JP5335725B2 - Sealed container and drying processing equipment - Google Patents

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Description

本発明は、処理材料の各種処理や試験等に用いる密閉容器と、この密閉容器を適用した乾燥処理装置に関する。   The present invention relates to a sealed container used for various treatments and tests of processing materials, and a drying processing apparatus to which the sealed container is applied.

従来の乾燥処理装置では、まず、温度及び圧力を一定に保つことのできる恒温槽内に処理材料を配置し、恒温室内の温度を昇温させるとともに、恒温室内を真空にすることで、乾燥処理が施されるものがある。この乾燥処理装置では、乾燥処理が終了すると、処理材料を取り出すために恒温室内が冷却される。また、別の乾燥処理装置では、まず、温度と湿度を一定に保つことのできる恒温室(乾燥機)内に処理材料を配置し、恒温室内の温度を昇温させるとともに、恒温室内に水蒸気を供給することで処理材料が高温多湿条件下に置かれる。次いで、恒温室内への水蒸気の供給を停止するとともに、恒温室内を真空にすることで恒温室内が冷却されて乾燥処理が施されるものがある(例えば、特許文献1参照)。   In a conventional drying processing apparatus, first, a processing material is placed in a thermostatic chamber capable of keeping the temperature and pressure constant, the temperature in the temperature-controlled room is raised, and the temperature in the temperature-controlled room is evacuated, whereby the drying process is performed. There is something that is given. In this drying processing apparatus, when the drying process is completed, the temperature-controlled room is cooled in order to take out the processing material. In another drying processing apparatus, first, a processing material is placed in a temperature-controlled room (dryer) that can keep the temperature and humidity constant, the temperature in the temperature-controlled room is raised, and water vapor is generated in the temperature-controlled room. By supplying, the processing material is placed under high-temperature and high-humidity conditions. Next, there is one in which the supply of water vapor into the temperature-controlled room is stopped and the temperature-controlled room is cooled by evacuating the temperature-controlled room and dried (see Patent Document 1, for example).

特開2005−302538号公報JP 2005-302538 A

しかしながら、従来の乾燥処理装置では、複数回の乾燥処理工程が連続して行われる場合に、1回の乾燥処理工程が終了した時点で、恒温室内は室温付近の低温になっている。このため、次の乾燥処理工程を開始するためには、一旦低温になった真空乾燥機内の温度を再度昇温させる必要がある。従って、従来の乾燥処理装置では、恒温室内の全体を昇温、冷却しなければならないことから、恒温室自体の熱容量分を加熱・冷却することになり、莫大な熱エネルギーを要していた。   However, in the conventional drying processing apparatus, when a plurality of drying processing steps are continuously performed, the temperature inside the temperature-controlled room is low around room temperature when one drying processing step is completed. For this reason, in order to start the next drying process, it is necessary to raise again the temperature in the vacuum dryer once it became low temperature. Therefore, in the conventional drying processing apparatus, since the entire inside of the temperature-controlled room has to be heated and cooled, the heat capacity of the temperature-controlled room itself is heated and cooled, and enormous heat energy is required.

また、従来の乾燥処理装置では、恒温室内の全体を真空にすることから、真空引き処理に要するエネルギーが莫大なものとなっていた。また、真空の圧力に耐えるだけの内槽強度が恒温室に要求されるため、恒温室を薄い板厚の材料を用いて製作できないことから、恒温室自体の熱容量分を加熱・冷却する場合に、莫大なエネルギーを要していた。   Moreover, in the conventional drying processing apparatus, since the whole inside the temperature-controlled room is evacuated, the energy required for the evacuation processing has become enormous. In addition, since the temperature chamber is required to have sufficient strength to withstand the vacuum pressure, the temperature chamber cannot be manufactured using a thin plate material. , It took a lot of energy.

本発明の目的は、処理材料の乾燥処理工程に要する熱エネルギーを従来よりも低減できる密閉容器及び乾燥処理装置を提供することである。   The objective of this invention is providing the airtight container and drying processing apparatus which can reduce the heat energy required for the drying processing process of a processing material conventionally.

また、本発明の別の目的は、複数の密閉容器が1つの恒温室に配置される場合において、複数の密閉容器内の気体状態を互いに異なる状態にできる密閉容器を提供することである。   Another object of the present invention is to provide a sealed container capable of making the gas states in the plurality of sealed containers different from each other when the plurality of sealed containers are arranged in one temperature-controlled room.

第1の発明に係る密閉容器は、ロール状の処理材料が収容され且つ外部の気体と熱交換可能に構成されるとともに、その内部の気体状態を変更するための気体状態変更手段に接続可能な接続部と、外部の気体が通過可能な気体流路となった内側空間、及び、前記ロール状の処理材料が介挿される外周部を有するシャフト部とを備える。 The hermetic container according to the first invention is configured to accommodate a roll-shaped processing material and be capable of heat exchange with an external gas, and is connectable to a gas state changing means for changing the gas state inside the container. A connecting portion , an inner space which is a gas flow path through which an external gas can pass, and a shaft portion having an outer peripheral portion into which the roll-shaped processing material is inserted .

この密閉容器では、密閉容器単位で気体状態を変更するものであるため、密閉容器を小さくできる。よって、処理材料が収容される密閉容器を比較的薄い板厚の材料を用いて製作できる。従って、恒温室内の全体の気体状態を変更する従来の乾燥処理装置と比べて、気体の消費量や、気体状態の変更に要するエネルギーを低減できる。   In this airtight container, since the gas state is changed in units of airtight containers, the airtight container can be made small. Therefore, the sealed container in which the processing material is accommodated can be manufactured using a relatively thin plate material. Therefore, compared with the conventional drying processing apparatus which changes the whole gas state in a temperature-controlled room, the amount of gas consumption and the energy required for the change of a gas state can be reduced.

また、この密閉容器では、複数の密閉容器が1つの恒温室に配置される場合において、複数の密閉容器内の気体状態を互いに異なる状態にできることから、密閉容器のそれぞれにおいて、処理材料の異なる処理や試験等に用いることができる。
さらに、この密閉容器では、気体通路内を流れる恒温室内の気体の温度を利用することで、シャフト部の外周部から処理材料への熱伝達を効率良く行うことができる。
Further, in this sealed container, when a plurality of sealed containers are arranged in one temperature-controlled room, the gas states in the plurality of sealed containers can be made different from each other. It can be used for testing.
Furthermore, in this sealed container, heat transfer from the outer peripheral portion of the shaft portion to the processing material can be efficiently performed by utilizing the temperature of the gas in the temperature-controlled room flowing in the gas passage.

なお、本発明中の「気体状態を変更する」とは、気体の温度、圧力、種類及び湿度を変更することが含まれる。   Note that “changing the gas state” in the present invention includes changing the temperature, pressure, type, and humidity of the gas.

第2の発明に係る密閉容器は、第1の発明に係る密閉容器において、密閉容器の外壁部及び内壁部の少なくとも一方に設けられた放熱フィンまたは凹凸形状部を備える。   A sealed container according to a second aspect of the present invention is the sealed container according to the first aspect of the present invention, and includes a radiating fin or a concavo-convex shaped part provided on at least one of the outer wall and the inner wall of the sealed container.

この密閉容器では、密閉容器の外壁部及び内壁部の少なくとも一方の表面積を増加させることができるので、密閉容器の外部から外壁部に吸収される熱量を増加させることができる。また、密閉容器の内壁部の表面積を増加させることができるので、内壁部からの輻射が促進され、内壁部から密閉容器内の気体に吸収される熱量を増加させることができる。   In this sealed container, since the surface area of at least one of the outer wall and the inner wall of the sealed container can be increased, the amount of heat absorbed by the outer wall from the outside of the sealed container can be increased. In addition, since the surface area of the inner wall portion of the sealed container can be increased, radiation from the inner wall portion is promoted, and the amount of heat absorbed by the gas in the sealed container from the inner wall portion can be increased.

第3の発明に係る密閉容器は、第1または第2の発明に係る密閉容器において、密閉容器内の気体を攪拌する攪拌機構を備える。   A sealed container according to a third aspect of the present invention is the sealed container according to the first or second aspect of the present invention, and includes a stirring mechanism for stirring the gas in the sealed container.

この密閉容器では、攪拌機構を設けることで、密閉容器内に気体の対流を発生させることができる。従って、気体と各処理材料との間の熱交換を促進させることができる。   In this sealed container, a convection of gas can be generated in the sealed container by providing a stirring mechanism. Therefore, heat exchange between the gas and each processing material can be promoted.

第4の発明に係る密閉容器は、第3の発明に係る密閉容器において、攪拌機構は、気体状態変更手段によって供給される気体によって駆動される。   The sealed container according to a fourth aspect is the sealed container according to the third aspect, wherein the stirring mechanism is driven by the gas supplied by the gas state changing means.

この密閉容器では、気体状態変更手段によって供給される気体を利用して、密閉容器内に気体の対流を発生させることができる。   In this sealed container, gas convection can be generated in the sealed container using the gas supplied by the gas state changing means.

第5の発明に係る密閉容器は、第3または第4の発明に係る密閉容器において、攪拌機構は、気体状態変更手段によって供給される気体によって回転するプロペラである。   A sealed container according to a fifth invention is the sealed container according to the third or fourth invention, wherein the stirring mechanism is a propeller that is rotated by the gas supplied by the gas state changing means.

この密閉容器では、プロペラの回転によって密閉容器内に気体の対流を発生させることができる。従って、処理材料と気体との間の熱交換を促進させることができる。   In this sealed container, gas convection can be generated in the sealed container by the rotation of the propeller. Therefore, heat exchange between the processing material and the gas can be promoted.

第6の発明に係る密閉容器は、第3または第4の発明に係る密閉容器において、攪拌機構は、密閉容器の内周面に設けられ、接続部を介して密閉容器内に供給される気体を密閉容器の内周面に沿って吹き出す吹き出し部材である。   A sealed container according to a sixth invention is the sealed container according to the third or fourth invention, wherein the stirring mechanism is provided on the inner peripheral surface of the sealed container and is supplied into the sealed container through the connecting portion. It is a blowing member which blows out along the inner peripheral surface of an airtight container.

この密閉容器では、密閉容器の内周面に沿う方向に気体を吹き出して、密閉容器内に気体の対流を発生させることで、気体と処理材料との間の熱交換を促進させることができる。   In this sealed container, heat exchange between the gas and the processing material can be promoted by blowing gas in a direction along the inner peripheral surface of the sealed container and generating convection of the gas in the sealed container.

第7の発明に係る密閉容器は、第3または第4の発明に係る密閉容器において、攪拌機構は、密閉容器内に収容される処理材料を保持するとともに、気体状態変更手段によって供給される気体によって回転する回転体である。   The sealed container according to the seventh invention is the sealed container according to the third or fourth invention, wherein the stirring mechanism holds the processing material accommodated in the sealed container and is supplied by the gas state changing means. It is a rotating body that rotates.

この密閉容器では、処理材料が保持された回転体の回転によって密閉容器内に気体の対流を発生させることができるとともに、処理材料と気体を積極的に接触させることができる。従って、処理材料と気体との間の熱交換を促進させることができる。   In this sealed container, gas convection can be generated in the sealed container by the rotation of the rotating body holding the processing material, and the processing material and the gas can be positively brought into contact with each other. Therefore, heat exchange between the processing material and the gas can be promoted.

の発明に係る密閉容器は、第1〜第の発明のいずれかに係る密閉容器において、密閉容器内に配置された複数の処理材料を仕切るとともに密閉容器の熱交換可能な部位に接続されたセパレータを備える。 An airtight container according to an eighth invention is the airtight container according to any one of the first to seventh inventions, and partitions a plurality of processing materials arranged in the airtight container and is connected to a heat exchangeable part of the airtight container. Provided with a separator.

この密閉容器では、セパレータを設けることで、各処理材料が互いに接触することを防止できるとともに、セパレータの熱を伝熱及び輻射によって処理材料に伝達することができる。   In this sealed container, by providing the separator, it is possible to prevent the processing materials from coming into contact with each other and to transmit the heat of the separator to the processing material by heat transfer and radiation.

の発明に係る密閉容器は、第の発明に係る密閉容器において、セパレータは、前記シャフト部の前記外周部に接続されている。 A sealed container according to a ninth aspect is the sealed container according to the eighth aspect , wherein the separator is connected to the outer peripheral portion of the shaft portion .

この密閉容器では、セパレータをシャフト部の外周部に接続することで、シャフト部の外周部の熱を熱伝導によってセパレータに直接伝達することができる。 In this sealed container, by connecting the separator to the outer peripheral portion of the shaft portion, the heat of the outer peripheral portion of the shaft portion can be directly transmitted to the separator by heat conduction.

第1の発明に係る密閉容器は、第または第の発明に係る密閉容器において、セパレータは、接続部を介して供給された気体が導入される内部空間と、内部空間に導入された気体を密閉容器内へ吹き出し可能な吹き出し孔とを備える。 Sealed container according to the invention of the first 0 is the sealed container according to the invention of the eighth or ninth, separator, and the internal space of the gas supplied through the connecting portion is introduced, it is introduced into the inner space And a blowout hole through which gas can be blown into the sealed container.

この密閉容器では、セパレータの内部空間に導入された気体が吹き出し孔から密閉容器内に吹き出すことで、セパレータと各処理材料との間に気体の衝突と対流を発生させることができる。従って、気体と各処理材料との間の熱交換を促進させることができる。   In this sealed container, gas introduced into the internal space of the separator is blown into the sealed container from the blowing hole, so that gas collision and convection can be generated between the separator and each processing material. Therefore, heat exchange between the gas and each processing material can be promoted.

第1の発明に係る密閉容器は、第1〜第1の発明のいずれかに係る密閉容器において、密閉容器の内部に外部から液体を供給する液体供給部を備える。 Sealed container according to the first aspect of the invention comprises in a sealed container according to any one of the first to 1 0 the invention, a liquid supply portion for supplying liquid from the outside into the closed vessel.

この密閉容器では、密閉容器の内部に外部から液体を供給する液体供給部を設けることで、密閉容器内の圧力を減圧したり密閉容器内を加熱したりすることによって密閉容器内を飽和状態で保つことができる。従って、試験対象となる処理材料を飽和蒸気に曝した状態で、吸湿性能試験や湿度試験等を行うことができる。   In this sealed container, by providing a liquid supply part for supplying liquid from the outside inside the sealed container, the inside of the sealed container is saturated by reducing the pressure in the sealed container or heating the inside of the sealed container. Can keep. Therefore, a moisture absorption performance test, a humidity test, etc. can be performed in the state which exposed the processing material used as a test subject to saturated steam.

第1の発明に係る乾燥処理装置は、第1〜第1の発明のいずれかに係る密閉容器を内部に配置可能な恒温室と、恒温室内の密閉容器を恒温室の外部へ搬送する搬送機構とを備え、恒温室は、密閉容器内の気体状態を変更するための気体状態変更手段と、密閉容器内の温度を調節するための温度調節手段とを有する。 Drying apparatus according to the first 2 of the invention, conveys a sealed container according to any one of the first to the first aspect of the invention and possible temperature-controlled room located within a closed container of a temperature-controlled room at a constant temperature room to the outside The temperature-controlled room has a gas state changing means for changing the gas state in the sealed container, and a temperature adjusting means for adjusting the temperature in the sealed container.

この乾燥処理装置では、恒温室内において乾燥処理が終了すると、密閉容器は恒温室の外部へと搬送される。従って、従来の乾燥処理装置のように、処理材料を恒温室の外部へ取り出すために、恒温室内を常圧に戻し、恒温室内の温度を降温させて恒温室の内部を冷却する必要がなく、恒温室の内部を高温に維持することができる。そのため、複数回の乾燥処理工程が連続して行われる場合でも、恒温室内の温度を高温に維持できることから、処理材料の乾燥処理工程に要する熱エネルギーを低減できる。   In this drying processing apparatus, when the drying process is completed in the temperature-controlled room, the sealed container is transported to the outside of the temperature-controlled room. Therefore, unlike the conventional drying treatment apparatus, in order to take the treatment material out of the temperature-controlled room, there is no need to return the temperature inside the temperature-controlled room to normal pressure, lower the temperature inside the temperature-controlled room, and cool the inside of the temperature-controlled room, The inside of the temperature-controlled room can be maintained at a high temperature. Therefore, even when a plurality of drying treatment steps are continuously performed, the temperature in the temperature-controlled room can be maintained at a high temperature, so that the heat energy required for the treatment material drying treatment step can be reduced.

第1実施形態に係る乾燥処理装置を示す側面図である。It is a side view which shows the drying processing apparatus which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る乾燥処理装置を示す上面図である。It is a top view which shows the drying processing apparatus which concerns on 1st Embodiment. 搬送パレットに載置された密閉容器の側断面視図である。It is a sectional side view of the sealed container placed on the transport pallet. 図3のA−A線の矢視断面図である。It is arrow sectional drawing of the AA line of FIG. 図3のB−B線の矢視断面図である。It is arrow directional cross-sectional view of the BB line of FIG. 搬送される密閉容器内の温度と圧力の変化を示している。The change of the temperature and pressure in the airtight container conveyed is shown. (a)は、搬送パレットに載置された密閉容器の側断面視図である。(b)は、(a)のE−E線の矢視断面図である。(A) is a sectional side view of the airtight container mounted on the conveyance pallet. (B) is an arrow directional cross-sectional view of the EE line of (a). (a)は、搬送パレットに載置された密閉容器の側断面視図である。(b)は、(a)のF−F線の矢視断面図である。(A) is a sectional side view of the airtight container mounted on the conveyance pallet. (B) is arrow sectional drawing of the FF line of (a). (a)は、搬送パレットに載置された密閉容器の側断面視図である。(b)は、(a)のG−G線の矢視断面図である。(A) is a sectional side view of the airtight container mounted on the conveyance pallet. (B) is sectional drawing of the GG line | wire of (a). (a)は、搬送パレットに載置された密閉容器の側断面視図である。(b)は、(a)のI−I線の矢視断面図である。(A) is a sectional side view of the airtight container mounted on the conveyance pallet. (B) is the arrow directional cross-sectional view of the II line | wire of (a). (a)は、搬送パレットに載置された密閉容器の外観斜視図である。(b)は、(a)において二点鎖線で囲まれた抵抗弁の内部構造を示した図である。(A) is an external appearance perspective view of the airtight container mounted in the conveyance pallet. (B) is the figure which showed the internal structure of the resistance valve enclosed with the dashed-two dotted line in (a). (a)は、図11(a)に示した搬送パレットに載置された密閉容器の側断面視図である。(b)は、(a)のC−C線の矢視断面図である。(A) is a sectional side view of the sealed container placed on the transport pallet shown in FIG. 11 (a). (B) is sectional drawing of the CC line of (a). (a)は、搬送パレットに載置された密閉容器の側断面視図である。(b)は、(a)のD−D線の矢視断面図である。(A) is a sectional side view of the airtight container mounted on the conveyance pallet. (B) is sectional drawing of the DD line | wire of (a). 搬送パレットに載置された密閉容器の側断面視図である。It is a sectional side view of the sealed container placed on the transport pallet. (a)は、図14のH−H線の矢視断面図である。(b)は、攪拌機構の動作説明図である。(A) is an arrow directional cross-sectional view of the HH line | wire of FIG. (B) is operation | movement explanatory drawing of a stirring mechanism. 搬送パレットに載置された密閉容器の側断面視図である。It is a sectional side view of the sealed container placed on the transport pallet. 図16のA−A線の矢視断面図である。It is arrow sectional drawing of the AA line of FIG. 図16のB−B線の矢視断面図である。It is arrow sectional drawing of the BB line | wire of FIG. (a)は、搬送パレットに載置された密閉容器の側断面視図である。(b)は、(a)のG−G線の矢視断面図である。(A) is a sectional side view of the airtight container mounted on the conveyance pallet. (B) is sectional drawing of the GG line | wire of (a). (a)は、密閉容器の側断面視図である。(b)は、(a)のI−I線の矢視断面図である。(A) is a sectional side view of an airtight container. (B) is the arrow directional cross-sectional view of the II line | wire of (a). (a)は、第2参考実施形態の変形例に係る密閉容器の側断面視図である。(b)は、攪拌機構の動作説明図である。(A) is a sectional side view of the airtight container which concerns on the modification of 2nd reference embodiment. (B) is operation | movement explanatory drawing of a stirring mechanism. (a)は、第1参考実施形態の変形例に係る密閉容器の側断面視図である。(b)は、(a)のI−I線の矢視断面図である。(A) is a sectional side view of the sealed container according to the modification of the first reference embodiment. (B) is the arrow directional cross-sectional view of the II line | wire of (a). 第1実施形態の変形例に係る密閉容器の側断面視図である。It is a sectional side view of the airtight container which concerns on the modification of 1st Embodiment. 図23のA−A線の矢視断面図である。It is arrow sectional drawing of the AA line of FIG. 図23のB−B線の矢視断面図である。It is arrow sectional drawing of the BB line of FIG.

(第1実施形態)
以下、図面に基づいて、本発明の第1実施形態に係る密閉容器及び乾燥処理装置について説明する。図1は、第1実施形態に係る乾燥処理装置を示す側面図である。図2は、第1実施形態に係る乾燥処理装置を示す上面図である。図1及び図2では、恒温室の内部が分かるように恒温室の部分を断面図で示している。図3は、搬送パレットに載置された密閉容器の側断面視図である。図4は、図3のA−A線の矢視断面図である。図5は、図3のB−B線の矢視断面図である。図6は、恒温室内に搬送された密閉容器内の温度と圧力の関係を示している。なお、図2では、図1に示した位置決めストッパ8a、17a〜17cの図示を省略している。
(First embodiment)
Hereinafter, based on the drawings, a sealed container and a drying treatment apparatus according to a first embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 is a side view showing a drying apparatus according to the first embodiment. FIG. 2 is a top view showing the drying apparatus according to the first embodiment. In FIG.1 and FIG.2, the part of a temperature-controlled room is shown with sectional drawing so that the inside of a temperature-controlled room can be understood. FIG. 3 is a side sectional view of the closed container placed on the transport pallet. FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. FIG. 6 shows the relationship between the temperature and pressure in the sealed container conveyed in the temperature-controlled room. In FIG. 2, the illustration of the positioning stoppers 8a and 17a to 17c shown in FIG. 1 is omitted.

<乾燥処理装置>
図1及び図2に示されるように、乾燥処理装置100は、搬入機構1、恒温室2及び冷却機構3を有している。搬入機構1、恒温室2及び冷却機構3は、処理材料6を内部に収容した密閉容器5の搬送方向(X方向)に沿って上流側から下流側に向けて順次配置されており、密閉容器5は、搬送パレット7に載置された状態で、搬入機構1、恒温室2及び冷却機構3の順番に搬送される。本発明で用いられる処理材料6は、例えばリチウムイオンバッテリー(LiB)の電極材であり、ロール形状を有している。
<Dry processing equipment>
As shown in FIGS. 1 and 2, the drying apparatus 100 includes a carry-in mechanism 1, a temperature-controlled room 2, and a cooling mechanism 3. The carry-in mechanism 1, the temperature-controlled room 2, and the cooling mechanism 3 are sequentially arranged from the upstream side to the downstream side along the transport direction (X direction) of the sealed container 5 containing the processing material 6 therein. 5 is transported in the order of the carry-in mechanism 1, the temperature-controlled room 2, and the cooling mechanism 3 while being placed on the transport pallet 7. The treatment material 6 used in the present invention is, for example, an electrode material of a lithium ion battery (LiB) and has a roll shape.

<搬入機構>
図1に示されるように、搬入機構1は、密閉容器5が載置された搬送パレット7を常温に維持した状態で恒温室2に搬送するものである。搬入機構1は、密閉容器5が載置された搬送パレット7をフリーフロー搬送可能なチェーン8と、チェーン8と噛み合う4つのスプロケット10を有している。そして、各スプロケット10を回転駆動させることにより、各スプロケット10に噛み合うチェーン8を任意の速度で移動させることができる。これにより、搬入機構1は、密閉容器5が載置された搬送パレット7をX方向に移動させることにより、密閉容器5が載置された搬送パレット7を恒温室2に搬送することができる。なお、搬入機構には、密閉容器5が載置された搬送パレット7の位置決めストッパ8aが設けられている。
<Import mechanism>
As shown in FIG. 1, the carry-in mechanism 1 conveys the conveyance pallet 7 on which the sealed container 5 is placed to the temperature-controlled room 2 while maintaining the room temperature. The carry-in mechanism 1 includes a chain 8 capable of free-flow conveyance of the conveyance pallet 7 on which the sealed container 5 is placed, and four sprockets 10 that mesh with the chain 8. Then, by rotating each sprocket 10, the chain 8 meshing with each sprocket 10 can be moved at an arbitrary speed. Thereby, the carrying-in mechanism 1 can convey the conveyance pallet 7 in which the airtight container 5 was mounted to the temperature-controlled room 2 by moving the conveyance pallet 7 in which the airtight container 5 was mounted in the X direction. The carry-in mechanism is provided with a positioning stopper 8a for the transport pallet 7 on which the sealed container 5 is placed.

<恒温室>
恒温室2は、その内部が所定温度に維持されることで、密閉容器5内の処理材料6の乾燥処理を行うことができる。また、この恒温室2内に配置された密閉容器5内の真空引きや窒素置換を行うことができる。
<Constant temperature room>
The temperature-controlled room 2 can perform the drying process of the processing material 6 in the airtight container 5 by maintaining the inside at a predetermined temperature. In addition, evacuation or nitrogen replacement in the sealed container 5 disposed in the temperature-controlled room 2 can be performed.

図1に示されるように、恒温室2の左側及び右側には、それぞれ、密閉容器5が載置された搬送パレット7の搬入出用の開口部22、23が形成されている。各開口部22、23には、各開口部22、23を開閉するための断熱シャッタ26、27が設けられており、これらのシャッタ26、27は、Y方向に延びるように形成されたシャッタ収納部28、29の内部にそれぞれ収納可能とされる。このシャッタ収納部28、29には、断熱シャッタ26、27を昇降させるための昇降機構(図示せず)が収納されている。そして、密閉容器5が載置された搬送パレット7の搬出入時以外は、開口部22、23は断熱シャッタ26、27によって閉鎖されることで、恒温室2の内部が高温雰囲気下に保たれている。   As shown in FIG. 1, openings 22 and 23 for carrying in and out of the transport pallet 7 on which the sealed container 5 is placed are formed on the left and right sides of the temperature-controlled room 2, respectively. The openings 22 and 23 are provided with heat insulating shutters 26 and 27 for opening and closing the openings 22 and 23, respectively. These shutters 26 and 27 are shutter housings formed so as to extend in the Y direction. Each of the units 28 and 29 can be stored. In the shutter accommodating portions 28 and 29, an elevating mechanism (not shown) for elevating and lowering the heat insulating shutters 26 and 27 is accommodated. The openings 22 and 23 are closed by the heat insulating shutters 26 and 27 except when the transport pallet 7 on which the sealed container 5 is placed is carried in and out, so that the inside of the temperature-controlled room 2 is kept in a high temperature atmosphere. ing.

図1に示されるように、恒温室2内には、恒温室2内の空気を加熱するためのヒータ45と、恒温室2内に気流を起こすための送風手段46と、恒温室2内に外気を導入する冷却手段47とが配置されている。従って、恒温室2内は、ヒータ45、送風手段46及び冷却手段47を用いて所定の温度に維持可能である。本実施形態では、ヒータ45、送風手段46及び冷却手段47で、温度調節手段が構成される。   As shown in FIG. 1, in the temperature-controlled room 2, a heater 45 for heating the air in the temperature-controlled room 2, a blower means 46 for generating an air flow in the temperature-controlled room 2, Cooling means 47 for introducing outside air is arranged. Therefore, the inside of the temperature-controlled room 2 can be maintained at a predetermined temperature using the heater 45, the air blowing means 46, and the cooling means 47. In the present embodiment, the heater 45, the air blowing means 46, and the cooling means 47 constitute a temperature adjusting means.

図1に示されるように、恒温室2の上側には、第1接続装置12、第2接続装置13及び第3接続装置14がX方向に沿って上流側から下流側に向けて順次配置されている。また、恒温室2は、密閉容器5の内部が窒素ガス(N)で加圧されるように変更可能な窒素ガス置換ユニット15と、密閉容器5の内部が真空状態になるように変更可能な真空引きユニット16を有している。また、第1接続装置12〜第3接続装置14は、窒素ガス置換ユニット15にも真空引きユニット16にも接続されている。 As shown in FIG. 1, the first connection device 12, the second connection device 13, and the third connection device 14 are sequentially arranged on the upper side of the temperature-controlled room 2 from the upstream side to the downstream side along the X direction. ing. Further, the temperature-controlled room 2 can be changed so that the inside of the sealed container 5 can be changed to be pressurized with nitrogen gas (N 2 ) and the inside of the sealed container 5 can be in a vacuum state. A vacuum evacuation unit 16 is provided. The first connecting device 12 to the third connecting device 14 are connected to both the nitrogen gas replacement unit 15 and the vacuuming unit 16.

図1に示されるように、上流側から下流側の第1真空ポジションP1〜第3真空ポジションP3に配置された第1接続装置12〜第3接続装置14の恒温室2内に連通する各先端部には、Y方向に移動可能な第1耐熱カプラー12a〜第3耐熱カプラー14aが設けられている。各耐熱カプラー12a〜14aは、各真空ポジションP1〜P3に配置された密閉容器5の耐熱カプラー44と着脱可能である。本実施形態では、第1接続装置12、第2接続装置13及び第3接続装置14のいずれかと、窒素ガス置換ユニット15または真空引きユニット16とで、気体状態変更手段が構成される。   As FIG. 1 shows, each front-end | tip connected to the inside of the temperature-controlled room 2 of the 1st connection device 12-the 3rd connection device 14 arrange | positioned from the 1st vacuum position P1 to the 3rd vacuum position P3 from the upstream to the downstream. The part is provided with a first heat-resistant coupler 12a to a third heat-resistant coupler 14a that are movable in the Y direction. Each of the heat-resistant couplers 12a to 14a is detachable from the heat-resistant coupler 44 of the sealed container 5 disposed at each of the vacuum positions P1 to P3. In the present embodiment, any one of the first connection device 12, the second connection device 13, and the third connection device 14 and the nitrogen gas replacement unit 15 or the evacuation unit 16 constitute a gas state changing unit.

(搬送機構)
図1に示されるように、恒温室2は、密閉容器5が載置された搬送パレット7を搬送可能なチェーン17と、チェーン17と噛み合う6つのスプロケット19を有している。そして、各スプロケット19を回転駆動させることにより、各スプロケット19に接するチェーン17を任意の速度で移動させることができる。これにより、恒温室2は、密閉容器5が載置された搬送パレット7をX方向に移動させることにより、密閉容器5が載置された搬送パレット7を冷却機構3に搬送することができる。なお、チェーン17及び各スプロケット19は、高温加熱に適するものであれば、任意の材料を用いることができる。本実施形態では、チェーン17及びスプロケット19で、搬送機構が構成される。
(Transport mechanism)
As shown in FIG. 1, the temperature-controlled room 2 includes a chain 17 capable of transporting the transport pallet 7 on which the sealed container 5 is placed, and six sprockets 19 that mesh with the chain 17. Then, by rotating each sprocket 19, the chain 17 in contact with each sprocket 19 can be moved at an arbitrary speed. Thus, the temperature-controlled room 2 can transport the transport pallet 7 on which the sealed container 5 is placed to the cooling mechanism 3 by moving the transport pallet 7 on which the sealed container 5 is placed in the X direction. The chain 17 and each sprocket 19 can be made of any material as long as it is suitable for high temperature heating. In this embodiment, the chain 17 and the sprocket 19 constitute a transport mechanism.

なお、チェーン17には、空回り機構であるフリーフローコンベア用のローラーチェーンが使用されており、各真空ポジションP1〜P3に相当する搬送ラインには、位置決めストッパ17a〜17cが設けられている。これにより、フリーフローコンベア上で、密閉容器5が載置された搬送パレット7の位置決めを行うことができる。また、各耐熱カプラー12a、13a、14a側にも、位置決め精度(寸法公差)を吸収できるフローティング機構が設けられており、密閉容器5の耐熱カプラー44と無理なくドッキングできるように構成されている。なお、寸法公差は、例えば、±1〜2mm程度に設定することができる。   The chain 17 is a roller chain for a free flow conveyor, which is an idling mechanism, and positioning stoppers 17a to 17c are provided on the conveyance lines corresponding to the vacuum positions P1 to P3. Thereby, positioning of the conveyance pallet 7 in which the airtight container 5 was mounted can be performed on a free flow conveyor. In addition, a floating mechanism capable of absorbing positioning accuracy (dimensional tolerance) is also provided on each heat-resistant coupler 12a, 13a, 14a side, and is configured so that it can be easily docked with the heat-resistant coupler 44 of the sealed container 5. The dimensional tolerance can be set to about ± 1 to 2 mm, for example.

<冷却機構>
冷却機構3は、恒温室2から外部に搬送された密閉容器5に冷却ファンから冷風を吹き付けて冷却するためのものである。図1に示されるように、冷却機構3は、密閉容器5が載置された搬送パレット7を搬送可能なチェーン30と、チェーン30と噛み合う4つのスプロケット32と、密閉容器5に向けて冷風を吹き出す冷却ファン(図示省略)と、その駆動機構等で構成されている。そして、各スプロケット32を回転駆動させることにより、各スプロケット32に噛み合うチェーン30を任意の速度で移動させることができる。これにより、冷却機構3は、密閉容器5が載置された搬送パレット7をX方向に移動させるとともに、密閉容器5がチェーン30上で冷却ファンからの冷風を浴びることにより、密閉容器5内に収容された処理材料6が冷却される。
<Cooling mechanism>
The cooling mechanism 3 is for cooling the sealed container 5 conveyed from the temperature-controlled room 2 by blowing cold air from a cooling fan. As shown in FIG. 1, the cooling mechanism 3 includes a chain 30 that can transport the transport pallet 7 on which the sealed container 5 is placed, four sprockets 32 that mesh with the chain 30, and cool air toward the sealed container 5. It consists of a cooling fan (not shown) that blows out and its drive mechanism. Then, by rotating each sprocket 32, the chain 30 meshing with each sprocket 32 can be moved at an arbitrary speed. As a result, the cooling mechanism 3 moves the transport pallet 7 on which the sealed container 5 is placed in the X direction, and the sealed container 5 receives cold air from the cooling fan on the chain 30, thereby bringing the sealed pallet 5 into the sealed container 5. The accommodated processing material 6 is cooled.

<密閉容器>
図3〜図5に示されるように、密閉容器5は、処理材料6の乾燥に適した雰囲気環境を形成するためのものである。より具体的には、密閉容器5内が、窒素ガスで充たされたり、真空状態で維持されたり、密閉容器5内の温度が常温または高温で維持されたりする。
<Sealed container>
As shown in FIGS. 3 to 5, the sealed container 5 is for forming an atmospheric environment suitable for drying the treatment material 6. More specifically, the inside of the sealed container 5 is filled with nitrogen gas, maintained in a vacuum state, or the temperature in the sealed container 5 is maintained at room temperature or high temperature.

図3に示されるように、密閉容器5は、処理材料6がZ方向に沿って収納される筒状部34と、この筒状部34の前面側及び背面側にそれぞれ設けられた一対の蓋部35、36とを有している。そして、筒状部34と、蓋部35、36の内側と、後述するシャフト部37の外周部37bの外側に、密閉空間が形成されている。   As shown in FIG. 3, the sealed container 5 includes a cylindrical portion 34 in which the processing material 6 is stored along the Z direction, and a pair of lids provided on the front side and the back side of the cylindrical portion 34, respectively. Parts 35 and 36. And the sealed space is formed in the cylindrical part 34, the inner side of the cover parts 35 and 36, and the outer side 37b of the shaft part 37 mentioned later.

また、密閉容器5は、筒状部34の内部に設けられたシャフト部(保持部材)37と、このシャフト部37の前面側及び背面側において蓋部35、36をそれぞれ締結するための一対の締結部材38、39とを有している。また、密閉容器5は、シャフト部37の前面側端部及び背面側端部にそれぞれ設けられた一対のサポート板40、41と、各サポート板40、41を支持するための台座42と、各処理材料6を互いに隔離するように配置された各セパレータ43と、密閉容器5の頂部に設置された耐熱カプラー(接続部)44とを有している。なお、シャフト部37、サポート板40、41、台座42及び各セパレータ43は、高温加熱に適するものであれば、任意の材料を用いることができる。   The sealed container 5 includes a shaft portion (holding member) 37 provided inside the cylindrical portion 34 and a pair of lid portions 35 and 36 for fastening the lid portions 35 and 36 on the front side and the back side of the shaft portion 37, respectively. Fastening members 38 and 39 are provided. The sealed container 5 includes a pair of support plates 40 and 41 provided at the front side end and the back side end of the shaft portion 37, a pedestal 42 for supporting the support plates 40 and 41, and Each separator 43 is disposed so as to isolate the processing material 6 from each other, and a heat-resistant coupler (connecting portion) 44 installed at the top of the sealed container 5. In addition, as long as the shaft part 37, the support plates 40 and 41, the base 42, and each separator 43 are suitable for high temperature heating, arbitrary materials can be used.

図3〜図5に示されるように、シャフト部37は、略円筒状に形成されており、内部空間(気体通路)37aと、各処理材料6と各セパレータ43とが所定の間隔をおいて交互に介挿された外周部37bとを有している。シャフト部37の内部空間37aは、密閉容器5が恒温室2内に搬送されたときに、図3中の矢印で示す方向に恒温室2内の高温空気が通過可能となっている。このとき、高温空気からの熱伝達(熱輻射)によってシャフト部37の外周部37bが加熱され、加熱された外周部37bからの熱伝導によって各セパレータ43が加熱される。そして、加熱された各セパレータ43からの熱輻射によって各処理材料6が加熱される。つまり、本実施形態では、内部空間37a内を流れる高温の空気を利用して、外周部37bから各処理材料6に至るまでの熱の伝導経路が形成されている。   As shown in FIGS. 3 to 5, the shaft portion 37 is formed in a substantially cylindrical shape, and the internal space (gas passage) 37 a, each processing material 6, and each separator 43 are spaced at a predetermined interval. It has the outer peripheral part 37b inserted by turns. When the sealed container 5 is transported into the temperature-controlled room 2, the internal space 37a of the shaft part 37 allows high-temperature air in the temperature-controlled room 2 to pass in the direction indicated by the arrow in FIG. At this time, the outer peripheral portion 37b of the shaft portion 37 is heated by heat transfer (thermal radiation) from high-temperature air, and each separator 43 is heated by heat conduction from the heated outer peripheral portion 37b. Then, each processing material 6 is heated by heat radiation from each heated separator 43. That is, in this embodiment, a heat conduction path from the outer peripheral portion 37b to each processing material 6 is formed using high-temperature air flowing in the internal space 37a.

また、処理材料6の乾燥処理工程において、各セパレータ43に輻射を促進するための材料を貼付又は塗布しておくことが好ましい。この促進材料の具体例には、熱伝導及び熱輻射がともに優れた窒化アルミニウム及び炭化珪素等や、熱放射には優れるが、熱伝導率は低いジルコニア、アルミナ及びシリカ等を挙げることができる。   Further, in the drying treatment process of the treatment material 6, it is preferable to paste or apply a material for promoting radiation to each separator 43. Specific examples of the accelerating material include aluminum nitride and silicon carbide which are excellent in both heat conduction and heat radiation, and zirconia, alumina and silica which are excellent in heat radiation but have low heat conductivity.

耐熱カプラー44は、窒素ガス置換ユニット15及び真空引きユニット16のいずれかと接続可能であって、窒素ガス置換ユニット15と接続されることによって密閉容器5の内部が窒素ガス(N)で加圧されるように変更可能であるとともに、真空引きユニット16と接続されることによって密閉容器5の内部が真空状態になるように変更可能となっている。図3に示されるように、耐熱カプラー44の上端には、自在継手を使用した接続部44aが設けられている。この接続部44aは、第1接続装置12〜第3接続装置14の恒温室2内に連通する各先端部に設けられた第1耐熱カプラー12a〜第3耐熱カプラー14aのいずれかと着脱可能であって、各耐熱カプラー12a〜14aのいずれかと接続されたときに開くとともに、この接続状態が解除されたときに閉じる構造となっている。 The heat-resistant coupler 44 can be connected to either the nitrogen gas replacement unit 15 or the vacuuming unit 16, and the inside of the sealed container 5 is pressurized with nitrogen gas (N 2 ) by being connected to the nitrogen gas replacement unit 15. It is possible to change so that the inside of the sealed container 5 is in a vacuum state by being connected to the vacuuming unit 16. As shown in FIG. 3, a connection portion 44 a using a universal joint is provided at the upper end of the heat-resistant coupler 44. The connecting portion 44a is detachable from any one of the first heat-resistant coupler 12a to the third heat-resistant coupler 14a provided at each tip portion communicating with the inside of the temperature-controlled room 2 of the first connecting device 12 to the third connecting device 14. Thus, it opens when connected to any one of the heat-resistant couplers 12a to 14a, and closes when this connected state is released.

<乾燥処理工程>
以下では、本実施形態の乾燥処理装置における処理材料6の乾燥処理工程について、図6を参照しつつ説明する。図6は、搬送される密閉容器内の温度と圧力の変化を示している。この処理工程は、以下に示す搬入工程、乾燥工程及び冷却工程からなる。また、この処理工程では、恒温室2の内部が150℃で保たれており、冷却機構3は、密閉容器5に冷風を吹き付け可能な状態にセットされている。
<Drying process>
Below, the drying process process of the processing material 6 in the drying processing apparatus of this embodiment is demonstrated, referring FIG. FIG. 6 shows changes in temperature and pressure in the sealed container to be conveyed. This treatment process includes a carry-in process, a drying process, and a cooling process described below. Further, in this processing step, the inside of the temperature-controlled room 2 is kept at 150 ° C., and the cooling mechanism 3 is set in a state where cold air can be blown onto the sealed container 5.

また、各処理材料6は、シャフト部37の外周部37bに介挿された状態で密閉容器5内に配置されており、シャフト部37に各蓋部35、36を締結することによって、密閉容器5の内部に密閉空間が形成されている。   In addition, each processing material 6 is disposed in the sealed container 5 in a state of being inserted into the outer peripheral portion 37 b of the shaft portion 37, and by closing the lid portions 35 and 36 on the shaft portion 37, the sealed container 5 is disposed. A sealed space is formed inside 5.

また、この乾燥処理工程では、所定時間Tfが経過するたびに、密閉容器5の搬送が開始される。従って、この所定時間Tfには、搬送が開始された後で次のポジションに移動する移動時間と、移動先のポジションで停止している時間が含まれる。なお、この所定時間Tfは、処理材料6の乾燥に必要な時間を考慮して変更してもよい。   Further, in this drying process, the transport of the sealed container 5 is started every time the predetermined time Tf elapses. Therefore, the predetermined time Tf includes a movement time for moving to the next position after the conveyance is started and a time for stopping at the movement destination position. The predetermined time Tf may be changed in consideration of the time required for drying the treatment material 6.

(搬入工程)
まず、この搬入工程では、時刻t0において、搬入機構1によって、密閉容器5が載置された搬送パレット7の搬送が開始され、密閉容器5が載置された搬送パレット7が150℃に保たれた恒温室2の内部に搬入される。
(Import process)
First, in this carry-in process, at time t0, the carry-in mechanism 1 starts carrying the transport pallet 7 on which the sealed container 5 is placed, and the transport pallet 7 on which the sealed container 5 is placed is maintained at 150 ° C. It is carried into the constant temperature room 2.

(乾燥工程)
次に、この乾燥工程では、時刻t1において、恒温室2の内部に搬入された密閉容器5が載置された搬送パレット7は、位置決めストッパ17aによって第1真空ポジションP1で停止するとともに、密閉容器5の接続部44aが第1耐熱カプラー12aに接続される。そして、第1耐熱カプラー12aを介して、密閉容器5の耐熱カプラー44と、真空引きユニット16とが接続され、密閉容器5内の圧力が0気圧になるまで真空引きユニット16による真空引きが行われる。
(Drying process)
Next, in this drying process, at time t1, the transport pallet 7 on which the sealed container 5 carried into the temperature-controlled room 2 is placed is stopped at the first vacuum position P1 by the positioning stopper 17a, and the sealed container 5 connecting portions 44a are connected to the first heat-resistant coupler 12a. The heat-resistant coupler 44 of the sealed container 5 and the vacuuming unit 16 are connected via the first heat-resistant coupler 12a, and vacuuming by the vacuuming unit 16 is performed until the pressure in the sealed container 5 becomes 0 atm. Is called.

そして、真空引きが行われた後で、第1耐熱カプラー12aを介して、密閉容器5の耐熱カプラー44と、窒素ガス置換ユニット15とが接続され、窒素ガス置換ユニット15から密閉容器5内部に1気圧の窒素ガスが供給される。この窒素ガスの供給は、密閉容器5内の温度が常温から150℃に昇温する前に行われる。そして、時刻t0から所定時間Tfが経過した時刻t2において、密閉容器5の接続部44aと第1耐熱カプラー12aとの接続状態が解除され、密閉容器5が載置された搬送パレット7の搬送が開始される。   After the evacuation, the heat-resistant coupler 44 of the sealed container 5 and the nitrogen gas replacement unit 15 are connected via the first heat-resistant coupler 12a, and the nitrogen gas replacement unit 15 enters the sealed container 5 inside. Nitrogen gas at 1 atm is supplied. This supply of nitrogen gas is performed before the temperature in the sealed container 5 is raised from room temperature to 150 ° C. At time t2 when a predetermined time Tf has elapsed from time t0, the connection state between the connection portion 44a of the sealed container 5 and the first heat-resistant coupler 12a is released, and the transport of the transport pallet 7 on which the sealed container 5 is placed is carried. Be started.

そして、時刻t3において、密閉容器5が載置された搬送パレット7は、位置決めストッパ17bによって第2真空ポジションP2で停止するとともに、密閉容器5の接続部44aが第2耐熱カプラー13aに接続される。この時刻t3において、密閉容器5内の温度は150℃に到達している。そして、第2耐熱カプラー13aを介して、密閉容器5の耐熱カプラー44と、真空引きユニット16とが接続され、密閉容器5内の圧力が0気圧になるまで真空引きユニット16による真空引きが行われる。そして、真空引きが行われた後で、第2耐熱カプラー13aを介して、密閉容器5の耐熱カプラー44と、窒素ガス置換ユニット15とが接続され、第2耐熱カプラー13aを介して、窒素ガス置換ユニット15から密閉容器5内部に2気圧の窒素ガスが供給される。そして、時刻t2から所定時間Tfが経過した時刻t4において、密閉容器5の接続部44aと第2耐熱カプラー13aとの接続状態が解除されて、密閉容器5が載置された搬送パレット7の搬送が開始される。   At time t3, the transport pallet 7 on which the sealed container 5 is placed is stopped at the second vacuum position P2 by the positioning stopper 17b, and the connection portion 44a of the sealed container 5 is connected to the second heat-resistant coupler 13a. . At this time t3, the temperature in the sealed container 5 has reached 150 ° C. The heat-resistant coupler 44 of the sealed container 5 and the vacuuming unit 16 are connected via the second heat-resistant coupler 13a, and vacuuming by the vacuuming unit 16 is performed until the pressure in the sealed container 5 becomes 0 atm. Is called. After the evacuation, the heat-resistant coupler 44 of the sealed container 5 and the nitrogen gas replacement unit 15 are connected via the second heat-resistant coupler 13a, and the nitrogen gas is connected via the second heat-resistant coupler 13a. Nitrogen gas of 2 atm is supplied from the replacement unit 15 into the sealed container 5. Then, at time t4 when a predetermined time Tf has elapsed from time t2, the connection state between the connection portion 44a of the sealed container 5 and the second heat-resistant coupler 13a is released, and the transport of the transport pallet 7 on which the sealed container 5 is placed is transported. Is started.

そして、時刻t5において、密閉容器5が載置された搬送パレット7は、位置決めストッパ17cによって第3真空ポジションP3で停止するとともに、密閉容器5の接続部44aが第3耐熱カプラー14aに接続される。そして、第3耐熱カプラー14aを介して、密閉容器5の耐熱カプラー44と、真空引きユニット16とが接続され、密閉容器5内の圧力が0気圧になるまで真空引きユニット16による真空引きが行われる。そして、真空引きが行われた後で、第3耐熱カプラー14aを介して、密閉容器5の耐熱カプラー44と、窒素ガス置換ユニット15とが接続され、第3耐熱カプラー14aを介して、窒素ガス置換ユニット15から密閉容器5内部に1気圧の窒素ガスが供給される。そして、時刻t4から所定時間Tfが経過した時刻t6において、密閉容器5の接続部44aと第3耐熱カプラー14aとの接続状態が解除されて、密閉容器5が載置された搬送パレット7の搬送が開始される。   At time t5, the transport pallet 7 on which the sealed container 5 is placed is stopped at the third vacuum position P3 by the positioning stopper 17c, and the connection portion 44a of the sealed container 5 is connected to the third heat-resistant coupler 14a. . The heat-resistant coupler 44 of the sealed container 5 and the vacuuming unit 16 are connected via the third heat-resistant coupler 14a, and vacuuming by the vacuuming unit 16 is performed until the pressure in the sealed container 5 becomes 0 atm. Is called. After vacuuming, the heat-resistant coupler 44 of the sealed container 5 and the nitrogen gas replacement unit 15 are connected via the third heat-resistant coupler 14a, and nitrogen gas is connected via the third heat-resistant coupler 14a. Nitrogen gas at 1 atm is supplied from the replacement unit 15 into the sealed container 5. Then, at time t6 when a predetermined time Tf has elapsed from time t4, the connection state between the connection portion 44a of the sealed container 5 and the third heat-resistant coupler 14a is released, and the transport of the transport pallet 7 on which the sealed container 5 is placed is transported. Is started.

なお、本実施形態では、時刻t1〜t2において密閉容器5が第1真空ポジションP1で停止している停止時間Δt1、時刻t3〜t4において密閉容器5が第2真空ポジションP2で停止している停止時間Δt2、時刻t5〜t6において密閉容器5が第3真空ポジションP3で停止している停止時間Δt3は、いずれも、処理材料6の乾燥に必要な時間よりも短い。この乾燥工程では、密閉容器5が各真空ポジションP1〜P3で停止している停止時間Δt1〜Δt3の合計で、処理材料6の乾燥に必要な時間が確保されており、処理材料6を十分に乾燥させることができる。   In the present embodiment, the stop time Δt1 when the sealed container 5 is stopped at the first vacuum position P1 from time t1 to t2, and the stop when the sealed container 5 is stopped at the second vacuum position P2 at times t3 to t4. The stop time Δt3 during which the closed container 5 is stopped at the third vacuum position P3 at the time Δt2 and the times t5 to t6 is shorter than the time required for drying the treatment material 6. In this drying process, the time required for drying the processing material 6 is secured by the sum of the stop times Δt1 to Δt3 in which the sealed container 5 is stopped at the respective vacuum positions P1 to P3. Can be dried.

(冷却工程)
最後に、この冷却工程では、時刻t7において冷却機構3に搬送された密閉容器5に対して、冷却ファンから冷風が吹き付けられ、密閉容器5内の処理材料6が常温に達するまで冷却される。
(Cooling process)
Finally, in this cooling step, cold air is blown from the cooling fan to the sealed container 5 conveyed to the cooling mechanism 3 at time t7, and the processing material 6 in the sealed container 5 is cooled until it reaches room temperature.

[第1実施形態の密閉容器及び乾燥処理装置の特徴]
以上、本実施形態の密閉容器5では、密閉容器5単位で気体状態を変更するものであるため、密閉容器5を小さくできる。よって、処理材料6が収容される密閉容器5を比較的薄い板厚の材料を用いて製作できる。従って、恒温室内の全体の気体状態を変更する従来の乾燥処理装置と比べて、気体の消費量や、気体状態の変更に要するエネルギーを低減できる。
[Characteristics of the sealed container and the drying apparatus of the first embodiment]
As mentioned above, in the airtight container 5 of this embodiment, since the gas state is changed in units of the airtight container 5, the airtight container 5 can be made small. Therefore, the sealed container 5 in which the treatment material 6 is accommodated can be manufactured using a relatively thin plate material. Therefore, compared with the conventional drying processing apparatus which changes the whole gas state in a temperature-controlled room, the amount of gas consumption and the energy required for the change of a gas state can be reduced.

また、本実施形態の密閉容器5では、3つの密閉容器5が1つの恒温室2に配置されるので、3つの密閉容器5内の気体状態を互いに異なる状態にできることから、密閉容器5のそれぞれにおいて、処理材料の異なる処理や試験等に用いることができる。   Further, in the sealed container 5 of the present embodiment, since the three sealed containers 5 are arranged in one temperature-controlled room 2, the gas states in the three sealed containers 5 can be made different from each other. Can be used for different treatments and tests of treatment materials.

また、本実施形態の密閉容器5では、シャフト部37の内部空間37a内を流れる高温の空気を利用して、外周部37bから各処理材料6に至るまでの熱の伝導経路を形成することができる。従って、各処理材料6を効率良く乾燥させることができる。   In the sealed container 5 of the present embodiment, a heat conduction path from the outer peripheral portion 37 b to each processing material 6 can be formed using high-temperature air flowing in the internal space 37 a of the shaft portion 37. it can. Therefore, each processing material 6 can be efficiently dried.

また、本実施形態の密閉容器5では、セパレータ43をシャフト部37の外周部に介挿させることで、シャフト部37の熱を熱伝導によってセパレータ43に直接伝達することができる。そして、このセパレータ43の熱を輻射によって処理材料6に伝達できる。従って、各処理材料6を効率良く乾燥させることができる。   Moreover, in the sealed container 5 of this embodiment, the heat of the shaft part 37 can be directly transmitted to the separator 43 by heat conduction by inserting the separator 43 in the outer peripheral part of the shaft part 37. And the heat of this separator 43 can be transmitted to the processing material 6 by radiation. Therefore, each processing material 6 can be efficiently dried.

また、本実施形態の乾燥処理装置100では、恒温室2内において乾燥処理が終了すると、密閉容器5は恒温室2の外部へと搬送される。従って、従来の乾燥処理装置のように、処理材料6を恒温室2の外部へ取り出すために恒温室2の内部を冷却する必要がなく、恒温室2の内部を高温に維持することができる。そのため、複数回の乾燥処理工程が連続して行われる場合でも、恒温室2内の温度を高温に維持できることから、処理材料6の乾燥処理工程に要する熱エネルギーを低減できる。   Further, in the drying processing apparatus 100 of the present embodiment, when the drying process is completed in the temperature-controlled room 2, the sealed container 5 is transported to the outside of the temperature-controlled room 2. Therefore, unlike the conventional drying processing apparatus, it is not necessary to cool the inside of the temperature-controlled room 2 in order to take out the processing material 6 to the outside of the temperature-controlled room 2, and the inside of the temperature-controlled room 2 can be maintained at a high temperature. Therefore, even when a plurality of drying treatment steps are continuously performed, the temperature in the temperature-controlled room 2 can be maintained at a high temperature, so that the heat energy required for the drying treatment step of the treatment material 6 can be reduced.

また、本実施形態の乾燥処理装置100では、処理材料6の乾燥処理工程において、密閉容器5が各真空ポジションP1〜P3で停止している停止時間Δt1〜Δt3のそれぞれは、処理材料6の乾燥に必要な時間よりも短いが、停止時間Δt1〜Δt3の合計で処理材料6の乾燥に必要な時間が確保されるので、処理材料6を十分に乾燥させることができる。   Moreover, in the drying processing apparatus 100 of this embodiment, in the drying processing process of the processing material 6, each of the stop time (DELTA) t1- (DELTA) t3 when the airtight container 5 has stopped at each vacuum position P1-P3 is drying of the processing material 6. However, since the time required for drying the treatment material 6 is ensured by the sum of the stop times Δt1 to Δt3, the treatment material 6 can be sufficiently dried.

また、本実施形態の乾燥処理装置100では、処理材料6の乾燥処理工程において、処理材料6が乾燥中に密閉容器5内に揮発分を生じさせるような材料であっても、第1真空ポジションP1において真空引きによって密閉容器5内から揮発分を抜き出すことができるとともに、引き続いて、第2真空ポジションP2や第3真空ポジションP3においても真空引きによって密閉容器5内から揮発分を抜き出すことができるので、密閉容器5内に揮発分が発生することによる密閉容器5内の圧力上昇を確実に防止し、所定の圧力状態(例えば、真空状態)に維持できる。   Further, in the drying processing apparatus 100 of the present embodiment, in the drying processing step of the processing material 6, even if the processing material 6 is a material that generates volatile matter in the sealed container 5 during drying, the first vacuum position. Volatile components can be extracted from the sealed container 5 by evacuation at P1, and subsequently, volatile components can be extracted from the sealed container 5 by evacuation also at the second vacuum position P2 and the third vacuum position P3. Therefore, it is possible to reliably prevent an increase in pressure in the sealed container 5 due to generation of volatile matter in the sealed container 5 and maintain a predetermined pressure state (for example, a vacuum state).

また、本実施形態の乾燥処理装置100では、処理材料6の乾燥処理工程において、密閉容器5を第1真空ポジションP1から第3真空ポジションP3に向けて搬送しながら、密閉容器5内の圧力を変化させることができる。従って、処理材料6の圧力変化による耐久性の試験を行うことができる。また、処理材料6に含まれる蒸気分圧の異なる材料成分を、蒸発の順番を制御しながら蒸発させることができる。さらに、第1真空ポジションP1で水分が多量に蒸発することで、蒸発潜熱が奪われるために処理材料6の温度が低下する場合がある。この場合、温度の低下を早期に回復させるために密閉容器5内を加圧することで、密閉容器5内における気体密度を増加させることができるので、処理材料6に吸収される熱量を増加できる。   Moreover, in the drying processing apparatus 100 of this embodiment, in the drying process of the processing material 6, the pressure in the sealed container 5 is increased while the sealed container 5 is transported from the first vacuum position P1 to the third vacuum position P3. Can be changed. Therefore, it is possible to perform a durability test by changing the pressure of the treatment material 6. Further, the material components having different vapor partial pressures contained in the treatment material 6 can be evaporated while controlling the order of evaporation. In addition, since a large amount of water evaporates at the first vacuum position P <b> 1, the latent heat of vaporization is lost, and thus the temperature of the processing material 6 may decrease. In this case, since the gas density in the sealed container 5 can be increased by pressurizing the inside of the sealed container 5 in order to recover the temperature drop early, the amount of heat absorbed by the processing material 6 can be increased.

また、本実施形態の乾燥処理装置100では、処理材料6の乾燥処理工程では、密閉容器5が1つずつ恒温室2内に搬送されるので、2つ以上の密閉容器5を同時に恒温室2内に配置した場合と比べて、恒温室2内で維持されている温度が熱損失によって大きく変化することを防止できる。   Moreover, in the drying processing apparatus 100 of this embodiment, since the sealed container 5 is conveyed one by one in the temperature-controlled room 2 in the drying process of the processing material 6, two or more sealed containers 5 are simultaneously transferred to the temperature-controlled room 2. Compared with the case where it arrange | positions in, it can prevent that the temperature currently maintained in the temperature-controlled room 2 changes with heat loss largely.

また、本実施形態の乾燥処理装置100では、処理材料6の乾燥処理工程において、密閉容器5内に高温の窒素ガスを供給することで、この窒素ガスとの熱交換によって処理材料6を直接加熱することができるので、処理材料6をより早期に乾燥させることができる。   Moreover, in the drying processing apparatus 100 of this embodiment, in the drying process process of the processing material 6, by supplying high temperature nitrogen gas in the airtight container 5, the processing material 6 is directly heated by heat exchange with this nitrogen gas. Therefore, the treatment material 6 can be dried earlier.

(第2実施形態)
以下、図7に基づいて、本発明の第2実施形態に係る密閉容器及び乾燥処理装置について説明する。図7(a)は、搬送パレットに載置された密閉容器の側断面視図である。図7(b)は、図7(a)のE−E線の矢視断面図である。この実施形態では、第1実施形態で説明した要素と同一の要素について同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
(Second Embodiment)
Hereinafter, based on FIG. 7, an airtight container and a drying processing apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described. Fig.7 (a) is a sectional side view of the airtight container mounted in the conveyance pallet. FIG. 7B is a cross-sectional view taken along line E-E in FIG. In this embodiment, the same elements as those described in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

<密閉容器>
図7に示されるように、この実施形態の密閉容器105は、密閉容器内に配置された攪拌機構63を有している点で、第1実施形態の密閉容器5と主に相違する。この攪拌装置63は、シャフト部37の外周部37bに挿入され且つ各処理材料6と各セパレータ143とが所定の間隔をおいて交互に介挿されることによって保持された筒状部材(保持部材)64と、この筒状部材64の一端に設けられた給気口65と、この給気口65と耐熱カプラー(接続部)44の下端とを接続する給気ホース66とを有している。また、筒状部材64は、給気口65に連通する内部空間64aを有している。また、筒状部材64の外周部には、各セパレータ143に相当する位置に吸気孔64bが形成されている。
<Sealed container>
As shown in FIG. 7, the sealed container 105 of this embodiment is mainly different from the sealed container 5 of the first embodiment in that it has a stirring mechanism 63 disposed in the sealed container. The stirring device 63 is a cylindrical member (holding member) that is inserted into the outer peripheral portion 37b of the shaft portion 37 and held by alternately interposing the processing materials 6 and the separators 143 at predetermined intervals. 64, an air supply port 65 provided at one end of the cylindrical member 64, and an air supply hose 66 that connects the air supply port 65 and the lower end of the heat-resistant coupler (connection portion) 44. Further, the cylindrical member 64 has an internal space 64 a that communicates with the air supply port 65. In addition, on the outer peripheral portion of the cylindrical member 64, intake holes 64b are formed at positions corresponding to the separators 143.

また、本実施形態では、各セパレータ143の内部が中空になっている。図7(a)の破線で囲った部分の拡大図中に示されるように、各セパレータ143は、内部空間143aが形成されており、この内部空間143aは、筒状部材64の各吸気孔64bと連通している。また、拡大図中に示されるように、各セパレータ143には、各処理材料6と対向する対向面に複数の吹き出し孔143bが形成されている。なお、セパレータ143の外表面には、熱輻射を促進するための材料が貼付又は塗布されており、密閉容器305内の減圧時には外表面からの熱輻射によって各処理材料6を加熱することができる。   In the present embodiment, the interior of each separator 143 is hollow. As shown in the enlarged view of the portion surrounded by the broken line in FIG. 7A, each separator 143 has an internal space 143 a, and this internal space 143 a is formed in each intake hole 64 b of the tubular member 64. Communicated with. Further, as shown in the enlarged view, each separator 143 has a plurality of blowout holes 143b formed on the opposing surface facing each processing material 6. A material for promoting thermal radiation is applied or applied to the outer surface of the separator 143, and each processing material 6 can be heated by thermal radiation from the outer surface when the inside of the sealed container 305 is decompressed. .

処理材料6の乾燥工程において、加圧された高温の窒素ガスが耐熱カプラー44及び給気ホース66を介して給気口65に供給される。そして、給気口65を介して筒状部材64の内部空間64a内に導入された窒素ガスは、各吸気孔64bを介して各セパレータ143の内部空間143a内に導入される。そして、内部空間143a内に導入された窒素ガスは、各吹き出し孔143bから各処理材料6に向けて吹き付けられる。これにより、各セパレータ143と各処理材料6との間に窒素ガスの衝突と対流が生じる。そして、窒素ガスの熱が各処理材料6に伝達され、各処理材料6が加熱される。   In the drying process of the treatment material 6, pressurized high-temperature nitrogen gas is supplied to the air supply port 65 through the heat-resistant coupler 44 and the air supply hose 66. The nitrogen gas introduced into the internal space 64a of the cylindrical member 64 through the air supply port 65 is introduced into the internal space 143a of each separator 143 through each intake hole 64b. The nitrogen gas introduced into the internal space 143a is blown toward each processing material 6 from each blowing hole 143b. Thereby, collision and convection of nitrogen gas occur between each separator 143 and each processing material 6. And the heat | fever of nitrogen gas is transmitted to each processing material 6, and each processing material 6 is heated.

[第2実施形態の密閉容器及び乾燥処理装置の特徴]
以上、本実施形態の密閉容器105では、処理材料6の乾燥処理において恒温室2内で相殺すべき熱容量を従来よりも低減できるので、第1実施形態の密閉容器5と同様の効果を得ることができる。
[Features of Sealed Container and Drying Processing Apparatus of Second Embodiment]
As described above, in the sealed container 105 of the present embodiment, the heat capacity that should be offset in the temperature-controlled room 2 in the drying treatment of the treatment material 6 can be reduced as compared with the conventional case, so that the same effect as the sealed container 5 of the first embodiment can be obtained. Can do.

また、本実施形態の密閉容器105では、処理材料6の乾燥工程において、各セパレータ143と各処理材料6との間に窒素ガスの衝突と対流を発生させることができる。従って、窒素ガスと各処理材料6との間の熱交換が促進され、各処理材料6を効率良く乾燥させることができる。   Further, in the sealed container 105 of the present embodiment, collision of nitrogen gas and convection can be generated between each separator 143 and each processing material 6 in the drying process of the processing material 6. Therefore, heat exchange between the nitrogen gas and each processing material 6 is promoted, and each processing material 6 can be efficiently dried.

(第3実施形態)
以下、図8に基づいて、本発明の第3実施形態に係る密閉容器及び乾燥処理装置について説明する。図8(a)は、搬送パレットに載置された密閉容器の側断面視図である。図8(b)は、図8(a)のF−F線の矢視断面図である。この実施形態では、第1実施形態で説明した要素と同一の要素について同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
(Third embodiment)
Hereinafter, based on FIG. 8, the airtight container and drying processing apparatus which concern on 3rd Embodiment of this invention are demonstrated. FIG. 8A is a side sectional view of the sealed container placed on the transport pallet. FIG. 8B is a cross-sectional view taken along the line FF in FIG. In this embodiment, the same elements as those described in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

<密閉容器>
図8に示されるように、この実施形態の密閉容器205は、密閉容器内に配置された攪拌機構67を有している点で、第1実施形態の密閉容器5と主に相違する。この攪拌機構67は、密閉容器205の内周面且つ耐熱カプラー(接続部)44の下端近傍に設けられ、この耐熱カプラー44を介して密閉容器205内に供給される気体を密閉容器205の内周面に沿って吹き出すノズル(吹き出し部材)67aを有している。このノズル67aは、耐熱カプラー44の下端が収容される収容空間67bと、耐熱カプラー44から収容空間67bに導入された気体の吹き出し口となる開口部67cとを有している。
<Sealed container>
As shown in FIG. 8, the sealed container 205 of this embodiment is mainly different from the sealed container 5 of the first embodiment in that it has a stirring mechanism 67 arranged in the sealed container. The stirring mechanism 67 is provided on the inner peripheral surface of the sealed container 205 and in the vicinity of the lower end of the heat-resistant coupler (connection portion) 44, and gas supplied into the sealed container 205 via the heat-resistant coupler 44 is supplied to the inside of the sealed container 205. It has a nozzle (blowing member) 67a that blows out along the peripheral surface. The nozzle 67a has an accommodation space 67b in which the lower end of the heat-resistant coupler 44 is accommodated, and an opening 67c that serves as a gas outlet from the heat-resistant coupler 44 into the accommodation space 67b.

処理材料6の乾燥工程において、加圧された高温の窒素ガスが耐熱カプラー44から収容空間67b内に導入される。そして、収容空間67b内に導入された窒素ガスは、吹出口67cから収容空間67bの外側へ排出される。これにより、図8(b)中の矢印で示されるように、密閉容器205の内周面に沿って窒素ガスの対流が生じる。そして、窒素ガスの熱が各処理材料6に伝達され、各処理材料6が加熱される。   In the drying process of the treatment material 6, pressurized high-temperature nitrogen gas is introduced from the heat-resistant coupler 44 into the accommodation space 67 b. And the nitrogen gas introduce | transduced in the accommodation space 67b is discharged | emitted from the blower outlet 67c to the outer side of the accommodation space 67b. Thereby, as shown by the arrow in FIG.8 (b), the convection of nitrogen gas arises along the internal peripheral surface of the airtight container 205. FIG. And the heat | fever of nitrogen gas is transmitted to each processing material 6, and each processing material 6 is heated.

[第3実施形態の密閉容器及び乾燥処理装置の特徴]
以上、本実施形態の密閉容器205では、処理材料6の乾燥処理において恒温室2内で相殺すべき熱容量を従来よりも低減できるので、第1実施形態の密閉容器5と同様の効果を得ることができる。
[Features of Sealed Container and Drying Processing Apparatus of Third Embodiment]
As described above, in the sealed container 205 of the present embodiment, the heat capacity that should be offset in the temperature-controlled room 2 in the drying treatment of the treatment material 6 can be reduced as compared with the conventional case, and thus the same effect as the sealed container 5 of the first embodiment can be obtained. Can do.

また、本実施形態の密閉容器205では、処理材料6の乾燥工程において、密閉容器205の内周面に沿う方向に窒素ガスの対流を発生させることで、窒素ガスと処理材料6との間の熱交換を促進することができる。従って、各処理材料6を効率良く乾燥させることができる。   Further, in the sealed container 205 of the present embodiment, in the drying process of the processing material 6, a convection of nitrogen gas is generated in a direction along the inner peripheral surface of the sealed container 205, so that the space between the nitrogen gas and the processing material 6 is generated. Heat exchange can be promoted. Therefore, each processing material 6 can be efficiently dried.

(第4実施形態)
以下、図9に基づいて、本発明の第4実施形態に係る密閉容器及び乾燥処理装置について説明する。図9(a)は、搬送パレットに載置された密閉容器の側断面視図である。図9(b)は、図9(a)のG−G線の矢視断面図である。この実施形態では、第1実施形態で説明した要素と同一の要素について同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
(Fourth embodiment)
Hereinafter, based on FIG. 9, the airtight container and drying processing apparatus which concern on 4th Embodiment of this invention are demonstrated. FIG. 9A is a side sectional view of the sealed container placed on the transport pallet. FIG. 9B is a cross-sectional view taken along line GG in FIG. In this embodiment, the same elements as those described in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

<密閉容器>
図9に示されるように、この実施形態の密閉容器305は、筒状部334の外壁部及び内壁部に所定の間隔をおいて複数の放熱フィン68、69が配置されている点で、第1実施形態の密閉容器5と相違する。各放熱フィン68、69は、密閉容器305の軸方向に延びるように形成されている。
<Sealed container>
As shown in FIG. 9, the sealed container 305 of this embodiment is different in that a plurality of radiating fins 68 and 69 are arranged at predetermined intervals on the outer wall portion and the inner wall portion of the cylindrical portion 334. It differs from the airtight container 5 of 1 embodiment. Each of the radiation fins 68 and 69 is formed to extend in the axial direction of the sealed container 305.

この実施形態では、密閉容器305の外壁部に各放熱フィン68を配置することによって外壁部の表面積を増加させることができるので、処理材料6の乾燥工程において、恒温室2内の高温空気からの熱伝達(熱輻射)によって外壁部に吸収される熱量を増加させることができる。従って、外壁部から内壁部への熱伝導を促進でき、外壁部から内壁部に熱伝導される熱量を増加させることができる。   In this embodiment, since the surface area of the outer wall portion can be increased by disposing each radiating fin 68 on the outer wall portion of the sealed container 305, in the drying process of the treatment material 6, from the high-temperature air in the temperature-controlled room 2 The amount of heat absorbed by the outer wall portion can be increased by heat transfer (heat radiation). Therefore, heat conduction from the outer wall portion to the inner wall portion can be promoted, and the amount of heat conducted from the outer wall portion to the inner wall portion can be increased.

また、密閉容器305の内壁部に各放熱フィン69を配置することによって、内壁部の表面積を増加させることができるため、内壁部からの熱伝達や輻射を促進できる。従って、内壁部からの熱伝達や輻射によって密閉容器305内の窒素ガスに吸収される熱量を増加させることができる。その結果、窒素ガスからの熱伝達や輻射によって各処理材料6に吸収される熱量を増加させることができる。   Moreover, since the surface area of an inner wall part can be increased by arrange | positioning each radiation fin 69 to the inner wall part of the airtight container 305, the heat transfer and radiation from an inner wall part can be accelerated | stimulated. Therefore, the amount of heat absorbed by the nitrogen gas in the sealed container 305 can be increased by heat transfer and radiation from the inner wall. As a result, it is possible to increase the amount of heat absorbed by each processing material 6 by heat transfer and radiation from nitrogen gas.

[第4実施形態の密閉容器及び乾燥処理装置の特徴]
以上、本実施形態の密閉容器305では、処理材料6の乾燥処理において恒温室2内で相殺すべき熱容量を従来よりも低減できるので、第1実施形態の密閉容器5と同様の効果を得ることができる。
[Features of Sealed Container and Drying Processing Apparatus of Fourth Embodiment]
As described above, in the sealed container 305 of the present embodiment, the heat capacity that should be offset in the temperature-controlled room 2 in the drying treatment of the treatment material 6 can be reduced as compared with the conventional case, and thus the same effect as the sealed container 5 of the first embodiment can be obtained. Can do.

また、本実施形態の密閉容器305では、処理材料6の乾燥工程において、密閉容器505の外壁部から内壁部に熱伝導される熱量を増加させることができるとともに、内壁部からの熱伝達や輻射によって窒素ガスに吸収される熱量を増加させることができるので、窒素ガスからの熱伝達や輻射によって各処理材料6に吸収される熱量を増加させることができる。その結果、各処理材料6を効率良く乾燥させることができる。   Further, in the sealed container 305 of the present embodiment, in the drying process of the processing material 6, the amount of heat conducted from the outer wall portion of the sealed container 505 to the inner wall portion can be increased, and heat transfer and radiation from the inner wall portion can be increased. Thus, the amount of heat absorbed by the nitrogen gas can be increased, so that the amount of heat absorbed by each processing material 6 by heat transfer or radiation from the nitrogen gas can be increased. As a result, each processing material 6 can be efficiently dried.

(第1参考実施形態)
以下、図10に基づいて、本発明の第1参考実施形態に係る密閉容器及び乾燥処理装置ついて説明する。図10(a)は、密閉容器の側断面視図である。図10(b)は、図10(a)のI−I線の矢視断面図である。この実施形態では、第1実施形態で説明した要素と同一の要素について同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
(First Reference Embodiment)
Hereinafter, based on FIG. 10, the sealed container and the drying processing apparatus according to the first reference embodiment of the present invention will be described. FIG. 10A is a side sectional view of the sealed container. FIG. 10B is a cross-sectional view taken along line I-I in FIG. In this embodiment, the same elements as those described in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

<密閉容器>
図10に示されるように、密閉容器405は、上記の密閉容器5と同様の耐熱カプラー(接続部)44が設けられており、密閉容器405内が、窒素ガスで充たされたり、真空状態で維持されたり、密閉容器405内の温度が常温または高温で維持されたりする。この密閉容器405は箱体として形成されており、その内部に略角材状の処理材料74が収容されている。また、密閉容器405の内部には、図10(a)に示されるように、幅方向に架設された梁状の棚(保持部材)75が、高さ方向に沿って3つ設けられている。そして、各棚75には、図10(b)に示されるように、密閉容器405の幅方向に沿って3つの処理材料74が所定の間隔をおいて載置されている。
<Sealed container>
As shown in FIG. 10, the sealed container 405 is provided with a heat-resistant coupler (connection portion) 44 similar to the above-described sealed container 5, and the inside of the sealed container 405 is filled with nitrogen gas or in a vacuum state. Or the temperature in the sealed container 405 is maintained at room temperature or high temperature. The sealed container 405 is formed as a box, and a substantially square-shaped processing material 74 is accommodated therein. In addition, as shown in FIG. 10A, three beam-shaped shelves (holding members) 75 installed in the width direction are provided in the sealed container 405 along the height direction. . Then, as shown in FIG. 10B, three processing materials 74 are placed on each shelf 75 at a predetermined interval along the width direction of the sealed container 405.

また、各棚75には、密閉容器405の幅方向に貫通する気体通路75aが形成されている。この気体通路75aは、図10(a)に示されるように、その断面が矩形状に形成されている。そして、この気体通路75aは、密閉容器405が恒温室2内に配置されたときに、図10(b)中の矢印で示されるように、恒温室2内の高温空気が通過可能となっている。このとき、高温空気からの熱伝達(熱輻射)によって気体通路75aが加熱され、加熱された気体通路75aからの熱伝導によって各処理材料74が直接加熱される。従って、各棚75は、熱が伝導しやすいアルミや銅などの金属を材料として用いることが好ましい。   Each shelf 75 is formed with a gas passage 75 a penetrating in the width direction of the sealed container 405. As shown in FIG. 10A, the gas passage 75a has a rectangular cross section. And when this airtight container 405 is arrange | positioned in the temperature-controlled room 2, this gas channel | path 75a can pass the hot air in the temperature-controlled room 2 as shown by the arrow in FIG.10 (b). Yes. At this time, the gas passage 75a is heated by heat transfer (heat radiation) from high-temperature air, and each processing material 74 is directly heated by heat conduction from the heated gas passage 75a. Therefore, each shelf 75 is preferably made of a metal such as aluminum or copper that easily conducts heat.

[第1参考実施形態の密閉容器及び乾燥処理装置の特徴]
以上、本実施形態の密閉容器405では、処理材料74の乾燥処理において恒温室2内で相殺すべき熱容量を従来よりも低減できるので、第1実施形態の密閉容器5と同様の効果を得ることができる。
[Characteristics of the sealed container and the drying apparatus of the first reference embodiment]
As described above, in the sealed container 405 of the present embodiment, the heat capacity that should be offset in the temperature-controlled room 2 in the drying treatment of the processing material 74 can be reduced as compared with the conventional case, and thus the same effect as the sealed container 5 of the first embodiment can be obtained. Can do.

また、本実施形態の密閉容器405では、各棚75の気体通路75a内を流れる高温の空気を利用して、気体通路75aから各処理材料74に至るまでの熱の伝導経路を形成することができる。従って、各処理材料74を効率良く乾燥させることができる。   Further, in the sealed container 405 of the present embodiment, it is possible to form a heat conduction path from the gas passage 75a to each processing material 74 using high-temperature air flowing in the gas passage 75a of each shelf 75. it can. Therefore, each processing material 74 can be efficiently dried.

(第6実施形態)
以下、図11及び図12に基づいて、本発明の第6実施形態に係る密閉容器及び乾燥処理装置について説明する。図11(a)は、搬送パレットに載置された密閉容器の外観斜視図である。図11(b)は、図11(a)において二点鎖線で囲まれた抵抗弁の内部構造を示した図である。図12(a)は、図11(a)に示した搬送パレットに載置された密閉容器の側断面視図である。図12(b)は、図12(a)のC−C線の矢視断面図である。この実施形態では、第1実施形態で説明した要素と同一の要素について同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。なお、図12では、抵抗弁480の図示を省略する。
(Sixth embodiment)
Hereinafter, based on FIG.11 and FIG.12, the airtight container and drying processing apparatus which concern on 6th Embodiment of this invention are demonstrated. Fig.11 (a) is an external appearance perspective view of the airtight container mounted in the conveyance pallet. FIG.11 (b) is the figure which showed the internal structure of the resistance valve enclosed with the dashed-two dotted line in Fig.11 (a). Fig.12 (a) is a sectional side view of the airtight container mounted in the conveyance pallet shown to Fig.11 (a). FIG. 12B is a cross-sectional view taken along line CC in FIG. In this embodiment, the same elements as those described in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. In FIG. 12, the resistance valve 480 is not shown.

<密閉容器>
図11に示されるように、この実施形態の密閉容器505は、抵抗弁480を有している。また、図12に示されるように、この実施形態の密閉容器505は、密閉容器505内の上部に設けられた攪拌機構48を有している。これらの点で、第1実施形態の密閉容器5と相違する。攪拌機構48は、シャフト部37の軸方向に沿って配置された2つのプロペラ49と、各プロペラ49の動力源となる各エアモータ50と、各エアモータ50の給気口と耐熱カプラー(接続部)44の下端とを接続する各給気ホース51と、各エアモータ50の排気口に接続された各排気ホース52と、耐熱カプラー44の下端や各給気ホース51や各排気ホース52が収容されるカバー部53とを有している。また、各プロペラ49は、その回転方向に沿って等間隔に配置された4枚の攪拌用の羽根を有している。
<Sealed container>
As shown in FIG. 11, the sealed container 505 of this embodiment has a resistance valve 480. As shown in FIG. 12, the sealed container 505 of this embodiment has a stirring mechanism 48 provided in the upper part of the sealed container 505. These points are different from the sealed container 5 of the first embodiment. The stirring mechanism 48 includes two propellers 49 arranged along the axial direction of the shaft portion 37, each air motor 50 serving as a power source for each propeller 49, an air supply port of each air motor 50, and a heat-resistant coupler (connection portion). Each supply hose 51 connecting the lower end of 44, each exhaust hose 52 connected to the exhaust port of each air motor 50, the lower end of each heat-resistant coupler 44, each supply hose 51, and each exhaust hose 52 are accommodated. And a cover part 53. Each propeller 49 has four stirring blades arranged at equal intervals along the rotation direction.

エアモータ50は、耐熱カプラー44及び給気ホース51から導入された圧縮気体の圧力によってプロペラ49を回転させる回転体を有している。また、カバー部53には図示しない開口が形成されており、エアモータ50の本体内に導入された圧縮気体は、プロペラ49を回転させた後に排気ホース52を介して、カバー部53の開口から密閉容器505内へと排出される。従って、この排出された圧縮気体が密閉容器505の内部に充填されることで、密閉容器505の内部を加圧可能となっている。   The air motor 50 has a rotating body that rotates the propeller 49 by the pressure of the compressed gas introduced from the heat-resistant coupler 44 and the air supply hose 51. An opening (not shown) is formed in the cover 53, and the compressed gas introduced into the main body of the air motor 50 is sealed from the opening of the cover 53 via the exhaust hose 52 after rotating the propeller 49. It is discharged into the container 505. Therefore, the inside of the sealed container 505 can be pressurized by filling the discharged compressed gas into the sealed container 505.

図11(a)に示されるように、抵抗弁480は、密閉容器505の胴板部分である筒状部534において耐熱カプラー44と隣接する位置に設けられている。また、図11(b)に示されるように、抵抗弁480は、略筒状の本体部481と、ローレットノブ482と、弁体部483とを有している。本体部481の上端には、その内周部に雌ねじ部481aが形成されている。また、本体部481の側部には、本体部481の内部空間481bと連通する排気口481cが形成されている。また、本体部481の下端には、密閉容器505の筒状部534に形成された通気穴534aと連通する通気穴481dが形成されている。   As shown in FIG. 11A, the resistance valve 480 is provided at a position adjacent to the heat-resistant coupler 44 in the cylindrical portion 534 that is the body plate portion of the sealed container 505. Further, as shown in FIG. 11B, the resistance valve 480 has a substantially cylindrical main body portion 481, a knurled knob 482, and a valve body portion 483. A female screw part 481a is formed on the inner peripheral part of the upper end of the main body part 481. Further, an exhaust port 481 c communicating with the internal space 481 b of the main body 481 is formed on the side of the main body 481. In addition, a vent hole 481d communicating with a vent hole 534a formed in the cylindrical portion 534 of the sealed container 505 is formed at the lower end of the main body portion 481.

また、ローレットノブ482は、ハンドル操作部482aと、雄ねじ部482bと、収容空間482cとを有している。この収容空間482cは、雄ねじ部482bの下端部分に本体部481の軸方向に沿って形成されている。また、弁体部483は、本体部481の内部空間481bに収容されている。この弁体部483は、本体部481の軸方向に延びる棒状部483aと、この棒状部483aの外周部に装着されたコイルスプリング483bと、弁体483cとを有している。この弁体483cは、棒状部432aの下端において本体部481の通気穴481dを閉塞する位置に設けられている。また、この弁体483cは、後述する設定圧力P1以上の圧力によって開弁するように設定されている。   The knurled knob 482 includes a handle operating portion 482a, a male screw portion 482b, and a storage space 482c. The accommodation space 482c is formed along the axial direction of the main body 481 at the lower end portion of the male screw portion 482b. Further, the valve body portion 483 is accommodated in the internal space 481 b of the main body portion 481. The valve body portion 483 includes a rod-shaped portion 483a extending in the axial direction of the main body portion 481, a coil spring 483b mounted on the outer peripheral portion of the rod-shaped portion 483a, and a valve body 483c. The valve body 483c is provided at a position that closes the vent hole 481d of the main body portion 481 at the lower end of the rod-like portion 432a. Further, the valve body 483c is set to open by a pressure equal to or higher than a set pressure P1 described later.

図11(b)に示されるように、本体部481の雌ねじ部481aには、ローレットノブ482の雄ねじ部482bが取り付けられている。また、弁体部483のコイルスプリング483bの設定圧力P1によって、弁体部483の弁体483cは本体部481の通気穴481dを閉塞した状態で下方向に押圧されている。また、ローレットノブ482の収容空間482cには、弁体部483の棒状部483aの上端部分が収容されている。この状態で、ローレットノブ482のハンドル操作部482aの操作に伴って雄ねじ部482bを回動させることにより、雄ねじ部482bを上または下方向に移動させることによる本体部481の位置調整が可能となる。従って、雄ねじ部482bを上方向に移動させた場合、設定圧力P1を小さくすることができる。一方、雄ねじ部482bを下方向に移動させた場合、設定圧力P1を大きくすることができる。つまり、密閉容器505内の圧力を容易に調整できる。   As shown in FIG. 11 (b), a male screw portion 482 b of a knurled knob 482 is attached to the female screw portion 481 a of the main body portion 481. Further, the valve body 483c of the valve body portion 483 is pressed downward by the set pressure P1 of the coil spring 483b of the valve body portion 483 while the vent hole 481d of the main body portion 481 is closed. The accommodation space 482c of the knurled knob 482 accommodates the upper end portion of the rod-like portion 483a of the valve body portion 483. In this state, by rotating the male screw portion 482b in accordance with the operation of the handle operation portion 482a of the knurled knob 482, the position of the main body portion 481 can be adjusted by moving the male screw portion 482b upward or downward. . Therefore, when the male screw portion 482b is moved upward, the set pressure P1 can be reduced. On the other hand, when the male screw portion 482b is moved downward, the set pressure P1 can be increased. That is, the pressure in the sealed container 505 can be easily adjusted.

従って、エアモータ50の本体内に給気ホース51から導入された気体の一次圧力P2を設定圧力P1よりも大きくすれば、一次圧力P2と設定圧力P1との差圧分(=P2−P1)の圧力を有する気体の流体エネルギーがエアモータ50を駆動させるための運動エネルギーに変換されて、プロペラ49を回転させることができる。そして、差圧分(=P2−P1)の圧力を有する気体は、通気穴534a、通気穴481d、内部空間481b及び排気口481cを経由して密閉容器505の外部へと排出される。   Therefore, if the primary pressure P2 of the gas introduced from the air supply hose 51 into the main body of the air motor 50 is made larger than the set pressure P1, the differential pressure component (= P2−P1) between the primary pressure P2 and the set pressure P1. The fluid energy of the gas having pressure is converted into kinetic energy for driving the air motor 50, and the propeller 49 can be rotated. A gas having a pressure difference (= P2−P1) is discharged to the outside of the sealed container 505 via the vent hole 534a, the vent hole 481d, the internal space 481b, and the exhaust port 481c.

処理材料6の乾燥工程において、加圧された高温の窒素ガスが給気ホース51を介してエアモータ50の本体内に供給される。そして、窒素ガスのもつ流体エネルギーを用いてプロペラ49を回転させることにより、密閉容器505内に窒素ガスの対流が発生する。そして、窒素ガスの熱が各処理材料6に伝達され、各処理材料6が加熱される。   In the drying process of the treatment material 6, pressurized high-temperature nitrogen gas is supplied into the main body of the air motor 50 through the air supply hose 51. Then, the convection of the nitrogen gas is generated in the sealed container 505 by rotating the propeller 49 using the fluid energy of the nitrogen gas. And the heat | fever of nitrogen gas is transmitted to each processing material 6, and each processing material 6 is heated.

[第6実施形態の密閉容器及び乾燥処理装置の特徴]
以上、本実施形態の密閉容器505では、処理材料6の乾燥処理において恒温室2内で相殺すべき熱容量を従来よりも低減できるので、第1実施形態の密閉容器5と同様の効果を得ることができる。
[Features of Sealed Container and Drying Processing Apparatus of Sixth Embodiment]
As described above, in the sealed container 505 of the present embodiment, the heat capacity that should be offset in the temperature-controlled room 2 in the drying treatment of the treatment material 6 can be reduced as compared with the conventional case, and thus the same effect as the sealed container 5 of the first embodiment can be obtained. Can do.

また、本実施形態の密閉容器505では、密閉容器505内に攪拌機構48を設けることで、密閉容器505内に窒素ガスの対流を発生させることができる。従って、窒素ガスと各処理材料6との間の熱交換を促進させることができ、各処理材料6を効率良く乾燥させることができる。   Further, in the sealed container 505 of the present embodiment, a convection of nitrogen gas can be generated in the sealed container 505 by providing the stirring mechanism 48 in the sealed container 505. Therefore, heat exchange between the nitrogen gas and each processing material 6 can be promoted, and each processing material 6 can be efficiently dried.

また、本実施形態の密閉容器505では、ローレットノブ482のハンドル操作部482aの操作に伴って本体部481の位置を調整することで、密閉容器505内の圧力を容易に調整できる。   Further, in the sealed container 505 of the present embodiment, the pressure in the sealed container 505 can be easily adjusted by adjusting the position of the main body 481 in accordance with the operation of the handle operating unit 482a of the knurled knob 482.

(第7実施形態)
以下、図13に基づいて、本発明の第7実施形態に係る密閉容器及び乾燥処理装置について説明する。図13(a)は、搬送パレットに載置された密閉容器の側断面視図である。図13(b)は、図13(a)のD−D線の矢視断面図である。この実施形態では、第6実施形態で説明した要素と同一の要素について同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
(Seventh embodiment)
Hereinafter, based on FIG. 13, the airtight container and drying processing apparatus which concern on 7th Embodiment of this invention are demonstrated. FIG. 13A is a side cross-sectional view of the sealed container placed on the transport pallet. FIG. 13B is a cross-sectional view taken along the line D-D in FIG. In this embodiment, the same elements as those described in the sixth embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

<密閉容器>
図13に示されるように、この実施形態の密閉容器605は、攪拌機構48に代えて、容器内に配置された攪拌機構54を有している点で、第6実施形態の密閉容器505と相違する。その他の構成は、第6実施形態の密閉容器505と同じである。この攪拌機構54は、シャフト部37の外周部37bに挿入され且つ各処理材料6と各セパレータ43とが所定の間隔をおいて交互に介挿されることによって保持された回転筒(回転体)55と、外周部37bと回転筒55との間に嵌入された一対のベアリング56と、回転筒55の外周部に介挿された回転ギア57を有している。
<Sealed container>
As shown in FIG. 13, the sealed container 605 of this embodiment is different from the stirring mechanism 48 in that it has a stirring mechanism 54 arranged in the container. Is different. Other configurations are the same as the sealed container 505 of the sixth embodiment. The stirring mechanism 54 is inserted into the outer peripheral portion 37b of the shaft portion 37, and a rotating cylinder (rotating body) 55 held by alternately interposing the processing materials 6 and the separators 43 at a predetermined interval. And a pair of bearings 56 fitted between the outer peripheral part 37 b and the rotating cylinder 55, and a rotating gear 57 inserted in the outer peripheral part of the rotating cylinder 55.

また、攪拌機構54は、回転ギア57と噛み合う回転ギア58と、この回転ギア58の動力源となるエアモータ59と、耐熱カプラー(接続部)44の下端とエアモータ59の給気口とを接続する給気ホース60と、エアモータ59の排気口に接続された排気ホース61と、給気ホース60の一部や排気ホース61が収納されるカバー部62とを有している。   The stirring mechanism 54 connects a rotation gear 58 that meshes with the rotation gear 57, an air motor 59 that is a power source of the rotation gear 58, a lower end of the heat-resistant coupler (connection portion) 44, and an air supply port of the air motor 59. It has an air supply hose 60, an exhaust hose 61 connected to the exhaust port of the air motor 59, and a cover part 62 in which a part of the air supply hose 60 and the exhaust hose 61 are accommodated.

エアモータ59は、耐熱カプラー44及び給気ホース60から導入された圧縮気体の圧力によって回転ギア58を回転させる回転体を有している。また、エアモータ59の本体内に導入された圧縮気体は、回転ギア58を回転させた後に排気ホース61を介して、カバー部62の開口から密閉容器605内へと排出される。従って、この排出された圧縮気体が密閉容器605の内部に充填されることで、密閉容器605の内部を加圧可能となっている。   The air motor 59 has a rotating body that rotates the rotating gear 58 by the pressure of the compressed gas introduced from the heat-resistant coupler 44 and the air supply hose 60. The compressed gas introduced into the main body of the air motor 59 is discharged from the opening of the cover portion 62 into the sealed container 605 through the exhaust hose 61 after rotating the rotary gear 58. Therefore, the inside of the sealed container 605 can be pressurized by filling the discharged compressed gas into the sealed container 605.

処理材料6の乾燥工程において、加圧された高温の窒素ガスが耐熱カプラー44及び給気ホース60を介してエアモータ59の本体内に供給される。そして、供給された窒素ガスのもつ流体エネルギーを用いて回転ギア58を回転させることにより、この回転ギア58と噛み合う回転ギア57に動力が伝達されて、回転ギア57が図13(b)中の矢印で示されるようにシャフト部37の周方向に沿って回転し、この回転に伴って、回転筒55に介挿された各処理材料6及び各セパレータ43が回転する。この回転により、密閉容器605内に窒素ガスの対流が生じる。そして、窒素ガスの熱が各処理材料6に伝達され、各処理材料6が加熱される。   In the drying process of the treatment material 6, pressurized high-temperature nitrogen gas is supplied into the main body of the air motor 59 through the heat-resistant coupler 44 and the air supply hose 60. Then, by rotating the rotating gear 58 using the fluid energy of the supplied nitrogen gas, power is transmitted to the rotating gear 57 that meshes with the rotating gear 58, and the rotating gear 57 is shown in FIG. As indicated by the arrow, it rotates along the circumferential direction of the shaft portion 37, and with this rotation, each processing material 6 and each separator 43 inserted in the rotary cylinder 55 rotate. This rotation causes convection of nitrogen gas in the sealed container 605. And the heat | fever of nitrogen gas is transmitted to each processing material 6, and each processing material 6 is heated.

[第7実施形態の密閉容器及び乾燥処理装置の特徴]
以上、本実施形態の密閉容器605では、処理材料6の乾燥処理において恒温室2内で相殺すべき熱容量を従来よりも低減できるので、第6実施形態の密閉容器505と同様の効果を得ることができる。
[Features of Sealed Container and Drying Processing Apparatus of Seventh Embodiment]
As described above, in the sealed container 605 of the present embodiment, the heat capacity to be offset in the temperature-controlled room 2 in the drying treatment of the treatment material 6 can be reduced as compared with the conventional case, and thus the same effect as the sealed container 505 of the sixth embodiment is obtained. Can do.

また、本実施形態の密閉容器605では、処理材料6の乾燥工程において、密閉容器605内に窒素ガスの対流を発生させることにより、窒素ガスの熱を各処理材料6に積極的に伝達することができる。従って、窒素ガスと各処理材料6との間の熱交換を促進させることができ、各処理材料6を効率良く乾燥させることができる。   Further, in the sealed container 605 of the present embodiment, the heat of the nitrogen gas is positively transmitted to each processing material 6 by generating convection of nitrogen gas in the sealed container 605 in the drying process of the processing material 6. Can do. Therefore, heat exchange between the nitrogen gas and each processing material 6 can be promoted, and each processing material 6 can be efficiently dried.

(第2参考実施形態)
以下、図14及び図15に基づいて、本発明の第2参考実施形態に係る密閉容器及び乾燥処理装置について説明する。図14は、搬送パレットに載置された密閉容器の側断面視図である。図15(a)は、図14のH−H線の矢視断面図である。図15(b)は、攪拌機構の動作説明図である。この実施形態では、第6実施形態で説明した要素と同一の要素について同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
( Second Reference Embodiment)
Hereinafter, based on FIG.14 and FIG.15, the airtight container and drying processing apparatus which concern on 2nd reference embodiment of this invention are demonstrated. FIG. 14 is a side sectional view of the closed container placed on the transport pallet. FIG. 15A is a cross-sectional view taken along line HH in FIG. FIG. 15B is an operation explanatory diagram of the stirring mechanism. In this embodiment, the same elements as those described in the sixth embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

<密閉容器>
図14及び図15に示されるように、この実施形態の密閉容器705は、攪拌機構48に代えて、容器内に配置された第7実施形態と同じ攪拌機構54を有している点と、回転筒(回転体)55の外周面において径方向外側に延びる4つの支持部材70が周方向に沿って所定の間隔をおいて設けられた点と、密閉容器705の内周面から径方向内側に向かって延在する4つの支持部材71が周方向に沿って所定の間隔をおいて設けられた点で、第6実施形態の密閉容器505と相違する。その他の構成は、第6実施形態の密閉容器505と同じである。
<Sealed container>
As shown in FIGS. 14 and 15, the sealed container 705 of this embodiment has the same stirring mechanism 54 as that of the seventh embodiment disposed in the container, instead of the stirring mechanism 48. Four support members 70 extending radially outward on the outer peripheral surface of the rotating cylinder (rotating body) 55 are provided at predetermined intervals along the circumferential direction, and radially inner from the inner peripheral surface of the sealed container 705. It differs from the airtight container 505 of 6th Embodiment by the point by which the four support members 71 extended toward are provided at predetermined intervals along the circumferential direction. Other configurations are the same as the sealed container 505 of the sixth embodiment.

支持部材70には、略角材状の3つの処理材料72(図中のハッチング部分)が回転筒55の径方向に沿って配置されている。また、支持部材71には、略角材状の3つの伝熱板73が配置されている。各伝熱板73は、恒温室2内の高温空気からの輻射によって密閉容器705の外壁部に吸収された熱を各処理材料72に直接伝達することを目的とした部品である。従って、支持部材71や各伝熱板73は、熱が伝導しやすいアルミや銅などの金属を材料として用いることが好ましい。   On the support member 70, three substantially square-shaped processing materials 72 (hatched portions in the drawing) are arranged along the radial direction of the rotating cylinder 55. The support member 71 is provided with three heat transfer plates 73 each having a substantially square shape. Each heat transfer plate 73 is a component intended to directly transfer heat absorbed by the outer wall portion of the hermetic container 705 to each processing material 72 by radiation from high-temperature air in the temperature-controlled room 2. Therefore, the support member 71 and each heat transfer plate 73 are preferably made of a metal such as aluminum or copper that easily conducts heat.

処理材料72の乾燥工程において、加圧された高温の窒素ガスが給気ホース60を介してエアモータ59の本体内に供給される。そして、回転ギア58と噛み合う回転ギア57に動力が伝達されて、回転ギア57が回転し、回転筒55とともに支持部材70が図15(a)の矢印で示す方向に回転する。この回転により、図15(b)に示されるように、支持部材70に配置された各処理材料72が、支持部材71に配置された各伝熱板73と接触する。この接触により、各伝熱板73の熱が熱伝導によって各処理材料72へ直接伝達され、各処理材料72が加熱される。   In the drying process of the treatment material 72, pressurized high-temperature nitrogen gas is supplied into the main body of the air motor 59 through the air supply hose 60. Then, power is transmitted to the rotation gear 57 that meshes with the rotation gear 58, the rotation gear 57 rotates, and the support member 70 rotates in the direction indicated by the arrow in FIG. By this rotation, as shown in FIG. 15B, each processing material 72 disposed on the support member 70 comes into contact with each heat transfer plate 73 disposed on the support member 71. By this contact, the heat of each heat transfer plate 73 is directly transferred to each processing material 72 by heat conduction, and each processing material 72 is heated.

[第2参考実施形態の密閉容器及び乾燥処理装置の特徴]
以上、本実施形態の密閉容器705では、処理材料72の乾燥処理において恒温室2内で相殺すべき熱容量を従来よりも低減できるので、第6実施形態の密閉容器505と同様の効果を得ることができる。
[Characteristics of the sealed container and the drying apparatus of the second reference embodiment]
As described above, in the sealed container 705 of the present embodiment, the heat capacity to be offset in the temperature-controlled room 2 in the drying treatment of the processing material 72 can be reduced as compared with the conventional case, and thus the same effect as the sealed container 505 of the sixth embodiment can be obtained. Can do.

また、本実施形態の密閉容器705では、処理材料72の乾燥工程において、各処理材料72と各伝熱板73とを直接接触させることによって、各伝熱板73の熱を各処理材料72にダイレクトに伝達することができるので、処理材料72を効率良く乾燥させることができる。   Moreover, in the airtight container 705 of this embodiment, in the drying process of the processing material 72, each processing material 72 and each heat-transfer plate 73 are made to contact directly, and the heat of each heat-transfer plate 73 is made to each processing material 72. Since it can transmit directly, the processing material 72 can be dried efficiently.

(別形態)
なお、本発明には含まれないが、本発明に係る密閉容器及び乾燥処理装置に関連した別形態として、下記の第1〜第3別形態がある。上記の第1〜第実施形態、第1及び第2参考実施形態に係る密閉容器及び乾燥処理装置では、図1に示されるように、恒温室2に設けられた各耐熱カプラー12a〜14aに密閉容器の耐熱カプラー44が接続されることで、密閉容器の内部が窒素ガス(N)で置換されたり、真空状態で維持されたりすることによって処理材料の乾燥処理が行われていたが、下記の第1〜第3別形態に係る密閉容器及び乾燥処理装置では、恒温室2に設けられた各耐熱カプラー12a〜14aが用いられることなく、密閉容器が搬送される。
(Different form)
Although not included in the present invention, there are the following first to third different forms as other forms related to the sealed container and the drying apparatus according to the present invention. In the sealed container and the drying apparatus according to the first to seventh embodiments and the first and second reference embodiments , as shown in FIG. 1, the heat-resistant couplers 12 a to 14 a provided in the temperature-controlled room 2 are provided. By connecting the heat-resistant coupler 44 of the hermetic container, the inside of the hermetic container is replaced with nitrogen gas (N 2 ), or the processing material is dried by being maintained in a vacuum state. In the sealed container and the drying apparatus according to the following first to third embodiments, the sealed container is transported without using the heat-resistant couplers 12a to 14a provided in the temperature-controlled room 2.

(第1別形態)
以下、図16〜図18に基づいて、本発明の第1別形態に係る密閉容器及び乾燥処理装置について説明する。図16は、搬送パレットに載置された密閉容器の側断面視図である。図17は、図16のA−A線の矢視断面図である。図18は、図16のB−B線の矢視断面図である。この別形態では、第1〜第実施形態、第1及び第2参考実施形態で説明した要素と同一の要素について同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
(First variant)
Hereinafter, based on FIGS. 16-18, the airtight container and drying processing apparatus which concern on the 1st another form of this invention are demonstrated. FIG. 16 is a side sectional view of the closed container placed on the transport pallet. FIG. 17 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 18 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. In this different form, the same code | symbol is attached | subjected about the element same as the element demonstrated in 1st- 7th embodiment , 1st, and 2nd reference embodiment , and detailed description is abbreviate | omitted.

<密閉容器>
図16〜図18に示されるように、この別形態の密閉容器805は、耐熱カプラー44を有しておらず、恒温室2に設けられた各耐熱カプラー12a〜14aが用いられることなく、密閉容器805が搬送される点で、第1実施形態の密閉容器5と相違する。
<Sealed container>
As shown in FIGS. 16 to 18, this another type of sealed container 805 does not have the heat-resistant coupler 44, and the heat-resistant couplers 12 a to 14 a provided in the temperature-controlled room 2 are not used. The container 805 is different from the sealed container 5 of the first embodiment in that the container 805 is conveyed.

[第1別形態の密閉容器及び乾燥処理装置の特徴]
本別形態の密閉容器805では、密閉容器805が恒温室2内に搬送された際に、シャフト部37の内部空間37a内を流れる高温の空気を利用して各処理材料6を効率良く乾燥させることができ、第1実施形態の密閉容器5と同様の効果を得ることができる。
[Characteristics of the first different form of the sealed container and the drying apparatus]
In the sealed container 805 of this different embodiment, when the sealed container 805 is transported into the temperature-controlled room 2, each processing material 6 is efficiently dried using high-temperature air flowing in the internal space 37a of the shaft portion 37. The same effect as the closed container 5 of the first embodiment can be obtained.

(第2別形態)
以下、図19に基づいて、本発明の第2別形態に係る密閉容器及び乾燥処理装置について説明する。図19(a)は、搬送パレットに載置された密閉容器の側断面視図である。図19(b)は、図19(a)のG−G線の矢視断面図である。この別形態では、第1〜第実施形態、第1及び第2参考実施形態で説明した要素と同一の要素について同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
(Second form)
Hereinafter, based on FIG. 19, the airtight container and drying processing apparatus which concern on the 2nd another form of this invention are demonstrated. FIG. 19A is a side cross-sectional view of the sealed container placed on the transport pallet. FIG. 19B is a cross-sectional view taken along line GG in FIG. In this different form, the same code | symbol is attached | subjected about the element same as the element demonstrated in 1st- 7th embodiment , 1st, and 2nd reference embodiment , and detailed description is abbreviate | omitted.

<密閉容器>
図19に示されるように、この別形態の密閉容器905は、耐熱カプラー44を有しておらず、恒温室2に設けられた各耐熱カプラー12a〜14aが用いられることなく、密閉容器905が搬送される点で、第4実施形態の密閉容器305と相違する。
<Sealed container>
As shown in FIG. 19, this another type of sealed container 905 does not have the heat-resistant coupler 44, and the heat-resistant couplers 12 a to 14 a provided in the temperature-controlled room 2 are not used. It differs from the airtight container 305 of 4th Embodiment by the point conveyed.

[第2別形態の密閉容器及び乾燥処理装置の特徴]
本別形態の密閉容器905では、密閉容器905が恒温室2内に搬送された際に、シャフト部37の内部空間37a内を流れる高温の空気を利用して各処理材料6を効率良く乾燥させることができ、第1実施形態の密閉容器5と同様の効果を得ることができる。
[Characteristics of second type of sealed container and drying apparatus]
In the airtight container 905 of this different form, when the airtight container 905 is conveyed into the temperature-controlled room 2, each processing material 6 is efficiently dried using the high-temperature air flowing in the internal space 37a of the shaft portion 37. The same effect as the closed container 5 of the first embodiment can be obtained.

また、本別形態の密閉容器905では、処理材料6の乾燥工程において、密閉容器905の外壁部から内壁部に熱伝導される熱量を増加させることができるとともに、内壁部からの熱伝達や輻射によって窒素ガスに吸収される熱量を増加させることができるので、窒素ガスからの熱伝達や輻射によって各処理材料6に吸収される熱量を増加させることができる。その結果、第4実施形態の密閉容器305と同様の効果を得ることができる。   Further, in the sealed container 905 of the present embodiment, the amount of heat conducted from the outer wall portion of the sealed container 905 to the inner wall portion can be increased in the drying process of the processing material 6, and heat transfer and radiation from the inner wall portion can be increased. Thus, the amount of heat absorbed by the nitrogen gas can be increased, so that the amount of heat absorbed by each processing material 6 by heat transfer or radiation from the nitrogen gas can be increased. As a result, the same effect as the sealed container 305 of the fourth embodiment can be obtained.

(第3別形態)
以下、図20に基づいて、本発明の第3別形態に係る密閉容器及び乾燥処理装置について説明する。図20(a)は、密閉容器の側断面視図である。図20(b)は、図20(a)のI−I線の矢視断面図である。この別形態では、第1〜第実施形態、第1及び第2参考実施形態で説明した素と同一の要素について同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
(3rd form)
Hereinafter, based on FIG. 20, the airtight container and drying processing apparatus which concern on 3rd another form of this invention are demonstrated. FIG. 20A is a side sectional view of the sealed container. FIG. 20B is a cross-sectional view taken along the line I-I in FIG. In this different form, the same code | symbol is attached | subjected about the element same as the element | device demonstrated in 1st- 7th embodiment , 1st, and 2nd reference embodiment , and detailed description is abbreviate | omitted.

<密閉容器>
図20に示されるように、この別形態の密閉容器1005は、耐熱カプラー44を有しておらず、恒温室2に設けられた各耐熱カプラー12a〜14aが用いられることなく、密閉容器1005が搬送される点で、第1参考実施形態の密閉容器405と相違する。
<Sealed container>
As shown in FIG. 20, this another type of sealed container 1005 does not have the heat-resistant coupler 44, and the heat-resistant couplers 12 a to 14 a provided in the temperature-controlled room 2 are not used. It is different from the sealed container 405 of the first reference embodiment in that it is conveyed.

[第3別形態の密閉容器及び乾燥処理装置の特徴]
本別形態の密閉容器1005では、図20(b)の矢印で示されるように、各棚75の
気体通路75a内を流れる高温の空気を利用して、気体通路75aから各処理材料74に
至るまでの熱の伝導経路を形成することができる。従って、第1参考実施形態の密閉容器405と同様の効果を得ることができる。
[Characteristics of sealed container and drying apparatus of the third different form]
In the sealed container 1005 of this different form, as shown by the arrow in FIG. 20B, the high temperature air flowing in the gas passage 75a of each shelf 75 is used to reach each processing material 74 from the gas passage 75a. A heat conduction path up to can be formed. Therefore, the same effect as the sealed container 405 of the first reference embodiment can be obtained.

以上、本発明の実施形態について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、これらの実施形態に限定されるものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described based on drawing, it should be thought that a specific structure is not limited to these embodiment. The scope of the present invention is shown not by the above description of the embodiments but by the scope of claims for patent, and further includes all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of claims for patent.

上述した第1〜第4、第6及び第7実施形態、第1及び第2別形態では、各セパレータを各処理材料から所定間隔だけ離れた位置に配置して、各セパレータからの輻射によって各処理材料を加熱する例について述べたが、本発明はかかる実施形態に限定されず、処理材料の種類によっては、各セパレータを各処理材料と直接接触させて、各セパレータからの熱伝導によって各処理材料を加熱してもよい。   In the above-described first to fourth, sixth and seventh embodiments, and the first and second different embodiments, each separator is disposed at a position spaced apart from each processing material by a predetermined interval, and each of the separators is radiated by radiation. Although an example of heating a treatment material has been described, the present invention is not limited to such an embodiment, and depending on the type of treatment material, each separator is brought into direct contact with each treatment material, and each treatment is performed by heat conduction from each separator. The material may be heated.

上述した第6及び実施形態、並びに第2参考実施形態では、耐熱カプラー44の下端とエアモータの給気口とを接続する給気ホースは無くてもよい。この場合には、密閉容器内の窒素ガスが密閉容器の内部空間を媒介してエアモータに供給され、プロペラまたは回転ギアを回転させることができる。 In the sixth and seventh embodiments and the second reference embodiment described above, the air supply hose that connects the lower end of the heat-resistant coupler 44 and the air motor inlet is not necessary. In this case, nitrogen gas in the sealed container is supplied to the air motor through the inner space of the sealed container, and the propeller or the rotating gear can be rotated.

上述した第6及び実施形態、並びに第2参考実施形態では、密閉容器にエアモータを内蔵する構成としたが、密閉容器の外部にエアモータを配置してもよい。この場合には、外部から密閉容器内に供給される気体のエネルギーを用いてエアモータを駆動させるのではなく、別の手段を用いてエアモータを駆動させることができる。 In the sixth and seventh embodiments and the second reference embodiment described above, the air motor is built in the sealed container. However, the air motor may be disposed outside the sealed container. In this case, the air motor can be driven using another means instead of using the energy of the gas supplied from the outside into the sealed container.

上述した第2実施形態では、耐熱カプラー44の下端と給気口とを接続する給気ホースが無くてもよい。この場合には、密閉容器内の窒素ガスが密閉容器の内部空間を媒介して給気口に供給される。   In the second embodiment described above, the air supply hose that connects the lower end of the heat-resistant coupler 44 and the air supply port may be omitted. In this case, nitrogen gas in the sealed container is supplied to the air supply port through the internal space of the sealed container.

上述した第4実施形態及び第2別形態では、密閉容器の内壁部及び外壁部に各放熱フィンを配置して、内壁部及び外壁部の表面積を増加させる例について述べたが、本発明はかかる実施形態に限定されず、密閉容器の内壁部及び外壁部を凹凸状に形成することによって、内壁部及び外壁部の表面積を増加させてもよい。また、内壁部及び外壁部のいずれか一方のみに各放熱フィンを配置してもよく、内壁部及び外壁部のいずれか一方のみを凹凸状に形成してもよい。   In the above-described fourth embodiment and second alternative embodiment, the example has been described in which the heat dissipating fins are arranged on the inner wall portion and the outer wall portion of the sealed container to increase the surface area of the inner wall portion and the outer wall portion. The surface area of the inner wall portion and the outer wall portion may be increased by forming the inner wall portion and the outer wall portion of the sealed container in an uneven shape, without being limited to the embodiment. Moreover, each radiation fin may be arrange | positioned only to either one of an inner wall part and an outer wall part, and only one of an inner wall part and an outer wall part may be formed in uneven | corrugated shape.

上述した第2参考実施形態では、各処理材料72を回転させることによって、各処理材料72と各伝熱板73とを接触させる例について述べたが、かかる実施形態に限定されず、図21(a)に示されるように、密閉容器1105の内周面から内側に向かって延在する伝熱板80と、エアシリンダ81と、処理材料83が配置された棚(支持部材)82とを備え、図21(b)の矢印に示されるように、エアシリンダ81に気体を供給して棚82を上方向に移動させることによって伝熱板80を処理材料83と接触させてもよい。なお、図21(a)に示されるように、棚82の柱部分は、伝熱板80の開口部に渡されている。また、エアシリンダ81は、耐熱カプラー44及び給気ホース(図示省略)から導入された圧縮気体の圧力によって棚82を移動させる。また、エアシリンダ81の本体内に導入された圧縮気体は、棚82を移動させた後に排気ホース(図示省略)を介して、密閉容器1105内へと排出される。 In the second reference embodiment described above, by rotating the treatment material 72, it has been described the examples of contacting with each process material 72 and the heat transfer plate 73 is not limited to or mow embodiment, FIG. 21 As shown in (a), a heat transfer plate 80 extending inward from the inner peripheral surface of the sealed container 1105, an air cylinder 81, and a shelf (support member) 82 on which a processing material 83 is disposed. It is also possible to bring the heat transfer plate 80 into contact with the processing material 83 by supplying gas to the air cylinder 81 and moving the shelf 82 upward as indicated by the arrow in FIG. Note that, as shown in FIG. 21A, the column portion of the shelf 82 is passed to the opening of the heat transfer plate 80. The air cylinder 81 moves the shelf 82 by the pressure of the compressed gas introduced from the heat-resistant coupler 44 and the air supply hose (not shown). The compressed gas introduced into the main body of the air cylinder 81 is discharged into the sealed container 1105 through the exhaust hose (not shown) after moving the shelf 82.

上述した第1参考実施形態では、各処理材料をセパレータで仕切らない例について述べたが、本発明はかかる実施形態に限定されず、図22の第1参考実施形態の変形例に係る密閉容器1205に示されるように、各処理材料74をセパレータ77で仕切ってもよい。 In the first reference embodiment described above, an example in which each processing material is not partitioned by a separator has been described. However, the present invention is not limited to such an embodiment, and the sealed container 1205 according to a modification of the first reference embodiment in FIG. Each processing material 74 may be partitioned by a separator 77 as shown in FIG.

上述した第1実施形態では、恒温室2の内部に3つの密閉容器5が収容され、恒温室2が3つの接続装置12〜14を有する例について述べたが、本発明はかかる実施形態に限定されず、恒温室2の内部に収容可能な密閉容器の数や、恒温室2に設ける接続装置の数は変更できる。   In 1st Embodiment mentioned above, although the three sealed containers 5 were accommodated in the inside of the temperature-controlled room 2, and the temperature-controlled room 2 described the example which has the three connection apparatuses 12-14, this invention is limited to this embodiment. The number of sealed containers that can be accommodated inside the temperature-controlled room 2 and the number of connection devices provided in the temperature-controlled room 2 can be changed.

上述した第1実施形態では、処理材料6として、リチウムイオンバッテリーの電極材を使用する例について述べたが、本発明はかかる実施形態に限定されず、リチウムイオンバッテリー以外の電極材、あるいは、全く種類の異なる様々な試料を搭載できる。   In the first embodiment described above, the example in which the electrode material of the lithium ion battery is used as the treatment material 6 has been described. However, the present invention is not limited to the embodiment, and the electrode material other than the lithium ion battery, or not at all. Various different types of samples can be loaded.

上述した第1実施形態では、恒温室2の内部が150℃で保たれる例について述べたが、本発明はかかる実施形態に限定されず、この温度は変更できる。   In 1st Embodiment mentioned above, although the example in which the inside of the temperature-controlled room 2 was maintained at 150 degreeC was described, this invention is not limited to this embodiment, This temperature can be changed.

上述した各実施形態では、密閉容器を処理材料の真空乾燥処理に適用する例について述べたが、本発明はかかる実施形態に限定されず、密閉容器は処理材料の加圧熱処理や低温真空処理(フリーズドライ)や低温高圧処理等にも適用できる。   In each of the above-described embodiments, the example in which the sealed container is applied to the vacuum drying process of the processing material has been described. However, the present invention is not limited to such an embodiment, and the sealed container may be a pressure heat treatment or a low-temperature vacuum processing ( It can also be applied to freeze-drying) and low-temperature and high-pressure processing.

上述した各実施形態では、処理材料の乾燥処理工程において、密閉容器内を窒素で充填する例について述べたが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではない。密閉容器の用途に応じて、種々の気体を充填できる。例えば密閉容器内を酸素で充填した場合には、密閉容器内に収容された処理材料の熱酸化を促進させることができる。また例えば、密閉容器内を硫化ガスで充填した場合には、密閉容器内に収容された処理材料の腐食試験を行うことができる。   In each embodiment mentioned above, although the example which fills the inside of an airtight container with nitrogen in the drying treatment process of the processing material was described, this invention is not limited to this embodiment. Depending on the use of the sealed container, various gases can be filled. For example, when the inside of the sealed container is filled with oxygen, thermal oxidation of the treatment material accommodated in the sealed container can be promoted. Further, for example, when the inside of the sealed container is filled with sulfide gas, a corrosion test can be performed on the processing material accommodated in the sealed container.

また、図23〜図25の第1実施形態の変形例に係る密閉容器1305に示されるように、密閉容器内の底部に貯水部78(各図のハッチング部分)を形成してもよい。この貯水部78には、図24に示されるように、密閉容器1305の外周部に設けられた給水口(液体供給部)79から水(液体)が供給される。この給水口79は、外部の給水源(図示せず)と着脱可能であって、給水源と接続されたときに開くとともに、この接続状態が解除されたときに閉じる構造となっている。この密閉容器1305では、密閉容器内の圧力を減圧したり密閉容器内を加熱したりすることによって密閉容器内を水蒸気雰囲気で保つことができる。従って、各処理材料6を水蒸気に曝した状態で、各処理材料6の吸湿性能試験や湿度試験等を行うことができる。   Moreover, as shown in the sealed container 1305 according to the modification of the first embodiment of FIGS. 23 to 25, a water storage section 78 (hatched portion in each figure) may be formed at the bottom of the sealed container. As shown in FIG. 24, water (liquid) is supplied to the water storage part 78 from a water supply port (liquid supply part) 79 provided on the outer peripheral part of the sealed container 1305. The water supply port 79 is detachable from an external water supply source (not shown), and has a structure that opens when connected to the water supply source and closes when the connection state is released. In the sealed container 1305, the inside of the sealed container can be maintained in a water vapor atmosphere by reducing the pressure in the sealed container or heating the sealed container. Therefore, it is possible to perform a moisture absorption performance test, a humidity test, and the like of each treatment material 6 in a state where each treatment material 6 is exposed to water vapor.

なお、上述した第6及び実施形態、並びに第2参考実施形態では、密閉容器の胴板部分に抵抗弁を設ける例について述べたが、本発明はかかる実施形態に限定されず、その他の実施形態においても、密閉容器の胴板部分に抵抗弁を設けてもよい。 In the above-described sixth and seventh embodiments and the second reference embodiment , the example in which the resistance valve is provided on the body plate portion of the sealed container has been described. However, the present invention is not limited to such an embodiment, and other Also in the embodiment, a resistance valve may be provided in the body plate portion of the sealed container.

本発明を利用すれば、処理材料の乾燥処理工程に要する熱エネルギーを従来よりも低減できる密閉容器及び乾燥処理装置を得ることができる。また、複数の密閉容器が1つの恒温室に配置される場合において、複数の密閉容器内の気体状態を互いに異なる状態にできる密閉容器を得ることができる。   By using the present invention, it is possible to obtain a hermetically sealed container and a drying processing apparatus that can reduce the heat energy required for the processing material drying processing step as compared with the conventional case. Moreover, when several sealed containers are arrange | positioned at one thermostat, the sealed container which can make the gas state in several sealed containers mutually different can be obtained.

5、105、205、305、405、505、605、705、805、905、1005、1105、1205、1305 密閉容器
6、72、74 処理材料
12 第1接続装置
13 第2接続装置
14 第3接続装置
15 窒素ガス置換ユニット
16 真空引きユニット
17 チェーン
19 スプロケット
37 シャフト部(保持部材)
37a 内部空間(気体通路)
43、77、143 セパレータ
44 耐熱カプラー(接続部)
45 ヒータ
46 送風手段
47 冷却手段
48、54、63、67 攪拌機構
49 プロペラ
55 回転筒(回転体)
64 筒状部材(保持部材)
67a ノズル(吹き出し部材)
68、69 放熱フィン
70 支持部材
73 伝熱板
75 棚(保持部材)
75a 気体通路
79 給水口(液体供給部)
100 乾燥処理装置
143a 内部空間
143b 吹き出し孔
5, 105, 205, 305, 405, 505, 605, 705, 805, 905, 1005, 1105, 1205, 1305 Sealed container 6, 72, 74 Processing material 12 First connection device 13 Second connection device 14 Third connection Device 15 Nitrogen gas replacement unit 16 Vacuum evacuation unit 17 Chain 19 Sprocket 37 Shaft portion (holding member)
37a Internal space (gas passage)
43, 77, 143 Separator 44 Heat-resistant coupler (connection part)
45 Heater 46 Blowing means 47 Cooling means 48, 54, 63, 67 Stirring mechanism 49 Propeller 55 Rotating cylinder (rotating body)
64 Cylindrical member (holding member)
67a Nozzle (blowing member)
68, 69 Radiation fin 70 Support member 73 Heat transfer plate 75 Shelf (holding member)
75a Gas passage 79 Water supply port (liquid supply part)
100 Drying processing device 143a Internal space 143b

Claims (12)

ロール状の処理材料が収容され且つ外部の気体と熱交換可能に構成されるとともに、その内部の気体状態を変更するための気体状態変更手段に接続可能な接続部と、外部の気体が通過可能な気体流路となった内側空間、及び、前記ロール状の処理材料が介挿される外周部を有するシャフト部とを備えることを特徴とする密閉容器。 A roll-shaped processing material is accommodated and heat exchange with an external gas is possible, and a connection part connectable to a gas state changing means for changing the internal gas state and an external gas can pass therethrough. An airtight container comprising: an inner space which is a gas flow path; and a shaft portion having an outer peripheral portion into which the roll-shaped processing material is inserted . 密閉容器の外壁部及び内壁部の少なくとも一方に設けられた放熱フィンまたは凹凸形状部を備えることを特徴とする請求項1に記載の密閉容器。   The airtight container according to claim 1, further comprising a radiation fin or an uneven shape portion provided on at least one of the outer wall portion and the inner wall portion of the airtight container. 密閉容器内の気体を攪拌する攪拌機構を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の密閉容器。   The sealed container according to claim 1, further comprising a stirring mechanism for stirring the gas in the sealed container. 前記攪拌機構は、前記気体状態変更手段によって供給される気体によって駆動されることを特徴とする請求項3に記載の密閉容器。   The sealed container according to claim 3, wherein the stirring mechanism is driven by a gas supplied by the gas state changing unit. 前記攪拌機構は、前記気体状態変更手段によって供給される気体によって回転するプロペラであることを特徴とする請求項3または4に記載の密閉容器。   The sealed container according to claim 3 or 4, wherein the stirring mechanism is a propeller that is rotated by a gas supplied by the gas state changing means. 前記攪拌機構は、密閉容器の内周面に設けられ、前記接続部を介して密閉容器内に供給される気体を密閉容器の内周面に沿って吹き出す吹き出し部材であることを特徴とする請求項3または4に記載の密閉容器。   The agitating mechanism is a blowing member that is provided on the inner peripheral surface of the sealed container and blows out the gas supplied into the sealed container through the connection portion along the inner peripheral surface of the sealed container. Item 5. The sealed container according to Item 3 or 4. 前記攪拌機構は、密閉容器内に収容される処理材料を保持するとともに、前記気体状態変更手段によって供給される気体によって回転する回転体であることを特徴とする請求項3または4に記載の密閉容器。   The sealed mechanism according to claim 3 or 4, wherein the stirring mechanism is a rotating body that holds the processing material accommodated in the sealed container and is rotated by the gas supplied by the gas state changing means. container. 密閉容器内に配置された複数の処理材料を仕切るとともに密閉容器の熱交換可能な部位に接続されたセパレータを備えることを特徴とする請求項1〜のいずれか1項に記載の密閉容器。 The sealed container according to any one of claims 1 to 7 , further comprising a separator that partitions a plurality of processing materials disposed in the sealed container and is connected to a heat-exchangeable portion of the sealed container. 前記セパレータは、前記シャフト部の前記外周部に接続されていることを特徴とする請求項に記載の密閉容器。 The sealed container according to claim 8 , wherein the separator is connected to the outer peripheral portion of the shaft portion . 前記セパレータは、
前記接続部を介して供給された気体が導入される内部空間と、
前記内部空間に導入された気体を密閉容器内へ吹き出し可能な吹き出し孔とを備えることを特徴とする請求項またはに記載の密閉容器。
The separator is
An internal space into which the gas supplied through the connecting portion is introduced;
Sealed container according to claim 8 or 9, characterized in that it comprises the said interior space balloon capable blown introduced gas into the closed vessel into the hole.
密閉容器の内部に外部から液体を供給する液体供給部を備えることを特徴とする請求項1〜1のいずれか1項に記載の密閉容器。 The airtight container according to any one of claims 1 to 10 , further comprising a liquid supply unit that supplies liquid from outside into the airtight container. 請求項1〜1のいずれか1項に記載の密閉容器を内部に配置可能な恒温室と、
前記恒温室内の前記密閉容器を前記恒温室の外部へ搬送する搬送機構とを備え、
前記恒温室は、
前記密閉容器内の気体状態を変更するための気体状態変更手段と、
前記密閉容器内の温度を調節するための温度調節手段とを有することを特徴とする乾燥処理装置。
A temperature-controlled room capable of arranging the sealed container according to any one of claims 1 to 11, and
A transport mechanism for transporting the sealed container in the temperature-controlled room to the outside of the temperature-controlled room,
The temperature-controlled room is
A gas state changing means for changing the gas state in the sealed container;
And a temperature adjusting means for adjusting the temperature in the sealed container.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110986526A (en) * 2019-12-06 2020-04-10 苏州氟特电池材料股份有限公司 A agitator for lithium battery material drying device

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015053198A1 (en) * 2013-10-07 2015-04-16 日産自動車株式会社 Electrode roll drying method, and electrode roll drying device
JP7186418B2 (en) * 2018-07-04 2022-12-09 ヤマト科学株式会社 Vacuum drying method
WO2020031227A1 (en) * 2018-08-06 2020-02-13 株式会社プリス Spray drying device and spray drying method
CN111207569A (en) * 2019-12-19 2020-05-29 东莞市德瑞精密设备有限公司 Lithium battery vacuum heating drying device
CN115218628B (en) * 2022-07-19 2023-09-05 胜华新材料集团股份有限公司 Drying device is used in preparation of silicon carbon negative pole piece

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4819153B1 (en) * 1970-08-21 1973-06-11
JPH06229669A (en) * 1993-02-04 1994-08-19 Ngk Insulators Ltd Reduced pressure drying method and apparatus
JP3076572B1 (en) * 1999-02-18 2000-08-14 幸雄 佐原 Multipurpose freeze dryer
JP2001037849A (en) * 1999-07-29 2001-02-13 Miura Co Ltd Microwave agitating device
JP2003024896A (en) * 2001-07-12 2003-01-28 Matsushita Electric Works Ltd Garbage drier
JP3806110B2 (en) * 2003-08-26 2006-08-09 島田理化工業株式会社 Vacuum drying equipment
WO2005100891A1 (en) * 2004-04-12 2005-10-27 Kitakyushu Foundation For The Advancement Of Industry, Science And Technology Method and apparatus for reduced pressure drying using microwave
JP4888575B2 (en) * 2010-02-17 2012-02-29 日産自動車株式会社 Drying apparatus and drying method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110986526A (en) * 2019-12-06 2020-04-10 苏州氟特电池材料股份有限公司 A agitator for lithium battery material drying device

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