JP5261270B2 - 光電変換素子付光導波路および光学式タッチパネル - Google Patents

Description

本発明は、光学式タッチパネルに好適に用いられる、光電変換素子付光導波路、および、光学式タッチパネルに関する。

図５に、従来の光電変換素子付光導波路３０の一例を示す（例えば特許文献１）。従来の光電変換素子付光導波路３０は、光を伝播する複数のコア３１と、コア３１を支持するアンダークラッド層３２と、コア３１を埋設するオーバークラッド層３３と、光電変換素子３４とを備える。オーバークラッド層３３は、側断面形状が略１／４円弧状である、凸レンズ部３３ａを有する。

図６（ａ）は、従来の光電変換素子付光導波路３０を、発光側に用いた場合の模式図である。この場合、光電変換素子３４として、電気信号を光信号に変換する発光素子を用いる。コア３１の後端３１ｂが、光電変換素子３４の光の出射点と光結合している。光電変換素子３４から出射した光（点線）は、コア３１に入射し、コア３１を伝播した光は、コア３１の先端３１ａから、オーバークラッド層３３内に出射する。コア３１の先端３１ａから出射した発散光は、凸レンズ部３３ａで平行光３６となり、外部に出射する。

図６（ｂ）は、従来の光電変換素子付光導波路３０を、受光側に用いた場合の模式図である。この場合、光電変換素子３４として、光信号を電気信号に変換する受光素子を用いる。光電変換素子付光導波路３０の凸レンズ部３３ａ表面に入射した、幅の広い平行光３７は、凸レンズ部３３ａにより、オーバークラッド層３３内でコア３１の先端３１ａに集中し、コア３１に入射する。コア３１を伝播した光は、コア３１の後端３１ｂに光結合した光電変換素子３４に入射し、その後、電気信号に変換される。ここで「光結合」とは、光電変換素子３４からコア３１へ、またはコア３１から光電変換素子３４へ、光が効率よく伝播する結合をいう。

このような光電変換素子付光導波路３０は、光学式タッチパネルに好適に用いられる。図７（ａ）は、従来の光電変換素子付光導波路３０を、光学式タッチパネル４０の発光側に用いたときの模式図である。また、図７（ｂ）は、従来の光電変換素子付光導波路３０を、光学式タッチパネル４０の受光側に用いたときの模式図である。図７（ａ）、図７（ｂ）に示すように、従来の光電変換素子付光導波路３０を用いた光学式タッチパネル４０においては、光電変換素子付光導波路３０に付属した光電変換素子３４や、付随する回路（図示しない）が、表示パネル４３の表面側に配置される。そのため、光学式タッチパネル４０の額縁４２や、その付近の段差を小さくすることが困難である。なお座標入力領域４１は、表示パネル４３の表面である。

特開２００８−２０３４３１号公報

従来の光電変換素子付光導波路３０を用いた光学式タッチパネル４０では、光電変換素子付光導波路３０に付属した光電変換素子３４や、付随する回路などが、表示パネル４３の表面側に配置される。そのため、光学式タッチパネル４０の額縁４２や、額縁４２付近の段差を小さくすることが困難である。本発明により、座標入力領域４１周辺の額縁４２の寸法や、額縁４２付近の段差の小さい光学式タッチパネルに適した光電変換素子付光導波路が提供される。また、その光電変換素子付光導波路を搭載した光学式タッチパネルが提供される。

本発明の光電変換素子付光導波路は、オーバークラッド層に、厚みの厚い厚肉部と、厚みの薄い薄肉部を有する。本発明の光電変換素子付光導波路は、厚肉部において光の出射、入射をおこなう。また、薄肉部において、アンダークラッド層を内側にして、光導波路を屈曲させることができる。本発明の光電変換素子付光導波路は、光学式タッチパネルに実装したとき、表示パネルの裏面側に、光電変換素子や付属回路を配置することができる。そのため、座標入力領域周辺の額縁の寸法や、額縁付近の段差を小さくすることができる。

本発明の要旨は以下の通りである。
（１）本発明の光電変換素子付光導波路は、光が伝播する複数のコアと、コアを支持するアンダークラッド層と、コアを埋設するオーバークラッド層とを有する光導波路に、光電変換素子が光結合した光電変換素子付光導波路である。オーバークラッド層は、光の出射部または入射部となる先端に凸レンズ部を有する厚肉部と、厚肉部よりも厚みの薄い薄肉部とで構成される厚みの異なる少なくとも２つの領域を有する。コアは端部に全反射ミラーを備える。光導波路は薄肉部において、アンダークラッド層を内側にして屈曲可能である。光電変換素子は、全反射ミラーを介してコアと光結合するように、薄肉部に配置される。
（２）本発明の光電変換素子付光導波路は、薄肉部における光導波路の厚みが、５０μｍ〜２００μｍである。
（３）本発明の光電変換素子付光導波路は、アンダークラッド層およびオーバークラッド層が、エポキシ系紫外線硬化樹脂から形成される。
（４）本発明の光電変換素子付光導波路は、凸レンズ部の側断面形状が略１／４円弧状である。
（５）本発明の光電変換素子付光導波路は、コアが、アンダークラッド層およびオーバークラッド層よりも屈折率が高い。コアの屈折率とアンダークラッド層およびオーバークラッド層の屈折率の差は、０．０２〜０．２である。
（６）本発明の光学式タッチパネルは、上記の光電変換素子付光導波路を搭載した光学式タッチパネルであって、光電変換素子が表示パネルの裏面側に配置される。

本発明の光電変換素子付光導波路を用いることによって、座標入力領域周辺の額縁の寸法や、額縁付近の段差の小さい光学式タッチパネルを実現することができる。

本発明の光電変換素子付光導波路の模式図。 （ａ）本発明の光電変換素子付光導波路を、発光側に用いた場合の模式図。（ｂ）本発明の光電変換素子付光導波路を、受光側に用いた場合の模式図。 （ａ）本発明の光電変換素子付光導波路を、光学式タッチパネルの発光側に用いたときの模式図。（ｂ）本発明の光電変換素子付光導波路を、光学式タッチパネルの受光側に用いたときの模式図。 本発明の光学式タッチパネルの模式図。 従来の光電変換素子付光導波路の模式図。 （ａ）従来の光電変換素子付光導波路を、発光側に用いた場合の模式図。（ｂ）従来の光電変換素子付光導波路を、受光側に用いた場合の模式図。 （ａ）従来の光電変換素子付光導波路を、光学式タッチパネルの発光側に用いたときの模式図。（ｂ）従来の光電変換素子付光導波路を、光学式タッチパネルの受光側に用いたときの模式図。

［光電変換素子付光導波路］
図１に、本発明の光電変換素子付光導波路１０の一例を示す。本発明の光電変換素子付光導波路１０は、光を伝播する複数のコア１１と、コア１１を支持するアンダークラッド層１２と、コア１１を埋設するオーバークラッド層１３と、光電変換素子１４とを備える。オーバークラッド層１３は、側断面形状が略１／４円弧状である凸レンズ部１３ａを有する。

図１に示す、本発明の光電変換素子付光導波路１０は、一つの実施形態として、並列に配置された複数のコア１１の先端１１ａにて、光の出射または入射を行なう。

本発明の光電変換素子付光導波路１０は、オーバークラッド層１３に、厚みの厚い厚肉部１３ｂと、厚みの薄い薄肉部１３ｃを有する。光の出射および入射は、厚肉部１３ｂの先端の凸レンズ部１３ａにておこなわれる。薄肉部１３ｃは剛性が低いため、アンダークラッド層１２を内側にして、図示の矢印方向に屈曲させることができる。薄肉部１３ｃにおける、アンダークラッド層１２と、コア１１と、オーバークラッド層１３の合計の厚みｔ１は、剛性を低くするため、５０μｍ〜２００μｍであることが好ましい。なお、オーバークラッド層１３の厚みを、全て薄肉部１３ｃの厚みｔ１とすると、凸レンズ部１３ａが薄くなりすぎるので、凸レンズ部１３ａにより出射光を平行化する機能（後述）、および、入射光をコア１１に集光する機能（後述）が不十分になるおそれがある。また、光学式タッチパネルに光電変換素子付光導波路１０を搭載したとき、座標入力領域を通る光が極端に表示パネルに近くなり、画面に付着した埃などによる誤動作の原因となる。そのためオーバークラッド層１３には、厚みの厚い厚肉部１３ｂが必要である。

本発明の光電変換素子付光導波路１０は、コア１１の末端に、全反射ミラー１５をさらに有する。全反射ミラー１５は、コア１１の端部を、光が全反射する角度で切断し、切断面を鏡面に仕上げたものである。全反射ミラー１５は、光電変換素子１４の光出射部または光入射部の直下にある。全反射ミラー１５は、典型的には、コア１１の光伝播方向と切断面が４５°をなす４５°ミラーである。全反射ミラー１５の設けられる部分のオーバークラッド層１３の厚みｔ２は、薄いことが好ましい。全反射ミラー１５の設けられる部分の、オーバークラッド層１３の厚みｔ２が厚い場合、光は、光電変換素子１４とコア１１との間のオーバークラッド層１３内で拡散、減衰しやすくなり、光結合の効率が低下するおそれがある。

図２（ａ）は、本発明の光電変換素子付光導波路１０を、発光側に用いた場合の模式図である。この場合、光電変換素子１４として、電気信号を光信号に変換する発光素子を用いる。光電変換素子１４から出射した光（点線）は、オーバークラッド層１３の薄肉部１３ｃを横切って、コア１１に垂直に入射した後、全反射ミラー１５で全反射して、コア１１の伝播方向に進む。コア１１を伝播した光は、コア１１の先端１１ａからオーバークラッド層１３内に出射する。コア１１の先端１１ａから出射した発散光は、オーバークラッド層１３の凸レンズ部１３ａで平行光１６になり、外部に出射する。

図２（ｂ）は、本発明の光電変換素子付光導波路１０を、受光側に用いた場合の模式図である。この場合、光電変換素子１４として、光信号を電気信号に変換する受光素子を用いる。光電変換素子付光導波路１０の、凸レンズ部１３ａ表面に入射した幅の広い平行光１７は、凸レンズ部１３ａにより、オーバークラッド層１３内で、コア１１の先端１１ａに集中し、コア１１に入射する。コア１１を伝播した光（点線）は、全反射ミラー１５で全反射して、光電変換素子１４に向かう方向に進み、光電変換素子１４に入射し、その後、電気信号に変換される。

本発明の光電変換素子付光導波路１０は、光学式タッチパネルに好適に用いられる。図３（ａ）は、本発明の光電変換素子付光導波路１０を、光学式タッチパネル２０の、発光側に用いたときの模式図である。また、図３（ｂ）は、本発明の光電変換素子付光導波路１０を、光学式タッチパネル２０の、受光側に用いたときの模式図である。

本発明の光電変換素子付光導波路１０においては、オーバークラッド層１３の薄肉部１３ｃを、アンダークラッド層１２を内側にして、屈曲させることができる。これにより、本発明の光電変換素子付光導波路１０は、図３（ａ）、図３（ｂ）に示すように、光学式タッチパネル２０の表示パネル２１の端部２１ａに、表示パネル２１の表面側から裏面側にかけて、巻き付けることができる。その際、コア１１は２ヶ所で直角に曲げられるが、図示のように、コア１１に適度の曲率を持たせれば、光の伝播に問題は生じない。

図３（ａ）の場合、光を外部に出射する、オーバークラッド層１３の凸レンズ部１３ａは、表示パネル２１の表面側にあるが、光電変換素子１４および付属回路（図示しない）は、表示パネル２１の裏面側に配置される。

図３（ｂ）の場合、光が外部から入射する、オーバークラッド層１３の凸レンズ部１３ａは、表示パネル２１の表面側にあるが、光電変換素子１４および付属回路（図示しない）は、表示パネル２１の裏面側に配置される。

いずれの場合も、オーバークラッド層１３に比べて、サイズの大きい光電変換素子１４および付属回路を、表示パネル２１の裏面側に納めることができる。これにより、光学式タッチパネル２０の額縁部分の寸法や、その付近の段差を小さくすることができる。

［コア］
本発明に用いられるコア１１は、アンダークラッド層１２およびオーバークラッド層１３よりも屈折率が高く、伝播する光の波長で透明度の高い、任意の材料から形成される。コア１１を形成する材料は、好ましくは、パターニング性に優れた紫外線硬化樹脂である。紫外線硬化樹脂としては、好ましくは、アクリル系紫外線硬化樹脂、エポキシ系紫外線硬化樹脂、シロキサン系紫外線硬化樹脂、ノルボルネン系紫外線硬化樹脂、ポリイミド系紫外線硬化樹脂などが挙げられる。

コア１１の、光を伝播する方向に垂直な断面の形状は、特に制限はないが、パターニング性に優れた台形または矩形が好ましい。コア１１の、光を伝播する方向に垂直な断面の底辺の幅（コア幅）は、好ましくは３０μｍ〜５００μｍである。コア１１の、光を伝播する方向に垂直な断面の高さ（コア高さ）ｔ３（図１）は、好ましくは３０μｍ〜１００μｍである。

［アンダークラッド層］
本発明に用いられるアンダークラッド層１２は、コア１１よりも屈折率が低い任意の材料から形成される。アンダークラッド層１２を形成する材料は、特に制限はないが、屈曲性と成形性に優れたエポキシ系紫外線硬化樹脂が好ましい。

コア１１とアンダークラッド層１２の最大屈折率差は、好ましくは０．０１以上であり、さらに好ましくは０．０２〜０．２である。このような屈折率差のとき、光はコア１１内を低損失で伝播する。

上記の紫外線硬化樹脂の屈折率は、紫外線硬化樹脂に導入する有機基の種類と含有量を変化させることにより、適宜、大きく、または小さくすることができる。紫外線硬化樹脂の屈折率は、例えば、環状芳香族性の基（フェニル基など）を樹脂分子中に導入することにより、大きくすることができる。あるいは、樹脂分子中の、環状芳香族性の基の含有量を増加させることにより、大きくすることができる。他方、紫外線硬化樹脂の屈折率は、例えば、直鎖または環状脂肪族性の基（メチル基、ノルボルネン基など）を樹脂分子中に導入することにより、小さくすることができる。あるいは、樹脂分子中の、直鎖または環状脂肪族性の基の含有量を増加させることにより、小さくすることができる。

アンダークラッド層１２の厚みｔ４（図１）は、好ましくは、１０μｍ〜５０μｍである。

［オーバークラッド層］
本発明に用いられるオーバークラッド層１３は、厚みの異なる少なくとも２つの領域、すなわち少なくとも、厚肉部１３ｂと薄肉部１３ｃを有する。オーバークラッド層１３を形成する材料は、好ましくは、アンダークラッド層１２と同一の材料である。

オーバークラッド層１３の、薄肉部１３ｃの厚みｔ２（図１）は、好ましくは、１０μｍ〜１６０μｍである。オーバークラッド層１３の、厚肉部１３ｂの厚みｔ５（図１）は、好ましくは、３００μｍ〜１５００μｍである。オーバークラッド層１３の、厚肉部１３ｂの厚みｔ５（図１）と、薄肉部１３ｃの厚みｔ２（図１）との差ｔ６（図１）は、好ましくは、１４０μｍ〜１４９０μｍである。

オーバークラッド層１３の薄肉部１３ｃは剛性が低いので、光電変換素子付光導波路１０は、薄肉部１３ｃで屈曲可能である。さらに薄肉部１３ｃにおいては、コア１１と光電変換素子１４との間のオーバークラッド層１３の厚みｔ２（図１）が小さいため、ここを横切る光の拡散、減衰が少ない。これにより、コア１１と光電変換素子１４との間の光結合の効率を高くすることができる。

オーバークラッド層１３の薄肉部１３ｃは、オーバークラッド層１３を切削して形成してもよいし、あらかじめそのような形状の金型を用いて成形してもよい。例えば、厚肉部１３ｂと薄肉部１３ｃを有するオーバークラッド層１３は、所定の金型に液状樹脂を流し込み、固化または硬化させることにより、オーバークラッド層１３を成形して得られる。

［光電変換素子］
本発明に用いられる光電変換素子は、電気信号を光信号に変換する発光素子、または光信号を電気信号に変換する受光素子である。

発光素子としては、発光側光導波路を通して、光学式タッチパネルの座標入力領域を横断する光線を生成するものであれば、任意のものが用いられる。発光素子から出射される光の波長は、好ましくは、近赤外線領域（７００ｎｍ〜２５００ｎｍ）のいずれかである。このような発光素子として、例えば、発光ダイオードや半導体レーザーが挙げられる。

受光素子は、受光側光導波路で受光した光の強度を検出する。受光素子により検出される光の波長は、好ましくは、近赤外線領域（７００ｎｍ〜２５００ｎｍ）のいずれかである。このような受光素子としては、例えば、ＣＭＯＳイメージセンサーや、ＣＣＤイメージセンサーが挙げられる。

［光学式タッチパネル］
図４に示すように、本発明の光学式タッチパネル２０は、表示パネル２１と、表示パネル２１の表面の座標入力領域２２と、座標入力領域２２を横断する光２３を生成する、発光側の光電変換素子付光導波路１０ａと、座標入力領域２２を横断した光２３を受光する、受光側の光電変換素子付光導波路１０ｂとを備える。

本発明の光学式タッチパネル２０に実装された、光電変換素子付光導波路１０ａ、１０ｂにおいては、発光側の光電変換素子１４ａと、受光側の光電変換素子１４ｂが、表示パネル２１の裏面側に配置される。これにより、座標入力領域２２周辺の額縁２４部分や、その付近の段差の小さい光学式タッチパネル２０を実現することができる。

座標入力領域２２とは、発光側の光電変換素子付光導波路１０ａから生成される光２３が、横断する領域をいう。座標入力領域２２は、代表的には、液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネルなどの、表示パネル２１の表示面である。座標入力領域２２は、コア１１の位置調整を正確に行ない易くするため、矩形であることが好ましい。座標入力領域２２の前面（操作者側の面）は空間でもよいし、耐擦傷性を増すために、表面にガラスパネルやアクリル板を備えてもよい。

［実施例］
［クラッド層形成用ワニスの調製］
・（成分Ａ）脂環骨格を有する、エポキシ系紫外線硬化樹脂（アデカ社製ＥＰ４０８０Ｅ） １００重量部
・（成分Ｂ）光酸発生剤（サンアプロ社製ＣＰＩ−２００Ｋ） ２重量部
以上を混合して、クラッド層形成用ワニスを調製した。

［コア形成用ワニスの調製］
・（成分Ｃ）フルオレン骨格を含む、エポキシ系紫外線硬化樹脂（大阪ガスケミカル社製オグソールＥＧ） ４０重量部
・（成分Ｄ）フルオレン骨格を含む、エポキシ系紫外線硬化樹脂（ナガセケムテックス社製ＥＸ−１０４０） ３０重量部
・（成分Ｅ）１，３，３−トリス（４−（２−（３−オキセタニル）ブトキシフェニル）ブタン（特開２００７−０７０３２０、実施例２に準じて合成） ３０重量部
・上記成分Ｂ １重量部
・乳酸エチル ４１重量部
以上を混合して、コア形成用ワニスを調製した。

［光導波路の作製］
厚み１８８μｍのポリエチレンナフタレートフィルムの表面に、クラッド層形成用ワニスを塗布し、紫外線を１０００ｍＪ／ｃｍ^２照射した後、８０℃で５分間加熱処理して、厚みｔ４＝２０μｍのアンダークラッド層１２を形成した。アンダークラッド層１２の、波長８３０ｎｍにおける屈折率は、１．５１０であった。

上記のアンダークラッド層１２の表面に、上記のコア形成用ワニスを塗布し、１００℃で５分間加熱処理してコア層を形成した後、コア層にフォトマスクを被せて、紫外線を２５００ｍＪ／ｃｍ^２照射し、さらに１００℃で１０分間加熱処理した。次に、コア層の紫外線未照射部分を、γ−ブチロラクトン水溶液で溶解除去して、幅２０μｍ、高さｔ３＝５０μｍのコア１１を複数本形成した。コア１１の、波長８３０ｎｍにおける屈折率は、１．５９２であった。

図１に示す、オーバークラッド層１３に、厚肉部１３ｂと薄肉部１３ｃが形成されるような内部形状の、石英製の型を用意した。上記のコアに上記の型を覆い被せ、その内部にクラッド層形成用ワニスを充填し、紫外線を２０００ｍＪ／ｃｍ^２照射した後、８０℃で５分間加熱処理した。その後、型を剥離して、図１に示す、オーバークラッド層１３に、厚肉部１３ｂと薄肉部１３ｃを有する光導波路を作製した。次に、コア１１を含む薄肉部１３ｃの先端を、ダイシングブレードによって主面に対して４５°に切断し、コア１１の先端に全反射ミラー１５（４５°ミラー）を形成した。

作製した光導波路は、オーバークラッド層１３の薄肉部１３ｃにおいて、アンダークラッド層１２を内側にして、屈曲可能であった。

光導波路の、オーバークラッド層１３の薄肉部１３ｃにおける、アンダークラッド層１２とコア１１とオーバークラッド層１３の合計の厚みｔ１は、１００μｍであった。オーバークラッド層１３の薄肉部１３ｃの厚みｔ２は、３０μｍであった。オーバークラッド層１３の厚肉部１３ｂの厚みｔ５は、１０００μｍであった。

［光学式タッチパネルの作製］
上記の光導波路を４個用意し、額縁形に組み合わせて、額縁形光導波路を作製した。次に、額縁形光導波路を、表示パネルの座標入力領域の周囲に固定した。隣り合う２つの光導波路を発光側光導波路とし、コアの末端に、波長８５０ｎｍの赤外光を出射する発光素子を、紫外線硬化接着剤を介して光学的に結合した。発光素子は、オプトウエル社製ＶＣＳＥＬであった。

他の隣り合う２つの光導波路を受光側光導波路とし、コアの末端に受光素子を、紫外線硬化接着剤を介して光学的に結合した。受光素子は、ＴＡＯＳ社製ＣＭＯＳリニアセンサーアレイであった。

このようにして作製した光学式タッチパネルは、発光素子の光の強度を１００％とすると、座標入力領域を遮らないとき、受光素子で検知する光の強度は１０％であった。また、座標入力領域を通過する光線を指で遮ると、その位置座標を正確に認識することができ、光学式タッチパネルとして動作することが確認できた。

［測定方法］
［屈折率］
クラッド層形成用ワニスおよびコア形成用ワニスを、それぞれシリコンウェハ上にスピンコートにより成膜して、屈折率測定用サンプルを作製した。プリズムカプラー（サイロン社製ＳＰＡ−４００）を用いて、屈折率を測定した。

［コア幅、コア高さ］
作製した光導波路を、ダイサー式切断機（ＤＩＳＣＯ社製ＤＡＤ５２２）を用いて断面切断した。切断面をレーザー顕微鏡（キーエンス社製）を用いて観察し、コア幅、コア高さを測定した。

本発明の光学式タッチパネルは、ＡＴＭ、券売機、ＦＡ装置、コピー機、ＰＯＳ端末、業務用ゲーム機などのタッチパネルに好適である。

１０ 光電変換素子付光導波路
１０ａ 光電変換素子付光導波路（発光側）
１０ｂ 光電変換素子付光導波路（受光側）
１１ コア
１１ａ コアの先端
１２ アンダークラッド層
１３ オーバークラッド層
１３ａ オーバークラッド層の凸レンズ部
１３ｂ オーバークラッド層の厚肉部
１３ｃ オーバークラッド層の薄肉部
１４ 光電変換素子
１４ａ 光電変換素子（発光側）
１４ｂ 光電変換素子（受光側）
１５ 全反射ミラー
１６ 平行光（出射側）
１７ 平行光（入射側）
２０ 光学式タッチパネル
２１ 表示パネル
２１ａ 表示パネルの端部
２２ 座標入力領域
２３ 光
２４ 額縁
３０ 光電変換素子付光導波路
３１ コア
３１ａ コアの先端
３１ｂ コアの後端
３２ アンダークラッド層
３３ オーバークラッド層
３３ａ オーバークラッド層の凸レンズ部
３４ 光電変換素子
３６ 平行光（出射側）
３７ 平行光（入射側）
４０ 光学式タッチパネル
４１ 座標入力領域
４２ 額縁
４３ 表示パネル

Claims (6)

1. 光が伝播する複数のコアと、前記コアを支持するアンダークラッド層と、前記コアを埋設するオーバークラッド層とを有する光導波路に、光電変換素子が光結合した光電変換素子付光導波路であって、
   前記オーバークラッド層は、光の出射部または入射部となる先端に凸レンズ部を有する厚肉部と、該厚肉部よりも厚みの薄い薄肉部とで構成される厚みの異なる少なくとも２つの領域を有し、
   前記コアは端部に全反射ミラーを備え、
   前記光導波路は前記薄肉部において、前記アンダークラッド層を内側にして屈曲可能であり、
   前記光電変換素子は、前記全反射ミラーを介して前記コアと光結合するように、前記薄肉部に配置されることを特徴とする光電変換素子付光導波路。
2. 前記薄肉部における前記光導波路の厚みが、５０μｍ〜２００μｍであることを特徴とする、請求項１に記載の光電変換素子付光導波路。
3. 前記アンダークラッド層および前記オーバークラッド層が、エポキシ系紫外線硬化樹脂から形成されることを特徴とする、請求項１または２に記載の光電変換素子付光導波路。
4. 前記凸レンズ部の側断面形状が略１／４円弧状である請求項１から３のいずれかに記載の光電変換素子付光導波路。
5. 前記コアは前記アンダークラッド層および前記オーバークラッド層よりも屈折率が高く、前記コアの屈折率と前記アンダークラッド層および前記オーバークラッド層の屈折率の差は、０．０２〜０．２であることを特徴とする、請求項１から４のいずれかに記載の光電変換素子付光導波路。
6. 請求項１から５のいずれかに記載の光電変換素子付光導波路を搭載した光学式タッチパネルであって、前記光電変換素子が、表示パネルの裏面側に配置されることを特徴とする光学式タッチパネル。

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