JP2002361039A - Electron beam type waste gas treatment equipment - Google Patents

Electron beam type waste gas treatment equipment

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JP2002361039A
JP2002361039A JP2001175531A JP2001175531A JP2002361039A JP 2002361039 A JP2002361039 A JP 2002361039A JP 2001175531 A JP2001175531 A JP 2001175531A JP 2001175531 A JP2001175531 A JP 2001175531A JP 2002361039 A JP2002361039 A JP 2002361039A
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JP
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electron beam
superconducting
exhaust gas
accelerator
reactor
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Japanese (ja)
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Eiji Iwamoto
英司 岩本
Masayuki Kashiwagi
正之 柏木
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Nissin High Voltage Co Ltd
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Nissin High Voltage Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide electronic beam type waste gas treatment equipment which is capable of dealing with an waste gas treatment capacity greater than heretofore. SOLUTION: This electronic beam type waste gas treatment equipment has a superconducting electron beam generator 30 which generates the electron beam 34 from an electron source 32 and accelerates this beam by a superconducting accelerator 38 and scans and outputs the same by a scanner 56. The equipment is constituted to make the electron beam 34 from the superconducting electron beam generator 30 incident on the direction along the flow of the waste gas 2 into a reactor 10.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、電子ビームを利
用して、例えば火力発電所等から出る排ガス中の硫黄酸
化物(SOX )および窒素酸化物(NOX )の除去(即
ち脱硫および脱硝)を行う電子ビーム式排ガス処理装置
に関し、より具体的には、その電子ビーム発生装置の改
良に関する。
[Field of the Invention The invention utilizes an electron beam, such as sulfur oxides in the exhaust gas leaving the thermal power plant or the like (SO X) and removal of nitrogen oxides (NO X) (i.e. desulfurization and denitration The present invention relates to an electron beam type exhaust gas treatment apparatus for performing the above method, and more specifically, to an improvement of the electron beam generation apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子ビーム式排ガス処理装置は、排ガス
の脱硫および脱硝を行うと共に、副産物として、肥料に
なる硫酸アンモニウム(硫安)および硝酸アンモニウム
(硝安)を回収することができるので、世界的に注目さ
れている。例えば、「放射線と産業」No.82(19
99)、第9〜17頁参照。
2. Description of the Related Art Electron beam type exhaust gas treatment apparatuses are attracting worldwide attention because they can desulfurize and denitrate exhaust gas and collect ammonium sulfate (ammonium sulfate) and ammonium nitrate (ammonium nitrate) as fertilizers as by-products. ing. For example, “Radiation and Industry” No. 82 (19
99), pp. 9-17.

【0003】この種の電子ビーム式排ガス処理装置の従
来例を図4に示す。この装置は、電子ビーム18を発生
させる電子ビーム発生装置12と、処理すべき排ガス
2、アンモニア8および前記電子ビーム18が導入さ
れ、アンモニア8の共存下で排ガス2に電子ビーム18
を照射して排ガス2中の硫黄酸化物および窒素酸化物の
除去を行う筒状の反応器10とを備えている。
FIG. 4 shows a conventional example of this type of electron beam type exhaust gas treatment apparatus. The apparatus includes an electron beam generator 12 for generating an electron beam 18, an exhaust gas 2 to be treated, ammonia 8, and the electron beam 18. The electron beam 18 is introduced into the exhaust gas 2 in the presence of ammonia 8.
And a cylindrical reactor 10 that removes sulfur oxides and nitrogen oxides in the exhaust gas 2 by irradiating the exhaust gas 2 with sulfur.

【0004】発電用ボイラ等からの排ガス2は、通常、
冷却装置4で脱硫および脱硝反応に適する温度(例えば
60℃程度)に冷却される。
[0004] Exhaust gas 2 from a power generation boiler or the like is usually
The cooling device 4 cools to a temperature (for example, about 60 ° C.) suitable for the desulfurization and denitration reactions.

【0005】アンモニア8は、アンモニア供給装置6か
ら、脱硫および脱硝反応に必要な量が供給される。
[0005] Ammonia 8 is supplied from ammonia supply device 6 in an amount required for desulfurization and denitration reactions.

【0006】電子ビーム発生装置12は、反応器10の
側部に設けられていて排ガス2の流れに直交する方向か
ら電子ビーム18をそれぞれ照射する複数台の(2台の
み図示)電子ビーム加速器14と、各電子ビーム加速器
14に電子ビーム18の加速用の直流高電圧(例えば8
00kV)を供給する複数台の(1台のみ図示)直流高
圧電源26とを備えている。
The electron beam generator 12 includes a plurality of electron beam accelerators 14 (only two are shown) which are provided on the side of the reactor 10 and irradiate the electron beam 18 from a direction orthogonal to the flow of the exhaust gas 2. DC high voltage (for example, 8) for accelerating the electron beam 18 is applied to each electron beam accelerator 14.
And a plurality of DC high-voltage power supplies 26 (only one is shown) for supplying a voltage of 00 kV).

【0007】各電子ビーム加速器14は、電子ビーム1
8を発生させるフィラメント部16と、当該電子ビーム
18を加速する静電形の加速管20と、加速された電子
ビーム18を一次元に走査する走査器22と、この走査
器22の先端部に設けられた窓箔24とを備えている。
窓箔24は、電子ビーム加速器14内の真空雰囲気と反
応器10内の大気圧雰囲気とを分離すると共に、電子ビ
ーム18を透過させるものであり、例えば35μm厚程
度のチタン箔から成る。なお、図4では、電子ビーム1
8は、分かりやすくするために左右に走査した状態を図
示しているが、実際はこの例では、紙面の表裏方向に走
査される。
Each electron beam accelerator 14 controls the electron beam 1
A filament section 16 for generating the electron beam 8, an electrostatic accelerating tube 20 for accelerating the electron beam 18, a scanner 22 for one-dimensionally scanning the accelerated electron beam 18, and a tip of the scanner 22. And the provided window foil 24.
The window foil 24 separates the vacuum atmosphere in the electron beam accelerator 14 from the atmospheric pressure atmosphere in the reactor 10 and transmits the electron beam 18, and is made of, for example, a titanium foil having a thickness of about 35 μm. In FIG. 4, the electron beam 1
Numeral 8 illustrates a state in which scanning is performed right and left for easy understanding, but in actuality, in this example, scanning is performed in the front and back directions on the paper surface.

【0008】反応器10内では、電子ビーム18の照射
によって排ガス2中に酸化力の強い活性種が生成し、こ
れによってSOX およびNOX が酸化され、中間生成物
の硫酸および硝酸となる。これらがアンモニア8と反応
して、それぞれ硫安および硝安の粉体粒子が生成され
る。
[0008] In the reactor 10, active species having strong oxidizing power are generated in the exhaust gas 2 by the irradiation of the electron beam 18, whereby SO x and NO x are oxidized to become intermediate products of sulfuric acid and nitric acid. These react with ammonia 8 to produce ammonium sulfate and ammonium nitrate powder particles, respectively.

【0009】これらの粉体粒子は排ガス2に同伴されて
反応器10から導出され、後段の乾式集塵器等で分離捕
集され、清浄化された排ガス2は煙突等から大気中に放
出される。
[0009] These powder particles are taken out of the reactor 10 together with the exhaust gas 2 and separated and collected by a dry-type dust collector or the like at the subsequent stage, and the purified exhaust gas 2 is released into the atmosphere from a chimney or the like. You.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】上記のような電子ビー
ム発生装置12を用いた電子ビーム式排ガス処理装置で
は、現状より大きな排ガス処理量に対応することが困難
であるという課題がある。
An electron beam type exhaust gas treatment apparatus using the above-described electron beam generator 12 has a problem that it is difficult to cope with a larger amount of exhaust gas treatment than the current state.

【0011】即ち、現在の最大規模の電子ビーム式排ガ
ス処理装置は、排ガス2の処理量は620,000Nm
3 /h程度(220MWの発電出力に相当)であり、こ
れを処理するために、1台当たりの電子ビーム18のビ
ームエネルギーが800keV、ビーム電流が500m
A、ビーム出力が400kWの電子ビーム加速器14を
6台用いて、総電子ビーム出力2.4MWを実現してい
る。電源には、出力電圧が800kV、出力電圧が1
A、出力が800kWの直流高圧電源26を3台用い
て、1台の直流高圧電源26から2台の電子ビーム加速
器14に500mAずつ供給するようにしている。
That is, in the current largest electron beam type exhaust gas treatment apparatus, the throughput of the exhaust gas 2 is 620,000 Nm.
3 / h (corresponding to a power generation output of 220 MW). To process this, the beam energy of the electron beam 18 per unit is 800 keV and the beam current is 500 m
A. A total electron beam output of 2.4 MW is realized by using six electron beam accelerators 14 each having a beam output of 400 kW. The power supply has an output voltage of 800 kV and an output voltage of 1
A. Three DC high-voltage power supplies 26 having an output of 800 kW are used, and one DC high-voltage power supply 26 supplies 500 mA to two electron beam accelerators 14 at a time.

【0012】電子ビーム加速器14を6台も用いるの
は、排ガス処理量から決まる電子ビーム出力2.4MW
の要求に対して、1台の電子ビーム加速器14のビーム
出力は400kW程度が限界だからである。直流高圧電
源26も、1台当たりの出力は800kW程度が限界で
ある。
The reason why six electron beam accelerators 14 are used is that the electron beam output 2.4 MW determined by the exhaust gas throughput is used.
Is required because the beam output of one electron beam accelerator 14 is limited to about 400 kW. The output of each DC high-voltage power supply 26 is limited to about 800 kW.

【0013】理論的には、ビーム出力Pは、電子ビーム
18のビームエネルギーEとビーム電流Iとの積である
から(即ちP=E・I)、ビームエネルギーEとビーム
電流Iの少なくとも一方を上記値よりも更に大きくすれ
ばビーム出力Pの増大は可能であるけれども、現実的に
は困難である。
Theoretically, the beam output P is the product of the beam energy E of the electron beam 18 and the beam current I (ie, P = E · I), so that at least one of the beam energy E and the beam current I If the value is larger than the above value, the beam output P can be increased, but it is practically difficult.

【0014】即ち、電子ビーム18のビームエネルギー
Eを800keVよりも更に大きくするためには、直流
高圧電源26の出力電圧を800kVよりも更に大きく
しなければならないが、そのような超高電圧を1Aのよ
うな大電流で出力することのできる直流高圧電源26を
製作することは、技術的にもコスト的にも、現実には困
難である。製作できたとしても、1台の直流高圧電源2
6の寸法が極めて大きくなり、輸送できなくなる。
That is, in order to make the beam energy E of the electron beam 18 larger than 800 keV, the output voltage of the DC high-voltage power supply 26 must be made larger than 800 kV. It is actually difficult to manufacture a DC high-voltage power supply 26 capable of outputting a large current as described above, both technically and cost-wise. Even if it can be manufactured, one DC high voltage power supply 2
6 becomes extremely large and cannot be transported.

【0015】また、電子ビーム18のビーム電流Iを5
00mAよりも更に大きくすると、窓箔24の電子ビー
ム透過損による発熱量は電子ビーム18のビーム電流I
にほぼ比例するので、窓箔24の発熱量が過大になり耐
えられなくなる。また、そのような大電流を供給する直
流高圧電源26の製作も困難である。
The beam current I of the electron beam 18 is set to 5
When the current is larger than 00 mA, the amount of heat generated by the electron beam transmission loss of the window foil 24 becomes smaller than the beam current I of the electron beam 18.
, The amount of heat generated by the window foil 24 becomes too large to withstand. It is also difficult to manufacture the DC high-voltage power supply 26 that supplies such a large current.

【0016】220MWの発電出力に対してでさえ、上
記のように、6台もの電子ビーム加速器14および3台
もの直流高圧電源26を設けなければならないのが現状
である。それよりも更に大きな排ガス処理量を必要とす
る更に大きな出力(例えば400MW程度)の発電設備
に対しては、従来技術の単なる延長で対応することは困
難である。1機当たり400MW程度の発電設備は、国
内外に多数存在する。
As described above, even at a power generation output of 220 MW, as many as six electron beam accelerators 14 and three DC high-voltage power supplies 26 must be provided. It is difficult to cope with a power generation facility having a larger output (for example, about 400 MW) requiring a larger exhaust gas throughput by simply extending the conventional technology. There are many power generation facilities of about 400 MW per unit in Japan and overseas.

【0017】そこでこの発明は、従来よりも大きな排ガ
ス処理量にも対応することのできる電子ビーム式排ガス
処理装置を提供することを主たる目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is a main object of the present invention to provide an electron beam type exhaust gas treatment apparatus capable of coping with a larger amount of exhaust gas treatment than before.

【0018】[0018]

【課題を解決するための手段】この発明の電子ビーム式
排ガス処理装置は、前記電子ビーム発生装置として、電
子ビームを発生させてそれを超伝導加速器によって加速
した後に走査して出力する超伝導電子ビーム発生装置を
備えており、かつこの超伝導電子ビーム発生装置からの
電子ビームを、前記反応器内へ、当該反応器内における
前記排ガスの流れに沿う方向に入射させるように構成し
ていることを特徴としている。
According to the present invention, there is provided an electron beam type exhaust gas treating apparatus as the above-mentioned electron beam generating apparatus, which generates an electron beam, accelerates the electron beam with a superconducting accelerator, and then scans and outputs the electron beam. A beam generator, and the electron beam from the superconducting electron beam generator is configured to be incident on the reactor in a direction along the flow of the exhaust gas in the reactor. It is characterized by.

【0019】上記超伝導電子ビーム発生装置を構成する
超伝導加速器は、線形加速器の一種であり、従来の加速
管を用いた静電形の加速器よりも遙かに(例えば一桁上
の)高エネルギーの電子ビームを得ることができる。
The superconducting accelerator constituting the above-mentioned superconducting electron beam generator is a kind of linear accelerator, and is much higher (for example, one order of magnitude higher) than an electrostatic accelerator using a conventional accelerating tube. An electron beam of energy can be obtained.

【0020】しかも、超伝導加速器では、それを構成す
る超伝導加速空洞におけるジュール熱損は常伝導に比べ
て遙かに小さく、殆ど無視することができるので、加速
空洞における熱歪み発生に伴う動作不安定の問題は起こ
らない。その結果、従来の常伝導形の線形加速器よりも
大ビーム電流で大出力を容易に実現することができる。
Moreover, in the superconducting accelerator, the Joule heat loss in the superconducting accelerating cavity constituting the superconducting accelerator is much smaller than that in normal conduction and can be almost ignored. No instability problems occur. As a result, it is possible to easily realize a large output with a large beam current as compared with the conventional normal type linear accelerator.

【0021】このように、超伝導電子ビーム発生装置を
用いたことによって、高エネルギーでしかも大出力の電
子ビームを得ることができるので、従来よりも大きな排
ガス処理量にも容易に対応することができる。
As described above, the use of the superconducting electron beam generator makes it possible to obtain a high-energy and high-output electron beam, so that it is possible to easily cope with a larger exhaust gas throughput than conventional ones. it can.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】図1は、この発明に係る電子ビー
ム式排ガス処理装置の一例を示す概略図である。図2
は、図1中の超伝導加速器周りの一例を示す概略断面図
である。図4に示した従来例と同一または相当する部分
には同一符号を付し、以下においては当該従来例との相
違点を主に説明する。
FIG. 1 is a schematic diagram showing an example of an electron beam type exhaust gas treatment apparatus according to the present invention. FIG.
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing an example around a superconducting accelerator in FIG. 1. Parts that are the same as or correspond to those of the conventional example shown in FIG. 4 are denoted by the same reference numerals, and differences from the conventional example will be mainly described below.

【0023】この電子ビーム式排ガス処理装置は、従来
の電子ビーム発生装置12に代わるものとして、電子源
32から電子ビーム34を発生させてそれを超伝導加速
器38によって加速した後に走査器56で走査して出力
する超伝導電子ビーム発生装置30を備えている。か
つ、この超伝導電子ビーム発生装置30からの電子ビー
ム34を、前記反応器10内へ、当該反応器10内にお
ける前記排ガス2の流れに沿う方向(即ち反応器10の
軸に沿う方向)に入射させるように構成している。電子
ビーム34は排ガス2の流れ方向に完全に平行である必
要はない。むしろ、幾らか角度を持たせる方が、立体的
な電子ビーム34の照射が可能になるので好ましい。
This electron beam type exhaust gas treatment apparatus replaces the conventional electron beam generator 12 by generating an electron beam 34 from an electron source 32, accelerating the electron beam 34 by a superconducting accelerator 38, and then scanning by a scanner 56. And a superconducting electron beam generator 30 for outputting. In addition, the electron beam 34 from the superconducting electron beam generator 30 is supplied into the reactor 10 in a direction along the flow of the exhaust gas 2 in the reactor 10 (that is, in a direction along the axis of the reactor 10). It is configured to be incident. The electron beam 34 need not be completely parallel to the flow direction of the exhaust gas 2. Rather, it is preferable to have a certain angle because three-dimensional irradiation of the electron beam 34 becomes possible.

【0024】反応器10への排ガス2の導入は、この例
では、反応器10の上流側端の側部から斜めに導入する
ようにしているが、これに限られるものではない。
In this example, the exhaust gas 2 is introduced into the reactor 10 obliquely from the upstream end of the reactor 10 but is not limited to this.

【0025】超伝導電子ビーム発生装置30は、この例
では、電子ビーム34を発生させる電子源32と、超伝
導状態に保たれる超伝導加速空洞46(図2参照)を有
していて電子源32からこの例では圧縮器36を通して
供給される電子ビーム34を超伝導加速空洞46におけ
る高周波電界によって加速して出力する超伝導加速器3
8と、この超伝導加速器38に(より具体的にはその内
部の超伝導加速空洞46に)加速用の高周波電力54を
供給する高周波発振器50と、超伝導加速器38から出
力される電子ビーム34を走査して反応器10内へ入射
させる走査器56と、超伝導加速器38にその内部の超
伝導加速空洞46を超伝導状態に保つ液体冷媒44を供
給する冷凍機48(図2参照)とを備えている。
In this example, the superconducting electron beam generator 30 has an electron source 32 for generating an electron beam 34 and a superconducting acceleration cavity 46 (see FIG. 2) maintained in a superconducting state. A superconducting accelerator 3 which accelerates and outputs an electron beam 34 supplied from a source 32 through a compressor 36 by a high-frequency electric field in a superconducting accelerating cavity 46 in this example.
8, a high-frequency oscillator 50 for supplying high-frequency power 54 for acceleration to the superconducting accelerator 38 (more specifically, to the superconducting accelerating cavity 46 therein), and an electron beam 34 output from the superconducting accelerator 38 And a refrigerator 48 (see FIG. 2) for supplying a liquid refrigerant 44 for keeping the superconducting acceleration cavity 46 therein in a superconducting state to the superconducting accelerator 38. It has.

【0026】このような超伝導電子ビーム発生装置30
によって、例えば、10MeVのエネルギーでビーム出
力が3MWの電子ビーム34を発生させる。その場合、
ビーム電流は300mAである。ビーム電流を500m
Aとすれば、ビーム出力は5MWになる。
Such a superconducting electron beam generator 30
Thus, for example, an electron beam 34 having a beam output of 3 MW with an energy of 10 MeV is generated. In that case,
The beam current is 300 mA. 500 m beam current
If A, the beam output is 5 MW.

【0027】電子源32は、例えば、10〜50MHz
の周波数のパルス状の(これはミクロパルスとも呼ばれ
る)電子ビーム34を連続的に出力するものである。よ
り具体例を挙げれば、パルスの周波数を10MHzとす
れば、1パルス当たり30nC(ナノクーロン)の電荷
量として、パルス幅が10nsでピーク電流は3Aとな
る。
The electron source 32 is, for example, 10 to 50 MHz.
A pulse-like (which is also called a micropulse) electron beam 34 having a frequency of .mu. More specifically, assuming that the pulse frequency is 10 MHz, the pulse width is 10 ns and the peak current is 3 A as a charge amount of 30 nC (nanocoulomb) per pulse.

【0028】このような電子ビーム34を、この例で
は、超伝導加速器38でより効率良く加速することがで
きるように、圧縮器(バンチャーとも呼ばれる)36で
パルス幅を1/50〜1/100程度に圧縮して超伝導
加速器38に入射する。超伝導加速器38への入射は、
例えば100keV程度の入射エネルギーで行えば良
い。
In this example, the pulse width of the electron beam 34 is reduced by 1/50 to 1/100 by a compressor (also called a buncher) 36 so that the electron beam 34 can be accelerated more efficiently by a superconducting accelerator 38. It is compressed to a degree and then enters the superconducting accelerator 38. The incidence on the superconducting accelerator 38 is
For example, it may be performed at an incident energy of about 100 keV.

【0029】超伝導加速器38は、高周波形の線形加速
器の一種であり、この例では、図2に示すような構造を
している。なお、この種の超伝導加速器の一例が特許第
3094299号公報に記載されている。
The superconducting accelerator 38 is a kind of a high-frequency linear accelerator, and has a structure as shown in FIG. 2 in this example. An example of this type of superconducting accelerator is described in Japanese Patent No. 3094299.

【0030】この超伝導加速器38は、冷凍機48から
供給された液体冷媒44が満たされる液体冷媒容器42
内に、複数個(図示例では5個)直列に接続された超伝
導加速空洞46を収納し、更にこの液体冷媒容器42を
真空容器40内に収納した構造をしている。液体冷媒容
器42と真空容器40との間には、通常は、熱シールド
やその支持体等が設けられているが、ここではその図示
を省略している。
The superconducting accelerator 38 includes a liquid refrigerant container 42 filled with a liquid refrigerant 44 supplied from a refrigerator 48.
Inside, a plurality (five in the illustrated example) of superconducting acceleration cavities 46 connected in series are housed, and the liquid refrigerant container 42 is housed in a vacuum chamber 40. Usually, a heat shield, a support thereof, and the like are provided between the liquid refrigerant container 42 and the vacuum container 40, but are not shown here.

【0031】この例では、各超伝導加速空洞46をニオ
ブ(Nb )で形成し、液体冷媒44として液体ヘリウム
を用い、冷凍機48としてヘリウム冷凍機を備えてい
る。従って各超伝導加速空洞46は、液体ヘリウムの温
度4.2Kで超伝導状態に保たれる。但し、この超伝導
加速空洞46には、ニオブ以外の超伝導材料を用いても
良く、またその材料に応じて、それを超伝導状態に保つ
液体冷媒44の種類を定めれば良い。
In this example, each superconducting acceleration cavity 46 is formed of niobium (Nb), liquid helium is used as the liquid refrigerant 44, and a helium refrigerator is provided as the refrigerator 48. Therefore, each superconducting accelerating cavity 46 is kept in a superconducting state at a temperature of 4.2 K of liquid helium. However, a superconducting material other than niobium may be used for the superconducting acceleration cavity 46, and the type of the liquid refrigerant 44 that keeps the superconducting state may be determined according to the material.

【0032】超伝導加速空洞46の数(セル数)および
高周波電力54の周波数等によって、電子ビーム34の
最大の加速エネルギーは概ね定まる。例えば、250M
Hzで6セルとすれば、10MeV程度のビームエネル
ギーを安定して得ることができる。但しこれに限られる
ものではない。
The maximum acceleration energy of the electron beam 34 is generally determined by the number of superconducting accelerating cavities 46 (the number of cells), the frequency of the high-frequency power 54, and the like. For example, 250M
With 6 cells at Hz, beam energy of about 10 MeV can be obtained stably. However, it is not limited to this.

【0033】この超伝導加速器38および前記反応器1
0は、例えば水平にかつ互いに直列に設置し、水平方向
に加速されて出て来る電子ビーム34を走査器56で走
査して反応器10内に横方向に入射させる。
The superconducting accelerator 38 and the reactor 1
For example, 0 is installed horizontally and in series with each other, and the electron beam 34 which is accelerated in the horizontal direction and exits is scanned by the scanner 56 so as to enter the reactor 10 in the lateral direction.

【0034】冷凍機48は、超伝導加速器38から離し
て配置するよりかは、超伝導加速器38に取り付ける方
が好ましい。そのようにすると、液体冷媒44の移送損
失を無くすることができるので、高効率となる。また、
大型の1台の冷凍機48とするよりかは、小型の冷凍機
48を複数台設ける方が好ましい。そのようにすると、
安価な冷凍機を使用することができると共に、冷凍機4
8の維持・管理が容易になり、かつ高圧ガス保安法(旧
高圧ガス取締法)の下での冷凍機48の運転資格も不要
になる。
It is preferable that the refrigerator 48 be mounted on the superconducting accelerator 38, rather than being arranged separately from the superconducting accelerator 38. By doing so, the transfer loss of the liquid refrigerant 44 can be eliminated, and high efficiency can be achieved. Also,
It is preferable to provide a plurality of small refrigerators 48 rather than one large refrigerator 48. If you do so,
An inexpensive refrigerator can be used, and the refrigerator 4
The maintenance and management of the refrigerator 8 becomes easy, and the qualification for operating the refrigerator 48 under the High Pressure Gas Safety Law (formerly the High Pressure Gas Control Law) becomes unnecessary.

【0035】高周波発振器50の発振管には、例えば、
高周波加熱に用いられる大電流の四極管(Tetrod
e)を用い、発振周波数は250MHz辺りを選べば良
い。そのようにすれば、電力効率として75%程度を確
保することができる。500MHz辺りを選んでも良
い。
The oscillation tube of the high-frequency oscillator 50 includes, for example,
High current tetrode used for high frequency heating (Tetrod
The oscillation frequency may be selected around 250 MHz using e). By doing so, power efficiency of about 75% can be secured. A frequency around 500 MHz may be selected.

【0036】高周波発振器50からの高周波電力54
は、例えば導波管52を経由して超伝導加速器38へ伝
送する。この伝送には、通常の(即ち内部が大気圧の)
導波管や同軸管を用いても良いけれども、内部が真空の
導波管52を用いるのが好ましい。この例ではそのよう
にしている。そのようにすると、導波管52と超伝導加
速空洞46との接続部の圧力差を分離する仕切板(セラ
ミックス板)が不要になる。MWクラスの高周波電力5
4を連続で通すためには、通常のセラミックス板では発
熱が大きくて耐えられないが、これを無くすることがで
きる。この他、導波管52を分岐して、複数箇所から超
伝導加速器38に高周波電力54を供給する等の手段を
採用しても良い。
High frequency power 54 from high frequency oscillator 50
Is transmitted to the superconducting accelerator 38 via the waveguide 52, for example. This transmission involves a normal (ie, atmospheric pressure inside)
Although a waveguide or a coaxial waveguide may be used, it is preferable to use a waveguide 52 having a vacuum inside. This is the case in this example. This eliminates the need for a partition plate (ceramic plate) for separating the pressure difference at the connection between the waveguide 52 and the superconducting acceleration cavity 46. MW class high frequency power 5
In order to allow the continuous passage of 4, a normal ceramic plate generates a large amount of heat and cannot endure it, but this can be eliminated. In addition, means for branching the waveguide 52 and supplying high frequency power 54 to the superconducting accelerator 38 from a plurality of locations may be employed.

【0037】超伝導加速器38で加速された電子ビーム
34は直線状に出て来るので、それを走査器56で磁場
等によって走査して広げる。走査器56は、この例で
は、電子ビーム34を磁場によって走査する走査コイル
58と、末広がりの走査管60と、その先端部に設けら
れた窓箔62とを備えている。走査の周波数は、例えば
100〜200Hz程度で良い。
Since the electron beam 34 accelerated by the superconducting accelerator 38 emerges in a straight line, it is scanned by a magnetic field or the like by a scanner 56 and spread. In this example, the scanner 56 includes a scanning coil 58 that scans the electron beam 34 with a magnetic field, a divergent scanning tube 60, and a window foil 62 provided at the tip of the scanning tube 60. The scanning frequency may be, for example, about 100 to 200 Hz.

【0038】窓箔62は、従来の窓箔24と同様、超伝
導加速器38および走査器56側の真空雰囲気と反応器
10内の大気圧雰囲気とを分離すると共に、電子ビーム
34を透過させるものであり、例えば30〜40μm厚
のチタン箔から成る。これよりも薄くすると、電子ビー
ム34の透過損失は小さくなるけれども、破れやすくな
り信頼性が低下する。
The window foil 62 separates the vacuum atmosphere on the side of the superconducting accelerator 38 and the scanner 56 from the atmospheric pressure atmosphere in the reactor 10 and transmits the electron beam 34, similarly to the conventional window foil 24. And is made of, for example, a titanium foil having a thickness of 30 to 40 μm. If the thickness is smaller than this, the transmission loss of the electron beam 34 is reduced, but the electron beam 34 is easily broken and reliability is reduced.

【0039】走査器56によって電子ビーム34を一次
元(例えばX方向)に走査すれば、電子ビーム34は面
状に広がる。電子ビーム34を二次元(例えば直交する
X、Yの両方向)に走査すれば、電子ビーム34は立体
状に広がる。二次元走査の方が、排ガス2に対する電子
ビーム34の照射面積をより大きくすることができ、電
子ビーム34の照射効率がより高くなるので好ましい。
When the electron beam 34 is scanned one-dimensionally (for example, in the X direction) by the scanner 56, the electron beam 34 spreads in a plane. When the electron beam 34 is scanned two-dimensionally (for example, in both X and Y directions orthogonal to each other), the electron beam 34 spreads three-dimensionally. Two-dimensional scanning is preferable because the irradiation area of the electron beam 34 to the exhaust gas 2 can be made larger and the irradiation efficiency of the electron beam 34 becomes higher.

【0040】電子ビーム34の二次元走査自体は容易で
あるけれども、テレビ画面のようにX、Y両方に同時に
走査する場合は、面状の電子ビーム34を透過させる大
面積の窓箔62が必要になり、その支持および冷却に工
夫を要する。
Although the two-dimensional scanning of the electron beam 34 itself is easy, when scanning in both X and Y simultaneously like a television screen, a window foil 62 having a large area for transmitting the planar electron beam 34 is required. And the device needs to be devised for its support and cooling.

【0041】その場合、一例として、図3に示すよう
に、水冷された桟68を挟んで二列の互いに平行な開口
部66を有する取付け枠64に窓箔62を取り付け、電
子ビーム34を矢印Rに示すように矩形状に回るように
走査して、桟68を横切る時間をできるだけ短くするよ
うにしても良い。そのようにすれば、二つの開口部66
を通る電子ビーム34が上下に開き気味に広がって反応
器10内に入射するので、反応器10内を流れる排ガス
2に適当な角度を持って交わり、排ガス2を効率良く処
理することができると共に、窓箔62の支持および冷却
も容易になる。
In this case, as an example, as shown in FIG. 3, a window foil 62 is attached to a mounting frame 64 having two rows of parallel openings 66 with a water-cooled bar 68 therebetween, and the electron beam 34 is turned by an arrow. The scanning may be performed so as to rotate in a rectangular shape as shown by R, so that the time to cross the crosspiece 68 may be shortened as much as possible. By doing so, the two openings 66
Since the electron beam 34 passing through the reactor 10 opens up and down and spreads slightly and enters the reactor 10, the electron beam 34 crosses the exhaust gas 2 flowing in the reactor 10 at an appropriate angle, and the exhaust gas 2 can be efficiently treated. The support and cooling of the window foil 62 are also facilitated.

【0042】上記超伝導電子ビーム発生装置30を構成
する超伝導加速器38は、線形加速器の一種であり、従
来の加速管20を用いた静電形の加速器14よりも遙か
に(例えば一桁上の)高エネルギーの電子ビーム34を
得ることができる。
The superconducting accelerator 38 constituting the superconducting electron beam generator 30 is a kind of linear accelerator, and is far more (for example, one digit) than the conventional electrostatic accelerator 14 using the accelerating tube 20. A high energy electron beam 34 (above) can be obtained.

【0043】従来の常伝導形の線形加速器では、ビーム
エネルギーが10MeV程度、ビーム出力が25kW程
度の電子ビームを得るのがほぼ上限である。これは、常
伝導形の加速空洞では、加速電界を発生させるだけで膨
大なジュール熱が発生し、この熱によって加速空洞に不
均一でしかも大きな歪みが発生して、容易に動作不安定
が発生し、大出力になるとこの不安定発生を抑えて安定
性を確保するのが極めて困難になるからである。
In the conventional normal-conduction type linear accelerator, the upper limit is to obtain an electron beam having a beam energy of about 10 MeV and a beam output of about 25 kW. This is because in a normal conduction type acceleration cavity, a huge amount of Joule heat is generated just by generating an acceleration electric field, and this heat causes unevenness and large distortion in the acceleration cavity, which easily causes unstable operation. However, when the output is large, it is extremely difficult to suppress the occurrence of instability and ensure stability.

【0044】これに対して、超伝導加速器38では、そ
れを構成する超伝導加速空洞46におけるジュール熱損
は常伝導に比べて遙かに小さく、殆ど無視することがで
きるので、加速空洞における熱歪み発生に伴う動作不安
定の問題は起こらない。その結果、従来の常伝導形の線
形加速器よりも大ビーム電流で大出力を容易に実現する
ことができる。例えば、上述したように、電子ビーム3
4のビームエネルギーが10MeV、ビーム電流が30
0〜500mA、ビーム出力が3〜5MW程度のものを
実現することができる。
On the other hand, in the superconducting accelerator 38, the Joule heat loss in the superconducting acceleration cavity 46 constituting the superconducting accelerator 38 is much smaller than that in normal conduction and can be almost ignored. The problem of operation instability due to the occurrence of distortion does not occur. As a result, it is possible to easily realize a large output with a large beam current as compared with the conventional normal type linear accelerator. For example, as described above, the electron beam 3
4 had a beam energy of 10 MeV and a beam current of 30
It is possible to realize a laser beam having a beam output of about 0 to 500 mA and a beam output of about 3 to 5 MW.

【0045】このように、超伝導電子ビーム発生装置3
0を用いたことによって、高エネルギーでしかも大出力
の電子ビーム34を得ることができるので、従来よりも
大きな排ガス処理量にも容易に対応することができる。
従って、従来よりも大出力の発電設備等にも容易に対応
することができる。
As described above, the superconducting electron beam generator 3
By using 0, a high energy and high output electron beam 34 can be obtained, so that it is possible to easily cope with a larger exhaust gas throughput than before.
Therefore, it is possible to easily cope with power generation equipment having a larger output than before.

【0046】これは、従来の静電形の電子ビーム加速器
14に比べれば、主として、電子ビーム34の高エネル
ギー化によって大出力化を図るものである。このように
すると、ビーム電流を大きくせずに済むので、前述した
窓箔62におけるビーム透過損による発熱量を大きくせ
ずに済む。むしろ、電子ビーム34の高エネルギー化に
よって透過損が減少する。その結果、窓箔62の発熱を
大きくせずに済むので、窓箔62の破損防止が容易にな
り信頼性も向上する。
This is to increase the output mainly by increasing the energy of the electron beam 34 as compared with the conventional electrostatic electron beam accelerator 14. In this case, since the beam current does not need to be increased, the amount of heat generated due to the beam transmission loss in the window foil 62 does not need to be increased. Rather, the transmission loss is reduced by increasing the energy of the electron beam 34. As a result, the heat generation of the window foil 62 does not need to be increased, so that the damage of the window foil 62 is easily prevented and the reliability is improved.

【0047】しかも、上記超伝導電子ビーム発生装置3
0からは、上記のように高エネルギーの電子ビーム34
を出力することができ、当該高エネルギーの電子ビーム
34は反応器10内の排ガス2中での透過力が大きいの
で、当該電子ビーム34を走査しながら排ガス2の流れ
に沿う方向に入射させることによって、従来のように排
ガスの流れに直交する方向に電子ビームを照射する場合
に比べて、同じ電子ビーム34をより大きな面積におい
て排ガス2に照射して処理することができる。その結
果、電子ビーム34の利用効率が高まり、ひいては排ガ
ス2の処理効率が高まる。
Moreover, the superconducting electron beam generator 3
From 0, the high energy electron beam 34
Since the high-energy electron beam 34 has high permeation power in the exhaust gas 2 in the reactor 10, the electron beam 34 is incident in the direction along the flow of the exhaust gas 2 while scanning the electron beam 34. Accordingly, the same electron beam 34 can be applied to the exhaust gas 2 in a larger area to perform processing, as compared with the case where the electron beam is irradiated in the direction orthogonal to the flow of the exhaust gas as in the related art. As a result, the utilization efficiency of the electron beam 34 is increased, and the treatment efficiency of the exhaust gas 2 is increased.

【0048】また、従来のように多くの電子ビーム加速
器14とそれ用の多くの直流高圧電源26とを配置する
必要のある電子ビーム発生装置12に比べて、この超伝
導電子ビーム発生装置30の方が配置のスペースおよび
総重量を遙かに小さくすることができるので、電子ビー
ム式排ガス処理装置の小型化および軽量化を図ることが
できる。
The superconducting electron beam generator 30 is different from the conventional electron beam generator 12 in which many electron beam accelerators 14 and many DC high voltage power supplies 26 need to be arranged. Since the arrangement space and the total weight can be made much smaller, the size and weight of the electron beam type exhaust gas treatment device can be reduced.

【0049】なお、超伝導電子ビーム発生装置30から
発生させる電子ビーム34のエネルギーは、10MeV
程度までであればほぼ任意に選ぶことができ、超伝導電
子ビーム発生装置30側からの制約は殆どない。反応器
10における反応の観点からエネルギーを自由に選定す
ることができる。従って、装置設計の自由度が高い。
The energy of the electron beam 34 generated from the superconducting electron beam generator 30 is 10 MeV
It can be selected almost arbitrarily up to the extent, and there is almost no restriction from the superconducting electron beam generator 30 side. The energy can be freely selected from the viewpoint of the reaction in the reactor 10. Therefore, the degree of freedom of the device design is high.

【0050】超伝導電子ビーム発生装置30から発生さ
せる電子ビーム34のビーム電流は、前述したように例
えば300〜500mA程度であるが、これに限られる
ものではない。
The beam current of the electron beam 34 generated from the superconducting electron beam generator 30 is, for example, about 300 to 500 mA as described above, but is not limited to this.

【0051】また、1台の反応器10に対して上記のよ
うな超伝導電子ビーム発生装置30を複数台設けても良
い。その場合、複数台の超伝導電子ビーム発生装置30
を反応器10の片側に配置しても良いし、反応器10の
両側に相対向するように配置しても良い。後者の場合、
例えば、処理後の排ガス2は反応器10の下流側端部か
ら斜めに取り出すようにすれば良い。
Further, a plurality of superconducting electron beam generators 30 as described above may be provided for one reactor 10. In that case, a plurality of superconducting electron beam generators 30
May be arranged on one side of the reactor 10 or on both sides of the reactor 10 so as to face each other. In the latter case,
For example, the treated exhaust gas 2 may be taken obliquely from the downstream end of the reactor 10.

【0052】[0052]

【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、超伝導
加速器を有する超伝導電子ビーム発生装置を備えてい
て、従来の静電形の加速器や常伝導形の線形加速器より
も高エネルギーでしかも大出力の電子ビームを得ること
ができるので、従来よりも大きな排ガス処理量にも容易
に対応することができる。
As described above, according to the present invention, a superconducting electron beam generator having a superconducting accelerator is provided, which has higher energy than conventional electrostatic accelerators and normal-conducting linear accelerators. In addition, since a high-power electron beam can be obtained, it is possible to easily cope with a larger exhaust gas throughput than ever before.

【0053】また、電子ビームの高エネルギー化によっ
てビーム電流を大きくせずに済み、それによって窓箔の
発熱を大きくせずに済むので、窓箔の破損防止が容易に
なり信頼性も向上する。
In addition, since the beam current does not need to be increased by increasing the energy of the electron beam, and the heat generation of the window foil does not need to be increased, it is easy to prevent breakage of the window foil and reliability is improved.

【0054】しかも、透過力の大きい高エネルギーの電
子ビームを走査しながら排ガスの流れに沿う方向に入射
させることによって、同じ電子ビームをより大きな面積
において排ガスに照射して処理することができるので、
電子ビームの利用効率が高まり、ひいては排ガスの処理
効率が高まる。
Furthermore, by scanning a high-energy electron beam having a large penetrating power and making it incident in the direction along the flow of the exhaust gas, the same electron beam can be applied to the exhaust gas in a larger area for processing.
The utilization efficiency of the electron beam is increased, and the treatment efficiency of the exhaust gas is increased.

【0055】また、従来のように多くの電子ビーム加速
器とそれ用の多くの直流高圧電源とを配置する必要のあ
る電子ビーム発生装置に比べて、この発明を構成する超
伝導電子ビーム発生装置の方が配置のスペースおよび総
重量を遙かに小さくすることができるので、電子ビーム
式排ガス処理装置の小型化および軽量化を図ることがで
きる。
The superconducting electron beam generator according to the present invention is different from the conventional electron beam generator in which a large number of electron beam accelerators and a large number of high-voltage DC power supplies for the electron beam accelerator need to be arranged. Since the arrangement space and the total weight can be made much smaller, the size and weight of the electron beam type exhaust gas treatment device can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明に係る電子ビーム式排ガス処理装置の
一例を示す概略図である。
FIG. 1 is a schematic view showing an example of an electron beam type exhaust gas treatment apparatus according to the present invention.

【図2】図1中の超伝導加速器周りの一例を示す概略断
面図である。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing an example around a superconducting accelerator in FIG.

【図3】電子ビームの走査と窓箔との関係の一例を示す
正面図である。
FIG. 3 is a front view showing an example of the relationship between electron beam scanning and window foil.

【図4】従来の電子ビーム式排ガス処理装置の一例を示
す概略図である。
FIG. 4 is a schematic view showing an example of a conventional electron beam type exhaust gas treatment apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 排ガス 8 アンモニア 10 反応器 30 超伝導電子ビーム発生装置 32 電子源 34 電子ビーム 38 超伝導加速器 46 超伝導加速空洞 48 冷凍機 50 高周波発振器 56 走査器 62 窓箔 2 Exhaust gas 8 Ammonia 10 Reactor 30 Superconducting electron beam generator 32 Electron source 34 Electron beam 38 Superconducting accelerator 46 Superconducting accelerating cavity 48 Refrigerator 50 High frequency oscillator 56 Scanner 62 Window foil

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G21K 5/04 ZAA B01D 53/34 ZAB 5/10 Fターム(参考) 4D002 AA02 AA12 AC10 BA05 BA09 DA07 FA06 4G075 AA03 AA37 BA05 BA06 BD22 CA03 CA14 CA39 CA62 CA80 DA02 EB21 FB02 FC11 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI Theme coat ゛ (Reference) G21K 5/04 ZAA B01D 53/34 ZAB 5/10 F term (Reference) 4D002 AA02 AA12 AC10 BA05 BA09 DA07 FA06 4G075 AA03 AA37 BA05 BA06 BD22 CA03 CA14 CA39 CA62 CA80 DA02 EB21 FB02 FC11

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電子ビームを発生させる電子ビーム発生
装置と、処理すべき排ガス、アンモニアおよび前記電子
ビームが導入され、アンモニアの共存下で排ガスに電子
ビームを照射して排ガス中の硫黄酸化物および窒素酸化
物の除去を行う反応器とを備える電子ビーム式排ガス処
理装置において、前記電子ビーム発生装置として、電子
ビームを発生させてそれを超伝導加速器によって加速し
た後に走査して出力する超伝導電子ビーム発生装置を備
えており、かつこの超伝導電子ビーム発生装置からの電
子ビームを、前記反応器内へ、当該反応器内における前
記排ガスの流れに沿う方向に入射させるように構成して
いることを特徴とする電子ビーム式排ガス処理装置。
An electron beam generator for generating an electron beam, exhaust gas to be treated, ammonia and the electron beam are introduced, and the exhaust gas is irradiated with the electron beam in the coexistence of ammonia, and sulfur oxides in the exhaust gas and A reactor for removing nitrogen oxides, wherein the superconducting electron beam is generated by generating an electron beam, accelerating the electron beam by a superconducting accelerator, and then scanning and outputting the electron beam. A beam generator, and the electron beam from the superconducting electron beam generator is configured to be incident on the reactor in a direction along the flow of the exhaust gas in the reactor. An electron beam type exhaust gas treatment apparatus characterized by the above-mentioned.
【請求項2】 前記超伝導電子ビーム発生装置が、電子
ビームを発生させる電子源と、超伝導状態に保たれる超
伝導加速空洞を有していて前記電子源から供給される電
子ビームを当該超伝導加速空洞における高周波電界によ
って加速して出力する超伝導加速器と、この超伝導加速
器内の超伝導加速空洞に加速用の高周波電力を供給する
高周波発振器と、前記超伝導加速器から出力される電子
ビームを少なくとも一次元に走査して前記反応器内へ入
射させる走査器と、前記超伝導加速器にその内部の超伝
導加速空洞を超伝導状態に保つ液体冷媒を供給する冷凍
機とを備えている請求項1記載の電子ビーム式排ガス処
理装置。
2. The superconducting electron beam generator includes an electron source for generating an electron beam, and a superconducting accelerating cavity maintained in a superconducting state. A superconducting accelerator that accelerates and outputs by a high-frequency electric field in the superconducting acceleration cavity, a high-frequency oscillator that supplies high-frequency power for acceleration to the superconducting acceleration cavity in the superconducting accelerator, and an electron that is output from the superconducting accelerator. A scanner for scanning the beam at least one-dimensionally to enter the reactor, and a refrigerator for supplying the superconducting accelerator with a liquid refrigerant for keeping a superconducting accelerating cavity therein in a superconducting state. An electron beam type exhaust gas treatment apparatus according to claim 1.
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