JP2007294534A - Optical module - Google Patents

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Shinobu Tamaoki
忍 玉置
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical module which can stably supply excitation light to an amplifying optical fiber. <P>SOLUTION: The optical module 31 comprises excitation light sources 40, an optical coupling means 50, and optical guides 60. It supplies excitation light and light to be amplified to the amplifying optical fiber 20 to amplify the light to be amplified. The optical guides 60 of the optical module 31 optically connect the excitation light sources and the optical coupling means, and propagate the excitation light output from the excitation light sources in multi-mode. The optical coupling means 50 has a fiber structure 54 which outputs the excitation light inputted from the optical guides in multi-mode, and an end face to which the optical guides and the optical coupling means are connected, a portion between the end faces, or the optical guides have a loss medium E2 having a larger transmission loss at the wavelength of the light to be amplified than at the wavelength of the excitation light. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、光学的モジュールに関するものである。   The present invention relates to an optical module.

レーザー光を用いた加工技術が注目されており、医療分野なども含めた各分野において、高出力なレーザ光を生成可能な光増幅モジュールの需要が高まっている。光増幅モジュールとして、例えば、ダブルクラッド型であってコア領域に励起光によって励起される希土類元素が添加された光ファイバを増幅用光ファイバとして利用したものが知られている(非特許文献1参照)。非特許文献1に記載の光増幅モジュールはファイバレーザ光源として使用されるものであり、ファイバー付きLDと光結合手段とを有する光学的モジュールを利用して増幅用光ファイバに励起光を供給している。
杉岡幸次、矢部明著、「レーザーマイクロ・ナノプロセッシング」、第1版、日本国、シーエムシー出版、2004年11月、pp67〜68。
Processing technology using laser light has attracted attention, and in each field including the medical field, demand for an optical amplification module capable of generating high-power laser light is increasing. As an optical amplification module, for example, a double clad type optical fiber in which a rare earth element excited by excitation light is added to a core region is used as an amplification optical fiber (see Non-Patent Document 1). ). The optical amplification module described in Non-Patent Document 1 is used as a fiber laser light source, and supplies pumping light to an amplification optical fiber by using an optical module having an LD with a fiber and an optical coupling means. Yes.
Koji Sugioka and Akira Yabe, “Laser Micro / Nano Processing”, 1st edition, Japan, CM Publishing, November 2004, pp 67-68.

ところで、通常、光増幅モジュールが有する増幅用光ファイバには、図7に示すように、光学的モジュールを利用して被増幅光及び励起光が供給される。   By the way, normally, the amplification optical fiber included in the optical amplification module is supplied with amplified light and excitation light using an optical module as shown in FIG.

図7に示した光増幅モジュール100の光学的モジュール110は、励起光源40と光結合手段50とが光ファイバ111によって光学的に接続されて構成されており、励起光源40からの励起光は光ファイバ111を通して光結合手段50に入力される。また、光増幅モジュール100では、光結合手段50が有する光ファイバ51に被増幅光源10が光学的に接続されており、光結合手段50が、被増幅光源10から出力される被増幅光と励起光源40から出力される励起光とを合波して増幅用光ファイバ20に入力する。その結果、被増幅光が増幅用光ファイバ20内で光増幅されて高出力な光として出力されることになる。増幅用光ファイバ20からより一層高出力な光を出力するためには、光ファイバ111として、励起光をマルチモード伝搬させるいわゆるマルチモードファイバを利用することが考えられる。   The optical module 110 of the optical amplification module 100 shown in FIG. 7 is configured by optically connecting the excitation light source 40 and the optical coupling means 50 by an optical fiber 111, and the excitation light from the excitation light source 40 is light. The light is input to the optical coupling means 50 through the fiber 111. In the optical amplification module 100, the amplified light source 10 is optically connected to the optical fiber 51 of the optical coupling means 50, and the optical coupling means 50 is excited with the amplified light output from the amplified light source 10. The excitation light output from the light source 40 is combined and input to the amplification optical fiber 20. As a result, the light to be amplified is amplified in the amplification optical fiber 20 and outputted as high-power light. In order to output light with higher output from the amplification optical fiber 20, it is conceivable to use a so-called multimode fiber that propagates pumping light in multimode as the optical fiber 111.

しかしながら、増幅用光ファイバ20を他の光ファイバなどに接続すると、接続部分において接続損失が生じ、その損失分としての被増幅光が例えば増幅用光ファイバ20内を励起光の伝搬方向と反対方向に伝搬する場合もある。この場合、光ファイバ111がマルチモードファイバであると、マルチモードファイバはコア径とNAが大きいことから励起光以外の光もファイバ内に閉じ込めやすい性質を有するので、励起光と反対方向に伝搬する高出力な被増幅光が励起光源40まで伝搬する場合が生じうる。この場合、励起光源40が壊れてたり動作が不安定になって、増幅用光モジュールに安定して励起光を供給できず、結果として、高出力な光を生成できない恐れがある。   However, when the amplification optical fiber 20 is connected to another optical fiber or the like, a connection loss occurs at the connection portion, and the amplified light as the loss is, for example, in the direction opposite to the propagation direction of the excitation light in the amplification optical fiber 20. May propagate to In this case, if the optical fiber 111 is a multimode fiber, the multimode fiber has a large core diameter and NA, so that light other than the pumping light is easily confined in the fiber, and thus propagates in the opposite direction to the pumping light. A case where high-power amplified light propagates to the excitation light source 40 may occur. In this case, the excitation light source 40 is broken or the operation becomes unstable, so that the excitation light cannot be stably supplied to the amplification optical module, and as a result, there is a possibility that high output light cannot be generated.

そこで、本発明は、増幅用光ファイバに安定して励起光を供給可能な光学的モジュールを提供することを目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide an optical module capable of stably supplying excitation light to an amplification optical fiber.

本発明に係る光増幅モジュールは、励起光源と光結合手段と光ガイド部とを備え、増幅用光ファイバに励起光と被増幅光を供給し、被増幅光を増幅するための光学的モジュールであって、光ガイド部は、励起光源と光結合手段を光学的に接続し、励起光源から出力する励起光をマルチモード伝搬させ、光結合手段は、光ガイド部から入力される励起光をマルチモードで出力するファイバ構造を有し、光ガイド部と光結合手段とが接続される端面、端面間又は光ガイド部は、励起光の波長より被増幅光の波長においてより大きな透過損失となる損失媒体を有することを特徴とする。   An optical amplification module according to the present invention is an optical module that includes an excitation light source, an optical coupling means, and a light guide, supplies the excitation light and the amplified light to the amplification optical fiber, and amplifies the amplified light. The optical guide unit optically connects the excitation light source and the optical coupling unit, propagates the excitation light output from the excitation light source in multimode, and the optical coupling unit multiplies the excitation light input from the optical guide unit. Loss that has a fiber structure that outputs in mode, and the end face where the light guide part and the optical coupling means are connected, between the end faces, or the light guide part has a greater transmission loss at the wavelength of the amplified light than at the wavelength of the excitation light It has the medium.

この構成では、励起光源から出力される励起光は、光ガイド部をマルチモード伝搬した後、光結合手段を通して増幅用光ファイバに入力される。このように増幅用光ファイバ内に励起光が入力されることで、増幅用光ファイバ内で被増幅光が増幅されるので、高出力な光を生成することが可能である。そして、光ガイド部が励起光をマルチモード伝搬させるので、増幅用光ファイバにより多くの励起光が入力される。その結果、増幅用光ファイバから出力される光の高出力化がより一層図られている。   In this configuration, the pumping light output from the pumping light source propagates in the multimode through the light guide and then is input to the amplification optical fiber through the optical coupling means. Thus, by inputting the excitation light into the amplification optical fiber, the light to be amplified is amplified in the amplification optical fiber, so that high-output light can be generated. Since the light guide unit propagates the pumping light in multimode, a large amount of pumping light is input to the amplification optical fiber. As a result, the output of light output from the amplification optical fiber is further increased.

ところで、例えば、増幅用光ファイバと他の光ファイバとを接続した場合にその接続部分でのモードフィールド径(MFD)ミスマッチ等によって接続損失が生じると、その接続損失分としての被増幅光が励起光の伝搬方向と反対方向に励起光源に向かって伝搬することがある。   By the way, for example, when a connection loss occurs due to a mode field diameter (MFD) mismatch or the like in the connection portion when the amplification optical fiber is connected to another optical fiber, the amplified light as the connection loss is excited. It may propagate toward the excitation light source in the direction opposite to the light propagation direction.

上記構成の光学的モジュールでは、光ガイド部と光結合手段とが接続される端面、端面間又は光ガイド部は、励起光が有する波長より被増幅光が有する波長に対してより大きい透過損失を有する損失媒体を有しているので、上記のように励起光の伝搬方向と反対方向に伝搬する被増幅光が、励起光源に影響を与える程に高い強度を維持したまま励起光源に到達することはない。その結果、励起光源が壊れたり動作が不安定になることがないので、安定して増幅用光ファイバに励起光を供給することが可能である。   In the optical module having the above-described configuration, the end face between the light guide unit and the optical coupling unit, between the end surfaces, or the light guide unit has a larger transmission loss with respect to the wavelength of the amplified light than the wavelength of the excitation light. As described above, the amplified light that propagates in the direction opposite to the propagation direction of the excitation light reaches the excitation light source while maintaining a high intensity that affects the excitation light source. There is no. As a result, the pumping light source is not broken or the operation becomes unstable, so that the pumping light can be stably supplied to the amplification optical fiber.

上記増幅用光ファイバは、コア領域の屈折率より低い屈折率を有する第1のクラッド領域と、第1のクラッド領域の外周に設けられており第1のクラッド領域の屈折率より低い屈折率を有する第2のクラッド領域とを有し、コア領域において光結合手段からの被増幅光を伝搬させるとともに、コア領域及び第1のクラッド領域において光結合手段からの励起光を伝搬させることが好ましい。   The amplification optical fiber includes a first cladding region having a refractive index lower than that of the core region, and an outer periphery of the first cladding region, and has a refractive index lower than that of the first cladding region. It is preferable that the amplified light from the optical coupling unit is propagated in the core region and the excitation light from the optical coupling unit is propagated in the core region and the first cladding region.

この構成の増幅用光ファイバは、コア領域の外周に、第1及び第2のクラッド領域が設けられたいわゆるダブルクラッド型の光ファイバである。上記増幅用光ファイバでは、コア領域及び第1のクラッド領域において励起光を伝搬させることからより多くの励起光を伝搬可能であるため、被増幅光を一層効率的に増幅することができる。   The amplification optical fiber having this configuration is a so-called double clad optical fiber in which first and second cladding regions are provided on the outer periphery of the core region. In the amplification optical fiber, since the pumping light is propagated in the core region and the first cladding region, more pumping light can be propagated, so that the amplified light can be amplified more efficiently.

本発明に係る光学的モジュールでは、光ガイド部は、励起光をマルチモード伝搬させるコア領域とそのコア領域の屈折率より低い屈折率を有するクラッド領域とを有するガイド用光ファイバを有しており、損失媒体は、ガイド用光ファイバのコア領域に添加されている希土類元素であることが好ましい。   In the optical module according to the present invention, the light guide portion has a guide optical fiber having a core region in which excitation light propagates in a multimode and a cladding region having a refractive index lower than the refractive index of the core region. The loss medium is preferably a rare earth element added to the core region of the guide optical fiber.

この構成では、増幅用光ファイバの端部において接続損失等が生じその損失分としての被増幅光が励起光の伝搬方向と反対方向に伝搬したとしても、光ガイド部を通過する際に、上記希土類元素によって確実に大きな透過損失を受ける。そのため、励起光の伝搬方向と反対方向に伝搬する被増幅光が、励起光源に影響を与える程に高い強度を維持したまま励起光源に到達することはない。その結果、励起光源が壊れたり動作が不安定になることがないので、光学的モジュールによって増幅用光ファイバに励起光を安定して供給することが可能である。   In this configuration, even when a connection loss or the like occurs at the end of the amplification optical fiber and the light to be amplified as the loss propagates in the direction opposite to the propagation direction of the excitation light, when passing through the light guide portion, The rare earth element surely receives a large transmission loss. Therefore, the amplified light propagating in the direction opposite to the propagation direction of the excitation light does not reach the excitation light source while maintaining a high intensity that affects the excitation light source. As a result, since the pumping light source is not broken or the operation is not unstable, the pumping light can be stably supplied to the amplification optical fiber by the optical module.

また、本発明に係る光学的モジュールでは、光ガイド部は、第1のガイド用光ファイバと第2のガイド用光ファイバとを有し、損失媒体は、第1及び第2のガイド用光ファイバの間に設けられていることが好ましい。   In the optical module according to the present invention, the light guide portion includes a first guide optical fiber and a second guide optical fiber, and the loss medium includes the first and second guide optical fibers. It is preferable that it is provided between.

この場合、励起光源から出力された励起光は第1及び第2のガイド用光ファイバ内をマルチモード伝搬して光結合手段に確実に入力される。そして、第1及び第2のガイド用光ファイバの間に損失媒体が設けられているので、増幅用光ファイバの端部において接続損失等が生じ、その損失分としての被増幅光が光結合手段及び光ガイド部を通って励起光源に向けて伝搬したとしても損失媒体を通過する際に大きな透過損失を受けることになる。そのため、励起光の伝搬方向と反対方向に伝搬する被増幅光が、励起光源に影響を与える程に高い強度を維持したまま励起光源に到達することはない。その結果、励起光源が壊れたり動作が不安定になることがないので、安定して増幅用光ファイバに励起光を供給することが可能である。   In this case, the excitation light output from the excitation light source propagates in the first and second guide optical fibers in a multimode and is reliably input to the optical coupling means. Since a loss medium is provided between the first and second guide optical fibers, a connection loss or the like occurs at the end of the amplification optical fiber, and the amplified light as the loss is optical coupling means. Even if the light propagates toward the excitation light source through the light guide portion, it will receive a large transmission loss when passing through the loss medium. Therefore, the amplified light propagating in the direction opposite to the propagation direction of the excitation light does not reach the excitation light source while maintaining a high intensity that affects the excitation light source. As a result, the pumping light source is not broken or the operation becomes unstable, so that the pumping light can be stably supplied to the amplification optical fiber.

更に、本発明に係る光学的モジュールでは、損失媒体は、第1及び第2のガイド用光ファイバのうちの少なくとも一方のファイバ端面上に形成されたコーティングであることが好ましい。   Furthermore, in the optical module according to the present invention, it is preferable that the loss medium is a coating formed on the fiber end face of at least one of the first and second guide optical fibers.

この場合、第1及び第2のガイド用光ファイバのうちの少なくとも一方のファイバ端面上に損失媒体が設けられることになるので、第1及び第2のガイド用光ファイバの間に確実に損失媒体を設けることができている。   In this case, since the loss medium is provided on at least one of the first and second guide optical fibers, the loss medium is surely provided between the first and second guide optical fibers. Can be provided.

本発明の光学的モジュールによれば、増幅用光ファイバに安定して励起光を供給可能である。そのため、増幅用光ファイバから安定して高出力な光を出力可能である。   According to the optical module of the present invention, excitation light can be stably supplied to the amplification optical fiber. Therefore, it is possible to stably output high-power light from the amplification optical fiber.

以下、図面を参照して、本発明に係る光学的モジュールの実施形態について説明する。図面の説明において同一の要素には同一の符合を付し、重複する説明を省略する。また、図面の寸法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。   Hereinafter, an embodiment of an optical module according to the present invention will be described with reference to the drawings. In the description of the drawings, the same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. Further, the dimensional ratios in the drawings do not necessarily match those described.

(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態の光増幅モジュールの構成を概略的に示す構成図である。光増幅モジュール1は、光加工システムにおけるファイバレーザ光源として利用されるものであり、本発明に係る光学的モジュールの一実施形態が適用されている。
(First embodiment)
FIG. 1 is a configuration diagram schematically showing the configuration of the optical amplification module of the first embodiment. The optical amplification module 1 is used as a fiber laser light source in an optical processing system, and an embodiment of an optical module according to the present invention is applied.

光増幅モジュール1は、波長λの加工用レーザ光を被増幅光として出力する被増幅光源10と、励起光を利用して加工用レーザ光を光増幅して出力する増幅用光ファイバ20と、増幅用光ファイバ20に加工用レーザ光及び励起光を供給するための光学的モジュール31とを備えている。被増幅光源10は、例えば、レーザダイオード(LD)である。 Optical amplifier module 1 includes a target amplification source 10 which outputs a processing laser beam of a wavelength lambda A as the light to be amplified, the amplification optical fiber 20 by using the excitation light and outputs a processing laser beam by optical amplification And an optical module 31 for supplying processing laser light and excitation light to the amplification optical fiber 20. The amplified light source 10 is, for example, a laser diode (LD).

図2(a)は、増幅用光ファイバの長手方向に略直交する断面図である。図2(b)は、増幅用光ファイバの屈折率分布を示す図である。   FIG. 2A is a cross-sectional view substantially orthogonal to the longitudinal direction of the amplification optical fiber. FIG. 2B is a diagram showing the refractive index distribution of the amplification optical fiber.

増幅用光ファイバ20は、SiOを主成分として構成されており、コア領域20Aと、コア領域20Aの外周に設けられた第1のクラッド領域20Bと、第1のクラッド領域20Bの外周に設けられた第2のクラッド領域20Cとを有するダブルクラッド型の光ファイバである。コア領域20Aの直径としては10μmが例示され、第1のクラッド領域20Bの直径としては100μmが例示され、第2のクラッド領域20Cの直径としては125μmが例示される。 The amplification optical fiber 20 is composed mainly of SiO 2, and is provided on the outer periphery of the core region 20A, the first cladding region 20B provided on the outer periphery of the core region 20A, and the first cladding region 20B. This is a double clad optical fiber having the second clad region 20C formed. The diameter of the core region 20A is exemplified as 10 μm, the diameter of the first cladding region 20B is exemplified as 100 μm, and the diameter of the second cladding region 20C is exemplified as 125 μm.

増幅用光ファイバ20のコア領域20Aには、励起光が供給されることによって加工用レーザ光を光増幅するYbやEr等の希土類元素(以下、「光増幅用元素」と称す)E1が添加されている。図2(a)では、光増幅用元素E1を模式的に示している。第1のクラッド領域20Bにも加工用レーザ光を増幅するための希土類元素が添加されていてもよいが、その場合には、加工用レーザ光の波長より励起光の波長に対してより大きい透過損失を有するものが好ましい。   A rare earth element such as Yb or Er (hereinafter referred to as “light amplification element”) E1 is added to the core region 20A of the amplification optical fiber 20 to amplify the processing laser light by supplying excitation light. Has been. FIG. 2A schematically shows the light amplification element E1. A rare earth element for amplifying the processing laser light may also be added to the first cladding region 20B. In that case, the transmission is larger than the wavelength of the processing laser light with respect to the wavelength of the excitation light. What has a loss is preferable.

図2(b)に示すように、第1のクラッド領域20Bの屈折率は、コア領域20Aの屈折率より低く、第2のクラッド領域20Cの屈折率は、第1のクラッド領域20Bの屈折率より低くなっている。図2(b)に示したような屈折率分布の形成は、Ge等の屈折率調整剤を利用すればよい。   As shown in FIG. 2B, the refractive index of the first cladding region 20B is lower than the refractive index of the core region 20A, and the refractive index of the second cladding region 20C is the refractive index of the first cladding region 20B. It is lower. The refractive index profile as shown in FIG. 2B may be formed using a refractive index adjusting agent such as Ge.

増幅用光ファイバ20は、コア領域20Aにおいて加工用レーザ光をシングルモード伝搬させると共に、コア領域20A及び第1のクラッド領域20Bにおいて励起光をマルチモード伝搬させる。なお、コア領域20Aは、加工用レーザ光を伝搬可能であればよく、加工用レーザ光をマルチモード伝搬させてもよい。   The amplification optical fiber 20 propagates the processing laser light in a single mode in the core region 20A, and propagates the excitation light in a multimode in the core region 20A and the first cladding region 20B. The core region 20A only needs to be able to propagate the processing laser beam, and the processing laser beam may be propagated in multimode.

図1に示すように、光学的モジュール31は、波長λのレーザ光を励起光として出力する複数(例えば、図1では6個)の励起光源40と、加工用レーザ光及び励起光を増幅用光ファイバ20に入力するための光結合手段50と、光結合手段50と各励起光源40とを接続しており励起光をマルチモード伝搬させる光ガイド部60とを備えている。励起光源40は、例えば、LDである。 As shown in FIG. 1, the optical module 31 amplifies a plurality of (for example, six in FIG. 1) excitation light sources 40 that output laser light having a wavelength λ P as excitation light, and processing laser light and excitation light. The optical coupling means 50 for inputting to the optical fiber 20 and the light guide section 60 that connects the optical coupling means 50 and each pumping light source 40 and propagates the pumping light in a multimode are provided. The excitation light source 40 is, for example, an LD.

光結合手段50は、加工用レーザ光を伝搬させる光ファイバ51と、励起光をマルチモード伝搬させる複数の光ファイバ52とを有する。光ファイバ51は被増幅光源10に接続されており、被増幅光源10から出力された加工用レーザ光の入力ポートとして機能する。光ファイバ52は光ガイド部60に接続されており、励起光源40から出力された励起光の入力ポートとして機能している。   The optical coupling means 50 includes an optical fiber 51 that propagates the processing laser light and a plurality of optical fibers 52 that propagate the excitation light in a multimode. The optical fiber 51 is connected to the amplified light source 10 and functions as an input port for processing laser light output from the amplified light source 10. The optical fiber 52 is connected to the light guide unit 60 and functions as an input port for pumping light output from the pumping light source 40.

また、光結合手段50は、光ファイバ51,52を伝搬してきた加工用レーザ光及び励起光を合波するための光結合部53と、光結合部53を通った加工用レーザ光及び励起光を増幅用光ファイバ20に入力するための光ファイバ54とを更に有する。光ファイバ54は、増幅用光ファイバ20の端部20aに光学的に接続されており、加工用レーザ光を伝搬させて増幅用光ファイバ20のコア領域20Aに入力し、励起光をマルチモード伝搬させてコア領域20A及び第1のクラッド領域20Bに入力する。光ファイバ54は、加工用レーザ光を伝搬させると共に、励起光をマルチモード伝搬させて上記のように増幅用光ファイバ20に入力できればよいため、例えば、加工用レーザ光をシングルモード伝搬させるコア領域と、励起光をマルチモード伝搬させる第1のクラッド領域とを有していればよい。   The optical coupling means 50 includes an optical coupling portion 53 for combining the processing laser light and the excitation light that have propagated through the optical fibers 51 and 52, and the processing laser light and the excitation light that have passed through the optical coupling portion 53. Is further input to the amplification optical fiber 20. The optical fiber 54 is optically connected to the end 20a of the amplification optical fiber 20, propagates the processing laser light and inputs it to the core region 20A of the amplification optical fiber 20, and propagates the excitation light in a multimode. And input to the core region 20A and the first cladding region 20B. The optical fiber 54 only needs to be able to propagate the processing laser light and propagate the excitation light in the multimode and input it to the amplification optical fiber 20 as described above. And a first cladding region that allows multi-mode propagation of excitation light.

上記光結合手段50のより具体的な構成としては、図3に示すように、光ファイバ51と光ファイバ52とがテーパ延伸されて一体化されたものが例示される(例えば、特許3415449号公報参照)。図3に示した光結合手段50では、光ファイバ51と光ファイバ52とが結合しているテーパ部分が光結合部53となっており、光結合部53に光ファイバ54が光学的に接続されている。光結合部がテーパ部分から更に一定外径に延伸されており、上述したように増幅用光ファイバ20に加工用レーザ光及び励起光を入力可能な部分を有する場合には、光ファイバ54を設けなくてもよい。   As a more specific configuration of the optical coupling means 50, as shown in FIG. 3, an optical fiber 51 and an optical fiber 52 are taper-drawn and integrated (for example, Japanese Patent No. 3415449). reference). In the optical coupling means 50 shown in FIG. 3, the tapered portion where the optical fiber 51 and the optical fiber 52 are coupled is an optical coupling portion 53, and the optical fiber 54 is optically connected to the optical coupling portion 53. ing. In the case where the optical coupling portion is further extended from the tapered portion to a constant outer diameter and the amplification optical fiber 20 has a portion capable of inputting processing laser light and excitation light as described above, an optical fiber 54 is provided. It does not have to be.

図1に示した光学的モジュール31は、励起光源40を複数有するとしたが、増幅用光ファイバ20に供給する励起光のパワーに応じて励起光源40の数は調整すればよく、励起光源40が高出力であれば一つでもよい。また、励起光源40の数と光ファイバ52との数を対応させているが、例えば励起光源40の数に比べて光ファイバ52の数が多い場合には、使用していない光ファイバ52の端部は、光が反射したりしないように終端処理をしておけばよい。   The optical module 31 shown in FIG. 1 has a plurality of excitation light sources 40. However, the number of excitation light sources 40 may be adjusted according to the power of the excitation light supplied to the amplification optical fiber 20, and the excitation light sources 40 As long as is high output, one may be used. Further, the number of the pumping light sources 40 and the number of the optical fibers 52 are made to correspond to each other. For example, when the number of the optical fibers 52 is larger than the number of the pumping light sources 40, the end of the unused optical fiber 52 The unit may be terminated so that light is not reflected.

次に、光学的モジュール31の一つの特徴をなす光ガイド部60について説明する。光ガイド部60は、励起光をマルチモード伝搬させる第1のガイド用光ファイバ61と第2のガイド用光ファイバ62とが光学的に接続されて構成されている。第1及び第2のガイド用光ファイバ61,62は、光学的に接続されていればよく、例えば、融着接続されていてもよいし、コネクタ接続されていてもよい。   Next, the light guide part 60 which makes one feature of the optical module 31 will be described. The light guide unit 60 is configured by optically connecting a first guide optical fiber 61 and a second guide optical fiber 62 that propagate excitation light in multimode. The first and second guide optical fibers 61 and 62 only need to be optically connected. For example, the first and second guide optical fibers 61 and 62 may be fusion-connected or connector-connected.

図4は、第2のガイド用光ファイバの長手方向に略直交する断面図である。第2のガイド用光ファイバ62は、コア領域62Aと、コア領域62Aの外周に設けられておりコア領域62Aより低い屈折率を有するクラッド領域62Bとを有しており、励起光をコア領域62A内でマルチモード伝搬させる。コア領域62Aの直径としては100μmが例示され、クラッド領域62Bの直径としては125μmが例示される。上記コア領域62Aには、励起光の波長より加工用レーザ光の波長に対してより大きな透過損失を有する損失媒体としての希土類元素(以下、「光吸収用元素」と称す)E2が添加されている。これにより、第2のガイド用光ファイバ62は、励起光に対しては高い透過率を有する一方、加工用レーザ光に対しては低い透過率を有することになる。   FIG. 4 is a cross-sectional view substantially perpendicular to the longitudinal direction of the second guide optical fiber. The second guiding optical fiber 62 includes a core region 62A and a cladding region 62B that is provided on the outer periphery of the core region 62A and has a lower refractive index than the core region 62A. Multi-mode propagation within. The diameter of the core region 62A is exemplified as 100 μm, and the diameter of the cladding region 62B is exemplified as 125 μm. The core region 62A is added with a rare earth element (hereinafter referred to as “light absorbing element”) E2 as a loss medium having a larger transmission loss with respect to the wavelength of the processing laser light than the wavelength of the excitation light. Yes. As a result, the second guide optical fiber 62 has a high transmittance for the excitation light and a low transmittance for the processing laser light.

第1のガイド用光ファイバ61の構成は、コア領域に光吸収用元素E2が添加されていない点以外は、第2のガイド用光ファイバ62の構成と同様である。   The configuration of the first guiding optical fiber 61 is the same as the configuration of the second guiding optical fiber 62 except that the light absorbing element E2 is not added to the core region.

光学的モジュール31では、第1のガイド用光ファイバ61に励起光源40が光学的に接続され、第2のガイド用光ファイバ62に光ファイバ52が光学的に接続されている。これによって、励起光源40から励起光が光ガイド部60をマルチモード伝搬して光結合手段50に入力されることになる。   In the optical module 31, the excitation light source 40 is optically connected to the first guide optical fiber 61, and the optical fiber 52 is optically connected to the second guide optical fiber 62. As a result, the excitation light from the excitation light source 40 propagates in the multimode through the light guide unit 60 and is input to the optical coupling means 50.

次に、光増幅モジュール1の動作について説明する。一例として、加工用レーザ光の波長λは約1060nmとし、励起光の波長λは約974nmとする。また、増幅用光ファイバ20に添加した光増幅用元素E1は、一例として希土類元素であるYbとする。図5は、Ybの吸収・放射特性を示す図である。図5に示すように、Ybは波長約915nm帯の光(915nm±30nm)と974nm帯(974nm±10nm)の光を多く吸収することがわかり、Ybが添加された増幅媒体ではこの2つの波長帯を用いられることが多い。ここでは、一例として吸収係数の大きい974nm帯の波長を励起LDとして使用したが、915nm帯の波長を励起LDとして利用しても、増幅される波長帯域に差は発生しないので、後述する光学的モジュール31の作用・効果に変わりはない。上記2波長帯でいずれかでYbを励起すると、1020〜1080nmの増幅帯域を持つことが図5からもわかり、ここでは特に1060nmの光を利用した。図5より励起光波長と増幅波長帯域に差があることは明確であり、励起光波長と被増幅光波長によって吸収係数が異なる媒体を挿入する光学的モジュール31の作用・効果から考えると、加工用レーザ光の波長を1020〜1080nmの間のいずれかに配置していれば、光学的モジュール31の作用・効果は同一のものである。 Next, the operation of the optical amplification module 1 will be described. As an example, the wavelength λ A of the processing laser light is about 1060 nm, and the wavelength λ P of the excitation light is about 974 nm. The optical amplification element E1 added to the amplification optical fiber 20 is, for example, Yb, which is a rare earth element. FIG. 5 is a diagram showing the absorption / radiation characteristics of Yb. As shown in FIG. 5, it can be seen that Yb absorbs a lot of light in the wavelength band of about 915 nm (915 nm ± 30 nm) and light in the 974 nm band (974 nm ± 10 nm), and the amplification medium to which Yb is added has these two wavelengths. Bands are often used. Here, as an example, the wavelength of the 974 nm band having a large absorption coefficient is used as the excitation LD. However, even if the wavelength of the 915 nm band is used as the excitation LD, there is no difference in the wavelength band to be amplified. There is no change in the operation and effect of the module 31. It can also be seen from FIG. 5 that when Yb is excited in either of the two wavelength bands, it has an amplification band of 1020 to 1080 nm, and here, particularly, light of 1060 nm was used. From FIG. 5, it is clear that there is a difference between the excitation light wavelength and the amplification wavelength band, and considering the action and effect of the optical module 31 in which a medium having a different absorption coefficient depending on the excitation light wavelength and the amplified light wavelength is considered. As long as the wavelength of the laser beam is arranged between 1020 and 1080 nm, the action and effect of the optical module 31 are the same.

また、コア領域62Aに添加した光吸収用元素E2は、一例として希土類元素であるTmとする。図6は、Tmの吸収特性を示す図である(「Tetsuro Komukai et. al. “Upconversion Pumped Thulium-Doped FlurideFiber Amplifier and Laser Operating at 1.47μm,” IEEE JOURNAL OF QUANTUMELECTRONICS, NOVENBER 1995, VOL.31, NO. 11, pp1880-1889」参照)。図6に示すように、Tmにおいては、波長約974nm帯の光に対する吸収係数は小さく、波長1060nm近傍の光に対する吸収係数が大きい。すなわち、光吸収用元素E2としてのTmは、励起光より加工用レーザ光を主に吸収する性質を有し、結果として、Tmによって加工用レーザ光の方がより大きな透過損失を受けることになる。   The light absorbing element E2 added to the core region 62A is, for example, Tm which is a rare earth element. FIG. 6 is a diagram showing the absorption characteristics of Tm (“Tetsuro Komukai et. Al.“ Upconversion Pumped Thulium-Doped Fluride Fiber Amplifier and Laser Operating at 1.47 μm, ”IEEE JOURNAL OF QUANTUMELECTRONICS, NOVENBER 1995, VOL.31, NO. 11, pp1880-1889 "). As shown in FIG. 6, at Tm, the absorption coefficient for light in the wavelength range of about 974 nm is small, and the absorption coefficient for light in the vicinity of wavelength 1060 nm is large. That is, Tm as the light absorbing element E2 has a property of mainly absorbing the processing laser light from the excitation light, and as a result, the processing laser light receives a larger transmission loss due to Tm. .

上記条件を有する光増幅モジュール1において、各励起光源40が波長約974nmの励起光を出力すると、励起光は光ガイド部60に入力され、光ガイド部60内をマルチモードで伝搬して光結合手段50に入力される。光ガイド部60を構成する第2のガイド用光ファイバ62のコア領域62Aには、光吸収用元素E2としてのTmが添加されているが、図6に示したように、Tmは、波長約974nmの光をほとんど吸収しないので、励起光は光結合手段50に確実に入力される。光結合手段50に入力された励起光は、増幅用光ファイバ20に入力され、コア領域20A内に添加された光増幅用元素E1であるYbを励起しながら端部20bに向かって伝搬する。   In the optical amplifying module 1 having the above conditions, when each pumping light source 40 outputs pumping light having a wavelength of about 974 nm, the pumping light is input to the light guide unit 60 and propagates in the light guide unit 60 in a multimode for optical coupling. Input to means 50. Tm as a light absorbing element E2 is added to the core region 62A of the second guide optical fiber 62 constituting the light guide portion 60. As shown in FIG. Since the light of 974 nm is hardly absorbed, the excitation light is reliably input to the optical coupling means 50. The excitation light input to the optical coupling means 50 is input to the amplification optical fiber 20 and propagates toward the end 20b while exciting Yb which is the optical amplification element E1 added in the core region 20A.

また、被増幅光源10が、波長約1060nmの加工用レーザ光を出力すると、加工用レーザ光は光ファイバ51内をシングルモード伝搬して光結合手段50を介して増幅用光ファイバ20内に入力された後、増幅用光ファイバ20のコア領域20A内を端部20bに向かって伝搬する。   When the amplified light source 10 outputs a processing laser beam having a wavelength of about 1060 nm, the processing laser beam propagates in the optical fiber 51 in a single mode and is input into the amplifying optical fiber 20 through the optical coupling means 50. Then, it propagates in the core region 20A of the amplification optical fiber 20 toward the end 20b.

このとき、上記のようにコア領域20A内に添加された光増幅用元素E1であるYbが励起光によって励起されていると、加工用レーザ光によって誘導放出が生じるので、加工用レーザ光が光増幅される。よって、光増幅された高出力の加工用レーザ光が増幅用光ファイバ20の端部20bから出力される。   At this time, if Yb, which is the optical amplification element E1 added in the core region 20A as described above, is excited by the excitation light, stimulated emission is generated by the processing laser light. Amplified. Therefore, the optically amplified high-power processing laser beam is output from the end portion 20 b of the amplification optical fiber 20.

上記光増幅モジュール1が有する光学的モジュール31では、光結合手段50と励起光源40とを光ガイド部60で接続していることが重要である。損失媒体としての光吸収用元素E2を有する光ガイド部60を、光結合手段50と励起光源40との間に配置していることの作用・効果について、図7に示した比較用の光学的モジュール110を適用した光増幅モジュール100と対比して説明する。   In the optical module 31 included in the optical amplification module 1, it is important that the optical coupling means 50 and the excitation light source 40 are connected by the light guide unit 60. Regarding the operation and effect of disposing the light guide portion 60 having the light absorbing element E2 as the loss medium between the optical coupling means 50 and the excitation light source 40, the comparative optical shown in FIG. A description will be given in comparison with the optical amplification module 100 to which the module 110 is applied.

図7に示した光学的モジュール110の構成は、光結合手段50が有する光ファイバ52と励起光源40とが、光吸収用元素E2が添加されていない光ファイバ111で光学的に接続されている点で、光学的モジュール31の構成と主に相違する。以下の説明では、光ファイバ111の構成は、第1のガイド用光ファイバ61の構成を同様であり、励起光をマルチモード伝搬させるものとする。なお、図7では、説明の簡単化のため励起光源40は1つのみ示している。   In the configuration of the optical module 110 shown in FIG. 7, the optical fiber 52 included in the optical coupling means 50 and the excitation light source 40 are optically connected by the optical fiber 111 to which the light absorbing element E2 is not added. This is mainly different from the configuration of the optical module 31. In the following description, the configuration of the optical fiber 111 is the same as that of the first guide optical fiber 61, and the excitation light is propagated in multimode. In FIG. 7, only one excitation light source 40 is shown for simplicity of explanation.

光増幅モジュール100でも、加工用レーザ光及び励起光が光結合手段50によって増幅用光ファイバ20に供給され、加工用レーザ光が増幅用光ファイバ20で光増幅された後に、端部20bから高出力な加工用レーザ光として出力される。   Also in the optical amplification module 100, the processing laser light and the excitation light are supplied to the amplification optical fiber 20 by the optical coupling means 50, and after the processing laser light is optically amplified by the amplification optical fiber 20, It is output as an output processing laser beam.

ところで、増幅用光ファイバ20の端部20bが他の光ファイバと接続されたときには、その接続部分において、例えばMFDミスマッチや軸ズレなどによる接続損失が生じ、その損失分としての高出力な加工用レーザ光が、増幅用光ファイバ20の第1のクラッド領域20B内に戻り光として入射する場合がある。また、光増幅モジュール100を前述したように光加工システム等に適用した場合、端部20bから出力された高強度の加工用レーザ光が、光加工システムの他の光学素子(レンズ、ミラー)などによる戻り光として第1のクラッド領域20B内に入射する場合がある。以上のような場合、励起光の伝搬領域内を励起光源40に向かって伝搬する加工用レーザ光が存在し得る。   By the way, when the end portion 20b of the amplification optical fiber 20 is connected to another optical fiber, a connection loss due to, for example, MFD mismatch or axial misalignment occurs in the connection portion, and high-power processing for the loss is generated. Laser light may enter the first cladding region 20B of the amplification optical fiber 20 as return light. Further, when the optical amplification module 100 is applied to an optical processing system or the like as described above, a high-intensity processing laser beam output from the end portion 20b is used as another optical element (lens, mirror) or the like of the optical processing system. May be incident on the first cladding region 20B as return light. In such a case, there may be processing laser light propagating in the excitation light propagation region toward the excitation light source 40.

光増幅モジュール100では、前述したように励起光源40と光結合手段50とが、光をマルチモードで伝搬させる光ファイバ111によって接続されているので、例えば、シングルモード伝搬する光の伝搬方向の調整に有効なアイソレータやファイバグレーティングなどを光ファイバ111に設けたとしても、励起光源40に向かって伝搬する高出力な加工用レーザ光をカットできない場合がある。その結果、高出力な加工用レーザ光が励起光源40まで到達し、励起光源40が壊れたり、その動作が不安定になることで、高出力な加工用レーザ光を安定して出力できないおそれがある。   In the optical amplification module 100, as described above, the pumping light source 40 and the optical coupling means 50 are connected by the optical fiber 111 that propagates light in multimode. Even if an effective isolator, fiber grating, or the like is provided in the optical fiber 111, the high-power processing laser light propagating toward the excitation light source 40 may not be cut. As a result, the high-power processing laser beam reaches the pumping light source 40, and the pumping light source 40 may be broken or the operation may become unstable, so that the high-power processing laser beam may not be stably output. is there.

これに対して、上記光増幅モジュール1の光学的モジュール31では、光結合手段50と励起光源40とを、光吸収用元素E2が添加された第2のガイド用光ファイバ62を有する光ガイド部60によって接続している。そのため、仮に、前述したように、増幅用光ファイバ20から光結合手段50を通して励起光源40側に向かって加工用レーザ光が伝搬したとしても、その加工用レーザ光は、第2のガイド用光ファイバ62を通る際に、光吸収用元素E2によって大きな透過損失を受ける。その結果、戻り光としての加工用レーザ光が励起光源40を壊す程に高い強度で励起光源40に到達することがない。すなわち、光吸収用元素E2が添加された第2のガイド用光ファイバ62は、励起光源40に対する保護媒体として機能している。このように、光学的モジュール31では、励起光源40と光結合手段50との間に、励起光源保護媒体としての第2のガイド用光ファイバ62を設けているため、戻り光としての被加工用レーザ光が原因となって励起光源40が壊れたり、不安定な動作をすることがない。よって、光学的モジュール31によって増幅用光ファイバ20に励起光を安定して供給でき、結果として、端部20bから加工用レーザ光を安定して出力することが可能である。   On the other hand, in the optical module 31 of the optical amplification module 1, the optical coupling unit 50 and the excitation light source 40 are provided with the light guide portion having the second guide optical fiber 62 to which the light absorbing element E2 is added. 60 is connected. Therefore, as described above, even if the processing laser light propagates from the amplification optical fiber 20 to the excitation light source 40 side through the optical coupling means 50, the processing laser light is the second guide light. When passing through the fiber 62, a large transmission loss is received by the light absorbing element E2. As a result, the processing laser light as return light does not reach the excitation light source 40 with such a high intensity that the excitation light source 40 is broken. That is, the second guide optical fiber 62 to which the light absorbing element E2 is added functions as a protective medium for the excitation light source 40. Thus, in the optical module 31, since the second guide optical fiber 62 as the excitation light source protection medium is provided between the excitation light source 40 and the optical coupling means 50, the optical module 31 is to be processed as return light. The excitation light source 40 is not broken or unstable due to the laser light. Therefore, the excitation light can be stably supplied to the amplification optical fiber 20 by the optical module 31, and as a result, the processing laser light can be stably output from the end portion 20b.

また、各励起光源40から出力された励起光を光ガイド部60を利用してマルチモード伝搬させているため、シングルモードで励起光を伝搬させる光ファイバを使用する場合よりも、増幅用光ファイバ20により多くの励起光を供給できる。よって、加工用レーザ光を効率的に増幅できるため、より高出力な加工用レーザ光を出力することが可能である。従って、光増幅モジュール1では、端部20bから安定して高強度な加工用レーザ光を出力できる。   Further, since the pumping light output from each pumping light source 40 is propagated in multimode using the light guide section 60, the optical fiber for amplification is used rather than using an optical fiber that propagates pumping light in a single mode. More excitation light can be supplied to 20. Therefore, since the processing laser beam can be efficiently amplified, it is possible to output a higher-power processing laser beam. Therefore, the optical amplification module 1 can stably output high-intensity processing laser light from the end 20b.

なお、上記のように光吸収用元素E2は、戻り光としての加工用レーザ光が励起光源40に到達して励起光源40が壊れたりするのを防止するためのものである。そのため、第2のガイド用光ファイバ62に添加される光吸収用元素E2としては、励起光源40が壊れたりその動作を不安定にするような影響を与えないように加工用レーザ光の透過を抑制できると共に、励起光を伝搬させることができるものであればよい。   As described above, the light absorbing element E2 is for preventing the processing laser light as return light from reaching the excitation light source 40 and breaking the excitation light source 40. Therefore, as the light absorbing element E2 added to the second guide optical fiber 62, the laser beam for processing is transmitted so that the excitation light source 40 is not damaged or the operation thereof is unstable. What is necessary is just to be able to suppress and transmit the excitation light.

(第2の実施形態)
図8は、光増幅モジュールの他の実施形態の構成を概略的に示す構成図である。光増幅モジュール2は、いわゆる後方励起型の光増幅モジュールである。
(Second Embodiment)
FIG. 8 is a configuration diagram schematically showing the configuration of another embodiment of the optical amplification module. The optical amplification module 2 is a so-called backward pumping type optical amplification module.

光増幅モジュール2では、増幅用光ファイバ20の端部20aに被増幅光源10が光学的に接続されており、被増幅光源10から出力された加工用レーザ光は、増幅用光ファイバを端部20aから端部20bに向けて伝搬する。また、増幅用光ファイバ20の端部20bには、光学的モジュール32が光学的に接続されている。   In the optical amplification module 2, the amplified light source 10 is optically connected to the end 20a of the amplification optical fiber 20, and the processing laser light output from the amplified light source 10 has the amplification optical fiber at the end. It propagates from 20a toward the end 20b. An optical module 32 is optically connected to the end 20 b of the amplification optical fiber 20.

光学的モジュール32は、第1の実施形態の光学的モジュール31と同様に、励起光源40と光結合手段50とが光ガイド部60によって光学的に接続されて構成されている。本実施形態では、光結合手段50が有する光ファイバ54が増幅用光ファイバ20の端部20bに接続されており、光ファイバ54は、加工用レーザ光に対して入力ポートとして機能すると共に、励起光に対して出力ポートとして機能する。また、光ファイバ51は出力ポートとして機能する。   As in the optical module 31 of the first embodiment, the optical module 32 is configured by optically connecting the excitation light source 40 and the optical coupling means 50 by the light guide unit 60. In the present embodiment, the optical fiber 54 of the optical coupling means 50 is connected to the end 20b of the amplification optical fiber 20, and the optical fiber 54 functions as an input port for the processing laser light and is excited. Functions as an output port for light. The optical fiber 51 functions as an output port.

光増幅モジュール2の動作について説明する。各励起光源40から出力された励起光は、第1の実施形態の場合と同様に、光ガイド部60及び光結合手段50を介して増幅用光ファイバ20に入力される。そして、増幅用光ファイバ20に入力された励起光は端部20aに向けて伝搬しながら光増幅用元素E1を励起する。また、被増幅光源10から出力された加工用レーザ光は、端部20aから増幅用光ファイバ20に入力されて、増幅用光ファイバ20内を光結合手段50に向かって伝搬する。   The operation of the optical amplification module 2 will be described. The pumping light output from each pumping light source 40 is input to the amplification optical fiber 20 through the light guide unit 60 and the optical coupling means 50 as in the case of the first embodiment. Then, the excitation light input to the amplification optical fiber 20 excites the optical amplification element E1 while propagating toward the end 20a. Further, the processing laser light output from the amplified light source 10 is input to the amplification optical fiber 20 from the end portion 20 a and propagates in the amplification optical fiber 20 toward the optical coupling means 50.

光増幅用元素E1が励起された状態で、被増幅光源10から増幅用光ファイバ20に加工用レーザ光が入力されると、誘導放出が生じて加工用レーザ光が光増幅される。光増幅された加工用レーザ光は光ファイバ54及び光結合部53を介して光ファイバ51に入力された後、光ファイバ51の端部から出力される。その結果、光ファイバ51から高出力な加工用レーザ光が出力されることになる。   When the processing laser light is input from the light source to be amplified 10 to the amplification optical fiber 20 with the optical amplification element E1 being excited, stimulated emission occurs and the processing laser light is optically amplified. The optically amplified laser beam for processing is input to the optical fiber 51 through the optical fiber 54 and the optical coupling unit 53 and then output from the end of the optical fiber 51. As a result, a high-power processing laser beam is output from the optical fiber 51.

光増幅モジュール2が有する光学的モジュール32の場合にも、励起光源40と光結合手段50との間に光ガイド部60が設けられている。そのため、仮に増幅用光ファイバ20と光結合手段50との接続部分におけるMFDミスマッチや軸ズレなどによって光ファイバ54の第1のクラッド領域内に加工用レーザ光が入射し、その加工用レーザ光が励起光の伝搬方向と反対方向に励起光源40側に向けて伝搬したとしても、第2のガイド用光ファイバ62を通過する際に、光吸収用元素E2によって加工用レーザ光が大きな透過損失を受けることになる。その結果、接続損失などによって生じる損失分としての加工用レーザ光が励起光源40まで到達することが抑制される。よって、高出力な加工用レーザ光によって励起光源40が壊れたり不安定になることがないので、安定して高出力な加工用レーザ光を出力することができる。   Also in the case of the optical module 32 included in the optical amplification module 2, the light guide portion 60 is provided between the excitation light source 40 and the optical coupling means 50. Therefore, the processing laser light is incident on the first cladding region of the optical fiber 54 due to MFD mismatch or axial misalignment at the connection portion between the amplification optical fiber 20 and the optical coupling means 50, and the processing laser light is Even if it propagates toward the excitation light source 40 in the direction opposite to the propagation direction of the excitation light, the processing laser light causes a large transmission loss due to the light absorbing element E2 when passing through the second guide optical fiber 62. Will receive. As a result, the processing laser light as a loss caused by connection loss or the like is suppressed from reaching the excitation light source 40. Therefore, since the excitation light source 40 is not broken or unstable by the high-power processing laser light, the high-power processing laser light can be output stably.

なお、第1の実施形態の場合と同様に、光学的モジュール32は励起光源40を複数有するとしたが、1つでもよい。   As in the case of the first embodiment, the optical module 32 has a plurality of excitation light sources 40, but one optical module 32 may be used.

(第3の実施形態)
図9は、光増幅モジュールの更に他の実施形態の構成を概略的に示す構成図である。光増幅モジュール3はいわゆる双方向励起型の光増幅モジュールである。
(Third embodiment)
FIG. 9 is a block diagram schematically showing the configuration of still another embodiment of the optical amplification module. The optical amplification module 3 is a so-called bidirectional excitation type optical amplification module.

光増幅モジュール3は、増幅用光ファイバ20の端部20aに、第1の実施形態の場合と同様に、光学的モジュール31が光学的に接続されており、端部20bに第2の実施形態の場合と同様に、光学的モジュール32が光学的に接続されている。また、光学的モジュール31が有する光ファイバ51には、第1の実施形態の場合と同様に、被増幅光源10が光学的に接続されている。   In the optical amplifying module 3, the optical module 31 is optically connected to the end 20a of the amplifying optical fiber 20 in the same manner as in the first embodiment, and the second embodiment is connected to the end 20b. As in the case of, the optical module 32 is optically connected. Further, the amplified light source 10 is optically connected to the optical fiber 51 of the optical module 31 as in the case of the first embodiment.

この構成では、各光学的モジュール31,32が有する励起光源40からの励起光は、端部20a,20bからそれぞれ増幅用光ファイバ20に入力され、増幅用光ファイバ20内を伝搬して光増幅用元素E1を励起する。このように光増幅用元素E1が励起されたときに、被増幅光源10から出力された加工用レーザ光が、光学的モジュール31を介して増幅用光ファイバ20に入力されると、光増幅される。そして、光増幅された加工用レーザ光は、第2の実施形態の場合と同様にして、端部20bに接続された光結合手段50を介して光ファイバ51に入力され、光ファイバ51の端部から出力される。   In this configuration, the excitation light from the excitation light source 40 included in each optical module 31 and 32 is input to the amplification optical fiber 20 from the end portions 20a and 20b, and propagates through the amplification optical fiber 20 to be optically amplified. The working element E1 is excited. When the processing laser light output from the light source 10 to be amplified is input to the amplification optical fiber 20 through the optical module 31 when the optical amplification element E1 is excited in this way, the light is amplified. The Then, the optically amplified laser beam for processing is input to the optical fiber 51 through the optical coupling means 50 connected to the end portion 20b in the same manner as in the second embodiment, and the end of the optical fiber 51 Output from the section.

この場合も、増幅用光ファイバ20へ各光学的モジュール31,32を利用して励起光を供給しているため、第1及び第2の実施形態の光増幅モジュール1,2の場合と同様に高出力な加工用レーザ光が励起光源40に入射することがない。その結果、安定して高出力な加工用レーザ光を生成することが可能である。   Also in this case, since the pumping light is supplied to the amplification optical fiber 20 using the optical modules 31 and 32, similarly to the case of the optical amplification modules 1 and 2 of the first and second embodiments. High-power processing laser light does not enter the excitation light source 40. As a result, it is possible to stably generate high-power processing laser light.

(第4の実施形態)
図10は、光増幅モジュールの更に他の実施形態を概略的に示す構成図である。
(Fourth embodiment)
FIG. 10 is a configuration diagram schematically showing still another embodiment of the optical amplification module.

光増幅モジュール4は、被増幅光源10と増幅用光ファイバ20とが光学的モジュール33によって接続されて構成されている。光学的モジュール33の構成は、励起光源40と光結合手段50とが光ガイド部70によって光学的に接続されている点で、光学的モジュール31の構成と主に相違する。この点を中心にして説明する。   The optical amplification module 4 is configured by connecting the light source 10 to be amplified and the optical fiber 20 for amplification by an optical module 33. The configuration of the optical module 33 is mainly different from the configuration of the optical module 31 in that the excitation light source 40 and the optical coupling means 50 are optically connected by the light guide unit 70. This point will be mainly described.

光ガイド部70は、第1及び第2のガイド用光ファイバ71,72を有する。第1及び第2のガイド用光ファイバ71,72は、第1のガイド用光ファイバ61と同様のコア領域とクラッド領域とを有し、励起光源40から出力された励起光をマルチモード伝搬させる。   The light guide unit 70 includes first and second guide optical fibers 71 and 72. The first and second guiding optical fibers 71 and 72 have the same core region and cladding region as the first guiding optical fiber 61, and propagate the pumping light output from the pumping light source 40 in multimode. .

第1のガイド用光ファイバ71は、励起光源40と反対側の端部に光コネクタ73が接続されたコネクタ付き光ファイバである。光学的モジュール33では、光コネクタ73が有するフェルール端面上に、コーティングとしての損失媒体Cが設けられており、結果として、第1のガイド用光ファイバ71のファイバ端面71a上に損失媒体Cが設けられている。損失媒体Cは、励起光の波長より加工用レーザ光の波長に対してより大きい透過損失を生じせしめるものである。損失媒体Cとしては、例えば、SiO、TiO、ZrO、Ta等の誘電体多層膜、AlやAuなどの金属膜、希土類元素等である。なお、図10では、損失媒体Cを模式的に表している。 The first guide optical fiber 71 is an optical fiber with a connector in which an optical connector 73 is connected to the end opposite to the excitation light source 40. In the optical module 33, the loss medium C as a coating is provided on the ferrule end face of the optical connector 73. As a result, the loss medium C is provided on the fiber end face 71a of the first guide optical fiber 71. It has been. The loss medium C causes a transmission loss larger than the wavelength of the excitation light with respect to the wavelength of the processing laser light. Examples of the loss medium C include dielectric multilayer films such as SiO 2 , TiO 2 , ZrO 2 , and Ta 2 O 5 , metal films such as Al and Au, and rare earth elements. In FIG. 10, the loss medium C is schematically shown.

また、光ガイド部70では、第2のガイド用光ファイバ72も、端部に光コネクタ74が接続されたコネクタ付光ファイバである。そして、光コネクタ73,74が接続されることで、第1及び第2のガイド用光ファイバ71,72が光学的に接続されて光ガイド部70が構成されている。よって、第1及び第2のガイド用光ファイバ71,72の間に損失媒体Cが配置されることになる。   In the light guide portion 70, the second guide optical fiber 72 is also an optical fiber with a connector in which an optical connector 74 is connected to an end portion. By connecting the optical connectors 73 and 74, the first and second guide optical fibers 71 and 72 are optically connected to form the light guide portion 70. Therefore, the loss medium C is disposed between the first and second guide optical fibers 71 and 72.

光増幅モジュール4の動作は光増幅モジュール1の動作と同様である。すなわち、励起光源40から出力された励起光は、光ガイド部70及び光結合手段50を通して増幅用光ファイバ20に入力される。これにより、増幅用光ファイバ20に添加された光増幅用元素E1が励起される。また、被増幅光源10から出力された加工用レーザ光は、光学的モジュール33を通して増幅用光ファイバ20に入力される。   The operation of the optical amplification module 4 is the same as the operation of the optical amplification module 1. That is, the excitation light output from the excitation light source 40 is input to the amplification optical fiber 20 through the light guide unit 70 and the optical coupling means 50. Thereby, the optical amplification element E1 added to the amplification optical fiber 20 is excited. Further, the processing laser light output from the amplified light source 10 is input to the amplification optical fiber 20 through the optical module 33.

増幅用光ファイバ20に加工用レーザ光が入力されたとき、光増幅用元素E1が励起光によって励起されていると、誘導放出が生じて加工用レーザ光が光増幅される。この光増幅された加工用レーザ光は、端部20bから出力されるので、光増幅モジュール4から高出力な加工用レーザ光が出力されることになる。   When the processing laser light is input to the amplification optical fiber 20, if the optical amplification element E1 is excited by the excitation light, stimulated emission occurs and the processing laser light is optically amplified. Since the optically amplified processing laser light is output from the end portion 20b, a high-output processing laser light is output from the optical amplification module 4.

光増幅モジュール4が有する光学的モジュール33でも、励起光源40と光結合手段50との間に損失媒体Cが設けられている。そのため、仮に増幅用光ファイバ20と他の光ファイバとの接続部分におけるMFDミスマッチや軸ズレなどによって加工用レーザ光が励起光源40側に向けて伝搬したとしても、ガイド用光ファイバ70と光ファイバ52との間に配置された損失媒体Cを通過する際に、加工用レーザ光が大きな透過損失を受ける。その結果、接続損失などによって生じる損失分としての加工用レーザ光が励起光源40まで到達することが抑制される。このように、損失媒体Cが励起光源40の保護媒体として機能していることで、高出力な加工用レーザ光によって励起光源40が壊れたり不安定になることがないので、安定して高出力な加工用レーザ光を出力することができる。   Also in the optical module 33 included in the optical amplification module 4, the loss medium C is provided between the excitation light source 40 and the optical coupling means 50. Therefore, even if the processing laser light propagates toward the pumping light source 40 due to MFD mismatch or axial misalignment at the connection portion between the amplification optical fiber 20 and another optical fiber, the guide optical fiber 70 and the optical fiber When passing through the loss medium C disposed between the processing laser beam 52 and the processing laser beam, a large transmission loss is received. As a result, the processing laser light as a loss caused by connection loss or the like is suppressed from reaching the excitation light source 40. As described above, since the loss medium C functions as a protection medium for the excitation light source 40, the excitation light source 40 is not broken or unstable by the high-power processing laser light. A laser beam for processing can be output.

なお、第1及び第2のガイド用光ファイバ71,72の接続方法は、接続部に損失媒体Cが設けられており、励起光源40からの励起光を光結合手段50に確実に入力可能に光学的に接続されていれば特に限定されない。例えば、V字溝などを利用して接続してもよい。また、損失媒体Cの配置方法は、第1及び第2のガイド用光ファイバ71,72の接続部に設けられていればよい。例えば、第1のガイド用光ファイバ71のファイバ端面71a及び第2のガイド用光ファイバ72のファイバ端面72a上の少なくとも一方に設けられていればよい。   In addition, the connection method of the 1st and 2nd optical fibers 71 and 72 is provided with the loss medium C in the connection part, and can input the excitation light from the excitation light source 40 to the optical coupling means 50 reliably. There is no particular limitation as long as it is optically connected. For example, the connection may be made using a V-shaped groove. Moreover, the arrangement method of the loss medium C should just be provided in the connection part of the 1st and 2nd optical fibers 71 and 72 for guides. For example, it may be provided on at least one of the fiber end surface 71 a of the first guide optical fiber 71 and the fiber end surface 72 a of the second guide optical fiber 72.

また、光ガイド部70は、図11に示すように、第2のガイド用光ファイバ72を有しないものとすることも可能である。   Further, as shown in FIG. 11, the light guide portion 70 may not include the second guide optical fiber 72.

図11に示した光増幅モジュール5が有する光学的モジュール34では、光ガイド部70は、光コネクタ73が接続された第1のガイド用光ファイバ71から構成されており、光コネクタ73のフェルール端面に損失媒体Cが設けられることで、ファイバ端面71a上に損失媒体Cが配置されている。また、光学的モジュール34では、光結合手段50の光ファイバ52の端部に光コネクタ74が接続されている。そして、光コネクタ73,74を利用して第1のガイド用光ファイバ71と光ファイバ52とをコネクタ接続することで、第1のガイド用光ファイバ71と光結合手段50とが光学的に接続されている。   In the optical module 34 included in the optical amplifying module 5 shown in FIG. 11, the light guide portion 70 is composed of a first guide optical fiber 71 to which the optical connector 73 is connected, and the ferrule end face of the optical connector 73. The loss medium C is disposed on the fiber end surface 71a by providing the loss medium C to the fiber end surface 71a. In the optical module 34, an optical connector 74 is connected to the end of the optical fiber 52 of the optical coupling means 50. Then, the first guiding optical fiber 71 and the optical coupling means 50 are optically connected by connecting the first guiding optical fiber 71 and the optical fiber 52 using the optical connectors 73 and 74. Has been.

前述したように、光コネクタ73のフェルール端面上には損失媒体Cが設けられているので、光ガイド部70と光結合手段50とが接続される端面71a,52a間に損失媒体Cが配置されることになる。その結果、図10に示した光学的モジュール33の場合と同様に、高出力な加工用レーザによって光励起光源40が壊れたり不安定な動作をすることがない。   As described above, since the loss medium C is provided on the ferrule end face of the optical connector 73, the loss medium C is disposed between the end faces 71a and 52a to which the light guide portion 70 and the optical coupling means 50 are connected. Will be. As a result, as in the case of the optical module 33 shown in FIG. 10, the light excitation light source 40 is not broken or unstablely operated by the high-power processing laser.

光学的モジュール34では、第1のガイド用光ファイバ71のファイバ端面71a上に損失媒体Cが設けられているとしているが、損失媒体Cが光ガイド部70と光結合手段50との間に配置されていればよいため、光結合手段50の一つの端面を構成する光ファイバ52のファイバ端面52a上に設けることも可能である。また、第1のガイド用光ファイバ71と光ファイバ52との接続方法は、それらの間に損失媒体Cが配置されるように光学的に接続可能であれば特に限定されず、前述したように、V字溝を利用することも可能である。   In the optical module 34, the loss medium C is provided on the fiber end surface 71a of the first guide optical fiber 71. However, the loss medium C is disposed between the light guide portion 70 and the optical coupling means 50. Therefore, it may be provided on the fiber end face 52a of the optical fiber 52 constituting one end face of the optical coupling means 50. Further, the connection method between the first guide optical fiber 71 and the optical fiber 52 is not particularly limited as long as it can be optically connected so that the loss medium C is disposed between them, as described above. It is also possible to use a V-shaped groove.

以上、本発明の光学的モジュールの実施形態について説明したが、本発明に係る光学的モジュール及びそれを適用した光増幅モジュールは、第1〜第4の実施形態を利用して説明したものに限定されない。   The optical module according to the embodiment of the present invention has been described above. However, the optical module according to the present invention and the optical amplification module to which the optical module is applied are limited to those described using the first to fourth embodiments. Not.

光増幅モジュール1〜5では被増幅光源10を備えているが、被増幅光源10は必ずしも備えていなくてもよい。図1の光増幅モジュール1の場合を例にして説明すると、被増幅光源10が接続される側の光ファイバ51の端部と、増幅用光ファイバ20の出力側の端部20bとによって共振器構造を形成することも可能である。この場合、光増幅モジュール1でレーザ発振させることにより、高強度な波長λの光を光増幅モジュール1から出力することができる。 Although the light amplification modules 1 to 5 include the light source 10 to be amplified, the light source 10 to be amplified is not necessarily provided. The case of the optical amplifying module 1 of FIG. 1 will be described as an example. It is also possible to form a structure. In this case, by laser oscillation in the optical amplifier module 1 can output a high intensity light wavelength lambda A from the optical amplifier module 1.

また、光学的モジュール32を適用した光増幅モジュール2,3においても、光学的モジュール32の代わりに光学的モジュール33,34を適用したものとすることも可能である。   Also in the optical amplification modules 2 and 3 to which the optical module 32 is applied, the optical modules 33 and 34 may be applied instead of the optical module 32.

また、光結合手段50は、光ファイバ51,52,54及び光結合部53を有するとしたが、励起光をマルチモードで出力するファイバ構造を有しており、励起光を増幅用光ファイバ20に入力できると共に、被増幅光を増幅用光ファイバ20に入力(又は増幅用光ファイバ20において光増幅された被増幅光を出力)可能な光カプラであればよい。   In addition, the optical coupling means 50 includes the optical fibers 51, 52, and 54 and the optical coupling unit 53. However, the optical coupling unit 50 has a fiber structure that outputs the pumping light in a multimode, and the pumping light is amplified by the optical fiber 20 for amplification. And an optical coupler that can input the light to be amplified to the optical fiber for amplification 20 (or output the light to be amplified after being amplified in the optical fiber for amplification 20).

また、光学的モジュール31,32が有する光ガイド部60は第2のガイド用光ファイバ62のみからなるとすることも可能である。更にまた、損失媒体としての光吸収用元素E2は、第1及び第2のガイド用光ファイバ61,62の少なくとも一方に添加されていればよい。   Further, the light guide portion 60 included in the optical modules 31 and 32 may be composed of only the second guide optical fiber 62. Furthermore, the light absorbing element E2 as the loss medium may be added to at least one of the first and second guide optical fibers 61 and 62.

更に、これまでの説明では、光増幅モジュール1〜5は、光加工システムに用いられるファイバレーザ光源とし、被増幅光源10からはレーザ加工用のレーザ光が出力されるとしたが、これに限定されず、光通信システムなどにおいて、光通信用の信号光を出力するものとすることも可能である。更にまた、増幅用光ファイバ20は、ダブルクラッド型の光ファイバとしたが、励起光をマルチモード伝搬可能な光ファイバであればよい。   Furthermore, in the description so far, the optical amplification modules 1 to 5 are fiber laser light sources used in the optical processing system, and the laser light for laser processing is output from the light source 10 to be amplified. Instead, it is also possible to output signal light for optical communication in an optical communication system or the like. Furthermore, although the amplification optical fiber 20 is a double clad optical fiber, it may be any optical fiber capable of propagating pump light in multimode.

本発明に係る光学的モジュールの一実施形態を適用した光増幅モジュールの一実施形態の構成を概略的に示す構成図である。It is a block diagram which shows schematically the structure of one Embodiment of the optical amplification module to which one Embodiment of the optical module which concerns on this invention is applied. 図2(a)は、図1に示した増幅用光ファイバの長手方向に略直交する断面図である。図2(b)は、増幅用光ファイバの径方向における屈折率分布を示す図である。FIG. 2A is a cross-sectional view substantially orthogonal to the longitudinal direction of the amplification optical fiber shown in FIG. FIG. 2B is a diagram showing a refractive index distribution in the radial direction of the amplification optical fiber. 図1に示した光結合手段の具体的な構成の一例の斜視図である。It is a perspective view of an example of the concrete structure of the optical coupling means shown in FIG. 第2のガイド用光ファイバの長手方向に略直交する断面図である。It is sectional drawing substantially orthogonal to the longitudinal direction of the 2nd optical fiber for guides. Ybの吸収・放出特性を示す図である。It is a figure which shows the absorption and discharge | release characteristic of Yb. Tmの吸収特性を示す図である。It is a figure which shows the absorption characteristic of Tm. 比較用の光増幅モジュールの構成を概略的に示す構成図である。It is a block diagram which shows schematically the structure of the optical amplification module for a comparison. 図1に示した光増幅モジュールの他の実施形態の構成を概略的に示す構成図である。It is a block diagram which shows schematically the structure of other embodiment of the optical amplification module shown in FIG. 図1に示した光増幅モジュールの更に他の実施形態の構成を概略的に示す構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram schematically showing a configuration of still another embodiment of the optical amplification module shown in FIG. 1. 本発明に係る光学的モジュールの他の実施形態を適用した光増幅モジュールの構成を概略的に示す構成図である。It is a block diagram which shows schematically the structure of the optical amplification module to which other embodiment of the optical module which concerns on this invention is applied. 本発明に係る光学的モジュールの更に他の実施形態を適用した光増幅モジュールの構成を概略的に示す構成図である。It is a block diagram which shows schematically the structure of the optical amplification module to which other embodiment of the optical module which concerns on this invention is applied.

符号の説明Explanation of symbols

1〜5…光増幅モジュール、20…増幅用光ファイバ、31〜34…光学的モジュール、40…励起光源、50…光結合手段、54…光ファイバ(ファイバ構造)、52a…ファイバ端面(光結合手段の端面)、60,70…光ガイド部、61,71…第1のガイド用光ファイバ、62,72…第2のガイド用光ファイバ、71a…ファイバ端面(光ガイド部の端面)、E2…光吸収用元素(損失媒体)、C…損失媒体。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1-5 ... Optical amplification module, 20 ... Optical fiber for amplification, 31-34 ... Optical module, 40 ... Excitation light source, 50 ... Optical coupling means, 54 ... Optical fiber (fiber structure), 52a ... Fiber end surface (Optical coupling) End face of means), 60, 70... Light guide portion, 61, 71... First guide optical fiber, 62, 72... Second guide optical fiber, 71a... Fiber end face (end face of light guide portion), E2 ... light-absorbing element (loss medium), C ... loss medium.

Claims (5)

励起光源と光結合手段と光ガイド部とを備え、増幅用光ファイバに励起光と被増幅光を供給し、被増幅光を増幅するための光学的モジュールであって、
前記光ガイド部は、前記励起光源と前記光結合手段を光学的に接続し、前記励起光源から出力する励起光をマルチモード伝搬させ、
前記光結合手段は、前記光ガイド部から入力される励起光をマルチモードで出力するファイバ構造を有し、
前記光ガイド部と前記光結合手段とが接続される端面、前記端面間又は前記光ガイド部は、前記励起光の波長より前記被増幅光の波長においてより大きな透過損失となる損失媒体を有する
ことを特徴とする光学的モジュール。
An optical module comprising an excitation light source, an optical coupling means, and a light guide, supplying excitation light and amplified light to an amplification optical fiber, and amplifying the amplified light,
The light guide unit optically connects the excitation light source and the optical coupling means, and propagates the excitation light output from the excitation light source in a multimode,
The optical coupling means has a fiber structure for outputting excitation light input from the light guide portion in multimode,
The end face where the light guide part and the optical coupling means are connected, between the end faces or the light guide part has a loss medium that causes a larger transmission loss at the wavelength of the amplified light than at the wavelength of the excitation light. An optical module characterized by
前記増幅用光ファイバは、前記コア領域の屈折率より低い屈折率を有する第1のクラッド領域と、前記第1のクラッド領域の外周に設けられており前記第1のクラッド領域の屈折率より低い屈折率を有する第2のクラッド領域とを有し、前記コア領域において前記光結合手段からの被増幅光を伝搬させるとともに、前記コア領域及び前記第1のクラッド領域において前記光結合手段からの励起光を伝搬させることを特徴とする請求項1記載の光学的モジュール。   The amplification optical fiber is provided in a first cladding region having a refractive index lower than the refractive index of the core region and an outer periphery of the first cladding region, and is lower than the refractive index of the first cladding region. A second cladding region having a refractive index, and propagating light to be amplified from the optical coupling unit in the core region, and excitation from the optical coupling unit in the core region and the first cladding region. The optical module according to claim 1, wherein light is propagated. 前記光ガイド部は、前記励起光をマルチモード伝搬させるコア領域とそのコア領域の屈折率より低い屈折率を有するクラッド領域とを有するガイド用光ファイバを有しており、
前記損失媒体は、前記ガイド用光ファイバの前記コア領域に添加されている希土類元素であることを特徴とする請求項1に記載の光学的モジュール。
The light guide portion includes a guide optical fiber having a core region for propagating the excitation light in a multimode and a cladding region having a refractive index lower than the refractive index of the core region,
The optical module according to claim 1, wherein the loss medium is a rare earth element added to the core region of the guide optical fiber.
前記光ガイド部は、第1のガイド用光ファイバと第2のガイド用光ファイバとを有し、
前記損失媒体は、前記第1及び第2のガイド用光ファイバの間に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の光学的モジュール。
The light guide portion includes a first guide optical fiber and a second guide optical fiber,
The optical module according to claim 1, wherein the loss medium is provided between the first and second guide optical fibers.
前記損失媒体は、前記第1及び第2のガイド用光ファイバのうち少なくとも一方のファイバ端面上に形成されたコーティングであることを特徴とする請求項4に記載の光学的モジュール。
5. The optical module according to claim 4, wherein the loss medium is a coating formed on an end face of at least one of the first and second guide optical fibers. 6.
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