JP5317077B2 - ボールディメンジョンゲージ装置 - Google Patents
ボールディメンジョンゲージ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5317077B2 JP5317077B2 JP2006324784A JP2006324784A JP5317077B2 JP 5317077 B2 JP5317077 B2 JP 5317077B2 JP 2006324784 A JP2006324784 A JP 2006324784A JP 2006324784 A JP2006324784 A JP 2006324784A JP 5317077 B2 JP5317077 B2 JP 5317077B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sphere
- gauge
- dimensional coordinate
- coordinate measuring
- measuring machine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
これは、図18に示すように、金属製の円筒状ゲージ本体100の外周面両側に、この円筒状ゲージ本体100の軸線に平行に、且つ互いに180度離れた対向する位置に嵌合溝101を形成し、この嵌合溝101に対して、その表面に6個の球体102を固定した略直方体状の固定部材103を嵌合して構成されている。
ゲージ本体100は磁着性材料で形成され、固定部材103はゲージ本体100に磁着保持されるように永久磁石を備えて形成されている。このように構成することにより、球体102を固定した固定部材103を円筒状のゲージ本体100から分離した状態で運搬することができ、取り扱い易くしている。
また、コンピュータの演算処理により、3次元座標測定機の目盛の校正の他、直角度の評価を同時に行うことが可能となり、極めて簡便にこれらの作業を行うことができるようになる。
また、必要に応じ、球体の配置関係を改善し、各球体からの位置データが偏らないようにして、ゲージの全範囲に亘って3次元座標測定機を適切に評価することができるようにした点も目的とした。
上記ゲージ本体を、長方形状の外側面,該外側面と反対側の内側面,上記外側面及び内側面の長辺に連続する一対の接地面を有した一対の側板と、該両側板の内側面間に一体に架設され該両側板同士を連結するウェブとを備え全体が横断面H型になるブロック状に形成し、上記保持体を、上記ゲージ本体の両側板の外側面に夫々長手方向に沿って複数列設した構成としている。
これにより、ゲージ本体は横断面H型になり、保持体をゲージ本体の両側板の外側面に夫々長手方向に沿って複数列設したので、球体が左右2列に配置される。そのため、両側の列の球体について測定し、次に、180度回転させて同じ球体について同様の測定を行なう所謂「反転法」を用いることができ、値付けを確実にすることができる。反転法を用いることでゲージ球の真球度誤差や3次元座標測定機の幾何学的誤差が平均化され球の中心座標値のみが抽出できる。反転法で正確に値付けされたゲージを使用して3次元座標測定機の目盛の校正及び直角度の評価を行なうことが可能になる。
また、本発明のボールディメンジョンゲージ装置は、3次元座標測定機に設置されるゲージ本体と、該ゲージ本体に保持される複数の球体とを備えて構成され、上記3次元座標測定機の性能評価に用いるためのボールディメンジョンゲージ装置において、
上記球体を磁着性材料で形成するとともに、上記ゲージ本体に、永久磁石を備えて形成され上記球体を磁着保持する保持体を付設した構成としている。
そのため、球体は保持体に磁着されて保持されるので、従来のように球体を固定部材に一体に固定した場合に比較して、保持体と球体との間に無理な力が作用することがなく、即ち、球体をゲージ本体側との間の応力影響がほとんど作用しないようにして保持できるようになり、そのため、非装着時に本装置を搬送する際に生じる振動や衝撃に対して、また、接触型球体と非接触型球体との変更時においても、保持体と球体との関係に変化を生じさせにくくなり、標準値が変化する事態が極力防止され、寸法安定性の向上が図られる。
上記球体を磁着性材料で形成するとともに、該球体として、接触型3次元座標測定機に用いられる接触型球体と、非接触型3次元座標測定機に用いられる非接触型球体との二種類の球体を備え、
上記ゲージ本体に、永久磁石を備えて形成され上記接触型球体及び非接触型球体のうちから選択された何れかの球体を磁着保持する保持体を付設した構成としている。
即ち、従来の装置では、仮に、別途非接触型の測定原理に適した表面性状を有する球体を用意できても、球体自体を固定部材に固定したものを別途製造しなければならないので、製造が煩雑になり、また、上記の残留応力の影響も、接触型のものと異なることから、接触型の固定部材を装着したときと非接触型の固定部材を装着したときとで標準値にバラツキが生じ不安定になってしまい、寸法安定性に劣る。
本発明では、接触型球体と非接触型球体との変更時においては、球体は保持体に磁着されて保持されるので、従来のように球体を固定部材に一体に固定した場合に比較して、保持体と球体との間に無理な力が作用することがなく、即ち、球体をゲージ本体側との間の応力影響がほとんど作用しないようにして保持できるようになり、標準値が変化する事態が極力防止され、寸法安定性の向上が図られる。そのため、接触型球体を装着したときと非接触型球体を装着したときとで標準値のバラツキも低減される。
上記接触型球体においては、20<Nの範囲に設定し、
上記非接触型球体においては、N≦20の範囲に設定した構成としている。
この範囲で、測定安定性及び磁着再現性が優れ、寸法安定性の向上が図られる。
また、上記非接触型球体を、表面粗さがRa0.01μm以下,真球度が0.08μm以下の磁着性金属の表面に、ニッケル,クロムのうちの少なくとも一種をメッキ処理して構成したことが有効である。
より一層、測定安定性及び磁着再現性が優れ、寸法安定性の向上が図られる。
この場合、ゲージ本体は、横断面H型になる金属製ブロックなので、精度よい加工ができ、寸法安定性を容易に高めることができる。例えば、ゲージ本体として、市販のナイフエッジを使用することができる。ナイフエッジの材料はJIS.G−4401(炭素工具鋼鋼材)のSK5またはこれと同等以上のものとし、硬さは焼入れしたものではHv490(Hs65)〜Hv620(Hs75)に示すとおり残留応力除去のための熱処理が施され、経年変化が小さく寸法安定性に優れている。そのため、寸法安定性を容易に高めることができる。
ここで、位相がずれるとは、図4に示すように、両側板を通り且つゲージ本体の長手方向に直交し所定の間隔を隔てて設けられた複数の直線上に、一方の側板上の球体と他方の側板上の球体が順番に且つ交互に位置するように配置することである(以下「千鳥配置」ともいう)。隣接する直線間の各間隔は、夫々一定であってもよく、また、異なっていてもよい。
図15に示す配置、即ち、両側板を通り且つゲージ本体の長手方向に直交し所定の間隔を隔てて設けられた複数の直線上に、夫々一方の側板上の球体と他方の側板上の球体とを順番に設けた配置(以下「並列配置」ともいう)に比較して、千鳥配置することで3次元座標を実現するゲージが位置信号として与える球の位置が均等に配置され、位置信号の間隔を広げることができ、スケールを均等に評価することができる。
これにより、接触角の違いによるスタイラスチップの接触安定性及び曲面接触でのプロービング誤差が求められる。接触角の違いによるスタイラスチップの接触安定性は、接触角が小さくなることで不安定な接触による誤差が生じることが推測される。接触角は、図7に示すように、スタイラスチップと球の接触点の接線とプロービング方向とがなす角をプロービング時の接触角とすると、φ1インチ球とφ1/2インチ球ではプロービング方向一定かつ同一プロービング範囲とした場合では接触角が異なる。これは3次元座標測定機による自動測定でのプロービング動作のサブルーチン化や両側に障壁を持つ部分球測定などの場合に該当する。
λi:ゲージ片側の中心(xi,yi)の球体Gとこれに隣接する中心(xi+1,yi+1)の球体Gとの球間距離(mm)
これにより、支承台に該ゲージ本体を設置することにより球が3次元座標測定機の測定範囲内の3次元座標に空間配置される。空間配置された球を3次元座標測定機で測定するにはX,Y,Z軸の3軸同時稼働による測定行為が要求され、その場合、3次元座標測定での測定誤差が抽出できる。
また、球体を磁着保持する場合には、本装置の使用時には、球体を保持体に磁着し、非使用時には、球体を保持体から外して別々にしておくことができる。また、球体として、接触型3次元座標測定機に用いられる接触型球体と、非接触型3次元座標測定機に用いられる非接触型球体との二種類の球体を用意しておけば、接触型3次元座標測定機に使用する場合は、接触型球体を保持体に磁着して用い、非接触型3次元座標測定機に使用する場合は、非接触型球体を保持体に磁着して用いることができる。
そのため、球体は保持体に磁着されて保持されるので、従来のように球体を固定部材に一体に固定した場合に比較して、保持体と球体との間に無理な力が作用することがなく、即ち、球体をゲージ本体側との間の応力影響がほとんど作用しないようにして保持できるようになり、そのため、非装着時に本装置を搬送する際に生じる振動や衝撃に対して、また、接触型球体と非接触型球体との変更時においても、保持体と球体との関係に変化を生じさせにくくすることができ、標準値が変化する事態を極力防止して、寸法安定性の向上を図ることができる。
図1乃至図5には、本発明の実施の形態に係るボールディメンジョンゲージ装置が示されている。このボールディメンジョンゲージ装置は、図示外の3次元座標測定機(以下「CMM」という場合がある)の性能評価に用いるための装置であり、定盤上に載置した被測定物に対してプローブを接触させて座標値を読みとって計測する接触型3次元座標測定機と、レーザ変位計やCCDカメラを使用して被測定物の座標値を読みとって計測する非接触型3次元座標測定機との両者に用いることができる。
詳しくは、ゲージ本体1は、例えば、市販のナイフエッジが用いられる。ナイフエッジの材料はJIS.G−4401(炭素工具鋼鋼材)のSK5またはこれと同等以上のものとし、硬さは焼入れしたものでは、Hv490(Hs65)〜Hv620(Hs75)に示すとおり残留応力除去のための熱処理が施され、経年変化が小さく寸法安定性に優れている。そのため、寸法安定性を容易に高めることができる。
そして、接触型球体G(a)においては、三角測距方式の原理による波長500nm〜700nm(実施の形態では波長670nm)のレーザ変位式プローブで球体の表面を測定したとき、レーザ変位式プローブの利得設置値N(ノッチ)が、最小出力値0から最大出力値60を設定可能範囲とした場合に、20<Nの範囲になるようにその表面状態(輝度,色,反射率など総合的条件)が設定されている。
非接触型球体G(b)においては、三角測距方式の原理による波長500nm〜700nm(実施の形態では波長670nm)のレーザ変位式プローブで球体の表面を測定したとき、レーザ変位式プローブの利得設置値N(ノッチ)が、最小出力値0から最大出力値60を設定可能範囲とした場合に、N≦20の範囲になるようにその表面状態(輝度,色,反射率など総合的条件)が設定されている。
(1)ニッケルメッキの場合、
表面粗さがRa0.01μm以下,真球度が0.08μm以下の磁着性金属の表面に、無電解ニッケルメッキ(通称カニゼン,黄土色)を行なう。この場合、磁着性金属を35%塩酸に1分間浸水(65%は水)し、被膜のアンカー効果と非接触型プローブでの測定安定性をねらう。その後,無電解ニッケルメッキを行なう。
表面粗さがRa0.01μm以下,真球度が0.08μm以下の磁着性金属の表面に、クロムメッキを行なう。この場合、磁着性金属を35%塩酸に2分間浸水(65%は水)し、その後、クロム電気メッキを行なう。
詳しくは、図4に示すように、何れか1つの保持体10が保持する球体G(図では右端部の球体G(15))の中心(x0,y0)と、他の球体の中心(xi,yi)との距離Miが、下記の式(1)(2)を満たす関係になるように保持体10を設けている。
λi:ゲージ片側の中心(xi,yi)の球体Gとこれに隣接する中心(xi+1,yi+1)の球体Gとの球間距離(mm)
また、本発明の実施の形態に係るボールディメンジョンゲージ装置を用いて3次元座標測定機の評価を行なうときは以下のようにして行なう。
接触型3次元座標測定機は、プローブと呼ばれる位置検出器を有し、スタイラス先端の硬質材料で作られたチップが被測定物の表面に接触することでトリガ信号が出力される。これにより、トリガ信号出力時のチップ中心座標(X,Y,Z)が測定値として得られ、多点の組み合わせからコンピュータのソフトウエアにより幾何学的形状が算出される。
そして、接触型3次元座標測定機を作動させ、全ての球体Gについて、その中心位置を求めるための測定を行なう。このようにして求めた球体Gの列を0度側とする。次に、このゲージ本体1を180度回転させて同様の測定を行う。即ち、所謂「反転法」による測定を行なう。この一連の測定データから、球体Gの中心間距離を求め、予め測定を行っている各球体G間の距離と比較し、その結果から3次元座標測定機の目盛の校正を行うことができる。また、コンピュータの演算処理により、3次元座標測定機の目盛の校正の他、直角度の評価を同時に行うことが可能となり、極めて簡便にこれらの作業を行うことができるようになる。
更に、ゲージ本体1は、ナイフエッジを使用しているので、経年変化が小さく寸法安定性に優れていることから、より一層、寸法安定性の向上が図られる。
また、球体Gの大きさを異ならせた構成としているので、接触角の違いによるスタイラスチップの接触安定性及び曲面接触でのプロービング誤差が求められる。接触角の違いによるスタイラスチップの接触安定性は、接触角が小さくなることで不安定な接触による誤差が生じることが推測される。接触角は、図7に示すように、スタイラスチップと球の接触点の接線とプロービング方向とがなす角をプロービング時の接触角とすると、φ1インチ球とφ1/2インチ球ではプロービング方向一定かつ同一プロービング範囲とした場合では接触角が異なる。これは3次元座標測定機による自動測定でのプロービング動作のサブルーチン化や両側に障壁を持つ部分球測定などの場合に該当する。
非接触型3次元座標測定機は、レーザ変位計やCCDカメラを使用して被測定物の座標値を読みとって計測する。非接触型3次元座標測定機の場合には、先ず、ゲージの測定要素球である球体Gとして、非接触型球体G(b)を用い、ゲージ本体1の保持体10に磁着する。そして、非接触型3次元座標測定機の定盤に支承台20を載置するとともに、支承台20の支承板22上にゲージ本体1の設置面を接地させて支承させる。支承台20の支承板22は、ベース21に対して適宜の角度に傾斜させて固定する。
そして、非接触型3次元座標測定機を作動させ、上記接触型3次元座標測定機の場合と同様に、所謂「反転法」による測定を行なう。
(1)実施例1
母材としては、接触型プローブで使用する高精度ベアリング球を母材として用いた。母材を35%塩酸,65%水の溶液に2分間浸水して適度な表面荒れ性を生成し、表面被膜に対するアンカー効果と非接触型プローブによる測定安定性を同時に生み出す。次に、硬質クロムによる電気メッキを施す。この表面改質法により灰色で適度な散乱光を生じる非接触型プローブに適した表面性状が得られる。
母材としては、接触型プローブで使用する高精度ベアリング球を母材として用いた。母材を35%塩酸,65%水に1分間浸水して適度な表面荒れ性を生成し,表面被膜に対するアンカー効果と非接触型プローブによる測定安定性を同時に生み出す。次に、無電解ニッケルメッキを施す。この表面改質法により黄土色で適度な散乱光を生じる非接触型プローブに適した表面性状が得られる。鋼材質の高精度ベアリング球が母材となっているために磁性体であり非接触型プローブを使用する場合にはマグネット治具に磁性により取り付けてゲージを使用できる。マグネット治具に着脱することで表面性状が損傷する問題は本来の耐摩耗性の機能被膜である硬質クロムメッキと無電解ニッケルメッキの特長により解決できる。
このレーザ感度の利得を比較した結果,白色セラミック材質の基準球では利得が12ノッチの場合に、実施例1及び2では、15ノッチが得られ、散乱光の発生を主に設計された基準球と同等の利得となった。
球体Gの表面性状が影響する保持体10への取り付け取り外しの着脱再現性を検証するために「標示因子B:球の着脱」を3水準設定した。また、「標示因子C:測定の繰り返し」は表面性状が影響する繰り返し誤差を求めるために2水準設定した。特性値はφ1インチ球とφ1/2インチ球における測定要素球の中心座標のX座標,Y座標,Z座標,直径,真球度として、標示因子毎の標準偏差の工程平均を算出し、標示因子の影響の大きさを求めた。
ここで、標示因子Aの表面性状とは表面粗さを言う。標示因子Bの球体Gの着脱は一旦球体Gを保持体10から取り外し再度取り付け後測定を行う行為を言う。標示因子Cの測定の繰り返しは同一状態で球体Gに対し繰り返し測定を行う行為を言う。
また、精度検証実験におけるワーク座標系を図8に示す。尚、図9において、「CMM」は、3次元座標測定機をいう。
図10と図11に示すとおり、鏡面はZ座標値で2.1μm,黒塗りはZ座標値で4.3μmとなり球体Gの表面粗さは小さいが、非接触型プローブでの感度特性が悪いため正確な測定が出来ないことが原因と推測した。図12と図13からイオンプレートと無電解メッキの場合に「標示因子C:測定の繰り返し」でφ1インチ球の球径以外の特性値で標準偏差の平均値が1μm未満となり良好な結果であった。「標示因子B:球の着脱」では無電解メッキの場合でφ1/2インチ球でのZ座標値の標準偏差の平均値は1.13μmが最大値となり、他の特性値は1μm未満となった.これは、接触型プローブの場合よりも「標示因子B:球の着脱」の標準偏差は小さく良好な結果である。
図4に示すように、実施例は、千鳥配置したものであり、図15に示すように、比較例は、並列配置としたものである。
実施例において、図4に示すように、何れか1つの保持体が保持する球体G(図では右端部の球体G(15))の中心(x0,y0)と、他の球体の中心(xi,yi)との距離Miが、下記の式(1)(2)を満たす関係になるように上記保持体を設けている。
λi:ゲージ片側の中心(xi,yi)の球体Gとこれに隣接する中心(xi+1,yi+1)の球体Gとの球間距離(mm)
一方、実施例では、球体Gを交互にずらし千鳥配置することで信号の間隔を広げることができる。
即ち、本実施例では、比較例と比較すると信号の間隔が広くなり3次元座標測定機のスケールを均等に評価することができる。
尚また、保持体10は、永久磁石11を内部に備えているが必ずしもこれに限定されるものではなく、保持体10自体を永久磁石で構成してもよい。
2 側板
3 ウェブ
G 球体
G(a) 接触型球体
G(b) 非接触型球体
10 保持体
11 永久磁石
12 凹部
20 支承台
21 ベース
22 支承板
23 位置決め部材
Claims (10)
- 3次元座標測定機の定盤上に設置されるゲージ本体と、該ゲージ本体に保持される複数の球体と、上記ゲージ本体に付設され上記球体を保持する保持体とを備えて構成され、上記3次元座標測定機の性能評価に用いるためのボールディメンジョンゲージ装置において、
上記ゲージ本体を、長方形状の外側面,該外側面と反対側の内側面,上記外側面及び内側面の長辺に連続する一対の接地面を有した一対の側板と、該両側板の内側面間に一体に架設され該両側板同士を連結するウェブとを備え全体が横断面H型になるブロック状に形成し、
上記保持体を、上記ゲージ本体の両側板の外側面に夫々長手方向に沿って複数列設したことを特徴とするボールディメンジョンゲージ装置。 - 3次元座標測定機の定盤上に設置されるゲージ本体と、該ゲージ本体に保持される複数の球体とを備えて構成され、上記3次元座標測定機の性能評価に用いるためのボールディメンジョンゲージ装置において、
上記球体を磁着性材料で形成するとともに、上記ゲージ本体に、永久磁石を備えて形成され上記球体を磁着保持する保持体を付設し、
上記ゲージ本体を、長方形状の外側面,該外側面と反対側の内側面,上記外側面及び内側面の長辺に連続する一対の接地面を有した一対の側板と、該両側板の内側面間に一体に架設され該両側板同士を連結するウェブとを備え全体が横断面H型になる金属製ブロック状に形成し、
上記保持体を、上記ゲージ本体の両側板の外側面に夫々長手方向に沿って複数列設したことを特徴とするボールディメンジョンゲージ装置。 - 3次元座標測定機に設置されるゲージ本体と、該ゲージ本体に保持される複数の球体とを備えて構成され、上記3次元座標測定機の性能評価に用いるためのボールディメンジョンゲージ装置において、
上記球体を磁着性材料で形成するとともに、該球体として、接触型3次元座標測定機に用いられる接触型球体と、非接触型3次元座標測定機に用いられる非接触型球体との二種類の球体を備え、
上記ゲージ本体に、永久磁石を備えて形成され上記接触型球体及び非接触型球体のうちから選択された何れかの球体を磁着保持する保持体を付設し、
上記ゲージ本体を、長方形状の外側面,該外側面と反対側の内側面,上記外側面及び内側面の長辺に連続する一対の接地面を有した一対の側板と、該両側板の内側面間に一体に架設され該両側板同士を連結するウェブとを備え全体が横断面H型になる金属製ブロック状に形成し、
上記保持体を、上記ゲージ本体の両側板の外側面に夫々長手方向に沿って複数列設したことを特徴とするボールディメンジョンゲージ装置。 - 三角測距方式の原理による波長500nm〜700nmのレーザ変位式プローブで球体の表面を測定したとき、レーザ変位式プローブの利得設置値N(ノッチ)が、最小出力値0から最大出力値60を設定可能範囲とした場合に、
上記接触型球体においては、20<Nの範囲に設定し、
上記非接触型球体においては、N≦20の範囲に設定したことを特徴とする請求項3記載のボールディメンジョンゲージ装置。 - 上記接触型球体を、表面が鏡面であり、表面粗さがRa0.01μm以下,真球度が0.08μm以下の磁着性金属のみで形成したことを特徴とする請求項4記載のボールディメンジョンゲージ装置。
- 上記非接触型球体を、表面粗さがRa0.01μm以下,真球度が0.08μm以下の磁着性金属の表面に、ニッケル,クロムのうちの少なくとも一種をメッキ処理して構成したことを特徴とする請求項4または5記載のボールディメンジョンゲージ装置。
- 上記一方の側板の各保持体が保持する球体の列と、上記他方の側板の各保持体が保持する球体の列との位相がずれるように、各保持体を設けたことを特徴とする請求項1乃至6何れかに記載のボールディメンジョンゲージ装置。
- 上記球体の大きさを異ならせたことを特徴とする請求項1乃至7何れかに記載のボールディメンジョンゲージ装置。
- 上記何れか1つの保持体が保持する球体Gの中心(x0,y0)と、他の球体の中心(xi,yi)との距離Miが、下記の式(1)(2)を満たす関係になるように上記保持体を設けたことを特徴とする請求項1乃至8何れかに記載のボールディメンジョンゲージ装置。
λi:ゲージ片側の中心(xi,yi)の球体Gとこれに隣接する中心(xi+1,yi+1)の球体Gとの球間距離(mm) - 上記3次元座標測定機の定盤に載置され上記ゲージ本体の長手方向が上記3次元座標測定機の定盤面に対して傾斜するように該ゲージ本体の接地面を支承する支承台を備えたことを特徴とする請求項1乃至9何れかに記載のボールディメンジョンゲージ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006324784A JP5317077B2 (ja) | 2006-11-30 | 2006-11-30 | ボールディメンジョンゲージ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006324784A JP5317077B2 (ja) | 2006-11-30 | 2006-11-30 | ボールディメンジョンゲージ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008139122A JP2008139122A (ja) | 2008-06-19 |
JP5317077B2 true JP5317077B2 (ja) | 2013-10-16 |
Family
ID=39600754
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006324784A Expired - Fee Related JP5317077B2 (ja) | 2006-11-30 | 2006-11-30 | ボールディメンジョンゲージ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5317077B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012058057A (ja) * | 2010-09-08 | 2012-03-22 | Tresa Co Ltd | 三次元座標測定機用ゲージ及び三次元座標測定機の精度評価方法 |
JP6144152B2 (ja) * | 2013-08-09 | 2017-06-07 | 株式会社ミツトヨ | 支持台 |
JP6960893B2 (ja) * | 2018-09-19 | 2021-11-05 | 株式会社キャプテン インダストリーズ | 工作機械の計測誤差評価方法及びプログラム |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4763507A (en) * | 1987-05-11 | 1988-08-16 | Bobier Tool Supply, Inc. | Adjustable ball bar gauge for coordinate measuring machine |
GB9401692D0 (en) * | 1994-01-28 | 1994-03-23 | Renishaw Plc | Performing measurement or calibration on positioning machines |
JP3210963B2 (ja) * | 1999-06-18 | 2001-09-25 | 経済産業省産業技術総合研究所長 | ボールステップゲージ |
JP2001330428A (ja) * | 2000-05-23 | 2001-11-30 | Natl Inst Of Advanced Industrial Science & Technology Meti | 3次元測定機の測定誤差評価方法及び3次元測定機用ゲージ |
JP3427376B2 (ja) * | 2000-07-27 | 2003-07-14 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 組み合わせ型校正用ゲージ |
JP3993784B2 (ja) * | 2002-04-09 | 2007-10-17 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 多次元座標測定機の性能評価方法、多次元座標測定機の校正用ゲージ及び校正用ゲージの治具 |
DE10350861A1 (de) * | 2003-10-31 | 2005-06-02 | Steinbichler Optotechnik Gmbh | Verfahren zur Kalibrierung eines 3D-Meßgerätes |
-
2006
- 2006-11-30 JP JP2006324784A patent/JP5317077B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008139122A (ja) | 2008-06-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100616483B1 (ko) | 3차원 좌표 측정기용 게이지 | |
EP1225423B1 (en) | Method for evaluating measurement error in coordinate measuring machine and gauge for coordinate measuring machine | |
US20160138911A1 (en) | Calibration of a contact probe | |
US11040425B2 (en) | On-machine inspection indicator setup block | |
JP2748702B2 (ja) | 三次元測定機の誤差補正方法 | |
Osawa et al. | Multiple orientation technique for the calibration of cylindrical workpieces on CMMs | |
US5134781A (en) | Geometric simulator for coordinate measuring machine | |
JP5317077B2 (ja) | ボールディメンジョンゲージ装置 | |
US5109609A (en) | Ball-point surface checking device and method | |
US20080123110A1 (en) | Multifaceted digitizer adapter | |
JP4689988B2 (ja) | 表面性状測定機の校正標本 | |
JP5667431B2 (ja) | 三次元座標測定機簡易検査用ゲージ | |
Leach et al. | Dimensional metrology | |
CN218864996U (zh) | 一种用于检验3d测量精度的装置 | |
JPH0296609A (ja) | V型溝の検査方法及び加工方法 | |
Hansen et al. | Performance verification of 3D printers | |
CN215036720U (zh) | 可调式测量轴夹持定位工装 | |
JP2006177713A (ja) | 形状測定機の検査・校正アーティファクト | |
JP2020027087A (ja) | 校正ゲージ及び校正方法 | |
Khan et al. | Squareness perpendicularity measuring techniques in multiaxis machine tools | |
Schuetz et al. | Calibrating Standard Threaded Gages | |
CN216745779U (zh) | 一种螺纹孔位置度测量检具 | |
Plowucha et al. | State of the art in evaluation of uncertainty of coordinate measurements | |
CN115782178A (zh) | 一种熔融沉积3d打印品的综合测试方法及检验量规 | |
CN111981958A (zh) | 一种深度千分尺检定专用检具及检定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091022 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120717 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120914 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130611 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130703 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |