JP5331950B2 - Optical fiber laser light source - Google Patents

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Description

この発明は、入力光を増幅用光ファイバで増幅する光ファイバ増幅モジュールに関するものである。   The present invention relates to an optical fiber amplifying module that amplifies input light with an amplifying optical fiber.

光ファイバレーザ光源は、信頼性が高く、かつ、小型の光源として知られ、特に、導波路構造を有することからビーム品質が良好である。このことから、光ファイバレーザ光源は、電子・機械分野における加工、医療、計測、光通信など様々な用途に広く普及している。   An optical fiber laser light source is known as a highly reliable and small-sized light source, and particularly has a good beam quality because it has a waveguide structure. For this reason, optical fiber laser light sources are widely used in various applications such as processing, medical treatment, measurement, and optical communication in the electronic / mechanical field.

特に、種光源から出力されたパルス種光を光ファイバ増幅モジュールにより増幅するMOPA(Master Oscillation Power Amplifier)構成の光ファイバレーザ光源は、現在普及しているQスイッチ構成の光源と比較して、ファイバ長による伝搬遅延の影響によるパルス幅広がりなどが見られない。すなわち、上記光ファイバ増幅モジュールは、短パルス化や高繰返し周波数化に有利なことから、微細加工や計測の用途への普及が期待される。ただし、種光源として高速変調可能な半導体レーザ光源を使用して、加工用など高出力が要求される用途に適用される場合、光ファイバ増幅モジュールには50dB以上の高利得が要求される。光ファイバ増幅モジュールにおける増幅作用は、通常、希土類元素などが添加された増幅用光ファイバにより実現されるので、原理的には高利得が実現され易い。
特許3306700号公報 F. D. Teodoro, et al,"High-power pulsed fiber source at 1567nm",Proc. Photonic WEST2005
In particular, an optical fiber laser light source of MOPA (Master Oscillation Power Amplifier) configuration that amplifies pulse seed light output from a seed light source by an optical fiber amplification module is a fiber in comparison with a light source of Q switch configuration that is currently popular. No broadening of pulse width due to propagation delay due to length is observed. That is, the optical fiber amplification module is advantageous for shortening the pulse and increasing the repetition frequency, and is expected to be widely used for fine processing and measurement. However, when a semiconductor laser light source capable of high-speed modulation is used as a seed light source and applied to an application requiring high output such as processing, the optical fiber amplification module is required to have a high gain of 50 dB or more. Since the amplification action in the optical fiber amplification module is usually realized by an amplification optical fiber to which a rare earth element or the like is added, in principle, a high gain is easily realized.
Japanese Patent No. 3306700 FD Teodoro, et al, "High-power pulsed fiber source at 1567nm", Proc. Photonic WEST2005

発明者は、従来技術について詳細に検討した結果、以下のような課題を発見した。すなわち、光ファイバ増幅モジュールにおいて、増幅された自然放出光(ASE)の混入成分比率が高まり、出力パルス列の消光比が劣化すると、ASE光で当該光ファイバ増幅モジュールの出力が飽和してしまい、高利得が得られにくくなる。そのため、被増幅光の伝搬経路上に誘電体多層膜バンドパスフィルタを配置し、該誘電体多層膜バンドパスフィルタにより被増幅光のみを選択することが望ましい。なお、光通信用など信号光レベルが低い用途と比べると、レーザ加工用途等ではパルスピークが高いため、誘電体多層膜を破壊する可能性が高い。例えば、非特許文献1には、光ファイバブラッググレーティング及び光サーキュレータを組み合わせた方式なども提案されている。   The inventor discovered the following problems as a result of examining the prior art in detail. That is, in the optical fiber amplifying module, when the mixed component ratio of the amplified spontaneous emission light (ASE) increases and the extinction ratio of the output pulse train deteriorates, the output of the optical fiber amplifying module is saturated with the ASE light. Gain is difficult to obtain. Therefore, it is desirable to dispose a dielectric multilayer bandpass filter on the propagation path of the amplified light and select only the amplified light by the dielectric multilayer bandpass filter. Note that the pulse peak is higher in laser processing applications and the like than in applications where the signal light level is low, such as for optical communication, and therefore there is a high possibility of destroying the dielectric multilayer film. For example, Non-Patent Document 1 proposes a method in which an optical fiber Bragg grating and an optical circulator are combined.

特許文献1に記載されたように、光ファイバ増幅モジュールのうち光フィルタの上流部までの利得又は光パワーレベルを一定制御することで、光フィルタの破壊を防止することも考えられる。しかしながら、加工用レーザなどでは、デューティ比が1/100〜1/10000と非常に低いとき、パルスピークの検出が困難であるため、特許文献1に記載されたようなアクティブ制御は、時定数などの制約から誤動作の危険性が高い。   As described in Patent Document 1, it is conceivable to prevent destruction of the optical filter by controlling the gain or optical power level up to the upstream portion of the optical filter in the optical fiber amplification module. However, in a processing laser or the like, it is difficult to detect a pulse peak when the duty ratio is as low as 1/100 to 1/10000. Therefore, active control as described in Patent Document 1 is time constant or the like. There is a high risk of malfunction due to restrictions.

また、増幅用光ファイバによる高利得は、逆に、動作状態によっては高い利得が出過ぎてしまい、自らがモード競合した発振を起こしてしまう。この場合、光サージなどの出力により当該光ファイバ増幅モジュールを構成する光部品を破壊する事態が懸念される。特に、高出力を実現するために広く用いられるクラッド励起方式では、励起光と被増幅光との分離がされていないケースも多い。この場合、コアを伝搬すべき被増幅光やASE光による光サージが、励起光が伝搬する内クラッドの伝搬モードに結合してしまい、励起光源の破壊につながる危険性がある。したがって、クラッド励起された部分の利得はあまり高くしないことが望ましい。一般的には20dB程度が上限の目安と言われる。   On the other hand, the high gain due to the amplification optical fiber is excessively high depending on the operating state, and oscillation that causes mode competition by itself occurs. In this case, there is a concern that an optical component constituting the optical fiber amplification module may be destroyed by an output such as an optical surge. In particular, in the clad excitation method widely used for realizing high output, there are many cases where the excitation light and the light to be amplified are not separated. In this case, there is a risk that an optical surge due to the amplified light or ASE light that should propagate through the core is coupled to the propagation mode of the inner cladding through which the excitation light propagates, leading to the destruction of the excitation light source. Therefore, it is desirable that the gain of the clad excited portion is not so high. Generally, about 20 dB is said to be an upper limit guide.

この発明は上述のような課題を解決するためになされたものであり、デューティ比の低い光を増幅する場合であっても安定して高利得を実現するための構造を備えた光ファイバ増幅モジュールを提供することを目的としている。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and an optical fiber amplifying module having a structure for stably realizing high gain even when light with a low duty ratio is amplified. The purpose is to provide.

この発明に係る光ファイバ増幅モジュールは、1%以下のデューティ比を有する光を入力するための入力端と、該入力端を介して取り込まれた入力光を増幅することにより得られる増幅光を出力するための出力端と、複数の増幅用光ファイバ(少なくとも3本の増幅用光ファイバ)と、光フィルタと、該光フィルタの破壊等を回避するよう増幅利得を制御する第1制御手段を、少なくとも備える。なお、デューティ比は「パルス幅/パルス周期」で定義される。   An optical fiber amplifying module according to the present invention outputs an input end for inputting light having a duty ratio of 1% or less and amplified light obtained by amplifying input light taken in through the input end A first control means for controlling an amplification gain so as to avoid destruction of the optical filter, an optical filter, an optical filter, and an output end, a plurality of amplification optical fibers (at least three amplification optical fibers), At least. The duty ratio is defined by “pulse width / pulse period”.

複数の増幅用光ファイバは、入力端から出力端へ到る光伝搬経路に沿って縦列に配置され、それぞれが入力光を増幅する。光フィルタは、入力端を介して取り込まれた入力光を選択的に通過させるための光部品である。また、光フィルタは、複数の増幅用光ファイバのうち、入力端を通過した入力光が最初に通過する初段の増幅用光ファイバと、該初段の増幅用光ファイバから出力された増幅光が最初に通過する第2段の増幅用光ファイバとの間に配置される。特に、第1制御手段は、初段の増幅用光ファイバにおける入力光に対する利得を第1所定値以下となるように設定する。   The plurality of amplification optical fibers are arranged in a column along the light propagation path from the input end to the output end, and each amplifies the input light. The optical filter is an optical component for selectively allowing the input light taken in via the input end to pass through. The optical filter includes, among the plurality of amplification optical fibers, the first-stage amplification optical fiber through which the input light that has passed through the input end first passes, and the amplification light output from the first-stage amplification optical fiber first. Between the second-stage amplification optical fibers passing through In particular, the first control means sets the gain for the input light in the first-stage amplification optical fiber to be equal to or less than the first predetermined value.

この発明に係る光ファイバ増幅モジュールにおいて、第1制御手段は、光受動部品のみの構成であっても、また、フィードバック構成のいずれであってもよい。例えば、初段の増幅用光ファイバの吸収条長積は、温度調整された環境下において特定値に最適化されている状態で、第1制御手段は、該初段の増幅用光ファイバに供給される励起光のパワーを一定に維持するよう、該励起光を供給する励起光源を制御する。このとき、増幅用光ファイバ周辺の環境温度は、特定範囲に収まるよう制御されているのが好ましい。このような温度調節は、サーミスタによる温度検知を行いながら、ペルチェ素子に対してフィードバック制御を行う方式が考えられるが、実質的にヒートシンクとなり得る良好な熱伝導性を有する材質の上に増幅用光ファイバを搭載し、このヒートシンクのをファンで強制冷却する方式などでもよい。なお、このように初段の増幅用光ファイバの吸収条長積及び励起光パワーの制御により該初段の増幅用光ファイバにおける利得を抑制する構成では、該初段の増幅用光ファイバの吸収条長積及び励起光パワーそれぞれを、予め最適値に設定しておくことによっても第1制御手段は実現されえる。   In the optical fiber amplifying module according to the present invention, the first control means may be configured with only an optical passive component or may have any feedback configuration. For example, the first control means supplies the first-stage amplification optical fiber to the first-stage amplification optical fiber in a state where the absorption length product of the first-stage amplification optical fiber is optimized to a specific value in a temperature-controlled environment. The excitation light source that supplies the excitation light is controlled so that the power of the excitation light is kept constant. At this time, the ambient temperature around the amplification optical fiber is preferably controlled so as to be within a specific range. For such temperature control, a method of performing feedback control on the Peltier element while performing temperature detection with a thermistor is conceivable. However, the amplification light is formed on a material having good thermal conductivity that can substantially serve as a heat sink. A system in which a fiber is mounted and the heat sink is forcibly cooled by a fan may be used. In this way, in the configuration in which the gain in the first-stage amplification optical fiber is suppressed by controlling the absorption-length product and the pumping light power of the first-stage amplification optical fiber, the absorption-length product of the first-stage amplification optical fiber is controlled. The first control means can also be realized by setting the pump light power and the pump light power to optimum values in advance.

また、この発明に係る光ファイバ増幅モジュールにおいて、第1制御手段は、フィードバック構成にて実現可能であり、この場合、該第1制御手段は、初段の増幅用光ファイバから出力されるASE光のうち入力光以外の波長成分をモニタし、該モニタ値に応じて初段の増幅用光ファイバに供給される励起光のパワーを制御するための構成を備える。さらに、第1制御手段は、初段の増幅用光ファイバの光入力端及び光出力端の双方配置された、入力光を透過する一方、入力光波長周辺の特定の波長成分を選択的に反射するための2つの反射手段を含んでもよい。なお、上記所定値は、特定の値であっても数値範囲であってもよい。また、第1制御手段による制御は常時行われても、所定値を越えた場合にだけ制御を行ってもよい。   In the optical fiber amplifying module according to the present invention, the first control means can be realized by a feedback configuration. In this case, the first control means can control the ASE light output from the first-stage amplification optical fiber. Among them, a configuration is provided for monitoring wavelength components other than the input light and controlling the power of the pumping light supplied to the first-stage amplification optical fiber according to the monitored value. Further, the first control means transmits both input light and selectively reflects specific wavelength components around the input light wavelength, which are arranged at both the light input end and the light output end of the first-stage amplification optical fiber. Two reflecting means for the purpose may be included. The predetermined value may be a specific value or a numerical value range. Further, the control by the first control means may be always performed, or the control may be performed only when a predetermined value is exceeded.

この発明に係る光ファイバ増幅モジュールは、複数の増幅用光ファイバのうち、出力端に最も近い位置に配置された最終段の増幅用光ファイバにおける入力光に対する利得を、第2所定値以下となるように設定する第2制御手段を備えてもよい。なお、この第2所定値は、上述のように20dB程度に設定されるのが一般的であり、通常、第1所定値よりも小さい。具体的には、最終段の増幅用光ファイバを挟むように配置された、入力光を透過する一方、入力光とは異なる特定波長成分を選択的に反射させるための2つの反射手段により、第2制御手段は実現可能である。このとき、2つの反射手段のうち、入力光の伝搬方向から見て下流側に位置する反射手段は、最終段の増幅用光ファイバから出力された増幅光が伝搬する、該最終段の増幅用光ファイバと出力端との間の空間中に配置される。また、選択的に反射される特定波長成分は、入力光(被増幅光)に含まれる波長成分のいずれよりも短い波長であるのが好ましい。   In the optical fiber amplifying module according to the present invention, the gain with respect to the input light in the final-stage amplifying optical fiber arranged at the position closest to the output end among the plurality of amplifying optical fibers is equal to or less than the second predetermined value. You may provide the 2nd control means to set as follows. The second predetermined value is generally set to about 20 dB as described above, and is usually smaller than the first predetermined value. Specifically, the two reflecting means for selectively transmitting a specific wavelength component different from the input light while transmitting the input light and arranged so as to sandwich the optical fiber for amplification at the final stage are used. Two control means are feasible. At this time, of the two reflecting means, the reflecting means located on the downstream side when viewed from the propagation direction of the input light is used for the amplification of the final stage through which the amplified light output from the amplification optical fiber of the final stage propagates. It arrange | positions in the space between an optical fiber and an output end. The specific wavelength component that is selectively reflected is preferably shorter than any wavelength component included in the input light (amplified light).

さらに、この発明に係る光ファイバ増幅モジュールは、1%以下のデューティ比を有する光を入力するための入力端と、該入力端を介して取り込まれた入力光を増幅することにより得られる増幅光を出力するための出力端と、それぞれイットリビウム(Yb)が添加された複数の増幅用光ファイバ(少なくとも3本の増幅用光ファイバ)と、光フィルタを備えてもよい。この場合、複数の増幅用光ファイバは、入力端から出力端へ到る光伝搬経路に沿って縦列に配置される。また、光フィルタは、入力端を介して取り込まれた入力光を選択的に通過させるため、複数の増幅用光ファイバのうち、入力端を通過した入力光が最初に通過する初段の増幅用光ファイバと、該初段の増幅用光ファイバから出力された増幅光が最初に通過する第2段の増幅用光ファイバとの間に配置されている。特に、このような構造を備えた光ファイバ増幅モジュールにおいて、初段の増幅用光ファイバは、該初段の増幅用光ファイバ内を伝搬する光に対して1000dB以下の非飽和吸収条長積を有するのが好ましい。   Furthermore, an optical fiber amplifying module according to the present invention has an input end for inputting light having a duty ratio of 1% or less, and amplified light obtained by amplifying input light taken in through the input end , A plurality of amplification optical fibers (at least three amplification optical fibers) to which yttrium (Yb) is added, and an optical filter. In this case, the plurality of amplification optical fibers are arranged in a column along the light propagation path from the input end to the output end. Further, the optical filter selectively passes the input light taken in through the input end, so that the first-stage amplification light through which the input light that has passed through the input end first passes among the plurality of amplification optical fibers. It is arranged between the fiber and the second-stage amplification optical fiber through which the amplified light output from the first-stage amplification optical fiber first passes. In particular, in the optical fiber amplifying module having such a structure, the first-stage amplification optical fiber has an unsaturated absorption length product of 1000 dB or less with respect to light propagating in the first-stage amplification optical fiber. Is preferred.

なお、この発明に係る各実施形態は、以下の詳細な説明及び添付図面によりさらに十分に理解可能となる。これら実施形態は単に例示のために示されるものであって、この発明を限定するものと考えるべきではない。   Each embodiment according to the present invention can be more fully understood from the following detailed description and the accompanying drawings. These embodiments are shown merely for illustrative purposes and should not be considered as limiting the invention.

また、この発明のさらなる応用範囲は、以下の詳細な説明から明らかになる。しかしながら、詳細な説明及び特定の事例はこの発明の好適な実施形態を示すものではあるが、例示のためにのみ示されているものであって、この発明の思想及び範囲における様々な変形および改良はこの詳細な説明から当業者には自明であることは明らかである。   Further scope of applicability of the present invention will become apparent from the detailed description given below. However, the detailed description and specific examples, while indicating the preferred embodiment of the invention, are presented for purposes of illustration only and various modifications and improvements within the spirit and scope of the invention. Will be apparent to those skilled in the art from this detailed description.

以上のようにこの発明によれば、デューティ比の低い光(被増幅光)を増幅する場合であっても安定して高利得が実現され得る。   As described above, according to the present invention, even when light with a low duty ratio (light to be amplified) is amplified, high gain can be stably realized.

以下、この発明に係る光ファイバ増幅モジュールの各実施形態を、図1〜図12を参照しながら詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素、同一部位には同一符号を付して重複する説明を省略する。   Hereinafter, each embodiment of the optical fiber amplification module according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. In the description of the drawings, the same elements and the same parts are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

(第1実施形態)
図1は、この発明に係る光ファイバ増幅モジュールの第1実施形態の構成を示す図である。図1に示された第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール1は、入力コネクタ11に入力した光を増幅し、この増幅光を出力コリメータ12からコリメート光として出力する。当該光ファイバ増幅モジュール1は、入力コネクタ11から出力コリメータ12へ向かって順に配置された、光アイソレータ21、光カプラ31、YbDF41、光アイソレータ22、バンドパスフィルタ50、光カプラ32、YbDF42、光アイソレータ23、光ファイバブラッググレーティング60、コンバイナ70及びYbDF43を備える。さらに、光ファイバ増幅モジュール1は、光カプラ31に接続された励起光源81、光カプラ32に接続された偏波合成器33、及び励起光源82、83を備えるとともに、コンバイナ70に接続された複数の励起光源84をも備える。
(First embodiment)
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a first embodiment of an optical fiber amplifying module according to the present invention. The optical fiber amplification module 1 according to the first embodiment shown in FIG. 1 amplifies the light input to the input connector 11 and outputs the amplified light from the output collimator 12 as collimated light. The optical fiber amplification module 1 includes an optical isolator 21, an optical coupler 31, a YbDF 41, an optical isolator 22, a bandpass filter 50, an optical coupler 32, a YbDF 42, and an optical isolator arranged in order from the input connector 11 to the output collimator 12. 23, an optical fiber Bragg grating 60, a combiner 70, and a YbDF43. The optical fiber amplifying module 1 further includes a pumping light source 81 connected to the optical coupler 31, a polarization beam combiner 33 connected to the optical coupler 32, and pumping light sources 82 and 83, and a plurality of units connected to the combiner 70. The excitation light source 84 is also provided.

YbDF41〜43それぞれは、石英ガラスをホストガラスとし、光活性物質としてYb元素を光導波領域に添加された増幅用光ファイバ(Yb-Doped Fiber)である。特に、最後段に設けられたYbDF43は、図2の領域(a)に示されたように、Yb元素を添加されるとともに被増幅光が伝搬するコア43a(最大屈折率n1)と、該コア43aを取り囲むクラッド領域43bを備える。クラッド領域43bは、複数の後段励起光源72からの励起光が伝搬する内側クラッド43b1(屈折率n2(<n1))と、該内側クラッド43b1を取り囲む外側クラッド43b2(屈折率n3(<n2))から構成されている。なお、図2の領域(b)は、YbDF43の屈折率プロファイル430であり、該屈折率プロファイル430において、領域431は、コア43aの径方向に沿った各部位の屈折率、領域432は内側クラッド43b1の径方向に沿った各部位の屈折率、領域433は外側クラッド43b2の径方向に沿った各部位の屈折率を示す。   Each of the YbDFs 41 to 43 is an amplification optical fiber (Yb-Doped Fiber) in which quartz glass is used as a host glass and Yb element is added as a photoactive substance to the optical waveguide region. In particular, the YbDF 43 provided in the last stage includes a core 43a (maximum refractive index n1) to which the light to be amplified propagates while adding the Yb element, as shown in the region (a) of FIG. A cladding region 43b surrounding 43a is provided. The cladding region 43b includes an inner cladding 43b1 (refractive index n2 (<n1)) through which pumping light from a plurality of subsequent pumping light sources 72 propagates, and an outer cladding 43b2 (refractive index n3 (<n2)) surrounding the inner cladding 43b1. It is composed of 2 is a refractive index profile 430 of the YbDF 43. In the refractive index profile 430, the region 431 is the refractive index of each part along the radial direction of the core 43a, and the region 432 is the inner cladding. The refractive index of each part along the radial direction of 43b1, and the region 433 indicate the refractive index of each part along the radial direction of the outer cladding 43b2.

この第1実施形態において、初段のYbDF41における利得は、受動光部品のみで構成される第1制御手段により、第1所定値以下となるように制御される。すなわち、この第1実施形態において、第1制御手段は、初段のYbDF41の吸収条長積及び励起光源81から出力される励起光のパワーそれぞれを、予め最適値に設定しておくことにより実現される。一方、最終段のYbDF43における利得も、第2制御手段により、第2所定値以下となるように制御される。なお、この第2制御手段は、最終段のYbDF43の両端に配置された反射手段により実現される。なお、この第2所定値は、上述のように20dB程度に設定されるのが一般的であり、通常、第1所定値よりも小さい。   In the first embodiment, the gain in the first stage YbDF 41 is controlled to be equal to or lower than the first predetermined value by the first control means configured only by passive optical components. That is, in the first embodiment, the first control unit is realized by setting the absorption length product of the first stage YbDF 41 and the power of the pumping light output from the pumping light source 81 to optimum values in advance. The On the other hand, the gain in the final stage YbDF 43 is also controlled by the second control means so as to be equal to or lower than the second predetermined value. This second control means is realized by reflecting means arranged at both ends of the final stage YbDF43. The second predetermined value is generally set to about 20 dB as described above, and is usually smaller than the first predetermined value.

励起光源81は、YbDF41へ供給すべき励起光(975nm波長帯、パワー300mW級)を出力する単一モード励起LDである。励起光源82、83は、YbDF42へ供給すべき励起光(975nm波長帯、パワー500mW級)を出力する単一モード励起LDである。複数の励起光源84は、YbDF43へ供給すべき励起光(915nm波長帯)を出力する多モード励起LDである。これらYbDF41〜43それぞれは、1064nm波長帯の光を増幅することができる。   The excitation light source 81 is a single mode excitation LD that outputs excitation light (975 nm wavelength band, power 300 mW class) to be supplied to the YbDF 41. The excitation light sources 82 and 83 are single mode excitation LDs that output excitation light (975 nm wavelength band, power 500 mW class) to be supplied to the YbDF 42. The plurality of excitation light sources 84 are multimode excitation LDs that output excitation light (915 nm wavelength band) to be supplied to the YbDF 43. Each of these YbDFs 41 to 43 can amplify light in the 1064 nm wavelength band.

光アイソレータ21〜23それぞれは、入力コネクタ11から出力コリメータ12へ向かう順方向に光を通過させる一方、逆方向には光を通過させない。光カプラ31は、励起光源81から到達した励起光をYbDF41へ出力するととともに、光アイソレータ21から到達した入力光(被増幅光)もYbDF41へ出力する。偏波合成器33は、励起光源82、83から出力された励起光を偏波合成する。さらに、偏波合成器33は、このように合成された励起光を光カプラ32へ出力する。光カプラ32は、偏波合成器33から到達した励起光をYbDF42へ出力するととともに、光フィルタ(バンドパスフィルタ)50から到達した被増幅光もYbDF42へ出力する。コンバイナ70は、光ファイバブラッググレーティング60から到達した被増幅光をYbDF43へ出力するとともに、複数の励起光源84から到達した励起光もYbDF43へ出力する。   Each of the optical isolators 21 to 23 allows light to pass in the forward direction from the input connector 11 to the output collimator 12, but does not allow light to pass in the reverse direction. The optical coupler 31 outputs the pumping light that has arrived from the pumping light source 81 to the YbDF 41, and also outputs the input light (light to be amplified) that has arrived from the optical isolator 21 to the YbDF 41. The polarization beam combiner 33 combines the excitation light output from the excitation light sources 82 and 83 with polarization. Furthermore, the polarization beam combiner 33 outputs the excitation light synthesized in this way to the optical coupler 32. The optical coupler 32 outputs the excitation light reaching from the polarization beam combiner 33 to the YbDF 42 and also outputs the amplified light reaching from the optical filter (bandpass filter) 50 to the YbDF 42. The combiner 70 outputs the amplified light that has arrived from the optical fiber Bragg grating 60 to the YbDF 43, and also outputs the excitation light that has arrived from the plurality of excitation light sources 84 to the YbDF 43.

バンドパスフィルタ50は、初段のYbDF41と第2段のYbDF42との間、更に具体的には光アイソレータ22と光カプラ32との間に配置される。このバンドパスフィルタ50は、光アイソレータ22から到達した光のうち被増幅光を選択的に光カプラ32へ透過させる一方、他の波長成分を遮断する。バンドパスフィルタ50は例えば誘電体多層膜を含む。光ファイバブラッググレーティング60は、光アイソレータ23とコンバイナ70との間に配置されており、被増幅光と異なる特定波長成分を選択的に反射させる一方、他の波長成分を透過させる。   The band pass filter 50 is disposed between the first stage YbDF 41 and the second stage YbDF 42, more specifically, between the optical isolator 22 and the optical coupler 32. The band-pass filter 50 selectively transmits the amplified light out of the light reaching from the optical isolator 22 to the optical coupler 32 while blocking other wavelength components. The band pass filter 50 includes, for example, a dielectric multilayer film. The optical fiber Bragg grating 60 is disposed between the optical isolator 23 and the combiner 70, and selectively reflects a specific wavelength component different from the light to be amplified while transmitting other wavelength components.

図3は、この第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール1に含まれる出力コリメータ12の構成を説明するための図である。この図3には、出力コリメータ12を構成する複数の部品が分解された状態で示されている。出力コリメータ12は、光ファイバ120、エンドキャップ121、レンズ122、反射膜123及び光アイソレータ124を含む。この第1実施形態において、上述の第2制御手段は、光ファイバブラッググレーティング60と反射膜123により構成されている。   FIG. 3 is a diagram for explaining the configuration of the output collimator 12 included in the optical fiber amplification module 1 according to the first embodiment. In FIG. 3, a plurality of parts constituting the output collimator 12 are shown in an exploded state. The output collimator 12 includes an optical fiber 120, an end cap 121, a lens 122, a reflective film 123, and an optical isolator 124. In the first embodiment, the second control means described above is constituted by the optical fiber Bragg grating 60 and the reflective film 123.

光ファイバ120の一端は最終段のYbDF43と光学的に接続されており、光ファイバ120の他端にエンドキャップ121が設けられている。レンズ122は、エンドキャップ121から出力された光をコリメートする。反射膜123は、レンズ122によりコリメートされて出力された光を入力して、光ファイバブラッググレーティング60の特定反射波長と同じ波長成分を反射する一方、他の波長成分を透過させる。この反射膜123は例えば誘電体多層膜から構成される。光アイソレータ124は、反射膜123から到達した光を外部へ通過させるが、逆方向には光を通過させない。   One end of the optical fiber 120 is optically connected to the final stage YbDF 43, and an end cap 121 is provided at the other end of the optical fiber 120. The lens 122 collimates the light output from the end cap 121. The reflecting film 123 receives light collimated by the lens 122 and reflects the same wavelength component as the specific reflection wavelength of the optical fiber Bragg grating 60 while transmitting other wavelength components. The reflection film 123 is composed of, for example, a dielectric multilayer film. The optical isolator 124 allows the light reaching from the reflective film 123 to pass outside, but does not allow the light to pass in the reverse direction.

最終段のYbDF43の両端に設けられている光ファイバブラッググレーティング60及び反射膜123は、被増幅光と異なる特定波長成分を選択的に反射させる一方、他の波長成分を透過させる光部品である。これら光ファイバブラッググレーティング60及び反射膜123により構成された光共振器がYbDF43における利得を所定値以下となるように制御する。すなわち、この第1実施形態における第2制御手段は、光ファイバブラッググレーティング60及び反射膜123により構成される。下流側に位置する反射膜123は、YbDF43から出力された被増幅光がエンドキャップ121から出力した後の空間に設けられている。また、光ファイバブラッググレーティング60反射膜123により反射される特定波長成分は、被増幅光の波長より短いのが好ましい。   The optical fiber Bragg grating 60 and the reflection film 123 provided at both ends of the final stage YbDF 43 are optical components that selectively reflect a specific wavelength component different from the light to be amplified and transmit other wavelength components. The optical resonator composed of the optical fiber Bragg grating 60 and the reflection film 123 controls the gain in the YbDF 43 to be a predetermined value or less. That is, the second control means in the first embodiment is constituted by the optical fiber Bragg grating 60 and the reflection film 123. The reflective film 123 located on the downstream side is provided in a space after the amplified light output from the YbDF 43 is output from the end cap 121. The specific wavelength component reflected by the optical fiber Bragg grating 60 reflecting film 123 is preferably shorter than the wavelength of the light to be amplified.

当該光ファイバ増幅モジュール1は以下のように動作する。すなわち、励起光源81から出力された励起光(975nm波長帯)は、光カプラ31を経て順方向からYbDF41へ供給される。励起光源82、83から出力された励起光(975nm波長帯)は、偏波合成器33により偏波合成される。そして、このように偏波合成された励起光は、光カプラ32を経て順方向からYbDF42へ供給される。複数の励起光源84から出力された励起光(915nm波長帯)は、コンバイナ70を経て順方向からYbDF43へ供給される。   The optical fiber amplification module 1 operates as follows. That is, the excitation light (975 nm wavelength band) output from the excitation light source 81 is supplied to the YbDF 41 from the forward direction via the optical coupler 31. Excitation light (975 nm wavelength band) output from the excitation light sources 82 and 83 is subjected to polarization synthesis by the polarization beam combiner 33. Then, the excitation light synthesized in this way is supplied to the YbDF 42 from the forward direction via the optical coupler 32. Excitation light (915 nm wavelength band) output from the plurality of excitation light sources 84 is supplied to the YbDF 43 from the forward direction via the combiner 70.

入力コネクタ11に入力した被増幅光(波長1064nm)は、光アイソレータ21及び光カプラ31を経てYbDF41に入力され、このYbDF41において増幅される。YbDF41において増幅された光は、光アイソレータ22、バンドパスフィルタ50及び光カプラ32を経てYbDF42に入力され、このYbDF42においても増幅される。YbDF42において増幅され光は、光アイソレータ23、光ファイバブラッググレーティング60及びコンバイナ70を経てYbDF43に入力され、このYbDF43において更に増幅される。   Light to be amplified (wavelength 1064 nm) input to the input connector 11 is input to the YbDF 41 via the optical isolator 21 and the optical coupler 31, and is amplified in the YbDF 41. The light amplified in the YbDF 41 is input to the YbDF 42 through the optical isolator 22, the band pass filter 50, and the optical coupler 32, and is also amplified in the YbDF 42. The light amplified in the YbDF 42 is input to the YbDF 43 through the optical isolator 23, the optical fiber Bragg grating 60, and the combiner 70, and further amplified in the YbDF 43.

YbDF43において増幅された光は、最終的に出力コリメータ12によりコリメートされ、当該光ファイバ増幅モジュール1の外部へ出力される。出力コリメータ12において、YbDF43から出力された光は、光ファイバ120及びエンドキャップ121を経て空間に出力される。この出力光は、レンズ122によりコリメートされた後、該コリメート光が反射膜123光アイソレータ124を経て当該光ファイバ増幅モジュール1の外部へ出力される。   The light amplified in the YbDF 43 is finally collimated by the output collimator 12 and output to the outside of the optical fiber amplification module 1. In the output collimator 12, the light output from the YbDF 43 is output to the space via the optical fiber 120 and the end cap 121. The output light is collimated by the lens 122, and then the collimated light is output to the outside of the optical fiber amplification module 1 through the reflection film 123 optical isolator 124.

すなわち、当該光ファイバ増幅モジュール1では、入力コネクタ11を介して入力された被増幅光がYbDF41〜43により増幅され、該増幅光が出力コリメータ12からコリメート光として当該光ファイバ増幅モジュール1の外部へ出力される。例えば、パルス変調されたYAGレーザやLDなどが種光源として入力コネクタ11に結合され、出力コリメータ12から出力された光は加工や計測に使われる。   That is, in the optical fiber amplification module 1, the light to be amplified input via the input connector 11 is amplified by the YbDFs 41 to 43, and the amplified light is output from the output collimator 12 to the outside of the optical fiber amplification module 1 as collimated light. Is output. For example, a pulse-modulated YAG laser or LD is coupled to the input connector 11 as a seed light source, and the light output from the output collimator 12 is used for processing and measurement.

図4は、この第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール1に含まれる増幅用光ファイバのサンプルとして、上記YbDF41〜43それぞれの諸元を纏めた表である。なお、YbDF41は、250dB/mの非飽和吸収ピークと、2.4μmのコア径と、125μmのクラッド径を有する。YbDF42は、180dB/mの非飽和吸収ピークと、4.0μmのコア径と、125μmのクラッド径を有する。YbDF43は、二重クラッド構造を有し、9dB/mの非飽和吸収ピークと、15.0μmのコア径と、125μmのクラッド径(内側クラッド径)を有する。YbDF43のみ非飽和吸収ピークが低いが、これはコア励起ではなくクラッド励起を想定しているためである。YbDF43のクラッド径とは内側クラッド径を示す。YbDF43では、内側クラッド43b1の外側に屈折率の低い樹脂の被覆(外側クラッド43b2)が設けられ、クラッド励起を可能にしている。また、バンドパスフィルタ50の半値全幅は3nmである。   FIG. 4 is a table summarizing the specifications of the YbDFs 41 to 43 as samples of the amplification optical fiber included in the optical fiber amplification module 1 according to the first embodiment. YbDF41 has an unsaturated absorption peak of 250 dB / m, a core diameter of 2.4 μm, and a cladding diameter of 125 μm. YbDF42 has an unsaturated absorption peak of 180 dB / m, a core diameter of 4.0 μm, and a cladding diameter of 125 μm. YbDF43 has a double clad structure, and has an unsaturated absorption peak of 9 dB / m, a core diameter of 15.0 μm, and a clad diameter (inner clad diameter) of 125 μm. Only YbDF43 has a low unsaturated absorption peak because it assumes cladding excitation instead of core excitation. The cladding diameter of YbDF43 indicates the inner cladding diameter. In the YbDF 43, a resin coating with a low refractive index (outer cladding 43b2) is provided outside the inner cladding 43b1, thereby enabling cladding excitation. The full width at half maximum of the bandpass filter 50 is 3 nm.

種光源として最も高速変調が可能で安価なLDが適用された場合、高速変調可能な電流は100mA程度である。その結果、LDから出力される種光のパルスピークは精々20〜30mWであることが多い。また、加工用レーザでは、パルス幅は10ns〜100nsであって、繰返し周波数は10kHz〜100kHzの範囲に設定されることが殆どである。例えば、パルス幅10nsであって繰返し周波数10kHzであるとき、デューティ比は最小値(1/10000)となる。また、パルス幅100nsであって繰返し周波数100kHzであるとき、デューティ比は最大値(1/100)となる。なお、デューティ比は「パルス幅/パルス周期」で定義される。種光源のピーク値が30mWのとき、種光源から出力される種光の平均光パワーは理想的には−25dBm〜−5dBmの範囲で変化する。   When a cheap LD capable of high-speed modulation is applied as the seed light source, the current that can be high-speed modulated is about 100 mA. As a result, the pulse peak of the seed light output from the LD is often 20 to 30 mW at most. Further, in the processing laser, the pulse width is 10 ns to 100 ns, and the repetition frequency is mostly set in the range of 10 kHz to 100 kHz. For example, when the pulse width is 10 ns and the repetition frequency is 10 kHz, the duty ratio becomes the minimum value (1/10000). When the pulse width is 100 ns and the repetition frequency is 100 kHz, the duty ratio becomes the maximum value (1/100). The duty ratio is defined by “pulse width / pulse period”. When the peak value of the seed light source is 30 mW, the average light power of the seed light output from the seed light source ideally changes in the range of −25 dBm to −5 dBm.

図5及び図6それぞれは、第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール1における光レベルの長手方向分布を示すグラフである。また、図7は、比較例に係る光ファイバ増幅モジュールにおける光レベルの長手方向分布を示すグラフである。比較例に係る光ファイバ増幅モジュールの構成は、第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール1の構成からバンドパスフィルタ50が除かれている。図5〜図7それぞれには、被増幅光のレベル分布(signal)、順方向の励起光のレベル分布(Pump-f)、逆方向の励起光のレベル分布(Pump-b)、順方向のASE光のレベル分布(ASE-f)、及び、逆方向のASE光のレベル分布(ASE-b)が示されている。図5及び図7には、入力コネクタ11を介して入力される被増幅光の平均光パワーが−25dBmである場合が示されている。図6には、入力コネクタ11に入力される被増幅光の平均光パワーが−5dBmである場合が示されている。   FIG. 5 and FIG. 6 are graphs showing longitudinal distributions of light levels in the optical fiber amplifying module 1 according to the first embodiment. FIG. 7 is a graph showing the longitudinal distribution of the light level in the optical fiber amplification module according to the comparative example. In the configuration of the optical fiber amplification module according to the comparative example, the bandpass filter 50 is removed from the configuration of the optical fiber amplification module 1 according to the first embodiment. Each of FIGS. 5 to 7 shows the level distribution (signal) of the light to be amplified, the level distribution of pumping light in the forward direction (Pump-f), the level distribution of pumping light in the reverse direction (Pump-b), and the forward direction. An ASE light level distribution (ASE-f) and a reverse ASE light level distribution (ASE-b) are shown. 5 and 7 illustrate a case where the average optical power of the amplified light input via the input connector 11 is −25 dBm. FIG. 6 shows a case where the average optical power of the amplified light input to the input connector 11 is −5 dBm.

図5に示されたように、この第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール1において、入力コネクタ11を介して入力される被増幅光の平均光パワーが−25dBmである場合、出力コリメータ12から出力される光の平均光パワーは2Wであり、デューティ比が1/10000である。したがって、この場合の出力パルスピーク値は20kWとなる。一方、図6に示されたように、この第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール1において、入力コネクタ11を介して入力される被増幅光の平均光パワーが−5dBmである場合、出力コリメータ12から出力される光の平均光パワーは10Wを超え、デューティ比が1/100である。したがって、この場合の出力パルスピーク値は1kWとなる。いずれの場合も、パルスエネルギーは0.1mJを超えるので、マーキングなどの加工を行うことができる。   As shown in FIG. 5, in the optical fiber amplifying module 1 according to the first embodiment, when the average optical power of the amplified light input through the input connector 11 is −25 dBm, the output collimator 12 The average light power of the output light is 2 W, and the duty ratio is 1/10000. Therefore, the output pulse peak value in this case is 20 kW. On the other hand, as shown in FIG. 6, in the optical fiber amplifying module 1 according to the first embodiment, when the average optical power of the amplified light input via the input connector 11 is −5 dBm, the output collimator The average optical power of the light output from 12 exceeds 10 W, and the duty ratio is 1/100. Therefore, the output pulse peak value in this case is 1 kW. In any case, since the pulse energy exceeds 0.1 mJ, processing such as marking can be performed.

これに対して、図7に示されたように、バンドパスフィルタ50が取り除かれた比較例に係る光ファイバ増幅モジュールにおいて、入力コネクタ11を介して入力される被増幅光の平均光パワーが−25dBmである場合、出力コリメータ12から出力される光の平均光パワーは7dB低くなる。すなわち、パルスピークパワーは4kW止まりで、パルスエネルギーとしては0.04mJとなり、用途は極めて限定される。   On the other hand, as shown in FIG. 7, in the optical fiber amplification module according to the comparative example from which the bandpass filter 50 is removed, the average optical power of the amplified light input through the input connector 11 is − In the case of 25 dBm, the average optical power of the light output from the output collimator 12 is reduced by 7 dB. That is, the pulse peak power is only 4 kW, and the pulse energy is 0.04 mJ, so that the application is extremely limited.

しかしながら、一般に、バンドパスフィルタは、誘電体多層膜で構成されており、ピークパワーの高いパルス光を入力されると破壊する可能性が極めて高い。市販のバンドパスフィルタの最大入力パワー許容値は0.5W〜1W程度である。したがって、入力コネクタ11から光アイソレータ22の出口に至るまでの利得は、常に15dB(=1W/30mW)程度であることが望ましい。   However, in general, a bandpass filter is composed of a dielectric multilayer film and has a very high possibility of being destroyed when pulse light having a high peak power is input. The maximum input power allowable value of a commercially available bandpass filter is about 0.5 W to 1 W. Therefore, it is desirable that the gain from the input connector 11 to the exit of the optical isolator 22 is always about 15 dB (= 1 W / 30 mW).

このためには、特許文献1に記載されているように初段のYbDF41について自動利得一定制御(AGC)をすることも考えられる。しかしながら、低いデューティ比を想定した場合、ピークパワーのみの検出が困難でかつ制御回路への帰還制御の時定数なども問題となり、AGCの適用は難しい。その対策として、入力される被増幅光の平均光パワーの全範囲(−25dBm〜−5dBm)において小信号利得状態になるように、YbDF41について励起パワーとYb濃度及び長さ、場合によっては被増幅光波長を最適化する方式が考えられる。具体的には、YbDF41の非飽和吸収条長ピークは1000dB以下であるのが望ましい。   For this purpose, it is conceivable to perform automatic gain constant control (AGC) for the first stage YbDF 41 as described in Patent Document 1. However, when a low duty ratio is assumed, it is difficult to detect only the peak power, and the time constant of feedback control to the control circuit becomes a problem, so that application of AGC is difficult. As a countermeasure, the excitation power, Yb concentration and length of YbDF41, and in some cases, the amplified signal are set so that a small signal gain state is obtained in the entire range (−25 dBm to −5 dBm) of the average optical power of the input amplified light. A method for optimizing the optical wavelength is conceivable. Specifically, the unsaturated absorption length peak of YbDF41 is desirably 1000 dB or less.

光活性物質としてEr元素が光導波領域に添加された増幅用光ファイバ(EDF:Erbium-Doped Fiber)の場合、励起寿命は10msと長い。そのため、図8に示されたように、入力される被増幅光のパワーが5dBmにも達してしまうと、利得の飽和が始まり、−25dBm〜−5dBmのダイナミックレンジいのける利得の大きさは、非特許文献2に記載された波長1567nmといえども大幅に変動する。これに対して、YbDFの場合、励起寿命が1ms前後と短いので、入力される被増幅光のパワーが−5dBmに達しても、小信号利得状態を維持することが可能である。なお、図8は、EDFの利得スペクトルである。また、図8には、入力レベルが−25dBのときの利得スペクトル(G(−25))、入力レベルが−20dBのときの利得スペクトル(G(−20))、入力レベルが−15dBのときの利得スペクトル(G(−15))、入力レベルが−10dBのときの利得スペクトル(G(−10))、及び、入力レベルが−5dBのときの利得スペクトル(G(−5))それぞれ示されている。   In the case of an amplification optical fiber (EDF: Erbium-Doped Fiber) in which Er element is added to the optical waveguide region as a photoactive substance, the excitation life is as long as 10 ms. Therefore, as shown in FIG. 8, when the power of the input light to be amplified reaches 5 dBm, the saturation of the gain starts, and the magnitude of the gain that can pass through the dynamic range of −25 dBm to −5 dBm is Even the wavelength 1567 nm described in Non-Patent Document 2 varies greatly. On the other hand, in the case of YbDF, since the excitation lifetime is as short as about 1 ms, even if the power of the input amplified light reaches -5 dBm, it is possible to maintain the small signal gain state. FIG. 8 is a gain spectrum of EDF. FIG. 8 shows a gain spectrum (G (−25)) when the input level is −25 dB, a gain spectrum (G (−20)) when the input level is −20 dB, and an input level of −15 dB. Gain spectrum (G (−15)), gain spectrum (G (−10)) when the input level is −10 dB, and gain spectrum (G (−5)) when the input level is −5 dB, respectively. Has been.

図9の領域(a)は、初段のYbDF41の利得スペクトルであり、図9の領域(b)その一部領域の拡大図である。波長1064nmでの利得は20dBである。入力コネクタ11から光アイソレータ22まで、光アイソレータ2個分と少なくとも4箇所の融着接続点とが含まれる。ここで、1064nm波長帯における光アイソレータ挿入損の仕様は2dB/個であり、融着ロスが1箇所あたり0.2dB〜0.4dB程度であることを考えると、入力される被増幅光の平均光パワーが−25dBm〜−5dBmの範囲であれば、この間の利得は15dB程度に保たれることが判る。なお、図9の領域(a)及び領域(b)には、入力レベルが−25dBのときの利得スペクトル(G(−25))、入力レベルが−20dBのときの利得スペクトル(G(−20))、入力レベルが−15dBのときの利得スペクトル(G(−15))、入力レベルが−10dBのときの利得スペクトル(G(−10))、及び、入力レベルが−5dBのときの利得スペクトル(G(−5))それぞれ示されている。   Region (a) in FIG. 9 is a gain spectrum of the first stage YbDF 41, and region (b) in FIG. 9 is an enlarged view of a partial region thereof. The gain at a wavelength of 1064 nm is 20 dB. From the input connector 11 to the optical isolator 22, two optical isolators and at least four fusion splice points are included. Here, the specification of the optical isolator insertion loss in the 1064 nm wavelength band is 2 dB / piece, and considering that the fusion loss is about 0.2 dB to 0.4 dB per location, the average of the input amplified light is considered. If the optical power is in the range of −25 dBm to −5 dBm, it can be seen that the gain during this period is maintained at about 15 dB. In addition, the gain spectrum (G (−25)) when the input level is −25 dB and the gain spectrum (G (−20) when the input level is −20 dB are included in the area (a) and the area (b) of FIG. 9. )), Gain spectrum (G (-15)) when the input level is -15 dB, gain spectrum (G (-10)) when the input level is -10 dB, and gain when the input level is -5 dB Each spectrum (G (-5)) is shown.

バンドパスフィルタ50は初段のYbDF41の直後のみに挿入されるのが好ましい。この理由は、バンドパスフィルタ50の最大入力パワーによる制約があること、及び、最終段のクラッド励起されるYbDF43の利得一定化に寧ろ有利であることに因る。後者の理由については、図10に実例が示されている。   The band-pass filter 50 is preferably inserted only immediately after the first stage YbDF 41. This is because there is a restriction due to the maximum input power of the bandpass filter 50 and it is rather advantageous for making the gain of the YbDF 43 clad pumped in the final stage constant. An example of the latter reason is shown in FIG.

図10は、最終段のYbDF43の利得スペクトルである。バンドパスフィルタ50は、初段のYbDF41と第2段のYbDF42との間のみに設けられているので、第2段のYbDF42内で発生したASE光は、最終段のYbDF43に注入される。その結果、図5及び図6に示されたように、入力される被増幅光の平均パワーが−25dBmであるとき、第2段のYbDF42から出力される被増幅光のパワーは20dBmを下回る。一方で、順方向ASE光のパワーが25dBm近いので、結局、YbDF43から見た平均入力パワーは、平均入力パワーが−25dBmでも−5dBmでも大きな差が生じない。その結果、図10に示されたとおり、波長1064nmでの最終段のYbDF43の利得は17dB〜18dBとなり、上述の20dBを超えることは無い。ここで、図10には、入力レベルが−25dBのときの利得スペクトル(G(−25))、入力レベルが−20dBのときの利得スペクトル(G(−20))、入力レベルが−15dBのときの利得スペクトル(G(−15))、入力レベルが−10dBのときの利得スペクトル(G(−10))、及び、入力レベルが−5dBのときの利得スペクトル(G(−5))それぞれ示されている。さらに、この図10には、異常動作時(励起光源が劣化した状態)と当該実施形態における利得スペクトルも示されている。   FIG. 10 is a gain spectrum of the final stage YbDF43. Since the band pass filter 50 is provided only between the first stage YbDF 41 and the second stage YbDF 42, the ASE light generated in the second stage YbDF 42 is injected into the final stage YbDF 43. As a result, as shown in FIGS. 5 and 6, when the average power of the input amplified light is −25 dBm, the power of the amplified light output from the second stage YbDF 42 is less than 20 dBm. On the other hand, since the power of the forward ASE light is close to 25 dBm, the average input power viewed from the YbDF 43 does not differ greatly regardless of whether the average input power is −25 dBm or −5 dBm. As a result, as shown in FIG. 10, the gain of the final stage YbDF 43 at a wavelength of 1064 nm is 17 dB to 18 dB, and does not exceed the above-mentioned 20 dB. Here, FIG. 10 shows a gain spectrum (G (−25)) when the input level is −25 dB, a gain spectrum (G (−20)) when the input level is −20 dB, and an input level of −15 dB. Gain spectrum (G (-15)), gain spectrum (G (-10)) when the input level is -10 dB, and gain spectrum (G (-5)) when the input level is -5 dB. It is shown. Further, FIG. 10 also shows the gain spectrum in the embodiment when the operation is abnormal (the state where the excitation light source is deteriorated).

なお、以上は正常動作時の場合に限った話である。例えば励起光源82、83の双方またはいずれか一方が劣化して、励起光源82、83からの出力パワーが100mWに劣化した場合、図10に示されるとおり、波長1064nmでの利得は30dBを超えてしまう。その結果、波長1040nm付近でモード競合した発振が生じ、励起光源等の光部品の破壊につながる危険がある。   Note that the above description is limited to the case of normal operation. For example, when both or one of the excitation light sources 82 and 83 deteriorates and the output power from the excitation light sources 82 and 83 deteriorates to 100 mW, the gain at a wavelength of 1064 nm exceeds 30 dB as shown in FIG. End up. As a result, mode-competitive oscillation occurs near the wavelength of 1040 nm, which may lead to destruction of optical components such as an excitation light source.

この最悪の事態を防ぐには、最終段のYbDF43の両端に、波長1040nmにおいてにて反射率22dBを有する反射手段として、光ファイバブラッググレーティング60及び反射膜123を設けるのが望ましい。特に、出力側の反射手段としての反射膜123は、損傷する可能性が大きいので、ビーム径が広げられた後の空間部品として挿入されるのが望ましい。また、このような特定波長の光を反射させる反射手段による利得の上限を与える制御方式は、最上流のYbDF41に適用されても良い。   In order to prevent this worst situation, it is desirable to provide the optical fiber Bragg grating 60 and the reflecting film 123 as reflecting means having a reflectance of 22 dB at a wavelength of 1040 nm at both ends of the final stage YbDF 43. In particular, the reflecting film 123 as the reflecting means on the output side is highly likely to be damaged. Therefore, it is desirable to insert the reflecting film 123 as a spatial component after the beam diameter is expanded. Further, such a control method for giving an upper limit of gain by a reflecting means for reflecting light of a specific wavelength may be applied to the most upstream YbDF 41.

(第2実施形態)
図11は、この発明に係る光ファイバ増幅モジュールの第2実施形態における主要部分の構成を示す図である。この第2実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール2の基本構成は、上述の第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール1と同じである。しかしながら、この第2実施形態における第1制御手段フィードバック構成を備える点で、該第1実施形態と異なる。なお、この図11では、バンドパスフィルタ50から下流側の構成は、第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール1と同じであり、図示が省略されている。
(Second Embodiment)
FIG. 11 is a diagram showing a configuration of main parts in the second embodiment of the optical fiber amplifying module according to the present invention. The basic configuration of the optical fiber amplification module 2 according to the second embodiment is the same as that of the optical fiber amplification module 1 according to the first embodiment described above. However, it differs from the first embodiment in that it has the first control means feedback configuration in the second embodiment. In FIG. 11, the configuration downstream from the bandpass filter 50 is the same as that of the optical fiber amplification module 1 according to the first embodiment, and is not shown.

上述のように、入力コネクタ11から光アイソレータ22に至るまでの利得は15dB程度にとどまることが望ましい。ところが、デューティ比の低い被増幅光の入出力を精度よくモニタすることは困難である。そこで、この第2実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール2は、図11に示されたように、光アイソレータ22とバンドパスフィルタ50の間に配置された、YbDF41ないで発生したASE光のうち特定波長成分のみを選択的に反射する光フィルタ101と、この光フィルタ101により反射された特定波長成分は受光する受光素子(PD)102と、励起光源81から出力される励起光パワーを制御する制御回路103を備える。これら光フィルタ101、受光素子102、制御回路103、及び励起光源81により、第1制御手段が構成されている。   As described above, the gain from the input connector 11 to the optical isolator 22 is preferably about 15 dB. However, it is difficult to accurately monitor the input / output of amplified light having a low duty ratio. Therefore, as shown in FIG. 11, the optical fiber amplifying module 2 according to the second embodiment specifies the ASE light generated without the YbDF 41 disposed between the optical isolator 22 and the bandpass filter 50. An optical filter 101 that selectively reflects only the wavelength component, a light receiving element (PD) 102 that receives the specific wavelength component reflected by the optical filter 101, and a control that controls the excitation light power output from the excitation light source 81. A circuit 103 is provided. The optical filter 101, the light receiving element 102, the control circuit 103, and the excitation light source 81 constitute a first control unit.

この第2実施形態において、制御回路103は、光フィルタ101から反射された特定波長成分を受光素子102によりモニタする。そして、受光素子102から得られるモニタ値が予め設定された値を超えると、該制御回路103は、その超過量に応じて励起光源81の供給電流を下げるようフィードバック制御する。このとき、モニタすべき特定波長成分は、図10に示されたように、ASE光ピークの存在する1040nm付近が適している。これは、YbDF41における利得の変化に対して敏感であるとともに、該利得の絶対値も大きいからである(検出が容易)。   In the second embodiment, the control circuit 103 monitors the specific wavelength component reflected from the optical filter 101 by the light receiving element 102. When the monitor value obtained from the light receiving element 102 exceeds a preset value, the control circuit 103 performs feedback control so as to reduce the supply current of the excitation light source 81 in accordance with the excess amount. At this time, the specific wavelength component to be monitored is suitable in the vicinity of 1040 nm where the ASE light peak exists, as shown in FIG. This is because it is sensitive to a change in gain in the YbDF 41 and the absolute value of the gain is large (easy to detect).

以上のように、この第2実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール2よれば、デューティ比の低い信号光(被増幅光)をモニタすることなく、容易に利得を確保できるとともに、バンドパスフィルタ50を効果的な保護が可能になる。   As described above, according to the optical fiber amplifying module 2 according to the second embodiment, the gain can be easily secured without monitoring the signal light (amplified light) having a low duty ratio, and the bandpass filter 50 is provided. Effective protection becomes possible.

(第3実施形態)
図12は、この発明に係る光ファイバ増幅モジュールの第3実施形態における主要部分の構成を示す図である。この第3実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール3の基本構成も、上述の第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール1と同じである。しかしながら、この第3実施形態における第1制御手段は、デューティ比の低い信号光(被増幅光)をモニタすることなく励起光光源81の保護を可能にする構成を備えた点で、上述の第1及び第2実施形態と異なる。なお、この図12でも、図11と同様に、バンドパスフィルタ50から下流側の構成は、第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール1と同じであり、図示が省略されている。
(Third embodiment)
FIG. 12 is a diagram showing a configuration of main parts in the third embodiment of the optical fiber amplifying module according to the present invention. The basic configuration of the optical fiber amplification module 3 according to the third embodiment is also the same as that of the optical fiber amplification module 1 according to the first embodiment described above. However, the first control means in the third embodiment is provided with a configuration that enables protection of the excitation light source 81 without monitoring signal light (amplified light) having a low duty ratio. Different from the first and second embodiments. In FIG. 12, as in FIG. 11, the configuration downstream from the bandpass filter 50 is the same as that of the optical fiber amplification module 1 according to the first embodiment, and is not shown.

この第3実施形態に係る光ファイバ増幅モジュール2では、図12に示されたように、第1制御手段が、YbDF41の両端に配置された光ファイバブラッググレーティング104、105により構成され、また、これら光ファイバブラッググレーティング104、105は共振器を構成している。   In the optical fiber amplifying module 2 according to the third embodiment, as shown in FIG. 12, the first control means is configured by the optical fiber Bragg gratings 104 and 105 disposed at both ends of the YbDF 41, and these The optical fiber Bragg gratings 104 and 105 constitute a resonator.

光ファイバブラッググレーティング104、105の反射率は、入力コネクタ11から光アイソレータ22に至るまでの利得が15dB程度を超えると発振が始まるよう設定される。また、これら光ファイバブラッググレーティング104、105それぞれの中心反射波長は、1040nm付近に設定されるのが好ましい。   The reflectivities of the optical fiber Bragg gratings 104 and 105 are set such that oscillation starts when the gain from the input connector 11 to the optical isolator 22 exceeds about 15 dB. The center reflection wavelengths of the optical fiber Bragg gratings 104 and 105 are preferably set around 1040 nm.

以上の説明から、この発明を様々に変形しうることは明らかである。そのような変形は、この発明の思想および範囲から逸脱するものとは認めることはできず、すべての当業者にとって自明である改良は、以下の請求の範囲に含まれるものである。   From the above description, it is apparent that the present invention can be variously modified. Such modifications cannot be construed as departing from the spirit and scope of the invention, and modifications obvious to all skilled in the art are intended to be included within the scope of the following claims.

この発明に係る光ファイバ増幅モジュールの第1実施形態の構成を示す図である。1 is a diagram showing a configuration of a first embodiment of an optical fiber amplification module according to the present invention. FIG. 第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュールにおける最終段の増幅用光ファイバ(YbDF43)の断面構造を示す図及びその屈折率プロファイルである。FIG. 2 is a diagram showing a cross-sectional structure of a final-stage amplification optical fiber (YbDF43) in the optical fiber amplification module according to the first embodiment and a refractive index profile thereof. 第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュールに含まれる出力コリメータの構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure of the output collimator contained in the optical fiber amplification module which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュールに含まれる増幅用光ファイバ(YbDF41〜43)それぞれの諸元を纏めた表である。It is the table | surface which summarized the item of each of the optical fiber for amplification (YbDF41-43) contained in the optical fiber amplification module which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュールにおける光レベルの長手方向分布を示すグラフである。It is a graph which shows the longitudinal direction distribution of the optical level in the optical fiber amplification module which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る光ファイバ増幅モジュールにおける光レベルの長手方向分布を示すグラフである。It is a graph which shows the longitudinal direction distribution of the optical level in the optical fiber amplification module which concerns on 1st Embodiment. 比較例に係る光ファイバ増幅モジュールにおける光レベルの長手方向分布を示すグラフである。It is a graph which shows the longitudinal direction distribution of the optical level in the optical fiber amplification module which concerns on a comparative example. EDFの利得スペクトルである。It is a gain spectrum of EDF. 初段の増幅用光ファイバ(YbDF41)の利得スペクトル及びその一部領域の拡大図である。It is an enlarged view of a gain spectrum of a first-stage amplification optical fiber (YbDF41) and a partial region thereof. 最終段の増幅用光ファイバ(YbDF43)の利得スペクトルである。It is a gain spectrum of the optical fiber for amplification (YbDF43) of the last stage. この発明に係る光ファイバ増幅モジュールの第2実施形態における主要部分の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the principal part in 2nd Embodiment of the optical fiber amplification module which concerns on this invention. この発明に係る光ファイバ増幅モジュールの第3実施形態における主要部分の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the principal part in 3rd Embodiment of the optical fiber amplification module which concerns on this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1、2、3…光ファイバ増幅モジュール、11…入力コネクタ、12…出力コリメータ、21〜23…光アイソレータ、31,32…光カプラ、33…偏波合成器、41〜43…YbDF、50…バンドパスフィルタ、60、104、105…光ファイバブラッググレーティング、70…コンバイナ、81〜84…励起光源、101…反射フィルタ、102…受光素子(PD)、103…制御回路、120…光ファイバ、121…エンドキャップ、122…レンズ、123…反射膜、124…光アイソレータ。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 2, 3 ... Optical fiber amplification module, 11 ... Input connector, 12 ... Output collimator, 21-23 ... Optical isolator, 31, 32 ... Optical coupler, 33 ... Polarization combiner, 41-43 ... YbDF, 50 ... Band pass filter, 60, 104, 105 ... Optical fiber Bragg grating, 70 ... Combiner, 81-84 ... Excitation light source, 101 ... Reflection filter, 102 ... Light receiving element (PD), 103 ... Control circuit, 120 ... Optical fiber, 121 ... end cap, 122 ... lens, 123 ... reflective film, 124 ... optical isolator.

Claims (9)

1%以下のデューティ比を有するパルス光を出力する種光源と、
光ファイバ増幅モジュールと、を備えた光ファイバレーザ光源であって、
前記光ファイバ増幅モジュールは、
前記種光源からの入力光を光伝搬経路に入力するための入力端と、
前記光伝搬経路に沿って縦列に配置され、前記入力光をそれぞれ増幅する、Yb元素が光導波領域に添加された複数の増幅用光ファイバと、
前記入力光を増幅することにより得られた増幅光を前記光伝搬経路から出力するための出力端と、
前記入力光を選択的に通過させるための誘電体多層膜光フィルタであって、前記複数の増幅用光ファイバのうち、前記入力端を通過した入力光が最初に通過する初段の増幅用光ファイバと、前記初段の増幅用光ファイバから出力された増幅光が最初に通過する第2段の増幅用光ファイバとの間に設けられた誘電体多層膜光フィルタと、
前記初段の増幅用光ファイバと前記第2段の増幅用光ファイバとの間に設けられ、前記初段の増幅用光ファイバから前記第2段の増幅用光ファイバへ前記入力光を通過させる光アイソレータと、を有し
前記初段の増幅用光ファイバから最終段の増幅用光ファイバは、全体での最大利得が、50dB以上に設定され、
前記初段の増幅用光ファイバにおける入力光に対する利得を、前記誘電体多層膜光フィルタが破壊されない値となる第1所定値以下となるように設定する第1制御手段を備え、
前記初段の増幅用光ファイバで設定された利得において、前記初段の増幅用光ファイバの非飽和吸収条長積が、小信号利得となるように設定され、
前記第1制御手段は、前記初段の増幅用光ファイバに供給される励起光のパワーを一定に維持するよう、前記励起光を供給する励起光源を制御する
ことを特徴とする光ファイバレーザ光源
A seed light source that outputs pulsed light having a duty ratio of 1% or less ;
An optical fiber laser light source comprising an optical fiber amplification module,
The optical fiber amplification module is:
An input terminal for inputting the input light from the seed light source into the light propagation path;
A plurality of amplifying optical fibers arranged in a column along the light propagation path and amplifying the input light, respectively, wherein Yb element is added to the optical waveguide region ;
An output terminal for outputting the amplified light obtained by amplifying the input light from the light propagation path;
A dielectric multilayer optical filter for selectively allowing the input light to pass therethrough, of the plurality of amplification optical fibers, the first-stage amplification optical fiber through which the input light that has passed through the input end first passes And a dielectric multilayer optical filter provided between the first-stage amplification optical fiber and the second-stage amplification optical fiber through which the amplified light first passes,
An optical isolator which is provided between the first-stage amplification optical fiber and the second-stage amplification optical fiber and allows the input light to pass from the first-stage amplification optical fiber to the second-stage amplification optical fiber. And having
From the first-stage amplification optical fiber to the last-stage amplification optical fiber, the overall maximum gain is set to 50 dB or more,
First control means for setting a gain for input light in the first-stage amplification optical fiber to be equal to or less than a first predetermined value that is a value at which the dielectric multilayer optical filter is not destroyed ;
In the gain set in the first-stage amplification optical fiber, the unsaturated absorption length product of the first-stage amplification optical fiber is set to be a small signal gain,
The first control unit controls a pumping light source that supplies the pumping light so as to maintain a constant power of the pumping light supplied to the first-stage amplification optical fiber.
An optical fiber laser light source .
前記初段の増幅用光ファイバ非飽和吸収条長積が、1000dB以下であることを特徴とする請求項1記載の光ファイバレーザ光源The first stage of the unsaturated absorption fiber length product of the amplification optical fiber, the optical fiber laser light source according to claim 1, wherein a is not more than 1000 dB. 1%以下のデューティ比を有するパルス光を出力する種光源と、
光ファイバ増幅モジュールと、を備えた光ファイバレーザ光源であって、
前記光ファイバ増幅モジュールは、
前記種光源からの入力光を光伝搬経路に入力するための入力端と、
前記光伝搬経路に沿って縦列に配置され、前記入力光をそれぞれ増幅する、Yb元素が光導波領域に添加された複数の増幅用光ファイバと、
前記入力光を増幅することにより得られた増幅光を前記光伝搬経路から出力するための出力端と、
前記入力光を選択的に通過させるための誘電体多層膜光フィルタであって、前記複数の増幅用光ファイバのうち、前記入力端を通過した入力光が最初に通過する初段の増幅用光ファイバと、前記初段の増幅用光ファイバから出力された増幅光が最初に通過する第2段の増幅用光ファイバとの間に設けられた誘電体多層膜光フィルタと、
前記初段の増幅用光ファイバと前記第2段の増幅用光ファイバとの間に設けられ、前記初段の増幅用光ファイバから前記第2段の増幅用光ファイバへ前記入力光を通過させる光アイソレータと、を有し
前記初段の増幅用光ファイバから最終段の増幅用光ファイバは、全体での最大利得が、50dB以上に設定され、
前記初段の増幅用光ファイバにおける入力光に対する利得を、前記誘電体多層膜光フィルタが破壊されない値となる第1所定値以下となるように設定する第1制御手段を備え、
前記第1制御手段は、前記初段の増幅用光ファイバから出力されるASE光のうち入力光以外の波長成分をモニタし、前記モニタ値に応じて前記初段の増幅用光ファイバに供給される励起光のパワーを制御する
ことを特徴とする光ファイバレーザ光源
A seed light source that outputs pulsed light having a duty ratio of 1% or less ;
An optical fiber laser light source comprising an optical fiber amplification module,
The optical fiber amplification module is:
An input terminal for inputting the input light from the seed light source into the light propagation path;
A plurality of amplifying optical fibers arranged in a column along the light propagation path and amplifying the input light, respectively, wherein Yb element is added to the optical waveguide region ;
An output terminal for outputting the amplified light obtained by amplifying the input light from the light propagation path;
A dielectric multilayer optical filter for selectively allowing the input light to pass therethrough, of the plurality of amplification optical fibers, the first-stage amplification optical fiber through which the input light that has passed through the input end first passes And a dielectric multilayer optical filter provided between the first-stage amplification optical fiber and the second-stage amplification optical fiber through which the amplified light first passes,
An optical isolator which is provided between the first-stage amplification optical fiber and the second-stage amplification optical fiber and allows the input light to pass from the first-stage amplification optical fiber to the second-stage amplification optical fiber. And having
From the first-stage amplification optical fiber to the last-stage amplification optical fiber, the overall maximum gain is set to 50 dB or more,
First control means for setting a gain for input light in the first-stage amplification optical fiber to be equal to or less than a first predetermined value that is a value at which the dielectric multilayer optical filter is not destroyed ;
The first control means monitors wavelength components other than the input light in the ASE light output from the first-stage amplification optical fiber, and is supplied to the first-stage amplification optical fiber according to the monitor value An optical fiber laser light source characterized by controlling the power of light .
1%以下のデューティ比を有するパルス光を出力する種光源と、
光ファイバ増幅モジュールと、を備えた光ファイバレーザ光源であって、
前記光ファイバ増幅モジュールは、
前記種光源からの入力光を光伝搬経路に入力するための入力端と、
前記光伝搬経路に沿って縦列に配置され、前記入力光をそれぞれ増幅する、Yb元素が光導波領域に添加された複数の増幅用光ファイバと、
前記入力光を増幅することにより得られた増幅光を前記光伝搬経路から出力するための出力端と、
前記入力光を選択的に通過させるための誘電体多層膜光フィルタであって、前記複数の増幅用光ファイバのうち、前記入力端を通過した入力光が最初に通過する初段の増幅用光ファイバと、前記初段の増幅用光ファイバから出力された増幅光が最初に通過する第2段の増幅用光ファイバとの間に設けられた誘電体多層膜光フィルタと、
前記初段の増幅用光ファイバと前記第2段の増幅用光ファイバとの間に設けられ、前記初段の増幅用光ファイバから前記第2段の増幅用光ファイバへ前記入力光を通過させる光アイソレータと、を有し
前記初段の増幅用光ファイバから最終段の増幅用光ファイバは、全体での最大利得が、50dB以上に設定され、
前記初段の増幅用光ファイバにおける入力光に対する利得を、前記誘電体多層膜光フィルタが破壊されない値となる第1所定値以下となるように設定する第1制御手段を備え、
前記第1制御手段は、前記初段の増幅用光ファイバの光入力端及び光出力端の双方配置された、入力光を透過する一方、入力光波長周辺の特定の波長成分を選択的に反射するための2つの反射手段を含む
ことを特徴とする光ファイバレーザ光源
A seed light source that outputs pulsed light having a duty ratio of 1% or less ;
An optical fiber laser light source comprising an optical fiber amplification module,
The optical fiber amplification module is:
An input terminal for inputting the input light from the seed light source into the light propagation path;
A plurality of amplifying optical fibers arranged in a column along the light propagation path and amplifying the input light, respectively, wherein Yb element is added to the optical waveguide region ;
An output terminal for outputting the amplified light obtained by amplifying the input light from the light propagation path;
A dielectric multilayer optical filter for selectively allowing the input light to pass therethrough, of the plurality of amplification optical fibers, the first-stage amplification optical fiber through which the input light that has passed through the input end first passes And a dielectric multilayer optical filter provided between the first-stage amplification optical fiber and the second-stage amplification optical fiber through which the amplified light first passes,
An optical isolator which is provided between the first-stage amplification optical fiber and the second-stage amplification optical fiber and allows the input light to pass from the first-stage amplification optical fiber to the second-stage amplification optical fiber. And having
From the first-stage amplification optical fiber to the last-stage amplification optical fiber, the overall maximum gain is set to 50 dB or more,
First control means for setting a gain for input light in the first-stage amplification optical fiber to be equal to or less than a first predetermined value that is a value at which the dielectric multilayer optical filter is not destroyed ;
The first control means transmits both input light and selectively reflects a specific wavelength component around the input light wavelength, which are arranged at both the light input end and the light output end of the first-stage amplification optical fiber. An optical fiber laser light source comprising two reflecting means for
前記複数の増幅用光ファイバのうち、前記出力端に最も近い位置に配置された最終段の増幅用光ファイバにおける入力光に対する利得を、第2所定値以下となるように設定する第2制御手段を備えことを特徴とする請求項1〜4の何れか一項記載の光ファイバレーザ光源Second control means for setting a gain with respect to input light in a final-stage amplification optical fiber disposed at a position closest to the output end among the plurality of amplification optical fibers to be equal to or less than a second predetermined value. optical fiber laser light source of any one of claims 1-4, characterized in that it comprises a. 前記第2制御手段は、前記最終段の増幅用光ファイバを挟むように配置された、入力光を透過する一方、入力光波長周辺の特定の波長成分を選択的に反射させるための2つの反射手段を含むことを特徴とする請求項5記載の光ファイバレーザ光源The second control means is disposed so as to sandwich the final-stage amplification optical fiber, and transmits two input lights while selectively reflecting a specific wavelength component around the input light wavelength. 6. The optical fiber laser light source according to claim 5, further comprising means. 前記2つの反射手段のうち、入力光の伝搬方向から見て下流側に位置する反射手段は、前記最終段の増幅用光ファイバから出力された増幅光が伝搬する、前記最終段の増幅用光ファイバと前記出力端との間の空間中に配置されていることを特徴とする請求項6記載の光ファイバレーザ光源Of the two reflecting means, the reflecting means located on the downstream side in the propagation direction of the input light is such that the amplified light output from the final-stage amplification optical fiber propagates through the final-stage amplification light. The optical fiber laser light source according to claim 6, wherein the optical fiber laser light source is disposed in a space between a fiber and the output end. 前記選択的に反射される特定波長成分は、入力光に含まれる波長成分のいずれよりも短い波長であることを特徴とする請求項6記載の光ファイバレーザ光源7. The optical fiber laser light source according to claim 6, wherein the selectively reflected specific wavelength component has a shorter wavelength than any of wavelength components included in input light . 前記光アイソレータは、1064nm帯の光を透過することを特徴とする請求項1〜4の何れか一項記載の光ファイバレーザ光源The optical fiber laser light source according to any one of claims 1 to 4, wherein the optical isolator transmits light in a 1064 nm band .
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