JP5299647B2 - Exhaust gas treatment equipment - Google Patents
Exhaust gas treatment equipment Download PDFInfo
- Publication number
- JP5299647B2 JP5299647B2 JP2010090246A JP2010090246A JP5299647B2 JP 5299647 B2 JP5299647 B2 JP 5299647B2 JP 2010090246 A JP2010090246 A JP 2010090246A JP 2010090246 A JP2010090246 A JP 2010090246A JP 5299647 B2 JP5299647 B2 JP 5299647B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust gas
- electron beam
- sulfite
- containing nitrogen
- denitration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
Description
本発明は、窒素酸化物NOxを含む排ガスに電子線を照射してNOxを無害化する処理装置に関するものである。 The present invention relates to a processing apparatus for detoxifying NOx by irradiating an exhaust gas containing nitrogen oxides NOx with an electron beam.
従来、石炭火力発電やボイラ等のNOを主成分とする窒素酸化物NOx(NO、NO2)を含む排ガスの脱硝方法は、多くの方法が開発されているが排ガス温度によって適用可能な方法が異なる。800〜1000℃の高温排ガスでは排ガス中にアンモニアを噴霧して窒素と水に分解する無触媒脱硝法が用いられる。排ガス温度300〜400℃ではアンモニアを噴霧した後、チタンバナジウム系の触媒で窒素と水に分解する選択的接触還元法(SCR)が良く知られている。さらに低温の50〜100℃の排ガスにおいては、アンモニアを噴射後に電子線を照射しNOxを硝安(NH4NO3)として分離回収する方法が知られている(特許文献1)。 Conventionally, many methods of denitration of exhaust gas containing nitrogen oxide NOx (NO, NO 2 ) mainly containing NO such as coal-fired power generation and boilers have been developed. Different. For high-temperature exhaust gas at 800 to 1000 ° C., a non-catalytic denitration method in which ammonia is sprayed into the exhaust gas and decomposed into nitrogen and water is used. A selective catalytic reduction method (SCR) in which ammonia is sprayed at an exhaust gas temperature of 300 to 400 ° C. and then decomposed into nitrogen and water with a titanium vanadium catalyst is well known. Furthermore, in a low temperature exhaust gas of 50 to 100 ° C., a method of separating and recovering NOx as ammonium nitrate (NH 4 NO 3 ) by irradiating an electron beam after injecting ammonia is known (Patent Document 1).
100℃以下の低排ガス温度で還元剤としてアンモニア以外を用いる方法としては、パルスコロナ放電や誘電体バリア放電などの低温(あるいは非平衡)プラズマを排ガス中で発生させNOをNO2へ酸化させた後、亜硫酸ナトリウム、硫化ナトリウムなどの亜硫酸塩を含む水溶液を用いたスクラバにおいて吸収、還元する方法(特許文献2)が知られている。また、水酸化ナトリウムによる脱硫方法により生成された亜硫酸ナトリウムを用いる方法(特許文献3)も提案されている。あるいは、大気を取り込み低温プラズマ放電によりオゾンを発生させて、そのオゾンを排ガス中に吹き込みNOをNO2へ酸化させる方法が、古くから提案されている(例えば特許文献4)。 As a method of using other than ammonia as a reducing agent at a low exhaust gas temperature of 100 ° C. or lower, low temperature (or non-equilibrium) plasma such as pulse corona discharge or dielectric barrier discharge is generated in exhaust gas to oxidize NO to NO 2 . Thereafter, a method of absorbing and reducing in a scrubber using an aqueous solution containing a sulfite such as sodium sulfite or sodium sulfide is known (Patent Document 2). A method using sodium sulfite produced by a desulfurization method using sodium hydroxide has also been proposed (Patent Document 3). Alternatively, a method has been proposed for a long time, in which the atmosphere is taken in, ozone is generated by low-temperature plasma discharge, the ozone is blown into the exhaust gas, and NO is oxidized to NO 2 (for example, Patent Document 4).
近年、船舶のディーゼル機関に対するNOx及びSOx排出規制強化の機運が高まっており、これまでのエンジンで対応可能な小幅削減に対し今後の大幅な排出削減においては外付けの脱硝、脱硫装置の必要性に迫られている。特に外洋を航行する大型舶用ディーゼル機関においては、250℃前後の低排ガス温度、高NOxかつ高SOx濃度、アンモニア補給、貯蔵の危険性などのため、従来のアンモニアSCR法を適用することが困難である。特許文献1に記載の電子線照射法は、排ガス温度の問題はないが設備規模、コストと共にアンモニアの問題、さらに肥料として再利用可能とされる硝安、硫安は火薬原料であり、安全性に問題がある。特許文献2、3記載の低温プラズマ法では、大型の装置が困難な上、100〜300ppm程度のNOx濃度であれば、NOを80%以上NO2に酸化させることができるが、500ppm以上ではNO2への酸化率は50%程度で飽和し平衡状態となるため通常の必要脱硝率80%を得ることが出来ない問題があった。特許文献4記載の酸化力の強いオゾンでは高濃度NOxにおいても処理可能であるが、オゾンそのものの生成の電力効率が50g/kWhと悪く、処理するための電力効率が悪い、という問題があった。
In recent years, NOx and SOx emission regulations have been strengthened for ship diesel engines, and the need for external denitration and desulfurization equipment is necessary for future significant emission reductions compared to the small reductions that can be handled by conventional engines. It is pressed for. Particularly in large marine diesel engines that navigate the open ocean, it is difficult to apply the conventional ammonia SCR method due to low exhaust gas temperature around 250 ° C, high NOx and high SOx concentration, ammonia replenishment, storage risk, etc. is there. In the electron beam irradiation method described in Patent Document 1, there is no problem of exhaust gas temperature, but there is a problem of ammonia in addition to the scale of equipment and cost, and ammonium nitrate and ammonium sulfate that can be reused as fertilizer are explosive raw materials, and there are problems with safety. There is. In the low-temperature plasma method described in
本発明者は、NOxの効率のよい処理装置を開発するべく鋭意検討の結果、排ガスを亜硫酸ナトリウムや亜硫酸マグネシウム等の亜硫酸塩系の還元剤が混合された水分を含む還元雰囲気にした状態で、電子線を排ガスへ直接照射することにより、各種ラジカルを用いてNOの分解あるいは一旦NO2への酸化を経てNO2からN2への分解が同時に進行し、NOxを非常に効率よくN2へ分解しかつ脱硝率80%を超えることができることを見出した。 As a result of intensive studies to develop an efficient treatment device for NOx, the present inventor made exhaust gas in a reducing atmosphere containing water mixed with a sulfite-based reducing agent such as sodium sulfite or magnesium sulfite. by irradiating an electron beam directly to the exhaust gas, the NO 2 via oxidation to decomposition or once NO 2 of NO by using various radical decomposition proceeds simultaneously to N 2, NOx and the very efficiently N 2 It was found that it can be decomposed and the denitration rate can exceed 80%.
従って、本発明は、このような方法に使用される装置を提供するものであり、窒素酸化物を含有する排ガスの処理装置であって、電界放出型素子よりなる電子放出部が形成された陰極と、陽極と、電子線取出窓と、電子線を発生させる真空チャンバーとを備えた電子線照射装置と、前記電子線取出窓を介して前記電子線照射装置が接続された前記排ガスの流路と、前記排ガスの流路に亜硫酸塩を供給する装置を有する脱硝装置を備えたことを特徴とする窒素酸化物を含有する排ガスの処理装置に関するものである。 Accordingly, the present invention provides an apparatus for use in such a method, which is an apparatus for treating an exhaust gas containing nitrogen oxides, in which an electron emission portion comprising a field emission element is formed. An electron beam irradiation device comprising an anode, an electron beam extraction window, and a vacuum chamber for generating an electron beam, and a flow path for the exhaust gas to which the electron beam irradiation device is connected via the electron beam extraction window And a denitration apparatus having a device for supplying sulfite to the exhaust gas flow path. The present invention relates to an exhaust gas treatment apparatus containing nitrogen oxides.
本発明では、低エネルギーの一様な電子線を電子線照射装置で発生させ、この電子線により窒素分子と酸素分子を解離させNラジカルとOラジカルを高効率で生成させる。このNラジカルによりNOをN2とO2に直接分解すると共に、OラジカルによりNOをNO2に酸化した後、亜硫酸塩系の還元剤によりN2に還元分解させている。また亜硫酸塩は、逆にOラジカル及び酸素濃度を局所的に低下させNOの直接分解反応を促進させていると考えられ、還元作用を持つものであれば良く、チオ硫酸ナトリウムなどのチオ硫酸塩、亜硫酸水素ナトリウム、硫化ナトリウム等を用いることもできる。 In the present invention, a low-energy uniform electron beam is generated by an electron beam irradiation apparatus, and nitrogen molecules and oxygen molecules are dissociated by this electron beam to generate N radicals and O radicals with high efficiency. NO is directly decomposed into N 2 and O 2 by the N radical, and NO is oxidized to NO 2 by the O radical, and then reduced and decomposed to N 2 by a sulfite-based reducing agent. On the other hand, the sulfite is considered to promote the direct decomposition reaction of NO by locally reducing the O radical and oxygen concentration. Any sulfite such as sodium thiosulfate may be used. Sodium bisulfite, sodium sulfide and the like can also be used.
本発明の装置は、従来のものと異なり、危険性の高いアンモニアが不要であり、生成物も従来の危険性の高い硝安ではなく、硫酸塩であるため安全性が高く、環境への影響も少ないため河川や海洋にも廃棄が可能である。排ガス中へ低エネルギーの一様で高密度の電子線を連続的に照射することにより、熱反応等による不要なラジカルを生成を抑制するため、排ガス中のNOxを効率よく分解できる。また、従来に比べ低エネルギーのため、装置の放射線遮蔽も簡易で設備を小さくすることができる。 Unlike the conventional device, the device of the present invention does not require high-risk ammonia, and the product is not a conventional high-risk ammonium nitrate, but is a sulfate, so it is highly safe and has an impact on the environment. Because it is few, it can be disposed of in rivers and oceans. By continuously irradiating the exhaust gas with a uniform and high-density electron beam of low energy, generation of unnecessary radicals due to a thermal reaction or the like is suppressed, so that NOx in the exhaust gas can be efficiently decomposed. In addition, since the energy is lower than in the prior art, the radiation shielding of the apparatus is simple and the equipment can be made small.
本発明の装置は、陰極と、陽極と、チャンバーとそれに取着された電子線取出窓と、該電子線取出窓の外側の排ガスの流路に還元剤を供給する装置よりなる。 The apparatus of the present invention comprises a cathode, an anode, a chamber, an electron beam extraction window attached to the chamber, and an apparatus for supplying a reducing agent to the exhaust gas flow path outside the electron beam extraction window.
陰極は、導電性の基台上に電子放出部が形成されているものである。 The cathode has an electron emission portion formed on a conductive base.
基台は導電性のものである。これは、ステンレス鋼やFe−Ni系合金等のNi合金、Al、Cu、W、Ti、Co、Cr、Mo、Nb、Mn、Si等の金属およびその合金製のもののほか、ガラスやセラミック等の表面に金属や導電性半導体を蒸着等により被着させたもの等がある。半導体の例としては、導電性の良好なITO(錫ドープ酸化インジウム)、ZnO、SnO2、TiO2などのn型酸化物半導体等を挙げることができる。基台の形状や大きさは排ガス処理装置の形状等に応じて定まるが、通常は、基本形状が円形、4角形、長方形等の板状、等である。 The base is conductive. This includes Ni alloys such as stainless steel and Fe-Ni alloys, metals such as Al, Cu, W, Ti, Co, Cr, Mo, Nb, Mn, Si, and alloys thereof, as well as glass and ceramics. There are those in which a metal or a conductive semiconductor is deposited on the surface by vapor deposition or the like. Examples of semiconductors include n-type oxide semiconductors such as ITO (tin-doped indium oxide), ZnO, SnO 2 , and TiO 2 with good conductivity. The shape and size of the base are determined according to the shape of the exhaust gas treatment device, etc., but the basic shape is usually a plate shape such as a circle, a quadrangle, or a rectangle.
カーボンナノチューブ集合体を付着させる面は鏡面加工あるいは脱脂処理、酸化膜除去たとえば熱処理イオンボンバート等の前処理を施すことができる。 The surface on which the carbon nanotube aggregate is attached can be subjected to a pre-treatment such as mirror finishing or degreasing treatment, oxide film removal such as heat treatment ion bombardment.
電子放出部としては、高電圧、高電流出力条件での長寿命特性が必要であり、従来よりも低電圧で照射量を稼げる点で、従来の熱陰極型ではなく、加熱電源が不要なカーボンナノチューブ(CNT)、スピントなどの電界放出型冷陰極が効果的である。カーボンナノチューブによる電子放出部は、金属基板の上にCNTを成膜し、起毛処理を施したものが特に好ましい。CNTとしては、最も許容電流密度が高く耐久性の優れたアーク放電法により製造された多層CNTが最適である。CNTを金属基板へ成膜する方法は、スプレー堆積法、スクリーン印刷法、電気泳動法などの公知の方法を用いることができるが、CNT分散剤、増粘剤等の化学物質や樹脂等の不純物がなくCNTと基板との高い接合性を有することが電子放出能の耐久性には好ましい。CNTと金属微粒子を混合したものを成膜し、熱処理により接合性を持たせる方法や、真空中の電子ビーム照射により接合性を高める方法等がある。 The electron emission part must have long life characteristics under high voltage and high current output conditions, and it can produce a higher dose at a lower voltage than conventional ones. Field emission cold cathodes such as nanotubes (CNT) and spint are effective. The electron emission portion made of carbon nanotubes is particularly preferably one obtained by forming a CNT film on a metal substrate and performing a raising treatment. As the CNT, a multilayer CNT manufactured by an arc discharge method having the highest allowable current density and excellent durability is most suitable. Known methods such as spray deposition, screen printing, and electrophoresis can be used as a method for forming a film on a metal substrate. However, chemical substances such as CNT dispersants and thickeners, and impurities such as resins. It is preferable for durability of the electron emission ability to have a high bonding property between the CNT and the substrate. There are a method of forming a film of a mixture of CNT and metal fine particles and imparting the bonding property by heat treatment, a method of increasing the bonding property by electron beam irradiation in vacuum, and the like.
CNT膜に電子放出性を発揮させるための起毛処理方法としては、極短パルスの高エネルギー密度のレーザ照射法や粘着テープ等による引剥し起毛法などを用いることができる。また、テープ状のCNTを用いた場合には、軟らかい金属を蒸着させた基板にCNTテープを圧着後引剥し、固定と起毛処理を同時に行う方法を用いてもよい。 As a raising treatment method for causing the CNT film to exhibit electron emission, an ultrashort pulse high energy density laser irradiation method, a peeling raising method using an adhesive tape, or the like can be used. When tape-like CNTs are used, a method may be used in which the CNT tape is pressure-bonded to a substrate on which a soft metal is vapor-deposited and then peeled off, and fixing and raising are performed simultaneously.
電子放出部の平面形状は、特に限定されないが、例えば円形、正方形、長方形などであり、大きさは、直径(円でない場合は、面積を円に換算したもの)が1〜100mm程度である。 The planar shape of the electron emission portion is not particularly limited, but is, for example, a circle, a square, or a rectangle, and the size is about 1 to 100 mm in diameter (in the case of not being a circle, the area is converted to a circle).
陽極は、電子線を発生させる真空チャンバー内に設けられるが、通常は、排ガスの流路に電子線を送るために真空チャンバーに取付けられる電子線取出窓を陽極とすればよい。 The anode is provided in a vacuum chamber that generates an electron beam. Usually, an electron beam extraction window attached to the vacuum chamber in order to send the electron beam to the exhaust gas flow path may be used as the anode.
電子線取出窓は、真空チャンバーの真空を維持し電子線を透過させ易くするために軽く高強度である必要があり、数ミクロン〜数十ミクロンのチタン、アルミ、シリコン、ベリリウム、カーボンなどの低密度かつ高強度材の薄膜が用いられる。その外側のフレームや真空チャンバーにはニッケル合金やステンレス鋼などが用いられ、電子銃部と陽極間の電気絶縁のための材料はセラミックやガラス系材料が用いられる。 The electron beam extraction window needs to be light and strong to maintain the vacuum of the vacuum chamber and facilitate the transmission of the electron beam, and is low in the order of several microns to tens of microns of titanium, aluminum, silicon, beryllium, carbon, etc. A thin film of a high density material is used. A nickel alloy, stainless steel, or the like is used for the outer frame or vacuum chamber, and a ceramic or glass-based material is used for electrical insulation between the electron gun portion and the anode.
真空チャンバーは、電子線を発生させ加速するところで、高真空にする程好ましい。好ましくは10−3Pa以下、さらに好ましくは10−5Paレベルの真空度が良い。これは、酸素を含むガスが存在した場合、酸素とCNTとが反応して消耗、劣化するため、電子放出性能の寿命が短くなるためである。内部を真空状態に保持するための方法として、真空ポンプなどの付設や真空管技術を用いた真空封止管とする方法がある。 The vacuum chamber is preferably as high as possible in order to generate and accelerate an electron beam. The degree of vacuum is preferably 10 −3 Pa or less, and more preferably 10 −5 Pa level. This is because, when a gas containing oxygen is present, oxygen and CNT react with each other to be consumed and deteriorated, so that the lifetime of the electron emission performance is shortened. As a method for maintaining the inside in a vacuum state, there are a method of providing a vacuum pump or the like and a vacuum sealing tube using a vacuum tube technique.
このような電子線照射装置を取付ける排ガスの流路の形状は問わないが、電子の加速エネルギーで定まる電子線のガス中の透過距離(飛程)によって制限され、通常の円筒形の場合、全円周からの電子線を照射するとして直径は、100cm程度が限界である。それ以上の断面積の流路の場合は、形状を長方形型や複数に分割するなどの方法が必要である。 The shape of the flow path of the exhaust gas for mounting such an electron beam irradiation device is not limited, but is limited by the transmission distance (range) of the electron beam in the gas determined by the acceleration energy of electrons. The diameter of the electron beam from the circumference is limited to about 100 cm. In the case of a channel having a larger cross-sectional area, a method such as dividing the shape into a rectangular shape or a plurality of shapes is required.
この排ガス通路に取付けられる還元剤供給装置は、電子線照射部に還元剤を供給できるように設けられる。還元剤の種類は問わないが、硫黄系のものが好ましく、亜硫酸塩、チオ硫酸塩、硫化物などを例として挙げることができる。亜硫酸塩の例としては、亜硫酸ナトリウム、亜硫酸水素ナトリウム、亜硫酸マグネシウムなど、チオ硫酸塩の例としてはチオ硫酸ナトリウムなど、硫化物の例としては硫化ナトリウムなどを挙げることができる。排ガスが硫黄酸化物などを含んでいる場合には、これを脱硫してこれらの化合物を生成させて還元剤として利用することもできる。 The reducing agent supply device attached to the exhaust gas passage is provided so as to supply the reducing agent to the electron beam irradiation unit. Although the kind of reducing agent is not ask | required, a sulfur type thing is preferable and can mention a sulfite, a thiosulfate, sulfide etc. as an example. Examples of the sulfite include sodium sulfite, sodium hydrogen sulfite, and magnesium sulfite. Examples of the thiosulfate include sodium thiosulfate. Examples of the sulfide include sodium sulfide. When the exhaust gas contains sulfur oxides or the like, it can be desulfurized to produce these compounds and used as a reducing agent.
このような還元剤を供給する装置は、排ガス中へ還元剤を一様に分散させるものであれば何でもよく、例えば水溶液にして排ガス中へ噴霧する方法やスラリー状にして、散布する方法でも良い。あるいはスラリーや固体状態で電子ビーム照射領域に配置し、排ガス中を透過してきた電子ビームにより蒸発や分散させる方法でも良い。 The apparatus for supplying such a reducing agent may be anything as long as it uniformly disperses the reducing agent in the exhaust gas. For example, a method of spraying it into the exhaust gas or spraying it into the exhaust gas may be used. . Alternatively, a method of disposing in an electron beam irradiation region in a slurry or solid state and evaporating or dispersing with an electron beam transmitted through exhaust gas may be used.
本発明の装置を用いて排ガスの処理を実施するに当っては、電子を加速する電圧は、30kV以上、好ましくは50kV以上、300kV以下、好ましくは150kV以下とすることが好ましい。これは、電子を薄膜の取り出し窓を通して大気中へ取り出せる実用上の最低電圧と、X線遮蔽、電源等の設備コストからの上限電圧として定められたものである。加速電圧は低いほど電子線の排ガス中を透過する距離(電子の飛程あるいは行程)が短くなり、照射密度が高くなり好ましい。しかし、実用では排ガス流量や管径に制約があるため、必要な飛程、取り出し窓の損失、強度などより最適な加速条件を求めなければならない。 In the treatment of exhaust gas using the apparatus of the present invention, the voltage for accelerating electrons is preferably 30 kV or more, preferably 50 kV or more, 300 kV or less, preferably 150 kV or less. This is defined as a practical minimum voltage at which electrons can be extracted into the atmosphere through a thin film extraction window, and an upper limit voltage from equipment costs such as X-ray shielding and power supply. The lower the acceleration voltage, the shorter the distance (electron range or stroke) of the electron beam that passes through the exhaust gas, and the higher the irradiation density, the better. However, since there are restrictions on the exhaust gas flow rate and pipe diameter in practical use, it is necessary to obtain optimum acceleration conditions from the necessary range, loss of extraction window, strength, and the like.
電子放出部の電流密度は、0.1mA/cm2以上、好ましくは0.3mA/cm2以上、66mA/cm2以下、好ましくは33mA/cm2以下とすることが好ましい。これは、上記の電圧範囲における取り出し窓での熱損失から電流密度が制限され、電子放出源の電流密度上限値を設定したものである。また、電界放出素子一個当り(CNTでは電子放出している1本)の放出電流が1nA〜100nA(直径10nmの多層CNTとすると1.27kA/cm2〜1.27MA/cm2)で、その有効放出本数が1cm2当り1×103〜1×108の範囲にあることが好ましい。 The current density of the electron emission portion, 0.1 mA / cm 2 or more, preferably 0.3 mA / cm 2 or more, 66 mA / cm 2 or less, preferably to 33 mA / cm 2 or less. This is because the current density is limited by the heat loss at the extraction window in the above voltage range, and the upper limit value of the current density of the electron emission source is set. In addition, the emission current per field emission device (one electron emission in the CNT) is 1 nA to 100 nA (if the multi-wall CNT having a diameter of 10 nm is 1.27 kA / cm 2 to 1.27 MA / cm 2 ), It is preferable that the number of effective releases is in the range of 1 × 10 3 to 1 × 10 8 per 1 cm 2 .
本発明で処理する排ガスが硫黄酸化物を含んでいる場合には、脱硫装置を併設することができる。脱硫装置は、石灰・石膏法や活性炭吸収法など湿式、半乾式、乾式を問わずどのプロセスでも適用可能であるが、本発明による脱硝処理は低い排ガス温度で可能であり、通常の脱硝後の脱硫ではなく、スクラバ等による湿式装置による脱硫後に脱硝することが出来る。また、脱硫時にPM粒子やSOxが除去されているため脱硝プロセスへの影響が少なく好ましい。本発明で使用される還元剤が副生物と生成される水酸化ナトリウム法、水酸化マグネシウム法や船舶機関の場合は海上での水、薬剤の貯蔵、補給に制約があり海水法との併用も適している。 When the exhaust gas to be treated according to the present invention contains sulfur oxide, a desulfurization apparatus can be provided. The desulfurization equipment can be applied to any process such as lime / gypsum method or activated carbon absorption method, whether wet, semi-dry, or dry, but the denitration treatment according to the present invention is possible at a low exhaust gas temperature. Rather than desulfurization, denitration can be performed after desulfurization by a wet apparatus such as a scrubber. Further, since PM particles and SOx are removed at the time of desulfurization, there is little influence on the denitration process, which is preferable. In the case of the sodium hydroxide method, magnesium hydroxide method and ship engines where the reducing agent used in the present invention is produced as a by-product, there are restrictions on the storage and replenishment of water and chemicals at sea, and combined use with the seawater method is also possible Is suitable.
ここで水酸化ナトリウム法及び水酸化マグネシウム法は、水酸化物の水溶液やスラリーを排ガス中へ散布し、SOxを亜硫酸塩および硫酸塩として除去する方法であり、水溶液あるいは水の貯蔵、供給が必要である。 Here, the sodium hydroxide method and the magnesium hydroxide method are methods in which an aqueous solution or slurry of hydroxide is sprayed into exhaust gas and SOx is removed as sulfite and sulfate, and storage and supply of the aqueous solution or water is required. It is.
海水法とは排ガス中に海水を噴霧しSOxを海水に吸収し、その吸収液を海水で希釈して低pH、低COD(化学的酸素要求量)化し海洋に放流するシンプルな方法である。海水を取水するだけで薬剤や水の貯蔵が不要なシステムであり、この方法との併用は薬剤や水の節約が可能である。 The seawater method is a simple method in which seawater is sprayed into exhaust gas, SOx is absorbed in seawater, and the absorbed solution is diluted with seawater to reduce the pH and COD (chemical oxygen demand) to the ocean. It is a system that only takes seawater and does not require storage of chemicals or water, and combined use with this method can save chemicals and water.
また、水酸化マグネシウムは海水に消石灰を混合させることで生成が可能であり、水酸化ナトリウムは、海水の電気分解により生成することもできる。 Magnesium hydroxide can be generated by mixing slaked lime with seawater, and sodium hydroxide can also be generated by electrolysis of seawater.
また、亜硫酸ナトリウム等の亜硫酸塩はSOxも吸収するため、本発明の脱硝装置において、還元剤として亜硫酸塩を使用すると脱硫も同時に可能である。また、NOxとSOx濃度に応じて積極的に還元剤と共に水酸化物も供給し、脱硫と脱硝を同時に行うプロセスも可能である。 In addition, since sulfites such as sodium sulfite absorb SOx, desulfurization is simultaneously possible when sulfite is used as a reducing agent in the denitration apparatus of the present invention. Further, it is possible to perform a process in which desulfurization and denitration are simultaneously performed by actively supplying a hydroxide together with a reducing agent according to the NOx and SOx concentrations.
本発明の装置で処理される排ガスは、窒素ガスを主成分とし、NOxを含む大気圧の排ガスである。この排ガスの窒素含有濃度は40vol%以上、通常60vol%以上であり、NOxの含有量は100〜3000ppm程度、通常300〜1500ppm程度である。排ガスのその他の成分は、排ガスの種類によって異なるが、例えば酸素、炭酸ガス、一酸化炭素、水、SOx等がある。排ガスの例としては船舶、自動車、発電用などのディーゼル機関から排出される排ガス、石油、石炭、天然ガス等による火力発電所から発生する燃焼排ガス、ボイラーから発生する排ガス等を挙げることができる。 The exhaust gas treated by the apparatus of the present invention is an atmospheric exhaust gas containing nitrogen gas as a main component and containing NOx. The nitrogen content concentration of this exhaust gas is 40 vol% or more, usually 60 vol% or more, and the content of NOx is about 100 to 3000 ppm, usually about 300 to 1500 ppm. The other components of the exhaust gas vary depending on the type of exhaust gas, and include, for example, oxygen, carbon dioxide, carbon monoxide, water, and SOx. Examples of the exhaust gas include exhaust gas discharged from a diesel engine for ships, automobiles, power generation, etc., combustion exhaust gas generated from a thermal power plant using petroleum, coal, natural gas, etc., exhaust gas generated from a boiler, and the like.
本発明の装置の一例を図1に示す。この装置は、円筒形をした排ガス流路の途中に、箱型の電子照射装置が取付けられている。 An example of the apparatus of the present invention is shown in FIG. In this apparatus, a box-type electron irradiation device is attached in the middle of a cylindrical exhaust gas flow path.
電子照射装置の奥には、長方形のSUS304製基台上にカーボンナノチューブが固着された陰極が設けられている。 In the back of the electron irradiation device, a cathode having carbon nanotubes fixed on a rectangular SUS304 base is provided.
電子照射装置の排ガス流路側面はチタン製で厚みが2〜15μmの電子線取出窓が取付けられ、これが陽極になっている。 The side surface of the exhaust gas passage of the electron irradiation device is made of titanium, and an electron beam extraction window having a thickness of 2 to 15 μm is attached, which serves as an anode.
陰極は電界放出型の電子銃であり、50〜150kV程度に印加された直流高電圧により電界集中したCNT先端からトンネル効果によって電子放出部から電流密度0.3〜33mA/cm2で電子が放出される。この電子は、真空容器内で印加電圧によりさらに加速され、高エネルギー電子線となって陽極である電子取り出し窓へ到達する。電子線は取り出し窓の2〜15ミクロン厚の薄いチタン製金属膜を透過し、排ガス中へ照射される。また、電子ビームの取り出し窓の以外の排ガスダクト壁には小さな孔が空けられており、そこから亜硫酸塩の一種である亜硫酸ナトリウムが、固形あるいは半固形のスラリー状で少量ずつ押し出され供給されている。 The cathode is a field emission type electron gun, and electrons are emitted from the electron emission portion at a current density of 0.3 to 33 mA / cm 2 by a tunnel effect from the tip of the CNT concentrated in the electric field by a DC high voltage applied to about 50 to 150 kV. Is done. The electrons are further accelerated by the applied voltage in the vacuum vessel, and become high-energy electron beams and reach the electron extraction window that is the anode. The electron beam passes through a thin titanium metal film having a thickness of 2 to 15 microns in the extraction window and is irradiated into the exhaust gas. In addition, there are small holes in the exhaust gas duct wall other than the electron beam extraction window, from which sodium sulfite, a kind of sulfite, is extruded and supplied in small solid or semi-solid slurry. Yes.
排ガス管内は窒素を主成分とし300〜1500ppmのNOx、各々5〜15%程度の酸素、二酸化炭素、水と数百ppmのSOx等を含む排気ガスが一方向へ流れている。この排ガス中の窒素分子に電子線が衝突すると原子に解離し、Nラジカルと呼ばれる不対電子を持った窒素原子を多量に生成する。一方、酸素分子に電子線が衝突すると、Oラジカルと呼ばれる不対電子を持った酸素原子を多量に生成する。この高活性なNラジカルはNOと高い確率で還元反応を起こし、高効率にNOxをN2とO2に分解する。逆にOラジカルはNOと接触すると反応性の高いNO2へ酸化させる。このNO2は、電子線取り出し窓と反対側の排ガスダクト内壁に供給された亜硫酸ナトリウムと接触することにより還元反応によりN2へ分解される。亜硫酸ナトリウムの形態としては粉体やスラリー状が好ましく、排ガスの流れや、水分、さらには排ガス中を透過した電子線により亜硫酸ナトリウムをガス中へ放散させることができ、効果的な反応が可能である。 In the exhaust gas pipe, exhaust gas containing nitrogen as a main component and 300 to 1500 ppm of NOx, each containing about 5 to 15% oxygen, carbon dioxide, water, and several hundred ppm of SOx flows in one direction. When an electron beam collides with nitrogen molecules in the exhaust gas, it is dissociated into atoms, and a large amount of nitrogen atoms having unpaired electrons called N radicals are generated. On the other hand, when an electron beam collides with an oxygen molecule, a large amount of oxygen atoms having unpaired electrons called O radicals are generated. This highly active N radical causes a reduction reaction with NO with a high probability, and decomposes NOx into N 2 and O 2 with high efficiency. Conversely, when O radicals come into contact with NO, they are oxidized to highly reactive NO 2 . This NO 2 is decomposed into N 2 by a reduction reaction by contacting with sodium sulfite supplied to the inner wall of the exhaust gas duct opposite to the electron beam extraction window. The form of sodium sulfite is preferably in the form of powder or slurry. Sodium sulfite can be diffused into the gas by the flow of exhaust gas, moisture, or an electron beam that has passed through the exhaust gas, enabling an effective reaction. is there.
酸素濃度0〜20%の範囲内で電子線照射による分解効率は大きく変化しないが、酸素濃度が高くなるに従い電子線によるOラジカル生成が増加し、NO2の生成量が多くなるため還元剤の添加量を増加させる必要がある。しかし、還元剤の必要量はNO濃度と等モルレベルのためその添加量は少量である。 The decomposition efficiency by electron beam irradiation does not change greatly within the range of oxygen concentration of 0 to 20%. However, as the oxygen concentration increases, the generation of O radicals by the electron beam increases, and the amount of NO 2 generated increases. It is necessary to increase the amount added. However, since the necessary amount of the reducing agent is equimolar to the NO concentration, the amount added is small.
本発明の装置の別の例を図2に示す。 Another example of the device of the present invention is shown in FIG.
基本的な構成は図1に示す装置と同じであるが、より大きな排気ダクトにおける装置例である。垂直方向下から上へ排気ガスが流れる煙道のダクト全周に電子線発生装置を配置し、煙道内の中心へ向けて電子線を照射する。これによりこの領域を通過する排気ガス全体にまんべんなく電子線を照射することができ効果的な処理が可能である。さらに還元剤の亜硫酸ナトリウムや亜硫酸マグネシウムは、照射部上方中央より粉体、スラリー、溶液の状態で下方へ噴射することにより、効率的な還元反応が可能である。生成した硫酸塩は下方に堆積させて回収するか、下流側にてフィルター、スクラバ等により回収する。 The basic configuration is the same as that of the apparatus shown in FIG. 1, but is an apparatus example in a larger exhaust duct. An electron beam generator is disposed around the entire duct of the flue where exhaust gas flows vertically from top to bottom, and the electron beam is irradiated toward the center of the flue. As a result, the entire exhaust gas passing through this region can be uniformly irradiated with an electron beam, and an effective treatment is possible. Further, the reducing agent, sodium sulfite and magnesium sulfite, can be efficiently reduced by spraying downward in the form of powder, slurry, or solution from the upper center of the irradiated portion. The produced sulfate is deposited and collected downward, or is collected by a filter, scrubber or the like on the downstream side.
この排ガス処理装置を取込んだ排ガス処理システムの一例を図3に示す。このシステムは、いずれも円筒状の脱硫塔と脱硝塔が直列に接続されている。脱硫塔の下部には排ガスの入口が、頂部には出口が設けられている。また、水酸化物を含む海水の貯槽が設けられていてる。この貯槽には、海水に消石炭を添加し生成した水酸化マグネシウム、あるいは海水を電気分解して水酸化ナトリウムを生成させたものが貯えられ、この貯槽からは脱硫塔の下部へ水酸化物を海水あるいは水と混合し供給される。そして、この下部からポンプで脱硫塔の上部へ送られて、そこから塔内にスプレー噴射され、硫黄酸化物を亜硫酸塩として吸収した後、塔底に溜まり、またポンプで塔の上部に送られて循環している。 An example of the exhaust gas treatment system incorporating this exhaust gas treatment device is shown in FIG. In this system, a cylindrical desulfurization tower and a denitration tower are both connected in series. An exhaust gas inlet is provided at the lower part of the desulfurization tower, and an outlet is provided at the top. A seawater storage tank containing hydroxide is also provided. In this storage tank, magnesium hydroxide produced by adding extinguishing coal to seawater or the one that sodium hydroxide is generated by electrolysis of seawater is stored. From this storage tank, hydroxide is transferred to the lower part of the desulfurization tower. Supplied with seawater or mixed with water. Then, it is pumped from this lower part to the upper part of the desulfurization tower, sprayed into the tower from there, absorbs sulfur oxide as sulfite, and then accumulates at the bottom of the tower, and is sent to the upper part of the tower by a pump. Is circulating.
脱硝塔の中央部には図2の排ガス処理装置が取付けられ、下部には排ガスの入口が設けられ、脱硫塔の出口からこの入口に配管接続されている。脱硝塔の頂部には排ガスの出口が設けられている。脱硝塔も底部が液溜になっており、そこからポンプで上部に送って塔内にスプレー噴射する循環ラインが形成されている。そして、脱硫塔の循環ラインから、その一部が引抜かれてこの脱硝塔の循環ラインに送られる。液に含まれる亜硫酸塩は塔内の脱硝反応において還元剤として使用され、硫酸塩に変わり、一部は塔から抜き出される。 The exhaust gas treatment apparatus of FIG. 2 is attached to the center of the denitration tower, and an exhaust gas inlet is provided at the lower part, and is connected to the inlet from the outlet of the desulfurization tower. An exhaust gas outlet is provided at the top of the denitration tower. The denitration tower also has a liquid reservoir at the bottom, and a circulation line is formed through which the liquid is sent to the top by a pump and sprayed into the tower. And a part of it is withdrawn from the circulation line of the desulfurization tower and sent to the circulation line of this denitration tower. The sulfite contained in the liquid is used as a reducing agent in the denitration reaction in the tower, is converted to sulfate, and a part is extracted from the tower.
このシステムは、大型船舶ディーゼル機関等の海上移動物に最適な同時脱硝、脱硫システムの一例を示すものである。 This system shows an example of a simultaneous denitration and desulfurization system that is optimal for marine moving objects such as large marine diesel engines.
大型ディーゼル機関やボイラから出てきた150〜250℃程度の高濃度のSOx,NOx含有排ガスを、まず水酸化ナトリウムや水酸化マグネシウムを吸収剤とする吸収塔にてSOxを80〜90%以上吸収する。排ガスの冷却や高濃度SOxの場合では、その前に海水によるスクラバの設置が薬剤量の抑制ができ好ましい。この工程において排ガスに含まれるPM他の微粒子も同時に吸収され、60〜70℃程度の低温で、亜硫酸塩と水分を含む除塵されたNOx含有排ガスとなる。この排ガスは前述で述べた本発明による脱硝プロセスに最適なガス成分であり、低NOx濃度であれば亜硫酸塩系還元剤の添加は不要である。またその亜硫酸塩を添加する場合でもSOx吸収塔より抽出して利用できNOx処理用の薬剤貯蔵、補給は不要である。また、脱硫に海水法を用いる場合においても、亜硫酸塩を抽出あるいは合成することにより利用できる。 SOx and NOx-containing exhaust gas with a high concentration of about 150-250 ° C coming out of a large diesel engine or boiler is first absorbed by 80 to 90% or more of SOx in an absorption tower using sodium hydroxide or magnesium hydroxide as an absorbent. To do. In the case of exhaust gas cooling or high concentration SOx, it is preferable to install a scrubber with seawater before that because the amount of chemicals can be suppressed. In this step, PM and other fine particles contained in the exhaust gas are also absorbed at the same time, and the NOx-containing exhaust gas containing dust and sulfite is removed at a low temperature of about 60 to 70 ° C. This exhaust gas is an optimum gas component for the denitration process according to the present invention described above, and it is not necessary to add a sulfite reducing agent if the concentration of NOx is low. Further, even when the sulfite is added, it can be extracted from the SOx absorption tower and used, and storage and replenishment of NOx treatment chemicals are unnecessary. Further, when the seawater method is used for desulfurization, it can be used by extracting or synthesizing sulfite.
また、NOxあるいはSOxどちらかの濃度が低い場合は、薬剤を適量比に混合し散布することで反応塔をひとつにすることもできる。 Further, when the concentration of either NOx or SOx is low, the reaction tower can be made one by mixing and spraying the chemicals in an appropriate amount ratio.
また、脱硫用薬剤である水酸化マグネシウムは海水に消石灰を混合することにより生成することができる。水酸化ナトリウム(苛性ソーダ)は、海水を電気分解することにより生成することができる。電気分解に必要な電力を太陽電池により供給し、省エネルギー化を図ることもできる。 Moreover, magnesium hydroxide which is a chemical | medical agent for desulfurization can be produced | generated by mixing slaked lime with seawater. Sodium hydroxide (caustic soda) can be produced by electrolyzing seawater. Power required for electrolysis can be supplied by a solar cell to save energy.
より大きな煙道で煙道中央部への電子線到達量が少なくなる場合の装置例を図4に示す。中央部に亜硫酸塩の供給部を配置することにより中央部のガスの流れを制限して反応効率を上げることが出来る。また、ガス中を透過してきた電子線の衝突や熱エネルギーにより亜硫酸塩の放散を助けることができる。 FIG. 4 shows an example of an apparatus when the amount of electron beam reaching the center of the flue decreases with a larger flue. By disposing a sulfite supply part in the central part, the gas flow in the central part can be restricted to increase the reaction efficiency. In addition, it is possible to assist in the diffusion of sulfite by the collision of electron beams that have passed through the gas and thermal energy.
本発明により、排ガスに含まれるNOx、SOxを安価に効率よく処理できるので、NOx、SOxを含む排ガスの処理に広く適用できる。 According to the present invention, since NOx and SOx contained in the exhaust gas can be efficiently processed at low cost, it can be widely applied to the treatment of exhaust gas containing NOx and SOx.
Claims (5)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010090246A JP5299647B2 (en) | 2010-04-09 | 2010-04-09 | Exhaust gas treatment equipment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010090246A JP5299647B2 (en) | 2010-04-09 | 2010-04-09 | Exhaust gas treatment equipment |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011218293A JP2011218293A (en) | 2011-11-04 |
JP5299647B2 true JP5299647B2 (en) | 2013-09-25 |
Family
ID=45035951
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010090246A Expired - Fee Related JP5299647B2 (en) | 2010-04-09 | 2010-04-09 | Exhaust gas treatment equipment |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5299647B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109731569A (en) * | 2018-12-27 | 2019-05-10 | 安徽元琛环保科技股份有限公司 | Cellular SCR denitration and preparation method with three-dimensional multistage cellular structure |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5099375B2 (en) * | 2009-02-25 | 2012-12-19 | Jfeエンジニアリング株式会社 | Exhaust gas treatment method by electron beam irradiation |
JP6208965B2 (en) * | 2013-03-27 | 2017-10-04 | 株式会社Nbcメッシュテック | Method for producing oxygen-deficient inorganic oxide |
FR3006602B1 (en) | 2013-06-10 | 2016-01-29 | Vivirad | DEVICE FOR TREATING AT LEAST ONE FLOW OF GASEOUS EFFLUENTS |
GB2537196B (en) * | 2015-10-02 | 2017-05-10 | Mario Michan Juan | Apparatus and method for electron irradiation scrubbing |
CN107441898A (en) * | 2017-09-25 | 2017-12-08 | 绵阳欣隆源环保科技有限公司 | A kind of impulse electric corona plasma flue gas desulfurization and denitrification integrated apparatus |
CN107583422A (en) * | 2017-10-23 | 2018-01-16 | 安徽金森源环保工程有限公司 | A kind of low-temperature plasma desulfuring and denitrifying apparatus and desulfurization denitration method |
CN107596918A (en) * | 2017-10-23 | 2018-01-19 | 安徽金森源环保工程有限公司 | A kind of flow spoiler and desulfurization denitration method with desulfuring and denitrifying apparatus |
DE102019134558B3 (en) * | 2019-12-16 | 2021-03-11 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Device and method for applying accelerated electrons to gaseous media |
CN111408241B (en) * | 2020-04-17 | 2024-06-28 | 大唐环境产业集团股份有限公司 | Boats and ships tail gas integration SOx/NOx control system |
GB2593786B (en) * | 2020-07-07 | 2023-01-25 | Daphne Tech Sa | Apparatus and method for electron irradiation scrubbing |
CN113365404B (en) * | 2021-04-23 | 2023-11-24 | 安徽理工大学 | Dielectric barrier discharge plasma auxiliary coal combustion generating device |
CN113440989B (en) * | 2021-08-11 | 2023-04-28 | 河南三棵树新材料科技有限公司 | Dielectric barrier discharge reactor for purifying pollutants in situ by carbon nano tube and application |
JP7488626B1 (en) | 2024-02-01 | 2024-05-22 | 株式会社特殊金属エクセル | Automatic window foil replacement device |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52128886A (en) * | 1976-04-23 | 1977-10-28 | Nippon Kokan Kk <Nkk> | Desulfurization of exhaust gas and sticking prevention of sea water microorganism |
JPS5355497A (en) * | 1976-10-29 | 1978-05-19 | Arita Kenkyusho Kk | Manufacturing process for magnesium compound |
JPS5433274A (en) * | 1977-08-20 | 1979-03-10 | Kobe Steel Ltd | Desulfurizing and denitrating method for flue gas |
JPS59109225A (en) * | 1982-12-16 | 1984-06-23 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Stack gas treatment |
JP3251883B2 (en) * | 1997-08-25 | 2002-01-28 | 株式会社荏原製作所 | Exhaust gas desulfurization method and apparatus |
JP2000202233A (en) * | 1999-01-12 | 2000-07-25 | Ebara Corp | Electron beam waste gas treating method and device |
EP1206960A4 (en) * | 1999-08-12 | 2006-06-07 | Ebara Corp | Method and apparatus for treating exhaust gas |
JP2002079036A (en) * | 2000-09-08 | 2002-03-19 | Ebara Corp | Method and apparatus for desulfurizing biogas, and desulfurizing agent |
JP2002361039A (en) * | 2001-06-11 | 2002-12-17 | Nissin High Voltage Co Ltd | Electron beam type waste gas treatment equipment |
JP2008200057A (en) * | 2006-06-01 | 2008-09-04 | Laser Gijutsu Sogo Kenkyusho | Environmentally harmful substance treatment method using carbon nanotube (cnt) electron source |
JP5099756B2 (en) * | 2007-06-18 | 2012-12-19 | Jfeエンジニアリング株式会社 | Electron beam generator and control method thereof |
-
2010
- 2010-04-09 JP JP2010090246A patent/JP5299647B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109731569A (en) * | 2018-12-27 | 2019-05-10 | 安徽元琛环保科技股份有限公司 | Cellular SCR denitration and preparation method with three-dimensional multistage cellular structure |
CN109731569B (en) * | 2018-12-27 | 2021-12-10 | 安徽元琛环保科技股份有限公司 | Honeycomb type SCR denitration catalyst with three-dimensional multi-stage pore channel structure and preparation method thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011218293A (en) | 2011-11-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5299647B2 (en) | Exhaust gas treatment equipment | |
US6345497B1 (en) | NOx reduction by electron beam-produced nitrogen atom injection | |
Yoon et al. | Simultaneous oxidation and absorption of NO x and SO2 in an integrated O3 oxidation/wet atomizing system | |
KR101767894B1 (en) | Nitrogen circulation type system and method for treating nitrogen oxide | |
US10730010B2 (en) | Device and method for purifying sulfur dioxide and nitrogen oxide in flue gas | |
US20100307912A1 (en) | Methods and apparatuses for converting carbon dioxide and treating waste material | |
KR20150054140A (en) | Apparatus for treating exhaust gas using fine bubble ozone water and method for treating exhaust gas using the same | |
CN102553406A (en) | Denitration method and device combining direct-current corona discharge with catalytic oxidation | |
Shi et al. | Recent advances in degradation of the most potent industrial greenhouse gas sulfur hexafluoride | |
CN113797733A (en) | Method and device for circularly purifying sulfur dioxide and nitrogen oxide in flue gas | |
CN105327601A (en) | Purification treatment apparatus of industrial organic exhaust gas | |
KR20190017475A (en) | Method for Simultaneous Treating Nitrogen Oxides and Sulfur Oxides using Iron Ethylene diamine tetraacetic acid | |
KR102179532B1 (en) | An electrolytic apparatus for removing nitrogen oxides, and a method for removing nitrogen oxides | |
JP2010194503A (en) | Apparatus for treating exhaust gas by electron beam irradiation | |
JP5099375B2 (en) | Exhaust gas treatment method by electron beam irradiation | |
KR100614882B1 (en) | Method of treating exhaust gas by using dielectric barrier discharge and reducing agents, and device for treating the method | |
JP5499489B2 (en) | NOx-containing exhaust gas treatment apparatus and NOx-containing exhaust gas treatment method | |
WO2013183300A1 (en) | Apparatus and method for processing gas | |
JP2013212437A (en) | Gas treatment device | |
Zhang et al. | Removal of SO2 from simulated flue gases using non-thermal plasma-based microgap discharge | |
JP4431720B2 (en) | Chemical decomposition and reaction method | |
KR101572321B1 (en) | Apparatus for purifying polluting gas using ozone | |
CN109316912B (en) | Application of wet discharge reactor in removing nitrogen oxides in waste gas | |
KR102394099B1 (en) | Plasma system for removal of nitrogen oxides | |
Chen | Desulfurization and Denitrification of Ship Exhaust Gas with Low Temperature Plasma |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120806 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130122 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130227 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130522 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130604 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5299647 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |