JP5329701B2 - Display board - Google Patents

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Abstract

A display substrate, a method of fabricating the same, and a liquid crystal display apparatus having the same. The display substrate includes a storage electrode extending over first and second areas formed on a substrate, a insulating layer pattern formed on the storage electrode, and first and second pixel electrodes formed on the insulating layer pattern. At least one of the first and second pixel electrodes has at least one recess. The insulating layer pattern has first and second openings formed in the first and second areas corresponding to the storage electrode. Accordingly, electric short circuits between the first and second pixel electrodes is prevented due to the recess or the openings during the manufacturing process for the first and second pixel electrodes.

Description

本発明は表示基板とその製造方法及びこれを有する液晶表示装置に係り、より詳細には工程上のエラーを防止し、かつ高画質の映像を表示することができる表示基板とその製造方法及びこれを有する液晶表示装置に関する。   The present invention relates to a display substrate, a manufacturing method thereof, and a liquid crystal display device having the same, and more specifically, a display substrate capable of preventing process errors and displaying high-quality images, and a manufacturing method thereof, and the same. The present invention relates to a liquid crystal display device having

一般的に、液晶表示装置、プラズマ表示装置、有機電界発光表示装置のように映像を表示する表示装置は基板を含んでいる。この基板には複数の画素領域が定義されている。画素領域は映像を表示する最小単位を示し、各表示装置には複数の画素領域が互いに区分されるように定義されている。
各画素領域はそれぞれ同一の構造を有しており、1つの画素領域には表示される映像に対応する電圧が印加される画素電極を備えている。画素電極は基板上に透明導電膜を蒸着した後、これをパターニングして形成される。基板と画素電極との間には、絶縁膜のような中間膜を介在させることができ、中間膜が平坦でなく、表面に段差が形成された場合には、この段差によって、最初設計された画素電極とは異なるものが形成される恐れがある。
Generally, a display device that displays an image, such as a liquid crystal display device, a plasma display device, or an organic light emitting display device, includes a substrate. A plurality of pixel regions are defined on this substrate. The pixel area indicates a minimum unit for displaying an image, and each display device is defined such that a plurality of pixel areas are separated from each other.
Each pixel region has the same structure, and one pixel region includes a pixel electrode to which a voltage corresponding to a displayed image is applied. The pixel electrode is formed by depositing a transparent conductive film on the substrate and then patterning it. An intermediate film such as an insulating film can be interposed between the substrate and the pixel electrode, and when the intermediate film is not flat and a step is formed on the surface, the step was originally designed by this step. There is a possibility that a different one from the pixel electrode is formed.

本発明の目的は、工程上のエラーを防止することができる表示基板を提供することにある。
本発明の他の目的は前記表示基板の製造方法を提供することにある。本発明の他の目的は、上述した表示基板を利用して高画質の映像を表示することができる液晶表示装置を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a display substrate that can prevent errors in the process.
Another object of the present invention is to provide a method for manufacturing the display substrate. Another object of the present invention is to provide a liquid crystal display device capable of displaying a high-quality image using the above-described display substrate.

本発明の一実施形態に係る表示基板は、ストレージ電極、透明絶縁膜パターン、第1及び第2画素電極を含む。前記ストレージ電極は第1領域と第2領域とを有する基板上に前記第1及び第2領域にかけて形成される。前記透明絶縁膜パターンは前記ストレージ電極上に前記基板を覆うように形成され、前記ストレージ電極が形成された領域で開口部を有する。前記第1及び第2画素電極は前記透明絶縁膜パターン上に形成され、前記第1及び第2領域にそれぞれ位置する。前記第1及び第2画素電極のうちの少なくとも1つは前記ストレージ電極が形成された領域上で少なくとも1つの凹部が形成される。そして、前記開口部及び前記凹部は、前記ストレージ電極が形成された領域上において互いに対応する位置にある。   A display substrate according to an embodiment of the present invention includes a storage electrode, a transparent insulating film pattern, and first and second pixel electrodes. The storage electrode is formed over the first and second regions on a substrate having a first region and a second region. The transparent insulating film pattern is formed on the storage electrode so as to cover the substrate, and has an opening in a region where the storage electrode is formed. The first and second pixel electrodes are formed on the transparent insulating film pattern and are positioned in the first and second regions, respectively. At least one of the first and second pixel electrodes has at least one recess formed on a region where the storage electrode is formed. The opening and the recess are in positions corresponding to each other on the region where the storage electrode is formed.

本発明の他の実施形態に係る表示基板は、ストレージ電極、透明絶縁膜パターン、第1及び第2画素電極を含む。前記ストレージ電極は第1領域と第2領域とを有する基板上に前記第1及び第2領域にかけて形成される。前記透明絶縁膜パターンは前記ストレージ電極上に形成され、前記第1領域の前記ストレージ電極上で第1開口部を有し、前記第2領域の前記ストレージ電極上で第2開口部を有する。前記第1及び第2画素電極は前記透明絶縁膜パターン上に形成され、前記第1及び第2領域にそれぞれ位置する。   A display substrate according to another embodiment of the present invention includes a storage electrode, a transparent insulating film pattern, and first and second pixel electrodes. The storage electrode is formed over the first and second regions on a substrate having a first region and a second region. The transparent insulating film pattern is formed on the storage electrode, has a first opening on the storage electrode in the first region, and has a second opening on the storage electrode in the second region. The first and second pixel electrodes are formed on the transparent insulating film pattern and are positioned in the first and second regions, respectively.

本発明の一実施形態に係る表示基板の製造方法は次の過程を含む。第1領域と第2領域とを有する基板上に前記第1及び第2領域にかけて位置するストレージ電極を形成する。前記基板上で前記ストレージ電極から離隔されるようにゲート電極を形成し、前記ゲート電極上で互いに離間するソース電極とドレイン電極とを形成する。前記ソース電極とドレイン電極上に前記ストレージ電極が形成された領域で開口部を有する透明絶縁膜パターンを形成する。前記透明絶縁膜パターン上の前記第1及び第2領域にそれぞれ第1画素電極と第2画素電極を形成する。前記第1及び第2画素電極のうちの少なくとも1つは前記ストレージ電極が形成された領域上で少なくとも1つの凹部が形成される。   A method for manufacturing a display substrate according to an embodiment of the present invention includes the following steps. A storage electrode positioned over the first and second regions is formed on a substrate having a first region and a second region. A gate electrode is formed on the substrate so as to be separated from the storage electrode, and a source electrode and a drain electrode which are separated from each other are formed on the gate electrode. A transparent insulating film pattern having an opening is formed in the region where the storage electrode is formed on the source electrode and the drain electrode. A first pixel electrode and a second pixel electrode are formed in the first and second regions on the transparent insulating film pattern, respectively. At least one of the first and second pixel electrodes has at least one recess formed on a region where the storage electrode is formed.

本発明の他の実施形態に係る表示基板の製造方法は次の過程を含む。第1領域と第2領域とを有する基板上に前記第1及び第2領域にかけて位置するストレージ電極を形成する。前記基板上において前記ストレージ電極から離間するようにゲート電極を形成し、前記ゲート電極上において互いに離間するソース電極とドレイン電極とを形成する。前記ソース電極とドレイン電極上に前記第1領域の前記ストレージ電極上で第1開口部を有し、前記第2領域の前記ストレージ電極上で第2開口部を有する透明絶縁膜パターンを形成する。前記透明絶縁膜パターン上の前記第1及び第2領域にそれぞれ第1画素電極と第2画素電極とを形成する。   A display substrate manufacturing method according to another embodiment of the present invention includes the following steps. A storage electrode positioned over the first and second regions is formed on a substrate having a first region and a second region. A gate electrode is formed on the substrate so as to be separated from the storage electrode, and a source electrode and a drain electrode which are separated from each other are formed on the gate electrode. A transparent insulating film pattern having a first opening on the storage electrode in the first region and a second opening on the storage electrode in the second region is formed on the source electrode and the drain electrode. A first pixel electrode and a second pixel electrode are formed in the first and second regions on the transparent insulating film pattern, respectively.

本発明の実施形態に係る液晶表示装置は第1基板及び第2基板、液晶層、ストレージ電極、透明絶縁膜パターン、画素電極、共通電極を含む。前記第1及び第2基板は互いに向き合う。前記液晶層は前記第1及び第2基板の間に介在して、液晶が配列される。前記ストレージ電極は前記第1基板上に形成される。前記透明絶縁膜パターンは前記ストレージ電極上に形成され、前記ストレージ電極が形成された領域で開口される。前記画素電極は前記透明絶縁膜パターン上に形成される。前記共通電極は前記第2基板上に形成され、前記液晶の配列方向を制御する方向制御手段を有する。前記方向制御手段は前記ストレージ電極の端に位置し、前記ストレージ電極の長さ方向と並んでおり、互いに対称の1対からなる。   A liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention includes a first substrate and a second substrate, a liquid crystal layer, a storage electrode, a transparent insulating film pattern, a pixel electrode, and a common electrode. The first and second substrates face each other. The liquid crystal layer is interposed between the first and second substrates, and the liquid crystal is arranged. The storage electrode is formed on the first substrate. The transparent insulating film pattern is formed on the storage electrode and opened in a region where the storage electrode is formed. The pixel electrode is formed on the transparent insulating film pattern. The common electrode is formed on the second substrate and has direction control means for controlling the alignment direction of the liquid crystal. The direction control means is located at the end of the storage electrode, is aligned with the length direction of the storage electrode, and consists of a pair symmetrical to each other.

本実施形態によると、互いに区分された画素電極を形成し、表示装置の動作特性の向上する効果がある。また区分された画素電極を形成する工程において、工程上のエラーによってこれらが電気的に短絡することを防止できる効果がある。   According to the present embodiment, pixel electrodes that are separated from each other are formed, and the operation characteristics of the display device are improved. Further, in the process of forming the separated pixel electrodes, there is an effect that it is possible to prevent these from being electrically short-circuited due to an error in the process.

本発明の一実施形態に係る表示基板の平面図である。It is a top view of the display board concerning one embodiment of the present invention. 図1AのI-I’ラインに沿って切断した断面図である。It is sectional drawing cut | disconnected along the I-I 'line of FIG. 1A. 図1AのII-II’ラインに沿って切断した断面図である。It is sectional drawing cut | disconnected along the II-II 'line | wire of FIG. 1A. 図1Cの表示基板を製造する過程を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the process of manufacturing the display substrate of FIG. 1C. 図1Cの表示基板を製造する過程を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the process of manufacturing the display substrate of FIG. 1C. 図1Cの表示基板を製造する過程を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the process of manufacturing the display substrate of FIG. 1C. 図1Cの表示基板を製造する過程を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the process of manufacturing the display substrate of FIG. 1C. 本発明の他の実施形態に係る表示基板の平面図である。It is a top view of the display board concerning other embodiments of the present invention. 図3AのIII-III’ラインに沿って切断した断面図である。It is sectional drawing cut | disconnected along the III-III 'line | wire of FIG. 3A. 図3Bの表示基板の製造方法を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the manufacturing method of the display substrate of FIG. 3B. 図3Bの表示基板の製造方法を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the manufacturing method of the display substrate of FIG. 3B. 図3Bの表示基板の製造方法を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the manufacturing method of the display substrate of FIG. 3B. 図3Bの表示基板の製造方法を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the manufacturing method of the display substrate of FIG. 3B. 図3Bの表示基板の製造方法を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the manufacturing method of the display substrate of FIG. 3B. 図3Bの表示基板の製造方法を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the manufacturing method of the display substrate of FIG. 3B. 図3Bの表示基板の製造方法を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the manufacturing method of the display substrate of FIG. 3B. 本発明の一実施形態に係る液晶表示装置のブロック図である。1 is a block diagram of a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る液晶表示装置の2つの副画素に対する等価回路図である。FIG. 3 is an equivalent circuit diagram for two sub-pixels of a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る液晶表示板組立体の一画素に対する等価回路図である。FIG. 3 is an equivalent circuit diagram for one pixel of a liquid crystal panel assembly according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る液晶表示板組立体の配置図である。1 is a layout view of a liquid crystal panel assembly according to an embodiment of the present invention. 図4に示した液晶表示板組立体をIV-IV’、V-V’及びVI-VI’ラインに沿って切断した断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of the liquid crystal panel assembly shown in FIG. 4 cut along lines IV-IV ′, V-V ′, and VI-VI ′. 図4に示した液晶表示板組立体をIV-IV’、V-V’及びVI-VI’ラインに沿って切断した断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of the liquid crystal panel assembly shown in FIG. 4 cut along lines IV-IV ′, V-V ′, and VI-VI ′. 図4に示した液晶表示板組立体をIV-IV’、V-V’及びVI-VI’ラインに沿って切断した断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of the liquid crystal panel assembly shown in FIG. 4 cut along lines IV-IV ′, V-V ′, and VI-VI ′. 図4に示した液晶表示板組立体の画素電極及び共通電極の配置図である。FIG. 5 is a layout view of pixel electrodes and common electrodes of the liquid crystal panel assembly shown in FIG. 4. 図12に示した各副画素電極の基本となる電極片の平面図である。It is a top view of the electrode piece used as the basis of each sub-pixel electrode shown in FIG. 図12に示した各副画素電極の基本となる電極片の平面図である。It is a top view of the electrode piece used as the basis of each sub-pixel electrode shown in FIG. 図12に示した各副画素電極の基本となる電極片の平面図である。It is a top view of the electrode piece used as the basis of each sub-pixel electrode shown in FIG. 本発明の他の実施形態に係る液晶表示板組立体の一部を示す配置図である。FIG. 6 is a layout view illustrating a part of a liquid crystal panel assembly according to another embodiment of the present invention. 本発明の他の実施形態に係る液晶表示板組立体の一部を示す配置図である。FIG. 6 is a layout view illustrating a part of a liquid crystal panel assembly according to another embodiment of the present invention.

以下、添付の図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。ただし、本発明はここで説明される実施形態に限定されず、多様な形態に応用及び変形可能である。以下の実施形態は本発明によって開示された技術思想をより明確にし、さらに本発明が属する分野で平均的な知識を持った当業者に本発明の技術思想を十分に伝達するために提供されるものである。したがって、本発明の範囲が下述する実施形態によって限定されると解釈されてはならない。また実施形態とともに提示された図面において、相及び領域の大きさは明確な説明を強調するために簡略化、または誇張されたものであり、図面において、同一の参照番号は同一の構成要素を示す。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein, and can be applied and modified in various forms. The following embodiments are provided in order to clarify the technical idea disclosed by the present invention and to fully convey the technical idea of the present invention to those skilled in the art to which the present invention belongs. Is. Therefore, the scope of the present invention should not be construed as limited by the embodiments described below. In the drawings presented together with the embodiments, the sizes of phases and regions are simplified or exaggerated for emphasizing a clear description. In the drawings, the same reference numerals indicate the same components. .

図1Aは本発明の一実施形態に係る表示基板の平面図である。
図1Aに示すように、第1領域A1と第2領域A2とを有する基板1を用意する。基板1上にはストレージ電極20と画素電極60が形成されている。ストレージ電極20は第1領域A1と第2領域A2にかけて形成されている。
画素電極60は、互いに離間して形成され、それぞれ第1領域A1と第2領域A2に位置する第1画素電極61と第2画素電極62とを含んでいる。画素電極60は映像が表示される最小単位である画素領域に対応している。第1及び第2画素電極61、62は互いに異なる画素領域に属する構成とすることができ、また同一の画素領域に属する構成とすることができる。第1及び第2画素電極61、62が互いに異なる画素領域に属する場合、第1及び第2画素電極61、62には互いに異なる映像情報に対応して異なる電圧がそれぞれ印加される。同一の画素領域に属する場合、第1及び第2画素電極61、62には同一の映像情報に対応し、高画質の映像を表示するために相互に補償するため異なる電圧がそれぞれ印加される。
FIG. 1A is a plan view of a display substrate according to an embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 1A, a substrate 1 having a first area A1 and a second area A2 is prepared. A storage electrode 20 and a pixel electrode 60 are formed on the substrate 1. The storage electrode 20 is formed over the first region A1 and the second region A2.
The pixel electrode 60 is formed to be separated from each other, and includes a first pixel electrode 61 and a second pixel electrode 62 that are located in the first region A1 and the second region A2, respectively. The pixel electrode 60 corresponds to a pixel region which is the minimum unit for displaying an image. The first and second pixel electrodes 61 and 62 can be configured to belong to different pixel regions, and can be configured to belong to the same pixel region. When the first and second pixel electrodes 61 and 62 belong to different pixel regions, different voltages corresponding to different video information are applied to the first and second pixel electrodes 61 and 62, respectively. When belonging to the same pixel region, different voltages are applied to the first and second pixel electrodes 61 and 62 in order to compensate for each other in order to display high-quality video corresponding to the same video information.

ストレージ電極20の長さ方向を第1方向D1とすると、画素電極60はこの第1方向D1に対して所定の傾きを有し相互に対称である第2及び第3方向D2、D3に向かって曲がる形状で形成される。第1領域A1と第2領域A1との境界において、第1画素電極61は第1方向D1に突き出た凸辺を有し、第2画素電極62はこの凸辺に対応するように第1方向D1に向かって凹んでいる凹辺を有する。第2画素電極62の凹辺には第1方向D1に向かって凹んでいる凹部70が形成されている。凹部70は、ストレージ電極20の端部において互いに向き合うように1対で形成されている。   Assuming that the length direction of the storage electrode 20 is the first direction D1, the pixel electrode 60 has a predetermined inclination with respect to the first direction D1 and is symmetric with respect to the second and third directions D2 and D3. It is formed in a bent shape. At the boundary between the first area A1 and the second area A1, the first pixel electrode 61 has a convex side protruding in the first direction D1, and the second pixel electrode 62 is in the first direction so as to correspond to the convex side. It has a concave side that is recessed toward D1. A recess 70 that is recessed in the first direction D1 is formed on the recessed side of the second pixel electrode 62. The recesses 70 are formed in a pair so as to face each other at the end of the storage electrode 20.

ここで、前述とは逆に、凹部70が形成された凹辺を有するように第1画素電極61を形成し、第2画素電極62が凸辺を有するように形成することもできる。また凹部70は、ストレージ電極20上に少なくとも1つ以上を形成すれば良く、その形状や個数において制限はない。ただ、本実施形態の表示基板が液晶表示装置に用いられる場合には凹部70がストレージ電極20の端部に一対で形成されることが液晶の配列制御に有利である。これに対する詳細な説明は今後液晶表示装置に関する実施形態において説明する。   Here, contrary to the above, the first pixel electrode 61 may be formed so as to have a concave side where the concave portion 70 is formed, and the second pixel electrode 62 may be formed so as to have a convex side. In addition, at least one recess 70 may be formed on the storage electrode 20, and there is no limitation on the shape or the number thereof. However, when the display substrate of this embodiment is used in a liquid crystal display device, it is advantageous for liquid crystal alignment control that a pair of recesses 70 is formed at the end of the storage electrode 20. A detailed description thereof will be described later in an embodiment relating to a liquid crystal display device.

図1Bは図1AのI-I’ラインに沿って切断した断面図である。
図1Bに示すように、ストレージ電極20上には絶縁膜が形成される。絶縁膜は二重膜からなり、下層膜はストレージ電極20をカバーする透明な無機膜25で形成される。上層膜はストレージ電極20上で開口部50を有するようにパターニングされた透明な有機膜45で形成される。有機膜45上には画素電極60が形成される。
1B is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1A.
As shown in FIG. 1B, an insulating film is formed on the storage electrode 20. The insulating film is formed of a double film, and the lower layer film is formed of a transparent inorganic film 25 that covers the storage electrode 20. The upper layer film is formed of a transparent organic film 45 patterned so as to have an opening 50 on the storage electrode 20. A pixel electrode 60 is formed on the organic film 45.

図1Cは図1AのII-II’ラインに沿って切断した断面図である。
第1画素電極61と第2画素電極62はストレージ電極20上で互いに離間して形成されており、この離間する間隔は凹部70によってさらに増加する。上述のように、凹部70によって間隔が増加することによって、画素電極60を形成する時、第1及び第2画素電極61、62が相互に電気的に短絡されることを防止することができる。これについては、以後上述の構造を有する表示基板の製造方法を通じて説明する。
1C is a cross-sectional view taken along the line II-II ′ of FIG. 1A.
The first pixel electrode 61 and the second pixel electrode 62 are formed on the storage electrode 20 so as to be spaced apart from each other, and the spacing is further increased by the recess 70. As described above, since the interval is increased by the recess 70, it is possible to prevent the first and second pixel electrodes 61 and 62 from being electrically short-circuited to each other when the pixel electrode 60 is formed. This will be described later through a method for manufacturing a display substrate having the above-described structure.

図2A〜図2Dは図1Cの表示基板を製造する過程を説明する断面図である。
図2Aに示すように、基板1上にストレージ電極20が形成される。ストレージ電極20は銅、アルミニウム、銀、クロム系列の金属、またはこれらの合金を蒸着して導電膜を形成した後、導電膜をエッチングして形成される。
ストレージ電極20上に無機膜25が形成される。無機膜25は、例えば窒化シリコン膜でプラズマ化学気相蒸着法を用いて基板1の全面を覆うように形成される。無機絶縁膜25上に有機膜45が形成される。有機膜45は、例えばアクリル成分の樹脂を塗布した後、これをパターニングして開口部50を有するように形成される。
2A to 2D are cross-sectional views illustrating a process of manufacturing the display substrate of FIG. 1C.
As shown in FIG. 2A, the storage electrode 20 is formed on the substrate 1. The storage electrode 20 is formed by depositing copper, aluminum, silver, chromium series metals, or alloys thereof to form a conductive film, and then etching the conductive film.
An inorganic film 25 is formed on the storage electrode 20. The inorganic film 25 is a silicon nitride film, for example, and is formed so as to cover the entire surface of the substrate 1 using a plasma chemical vapor deposition method. An organic film 45 is formed on the inorganic insulating film 25. The organic film 45 is formed so as to have the opening 50 by applying an acrylic resin, for example, and then patterning it.

図2Bに示すように、有機膜45上に透明導電膜60'が形成される。透明導電膜60'は酸化亜鉛インジウムや酸化柱石インジウムをスパッタリングで蒸着して形成することができる。この場合、透明導電膜60'は均一の厚さで形成され、開口部50が形成された領域における段差によって表面高低が一定ではない。
透明導電膜60'上に感光膜80'が塗布される。感光膜80'はスピンコーティング方法で塗布され、この場合、透明導電膜60'の表面高低に関わらず、感光膜80'の表面が全般に平坦に形成され、領域別の厚さは一定にならない。
As shown in FIG. 2B, a transparent conductive film 60 ′ is formed on the organic film 45. The transparent conductive film 60 ′ can be formed by depositing indium zinc oxide or indium oxide bead by sputtering. In this case, the transparent conductive film 60 ′ is formed with a uniform thickness, and the surface height is not constant due to the step in the region where the opening 50 is formed.
A photosensitive film 80 ′ is applied on the transparent conductive film 60 ′. The photosensitive film 80 ′ is applied by a spin coating method. In this case, the surface of the photosensitive film 80 ′ is generally flat regardless of the height of the transparent conductive film 60 ′, and the thickness of each region is not constant. .

感光膜80'に対する露光が行われる。感光膜80'がポジティブタイプの場合を例として説明すると、前述の露光の際、透明導電膜60'で除去される部分に対応する領域の感光膜80'が露光される。この露光される領域において、感光膜80'に到達する光(矢印として表示)の強度は一定であるが、当該領域での感光膜80'の厚さは一定ではない。したがって、露光された領域のうち、感光膜80'の厚さが厚い領域では光が感光膜80'の底面まで及ばない可能性がある。   Exposure to the photosensitive film 80 'is performed. The case where the photosensitive film 80 ′ is a positive type will be described as an example. In the above-described exposure, the photosensitive film 80 ′ in the region corresponding to the portion removed by the transparent conductive film 60 ′ is exposed. In this exposed area, the intensity of light (indicated as an arrow) reaching the photosensitive film 80 ′ is constant, but the thickness of the photosensitive film 80 ′ in the area is not constant. Therefore, light may not reach the bottom surface of the photosensitive film 80 ′ in the exposed area where the thickness of the photosensitive film 80 ′ is thick.

例えば、有機膜45が形成された領域上において光が到達しなければならない経路は‘L1’に該当し、開口部50が形成された領域において光が到達しなければならない経路は‘L1'より長い‘L2’になる。
図2Cに示すように、感光膜80'のうち露光された部分を現像により除去することにより、感光膜パターン80が形成される。感光膜パターン80によって、ストレージ電極20の一部と、これに隣接して形成された透明導電膜60'が露出する。
For example, the path that the light must reach on the region where the organic film 45 is formed corresponds to “L1”, and the path that the light must reach on the region where the opening 50 is formed is based on “L1”. It becomes long 'L2'.
As shown in FIG. 2C, a photosensitive film pattern 80 is formed by removing the exposed portion of the photosensitive film 80 ′ by development. The photosensitive film pattern 80 exposes a part of the storage electrode 20 and the transparent conductive film 60 ′ formed adjacent thereto.

図2Cにおいて点線で表示されたものは、露光の時、光が到達せずに、感光膜80'が設定と異なり、一部残留してもよい部分を示したものである。
図2Dに示すように、感光膜パターン80をエッチングマスクとして用いて透明導電膜60'をエッチングすることで、互いに離間した第1及び第2画素電極61、62を含む画素電極60を形成する。このエッチングの時、凹部70が形成され、第1及び第2画素電極61、62の間の間隔は凹部70の形成のために広くなる。
In FIG. 2C, what is indicated by a dotted line is a portion where the light does not reach during exposure and the photosensitive film 80 ′ may partially remain unlike the setting.
As shown in FIG. 2D, the transparent conductive film 60 ′ is etched using the photosensitive film pattern 80 as an etching mask, thereby forming a pixel electrode 60 including first and second pixel electrodes 61 and 62 spaced apart from each other. During this etching, a recess 70 is formed, and the distance between the first and second pixel electrodes 61 and 62 is widened to form the recess 70.

図2Dにおいて点線として表示されたものは、露光の時、光が到達せずに、感光膜80'が設定と異なり、一部残留することによって、その下部の透明導電膜80'が残留してもよい部分を示す。この部分は凹部70が形成された領域と重畳する。これによって、凹部70が形成されない場合に、第1及び第2画素電極61、62が相互に連結して電気的に短絡(short)してもよいことが分かる。すなわち、凹部70は画素電極60形成の時、第1及び第2画素電極61、62の間の短絡を遮断して工程上の不良を防止する役割を果たす。   In FIG. 2D, what is displayed as a dotted line is that the light does not reach during exposure, and the photosensitive film 80 ′ is different from the setting, and part of the photosensitive film 80 ′ remains, so that the lower transparent conductive film 80 ′ remains. The good part is shown. This portion overlaps the region where the recess 70 is formed. Accordingly, when the recess 70 is not formed, the first and second pixel electrodes 61 and 62 may be connected to each other to be electrically short-circuited. That is, when the pixel electrode 60 is formed, the recess 70 serves to prevent a process failure by blocking a short circuit between the first and second pixel electrodes 61 and 62.

図3Aは本発明の他の実施形態に係る表示基板の平面図である。
図3Aに示す表示基板は、基板1、ゲートライン10、データライン40、薄膜トランジスタT1、T2、画素電極60を備えている。ゲートライン10とデータライン40は基板1上で互いに交差して複数形成されている。この複数のゲートライン10とデータライン40が交差しながら複数の画素領域PAが定義される。複数の画素領域PAのそれぞれは互いに同一の構造を有するので、以下では1つの画素領域PAを基準にして説明する。
FIG. 3A is a plan view of a display substrate according to another embodiment of the present invention.
The display substrate shown in FIG. 3A includes a substrate 1, a gate line 10, a data line 40, thin film transistors T1 and T2, and a pixel electrode 60. A plurality of gate lines 10 and data lines 40 are formed on the substrate 1 so as to cross each other. A plurality of pixel areas PA are defined while the plurality of gate lines 10 and the data lines 40 intersect. Since each of the plurality of pixel areas PA has the same structure, the following description will be made with reference to one pixel area PA.

画素領域PAは第1領域PA1と第2領域PA2に区分され、このような領域区分に対応して画素電極60は第1画素電極61と第2画素電極62とを含む。第1画素電極61は第1領域PA1に位置し、第2画素電極62は第2領域PA2で第1画素電極61と離間した位置に配置される。第1画素電極61は所定領域が切開されており、この切開された部分と第1及び第2画素電極61、62との間の離間する間隔として、画素電極60が切開部パターン65を有するようになる。   The pixel area PA is divided into a first area PA1 and a second area PA2, and the pixel electrode 60 includes a first pixel electrode 61 and a second pixel electrode 62 corresponding to the area division. The first pixel electrode 61 is located in the first area PA1, and the second pixel electrode 62 is arranged at a position separated from the first pixel electrode 61 in the second area PA2. A predetermined area of the first pixel electrode 61 is incised, and the pixel electrode 60 has an incised part pattern 65 as a spacing between the incised part and the first and second pixel electrodes 61 and 62. become.

画素電極60には電圧が印加され、第1及び第2画素電極61、62には、相互間に動作特性を補償するためのそれぞれ異なる電圧が印加される。このために、第1及び第2画素電極61、62にそれぞれ対応するように第1薄膜トランジスタT1と第2薄膜トランジスタT2が設けられている。
第1薄膜トランジスタT1は第1ゲート電極11g、第1ソース電極41s及び第1ドレイン電極41dを含んでいる。第1ゲート電極11gは第1ゲートライン11から分岐されて形成されている。第1ソース電極41sはデータライン40から分岐されて形成されている。第1ドレイン電極41dは第1ソース電極41sから離間して形成され、第1コンタクトホールh1を通じて第1画素電極61と電気的に接続されている。
A voltage is applied to the pixel electrode 60, and different voltages are applied to the first and second pixel electrodes 61 and 62 in order to compensate for operating characteristics. For this purpose, a first thin film transistor T1 and a second thin film transistor T2 are provided so as to correspond to the first and second pixel electrodes 61 and 62, respectively.
The first thin film transistor T1 includes a first gate electrode 11g, a first source electrode 41s, and a first drain electrode 41d. The first gate electrode 11g is formed to be branched from the first gate line 11. The first source electrode 41 s is branched from the data line 40. The first drain electrode 41d is formed to be separated from the first source electrode 41s and is electrically connected to the first pixel electrode 61 through the first contact hole h1.

第2薄膜トランジスタT2は第2ゲート電極12g、第2ソース電極42s及び第2ドレイン電極42dを含んでいる。第2ゲート電極12gは第2ゲートライン12から分岐されて形成されている。第2ソース電極42sはデータライン40から分岐されて形成されている。第2ドレイン電極42dは第2ソース電極42sから離間しており、第2コンタクトホールh2を通じて第2画素電極62と電気的に接続されている。   The second thin film transistor T2 includes a second gate electrode 12g, a second source electrode 42s, and a second drain electrode 42d. The second gate electrode 12g is branched from the second gate line 12. The second source electrode 42 s is branched from the data line 40. The second drain electrode 42d is separated from the second source electrode 42s, and is electrically connected to the second pixel electrode 62 through the second contact hole h2.

画素領域PAの中心部にはストレージ電極20が形成されている。ストレージ電極20は第1画素領域PA1と第2画素領域PA2にかけて一体に形成されている。ストレージ電極20上には透明絶縁膜パターン(図3Bの符号50参照)が形成されて基板1の全面を覆っている。透明絶縁膜パターンには開口部51、52が形成されている。開口部51、52は第1領域PA1のストレージ電極20上に形成される第1開口部51と第2領域PA2のストレージ電極20上に形成される第2開口部52とを含んでいる。透明絶縁膜パターンは開口部51、52が形成された領域を除いて、第1及び第2画素電極61、62の境界を含む所定の領域でストレージ電極20をカバーする。   A storage electrode 20 is formed at the center of the pixel area PA. The storage electrode 20 is integrally formed over the first pixel area PA1 and the second pixel area PA2. A transparent insulating film pattern (see reference numeral 50 in FIG. 3B) is formed on the storage electrode 20 to cover the entire surface of the substrate 1. Openings 51 and 52 are formed in the transparent insulating film pattern. The openings 51 and 52 include a first opening 51 formed on the storage electrode 20 in the first area PA1 and a second opening 52 formed on the storage electrode 20 in the second area PA2. The transparent insulating film pattern covers the storage electrode 20 in a predetermined region including the boundary between the first and second pixel electrodes 61 and 62 except for the region where the openings 51 and 52 are formed.

図3B図3AのIII-III’ラインに沿って切断した断面図である。
図3Bに示すように、基板1上の所定領域にそれぞれ互いに離間するように第1ゲート電極11g、ストレージ電極20及び第2ゲート電極12gが形成されている。第1ゲート電極11g、ストレージ電極20及び第2ゲート電極12g上には基板1の全面を覆うようにゲート絶縁膜21が形成されている。
3B is a cross-sectional view taken along line III-III ′ of FIG. 3A.
As shown in FIG. 3B, a first gate electrode 11g, a storage electrode 20, and a second gate electrode 12g are formed in predetermined regions on the substrate 1 so as to be separated from each other. A gate insulating film 21 is formed on the first gate electrode 11g, the storage electrode 20, and the second gate electrode 12g so as to cover the entire surface of the substrate 1.

ゲート絶縁膜21上には、第1ゲート電極11gをカバーするように第1半導体パターン31、第1ソース電極41s及び第1ドレイン電極41dが形成されており、これらを通じて第1薄膜トランジスタT1が形成されている。第1半導体パターン31は、第1アクティブパターン31aとその上部の第1オミックコンタクトパターン31bとを含んでおり、第1オミックコンタクトパターン31bは第1ソース電極41s及び第1ドレイン電極41dに沿って相互間に分離するように形成されている。   A first semiconductor pattern 31, a first source electrode 41s, and a first drain electrode 41d are formed on the gate insulating film 21 so as to cover the first gate electrode 11g, and a first thin film transistor T1 is formed therethrough. ing. The first semiconductor pattern 31 includes a first active pattern 31a and a first ohmic contact pattern 31b on the first active pattern 31a. The first ohmic contact pattern 31b extends along the first source electrode 41s and the first drain electrode 41d. So as to be separated from each other.

また、ゲート絶縁膜21上には第2ゲート電極12gをカバーするように第2半導体パターン32、第2ソース電極42s及び第2ドレイン電極42dが形成されており、これらを通じて第2薄膜トランジスタT2が形成されている。第2半導体パターン32は第2アクティブパターン32aとその上部の第2オミックコンタクトパターン32bを含んでおり、第2オミックコンタクトパターン32bは第2ソース電極42s及び第2ドレイン電極42dに沿って相互間に分離するように形成されている。   A second semiconductor pattern 32, a second source electrode 42s, and a second drain electrode 42d are formed on the gate insulating film 21 so as to cover the second gate electrode 12g, and a second thin film transistor T2 is formed through these. Has been. The second semiconductor pattern 32 includes a second active pattern 32a and a second ohmic contact pattern 32b on the second active pattern 32a. The second ohmic contact pattern 32b is formed along the second source electrode 42s and the second drain electrode 42d. It is formed so as to be separated between them.

第1薄膜トランジスタT1と第2薄膜トランジスタT2上には、基板1の全面を覆うように保護膜43が形成されており、保護膜43上には透明絶縁膜パターン50が形成されている。保護膜43と透明絶縁膜パターン50は第1及び第2コンタクトホールh1、h2を有している。第1コンタクトホールh1を通じて第1ドレイン電極41dの所定の領域が露出し、第2コンタクトホールh2を通じて第2ドレイン電極42dの所定の領域が露出する。   A protective film 43 is formed on the first thin film transistor T <b> 1 and the second thin film transistor T <b> 2 so as to cover the entire surface of the substrate 1, and a transparent insulating film pattern 50 is formed on the protective film 43. The protective film 43 and the transparent insulating film pattern 50 have first and second contact holes h1 and h2. A predetermined region of the first drain electrode 41d is exposed through the first contact hole h1, and a predetermined region of the second drain electrode 42d is exposed through the second contact hole h2.

透明絶縁膜パターン50上には画素電極60が形成される。第1画素電極61は第1領域PA1に形成されて第1薄膜トランジスタT1と電気的に接続される。第2画素電極62は第2領域PA2に形成されて第2薄膜トランジスタT2と電気的に接続される。第1及び第2画素電極61、62はストレージ電極20上で透明絶縁膜パターン50にカバーされる部分で境界を成す。   A pixel electrode 60 is formed on the transparent insulating film pattern 50. The first pixel electrode 61 is formed in the first region PA1 and is electrically connected to the first thin film transistor T1. The second pixel electrode 62 is formed in the second region PA2 and is electrically connected to the second thin film transistor T2. The first and second pixel electrodes 61 and 62 form a boundary at a portion covered with the transparent insulating film pattern 50 on the storage electrode 20.

ストレージ電極20と第1及び第2画素電極61、62、その間のゲート絶縁膜21と保護膜43によってストレージキャパシタが形成される。透明絶縁膜パターン50は数マイクロメーター程度で厚く形成され、開口部51、52が形成された領域で透明絶縁膜パターン50が除去されて、ストレージ電極20と第1及び第2画素電極61、62との間の離隔距離が減少する。その結果、ストレージキャパシタのキャパシタンスが増加して動作特性が向上することができる。   A storage capacitor is formed by the storage electrode 20 and the first and second pixel electrodes 61 and 62 and the gate insulating film 21 and the protective film 43 therebetween. The transparent insulating film pattern 50 is formed to be thick with a thickness of several micrometers, and the transparent insulating film pattern 50 is removed in a region where the openings 51 and 52 are formed, so that the storage electrode 20 and the first and second pixel electrodes 61 and 62 are formed. The separation distance between is reduced. As a result, the capacitance of the storage capacitor is increased and the operating characteristics can be improved.

ただ、ストレージ電極20上の一部分は透明絶縁膜パターン50によってカバーされ、これは第1及び第2画素電極61、62を形成する際に、これらが相互に電気的に短絡することを防止するためのものである。
これに対する詳細な説明は、以下、上記の構造を有する表示基板の製造方法を通じて説明する。
However, a portion of the storage electrode 20 is covered with the transparent insulating film pattern 50, which prevents the first and second pixel electrodes 61 and 62 from being electrically short-circuited with each other. belongs to.
A detailed description thereof will be described below through a method for manufacturing a display substrate having the above structure.

図4A〜図4Gは図3Bの表示基板の製造方法を説明する断面図である。
図4Aに示すように、基板1上にゲート導電膜を形成した後、これをパターニングして第1ゲート電極11g、ストレージ電極20及び第2ゲート電極12gを形成する。ゲート導電膜は銅、アルミニウム、銀、クロム系列の金属、またはこれらの合金を蒸着して形成することができ、エッチング液を利用した湿式エッチング法によってゲート導電膜をエッチングすることができる。
4A to 4G are cross-sectional views illustrating a method for manufacturing the display substrate of FIG. 3B.
As shown in FIG. 4A, after forming a gate conductive film on the substrate 1, it is patterned to form a first gate electrode 11g, a storage electrode 20, and a second gate electrode 12g. The gate conductive film can be formed by vapor deposition of copper, aluminum, silver, chromium series metals, or alloys thereof, and the gate conductive film can be etched by a wet etching method using an etchant.

図4Bに示すように、第1ゲート電極11g、ストレージ電極20及び第2ゲート電極12g上にゲート絶縁膜21を形成する。ゲート絶縁膜21は無機系化合物、例えば窒化シリコン膜でプラズマ化学気相蒸着法を利用して基板1の全面を覆うように形成することができる。
この後、ゲート絶縁膜21上に半導体膜30'とデータ導電膜40'を形成する。半導体膜30'は非晶質シリコン膜でプラズマ化学気相蒸着法を利用して基板1の全面を覆うように形成することができる。半導体膜30'はアクティブ膜30a'とその上部のオミックコンタクト膜30b'とを含む。オミックコンタクト膜30b'は不純物イオンを含む。データ導電膜40'はゲート導電膜と同一の方法で形成することができる。
As shown in FIG. 4B, a gate insulating film 21 is formed on the first gate electrode 11g, the storage electrode 20, and the second gate electrode 12g. The gate insulating film 21 can be formed of an inorganic compound such as a silicon nitride film so as to cover the entire surface of the substrate 1 using a plasma chemical vapor deposition method.
Thereafter, a semiconductor film 30 ′ and a data conductive film 40 ′ are formed on the gate insulating film 21. The semiconductor film 30 ′ is an amorphous silicon film and can be formed so as to cover the entire surface of the substrate 1 by using plasma chemical vapor deposition. The semiconductor film 30 ′ includes an active film 30a ′ and an upper ohmic contact film 30b ′. The ohmic contact film 30b ′ contains impurity ions. The data conductive film 40 ′ can be formed by the same method as the gate conductive film.

データ導電膜40'上に第1感光膜パターン91が形成される。第1感光膜パターン91はデータ導電膜40'上にフォトレジスト成分の感光膜をコーティングした後、これを露光及び現像することで形成できる。
第1感光膜パターン91は位置によって異なる厚さを有する。第1感光膜パターン91は第1及び第2ゲート電極11g、12g上で第1厚さt1を有し、第1及び第2ゲート電極11g、12gの端部と、ここに接する領域では第1厚さt1より厚い第2厚さt2を有する。第1感光膜パターン91によってストレージ電極20上に形成されたデータ導電膜40'が露出する。
A first photoresist pattern 91 is formed on the data conductive layer 40 '. The first photosensitive film pattern 91 may be formed by coating a photosensitive film of a photoresist component on the data conductive film 40 ′, and then exposing and developing the photoresist film.
The first photosensitive film pattern 91 has a different thickness depending on the position. The first photosensitive film pattern 91 has a first thickness t1 on the first and second gate electrodes 11g and 12g. The first photosensitive film pattern 91 has a first thickness in an end portion of the first and second gate electrodes 11g and 12g and a region in contact therewith. The second thickness t2 is greater than the thickness t1. The data conductive layer 40 ′ formed on the storage electrode 20 is exposed by the first photoresist pattern 91.

上述のように、領域別に異なる厚さを有するように、感光膜に対して露光する際に、スリットマスクまたはハーフトーンマスクをフォトマスクとして用いる。スリットマスクまたはハーフトーンマスクは投光領域と不投光領域の他に中間投光領域を有する。中間投光領域ではスリットの間隔を調節するか、または中間トーンを有する物質を利用して、一部の光が透過して感光膜が露光される。感光膜がポジティブタイプの場合、中間投光領域に対応する部分では感光膜全体の中間の厚さを有するパターンを形成することができる。   As described above, a slit mask or a halftone mask is used as a photomask when exposing the photosensitive film so as to have different thicknesses for each region. The slit mask or the halftone mask has an intermediate projection area in addition to the projection area and the non-projection area. In the intermediate light projecting region, a part of the light is transmitted and the photosensitive film is exposed by adjusting a slit interval or using a material having an intermediate tone. When the photosensitive film is a positive type, a pattern having an intermediate thickness of the entire photosensitive film can be formed at a portion corresponding to the intermediate light projection region.

図4Cに示すように、第1感光膜パターン91をエッチングマスクとして利用してデータ導電膜40'と半導体膜30'がエッチングされる。データ導電膜40'はゲート導電膜と同一方法でエッチングすることができ、その結果、データ導電膜パターン40”が形成される。次に、半導体膜30'をエッチングすることにより予備半導体膜パターン30”を形成する。予備半導体膜パターン30”は予備アクティブパターン30a”と予備オミックコンタクトパターン30b”とを含む。予備半導体膜パターン30”とデータ導電膜パターン40”は同一のパターンで形成されて、平面上で相互に重畳する。   Referring to FIG. 4C, the data conductive layer 40 ′ and the semiconductor layer 30 ′ are etched using the first photoresist pattern 91 as an etching mask. The data conductive film 40 ′ can be etched in the same way as the gate conductive film, resulting in the formation of the data conductive film pattern 40 ″. Next, the preliminary semiconductor film pattern 30 is formed by etching the semiconductor film 30 ′. ”. The spare semiconductor film pattern 30 ″ includes a spare active pattern 30a ″ and a spare ohmic contact pattern 30b ″. The spare semiconductor film pattern 30 ″ and the data conductive film pattern 40 ″ are formed in the same pattern and are mutually connected on a plane. Superimpose on.

第1感光膜パターン91を第1厚さt1だけ均一に除去して第2感光膜パターン92を形成する。第2感光膜パターン92は第2厚さt2と第1厚さt1との差に該当する厚さを有し、第1及び第2ゲート電極11g、12gをカバーするデータ導電膜パターン40”を露出する。
図4Dに示すように、第2感光膜パターン92をエッチングマスクとして用いてデータ導電膜パターン40”をエッチングする。その結果、第1ゲート電極11g上に第1ソース電極41sと第1ドレイン電極41dが形成され、第2ゲート電極12g上に第2ソース電極42sと第2ドレイン電極42dとが形成される。また予備半導体膜パターン30”を再びエッチングし、第1半導体パターン31と第2半導体パターン32とを形成する。再びエッチングする際に、第1半導体パターン31から2つの部分に分離した第1オミックコンタクトパターン31bが形成され、第2半導体パターン32から2つの部分に分離した第2オミックコンタクトパターン32bが形成される。
The second photosensitive film pattern 92 is formed by uniformly removing the first photosensitive film pattern 91 by the first thickness t1. The second photosensitive film pattern 92 has a thickness corresponding to the difference between the second thickness t2 and the first thickness t1, and the data conductive film pattern 40 ″ covering the first and second gate electrodes 11g and 12g is formed. Exposed.
4D, the data conductive layer pattern 40 ″ is etched using the second photoresist layer pattern 92 as an etching mask. As a result, the first source electrode 41s and the first drain electrode 41d are formed on the first gate electrode 11g. The second source electrode 42s and the second drain electrode 42d are formed on the second gate electrode 12g. The spare semiconductor film pattern 30 ″ is etched again to form the first semiconductor pattern 31 and the second semiconductor pattern. 32. When the etching is performed again, a first ohmic contact pattern 31b separated from the first semiconductor pattern 31 into two parts is formed, and a second ohmic contact pattern 32b separated from the second semiconductor pattern 32 into two parts is formed. Is done.

このように、第1及び第2半導体パターン31、32を形成し、それぞれ第1薄膜トランジスタT1と第2薄膜トランジスタT2を完成する。第1及び第2薄膜トランジスタT1、T2を完成する際に、第1及び第2半導体パターン31、32と第1及び第2ソース電極41s、42sと第1及び第2ドレイン電極41d、42dは同一のフォトマスクを利用して形成することができ、その結果、工程手続きとそれによる費用を減少することができる。   Thus, the first and second semiconductor patterns 31 and 32 are formed to complete the first thin film transistor T1 and the second thin film transistor T2, respectively. When the first and second thin film transistors T1 and T2 are completed, the first and second semiconductor patterns 31 and 32, the first and second source electrodes 41s and 42s, and the first and second drain electrodes 41d and 42d are the same. It can be formed using a photomask, resulting in a reduction in process procedures and resulting costs.

図4Eに示すように、第1薄膜トランジスタT1と第2薄膜トランジスタT2上に保護膜43と透明絶縁膜パターン50を形成する。保護膜43はゲート絶縁膜21と同一の方法で形成することができる。透明絶縁膜パターン50は有機膜、例えばアクリル成分の樹脂を塗布した後、これをパターニングして形成することができる。
保護膜43と透明絶縁膜パターン50は、第1及び第2コンタクトホールh1、h2を有するようにパターニングされる。また透明絶縁膜パターン50はストレージ電極20上で第1及び第2開口部51、52を有するようにパターニングされる。
As shown in FIG. 4E, a protective film 43 and a transparent insulating film pattern 50 are formed on the first thin film transistor T1 and the second thin film transistor T2. The protective film 43 can be formed by the same method as the gate insulating film 21. The transparent insulating film pattern 50 can be formed by applying an organic film, for example, an acrylic resin, and then patterning it.
The protective film 43 and the transparent insulating film pattern 50 are patterned to have the first and second contact holes h1 and h2. The transparent insulating film pattern 50 is patterned on the storage electrode 20 so as to have the first and second openings 51 and 52.

保護膜43と透明絶縁膜パターン50は次のように同一のフォトマスクを利用して形成することができる。すなわち、保護膜43と有機膜とを塗布した後、フォトリソグラフィ及び現像工程を進行し、第1及び第2コンタクトホールh1、h2が形成される領域では、保護膜43が露出するように透明絶縁膜のすべての厚さを除去し、ストレージ電極20上の第1及び第2開口部51、52が形成される領域では、保護膜43が露出しないように透明絶縁膜が所定の厚さで残るようにする。以後、乾式エッチングを進行すれば、露出した保護膜43が除去されて第1及び第2コンタクトホールh1、h2が形成される。同時にストレージ電極20上では所定厚さ残った透明絶縁膜を除去することによって開口部51、52が形成される。   The protective film 43 and the transparent insulating film pattern 50 can be formed using the same photomask as follows. That is, after the protective film 43 and the organic film are applied, photolithography and development processes are performed, and transparent insulation is performed so that the protective film 43 is exposed in regions where the first and second contact holes h1 and h2 are formed. The entire thickness of the film is removed, and in the region where the first and second openings 51 and 52 on the storage electrode 20 are formed, the transparent insulating film remains at a predetermined thickness so that the protective film 43 is not exposed. Like that. Thereafter, when dry etching is performed, the exposed protective film 43 is removed, and the first and second contact holes h1 and h2 are formed. At the same time, openings 51 and 52 are formed by removing the transparent insulating film remaining on the storage electrode 20 with a predetermined thickness.

図4Fに示すように、透明絶縁膜パターン50上に透明導電膜60'を形成する。透明導電膜60'はスパッタリングで蒸着して形成することができ、蒸着の時、透明導電膜160'は均一の厚さで形成されるため、表面高低は一定ではない。
透明導電膜60'上に感光膜93'を塗布する。感光膜93'はスピンコーティング方法で塗布することができ、透明導電膜60'の表面高低に関わらず、感光膜93'はほぼ平坦に形成することができる。その結果、感光膜93'は領域別で厚さが一定にならない。
As shown in FIG. 4F, a transparent conductive film 60 ′ is formed on the transparent insulating film pattern 50. The transparent conductive film 60 ′ can be formed by vapor deposition by sputtering, and since the transparent conductive film 160 ′ is formed with a uniform thickness at the time of vapor deposition, the surface height is not constant.
A photosensitive film 93 ′ is applied on the transparent conductive film 60 ′. The photosensitive film 93 ′ can be applied by a spin coating method, and the photosensitive film 93 ′ can be formed almost flat regardless of the surface height of the transparent conductive film 60 ′. As a result, the thickness of the photosensitive film 93 ′ is not constant for each region.

感光膜93'に対する露光が行われる。感光膜93'がポジティブタイプの場合、透明導電膜60'で除去される部分に対応する感光膜93'を露光する。この露光される領域において、感光膜93'に到達する光(矢印として表示)の強度は一定であるが、該当する領域での感光膜93'の厚さは一定ではない。したがって、露光する領域のうち、感光膜93'の厚さが厚い領域では光が感光膜93'の底面まで及ぶないようにすることもできる。   Exposure to the photosensitive film 93 'is performed. When the photosensitive film 93 ′ is a positive type, the photosensitive film 93 ′ corresponding to the portion removed by the transparent conductive film 60 ′ is exposed. In this exposed area, the intensity of light (indicated as an arrow) reaching the photosensitive film 93 ′ is constant, but the thickness of the photosensitive film 93 ′ in the corresponding area is not constant. Therefore, light can be prevented from reaching the bottom surface of the photosensitive film 93 ′ in an area where the photosensitive film 93 ′ is thick among the exposed areas.

例えば、ストレージ電極20上の透明絶縁膜パターン50がカバーする領域における光の経路は‘L1’まで到達することとなる。もしこの領域の透明絶縁膜パターン50に開口を設ける場合には、光の経路は ‘L2’だけ増加する位置まで到達する必要がある。
図4Gに示すように、感光膜93'において露光された部分を現像工程により除去し、残っている部分をエッチングマスクで透明導電膜60'をエッチングして画素電極60を形成する。画素電極60は第1及び第2画素電極61、62を含み、第1及び第2画素電極61、62はストレージ電極20上で境界を成して互いに分離する。
For example, the light path in the region covered by the transparent insulating film pattern 50 on the storage electrode 20 reaches “L1”. If an opening is provided in the transparent insulating film pattern 50 in this region, it is necessary to reach a position where the light path increases by “L2”.
As shown in FIG. 4G, the exposed portion of the photosensitive film 93 ′ is removed by a development process, and the transparent conductive film 60 ′ is etched using the remaining portion as an etching mask to form the pixel electrode 60. The pixel electrode 60 includes first and second pixel electrodes 61 and 62, and the first and second pixel electrodes 61 and 62 form a boundary on the storage electrode 20 and are separated from each other.

ところが、図4Fに示したように、感光膜93'において露光された領域のうち、その厚さが厚い領域では光が感光膜93'の底面まで到達せずに、感光膜93'の一部が残る場合がある。このようにして感光膜93'が残る領域では、その下部の透明導電膜60'が残ることとなる。もし、ストレージ電極20上の透明絶縁膜パターン50が完全に開口されている場合は、該当領域において感光膜93'が完全に露光されずに、透明導電膜60'が残るようになる。   However, as shown in FIG. 4F, in the exposed region of the photosensitive film 93 ′, light does not reach the bottom surface of the photosensitive film 93 ′ in a thick region, and a part of the photosensitive film 93 ′ is exposed. May remain. Thus, in the region where the photosensitive film 93 ′ remains, the transparent conductive film 60 ′ below it remains. If the transparent insulating film pattern 50 on the storage electrode 20 is completely opened, the photosensitive film 93 ′ is not completely exposed in the corresponding region, and the transparent conductive film 60 ′ remains.

上記のような場合、エッチングの際に、第1及び第2画素電極61、62が互いに電気的に短絡する場合がある。本実施形態では、ストレージ電極20が第1及び第2画素電極61、62の境界に該当する所定の領域で透明絶縁膜パターン50によりカバーすることにより、第1及び第2画素電極61、62が互いに電気的に短絡することを防止する。
一方、上記した短絡が発生しない範囲内で、透明絶縁膜パターン50がストレージ電極20をカバーする領域の大きさをより小さくすることができる。この場合、ストレージキャパシタのキャパシタンスがより向上して、動作特性を向上することができる。具体的にカバーされる領域で透明絶縁膜パターン50の厚さを少し減らすか、または該当の領域で第1及び第2開口部51、52に沿って透明絶縁膜パターン50が緩慢に傾くように形成する方案は多様に提案されており、これらを適宜適用することができる。
In the above case, the first and second pixel electrodes 61 and 62 may be electrically short-circuited during etching. In the present embodiment, the storage electrode 20 covers the predetermined region corresponding to the boundary between the first and second pixel electrodes 61 and 62 with the transparent insulating film pattern 50, whereby the first and second pixel electrodes 61 and 62 are formed. Prevents electrical short circuit between each other.
On the other hand, the size of the region where the transparent insulating film pattern 50 covers the storage electrode 20 can be further reduced within the range where the short circuit does not occur. In this case, the capacitance of the storage capacitor is further improved, and the operating characteristics can be improved. Specifically, the thickness of the transparent insulating film pattern 50 is slightly reduced in the region to be covered, or the transparent insulating film pattern 50 is inclined slowly along the first and second openings 51 and 52 in the corresponding region. There are various proposals to form, and these can be applied as appropriate.

以下では例示的な観点において、上記のような表示基板が用いられた表示装置の1つである液晶表示装置に対して説明する。
図5は本発明の一実施形態に係る液晶表示装置のブロック図であり、図6は本発明の一実施形態に係る液晶表示装置の2つの副画素に対する等価回路図である。
図5に示したように、本発明の一実施形態に係る液晶表示装置は液晶表示板組立体(liquid crystal panel assembly)700、これと接続されたゲート駆動部400及びデータ駆動部500、データ駆動部500に接続された階調電圧生成部800、及びこれらを制御する信号制御部600を含む。
In the following, a liquid crystal display device which is one of display devices using the display substrate as described above will be described from an exemplary viewpoint.
FIG. 5 is a block diagram of a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6 is an equivalent circuit diagram for two subpixels of the liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention.
Referring to FIG. 5, a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention includes a liquid crystal panel assembly 700, a gate driver 400 and a data driver 500 connected thereto, and a data driver. A gray voltage generator 800 connected to the unit 500 and a signal controller 600 for controlling them are included.

等価回路において、液晶表示板組立体700は、複数の信号線(図示しない)とこれに接続されており、ほぼ行列の形態で配列された複数の画素(pixel)PXを含む。一方、図6に示したように、液晶表示板組立体700は互いに向い合う下部及び上部表示板100、200とその間に介在する液晶が配列される液晶層300を含む。
信号線はゲート信号(“走査信号”ともいう)を伝達する複数のゲートライン(図示しない)とデータ信号を伝達する複数のデータライン(図示しない)とを含む。ゲートラインはほぼ行方向に延在して、互いにほぼ平行であり、データラインはほぼ列方向に延在して、互いにほぼ平行である。
In an equivalent circuit, the liquid crystal panel assembly 700 includes a plurality of signal lines (not shown) and a plurality of pixels PX connected to the signal lines and arranged in a matrix form. Meanwhile, as shown in FIG. 6, the liquid crystal panel assembly 700 includes lower and upper display panels 100 and 200 facing each other and a liquid crystal layer 300 in which liquid crystals interposed therebetween are arranged.
The signal line includes a plurality of gate lines (not shown) for transmitting gate signals (also referred to as “scanning signals”) and a plurality of data lines (not shown) for transmitting data signals. The gate lines extend in the row direction and are substantially parallel to each other, and the data lines extend in the column direction and are substantially parallel to each other.

各画素PXは一対の副画素を含み、各副画素は液晶キャパシタ(liquid crystal capacitor)Clca、Clcbを含む。2つの副画素のうちの少なくとも1つはゲートライン、データライン及び液晶キャパシタClca、Clcbと接続されたスイッチング素子(図示しない)を含む。
液晶キャパシタClca/Clcbは下部表示板100の副画素電極PEa/PEbと上部表示板200の共通電極CEを2つの端子とし、副画素電極PEa/PEbと共通電極CEとの間の液晶層300は誘電体として機能する。一対の副画素電極PEa、PEbは互いに分離しており、1つの画素電極PEを成す。共通電極CEは上部表示板200の全面に形成されており、共通電圧Vcomが印加される。液晶層300はマイナスの誘電率異方性を有し、液晶層300の液晶分子は電場がない状態でその長軸が下部及び上部表示板100、200の表面に対して垂直になるように配向することができる。
Each pixel PX includes a pair of subpixels, and each subpixel includes liquid crystal capacitors Clca and Clcb. At least one of the two sub-pixels includes a switching element (not shown) connected to the gate line, the data line, and the liquid crystal capacitors Clca and Clcb.
The liquid crystal capacitor Clca / Clcb has the sub-pixel electrode PEa / PEb of the lower display panel 100 and the common electrode CE of the upper display panel 200 as two terminals, and the liquid crystal layer 300 between the sub-pixel electrode PEa / PEb and the common electrode CE is Functions as a dielectric. The pair of subpixel electrodes PEa and PEb are separated from each other and form one pixel electrode PE. The common electrode CE is formed on the entire surface of the upper display panel 200, and a common voltage Vcom is applied. The liquid crystal layer 300 has a negative dielectric anisotropy, and the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer 300 are aligned so that the major axis is perpendicular to the surfaces of the lower and upper display panels 100 and 200 in the absence of an electric field. can do.

一方、色表示を実現するためには、各画素PXが基本色(primary color)のうちの1つを固有に表示する空間分割方式、各画素PXが時間に応じて交互に基本色を表示する時間分割方式などを用いて、所望する色相が認識されるように構成する。基本色の例として、赤色、緑色、青色の光の三原色を用いることができる。図6は空間分割の一例として、各画素PXが上部表示板200の領域に基本色のうちの1つを示す色フィルターCFを備える場合を示す。図6とは異なり、色フィルターCFを、下部表示板100の副画素電極PEa、PEbの上または下に形成することもできる。   On the other hand, in order to realize color display, each pixel PX displays a basic color alternately according to time, a spatial division method in which each pixel PX inherently displays one of the primary colors. A desired hue is recognized using a time division method or the like. As examples of basic colors, three primary colors of red, green, and blue light can be used. FIG. 6 shows a case where each pixel PX includes a color filter CF indicating one of the basic colors in the area of the upper display panel 200 as an example of space division. Unlike FIG. 6, the color filter CF may be formed on or below the sub-pixel electrodes PEa and PEb of the lower display panel 100.

表示板100、200の外面には偏光子(polarizer)(図示しない)をそれぞれ取り付け、2つの偏光子の偏光軸が直交するように構成できる。この場合、電場が形成されなかった時、液晶層300に入射した光は外部に透過しない。反射型液晶表示装置の場合には2つの偏光子のうちの1つを省略することができる。
図5に示すように、階調電圧生成部800は画素PXの透過率と係わる複数の階調電圧(または基準階調電圧)を生成する。
Polarizers (not shown) may be attached to the outer surfaces of the display panels 100 and 200, respectively, so that the polarization axes of the two polarizers are orthogonal to each other. In this case, when an electric field is not formed, light incident on the liquid crystal layer 300 is not transmitted to the outside. In the case of a reflective liquid crystal display device, one of the two polarizers can be omitted.
As shown in FIG. 5, the gradation voltage generation unit 800 generates a plurality of gradation voltages (or reference gradation voltages) related to the transmittance of the pixel PX.

ゲート駆動部400は、液晶表示板組立体700のゲートラインと接続されてゲートオン電圧Vonとゲートオフ電圧Voffとの組み合わせからなるゲート信号Vgをゲートラインに印加する。
データ駆動部500は液晶表示板組立体700のデータラインと接続されており、階調電圧生成部800からの階調電圧を選択し、これをデータ信号としてデータラインに印加する。階調電圧生成部800がすべての階調に対する電圧を提供するのではなく、所定数の基準階調電圧のみを提供し、データ駆動部500が階調電圧生成部800から提供された基準階調電圧を分圧して、すべての階調に対する階調電圧を生成してこの中からデータ信号を選択するように構成することもできる。
The gate driver 400 is connected to the gate line of the liquid crystal panel assembly 700 and applies a gate signal Vg, which is a combination of a gate-on voltage Von and a gate-off voltage Voff, to the gate line.
The data driver 500 is connected to the data line of the liquid crystal panel assembly 700, selects the gray voltage from the gray voltage generator 800, and applies it to the data line as a data signal. The gray voltage generator 800 does not provide voltages for all gray levels, but provides only a predetermined number of reference gray voltages, and the data driver 500 provides the reference gray level provided from the gray voltage generator 800. The voltage may be divided to generate gradation voltages for all gradations, and a data signal may be selected from these.

信号制御部600はゲート駆動部400及びデータ駆動部500などを制御する。
このような駆動装置400、500、600、800のそれぞれは、少なくとも1つの集積回路チップの形態で液晶表示板組立体700上に直接装着することができ、FPC膜(flexible printed circuit film)(図示しない)上に装着して、TCP(tape carrier package)の形態で液晶表示板組立体700に付着することもでき、または、別途の印刷回路基板(printed circuit board)(図示しない)上に装着することもできる。これとは異なり、これら駆動装置400、500、600、800を、液晶表示板組立体700に集積することもできる。また、駆動装置400、500、600、800を単一チップに集積する構成とすることができ、これらのうちの少なくとも1つまたはこれらをなす少なくとも1つの回路素子を単一チップの外に配置することもできる。
The signal controller 600 controls the gate driver 400 and the data driver 500.
Each of the driving devices 400, 500, 600, and 800 can be directly mounted on the liquid crystal panel assembly 700 in the form of at least one integrated circuit chip, and an FPC film (flexible printed circuit film) (illustrated). Can be attached to the liquid crystal panel assembly 700 in the form of a TCP (tape carrier package), or can be mounted on a separate printed circuit board (not shown). You can also In contrast, the driving devices 400, 500, 600, and 800 can be integrated in the liquid crystal panel assembly 700. Further, the driving devices 400, 500, 600, and 800 can be configured to be integrated on a single chip, and at least one of them or at least one circuit element that forms them is arranged outside the single chip. You can also

次に、図7〜図13C、そして上述した図5及び図6を参照して本発明の一実施形態に係る液晶表示板組立体に対して詳細に説明する。
図7は本発明の一実施形態に係る液晶表示板組立体の一画素に対する等価回路図である。
図7に示すように、この実施形態における一画素中には、複数対のゲートラインGLa、GLb、複数のデータラインDL及び複数のストレージラインSLを含む信号線と、ここに接続された複数の画素PXを備えている。
Next, a liquid crystal panel assembly according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 7 to 13C and FIGS. 5 and 6 described above.
FIG. 7 is an equivalent circuit diagram for one pixel of the liquid crystal panel assembly according to the embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 7, in one pixel in this embodiment, a signal line including a plurality of pairs of gate lines GLa and GLb, a plurality of data lines DL and a plurality of storage lines SL, and a plurality of signal lines connected thereto are provided. A pixel PX is provided.

各画素PXは、一対の副画素PXa、PXbを含み、各副画素PXa、PXbはそれぞれ該当のゲートラインGLa、GLb及びデータラインDLに接続されているスイッチング素子Qa、Qbと、ここに接続された液晶キャパシタClca、Clcbと、スイッチング素子Qa、Qb及びストレージ電極ではSLに接続されているストレージキャパシタCsta、Cstbとを含む。   Each pixel PX includes a pair of subpixels PXa and PXb, and each subpixel PXa and PXb is connected to switching elements Qa and Qb connected to the corresponding gate lines GLa and GLb and data lines DL, respectively. Liquid crystal capacitors Clca and Clcb, and switching elements Qa and Qb and storage capacitors Csta and Cstb connected to SL in the storage electrodes.

各スイッチング素子Qa、Qbは下部表示板100に設けられている薄膜トランジスタなどの三端子素子として、その制御端子はゲートラインGLa、GLbに接続されており、入力端子はデータラインDLに接続されており、出力端子は液晶キャパシタClca、Clcb及びストレージキャパシタCsta、Cstbに接続されている。
液晶キャパシタClca、Clcbの補助的な役割を果たすストレージキャパシタCsta、Cstbは、下部表示板100に設けられたストレージ電極線SLと画素電極PEとが絶縁体を間にして重畳して配置され、ストレージ電極線SLには共通電圧Vcomなどの決められた電圧が印加される。しかしストレージキャパシタCsta、Cstbは副画素電極PEa、PEbが絶縁体を媒介にして、直上の前端ゲートラインと重畳して配置することができる。
Each switching element Qa, Qb is a three-terminal element such as a thin film transistor provided on the lower display panel 100, its control terminal is connected to the gate lines GLa, GLb, and its input terminal is connected to the data line DL. The output terminals are connected to the liquid crystal capacitors Clca and Clcb and the storage capacitors Csta and Cstb.
The storage capacitors Csta and Cstb, which play an auxiliary role for the liquid crystal capacitors Clca and Clcb, are arranged such that the storage electrode line SL and the pixel electrode PE provided on the lower display panel 100 overlap with each other with an insulator therebetween. A predetermined voltage such as the common voltage Vcom is applied to the electrode line SL. However, the storage capacitors Csta and Cstb can be arranged so that the sub-pixel electrodes PEa and PEb overlap with the immediately preceding front-end gate line through an insulator.

液晶キャパシタClca、Clcbなどについては、上述したので、詳細な説明は略する。
このような液晶表示板組立体を含む液晶表示装置では、信号制御部600が1つの画素PXに対する入力映像信号R、G、Bを受信して2つの副画素PXa、PXbに対する出力映像信号DATに変換してデータ駆動部500に送ることができる。これとは異なり、階調電圧生成部800で、2つの副画素PXa、PXbに対する階調電圧集合を別に作って、これを交互にデータ駆動部500に提供するか、データ駆動部500でこれを交互に選択することによって、2つの副画素PXa、PXbに互いに異なる電圧を印加することができる。ただ、この時、2つの副画素PXa、PXbの合成ガンマ曲線が正面での基準ガンマ曲線に近くなるように映像信号を補正するか、階調電圧集合を作るのが好ましい。例えば、正面での合成ガンマ曲線はこの液晶表示板組立体に最適になるように決められた正面での基準ガンマ曲線と一致するようにし、側面での合成ガンマ曲線は正面での基準ガンマ曲線と一番近くなるようにする。
Since the liquid crystal capacitors Clca, Clcb and the like have been described above, detailed description thereof will be omitted.
In the liquid crystal display device including such a liquid crystal panel assembly, the signal control unit 600 receives the input video signals R, G, and B for one pixel PX and outputs the output video signals DAT for the two subpixels PXa and PXb. It can be converted and sent to the data driver 500. In contrast, the gray voltage generator 800 separately generates a gray voltage set for the two sub-pixels PXa and PXb and supplies the gray voltage sets to the data driver 500 alternately, or the data driver 500 By selecting alternately, different voltages can be applied to the two subpixels PXa and PXb. However, at this time, it is preferable to correct the video signal so that the combined gamma curve of the two sub-pixels PXa and PXb is close to the reference gamma curve in the front, or to create a gradation voltage set. For example, the composite gamma curve at the front should match the reference gamma curve at the front determined to be optimal for the liquid crystal panel assembly, and the composite gamma curve at the side is the reference gamma curve at the front. Try to be the closest.

図7に示した液晶表示板組立体の一例について、図8〜図11、及び上述した図7を参考して詳細に説明する。
図8は本発明の一実施形態に係る液晶表示板組立体の配置図であり、図9〜図11はそれぞれ図8に示した液晶表示板組立体をIV-IV’、V-V’及VI-VI’線に沿って切断した断面図である。
An example of the liquid crystal panel assembly shown in FIG. 7 will be described in detail with reference to FIGS. 8 to 11 and FIG. 7 described above.
FIG. 8 is a layout view of a liquid crystal panel assembly according to an embodiment of the present invention. FIGS. 9 to 11 illustrate the liquid crystal panel assembly shown in FIG. 8 as IV-IV ′, VV ′, and FIG. It is sectional drawing cut | disconnected along VI-VI 'line.

図8〜図11に示すように、本実施形態に係る液晶表示板組立体は互いに向い合う下部表示板100と上部表示板200及びこれら表示板100、200の間に介在する液晶層300を含む。
まず、下部表示板100について説明する。
透明なガラスまたはプラスチックなどで製造された絶縁基板110上に、複数対の第1及び第2ゲートライン121a、121b及び複数のストレージ電極線(storage
electrode lines)131を含む複数のゲート導電体を形成する。
As shown in FIGS. 8 to 11, the liquid crystal panel assembly according to the present embodiment includes a lower display panel 100 and an upper display panel 200 facing each other, and a liquid crystal layer 300 interposed between the display panels 100 and 200. .
First, the lower display panel 100 will be described.
A plurality of pairs of first and second gate lines 121a and 121b and a plurality of storage electrode lines (storage) are formed on an insulating substrate 110 made of transparent glass or plastic.
A plurality of gate conductors including electrode lines 131 are formed.

第1及び第2ゲートライン121a、121bはゲート信号を伝達し、主に図の横方向に延在し、それぞれ画素の上側及び下側に位置する。
第1ゲートライン121aは、図の下方に突き出した複数の第1ゲート電極(gate
electrode)124aと、異なる層またはゲート駆動部400との接続のために幅が広く形成された端部129aを含む。第2ゲートライン121bは、図の上方に突き出した複数の第2ゲート電極124bと、異なる層またはゲート駆動部400との接続のために幅が広く形成された端部129bを含む。ゲート駆動部400を基板110上に集積する場合、ゲートライン121a、121bを延長して、これと直接接続することができる。
The first and second gate lines 121a and 121b transmit a gate signal and extend mainly in the horizontal direction in the drawing, and are located on the upper side and the lower side of the pixel, respectively.
The first gate line 121a includes a plurality of first gate electrodes (gate) protruding downward in the drawing.
electrode) 124a and an end portion 129a having a wide width for connection to a different layer or gate driver 400. The second gate line 121b includes a plurality of second gate electrodes 124b protruding upward in the figure and an end portion 129b formed to have a wide width for connection to a different layer or gate driving unit 400. When the gate driver 400 is integrated on the substrate 110, the gate lines 121a and 121b can be extended and directly connected thereto.

ストレージ電極線131は共通電圧Vcomなどの所定の電圧が印加され、主に図の横方向に延在している。ストレージ電極線131は、それぞれ第1ゲートライン121a及び第2ゲートライン121bの間に位置している。各ストレージ電極線131は、図の上下に幅が拡張された複数のストレージ電極(storage electrode)137を含んでいる。しかし、ストレージ電極137を含めたストレージ電極線131の形状及び配置は様々な形態に変形することができる。   A predetermined voltage such as a common voltage Vcom is applied to the storage electrode line 131 and extends mainly in the horizontal direction in the figure. The storage electrode line 131 is located between the first gate line 121a and the second gate line 121b, respectively. Each storage electrode line 131 includes a plurality of storage electrodes 137 whose width is expanded in the vertical direction in the drawing. However, the shape and arrangement of the storage electrode line 131 including the storage electrode 137 can be modified into various forms.

ゲート導電体121a、121b、131は、アルミニウムAlやアルミニウム合金などのアルミニウム系列金属、銀Agや銀合金などの銀系列金属、銅Cuや銅合金など銅列金属、モリブデン(Mo)やモリブデン合金などのモリブデン系列金属、クロム(Cr)、タンタル(Ta)及びチタン(Ti)などで形成することができる。しかし、これらは物理的性質が異なる2つの導電膜(図示しない)を含む多重膜構造とすることもできる。このうち、1つの導電膜は信号遅延や電圧降下を減らすように比抵抗(resistivity)が低い金属、例えば、アルミニウム系列金属、銀系列金属、銅系列金属などで製造することができる。これとは異なり、他の導電膜は他の物質、特に酸化亜鉛インジウムIZO及び酸化錫インジウムITOとの物理的、化学的、電気的接触特性が優れた物質、たとえば、モリブデン系列金属、クロム、タンタル、チタンなどで形成することができる。このような組み合わせの例として、クロム下部膜とアルミニウム(合金)上部膜及びアルミニウム(合金)下部膜とモリブデン(合金)上部膜がある。しかし、ゲート導電体121a、121b、131はその他多様な金属または導電体で形成することができる。   The gate conductors 121a, 121b, and 131 are aluminum series metals such as aluminum Al and aluminum alloys, silver series metals such as silver Ag and silver alloys, copper series metals such as copper Cu and copper alloys, molybdenum (Mo), molybdenum alloys, and the like. It can be formed of molybdenum series metals such as chromium (Cr), tantalum (Ta), titanium (Ti), and the like. However, they can also have a multi-layer structure including two conductive films (not shown) having different physical properties. Among these, one conductive film can be made of a metal having a low specific resistance so as to reduce signal delay and voltage drop, such as an aluminum series metal, a silver series metal, a copper series metal, or the like. In contrast, other conductive films have excellent physical, chemical and electrical contact properties with other materials, particularly zinc indium IZO and indium tin oxide ITO, such as molybdenum series metals, chromium, tantalum. It can be formed of titanium or the like. Examples of such combinations include a chromium lower film and an aluminum (alloy) upper film, and an aluminum (alloy) lower film and a molybdenum (alloy) upper film. However, the gate conductors 121a, 121b, and 131 can be formed of various other metals or conductors.

ゲート導電体121a、121b、131の側面は基板110面に対して傾いており、その勾配角は約30゜〜約80゜とすることが好ましい。
ゲート導電体121a、121b、131上には窒化シリコンSiNxまたは酸化シリコンSiOxなどからなるゲート絶縁膜(gate insulating layer)140が形成されている。
The side surfaces of the gate conductors 121a, 121b, and 131 are inclined with respect to the surface of the substrate 110, and the inclination angle is preferably about 30 ° to about 80 °.
A gate insulating layer 140 made of silicon nitride SiNx or silicon oxide SiOx is formed on the gate conductors 121a, 121b, and 131.

ゲート絶縁膜140上には水素化非晶質シリコン(hydrogenated amorphous silicon)(以下、非晶質シリコンは略称a−Siとして記載する)または多結晶シリコン(polysilicon)などからなる複数の第1及び第2島型半導体154a、154bが形成されている。第1及び第2島型半導体154a、154bはそれぞれ第1及び第2ゲート電極124a、124b上に位置している。   A plurality of first and first layers made of hydrogenated amorphous silicon (hereinafter, abbreviated as a-Si) or polycrystalline silicon are formed on the gate insulating layer 140. Two-island semiconductors 154a and 154b are formed. The first and second island type semiconductors 154a and 154b are located on the first and second gate electrodes 124a and 124b, respectively.

島型半導体154a、154b上には、島型抵抗性接触部材(ohmic contact)163a、165aが形成されている。抵抗性接触部材163a、165aは、燐などのn型不純物が高濃度でドーピングされているn+水素化非晶質シリコンなどの物質で形成するか、あるいはシリサイド(silicide)で形成することができる。第1及び第2島型抵抗性接触部材163a、165aは対をなし、島型半導体154a、154b上に配置されている。   On the island-type semiconductors 154a and 154b, island-type resistive contact members 163a and 165a are formed. The resistive contact members 163a and 165a may be formed of a material such as n + hydrogenated amorphous silicon doped with an n-type impurity such as phosphorus at a high concentration, or may be formed of silicide. The first and second island-type resistive contact members 163a and 165a make a pair and are disposed on the island-type semiconductors 154a and 154b.

半導体154a、154bと抵抗性接触部材163a、165aの側面も基板110面に対して傾いており、勾配角は30°〜80°程度である。
抵抗性接触部材163a、165a及びゲート絶縁膜140上には複数のデータライン(data line)171と複数対の第1及び第2ドレイン電極(drain electrode)175a、175bを含むデータ導電体が形成されている。
The side surfaces of the semiconductors 154a and 154b and the resistive contact members 163a and 165a are also inclined with respect to the surface of the substrate 110, and the gradient angle is about 30 ° to 80 °.
A data conductor including a plurality of data lines 171 and a plurality of pairs of first and second drain electrodes 175a and 175b is formed on the resistive contact members 163a and 165a and the gate insulating layer 140. ing.

データライン171はデータ信号を伝達し、通常、図の縦方向に延在しており、ゲートライン121a、121b及びストレージ電極線131と交差する。各データライン171は全体にかけて一直線ではなく、少なくとも二度曲がるように形成されている。
各データライン171は、第1及び第2ゲート電極124a、124bに向かってそれぞれ突き出した形状の複数対の第1及び第2ソース電極(source electrode)173a、173bと、異なる層またはデータ駆動部500との接続のために幅が拡張された端部179を含む。データ駆動部500を基板110上に集積する場合、データライン171を延長してこれと直接接続することができる。
The data line 171 transmits a data signal and normally extends in the vertical direction in the figure, and intersects the gate lines 121a and 121b and the storage electrode line 131. Each data line 171 is formed not to be a straight line but to be bent at least twice.
Each data line 171 has a plurality of pairs of first and second source electrodes 173a and 173b protruding toward the first and second gate electrodes 124a and 124b, respectively, and a different layer or data driver 500. And an end 179 with an expanded width for connection to the. When the data driver 500 is integrated on the substrate 110, the data line 171 can be extended and directly connected thereto.

第1及び第2ドレイン電極175a、175bは互いに分離しており、データライン171とも分離している。
第1及び第2ドレイン電極175a、175bは第1及び第2ゲート電極124a、124bを中心に第1及び第2ソース電極173a、173bと向き合い、棒型の端部分は曲がった第1及び第2ソース電極173a、173bで一部囲まれている。
The first and second drain electrodes 175a and 175b are separated from each other and are also separated from the data line 171.
The first and second drain electrodes 175a and 175b face the first and second source electrodes 173a and 173b around the first and second gate electrodes 124a and 124b, and the rod-shaped end portions are bent first and second. Partly surrounded by source electrodes 173a and 173b.

第1及び第2ゲート電極124a、124b、第1及び第2ソース電極173a、173b及び第1及び第2ドレイン電極175a、175bは第1及び第2半導体154a、154bとともに第1及び第2薄膜トランジスタ(thin film transistor;TFT)Qa、Qbを構成しており、第1及び第2薄膜トランジスタQa、Qbのチャンネル(channel)は、第1及び第2ソース電極173a、173bと第1及び第2ドレイン電極175a、175bとの間の第1及び第2半導体154a、154bに形成されている。   The first and second gate electrodes 124a and 124b, the first and second source electrodes 173a and 173b, and the first and second drain electrodes 175a and 175b, together with the first and second semiconductors 154a and 154b, are first and second thin film transistors. thin film transistors (TFTs) Qa and Qb, and the channels of the first and second thin film transistors Qa and Qb are the first and second source electrodes 173a and 173b and the first and second drain electrodes 175a. , 175b between the first and second semiconductors 154a and 154b.

データ導電体171、175a、175bは、モリブデン、クロム、タンタル及びチタンなど耐火性金属(refractory metal)またはこれらの合金で形成することが好ましく、耐火性金属膜(図示しない)と低抵抗導電膜(図示しない)とを含む多重膜構造とすることもできる。多重膜構造の例では、クロムまたはモリブデン(合金)下部膜とアルミニウム(合金)上部膜の二重膜、モリブデン(合金)下部膜とアルミニウム(合金)中間膜とモリブデン(合金)上部膜の三重膜とすることができる。しかし、データ導電体171、175a、175bはその他にも多様な金属または導電体で構成することができる。   The data conductors 171, 175a, and 175b are preferably formed of a refractory metal such as molybdenum, chromium, tantalum, and titanium, or an alloy thereof, and includes a refractory metal film (not shown) and a low-resistance conductive film (not shown). (Not shown). In the example of the multi-layer structure, a chromium or molybdenum (alloy) lower film and an aluminum (alloy) upper film double film, a molybdenum (alloy) lower film, an aluminum (alloy) intermediate film, and a molybdenum (alloy) upper film triple film It can be. However, the data conductors 171, 175a, 175b may be made of various other metals or conductors.

データ導電体171、175a、175bもその側面が基板110面に対して30°〜80°程度の勾配角で傾いた構成であることが好ましい。
抵抗性接触部材163a、165aは、その下の半導体154a、154bとその上のデータ導電体171、175a、175bとの間のみに存在しており、これらの間の接触抵抗を低くする。半導体154a、154bはソース電極とドレイン電極との間だけでなく、データ導電体171、175a、175bで覆わない露出された部分がある。
The side surfaces of the data conductors 171, 175 a, and 175 b are preferably inclined at a gradient angle of about 30 ° to 80 ° with respect to the surface of the substrate 110.
The resistive contact members 163a and 165a are present only between the semiconductors 154a and 154b below and the data conductors 171, 175a and 175b thereabove, and lower the contact resistance therebetween. The semiconductors 154a and 154b are exposed not only between the source electrode and the drain electrode but also not covered with the data conductors 171, 175a and 175b.

データ導電体171、175a、175b及び露出された半導体154a、154b部分の上には透明な絶縁膜パターンで構成される保護膜(passivation layer)180が形成されている。保護膜180は無機絶縁物または有機絶縁物などで形成され、平坦な表面とすることができる。有機絶縁物は4.0以下の誘電定数であることが好ましく、感光性(photosensitivity)を有するものを用いることもできる。しかし、保護膜180は有機膜の優れた絶縁特性を示し、さらに露出した半導体154a、154bの部分に悪い影響が及ばないように下部無機膜と上部有機膜の二重膜構造にすることができる。   A passivation layer 180 having a transparent insulating layer pattern is formed on the data conductors 171, 175 a and 175 b and the exposed portions of the semiconductors 154 a and 154 b. The protective film 180 is formed of an inorganic insulator or an organic insulator, and can have a flat surface. The organic insulating material preferably has a dielectric constant of 4.0 or less, and a material having photosensitivity can also be used. However, the protective film 180 exhibits an excellent insulating property of the organic film, and can have a double film structure of the lower inorganic film and the upper organic film so as not to adversely affect the exposed portions of the semiconductors 154a and 154b. .

保護膜180には、データライン171の端部分179と第1及び第2ドレイン電極175a、175bの一方部分をそれぞれ露出する複数のコンタクトホール(contact hole)182、185a、185bが形成されており、保護膜180とゲート絶縁膜140には、ゲートライン121a、121bの端部分129a、129bをそれぞれ露出する複数のコンタクトホール181a、181bが形成されている。また保護膜180はストレージ電極137上で形成された開口部186を有する。   A plurality of contact holes 182, 185 a, and 185 b exposing the end portion 179 of the data line 171 and one of the first and second drain electrodes 175 a and 175 b are formed in the passivation layer 180. A plurality of contact holes 181a and 181b exposing the end portions 129a and 129b of the gate lines 121a and 121b are formed in the protective film 180 and the gate insulating film 140, respectively. The protective film 180 has an opening 186 formed on the storage electrode 137.

保護膜180上には、複数の画素電極(pixel electrode)191及び複数の接触補助部材(contact assistant)981a、981b、982が形成されている。これらは透明な導電物質やアルミニウム、銀、クロムまたはその合金などの反射性金属により形成することができる。
各画素電極191は互いに分離している一対の第1及び第2副画素電極191a、191bを含んでいる。
A plurality of pixel electrodes 191 and a plurality of contact assistants 981a, 981b, and 982 are formed on the passivation layer 180. These can be formed of a transparent conductive material or a reflective metal such as aluminum, silver, chromium, or an alloy thereof.
Each pixel electrode 191 includes a pair of first and second subpixel electrodes 191a and 191b which are separated from each other.

第1副画素電極191aは、それぞれコンタクトホール185aを通じてそれぞれの第1ドレイン電極175aと接続されており、第2副画素電極191bはコンタクトホール185bを通じてそれぞれの第2ドレイン電極175bと接続されている。
画素電極191は、保護膜180を挟んでデータライン171と重畳している。1つのデータライン171は隣り合う画素電極191と全て重畳する。
The first subpixel electrode 191a is connected to the first drain electrode 175a through the contact hole 185a, and the second subpixel electrode 191b is connected to the second drain electrode 175b through the contact hole 185b.
The pixel electrode 191 overlaps with the data line 171 with the protective film 180 interposed therebetween. One data line 171 entirely overlaps with the adjacent pixel electrode 191.

次に、図12、図13A、図13B及び図13Cを参照して、このような液晶表示板組み立て体の画素電極の詳細構造に対して説明する。
図12は本発明の様々な実施形態による液晶表示板組み立て体において1つの画素電極の概略的な配置図であり、図13A〜図13Cは図12に示した各副画素電極の基本になる電極片の平面図である。
Next, referring to FIGS. 12, 13A, 13B, and 13C, a detailed structure of the pixel electrode of the liquid crystal panel assembly will be described.
FIG. 12 is a schematic layout diagram of one pixel electrode in a liquid crystal panel assembly according to various embodiments of the present invention, and FIGS. 13A to 13C are electrodes serving as the basis of each sub-pixel electrode shown in FIG. It is a top view of a piece.

図12に示したように、本発明の実施形態に係る液晶表示板組み立て体の各画素電極(pixel electrode)191は互いに分離している一対の第1及び第2副画素電極191a、191bを含んでいる。第1副画素電極191aと第2副画素電極191bは行方向に隣接し、切開部(cutout)991a、991bを有している。共通電極270(図6参照)は第1及び第2副画素電極191a、191bと向い合う切開部971a、971bを有している。   As shown in FIG. 12, each pixel electrode 191 of the liquid crystal panel assembly according to the embodiment of the present invention includes a pair of first and second sub-pixel electrodes 191a and 191b that are separated from each other. It is out. The first subpixel electrode 191a and the second subpixel electrode 191b are adjacent to each other in the row direction and have cutouts 991a and 991b. The common electrode 270 (see FIG. 6) has cutout portions 971a and 971b facing the first and second subpixel electrodes 191a and 191b.

第1及び第2副画素電極191a、191bのそれぞれは、少なくとも図13Aに示した平行四辺形の電極片196の1つと図13Bに示した平行四辺形の電極片197の1つを含んでいる。図13A及び図13Bに示した電極片196、197を上下に連結すれば、図13Cに示した基本電極198になり、各副画素電極191a、191bはこのような基本電極198に基づく構造を有する。   Each of the first and second subpixel electrodes 191a and 191b includes at least one of the parallelogram electrode pieces 196 shown in FIG. 13A and one of the parallelogram electrode pieces 197 shown in FIG. 13B. . If the electrode pieces 196 and 197 shown in FIGS. 13A and 13B are connected vertically, the basic electrode 198 shown in FIG. 13C is obtained, and the sub-pixel electrodes 191a and 191b have a structure based on the basic electrode 198. .

図13A及び図13Bに示したように、電極片196、197のそれぞれは一対の斜辺(oblique edge)196o、197o及び一対の横辺(transverse edge)196t、197tを有しており、ほぼ平行四辺形である。各斜辺196o、197oは横辺196t、197tに対して斜角(oblique angle)をなし、斜角の大きさはほぼ45°〜135°であることが好ましい。便宜上横辺196t、197tを中心に垂直の状態で傾いた方向(“傾斜方向”)によって区分して、図13Aのように右側に傾いた場合を“右傾斜”といい、図13Bのように左に傾いた場合を“左傾斜”と言う。   As shown in FIGS. 13A and 13B, each of the electrode pieces 196 and 197 has a pair of oblique edges 196o and 197o and a pair of transverse edges 196t and 197t, and substantially parallel four sides. It is a shape. Each hypotenuse 196o, 197o forms an oblique angle with respect to the lateral sides 196t, 197t, and the magnitude of the bevel is preferably approximately 45 ° to 135 °. For convenience, the case where the horizontal sides 196t and 197t are divided by the direction inclined in the vertical state ("inclination direction") and inclined to the right side as shown in FIG. 13A is called "right inclination", as shown in FIG. 13B. The case of tilting left is called “left tilt”.

電極片196、197において、横辺196t、197tの長さ、すなわち幅Wと横辺196t、197tとの間の距離、すなわち高さHは、表示板組み立て体700の大きさに応じて自由に決めることができる。また各電極片196、197において横辺196t、197tは他の部分との関係を考慮して折れるか飛び出すなどの変形可能性があるため、このような変形の全てを含んで平行四辺形と呼ぶ。   In the electrode pieces 196, 197, the lengths of the lateral sides 196 t, 197 t, that is, the distance between the width W and the lateral sides 196 t, 197 t, that is, the height H can be freely set according to the size of the display panel assembly 700. I can decide. Further, in each electrode piece 196, 197, the lateral sides 196t, 197t may be deformed such as being folded or popped in consideration of the relationship with other parts, so that all such modifications are referred to as a parallelogram. .

共通電極270には、電極片196、197と向き合う切開部961、962が形成されており、電極片196、197は切開部961、962を中心に2つの副領域S1、S2に区画される。切開部961、962には少なくとも1つのノッチ(notch)がある。切開部961、962は電極片196、197の斜辺196o、197oと平行に形成された斜線部961o、962oと、斜線部961o、962oと鈍角をなしながら電極片196、197の横辺196t、197tと重畳する横部961t、962tを含む。   The common electrode 270 is formed with incisions 961 and 962 facing the electrode pieces 196 and 197. The electrode pieces 196 and 197 are divided into two sub-regions S1 and S2 with the incisions 961 and 962 as the center. The incisions 961, 962 have at least one notch. The incisions 961 and 962 are oblique lines 961o and 962o formed in parallel with the oblique sides 196o and 197o of the electrode pieces 196 and 197, and lateral sides 196t and 197t of the electrode pieces 196 and 197 while forming an obtuse angle with the oblique lines 961o and 962o. And horizontal portions 961t and 962t that overlap.

各副領域S1、S2は切開部961、962の斜線部961o、962o及び電極片196、197の斜辺196t、197tにより定義される2つの主辺(primary edge)を有する。主辺の間の距離、すなわち副領域の幅は約25〜40μm程度であることが好ましい。
図13Cに示した基本電極198は右傾斜電極片196と左傾斜電極片197が結合して構成される。右傾斜電極片196と左傾斜電極片197の角度はほぼ直角であることが望ましく、2つの電極片196、197は一部だけで連結される。連結されない部分は切開部990を構成するものであり、基本電極198の折れ曲がった部分における凹んだ側に位置して形成される。このような切開部990は省略することが可能である。
Each of the sub-regions S1 and S2 has two primary edges defined by the hatched portions 961o and 962o of the incisions 961 and 962 and the oblique sides 196t and 197t of the electrode pieces 196 and 197. The distance between the main sides, that is, the width of the sub-region is preferably about 25 to 40 μm.
The basic electrode 198 shown in FIG. 13C is configured by combining a right inclined electrode piece 196 and a left inclined electrode piece 197. It is desirable that the angle of the right inclined electrode piece 196 and the left inclined electrode piece 197 is substantially a right angle, and the two electrode pieces 196 and 197 are connected only by a part. The unconnected portion constitutes the incision 990 and is formed on the recessed side of the bent portion of the basic electrode 198. Such an incision 990 can be omitted.

連結された2つの電極片196、197の外方側に位置する(図の上下端に位置する)横辺196t、197tが基本電極198の横辺198tを構成し、2つの電極片196、197の対応する斜辺196o、197oは互いに連結されて基本電極198の屈曲辺(curved edge)198o1、198o2を形成する。
屈曲辺198o1、198o2は、横辺198tと鈍角、例えば約135°を形成して接続する凸辺(convex edge)198o1及び横辺198tと鋭角、例えば約45°を形成して接続する凹辺(concave edge)198o2を含む。屈曲辺198o1、198o2は、一対の斜辺196o、197oがほぼ直角を形成して接続されるため、その折れた角度はほぼ直角である。
The lateral sides 196t and 197t located on the outer side of the two connected electrode pieces 196 and 197 (located at the upper and lower ends in the figure) constitute the lateral side 198t of the basic electrode 198, and the two electrode pieces 196 and 197 The corresponding hypotenuses 196o, 197o are connected to each other to form the curved edges 198o1, 198o2 of the basic electrode 198.
The bent sides 198o1 and 198o2 are connected to a convex side (convex edge) 198o1 which forms an obtuse angle with the lateral side 198t, for example about 135 °, and a concave side which forms an acute angle, for example, about 45 ° with the side 198t. concavity edge) 198o2. The bent sides 198o1 and 198o2 are connected so that the pair of oblique sides 196o and 197o form a substantially right angle.

切開部960は、凹辺198o2上の凹頂点CVから凸辺198o1上の凸頂点VVに向かってほぼ基本電極198の中心まで延長される構成とすることができる。
また、共通電極270の切開部961、962は互いに連結されて1つの切開部960を構成する。この時、切開部961、962で重複する横部961t、962tは、一体となって1つの横部960t1を構成する。この新たな形態の切開部960は次のように説明することができる。
The incision 960 can be configured to extend from the concave vertex CV on the concave side 198o2 to the center of the basic electrode 198 toward the convex vertex VV on the convex side 198o1.
Further, the incisions 961 and 962 of the common electrode 270 are connected to each other to form one incision 960. At this time, the horizontal portions 961t and 962t that overlap at the incisions 961 and 962 integrally constitute one horizontal portion 960t1. This new form of incision 960 can be described as follows.

切開部960は、屈曲点CPを有する屈曲部960o、屈曲部960oの屈曲点CPに連結されている中央横部960t1、及び屈曲部960oの両端に連結されている一対の縦断横部960t2を含む。切開部960の屈曲部960oは直角に接続する一対の斜線部からなり、基本電極198の屈曲辺198o1、198o2とほぼ平行であり、基本電極198を左辺部と右辺部に二等分する。切開部960の中央横部960t1は屈曲部960oと鈍角、例えば約135°を形成し、ほぼ基本電極198の凸頂点VVに向かって延長されている。縦断横部960t2は基本電極198の横辺198tに整列されており、屈曲部960oと鈍角、例えば約135°を形成する。   The incision part 960 includes a bending part 960o having a bending point CP, a central horizontal part 960t1 connected to the bending point CP of the bending part 960o, and a pair of longitudinal horizontal parts 960t2 connected to both ends of the bending part 960o. . The bent portion 960o of the incision portion 960 includes a pair of oblique line portions that are connected at right angles, is substantially parallel to the bent sides 198o1 and 198o2 of the basic electrode 198, and bisects the basic electrode 198 into a left side portion and a right side portion. A central horizontal portion 960t1 of the incision portion 960 forms an obtuse angle with the bent portion 960o, for example, about 135 °, and extends substantially toward the convex vertex VV of the basic electrode 198. The vertical transverse portion 960t2 is aligned with the lateral side 198t of the basic electrode 198, and forms an obtuse angle, for example, about 135 ° with the bent portion 960o.

基本電極198と切開部960は基本電極198の凸頂点VVと凹頂点CVを連結する仮想の直線(“横中心線”といい)に対してほぼ反転対称である。
図12に示した各画素電極191において、第1副画素電極191aの大きさは第2副画素電極191bの大きさより小さい。特に、第2副画素電極191bの高さ(図の上下方向のサイズ:以下、高さと記載する)が第1副画素電極191aの高さより大きく、両副画素電極191bの幅(これら画素電極を構成する各電極片の左右方向の幅)は実質的に同一である。第2副画素電極191bの電極片の数は第1副画素電極191bの電極片の数より多い。
The basic electrode 198 and the incision 960 are substantially inversion symmetric with respect to a virtual straight line (referred to as a “lateral center line”) connecting the convex vertex VV and the concave vertex CV of the basic electrode 198.
In each pixel electrode 191 shown in FIG. 12, the size of the first subpixel electrode 191a is smaller than the size of the second subpixel electrode 191b. In particular, the height of the second subpixel electrode 191b (the vertical size in the figure: hereinafter referred to as height) is larger than the height of the first subpixel electrode 191a, and the width of both subpixel electrodes 191b (the pixel electrodes are The width of the electrode pieces in the left-right direction) is substantially the same. The number of electrode pieces of the second subpixel electrode 191b is larger than the number of electrode pieces of the first subpixel electrode 191b.

第1副画素電極191aは左傾斜電極片197と右傾斜電極片196からなり、図13Cに示した基本電極198と実質的に同一の構造を有する。
第2副画素電極191bは2つ以上の左傾斜電極片197と2つ以上の右傾斜電極片196の組み合わせからなり、図13Cに示した基本電極198とこれに結合された左傾斜及び右傾斜電極片196、197を含む。
The first subpixel electrode 191a includes a left inclined electrode piece 197 and a right inclined electrode piece 196, and has substantially the same structure as the basic electrode 198 shown in FIG. 13C.
The second subpixel electrode 191b includes a combination of two or more left inclined electrode pieces 197 and two or more right inclined electrode pieces 196, and includes a basic electrode 198 shown in FIG. 13C and a left inclined and right inclined. Electrode pieces 196 and 197 are included.

図12に示した第2副画素電極191bは全部で6個の電極片191b1〜191b6からなり、このうち2つの電極片191b5、191b6は第1副画素電極191aの上下に配置されている。画素電極191bは三回折れた構造を有し、一回折れた構造に比べて 縦方向にさらに優れている画質の映像が表示される。また、第1副画素電極191aの電極片191a1、191a2と第2副画素電極191bの電極片191b5、191b6が隣接する位置において、共通電極270の切開部961、962の横部961t、962tが一体となって1つの横部を構成していることから、開口率がさらに増加する。   The second subpixel electrode 191b shown in FIG. 12 includes a total of six electrode pieces 191b1 to 191b6, and two electrode pieces 191b5 and 191b6 are disposed above and below the first subpixel electrode 191a. The pixel electrode 191b has a three-folded structure, and an image with a better image quality is displayed in the vertical direction than the one-diffracted structure. Further, at the positions where the electrode pieces 191a1 and 191a2 of the first subpixel electrode 191a and the electrode pieces 191b5 and 191b6 of the second subpixel electrode 191b are adjacent to each other, the horizontal portions 961t and 962t of the cutout portions 961 and 962 of the common electrode 270 are integrated. Since one horizontal portion is formed, the aperture ratio is further increased.

中間の電極片191a1、191a2、191b1、191b2とその上下に配置された電極片191b3〜191b6の高さが互いに異なる。例えば、上下電極片191b3〜191b6の高さが中間電極片191a1、191a2、191b1、191b2の約1/2であり、これによって第1副画素電極191aと第2副画素電極191bの面積比はほぼ1:2になる。このように、上下電極片191b3〜191b6の高さを調節すれば、所望の面積比を得ることができる。   The heights of the intermediate electrode pieces 191a1, 191a2, 191b1, 191b2 and the electrode pieces 191b3 to 191b6 arranged above and below are different from each other. For example, the height of the upper and lower electrode pieces 191b3 to 191b6 is about ½ of the intermediate electrode pieces 191a1, 191a2, 191b1, and 191b2, so that the area ratio of the first subpixel electrode 191a and the second subpixel electrode 191b is almost equal. 1: 2. Thus, a desired area ratio can be obtained by adjusting the height of the upper and lower electrode pieces 191b3 to 191b6.

図12において、第1及び第2副画素電極191a、191bの位置関係及び折れた方向を変更することが可能であり、図12の画素電極191を上下左右に反転対称移動するか、回転移動することで変形することができる。
図8〜図13Cに示すように、第1及び第2副画素電極191a、191bと上部表示板200の共通電極270は、その間の液晶層300部分とともにそれぞれ第1及び第2液晶キャパシタClca、Clcbを構成し、薄膜トランジスタQa、Qbがターンオフした後にも印加された電圧を維持する。
In FIG. 12, it is possible to change the positional relationship and broken direction of the first and second subpixel electrodes 191a and 191b, and the pixel electrode 191 shown in FIG. Can be deformed.
As shown in FIGS. 8 to 13C, the first and second sub-pixel electrodes 191a and 191b and the common electrode 270 of the upper display panel 200 have first and second liquid crystal capacitors Clca and Clcb, respectively, together with the liquid crystal layer 300 portion therebetween. And the applied voltage is maintained even after the thin film transistors Qa and Qb are turned off.

第1及び第2副画素電極191a、191bはゲート絶縁膜140を挟んでストレージ電極137と重畳して、それぞれ第1及び第2ストレージキャパシタCsta、Cstbで構成され、第1及び第2ストレージキャパシタCsta、Cstbは第1及び第2液晶キャパシタClca、Clcbの電圧維持能力を強化する。この時、保護膜180には開口部186が形成されているため、画素電極191とストレージ電極137との間にはゲート絶縁膜140のみが存在し、画素電極191とストレージ電極線131と間の距離が短くなるため、電圧維持能力が向上する。   The first and second subpixel electrodes 191a and 191b are formed of first and second storage capacitors Csta and Cstb, respectively, overlapping with the storage electrode 137 with the gate insulating film 140 interposed therebetween, and the first and second storage capacitors Csta. , Cstb enhances the voltage maintaining capability of the first and second liquid crystal capacitors Clca, Clcb. At this time, since the opening 186 is formed in the protective film 180, only the gate insulating film 140 exists between the pixel electrode 191 and the storage electrode 137, and between the pixel electrode 191 and the storage electrode line 131. Since the distance is shortened, the voltage maintaining ability is improved.

接触補助部材981a、981b、982はそれぞれコンタクトホール181a、181b、182を通じてゲートライン121a、121bの端部129a、129b及びデータライン171の端部179と接続される。接触補助部材981a、981b、982はゲートライン121a、121bの端部129a、129b及びデータライン171の端部179と外部装置との接着性を補強して、これらを保護する。   The contact assistants 981a, 981b, and 982 are connected to the end portions 129a and 129b of the gate lines 121a and 121b and the end portion 179 of the data line 171 through the contact holes 181a, 181b, and 182 respectively. The contact assistants 981a, 981b, and 982 reinforce the adhesion between the end portions 129a and 129b of the gate lines 121a and 121b and the end portion 179 of the data line 171 and the external device to protect them.

図9及び図10に示すように、上部表示板200の断面構造に関して説明する。
透明なガラスまたはプラスチックなどからなる絶縁基板210上に遮光部材(light blocking member)220が形成されている。遮光部材220は画素電極191の境界に対応する部分と薄膜トランジスタに対応する部分とをカバーし、画素電極191の間の光漏れを防ぎ、画素電極191と向き合う開口領域を定義する。
As shown in FIGS. 9 and 10, a cross-sectional structure of the upper display panel 200 will be described.
A light blocking member 220 is formed on an insulating substrate 210 made of transparent glass or plastic. The light shielding member 220 covers a portion corresponding to the boundary of the pixel electrode 191 and a portion corresponding to the thin film transistor, prevents light leakage between the pixel electrodes 191, and defines an opening region facing the pixel electrode 191.

基板210及び遮光部材220上には、さらに複数の色フィルタ230が形成されている。色フィルタ230は遮光部材220で囲まれた領域内に大部分が存在し、画素電極191の列方向に沿って延長されて配置される。各色フィルタ230はレッド、グリーン及びブルーの三原色のうちの1つを表示することができる。
色フィルタ230及び遮光部材220上にはオーバーコート(overcoat)250が形成されている。オーバーコート250は(有機)絶縁物で形成することができ、色フィルタ230が露出されることを防止し、平坦面を提供する。このオーバーコート250は省略することも可能である。
A plurality of color filters 230 are further formed on the substrate 210 and the light shielding member 220. Most of the color filter 230 exists in a region surrounded by the light shielding member 220 and is extended along the column direction of the pixel electrodes 191. Each color filter 230 can display one of the three primary colors red, green and blue.
An overcoat 250 is formed on the color filter 230 and the light blocking member 220. The overcoat 250 can be formed of an (organic) insulator, which prevents the color filter 230 from being exposed and provides a flat surface. The overcoat 250 can be omitted.

オーバーコート250上には共通電極270が形成されている。
共通電極270には複数の切開部971a、971bが形成されている。
表示板100、200の内側面には配向膜(alignment layer)911、921が形成されており、これらは垂直配向膜とすることができる。
表示板100、200の外側面には偏光子(polarizer)912、922が具備されており、両偏光子912、922の偏光軸は直交し、このうちの1つの偏光軸はゲートライン121a、121bに対して平行であることが好ましい。反射型液晶表示装置の場合には2つの偏光子912、922のうちの1つを省略することができる。
A common electrode 270 is formed on the overcoat 250.
A plurality of incisions 971a and 971b are formed in the common electrode 270.
Alignment layers 911 and 921 are formed on the inner side surfaces of the display panels 100 and 200, which can be vertical alignment layers.
Polarizers 912 and 922 are provided on the outer surfaces of the display panels 100 and 200. The polarization axes of the polarizers 912 and 922 are orthogonal to each other, and one of the polarization axes is the gate lines 121a and 121b. It is preferable that it is parallel to. In the case of a reflective liquid crystal display device, one of the two polarizers 912 and 922 can be omitted.

液晶表示装置は偏光子912、922、位相遅延膜、表示板100、200及び液晶層300に光を供給する照明部(backlight unit:図示せず)を含むことができる。
液晶層300はマイナスの誘電率異方性を有し、液晶層300の液晶分子は電場がない状態でその長軸が2つの表示板100、200の表面に対して垂直になるように配向されている。
The liquid crystal display device may include polarizers 912 and 922, a phase retardation film, display panels 100 and 200, and an illumination unit (backlight unit: not shown) that supplies light to the liquid crystal layer 300.
The liquid crystal layer 300 has a negative dielectric anisotropy, and the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer 300 are aligned so that the major axis thereof is perpendicular to the surfaces of the two display panels 100 and 200 in the absence of an electric field. ing.

以下、このような液晶表示装置の動作について詳細に説明する。
信号制御部600は外部のグラフィック制御器(図示せず)から入力映像信号R、G、B及びこの表示を制御する入力制御信号を受信して液晶表示板組み立て体700の動作条件に従って処理し、ゲート制御信号CONT1及びデータ制御信号CONT2などを生成した後、それぞれゲート駆動部400及びデータ駆動部500に送る。
Hereinafter, the operation of such a liquid crystal display device will be described in detail.
The signal controller 600 receives input video signals R, G, and B and input control signals for controlling the display from an external graphic controller (not shown), processes them according to the operating conditions of the liquid crystal panel assembly 700, After generating the gate control signal CONT1, the data control signal CONT2, etc., they are sent to the gate driver 400 and the data driver 500, respectively.

ゲート駆動部400は信号制御部600からのゲート制御信号CONT1に応じてゲートオン電圧Vonをゲートラインに印加して、このゲートラインに接続されたスイッチング素子をターンオンさせる。これによって、データラインに印加されたデータ信号が、ターンオンしたスイッチング素子を通じて該当する画素PXに印加される。
この時、1つの画素電極191を構成する第1副画素電極191aと第2副画素電極191bは別個のスイッチング素子と連結されており、2つの副画素には互いに異なる時間に同一のデータラインを通じて別個のデータ電圧が印加される。一方、第1副画素電極191aと第2副画素電極191bは別個のスイッチング素子と接続されており、同一の時間に互いに異なるデータラインを通じて別個のデータ電圧を印加することができる。また、第1副画素電極191aはスイッチング素子(図示せず)と接続されており、第2副画素電極191bが第1副画素電極191aと容量性結合されている場合には、第1副画素電極191aを含む副画素のみにスイッチング素子を通じてデータ電圧が印加され、第2副画素電極191bを含む副画素には第1副画素電極191aの電圧変化に応じて変化する電圧を印加するように構成できる。この時、面積が相対的に小さい第1副画素電極191aの電圧が面積が相対的に大きい第2副画素電極191bの電圧より高く設定される。
The gate driver 400 applies a gate-on voltage Von to the gate line according to the gate control signal CONT1 from the signal controller 600, and turns on the switching element connected to the gate line. Accordingly, the data signal applied to the data line is applied to the corresponding pixel PX through the turned on switching element.
At this time, the first sub-pixel electrode 191a and the second sub-pixel electrode 191b constituting one pixel electrode 191 are connected to separate switching elements, and the two sub-pixels are connected through the same data line at different times. A separate data voltage is applied. Meanwhile, the first subpixel electrode 191a and the second subpixel electrode 191b are connected to separate switching elements, and different data voltages can be applied through different data lines at the same time. In addition, when the first subpixel electrode 191a is connected to a switching element (not shown) and the second subpixel electrode 191b is capacitively coupled to the first subpixel electrode 191a, the first subpixel electrode A data voltage is applied to only the sub-pixel including the electrode 191a through the switching element, and a voltage changing according to a voltage change of the first sub-pixel electrode 191a is applied to the sub-pixel including the second sub-pixel electrode 191b. it can. At this time, the voltage of the first subpixel electrode 191a having a relatively small area is set higher than the voltage of the second subpixel electrode 191b having a relatively large area.

画素PXに印加されたデータ信号の電圧と共通電圧Vcomとの差は液晶キャパシタの充電電圧、すなわち画素電圧として示す。液晶分子は画素電圧の大きさに応じてその配列が異なり、これによって液晶層300を通過する光の偏光が変化する。このような偏光の変化は表示板組み立て体300に取り付けられた偏光子によって光の透過率の変化として示し、これを通じて画素PXは映像信号DATの階調が示される輝度を表示する。   The difference between the voltage of the data signal applied to the pixel PX and the common voltage Vcom is shown as the charging voltage of the liquid crystal capacitor, that is, the pixel voltage. The arrangement of the liquid crystal molecules differs depending on the magnitude of the pixel voltage, and this changes the polarization of light passing through the liquid crystal layer 300. Such a change in polarization is indicated as a change in light transmittance by a polarizer attached to the display panel assembly 300, and through this, the pixel PX displays a luminance indicating the gradation of the video signal DAT.

液晶分子の傾斜角度は電気場の強さによって変わり、2つの液晶キャパシタClca、Clcbの電圧が互いに異なるので、液晶分子の傾斜角度が異なり、これによって2つの副画素の輝度が異なる。したがって第1液晶キャパシタClcaの電圧と第2液晶キャパシタClcbの電圧を適切に調節すれば、側面から見る映像と正面から見る映像とを最も近似させることができ、すなわち側面ガンマ曲線と正面ガンマ曲線とを最も禁じさせることができ、これによって側面視認性を向上させることができる。   The tilt angle of the liquid crystal molecules varies depending on the strength of the electric field, and the voltages of the two liquid crystal capacitors Clca and Clcb are different from each other. Therefore, the tilt angles of the liquid crystal molecules are different, which causes the brightness of the two subpixels to be different. Accordingly, if the voltage of the first liquid crystal capacitor Clca and the voltage of the second liquid crystal capacitor Clcb are appropriately adjusted, the image seen from the side and the image seen from the front can be most approximated, that is, the side gamma curve and the front gamma curve Can be forbidden most, and thereby the side visibility can be improved.

また、高い電圧が印加される第1副画素電極191aの面積を第2副画素電極191bの面積より小さくすれば、側面ガンマ曲線を正面ガンマ曲線にさらに近似させることができる。特に第1及び第2副画素電極191a、191bの面積比が約1:2〜1:3である場合、側面ガンマ曲線が正面ガンマ曲線により近似し、側面視認性が向上する。
液晶分子の傾斜方向は一次的に電場生成電極191、270の切開部971a、971bと副画素電極191a、191bの辺が主電場を歪曲して作る水平成分によって決定される。このような主電場の水平成分は切開部971a、971bの辺と副画素電極191a、191bの辺にほぼ垂直である。
Further, if the area of the first subpixel electrode 191a to which a high voltage is applied is made smaller than the area of the second subpixel electrode 191b, the side gamma curve can be further approximated to the front gamma curve. In particular, when the area ratio of the first and second subpixel electrodes 191a and 191b is about 1: 2 to 1: 3, the side gamma curve is approximated by the front gamma curve, and the side visibility is improved.
The inclination direction of the liquid crystal molecules is primarily determined by a horizontal component formed by the sides of the cut portions 971a and 971b of the electric field generating electrodes 191 and 270 and the subpixel electrodes 191a and 191b distorting the main electric field. Such a horizontal component of the main electric field is substantially perpendicular to the sides of the incisions 971a and 971b and the sides of the subpixel electrodes 191a and 191b.

切開部971a、971bによって分割された副領域上の液晶分子は、大部分が周辺に対して垂直方向に傾くため、傾斜方向は、ほぼ4つの方向になる。このように液晶分子の傾斜方向を多様にすることにより、液晶表示装置の基準視野角が大きくなる。
切開部971a、971bが形成された領域と同一の領域で、切開部971a、971bに代えて共通電極270上に突起を形成する場合、この突起が切開部971a、971bと同様に作用する。すなわち、突起によって電場が歪曲し、液晶表示装置の基準視野角を大きくすることができる。
Most of the liquid crystal molecules on the sub-region divided by the cutouts 971a and 971b are inclined in the vertical direction with respect to the periphery, so that the inclination directions are almost four directions. Thus, by making the inclination directions of the liquid crystal molecules diverse, the reference viewing angle of the liquid crystal display device is increased.
When a protrusion is formed on the common electrode 270 instead of the incisions 971a and 971b in the same region where the incisions 971a and 971b are formed, these protrusions act in the same manner as the incisions 971a and 971b. That is, the electric field is distorted by the protrusion, and the reference viewing angle of the liquid crystal display device can be increased.

一方、副画素電極191a、191bの間の電圧差によって副次的に生成される副電場(secondary electric field)の方向は副領域の主辺と垂直である。したがって、副電場の方向と主電場の水平成分の方向とを一致させる。その結果、副画素電極191a、191bの間の副電場は、液晶分子の傾斜方向を決定するために提供される。   On the other hand, the direction of the secondary electric field generated secondary by the voltage difference between the subpixel electrodes 191a and 191b is perpendicular to the main side of the subregion. Therefore, the direction of the sub electric field is matched with the direction of the horizontal component of the main electric field. As a result, a sub electric field between the sub pixel electrodes 191a and 191b is provided to determine the tilt direction of the liquid crystal molecules.

前述したように、共通電極270の切開部は中央横部960t1、屈曲部960o及び縦断横部960t2を含む。図8に示すように、中央横部960t1がストレージ電極137と完全に重畳するように位置する場合、該当する中央横部960t1はストレージ電極137のエッジに沿って分離された一対で形成することができる。中央横部960t1は、屈曲部960oを構成する互いに対称の一対の斜線部が接する地点に位置する。この斜線部が接する地点で、液晶分子は斜線部の右傾斜部分と左傾斜部分の両方の影響に受けて、その配列方向が乱れる。中央横部960t1は上記のような現像を防止し、液晶分子の配列方向を制御する手段として作用する。   As described above, the cut-out portion of the common electrode 270 includes the central lateral portion 960t1, the bent portion 960o, and the longitudinal lateral portion 960t2. As shown in FIG. 8, when the central lateral portion 960 t 1 is positioned so as to completely overlap the storage electrode 137, the corresponding central lateral portion 960 t 1 may be formed as a pair separated along the edge of the storage electrode 137. it can. The central lateral portion 960t1 is located at a point where a pair of symmetrical hatched portions constituting the bent portion 960o contact each other. At the point where the shaded portion is in contact, the liquid crystal molecules are affected by both the right slope portion and the left slope portion of the shaded portion, and the arrangement direction is disturbed. The central horizontal portion 960t1 functions as a means for preventing the development as described above and controlling the alignment direction of the liquid crystal molecules.

ところが、図9に示すように、ストレージ電極137が形成された領域では共通電極270から開口部186が形成された領域までの離間距離が増加する。したがって、該当する領域での液晶分子に対する制御機能が弱くなり、中央横部960t1において正常に作用できなくなるおそれがある。このような点を防止するために、図8および図9に示すように、ストレージ電極137が形成された領域と重畳するように位置する中央横部960t1は、ストレージ電極137のエッジ部分に一対で形成する。   However, as shown in FIG. 9, in the region where the storage electrode 137 is formed, the separation distance from the common electrode 270 to the region where the opening 186 is formed increases. Therefore, the control function with respect to the liquid crystal molecules in the corresponding region is weakened, and there is a possibility that the central horizontal portion 960t1 cannot function normally. In order to prevent such a point, as shown in FIGS. 8 and 9, the central lateral portion 960 t 1 positioned so as to overlap the region where the storage electrode 137 is formed is paired with the edge portion of the storage electrode 137. Form.

図14を参考して本発明の他の実施形態による液晶表示板組み立て体について説明する。
図14は本発明の他の実施形態による液晶表示板組み立て体の一部を示す配置図である。
本実施形態による液晶表示板組み立て体も互いに向き合う下部表示板(図示せず)と上部表示板(図示せず)及びこれら2つの表示板の間に介された液晶層(図示しない)を含む。
A liquid crystal panel assembly according to another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
FIG. 14 is a layout view showing a part of a liquid crystal panel assembly according to another embodiment of the present invention.
The liquid crystal display panel assembly according to the present embodiment also includes a lower display panel (not shown) and an upper display board (not shown) facing each other, and a liquid crystal layer (not shown) interposed between the two display boards.

本実施形態による液晶表示板組み立て体の垂直構造は図8〜図13Cに示した液晶表示板組み立て体の層状構造とほぼ類似であり、共通的な部分に対する詳細な説明は省略する。
下部表示板に対して説明すれば、絶縁基板(図示せず)上に複数のゲートライン(図示せず)及びストレージ電極線131を含む複数のゲート導電体が形成されている。ストレージ電極線131はストレージ電極137を含む。ゲート導電体上にはゲート絶縁膜(図示せず)が形成されている。ゲート絶縁膜の上には島型半導体(図示せず)が形成されており、その上には複数の抵抗性接触部材(図示せず)が形成されている。抵抗性接触部材及びゲート絶縁膜上には複数のデータライン171を含むデータ導電体が形成されている。データ導電体171及び露出した半導体部分上には開口部186を有する保護膜(図示せず)が形成されており、保護膜及びゲート絶縁膜には複数のコンタクトホール(図示せず)及び開口部186が形成されている。保護膜上には複数の画素電極191と複数の接触補助部材(図示せず)が形成されている。
The vertical structure of the liquid crystal panel assembly according to the present embodiment is substantially similar to the layered structure of the liquid crystal panel assembly shown in FIGS. 8 to 13C, and detailed description of common parts is omitted.
Referring to the lower display panel, a plurality of gate conductors including a plurality of gate lines (not shown) and storage electrode lines 131 are formed on an insulating substrate (not shown). The storage electrode line 131 includes a storage electrode 137. A gate insulating film (not shown) is formed on the gate conductor. An island type semiconductor (not shown) is formed on the gate insulating film, and a plurality of resistive contact members (not shown) are formed thereon. A data conductor including a plurality of data lines 171 is formed on the resistive contact member and the gate insulating film. A protective film (not shown) having an opening 186 is formed on the data conductor 171 and the exposed semiconductor portion, and a plurality of contact holes (not shown) and openings are formed in the protective film and the gate insulating film. 186 is formed. A plurality of pixel electrodes 191 and a plurality of contact assisting members (not shown) are formed on the protective film.

上部表示板に対して説明すれば、絶縁基板(図示せず)上に遮光部材(図示せず)、複数の色フィルタ(図示せず)、オーバーコート(図示せず)、共通電極(図示せず)、及び配向膜(図示せず)が形成されている。
画素電極191は凹辺を有する第1副画素191alと凸辺を有する第2副画素191brに区分され、凹辺の角部には少なくとも1つの凹部193a、193bが形成されている。第1副画素191alの2つの凹部193a、193bは開口部186の側面に沿って形成されている。これによって、隣り合う第1及び第2副画素191al、191brの間隔を充分に確保して、第1及び第2副画素191al、191br間に電気的に短絡が発生することを防止することができる。
Referring to the upper display panel, a light shielding member (not shown), a plurality of color filters (not shown), an overcoat (not shown), a common electrode (not shown) on an insulating substrate (not shown). And an alignment film (not shown).
The pixel electrode 191 is divided into a first subpixel 191al having a concave side and a second subpixel 191br having a convex side, and at least one concave portion 193a, 193b is formed at a corner of the concave side. The two concave portions 193a and 193b of the first subpixel 191al are formed along the side surface of the opening 186. As a result, a sufficient interval between the adjacent first and second subpixels 191al and 191br can be secured to prevent an electrical short circuit between the first and second subpixels 191al and 191br. .

凹部193a、193bは少なくとも1つ形成されれば良く、その形状や個数に対する制限はない。但し、凹部193a、193bは画素電極191の所定部分を切開することによって形成することができるため、前述の実施形態において共通電極280の中央横部960t1と同様に液晶分子の方向を制御する手段として用いることができる。この場合、前記中央横部960t1と同一の原理によって、ストレージ電極137と重畳される領域では凹部193a、193bがストレージ電極20のエッジに一対で形成されることが好ましい。   It is sufficient that at least one of the recesses 193a and 193b is formed, and there is no limitation on the shape and number of the recesses. However, since the recesses 193a and 193b can be formed by cutting a predetermined portion of the pixel electrode 191, as the means for controlling the direction of the liquid crystal molecules as in the central horizontal portion 960t1 of the common electrode 280 in the above-described embodiment. Can be used. In this case, it is preferable that a pair of recesses 193 a and 193 b are formed at the edge of the storage electrode 20 in the region overlapping with the storage electrode 137 based on the same principle as the central lateral portion 960 t 1.

図15を参考して本発明の他の実施形態による液晶表示板組み立て体について説明する。
図15は本発明の他の実施形態による液晶表示板組み立て体の一部を示す配置図である。
本実施形態による液晶表示板組み立て体も互いに向き合う下部表示板(図示せず)と上部表示板(図示せず)及びこれら2つの表示板の間に介された液晶層(図示せず)を含む。
A liquid crystal panel assembly according to another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
FIG. 15 is a layout view showing a part of a liquid crystal panel assembly according to another embodiment of the present invention.
The liquid crystal panel assembly according to the present embodiment also includes a lower display panel (not shown) and an upper display board (not shown) facing each other, and a liquid crystal layer (not shown) interposed between the two display boards.

本実施形態による液晶表示板組み立て体の垂直構造は図8〜図13Cに示した液晶表示板組み立て体の層状構造とほぼ類似であり、共通的な部分に対する詳細な説明は省略する。
図15に示すように、左側に配置されている画素電極191の第1副画素電極191al及び右側に配置されている画素電極191の第2副画素電極191brは、行方向に隣り合うように配置されている。第1及び第2副画素電極191al、191brはそれぞれ凸辺194a、194bを有する。また第1及び第2副画素電極191al、191brは、2つの斜辺195a1、195a2、195b1、195b2及び2つの斜辺の間を連結する縦辺195a3、195b3からなる凹辺195a、195bを有する。
The vertical structure of the liquid crystal panel assembly according to the present embodiment is substantially similar to the layered structure of the liquid crystal panel assembly shown in FIGS. 8 to 13C, and detailed description of common parts is omitted.
As shown in FIG. 15, the first subpixel electrode 191al of the pixel electrode 191 arranged on the left side and the second subpixel electrode 191br of the pixel electrode 191 arranged on the right side are arranged adjacent to each other in the row direction. Has been. The first and second subpixel electrodes 191al and 191br have convex sides 194a and 194b, respectively. The first and second subpixel electrodes 191al and 191br have two sides 195a1, 195a2, 195b1 and 195b2 and concave sides 195a and 195b composed of vertical sides 195a3 and 195b3 connecting the two sides.

ストレージ電極線131は、画素電極191の中央部を横切るように形成される。すなわちストレージ電極線131を中心に画素電極191は上下対称になる。1つのストレージ電極137は隣り合う2つの画素電極191に部分的に重畳している。より詳細には、ストレージ電極137は、左側に位置する画素電極191の第1副画素電極191al及び右側に位置する画素電極191の第2副画素電極191brと重畳する。ストレージ電極137は第1副画素電極191alと重畳する第1部分137a及び第2副画素電極191brと重畳する第2部分137bを含む。   The storage electrode line 131 is formed so as to cross the central portion of the pixel electrode 191. That is, the pixel electrode 191 is vertically symmetrical about the storage electrode line 131. One storage electrode 137 partially overlaps two adjacent pixel electrodes 191. More specifically, the storage electrode 137 overlaps the first subpixel electrode 191al of the pixel electrode 191 located on the left side and the second subpixel electrode 191br of the pixel electrode 191 located on the right side. The storage electrode 137 includes a first portion 137a that overlaps the first subpixel electrode 191al and a second portion 137b that overlaps the second subpixel electrode 191br.

ストレージ電極137と画素電極191との間には保護膜が形成され、保護膜は第1開口部187aと第2開口部187bとを有する。第1開口部187aはストレージ電極137の第1部分137aを露出し、第2開口部187bはストレージ電極137の第2部分137bを露出する。第1及び第2開口部186、187は第1副画素電極191al及び第2副画素電極191brと重畳する部分で分離されている。これによって、第1及び第2開口部187a、187bの段差部位に第1及び第2副画素電極191al、191br間の短絡(short)が発生することを防止できる。   A protective film is formed between the storage electrode 137 and the pixel electrode 191. The protective film has a first opening 187a and a second opening 187b. The first opening 187a exposes the first portion 137a of the storage electrode 137, and the second opening 187b exposes the second portion 137b of the storage electrode 137. The first and second openings 186 and 187 are separated by a portion overlapping with the first subpixel electrode 191al and the second subpixel electrode 191br. Accordingly, it is possible to prevent a short circuit between the first and second subpixel electrodes 191al and 191br from occurring at the stepped portion of the first and second openings 187a and 187b.

第2開口部187bの頂点のうち第2副画素電極191brの凸辺に近い2つの頂点は面取りがされており、面取りがされている斜辺は第2副画素電極191brの凸辺と平行である。これによって、ストレージキャパシタの容量が低下することを防止できる。
また、表示基板は、ストレージ電極、絶縁膜パターン、第1画素電極及び第2画素電極を含むことを特徴とする。ストレージ電極は、第1領域と第2領域を有する基板上に前記第1及び第2領域にかけて形成されている。絶縁膜パターンは、前記ストレージ電極上に形成され、前記第1領域の前記ストレージ電極上で第1開口部を有し、前記第2領域の前記ストレージ電極上で第2開口部を有する。第1画素電極と第2画素電極は、前記絶縁膜パターン上に形成され、前記第1及び第2領域にそれぞれ位置する。
更に、上記表示基板においては、前記第1及び第2領域はそれぞれ相異なる画素領域に属する。
更に、上記表示基板においては、前記第1及び第2領域は同一の画素領域に属し、互いに異なる電圧が印加される。
更に、上記表示基板においては、前記第1及び第2画素電極は前記ストレージ電極の長さ方向に対して傾斜するとともに、前記ストレージ電極の長さ方向の軸として対称であり、全体として屈曲する形状を有する。
更に、上記表示基板においては、前記絶縁膜パターンは前記第1及び第2開口部のうちの少なくとも1つが少なくとも1つの頂点で面取りされており、前記面取りされた辺は前記相互対称である方向中のいずれか1つと平行である。
更に、上記表示基板においては、前記絶縁膜パターンは有機絶縁膜を含む。
更に、上記表示基板においては、前記有機絶縁膜は各画素領域で前記第1及び第2開口部を定義する。
また、他の表示基板は、互いに向き合う第1基板と第2基板、前記第1及び第2基板との間に介され液晶が配列された液晶層、前記第1基板上に形成されたストレージ電極、前記ストレージ電極上に形成され、前記ストレージ電極が形成された領域で開口される絶縁膜パターン、前記絶縁膜パターン上に形成された画素電極、前記第2基板上に形成され、前記液晶の配列方向を制御する方向制御手段を有する共通電極と、を含む。そして、この表示基板においては、前記方向制御手段は前記ストレージ電極の縁部に位置し、前記ストレージ電極の長さ方向に平行であって互いに対称である一組である。
更に、上記表示基板においては、前記方向制御手段と前記ストレージ電極の縁部は平面上で見る時、互いに重畳する。
更に、上記表示基板においては、前記方向制御手段は前記共通電極の一部が除去された切開部パターンである。
更に、上記表示基板においては、前記方向制御手段は前記共通電極上に形成された突起である。
更に、上記表示基板においては、前記第1基板は前記ストレージ電極が形成された領域で境界を有する第1領域と第2領域を有し、前記方向制御手段は前記第1及び第2領域の境界から離間するように位置する。
更に、上記表示基板においては、前記画素電極は前記第1領域に位置する第1画素電極と前記第2領域に位置する第2画素電極とを含む。
更に、上記表示基板においては、前記第1及び第2画素電極のうちの少なくとも1つは前記ストレージ電極が形成された領域上で少なくとも1つの凹部が形成されている。
更に、上記表示基板においては、前記絶縁膜パターンは前記第1領域の前記ストレージ電極上で第1開口部を有し、前記第2領域の前記ストレージ電極上で第2開口部を有する。
更に、上記表示基板においては、前記第1及び第2画素電極は前記ストレージ電極の長さ方向に対して傾斜を有し、前記ストレージ電極の長さ方向の軸を中心として対称であって、全体として屈曲する形状を有する。
更に、上記表示基板においては、前記絶縁膜パターンは有機絶縁膜を含む。
更に、上記表示基板においては、前記有機絶縁膜は各画素領域で前記開口部を定義する。
以上、例示的な観点からいくつの実施形態を見たが、該当の技術分野の通常の知識を有する当業者であれば、特許請求の範囲に記載された本発明の思想及び領域から逸脱しない範囲内で本発明を多様に修正及び変更できることを理解できる。
Of the vertices of the second opening 187b, two vertices close to the convex side of the second subpixel electrode 191br are chamfered, and the oblique side chamfered is parallel to the convex side of the second subpixel electrode 191br. . As a result, the capacity of the storage capacitor can be prevented from decreasing.
In addition, the display substrate includes a storage electrode, an insulating film pattern, a first pixel electrode, and a second pixel electrode. The storage electrode is formed over the first and second regions on a substrate having a first region and a second region. The insulating film pattern is formed on the storage electrode, has a first opening on the storage electrode in the first region, and has a second opening on the storage electrode in the second region. The first pixel electrode and the second pixel electrode are formed on the insulating film pattern and are positioned in the first and second regions, respectively.
Furthermore, in the display substrate, the first and second regions belong to different pixel regions.
Further, in the display substrate, the first and second regions belong to the same pixel region, and different voltages are applied to each other.
Furthermore, in the display substrate, the first and second pixel electrodes are inclined with respect to the length direction of the storage electrode, are symmetrical with respect to the axis in the length direction of the storage electrode, and are bent as a whole. Have
Furthermore, in the display substrate, in the direction in which the insulating film pattern has at least one of the first and second openings chamfered at at least one vertex, and the chamfered sides are in the mutual symmetry. It is parallel to any one of.
Furthermore, in the display substrate, the insulating film pattern includes an organic insulating film.
Furthermore, in the display substrate, the organic insulating film defines the first and second openings in each pixel region.
The other display substrate includes a first substrate and a second substrate facing each other, a liquid crystal layer in which liquid crystals are arranged between the first and second substrates, and a storage electrode formed on the first substrate. An insulating film pattern formed on the storage electrode and opened in a region where the storage electrode is formed; a pixel electrode formed on the insulating film pattern; and an array of the liquid crystal formed on the second substrate. A common electrode having direction control means for controlling the direction. In this display substrate, the direction control means is a set located at the edge of the storage electrode, parallel to the length direction of the storage electrode and symmetrical to each other.
Further, in the display substrate, the direction control means and the edge of the storage electrode overlap each other when viewed on a plane.
Further, in the display substrate, the direction control means is an incision pattern obtained by removing a part of the common electrode.
Further, in the display substrate, the direction control means is a protrusion formed on the common electrode.
Further, in the display substrate, the first substrate has a first region and a second region having a boundary in a region where the storage electrode is formed, and the direction control means has a boundary between the first and second regions. It is located away from
Further, in the display substrate, the pixel electrode includes a first pixel electrode located in the first region and a second pixel electrode located in the second region.
Furthermore, in the display substrate, at least one of the first and second pixel electrodes has at least one recess formed on the region where the storage electrode is formed.
Furthermore, in the display substrate, the insulating film pattern has a first opening on the storage electrode in the first region and a second opening on the storage electrode in the second region.
Further, in the display substrate, the first and second pixel electrodes have an inclination with respect to the length direction of the storage electrode, are symmetric about an axis in the length direction of the storage electrode, As a bent shape.
Furthermore, in the display substrate, the insulating film pattern includes an organic insulating film.
Further, in the display substrate, the organic insulating film defines the opening in each pixel region.
As described above, several embodiments have been seen from an illustrative viewpoint, but those skilled in the art having ordinary knowledge in the technical field concerned do not depart from the spirit and scope of the present invention described in the claims. It will be understood that the present invention can be modified and changed in various ways.

Claims (6)

第1領域と第2領域を有する基板上に前記第1及び第2領域にかけて形成されたストレージ電極と、
前記ストレージ電極上に前記基板を覆うように形成され、前記ストレージ電極が形成された領域で開口部を有する絶縁膜パターンと、
前記絶縁膜パターン上に形成され、前記第1及び第2領域にそれぞれ位置し、前記ストレージ電極上において互いに離間している2つの画素電極とを含み、
一の画素電極の他の画素電極と対向する辺において、前記ストレージ電極の延在方向に沿って他の画素電極から遠ざかる向きに凹んでいる凹部が前記ストレージ電極の領域上に形成されており、
前記絶縁膜パターンの開口部は、前記ストレージ電極と前記画素電極との間の層に設けられており、前記凹部と重畳して設けられていることを特徴とする表示基板。
A storage electrode formed on the substrate having the first region and the second region over the first and second regions;
An insulating film pattern formed on the storage electrode so as to cover the substrate and having an opening in a region where the storage electrode is formed;
Two pixel electrodes formed on the insulating film pattern and positioned in the first and second regions, respectively , and spaced apart from each other on the storage electrode;
On the side facing the other pixel electrode of one pixel electrode, a recess is formed on the region of the storage electrode that is recessed in a direction away from the other pixel electrode along the extending direction of the storage electrode.
The display substrate , wherein the opening of the insulating film pattern is provided in a layer between the storage electrode and the pixel electrode, and is provided so as to overlap the recess .
前記第1及び第2領域は同一の画素領域に属し、映像情報に対応される互いに異なる電圧が印加されることを特徴とする請求項1に記載の表示基板。   The display substrate according to claim 1, wherein the first and second regions belong to the same pixel region, and different voltages corresponding to video information are applied thereto. 前記第1及び第2画素電極は前記ストレージ電極の長さ方向に対して傾斜し、相互対称である方向に屈曲する形状を有することを特徴とする請求項1に記載の表示基板。   The display substrate according to claim 1, wherein the first and second pixel electrodes have a shape that is inclined with respect to a length direction of the storage electrode and is bent in a mutually symmetric direction. 前記凹部は前記ストレージ電極の長さ方向の縁部に沿ってそれぞれ形成されており、かつ、前記ストレージ電極の長さ方向の中心線に対して対称な一組の第1凹部及び第2凹部を有することを特徴とする請求項に記載の表示基板。 Said recess, said storage being formed along the edge of the length direction of the electrode, and the first recess and second recess symmetric pair with respect to the longitudinal direction of the center line of the storage electrode the display substrate of claim 3, characterized in that it comprises a. 前記絶縁膜パターンは有機絶縁膜を含むことを特徴とする請求項1に記載の表示基板。   The display substrate according to claim 1, wherein the insulating film pattern includes an organic insulating film. 前記有機絶縁膜は各画素領域で前記開口部を定義することを特徴する請求項に記載の表示基板。 The display substrate according to claim 5 , wherein the organic insulating film defines the opening in each pixel region.
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