JP5298483B2

JP5298483B2 - Linear motor

Info

Publication number: JP5298483B2
Application number: JP2007236655A
Authority: JP
Inventors: 洋介村口
Original assignee: Sinfonia Technology Co Ltd
Current assignee: Sinfonia Technology Co Ltd
Priority date: 2007-09-12
Filing date: 2007-09-12
Publication date: 2013-09-25
Anticipated expiration: 2027-09-12
Also published as: JP2009071955A

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a linear motor that makes it possible to enhance the efficiency of thrust production even when a first core and a second core are respectively placed in different environments. <P>SOLUTION: The linear motor includes: the first core 10 and the second core 20 disposed opposite to each other; and a nonmagnetic cover portion 21 placed between the cores and covering at least part of the first core 10. The first core 10 includes: a yoke 7 and magnetic poles 9 protruded from the yoke 7 toward the second core 20 and having tip faces as thrust production faces 12. The portions of the cover portion 21 placed opposite to the magnetic poles 9 have thin portions 22 thinner than the portions that are not opposed to the magnetic poles. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、電磁作用によって駆動されるリニアモータに関する。 The present invention relates to a linear motor driven by electromagnetic action.

従来より、電磁作用によって駆動される種々のリニアモータが利用されている（例えば、特許文献１参照。）。
これらリニアモータの中には、第一のコアと第二のコアとが対向配置されたものが知られている。そして、これら第一のコアと第二のコアとが、それぞれ異なる環境におかれて使用される場合がある。例えば、第一のコアを大気中に配し、第二のコアを真空中に配した状態で、第二のコアを移動させることにより、真空中において被搬送物を搬送することができる。 Conventionally, various linear motors driven by electromagnetic action have been used (see, for example, Patent Document 1).
Among these linear motors, one in which a first core and a second core are arranged to face each other is known. In some cases, the first core and the second core are used in different environments. For example, the object to be transported can be transported in a vacuum by moving the second core in a state where the first core is disposed in the atmosphere and the second core is disposed in the vacuum.

さて、第一のコアと第二のコアとをそれぞれ異なる環境におく場合、第一のコア側に配される部材又は第二のコア側に配される部材に互いの環境が影響を与えないように、第一のコアと第二のコアとの間に、保護部材としてカバー部を設けることがある。例えば、第一のコア側にコイルやこのコイルを覆う樹脂モールド部などが設けられている場合、それらを真空中に配すると、樹脂モールド部などからガスが発生してしまい、目標とする圧力に到達し難くなってしまう。
そこで、第一のコアを覆うようにカバー部を設けることにより、第二のコアを適正に移動させつつ、第一のコア側に配される部品に影響を与えることを抑制することができる。
ここで、コイルの磁力によって第二のコアに推力を作用させるためには、第一のコアと第二のコアとをなるべく近づけて配置するのが、効率の点で好ましい。
特開２００２−２７２０８６号公報 Now, when the first core and the second core are placed in different environments, the mutual environment does not affect the member arranged on the first core side or the member arranged on the second core side. Thus, a cover part may be provided as a protective member between the first core and the second core. For example, if a coil or a resin mold part covering this coil is provided on the first core side, if they are placed in a vacuum, gas will be generated from the resin mold part, etc. It becomes difficult to reach.
Then, by providing a cover part so that a 1st core may be covered, it can suppress affecting the components distribute | arranged to the 1st core side, moving a 2nd core appropriately.
Here, in order to apply a thrust to the second core by the magnetic force of the coil, it is preferable from the viewpoint of efficiency that the first core and the second core are arranged as close as possible.
JP 2002-272086 A

しかしながら、上記のように第一のコアと第二のコアとの間にカバー部を設けると、第一のコアと第二のコアとの間の距離寸法が大きくなるため、適正な推力を得ることが困難になるという問題がある。
そこで、第一のコアと第二のコアとの間の距離寸法を小さくするために、カバー部の厚さを薄くすることが考えられるが、カバー部の厚さを薄くすると、真空と大気の圧力差により、カバー部が大きく変形し、第二のコアとカバー部とが接触してしまうという問題がある。さらに、上記圧力差によってカバー部に亀裂が生じてしまい、目標とする真空が保てなくなるという問題がある。
これらの問題は、真空中と大気中とに限られず、例えば空気中と水中などのように、第一のコアと第二のコアとが互いに異なる環境下におかれる場合に生じ得るものである。 However, when the cover portion is provided between the first core and the second core as described above, the distance dimension between the first core and the second core is increased, so that an appropriate thrust is obtained. There is a problem that it becomes difficult.
Therefore, in order to reduce the distance between the first core and the second core, it is conceivable to reduce the thickness of the cover portion. However, if the thickness of the cover portion is reduced, the vacuum and the atmosphere Due to the pressure difference, there is a problem that the cover part is greatly deformed and the second core and the cover part come into contact. Furthermore, there is a problem that the cover portion is cracked by the pressure difference, and the target vacuum cannot be maintained.
These problems are not limited to the vacuum and the atmosphere, and can occur when the first core and the second core are placed in different environments, such as in the air and water. .

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、第一のコアと第二のコアとをそれぞれ異なる環境におく場合であっても、カバー部の強度を維持しつつ、推力の発生効率を向上させることができるリニアモータを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and even when the first core and the second core are placed in different environments, thrust is maintained while maintaining the strength of the cover portion. An object of the present invention is to provide a linear motor capable of improving the generation efficiency of the above.

上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明は、互いに対向配置された第一のコア及び第二のコアと、非磁性のカバー部と、を具備し、前記第一のコアは、ヨークと、このヨークから前記第二のコアに向けて突出するとともに先端面を推力発生面とした磁極と、その磁極の基端部に設けられたコイルと、を備え、前記カバー部は、前記両コア間に配され、前記第一のコアの前記磁極を備える面全体を被覆し、前記カバー部のうち前記磁極に対して対向して配される部分に、対向していない部分よりも薄肉で前記磁極の先端部を収容可能な凹部である薄肉部が設けられていることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the present invention provides the following means.
The present invention includes a first core and a second core that are arranged to face each other, and a nonmagnetic cover portion. The first core is a yoke, and the yoke extends from the yoke to the second core. And a coil provided at a base end portion of the magnetic pole , the cover portion being disposed between the two cores, the first core A portion of the cover portion that is disposed opposite to the magnetic pole and is thinner than a portion that does not face, and a recess that can accommodate the tip of the magnetic pole. A thin portion is provided.

この発明においては、磁極の先端の推力発生面と第二のコアとにわたって、推力を発生させるための磁束が形成される。このとき、磁極と第二のコアとの間には、磁極に対向して薄肉部が配置される。
そのため、磁極の先端の推力発生面と第二のコアとをできるだけ近づけることができ、これにより、第一のコアと第二のコアとの間にカバー部を配置しつつも、両コア間の磁気ギャップを減少させることができる。
なお、薄肉部は、両コア間に配されたカバー部のうち磁極に対向して配される部分に設けられ、両コア間に配されたカバー部のうち磁極に対向していない部分よりも薄肉に形成される。すなわち、対向していない部分は厚肉部となる。 In the present invention, a magnetic flux for generating a thrust is formed across the thrust generating surface at the tip of the magnetic pole and the second core. At this time, a thin portion is disposed between the magnetic pole and the second core so as to face the magnetic pole.
Therefore, the thrust generation surface at the tip of the magnetic pole and the second core can be brought as close as possible, and this allows the cover portion to be disposed between the first core and the second core while The magnetic gap can be reduced.
The thin wall portion is provided in a portion of the cover portion disposed between both cores so as to be opposed to the magnetic pole, and is more than a portion of the cover portion disposed between both cores that is not opposed to the magnetic pole. Formed thin. That is, the part which is not facing becomes a thick part.

また、前記薄肉部が、前記磁極の先端部を収容可能な凹部であり、前記磁極の先端部が凹部に収容される。 The front Symbol thin portion, Ri recess der capable of accommodating the tip portion of the pole, the tip of the magnetic pole Ru is received in the recess.

これにより、磁極の先端面に対して容易かつ確実に薄肉部を対向配置することができ、そのため、全体の組み立てを迅速に行うことができる。
また、前記カバー部は、前記第一のコアの前記磁極を備える面全体を被覆しているので、第一のコアと第二のコアとをそれぞれ異なる環境におく場合に、第一のコア側に配される部材又は第二のコア側に配される部材に互いの環境が影響を与えないようにすることができる。
また、本発明は、前記カバー部は横断面がコ字状に形成されており、前記第一のコアにおける前記磁極を備える面の反対側を開放するようにしていることを特徴とする。 This ensures that the easily and reliably thin portion to the distal end face of the pole can be opposed, therefore, it is possible to perform the entire assembly quickly.
Moreover, since the said cover part has coat | covered the whole surface provided with the said magnetic pole of said 1st core, when putting a 1st core and a 2nd core in a respectively different environment, the 1st core side It is possible to prevent each other's environment from affecting the members disposed on the second core or the members disposed on the second core side.
Further, the present invention is characterized in that the cover portion has a U-shaped cross section, and the opposite side of the surface of the first core having the magnetic pole is opened.

また、本発明は、前記第一のコアが、前記第二のコアの移動する方向に直交する方向に複数に分割されており、前記複数に分割された第一のコア同士の間に、絶縁部材からなるスペーサが設けられていることを特徴とする。 Further, in the present invention, the first core is divided into a plurality of parts in a direction orthogonal to the moving direction of the second core, and insulation is provided between the first cores divided into the plurality. A spacer made of a member is provided.

この発明によれば、磁極と第２のコアとの間の吸引力を分散させることができ、そのため、薄肉部の撓みを抑制しつつ、第２のコアに作用する推力を増大させることができる。 According to this invention, it is possible to disperse the attractive force between the magnetic pole and the second core, and therefore it is possible to increase the thrust acting on the second core while suppressing the bending of the thin portion. .

また、本発明は、前記対向していない部分が、前記薄肉部よりも厚さの大きな厚肉部であって、前記複数に分割された第一のコア同士の間に、前記厚肉部が配置されていることを特徴とする。 Further, in the present invention, the non-facing portion is a thick portion having a thickness larger than that of the thin portion, and the thick portion is between the plurality of first cores divided into the plurality. It is arranged.

この発明によれば、カバー部の強度をさらに増大させることができる。 According to this invention, the strength of the cover part can be further increased.

本発明によれば、磁極の先端の推力発生面と第二のコアとをできるだけ近づけることができ、第一のコアと第二のコアとの間にカバー部を配置しつつも、両コア間の磁気ギャップを減少させることができることから、第一のコアと第二のコアとをそれぞれ異なる環境におく場合であっても、カバー部の強度を維持しつつ、推力の発生効率を向上させることができる。 According to the present invention, the thrust generating surface at the tip of the magnetic pole can be brought as close as possible to the second core, and the cover portion is disposed between the first core and the second core, but between the two cores. Since the magnetic gap can be reduced, the thrust generation efficiency can be improved while maintaining the strength of the cover even when the first core and the second core are placed in different environments. Can do.

（実施形態１）
以下、本発明の第１の実施形態におけるリニアモータについて、図面を参照して説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態としてのリニアモータを示したものである。
リニアモータ１は、第一のコア１０と第二のコア２０とを備えている。第一のコア１０及び第二のコア２０は、磁性部材からなるものであり、互いに対向配置されている。
第一のコア１０は、図２及び図３に示すように、矩形板状のヨーク７と、ヨーク７の一方の主面７ａから厚さ方向に突出する磁極９とを備えている。これらヨーク７と磁極９とは一体的に形成されている。
ヨーク７の長手方向に直交する方向の両端には、ヨーク７を保持するための一対の保持板６が設けられている。保持板６は、矩形板状に形成されており、その長手寸法は、ヨーク７の長手寸法と同一となっている。 (Embodiment 1)
Hereinafter, a linear motor according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 shows a linear motor as a first embodiment of the present invention.
The linear motor 1 includes a first core 10 and a second core 20. The 1st core 10 and the 2nd core 20 consist of magnetic members, and are mutually opposingly arranged.
As shown in FIGS. 2 and 3, the first core 10 includes a rectangular plate-like yoke 7 and a magnetic pole 9 that protrudes in the thickness direction from one main surface 7 a of the yoke 7. The yoke 7 and the magnetic pole 9 are integrally formed.
A pair of holding plates 6 for holding the yoke 7 are provided at both ends in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the yoke 7. The holding plate 6 is formed in a rectangular plate shape, and the longitudinal dimension thereof is the same as the longitudinal dimension of the yoke 7.

また、ヨーク７の一方の主面７ａは、第二のコア２０と対向する対向面として機能するものであり、磁極９は、第二のコア２０に向けて突出している。
磁極９は、角柱状をなしており、その先端面が第二のコア２０に対向配置されている。また、磁極９は、ヨーク７の長手方向に所定の間隔を空けて複数設けられている。すなわち、一方の主面７ａには、第二のコア２０に向けて突出する磁極９と、磁極９の先端面よりも他方の主面７ｂ側（第二のコア２０の反対側）に配される平坦な非突出部１１とが設けられている。磁極９と非突出部１１とは、ヨーク７の長手方向に交互に配列されている。
磁極９の先端部には、矩形板状の永久磁石１３が埋設されている。永久磁石１３は、ヨーク７の長手方向に所定の間隔を空けて、互いに平行に複数設けられている。また、埋設された永久磁石１３のうちの一端面は、磁極９の先端から外方に露出している。これら永久磁石１３の一端面と磁極９の先端とは、面一に配置されている。すなわち、永久磁石１３の一端面と磁極９の先端とによって形成される磁極９の先端面全面は、推力発生面１２として機能するものである。
また、磁極９の基端部には、それぞれの磁極９の側壁を巻回するようにコイル１４が設けられている。 In addition, one main surface 7 a of the yoke 7 functions as a facing surface facing the second core 20, and the magnetic pole 9 protrudes toward the second core 20.
The magnetic pole 9 has a prismatic shape, and the tip surface of the magnetic pole 9 is disposed opposite to the second core 20. A plurality of magnetic poles 9 are provided at predetermined intervals in the longitudinal direction of the yoke 7. That is, one main surface 7 a is arranged with the magnetic pole 9 projecting toward the second core 20 and the other main surface 7 b side (opposite side of the second core 20) from the tip surface of the magnetic pole 9. And a flat non-protruding portion 11 is provided. The magnetic poles 9 and the non-projecting portions 11 are alternately arranged in the longitudinal direction of the yoke 7.
A rectangular plate-like permanent magnet 13 is embedded at the tip of the magnetic pole 9. A plurality of permanent magnets 13 are provided in parallel to each other at a predetermined interval in the longitudinal direction of the yoke 7. One end face of the embedded permanent magnet 13 is exposed outward from the tip of the magnetic pole 9. One end face of the permanent magnet 13 and the tip of the magnetic pole 9 are arranged flush with each other. That is, the entire front end surface of the magnetic pole 9 formed by one end surface of the permanent magnet 13 and the front end of the magnetic pole 9 functions as the thrust generating surface 12.
In addition, a coil 14 is provided at the base end portion of the magnetic pole 9 so as to wind the side wall of each magnetic pole 9.

また、第二のコア２０は、矩形板状に形成されており、その一方の主面２０ａが、一方の主面７ａと対向配置されている。一方の主面２０ａには、第一のコア１０に向けて角柱状に延びる磁極突部１５が設けられている。磁極突部１５は、一方の主面２０ａの長手方向に所定の間隔を空けて複数設けられている。
また、第一のコア１０と第二のコア２０との間には、第一のコア１０を保護する容器（カバー部）２１が配置されている。容器２１の横断面はコ字状に形成されている。すなわち、容器２１は、中空状に形成されており、両主面のうちの一方の側は、外方に開放された開放端とされている。そして、容器２１の内部に、第一のコア１０が配置されている。つまり、容器２１は、第一のコア１０の一部（第二のコア２０側に配される部分、すなわち磁極９を備える主面７ａ全体）を覆うものである。容器２１内には、コイル１４の絶縁を確保するために、不図示のモールド部が設けられている。 Moreover, the 2nd core 20 is formed in the rectangular plate shape, The one main surface 20a is opposingly arranged by the one main surface 7a. One main surface 20 a is provided with a magnetic pole protrusion 15 extending in a prismatic shape toward the first core 10. A plurality of magnetic pole protrusions 15 are provided at predetermined intervals in the longitudinal direction of one main surface 20a.
In addition, a container (cover portion) 21 that protects the first core 10 is disposed between the first core 10 and the second core 20. The cross section of the container 21 is formed in a U shape. That is, the container 21 is formed in a hollow shape, and one side of both main surfaces is an open end opened outward. The first core 10 is disposed inside the container 21. That is, the container 21 covers a part of the first core 10 (the portion disposed on the second core 20 side , that is , the entire main surface 7a including the magnetic pole 9 ). A mold part (not shown) is provided in the container 21 in order to ensure insulation of the coil 14.

また、容器２１は、非磁性部材からなっている。非磁性部材としては、放出ガスの少ない樹脂（例えば、エポキシ系樹脂など）、ガラス、セラミック、金属（例えば、アルミ、ステンレスなど）などが使用される。なお、非磁性部材は、目標とする到達圧力などの各種条件によって適宜定めることができる。ここでは、非磁性部材の金属を使用するものとする。
また、容器２１の底面には、その厚さ寸法の異なる薄肉部２２と厚肉部２３とが設けられている。薄肉部２２の厚さ寸法は、厚肉部２３の厚さ寸法よりも小さくなっている。これら薄肉部２２及び厚肉部２３は、容器２１の長手方向に交互に配列されている。 The container 21 is made of a nonmagnetic member. As the non-magnetic member, a resin (eg, epoxy resin) that emits less gas, glass, ceramic, metal (eg, aluminum, stainless steel, etc.), or the like is used. The nonmagnetic member can be appropriately determined according to various conditions such as a target ultimate pressure. Here, the metal of a nonmagnetic member shall be used.
In addition, the bottom surface of the container 21 is provided with a thin portion 22 and a thick portion 23 having different thickness dimensions. The thickness dimension of the thin part 22 is smaller than the thickness dimension of the thick part 23. These thin portions 22 and thick portions 23 are alternately arranged in the longitudinal direction of the container 21.

換言すれば、容器２１の外底面（第二のコア２０側に向けられた面）２１ａは、平坦面とされており、一方、容器２１の内底面（第一のコア１０側に向けられた面）２１ｂには、第一のコア１０に向けて角柱状に突出する突出部と、非突出部とが設けられている。そして、突出部が厚肉部２３となり、非突出部が薄肉部２２となっている。薄肉部２２は、内底面２１ｂから外底面２１ａに向けて没する矩形の凹部として形成されている。
さらに、薄肉部２２の底面は、第一のコア１０の磁極９の先端面と対向配置されており、厚肉部２３の先端面は、コイル１４を介して非突出部１１の底面と対向配置されている。すなわち、磁極９の先端部は、薄肉部２２に嵌め込まれており、換言すれば、磁極９の先端部は、薄肉部２２に収容されている。
なお、容器２１の内底面２１ｂのうち、磁極９の先端面と対向配置された部分が薄肉部（対向して配される部分）２２とされ、対向配置されていない部分が厚肉部（対向していない部分）２３となる。 In other words, the outer bottom surface (surface directed toward the second core 20) 21a of the container 21 is a flat surface, while the inner bottom surface (facing toward the first core 10) of the container 21 is directed. The surface) 21 b is provided with a projecting portion that projects in a prismatic shape toward the first core 10 and a non-projecting portion. And the protrusion part becomes the thick part 23, and the non-protrusion part becomes the thin part 22. The thin-walled portion 22 is formed as a rectangular recess that sinks from the inner bottom surface 21b toward the outer bottom surface 21a.
Further, the bottom surface of the thin portion 22 is disposed to face the tip surface of the magnetic pole 9 of the first core 10, and the tip surface of the thick portion 23 is disposed to face the bottom surface of the non-projecting portion 11 via the coil 14. Has been. That is, the tip of the magnetic pole 9 is fitted into the thin portion 22, in other words, the tip of the magnetic pole 9 is accommodated in the thin portion 22.
Of the inner bottom surface 21 b of the container 21, the portion disposed opposite to the tip surface of the magnetic pole 9 is a thin portion (portion disposed opposite) 22, and the portion not disposed opposite is a thick portion (opposite portion). (Not part) 23.

次に、このように構成された本実施形態におけるリニアモータ１の作用について説明する。
図４は、図３におけるＢ−Ｂ線矢視端面図であり、図５は、同Ｃ−Ｃ線矢視端面図である。
なお、図４及び図５において、符号Ｖは、真空室を示すものであり、不図示の真空ポンプを駆動すると、真空室Ｖの内壁Ｖ１を境界にして、真空室Ｖ内が真空となり、真空室Ｖの外側は大気圧が維持されるようになっている。真空室Ｖの外側を大気圧側Ａというものとする。 Next, the operation of the linear motor 1 according to this embodiment configured as described above will be described.
4 is an end view taken along the line BB in FIG. 3, and FIG. 5 is an end view taken along the line CC.
4 and 5, the symbol V indicates a vacuum chamber. When a vacuum pump (not shown) is driven, the inside of the vacuum chamber V becomes a vacuum with the inner wall V1 of the vacuum chamber V as a boundary. An atmospheric pressure is maintained outside the chamber V. The outside of the vacuum chamber V is referred to as the atmospheric pressure side A.

まず、真空室Ｖの内壁Ｖ１に形成された開口部に合わせて、リニアモータ１を設置する。そして、第二のコア２０を真空室Ｖ内の不図示の搬送ステージに連結する。このとき、リニアモータ１全体は、真空室Ｖ内に配される。しかし、容器２１の開放端が開口部を覆うようにしてリニアモータ１が設置されることから、容器２１内は、開口部を介して大気圧側Ａと連通する。また、真空室Ｖは、容器２１によって開口部との連通が遮断される。 First, the linear motor 1 is installed according to the opening formed in the inner wall V1 of the vacuum chamber V. Then, the second core 20 is connected to a transfer stage (not shown) in the vacuum chamber V. At this time, the entire linear motor 1 is disposed in the vacuum chamber V. However, since the linear motor 1 is installed such that the open end of the container 21 covers the opening, the inside of the container 21 communicates with the atmospheric pressure side A through the opening. The vacuum chamber V is blocked from communicating with the opening by the container 21.

この状態で、不図示の真空ポンプを駆動すると、真空室Ｖの気圧が低下していき、やがて目標とする圧力（例えば、１０^−６Ｐａ）に到達する。このとき、真空室Ｖと開口部との連通は遮断されていることから、容器２１内は、大気圧が維持されている。したがって、容器２１内に設けられた樹脂モールド部などからガスが放出することもない。
さらに、目標とする圧力に達すると、コイル１４に通電し、磁束を発生させる。コイル１４からの磁束は、永久磁石１３に案内されて、第一のコア１０から第二のコア２０にわたった磁束ループが形成される。これにより、磁極９の前記先端面全面が推力発生面１２となり、第二のコア２０に対して、図４及び図５において紙面に直交する方向に推力が作用する。
そのため、第二のコア２０が同方向に移動し、搬送ステージに載せられた被搬送物が所定の場所まで搬送される。 When a vacuum pump (not shown) is driven in this state, the atmospheric pressure in the vacuum chamber V decreases and eventually reaches a target pressure (for example, 10 ⁻⁶ Pa). At this time, since the communication between the vacuum chamber V and the opening is blocked, atmospheric pressure is maintained in the container 21. Therefore, no gas is released from the resin mold portion or the like provided in the container 21.
Further, when the target pressure is reached, the coil 14 is energized to generate magnetic flux. The magnetic flux from the coil 14 is guided to the permanent magnet 13 to form a magnetic flux loop extending from the first core 10 to the second core 20. As a result, the entire front end surface of the magnetic pole 9 becomes the thrust generating surface 12, and thrust acts on the second core 20 in a direction perpendicular to the paper surface in FIGS. 4 and 5.
Therefore, the second core 20 moves in the same direction, and the object to be transported placed on the transport stage is transported to a predetermined location.

ここで、本実施形態におけるリニアモータ１は、容器２１に薄肉部２２及び厚肉部２３が形成され、それぞれ磁極９及び非突出部１１に対向配置されていることから、第一のコア１０と第二のコア２０とをなるべく近づけつつ、第一のコア１０側に配置された部材を保護することができる。
すなわち、図４に示すように、厚肉部２３と非突出部１１とが対向配置されていることから、容器２１の底部の厚さ寸法を確保し、これにより容器２１の強度を増大させることができる。一方、図５に示すように、薄肉部２２が磁極９と対向配置されていることから、推力発生面である磁極９の先端面と第二のコア２０とを近接させることができ、これにより、磁気ギャップを減少させ推力を増大させることができる。 Here, the linear motor 1 in the present embodiment has a thin portion 22 and a thick portion 23 formed in the container 21 and is disposed to face the magnetic pole 9 and the non-projecting portion 11 respectively. The member arranged on the first core 10 side can be protected while bringing the second core 20 as close as possible.
That is, as shown in FIG. 4, the thick portion 23 and the non-projecting portion 11 are opposed to each other, so that the thickness dimension of the bottom portion of the container 21 is secured, thereby increasing the strength of the container 21. Can do. On the other hand, as shown in FIG. 5, since the thin portion 22 is disposed opposite to the magnetic pole 9, the tip surface of the magnetic pole 9, which is a thrust generating surface, and the second core 20 can be brought close to each other. The magnetic gap can be reduced and the thrust can be increased.

以上より、本実施形態におけるリニアモータ１によれば、容器２１の底部の厚さ寸法を確保しつつ、磁極９の先端の推力発生面と第二のコア２０とをなるべく近づけることができることから、第一のコア１０と第二のコア２０とをそれぞれ異なる環境におく場合であっても、推力の発生効率を向上させることができる。
また、容器２１における薄肉部２２の範囲が、モータの推力発生に寄与する部分に限られているため、真空と大気との間で圧力差が生じても、容器２１の変形を抑えることができる。すなわち、モータと容器２１とを一体にしなくても、推力の発生効率を向上させつつ、容器２１の強度を上げることができる。
また、容器２１が金属からできていることから、コイル１４から発せられる熱の放熱性を向上させることができる。
また、薄肉部２２が凹部として形成されており、磁極９の先端部が薄肉部２２に嵌め込まれることから、磁極の先端面に対して容易かつ確実に薄肉部を対向配置することができ、そのため、リニアモータ１全体の組み立て作業負担を軽減させることができる。 From the above, according to the linear motor 1 in the present embodiment, the thrust generation surface at the tip of the magnetic pole 9 and the second core 20 can be made as close as possible while ensuring the thickness dimension of the bottom of the container 21. Even when the first core 10 and the second core 20 are placed in different environments, the generation efficiency of thrust can be improved.
Moreover, since the range of the thin portion 22 in the container 21 is limited to a portion that contributes to the generation of the thrust of the motor, even if a pressure difference occurs between the vacuum and the atmosphere, the deformation of the container 21 can be suppressed. . That is, even if the motor and the container 21 are not integrated, the strength of the container 21 can be increased while improving the generation efficiency of thrust.
Moreover, since the container 21 is made of metal, the heat dissipation of heat generated from the coil 14 can be improved.
Moreover, since the thin part 22 is formed as a recessed part and the front-end | tip part of the magnetic pole 9 is engage | inserted in the thin-wall part 22, it can be arrange | positioned easily and reliably with respect to the front end surface of a magnetic pole, Therefore The assembly work load of the entire linear motor 1 can be reduced.

（実施形態２）
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。
図６及び図７は、本発明の第２の実施形態を示したものである。
図６及び図７において、図１から図５に記載の構成要素と同一部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
この実施形態と上記第１の実施形態とは基本的構成は同一であり、ここでは異なる点についてのみ説明する。 (Embodiment 2)
Next, a second embodiment of the present invention will be described.
6 and 7 show a second embodiment of the present invention.
6 and 7, the same components as those shown in FIGS. 1 to 5 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.
This embodiment and the first embodiment have the same basic configuration, and only the differences will be described here.

本実施形態における第一のコア１０は、容器２１の底面の延在方向において第二のコア２０の移動方向に直交する直交方向Ｓに二つに分割された分割コア１０ａ，１０ｂを備えている。分割コア１０ａ，１０ｂの間には、矩形板状の分割板（スペーサ）２５が設けられている。分割板２５は、絶縁部材からなっている。
また、薄肉部２２内の直交方向Ｓの中央には、第二のコア２０の移動方向に延びる小厚肉部２６が形成されている。小厚肉部２６は、分割コア１０ａ，１０ｂの間に配置されている。 The first core 10 in the present embodiment includes split cores 10 a and 10 b that are divided into two in an orthogonal direction S orthogonal to the moving direction of the second core 20 in the extending direction of the bottom surface of the container 21. . A rectangular plate-shaped divided plate (spacer) 25 is provided between the divided cores 10a and 10b. The dividing plate 25 is made of an insulating member.
In addition, a small thick portion 26 extending in the moving direction of the second core 20 is formed at the center of the thin portion 22 in the orthogonal direction S. The small thick portion 26 is disposed between the divided cores 10a and 10b.

以上より、本実施形態におけるリニアモータ１ａによれば、第一のコア１０が分割されていることから、薄肉部２２の撓みを抑制することができる。すなわち、第一のコア１０を直交方向Ｓに一体的に大きくしていくと、磁極９と第二のコア２０との間の吸引力が直交方向Ｓ全体に大きくなり、薄肉部２２が第二のコア２０側に撓んでしまう。本実施形態におけるリニアモータ１ａによれば、第一のコア１０が直交方向Ｓに分割されていることから、吸引力を直交方向Ｓに分散させることができ、薄肉部２２の撓みを抑制しつつ、推力を増大させることができる。
また、分割コア１０ａ，１０ｂの間に、小厚肉部２６が配置されていることから、容器２１の強度をさらに増大させることができる。 As mentioned above, according to the linear motor 1a in this embodiment, since the 1st core 10 is divided | segmented, the bending of the thin part 22 can be suppressed. That is, when the first core 10 is integrally increased in the orthogonal direction S, the attractive force between the magnetic pole 9 and the second core 20 increases in the entire orthogonal direction S, and the thin portion 22 is increased in the second direction. Will bend toward the core 20 side. According to the linear motor 1a in the present embodiment, since the first core 10 is divided in the orthogonal direction S, the suction force can be dispersed in the orthogonal direction S, while suppressing the bending of the thin portion 22. The thrust can be increased.
Moreover, since the small thickness part 26 is arrange | positioned between the split cores 10a and 10b, the intensity | strength of the container 21 can further be increased.

なお、上記第１及び第２の実施形態においては、大気と真空との境界にリニアモータ１，１ａを設置するものとしたが、これに限ることはなく、設置環境としては適宜変更可能である。例えば、空気中と水中などに設置してもよい。
また、厚肉部２３の先端面などに熱伝送性のグリースを設けてもよい。これにより、コイル１４からの熱をさらに効率よく放熱することができる。
また、永久磁石１３を複数設けるとしたが、これに限ることはなく、一つの永久磁石を設けるようにしてもよい。
また、第２の実施形態において、第一のコア１０を二つに分割するとしたが、これに限ることはなく、三つ以上に分割してもよい。
また、小厚肉部２６はなくてもよい。ただし、容器２１の強度の点で、小肉厚部２６を設けた方が好ましいことはいうまでもない。
なお、本発明の技術範囲は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変更を加えることが可能である。 In the first and second embodiments, the linear motors 1 and 1a are installed at the boundary between the atmosphere and the vacuum. However, the present invention is not limited to this, and the installation environment can be changed as appropriate. . For example, you may install in the air and underwater.
Further, a heat-transmitting grease may be provided on the tip surface of the thick portion 23 or the like. Thereby, the heat from the coil 14 can be radiated more efficiently.
Although a plurality of permanent magnets 13 are provided, the present invention is not limited to this, and one permanent magnet may be provided.
In the second embodiment, the first core 10 is divided into two. However, the present invention is not limited to this, and the first core 10 may be divided into three or more.
Further, the small thick portion 26 may not be provided. However, it goes without saying that it is preferable to provide the small thickness portion 26 in terms of the strength of the container 21.
The technical scope of the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

本発明に係るリニアモータの第１の実施形態を示す分解斜視図である。1 is an exploded perspective view showing a first embodiment of a linear motor according to the present invention. 図１のリニアモータを側面から示す断面図である。It is sectional drawing which shows the linear motor of FIG. 1 from the side. 図２のリニアモータの各部品が設置された様子を示す断面図である。It is sectional drawing which shows a mode that each component of the linear motor of FIG. 2 was installed. 図３のＢ−Ｂ線矢視端面図である。FIG. 4 is an end view taken along line BB in FIG. 3. 図３のＣ−Ｃ線矢視端面図である。FIG. 4 is an end view taken along the line CC in FIG. 3. 本発明に係るリニアモータの第２の実施形態を示す図であって、図４と対応させて示す端面図である。It is a figure which shows 2nd Embodiment of the linear motor which concerns on this invention, Comprising: It is an end elevation shown corresponding to FIG. 第２の実施形態において図５と対応させて示す端面図である。It is an end view shown corresponding to Drawing 5 in a 2nd embodiment.

Explanation of symbols

１，１ａリニアモータ
７ヨーク
９磁極
１０第一のコア
１２推力発生面
２０第二のコア
２１容器（カバー部）
２２薄肉部（凹部）
２５分割板（スペーサ） 1, 1a Linear motor 7 Yoke 9 Magnetic pole 10 First core 12 Thrust generating surface 20 Second core 21 Container (cover part)
22 Thin part (recess)
25 Dividing plate (spacer)

Claims

A first core and a second core disposed opposite to each other, and a non- magnetic cover,
The first core includes a yoke, a magnetic pole protruding from the yoke toward the second core and having a tip surface as a thrust generation surface, and a coil provided at a base end portion of the magnetic pole. ,
The cover portion is disposed between the cores and covers the entire surface of the first core including the magnetic pole;
A portion of the cover portion that is disposed to face the magnetic pole is provided with a thin portion that is a recessed portion that is thinner than a portion that does not face and can accommodate the tip portion of the magnetic pole. A linear motor.

2. The linear motor according to claim 1, wherein the cover portion has a U-shaped cross section, and opens an opposite side of the surface having the magnetic pole in the first core. .

The first core is divided into a plurality in a direction orthogonal to the moving direction of the second core;
Linear motor according to claim 1 or 2 between the first cores which are divided into a plurality, characterized in that the spacer made of an insulating member.

The non-facing part is a thick part having a thickness larger than the thin part,
The linear motor according to claim 3, wherein the thick portion is disposed between the plurality of first cores divided into a plurality of cores.