JP5292049B2 - 脆性材料基板の割断方法 - Google Patents
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Description
I=I0・exp(−α・z) ・・・・・・(1)
ここで、αは吸収能と呼ばれる物理量で、
α=(4π/λ0)k=(4π/λ0)nκ ・・・(2)
(式中、nはその物体の屈折率、k,κは減衰係数)
で表される。
α=0.105/L
となる。そして上記式(2)から波長λ0は、
λ0=38.1・πkL=38.1・πnκL
となる。なお、上記計算では、脆性材料基板の入射表面での反射や、出射側面である脆性材料基板裏面での反射はないものとしている。
λ0=0.868・πkL=0.868・πnκL
となる。
2 トリガークラック
3 移動予定ライン
4 レーザ出力装置
5 ノズル
6 スクライブライン
41 レーザビーム
51 冷却水(冷却媒体)
Claims (2)
- 脆性材料基板に対してレーザビームを相対移動させながら照射して、前記基板を溶融温度未満で加熱した後、冷却媒体により前記基板を冷却し、前記基板に生じた熱応力によって前記基板の表面から略垂直方向にクラックを形成させて前記基板を割断する脆性材料基板の割断方法であって、
前記レーザビームの波長を、前記レーザビームが前記基板を1〜90%透過する波長とし、
前記レーザビームを前記基板の表面側端まで相対移動させた後、さらに前記基板の側面に対してレーザビームを厚み方向に相対移動させながら照射することを特徴とする脆性材料基板の割断方法。 - 前記脆性材料基板がガラス基板であり、前記レーザビームの波長が1.03〜5.5μmである請求項1記載の脆性材料基板の割断方法。
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