JP5298639B2 - Method and apparatus for treating alkaline waste liquid containing water-soluble resin component - Google Patents
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- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims description 188
- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims description 188
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 183
- 239000002699 waste material Substances 0.000 title claims description 127
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 50
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 169
- 239000003729 cation exchange resin Substances 0.000 claims description 168
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 111
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 claims description 98
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 claims description 98
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 76
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 60
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 60
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 48
- 238000011282 treatment Methods 0.000 claims description 48
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims description 38
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 claims description 32
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 claims description 10
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 4
- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 28
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 15
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 15
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 12
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 11
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 10
- 239000012492 regenerant Substances 0.000 description 10
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 9
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 9
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 7
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000004071 soot Substances 0.000 description 5
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 4
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000000047 product Substances 0.000 description 4
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 230000003472 neutralizing effect Effects 0.000 description 3
- 229910001415 sodium ion Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000010335 hydrothermal treatment Methods 0.000 description 2
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 description 2
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 2
- 230000001376 precipitating effect Effects 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 230000009897 systematic effect Effects 0.000 description 2
- BHPQYMZQTOCNFJ-UHFFFAOYSA-N Calcium cation Chemical compound [Ca+2] BHPQYMZQTOCNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002845 Poly(methacrylic acid) Polymers 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 239000011260 aqueous acid Substances 0.000 description 1
- 229910001424 calcium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 229940023913 cation exchange resins Drugs 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 238000011038 discontinuous diafiltration by volume reduction Methods 0.000 description 1
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 1
- 229910001410 inorganic ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010907 mechanical stirring Methods 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 description 1
- 239000010802 sludge Substances 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000009284 supercritical water oxidation Methods 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
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Description
本発明は、水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液を無害化するための処理方法および装置に係り、詳しくは、ｐＨが低下すると析出する水溶性樹脂成分とアルカリ成分とを含む水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液、特に半導体や電子部品の製造工程で発生するレジスト含有廃液等の水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液を、安定かつ高度に処理するための方法および装置に関するものである。 The present invention relates to a treatment method and apparatus for detoxifying a water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid, and more specifically, a water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid containing a water-soluble resin component and an alkali component that precipitate when the pH decreases. In particular, the present invention relates to a method and an apparatus for stably and highly treating a water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid such as a resist-containing waste liquid generated in a manufacturing process of semiconductors and electronic components.
半導体や電子部品の製造工程から排出される廃液の一つに、ドライフィルムレジストを使用した製造工程から排出される水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液がある。この廃液は、ドライフィルムレジストを貼り付けた基板に回路パターンを露光してレジストを硬化させた後、露光されず硬化していないレジストをアルカリ水溶液で洗浄して除去する際、レジスト中の樹脂成分が水溶性となってアルカリ水溶液に溶解して発生したものである。この種の廃液中の水溶性樹脂成分には、アルカリ性の状態では水溶性であるが、ｐＨが低下し、酸性になると不溶化して不溶性樹脂成分が析出するものがある。 One of the waste liquids discharged from the manufacturing process of semiconductors and electronic components is a water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid discharged from the manufacturing process using a dry film resist. This waste liquid is a resin component in the resist when the circuit pattern is exposed to the substrate on which the dry film resist is adhered and the resist is cured, and then the unexposed and uncured resist is removed by washing with an alkaline aqueous solution. Is water-soluble and dissolved in an alkaline aqueous solution. Some water-soluble resin components in this type of waste liquid are water-soluble in an alkaline state, but are insoluble and precipitate an insoluble resin component when the pH is lowered and becomes acidic.
このような水溶性樹脂成分は、生物難分解性物質を主成分とするため、活性汚泥処理等の生物処理では処理することができない。このため、水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液は焼却、超臨界または亜臨界水熱処理などの加熱を伴う処理で処理されているが、これらの処理に先立って、濃縮による減容化が行われる。この減容化のために、水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液を蒸発濃縮等により濃縮する場合、アルカリ性の状態では装置に悪影響が及ぶので、通常は酸により中和して濃縮、減容化が行われる。 Since such a water-soluble resin component is mainly composed of a biodegradable substance, it cannot be treated by biological treatment such as activated sludge treatment. For this reason, the alkaline waste liquid containing the water-soluble resin component is treated by a treatment involving heating such as incineration, supercritical or subcritical hydrothermal treatment, and volume reduction by concentration is performed prior to these treatments. In order to reduce the volume, when the alkaline waste liquid containing water-soluble resin components is concentrated by evaporating, etc., the device is adversely affected in an alkaline state. Is called.
しかし、水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液に単に中和剤として酸を添加して中和すると塩が生成し、酸由来の無機イオンが増加する。このような中和液を濃縮すると、濃縮により塩濃度が高くなりすぎ、このため、濃縮装置や超臨界水酸化処理装置において塩類が析出して閉塞を招くことがある。また、ｐＨが低下したり、塩濃度が高くなることなどにより、水溶性樹脂成分などの溶解成分が不溶化する場合があり、蒸発濃縮装置に析出成分が蓄積したり、粘着性を有する析出物が配管等を閉塞してしまうことがある。このようなことは蒸発濃縮の場合だけではなく、透過膜による濃縮の場合にも、程度の差はあるが、同様のことが起こり得る。 However, when an acid is simply added to the water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid as a neutralizing agent and neutralized, a salt is generated and inorganic ions derived from the acid increase. When such a neutralized solution is concentrated, the concentration of the salt becomes too high due to the concentration. For this reason, salts may precipitate in the concentrating device or the supercritical water oxidation treatment device to cause clogging. In addition, dissolved components such as water-soluble resin components may become insoluble due to a decrease in pH or an increase in salt concentration. It may block the piping. This is not only the case in the case of evaporation concentration but also in the case of concentration with a permeable membrane.
この問題は、廃液に中和剤を添加して中和するのではなく、廃液中のアルカリ成分を除去することによりｐＨを調整することができれば、回避することができる。廃液中のアルカリ成分は、ナトリウムイオン、カルシウムイオン等のカチオンであり、これらを除去するためには、イオン交換技術が考えられる。イオン交換は水中のイオンのうち、特定のイオンを除去できる代表的な技術であり、用水分野では最も一般的な技術の一つになっている。 This problem can be avoided if the pH can be adjusted by removing the alkaline component in the waste liquid instead of neutralizing the waste liquid by adding a neutralizing agent. Alkaline components in the waste liquid are cations such as sodium ions and calcium ions, and an ion exchange technique can be considered to remove them. Ion exchange is a representative technique that can remove specific ions out of ions in water, and is one of the most common techniques in the water supply field.
イオン交換による水処理方法としては、イオン交換樹脂を充填した樹脂塔に被処理水を通水して、水中のイオンをイオン交換除去するカラム通水方式が一般的である。しかし、Ｈ形カチオン交換樹脂を充填した樹脂塔に水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液を通水すると、溶解していた水溶性樹脂成分が不溶化して大量に析出し、析出物が樹脂塔内の特定の部分に付着することにより樹脂塔内の流れが不均一化し、イオン交換処理ができなくなる課題があった。また、このような流れの不均一化を防止するために、通水流速を高めてイオン交換樹脂が流動化している状態で処理しても、同様に析出した樹脂成分が樹脂塔上部に付着・堆積し、処理を継続することができなくなる課題があった。 As a water treatment method by ion exchange, a column water flow method is generally used in which water to be treated is passed through a resin tower filled with an ion exchange resin, and ions in the water are removed by ion exchange. However, when water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid is passed through a resin tower filled with H-type cation exchange resin, the dissolved water-soluble resin component becomes insoluble and precipitates in large quantities, and the deposit is identified in the resin tower. As a result, the flow in the resin tower becomes non-uniform by adhering to this portion, and there is a problem that ion exchange treatment cannot be performed. Moreover, in order to prevent such non-uniform flow, even if the ion exchange resin is fluidized by increasing the flow rate of water flow, the resin component deposited in the same manner adheres to the upper part of the resin tower. There was a problem that it was deposited and the processing could not be continued.
この課題を解決するために、水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液にＨ形カチオン交換樹脂を混合し、懸濁状態で反応させてアルカリ成分をイオン交換により吸着させることにより、水溶性樹脂成分の析出なしに容易にアルカリ成分を除去し、これにより塩類濃度を低下させ、ｐＨ調整を行って、塩類および水溶性樹脂成分の析出なしに効率よく水溶性樹脂成分の処理を行う技術が提案されている（特許文献１）。 In order to solve this problem, there is no precipitation of water-soluble resin component by mixing H-type cation exchange resin with alkaline waste liquid containing water-soluble resin component, reacting in suspension and adsorbing alkali component by ion exchange A technique has been proposed in which an alkali component is easily removed, thereby reducing the salt concentration, adjusting the pH, and efficiently treating the water-soluble resin component without precipitation of the salt and the water-soluble resin component ( Patent Document 1).
図２は、特許文献１に記載される水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理装置の系統図であり、図２において、１は脱アルカリ槽、２は分離再生槽、３は樹脂成分処理装置、４は樹脂槽、５は計量槽、６は再生剤槽である。 FIG. 2 is a system diagram of a treatment apparatus for a water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid described in Patent Document 1. In FIG. 2, 1 is a dealkalization tank, 2 is a separation and regeneration tank, 3 is a resin component treatment apparatus, 4 is a resin tank, 5 is a metering tank, and 6 is a regenerant tank.
この装置では、まず、弁Ｖ１、Ｖ２を開き、ラインＬ１、Ｌ１’を経て所定量の被処理廃液を脱アルカリ槽１に導入して撹拌機７で混合する。次に、弁Ｖ３を開き、樹脂槽４からラインＬ２を通して計量槽５にＨ形カチオン交換樹脂を導入して計量し、弁Ｖ２を閉じ、弁Ｖ４、Ｖ５を開き、ラインＬ１，Ｌ３を経て供給される被処理廃液で計量槽５で計量された樹脂をラインＬ２’，Ｌ１’を経て脱アルカリ槽１に移送し、撹拌機７で混合する。こうして、脱アルカリ槽１内で被処理廃液をＨ形カチオン交換樹脂と混合し、懸濁状態で反応させることにより、被処理廃液からイオン交換によりアルカリ成分を除去する。これにより、水溶性樹脂成分の析出なしに塩類濃度を低下させて、被処理液をｐＨ調整することができる。
In this apparatus, first, the valves V1 and V2 are opened, a predetermined amount of waste liquid to be treated is introduced into the dealkalizing tank 1 through the lines L1 and L1 ', and is mixed by the stirrer 7. Next, the valve V3 is opened, the H-type cation exchange resin is introduced into the
撹拌を継続して廃液のｐＨが安定した段階で、弁Ｖ６、Ｖ７を開き、脱アルカリ槽１からカチオン交換樹脂を含む脱アルカリ液をラインＬ４を経て分離再生槽２に導入し、カチオン交換樹脂の分離を行う。分離再生槽２ではストレーナ８で濾過することにより、目的のｐＨとなった脱アルカリ処理液とカチオン交換樹脂を分離し、分離液はラインＬ５，Ｌ５’を経て樹脂成分処理装置３に送給する。樹脂成分処理装置３においては、分離液が濃縮等で処理された後、必要に応じて分解等の処理が施され、処理物がラインＬ１０より系外へ排出される。
When the pH of the waste liquid is stabilized by continuing the stirring, the valves V6 and V7 are opened, and the dealkalized liquid containing the cation exchange resin is introduced from the dealkalization tank 1 into the separation /
分離再生槽２で分離したカチオン交換樹脂は、この分離再生槽２内で再生する。再生は弁Ｖ８〜Ｖ１１を開き、ラインＬ６から水を送給すると共に、再生剤槽６からラインＬ７を通して再生剤（酸）を送り、水で希釈した酸を分離再生槽２に導入し、カチオン交換樹脂層９を通過させて再生を行う。再生廃液はラインＬ８から系外へ排出する。その後、弁Ｖ９を閉じ、水のみを送って、押出し洗浄を行う。再生終了後、Ｖ１１を閉じ、弁Ｖ８、Ｖ１０、Ｖ７、Ｖ１２、Ｖ１３を開き、ラインＬ６，Ｌ５，Ｌ６’を経て分離再生槽２に水を送り、再生済みのカチオン交換樹脂をラインＬ９から樹脂槽４に移送する。
The cation exchange resin separated in the separation /
特許文献１の技術であれば、このように被処理廃液にカチオン交換樹脂を添加混合して懸濁状態で反応させる方法を採用することにより、水溶性樹脂成分の析出による流れの不均一化や閉塞などの問題が防止される。 If it is the technique of patent document 1, by adopting the method of adding and mixing the cation exchange resin to the waste liquid to be treated and reacting in a suspended state in this way, the flow becomes non-uniform due to precipitation of the water-soluble resin component. Problems such as blockages are prevented.
即ち、アルカリ成分の除去のために、水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液をＨ形カチオン交換樹脂塔に通水すると、通水初期の処理水はＮａイオン等のアルカリ成分が大量に除去されて、ｐＨが３〜４まで低下して酸性になり、溶解していた水溶性樹脂成分が不溶化して大量に析出する。
これに対して、廃液にＨ形カチオン交換樹脂を混合して懸濁させ、被処理廃液の入れ替えを行うことなくバッチ式でイオン交換反応によりアルカリ成分を除去することにより、過度にｐＨを低下させることなく、アルカリ成分を除去することができ、これにより水溶性樹脂成分を析出させることなく、脱アルカリ処理することが可能となる。
In contrast, the H-form cation exchange resin is mixed and suspended in the waste liquid, and the pH is excessively lowered by removing the alkaline component by the ion exchange reaction in a batch manner without replacing the waste liquid to be treated. Without removing the alkali component, the alkali removal treatment can be performed without precipitating the water-soluble resin component.
上記特許文献１の技術では次のような課題があった。 The technique disclosed in Patent Document 1 has the following problems.
半導体や電子部品の製造工程で発生するレジスト含有廃液等のように、ｐＨが低下すると析出する水溶性樹脂成分とアルカリ成分とを含む水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液には、過飽和となって溶解し得なかったレジストフィルムの残渣が固形物として混在している。また、特許文献１の方法であれば、脱アルカリ処理において、水溶性樹脂成分の析出の問題がないとしても、ごく一部の析出は起こり得る。廃液中に含まれるフィルム滓のような固形物や、脱アルカリ工程で析出した水溶性樹脂成分は、脱アルカリ液からカチオン交換樹脂を分離する際に、分離液側に分離されて排出されずにカチオン交換樹脂層中に取り込まれたまま残されてしまう場合がある。また、脱アルカリ液から分離されたカチオン交換樹脂の粒子表面や樹脂粒子間には、水溶性樹脂成分を含む液が付着、ないし残留している。 Water-soluble resin component-containing alkaline waste liquids containing water-soluble resin components and alkali components that precipitate when the pH is lowered, such as resist-containing waste liquids generated in the manufacturing process of semiconductors and electronic components, dissolve and become supersaturated. Residue film residues that were not obtained are mixed as solids. Moreover, if it is the method of patent document 1, even if there is no problem of precipitation of a water-soluble resin component in a dealkalization process, only a part of precipitation may occur. The solid matter such as film soot contained in the waste liquid and the water-soluble resin component precipitated in the dealkalization process are separated and separated from the dealkal solution side when the cation exchange resin is separated from the dealkalization liquid. In some cases, it is left in the cation exchange resin layer. Further, a liquid containing a water-soluble resin component adheres or remains between the particle surface of the cation exchange resin separated from the dealkalizing liquid and between the resin particles.
脱アルカリ液からのカチオン交換樹脂の分離工程において、カチオン交換樹脂層に残留したフィルム滓やわずかに析出した樹脂成分や廃液由来の水溶性樹脂成分が完全に除去されないまま、カチオン交換樹脂の再生のための酸が通水されると、ｐＨの低下により水溶性樹脂成分が析出し、既に存在する固形分と共に固化する。そして、再生回数を重ねると、このような析出物が蓄積し、大きな塊となり配管を閉塞させることとなる。 In the separation process of the cation exchange resin from the dealkalized liquid, the film mist remaining in the cation exchange resin layer, the resin component slightly deposited, and the water-soluble resin component derived from the waste liquid are not completely removed, and the cation exchange resin is regenerated. When the acid for water is passed through, the water-soluble resin component precipitates due to the decrease in pH and solidifies together with the solid content already present. If the number of regenerations is repeated, such precipitates accumulate, forming a large lump and closing the pipe.
また、特許文献１では、カチオン交換樹脂を計量槽５で計量して脱アルカリ槽１に移送する際に、エゼクターを用いて、被処理廃液で計量槽５内のカチオン交換樹脂を押し出して脱アルカリ槽１に移送している。このため、計量槽５から脱アルカリ槽１に移送される間の短い時間ではあるが、移送中の配管内では被処理廃液に対してカチオン交換樹脂が多く存在するため、廃液のｐＨの低下で液中の水溶性樹脂成分が析出して、送液不良を引き起こす。この際、再生されたカチオン交換樹脂に再生工程で生成した固形分が付着していると、水溶性樹脂成分の析出による送液不良の問題はより一層深刻化する。
In Patent Document 1, when the cation exchange resin is weighed in the
本発明は、水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液にＨ形カチオン交換樹脂を混合し、懸濁状態で反応させて脱アルカリ処理した後、脱アルカリ液からカチオン交換樹脂を分離し、分離したカチオン交換樹脂を再生して循環使用する前処理を行う廃液処理において、上述のようなカチオン交換樹脂再生時の水溶性樹脂成分の析出や、樹脂への固形分の付着、混入、それによる固形物の系内蓄積に起因する運転障害を防止して、長期に亘り、安定かつ効率的な処理を行う方法および装置を提供することを目的とする。
本発明はまた、カチオン交換樹脂を脱アルカリ工程に送給する際の水溶性樹脂成分の析出の問題を解決する方法および装置を提供することを目的とする。
In the present invention, an alkali waste liquid containing a water-soluble resin component is mixed with an H-form cation exchange resin, reacted in a suspended state and subjected to dealkalization treatment, then the cation exchange resin is separated from the dealkalized liquid, and the separated cation exchange resin is separated. In the waste liquid treatment for pretreatment for recycling and recycling, the precipitation of water-soluble resin components during the regeneration of the cation exchange resin as described above, the adhesion and mixing of solids to the resin, and the resulting solid matter system It is an object of the present invention to provide a method and an apparatus that prevent operation failures caused by accumulation and perform stable and efficient processing over a long period of time.
Another object of the present invention is to provide a method and an apparatus for solving the problem of precipitation of a water-soluble resin component when a cation exchange resin is fed to a dealkalization step.
本発明（請求項１）の水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理方法は、脱アルカリ槽にて、不溶解成分を含む水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液とＨ形カチオン交換樹脂とを添加混合してアルカリ成分を除去する脱アルカリ工程と、該脱アルカリ工程からの脱アルカリ液からカチオン交換樹脂を分離する分離工程と、該分離工程で分離された分離液中の水溶性樹脂成分を処理する水溶性樹脂成分処理工程と、該分離工程で分離したカチオン交換樹脂を再生して前記脱アルカリ工程へ返送する再生循環工程とを含む水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理方法において、該再生循環工程は、カチオン交換樹脂を水で洗浄する前洗浄工程と、前洗浄後のカチオン交換樹脂を酸と接触させて再生する酸再生工程と、再生したカチオン交換樹脂を前記脱アルカリ槽に返送する返送工程とを有し、該返送工程において、再生したカチオン交換樹脂を、水溶性樹脂成分を含まない水を用いて前記脱アルカリ槽へ返送することを特徴とする。 Processing method of the water-soluble resin component containing the alkali waste liquid of the present invention (claim 1), with desalted alkali bath, was added and mixed and the water-soluble resin component containing an alkali waste liquid and the H-shaped cation exchange resin containing insoluble components A dealkalizing step for removing the alkali component, a separating step for separating the cation exchange resin from the dealkalized liquid from the dealkalizing step, and a water solubility for treating the water-soluble resin component in the separated solution separated in the separating step In the method for treating a water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid comprising a resin component treatment step and a regeneration circulation step of regenerating and returning the cation exchange resin separated in the separation step to the dealkalization step, the regeneration circulation step comprises: a pre-cleaning step of cleaning the cation exchange resin with water, before the cation exchange resin after washing is contacted with an acid acid to play regeneration step, the cation exchange resin regenerated de And a returning step for returning to the alkaline bath, in said returning step, the cation exchange resin regeneration, characterized by returning said to dealkalization tank with water containing no water-soluble resin component.
請求項２の水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理方法は、請求項１において、前洗浄工程は、カチオン交換樹脂の体積の４体積倍以上の水を用いてカチオン交換樹脂を洗浄する工程であることを特徴とする。
The method for treating a water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid according to
請求項３の水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理方法は、請求項１又は２において、前記前洗浄工程は、再生容器内のカチオン交換樹脂に水を上向流で通水して洗浄する工程であることを特徴とする。
The method for treating a water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid according to claim 3 is the method according to
請求項４の水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理方法は、請求項３において、前記再生容器の洗浄排水排出管の通水部の開口面積が１ｃｍ２以上であることを特徴とする。 A method for treating a water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid according to claim 4 is characterized in that, in claim 3, the opening area of the water passage portion of the washing drainage pipe of the regeneration container is 1 cm 2 or more.
請求項５の水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理方法は、請求項３又は４において、前記再生容器内のカチオン交換樹脂層の展開率が１．２倍以上となるような通水速度で、水を通水することを特徴とする。
The method for treating a water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid according to
請求項６の水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理方法は、請求項１ないし５のいずれか１項において、前洗浄工程で排出される洗浄排水のうち、少なくとも洗浄開始初期の洗浄排水を前記分離液と共に、前記水溶性樹脂成分処理工程で処理することを特徴とする。 A method for treating a water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid according to claim 6 is the separation method according to any one of claims 1 to 5, wherein at least the cleaning wastewater at the beginning of cleaning is separated from the cleaning wastewater discharged in the pre-cleaning step. It processes by the said water-soluble resin component processing process with a liquid, It is characterized by the above-mentioned .
請求項７の水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理方法は、請求項１ないし６のいずれか１項において、前記水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液は、ｐＨが低下すると析出する水溶性樹脂成分とアルカリ成分とを含むことを特徴とする。 Processing method of the water-soluble resin component containing alkali wastewater 請 Motomeko 7, in any one of claims 1 to 6, wherein the water-soluble resin component containing alkaline waste liquid, water-soluble resin component precipitates as the pH drops And an alkali component.
請求項８の水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理方法は、請求項７において、前記水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液がレジスト含有廃液であることを特徴とする。
The method for treating a water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid according to
本発明（請求項９）の水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理装置は、不溶解成分を含む水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液にＨ形カチオン交換樹脂を添加混合してアルカリ成分を除去する脱アルカリ槽と、該脱アルカリ槽からの脱アルカリ液からカチオン交換樹脂を分離する分離手段と、該分離手段で分離された分離液中の水溶性樹脂成分を処理する水溶性樹脂成分処理手段と、該分離手段で分離したカチオン交換樹脂を再生して前記脱アルカリ槽へ返送する再生循環手段とを含む水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理装置において、該再生循環手段は、カチオン交換樹脂を水で洗浄する前洗浄手段と、前洗浄後のカチオン交換樹脂を酸と接触させて再生する酸再生手段と、再生されたカチオン交換樹脂を、水溶性樹脂成分を含まない水を用いて前記脱アルカリ槽に返送する手段とを有することを特徴とする。 The apparatus for treating an alkaline waste liquid containing a water-soluble resin component according to the present invention (Claim 9) is a dealkalization in which an H-form cation exchange resin is added to and mixed with a water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid containing an insoluble component to remove the alkaline component A tank , separation means for separating the cation exchange resin from the dealkalized liquid from the dealkalization tank , water-soluble resin component treatment means for treating the water-soluble resin component in the separated liquid separated by the separation means, And a recycling apparatus for regenerating and recycling the cation exchange resin separated by the separation means and returning it to the dealkalization tank , wherein the regeneration circulation means is for washing the cation exchange resin with water. Pre-cleaning means, acid regeneration means for regenerating the pre-washed cation exchange resin by contacting with acid, and regenerated cation exchange resin with water containing no water-soluble resin component. And having a means for returning to the dealkalizing tank are.
請求項１０の水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理装置は、請求項９において、該前洗浄手段は、カチオン交換樹脂を収容する再生容器と、該再生容器の下部から水を導入する導入管と、該再生容器の上部から洗浄排水を排出する排出管とを備え、該排出管の通水部の開口面積が１ｃｍ２以上であることを特徴とする。 An apparatus for treating a water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid according to claim 10 is characterized in that, in claim 9 , the pre-cleaning means includes a regeneration container that contains a cation exchange resin, and an introduction pipe that introduces water from the lower part of the regeneration container. And a discharge pipe for discharging the washing waste water from the upper part of the regeneration container, and the opening area of the water passing portion of the discharge pipe is 1 cm 2 or more.
請求項１１の水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理装置は、請求項１０において、前記再生容器から排出される洗浄排水を前記水溶性樹脂成分処理手段へ導入する手段を有することを特徴とする。 The apparatus for treating an alkaline waste liquid containing a water-soluble resin component according to claim 11 is characterized in that, in claim 10 , the apparatus has means for introducing cleaning wastewater discharged from the regeneration container into the water-soluble resin component treatment means. .
本発明によれば、水溶性樹脂成分含有アルカリの脱アルカリ処理に使用したカチオン交換樹脂の再生に当たり、予め水で洗浄してカチオン交換樹脂層内に混入した廃液由来のフィルム滓等の固形物や、脱アルカリ液からカチオン交換樹脂を分離した際に、カチオン交換樹脂層内に残留した廃液由来の水溶性樹脂成分を除去する。
このため、酸再生時にカチオン交換樹脂層に酸が供給されてｐＨが低下しても、廃液由来の水溶性樹脂成分の排出の問題はなく、また、廃液由来の固形物も除去されているため、再生されたカチオン交換樹脂にこれらの固形物が混入することが防止される。
According to the present invention, in the regeneration of the cation exchange resin used for the alkali removal treatment of the water-soluble resin component-containing alkali, the solids such as the film cake derived from the waste liquid previously washed with water and mixed in the cation exchange resin layer, When the cation exchange resin is separated from the dealkalized liquid, the water-soluble resin component derived from the waste liquid remaining in the cation exchange resin layer is removed.
For this reason, even if acid is supplied to the cation exchange resin layer during acid regeneration and the pH is lowered, there is no problem of discharge of the water-soluble resin component derived from the waste liquid, and the solid matter derived from the waste liquid is also removed. Thus, these solid substances are prevented from being mixed into the regenerated cation exchange resin.
従って、これらの固形物の系内蓄積を防止して、安定かつ効率的な処理を長期に亘って継続して行うことが可能となる。 Therefore, accumulation of these solid substances in the system can be prevented, and stable and efficient treatment can be continuously performed over a long period of time.
この前洗浄工程においては、カチオン交換樹脂の体積の４体積倍以上の水を用いてカチオン交換樹脂を洗浄することが、カチオン交換樹脂を十分に洗浄する上で好ましい（請求項２）。また、前洗浄は、再生容器内のカチオン交換樹脂に、水を上向流で通水して行うことが、比重の小さい廃液由来のフィルム滓等の固形物を効率的に洗浄除去する上で好ましく（請求項３）、その際、再生容器の洗浄排水排出管の通水部の開口面積を１ｃｍ２以上とすることが、排出される固形物による通水部の目詰りを防止する上で好ましい（請求項４，１０）。また、このような上向流による洗浄に当たり、再生容器内のカチオン交換樹脂層の展開率が１．２倍以上となるような通水速度で、水を通水することにより、樹脂粒子間に残留する固形物や樹脂粒子表面に付着した廃液由来の水溶性樹脂成分を十分に洗浄除去することが可能となる（請求項５）。 In this pre-cleaning step, it is preferable to wash the cation exchange resin with water at least 4 times the volume of the cation exchange resin in order to sufficiently wash the cation exchange resin (claim 2). In addition, pre-cleaning is performed by passing water in an upward flow through the cation exchange resin in the regeneration container, in order to efficiently wash and remove solid matter such as waste liquid derived from waste liquid having a small specific gravity. Preferably, (Claim 3), in that case, the opening area of the water passage portion of the washing drain discharge pipe of the regeneration container should be 1 cm 2 or more in order to prevent clogging of the water passage portion due to discharged solid matter. Preferred (Claims 4 and 10 ). In addition, when washing with such upward flow, water is passed between resin particles at a water flow rate such that the expansion rate of the cation exchange resin layer in the regeneration container is 1.2 times or more. The remaining solid matter and the water-soluble resin component derived from the waste liquid adhering to the surface of the resin particles can be sufficiently washed away (Claim 5).
また、本発明においては、前洗浄工程で排出される洗浄排水のうち、洗浄開始初期の、廃液由来の水溶性樹脂成分を多く含む洗浄排水は、脱アルカリ液からカチオン交換樹脂を分離した分離液と共に、水溶性樹脂成分処理工程で処理することが好ましい（請求項６，１１）。 Further, in the present invention, the washing wastewater discharged in the pre-washing step at the beginning of washing and containing a large amount of the water-soluble resin component derived from the waste liquid is a separated liquid obtained by separating the cation exchange resin from the dealkalized liquid. In addition, it is preferable to perform the treatment in a water-soluble resin component treatment step (claims 6 and 11 ).
本発明においては、このようにして再生したカチオン交換樹脂を、水溶性樹脂成分を含まない水、例えば純水を用いて脱アルカリ工程へ返送することにより、廃液を用いてカチオン交換樹脂を移送する場合の移送系内での水溶性樹脂成分の析出を防止して、送液不良を解消することができる。 In the present invention, the cation exchange resin regenerated in this way is returned to the dealkalization step using water that does not contain a water-soluble resin component, for example, pure water, so that the cation exchange resin is transferred using the waste liquid. to prevent precipitation of the water-soluble resin component in the transport system in the case, Ru can be eliminated feeding failure.
本発明が適用される水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液としては、ｐＨが低下すると析出する水溶性樹脂成分とアルカリ成分とを含む廃液が挙げられ（請求項７）、具体的には、レジスト含有廃液が挙げられる（請求項８）。 Examples of the water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid to which the present invention is applied include a waste liquid containing a water-soluble resin component and an alkali component which are precipitated when the pH is lowered (claim 7 ), specifically, a resist-containing waste liquid. (Claim 8 ).
以下に本発明の水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理方法および処理装置の実施の形態を詳細に説明する。 Embodiments of a method and apparatus for treating a water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid according to the present invention will be described in detail below.
本発明は、水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液にＨ形カチオン交換樹脂を添加混合して廃液中のアルカリ成分を懸濁状態でＨ形カチオン交換樹脂にイオン交換吸着させて除去し、得られた脱アルカリ液からカチオン交換樹脂を分離し、分離したカチオン交換樹脂を再生して再度脱アルカリ処理に使用するに当たり、カチオン交換樹脂の酸による再生に先立ち、水による前洗浄を行うことを特徴とする。 In the present invention, an H-type cation exchange resin is added to and mixed with an alkaline waste liquid containing a water-soluble resin component, and the alkali components in the waste liquid are removed by ion exchange adsorption on the H-type cation exchange resin in a suspended state. When the cation exchange resin is separated from the alkaline solution and the separated cation exchange resin is regenerated and used again for the dealkalization treatment, the cation exchange resin is pre-washed with water prior to regeneration with an acid.
＜水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液＞
本発明において処理対象となる被処理水は、水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液、すなわち水溶性樹脂成分を含有するアルカリ性の廃液である。
このような廃液としては、ｐＨが低下すると析出する水溶性樹脂成分およびアルカリ成分を含み、更に、前述のレジストフィルムの残渣等の固形物を含む廃液が挙げられ、特に半導体や電子部品の製造工程で発生するレジスト含有廃液などが処理対象として好適である。
このような水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液のｐＨは通常１０〜１４程度であり、またそのＴＯＣ濃度は通常１００〜２０００ｍｇ／Ｌ程度である。
<Water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid>
The water to be treated in the present invention is a water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid, that is, an alkaline waste liquid containing a water-soluble resin component.
Examples of such a waste liquid include a waste liquid containing a water-soluble resin component and an alkali component which are precipitated when the pH is lowered, and further containing a solid such as a residue of the resist film described above, particularly a manufacturing process of a semiconductor or an electronic component. Resist-containing waste liquid generated in the above is suitable as a treatment target.
The pH of such a water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid is usually about 10 to 14, and the TOC concentration is usually about 100 to 2000 mg / L.
廃液中の、ｐＨが低下すると析出する水溶性樹脂成分としては、例えばカルボキシル基を有する樹脂成分のように、アルカリ性では水溶性であるが、ｐＨが例えば６未満に低下すると析出する樹脂成分が挙げられる。 Examples of the water-soluble resin component that precipitates when the pH is lowered in the waste liquid include resin components that are water-soluble in an alkaline state, such as a resin component having a carboxyl group, but precipitate when the pH is lowered to less than 6, for example. It is done.
なお、本発明において樹脂成分とは、高分子有機重合体である樹脂そのものの他に、このような樹脂を製造するための単量体その他の原料、および／または樹脂の分解物を含む。レジスト、塗料、インキに含まれる樹脂成分は、単量体その他の樹脂原料を含む組成物で、樹脂組成物と称されており、本発明の樹脂成分に含まれる。またポジ形レジストに含まれる樹脂が受光により分解して生成する水溶性の分解生成物も樹脂組成物を構成するものであり、本発明の樹脂成分に含まれる。 In the present invention, the resin component includes, in addition to the resin itself, which is a high molecular organic polymer, a monomer and other raw materials for producing such a resin, and / or a decomposition product of the resin. The resin component contained in the resist, paint, and ink is a composition containing a monomer and other resin raw materials, which is called a resin composition, and is included in the resin component of the present invention. Further, a water-soluble decomposition product produced by decomposition of the resin contained in the positive resist by light reception constitutes the resin composition and is included in the resin component of the present invention.
＜脱アルカリ処理＞
被処理廃液の脱アルカリ工程においては、廃液にＨ形カチオン交換樹脂を添加混合して懸濁させ、液の入れ替えを行うことなくバッチ式でイオン交換反応によりＮａイオン等のアルカリ成分をＨ形カチオン交換樹脂にイオン交換吸着させる。これにより、過度にｐＨを低下させることなくアルカリ成分を除去することができ、水溶性樹脂成分を析出させることなく、容易に塩類濃度を低下させてｐＨ調整することができる。
<Dealkalization treatment>
In the dealkalization process of the waste liquid to be treated, H-type cation exchange resin is added to and mixed with the waste liquid and suspended, and alkali components such as Na ions are removed by batch-type ion exchange reaction without replacing the liquid. Ion exchange adsorption is performed on the exchange resin. Thereby, an alkali component can be removed without excessively lowering the pH, and the pH can be easily adjusted by lowering the salt concentration without precipitating the water-soluble resin component.
脱アルカリ工程に用いるＨ形カチオン交換樹脂の量は、被処理廃液に含まれるアルカリの種類および量により変化するが、上記のイオン交換反応により、脱アルカリ液のｐＨが６〜９、特に６．５〜８になる程度の量とすることが好ましい。 The amount of the H-type cation exchange resin used in the dealkalization step varies depending on the type and amount of alkali contained in the waste liquid to be treated. However, the pH of the dealkalization solution is 6 to 9, particularly 6. The amount is preferably about 5 to 8.
脱アルカリ処理に用いる脱アルカリ手段としては、バッチ式のイオン交換装置が挙げられ、例えば、被処理廃液とＨ形カチオン交換樹脂とを混合して懸濁させ、イオン交換反応させる容器、および攪拌手段を含むものが用いられる。 Examples of the dealkalizing means used in dealkalization treatment include a batch type ion exchange device. For example, a waste liquid to be treated and an H-type cation exchange resin are mixed and suspended, and a vessel for ion exchange reaction, and stirring means. The thing containing is used.
カチオン交換樹脂は、強酸性カチオン交換樹脂でも、弱強酸性カチオン交換樹脂でもよい。このカチオン交換樹脂は酸によりＨ形に再生したものを用いる。 The cation exchange resin may be a strong acid cation exchange resin or a weakly strong acid cation exchange resin. As this cation exchange resin, one regenerated to H form with an acid is used.
攪拌手段は、水流による攪拌手段でも、機械的攪拌手段でもよい。
撹拌時間は廃液の性状や用いるカチオン交換樹脂の量やその他の処理条件により、所望のｐＨの脱アルカリ液が得られるように適宜決定されるが、通常３〜３０分程度である。
The stirring means may be a water stirring means or a mechanical stirring means.
The stirring time is appropriately determined so as to obtain a dealkalized liquid having a desired pH depending on the properties of the waste liquid, the amount of the cation exchange resin to be used, and other processing conditions, but is usually about 3 to 30 minutes.
＜カチオン交換樹脂の分離＞
上述の脱アルカリ処理で得られる、カチオン交換樹脂を含む脱アルカリ液からカチオン交換樹脂を分離するための分離手段としては、沈降分離装置、濾過分離装置などを採用することができる。この分離工程により、アルカリ成分が除去されてｐＨ調整された液と、アルカリ成分を吸着したカチオン交換樹脂とが分離される。
<Separation of cation exchange resin>
As a separation means for separating the cation exchange resin from the dealkalized liquid containing the cation exchange resin obtained by the above-described dealkalization treatment, a sedimentation separator, a filtration separator, or the like can be employed. By this separation step, the pH-adjusted liquid from which the alkali component has been removed is separated from the cation exchange resin that has adsorbed the alkali component.
＜水溶性樹脂成分の処理＞
分離工程で脱アルカリ液からカチオン交換樹脂を分離して得られる分離液は、被処理廃液のアルカリ成分が除去され、水溶性樹脂成分を含むものである。この水溶性樹脂成分は、濃縮、分解等で処理される。
<Treatment of water-soluble resin component>
The separation liquid obtained by separating the cation exchange resin from the dealkalized liquid in the separation step is one in which the alkaline component of the waste liquid to be treated is removed and the water-soluble resin component is included. This water-soluble resin component is processed by concentration, decomposition, or the like.
濃縮を行う場合、濃縮方法としては、蒸発濃縮、透過膜による濃縮などが採用できる。
分解を行う場合、超臨界または亜臨界水熱処理、焼却などの加熱を伴う処理による分解などが採用できる。
これらの処理は、それぞれ単独で行ってもよく、また組み合わせて行ってもよいが、分解を行う場合は、通常、それに先立ち濃縮処理が行われる。
これらの処理に用いる処理装置は、従来より用いられている装置が採用できる。
In the case of concentration, as a concentration method, evaporation concentration, concentration by a permeable membrane, or the like can be adopted.
When performing decomposition, supercritical or subcritical hydrothermal treatment, decomposition by treatment with heating such as incineration, or the like can be employed.
These treatments may be carried out independently or in combination, but when the decomposition is carried out, the concentration treatment is usually performed prior to that.
Conventionally used apparatuses can be adopted as the processing apparatus used for these processes.
＜カチオン交換樹脂の再生・循環＞
脱アルカリ処理後に分離工程で分離されたカチオン交換樹脂は、再生して廃液の脱アルカリ処理に再利用する。この場合、カチオン交換樹脂の再生剤として酸が用いられる。酸としては、塩酸、硫酸等が使用でき、通常のカチオン交換樹脂の再生と同様の条件、装置で再生することができる。再生はバッチ式でなくてもよく、また、カチオン交換樹脂の分離装置を再生装置と兼用して分離装置に再生剤を通液して再生することもできる。
<Regeneration and circulation of cation exchange resin>
The cation exchange resin separated in the separation step after dealkalization treatment is regenerated and reused for dealkalization treatment of waste liquid. In this case, an acid is used as a regenerant for the cation exchange resin. As the acid, hydrochloric acid, sulfuric acid and the like can be used, and the acid can be regenerated using the same conditions and equipment as those for normal cation exchange resin regeneration. The regeneration may not be a batch type, and it can also be regenerated by passing a regenerant through the separation device by using the cation exchange resin separation device also as a regeneration device.
本発明においては、このカチオン交換樹脂の酸による再生に当たり、水による前洗浄を行うことを特徴とし、好ましくは、以下の工程で、水による前洗浄、酸による再生、水による押出洗浄、水による仕上げ洗浄の手順で行うことが好ましい。なお、前洗浄、押出洗浄、仕上げ洗浄に用いる水、酸の希釈に用いる水としては、純水、蒸留水等の、水溶性樹脂成分及びイオン成分を極力含まない水を用いるのが好ましく、特に純水を用いるのが好ましい。 In the present invention, the regeneration of the cation exchange resin with an acid is characterized by pre-washing with water. Preferably, in the following steps, pre-washing with water, regeneration with acid, extrusion washing with water, and water It is preferable to carry out by the procedure of finish cleaning. In addition, as water used for pre-washing, extrusion washing, finish washing, and acid dilution, it is preferable to use water that does not contain water-soluble resin components and ionic components as much as possible, such as pure water and distilled water. It is preferable to use pure water.
（前洗浄）
脱アルカリ液から分離されたカチオン交換樹脂は、酸による再生に先立ち、まず、水による前洗浄を行う。
(Pre-cleaning)
The cation exchange resin separated from the dealkalized liquid is first pre-washed with water prior to regeneration with acid.
前洗浄は、カチオン交換樹脂層に対して水を上向流で通水して行うのが好ましく、また、前洗浄に用いる水の量は、カチオン交換樹脂の体積に対して４体積倍以上とすることが好ましい。 The pre-washing is preferably performed by passing water upward with respect to the cation exchange resin layer, and the amount of water used for the pre-wash is 4 volume times or more with respect to the volume of the cation exchange resin. It is preferable to do.
即ち、廃液由来のフィルム滓等の固形物は、比重が小さいため、洗浄水を上向流通水することにより、カチオン交換樹脂から効率的に洗浄除去することができる。
また、この上向流洗浄において、カチオン交換樹脂層を十分に展開させて洗浄を行うことにより、樹脂粒子間の固形物や樹脂に付着した水溶性樹脂成分等を効率的に除去することができる。従って、上向流洗浄時のカチオン交換樹脂の展開率（本明細書において、展開率とは、静置時の樹脂の体積に対する洗浄時の見掛上の樹脂の体積の倍率をさす）が１．２倍以上、好ましくは１．６倍以上となるような上向流速で洗浄水を通水することが好ましい。この展開率は過度に大きくても装置コスト、動力コストが高騰することから、通常その上限は１．８倍以下である。
また、廃液由来のフィルム滓等の固形物の大きさは１〜５ｍｍ程度であり、洗浄排水の排出配管にカチオン交換樹脂流出防止のためのストレーナー等を設けると、これらの固形物による目詰まりを起こすおそれがある。従って、洗浄排水の排出配管の通水部の開口部は面積１ｃｍ２以上、例えば５〜１００ｃｍ２程度の比較的大きな開口部とすることが好ましい。
That is, solids such as waste liquid-derived film soot have a small specific gravity, and therefore can be efficiently washed away from the cation exchange resin by flowing the wash water upward.
Further, in this upward flow cleaning, the cation exchange resin layer is sufficiently developed to perform cleaning, whereby solids between resin particles, water-soluble resin components attached to the resin, and the like can be efficiently removed. . Accordingly, the development rate of the cation exchange resin during upward flow cleaning (in this specification, the development rate refers to the ratio of the apparent resin volume during cleaning to the resin volume during standing) is 1. It is preferable to pass the washing water at an upward flow rate that is 2 times or more, preferably 1.6 times or more. Even if this expansion rate is excessively large, the apparatus cost and the power cost rise so that the upper limit is usually 1.8 times or less.
In addition, the size of the solids such as the waste liquid-derived film soot is about 1 to 5 mm, and if a strainer or the like for preventing the cation exchange resin outflow is provided in the discharge pipe of the washing waste water, clogging with these solids will be prevented. There is a risk of it happening. Therefore, the opening of the water passing portion of the discharge pipe of the washing waste water area 1 cm 2 or more is preferably, for example, 5 to 100 cm 2 about a relatively large opening.
また、廃液中の水溶性樹脂成分は、レジストフィルムなどの高分子有機物がアルカリ液に溶解したものであり、水溶性であり、かつ、カチオン交換樹脂への吸着性もある。このため、脱アルカリ液から分離したカチオン交換樹脂に吸着しているこのような水溶性樹脂成分を十分に洗浄除去するためには、所定量以上の洗浄水量を供給する必要がある。前洗浄に用いる洗浄水量が少な過ぎると、カチオン交換樹脂に吸着した水溶性樹脂成分を十分に除去し得ず、カチオン交換樹脂層に水溶性樹脂成分が残留することにより、次の酸再生工程でｐＨが低下すると、この水溶性樹脂成分が析出し、系内蓄積、固化を引き起こす。
このため、前洗浄水量は、カチオン交換樹脂の体積の４体積倍以上、特に７体積倍以上とすることが好ましい。ただし、洗浄水量が多過ぎても、それ以上の洗浄効果はなく、徒に使用水量が増加して好ましくない。従って、前洗浄水量はカチオン交換樹脂の体積の９体積倍以下とすることが好ましい。
Further, the water-soluble resin component in the waste liquid is obtained by dissolving a polymer organic material such as a resist film in an alkaline liquid, is water-soluble, and has an adsorptivity to a cation exchange resin. For this reason, in order to sufficiently wash away such a water-soluble resin component adsorbed on the cation exchange resin separated from the dealkalizing liquid, it is necessary to supply a washing water amount of a predetermined amount or more. If the amount of washing water used for the pre-cleaning is too small, the water-soluble resin component adsorbed on the cation exchange resin cannot be sufficiently removed, and the water-soluble resin component remains in the cation exchange resin layer. When the pH is lowered, the water-soluble resin component is precipitated, causing accumulation in the system and solidification.
For this reason, it is preferable that the amount of pre-cleaning water is 4 volume times or more, especially 7 volume times or more the volume of the cation exchange resin. However, an excessive amount of washing water is not preferable because there is no further cleaning effect and the amount of water used increases. Therefore, it is preferable that the amount of pre-wash water is 9 volume times or less of the volume of the cation exchange resin.
このような前洗浄で排出される洗浄排水のうち、洗浄開始初期のものは、廃液由来のフィルム滓等の固形物や水溶性樹脂成分を比較的多く含み、洗浄終期のものは、これらの含有量が少ない。従って、洗浄排水のうち、洗浄開始初期の、廃液由来のフィルム滓等の固形物や水溶性樹脂成分を比較的多く含む流出分は、例えば、全洗浄排水量のうち、洗浄開始初期の５０％以下程度の流出分は、前述の脱アルカリ液からの分離液と共に、水溶性樹脂成分処理工程において濃縮処理し、濃縮廃液を必要に応じて更に分解処理等の処理を施した後、系外へ排出して廃棄するか焼却処分することが好ましい。一方、洗浄排水の残部は、廃液由来の固形物や水溶性樹脂成分の含有量の少ない、比較的清浄度の高いものであることから、系外へ排出し、別途処理することが好ましい。 Among the cleaning wastewater discharged by such pre-cleaning, those at the beginning of cleaning contain a relatively large amount of solids such as film soot derived from waste liquid and water-soluble resin components, and those at the end of cleaning contain these The amount is small. Therefore, out of the washing wastewater, the outflow containing a relatively large amount of solid matter such as waste liquid-derived film cake and water-soluble resin components at the beginning of washing is, for example, 50% or less of the total washing wastewater at the beginning of washing. The spilled amount is concentrated in the water-soluble resin component treatment process together with the separation liquid from the dealkalized liquid described above, and the concentrated waste liquid is further decomposed as necessary and then discharged out of the system. Then, it is preferable to discard or incinerate. On the other hand, since the remainder of the washing wastewater is relatively clean with a low content of solids and water-soluble resin components derived from the waste liquid, it is preferably discharged out of the system and treated separately.
（酸再生）
前洗浄後の酸による再生には、通常１〜１０重量％程度の濃度の塩酸又は硫酸等の酸水溶液が用いられる。この酸再生に用いる酸水溶液量は、少な過ぎると十分な再生を行えず、多過ぎると不経済であることから、用いる酸水溶液の酸濃度にもよるが、通常、カチオン交換樹脂の体積の１．５〜４体積倍程度であることが好ましい。また、この酸再生も上向流通水で行うことが好ましく、その場合のカチオン交換樹脂の展開率は１．６〜１．８倍程度であることが、再生効率と装置コスト、動力コストの点で好ましい。
この酸による再生で排出される再生廃液は系外へ排出して別途処理する。
(Acid regeneration)
For regeneration with an acid after pre-washing, an acid aqueous solution such as hydrochloric acid or sulfuric acid having a concentration of about 1 to 10% by weight is usually used. When the amount of the aqueous acid solution used for the acid regeneration is too small, sufficient regeneration cannot be performed, and when the amount is too large, it is uneconomical. Therefore, although it depends on the acid concentration of the acid aqueous solution used, it is usually 1 of the volume of the cation exchange resin. It is preferably about 5 to 4 times volume. In addition, it is preferable to perform this acid regeneration with upward circulating water. In this case, the development rate of the cation exchange resin is about 1.6 to 1.8 times, in view of regeneration efficiency, apparatus cost, and power cost. Is preferable.
The recycled waste liquid discharged by this acid regeneration is discharged out of the system and treated separately.
（押出洗浄）
酸再生後は、水による押出洗浄を行って、カチオン交換樹脂層に残留する酸を系外へ押し出す。押出洗浄に用いる洗浄水量は、少な過ぎると十分に酸を押し出すことができず、多過ぎると不経済であることから、通常、カチオン交換樹脂の体積の２〜５体積倍程度であることが好ましい。また、この押出洗浄も上向流通水で行うことが好ましく、その場合のカチオン交換樹脂の展開率は１．６〜１．８倍程度であることが、洗浄効率と装置コスト、動力コストの点で好ましい。
(Extrusion cleaning)
After the acid regeneration, extrusion cleaning with water is performed, and the acid remaining in the cation exchange resin layer is pushed out of the system. The amount of washing water used for extrusion washing is preferably about 2 to 5 times the volume of the cation exchange resin, since it is not possible to sufficiently extrude the acid if it is too little and it is uneconomical if it is too much. . In addition, it is preferable to perform this extrusion cleaning with upward circulating water. In that case, the development rate of the cation exchange resin is about 1.6 to 1.8 times, which is a point of cleaning efficiency, apparatus cost, and power cost. Is preferable.
（仕上げ洗浄）
押出洗浄後は、水による仕上げ洗浄を行って、酸による再生によりｐＨが低下したことで、再生系内に析出した廃液由来の水溶性樹脂成分の固形物を除去して、一連の再生処理を終了する。
(Finishing cleaning)
After extrusion cleaning, finish cleaning with water is performed, and the pH is lowered by regeneration with acid, so that the solid matter of the water-soluble resin component derived from the waste liquid deposited in the regeneration system is removed, and a series of regeneration processing is performed. finish.
この仕上げ洗浄に用いる洗浄水量は、少な過ぎると十分な洗浄効果が得られず、多過ぎると不経済であることから、通常、カチオン交換樹脂の体積の３〜８体積倍程度であることが好ましい。また、この仕上げ洗浄も上向流通水で行うことが好ましく、その場合のカチオン交換樹脂の展開率は１．６〜１．８倍程度であることが、洗浄効率と装置コスト、動力コストの点で好ましい。 The amount of washing water used for this final washing is preferably about 3 to 8 times the volume of the cation exchange resin, since a sufficient cleaning effect cannot be obtained if it is too small and it is uneconomical if it is too much. . In addition, it is preferable to perform this final cleaning with upward circulating water. In this case, the development rate of the cation exchange resin is about 1.6 to 1.8 times. Is preferable.
このような仕上げ洗浄で排出される洗浄排水のうち、洗浄開始初期のものは、廃液由来の水溶性樹脂成分が酸による再生中に析出した固形物を比較的多く含み、洗浄終期のものは、これらの含有量が少ない。従って、洗浄排水のうち、洗浄開始初期の、水溶性樹脂成分の固形物を比較的多く含む流出分、例えば、全洗浄排水量のうち、洗浄開始初期の７０
％以下程度の流出分は、前述の脱アルカリ液からの分離液と共に、水溶性樹脂成分処理工程において濃縮処理し、濃縮廃液を必要に応じて更に分解処理等の処理を施した後、系外へ排出して廃棄するか焼却処分することが好ましい。一方、洗浄排水の残部は、このような固形物の含有量の少ない、比較的清浄度の高いものであることから、系外へ排出し、別途処理することが好ましい。
Among the cleaning wastewater discharged by such finish cleaning, the initial one at the start of cleaning contains a relatively large amount of solid matter that the water-soluble resin component derived from the waste liquid is precipitated during the regeneration by the acid, Their content is low. Therefore, out of the washing wastewater, the outflow amount at the beginning of washing, which contains a relatively large amount of water-soluble resin component solids, for example, 70% at the beginning of washing out of the total amount of washing wastewater.
The spillage of about% or less is concentrated in the water-soluble resin component treatment process together with the separation liquid from the dealkalized liquid described above, and the concentrated waste liquid is further subjected to a treatment such as a decomposition treatment if necessary. It is preferable to discharge and discard or incinerate. On the other hand, since the remainder of the washing wastewater has a low solid content and a relatively high cleanliness, it is preferably discharged out of the system and treated separately.
＜装置の具体例＞
以下に図１を参照して本発明の水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理装置の実施の形態を具体的に説明する。
図２は、本発明の装置の実施の形態を示す系統図であり、図１において、図２におけると同一機能を奏する部材には同一符号を付してある。
<Specific examples of device>
Hereinafter, an embodiment of a treatment apparatus for a water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid according to the present invention will be specifically described with reference to FIG.
FIG. 2 is a system diagram showing an embodiment of the apparatus of the present invention. In FIG. 1, members having the same functions as those in FIG.
図１の装置は、弁Ｖ４，ラインＬ３の代わりに、ラインＬ６から分岐するラインＬ３’と弁Ｖ４’を有し、弁Ｖ４’を開いてラインＬ６からの水を計量槽５に導入可能とされていること以外は、図２に示す装置と同様の構成とされている。
1 has a line L3 ′ and a valve V4 ′ branched from the line L6 instead of the valve V4 and the line L3, and the valve V4 ′ can be opened to introduce water from the line L6 into the measuring
この装置では、まず、弁Ｖ１、Ｖ２を開き、ラインＬ１、Ｌ１’を経て所定量の被処理廃液を脱アルカリ槽１に導入して撹拌機７で混合する。また、弁Ｖ３を開き、樹脂槽４からラインＬ２を通して計量槽５にＨ形カチオン交換樹脂を導入して計量する。次に、弁Ｖ１、Ｖ２を閉じ、弁Ｖ８、Ｖ４’、Ｖ５を開き、ラインＬ６，Ｌ３’を経て供給される水で計量槽５で計量された樹脂をラインＬ２’，Ｌ１’を経て脱アルカリ槽１に導入し、撹拌機７で混合する。こうして、脱アルカリ槽１内で被処理廃液をＨ形カチオン交換樹脂と混合し、懸濁状態で反応させることにより、被処理廃液からイオン交換によりアルカリ成分を除去する。これにより、水溶性樹脂成分の析出なしに塩類濃度を低下させて、被処理液をｐＨ調整することができる。
In this apparatus, first, the valves V1 and V2 are opened, a predetermined amount of waste liquid to be treated is introduced into the dealkalizing tank 1 through the lines L1 and L1 ', and is mixed by the stirrer 7. Further, the valve V3 is opened, and the H-type cation exchange resin is introduced from the resin tank 4 to the
撹拌を継続して廃液のｐＨが安定した段階で、弁Ｖ６、Ｖ７を開き、脱アルカリ槽１からカチオン交換樹脂を含む脱アルカリ液をラインＬ４を経て分離再生槽２に導入し、カチオン交換樹脂の分離を行う。分離再生槽２は、槽内の下部に、固液分離用のストレーナ８を有し、上部に脱アルカリ液の導入口２Ａ、底部に分離液の排出口を兼ねる洗浄水又は再生剤の導入口２Ｂを有し、上部側壁に洗浄排水の排出口を兼ねる移送用水の導入口２Ｃを有するものである。
When the pH of the waste liquid is stabilized by continuing the stirring, the valves V6 and V7 are opened, and the dealkalized liquid containing the cation exchange resin is introduced from the dealkalization tank 1 into the separation /
この分離再生槽２ではストレーナ８で濾過することにより、目的のｐＨとなった脱アルカリ液とカチオン交換樹脂とが分離され、分離液はラインＬ５，Ｌ５’を経て樹脂成分処理装置３に送給される。樹脂成分処理装置３においては、分離液が濃縮等で処理された後、必要に応じて分解等の処理が施され、処理物がラインＬ１０より系外へ排出される。
In this separation and
分離再生槽２で分離したカチオン交換樹脂は、この分離再生槽２内で再生する。再生は１回の脱アルカリ液の分離毎に行っても良く、複数回、脱アルカリ液の分離を行った後、複数回分のカチオン交換樹脂をまとめて再生しても良い。カチオン交換樹脂の再生は、次のような操作で行われる。
The cation exchange resin separated in the separation /
まず、弁Ｖ８およびＶ１０と、Ｖ１２を開き（その他の弁は閉）、ラインＬ６から分離再生槽２に所定の水を所定の流速で上向流通水してカチオン交換樹脂を前洗浄する。この洗浄開始初期の洗浄排水は、ラインＬ６’、Ｌ５’から樹脂成分処理装置３に送給して脱アルカリ液の分離液と共に濃縮処理する。その後の洗浄排水は、弁Ｖ１２を閉、弁Ｖ１１を開として、系外へ排出し、別途処理する。
このような洗浄排水の排出の際、分離再生槽２の排出口２Ｃから槽内に挿入された排出管の通水部の開口面積を前述のように大きくしておくことにより、この部分の目詰まりを防止することができる。
First, the valves V8, V10, and V12 are opened (the other valves are closed), and the cation exchange resin is pre-washed by flowing predetermined water upward from the line L6 to the separation and
When discharging such washing wastewater, the opening area of the water passing portion of the discharge pipe inserted into the tank from the discharge port 2C of the separation /
次に、弁Ｖ８、弁Ｖ９、Ｖ１０、Ｖ１１を開として（その他の弁は閉）、ラインＬ７からの再生剤（塩酸等の酸）を、ラインＬ６からの水で希釈して、分離再生槽２に所定の流速で上向流通水してカチオン交換樹脂を酸で再生する。再生廃液はラインＬ８より排出し、別途処理する。 Next, the valves V8, V9, V10, and V11 are opened (the other valves are closed), and the regenerant (acid such as hydrochloric acid) from the line L7 is diluted with water from the line L6 to separate and regenerate the tank. The cation exchange resin is regenerated with acid by flowing upward water at 2 at a predetermined flow rate. The recycled waste liquid is discharged from the line L8 and processed separately.
酸再生後は、弁Ｖ８、Ｖ１０、Ｖ１１を開として（その他の弁は閉）、ラインＬ６から分離再生槽２に所定の水を所定の流速で上向流通水してカチオン交換樹脂層に残留する酸を押出洗浄する。押出洗浄排水はライン８より系外へ排出し、別途処理する。
After acid regeneration, the valves V8, V10, V11 are opened (the other valves are closed), and predetermined water is flowed upward from the line L6 to the separation /
押出洗浄後は、弁Ｖ８、Ｖ１０、Ｖ１２を開として（その他の弁は閉）、ラインＬ６から分離再生槽２に所定の水を所定の流速で上向流通水してカチオン交換樹脂の仕上げ洗浄を行う。この仕上げ洗浄開始初期の洗浄排水は、弁Ｖ１２を開として、ラインＬ６’、Ｌ５’から樹脂成分処理装置３に送給して脱アルカリ液の分離液と共に濃縮処理する。その後の洗浄排水は、弁Ｖ１１を閉（弁１２は閉）として、系外へ排出し、別途処理する。
After extrusion cleaning, valves V8, V10, V12 are opened (the other valves are closed), and predetermined water is flowed upward from line L6 to separation /
この仕上げ洗浄後は、弁Ｖ８、Ｖ１０、Ｖ７、Ｖ１２、Ｖ１３を開き（その他の弁は閉）、ラインＬ６，Ｌ５，Ｌ６’を経て分離再生槽２に水を送り、再生済みのカチオン交換樹脂をラインＬ９から樹脂槽４に戻す。
After this finish cleaning, valves V8, V10, V7, V12, and V13 are opened (the other valves are closed), and water is sent to separation /
このようにして、一連のバッチ操作が終了したら、再び弁Ｖ１，Ｖ２を開として、被処理廃液を脱アルカリ槽１に導入し、また、樹脂槽４内のカチオン交換樹脂を計量槽５で計量し、その後、弁Ｖ１，Ｖ２を閉、弁Ｖ８，Ｖ４’，Ｖ５を開として、水をラインＬ８，Ｌ３’を経て計量槽５に導入し、計量槽５内のカチオン交換樹脂をラインＬ２’，Ｌ１’を経て脱アルカリ槽１に送給する。
Thus, when a series of batch operations is completed, the valves V1 and V2 are opened again, the waste liquid to be treated is introduced into the dealkalizing tank 1, and the cation exchange resin in the resin tank 4 is measured in the
このように、カチオン交換樹脂の再生に先立ち前洗浄を行うことにより、また、再生されたカチオン交換樹脂の移送に、水溶性樹脂成分を含有しない水を用いることにより、固形分の系内蓄積を防止して、長期に亘り安定かつ効率的な運転を行うことができる。 In this way, by performing pre-cleaning prior to regeneration of the cation exchange resin, and by using water that does not contain a water-soluble resin component for transporting the regenerated cation exchange resin, accumulation of solids in the system can be achieved. Thus, stable and efficient operation can be performed over a long period of time.
以下に実施例および比較例を挙げて本発明をより具体的に説明する。
なお、以下の実施例および比較例で処理した水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液は、ポリメタクリル酸系の水溶性樹脂成分を含むアルカリ性のレジスト液であり、その水質は表１に示す通りである。
また、カチオン交換樹脂の移送や洗浄用の水としては純水を用いた。
説明の便宜上まず比較例を挙げる。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples and Comparative Examples.
In addition, the water-soluble resin component containing alkali waste liquid processed by the following example and the comparative example is an alkaline resist liquid containing the polymethacrylic acid type water-soluble resin component, and the water quality is as Table 1 shows.
Moreover, pure water was used as water for transferring and cleaning the cation exchange resin.
For convenience of explanation, a comparative example is given first.
［比較例１］
図２に示す装置により、レジスト廃液５０Ｌと、計量槽５で計量したＨ形弱酸性カチオン交換樹脂（ランクセス社製「レバチットＣＮＰ８０ＷＳ」粒径０．３〜１．６ｍｍ）５Ｌとを脱アルカリ槽１に導入し（Ｈ形弱酸性カチオン交換樹脂の移送には廃液を用いた）、３０分間撹拌した。３０分後、撹拌を停止し、脱アルカリ槽１内の液を樹脂再生槽２に抜き出し、脱アルカリ液をストレーナ８で濾過した。濾過により得られた分離液の水質を、被処理廃液の水質と共に、表１に示す。
表１より、脱アルカリ処理により、有機物（ＴＯＣ）を殆ど除去することなく、アルカリ成分（Ｎａ）のみをイオン交換により除去して、ｐＨを低下させることができたことが分かる。
[Comparative Example 1]
The apparatus shown in FIG. 2 is used to remove the resist waste solution 50L and 5 L of H-type weakly acidic cation exchange resin (“Lebatit CNP80WS” particle size 0.3 to 1.6 mm, manufactured by LANXESS) measured in the
From Table 1, it can be seen that only the alkali component (Na) was removed by ion exchange and the pH could be lowered by removing the alkali (TOC) almost without removing the organic matter (TOC).
上記の脱アルカリ液の濾過後、樹脂再生槽２内に分離されたカチオン交換樹脂を再生をするために、弁Ｖ８〜Ｖ１１を開き、ラインＬ６から水を送給すると共に、再生剤槽６からラインＬ７を通して再生剤（塩酸）を送り、水で希釈した酸（塩酸濃度４．３重量％）を、カチオン交換樹脂の体積に対して２体積倍、分離再生槽２に導入し、カチオン交換樹脂層９を上向流で通過させて再生を行い、再生廃液はラインＬ８から系外へ排出した。その後、弁Ｖ９を閉じ、水のみをカチオン交換樹脂の体積の３体積倍送って、押出し洗浄を行った。再生終了後、弁Ｖ８、Ｖ１０、Ｖ７、Ｖ１２、Ｖ１３を開き、ラインＬ６，Ｌ５，Ｌ６’を経て分離再生槽２に水を送り、再生済みのカチオン交換樹脂をラインＬ９から樹脂槽４に移送した。
After filtering the dealkalized liquid, in order to regenerate the cation exchange resin separated in the
このようにして、再生樹脂を樹脂槽４に戻した後、再度、計量槽５で５Ｌを計量して被処理廃液５０Ｌと共に脱アルカリ槽１に導入し、脱アルカリ処理し、その後、分離再生槽２で濾過し、カチオン交換樹脂の分離と再生を行う一連の処理をバッチ運転で繰り返し行った。
その結果、運転を継続することにより、廃液由来のフィルム滓や水溶性樹脂成分の析出物等の固形物が系内に蓄積し、半月に１回の頻度で運転を停止し、装置を開放して点検、清掃する必要があった。
After returning the recycled resin to the resin tank 4 in this way, 5 L is again weighed in the
As a result, by continuing the operation, solids such as waste film-derived film soot and precipitates of water-soluble resin components accumulate in the system, stop the operation once every half a month, and open the device. Had to be inspected and cleaned.
［実施例１］
図１に示す装置を用い、分離再生槽２で分離したカチオン交換樹脂の再生に当たり、以下の手順で前洗浄、酸再生、押出洗浄、仕上げ洗浄、および樹脂槽４への移送の一連の処理を行い、また、樹脂層４内のカチオン交換樹脂を脱アルカリ槽１に送給する際、以下の手順で水を用いて移送したこと以外は、比較例１と同様にして処理を行った。なお、分離再生槽２の上部に設けられた排出配管の通水部の開口面積は８５ｃｍ２であった。
その結果、固形分の系内蓄積の問題はなく、一ヶ月間安定に運転を継続することができた。
[Example 1]
In the regeneration of the cation exchange resin separated in the separation /
As a result, there was no problem of accumulation of solid content in the system, and the operation could be continued stably for one month.
＜前洗浄＞
弁Ｖ８およびＶ１０と、Ｖ１２またはＶ１１を開き（その他の弁は閉）、ラインＬ６から分離再生槽２に所定の水を所定の流速で上向流通水してカチオン交換樹脂を洗浄した。全洗浄水量は、カチオン交換樹脂の体積の９体積倍であり、そのうち、洗浄開始から、カチオン交換樹脂の体積の３体積倍の洗浄排水については、弁Ｖ１２を開（弁Ｖ１１は閉）として、ラインＬ６’、Ｌ５’から樹脂製分処理装置３に送給して脱アルカリ液の分離液と共に濃縮処理した。また、その後のカチオン交換樹脂の体積の６体積倍の洗浄排水については、弁Ｖ１１を開（弁１２は閉）として、系外へ排出し、別途処理した。
なお、この前洗浄において、カチオン交換樹脂層の展開率は１．７倍であった。
<Pre-cleaning>
The valves V8 and V10 and V12 or V11 were opened (the other valves were closed), and the cation exchange resin was washed by flowing predetermined water upward from the line L6 to the separation and
In this pre-cleaning, the development rate of the cation exchange resin layer was 1.7 times.
＜酸再生＞
弁Ｖ８、弁Ｖ９およびＶ１０と、Ｖ１１を開き（その他の弁は閉）、ライン７からの再生剤（塩酸）をラインＬ６からの水で希釈して塩酸濃度４．３重量％として分離再生槽２に上向流通水してカチオン交換樹脂を酸で再生した。通水した塩酸水溶液量は、カチオン交換樹脂の体積の２体積倍であり、再生廃液はラインＬ８より排出し、別途処理した。
なお、この酸再生時のカチオン交換樹脂層の展開率は１．７倍であった。
<Acid regeneration>
Valves V8, V9 and V10, and V11 are opened (the other valves are closed), and the regenerant (hydrochloric acid) from line 7 is diluted with water from line L6 to obtain a hydrochloric acid concentration of 4.3% by weight. Then, the cation exchange resin was regenerated with acid. The amount of aqueous hydrochloric acid that was passed was 2 times the volume of the cation exchange resin, and the regeneration waste solution was discharged from the line L8 and treated separately.
The development rate of the cation exchange resin layer at the time of acid regeneration was 1.7 times.
＜押出洗浄＞
弁Ｖ８およびＶ１０と、Ｖ１１を開き（その他の弁は閉）、ラインＬ６から分離再生槽２に水を上向流通水してカチオン交換樹脂層に残留する塩酸を押出洗浄した。全洗浄水量は、カチオン交換樹脂の体積の３体積倍であり、押出洗浄排水はライン８より系外へ排出し、別途処理した。
なお、この押出洗浄において、カチオン交換樹脂層の展開率は１．７倍であった。
<Extrusion cleaning>
The valves V8 and V10 and V11 were opened (the other valves were closed), and water was passed upwardly from the line L6 to the separation and
In this extrusion cleaning, the development rate of the cation exchange resin layer was 1.7 times.
＜仕上げ洗浄＞
弁Ｖ８およびＶ１０と、Ｖ１２またはＶ１１を開き（その他の弁は閉）、ラインＬ６から分離再生槽２に水を上向流通水してカチオン交換樹脂の仕上げ洗浄を行った。全洗浄水量は、カチオン交換樹脂の体積の９体積倍であり、そのうち、洗浄開始から、カチオン交換樹脂の体積の６体積倍の洗浄排水については、弁Ｖ１２を開（弁Ｖ１１は閉）として、ラインＬ６’、Ｌ５’から樹脂成分処理装置３に送給して脱アルカリ液の分離液と共に濃縮処理した。また、その後のカチオン交換樹脂の体積の３体積倍の洗浄排水については、弁Ｖ１１を開（弁１２は閉）として、系外へ排出し、別途処理した。
なお、この仕上げ洗浄において、カチオン交換樹脂層の展開率は１．７倍であった。
<Finishing cleaning>
Valves V8 and V10 and V12 or V11 were opened (the other valves were closed), and water was circulated upward from line L6 to separation /
In this final cleaning, the development rate of the cation exchange resin layer was 1.7 times.
この仕上げ洗浄後は、弁Ｖ８、Ｖ１０、Ｖ７、Ｖ１２、Ｖ１３を開き、ラインＬ６，Ｌ５，Ｌ６’を経て分離再生槽２に水を送り、再生済みのカチオン交換樹脂をラインＬ９から樹脂槽４に戻した。
After this finish cleaning, the valves V8, V10, V7, V12, V13 are opened, water is sent to the separation /
また、弁Ｖ１，Ｖ２を開として、被処理廃液を脱アルカリ槽１に導入した後、樹脂槽４からのカチオン交換樹脂を計量槽５で計量して脱アルカリ槽１に移送する際には、弁Ｖ１，Ｖ２を閉、弁Ｖ８，Ｖ４’，Ｖ５を開として、水をラインＬ６，Ｌ３’を経て計量槽５に導入し、計量槽５内のカチオン交換樹脂をラインＬ２’，Ｌ１’を経て脱アルカリ槽１に送給した。
Further, when the valves V1 and V2 are opened and the waste liquid to be treated is introduced into the dealkalizing tank 1, the cation exchange resin from the resin tank 4 is measured in the
１ 脱アルカリ槽
２ 分離再生槽
３ 樹脂成分処理装置
４ 樹脂槽
５ 計量槽
６ 再生剤槽
７ 攪拌機
８ ストレーナ
９ カチオン交換樹脂層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (11)
該脱アルカリ工程からの脱アルカリ液からカチオン交換樹脂を分離する分離工程と、
該分離工程で分離された分離液中の水溶性樹脂成分を処理する水溶性樹脂成分処理工程と、
該分離工程で分離したカチオン交換樹脂を再生して前記脱アルカリ工程へ返送する再生循環工程と
を含む水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理方法において、
該再生循環工程は、カチオン交換樹脂を水で洗浄する前洗浄工程と、前洗浄後のカチオン交換樹脂を酸と接触させて再生する酸再生工程と、再生したカチオン交換樹脂を前記脱アルカリ槽に返送する返送工程とを有し、
該返送工程において、再生したカチオン交換樹脂を、水溶性樹脂成分を含まない水を用いて前記脱アルカリ槽へ返送することを特徴とする水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理方法。 In a dealkalization tank, a dealkalization step of adding and mixing a water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid containing an insoluble component and an H-type cation exchange resin to remove the alkali component;
A separation step of separating the cation exchange resin from the dealkalized liquid from the dealkalization step;
A water-soluble resin component treatment step of treating the water-soluble resin component in the separated liquid separated in the separation step;
In a method for treating a water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid comprising a regeneration circulation step of regenerating the cation exchange resin separated in the separation step and returning it to the dealkalization step,
The regeneration circulation step includes a pre-cleaning step in which the cation exchange resin is washed with water, an acid regeneration step in which the pre-washed cation exchange resin is regenerated by contacting with an acid, and the regenerated cation exchange resin is placed in the dealkalization tank. A return process for returning,
In the returning step, the regenerated cation exchange resin is returned to the dealkalization tank using water that does not contain a water-soluble resin component.
該脱アルカリ槽からの脱アルカリ液からカチオン交換樹脂を分離する分離手段と、
該分離手段で分離された分離液中の水溶性樹脂成分を処理する水溶性樹脂成分処理手段と、
該分離手段で分離したカチオン交換樹脂を再生して前記脱アルカリ槽へ返送する再生循環手段と
を含む水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理装置において、
該再生循環手段は、カチオン交換樹脂を水で洗浄する前洗浄手段と、前洗浄後のカチオン交換樹脂を酸と接触させて再生する酸再生手段と、再生されたカチオン交換樹脂を、水溶性樹脂成分を含まない水を用いて前記脱アルカリ槽に返送する手段とを有することを特徴とする水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理装置。 A dealkalizing tank in which an H-type cation exchange resin is added to and mixed with a water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid containing insoluble components to remove the alkali component;
Separation means for separating the cation exchange resin from the dealkalized liquid from the dealkalization tank;
Water-soluble resin component treatment means for treating the water-soluble resin component in the separated liquid separated by the separation means;
In a treatment apparatus for a water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid, comprising a regeneration circulation means for regenerating and returning the cation exchange resin separated by the separation means to the dealkalization tank,
The regeneration circulation means includes a pre-cleaning means for washing the cation exchange resin with water, an acid regeneration means for regenerating the pre-washed cation exchange resin by contacting with an acid, and the regenerated cation exchange resin as a water-soluble resin. And a means for returning to the dealkalization tank using water that does not contain any components, and a water-soluble resin component-containing alkaline waste liquid treatment apparatus.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2009279561A JP2009279561A (en) | 2009-12-03 |
| JP5298639B2 true JP5298639B2 (en) | 2013-09-25 |
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ID=41450592
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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| Country | Link |
|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5062093B2 (en) * | 2008-08-06 | 2012-10-31 | 栗田工業株式会社 | Method for recovering water-soluble organic solvent having amino group |
| JP5256002B2 (en) * | 2008-11-25 | 2013-08-07 | オルガノ株式会社 | Wastewater treatment system for photoresist development wastewater |
| JP6368681B2 (en) * | 2015-04-24 | 2018-08-01 | 前澤工業株式会社 | Water purification method and apparatus |
| CN112808325A (en) * | 2021-02-01 | 2021-05-18 | 国投钦州发电有限公司 | Hydrogen type cation exchange resin regeneration device and operation method thereof |
| CN116237090A (en) * | 2023-02-21 | 2023-06-09 | 华能山东发电有限公司白杨河发电厂 | Method for treating and regenerating negative resin for water treatment |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5072876A (en) * | 1973-08-08 | 1975-06-16 | ||
| JPS52146782A (en) * | 1976-06-02 | 1977-12-06 | Japan Organo Co Ltd | Regeneration of strongly acidic cation exchange resin at production equipment of purified water of continuous ion exchange type |
| JPH01258749A (en) * | 1988-04-08 | 1989-10-16 | Mitsui Toatsu Chem Inc | Regenerating agent for cation exchange resin and regenerating process using said regenerating agent |
| JP3963032B2 (en) * | 1997-07-16 | 2007-08-22 | 栗田工業株式会社 | Ion exchange device and polishing filter |
| JP4411678B2 (en) * | 1999-03-05 | 2010-02-10 | 栗田工業株式会社 | Regeneration method of ion exchange resin |
| JP2003088765A (en) * | 2001-09-19 | 2003-03-25 | Nippon Rensui Co Ltd | Countercurrent regeneration type ion exchange apparatus and method for cleaning packed layer of ion exchange resin in the apparatus |
| JP2004167417A (en) * | 2002-11-21 | 2004-06-17 | Sumitomo Chem Co Ltd | Regeneration method for ion-exchange resin tower |
| JP2004283746A (en) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Kurita Water Ind Ltd | Method and apparatus for treating water-soluble resin-containing waste alkaline liquid |
| JP2004322088A (en) * | 2003-04-22 | 2004-11-18 | Nain Tekku Co Ltd | Regeneration apparatus of ion-exchange resin, and its controlling apparatus for water softener |
-
2008
- 2008-05-26 JP JP2008136847A patent/JP5298639B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2009279561A (en) | 2009-12-03 |
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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