JP5282887B2 - フォトダイオード、光通信デバイスおよび光インタコネクションモジュール - Google Patents
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Description
Lewen, A. Nahata, R. A. Linke, “Giant optical
transmission of sub-wavelength apertures: physics and applications, “ Nanotechnology, vol. 13, pp. 429-432, Figure 4)。例えば、波長の40%以下の直径の開口において透過する光の総エネルギーは入射光エネルギーの1%以下に減衰する。従って、この光伝送装置からの伝播光を受光素子に照射しても高いS/Nは得られない。
S. J. Koester, G. Dehlinger, J. D. Schaub,J. O. Chu, Q. C. Ouyang, and A. Grill, "Germanium-on-InsulatorPhotodetectors", 2nd International Conference on GroupIV Photonics, FB1 2005, (第172頁、Fig.3)
前記フォトダイオードは、前記半導体層の裏面側から光が入射できるよう構成され、
前記フォトダイオードのショットキー接合部の周囲には、前記半導体層の裏面側から入射した光が表面プラズモン共鳴を生じさせる周期構造が構成されてなる
ことを特徴とするフォトダイオードによって解決される。
前記フォトダイオードは、前記半導体層の裏面側から光が入射できるよう構成され、
前記フォトダイオードのp−i−n接合部の周囲には、導電層が設けられ、前記半導体層の裏面側から入射した光が表面プラズモン共鳴を生じさせる周期構造が構成されてなる
ことを特徴とするフォトダイオードによって解決される。
前記フォトダイオードは、前記半導体層の裏面側から光が入射できるよう構成され、
前記フォトダイオードの金属−半導体−金属接合部の周囲には、導電層が設けられ、前記半導体層の裏面側から入射した光が表面プラズモン共鳴を生じさせる周期構造が構成されてなる
ことを特徴とするフォトダイオードによって解決される。
前記Si基板上に前記フォトダイオードとモノリシックに形成されたLSI電子回路
とを具備することを特徴とする光インタコネクションモジュールによって解決される。
2 導電膜
3 下部電極層
4 埋め込み酸化層
5 負荷抵抗
6 バイアス電源
7 酸化膜
8 支持基板
9 周期的な凹凸
10 ショットキーコンタクト層
11 金属膜
12 n+電極層
13 MSM電極
14 プラズモン共鳴を生じさせない禁制帯グレーティング
15 突起形状
16 溝形状
17 周期的なスリットアレイあるいは微小開口アレイ
18 ショットキーコンタクト層
19 電極パッド
20 光ファイバー
21 信号光
22 本発明のォトダイオード
23 モジュール筐体
24 電気配線
25 プリアンプIC
26 チップキャリア
27 VCSEL光源
28 光源および変調用電気配線ビア
29 フォトダイオード用電気配線ビア
30 LSIパーケージ
31 光源変調用電気配線層
32 フォトダイオード用電気配線層
33 光信号出力ファイバー
34 光信号入力ファイバー
35 LSI搭載ボード
36 凹面鏡
37 フォトダイオード/光源搭載ボード
本発明になる第8のフォトダイオードは、上記第1〜第7何れかのフォトダイオードにおいて、特に、次のように構成されたものである。表面プラズモン共鳴を生じさせる周期構造の外側に、表面プラズモン共鳴を生じさせない周期構造が構成されたものである。
[式1]
kSP=ω/c{(εm・εd)/(εm+εd)}1/2
ここで、εmとεdは表面プラズモンを生ずる金属とこれに接している誘電体の誘電率である。
[式2]
LSPP=c/ω{(εm’+εd)/εm’}3/2・εm’2/εm’’
ここで、金属の複素誘電率εmをεm’+iεm’’と表した。
図1は、本発明の第1実施形態を示すSiショットキー型フォトダイオードの断面図である。
図2は、本発明の第2実施形態を示すGeショットキー型フォトダイオードの断面図である。
図3は、本発明の第3実施形態を示すp−i−n型フォトダイオードの断面図である。
図4および図15は、本発明の第4実施形態を示すMSM型フォトダイオードの断面図および平面図である。
図17、図18、図19、及び図20は、上記実施例1(図1)、実施例2(図2)、実施例3(図3)、及び実施例4(図4)の表面プラズモン共鳴を生じさせる周期的な凹凸構造9の外側に、表面プラズモンの反射機能を有する禁制帯グレーティング14、突起形状15、溝形状16、周期的なスリットアレイあるいは微小開口アレイ17を形成したショットキー型フォトダイオードの断面図を示すものである。
図21は、本発明のショットキー型フォトダイオード22を搭載した40Gbps(ギガビット毎秒)伝送用光受信モジュールを示す概略図である。
図22は、本発明のフォトダイオードを搭載したLSIチップ間光インターコネクト構成を示すものである。
Claims (26)
- 半導体層の表面に導電層が設けられたショットキー障壁型のフォトダイオードであって、
前記フォトダイオードのショットキー接合部の周囲には、表面プラズモン共鳴を生じさせる周期構造が前記導電層に接して設けられ、
前記半導体層は、前記導電層の前記周期構造が設けられている面に設けられ、
前記半導体層の周囲には、前記半導体層よりも屈折率の低い誘電体層が設けられ、
前記周期構造は凹凸面を有しており、
前記周期構造の凹凸面が前記導電層とは反対側のフォトダイオード裏面側を向くように構成され、
前記周期構造の凹凸面に向かう前記裏面側から前記フォトダイオードに光が入射されるよう構成されてなる
ことを特徴とするフォトダイオード。 - 半導体層の表面に設けられたp−i−n型のフォトダイオードであって、
前記フォトダイオードのp−i−n接合部の周囲には、導電層と、表面プラズモン共鳴を生じさせる周期構造が前記導電層に接して設けられ、
前記半導体層は、前記導電層の前記周期構造が設けられている面に設けられ、
前記半導体層の周囲には、前記半導体層よりも屈折率の低い誘電体層が設けられ、
前記周期構造は凹凸面を有しており、
前記周期構造の凹凸面が前記導電層とは反対側のフォトダイオード裏面側を向くように構成され、
前記周期構造の凹凸面に向かう前記裏面側から前記フォトダイオードに光が入射されるよう構成されてなる
ことを特徴とするフォトダイオード。 - 半導体層の表面に間隔をおいて配置された金属−半導体−金属接合を備えたフォトダイオードであって、
前記フォトダイオードの金属−半導体−金属接合部の周囲には、導電層と、表面プラズモン共鳴を生じさせる周期構造が前記導電層に接して設けられ、
前記半導体層は、前記導電層の前記周期構造が設けられている面に設けられ、
前記半導体層の周囲には、前記半導体層よりも屈折率の低い誘電体層が設けられ、
前記周期構造は凹凸面を有しており、
前記周期構造の凹凸面が前記導電層とは反対側のフォトダイオード裏面側を向くように構成され、
前記周期構造の凹凸面に向かう前記裏面側から前記フォトダイオードに光が入射されるよう構成されてなる
ことを特徴とするフォトダイオード。 - 半導体層の表面に配置された金属−半導体−金属接合の間隔は、λ/n(但し、λは半導体層の裏面側から入射する光の波長、nは半導体層における光の屈折率)以下であり、
前記金属の層は、前記半導体とショットキー接合を形成する金属の層と表面プラズモンを誘起することが可能な導電性材料からなる層とが積層されてなる層、又は前記半導体とショットキー接合を形成することが可能で、かつ、表面プラズモンを誘起することが可能な金属の層からなる
ことを特徴とする請求項3のフォトダイオード。 - 金属−半導体−金属接合は、対向する少なくとも一方の金属−半導体接合がショットキー障壁型の接合である
ことを特徴とする請求項3又は請求項4のフォトダイオード。 - 表面プラズモン共鳴を生じさせる周期構造が、凹凸が形成された半導体層の表面に表面プラズモンを誘起することが可能な導電性層を積層した構造である
ことを特徴とする請求項1〜請求項5いずれかのフォトダイオード。 - 表面プラズモン共鳴を生じさせる周期構造が、凹凸が形成された誘電体層の表面に表面プラズモンを誘起することが可能な導電性層を積層した構造である
ことを特徴とする請求項1〜請求項6いずれかのフォトダイオード。 - 表面プラズモン共鳴を生じさせる周期構造の外側に、表面プラズモン共鳴を生じさせない周期構造が構成されてなる
ことを特徴とする請求項1〜請求項7いずれかのフォトダイオード。 - 表面プラズモン共鳴を生じさせる周期構造の外側に、表面プラズモンを反射させるための段差構造が構成されてなる
ことを特徴とする請求項1〜請求項8いずれかのフォトダイオード。 - 段差構造が、λ/nd(但し、ndは導電膜に隣接する半導体層あるいは誘電体層における光の屈折率、λは光の波長。)よりも高い突起形状からなる
ことを特徴とする請求項9のフォトダイオード。 - 段差構造が、λ/nd(但し、ndは導電膜に隣接する半導体層あるいは誘電体層における光の屈折率、λは光の波長。)よりも深い溝形状からなる
ことを特徴とする請求項9又は請求項10のフォトダイオード。 - 段差構造が、導電性材料に設けられた入射光の波長以下の径の孔を配列した形状からなる
ことを特徴とする請求項9〜請求項11いずれかのフォトダイオード。 - 段差構造が、導電性材料に設けられた入射光の波長以下の幅のスリットを配列した形状からなる
ことを特徴とする請求項9〜請求項12いずれかのフォトダイオード。 - 前記導電性層が、Al,Ag,Au,Cuの群の中から選ばれる少なくとも一つの金属あるいは合金で構成されてなる
ことを特徴とする請求項9〜請求項13いずれかのフォトダイオード。 - フォトダイオードにおける接合面積が100平方μm以下である
ことを特徴とする請求項1〜請求項14いずれかのフォトダイオード。 - フォトダイオードにおける接合面積が10平方μm以下である
ことを特徴とする請求項1〜請求項14いずれかのフォトダイオード。 - フォトダイオードにおける接合面積が1平方μm以下である
ことを特徴とする請求項1〜請求項14いずれかのフォトダイオード。 - フォトダイオードにおける半導体吸収層の厚みが1μm以下である
ことを特徴とする請求項1〜請求項17いずれかのフォトダイオード。 - フォトダイオードにおける半導体吸収層の厚みが200nm以下である
ことを特徴とする請求項1〜請求項17いずれかのフォトダイオード。 - フォトダイオードにおける半導体吸収層が、Si,SixGe1−x(但し、xは1未満の正数),Ge,GaN,GaAs,GaInAs,GaInP,InPの群の中から選ばれる少なくとも一つで構成されてなる
ことを特徴とする請求項1〜請求項19いずれかのフォトダイオード。 - フォトダイオードにおける半導体吸収層がGe,SixGe1−x(但し、xは1未満の正数)の群の中から選ばれる少なくとも一つで構成されてなり、
前記半導体吸収層と前記導電層との間にNiとGeとの合金で構成されてなる層が設けられてなる
ことを特徴とする請求項1〜請求項20いずれかのフォトダイオード。 - フォトダイオードが半導体からなる光導波路上に構成されてなる
ことを特徴とする請求項1〜請求項21いずれかのフォトダイオード。 - 基板側に形成された光導波路からミラーにより反射された光をフォトダイオードが受光できるよう構成されてなる
ことを特徴とする請求項1〜請求項21いずれかのフォトダイオード。 - フォトダイオードの基板が入射光に対して透明な材料で構成されてなる
ことを特徴とする請求項1〜請求項23いずれかのフォトダイオード。 - 請求項1〜請求項24いずれかのフォトダイオードが受光部に設けられてなる
ことを特徴とする光通信デバイス。 - 請求項1〜請求項24いずれかのフォトダイオードが構成されたSi基板と、
前記Si基板上に前記フォトダイオードとモノリシックに形成されたLSI電子回路とを具備する
ことを特徴とする光インタコネクションモジュール。
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