JP5269049B2 - 画像生成装置、画像生成方法、画像生成プログラムおよび記録媒体 - Google Patents
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Description
Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサなどの固体撮像素子を用いて、工業用途での測定および検査が広く行われている。特に、シリコンウェハの傷や異物の検査、フラットパネルディスプレイ(Flat Panel Display:略称「FPD」)の点灯検査における微小な検出対象物の検出などのように、高周波成分を検出する必要がある用途での測定および検査においては、その精度を向上させるために、検査(測定)対象物の画像を高解像度で取得することが求められている。また、民生用のカメラなどにおいても、最近では、被写体をより高精細に撮像したいという要望がある。
各低解像度画像を撮像するときの前記相対的な位置をそれぞれ設定する撮像位置設定部であって、複数枚の低解像度画像間で、同一の撮像画素が撮像する撮像領域同士が互いに重複しないように、各撮像位置を設定する撮像位置設定部と、
前記撮像位置設定部によって設定された各撮像位置で前記撮像対象物が撮像されるように、前記撮像手段および前記撮像位置変化手段を制御する撮像制御部と、
前記撮像位置設定部によって設定された各撮像位置で撮像された複数枚の低解像度画像から高解像度画像を生成する高解像度画像生成部と、
前記撮像手段に生じている欠陥のうち、撮像画素が配列される一配列方向におけるサイズが最大の欠陥についての該一配列方向の最大画素数が予め格納される撮像条件記憶部とを備え、
前記撮像位置設定部は、
前記一配列方向に関して高解像度化する倍率をAとし、1撮像画素が撮像する撮像領域の該一配列方向に関するサイズをWとし、前記撮像条件記憶部に格納される前記最大画素数をCとするとき、
前記一配列方向に隣接する撮像位置で撮像される2枚の低解像度画像において、同一の撮像画素が撮像する撮像領域同士の該一配列方向に関する離間距離Lが、
L=(C+1/A)×W
の関係式を満足するように、各撮像位置を設定することを特徴とする画像生成装置である。
各低解像度画像を撮像するときの前記相対的な位置をそれぞれ設定する撮像位置設定部であって、複数枚の低解像度画像間で、同一の撮像画素が撮像する撮像領域同士が互いに
重複しないように、各撮像位置を設定する撮像位置設定部と、
前記撮像位置設定部によって設定された各撮像位置で前記撮像対象物が撮像されるように、前記撮像手段および前記撮像位置変化手段を制御する撮像制御部と、
前記撮像位置設定部によって設定された各撮像位置で撮像された複数枚の低解像度画像から高解像度画像を生成する高解像度画像生成部と、
前記撮像手段に生じている欠陥のうち、撮像画素が配列される第1の配列方向におけるサイズが最大の欠陥についての該第1の配列方向の最大画素数、および第2の配列方向におけるサイズが最大の欠陥についての該第2の配列方向の最大画素数が予め格納される撮像条件記憶部とを備え、
前記撮像位置設定部は、
前記第1および第2の配列方向に関して高解像度化する倍率をそれぞれAx,Ayとし、1撮像画素が撮像する撮像領域の前記第1および第2の配列方向に関するサイズをWx,Wyとし、前記撮像条件記憶部に格納される前記第1および第2の配列方向の最大画素数をCx,Cyとするとき、
前記第1の配列方向に隣接する撮像位置で撮像される2枚の低解像度画像において、同一の撮像画素が撮像する撮像領域同士の該第1の配列方向に関する離間距離Lxが、
Lx=(Cx+1/Ax)×Wx
の関係式を満足し、かつ
前記第2の配列方向に隣接する撮像位置で撮像される2枚の低解像度画像において、同一の撮像画素が撮像する撮像領域同士の該第2の配列方向に関する離間距離Lyが、
Ly=(Cy+1/Ay)×Wy
の関係式を満足するように、各撮像位置を設定することを特徴とする。
各低解像度画像を撮像するときの前記相対的な位置をそれぞれ設定する撮像位置設定ステップであって、複数枚の低解像度画像間で、同一の撮像画素が撮像する撮像領域同士が互いに重複しないように、各撮像位置を設定する撮像位置設定ステップと、
前記撮像位置設定ステップによって設定された各撮像位置で前記撮像対象物が撮像されるように、前記撮像手段および前記撮像位置変化手段を制御する撮像制御ステップと、
前記撮像位置設定ステップによって設定された各撮像位置で撮像された複数枚の低解像度画像から高解像度画像を生成する高解像度画像生成ステップとを含み、
前記撮像位置設定ステップでは、
撮像画素が配列される一配列方向に関して高解像度化する倍率をAとし、1撮像画素が撮像する撮像領域の該一配列方向に関するサイズをWとし、前記撮像手段に生じている欠陥のうち、前記一配列方向におけるサイズが最大の欠陥についての該一配列方向の最大画素数をCとするとき、
前記一配列方向に隣接する撮像位置で撮像される2枚の低解像度画像において、同一の撮像画素が撮像する撮像領域同士の該一配列方向に関する離間距離Lが、
L=(C+1/A)×W
の関係式を満足するように、各撮像位置を設定することを特徴とする画像生成方法である。
Lx=(Nx+Mx/Ax)×Wx …(1)
Ly=(Ny+My/Ay)×Wy …(2)
Fx=(Nx+Mx/Ax)×Dx …(3)
Fy=(Ny+My/Ay)×Dy …(4)
Nx≧Cx …(5)
Ny≧Cy …(6)
Fx=(Cx+1/Ax)×Dx …(7)
Fy=(Cy+1/Ay)×Dy …(8)
12 固体撮像素子
20 アクチュエータ
30 制御装置
31 撮像位置設定部
32 撮像条件記憶部
33 撮像制御部
34 アクチュエータ制御部
35 撮像タイミング制御部
36 撮像画像記憶部
37 高解像度画像生成部
40 表示装置
100 画像処理システム
P 撮像対象物
U 検出対象物
Claims (5)
- 複数の撮像画素が2次元的に配列されて成る撮像手段と、前記撮像画素が配列される方向において、撮像対象物と撮像手段との相対的な位置を変化させる撮像位置変化手段とを備え、相対的な位置をずらしながら前記撮像手段が前記撮像対象物を撮像したときの複数枚の低解像度画像から、該低解像度画像よりも解像度の高い高解像度画像を生成する画像生成装置であって、
各低解像度画像を撮像するときの前記相対的な位置をそれぞれ設定する撮像位置設定部であって、複数枚の低解像度画像間で、同一の撮像画素が撮像する撮像領域同士が互いに重複しないように、各撮像位置を設定する撮像位置設定部と、
前記撮像位置設定部によって設定された各撮像位置で前記撮像対象物が撮像されるように、前記撮像手段および前記撮像位置変化手段を制御する撮像制御部と、
前記撮像位置設定部によって設定された各撮像位置で撮像された複数枚の低解像度画像から高解像度画像を生成する高解像度画像生成部と、
前記撮像手段に生じている欠陥のうち、撮像画素が配列される一配列方向におけるサイズが最大の欠陥についての該一配列方向の最大画素数が予め格納される撮像条件記憶部とを備え、
前記撮像位置設定部は、
前記一配列方向に関して高解像度化する倍率をAとし、1撮像画素が撮像する撮像領域の該一配列方向に関するサイズをWとし、前記撮像条件記憶部に格納される前記最大画素数をCとするとき、
前記一配列方向に隣接する撮像位置で撮像される2枚の低解像度画像において、同一の撮像画素が撮像する撮像領域同士の該一配列方向に関する離間距離Lが、
L=(C+1/A)×W
の関係式を満足するように、各撮像位置を設定することを特徴とする画像生成装置。 - 複数の撮像画素が2次元的に配列されて成る撮像手段と、前記撮像画素が配列される方向において、撮像対象物と撮像手段との相対的な位置を変化させる撮像位置変化手段とを備え、相対的な位置をずらしながら前記撮像手段が前記撮像対象物を撮像したときの複数
枚の低解像度画像から、該低解像度画像よりも解像度の高い高解像度画像を生成する画像生成装置であって、
各低解像度画像を撮像するときの前記相対的な位置をそれぞれ設定する撮像位置設定部であって、複数枚の低解像度画像間で、同一の撮像画素が撮像する撮像領域同士が互いに重複しないように、各撮像位置を設定する撮像位置設定部と、
前記撮像位置設定部によって設定された各撮像位置で前記撮像対象物が撮像されるように、前記撮像手段および前記撮像位置変化手段を制御する撮像制御部と、
前記撮像位置設定部によって設定された各撮像位置で撮像された複数枚の低解像度画像から高解像度画像を生成する高解像度画像生成部と、
前記撮像手段に生じている欠陥のうち、撮像画素が配列される第1の配列方向におけるサイズが最大の欠陥についての該第1の配列方向の最大画素数、および第2の配列方向におけるサイズが最大の欠陥についての該第2の配列方向の最大画素数が予め格納される撮像条件記憶部とを備え、
前記撮像位置設定部は、
前記第1および第2の配列方向に関して高解像度化する倍率をそれぞれAx,Ayとし、1撮像画素が撮像する撮像領域の前記第1および第2の配列方向に関するサイズをWx,Wyとし、前記撮像条件記憶部に格納される前記第1および第2の配列方向の最大画素数をCx,Cyとするとき、
前記第1の配列方向に隣接する撮像位置で撮像される2枚の低解像度画像において、同一の撮像画素が撮像する撮像領域同士の該第1の配列方向に関する離間距離Lxが、
Lx=(Cx+1/Ax)×Wx
の関係式を満足し、かつ
前記第2の配列方向に隣接する撮像位置で撮像される2枚の低解像度画像において、同一の撮像画素が撮像する撮像領域同士の該第2の配列方向に関する離間距離Lyが、
Ly=(Cy+1/Ay)×Wy
の関係式を満足するように、各撮像位置を設定することを特徴とする画像生成装置。 - 複数の撮像画素が2次元的に配列されて成る撮像手段と、前記撮像画素が配列される方向において、撮像対象物と撮像手段との相対的な位置を変化させる撮像位置変化手段とを備え、相対的な位置をずらしながら前記撮像手段が前記撮像対象物を撮像したときの複数枚の低解像度画像から、該低解像度画像よりも解像度の高い高解像度画像を生成する画像生成方法であって、
各低解像度画像を撮像するときの前記相対的な位置をそれぞれ設定する撮像位置設定ステップであって、複数枚の低解像度画像間で、同一の撮像画素が撮像する撮像領域同士が互いに重複しないように、各撮像位置を設定する撮像位置設定ステップと、
前記撮像位置設定ステップによって設定された各撮像位置で前記撮像対象物が撮像されるように、前記撮像手段および前記撮像位置変化手段を制御する撮像制御ステップと、
前記撮像位置設定ステップによって設定された各撮像位置で撮像された複数枚の低解像度画像から高解像度画像を生成する高解像度画像生成ステップとを含み、
前記撮像位置設定ステップでは、
撮像画素が配列される一配列方向に関して高解像度化する倍率をAとし、1撮像画素が撮像する撮像領域の該一配列方向に関するサイズをWとし、前記撮像手段に生じている欠陥のうち、前記一配列方向におけるサイズが最大の欠陥についての該一配列方向の最大画素数をCとするとき、
前記一配列方向に隣接する撮像位置で撮像される2枚の低解像度画像において、同一の撮像画素が撮像する撮像領域同士の該一配列方向に関する離間距離Lが、
L=(C+1/A)×W
の関係式を満足するように、各撮像位置を設定することを特徴とする画像生成方法。 - 請求項3に記載の画像生成方法をコンピュータに実行させるための画像生成プログラム
。 - 請求項4に記載の画像生成プログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体。
Priority Applications (1)
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JP2010272063A JP5269049B2 (ja) | 2010-12-06 | 2010-12-06 | 画像生成装置、画像生成方法、画像生成プログラムおよび記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2010272063A JP5269049B2 (ja) | 2010-12-06 | 2010-12-06 | 画像生成装置、画像生成方法、画像生成プログラムおよび記録媒体 |
Publications (2)
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JP2012124617A JP2012124617A (ja) | 2012-06-28 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2001136350A (ja) * | 1999-11-02 | 2001-05-18 | Seiko Epson Corp | 画像入力装置、画像入力システム、および画像入力方法、並びにそのための記録媒体 |
JP2006128780A (ja) * | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Konica Minolta Photo Imaging Inc | デジタルカメラ |
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2010
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