられるが、図3に示すように、微粒子15aの一部が露出している状態であれば、露出部分から電子を放出し、放電遅れを低減させる効果を発生させることができると考えられる。   The average particle diameter of the fine particles 15a is 0.1 to 3.0 μm, preferably 0.5 to 2.0 μm, more preferably 0.7 to 1.5 μm, and the thickness of the protective layer 16 is about 700 nm. Therefore, the protective layer 16 does not cover all the fine particles 15a, and further, the surface of the protective layer 16 is cleaned up by discharge, and a part of the corners of the fine particles 15a is obtained by initial aging that stabilizes the discharge. Is considered to be more exposed from the protective layer 16. If the protective film 16 completely covers the fine particle layer 15, it is considered that the fine particles 15 a emit electrons and the effect of reducing the discharge delay does not occur. However, as shown in FIG. If a part is exposed, it is considered that electrons can be emitted from the exposed part and the effect of reducing the discharge delay can be generated.

更に、保護層16は、微粒子15aの角以外の上面と、微粒子15aが表面に配設されていない誘電体層14の露出部分の総てを被覆しているので、誘電体層14を保護する役割と、低電圧で放電を発生させる機能は果たしていると考えられる。   Furthermore, the protective layer 16 covers the upper surface other than the corners of the fine particles 15a and the entire exposed portion of the dielectric layer 14 where the fine particles 15a are not disposed on the surface, so that the dielectric layer 14 is protected. It is considered that the role and the function of generating discharge at a low voltage are fulfilled.

このように、本実施形態に係るプラズマディスプレイによれば、誘電体層14の上にまず微粒子層15を形成し、次いで微粒子層15上に保護層16を形成する構成とすることにより、放電遅れを低減する微粒子層15と、放電の駆動電圧を低減させる保護膜16の機能を、両立させて発揮させることができる。   Thus, according to the plasma display according to the present embodiment, the discharge delay is achieved by forming the fine particle layer 15 on the dielectric layer 14 and then forming the protective layer 16 on the fine particle layer 15. The functions of the fine particle layer 15 for reducing the pressure and the protective film 16 for reducing the driving voltage of the discharge can be exhibited in a balanced manner.

次に、図4を用いて、本実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法について説明する。図4は、本実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法の一例を示した図である。   Next, the manufacturing method of the plasma display panel according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a view showing an example of a method for manufacturing a plasma display panel according to the present embodiment.

図4において、ステップ100〜ステップ120は前面板製作工程を示し、ステップ130は背面板製作工程を示し、ステップ140は封着工程を示している。なお、図4において、今まで説明したものと同様の構成要素については、同一の参照番号を付し、その説明を省略するものとする。   In FIG. 4, steps 100 to 120 show a front plate manufacturing process, step 130 shows a back plate manufacturing process, and step 140 shows a sealing process. In FIG. 4, the same components as those described so far are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

ステップ100においては、前面ガラス基板11上に表示電極12、13が形成され、表示電極12、13を覆うように誘電体層14が形成される。誘電体層14の形成は、例えばまず、表示電極12、13を覆うように、軟化点が550℃〜600℃の鉛系又は非鉛系の低融点ガラスや、SiO材料粉末とブチルカルビトールアセテート等からなる有機バインダーを混合したペーストを塗布する。そして、550℃〜650℃程度で焼成し、最終厚みが膜厚数μm〜数10μmの誘電体層14を形成するようにしてもよい。 In step 100, display electrodes 12 and 13 are formed on front glass substrate 11, and dielectric layer 14 is formed so as to cover display electrodes 12 and 13. For example, the dielectric layer 14 is formed by first covering the display electrodes 12 and 13 with lead or non-lead low-melting glass having a softening point of 550 ° C. to 600 ° C., SiO 2 material powder and butyl carbitol. A paste mixed with an organic binder made of acetate or the like is applied. Then, it may be fired at about 550 ° C. to 650 ° C. to form the dielectric layer 14 having a final thickness of several μm to several 10 μm.

ステップ110では、微粒子配設工程が行われる。微粒子配設工程においては、誘電体層14を被覆するように、微粒子15aが配設され、微粒子層15が形成される。微粒子配設工程は、微粒子15aの分散液を誘電体層14上に分散散布する微粒子分散散布工程と、誘電体層14上に微粒子15aが分散散布された前面板10を、誘電体層14の軟化点以上に加熱・焼成し、微粒子15aを誘電体層14上に定着させて微粒子層15を形成する加熱工程とを含む。   In step 110, a fine particle arranging step is performed. In the fine particle arranging step, the fine particles 15a are arranged so as to cover the dielectric layer 14, and the fine particle layer 15 is formed. In the fine particle arranging step, the dispersion liquid of fine particles 15 a is dispersed and dispersed on the dielectric layer 14, and the front plate 10 on which the fine particles 15 a are dispersed and dispersed on the dielectric layer 14 is applied to the dielectric layer 14. Heating and firing above the softening point to fix the fine particles 15a on the dielectric layer 14 to form the fine particle layer 15.

具体的には、微粒子15aの配設は、例えばまず、対角線の長さが0.5〜2μm程度の立方体形状をした高純度のMgO微粉末を、エチルアルコールの分散溶媒に分散させて分散溶液とする。次いで、MgO微粉末の分散溶液を、スプレーガンを用いて誘電体層14にスプレー塗布した後、誘電体層14の軟化点以上に前面ガラス基板11を加熱し、MgO微粒子の誘電体層14への安定した定着と溶媒成分の効果的な除去を行う。誘電体層14の軟化点は、誘電体層14の材質に依存するが、上述のように、550℃〜600℃の範囲にあるのが一般的である。例えば、580℃程度の軟化点を有する誘電体層14を用い、580℃以上に前面ガラス基板11を加熱・焼成するようにしてもよい。誘電体層14の軟化点以上に加熱・焼成を行うことにより、誘電体層14が溶融して軟化し、微粒子15aが軟化した誘電体層14の表面にめり込み、誘電体層14の表面よりも沈み込んだ状態で微粒子15aが誘電体層14の表面に固着される。これにより、溶剤が確実に除去されるだけでなく、微粒子15aと誘電体層14の結合が強化され、誘電体層14の表面全体ではないものの、微粒子15aが層のように形成され、微粒子層15となる。   Specifically, the fine particles 15a are arranged, for example, by first dispersing a high-purity MgO fine powder having a cubic shape with a diagonal length of about 0.5 to 2 μm in a dispersion solution of ethyl alcohol. And Next, a dispersion solution of MgO fine powder is spray-coated on the dielectric layer 14 using a spray gun, and then the front glass substrate 11 is heated to a temperature higher than the softening point of the dielectric layer 14 to form the MgO fine particle dielectric layer 14. Stable fixing and effective removal of solvent components. The softening point of the dielectric layer 14 depends on the material of the dielectric layer 14 but is generally in the range of 550 ° C. to 600 ° C. as described above. For example, the front glass substrate 11 may be heated and baked to 580 ° C. or higher by using the dielectric layer 14 having a softening point of about 580 ° C. By heating and firing above the softening point of the dielectric layer 14, the dielectric layer 14 melts and softens, and the fine particles 15 a sink into the softened surface of the dielectric layer 14. The fine particles 15a are fixed to the surface of the dielectric layer 14 in the submerged state. Thereby, not only the solvent is surely removed, but also the bond between the fine particles 15a and the dielectric layer 14 is strengthened, and although not the entire surface of the dielectric layer 14, the fine particles 15a are formed like a layer. 15

なお、分散溶液の分散散布は、スプレー法の他、スクリーン印刷法、静電塗布法により行ってもよい。また、微粒子層15は、CaO微粉末を用いて構成してもよく、この場合には、CaOの微粒子15aが誘電体層14上に配設される。   In addition, you may perform dispersion | distribution dispersion | distribution of a dispersion solution by the screen printing method and the electrostatic coating method other than the spray method. Further, the fine particle layer 15 may be configured using CaO fine powder. In this case, CaO fine particles 15 a are disposed on the dielectric layer 14.

ステップ120では、保護層16を形成する保護層形成工程が行われる。保護層形成工程においては、CaO(酸化カルシウム)を含むターゲット、具体的には例えばCaO又はSrCaO(酸化ストロンチウムと酸化カルシウムの複合材料)のターゲットを用いて、EB(電子ビーム)蒸着法により、微粒子層15の上に保護層16を形成する。ここで、例えば、蒸着時の酸素を流した場合の圧力を6.0×10−2Pa以下とし、基板温度Tを350℃まで上昇させた後に150℃<T<350℃とし、蒸着速度を0.5−15nm/secとすることで、膜厚約700nmのCaO又はSrCaOの薄膜を保護層16として形成するようにしてもよい。また、他のアルカリ土類金属酸化物からなるターゲットを用いてもよく、例えば、SrOのターゲットを用いて、SrOの薄膜を保護層16として形成するようにしてもよい。 In step 120, a protective layer forming step for forming the protective layer 16 is performed. In the protective layer forming step, fine particles are formed by EB (electron beam) vapor deposition using a target containing CaO (calcium oxide), specifically, for example, a target of CaO or SrCaO (composite material of strontium oxide and calcium oxide). A protective layer 16 is formed on the layer 15. Here, for example, the pressure when oxygen is supplied during deposition is set to 6.0 × 10 −2 Pa or less, the substrate temperature T is increased to 350 ° C., 150 ° C. <T <350 ° C., and the deposition rate is set. By setting the thickness to 0.5-15 nm / sec, a thin film of CaO or SrCaO having a thickness of about 700 nm may be formed as the protective layer 16. Alternatively, a target made of another alkaline earth metal oxide may be used. For example, an SrO thin film may be formed as the protective layer 16 using an SrO target.

なお、保護層16となる薄膜の成膜方法としては、EB蒸着法に限定されず、スパッタ法、プラズマガンを用いたイオンプレーティング等でも成膜が可能で、EB蒸着法に劣らない効果が得られる。   Note that the method for forming the thin film serving as the protective layer 16 is not limited to the EB vapor deposition method, and the film can be formed by a sputtering method, ion plating using a plasma gun, or the like. can get.

以上説明したステップ110とステップ120の工程によりプラズマディスプレイパネルを製造することにより、微粒子15aの分散液や分散剤が、保護層16のアルカリ土類金属酸化物と反応してしまうことを無くすことができる。   By manufacturing the plasma display panel by the steps 110 and 120 described above, the dispersion of the fine particles 15a and the dispersing agent can be prevented from reacting with the alkaline earth metal oxide of the protective layer 16. it can.

一方、ステップ130では、背面板20が製作される。背面板20の製作は、まず、背面ガラス基板21上にアドレス電極22が配設され、アドレス電極22が誘電体層23で被覆される。なお、誘電体層23の形成方法は、ステップ100で説明した前面板10の誘電体層14の形成方法と同様であるので、その説明を省略する。誘電体層23が形成された後は、誘電体層23上に隔壁24が形成され、次いで蛍光体25が形成されて背面板20が完成する。   On the other hand, in step 130, the back plate 20 is manufactured. In manufacturing the back plate 20, first, the address electrode 22 is disposed on the back glass substrate 21, and the address electrode 22 is covered with the dielectric layer 23. The method for forming the dielectric layer 23 is the same as the method for forming the dielectric layer 14 of the front plate 10 described in step 100, and thus the description thereof is omitted. After the dielectric layer 23 is formed, the partition wall 24 is formed on the dielectric layer 23, and then the phosphor 25 is formed to complete the back plate 20.

ステップ140では、封着工程が行われる。封着工程においては、前面板10と背面板20が対向して配置され、前面板10と背面板20が重ね合わせられ、低融点ガラスフリット等を用いて封着される。   In step 140, a sealing process is performed. In the sealing step, the front plate 10 and the back plate 20 are arranged to face each other, and the front plate 10 and the back plate 20 are overlapped and sealed using a low melting point glass frit or the like.

但し、封着が行われる前に、前面板10及び背面板20を、窒素ガスを流したチャンバ内に収容し、前面板10と背面板20とを、封着部を接触させない状態で、各々を高温で加熱処理し、不純ガスを発生させる。その後、前面板10と背面板20とを重ね合わせて封着することにより、封着時のパネル内に残存する不純ガスを減少させ、アルカリ土類金属酸化物層である保護層16が、水酸化物や炭酸塩等に変化することを防止することができる。そして、駆動電圧の低減と放電遅れの低減を両立させることができるプラズマディスプレイパネルを製造することができる。   However, before the sealing is performed, the front plate 10 and the back plate 20 are accommodated in a chamber in which nitrogen gas is flowed, and the front plate 10 and the back plate 20 are respectively brought into contact with the sealing portion without being in contact with each other. Is heated at a high temperature to generate impure gas. Thereafter, the front plate 10 and the back plate 20 are overlapped and sealed to reduce impure gas remaining in the panel at the time of sealing, and the protective layer 16 that is an alkaline earth metal oxide layer is formed of water. It can prevent changing to an oxide or carbonate. In addition, it is possible to manufacture a plasma display panel that can achieve both reduction in driving voltage and reduction in discharge delay.

なお、封着工程は、窒素ガス流入雰囲気下の他、Ar、He等の希ガスの流入雰囲気下や、真空雰囲気下において行うようにしてもよい。これらの雰囲気下においても、保護層16と大気中の成分との反応を防止できるので、保護層16の低電圧放電特性を維持しつつ、プラズマディスプレイパネルを製作することができる。   Note that the sealing step may be performed in an inflow atmosphere of a rare gas such as Ar or He or in a vacuum atmosphere in addition to an inflow atmosphere of nitrogen gas. Even under these atmospheres, the reaction between the protective layer 16 and components in the atmosphere can be prevented, so that the plasma display panel can be manufactured while maintaining the low voltage discharge characteristics of the protective layer 16.

図5は、比較例として、従来のプラズマディスプレイパネルの製造方法を示した図である。図5において、ステップ200〜ステップ220が前面板製作工程であり、ステップ230が背面板製作工程であり、ステップ240が封着工程である。なお、図1において説明した構成要素には、図1と同一の参照符号を付して説明する。   FIG. 5 is a view showing a conventional plasma display panel manufacturing method as a comparative example. In FIG. 5, steps 200 to 220 are a front plate manufacturing process, step 230 is a back plate manufacturing process, and step 240 is a sealing process. The components described in FIG. 1 are described with the same reference numerals as those in FIG.

ステップ200では、前面板110のガラス基板111上に表示電極112、113が配設され、誘電体層114で被覆される。ステップ200は、図4のステップ100と同様であるので、その詳細な説明を省略する。   In step 200, display electrodes 112 and 113 are disposed on the glass substrate 111 of the front plate 110 and covered with a dielectric layer 114. Step 200 is the same as step 100 in FIG. 4, and a detailed description thereof will be omitted.

ステップ210では、誘電体層114の表面上に、保護層116が形成される。図4において説明した本実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法においては、誘電体層14の形成後は、微粒子層15が誘電体層14の上に形成されるが、従来の製造方法では、保護層116が誘電体層114の上に形成される。保護層116には、低電圧駆動を達成しようとする場合には、アルカリ土類金属酸化物が用いられる。なお、保護層116の形成方法は、図4のステップ120と同様の内容であるので、その説明を省略する。   In step 210, the protective layer 116 is formed on the surface of the dielectric layer 114. In the method for manufacturing the plasma display panel according to the present embodiment described with reference to FIG. 4, the fine particle layer 15 is formed on the dielectric layer 14 after the formation of the dielectric layer 14, but in the conventional manufacturing method, A protective layer 116 is formed on the dielectric layer 114. The protective layer 116 is made of an alkaline earth metal oxide in order to achieve low voltage driving. The method for forming the protective layer 116 is the same as that in step 120 in FIG.

ステップ220では、微粒子配設工程が行われる。微粒子配設工程の内容は、図4のステップ110と同様であるので、その説明を省略するが、MgO微粒子の分散溶液が、アルカリ土類金属酸化物の保護層116の上に、分散散布されることになる。このとき、アルカリ土類金属酸化物は、反応性が高く、水分、炭酸ガス、炭化水素系ガス等と反応してしまうので、分散溶液の溶媒と反応し、酸化物から水酸化物又は炭酸塩に変化してしまう。すると、ステップ210で形成した保護層116による低電圧駆動効果が失われてしまうという事態が発生する。   In step 220, a fine particle disposing process is performed. The content of the fine particle disposing process is the same as that of step 110 in FIG. 4 and will not be described. However, a dispersion solution of the MgO fine particles is dispersed and dispersed on the protective layer 116 of alkaline earth metal oxide. Will be. At this time, the alkaline earth metal oxide is highly reactive and reacts with moisture, carbon dioxide gas, hydrocarbon gas, etc., so it reacts with the solvent of the dispersion solution, and from the oxide to hydroxide or carbonate. Will change. Then, the situation where the low voltage drive effect by the protective layer 116 formed in step 210 is lost occurs.

ステップ230では、背面板120の製作が行われるが、図4のステップ130と同様の内容であるので、その説明を省略する。   In step 230, the back plate 120 is manufactured. Since the content is the same as that of step 130 in FIG. 4, the description thereof is omitted.

ステップ240では、封着工程が行われる。従来の封着工程は、大気中で行われる。上述のように、アルカリ土類金属酸化物の保護層116は、反応性が高いので、大気中の成分とも反応してしまう。よって、大気中で封着工程を行うと、保護層116が、大気中の水分、炭酸ガス、炭化水素系ガス等と反応してしまい、水酸化物又は炭酸塩を形成してしまう。従って、封着工程においても、保護層116の低電圧放電効果が低減してしまい、アルカリ土類金属酸化物材料が持つ本来の良好な特性が失われるという結果を招いてしまう。   In step 240, a sealing process is performed. The conventional sealing process is performed in the atmosphere. As described above, since the alkaline earth metal oxide protective layer 116 is highly reactive, it also reacts with components in the atmosphere. Therefore, when the sealing step is performed in the atmosphere, the protective layer 116 reacts with moisture, carbon dioxide gas, hydrocarbon gas, etc. in the atmosphere, and forms a hydroxide or carbonate. Therefore, even in the sealing step, the low voltage discharge effect of the protective layer 116 is reduced, resulting in the loss of the original good characteristics of the alkaline earth metal oxide material.

このように、図5に示した従来のプラズマディスプレイパネルの製造方法においては、ステップ220の微粒子配設工程と、ステップ240の封着工程とで保護層116が変質してしまい、保護層116が本来持つ低電圧放電特性を効果的に発揮することができない。   As described above, in the conventional method for manufacturing a plasma display panel shown in FIG. 5, the protective layer 116 is altered in the fine particle disposing step in step 220 and the sealing step in step 240, and the protective layer 116 is The inherent low voltage discharge characteristics cannot be exhibited effectively.

一方、図4に示した本実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法においては、ステップ110の微粒子配設工程を保護層16の形成前に行い、誘電体層14の軟化点以上に加熱・焼成して溶剤を完全に除去するので、保護層16の低電圧放電特性を維持することができる。また、ステップ140の封着工程においても、窒素ガス又は希ガスの流入雰囲気下や、真空雰囲気下で前面板10と背面板20の封着を行うので、やはり保護層16の大気中の成分との反応を防ぐことができ、保護層16の低電圧放電特性を保ちつつプラズマディスプレイパネルを製造することができる。   On the other hand, in the method for manufacturing the plasma display panel according to the present embodiment shown in FIG. 4, the step of arranging the fine particles in step 110 is performed before the formation of the protective layer 16, and the heating / firing is performed above the softening point of the dielectric layer 14. Thus, the solvent is completely removed, so that the low voltage discharge characteristics of the protective layer 16 can be maintained. Also, in the sealing step of step 140, the front plate 10 and the back plate 20 are sealed in an inflow atmosphere of nitrogen gas or a rare gas or in a vacuum atmosphere. The plasma display panel can be manufactured while maintaining the low voltage discharge characteristics of the protective layer 16.

図6は、実施例1に係るプラズマディスプレイパネルと、従来のプラズマディスプレイパネルとのSrCaO保護層16、116の電圧特性を示した図である。実施例1においては、今まで説明した実施形態に係るプラズマディスプレイパネル及びその製造方法において、保護層16にSrCaOを用いて、実際にプラズマディスプレイパネルを構成した例について説明する。なお、実施例1において、今まで説明した構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を用いるものとする。   FIG. 6 is a graph showing voltage characteristics of the SrCaO protective layers 16 and 116 of the plasma display panel according to Example 1 and the conventional plasma display panel. In Example 1, an example in which a plasma display panel is actually configured using SrCaO for the protective layer 16 in the plasma display panel and the manufacturing method thereof according to the embodiments described so far will be described. In the first embodiment, the same reference numerals are used for the same components as those described so far.

図6においては、保護層16、116としてSrCaOを用い、微粒子層15、115としてはMgO微粒子を配設してプラズマディスプレイパネルの前面板10、110を構成するとともに、Ne−Xeを10%含む放電ガスを封入し、20kHzで駆動させた例が示されている。また、それぞれの前面板10、110は、封着工程前に350℃で真空加熱されている。ここでの封着はいずれも窒素ガス中で行った。   In FIG. 6, SrCaO is used as the protective layers 16 and 116, and MgO fine particles are provided as the fine particle layers 15 and 115 to constitute the front plates 10 and 110 of the plasma display panel, and 10% of Ne—Xe is included. An example in which discharge gas is sealed and driven at 20 kHz is shown. Moreover, each front board 10 and 110 is vacuum-heated at 350 degreeC before the sealing process. The sealing here was performed in nitrogen gas.

図6において、本実施例に係るプラズマディスプレイパネルの放電電圧の時間経過特性は白丸同士又は黒丸同士を結んだ曲線で示され、従来のプラズマディスプレイパネルの放電電圧の時間経過特性は白三角同士又は黒三角同士を結んだ曲線で示されている。本実施例に係るプラズマディスプレイパネルと従来のプラズマディスプレイパネルについて、最小放電開始電圧同士、最小放電維持電圧同士で比較すると、最小放電開始電圧及び最小放電維持電圧の双方において、本実施例に係るプラズマディスプレイパネルの方が、従来のプラズマディスプレイパネルよりも低い放電電圧特性を示している。従来の工程で製造されたプラズマディスプレイパネルは、SrCaOの保護層16が、微粒子分散溶液の溶媒であるアルコールと反応してしまい、動作時間に対する電圧低下が十分に進んでいない。本実施例において用いた溶剤はエタノールのみであり、分散剤も使用せず、溶剤としては比較的加熱により除去し易いものであるが、それでも、従来のプラズマディスプレイパネルにおいては、放電電圧が低下しない特性となってしまう。   In FIG. 6, the time lapse characteristics of the discharge voltage of the plasma display panel according to the present embodiment are shown by curves connecting white circles or black circles, and the time lapse characteristics of the discharge voltage of the conventional plasma display panel are white triangles or It is shown as a curve connecting black triangles. When the plasma display panel according to the present embodiment and the conventional plasma display panel are compared between the minimum discharge start voltages and the minimum discharge sustain voltages, the plasma according to the present embodiment has both the minimum discharge start voltage and the minimum discharge sustain voltage. The display panel shows a lower discharge voltage characteristic than the conventional plasma display panel. In the plasma display panel manufactured by the conventional process, the protective layer 16 of SrCaO reacts with the alcohol that is the solvent of the fine particle dispersion solution, and the voltage drop with respect to the operating time is not sufficiently advanced. The solvent used in this example is only ethanol, no dispersant is used, and the solvent is relatively easy to remove by heating. However, in the conventional plasma display panel, the discharge voltage does not decrease. It becomes a characteristic.

一方、本実施例に係るプラズマディスプレイパネルにおいては、溶剤が十分に除去されているので、放電電圧が低下し、従来のプラズマディスプレイパネルと比較して、30V以上低下している。   On the other hand, in the plasma display panel according to the present example, since the solvent is sufficiently removed, the discharge voltage is reduced, and is 30 V or more lower than that of the conventional plasma display panel.

このように、本実施例に係るプラズマディスプレイパネル及びその製造方法においては、従来のプラズマディスプレイパネルよりも、放電電圧を大幅に低減させることができ、低消費電力のプラズマディスプレイパネルを実現することができる。   As described above, in the plasma display panel and the manufacturing method thereof according to the present embodiment, the discharge voltage can be significantly reduced as compared with the conventional plasma display panel, and a low power consumption plasma display panel can be realized. it can.

次に、本実施例に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法の封着工程による作用効果を説明する。表1は、SrCaOの保護層16を用いたプラズマディスプレイパネルについて、大気中で封着したものと、窒素ガス中で封着したものとの比較を行った結果を示している。   Next, the effect by the sealing process of the manufacturing method of the plasma display panel concerning a present Example is demonstrated. Table 1 shows a result of comparison between a plasma display panel using the SrCaO protective layer 16 sealed in the air and a plasma display panel sealed in nitrogen gas.

表1において、第1段目が、微粒子層15上にSrCaOの保護層16を形成し、窒素ガス中で封着を行った場合の結果を示している。また、第2段目が、誘電体層14の上にSrCaOの保護層16を形成し、窒素ガス中で封着を行った場合の結果を示している。一方、第3段目が、図1において説明した従来技術の、SrCaOの保護層16の上に微粒子15aを配設し、大気中で封着を行った場合の結果を示している。なお、封入する放電ガスは、Ne−Xeが10%含有されている放電ガスを用いた。 In Table 1, the first stage shows the result when the protective layer 16 of SrCaO is formed on the fine particle layer 15 and sealing is performed in nitrogen gas. The second stage shows the result when the protective layer 16 of SrCaO is formed on the dielectric layer 14 and sealing is performed in nitrogen gas. On the other hand, the third stage shows the result when the fine particles 15a are arranged on the SrCaO protective layer 16 and sealed in the atmosphere according to the prior art described in FIG. Note that a discharge gas containing 10% Ne—Xe was used as the discharge gas to be sealed.

表1に示すように、窒素ガス中で封着を行う本実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法によれば、第1段目に示したMgO微粒子15aを配設したプラズマディスプレイパネルにおいて、第2段目に示したMgO微粒子15aを配設していないプラズマディスプレイパネルと同様の低い放電電圧特性が得られた。また、大気封着を行う従来のプラズマディスプレイパネルの製造方法で製造されたプラズマディスプレイパネルは、微粒子層150を設けた場合には、最小開始電圧、最大開始電圧、最大維持電圧及び最小維持電圧〔V〕のいずれの項目においても、本実施例に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法により製造されたプラズマディスプレイパネルの2倍程度の放電電圧となっており、低い放電電圧特性は得られていない。   As shown in Table 1, according to the method for manufacturing a plasma display panel according to this embodiment in which sealing is performed in nitrogen gas, in the plasma display panel provided with the MgO fine particles 15a shown in the first stage, The same low discharge voltage characteristic as that of the plasma display panel not provided with the MgO fine particles 15a shown in the second stage was obtained. In addition, when the fine particle layer 150 is provided, the plasma display panel manufactured by the conventional plasma display panel manufacturing method that performs atmospheric sealing has a minimum start voltage, a maximum start voltage, a maximum sustain voltage, and a minimum sustain voltage [ In any of the items V], the discharge voltage is about twice that of the plasma display panel manufactured by the method of manufacturing a plasma display panel according to this example, and low discharge voltage characteristics are not obtained.

このように、本実施例に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法の封着工程は、低放電電圧の実現に効果がある。   Thus, the sealing step of the plasma display panel manufacturing method according to the present example is effective in realizing a low discharge voltage.

次に、実施例1に係るプラズマディスプレイパネルにおいて、MgO微粒子15aを配設した効果を調べるために、駆動電圧を印加して、プラズマディスプレイパネルの放電遅れの測定を行った。   Next, in the plasma display panel according to Example 1, in order to investigate the effect of disposing the MgO fine particles 15a, a driving voltage was applied and the discharge delay of the plasma display panel was measured.

図7は、実施例1に係るプラズマディスプレイパネルに印加した駆動電圧の電圧波形を示した図である。図7において、走査電極13、維持電極12及びアドレス電極22に印加した駆動電圧波形がそれぞれ示されている。初期化期間には、走査電極13に初期化電圧が印加され、初期化放電によりセル内の電荷が初期状態となる。アドレス期間には、走査電極13と、アドレス電極22に電圧が印加され、アドレス放電によるデータ書き込みが行われる。このとき、横方向に延在する走査電極13は、上から1行ずつ順次発光し、1行毎に、発光すべきセルがアドレス電極22により選択され、各行毎にデータ書き込みが行われる。よって、走査電極13の表示画面内の位置により、アドレス放電には時間差が生じ、最も上にある走査電極13は放電休止期間が短く、最も下にある走査電極13は、放電休止期間が長くなる。そして、初期化放電からの放電休止期間が長い程、アドレス放電の放電遅れによる非放電確率が上昇することになる。なお、アドレス期間でデータ書き込みが終了した後は表示期間となり、走査電極13と維持電極12の交互に駆動電圧が印加され、階調に応じた回数の維持放電が行われる。   FIG. 7 is a diagram illustrating a voltage waveform of a drive voltage applied to the plasma display panel according to the first embodiment. In FIG. 7, drive voltage waveforms applied to the scan electrode 13, the sustain electrode 12, and the address electrode 22 are shown. In the initialization period, an initialization voltage is applied to the scan electrode 13, and the charge in the cell is brought into an initial state by the initialization discharge. In the address period, a voltage is applied to the scan electrode 13 and the address electrode 22, and data writing is performed by address discharge. At this time, the scanning electrodes 13 extending in the horizontal direction sequentially emit light one row at a time, and cells to be emitted are selected by the address electrode 22 for each row, and data writing is performed for each row. Therefore, there is a time difference in the address discharge depending on the position of the scan electrode 13 in the display screen, the uppermost scan electrode 13 has a shorter discharge pause period, and the lowermost scan electrode 13 has a longer discharge pause period. . As the discharge pause period from the initialization discharge is longer, the non-discharge probability due to the discharge delay of the address discharge increases. Note that after the data writing is completed in the address period, a display period starts, and a driving voltage is applied alternately to the scan electrodes 13 and the sustain electrodes 12, and the sustain discharge is performed a number of times according to the gradation.

表2は、図7で示した駆動電圧波形を、実施例1に係るプラズマディスプレイパネルに印加した場合のアドレス放電の成功確率を示している。   Table 2 shows the success probability of address discharge when the drive voltage waveform shown in FIG. 7 is applied to the plasma display panel according to the first embodiment.

表2において、縦の項目が放電休止期間の長さ〔μs〕、横の項目がアドレス電圧〔V〕を示している。プラズマディスプレイパネルの前面板10については、SrCaO保護膜16を用い、表内の各欄において、MgO微粒子無し→MgO微粒子有りの順序でアドレス放電成功確率が記載されている。また、色については、緑色の蛍光体25Gのセルを用いて測定を行った。 In Table 2, the vertical item indicates the length of the discharge pause period [μs], and the horizontal item indicates the address voltage [V]. For the front panel 10 of the plasma display panel, the SrCaO protective film 16 is used, and in each column in the table, the address discharge success probability is described in the order of no MgO particles → MgO particles. Moreover, about the color, it measured using the cell of the green fluorescent substance 25G.

表2に示すように、各欄内において、MgO微粒子15aが存在する方が、存在しない場合よりも、アドレス放電成功確率が大幅に高まっていることが分かる。つまり、本実施例に係るプラズマディスプレイパネル及びその製造方法によれば、アドレス放電の放電遅れを改善することができ、駆動電圧の低減とアドレス放電遅れを原因とする不灯セルの低減を両立することが可能となっている。   As shown in Table 2, it can be seen that in each column, the probability of successful address discharge is significantly increased when the MgO fine particles 15a are present than when they are not present. That is, according to the plasma display panel and the manufacturing method thereof according to the present embodiment, the discharge delay of the address discharge can be improved, and both the reduction of the driving voltage and the reduction of the unlit cells caused by the address discharge delay are achieved. It is possible.

また、アドレス電圧が高く、放電休止期間が短い程、アドレス放電の成功率は高いが、MgO微粒子15aが配設されている方は、アドレス電圧が低く、放電休止期間が長い場合であっても、その成功率の低下度合いが少なくなっている。つまり、放電休止期間が500μsの場合に、アドレス電圧が90Vの場合と60Vの場合を比較すると、MgO微粒子15aが配設されていない方は、52.7%から16.7%と大幅に成功率が低下しているのに対し、MgO微粒子15aが配設されている方は、97.3%から80.1%と、80%以上の高い成功率を維持している。また、アドレス電圧が60Vの場合に、放電休止期間が20μsと500μsの場合を比較すると、20μsでは、MgO微粒子15aが存在しない場合も、99.7%と高い成功率であるが、500μsになると、成功率が16.7%と大幅に低下してしまう。一方、MgO微粒子15aが存在する場合には、20μsでは100%であり、500μsの場合でも、80.1%と80%以上の高い成功率を保っている。つまり、アドレス放電の高い成功率を維持したまま、放電電圧を低下させることが可能となる。   Further, the higher the address voltage and the shorter the discharge pause period, the higher the success rate of the address discharge. However, when the MgO fine particles 15a are provided, the address voltage is low and the discharge pause period is long. , The degree of decline in its success rate is less. In other words, when the discharge pause period is 500 μs, comparing the case where the address voltage is 90 V and the case where the address voltage is 60 V, the one where the MgO fine particles 15a are not disposed is significantly successful from 52.7% to 16.7%. Whereas the rate is reduced, the one where the MgO fine particles 15a are disposed maintains a high success rate of 80% or more, from 97.3% to 80.1%. In addition, when the address voltage is 60 V, when the discharge pause period is 20 μs and 500 μs, the success rate is as high as 99.7% even when the MgO fine particles 15a are not present at 20 μs, but when it becomes 500 μs. The success rate is greatly reduced to 16.7%. On the other hand, in the case where the MgO fine particles 15a are present, the success rate is 100% at 20 μs, and a high success rate of 80% or more is maintained at 80.1% even at 500 μs. That is, it is possible to reduce the discharge voltage while maintaining a high success rate of address discharge.

このように、微粒子15aを配設した微粒子層15を誘電体層14の上に設けた実施例1に係るプラズマディスプレイパネルによれば、アドレス放電の放電遅れを大幅に低減することができるとともに、駆動放電電圧を低減させることができる。   Thus, according to the plasma display panel according to Example 1 in which the fine particle layer 15 provided with the fine particles 15a is provided on the dielectric layer 14, the discharge delay of the address discharge can be significantly reduced, The driving discharge voltage can be reduced.

なお、図4において説明したように、本実施例に係るプラズマディスプレイパネル及びその製造方法においては、微粒子15aを誘電体層14に配設して微粒子層15を形成した後に、保護層16を成膜している。この場合、保護層16が完全に微粒子層15を覆ってしまうと、微粒子15aによる放電遅れの改善効果が出にくいと考えられるが、実際には、表2で説明したように、放電遅れ改善効果が得られた。その理由としては、プラズマディスプレイパネル製作後のエージングの効果(本実施例においては、20kHzの交流パルスで約10時間)により、図3において説明したように、微粒子15aのエッジ等の一部が、放電空間に露出しているためと考えられる。   As described with reference to FIG. 4, in the plasma display panel and the manufacturing method thereof according to the present embodiment, the protective layer 16 is formed after the fine particles 15a are disposed on the dielectric layer 14 to form the fine particle layer 15. It is filming. In this case, if the protective layer 16 completely covers the fine particle layer 15, it is considered that the effect of improving the discharge delay due to the fine particles 15 a is difficult to be obtained. was gotten. The reason for this is that, due to the effect of aging after manufacturing the plasma display panel (in this embodiment, approximately 10 hours with a 20 kHz AC pulse), as described in FIG. This is thought to be due to exposure to the discharge space.

実施例1では、SrCaOの保護層16についての実施例を示したが、本実施形態に係るプラズマディスプレイ及びその製造方法は、SrOやCaOが含まれることによって電圧低減効果が得られる保護膜16全般に適用することができる。実施例2においては、保護層16にCaOを用いて、本実施形態に係るプラズマディスプレイを構成した場合の例について説明する。   In Example 1, although the example about the protective layer 16 of SrCaO was shown, the plasma display and the manufacturing method thereof according to the present embodiment generally provide a protective film 16 that can obtain a voltage reduction effect by containing SrO or CaO. Can be applied to. In Example 2, an example in which the plasma display according to this embodiment is configured using CaO for the protective layer 16 will be described.

図8は、保護層16にCaOを用いた実施例2に係るプラズマディスプレイパネルの放電遅れ時間の特性を示した図である。図8における測定結果は、アドレス電圧が50V,放電維持電圧が130Vであり、放電ガスとしてNe−Xeを10%含有したガスを用い、ガス圧力を67kPaに設定した条件下の結果である。また、図8において、横軸はアドレス放電の放電休止期間、縦軸は放電遅れ時間を示し、丸を結んだ線が微粒子を配設しないプラズマディスプレイパネルの特性、四角を結んだ特性が微粒子を配設したプラズマディスプレイパネルの特性を示している。   FIG. 8 is a diagram showing the characteristics of the discharge delay time of the plasma display panel according to Example 2 in which CaO is used for the protective layer 16. The measurement results in FIG. 8 are the results under the conditions where the address voltage is 50 V, the discharge sustain voltage is 130 V, a gas containing 10% Ne—Xe is used as the discharge gas, and the gas pressure is set to 67 kPa. In FIG. 8, the horizontal axis indicates the discharge rest period of the address discharge, the vertical axis indicates the discharge delay time, the line connecting the circles indicates the characteristics of the plasma display panel in which the particles are not disposed, and the characteristics connecting the squares indicate the particles. The characteristic of the arrange | positioned plasma display panel is shown.

図7において説明したように、プラズマディスプレイパネルにおける放電には、セルを初期化する初期化放電と、発光させるセルを選択するための書き込み放電(アドレス放電)と、選択したセルを連続的に発光させるための維持放電がある。上述のように、放電遅れが問題になるのは、放電休止期間の長い書き込み放電(アドレス放電)においてである。本実施形態に係るプラズマディスプレイパネルにおいては、CaOの保護層16が微粒子15aの上に成膜されているため、放電電圧は、微粒子15aの無いCaOの保護膜16と同じ低い値が得られた。   As described with reference to FIG. 7, the discharge in the plasma display panel includes initializing discharge for initializing cells, write discharge (address discharge) for selecting cells to emit light, and continuous light emission from selected cells. There is a sustain discharge to cause As described above, the discharge delay becomes a problem in address discharge (address discharge) having a long discharge pause period. In the plasma display panel according to this embodiment, since the CaO protective layer 16 is formed on the fine particles 15a, the discharge voltage was as low as that of the CaO protective film 16 without the fine particles 15a. .

また、図8に示すように、微粒子15aを誘電体層14上に配設した四角で示した特性の方が、微粒子15aを配設していないプラズマディスプレイパネルの特性よりも、放電遅れ時間が短い特性を示している。このように、保護層16に、CaOを用いた場合も、放電遅れを改善することができた。   In addition, as shown in FIG. 8, the characteristic indicated by the square in which the fine particles 15a are arranged on the dielectric layer 14 has a longer discharge delay time than the characteristic of the plasma display panel in which the fine particles 15a are not arranged. It shows short characteristics. Thus, even when CaO was used for the protective layer 16, the discharge delay could be improved.

図9は、保護層16としてCaOを用いた実施例2に係るプラズマディスプレイパネルの、Laueプロットと呼ばれる放電現象の基礎特性を示した図である。なお、図9は、放電休止期間200μs、アドレス電圧50V、放電維持電圧130V、放電ガス中のNe+Xeが10%で、ガス圧力が67kPaの場合の特性を示している。また、図9において、横軸は電圧印加からの経過時間〔μs〕、縦軸は非放電確率〔%〕を示している。   FIG. 9 is a diagram showing the basic characteristics of a discharge phenomenon called a Laue plot of the plasma display panel according to Example 2 using CaO as the protective layer 16. FIG. 9 shows the characteristics when the discharge pause period is 200 μs, the address voltage is 50 V, the discharge sustain voltage is 130 V, Ne + Xe in the discharge gas is 10%, and the gas pressure is 67 kPa. In FIG. 9, the horizontal axis indicates the elapsed time [μs] from the voltage application, and the vertical axis indicates the non-discharge probability [%].

Laue特性においては、直線部の傾きが大きい程、放電遅れの時間的なばらつきが小さくなる。図8に示すように、保護層16にCaOを用いた場合において、微粒子15aを配設した微粒子層15を形成したプラズマディスプレイパネルの方が、微粒子層15を形成していないプラズマディスプレイパネルよりも、CaOの保護層16の放電のばらつきも低減できることが分かる。   In the Laue characteristic, the larger the slope of the straight line portion, the smaller the temporal variation in the discharge delay. As shown in FIG. 8, when CaO is used for the protective layer 16, the plasma display panel in which the fine particle layer 15 in which the fine particles 15a are disposed is formed more than the plasma display panel in which the fine particle layer 15 is not formed. It can be seen that variation in discharge of the CaO protective layer 16 can also be reduced.

このように、本実施形態及び本実施例に係るプラズマディスプレイパネル及びその製造方法によれば、SrCaOやCaOを含む低電圧放電特性を有する保護層16の低い放電電圧特性を維持したまま、放電遅れを改善することができる。   Thus, according to the plasma display panel and the manufacturing method thereof according to the present embodiment and the present example, the discharge delay is maintained while maintaining the low discharge voltage characteristic of the protective layer 16 having the low voltage discharge characteristic containing SrCaO and CaO. Can be improved.

以上、本発明の好ましい実施形態及び実施例について詳説したが、本発明は、上述した実施形態及び実施例に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した実施例に種々の変形及び置換を加えることができる。   The preferred embodiments and examples of the present invention have been described in detail above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments and examples, and the examples described above can be used without departing from the scope of the present invention. Various modifications and substitutions can be made.

特に、保護層にSrCaO又はCaOを用いた場合を例に挙げて説明したが、本発明は、低電圧で放電する特性を有するアルカリ土類金属酸化膜全般に適用することができ、例えば、SrOの保護層を用いた場合にも、本発明を適用することができる。   In particular, the case where SrCaO or CaO is used for the protective layer has been described as an example. However, the present invention can be applied to all alkaline earth metal oxide films having a characteristic of discharging at a low voltage, for example, SrO. The present invention can also be applied to the case where the protective layer is used.

本発明は、プラズマディスプレイパネル及びこれを用いた表示装置であるプラズマディスプレイ装置に利用することができる。   The present invention can be used for a plasma display panel and a plasma display device which is a display device using the same.

10 前面板
11 前面ガラス基板
12 維持電極
13 走査電極
14、23 誘電体層
15 微粒子層
15a 微粒子
16 保護層
20 背面板
21 背面ガラス基板
22 アドレス電極
24 隔壁
25、25R、25G、25B 蛍光体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Front plate 11 Front glass substrate 12 Sustain electrode 13 Scan electrode 14, 23 Dielectric layer 15 Fine particle layer 15a Fine particle 16 Protective layer 20 Back plate 21 Rear glass substrate 22 Address electrode 24 Partition 25, 25R, 25G, 25B Phosphor

Claims (5)

表示電極を誘電体層で被覆した前面板が、放電空間を挟んで背面板と対向して封着されたプラズマディスプレイパネルであって、
前記誘電体層上に形成され、主成分が酸化マグネシウム又は酸化カルシウムである少なくとも1種類以上の微粒子が配設された微粒子層と、
該微粒子層上に形成された酸化カルシウムを含む保護層と、を有し、
前記微粒子は、前記誘電体層の表面より沈み込むように前記誘電体層にめり込んで形成されたことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
A front panel in which a display electrode is covered with a dielectric layer is a plasma display panel sealed opposite to a rear panel across a discharge space,
A fine particle layer formed on the dielectric layer, wherein a fine particle layer in which at least one kind of fine particles whose main component is magnesium oxide or calcium oxide is disposed;
And a protective layer containing a calcium oxide formed in the fine particle layer, was closed,
The plasma display panel according to claim 1, wherein the fine particles are formed so as to sink into the dielectric layer so as to sink from the surface of the dielectric layer .
前記保護層は、酸化ストロンチウムと酸化カルシウムの複合材料又は酸化カルシウムで構成されたことを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネル。 The plasma display panel according to claim 1, wherein the protective layer is made of a composite material of strontium oxide and calcium oxide or calcium oxide. 前面板と背面板が対向して封着されたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
表面上に誘電体層が形成された前記前面板用のガラス基板を用意する工程と、
主成分が酸化マグネシウム又は酸化カルシウムである少なくとも1種類以上の微粒子を溶媒に分散させた分散液を、前記誘電体層の表面に分散散布する工程と、
前記ガラス基板を、前記誘電体層の軟化点以上の温度で焼成し、前記誘電体層上に微粒子層を形成する工程と、
前記微粒子層上に、酸化カルシウムを含む保護層を形成する保護層形成工程と、を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
A method of manufacturing a plasma display panel in which a front plate and a back plate are sealed facing each other,
Preparing a glass substrate for the front plate having a dielectric layer formed on the surface;
A step of dispersing and dispersing a dispersion in which at least one kind of fine particles whose main component is magnesium oxide or calcium oxide is dispersed in a solvent, on the surface of the dielectric layer;
Firing the glass substrate at a temperature equal to or higher than the softening point of the dielectric layer, and forming a fine particle layer on the dielectric layer;
And a protective layer forming step of forming a protective layer containing calcium oxide on the fine particle layer.
前記保護膜形成工程の後に、前記前面板と前記背面板とを対向させ、窒素、希ガス又は真空雰囲気下で封着する封着工程を更に有することを特徴とする請求項3に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。   4. The plasma according to claim 3, further comprising a sealing step in which the front plate and the back plate are opposed to each other and sealed in a nitrogen, rare gas, or vacuum atmosphere after the protective film forming step. Display panel manufacturing method. 前記保護層は、酸化ストロンチウムと酸化カルシウムの複合材料又は酸化カルシウムで構成されたことを特徴とする請求項又はに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。 The protective layer, the manufacturing method of the plasma display panel according to claim 3 or 4, characterized in that it is composed of a composite material or calcium oxide and strontium oxide calcium oxide.
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