JP5273546B2 - Film bonding equipment - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance manufacturing efficiency by automating everything from the delivery of a splice film to splicing the head end of the film to the tail end of the preceding film only by setting into a tip end positioning device for the splice film, and by eliminating both time for heating and cooling of a film forming device during film loading work, and time for releasing to atmosphere and vacuuming. <P>SOLUTION: In the film joining device 33, the head end of a splice film 4a, pasted with a joining tape 9 and pulled out of a next film roll, is joined to the tail end of a preceding film 4 precedingly fed from a film roll 1. The film joining device includes: a clip-type tip end positioning device 5 of the splice film for positioning the head end of the splice film 4a, pasted with a joining tape 9 and placed on an unwinding part 31, to the delivery position; a delivery device 6 of the splice film for grasping and changing grasping the head end of the splice film 4a using a rotation mechanism 10, and for positioning to a predetermined position for joining; and film joining means for overlapping and pressure joining the preceding film 4 and the splice film 4a using the rotation mechanism 10. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、巻芯にロール状に巻かれた連続フィルムを供給する場合のように、ロール状に巻かれた帯状のテープ、フィルム、ウェブ等(以下、総称してフィルムと呼ぶ)の始端を引き出して、先行するフィルムの終端に接続するフィルムの接合装置に関する。   The present invention uses the beginning of a strip-like tape, film, web, etc. (hereinafter collectively referred to as a film) wound in a roll shape, as in the case of supplying a continuous film wound in a roll shape around a core. The present invention relates to a film joining apparatus that is pulled out and connected to the end of the preceding film.

従来、複数のロールから順次、フィルムを連続的に引き出していくため、先行フィルムの終端部と、接続するフィルムの始端部とを、作業者によって接着テープ等で接合するのが一般的である(例えば、特許文献1参照)。
また、フィルムを自動で接合する場合においても、用いられるフィルム把持機構はエア吸着のものが多いことから、大気中での使用を前提としている。
Conventionally, in order to successively draw out a film sequentially from a plurality of rolls, it is common for an operator to join the end portion of a preceding film and the start end portion of a film to be connected with an adhesive tape or the like ( For example, see Patent Document 1).
In addition, even when films are automatically joined, the film gripping mechanism used is presumed to be used in the atmosphere because there are many air adsorption mechanisms.

特開2005―145708号公報JP 2005-145708 A

本発明が解決しようとする課題は、フィルムロールのフィルム始端を、人手により引き出して所定の位置にセットすることなく、フィルムロールをフィルム支持軸に装填し、始端をクリップ式の接続フィルム先端位置決め装置にセットするだけで接続フィルムの繰出しから、そのフィルム始端の先行フィルムの終端への接続までを全て自動的に行えるようにし、あるいは装置の外側から内部を見ながらの操作であったり、またはモニターを見ながらの遠隔操作をすることによって、大気中における接合時のフィルム装填作業の除外化を図ることである。   The problem to be solved by the present invention is that the film roll is loaded on the film support shaft without manually pulling out the film start end of the film roll and set at a predetermined position, and the start end is a clip-type connecting film tip positioning device. It is possible to automatically perform everything from the feeding of the connecting film to the connection of the leading end of the film to the end of the preceding film, or the operation while looking at the inside from the outside of the device, or the monitor. By carrying out remote operation while watching it, the film loading operation at the time of bonding in the atmosphere is excluded.

また、本発明が解決しようとする課題は、ロールツーロールでフィルム(縦型、横型)搬送を行う成膜装置などでは、加熱真空中におけるフィルムの接続を行うことにより、フィルム装填作業時の真空装置の加熱冷却時間と大気開放、真空引き時間の除外化を行い、生産効率の向上を図ることである。   Further, the problem to be solved by the present invention is that a film forming apparatus that transports a film (vertical type, horizontal type) by roll-to-roll performs a vacuum during film loading operation by connecting the film in a heating vacuum. It is intended to improve the production efficiency by excluding the heating / cooling time of the device, opening to the atmosphere, and evacuation time.

すなわち、本発明の目的は、接続フィルム先端位置決め装置にセットするだけで接続フィルムの繰出しから当該フィルム始端の先行フィルムの終端への接続までを全て自動的に行えるようにするとともに、フィルム装填作業時の成膜装置の加熱冷却時間と大気開放、真空引き時間の除外化を行い、生産効率の向上を図ることが可能なフィルムの接合装置を提供することにある。   That is, the object of the present invention is to automatically perform all the steps from the feeding of the connecting film to the connection of the leading end of the preceding film to the end of the preceding film only by setting the connecting film leading end positioning device, and at the time of film loading operation. It is an object of the present invention to provide a film bonding apparatus capable of improving the production efficiency by excluding the heating / cooling time, opening to the atmosphere, and evacuation time of the film forming apparatus.

上記従来技術の有する課題を解決するために、本発明は、フィルムロールから先行して送給される先行フィルムの終端部に、次のフィルムロールから引き出される接続フィルムの始端部を接合する成膜装置のフィルムの接合装置において、真空遮断装置と外周壁とによって画成された3つの真空室を備え、3つの前記真空室は、第1の巻き出し室、第2の巻き出し室及び接合室であり、前記第1の巻き出し室及び前記第2の巻き出し室と前記接合室との間には、前記真空遮断装置がそれぞれ設けられ、前記第1の巻き出し室を真空引きする真空手段をさらに備え、前記第1の巻き出し室に前記接続フィルムの始端を、繰出し位置に位置決めする接続フィルム先端位置決め装置と、前記第1の巻き出し室に、前記接続フィルムの始端のみ換えを行い、定位置に位置合せする接続フィルム繰出し装置と、前記接合室に、回転機構を用いて前記先行フィルムと前記接続フィルムとを接合するフィルム接合手段とを備えている。 To solve the problems of the prior art, the present invention is, at the end of the preceding film fed ahead from the film roll, the deposition of joining starting end of the connection film drawn from the following film roll The film bonding apparatus of the apparatus includes three vacuum chambers defined by a vacuum shut-off device and an outer peripheral wall, and the three vacuum chambers include a first unwinding chamber, a second unwinding chamber, and a bonding chamber. The vacuum shut-off device is provided between the first unwinding chamber and the second unwinding chamber and the joining chamber, respectively, and vacuum means for evacuating the first unwinding chamber further wherein the the starting end of the connecting film to the first unwinding chamber, and the connecting film leading end positioning device for positioning the extended position, the the first unwinding chamber, the start of the seen instead of the connecting film Performed, and includes a connection film feeding device for aligning to a Jo Tokoro, said bonding chamber, and a film bonding means for bonding the connecting film and the preceding film using a rotation mechanism.

そして、本発明は、好ましくは、請求項1において、前記接続フィルム先端位置決め装置は、巻き出し室と接合室との間に設けられた前記真空遮断装置内を往復動して前記接続フィルム始端を繰出し位置に位置決めするようになっている。 And this invention, Preferably, in the said Claim 1, the said connection film front-end | tip positioning device reciprocates in the said vacuum interruption | blocking apparatus provided between the unwinding chamber and the joining chamber, and the said connection film start end is carried out. It is positioned at the feeding position .

また、本発明は、好ましくは、前記接続フィルム接合手段は、ばね機構を有する突起部を備えた繰り出し回転ドラムと搬送ローラとを備え、前記接続フィルム繰出し装置は、前記突起部と接続フィルム始端の孔部とを嵌合し、前記接続フィルム接合手段は、回転機構を用いて前記接続フィルム始端を接合所定位置まで繰出したあと、接合部において前記突起部が収納される機能を備えている。 In the present invention, it is preferable that the connection film joining means includes a feeding rotary drum having a projection having a spring mechanism and a conveying roller, and the connection film feeding device includes the projection and the connection film starting end. The connecting film joining means has a function of accommodating the protrusion at the joining portion after the connecting film joining means is fed to the predetermined joining position using a rotating mechanism .

さらに、本発明は、好ましくは、前記先行フィルムの終端のフィルム余材を切除し、前記フィルムの残材を接続位置から逃がすフィルム切断装置と、前記接続フィルムを接合位置より搬送位置に移送するフィルム移送装置とを、さらに備えている。 Furthermore, the present invention is preferably a film cutting device that cuts off the remaining film material at the end of the preceding film and releases the remaining film material from the connection position, and a film that transfers the connection film from the bonding position to the transport position. And a transfer device .

上述の如く、本発明に係る成膜装置のフィルムの接合装置は、フィルムロールから先行して送給される先行フィルムの終端部に、次のフィルムロールから引き出される接続フィルムの始端部を接合するものであって、真空遮断装置と外周壁とによって画成された3つの真空室を備え、3つの前記真空室は、第1の巻き出し室、第2の巻き出し室及び接合室であり、前記第1の巻き出し室及び前記第2の巻き出し室と前記接合室との間には、前記真空遮断装置がそれぞれ設けられ、前記第1の巻き出し室を真空引きする真空手段をさらに備え、前記第1の巻き出し室に前記接続フィルムの始端を、繰出し位置に位置決めする接続フィルム先端位置決め装置と、前記第1の巻き出し室に、前記接続フィルムの始端のみ換えを行い、定位置に位置合せする接続フィルム繰出し装置と、前記接合室に、回転機構を用いて前記先行フィルムと前記接続フィルムとを接合するフィルム接合手段とを備えたことにある。
また、本発明において、前記接続フィルム先端位置決め装置は、巻き出し室と接合室との間に設けられた前記真空遮断装置内を往復動して前記接続フィルム始端を繰出し位置に位置決めするようになっている。
さらに、本発明において、前記接続フィルム接合手段は、ばね機構を有する突起部を備えた繰り出し回転ドラムと搬送ローラとを備え、前記接続フィルム繰出し装置は、前記突起部と接続フィルム始端の孔部とを嵌合し、前記接続フィルム接合手段は、回転機構を用いて前記接続フィルム始端を接合所定位置まで繰出したあと、接合部において前記突起部が収納される機能を備えている。
As described above, the film joining apparatus of the film forming apparatus according to the present invention joins the starting end of the connecting film drawn from the next film roll to the end of the preceding film fed in advance from the film roll. Comprising three vacuum chambers defined by a vacuum shut-off device and an outer peripheral wall, the three vacuum chambers being a first unwinding chamber, a second unwinding chamber, and a joining chamber; The vacuum shut-off device is provided between the first unwinding chamber and the second unwinding chamber and the joining chamber, and further includes a vacuum means for evacuating the first unwinding chamber. the starting end of the connecting film to said first unwinding chamber, and the connecting film leading end positioning device for positioning the extended position, the first unwinding chamber, performs start of seen instead of the connecting film, where In place A connecting film feeding device for combined, the junction chamber is to have a film bonding means for bonding the connecting film and the preceding film using a rotation mechanism.
In the present invention, the connecting film leading edge positioning device reciprocates in the vacuum shut-off device provided between the unwinding chamber and the bonding chamber to position the connecting film starting end at the feeding position. ing.
Furthermore, in the present invention, the connection film joining means includes a feeding rotary drum having a projection having a spring mechanism and a conveying roller, and the connection film feeding device includes the projection and a hole at a connection film start end. The connecting film joining means has a function of storing the protrusion at the joining portion after the connecting film starting end is fed out to a predetermined joining position using a rotating mechanism.

したがって、本発明によれば、現フィルムと現フィルムとの接合は、例えば次のフィルムロールから引き出されるフィルムの終端部に接合テープを貼付け、先行フィルムと接続フィルムを重ね合わせて圧接することができる。この接合については、これに限定されず、接着材や溶接なども利用でき、また、重ね合わせずに端部を合わせて接合することもできる。Therefore, according to the present invention, the current film and the current film can be joined, for example, by adhering the joining tape to the terminal portion of the film drawn from the next film roll, and superposing the preceding film and the connection film to press-contact. . The joining is not limited to this, and an adhesive, welding, or the like can be used, and the ends can be joined together without overlapping.
また、本発明によれば、クリップ式の接続フィルム先端位置決め装置は、フィルム端部を機械的に把持するため、縦型搬送フィルムに対しても使用可能である。  In addition, according to the present invention, the clip-type connecting film tip positioning device can be used for a vertical transport film because the film end is mechanically gripped.
さらに、真空装置内で使用可能な材料及び機構によって構成されているため、巻き出し室と接合室との間に設けられた真空遮断装置を通過して接続フィルム始端を繰出し位置に位置決めすることができ、また真空装置内に設置した場合、フィルムロールの交換は、巻き出し室と接合室との間に設けられた真空遮断装置を開閉し、巻き出し室のみを大気開放するだけで行うことができる。  Furthermore, since it is composed of materials and mechanisms that can be used in the vacuum device, the connecting film starting end can be positioned at the feeding position through a vacuum shut-off device provided between the unwinding chamber and the joining chamber. In addition, when installed in a vacuum device, the film roll can be replaced simply by opening and closing the vacuum shut-off device provided between the unwinding chamber and the joining chamber and opening only the unwinding chamber to the atmosphere. it can.
しかも、本発明によれば、フィルム端部を機械的挟み込みにより把持するため、横型搬送のみならず縦型搬送においても確実に把持して搬送することができる。  In addition, according to the present invention, since the film end is gripped by mechanical sandwiching, it can be reliably gripped and transported not only in the horizontal transport but also in the vertical transport.

また、本発明において、前記先行フィルムの終端のフィルム余材を切除し、前記フィルムの残材を接続位置から逃がすフィルム切断装置と、前記接続フィルムを接合位置より搬送位置に移送するフィルム移送装置とを、さらに備えている。
したがって、本発明のフィルムの接合装置によれば、フィルムロールの引き出しが簡単な機構で行うことができるとともに、接合所定位置までの接続フィルム繰出し装置と同時にフィルム接合装置の両装置をワンアクションで行うことで、接合に掛かる時間が最小限で済む。
Further, in the present invention, a film cutting device that cuts off the remaining film material at the end of the preceding film, and releases the remaining material of the film from the connection position; and a film transfer device that transfers the connection film from the bonding position to the transport position; Is further provided.
Therefore, according to the film bonding apparatus of the present invention, the film roll can be pulled out with a simple mechanism, and at the same time, both apparatuses of the film bonding apparatus are performed in one action at the same time as the connecting film feeding apparatus up to a predetermined bonding position. This minimizes the time required for joining.

本発明の実施形態に係るフィルムの接合装置の接続フィルム始端部を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the connection film start end part of the joining apparatus of the film which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るフィルムの接合装置のフィルム接合部を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the film junction part of the joining apparatus of the film which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るフィルムの接合装置の真空中におけるワークフローである。It is a workflow in the vacuum of the joining apparatus of the film which concerns on embodiment of this invention. 縦型搬送によるロールツーロールによる成膜装置の概略図であり、(A)は本発明の実施形態に係るフィルムの接合装置の真空中における実施例を示す全体構成の平面図、(B)は巻き取り部であって(A)のY1部詳細図、(C)は巻き出し部であって(A)のY2部詳細図である。It is the schematic of the film-forming apparatus by the roll-to-roll by vertical conveyance, (A) is a top view of the whole structure which shows the Example in the vacuum of the bonding apparatus of the film which concerns on embodiment of this invention, (B) is FIG. 3 is a detailed view of the Y1 part in FIG. 5A, and FIG. 7C is a detailed view of the Y2 part in FIG. 本発明の実施形態に係る成膜装置のフィルムの接合装置の真空中における側面図である。It is a side view in the vacuum of the film bonding apparatus of the film-forming apparatus which concerns on embodiment of this invention. (1)〜(5)は本発明の実施形態に係るフィルムの接合装置を示す工程図である。(1)-(5) is process drawing which shows the joining apparatus of the film which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るフィルムの接合装置において、接続フィルム繰出し装置とフィルム接合工程始めを示す工程図である。In the film bonding apparatus which concerns on embodiment of this invention, it is process drawing which shows a connection film supply apparatus and the beginning of a film bonding process. 本発明の実施形態に係るフィルムの接合装置において、回転機構を用いて接続フィルム始端の把持・掴み換えを行い、接合所定位置に位置合せする接続フィルム繰出し用フックを示す詳細図である。In the film joining apparatus according to the embodiment of the present invention, it is a detailed view showing a hook for feeding a connection film that uses a rotating mechanism to grip and replace the connection film starting end and align it with a predetermined joining position.

以下、本発明に係るフィルム接合装置について、図面を参照しながら、その実施形態に基づき詳細に説明する。   Hereinafter, the film bonding apparatus according to the present invention will be described in detail based on the embodiments with reference to the drawings.

本発明の実施形態に係るフィルムの接合装置33は、その概略を図1及び図2に示すように構成され、図示しないサーボモータによりその正逆回転を自由に制御できる一対の巻芯3A,3Bを有しており、巻芯3Aは接続フィルム側に配置され、巻芯3Bは先行フィルム側に配置されている。図2及び後述する図6では、巻芯3Bから繰出しているフィルム4aの終端部に、巻芯3Aに待機しているフィルムロールの始端縁を接続する場合を示しているが、その逆の場合も同様に行われるようになっている。   A film joining apparatus 33 according to an embodiment of the present invention is schematically configured as shown in FIGS. 1 and 2, and a pair of cores 3A and 3B whose forward and reverse rotations can be freely controlled by a servo motor (not shown). The core 3A is disposed on the connection film side, and the core 3B is disposed on the preceding film side. In FIG. 2 and FIG. 6 to be described later, the case where the starting edge of the film roll waiting on the core 3A is connected to the terminal portion of the film 4a fed from the core 3B is shown. Is also done in the same way.

以下、便宜上接続側をA側とし、現在先行送給している側をB側として説明する。
巻芯3A,3Bからフィルム搬送路に沿って、ピストンシリンダ等の適宜の駆動手段により直動する接続フィルム先端繰出し装置6と、それに連結した接続フィルムクリップ式チャック5とが配置されている。また、繰出し回転ドラム10に関連して、ばね機構15(図7及び図8参照)を有する繰出し用フック(突起部)11が配置されている。
これは、繰出し回転ドラム10によって繰出し用フック11が接続フィルム4を把持した段階で、クリップ式チャック5が開放され、後述の図8に示すように、ばね機構15によって跳ね上げられ、フィルム4の搬送に支障を来たさない構造としている。なお、繰出し回転ドラム10の外周部には、案内ローラ12が取付けられている。
Hereinafter, for the sake of convenience, the connection side will be referred to as the A side, and the side that is currently pre-feeding will be described as the B side.
A connecting film tip feeding device 6 that moves linearly by appropriate driving means such as a piston cylinder and a connecting film clip chuck 5 connected thereto are arranged along the film conveyance path from the cores 3A and 3B. In relation to the feeding rotary drum 10, a feeding hook (protrusion) 11 having a spring mechanism 15 (see FIGS. 7 and 8) is disposed.
This is because the clip-type chuck 5 is released at the stage where the feeding hook 11 grips the connection film 4 by the feeding rotary drum 10 and is flipped up by a spring mechanism 15 as shown in FIG. It has a structure that does not interfere with transportation. A guide roller 12 is attached to the outer periphery of the feeding rotary drum 10.

また、接続フィルム4aの始端縁には、多数の孔8が幅方向に沿って一定の間隔を開けて穿設されているとともに、先行フィルム4と相向き合う側には、接合テープ9が貼り付けされている。したがって、本実施形態のフィルムの接合装置では、図2に示すように、繰出し装置6によって、接続フィルム4aの始端部の孔8に、繰出し回転ドラム10の端部に設置されたフィルム繰出し用フック11を嵌合させ、この状態で、図示しないサーボモータでその正逆回転を自由に制御できる繰出し回転ドラム10を回転させると、接続フィルム4aの始端部が待機位置より移送され、先行フィルム4との接合位置にセットされるようになっている。   In addition, a large number of holes 8 are formed at predetermined intervals along the width direction at the starting edge of the connection film 4a, and a bonding tape 9 is affixed to the side facing the preceding film 4 Has been. Therefore, in the film bonding apparatus according to the present embodiment, as shown in FIG. 2, the film feeding hook installed at the end of the feeding rotary drum 10 in the opening 8 of the connecting film 4a by the feeding device 6 as shown in FIG. 11 is engaged, and in this state, when the feeding rotary drum 10 whose forward / reverse rotation can be freely controlled by a servo motor (not shown) is rotated, the start end of the connection film 4a is transferred from the standby position, and the preceding film 4 and It is designed to be set at the joint position.

さらに、本実施形態のフィルムの接合装置33は、3A側、3B側両方のフィルム4a,4を重ね合せて圧接するフィルム接合手段を備えている。このフィルム接合手段は、繰出し回転ドラム10と搬送ローラ13とを有しており、3A側、3B側のフィルム4a,4が所定の位置で繰出し回転ドラム10と搬送ローラ13とによって挟まれて、圧接されることにより接合するように構成されている。
ここで、繰出し回転ドラム10と搬送ローラ13とは異なる軸上に配置されているが、繰出し回転ドラム10は図示しないサーボモータにより制御されるようになっている。一方、搬送ローラ13は拘束されることなく、フィルム4の動きに自由に並走回転するローラである。
また、3A側、3B側両方のフィルム4a,4が所定の位置で接合される手前には、接合後に先行フィルム4の終端部を切除する先行フィルム終端把持・切断装置7が配置されている。
Furthermore, the film bonding apparatus 33 according to the present embodiment includes a film bonding unit that overlaps and press-contacts the films 4a and 4 on both the 3A side and the 3B side. This film joining means has a feeding rotary drum 10 and a conveying roller 13, and the films 4a and 4 on the 3A side and 3B side are sandwiched between the feeding rotary drum 10 and the conveying roller 13 at a predetermined position. It is comprised so that it may join by pressing.
Here, the feeding rotary drum 10 and the conveying roller 13 are arranged on different axes, but the feeding rotary drum 10 is controlled by a servo motor (not shown). On the other hand, the transport roller 13 is a roller that freely rotates in parallel with the movement of the film 4 without being restricted.
Further, a preceding film end gripping / cutting device 7 for cutting off the end portion of the preceding film 4 after joining is disposed before the films 4a, 4 on both the 3A side and the 3B side are joined at a predetermined position.

なお、図3は、成膜装置50などの接合装置33内におけるフィルム4a,4の接合やフィルムロール3A,3Bのワークフローを参考までに示したものである。   FIG. 3 shows the workflow of joining the films 4a and 4 and the film rolls 3A and 3B in the joining apparatus 33 such as the film forming apparatus 50 for reference.

また、図4(A)〜(C)は、縦型搬送によるロールツーロールによる成膜装置50におけるフィルムの接合装置33の概略図を示しており、(A)は全体平面図、(B)は(A)のY1部詳細図、(C)は(A)のY2部詳細図である。図5は本発明の実施形態に係る成膜装置のフィルムの接合装置の真空中における側面図を示している。
図4(A)〜(C)及び図5に示すように、成膜装置50の巻き出し部31には、フィルムの接合装置33が設けられている。この接合装置33は、真空遮断装置35と外周壁36とによって画成された3つの真空室30を有しており、該真空室30は、第1の巻き出し室30A、第2の巻き出し室30B及び接合室30Cからなっている。第1の巻き出し室30A内には主に接続フィルムロール1及び巻芯3Aが配置され、第2の巻き出し室30B内には主に先行フィルムロール2及び巻芯3Bが配置され、接合室30C内には主に繰出し回転ドラム10及び搬送ローラ13が配置されている。そして、第1の巻き出し室30A及び第2の巻き出し室30Bと接合室30Cとの間には、真空遮断装置35がそれぞれ設けられている。
これにより、フィルムロール交換時には真空室30の全体を大気開放することなく、新しいフィルムロール1の第1の巻き出し室30Aのみを大気開放し、この大気開放状態でフィルムロール1を所定の位置にセットし、フィルム4の始端部の孔8を接続フィルム先端繰出し装置6にセット後、新しいフィルムロール1の第1の巻き出し室30Aのみを真空引きするだけで、新旧フィルムの交換を行うことが可能となっている。
真空引き後、図5に示すように、接続フィルム先端繰出し装置6は、接続フィルム始端の送給が必要な時には、真空遮断装置35を往復動することにより行うことが可能となっている。
4A to 4C are schematic views of a film bonding apparatus 33 in a film-forming apparatus 50 based on roll-to-roll by vertical conveyance. FIG. 4A is an overall plan view, and FIG. FIG. 4A is a detailed view of a Y1 portion in FIG. 4A, and FIG. 2C is a detailed view of a Y2 portion in FIG. FIG. 5: has shown the side view in the vacuum of the film joining apparatus of the film-forming apparatus which concerns on embodiment of this invention.
As shown in FIGS. 4A to 4C and FIG. 5, the unwinding portion 31 of the film forming apparatus 50 is provided with a film bonding apparatus 33. The joining device 33 has three vacuum chambers 30 defined by a vacuum shut-off device 35 and an outer peripheral wall 36. The vacuum chamber 30 includes a first unwinding chamber 30A and a second unwinding chamber. It consists of a chamber 30B and a bonding chamber 30C. The connection film roll 1 and the core 3A are mainly disposed in the first unwinding chamber 30A, and the preceding film roll 2 and the core 3B are mainly disposed in the second unwinding chamber 30B. The feeding rotary drum 10 and the conveying roller 13 are mainly disposed in the 30C. A vacuum shut-off device 35 is provided between the first unwinding chamber 30A, the second unwinding chamber 30B, and the joining chamber 30C.
Thus, only the first unwinding chamber 30A of the new film roll 1 is opened to the atmosphere without opening the entire vacuum chamber 30 to the atmosphere when the film roll is replaced. After setting, the hole 8 at the start end of the film 4 is set in the connecting film leading edge feeding device 6, and then only the first unwinding chamber 30A of the new film roll 1 is evacuated to replace the old and new films. It is possible.
After the evacuation, as shown in FIG. 5, the connecting film leading edge feeding device 6 can be performed by reciprocating the inside of the vacuum interrupting device 35 when the connecting film starting end needs to be fed.

以上のように構成された本実施形態の接合装置33によりフィルム4を接合する方法を図6に示す工程図を参照しながら説明する。
図6(1)においては、あらかじめA側(フィルムロール1及び巻芯3A)側の接続フィルム4aが接続フィルムクリップ式チャック5にセットされ、先行フィルム4が終端に近づいた際、セットされた接続フィルム4aを繰出し回転ドラム10に向けて送り出し、繰出し回転ドラム10にて把持及び移送される準備を行う。また、B側(フィルムロール2及び巻芯3B)側の先行フィルム4は停止して、接合のための準備を行う。
A method of joining the film 4 by the joining apparatus 33 of the present embodiment configured as described above will be described with reference to the process diagram shown in FIG.
In FIG. 6 (1), the connection film 4a on the A side (film roll 1 and core 3A) side is set in the connection film clip type chuck 5 in advance, and the connection set when the preceding film 4 approaches the end. The film 4 a is fed toward the feeding rotary drum 10, and preparations for gripping and transferring by the feeding rotary drum 10 are performed. In addition, the preceding film 4 on the B side (film roll 2 and core 3B) side is stopped and preparation for bonding is performed.

図6(2)においては、A側の接続フィルム始端部の孔8に、繰出し回転ドラム10の端部に設置されたフィルム繰出し用フック11を嵌合させると、先の接続フィルムクリップ式チャック5から接続フィルム4が開放される。そして、図示しないサーボモータでその正逆回転を自由に制御できる繰出し回転ドラム10を回転させると、接続フィルム4aの始端部が待機位置より移送され、先行フィルム4との接合位置にセットされる。また、B側の先行フィルム4は引き続き停止しており、接合のために待機する。   In FIG. 6B, when the film feeding hook 11 installed at the end of the feeding rotary drum 10 is fitted into the hole 8 at the connection film starting end on the A side, the previous connecting film clip chuck 5 The connection film 4 is opened. Then, when the feeding rotary drum 10 whose forward / reverse rotation can be freely controlled by a servo motor (not shown) is rotated, the starting end portion of the connection film 4a is transferred from the standby position and set to the joining position with the preceding film 4. The preceding film 4 on the B side is still stopped and waits for bonding.

図6(3)においては、A側接続フィルム4aとB側先行フィルム4を繰出し回転ドラム10と搬送ローラ13とによって圧接し、接合の開始を行う。この時、ばね機構15を有する収納可能なフィルム繰出し用フック11は、搬送ローラ13により圧力を受けて、繰出し回転ドラム10の外周表面より中心側に収納されている。
また、接合開始後すぐに接合を停止し、B側の先行フィルム4を所定の位置にて先行フィルム終端把持・切断装置7によって把持・切断を行う。その後、A側の回転ドラム10の回転と、B側の先行フィルム4の巻取り速度を並走することにより、B側の先行フィルム終端部の切断端まで接合を行う。
In FIG. 6 (3), the A-side connecting film 4 a and the B-side preceding film 4 are pressed against each other by the feeding rotary drum 10 and the conveying roller 13 to start joining. At this time, the retractable film feeding hook 11 having the spring mechanism 15 receives pressure from the conveying roller 13 and is stored closer to the center than the outer peripheral surface of the feeding rotary drum 10.
Further, the joining is stopped immediately after the joining is started, and the preceding film 4 on the B side is gripped / cut by the preceding film end gripping / cutting device 7 at a predetermined position. Thereafter, the rotation of the rotating drum 10 on the A side and the winding speed of the preceding film 4 on the B side are run in parallel, thereby joining up to the cutting end of the preceding film terminating portion on the B side.

図6(4)においては、A側(フィルムロール1及び巻芯3A)の接続フィルム4と、B側(フィルムロール2及び巻芯3B)の先行フィルム4との圧接接合を終了した状態を示している。ここで、繰出し回転ドラム10の外周部に取付けられた案内ローラ12により、接合された接続フィルム4が搬送ラインパスまで移送される。また、B側の先行フィルム4の切断後の残材は巻取り回収される。   FIG. 6 (4) shows a state in which the pressure welding of the connection film 4 on the A side (film roll 1 and core 3A) and the preceding film 4 on the B side (film roll 2 and core 3B) is completed. ing. Here, the joined connection film 4 is transferred to the conveyance line path by the guide roller 12 attached to the outer peripheral portion of the feeding rotary drum 10. Further, the remaining material after cutting the preceding film 4 on the B side is wound and collected.

図6(5)では、図6(4)において、案内ローラ12によって搬送ラインパスまで移送された接続フィルム4が、該フィルムの動きに追従する自由回転の搬送ローラ13の円周上にセットされ、新規に接続されたフィルムロール1の搬送を開始する。この時、B側(フィルムロール2及び巻芯3B)では先行フィルム4の残材を回収した後に、新たな接続フィルム4へのフィルムロール交換が行われることになる。   6 (5), the connection film 4 transferred to the conveyance line path by the guide roller 12 in FIG. 6 (4) is set on the circumference of the free rotation conveyance roller 13 that follows the movement of the film. Then, the conveyance of the newly connected film roll 1 is started. At this time, on the B side (film roll 2 and core 3B), the remaining material of the preceding film 4 is collected, and then the film roll is replaced with a new connection film 4.

以上の操作は、ボタン操作による手動で行うことができるが、一連の動作を自動で行うことも可能である。   The above operations can be performed manually by button operation, but a series of operations can also be performed automatically.

図7及び図8は、繰り出し回転ドラム10において、ばね機構15を有する突起部のフック11を接続フィルム始端部の孔8に嵌合し、繰り出し回転ドラム10を回転させて接合所定位置まで接続フィルム4aの始端部を繰出したあと、接合部においてばね機構15を有するフック11が、圧接されてフィルム繰出し用フック回転軸16を中心として回転し、収納される機構を示している。 7 and 8 show that in the feeding rotary drum 10 , the hook 11 of the protruding portion having the spring mechanism 15 is fitted into the hole 8 in the connection film starting end portion, and the feeding rotary drum 10 is rotated to connect the connection film to a predetermined position. 4 shows a mechanism in which a hook 11 having a spring mechanism 15 is pressed and rotated around a film feeding hook rotating shaft 16 after being fed out from the starting end of 4a .

図7(1)及び図8は、フィルム把持の待機状態を示している。ばね機構15により、繰出し回転ドラム10の外周から突出したフック11は、接続フィルム始端部の孔8に嵌合し、フィルム始端部をB側の搬送ローラ13の外周面近傍まで移送する。
図7(2)は、フィルム始端部が移送された状態を示している。この際、フック11は、接続フィルム4aに圧接されて、フック11のみが繰出し、回転ドラム10の外周よりも外方へ突出することとなる。
FIGS. 7A and 8 show the film grip standby state. The hook 11 protruding from the outer periphery of the feeding rotary drum 10 by the spring mechanism 15 is fitted into the hole 8 at the connection film start end, and the film start end is transferred to the vicinity of the outer periphery of the B-side transport roller 13.
FIG. 7 (2) shows a state where the film start end is transferred. At this time, the hook 11 is pressed against the connection film 4 a, and only the hook 11 is fed out and protrudes outward from the outer periphery of the rotating drum 10.

引き続き回転ドラム10が回転し、B側の搬送ローラ13の外周面と接するようになると、図7(3)に示すように、ばね機構15のばね力によって突出していたフック11は、B側の搬送ローラ13の外周面に圧接されて繰出し回転ドラム10の外周より中心側に収納されることとなる。これにより、既に接合を開始した接続フィルム4aの動きを妨げることなく、接続フィルム4aの把持を行うことが可能となる。   When the rotating drum 10 continues to rotate and comes into contact with the outer peripheral surface of the B-side transport roller 13, as shown in FIG. 7 (3), the hook 11 protruding by the spring force of the spring mechanism 15 The outer peripheral surface of the conveying roller 13 is pressed against the outer peripheral surface of the feeding rotary drum 10 and stored in the center side. Thereby, it becomes possible to hold | grip the connection film 4a, without preventing the movement of the connection film 4a which has already started joining.

以上、本発明の実施の形態について述べたが、本発明は既述の実施の形態に限定されるものでなく、本発明の技術的思想に基づいて各種の変更及び変形が可能である。   Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various changes and modifications can be made based on the technical idea of the present invention.

1 接続フィルムロール
2 先行フィルムロール
3 巻芯
4,4a フィルム
5 接続フィルムクリップ式チャック
6 接続フィルム先端繰出し装置
7 先行フィルム終端把持・切断装置
8 接続フィルム始端部孔
9 接続フィルム始端部接合テープ
10 繰出し回転ドラム
11 フィルム繰出し用フック
12 案内ローラ
13 搬送ローラ
15 ばね機構
16 フィルム繰出し用フック回転軸
30 真空室
31 巻き出し部
32 巻き取り部
33 接合装置
35 真空遮断装置
1 connecting film roll 2 preceding film roll
3 core
4, 4a Film 5 Connecting film clip type chuck 6 Connecting film tip feeding device
7 Leading film end gripping and cutting device
8 Connection film start end hole
9 Connection film start edge bonding tape
10 Feeding rotary drum 11 Film feeding hook
12 Guide roller
13 Transport roller
15 Spring mechanism
16 Film Rotating Hook Rotating Shaft 30 Vacuum Chamber 31 Unwinding Unit 32 Winding Unit 33 Bonding Device 35 Vacuum Shut-off Device

Claims (4)

フィルムロールから先行して送給される先行フィルムの終端部に、次のフィルムロールから引き出される接続フィルムの始端部を接合する成膜装置のフィルムの接合装置において、
真空遮断装置と外周壁とによって画成された3つの真空室を備え、
3つの前記真空室は、第1の巻き出し室、第2の巻き出し室及び接合室であり、
前記第1の巻き出し室及び前記第2の巻き出し室と前記接合室との間には、前記真空遮断装置がそれぞれ設けられ、
前記第1の巻き出し室を真空引きする真空手段をさらに備え、
前記第1の巻き出し室に前記接続フィルムの始端を、繰出し位置に位置決めする接続フィルム先端位置決め装置と、
前記第1の巻き出し室に、前記接続フィルムの始端のみ換えを行い、定位置に位置合せする接続フィルム繰出し装置と、
前記接合室に、回転機構を用いて前記先行フィルムと前記接続フィルムとを接合するフィルム接合手段とを備えたことを特徴とするフィルムの接合装置。
In the film joining apparatus of the film forming apparatus for joining the starting end part of the connecting film drawn from the next film roll to the terminal part of the preceding film fed in advance from the film roll,
It has three vacuum chambers defined by the vacuum shut-off device and the outer wall,
The three vacuum chambers are a first unwinding chamber, a second unwinding chamber, and a joining chamber,
Between the first unwinding chamber and the second unwinding chamber and the joining chamber, the vacuum shut-off devices are respectively provided.
A vacuum means for evacuating the first unwinding chamber;
A connection film tip positioning device for positioning the start end of the connection film in the first unwinding chamber at a feeding position;
Wherein the first unwinding chamber, performs start of seen instead of the connecting film, and the connecting film feeding device for aligning to a Jo Tokoro,
A film bonding apparatus comprising: a film bonding means for bonding the preceding film and the connection film using a rotation mechanism in the bonding chamber .
前記接続フィルム先端位置決め装置は、巻き出し室と接合室との間に設けられた前記真空遮断装置内を往復動して前記接続フィルム始端を繰出し位置に位置決めするようになっていること特徴とする請求項1に記載のフィルムの接合装置。 The connecting film leading edge positioning device is configured to reciprocate in the vacuum shut-off device provided between the unwinding chamber and the joining chamber to position the connecting film starting end at the feeding position. The film bonding apparatus according to claim 1. 前記接続フィルム接合手段は、ばね機構を有する突起部を備えた繰り出し回転ドラムと搬送ローラとを備え、
前記接続フィルム繰出し装置は、前記突起部と接続フィルム始端の孔部とを嵌合し、
前記接続フィルム接合手段は、回転機構を用いて前記接続フィルム始端を接合所定位置まで繰出したあと、接合部において前記突起部が収納される機能を備えたことを特徴とする請求項1または2に記載のフィルムの接合装置。
The connecting film joining means includes a feed-out rotating drum and a conveying roller provided with a protrusion having a spring mechanism,
The connection film feeding device fits the protrusion and the hole of the connection film start end,
The connecting film bonding means, after out Repetitive said connecting film start to the joining place using the rotating mechanism, to claim 1 or 2, characterized in that a function of the protrusion is accommodated in the joint The film bonding apparatus as described.
前記先行フィルムの終端のフィルム余材を切除し、前記フィルムの残材を接続位置から逃がすフィルム切断装置と、前記接続フィルムを接合位置より搬送位置に移送するフィルム移送装置とを、さらに備えたことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のフィルムの接合装置。 A film cutting device that cuts off the remaining film material at the end of the preceding film and releases the remaining material of the film from the connection position; and a film transfer device that transfers the connection film from the bonding position to the transport position. The film bonding apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein
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